KR930016814A

KR930016814A - Manufacturing method of liquid crystal display

Info

Publication number: KR930016814A
Application number: KR1019920001521A
Authority: KR
Inventors: 윤정기
Original assignee: 이헌조; 주식회사 금성사
Filing date: 1992-01-31
Publication date: 1993-08-30

Abstract

본 발명은 박막트랜지스터를 이용한 액정디스플레이어의 제조방법에 관한 것으로, 유리기판(11)상에 형성된 게이트전극(12)위에 게이트절연막(13)을 증착시키고, 상기 게이트절연막(13)위에 투명화소전극(14)을 증착하며 상기 투명화소전극(14) 위에 게이트절연막(15)을 증착하고 상기 게이트 절연막(15)위에 연속으로 비정질 반도체층(16)및 n±비정질 반도체층(17)을 증착하며, 이에 소스/드레인전극(18)을 상기 투명화소전극(14)과 연결되도록 상기 게이트 절연막(15)에 홈(18′)을 형성하고 상기 홈(18′)에 상기 소스/드레인 전극(18)을 증착하는 공정으로 이루어져 축정용량의 면적을 감소시킬 수 있는 결과적으로 개구율이 향상하도록 한 것이다.The present invention relates to a method of manufacturing a liquid crystal display using a thin film transistor, the gate insulating film 13 is deposited on the gate electrode 12 formed on the glass substrate 11, the transparent pixel electrode on the gate insulating film 13 (14) and depositing a gate insulating film (15) on the transparent pixel electrode (14) and depositing an amorphous semiconductor layer (16) and an n ± amorphous semiconductor layer (17) on the gate insulating film (15), Thus, a groove 18 'is formed in the gate insulating layer 15 so that the source / drain electrode 18 is connected to the transparent pixel electrode 14, and the source / drain electrode 18 is formed in the groove 18'. As a result of the deposition process, it is possible to reduce the area of the storage capacity, so that the opening ratio is improved.

Description

Manufacturing method of liquid crystal display

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음Since this is an open matter, no full text was included.

제1도의 (가)는 박막트랜지스터의 액정디스플레이어를 나타낸 부가용량 방식의 단위화소 등가회로, (나)는 박막트랜지스터의 액정디스플레이어를 나타낸 축적용량 방식의 단위화소 등가회로, 제4도의 (가)는 박막트랜지스터의 액정디스플레이어에서 구동에 대한 기본파형도, (나)는 박막트랜지스터의 액정디스플레이어에서 구동에 대한 합성파형도, 제5도는 본 발명 박막 트랜지스터의 액정디스플레이어를 나타낸 단위화소의 단면도.Fig. 1A is a unit capacitance equivalent circuit of a liquid crystal display of a thin film transistor, and Fig. 2A is a unit pixel equivalent circuit of a storage capacitance type showing a liquid crystal display of a thin film transistor. ) Is a basic waveform diagram of driving in a liquid crystal display of a thin film transistor, (b) is a synthetic waveform diagram of driving in a liquid crystal display of a thin film transistor, and FIG. 5 is a unit pixel showing a liquid crystal display of a thin film transistor of the present invention. Cross-section.

Claims

A gate insulating film 13 is deposited on the gate electrode 12 formed on the glass substrate 11, a transparent pixel electrode 14 is deposited on the gate insulating film 13, and a gate insulating film is deposited on the transparent pixel electrode 14. 15) and an amorphous semiconductor layer 16 and an n ± amorphous semiconductor layer 17 are deposited on the gate insulating film 15 in succession, so that a source / drain electrode 18 is deposited on the transparent pixel electrode 14. And forming a groove (18 ') in the gate insulating film (15) so as to be connected to the gate insulating film and depositing the source / drain electrode (18) in the groove (18').

※ Note: The disclosure is based on the initial application.