KR920005674A - 청정공간에 존재하는 하전된 물체로부터 정전기를 제거하는 장치 - Google Patents
청정공간에 존재하는 하전된 물체로부터 정전기를 제거하는 장치 Download PDFInfo
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Abstract
내용 없음
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 의한 장치에 사용되는 공기 이오나이저의 개략투시도.
제10도는 제1도의 이오나이저에 사용되는 전압제어장치와 그 전압조절부의 회로의 바람직한 한가지 구성예를 예시한 도면.
제12도는 본 발명에서 사용된 장치와 시험방법을 예시한 도면.
Claims (7)
- AC고전압을 이미터에 인가하여 공기를 이온화하는 코로나 방전을 시켜 이온화된 공기흐름을 하전된 물체에다 공급하여 이 물체의 정전기를 중화시키도록 하는 것으로서, 필터를 통과한 청정공기 흐름중에 배설한 침모양의 다수의 이미터를 가진 AC이오나이저로 구성된, 청정공간의 하전된 물체로 부터 청전기를 제거하는 장체에 있어서, ㉮침모양의 이미터 각각의 방전단을 유전성 세라믹 재료로 코우팅하고, ㉯이 이미터 각각에 접지된 그리드 모양 또는 루우프 모양의 역콘덕터로 부터 일정한 간격을 두고 방전단을 구성하여 방전쌍을 형성하며, ㉰다수의 방전쌍을 청정공기의 흐름에 대하여 횡방향으로 두 칫수간격으로 구성하고, ㉱인가된 마이너스 바이어스 전압을 AC고전압원다 방전쌍 몇개로 된 이미터를 접속하여 위음극 이미터를 구성하는 한편 다른 방전쌍을 마이너스 바이어스 전압보다 (+)쪽으로 바이어스된 인가된 바이어스 전압을 가진 AC고전압원에 접속하여 위양극이미터를 구성하며, 위양극 이미터와 위음극 이미터를 두 칫수간격으로 직접 배열함을 특징으로 하는 청정공간에 존재하는 하전된 물체로 부터 정전기를 제거하는 장치.
- 제1항에 있어서, 청정공간이 반도체 장치 제조에 사용되는 장치.
- 제1항 또는 제2항에 있어서 유전성 세라믹 재료가 석영인 장치.
- 제1항 내지 제3항중 어느 한가지 항에 있어서 위음극 이미터의 방전단을 공기흐름에 대하여 상응한 접지된 그리드 모양 또는 루투프 모양의 역콘덕터의 아래쪽에 위치하게한 장치.
- 제1항 내지 제3항중 어느 한 항에 있어서, 몇개의 방전쌍의 이미터를 마이너스 바이어스 전압이 인가된 공통의 고전압 AC공급원에 접속하여 위음극 이미터를 형성하는 한편 다른 방전쌍의 이미터를 플러스 바이어스 전압이 인가된 공통의 고전압 AC공급원에 접속하여 위양극 이미터를 형성하여서 된 장치.
- 제1항 내지 제5항중 어느 한항에 있어서, 상용 AC를 미리설정된 고전압의 AC로 변환시키는 수단과, 각각의 미리설정된 (+)및 음(-)으로 바이어스된 DC전압을 변환된 AC에 인가하는 수단 및 AC고전압과 바이어스된 DC전압을 조절하는 전압조절부가 장치된 전압제어 장치로 고전압 AC공급원을 구성하여서된 장치.
- 제1항 내지 제6항중 어느 한항에 있어서, 두 칫수간격내에서 최소한 한쪽 방향으로 위양극 이미터와 위음극 이미터를 교대로 구별하여 배열하여서 된 장치.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019900011814A KR100206667B1 (ko) | 1990-08-01 | 1990-08-01 | 청정공간에 존재하는 하전된 물체로부터 정전기를 제거하는 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019900011814A KR100206667B1 (ko) | 1990-08-01 | 1990-08-01 | 청정공간에 존재하는 하전된 물체로부터 정전기를 제거하는 장치 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
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| KR920005674A true KR920005674A (ko) | 1992-03-28 |
| KR100206667B1 KR100206667B1 (ko) | 1999-07-01 |
Family
ID=19301928
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019900011814A KR100206667B1 (ko) | 1990-08-01 | 1990-08-01 | 청정공간에 존재하는 하전된 물체로부터 정전기를 제거하는 장치 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR100206667B1 (ko) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102005759B1 (ko) | 2018-12-06 | 2019-07-31 | 서종호 | 정전기 제거장치 및 정전기 제거장치의 제조방법 |
-
1990
- 1990-08-01 KR KR1019900011814A patent/KR100206667B1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR100206667B1 (ko) | 1999-07-01 |
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