KR930006877A - Device for conveying and loading the object to be processed - Google Patents

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KR930006877A KR1019920004018A KR920004018A KR930006877A KR 930006877 A KR930006877 A KR 930006877A KR 1019920004018 A KR1019920004018 A KR 1019920004018A KR 920004018 A KR920004018 A KR 920004018A KR 930006877 A KR930006877 A KR 930006877A
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겐지 요코미죠
마사미 아키모토
유우지 요시모토
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다카시마 히로시
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이노우에 아키라
도오교오 에레구토론 가부시끼가이샤
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Abstract

다운플로우중에 배치된 피처리체에 처리를 하는 여러 개의 처리부에, 피처리체를 반송 및 실어서 이송하기 위한 장치는, 처리부간을 이동이 자유롭게 설치된 반송부와, 반송부를 이동시키는 제1구동기구와, 반송부에 이동이 자유롭게 설치되고, 처리부내에서 소정의 온도로 온도조정된 피처리체에 대하여 사용되는 제1 아암과, 반송부에 이동이 자유롭게 설치되고, 온도조정된 피처리체 이외의 피처리체에 대하여 사용되는 제2아암과, 제1 및 제2아암을 각각 이동시키기 위한 제2 구동기구를 구비하고 있다.An apparatus for conveying, loading and transporting an object to be processed into a plurality of processing units that are subjected to a processing object disposed during downflow includes: a conveying unit freely moved between the processing units, a first driving mechanism for moving the conveying unit; With respect to the to-be-processed object other than the to-be-processed object in which the movement was provided in the conveyance part freely, and used for the to-be-processed object temperature-controlled in the process part, and the conveyance part is freely installed, A second arm to be used and a second drive mechanism for moving the first and second arms, respectively, are provided.

Description

피처리체의 반송 및 실어서 이송하는 장치.A device for conveying, loading and transporting a workpiece.

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음Since this is an open matter, no full text was included.

제1도는 본 발명의 제1실시예에 관련된 반송 및 실어서 이송하는 장치의 개략 평면도,1 is a schematic plan view of an apparatus for conveying and carrying and conveying according to a first embodiment of the present invention,

제2도는 제1도에 도시한 반송기구의 개략 측면도,2 is a schematic side view of the conveying mechanism shown in FIG.

제3도는 반송기구와 클린룸내의 다운플로우와의 관계를 나타낸 개략 측면도,3 is a schematic side view showing the relationship between the transport mechanism and the downflow in the clean room,

제4도는 제1실시예의 변형예에 관련된 반송기구와 클린룸내의 다운 플로우와의 관계를 나타낸 개략 측면도,4 is a schematic side view showing a relationship between a conveyance mechanism and a downflow in a clean room according to a modification of the first embodiment;

제5도는 상기 변형예에 관련된 아암부의 사시도,5 is a perspective view of an arm portion according to the modification,

제6도는 제5도에 나타낸 단열부재의 단면도,6 is a cross-sectional view of the heat insulating member shown in FIG.

제7도는 상기 단열부재의 분해 사시도,7 is an exploded perspective view of the insulating member,

제8도는 본 발명의 제2실시예에 관련된 반송 및 실어서 이송하는 장치의 개략 평면도,8 is a schematic plan view of an apparatus for conveying, carrying and conveying according to a second embodiment of the present invention;

제9도는 제2실시예에 관련된 반송 및 실어서 이송하는 장치의 제어부의 구성를 나타낸 도면,9 is a view showing a configuration of a control unit of a device for conveying, carrying and conveying according to the second embodiment;

제10도는, 각각 제2실시예에 관련된 반송장치의 반송 모우드를 나타내는 시간과 속도의 관계를 나타낸 그라프.FIG. 10 is a graph showing a relationship between time and speed, each showing a conveyance mode of the conveying apparatus according to the second embodiment.

Claims (22)

다운플로우중에 배치된 피처리체에 처리를 하는 여러 개의 처리부에, 상기 처리부간을 이동이 자유롭게 설치된 반송부와, 상기 반송부를 이동시키는 제1구동기구와, 상기 반송부에 이동이 자유롭게 설치되고, 상기 처리부내에서 소정의 온도로 온도조정된 피처리체에 대하여 사용되는 제1 아암과, 상기 반송부에 이동이 자유롭게 설치되고, 상기 온도조정된 피처리체 이외의 피처리체에 대하여 사용되는 제2의 아암과, 상기 제1 및 상기 제2아암을 각각 이동시키기 위한 제2 구동수단과, 로 이루어지는 피처리체의 반송 및 실어서 이송하는 장치.A plurality of processing units for processing the object to be disposed during downflow, the conveying unit freely moved between the processing units, the first drive mechanism for moving the conveying unit, the movement is freely provided in the conveying unit, A first arm used for the object to be temperature-controlled at a predetermined temperature in the processing part, a second arm used for a workpiece other than the temperature-controlled object to which the movement is freely provided; And a second driving means for moving the first and second arms, respectively, and an apparatus for conveying and carrying the object to be processed. 제1항에 있어서, 상기 제1 아암은, 상기 제2아암보다, 상기 다운 플로우의 상류쪽에 배치되어 있는 피처리체의 반송 및 실어서 이송하는 장치.The apparatus according to claim 1, wherein the first arm conveys and loads and transports a workpiece to be disposed upstream of the downflow than the second arm. 제1항에 있어서, 상기 제1 및 제2아암 사이에 설치된 단열수단을 추가로 구비하는 피처리체의 반송 및 실어서 이송하는 장치.The apparatus according to claim 1, wherein the object to be transported and loaded is further provided with a heat insulating means provided between the first and second arms. 제3항에 있어서, 상기 단열수단은, 링형상의 플레임과, 이 플레임 양면에 장착된 2매의 단열판을 가지고 있는 피처리체의 반송 및 실어서 이송하는 장치.The said heat insulation means is an apparatus which conveys, loads, and conveys the to-be-processed object of Claim 3 which has a ring-shaped flame | frame and two heat insulation boards mounted on both sides of this flame. 제3항에 있어서, 상기 단열수단은, 상기 다운플로우가 통과가능한 통로를 가지고 있는 피처리체의 반송 및 실어서 이송하는 장치.The apparatus according to claim 3, wherein the heat insulating means conveys and loads and transports the object to be processed having a passage through which the downflow can pass. 제5항에 있어서, 상기 통로는, 10㎜ ∼30㎜ 의 구멍으로 형성되어 있는 피처리체의 반송 및 실어서 이송하는 장치.The said passage is an apparatus of conveying and loading and conveying the to-be-processed object formed with the hole of 10 mm-30 mm. 제1항에 있어서, 상기 제1 및 제2의 구동수단을 제어하기 위한 제어수단을 추가로 구비하는 피처리체의 반송 및 실어서 이송하는 장치.The apparatus according to claim 1, further comprising control means for controlling the first and second drive means. 제7항에 있어서, 상기 제어수단은, 상기 반송부, 제1아암, 또는 제2의 아암을 이동시킬 때의 가속기간 또는 감속기간에 있어서, 그 가속도를 변화시키는 수단을 가지고 있는 피처리체의 반송 및 실어서 이송하는 장치.The conveyance of the to-be-processed object of Claim 7 in which the said control means has a means for changing the acceleration in the acceleration period or deceleration period at the time of moving the said conveyance part, a 1st arm, or a 2nd arm. And a device for carrying and transporting. 제8항에 있어서, 상기 제어수단은, 상기 가속도를 2단계로 변화시키는 수단을 가지고 있는 피처리체의 반송 및 실어서 이송하는 장치.The apparatus according to claim 8, wherein the control means conveys, loads, and transports the object to be processed, which has a means for changing the acceleration in two stages. 제7항에 있어서, 상기 제어수단은, 상기 피처리체를 상기 아암이 유지하고 있는가의 여부에 대응하여, 상기 반송부, 제1의 아암, 또는 제2의 아암의 이동모우드를 변경하는 수단을 가지고 있는 피처리체의 반송 및 실어서 이송하는 장치.The said control means has a means for changing the moving mode of the said conveyance part, a 1st arm, or a 2nd arm corresponding to whether the said arm hold | maintains the said to-be-processed object. An apparatus for conveying, carrying and transporting an object to be processed. 제10항에 있어서, 상기 이동모우드 변경수단은, 상기 제어수단에 접속된 메모리를 포함하고 있는 피처리체의 반송 및 실어서 이송하는 장치.The apparatus according to claim 10, wherein said moving mode changing means conveys, loads, and transfers a target object including a memory connected to said control means. 제10항에 있어서, 상기 이동모우드 변경수단은, 상기 아암 위에 유지된 피처리체를 검출하는 검출수단을 포함하고 있는 피처리체의 반송 및 실어서 이송하는 장치.The apparatus according to claim 10, wherein said moving mode changing means includes a detecting means for detecting an object to be held on said arm. 다운 플로우중에 배치된 피처리체에 처리를 하는 여러 개의 처리부에, 상기 처리부간을 이동이 자유롭게 설치된 반송부와, 상기 반송부에 이동이 자유롭게 설치되고, 상기 처리부내에서 소정의 온도로 온도조정된 피처리체에 대하여 사용되는 제1 아암과, 상기 반송부에 이동이 자유롭게 설치되고, 상기 온도조정된 피처리체 이외의 피처리체에 대하여 사용되는 제2의 아암과, 상기 제1 및 상기 제2아암 사이에 설치된 단열수단과, 로 이루어지는 피처리체의 반송 및 실어서 이송하는 장치.A plurality of processing units for processing on the object to be disposed during the downflow, the transfer unit is provided freely moved between the processing unit, the movement is freely installed in the conveying unit, the temperature adjusted to a predetermined temperature in the processing unit Between a 1st arm used with respect to a lid, a 2nd arm used with respect to a to-be-processed object other than the said temperature-controlled to-be-moved | moving part in the said conveyance part freely, and between the said 1st and said 2nd arm. An apparatus for conveying, carrying, and transporting an insulated means provided and an object to be processed. 제13항에 있어서, 상기 제1 아암은, 상기 제2아암보다, 상기 다운플로우의 상류쪽에 배치되어 있는 피처리체의 반송 및 실어서 이송하는 장치.The apparatus according to claim 13, wherein the first arm conveys and loads and transports a workpiece to be disposed upstream of the downflow than the second arm. 제13항에 있어서, 상기 단열수단은, 링형상의 플레임과, 이 플레임 양면에 장착된 2매의 단열판을 가지고 있는 피처리체의 반송 및 실어서 이송하는 장치.The said heat insulation means is an apparatus which conveys, loads, and conveys the to-be-processed object of Claim 13 which has a ring-shaped flame | frame and two heat insulation boards mounted on both surfaces of this flame. 제13항에 있어서, 상기 단열수단은, 상기 다운플로우가 통과가능한 통로를 가지고 있는 피처리체의 반송 및 실어서 이송하는 장치.The apparatus according to claim 13, wherein the heat insulation means conveys and loads and transports the object to be processed having a passage through which the downflow can pass. 제16항에 있어서, 상기 통로는, 10㎜φ ∼30㎜φ 의 구멍으로 형성되어 있는 피처리체의 반송 및 실어서 이송하는 장치.The apparatus according to claim 16, wherein the passage is conveyed and loaded and transported of the object to be formed formed by a hole of 10 mmφ to 30 mmφ. 다운플로우중에 배치된 피처리체에 처리를 하는 여러 개의 처리부에, 상기 처리부간을 이동이 자유롭게 설치된 반송부와, 상기 반송부를 이동시키는 제1구동수단과, 상기 반송부에 이동이 자유롭게 설치되고, 상기 피처리체를 유지하는 여러 개의 아암과, 상기 여러 개의 아암을 각각 이동시키기 위한 제2구동수단과, 상기 제1 및 제2구동수단을 제어하기 위한 제어수단, 이 제어수단은, 상기 반송부 또는 상기 아암을 이동시킬 때의 가속기간 또는 감속기간에 있어서, 그 가속도를 변화시키는 수단, 을 가지고 있는 피처리체의 반송 및 실어서 이송하는 장치A plurality of processing units for processing the object to be disposed during downflow, the conveying unit freely moved between the processing units, the first driving means for moving the conveying unit, the movement is freely provided in the conveying unit, A plurality of arms holding the object to be processed, second driving means for moving the plurality of arms, and control means for controlling the first and second driving means, the control means being the conveying unit or the An apparatus for conveying and loading and carrying an object to be processed, which has means for changing its acceleration in an acceleration period or a deceleration period when the arm is moved. 제18항에 있어서, 상기 제어수단은, 상기 가속도를 2단계로 변화시키는 수단을 가지고 있는 피처리체의 반송 및 실어서 이송하는 장치.19. The apparatus according to claim 18, wherein said control means conveys, loads, and conveys the object to be processed having means for changing said acceleration in two steps. 제18항에 있어서, 상기 제어수단은, 상기 피처리체를 상기 아암이 유지하고 있는가의 여부에 대응하여, 상기 반송부, 또는 상기 아암의 이동 모우드를 변경하는 수단을 가지고 있는 피처리체의 반송 및 실어서 이송하는 장치.The conveyance and seal of the to-be-processed object of Claim 18 in which the said control means has a means for changing the conveyance part or the moving mode of the arm according to whether the arm holds the to-be-processed object. Come forward the device. 제20항에 있어서, 상기 이동모우드 변경수단은, 상기 제어수단에 접속된 메모리를 포함하고 있는 피처리체의 반송 및 실어서 이송하는 장치.21. The apparatus according to claim 20, wherein said moving mode changing means conveys, loads, and transfers a target object including a memory connected to said control means. 제20항에 있어서, 상기 이동모우드 변경수단은, 상기 아암 위에 유지된 피처리체를 검출하는 검출수단을 포함하고 있는 피처리체의 반송 및 실어서 이송하는 장치.21. An apparatus according to claim 20, wherein said moving mode changing means includes a detecting means for detecting an object to be held on said arm. ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.※ Note: The disclosure is based on the initial application.
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