KR920006973B1

KR920006973B1 - Position decision system

Info

Publication number: KR920006973B1
Application number: KR1019900001947A
Authority: KR
Inventors: 나가야쓰 이사오
Original assignee: 미크론 인스트루먼트 인코포레이티드; 마사또 이께우찌
Priority date: 1989-02-17
Filing date: 1990-02-17
Publication date: 1992-08-22
Also published as: KR900013366A

Abstract

내용 없음.No content.

Description

Positioning system

제1도는 본 발명의 제1실시예를 나타내는 개략도.1 is a schematic view showing a first embodiment of the present invention.

제2도는 동실시예에 있어서의 위치센서의 출력특성을 나타내는 도면.2 is a diagram showing output characteristics of a position sensor in the embodiment.

제3도는 동실시예에 있어서의 콘트롤러(controller)의 구성을 나타내는 블록도.3 is a block diagram showing the configuration of a controller in the embodiment.

제4도는 본 발명의 제2실시예의 콘트롤러를 나타내는 블록도.4 is a block diagram showing a controller of a second embodiment of the present invention.

제5도는 동실시예의 개략도.5 is a schematic view of the same embodiment.

제6도는 동실시예의 신호파형을 나타내는 파형도.6 is a waveform diagram showing a signal waveform of the embodiment.

제7a도, 제7b도는 동실시예의 자기회로를 나타내는 정면도 및 측면도.7A and 7B are front and side views showing the magnetic circuit of the embodiment.

제8도는 동실시예의 일부분을 나타내는 회로도.8 is a circuit diagram showing a portion of the embodiment.

제9도는 제8도 부분의 타이밍챠트.9 is a timing chart of the FIG. 8 portion.

제10도는 본 발명의 제3실시예의 개략도.10 is a schematic diagram of a third embodiment of the present invention.

제11도는 동실시예의 신호파형을 나타내는 파형도.Fig. 11 is a waveform diagram showing a signal waveform of the embodiment.

제12도는 동실시예의 콘트롤러를 나타내는 블록도.12 is a block diagram showing the controller of the embodiment.

제13도는 동실시예의 일부분을 나타내는 회로도.13 is a circuit diagram showing a portion of the embodiment.

제14도는 본 발명의 제4실시예의 일부를 나타내는 개략도.14 is a schematic view showing part of a fourth embodiment of the present invention.

제15a도-제15d도는 동실시예에서의 자기감응소자 및 자기회로를 나타내는 도면.15A to 15D show a magnetic sensitive element and a magnetic circuit in the same embodiment.

제16도는 동실시예의 회로구성을 나타내는 블록도.Fig. 16 is a block diagram showing the circuit configuration of the embodiment.

제17도 내지 제19도는 동실시예의 각 신호파형을 나타내는 파형도.17 to 19 are waveform diagrams showing respective signal waveforms of the embodiment.

제20도는 동실시예에서의 MPU(micro processing unit) 처리플로우를 나타내는 플로우챠트.20 is a flowchart showing a micro processing unit (MPU) processing flow in the embodiment.

제21도는 본 발명의 제5실시예의 일부를 나타내는 개략도.21 is a schematic view showing a part of a fifth embodiment of the present invention.

제22a도-제22e도는 동실시예에 있어서의 자기감응소자 및 자기회로를 나타내는 도면.22A to 22E show a magnetic sensitive element and a magnetic circuit in the same embodiment.

제23도는 동실시예의 회로구성을 나타내는 블록도.Fig. 23 is a block diagram showing the circuit construction of the embodiment.

제24도 내지 제26도는 동실시예의 각 신호파형을 나타내는 파형도.24 to 26 are waveform diagrams showing respective signal waveforms of the embodiment.

제27도는 동실시예에 있어서의 MPU 처리플로우를 나타내는 플로우챠트.27 is a flowchart showing an MPU processing flow in the embodiment.

제28도는 본 발명의 제6실시예의 일부를 나타내는 개략도.28 is a schematic view showing a portion of a sixth embodiment of the present invention.

제29a도-제29d도는 동실시예에 있어서의 자기감응소자 및 자기회로를 나타내는 도면.29A to 29D show a magnetic sensitive element and a magnetic circuit in the same embodiment.

제30도는 동실시예의 회로구성을 나타내는 블록도.30 is a block diagram showing a circuit configuration of the embodiment.

제31도는 동실시예의 타이밍챠트.31 is a timing chart of the same embodiment.

제32도는 동실시예에 있어서의 MPU 처리플로우를 나타내는 프로우챠트이다.32 is a flowchart showing the MPU processing flow in the embodiment.

본 발명은 가동부를 직선상, 원형상등의 이동로상에 있는 복수의 위치중 어느것에 위치결정하는 위치결정시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a positioning system for positioning the movable portion at any one of a plurality of positions on a moving path such as a straight line, a circular shape, and the like.

종래에는 가동부를 직선상, 원형상등의 이동로상의 소정위치에 이동시켜 정지시키는 위치결정방식으로서는 가동부의 정지위치를 그 이동로상의 어느점에서도 소프트웨어로 자유롭게 설정시킬 수 있는 유연성을 지닌 인텔이젠트(intelligent) 위치결정 액튜에이터가 근자에 개발되어 있다. 예를들어 가동부의 위치를 엔코더에 의해 검출하여 그 엔코더의 출력펄스를 카운터하고, 그 카운트값을 참조함으로써 가동부를 에어실신더등에 의해 직선상, 원형상등의 이동로상중 어느점에도 임의로 정지시킬수가 있다. 그러나, 그 위치결정 액튜에이터에서는 엔코더등을 이용하여 가동부를 이동로상의 어느점에서도 소프트웨어로 위치결정할 수 있도록 구성되어 있는 것으로써, 가동부를 이동로상의 미리 결정되어 있는 복수의 점 어느것에 위치결정한다는 단순동작을 행하는 경우에는 기능이 많아 조작도 복잡하며 구성이 복잡하여 고가로 된다. 또한, 에어실린더 등을 ON/OFF 시켜 가동부의 이동/정지를 행하는 경우에는 가동부가 정지위치보다 오버런(overrun)하는 경우도 있으며, 예를들어 액튜에이터를 이용한 경우에는 가동부의 위치결정오차가 1㎜ 정도로 위치결정의 정밀도가 나쁜 것이다.Conventionally, as an positioning method for moving a moving part to a predetermined position on a moving path such as a straight line, a circular shape, and the like, the Intelent (with flexibility to set the stop position of the moving part freely by software at any point on the moving path) intelligent positioning actuators have been developed in recent years. For example, the encoder detects the position of the movable part, counts the output pulse of the encoder, and refers to the count value to freely stop the movable part at any point in the linear or circular motion path by means of an air cylinder. have. However, the positioning actuator is configured so that the moving part can be positioned by software at any point on the moving path by using an encoder or the like, thereby positioning the moving part at a plurality of predetermined points on the moving path. In the case of performing an operation, there are many functions, an operation is complicated, and a structure is complicated, and it becomes expensive. In addition, when moving / stopping the movable part by turning on / off the air cylinder or the like, the movable part may overrun than the stop position. For example, when an actuator is used, the positioning error of the movable part is about 1 mm. Positioning accuracy is bad.

본 발명의 목적은 가동부를 미리 결정하고 있는 복수의 위치에 선택적으로 위치결정하도록 구성함으로써 구성의 간단하여 가격이 저렴하게 됨과 동시에 조작이 간단하여 가동부의 위치결정의 정밀도가 우수한 위치 결정시스템을 제공하는데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a positioning system that is configured to selectively position a plurality of positions that are previously determined for a movable part, which is simple in configuration, low in cost, and simple in operation, and excellent in positioning accuracy of the movable part. have.

본 발명의 다른 목적은 위치센서가 작아 구성이 간단한 위치결정시스템을 제공하는데 있다.Another object of the present invention is to provide a positioning system having a small position sensor and a simple configuration.

이하, 본 발명의 실시예를 첨부도면에 따라 설명한다. 제1도는 본 발명의 제1실시예를 나타내는 것으로써, 액튜에이터본체 11은 볼스크류(ball screw), 밸브등이 이용되며, 서보모터(servomotor) 12에 의해 구동되어 가동부 13을 직선상 내지는 원형상등의 이동로상에 있어서 미리 정해진 복수의 정지위치, 예를들어 이동로상의 정지위치 A부근과 정지위치 B부근과의 사이에서 이동된다. 가동부 13에는 마그네트 14가 일체로 고정되며, 가동부 13이 정지하는 정지위치 A, B에 위치센서 15, 16이 배치된다. 위치검출기 15, 16은 각각 마그네트 14를 가동기 13의 정지위치 A, B부근의 한정된 범위에서 검출함으로써 가동부 13의 정지위치 A, B부근의 한정된 범위에서 검출하는 것이며, 제2도에 도시한 바와같이 출력신호가 가동부 13의 정지위치 A, B부근에서 선형으로 변환하여 가동부 13의 정지위치 A, B에서는 기준치 Vr로 된다. 콘트롤러 17은 위치센선 15, 16의 각 출력신호를 각각 피드백(feedback)하여 기준치 Vr과의 차이를 취하고, 그 차이에 의해 모터 12에 위치서보(servo)를 걸어 가동부 13을 위치결정지령에 부응하여 복수의 정지위치 A, B 어느것에 정지된다.Best Mode for Carrying Out the Invention Embodiments of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings. 1 shows a first embodiment of the present invention, in which the actuator body 11 is a ball screw, a valve, or the like, and is driven by a servomotor 12 so that the movable portion 13 is linear or circular. The moving path is moved between a plurality of predetermined stop positions, for example, near the stop position A and near the stop position B on the movement path. The magnet 14 is integrally fixed to the movable portion 13, and the position sensors 15 and 16 are disposed at the stop positions A and B at which the movable portion 13 stops. The position detectors 15 and 16 detect the magnet 14 in the limited range near the stop positions A and B of the mover 13, respectively, and detect the magnet 14 in the limited range near the stop positions A and B of the movable unit 13, as shown in FIG. Similarly, the output signal is converted linearly near the stop positions A and B of the movable section 13 to become the reference value Vr at the stop positions A and B of the movable section 13. The controller 17 feeds back each output signal of the position lines 15 and 16, takes a difference from the reference value Vr, and sets a servo to the motor 12 to respond to the positioning command. A plurality of stop positions A and B are stopped.

제3도는 상기 콘트롤러 17의 구성을 나타낸다. 콘트롤러 17은 가동부 13의 이동방향을 절환함으로써 위치결정의 지령을 부여하는 스위치 18, 연산증폭기 19 및 저항 20으로 되는 증폭회로 21, 연산증폭기 22 및 저항 23으로 되는 증폭회로 24, 증폭기로 되는 모터구동회로 25로써 구성된다. 증폭회로 21은 위치검출기 16의 출력신호 및 도시되지 않은 기준전원에서의 기준전압 Vr이 입력되며, 증폭회로 22는 위치검출기 15의 출력신호 및 도시되지 않은 기준전원에서의 기준전압 Vr이 입력된다. 가동부 13을 우측방향으로 이동시켜 정지위치 B에 정지시키는 경우에는 스위치 18이 증폭회로 21측에 절환됨으로써, 가동부를 위치 B로 위치결정시키기 위한 위치결정지령이 부여되며, 위치센서 16의 출력신호가 증폭회로 21로 가서 기준전원으로부터의 기준전압 Vr과 비교되어 그 편자차 검출된다. 증폭회로 21의 출력신호는 스위치 18을 통하여 모터구동 회로 25로 입력되며, 모터구동회로 25는 그 입력신호에 의해 모터 12를 구동하여 가동부 13을 우측방향으로 이동시킨다.3 shows the configuration of the controller 17. The controller 17 switches the moving direction of the movable part 13 to switch 18, an operational amplifier 19, and an amplifier circuit 21 comprising an operational amplifier 19 and a resistor 20, an amplifier circuit 24 consisting of an operational amplifier 22 and a resistor 23, and a motor driving circuit comprising an amplifier. It consists of 25. The amplifying circuit 21 receives the output signal of the position detector 16 and the reference voltage Vr from the reference power supply (not shown), and the amplifying circuit 22 receives the output signal of the position detector 15 and the reference voltage Vr from the reference power supply (not shown). When the movable part 13 is moved to the right to stop at the stop position B, the switch 18 is switched to the amplifying circuit 21 side, whereby a positioning command for positioning the movable part to the position B is given, and the output signal of the position sensor 16 is The amplifier circuit 21 goes to the reference voltage Vr from the reference power supply and detects the deviation. The output signal of the amplifying circuit 21 is input to the motor driving circuit 25 through the switch 18, and the motor driving circuit 25 drives the motor 12 by the input signal to move the movable part 13 to the right direction.

따라서, 가동부 13은 우측단의 정지위치 B로 이동하도록 위치 서-보가 가동되어, 정지위치 B에 높은 정밀도로써 정지한다.Therefore, the position servo is moved so that the movable portion 13 moves to the stop position B at the right end, and stops at the stop position B with high precision.

또한, 가동부 13을 좌측방향으로 이동시켜 정지위치 A에 정지시키는 경우에는 스위치 18이 증폭회로 24측에 절환됨으로써, 가동부를 위치 A로 위치결정시키기 위한 위치결정지령이 부여되며, 위치검출기 15의 출력신호가 증폭회로 24로 기전전원으로부터의 기준전압 Vr과 비교되어 그 편차가 검출된다. 증폭회로 24의 출력신호는 스위치 18을 통하여 모터구동회로 25로 입력되며, 모터구동회로 25는 그 입력신호에 의해 모터 12를 구동하여 가동부 13을 좌측방향으로 이동시킨다. 따라서 가동부 13은 좌측단의 정지위치 A로 이동하도록 위치 서-보가 가동되며, 정지위치 A에 높은 정밀도로서 정지한다.In addition, when the movable section 13 is moved to the left to stop at the stop position A, the switch 18 is switched to the amplification circuit 24 side, whereby a positioning command for positioning the movable section to the position A is given, and the output of the position detector 15 is output. The signal is compared to the reference voltage Vr from the electromotive power supply to the amplifier circuit 24 and the deviation is detected. The output signal of the amplifying circuit 24 is input to the motor driving circuit 25 through the switch 18, and the motor driving circuit 25 drives the motor 12 by the input signal to move the movable part 13 to the left direction. Therefore, the position servo is moved so that the movable part 13 moves to the stop position A of the left end, and it stops with high precision at the stop position A. FIG.

한편, 본 실시예에서는 가동부 13의 정지위치가 2점 A, B이나, 위치검출기를 A, B전의 중간에 배치하여 가동부 13을 A, B점의 중간에서도 검출하고, 그 위치센서의 출력신호를 별도의 증폭회로에서 기준전압 Vr과 비교하여 그 출력신호를 스위치 18에서 선택적으로 모-터구동회로 25에 입력하도록 하면 가동부 13을 A, B점의 중간에 위치결정하는 것이 가능하게 된다. 또한, 각 증폭회로 21, 24에 입력하는 기준전압은 상호 다른 전압이어도 좋다.On the other hand, in this embodiment, the stop position of the movable part 13 is two points A and B, but the position detector is arranged in the middle of A and B before the movable part 13 is detected even in the middle of A and B points, and the output signal of the position sensor is detected. By comparing the output signal with the reference voltage Vr in a separate amplifier circuit and selectively inputting the output signal to the motor driving circuit 25 from the switch 18, it is possible to position the movable part 13 in the middle of the A and B points. The reference voltages input to the amplifier circuits 21 and 24 may be different voltages.

본 실시예에 의하면 가동부 13을 소저의 이동로상에서 이동시키는 액튜에이터 본체 11과, 그 엑튜에이터 본체 11을 구동하여 가동부 13을 이동시키는 모터 12와, 가동부 13을 미리정한 복수의 위치부근의 한정된 범위에서 각각 검출하고, 검출신호가 가동부의 위치에 따라 선형으로 변화하는 복수개의 위치센서 15, 16과, 그 복수개의 위치센서 15, 16의 각 출력신호와 기준치와의 차이를 산출하고 이들 차이를 위치결정의 지령에 따라 선택되어 모-터 12에 위치 서-보를 가동하는 회로 21, 24, 18, 25를 배치한 것으로써, 조작이 간단하게 되며, 구성이 간단하여 단가가 낮아지게 된다. 그럼에도 불구하고 가동부에 위치서-보를 갖추어 위치결정하게 되어있어 위치결정의 정밀도가 높으며, 예를들면 에어실린더를 이용한 경우에는 위치결정의 오차를 종래의 1/10 이하로 할 수가 있는 것이다. 제5도는 본 발명의 제2실시예를 나타낸다. 선형 액튜에이터(linear actuator) 26은 볼스크류벨트등이 이용되며, 서보모터 27에 의해 구동되어 가동부 28을 직선상 내지는 원형상등의 이동로상에 있어서 미리정한 정지위치 A부근과 정지위치 B부근과의 사이에서 이동된다. 자기회로 29 및 자기감응소자 30, 31, 32, 33은 2조(組) 위치센서를 구성하는 것이며, 가동부 28의 이동범위보다 충분히 적은 범위에 설해진다. 자기회로 29는 가동부 28과 일체로 고정된다. 자기회로 29는 제7a도, 제7b도에 나타낸 바와같이

형 요크(yoke) 34 및 영구자석 35에 의해 구성되며, 영구자석 35의 상면이

형 요크 34에 있어서의 상부내면에 자기적으로 접속되어 자기 35의 하면과

형 요크 34에 있어서의 하부상면과의 사이에 갭(gap) 36이 형성된다.

형 요크 34의 폭방향으로 선형으로 경사져 있는 갭 36의 좌측단 거리 a와 우측단거리 b가 다르게 되며, 갭 36의 폭이 선형으로 변화하고 자기회로 29는 화살표와 같이 자속이 통하며, 갭 36내의 자계의 강도가

형 요크 34의 폭방향(가동부 28의 이동방향)으로 선형으로 변화하고 있다.According to this embodiment, the actuator main body 11 which moves the movable part 13 on the moving path of a leveler, the motor 12 which drives the actuator main body 11 to move the movable part 13, and the movable part 13 in the predetermined range near a predetermined position Respectively, and calculates a difference between the plurality of position sensors 15 and 16 whose detection signals change linearly with the position of the movable portion, and the output signals of the plurality of position sensors 15 and 16 and the reference value, and positions the differences. By arranging the

circuits

21, 24, 18, and 25 which are selected according to the command of the motor and move the position servo to the motor 12, the operation is simple and the configuration is simple, resulting in a low cost. Nevertheless, since the positioning part is provided with the positioner beam in the movable part, the positioning accuracy is high. For example, when an air cylinder is used, the positioning error can be set to 1/10 or less of the conventional one. 5 shows a second embodiment of the present invention. The linear actuator 26 is a ball screw belt or the like. The linear actuator 26 is driven by the servomotor 27 to move the movable part 28 between a predetermined stop position A and a stop position B in a moving path such as a straight line or a circular shape. Is moved between. The magnetic circuit 29 and the magnetic

sensitive elements

30, 31, 32, and 33 constitute two pair position sensors and are installed in a range sufficiently smaller than the moving range of the movable portion 28. The magnetic circuit 29 is fixed integrally with the movable part 28. Magnetic circuit 29 is shown in Figs. 7a and 7b.

It consists of a yoke 34 and a permanent magnet 35. The upper surface of the permanent magnet 35

Magnetically connected to the upper inner surface of the type yoke 34 and the lower surface of the magnetic 35

A gap 36 is formed between the upper surface and the lower surface of the mold yoke 34.

The left end distance a and the right end distance b of the gap 36 inclined linearly in the width direction of the shape yoke 34 are different, and the width of the gap 36 changes linearly, and the magnetic circuit 29 passes through the magnetic flux as shown by the arrow. The strength of the magnetic field

It is changing linearly in the width direction (moving direction of the movable part 28) of the mold yoke 34.

1쌍의 자기감응소자 30, 31은 가동부 28이 정지해야 하는 (위치결정해야 하는) 위치 A에 배치되며, 다른 1쌍의 자기감응소자 32, 33은 가동부 28이 정지해야 하는 위치 B에 배치된다. 이들 2조의 자기감응소자(30, 31), (32, 33)은 자기회로 29의 이동에 의해 그 갭 36내를 통하도록 배치되어, 각각 정지부근 A, B에서 선형엑튜에이터 26에 의해 구동되는 자기회로 29에 있어서의 갭 36내에 들어간 때에 갭 36내의 자계의 강도를 검지함으로써, 선형 엑튜에이터 26에 의해 구동되는 가동부 28을 검지하여 제6도에 도시된 바와같은 2상(相)의 검지신호(Sa₁, Sa₂), (Sb₁, Sb₂)를 발생한다. 이 검지신호 Sa₁, Sa₂Sb₁, Sb₂는 0V부터 1.5V까지 변화하는 신호이다. 콘트롤러 37은 자기감응소자30, 31, 32, 33으로부터의 검지신호 Sa₁, Sa₂, Sb₁, Sb₂를 이용하여 모터 27을 제어하며, 가동부 28을 정지위치 A 또는 B로 이동시켜 정지시킨다. 제4도는 상기 콘트롤러 37의 구성을 나타낸다. 콘트롤러 37은 위상판별기, 홀드회로 38, 아나로그스위치 39, 가산기 40, 차동증폭기로 되는 비교기 41, 증폭기로되는 모터구동회로 42, 스위치 43에 의해 구성되며, 위상판별기, 홀드회로 38은 2조의 자기감응소자(30, 31), (32, 33)으로부터의 2조의 2상신호(相信號)(Sa₁, Sa₂), (Sb₁, Sb₂)의 위상을 판별하여 홀드한다. 아나로스 스위치 39는 위상판별기, 홀드회로 38의 출력신호에 의해 자기감응소자 30, 32로부터의 검지신호 Sa₁, Sb₁및 1.0V의 기준전압 Vr을 선택적으로 출력하고, 가산기 40이 아나로그스위치 39의 각 출력전압을 가산함에 의해, 제6도에 도시한 바와같이 상기 2조의 2상(相)신호에 대응한 2개의 교호하여 거의 증폭되지 않는 레벨의 신호 Sa, Sb를 갖는 1의 신호를 생성한다.One pair of magnetic sensitive elements 30, 31 are arranged in position A where the movable part 28 must stop (position), and the other pair of magnetic sensitive elements 32, 33 are arranged in position B where the movable part 28 must stop. . These two sets of magnetic sensitive elements 30, 31 and 32, 33 are arranged to pass through the gap 36 by the movement of the magnetic circuit 29, and are driven by the linear actuator 26 at the stops A and B, respectively. By detecting the strength of the magnetic field in the gap 36 when entering the gap 36 in the magnetic circuit 29, the movable portion 28 driven by the linear actuator 26 is detected to detect the two-phase detection signal as shown in FIG. (Sa ₁ , Sa ₂ ), (Sb ₁ , Sb ₂ ) are generated. The detection signals Sa ₁ , Sa ₂ Sb ₁ , and Sb ₂ are signals that vary from 0V to 1.5V. The controller 37 controls the motor 27 using the detection signals Sa ₁ , Sa ₂ , Sb ₁ , Sb ₂ from the magnetic sensitive elements 30, 31, 32, 33, and moves the movable part 28 to the stop position A or B to stop. . 4 shows the configuration of the controller 37. The controller 37 consists of a phase discriminator, a hold circuit 38, an analog switch 39, an adder 40, a comparator 41 serving as a differential amplifier, a motor drive circuit 42 serving as an amplifier, and a switch 43. The phases of two pairs of two-phase signals Sa ₁ , Sa ₂ , and Sb ₁ and Sb ₂ from the pair of magnetic sensitive elements 30, 31 and 32, 33 are discriminated and held. The analog switch 39 selectively outputs reference signals Vr of detection signals Sa ₁ , Sb ₁ and 1.0V from the magnetic sensitive elements 30 and 32 by the output signals of the phase discriminator and the hold circuit 38, and the adder 40 is analog. By adding the respective output voltages of the switch 39, as shown in FIG. 6, a signal of 1 having two alternating and nearly amplified levels of signals Sa and Sb corresponding to the two sets of two-phase signals. Create

이 신호는 신호 Sa가 0V부터 약 1V까지 변화하여 신호 Sb가 1V에서 약 2.0V까지 변화하며, 그 레벨의 신호 Sa, Sb이외의 부분이 0V 또는 1V이다. 게다가 신호 Sa, Sb는 각각 가동부 28이 정지위치 A, B에 있을 때 0.5V, 1.5V로 된다. 스위치 43은 가동부 28의 정지위치를 상기 위치 A 또는 B에 지시하는 위치결정의 지령을 부여하기 위한 조작스위치이며, 0.5V와 1.5V 어느것을 선택하여 지시신호로 한다. 차동증폭기 41은 가산기 40의 출력신호와 스위치 43으로부터의 지시신호를 비교하여 그 차이를 산출하며, 모터구동회로 42는 차동증폭기 41의 출력신호에 의해 모터를 구동하여 가동부 28을 정지위치 A 또는 B로 이동시킨다.The signal Sa varies from 0V to about 1V, so the signal Sb varies from 1V to about 2.0V, and portions other than the signals Sa and Sb at that level are 0V or 1V. In addition, the signals Sa and Sb become 0.5V and 1.5V, respectively, when the movable section 28 is at the stop positions A and B. The switch 43 is an operation switch for giving a positioning command for instructing the stop position of the movable section 28 to the position A or B, and either 0.5V or 1.5V is selected as an indication signal. The differential amplifier 41 compares the output signal of the adder 40 with the indication signal from the switch 43 and calculates the difference. The motor driving circuit 42 drives the motor by the output signal of the differential amplifier 41 to move the movable part 28 to the stop position A or B. Move to.

제8도는 상기 위상판별기 홀드회로 38, 아나로그스위치 39, 가산기 40의 구성을 나타내며, 제9도는 그 타이밍 챠트이다. 자기감응소자 30으로부터 나온 검지신호 Ss₁은 비교기(comparator) 44로 저항 45, 46 및 콘덴서 47로 되는 회로 48로부터의 1.0V의 기준전압으로 2값화(値化)되어 펄스신호 b로 되며, 자기감응소자 31로부터의 검지신호 Sa₂는 비교기 49로 상기 회로 48로부터의 1.0V 기준전압으로 2값화되어 펄스신호 a로 된다. 이 펄스신호 a는 인버터(inverter) 50에서 반전되어 저항 51 및 콘덴서 52로 되는 적분회로에 의해 지연되며, 그 적분회로의 출력신호 d와 비교기 49에서 나온 펄스신호 a와의 NAND가 NAND 53에 의해 포착된다.8 shows the configuration of the phase discriminator hold circuit 38, analog switch 39, and adder 40, and FIG. 9 is a timing chart thereof. The detection signal Ss ₁ from the magnetic sensitive element 30 is binarized to a reference voltage of 1.0 V from a circuit 48 consisting of resistors 45, 46, and capacitor 47 by a comparator 44, resulting in a pulse signal b. The detection signal Sa ₂ from the sensitive element 31 is binarized by the comparator 49 to the 1.0V reference voltage from the circuit 48 to become the pulse signal a. The pulse signal a is inverted in the inverter 50 and is delayed by the integrating circuit which becomes the resistor 51 and the capacitor 52, and the NAND of the output signal d of the integrating circuit and the pulse signal a from the comparator 49 is captured by the NAND 53. do.

또한, 비교기 49로부터의 펄스신호 a가 저항 54 및 콘덴서 55로 되는 적분회로에 의해 지연되며, 그 적분회로의 출력신호 C와 인버터 50에서 나온 펄스신호와의 NAND가 NAND 회로 56에 의해 포착된다. NAND 회로 53, 56의 출력신호 e, f는 가동부 28이 좌측방향으로 이동하고 있는가 우측방향으로 이동하고 있는가에 따라 선택적으로 출력되며, 2상신호 Sa₁, Sa₂의 위상이 판별되는 것으로 된다. 비교기 44로부터의 펄스신호 b는 NAND 회로 53, 56의 출력신호 e, f에 의해 NOR 회로 57, 58을 통과하며, NAND 회로 59, 60으로 되는 플립플롭(flip-flop) 61은 홀도회로를 구성하고 있는 NOR 회로 58의 출력신호에 의해 세트되어 NOR 회로 57의 출력신호에 의해 리세트된다.In addition, the pulse signal a from the comparator 49 is delayed by the integrating circuit comprising the resistor 54 and the condenser 55, and the NAND between the output signal C of the integrating circuit and the pulse signal from the inverter 50 is captured by the NAND circuit 56. The output signals e, f of the NAND circuits 53, 56 are selectively output depending on whether the movable section 28 moves in the left direction or the right direction, and the phases of the two-phase signals Sa ₁ , Sa ₂ are determined. The pulse signal b from the comparator 44 passes through the NOR circuits 57 and 58 by the output signals e and f of the NAND circuits 53 and 56, and the flip-flop 61 which becomes the NAND circuits 59 and 60 passes through the Halldo circuit. It is set by the output signal of the NOR circuit 58 which is comprised, and it is reset by the output signal of the NOR circuit 57. FIG.

또한 자기감응소자 32로부터의 검지신호 Sb₁및 자기감응소자 3으로부터의 검지신호 Sb₂는 상기 비교기 44, 49, 인버터 50, 저항 51, 54, 콘덴서 52, 55, NAND 회로 52, 56-60으로 되는 회로와 마찬가지로, 비교기 62, 63, 인버터 64, 저항 65, 68, 콘덴서 66, 68, NAND 회로 67, 70-74로 되는 회로에서 마찬가지로 처리되며, 2상신호 Sb₁, Sb₂의 위상이 판별되며, NAND 회로 73, 74로 되는 플립플롭 75에 의해 홀드된다. 아나로그 스위치 39는 4개의 스위치 76, 77, 78, 79로 되며, 그 4개의 스위치 76, 77, 78, 79는 각각 NAND 회로 59, 60, 73, 74의 출력신호에 의해 ON 하여 자기감응소자 30으로부터의 검지신호 Sa₁, 상기회로 48에서의 저항 80을 통해 입력되는 1V의 전압, 상기 회로 48로부터의 저항 81을 통하여 입력되는 1.0V의 전압, 자기 감응소자 32로부터의 검지신호 Sb₁을 통과시킨다. 가산기 40은 연산증폭기 82, 콘덴서 83, 저항 84-93에 의해 구성되며, 스위치 76, 77, 78, 79의 출력전압을 가산한다. 제10도는 가동부 28을 2개의 위치 A, B이외에 그들의 중간위치 C에도 정지하도록 한 본 고안의 제3실시예를 나타낸다.The detection signal Sb ₁ from the magnetic sensitive element 32 and the detection signal Sb ₂ from the magnetic sensitive element 3 are transferred to the comparators 44, 49, inverter 50, resistors 51, 54, capacitors 52, 55, and NAND circuits 52, 56-60. The circuits are similarly processed in the circuits of the comparators 62, 63, the inverter 64, the resistors 65, 68, the capacitors 66, 68, the NAND circuits 67, 70-74, and the phases of the two-phase signals Sb ₁ and Sb ₂ are discriminated. It is held by the flip-flop 75 which becomes the NAND circuits 73 and 74. The analog switches 39 are four switches 76, 77, 78, and 79. The four switches 76, 77, 78, and 79 are turned on by the output signals of the NAND circuits 59, 60, 73, and 74, respectively. The detection signal Sa ₁ from 30, the voltage of 1V input through the resistor 80 in the circuit 48, the voltage of 1.0V input through the resistor 81 from the circuit 48, the detection signal Sb ₁ from the magnetic sensitive element 32 Pass it through. The adder 40 is composed of an operational amplifier 82, a capacitor 83, and a resistor 84-93, and adds the output voltages of the switches 76, 77, 78, and 79. FIG. 10 shows a third embodiment of the present invention in which the movable portion 28 is also stopped at their intermediate position C in addition to the two positions A and B. FIG.

본 실시예에서는 상기 제2실시예에 있어서 위치 C에도 2개의 자기감응소자 97, 98이 배치되며, 그 2개의 자기감응소자 97, 98이 자기회로 29에 있어서의 갭 36내의 자계의 강도를 검지하여 제11도에 나타난 바와같은 2상(相)의 검지신호 Sc₁, Sc₂를 위치 C부근에서 발생한다. 콘트롤러 99는 제12도에 도시한 바와같이 위상판별기, 홀드회로 100, 아나로그스위치 101, 가산기 102, 차동증폭기로 되는 비교기 41, 증폭기로 되는 모터구동회로 42, 스위치 103에 의해 구성된다. 제13도에 도시된 바와같이 위상판별기.홀드회로 100에서는 자기감응소자 97, 98로부터의 검지신호 Sc₁, Sc₂를 처히라는 회로가 추가되며, 자기감응소자 97로부터의 검지신호 Sc₁및 자기감응소자 98로부터의 검지신호 Sc₂는 상기 비교기 44, 49, 인버터 50, 저항 51, 54, 콘덴서 52, 55 NAND 회로 52, 56-60으로 되는 회로와 마찬가지로, 비교기 104, 105, 인버터 106, 저항 107, 110, 콘덴서 108, 111, NAND 회로 109, 112-116으로 되는 회로에서 마찬가지로 처리되며, 2상(相)신호 Sc₁, Sc₂의 위상이 판별되며, NAND 회로 115, 116으로 되는 플립프롭 117에 의해 홀드된다. 아나로그스위치 101은 2개의 스위치 118, 119가 추가되며, 그 스위치 118, 119는 각각 NAND 회로 115, 116의 출력신호에 의해 ON하여 상기회로 48로부터 저항 120을 통하여 입력되는 1.0V의 전압, 자기감응소자 97로부터의 검지신호 Sc₁을 통과시킨다. 가산기 102는 저항 121, 122가 추가되며, 스스위치 76, 77, 78, 79, 118, 119의 출력전압을 가산하여 제11도에 도시된 바와같이 상기 3조의 2상신호 대응한 3개의 상호 거의 중복되지 않는 레벨의 신호 Sa, Sb, Sc를 갖는 1의 신호를 생성한다. 이 신호는 신호 Sa가 0V에서 약 1V까지 변화하여 신호 Sc가 1V에서 약 2V까지 변화하며, 신호 Sb가 2V에서 약 3V까지 변화하여 3레벨의 신호 Sa, Sb, Sc 이외의 부분이 0V 또는 1.0 또는 2.0V이다.In this embodiment, two magnetic sensitive elements 97 and 98 are also arranged in position C in the second embodiment, and the two magnetic sensitive elements 97 and 98 detect the strength of the magnetic field in the gap 36 in the magnetic circuit 29. Thus, two-phase detection signals Sc ₁ and Sc ₂ as shown in Fig. 11 are generated near the position C. The controller 99 is composed of a phase discriminator, a hold circuit 100, an analog switch 101, an adder 102, a comparator 41 serving as a differential amplifier, a motor driving circuit 42 serving as an amplifier, and a switch 103 as shown in FIG. As shown in FIG. 13, in the phase discriminator and hold circuit 100, a circuit for processing detection signals Sc ₁ and Sc ₂ from the magnetic sensitive elements 97 and 98 is added, and the detection signal Sc ₁ from the magnetic sensitive element 97 is added. And the detection signal Sc ₂ from the magnetic sensitive element 98 is a comparator 104, 105, an inverter 106, similarly to a circuit comprising the comparators 44, 49, inverter 50, resistors 51, 54, capacitors 52, 55 NAND circuits 52, 56-60. Are similarly processed in circuits consisting of resistors 107, 110, capacitors 108, 111, and NAND circuits 109, 112-116, and the phases of the two-phase signals Sc ₁ , Sc ₂ are determined, and the NAND circuits 115, 116 Hold by flipprop 117. Analog switch 101 has two switches 118 and 119 added, and the switches 118 and 119 are turned on by the output signals of the NAND circuits 115 and 116, respectively. The detection signal Sc ₁ from the sensitive element 97 is passed. The adder 102 adds resistors 121 and 122, and adds the output voltages of the switches 76, 77, 78, 79, 118, and 119, and as shown in FIG. 11, the three mutually corresponding three pairs of two-phase signals. A signal of 1 with signals Sa, Sb, and Sc of non-overlapping levels is generated. This signal has the signal Sa varying from 0V to about 1V, so the signal Sc varies from 1V to about 2V, and the signal Sb varies from 2V to about 3V, so that parts other than the three-level signals Sa, Sb, Sc are 0V or 1.0. Or 2.0V.

또한 신호 Sa, Sb, Sc는 각각 가동부 28이 정지위치 A, B, C에 있을때에 0.5V, 2.4V, 1.5V로 된다. 스위치 103은 가동부 28의 정지위치를 상기 위치 A 또는 B 또는 C에 지시하여 위치결정지령을 부여하기 위한 조작 스위치이며, 0.5V, 1.5V, 2.5V의 어느것을 선택하여 지시신호로 한다.The signals Sa, Sb, and Sc are respectively 0.5V, 2.4V, and 1.5V when the movable section 28 is at the stop positions A, B, and C. The switch 103 is an operation switch for instructing the stop position of the movable section 28 to the position A, B or C to give a positioning command, and selects any one of 0.5V, 1.5V, and 2.5V as an indication signal.

한편, 상기 제3의 실시예에 있어서는 상기 제2의 실시예와 동일부분에는 동일부호가 부여되어있다. 또한, 상기 실시예에서는 자기회로 29를 가동부 28과 일체로 설하였으나, 1쌍의 자기감응소자를 가동부 28과 일체로 설하여 가동부 28의 각 정지위치에 자기회로를 배치하도록하여도 좋다. 상기 제2 및 제3의 실시예에 의하면, 엑튜에이터 26에 의해 구동되는 가동부 28을 이동로상의 미리정한 복수의 정지위치 부근에 한정된 범위에서 각각 검지하여 복수조의 2상(相)신호를 발생하는 복수조의 센서 29-33, 97, 98과, 그 복수조의 센서 29-33, 97, 98로부터의 복수조의 2상신호를 그들의 복수조의 2상산호에 대응한 복수레벨의 신호를 갖는 1의 신호에 변환하는 신호변환회로 100, 101과, 위치결정지령을 부여하는 지시수단 43, 103과, 그 지시수단 43, 103으로부터의 위치결정지령과 전기신호변환회로 100, 101로부터의 신호를 비교하여 그 차이를 산출하는 비교회로 41과, 그 비교회로 41의 출력신호에 의해 전기 액튜에이터 26을 구동하는 구동수단 42, 27과를 구비한 것으로서, 간단하고도 값싼 구성으로 엑튜에이터에 의해 구동되는 가동부를 직선상내지는 원형상등의 이동로상의 복수점에 선택적으로 위치결정하여 가동부의 이동방향을 절환할 수가 있는 것이다. 제14도는 본 발명의 제4실시예의 일부를 나타낸 것으로서, 엑튜에이터 131 및 모터 132는 가동부 133을 이동시키는 구동수단을 구성하고, 엑튜에이터 131은 모터 132에 의해 구동되어 가동부 133을 직선상내지는 원형상동의 가동로에 따라 이동시킨다. 위치센서 134는 예를들어 자기감응소자가 이용되어 가동부 133과 일체로 설해지며, 상기 이동로상의 가동부 133을 미리정한 복수의 위치 예를들어 3개의 위치 A, B, C의 부근의 한정된 범위에는 자기회로로되는 피검출부 135A, 135B, 135C가 배치된다.In addition, in the said 3rd Example, the same code | symbol is attached | subjected to the same part as the said 2nd Example. In the above embodiment, the magnetic circuit 29 is integrally formed with the movable part 28, but a pair of magnetic sensitive elements may be integrally provided with the movable part 28 so as to arrange the magnetic circuit at each stop position of the movable part 28. According to the second and third embodiments, the movable portion 28 driven by the actuator 26 is respectively detected in a limited range near a plurality of predetermined stop positions on the moving path to generate a plurality of sets of two-phase signals. A plurality of sets of two-phase signals from the plurality of sets of sensors 29-33, 97 and 98, and the plurality of sets of sensors 29-33, 97 and 98 to one signal having a plurality of levels of signals corresponding to the plurality of sets of two-phase corals. The signal conversion circuits 100 and 101 to be converted, the indicating means 43 and 103 for giving a positioning command, and the positioning commands from the indicating means 43 and 103 are compared with the signals from the electric signal conversion circuits 100 and 101, respectively. And a comparator circuit 41 for calculating the circuit and drive means 42, 27 for driving the electric actuator 26 by the output signal of the comparator circuit 41, wherein the movable part driven by the actuator in a simple and inexpensive configuration is linear. Or round The moving direction of the movable part can be switched by selectively positioning at a plurality of points on the upper moving path. FIG. 14 shows a part of the fourth embodiment of the present invention, in which the actuator 131 and the motor 132 constitute driving means for moving the movable part 133, and the actuator 131 is driven by the motor 132 to form a straight line for moving the movable part 133. It moves along the operation path of homology. The position sensor 134 is formed integrally with the movable portion 133 by using, for example, a magnetic sensitive element, and includes a plurality of predetermined positions of the movable portion 133 on the moving path, for example, in a limited range near the three positions A, B, and C. The detected parts 135A, 135B, and 135C serving as magnetic circuits are disposed.

제15a도에 나타난 바와같이, 자기감응소자 134는 상기 이동로와 거의 직각방향으로 배열된 4개의 자기 감응소자 134₁, 134₂, 134₃, 134₄로 되며, 자기 감응소자 134₁는 가동부 133을 정확하게 위치결정하기 위한 위치 서-보용 자기감응소자이다. 자기감응소자 134₂는 자기감응소자 134₁, 134₂, 134₃, 134₄의 출력신호가 유효하게되는 영역을 검지하기위한 자기감응소자이며, 자기감응소자 134₃, 134₄는 상기 위치 A, B, C를 검출하기 위한 자기 감응소자이다.As shown in FIG. 15A, the magnetic sensitive elements 134 are four magnetic sensitive elements 134 ₁ , 134 ₂ , 134 ₃ , and 134 ₄ arranged substantially perpendicular to the movement path, and the magnetic sensitive elements 134 ₁ are movable parts 133. Position-serving magnetic sensitive element for accurately positioning The magnetic sensitive element 134 ₂ is a magnetic sensitive element for detecting an area in which the output signals of the magnetic sensitive elements 134 ₁ , 134 ₂ , 134 ₃ , and 134 ₄ become valid, and the magnetic sensitive elements 134 ₃ , 134 ₄ are the positions A, It is a magnetic sensitive element for detecting B and C.

또한, 제15b도-제15d도에 도시한 바와같이 자기회로 135A, 135B, 135C는 영구자석과 요크에 의해 구성되며, 자기감응소자 134₁을 동작시키는 자기회로부 136A, 136B, 136C와 자기감응소자 134₂를 동작시키는 자기회로부 137A, 137B, 137C를 가짐과 동시에, 자기감응소자 134₃, 134₄를 선택적으로 동작시키는 자기회로부 138B, 138C, 139C를 선택적으로 지니고 있다. 자기회로부 138B, 138C, 139C는 상기 위치 A, B, C를 나타낸 것이며, 위치 A는 자기회로부 138B, 138C, 139C가 설해져 있지않아 00값으로 표시된다. 위치 B는 자기회로부 138B가 설해져 있으며 10의 값으로 나타내며, 위치 C는 자기회로부 138C, 139C가 설해져 있어 11의 값으로 나타낸다. 자기회로부 136A, 136B, 136C는 자기회로부 136A, 136B, 136C의 상측단면 136AP, 136BP, 136CP가 경사져 있음으로서 갭의 폭이 가동부 133의 이동방향으로 선형변화하게 되며, 그 갭내의 자속밀도가 가동부 133의 이동방향으로 선형변화하고 있다. 따라서, 자기회로부 136A, 136B, 136C는 갭내의 자속밀도에 의해 가동부 133의 이동위치와의 관계가 선형으로 변화하는 아나로그위치정보를 갖는 것으로 된다. 자기감응소자 134₁은 제18도에 도시된 바와같이 가동부 133의 이동이 수반하여 자기회로부 136A, 136B, 137C의 갭내부를 통과할때에는 진폭이 가동부 133의 이동위치의 변화에 따라 직선적으로 변화하는 검지신호를 생성한다. 자기감응소자 134₂는 가동부 133의 이동에 수반하여 자기회로부 137A, 137B, 137C의 갭내부를 통과할때에 거의 일정진폭의 검지신호를 생성하며, 자기감응소자 134₃은 가동부 133의 이동에 수반하여 자기회로부 138B, 138C의 갭내부를 통과할때에 거의 일정진폭의 검지신호를 생성하고, 자기감응소자 134₄는 가동부 133의 이동에 수반하여 자기호로부 139C의 갭내부를 통과할때에 거의 일정진폭의 검지신호를 생성한다.In addition, as shown in FIGS. 15B to 15D, the magnetic circuits 135A, 135B, and 135C are constituted by permanent magnets and yokes, and the magnetic circuits 136A, 136B, and 136C and the magnetic sensitive elements which operate the magnetic sensitive element 134 ₁ . It has magnetic circuit sections 137A, 137B, and 137C for operating the 134 ₂ and selectively has magnetic circuit sections 138B, 138C, and 139C for selectively operating the magnetic sensitive elements 134 ₃ and 134 ₄ . The magnetic circuit portions 138B, 138C, and 139C represent the positions A, B, and C, and the position A is indicated by 00 value without the magnetic circuit portions 138B, 138C, and 139C provided. The position B is represented by a value of 10 in which the magnetic circuit portion 138B is provided, and the position C is represented by a value of 11 in the magnetic circuit portions 138C and 139C. The magnetic circuit parts 136A, 136B, and 136C are inclined at the upper end surfaces 136AP, 136BP, and 136CP of the magnetic circuit parts 136A, 136B, and 136C so that the gap width changes linearly in the direction of movement of the movable part 133, and the magnetic flux density within the gap is movable part 133. Is changing linearly in the direction of movement. Therefore, the magnetic circuit sections 136A, 136B, and 136C have analog positional information in which the relationship with the moving position of the movable section 133 changes linearly by the magnetic flux density in the gap. As shown in FIG. 18, when the magnetic sensitive element 134 ₁ passes through the gap of the magnetic circuit parts 136A, 136B, and 137C with the movement of the movable part 133, the amplitude changes linearly with the change of the moving position of the movable part 133. Generate a detection signal. The magnetic sensitive element 134 ₂ generates a nearly constant detection signal when passing through the gaps of the magnetic circuit sections 137A, 137B, and 137C as the movable section 133 moves. The magnetic sensitive element 134 ₃ accompanies the movement of the movable section 133. As a result, the detection signal of almost constant amplitude is generated when passing through the gap between the magnetic circuit parts 138B and 138C, and the magnetic sensitive element 134 ₄ almost passes when passing through the gap of the magnetic arc part 139C with the movement of the movable part 133. Generate a detection signal of constant amplitude.

제16도는 그 실시예의 회로구성을 나타내며, 제17도는 그 각 신호파형을 나타낸다. 자기감응소자 134₁로 부터는 검지신호 A/D변화기 140에 의해 A/D변환되어 MPU(micro processing unit) 141에 입력되며, 자기감응소자 134₂, 134₃, 134₄로부터의 각 검지신호는, 파형정형기 142, 143, 144에 의해 각각 2값하(値化)되어 파형정형된다. 파형정형기 142, 143, 144의 출력신호 Vv, V₀, V₁은 MPU 141로 입력되며, 파형정형기 142의 출력신호 Vv는 제19도에 도시된 바와같이 자기감응소자 134₁이 자기회로부 136A, 136B, 136C의 갭내부를 통과할때에 자기감응소자 134₁에서 얻어지는 검지신호 Vs의 유효영역(진폭이 직선적으로 변화하는 영역)에서 높은 레벨로 된다. 또한 MPU 141에는 가동부 133을 이동시키는 때에 그 목표위치를 나타내는 위치결정지령(상기 위치 A, B, C의 어느값)이 조작자에 의해 입력장치 145에서 입력된다. MPU 141은 입력장치 145에서 위치결정지령 Vr이 입력된 때에는 제20도에 도시된 바와같이 파형정형기 142의 출력신호 Vv가 입력되어 있을때에 파형정형기 143, 144의 출력신호 V₀, V₁을 취입하여 이들 V₀, V₁으로부터 가동부 133의 현재 위치를 판단하고, 현재위치와 위치결정지령 Vr을 비교하여 현재위치가 위치결정질여 Vr보다 크면 가동부 133을 좌측방향으로 이동시키도록 출력신호 │Vc│를 디지털/아나로그(D/A)변환기 146으로 출력함과 동시에, 이동방향신호를 드라이버 147로 출력하고, 현재위치가 위치결정지령 Vr보다 적으면 가동부 133을 우측방향으로 이동시키도록 출력신호 │Vc│를 D/A변환기 146으로 출력함과 동시에 이동방향신호를 드라이버 147로 출력한다.FIG. 16 shows the circuit configuration of the embodiment, and FIG. 17 shows the respective signal waveforms. The magnetic sensing element 134 ₁ is A / D-converted by the detection signal A / D converter 140 and input to the MPU (micro processing unit) 141. Each detection signal from the magnetic sensing elements 134 ₂ , 134 ₃ , and 134 ₄ is The waveform modifiers 142, 143, and 144 reduce the waveform by two values, respectively. Waveform shaper 142, and 143, the output signal of 144 Vv, V _0, V ₁ is input to the MPU 141, the waveform shaper 142. The output signal Vv is a magnetic sensitive device 134 _1, the magnetic circuit as shown in claim 19 is also of 136A, When passing through the gaps of 136B and 136C, the level becomes high in the effective region (region where the amplitude changes linearly) of the detection signal Vs obtained from the magnetic sensitive element 134 ₁ . Further, when the movable section 133 is moved, the MPU 141 receives a positioning command (which is one of the positions A, B, and C) indicating the target position from the input device 145 by the operator. When the positioning command Vr is input from the input device 145, the MPU 141 inputs the output signals V ₀ and V ₁ of the waveform shapers 143 and 144 when the output signal Vv of the waveform shaper 142 is input as shown in FIG. Judging the current position of the movable part 133 from these V ₀ , V ₁ , and comparing the current position and the positioning command Vr, if the current position is larger than the positioning deterioration Vr to move the movable part 133 to the left direction. Output to the digital / analog (D / A) converter 146 and the movement direction signal to the driver 147. If the current position is less than the positioning command Vr, the output unit 133 moves to the right. Output Vc│ to D / A converter 146 and output the movement direction signal to driver 147.

MPU 141의 출력신호 │Vc│는 D/A 변환기 146에 의해 D/A 변환되어 PWM 회로 148에 의해 펄스폭 변조되며, 드라이버 147은 모터 132를 MPU로부터의 이동방향신호에 다른방향으로 PWM 회로 148로부터의 펄스에 의해 회전되어 가동부 133을 이동시킨다. 그래서 MPU 141을 가동부 133의 현재위치가 위치결정지령 Vr과 일치하면 가동부 133이 목표위치부근에 도달하여 있으므로, A/D 변환기 140으로부터의 데이터 Vs'에 기하여 서-보동작으로 가동부 133의 위치결정을 행한다.The output signal | Vc | of the MPU 141 is D / A converted by the D / A converter 146 and pulse-modulated by the PWM circuit 148. The driver 147 drives the motor 132 in a direction different from the direction signal from the MPU. It rotates by the pulse from the moving part 133. Therefore, if the current position of the movable unit 133 coincides with the positioning command Vr, the MPU 141 moves near the target position. Therefore, the movable unit 133 is positioned in the servo operation based on the data Vs' from the A / D converter 140. Is done.

즉, MPU 141은That is, the MPU 141

단, K, Kv : 정수Where K and Kv are integers

로 되는 연산을 행하여, 출력 신호 │Vc│를 D/A 변환기 146으로 출력하고, 또한 A/D 변환기 140으로부터의 데이터 Vs'와 위치 결정지령 Vr과를 비료하여, 그 비교결과의 정(正), 부(負)에 따른 이동방향신호를 드라이버 147로 출력한다. 그래서 MPU 141은 A/D 변환기 140으로부터의 데이터 Vs'와 위치결정지령 Vr이 일치하면 출력신호 │Vc│ 및 이동방향신호를 OFF으로하여 모터 132를 정지시킨다. 따라서, 가동부 133은 목표위치에 정확히 위치결정된다. 한편, 상기 제4의 실시예에 있어서, MPU 141은 A/D변환기 140, 파형정형기 142, 143, 144, D/A 변환기 146, PWM 회로 148을 내장한 것을 사용하고자하여도 좋다. 또한 상기 제4실시예에서는 가동부 133의 정지위치가 3점이나, 2점 내지는 4점이상으로하여도 좋다.The output signal | Vc | is output to the D / A converter 146, and the data Vs' and the positioning command Vr from the A / D converter 140 are fertilized, and the comparison result is correct. Then, the negative driving direction signal is output to the driver 147. Thus, when the data Vs' from the A / D converter 140 and the positioning command Vr coincide, the MPU 141 turns off the output signal | Vc | and the moving direction signal to stop the motor 132. Thus, the movable portion 133 is accurately positioned at the target position. In the fourth embodiment, the MPU 141 may use an A / D converter 140, a waveform shaper 142, 143, 144, a D / A converter 146, and a PWM circuit 148. In the fourth embodiment, the stop position of the movable portion 133 may be three points or two to four points or more.

피검출부로되는 자기회로부 138B, 138C, 139C는 예를들면 가동부 133의 정지위치가 4점인 경우에는 00, 01, 10, 11의 4조의 값을 나타내도록 구성하면 좋으며, 또한 가동부 133의 정지 위치가 8점인 경우에는 8조(組)의 값을 나타내도록 구성하면 좋다. 또한 자기감응소자 134₁, 134₂, 134₃, 134₄대신 광센서를 이용하며, 게다가 자기회로 135A, 135B, 135C 대신 슬릿트(slit)판을 이용하고자하여도 좋다.The magnetic circuit parts 138B, 138C, and 139C to be detected may be configured to show four sets of values of 00, 01, 10, and 11, for example, when the stop position of the movable part 133 is four points. In the case of 8 points, it is good to comprise so that a value of 8 trillion may be shown. An optical sensor may be used instead of the magnetic sensitive elements 134 ₁ , 134 ₂ , 134 ₃ , and 134 ₄ , and a slit plate may be used instead of the magnetic circuits 135A, 135B, and 135C.

이 경우 광센서는 슬릿트판의 슬리트를 검지하여 자기감응소자 134₁, 134₂, 134₃, 134₄와 같은 검지신호를 출력한다.In this case, the optical sensor detects the slits of the slit plate and outputs detection signals such as the magnetic sensitive elements 134 ₁ , 134 ₂ , 134 ₃ , and 134 ₄ .

일반적으로 위치결정방식에 있어서, 이동로상에 미리 정해져 있는 복수의 위치에 복수의 위치센서를 각각 배치하면, 위치센서의 수는 가동부를 위치결정해야하는 위치의 수에 비례하여 증가시킬 필요가 있으며, 다수의 위치에 가동부를 위치결정할 경우에는 위치센서를 다수설하지 않으면 안됨과 동시에, 제어회로가 복잡하게 된다. 그러나, 상기 제4의 실시예에 의하면 가동부 133이 이동하는 이동로상의 미리결정된 복수의 위치에 대응하여 배치되어 그 복수의 위치에 대응한 값, 그 복수의 위치 각 부근에서 위치와의 관계가 거의 선형으로 변화하는 아나로그위치정보를 각각 갖는 복수의 비검출부 135A, 135B, 135C와, 전기가동부 133을 이동시키는 구동수단 131, 132과, 전기 가동부 133와 일체로 설하여 전기피검출부 135A, 135B, 135C로서 상기 값 및 아나로그 위치정보를 검지하는 위치센서 134와, 위치결정지령의 입력으로 전기위치센서 134에 의해 검지된 상기값과 위치결정지령이 일치하도록 전기구동수단 131, 132를 제어하여 전기 가동부 133을 위치결정 지령으로 지시된 위치부근에 이동시킴에 따라 전기위치센서 134에 의해 검지된 아나로그 위치정보와 위치결정지령이 일치하도록 전기구동수단 131, 132를 제어하여 전기 가동부 133을 위치결정지령으로 지시된 위치로 위치결정하는 제어수단 141을 구비한 것으로써, 적은 위치센서에 의해 가동부의 위치결정을 행할 수가 있으며, 그 구성이 간단하게 된다.In general, in the positioning method, when a plurality of position sensors are disposed at a plurality of positions predetermined on the moving path, the number of position sensors needs to be increased in proportion to the number of positions at which the movable part should be positioned. When positioning the movable parts in multiple positions, a large number of position sensors must be provided and the control circuit becomes complicated. However, according to the fourth embodiment, the relationship between the position corresponding to the plurality of predetermined positions on the moving path in which the movable part 133 is moved and the position corresponding to the plurality of positions is near each other. A plurality of non-detecting portions 135A, 135B, 135C each having linearly changing analog position information, driving means 131, 132 for moving the electric movable portion 133, and an electric movable portion 133 integrally and electrically detecting portions 135A, 135B. Control the electric drive means 131 and 132 so that the position sensor 134 detects the value and the analog position information as 135C, and the position detection command coincides with the value detected by the electric position sensor 134 as the input of the positioning command. By moving the electric movable part 133 near the position indicated by the positioning command, the electric drive is made to match the analog position information detected by the electric position sensor 134 and the positioning command. However, since the control means 141 which controls 131, 132 and positions the electric movable part 133 to the position indicated by the positioning command is made, it can perform positioning of a movable part with few position sensors, and the structure is simple do.

제21도는 본 고안의 제5실시예의 일부를 나타낸다. 엑튜에이터 151 및 모터 152는 가동부 153을 이동시키는 구동수단을 구성하며, 엑튜에이터 151은 모터 152에 의해 구동되어 가동부 153을 직선상내지는 원형상등의 이동로에 따라 이동시킨다. 위치센서 154는 예를들어 자기감응소자가 이용되며 가동부 153과 일체로 설해지며, 상기 이동로상의 가동부 153을 정지시키는 예정된 복수의 위치 예를들면 4개의 위치 A, B, C, D부근의 한정된 범위에는 자기회로로 되는 피검출부 155A, 155B, 155C, 155D가 배치된다.21 shows a part of the fifth embodiment of the present invention. The actuator 151 and the motor 152 constitute driving means for moving the movable part 153, and the actuator 151 is driven by the motor 152 to move the movable part 153 according to a moving path of a circular shape or the like in a straight line. The position sensor 154, for example, uses a magnetic sensitive element and is integrally formed with the movable portion 153, and is limited to a plurality of predetermined positions for stopping the movable portion 153 on the moving path, for example, four positions A, B, C, and D. The detection units 155A, 155B, 155C, and 155D serving as magnetic circuits are arranged in the range.

제22a도에 도시된 바와같이 자기감응소자 154는 상기 이동로와 거의 직각인 방향으로 배열된 3개의 자기감응소자 154₁, 154₂, 154₃으로 되며, 자기감응소자 154₁은 가동부 153을 정확히 위치결정하기 위한 위치 서-보용 자기감응소자이다. 자기감응소자 154₂는 자기감응소자 154₁, 154₃의 출력신호가 유효하게되는 영역을 검지하기 위한 자기감응소자이며, 자기감응소자 154₃은 상기 위치 A, B, C, D를 검출하기위한 자기감응소자이다. 또한 제22b도-제22e도에 도시한 바와같이 자기회로 155A, 155B, 155C, 155D는 영구자석과 요크에 의해 구성되며, 자기감응소자 154₁을 동작시키는 자기회로부 156A, 156B, 156C, 156D와, 자기 감응소자 154₂를 동작시키는 자기회로부157A, 157B, 157C, 157D를 가짐과 동시에, 자기감응소자 154₃을 선택적으로 동작시키는 자기회로부 158B, 158C, 158D를 선택적으로 지니고 있다. 자기회로부 158B, 158C, 158D는 상기 위치 A, B, C, D를 각 갭내의 자속밀도로 되는 피검출량으로 나타낸 것이며, 각 갭내의 자속밀도가 상호 다르며, 예를들어 각 갭내의 자속밀도의 크기가 0 : 1 : 2 : 3으로 되어 있다.As shown in FIG. 22A, the magnetic sensitive elements 154 are three magnetic sensitive elements 154 ₁ , 154 ₂ , and 154 ₃ arranged in a direction substantially perpendicular to the movement path, and the magnetic sensitive elements 154 ₁ accurately move the movable part 153. Position-serving magnetic sensitive element for positioning. The magnetic sensitive element 154 ₂ is a magnetic sensitive element for detecting a region in which the output signals of the magnetic sensitive elements 154 ₁ and 154 ₃ are valid, and the magnetic sensitive element 154 ₃ is used to detect the positions A, B, C, and D. It is a magnetic sensitive element. As shown in Figs. 22B to 22E, the magnetic circuits 155A, 155B, 155C, and 155D are composed of permanent magnets and yokes, and the magnetic circuits 156A, 156B, 156C, 156D for operating the magnetic sensitive element 154 ₁ and It has magnetic circuit sections 157A, 157B, 157C, and 157D for operating the magnetic sensitive elements 154 ₂ , and selectively has magnetic circuit sections 158B, 158C, and 158D for selectively operating the magnetic sensitive elements 154 ₃ . The magnetic circuit sections 158B, 158C, and 158D represent the positions A, B, C, and D as the detected amounts to be the magnetic flux densities in each gap, and the magnetic flux densities in each gap are different from each other, for example, the magnitude of the magnetic flux densities in each gap. Is 0: 1: 2: 3.

따라서 위치 A는 자기회로부 158B, 158C, 158D가 설해져 있지않아 0의 값으로 표시되며, 위치 B는 자기회로부 158B의 자속밀도에 의해 1의 값으로 표시된다.Therefore, the position A is represented by a value of 0 without the magnetic circuit parts 158B, 158C, and 158D being provided, and the position B is represented by a value of 1 by the magnetic flux density of the magnetic circuit part 158B.

위치 C는 자기회로부 158C의 자속밀도에 의해 2의 값으로 표시되며, 위치 D는 자기회로부 158D의 자속밀도에 의해 3의 값으로 나타낸다. 자기회로부 156A, 156B, 156C, 156D는 자기회로부 156A, 156B, 156C, 156D의 상측단면 156AP, 156BP, 156CP, 156DP가 경사져 있으므로써 갭의 폭이 가동부 153의 이동방향으로 선형 변화하며, 그 갭내의 자속밀도가 가동부 153의 이동방향으로 선형변화하고 있다. 따라서, 자기회로부 156A, 156B, 156C, 156D는 갭내의 자속밀도가 가동부 153의 이동위치에 대하여 선형으로 변화하는 아나로그위치정보로 된다.Position C is represented by a value of 2 by the magnetic flux density of the magnetic circuit portion 158C, and position D is represented by a value of 3 by the magnetic flux density of the magnetic circuit portion 158D. In the magnetic circuit sections 156A, 156B, 156C, and 156D, the upper end faces 156AP, 156BP, 156CP, and 156DP of the magnetic circuit sections 156A, 156B, 156C, and 156D are inclined so that the width of the gap changes linearly in the moving direction of the movable section 153. The magnetic flux density changes linearly in the moving direction of the movable part 153. Therefore, the magnetic circuit portions 156A, 156B, 156C, and 156D become analog positional information in which the magnetic flux density in the gap changes linearly with respect to the moving position of the movable portion 153.

자기감응소자 154₁은 제25도에 도시한 바와같이, 가동부 153의 이동에 수반하여 자기회로부 156A, 156B, 156C, 156D의 갭내부를 통과할때는 진폭이 가동부 153의 이동위치의 변화에 따라 직선적으로 변화하는 검지신호를 발생한다. 자기감응소자 154₂는 가동부 153의 이동에 수반하여 자기회로부 157A, 158B, 157C, 157D의 갭내를 통과할때에는 거의 일정 진폭의 검지신호를 발생하며, 자기감응소자 154₃은 가동부 153의 이동에 수반하여 자기회로부 158B, 158C, 158D의 갭내부를 통과할때에는 거의 일정진폭의 검지신호를 발생한다. 제23도에는 본 실시예의 회로부성을 나타내며, 제24도는 그 각 신호파형을 나타낸다.As shown in FIG. 25, when the magnetic sensitive element 154 ₁ passes through the gap of the magnetic circuit parts 156A, 156B, 156C, and 156D with the movement of the movable part 153, the amplitude is linearly changed in accordance with the change of the moving position of the movable part 153. Generate a change detection signal. When the magnetic sensitive element 154 ₂ passes through the gap of the magnetic circuit parts 157A, 158B, 157C, and 157D with the movement of the movable part 153, the magnetic sensitive element 154 ₃ accompanies the movement of the movable part 153. Therefore, when passing through the gap of the magnetic circuit section 158B, 158C, and 158D, a detection signal of almost constant amplitude is generated. FIG. 23 shows the circuit part of this embodiment, and FIG. 24 shows each signal waveform.

자기 감응소자 154₁로부터의 검지신호 Vs는 A/D변환기 159에 의해 A/D 변화되어 MPU 160으로 입력되며, 자기감응소자 154₂로부터의 검지신호는 파형정형기 161에 의해 각각 2값화되어 파형정형된다.The detection signal Vs from the magnetic sensitive element 154 ₁ is changed A / D by the A / D converter 159 and input to the MPU 160. The detection signals from the magnetic sensitive element 154 ₂ are binarized by the waveform shaper 161, respectively. do.

이 파형정형기 161의 출력신호 Vv는 MPU 160에 입력되며, 자기감응소자 154₃으로부터의 검지신호 Vp는 A/D변환기 162에 의해 A/D 변환되어 MPU 160에 입력된다. 파형정형기 161의 출력신호는 제26도에 도시한 바와같이 자기감응소자 154₁이 자기회로부 156A, 156B, 156C, 156D의 갭내부를 통과할때에 자기감응소자 154₁로부터 얻어지는 검지신호 Vs의 유효영역(진폭이 직선적으로 변화하는 영역)에서 고(高)레벨로 되며, 자기감응소자 154₃으로부터의 검지신호 Vp는 제24도에 도시된 바와같이 가동부 153이 상기 위치 A, B, C, D에 이동한때에 각각 1V, 1V, 2V, 3V로 된다.The output signal Vv of the waveform shaper 161 is input to the MPU 160, and the detection signal Vp from the magnetic sensitive element 154 ₃ is A / D converted by the A / D converter 162 and input to the MPU 160. The output signal of the waveform shaper 161 is valid, the detection signal Vs obtained from the 26 degree magnetic sensitive device 154 _1, the magnetic circuit 156A, 156B, 156C, the magnetic sensitive device 154 in passing through the gap inside the 156D, as shown in Figure ₁ In the region (region where the amplitude changes linearly), the detection signal Vp from the magnetic sensitive element 154 ₃ is set to a high level, and as shown in FIG. 24, the movable portion 153 has the positions A, B, C, and D. When it moves to, it becomes 1V, 1V, 2V, and 3V, respectively.

또한, MPU 160에는 가동부 153을 이동시키는때에 그 목표위치를 나타내는 위치결정지령(상기 위치 A, B, C, D중 어느값)이 조작자에 의해 입력장치 163에서 입력된다.In addition, when the movable section 153 is moved, the MPU 160 receives a positioning command (any of the positions A, B, C, and D) indicating the target position from the input device 163 by the operator.

MPU 160은 입력장치 156으로부터 위치결정지령 Vr이 입력된 때에는 제27도에 나타난 바와같이 파형정형기 161의 출력신호 Vv가 입력되어 있을때에 A/D 변환기 162의 출력신호를 취입하여 그 신호로부터 가동부 153의 현재위치를 판단하고, 그 현재위치와 위치결정지령 Vr과를 비교하여 현재위치가 위치결정지령 Vr보다 크면 가동부 153을 좌측방향으로 이동시키도록 출력신호 │Vc│를 D/A변환기 164로 출력함과 동시에 이동방향신호를 드라이버 165로 출력하며, 현재위치가 위치결정지령 Vr보다 적으면, 가동부 153을 우측방향으로 이동시키도록 출력신호 │Vc│를 D/A변환기 164로 출력함과 동시에 이동방향신호를 드라이버 165로 출력한다. MPU 160의 출력신호 │Vc│는 D/A변환기 164에 의해 D/A 변환되며 PWM 회로 166에 이해 펄스폭변조되며, 드라이버 165는 모터 152를 MPU 160으로부터의 이동방향신호에 따른 방향으로 PWM회로 166으로부터의 펄스에 의해 회전되어 가동부 153을 이동시킨다.When the positioning command Vr is input from the input device 156, the MPU 160 takes in the output signal of the A / D converter 162 when the output signal Vv of the waveform shaper 161 is input as shown in FIG. Judges the current position and compares the current position with the positioning command Vr and outputs the output signal │Vc│ to the D / A converter 164 to move the movable part 153 to the left if the current position is greater than the positioning command Vr. At the same time, the movement direction signal is output to the driver 165. If the current position is less than the positioning command Vr, the output signal │Vc│ is output to the D / A converter 164 to move the movable part 153 to the right direction. The direction signal is output to the driver 165. The output signal │Vc│ of the MPU 160 is D / A converted by the D / A converter 164 and the pulse width is modulated by the PWM circuit 166. The driver 165 converts the motor 152 into a PWM circuit in a direction corresponding to the moving direction signal from the MPU 160. It is rotated by the pulse from 166 to move the movable part 153.

그래서 MPU 160은 제4실시예에 있어서의 MPU 141과 마찬가지로 A/D 변환기 159로부터의 데이터 Vs'에 기하여 서-보동작으로 가동부 153의 위치결정을 행한다. 위치결정방식에 있어서, 이동로상에 있어서의 예정되어있는 복수의 위치각각에 복수의 피검출부를 선택적으로 배치하면, 많은 위치에서 가동부를 위치결정하는 경우에는 피검출부를 다수 설하지 않으면 않되며, 구성이 복잡하게 된다.Thus, the MPU 160 performs the positioning of the movable portion 153 in the servo operation based on the data Vs' from the A / D converter 159, similarly to the MPU 141 in the fourth embodiment. In the positioning method, when a plurality of detected parts are selectively disposed at each of a plurality of predetermined positions on the moving path, when the movable parts are positioned at many positions, a large number of the detected parts must be provided. The configuration is complicated.

그러나, 상기 제5실시예에 의하면 각 피검출량이 상호 다른 복수개의 피검출부를 가동부의 이동하는 이동로사의 미리 정해진 복수의 위치에 대응하여 배치한 것으로서 피검출부가 적게되며, 구성이 간단하게 된다. 제28도는 본 고안의 제6실시예의 일부를 나타낸다. 액튜에이타 171 및 모터 172는 가동부 173을 이동시키는 구동수단을 구성하며, 엑튜에이터 171은 모터 172에 의해 구동되어 가동부 173을 직선상내지는 원형상등의 이동로에 따라 이동시킨다. 위치센서 174는 예를들어 자기감응소자가 이용되며 가동부 173과 일체로 설해지며, 가동부가 위치결정되는 상기 이동로상의 미리 정해진 위치, 예를들어 3개의 위치 A, B, C 부근의 한정된 범위에는 피검출부 175A, 175B, 175C가 배치된다.However, according to the fifth embodiment, the plurality of detected parts having different amounts to be detected differ from each other in correspondence with a plurality of predetermined positions of the moving roads in which the movable part moves, so that the detected parts are reduced and the configuration is simplified. 28 shows a part of a sixth embodiment of the present invention. The actuator 171 and the motor 172 constitute driving means for moving the movable part 173, and the actuator 171 is driven by the motor 172 to move the movable part 173 along a moving path such as a circular shape or the like. The position sensor 174, for example, uses a magnetic sensitive element and is integrally formed with the movable portion 173, and has a limited range near a predetermined position on the moving path where the movable portion is positioned, for example, three positions A, B, and C. The detected parts 175A, 175B, and 175C are disposed.

제29a도에 도시한 바와같이 자기감응소자 174는 상기 이동로와 거의 직각인 방향으로 배열된 3개의 자기감응장치 174₁, 174₂, 174₃으로되며, 자기감응소자 174₁은 미리정한 위치 A, B, C의 부근, 결국 가동부 173의 정확한 위치결정을 행하는 범위를 검출하여 유효신호를 발생하는 자기감응소자이다. 자기감응소자 174₂, 174₃은 상기 위치 A, B, C를 검출하기 위한 자기감응소자이다.As shown in FIG. 29A, the magnetic sensitive element 174 is composed of three magnetic sensitive devices 174 ₁ , 174 ₂ , and 174 ₃ arranged in a direction substantially perpendicular to the movement path, and the magnetic sensitive element 174 ₁ is a predetermined position A. FIG. The magnetic sensing element generates a valid signal by detecting a range in which the positioning of the movable part 173 is performed in the vicinity of B, C, and eventually. The magnetic sensitive elements 174 ₂ , 174 ₃ are magnetic sensitive elements for detecting the positions A, B, and C.

또한, 제29b도-제29d도에 도시한 바와같이 피검출부 175A, 175B, 175C는 영구자석과요크에 의해 구성된 자기회로로 되며, 가기감응소자 174₁을 작동시키는 자기회로부 176A, 176B, 176C를 가짐과 동시에 자기감응소자 174₂, 174₃을 선택적으로 작동시키는 자기회로부 177B, 177C, 178C를 선택적으로 가지고 있다. 이 자기회로부 177B, 177C, 178C는 상기 위치 A, B, C를 나타내는 피검출부를 구성하며, 위치 A는 자기회로부 177B, 177C, 178C가 설해져 있지않아 00값으로 나타내어진다. 위치 B는 자기회로부 177B가 설해져 있어 10의 값으로 나타내며, 위치 C는 자기회로부 177C, 178이 설해져 있어 11의 값으로 나타내어진다.In addition, as shown in FIGS. 29B-29D, the detected parts 175A, 175B, and 175C are magnetic circuits composed of permanent magnets and yokes, and the magnetic circuit parts 176A, 176B, and 176C which operate the cut sensitive element 174 ₁ are provided. It has a magnetic circuit section 177B, 177C, 178C which selectively operates magnetic sensitive elements 174 ₂ , 174 ₃ at the same time. The magnetic circuit portions 177B, 177C, and 178C constitute a detected portion showing the positions A, B, and C. The position A is represented by a value of 00 because the magnetic circuit portions 177B, 177C, and 178C are not provided. The position B is represented by a value of 10 because the magnetic circuit portion 177B is provided, and the position C is represented by a value of 11 due to the magnetic circuit portions 177C and 178.

자기회로부 176A, 176B, 176C, 177B, 177C, 178C는 가동부 173의 이동방향에 대하여 상호같은 범위로 설해져 있어 각각 갭내의 자속밀도가 일정하며, 자기감응소자 174₁은 가동부 173의 이동에 수반하여 자기회로부 176A, 176B, 176C의 갭내를 통과할때에는 거의 일정진폭의 유효신호를 출력한다.The magnetic circuit parts 176A, 176B, 176C, 177B, 177C, and 178C are arranged in the same range with respect to the moving direction of the movable part 173, so that the magnetic flux density in the gap is constant, and the magnetic sensitive element 174 ₁ accompanies the movement of the movable part 173. When passing through the gap between the magnetic circuit sections 176A, 176B, and 176C, an effective signal having a substantially constant amplitude is output.

자기감응소자 174₂는 가동부 13의 이동에 수반하여 자기회로부 177B, 177C의 갭내부를 통과할때에는 거의 일정진폭의 검출신호를 출력하며, 자기감응소자 174₃은 가동부 173의 이동에 수반하여 자기회로부 178C의 갭내부를 통과할때에는 거의 일정진폭의 검출신호를 출력한다.174 _second magnetic sensitive device with the movement of the moving part 13 the magnetic circuit 177B, and almost the output of the detection signal of constant amplitude when passing through the gap inside of 177C, the magnetic sensitive device 174 ₃ is the movement of the movable part 173 the magnetic circuit When passing through the gap of 178C, the detection signal of almost constant amplitude is output.

제30도는 이실시예의 회로구성을 나타내며, 제31도는 그 각신호파형을 나타낸다. 펄스 엔코더 179는 가동부 173을 정지위치 A, B, C 부근의 한정된 범위에서 검출하는 것이며, 광학식 펄스엔코더, 자기식 펄스엔코더등을 이용할 수가 있으며, 예를들면 광학식 펄스엔코더를 이용한 경우에는 가동부 173과 일체로 설한 광센서와, 정지위치 A, B, C 부근의 한정된 범위에 상기 이동로에 따라 설한 슬릿트판으로 구성되며, 광센서가 가동부 173의 이동에 따라 슬릿트판의 슬릿트를 검출하여 전기적으로 90°의 위상차이를 갖는 2상(相)의 펄스신호 a, b를 발생한다.Fig. 30 shows the circuit configuration of this embodiment, and Fig. 31 shows the respective signal waveforms. The pulse encoder 179 detects the movable unit 173 in a limited range near the stop positions A, B, and C. An optical pulse encoder, a magnetic pulse encoder, and the like can be used. For example, when an optical pulse encoder is used, It consists of an integrated optical sensor and a slit plate installed along the moving path in a limited range near the stop positions A, B, and C. The optical sensor detects the slit of the slit plate in accordance with the movement of the movable part 173 and electrically. The two-phase pulse signals a and b having a phase difference of 90 degrees are generated.

위상판별회로 180은 펄스엔코더 179로부터의 2상의 펄스신호 a, b위상의 진행, 지연관계를 판단함으로써 가동부 173의 이동방향을 판단하여 2상의 펄스신호 a, b를 선택적으로 업(up)/다운(down) 카운터 181로 보내며, 예를들어 가동부 173이 우측방향으로 이동하는 경우에는 펄스신호 a는 업다운카운터 181로 보내 가동부 173이 좌측 방향으로 이동하는 경우에는 펄스신호 a는 업다운카운터 181로 보내 가동부 173이 좌측 방향으로 이동하는 경우에는 펄스신호 b를 업다운카운터 181로 보낸다. 또한 자기감응소자 174₁, 174₂, 174₃으로부터의 각 검출신호는 파형정형기 182, 183, 184에 의해 각각 2값화되어 파형정형되며, 이 파형정형기 182, 183, 184의 출력신호 Vv, V0, V1은 MPU 185에 입력된다.The phase discrimination circuit 180 judges the moving direction of the movable section 173 by judging the propagation and delay relationship of the two-phase pulse signals a and b phases from the pulse encoder 179 to selectively up / down the two-phase pulse signals a and b. (down) If the moving part 173 moves to the right direction, for example, the pulse signal a is sent to the up-down counter 181, and if the moving part 173 moves to the left direction, the pulse signal a is sent to the up-down counter 181. When 173 moves to the left, pulse signal b is sent to up-down counter 181. In addition, the detection signals from the magnetic sensitive elements 174 ₁ , 174 ₂ , and 174 ₃ are respectively binarized by waveform shapers 182, 183, and 184 to form waveforms. The output signals Vv, V0, and 184 of the waveform shapers 182, 183, and 184 are respectively converted into waveforms. V1 is input to the MPU 185.

또한 MPU 181에는 가동부 173을 이동시키는 때에 그 목표위치를 나타내는 위치결정지령(상기 위치 A, B, C중 어느값)이 조작자에 의해 입력장치 186에서 입력된다. MPU 181은 입력장치 185로부터 위치결정지령 Vr이 입력된 경우에는 제32도에 도시한 바와같이 파형정형기 182로부터 유효신호 Vr이 입력되어 있을때에 파형정형기 183, 184의 출력신호, V₀, V₁을 취입하여 이들 신호 V₀, V₁으로부터 가동부 173의 현재위치를 판단하고, 그 현재위치와 위치결정지령 Vr을 비교하여 현재위치가 위치결정지령 Vr보다 크면 가동부 173을 좌측방향으로 이동시키도록 출력신호 │Vc│를 D/A 변환기 187로 출력함과 동시에 이동방향신호를 드라이버 188로 출력하고, 현재위치가 위치 결정지령 Vr보다 적으면 가동부 173을 우측방향으로 이동시키도록 출력신호 │Vc│를 D/A 변환기 187로 출력함과 동시에 이동방향 신호를 드라이버 188로 출력한다.In addition, when the movable unit 173 is moved to the MPU 181, a positioning command (which is one of the positions A, B, and C) indicating the target position is input from the input device 186 by the operator. When the positioning command Vr is input from the input device 185, the MPU 181 outputs the output signals of the waveform shapers 183 and 184, V ₀ and V ₁ when the valid signal Vr is input from the waveform shaper 182 as shown in FIG. Determines the current position of the movable part 173 from these signals V ₀ and V ₁ , compares the current position with the positioning command Vr, and outputs the movable part 173 to the left when the current position is greater than the positioning command Vr. Outputs the signal | Vc | to the D / A converter 187 and simultaneously outputs the movement direction signal to the driver 188. When the current position is less than the positioning command Vr, the output signal | Vc│ is moved to move the movable part 173 to the right. The D / A converter 187 outputs the movement direction signal to the driver 188.

MPU 181의 출력신호 │Vc│는 D/A 변환기 187에 의해 D/A 변환되어 PWM회로 189에 의해 펄스변조되며, 드라이버 188은 모터 172를 MPU 181로부터의 이동방향신호에 따른 방향으로 PWM 회로 189로부터의 펄스에 의해 회전되어 가동부 173을 이동시킨다.The output signal | Vc | of the MPU 181 is D / A-converted by the D / A converter 187 and pulse-modulated by the PWM circuit 189. The driver 188 drives the motor 172 in the direction corresponding to the moving direction signal from the MPU 181. It is rotated by the pulse from to move the movable part 173.

그래서 MPU 181은 가동부 173의 현재위치가 위치결정지령 Vr과 거의 일치하면 가동부 173이 목표위치 부근에 도달하고 있으므로, 서보 동작으로 동작부 173의 위치결정을 행한다.Thus, when the current position of the movable unit 173 is substantially equal to the positioning command Vr, the MPU 181 reaches the target position and the servo unit 173 performs positioning of the operating unit 173 by the servo operation.

즉, MPU 181은 파형정형기 182로부터 유효신호 Vv내에 펄스엔코더 179로부터의 2상의 펄스신호 a, b가 N개 존재한다고 하면 가동부 173이 우측방향으로 이동하는 경우에는 파형정형기 182로부터의 유효신호 Vv가 낮은 레벨에서 높은 레벨로 변화한 시점에서 업다운카운터 181에 0을 세트하고, 가동부 173이 좌측방향으로 이동하는 경우에는 파형정형기 182로부터의 유효신호 Vv가 낮은 레벨에서 높은레벨로 변화한 시점에서 업다운카운터 181에 N을 세트한다. 업다운 카운터 181은 가동부 173이 우측방향으로 이동하는 경우에는 위상판단회로 180으로부터의 펄스신호 A가 시작되어 업카운트하며, 가동부 173이 좌측방향으로 이동하는 경우에는 위상판별회로 180으로부터의 펄스신호 B이 시작하여 다운카운트한다. 따라서, 업다운카운터 181의 카운트값은 가동부 173의 현재위치가 위치결정지령 Vr과 거의 일치하여 파형정형기 182에서 유효신호 Vv가 출력될때에 가동부 173의 현재위치를 나타내게 되며, MPU 181은 가동부 173의 현재위치가 위치결정지령 Vr과 거의 일치하여 파형정형기 182로부터 유효신호 Vv가 입력된 때에는 업다운카운트 181의 카운트값과 위치결정지령 Vr과 비교하여 그 비교결과의 정(正), 부(負)에 따른 이동방향신호를 드라이버 187로 출력한다.That is, if the MPU 181 has N two-phase pulse signals a and b from the pulse encoder 179 in the effective signal Vv from the waveform shaper 182, the effective signal Vv from the waveform shaper 182 is When 0 is set in the up-down counter 181 at the time of the change from the low level to the high level, and the movable unit 173 moves to the left, the up-down counter when the effective signal Vv from the waveform shaper 182 changes from the low level to the high level. Set N to 181. The up-down counter 181 starts and counts the pulse signal A from the phase determining circuit 180 when the movable part 173 moves to the right direction, and the pulse signal B from the phase discriminating circuit 180 when the movable part 173 moves to the left direction. Start down and count down. Therefore, the count value of the up-down counter 181 indicates the current position of the movable unit 173 when the valid signal Vv is outputted from the waveform shaper 182 when the current position of the movable unit 173 is substantially equal to the positioning command Vr, and the MPU 181 is the present position of the movable unit 173. When the effective signal Vv is inputted from the waveform shaper 182 with the position substantially coinciding with the positioning command Vr, the count value of the up-down count 181 is compared with the positioning command Vr, and according to the positive and negative results of the comparison result. The movement direction signal is output to the driver 187.

그래서 MPU 181은 업다운카운터 181의 카운트값과 위치결정지령 Vr이 일치하면 출력신호 │Vc│ 및 이동방향신호를 OFF으로 하여 모터 172를 정지시킨다. 따라서 가동부 173은 목표위치에 정확히 위치결정된다. 또한, 제6의 실시예에서는 가동부 173의 정지위치가 3점이나, 2점내지는 4점이상으로하여도 좋다.Thus, when the count value of the up-down counter 181 and the positioning command Vr coincide with each other, the MPU 181 turns off the output signal | Vc | and the moving direction signal to stop the motor 172. Thus, the movable portion 173 is accurately positioned at the target position. In the sixth embodiment, the stop position of the movable portion 173 may be three points, or two or four points or more.

위치정보보유수단으로되는 자기회로부 177B, 177C, 178C는 예를들면 가동부 173의 정지위치가 4점인 경우에는 00, 01, 10, 11의 4조(組)의 값을 나타내도록 구성하면 좋으며, 또한 가동부 173의 정지위치가 8점인 경우에는 8조(組)의 값을 나타내도록 구성하면 된다.The magnetic circuit parts 177B, 177C, and 178C serving as position information holding means may be configured to display four sets of values of 00, 01, 10, and 11, for example, when the stop position of the movable part 173 is four points. When the stop position of the movable part 173 is 8 points, what is necessary is just to comprise so that a value of 8 trillion may be shown.

또한, 자기감응소자 174₁, 174₂, 174₃대신 광센서를 이용하고 또한 자기회로 175A, 175B, 175C 대신 슬릿트판을 이용하고자 하여도 좋다.In addition, an optical sensor may be used instead of the magnetic sensitive elements 174 ₁ , 174 ₂ , and 174 ₃ , and a slit plate may be used instead of the magnetic circuits 175A, 175B, and 175C.

상기 위치결정압정식에는 선형(linearity) 특성을 가진 아나로그 센서를 이용하여 가동부를 서-보동작으로 위치결정지령의 위치에 위치 결정하며, 정도적(精度的)으로 문제가 있으며, 분해능은 80㎛ 정도가 한계이다.The positioning pressure equation uses an analog sensor having a linearity characteristic to position the movable part at the position of the positioning command by servo-operation, and there is a problem in accuracy, and the resolution is 80 About μm is the limit.

그러나, 상기 제6실시예에 의하면 펄스엔코더가 가동부와 연동하여 펄스신호를 발생하며, 그 펄스엔코더로부터의 펄스신호에 의해 위치 검출수단으로 가동부의 위치를 검출하는 것으로서 분해능을 높일수 있으며, 예를들면 분해능을 10㎛가 25㎛로 할 수가 있으며 고정도화(高精度化)가 기대될 수 있는 것이다.However, according to the sixth embodiment, the pulse encoder generates a pulse signal in association with the movable part, and the resolution can be increased by detecting the position of the movable part by the position detecting means by the pulse signal from the pulse encoder. The resolution can be set to 10 µm to 25 µm and high precision can be expected.

Claims

An actuator body for moving the movable part on a predetermined movement path, a motor for driving the actuator body to move the electric movable part, and a detection signal is detected in a limited range near a plurality of positions to be previously determined. A plurality of position detectors for converting linearly according to the position, and a circuit which takes a difference between the output signals of the plurality of position detectors and a reference value and selects the difference according to a positioning command and operates the position beam on the electric motor. Positioning system characterized in that.

2. The apparatus according to claim 1, further comprising: a plurality of amplifying circuits for calculating a difference between the output signals of the plurality of position detectors and the reference value, and selecting means for selecting the output signals of the plurality of amplifying circuits by a command of positioning; A positioning system characterized by comprising an electric circuit as a motor driving circuit for driving an electric motor by means of a power signal from the means.

A plurality of sensors for detecting a movable portion driven by an actuator in a limited range near a plurality of predetermined positions on a moving path, respectively, to generate a plurality of sets of two-phase signals, and a plurality of sets of two-phase signals from the plurality of sensors. A signal conversion circuit for converting a signal into a signal having a plurality of levels of signals corresponding to a plurality of two-phase signals, an instruction means for giving a positioning command, a positioning command from the instruction means, and an electric signal conversion circuit. And a driving circuit for driving the electric actuator according to the output signal of the comparing circuit and a comparing circuit for comparing the signals from the calculating circuit.

The phase discriminator for determining the moving direction of the electric movable part by discriminating the phase of the plurality of sets of two-phase signals from the plurality of sets of sensors for each set, the hold circuit for holding the output signal of the phase discriminator, Analog signal for selectively outputting the signal from the plurality of sets of sensors and the reference voltage by the output signal of the hold circuit, and the signal and the reference voltage from the plurality of sets of sensors output from the analog switch are added to A positioning system comprising an electrical signal conversion circuit with an adder.

The movable part is arranged in correspondence with a limited range of a plurality of predetermined positions on a moving path in which the movable part moves, and each value corresponding to the plurality of positions, and the relationship with the position in each of the plurality of positions near each other, change linearly. A plurality of to-be-detected portions each having analog positional information, drive means for moving the electric movable portion, a position sensor which is integrally formed with the electric movable portion to detect the value and analog position information as an electric-detected portion, and positioning The analog position detected by the electric position sensor by controlling the electric drive means so that the positioning command coincides with the value detected by the electric position sensor by the input of the command. The electric drive means is controlled so that the information and the positioning command coincide with each other, thereby positioning the electric movable part at the position indicated by the positioning command. The positioning system, characterized by control means which also provided.

The movable portions are arranged in correspondence with a limited range near the plurality of positions on the moving path, and the respective detected amounts are integrally formed with the plurality of detected parts and the electric movable parts to detect each detected amount of the plurality of detected parts. A position sensor, a position detecting means for detecting a moving position of the electric movable part in the vicinity of the electric plural positions, and positioning of the electric movable part so that the detection signal of the electric position sensor and the positioning command coincide with the input of the positioning command. And positioning control means for positioning the electric movable part at the position indicated by the positioning command so that the position detected by the electric position detecting means coincides with the positioning command by moving near the position indicated by the command. system.

Coarse position that moves a movable part by a coarse positioning means by the coarse positioning means to the vicinity of the position indicated by the electrical positioning command among a plurality of predetermined positions on a predetermined movement path. In the positioning equation for positioning at the position indicated by the electric positioning command by making a determination, a pulse encoder for generating a pulse signal in association with the electric actuator and a pulse signal from the pulse encoder. Position detecting means for detecting a position, and local positioning control means for controlling the electric movable portion such that the position indicated by the electric positioning command coincides with the position of the electric movable portion detected by the electric position detecting means after the electric bath positioning. Positioning method characterized in that.