Claims (36)
제1 및 제2의 순차(a) 및 (b)에 각각 따라서 제1 및 제2의 기본 단위 신호 ga(t) 및 gb(t)를 발생하고, 상기 신호 ga(t) 및 제3의 순차(p), 상기 신호 ga(t) 및 제4의 순차 (q), 상기 신호 gb(t) 및 상기 순차(p)와 상기 신호 gb(t) 및 상기 순차(q) 각각 따르고 순차로 배열에 제1∼제4의 송신 신호 Sap(t), Saq(t), Sbp(t) 및 Sbq(t)로 이루어진 합성 송신 신호 S를 발생하는 발생수단, 상기 발생수단에서 발생된 상기 합성 송신 S를 타겟에 송신하는 송신수단, 상기 각각의 송신신호 Sap(t), Saq(t), Sbp(t) 및 Sbq(t)에 대응하는 제1∼제4의 반향 신호 Rap(t), Raq(t), Rbp(t) 및 Rbq(t)로 이루어진 합성 반향 신호 R를 마련하도록 상기 타겟으로부터 반사된 반향을 수신하는 수산수단, 제1 및 제2의 상관 결과 Caap(t) 및 Caaq(t)를 마련하도록 상기 순차(a)에 따른 제1의 참조 신호 Ua(t)를 사용해서 상기 수신 수단에 의해 마련된 상기 반향 신호 Rap(t) 및 Raq(t)를 상관처리하고, 제3 및 제4의 상관 결과 Cbbp(t) 및 Cbbq(t)를 마련하도록 상기 순차에 따른 제2의 참조 신호Ub(t)를 사용새허 상기 수신 수단에 의해 마련된 상기 방향 신호 Rbp(t)와 Rbq(t)를 상관 처리하는 제1의 상관수단, 제1 및 제2의 압축펄스 Caapp(t) 및 Cbbpp(t)를 마련하도록 상기 순차(p)에 따른 제3의 참조 신호 Up(t)를 사용해서 상기 제1의 상관 수단에 의해 마련된 상기 결과 Caap(t)와 Cbb(t)를 상관 처리하고, 제3 및 제4의 압축펄스 Caaqq(t) 및 Cbbqq(t)를 마련하도록 상기 순차 (q)에 따른 제4의 참조 신호Uq(t)를 사용해서 상기 제1의 상관수단에 의해 마련된 상기 결과 Caaq(t)와 Caaq(t)를 상관처리하는 제2의 상관수단과 합성압축 펄스C의 메인로브 레벨에 크게되고 그의 사이드 로브 레벨이 영이 되게 상기 합성압축 펄스 C를 마련하도록, 상기 제2의 상관 수단에 의해 마련된 상기 압축 펄스 Caap(t), Caaq(t), Cbbp(t) 및 Cbbq(t)를 가산하는 가산 수단을 포함하는 검사 장치.Generate the first and second basic unit signals ga (t) and gb (t) according to the first and second sequences a and b, respectively, and generate the signals ga (t) and third sequences, respectively. (p), the signal ga (t) and the fourth sequence (q), the signal gb (t) and the sequence (p) and the signal gb (t) and the sequence (q) respectively followed and in sequence Generating means for generating a synthetic transmission signal S consisting of first to fourth transmission signals Sap (t), Saq (t), Sbp (t), and Sbq (t); Transmission means for transmitting to a target, the first to fourth echo signals Rap (t) and Raq (t) corresponding to the respective transmission signals Sap (t), Saq (t), Sbp (t) and Sbq (t) A) means for receiving echo reflected from the target, to provide a synthetic echo signal R consisting of Rbp (t) and Rbq (t), and the first and second correlation results Caap (t) and Caaq (t). The number of receptions using the first reference signal Ua (t) according to the sequence (a) The second reference signals Ub according to the sequence to correlate the echo signals Rap (t) and Raq (t) provided by and to provide third and fourth correlation results Cbbp (t) and Cbbq (t). (t) using first correlation means for correlating the direction signal Rbp (t) and Rbq (t) provided by the receiving means, first and second compression pulses Caapp (t) and Cbbpp (t Correlate the resultant Caap (t) and Cbb (t) provided by the first correlation means using a third reference signal Up (t) according to the sequence p to provide And the resultant Caaq prepared by the first correlation means using a fourth reference signal Uq (t) according to the sequence (q) to provide a fourth compression pulse Caaqq (t) and Cbbqq (t). The second compression means correlating t) with Caaq (t) and the synthesized compression pulse C are made larger than the main lobe level of the synthesized compression pulse C and its side lobe level becomes zero. And adding means for adding the compressed pulses Caap (t), Caaq (t), Cbbp (t), and Cbbq (t) provided by the second correlation means.
특허청구의 범위 제1항에 있어서, 상기 제1 및 제2의 순차 (a) 및 (b)는 제1 및 제2의 종류의 동일수의 요소를 갖고 상부 관계이며, 상기 제3 및 제4의 순차 (q) 및 (q)는 제1 및 제2의 종류의 동일 수의 요소를 갖고 상보관계인 검사장치.The method of claim 1, wherein the first and second sequences (a) and (b) have the same number of elements of the first and second types and have a top relationship, and the third and fourth (Q) and (q) of are inspection devices having the same number of elements of the first and second types and having a complementary relationship.
특허청구의 범위 제2항에 있어서, 상기 발생 수단은 상기 제1 및 제2의 기본 단위 신호 ga(t) 및 gb(t)가 상기 순차 (a) 및 (b)로 진폭 부호화된 파형을 각각 갖도록 상기 제1 및 제2의 순차 (a) 및 (b)의 상기요소에 따라 파형신호를 진폭 부호화하는 수단을 포함하는 검사장치.The method of claim 2, wherein the generating means comprises generating a waveform in which the first and second basic unit signals ga (t) and gb (t) are amplitude-encoded in the sequences (a) and (b), respectively. And means for amplitude encoding the waveform signal in accordance with said element of said first and second sequences (a) and (b).
특허청구의 범위 제3항에 있어서, 상기 파형 신호는 단위 구형 파신호를 갖고, 상기 제1 및 제2의 기본 단위 신호 ga(t) 및 gb(t)는 상기 제1및 제2의 순차 (a) 및 (b)의 상기 제1의 종류의 요소에 할당된 상기 구형 파신호 및 상기 순차(a) 및 (b)의 상기 제2의 종류의 요소에 할당되고, 상기 구형 파신호에 -1에 곱해서 얻는 반전된 단위 구형 파신호를 포함하는 검사 장치.The method according to claim 3, wherein the waveform signal has a unit square wave signal, and the first and second basic unit signals ga (t) and gb (t) correspond to the first and second sequence ( assigned to the square wave signal assigned to the element of the first kind in a) and (b) and the second kind element of the sequence (a) and (b), and -1 to the square wave signal. An inspection device comprising an inverted unit square wave signal obtained by multiplying by.
특허청구의 범위 제2항에 있어서, 상기 발생 수단은 상기 제1 및 제2의 기본 단위 신호 ga(t) 및 gb(t)가 상기 순차 (a) 및 (b)로 위상 부호화된 파형을 각각 갖도록, 상기 제1 및 제2의 순차 (a) 및 (b)의 상기 요소에 따라 파형신호를 위상 부호화하는 수단을 포함하는 검사장치.The method of claim 2, wherein the generating means comprises generating waveforms in which the first and second basic unit signals ga (t) and gb (t) are phase-coded in the sequences (a) and (b), respectively. Means for phase-encoding a waveform signal according to said element of said first and second sequences (a) and (b).
특허청구의 범위 제5항에 있어서, 상기 파형신호는 단위파 신호를 갖고, 상기 제1 및 제2의 기본 단위 신호 ga(t) 및 gb(t)는 상기 제1 및 제2의 순차 (a) 및 (b)의 상기 제1의 종류의 요소에 할당된 상기 단위파 신호 및 상기 순차 (a) 및 (b)의 상기 제2의 종류의 요소에 할당되고 상기 단위파 신호에 -1 곱해서 얻은 반전된 단위파 신호를 포함하는 검사장치.The method of claim 5, wherein the waveform signal has a unit wave signal, and the first and second basic unit signals ga (t) and gb (t) are the first and second sequences (a). And the unit wave signal assigned to the element of the first kind in (b) and the element of the second kind in the sequence (a) and (b) and obtained by multiplying the unit wave signal by -1. An inspection device comprising an inverted unit wave signal.
특허청구의 범위 제6항에 있어서, 상기 단위파 신호는 단위 구형파 신호인 검사장치.The inspection apparatus according to claim 6, wherein the unit wave signal is a unit square wave signal.
특허청구의 범위 제6항에 있어서, 상기 단위파 신호는 발진파 신호인 검사장치.The inspection apparatus according to claim 6, wherein the unit wave signal is an oscillation wave signal.
특허청구의 범위 제2항에 있어서, 상기 제1 및 제2의 송신 신호 Sap(t) 및 Saq(t)는 상기 제3 및 제4의 순차 (p) 및 (q)의 상기 제1의 종류의 요소에 할당된 상기 제1의 기본 단위 신호 ga(t) 및 상기 순차 (p) 및 (q)의 상기 제2의 종류의 요소에 할당되고 상기 신호 ga(t)에 -1을 곱해서 얻은 반전된 제1의 기본단위 신호 -ga(t)를 각각 포함하고, 상기 제3 및 제4의 송신신호 Sbp(t) 및 Sbq(t)는 상기 순차 (p) 및 (q)의 상기 제1의 종류의 요소에 할당된 상기 제2의 기본 단위 신호 gb(t) 및 상기 순차 (p) 및 (q)의 상기 제2의 종류의 요소에 할당되고 상기 신호gb(t)에 -1을 곱해서 얻은 반전된 제2의 기본 단위 신호 -ga(t)를 각각 포함하는 검사 장치.The method of claim 2, wherein the first and second transmission signals Sap (t) and Saq (t) are the first kind of the third and fourth sequences (p) and (q). An inversion obtained by multiplying the signal ga (t) by -1 and assigning the first basic unit signal ga (t) assigned to the element of and the second kind of elements of the sequences (p) and (q) And a first basic unit signal -ga (t), respectively, wherein the third and fourth transmission signals Sbp (t) and Sbq (t) are the first of the sequences (p) and (q). The second basic unit signal gb (t) assigned to an element of a kind and obtained by multiplying -1 by the signal gb (t) assigned to an element of the second kind of the sequences (p) and (q) An inspection device each comprising an inverted second basic unit signal -ga (t).
특허청구의 범위 제1항에 있어서, 상기 제1 및 제2의 참조 신호 Ua(t) 및 Ub(t)는 상기 제1 및 제2의 기본 단위 신호 ga(t) 및 gb(t)의 파형과 동일 또는 유사한 파형을 각각 갖는 검사장치.The method of claim 1, wherein the first and second reference signals Ua (t) and Ub (t) are waveforms of the first and second basic unit signals ga (t) and gb (t). Inspection apparatus having the same or similar waveforms, respectively.
특허청구의 범위 제1항에 있어서, 상기 제1 및 제2의 참조 신호 Ua(t) 및 Ub(t)는 상기 송신 수산이 상기 제1 및 제2의 기본 단위 신호 ga(t) 및 gb(t)에 의해 구동될 때 상기 타겟으로부터 상기 수신 수단으로의 반사에 의해 얻은 방향 신호의 파형과 동일 또는 유사한 파형을 각각 갖는 검사장치.The method according to claim 1, wherein the first and second reference signals Ua (t) and Ub (t) have the first and second basic unit signals ga (t) and gb ( an inspection apparatus each having the same or similar waveform as the waveform of the direction signal obtained by the reflection from the target to the receiving means when driven by t).
특허청구의 범위 제1항에 있어서, 상기 제3 및 제4의 참조 신호 Up(t) 및 Uq(t)는 상기 제3 및 제4의 순차 (p) 및 (q)로 파형 신호를 진폭 부호화해서 얻은 신호의 파형과 동일 또는 유사한 파형을 각각 갖는 검사장치.The method of claim 1, wherein the third and fourth reference signals Up (t) and Uq (t) are amplitude-encoded by the third and fourth sequences p and q. Inspection apparatus having a waveform identical or similar to that of a signal obtained by
제1의 순차 (a)에 따른 기본 단위 신호를 발생하고, 상기 신호 ga(t) 및 제2의 순차 (p)와 상기 신호 ga(t) 및 제3의 순차(q)에 각각 따르고 순차로 배열된 제1 및 제2의 송신 신호 Sap(t) 및 Saq(t)로 이루어진 합성 송신 신호 S를 발생하는 발생수단, 상기 발생수단에서 발생된 상기 합성 송신 신호 S를 타겟에 송신하는 송신 수단, 상기 각각의 송신신호 Sap(t) 및 Saq(t) 대 대응하는 제1 및 제2의 방향 신호 Raq(t) 및 Raq(t)로 이루어진 합성 반향 신호 R을 마련하도록 상기 타겟으로 부터 반사된 방향을 수신하는 수신수단, 제1 및 제2의 상관 결과 Caap(t) 및 Caaq(t)를 마련하도록 상기 순차(a)에 따른 제1의 참조 신호Ua(t)를 사용해서 상기 수신 수단에 의해 마련된 상기 상기 반향 신호 Rap(t) 와 Raq(t)를 상관 처리하는 제1의 상관 수단, 제1 및 제2의 압축 펄스 Caap(t) 및 Caaq(t)를 각각 마련하도록 상기 순차(p) 및 (q)에 따른 제2 및 제3의 참조 신호 Up(t) 및 Uq(t)를 사용해서 상기 제1의 상관 수단에 의해 마련된 상기 결과 Caap(t)와 Caaq(t)를 상관 처리하는 제2의 상관 수단과 합성 압축 펄스 C의 베인 로브 레벨이 영이 되기 상기 합성 압축 펄스 C를 마련하도록 상기 제2의 상관 수단에 의해 마련된 상기 압축 펄스 Caapp(t) 및 Caaqq(t)를 가산하는 가산수단을 포함하는 검사 장치.Generate a basic unit signal according to the first sequence (a), and follow the signal ga (t) and the second sequence p, and the signal ga (t) and the third sequence q, respectively, in sequence Generating means for generating a composite transmission signal S composed of the arranged first and second transmission signals Sap (t) and Saq (t), transmitting means for transmitting the composite transmission signal S generated by the generating means to a target; A direction reflected from the target to provide a composite echo signal R consisting of the respective transmitted signals Sap (t) and Saq (t) versus corresponding first and second direction signals Raq (t) and Raq (t) By means of the receiving means using the first reference signal Ua (t) according to the sequence a to provide receiving means for receiving a first and second correlation results Caap (t) and Caaq (t). First correlation means for correlating the provided echo signal Rap (t) and Raq (t), and first and second compression pulses Caap (t) and Caaq (t), respectively; The resultant Caap (t) and Caaq prepared by the first correlation means using the second and third reference signals Up (t) and Uq (t) according to the sequences p and q to prepare. second compression means for correlating (t) and the compression pulses Caapp (t) and Caaqq provided by the second correlation means to provide the synthesis compression pulse C such that the vane lobe level of the synthesis compression pulse C becomes zero. and an adding means for adding (t).
특허청구의 범위 제13항에 있어서, 상기 제1의 순차(a)는 제1 및 제2의 종류의 요소를 갖는 바아커 순차이며, 상기 제2 및 제3의 순차(p) 및 (q)는 제1 및 제2의 종류의 동일 수의 요소를 갖고 상보관계인 검사장치.The method of claim 13, wherein the first sequence (a) is a Barker sequence having elements of the first and second kinds, and the second and third sequences (p) and (q). Is an inspection apparatus having the same number of elements of the first and second types and having a complementary relationship.
특허청구의 범위 제14항에 있어서, 상기 발생수단은 상기 신호 ga(t)가 상기 순차 (a)로 진폭 부호화된 파형을 갖도록 상기 순차 (a)의 상기 요소에 따라 파형신호를 진폭 부호화하는 수단을 포함하는 검사장치.15. The apparatus of claim 14, wherein the generating means comprises means for amplitude encoding the waveform signal according to the element of the sequence (a) such that the signal ga (t) has a waveform encoded in the sequence (a). Inspection device comprising a.
특허청구의 범위 제15항에 있어서, 상기 파형 신호는 단위구형파 신호를 갖고, 상기 기본 단위 신호 ga(t)는 상기 제1의 순차(a)의 상기 제1의 종류의 요소에 할당된 상기 구형파신호 및 상기 순차(a)의 상기 제2의 종류의 요소에 할당되고 상기 구형파 신호에 -1을 곱해서 얻은 반전된 단위 구형파 신호를 포함하는 검사장치.16. The method of claim 15, wherein the waveform signal has a unit square wave signal, and the basic unit signal ga (t) is the square wave assigned to the element of the first kind in the first sequence a. And an inverted unit square wave signal assigned to a signal and the element of the second kind of sequence (a) and obtained by multiplying the square wave signal by -1.
특허청구의 범위 제15항에 있어서, 상기 발생 수단은 상기 기본 단위 신호ga(t)가 상기 순차(a)로 위상 부호화 된 파형을 갖도록 상기 제1의 순차(a)의 상기 요소에 따라 파형신호를 위상 부호화 하는 수단을 포함하는 검사장치.A waveform signal according to claim 15, wherein said generating means has a waveform signal according to said element of said first sequence a such that said basic unit signal ga (t) has a phase coded waveform in said sequence a. And a means for phase-coding the code.
특허청구의 범위 제17항에 있어서, 상기 파형 신호는 단위파 신호를 갖고, 상기 기본 단위 신호 ga(t)는 상기 제1의 순차(a)의 상기 제1의 종류의 요소에 할당된 상기 단위파 신호 및 순차(a)의 상기 제2의 종류의 요소에 할당되고 상기 단위파 신호에 -1을 곱해서 얻은 반전된 단위파 신호를 포함하는 검사장치.The unit of claim 17, wherein the waveform signal has a unit wave signal, and the basic unit signal ga (t) is assigned to the element of the first kind in the first sequence a. And an inverted unit wave signal assigned to the wave signal and the element of the second kind of sequence (a) and obtained by multiplying the unit wave signal by -1.
특허청구의 범위 제18항에 있어서, 상기 단위파 신호는 단위 구형파 신호인 검사장치.20. The inspection apparatus according to claim 18, wherein the unit wave signal is a unit square wave signal.
특허청구의 범위 제18항에 있어서, 상기 단위파 신호는 발진파 신호인 검사장치.The inspection apparatus according to claim 18, wherein the unit wave signal is an oscillation wave signal.
특허청구의 범위 제18항에 있어서, 상기 제1 및 제2의 송신 신호 Sap(t) 및 Saq(t)는 상기 제2 및 제3의 순차 (p) 및 (q)의 상기 제1의 종류의 요소에 할당된 상기 제1의 기본 단위 신호 ga(t) 및 상기 순차 (p) 및 (q)의 상기 제2의 종류의 요소에 할당되고 상기 신호 ga(t)에 -1을 곱해서 얻은 반전된 제1의 기본단위 신호 -ga(t)를 각각 포함하는 검사 장치.19. The method of claim 18, wherein the first and second transmission signals Sap (t) and Saq (t) are the first kind of the second and third sequences (p) and (q). An inversion obtained by multiplying the signal ga (t) by -1 and assigning the first basic unit signal ga (t) assigned to the element of and the second kind of elements of the sequences (p) and (q) An inspection device each comprising a first basic unit signal -ga (t).
특허청구의 범위 제13항에 있어서, 상기 제1의 참조 신호 Ua(t)는 상기 기본 단위 신호 ga(t)의 파형과 동일 또는 유사한 파형을 갖는 검사장치.The inspection apparatus according to claim 13, wherein the first reference signal Ua (t) has a waveform identical or similar to a waveform of the basic unit signal ga (t).
특허청구의 범위 제13항에 있어서, 상기 제1의 참조 신호 Ua(t)는 상기 송신 수단이 기본 단위 신호 ga(t)에 의해 구동될 때 상기 타겟으로부터 상기 수신수단으로의 반사에 의해 얻은 반향 신호의 파형과 동일 또는 유사한 파형을 갖는 검사장치.The method of claim 13, wherein the first reference signal Ua (t) is an echo obtained by reflection from the target to the receiving means when the transmitting means is driven by a basic unit signal ga (t). Inspection device having the same or similar waveform to the waveform of the signal.
특허청구의 범위 제13항에 있어서, 상기 제2 및 제3의 참조 신호 Up(t) 및 Uq(t)는 상기 제2 및 제3의 순차 (p) 및 (q)로 파형 신호를 진폭 부호화해서 얻은 신호의 파형과 동일 또는 유사한 파형을 각각 갖는 검사장치.The method according to claim 13, wherein the second and third reference signals Up (t) and Uq (t) are amplitude-encoded with a waveform signal in the second and third sequences p and q. Inspection apparatus having a waveform identical or similar to that of a signal obtained by
제1의 순차 (a)에 따른 기본 단위 신호 ga(t)를 발생하고 상기 신호 ga(t) 및 제2차 순차(p)에 따른 송신 신호 Sap(t)를 발생하는 발생수단, 상기 발생 수단에서 발생된 상기 신호 Sap(t)를 타겟에 송신하는 송신수단, 상기 신호 Sap(t)에 대응하는 반향 신호 Rap(t)를 마련하도록 상기 타겟에서 반사된 반향을 수신하는 수신수단, 상관 결과 Caap(t)를 마련하도록 상기 순차(a)에 따른 제1의 참조 신호 ua(t)를 사용해서 상기 수신 수단에 의해 마련된 상기 반향 신호 Rap(t)를 상관처리하는 제1의 상관 수단과 압축 펄스 Caapp(t)를 마련하도록 상기 순차(p)에 따른 제2의 참조 신호 up(t)를 사용해서 상기 제1의 상관 수단에 의해 마련된 상기 결과 Caap(t)를 상관 처리하는 제2의 상관 수단을 포함하는 검사 장치.Generating means for generating a basic unit signal ga (t) according to a first sequence (a) and generating a transmission signal Sap (t) according to the signal ga (t) and a second order p; Transmission means for transmitting the signal Sap (t) generated at the target, reception means for receiving the echo reflected from the target to provide an echo signal Rap (t) corresponding to the signal Sap (t), and a correlation result Caap first correlation means and compression pulses for correlating the echo signal Rap (t) provided by the receiving means using the first reference signal ua (t) according to the sequence (a) to provide (t) Second correlation means for correlating the resultant Caap (t) provided by the first correlation means using a second reference signal up (t) according to the sequence p to provide Caapp (t). Inspection device comprising a.
특허청구의 범위 제25항에 있어서, 상기 제1의 순차(a)는 제1 및 제2의 종류의 요소를 갖는 바아커 순차이고, 상기 제2의 (p)는 제1 및 제2의 종류의 요소를 갖고 i=0에서 다른 곳 (i??0)과 비교해서 큰 자기 상관 함수 Ppp(i)를 가는 검사 장치.26. The method of claim 25, wherein the first sequence (a) is a Barker sequence having elements of the first and second types, and the second (p) is the first and second types A device with a factor of and has a large autocorrelation function Ppp (i) at i = 0 compared to other places (i ?? 0).
특허청구의 범위 제26항에 있어서, 상기 발생 수단은 상기 신호 ga(t)가 상기 순차(a)로 진폭 부호화 된 파형을 갖도록 상기 순차 (a)의 상기 요소에 따라 파형신호를 진폭 부호화하는 수단을 포함하는 검사장치.27. The apparatus of claim 26, wherein the generating means comprises means for amplitude encoding the waveform signal according to the element of the sequence (a) such that the signal ga (t) has a waveform amplitude encoded in the sequence (a). Inspection device comprising a.
특허청구의 범위 제27항에 있어서, 상기 파형 신호는 단위구형파 신호를 갖고, 상기 기본 단위 신호 gaq(t)는 상기 제1의 순차(a)의 상기 제1의 종류의 요소에 할당된 상기 구형파 신호 및 상기 순차(a)의 상기 제2의 종류의 요소에 할당되고 상기 구형파 신호에 -을 곱해서 얻은 반전된 단위 구형파 신호를 포함하는 검사장치.28. The method of claim 27, wherein the waveform signal has a unit square wave signal, and the basic unit signal gaq (t) is the square wave assigned to the element of the first kind in the first sequence a. And an inverted unit square wave signal assigned to the signal and the element of the second kind of sequence (a) and obtained by multiplying the square wave signal by-.
특허청구의 범위 제27항에 있어서, 상기 발생 수단으니 상기 기본 단위 신호ga(t)가 상기 순차(a)로 위상 부호화 된 파형을 갖도록 상기 제1의 순차(a)의 상기 요소에 따라 파형신호를 위상 부호화 하는 수단을 포함하는 검사장치.28. A waveform signal according to claim 27, wherein said generating means is such that said basic unit signal ga (t) has a waveform that is phase coded in said sequence a. And a means for phase-coding the code.
특허청구의 범위 제29항에 있어서, 상기 파형 신호는 단위파 신호를 갖고, 상기 기본 단위 신호 ga(t)는 상기 제1의 순차(a)의 상기 제1의 종류의 요소에 할당된 상기 단위파신호 및 순차(a)의 상기 제2의 종류의 요소에 할당되고 상기 단위파 신호에 -1을 곱해서 얻은 반전된 단위파 신호를 포함하는 검사장치.30. The device of claim 29, wherein the waveform signal has a unit wave signal, and the basic unit signal ga (t) is assigned to the element of the first kind in the first sequence a. And an inverted unit wave signal assigned to the wave signal and the element of the second kind of sequence (a) and obtained by multiplying the unit wave signal by -1.
특허청구의 범위 제30항에 있어서, 상기 단위파 신호는 단위 구형파 신호인 검사장치.31. An inspection apparatus according to claim 30, wherein said unit wave signal is a unit square wave signal.
특허청구의 범위 제30항에 있어서, 상기 단위파 신호는 발진파 신호인 검사장치.The inspection apparatus according to claim 30, wherein the unit wave signal is an oscillation wave signal.
특허청구의 범위 제26항에 있어서, 상기 송신 신호 Sap(t)는 상기 제2의 순차(p)의 상기 제1의 종류의 요소에 할당된 상기 기본 단위 신호 ga(t) 및 상기 순차(p)의 상기 제2의 종류의 요소에 할당되고 상기 신호 ga(t)에 -1을 곱해서 얻은 반전된 기본 단위 신호 -ga(t)를 포함하는 검사 장치.27. The system of claim 26, wherein the transmitted signal Sap (t) is the basic unit signal ga (t) and the sequence p assigned to the element of the first kind of the second sequence p. And an inverted basic unit signal -ga (t), assigned to the second kind of elements, and obtained by multiplying the signal ga (t) by -1.
특허청구의 범위 제25항에 있어서, 상기 제1의 참조 신호 Ua(t)는 상기 기본 단위 신호 ga(t)의 파형과 동일 또는 유사한 파형을 갖는 검사장치.The inspection apparatus according to claim 25, wherein the first reference signal Ua (t) has a waveform identical or similar to a waveform of the basic unit signal ga (t).
특허청구의 범위 제25항에 있어서, 상기 제1의 참조 신호 Ua(t)는 상기 송신 수단이 상기 기본 단위 신호 ga(t)의 의해 구동될 때 상기 타겟으로부터 상기 수신수단으로의 반사에 의해 얻은 반향 신호의 파형과 동일 또는 유사한 파형을 갖는 검사장치.26. The apparatus of claim 25, wherein the first reference signal Ua (t) is obtained by reflection from the target to the receiving means when the transmitting means is driven by the basic unit signal ga (t). An inspection apparatus having a waveform identical or similar to a waveform of an echo signal.
특허청구의 범위 제25항에 있어서, 상기 제2의 참조 신호 Up(t)는 상기 제2의 순차(p)로 파형 신호를 진폭 부호화해서 얻은 신호의 파형과 동일 또는 유사한 파형을 갖는 검사장치.The inspection apparatus according to claim 25, wherein the second reference signal Up (t) has a waveform identical or similar to a waveform of a signal obtained by amplitude encoding the waveform signal in the second sequence p.
※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.※ Note: The disclosure is based on the initial application.