KR930003440A - 칼라필터 제조용 열처리 시스템 - Google Patents
칼라필터 제조용 열처리 시스템 Download PDFInfo
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Abstract
내용 없음.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 이 발명에 따른 열처리 시스템의 실시예를 나타낸 도면이다.
Claims (4)
- 칼라필터 제조공정 중 열처리 시스템에 있어서, 열처리할 웨이퍼와, 상기 웨이퍼를 시스템안으로 이동시키고 또한 열처리 공정이 끝난후 다음 공정으로 이동시키는데 사용되는 레일과, 상기 시스템 안으로 이동된 웨이퍼가 고정된 윗부분에 설치된 마이크로파 발생장치와 상기 시스템을 유지할수 있는 박스를 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 칼라필터 제조용 열처리 시스템.
- 제1항에 있어서, 상기 열처리 시스템은 여러 온도단계의 열처리 공정을 한 시스템에서 행함을 특징으로 하는 칼라필터 열처리 시스템.
- 제1항에 있어서, 상기 열처리 공정은 마이크로파를 이용함을 특징으로 하는 칼라필터 열처리 시스템.
- 제1항에 있어서, 상기 마이크로파 발생장치에서 발생된 마이크파 발생장치에서 발생된 마이크로파이 에너지변화는 마이크로파를 만드는 전기적 특성인 전류, 전압등의 조절에 의함을 특징으로 하는 칼라필터 제조용 열처리 시스템.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1019910012340A KR930003440A (ko) | 1991-07-19 | 1991-07-19 | 칼라필터 제조용 열처리 시스템 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1019910012340A KR930003440A (ko) | 1991-07-19 | 1991-07-19 | 칼라필터 제조용 열처리 시스템 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR930003440A true KR930003440A (ko) | 1993-02-24 |
Family
ID=67310147
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1019910012340A KR930003440A (ko) | 1991-07-19 | 1991-07-19 | 칼라필터 제조용 열처리 시스템 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR930003440A (ko) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9102047B2 (en) | 2009-10-08 | 2015-08-11 | Sung Chul Park | Adjustable length adapter and multi-device with the same |
-
1991
- 1991-07-19 KR KR1019910012340A patent/KR930003440A/ko not_active IP Right Cessation
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9102047B2 (en) | 2009-10-08 | 2015-08-11 | Sung Chul Park | Adjustable length adapter and multi-device with the same |
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