Claims (5)
조성식이 Fea Xc Me Cf로 표시되고, X는 Cu, Pd, Ag, Pt, Au 중에서 적어도 일종으로 되는 원소 또는 그 혼합물이고, M은 Ti, Zr, Hf, V, Nb, Ta, Mo, W 중 적어도 일종으로 되는 금속 원소 또는 그 혼합물이고, 조성비 a,c,e,f는 원자 %로 50a95 0.1c5 2e25 0.5f25 a+c+e+f=100 이 되는 관계를 만족시키는 것과 함께, 그 조직이 기본적으로 평균 결정 입경이 0.08㎛이하의 미세한 결정입 부터되고, 그의 일부에 원소 M의 탄화물의 결정상을 함유하는 것을 특징으로 하는 연자성 합금막.The composition formula is represented by Fea Xc Me Cf, X is at least one of Cu, Pd, Ag, Pt, Au, or a mixture thereof, and M is Ti, Zr, Hf, V, Nb, Ta, Mo, W At least one metal element or a mixture thereof, and the composition ratios a, c, e, and f are 50% by atom a 95 0.1 c 5 2 e 25 0.5 f In addition to satisfying the relationship of 25 a + c + e + f = 100, the structure is basically composed of fine grains with an average grain size of 0.08 µm or less, and contains a crystal phase of the carbide of element M in a part thereof. Soft magnetic alloy film, characterized in that.
조성식 Fez Qb Xc Me Cf로 표시되고, Q가 Co, Ni중 적어도 일종으로 되는 금속원소 또는 그 혼합물이고, X는 Cu, Pd, Ag, Pt, Au 중에서 적어도 일종으로 되는 금속 원소 또는 그 혼합물이고, M는 Ti, Zr, Hf, V, Ta, Mo, W 중 적어도 일종으로 되는 금속 원소 또는 그 혼합물이고, 조성비 a,c,e,f는 원자 %로 50a95 0.1b5 0.1c5 2e25 0.5f25 a+c+e+f=100 이 되는 관계를 만족 시킴과 함께, 그 조직이 기본적으로 평균 결정 입경이 0.08㎛이하의 미세한 결정입으로 되고, 그 일부에 원소 M의 탄화물의 결정상을 포함하는 것을 특징으로 하는 연자성 합금막.Is represented by the composition formula Fez Qb Xc Me Cf, Q is at least one of Co and Ni, or a mixture thereof, X is at least one of Cu, Pd, Ag, Pt, Au, or a mixture thereof, M is a metal element or a mixture thereof comprising at least one of Ti, Zr, Hf, V, Ta, Mo, and W, and the composition ratios a, c, e, and f are 50% by atom. a 95 0.1 b 5 0.1 c 5 2 e 25 0.5 f While satisfying the relationship of 25 a + c + e + f = 100, the structure is basically a fine grain having an average grain size of 0.08 µm or less, and part of which contains the crystal phase of the carbide of element M. Soft magnetic alloy film, characterized in that.
조성식이 Fea Xc Me Cf로 표시되고, X는 Cu, Pd, Ag, Pt, Au 중에서 적어도 일종으로 되는 금속원소 또는 그 혼합물이고, Z는 Cr, Y, Ru, N 중에서 적어도 일종으로 되는 원소 또는 그 혼합물이고, M는 Ti, Zr, Hf, V, Ta, Mo, W 중 적어도 일종으로 되는 금속 원소 또는 그 혼합물이고, 조성비 a,c,e,f는 원자 %로 50a95 0.1c5 0.5d10 2e25 0.5f25 a+c+e+f=100 이 되는 관계를 만족 시킴과 함께, 그 조직이 기본적으로 평균 결정 입경이 0.08㎛이하의 미세한 결정입으로 되고, 그 일부에 원소 M의 탄화물의 결정상을 포함하는 것을 특징으로 하는 연자성 합금막.The composition formula is represented by Fea Xc Me Cf, X is at least one metal element or a mixture thereof among Cu, Pd, Ag, Pt, Au, and Z is at least one element among Cr, Y, Ru, N or its M is a metal element which is at least one of Ti, Zr, Hf, V, Ta, Mo, and W or a mixture thereof, and the composition ratios a, c, e, f are 50% by atom a 95 0.1 c 5 0.5 d 10 2 e 25 0.5 f While satisfying the relationship of 25 a + c + e + f = 100, the structure is basically a fine grain having an average grain size of 0.08 µm or less, and part of which contains the crystal phase of the carbide of element M. Soft magnetic alloy film, characterized in that.
조성식이 Fea Qb Xc Zd Me Cf로 표시되고, Q가 Co, Ni 중에서 적어도 일종으로 되는 금속 원소 또는 그 혼합물이고, X는 Cu, Pb, Ag, Pt, Au 중 적어도 일종으로 되는 금속 원소 또는 그 혼합물이고, Z는 Cr, Y, Ru, Ir, Rh, N 중에서 적어도 일종으로 되는 금속 원소 또는 그 혼합물이고, M는 Ti, Zr, Hf, V, Nb, Ta, Mo, W 중 적어도 일종으로 되는 금속 원소 또는 그 혼합물이고, 그 조성비 a,c,e,f는 원자 %로, 50a95 0.1b5 0.1c5 0.5d10 2e25 0.5f25 a+c+e+f=100 이 되는 관계를 만족시킴과 함께, 그 조직이 기본적으로 평균 결정 입경이 0.08㎛이하의 미세한 결정입으로 되고, 그 일부에 원소 M의 탄화물의 결정상을 함유하는 것을 특징으로 하는 연자성 합금막.The composition is represented by Fea Qb Xc Zd Me Cf, Q is at least one of Co and Ni, or a mixture thereof, and X is at least one of Cu, Pb, Ag, Pt and Au, or a mixture thereof. And Z is at least one of Cr, Y, Ru, Ir, Rh, and N, or a mixture thereof, and M is at least one of Ti, Zr, Hf, V, Nb, Ta, Mo, and W. Element or a mixture thereof, and the composition ratios a, c, e, and f are atomic%, a 95 0.1 b 5 0.1 c 5 0.5 d 10 2 e 25 0.5 f While satisfying the relationship of 25 a + c + e + f = 100, the structure is basically a fine grain having an average crystal grain size of 0.08 µm or less, and part of which contains the crystal phase of the carbide of element M. Soft magnetic alloy film, characterized in that.
제1항 내지 제4항의 조직이 평균 결정 입경 0.08㎛이하의 미세한 결정입과 비정질과의 혼재한 조직이고, 미세 결정입의 일부에 원소 M의 탄화물의 결정상을 함유하는 것을 특징으로 하는 연자성 합금막.The soft magnetic alloy according to claim 1, wherein the structure of claim 1 is a mixed structure of fine grains having an average grain size of 0.08 μm or less and amorphous, and contains a crystal phase of carbide of element M in a part of the fine grains. membrane.
※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.※ Note: The disclosure is based on the initial application.