KR920010278A - 진단가스 모니터링 공정 - Google Patents

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Abstract

내용 없음

Description

진단가스 모니터링 공정
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 진단가스 모니터링 시스템 전체의 개략적 블록선도.
제2도는 제1도는 제1도의 불순물 분석기 모듈(module)을 더욱 상세하게 나타낸 블록선도.
제3a도내지 제3f도는 탄화수소 불순물 분석기와 연관된 불꽃 이온화 검출기로부터 분석자료를 진단하는 루울 베이스(rule base)프로그램의 논리 순서도.

Claims (11)

  1. 공정가스 스트리임 중 O₂,N,Ar 또는 H₂로 이루어진 그룹으로부터 미량의 오염물을 연속적으로 분석하고, 그리고 상기 공정가스 스트리임중 그러한 미량의 오염물을 나타내는 자료를 판정, 저장 및 기록하고, 저장된 자료를 분석하여 틀린 자료를 판정하고 그리고 상기 틀린 분석자료를 야기시키는 조건을 보정하는 하기 단계들로 이루어진 보정 작용을 판정하는 미량의 오염물을 연속적으로 분석하기 위한 공정 : 상기 공정가스 스트리임중 자료를 채취하여 스트리임의 표본 가스를 제공하는 단계; 상기 스트리밍의 표본 가스를 다수의 분석기를 통해 통과시켜서 O₂,H₂,CO,CO₂, 탄화수소, 수분(H₂O) 및 미립자 재료로 이루어진 그룹으로부터, 상기 공정가스 중의 선택과는 다르게, 선택된 하나 또는 그 이상의 미량의 오염물의 존재를 확인하는 단계; 조사를 실행하여 상기 공정가스스트리임증 각각의 미량의 오염물에 대한 불순물 수준에 상응하는 각각의 분석기의 출력신호를 생성하는 단계; 하나 또는 그 이상의 상기 분석기의 조작 신호에 대응되는 분석기 조작의 미리 선택된 파라메터를 나타내는 상태 신호를 생성하는 단계; 자료값의 형태로 저장하기 위해 상기 상태 신호와 출력신호를 컴퓨터에 전송하는 단계; 하나 또는 그 이상의 루울이 존재 또는 존재하지 않는 문제를 판정하기 위해 문제의 특정한 설명을 규정하는 루울 베이스 프로그램을 제공하여, 각 루울의 시험을 토대로 문제를 판정하기 위해 상기 자료값의 문제 분석을 수행하는 단계; 컴퓨터 호환성 언어로 상기 루울 베이스 프로그램을 실행하는 전문 쉘을 제공하는 단계; 문제 조건의 미리 선택된 수에 대한 보정 작용의 파일을 저장하는 단계; 상기 루울 베이스 프로그램에서 미리 선택된 체계로 루울의 시험을 선택하기 위해 상기 전문 쉘을 조정하고 그리고 상기 보정 작용의 파일에서 미리 선택된 보정 작용으로 상기 루울 베이스 프로그램의 실행에 의해 판정된 문제를 조정하기 위한 명령 프로그램을 제공하는 단계.
  2. 제1항에 있어서, 각각의 판정된 문제와 대응하는 보정작용이 오퍼레이터의 존재하에 디스플레이 모니터 상에 디스플레이 되는 것을 특징으로 하는 공정.
  3. 제2항에 있어서, 상기 분석기로 부터의 각각의 출력 신호가 시험을 수행할 때 미량의 오염물 수준을 나타내는 아나로그 또는 디지털 형태로서 분석자료와 대응하는 것을 특징으로 하는 공정.
  4. 제3항에 있어서, 아나로그 자료를 상기 컴퓨터에 저장하기 위해 디지털 신호로 전환하는 것을 특징으로 하는 공정.
  5. 제3항에 있어서, 상태 신호가 적어도 하나 이상의 다음 파라메터: 각 분석기에 대한 가스표본 압력, 분석기 조작범위, 온도, 흐름조건 및 밸브 위치를 대신해서 생성되는 것을 특징으로 하는 공정.
  6. 제1항에 있어서, 상기 공정분석기가 산소분석기, 수분분석기, 수소 및 일산화탄소 분석기, 전체 탄화수소 분석기 및 입자분석기로 이루어지는 것을 특징으로 하는 공정.
  7. 제6항에 있어서, 상기 입자 분석기가 표준 레이저 입자계수기와 응결핵 계수기들을 포함하는 것을 특징으로 하는 공정.
  8. 제6항에 있어서, 루울 베이스 프로그램은 역방향 연쇄없이 선형으로 진행되어 실행되는 것을 특징으로 하는 공정.
  9. 제8항에 있어서, 상기 루울 베이스 프로그램은 오퍼레이터의 판정을 요구하고 그리고 상기 오퍼레이터와의 다이아 로그를 위해 상기 루울 베이스 프로그램에 의해 추가의 상태 입력정보 수용을 제공하는 대화형 프로그램인 것을 특징으로 하는 공정.
  10. 제9항에 있어서, 오퍼레이터가 존재하지 않는 것으로 인정될 때 모든 판정된 문제가 인쇄를 위해 컴퓨터 디스크 파일에 지정되는 것을 특징으로 하는 공정.
  11. ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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