KR920006587B1 - Parallel-measuring apparatus of light axis - Google Patents

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KR920006587B1 KR1019890020721A KR890020721A KR920006587B1 KR 920006587 B1 KR920006587 B1 KR 920006587B1 KR 1019890020721 A KR1019890020721 A KR 1019890020721A KR 890020721 A KR890020721 A KR 890020721A KR 920006587 B1 KR920006587 B1 KR 920006587B1
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Abstract

The measuring device of optical axis has at least one of beam spot survey mean among multiple optical means (D1)(D2), a center setting mean, a collimator (C) being located on the optical axis (X1)(X2) of the multiple means (D1)(D2), a light reflecting target (T) being located at the secondary target of the collimater (C). The target (T) has a control point (t) in the device, a sensitizing paper (R) being attached at the target (5), and at least one beam route modifying mean between the collimator (C) and the target (T).

Description

광축 평행도 측정장치Optical axis parallelism measuring device

제1도는 종래의 측정장치의 구성을 보이는 개념도,1 is a conceptual diagram showing the configuration of a conventional measuring device,

제2도는 본 발명에 따른 측정장치의 구성 원리를 보이는 개념도,2 is a conceptual diagram showing the configuration principle of the measuring device according to the present invention,

제3도는 본 발명 측정장치의 바람직한 실시예를 보이는 기구도이다.3 is a mechanical diagram showing a preferred embodiment of the measuring device of the present invention.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings

c : 콜리메이터(collimator) T : 표적(標的)c: collimator T: target

t : 기준점 R : 감광지(感光紙)t: reference point R: photosensitive paper

LRF : 레이저 거리 측정기(Laser Range Finder)LRF: Laser Range Finder

M1, M2 : 제1및 제 반사경 1 : (레이저)송광부(送光部)M1, M2: 1st and 1st reflector 1: (laser) light transmitting part

2 : 송광 광학계 3 : 수광 광학계2: transmitting optical system 3: receiving optical system

본 발명은 광축(光軸) 평행도(平行度) 측정장치에 관한 것으로, 특히 병행 설치되는 복수의 광학수단을 구비하는 광학 장비의 광축 평행도 측정에 적합한 광축 평행도 측정장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical axis parallelism measuring apparatus, and more particularly, to an optical axis parallelism measuring apparatus suitable for measuring optical axis parallelism of optical equipment having a plurality of optical means arranged in parallel.

예를 들어 천체 망원경등과 같은 고배율의 망원경은 관측 시야가 좁아 관측물의 포착이 용이하지 않으므로 이에 평행하게 관측물 포착용의 보조 망원경을 설치하는 것이 보통이며, 레이저 거리측정기(Laser Range Finder)등의 레이저 측량기에 있어서도 통상 측량될 관측물을 포착하기 위해 조준용의 광학 망원경이 레이저 송광(送光) 광축에 평행하게 설치된다. 또한 레이저 절단기나 레이저 용접기등의 레이저 가공기에 있어서도 가공물의 가공 위치 설정을 위해 현미경등의 관측경이 역시 레이저 송광 광축에 평행하게 설치되어 구성되는 것이 통상이다. 이러한 주 광학수단과 보조 광학수단은 각각의 광축이 상호 정확한 평행도를 유지해야만 관측 또는 가공의 정밀도와 신뢰성을 유지할 수 있으므로, 광학장비의 제작과정에 있어서 광축간의 평행도를 측정하고 이를 조정하여 정확히 세팅(setting)시킬 필요가 있게 된다.For example, high-magnification telescopes such as astronomical telescopes have a narrow field of view, making it difficult to capture observations, so it is common to install an auxiliary telescope for capturing observations in parallel, such as a laser range finder. Even in a laser instrument, an optical telescope for aiming is usually installed parallel to the laser beam optical axis in order to capture the observation object to be surveyed. Also, in a laser processing machine such as a laser cutting machine or a laser welding machine, an observation mirror such as a microscope is also generally provided in parallel with the laser transmission optical axis for setting the processing position of the workpiece. These primary and secondary optical means can maintain the accuracy and reliability of observation or processing only when each optical axis maintains the exact parallelism of each other. setting).

종래 이러한 광축 평행도 측정에 주로 사용되어온 방법은 입사된 평행광을 한 촛점(招點)에 집속(集柬)시키는 포물면경(抛物面鏡)을 사용하는 것인데, 포물면경을 그대로 이용하는 경우에는 표적이 시야를 가리는 문제가 있을 뿐아니라 포물면경의 크기가 과도한 문제가 있어서, 이러한 포물면경의 일부를 절취한 형태의 소위비축(非軸) 포물면경을 주로 사용하여 왔다.Conventionally, the method mainly used for measuring the optical axis parallelism is to use a parabolic mirror that focuses incident parallel light at one focal point. In addition to the problem of screening, there is a problem that the size of the parabolic mirror is too large, so that the so-called non-parabolic mirror of the form cut off a part of the parabolic mirror has been mainly used.

제1도에 도시된 것은 비축 포물면경을 사용하는 측정장치의 개념도로서, 이는 점선으로 표시된 포물면의일부를 절취한 형태의 비축 포물면경(M)의 촛점상의 초면(焦面)에 기준점이 설정된 표적(標的 ; T)을 설치하고, 제1광학수단(D1) 또는 제2광학수단(D2)중의 어느 하나의 기준점에 일치시킨 뒤, 나머지 한 광학수단(D2 또는 D1)의 중심이 이 표적(T)의 기준점과 일치하는 가의 여부를 파악함으로써 양 광학수단(D1, D2)의 광축(X1,X2)의 평행도를 측정하는 것이다. 여기서 각 광학수단(D1,D2)의 중심과 표적(T)의 중심을 일치시키는 수단으로는 십자선(cross hair)에 의한 관찰이나 레이저 빔둥의 스포트광(spot beam) 조사(照射) 및 감광지(感光紙)등을 사용하게 된다.Shown in FIG. 1 is a conceptual diagram of a measuring device using a non-parabolic parabolic mirror, which is a target having a reference point set on a focal plane on the focal plane of the non-parabolic parabolic mirror M having a portion cut out of a parabolic surface indicated by a dotted line. (標; T) is provided and coincides with the reference point of either the first optical means D1 or the second optical means D2, and the center of the other optical means D2 or D1 is the target T. The degree of parallelism between the optical axes X1 and X2 of the both optical means D1 and D2 is measured by determining whether or not the reference point is equal to the reference point. Here, the means for matching the center of each optical means D1 and D2 with the center of the target T may be observed by cross hairs, spot beam irradiation of a laser beam, or photosensitive paper. I) will be used.

그런데 이와 같은 종래의 측정장치에 사용되는 비축 포물경은 그 설계 및 제작이 대단히 어려워서 매우고가이며, 그 촛점이 그 중심선상에 위치하지 않아 측정에 앞서 그 촛점의 위치를 먼저 설정하여야 하는 문제점이 있었다. 이 촛점의 파악 역시 매우 난해한 작업으로 수식적 예측등이 불가능하여 시행착오(trial-and-error)법에 의존할 수 밖에 없어서 많은 시간과 노력을 소요하였다. 뿐만 아니라 그 촛점상의 초면도 비축 포물면경의 중심선과 경사지게 형성되므로, 이와 같은 종래의 측정장치에 있어서는 측정장치의 세팅을 위해 측정장치와 측정될 광학수단의 상대위치를 변경해가며 비축 포물면경과 초면상의 표적간의 거리 및 각도를 설정하여야 하는 번거로움이 있었다. 또한 이와 같은 장치 세팅의 번거로움은 필연적으로 설정오차를 유발할 수 밖에 없어서 측정결과의 공차도 크고 그 신뢰도도 낮은 문제점도 있었던 것이다.By the way, the parabolic diameter used in the conventional measuring device is very expensive because the design and manufacturing is very difficult, the focus is not located on the center line, there was a problem that the position of the focus must be set before the measurement. The identification of this focus was also a very difficult task, which made it impossible to make formal predictions, so it had to rely on trial-and-error methods, which required a lot of time and effort. In addition, the focal plane on the focal point is formed to be inclined with the centerline of the non-axis parabolic mirror. In such a conventional measuring device, the relative position between the parabolic parabolic mirror and the target on the hyperplane is changed while changing the relative position of the measuring device and the optical means to be measured for setting the measuring device. There was a hassle to set distance and angle. In addition, the hassle of setting the device inevitably induces a setting error, so there is a problem that the tolerance of the measurement result is large and its reliability is low.

본 발명의 상술한 종래의 문제점을 해결하기 위해 창출된 것으로, 구성 부품이 매우 염가이머 장비세팅도 용이하고 정확한 측정결과를 용이하게 얻을 수 있는 광축평행도 측정장치를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.It is an object of the present invention to provide an optical axis parallelism measuring apparatus, which has been created to solve the above-mentioned conventional problems of the present invention, in which component parts can be easily set at low cost and easy to obtain accurate measurement results.

이와 같은 목적을 달성하기 위해 본 발명에 따른 광축평행도 측정장치는 복수의 광학수단의 광축간의 평행도를 측정하는 장치에 있어서, 이 복수의 광학수단의 광축상에 위치하는 콜리메이터(collimator)와, 이콜리메이터의 후촛점상에 위치하는 표적을 구비하여 구성되는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the optical axis parallelism measuring apparatus according to the present invention is a device for measuring the parallelism between optical axes of a plurality of optical means, the collimator (collimator) and the collimator located on the optical axis of the plurality of optical means Characterized in that it comprises a target located on the post-focus of the.

여기서 표적에는 기준점을 포함한 기준표지가 구비되고 각 광학수단에는 십자선등의 중심설정 수단이 구비되거나, 표적에 감광지등의 감광표시 수단이 구비되고 각 광학수단중의 적어도 어느 하나가 레이저 송광부등의 스포트 빔 조사수단을 구비하며 나머지 광학수단이 중심 설정 수단을 구비하는 것이 바람직하au, 측정장치의 크기를 축소하기 위하여 콜리메이터와 표적간에는 광축의 경로를 변화시키는 평면경이나 프리즘(prism)등의 하나 또는 복수의 광경로 변경수단이 구비되는 것이 바람직하다.Here, the target is provided with a reference mark including a reference point, and each optical means is provided with a center setting means such as a crosshair, or the target is provided with a photosensitive display means such as a photosensitive paper, and at least one of each optical means is a spot such as a laser transmitter. It is preferable to have a beam irradiating means and the other optical means to have a center setting means. In order to reduce the size of the measuring device, one or a plurality of plane mirrors or prism, which change the path of the optical axis, between the collimator and the target. It is preferable that the optical path changing means of the.

이하에 첨부된 도면을 참조로 하여 본 발명 측정장치의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the measuring apparatus of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

제2도에 도시된 것은 본 발명 측정장치의 구성원리를 보이는 개념도로서, 제1광학수단(D1)과 제2광학수단(D2)의 광축(X1,X2)상에, 후촛점상에 위치한 점광원을 평행광으로 변환하거나 평행광을 후촛정상으로 집속시키는 콜리메이터(C)가 위치하며, 이 콜리메이터(C)로부터 그 후촛점거리(back focal length ; fb)만큼 떨어진 위치, 즉 콜리메이터(C)의 후촛점의 초면상에는 표적(T)이 위치한다.Shown in FIG. 2 is a conceptual diagram showing the membership of the measuring device of the present invention, which is located on the optical axis (X1, X2) of the first optical means (D1) and the second optical means (D2), on a postfocal point. There is a collimator (C) for converting the light source into parallel light or focusing the parallel light into a post-candle phase, and a position away from the collimator (C) by its back focal length (fb), that is, of the collimator (C) The target T is located on the initial surface of the posterior focal point.

이와 같은 구성에 있어서 제1광학수단(D1)과 제2광학수단(D2)의 광축이 상호 평행한 경우에는 양 광학수단(D1,D2)으로부터의 스포트 빔 또는 시선(視線)은 표적(T)상의 한점, 예를 들어 기준점(t)에 집속하게되고, 평행하지 않은 경우에는 집속이 이뤄지지 않는 것이다.In such a configuration, when the optical axes of the first optical means D1 and the second optical means D2 are parallel to each other, the spot beam or line of sight from both optical means D1 and D2 is the target T. One point of the image, for example, the focus point (t), if not parallel is not focused.

따라서 예를 들어 제1광학수단(D1)의 광축(X1)을 표적(T)의 기준점(t)에 일치시킨 경우, 이 기준점(t)이 제2광학수단(D2)의 시야의 중심선과 일치하는 경우에 제2광학수단(D2)의 광축(X2)이 제1광학수단(D1)의 광축(X1)과 평행한 것이라 판단할 수 있으며, 이 경우 제1광학수단(D1)과 제2광학수단(D2)은 정확한 평행도로 조정된 것이라 할 수 있다.Thus, for example, when the optical axis X1 of the first optical means D1 coincides with the reference point t of the target T, this reference point t coincides with the center line of the field of view of the second optical means D2. In this case, it can be determined that the optical axis X2 of the second optical means D2 is parallel to the optical axis X1 of the first optical means D1, in which case the first optical means D1 and the second optical The means D2 can be said to be adjusted to precise parallelism.

또한 제1광학수단(D1)에서 표적(T)의 기준점(t)에 조사한 레이저 빔등의 스포트 빔이 직접 또는 간접적인 방법으로 제2광학수단(D2)의 중심선에 일치하도록 관측되거나, 제2광학수단(D2)의 시야의 중심선을 표적(T)의 기준점(t)에 일치시킨 상태에서 관측할 때 제1광학수단(Dl)에서 조사한 스포트 빔이 표적(T)의 기준점(t)에 랜딩(landing)하는 것으로 관측되면 역시 정확히 양 광학수단(D1,D2)이 평행을 이루고 있다고 판단할 수 있는 것이다.In addition, a spot beam such as a laser beam irradiated from the first optical means D1 to the reference point t of the target T is observed to coincide with the center line of the second optical means D2 in a direct or indirect manner, or the second optical When the center line of the field of view of the means D2 is observed with the reference point t of the target T, the spot beam irradiated from the first optical means Dl lands at the reference point t of the target T. If it is observed landing, it can be judged that both optical means (D1, D2) are parallel.

제3도에 도시한 것은 상술한 본 발명의 구성 원리를 특히 레이저 거러 측정기에 적용한 실시예인 바, 예시된 레이저 거리 측정기(LRF)는 소위 2축(bi-axis) 방식의 것으로 측정용 레이저 펄스를 발진하는 송광부(送光部 ; 1) 및 송광 광학계(2)와, 관측물 포착용의 조준경(照準鏡)인 수광 광학계(3)의 송광 및 수광광축(X1,X2)을 구비한다. 여기서 수광 광학계(3)는 대물부(4)와 대안부(5)를 구비하며, 분광부(6)를 통해 입사광을 분광하여 수광부(7)가 입사광 중의 반사 레이저 펄스를 계수하여 측정거리를 연산처리하도록 구성되어 있다.3 is an embodiment in which the above-described configuration principle of the present invention is applied to a laser filter, in particular, the illustrated laser range finder (LRF) is a so-called bi-axis type laser pulse measuring device. The light-transmitting part 1 and the light-transmitting optical system 2 which oscillate, and the light-receiving optical axis X1, X2 of the light-receiving optical system 3 which are the aiming mirrors for capturing an observation object are provided. Here, the light receiving optical system 3 includes an objective part 4 and an alternative part 5, and spectroscopically measures the incident light through the spectroscopic part 6 to calculate the measurement distance by the light receiving part 7 counting the reflected laser pulses in the incident light. It is configured to process.

송광광축(X1)과 수광광축(X2)의 경로상에는 콜리메이터(C)가 설치되고, 그 경로 후류 측에는 광 경로를 변환시키는 제1 및 제2반사경(M1,M2)이 설치되고, 그 후류측에는 표적(T)이 설치된다. 여기서 콜리메이터 (C) 와 제1반사경 (M1) 간의 거 리 (d1) 와, 제1반사경 (M2) 과 제2반사경 (M2) 간의 거리 (d2)와 제2반사경(M2)과 표적(T)간의 거리(d3)의 합은 콜리메이터(C)의 후촛점 거리(fb)가 된다. 도시되지는 않았으나 콜리메이터(C)와 제1 및 제2반사경(M1,M2)과 표적(T)은 각각 적절한 각도 및 위치조정수단을 구비하여 필요에 따라 적절한 조정을 할 수 있도록 구성되는 것이 바람직하다.A collimator C is provided on the path between the light transmission axis X1 and the light reception axis X2, and the first and second reflecting mirrors M1 and M2 for converting the optical path are provided on the downstream side of the path, and the target is located on the downstream side. (T) is installed. Where the distance (d1) between the collimator (C) and the first reflecting mirror (M1), the distance (d2) between the first reflecting mirror (M2) and the second reflecting mirror (M2), the second reflecting mirror (M2), and the target (T) The sum of the distances d3 between the two becomes the postfocal distance fb of the collimator C. Although not shown, the collimator (C), the first and second reflectors (M1, M2) and the target (T) are preferably configured to be appropriately adjusted as necessary by providing an appropriate angle and position adjusting means, respectively. .

한편 수광 광학계(3)에는 측정시 근거리의 고출력 레이저빔이 입사됨으로써 수광부(7)가 손상되는 것을 방지하기 위해 레이저 파장대의 빛의 투과를 차단하고 가시광선대의 빛만을 투과시키는 밴드 패스 필터(band pass filter: 8)를 설치하는 것이 바람직하며, 필요에 따라 입사광량을 조절하는 슬릿(slit)판등의 조리개 기구를 구비하여 과도한 광량의 입사를 방지한다. 또 수광 광학계(3)에는 관측시야의 중심 확인을위해 중심 설정수단으로서 적절한 십자선(9)을 구비한다.On the other hand, in order to prevent the light receiving unit 7 from being damaged by incidence of a high-power laser beam at a short distance to the light receiving optical system 3, a band pass filter which blocks light transmission in the laser wavelength band and transmits only light in the visible light band. It is preferable to provide a filter (8), and is provided with an aperture mechanism such as a slit plate that adjusts the amount of incident light as necessary to prevent the incidence of excessive amount of light. The light receiving optical system 3 is further provided with a crosshair 9 suitable as a center setting means for checking the center of the viewing field.

한편 표적(T)에는 예를 들어 기준점(t)을 중심으로 동축 동심원(同心園)등으로 된 기준 표지가 형성되어있는 것이 바람직하며, 이 표적(T)은 감광지 또는 감광 건판등의 감광 표시수단으로 구성되거나 감광지(R)등 별도의 감광표시수단이 부착될 수 있도록 구성된다.On the other hand, the target T is preferably formed with a reference mark made of coaxial concentric circles, for example, around the reference point t, and the target T is a photosensitive display means such as a photosensitive paper or a photosensitive dry plate. It is configured to be configured such that a separate photosensitive display means such as a photosensitive paper (R).

이와 같이 구성된 본 발명의 측정장치는 다음과 같이 작동된다.The measuring device of the present invention configured as described above operates as follows.

먼저 표적(T)의 기준점(t)과 콜리메이터(C)의 중심이 일치하도록 제1반사경(M1) 및/또는 제2반사경(M2)을 조정하고, 표적(T)이 콜리메이터(C)의 정확한 초면상에 위치하도록 그 상대거리를 조정한다.First, adjust the first reflecting mirror M1 and / or the second reflecting mirror M2 so that the reference point t of the target T coincides with the center of the collimator C, and the target T is correct for the collimator C. Adjust the relative distance so that it is located on the surface.

다음 피측정 장비인 레이저 거리 측정기(LRF)를 콜리메이터(C)의 전방에 위치시키고, 수광 광학계(3)의 대안부(5)를 통해 십자선(9)의 중심과 표적(T)의 기준점(t)을 일치시킨다.The laser measuring device (LRF), which is the next measuring device, is positioned in front of the collimator C, and the center of the crosshair 9 and the reference point t of the target T through the alternative part 5 of the light receiving optical system 3. ).

다음 표적(T)에 감광지(R)를 부착하고 송광부(1)를 구동하여 레이저 빔을 발사시킴으로써 감광지(R)를 노광시켜 감광점을 형성한다.Next, the photosensitive paper R is attached to the target T, and the light transmitting unit 1 is driven to emit a laser beam to expose the photosensitive paper R to form a photosensitive point.

다음 수광 광학계(3)의 대안부(5)를 통해 표적(T)상의 감광지(R)를 관측함으로써 이 감광점이 십자선(9)의 중심과 일치하는가의 여부를 관측한다.Next, by observing the photosensitive paper R on the target T through the alternative part 5 of the light receiving optical system 3, it is observed whether this photosensitive point coincides with the center of the crosshair 9.

일치하는 경우에는 송광광축(X1)과 수광광축(X2)이 측정의 정밀도 내에서 평행한 것으로 판단하고, 그렇지 않은 경우에는 그 상대거리를 조정하여 감광점이 십자선(9)의 중심상에 일치할 때까지 두 광축의 평행도를 측정 및 조정하게 된다.In case of coincidence, it is judged that the light transmission axis X1 and the light reception axis X2 are parallel within the accuracy of the measurement. Otherwise, the relative distance is adjusted to match the center of the crosshair 9 by adjusting the relative distance. The parallelism of the two optical axes is measured and adjusted.

이상에서 보인 바와 같이 본 발명에 따른 광축의 평행도 측정장치는 종래의 비축 포물면경을 이용한 측정장치에 비해 그 구성부품의 설계 및 제작 또는 입수가 매우 용이하고 염가이며, 세팅이 매우 용이하고 그 측정결과도 정밀하고 신뢰성이 높은 여러가지 이점이 있어서, 고 정밀도의 광학 장비의 제작에 큰 효과를 발휘할 수 있다.As described above, the optical axis parallelism measuring apparatus according to the present invention is very easy and inexpensive to design, manufacture or obtain the components thereof, compared to the conventional measuring apparatus using a non-axis parabolic mirror, the setting is very easy and the measurement result In addition, there are various advantages with high precision and high reliability, which can have a great effect on the fabrication of high precision optical equipment.

Claims (4)

병행 설치되는 복수의 광학수단(D1)(D2)을 구비하는 광학장비의 광축 평행도 측정장치에 있어서, 상기 복수의 광학수단(D1)(D2)중의 적어도 어느 하나에 빔스포트 조사수단과 중심설정수단이 각각 구비되어있고, 상기 복수의 광학수단(D1)(D2)의 광축(X1)(X2)상에 위치하는 콜리메이터(C)와, 이 콜리메이터(C)의 후촛점상에 위치하머 광을 반사하는 표적(T)을 구비하여 구성된 것을 특징으로 하는 광축 평행도 측정장치.An optical axis parallelism measuring apparatus for optical equipment having a plurality of optical means (D1) and (D2) provided in parallel, wherein at least one of the plurality of optical means (D1) and (D2) beam spot irradiation means and center setting means And a collimator C positioned on optical axes X1 and X2 of the plurality of optical means D1 and D2, respectively, and reflecting the hammer light positioned on the postfocal point of the collimator C. Optical axis parallelism measuring apparatus comprising a target (T) configured to. 제1항에 있어서, 상기 표적(T)에 기준점(t)을 가지는 기준표지가 표시되어 있는 것을 특징으로 하는 광축 평행도 측정장치.The optical axis parallelism measuring apparatus according to claim 1, wherein a reference mark having a reference point t is displayed on the target T. 제1항 또는 제2항 중의 어느 한 항에 있어서, 상기 표적(T)에 감광지(R)가 부착되어 있는 것을 특징으로 하는 광축 평행도 측정장치.The optical axis parallelism measuring device according to any one of claims 1 to 3, wherein a photosensitive paper (R) is attached to said target (T). 제1항에 있어서, 상기 콜리메이터(C)와 상기 표적(T) 사이에 적어도 하나의 광경로 변경수단이 구비되는 것을 특징으로 하는 광축 평행도 측정장치.The optical axis parallelism measuring apparatus according to claim 1, wherein at least one optical path changing means is provided between the collimator (C) and the target (T).
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101261119B (en) * 2008-05-06 2012-01-04 中国航空工业第一集团公司北京长城计量测试技术研究所 Light beam parallelism and collimating fault checking method

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CN101261119B (en) * 2008-05-06 2012-01-04 中国航空工业第一集团公司北京长城计量测试技术研究所 Light beam parallelism and collimating fault checking method

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KR910012686A (en) 1991-08-08

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