KR910020520A - 내부전반사 (tir)홀로그램에 의한 고화질 영상 마스크 - Google Patents

내부전반사 (tir)홀로그램에 의한 고화질 영상 마스크 Download PDF

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  • Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)

Abstract

내용 없음

Description

내부전반사 (TIR)홀로그램에 의한 고화질 영상 마스크
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 홀로그래픽 기술을 이용한 종래의 마스크 제작공정을 나타낸 도면, 제4도는 본 발명에 따라 다수의 반사면을 제거하여 양호한 형태의 감광성 마스크를 얻은 상태를 나타내는 도면, 제5도는 감광성 마스크의 또다른 형태를 예시하는 도면.

Claims (10)

  1. 홀로그래픽 레코딩 층에 영상을 기록하기 위해 투명 및 불투명 영역을 가진 마스크를 형성하는 단계와, 상기 홀로 그래픽 레코딩 층에 한면으로부터 내부전반사된 참조 비임 및 마스크를 통고한 신호비임을 홀로 그래픽 레코딩 층으로지향하는 단계를 포함하는 내부전반사(TIR)홀로그램을 구성하는 방법에 있어서, 마스크의 상부면 및 하측면의 적어도 한면에 상기 반사 방지막을 형성하는 단계를 포함하는데, 상기 반사 방지막은 홀로그램에 의한 영상의 재구성시 마스크의 투명영역과 대응하는 영역에 균일세기의 영상을 저하시키는 프린지 패턴의 발생을 제거하거나 최소화 하는 것을 특징으로 하는 내부전반사 홀로그램 구성방법.
  2. 홀로그래픽 레코딩 층에 영상을 기록하기 위해 투명 및 불투명 영역을 가진 마스크를 형성하는 단계와, 상기 홀로 그래픽 레코딩 층에 한면으로부터 내부전반사된 참조 비임 및 마스크를 통과한 신호비임을 홀로 그래픽 레코딩 층으로지향하는 단계와, 형성된 홀로그램을 현상하는 단계와, 마스크의 재구성 영상을 형성하기 위해 홀로그램의 재구성시 홀로그래픽 레코딩 층을 왼쪽에서 내부전반사에 의해 거의 반대방향에 홀로그램을 간섭광으로 재조사하는 단계를 포함한 내부전반사 홀로그램의 구성 및 상기 홀로그램에 의한 영상의 재구성 방법에 있어서, 마스크의 상부면 및 하측면의 적어도 한면에 상기 반사 방지막을 형성하는 단계를 포함하는데, 상기 반사 방지막은 홀로그램에 의한 영상의 재구성시 마스크의 투명영역과 대응하는 영역에 영상의 강도에 대한 균일성을 저하시키는 프린지 패턴의 발생을 제거하거나 최소화 하는 것을 특징으로 하는 내부전반사 홀로그램의 구성 및 상기 홀로그램에 의한 영상의 재구성방법.
  3. 제2항에 있어서, 상기 홀로그램에 의해 재구성된 영상은 감광성 수지막 층에 기록되는 것을 특징으로 하는 방법.
  4. 제1항 내지 제3항중 어느 한 항에 있어서, 상기 반사방지막은 마스크의 투명 및 불투명 영역이 생성되기 이전에 마스크의 각면에 도포되는 것을 특징으로 하는 방법.
  5. 홀로그래픽 레코딩 층에 영상을 기록하기 위해 하측 면상에 투명 및 불투명 영역을 가진 마스크를 형성하는 단계와, 상기 홀로그래픽 레코딩 층의 한면으로부터 내부 전반사된 참조 비임 및 마스크를 통과한 신호비임을 상기 홀로그래픽 레코딩 층으로 지향하는 단계를 포함한 내부전반사(TIR)홀로그램을 구성하는 방법에 있어서, 마스크의 하측면상에 반사 방지막을 형성하는 단계를 포함하는데, 상기 반사 방지막은 홀로그램에 의한 영상의 재구성 및 홀로그램에 의해 재구성된 영상의 초점심도를 개선하는 동안 마스크의 투명영역과 대응하는 영역에 영상의 강도에 대한 균일성을 저하시키는 프린지 패턴의 발생을 제거하거나 최소화 하는 것을 특징으로 하는 내부전반사 홀로그램을 구성하는 방법.
  6. 홀로그래픽 레코딩 층에 영상을 기록하기 위해 하측 면상에 투명 및 불투명 영역을 가진 마스크를 형성하는 단계와, 상기 홀로그래픽 레코딩 층의 한면으로부터 내부 전반사된 참조 비임 및 마스크를 통과한 신호비임을 홀로그래픽 레코딩 층으로 지향하는 단계와, 형성된 홀로그램을 현상하는 단계와, 마스크의 재구성된 영상을 형성하기 위해 홀로그램의 구성시 홀로그래픽 레코딩 층을 왼쪽에서 내부 전반사된 비임에 의해 거의 반대방향에 홀로그램을 간섭광으로 재조사하는 단계를 포함한 내부전반사 홀로그램의 구성 및 상기 홀로그램에 의한 영항의 재구성 방법에 있어서, 마스크의 상기 하측면상에 반사방지막을 형성하는 단계를 포함하는데, 상기 반사방지막은 홀로그램에 의한 영상의 재구성 및 재구성된 영상의 초점심도를 개선하는 동안 마스크의 투명영역과 대응하는 영역에 영상이 강도에 대한 균일성을 저하시키는 프린지 패턴의 발생을 제거하거나 최소화 하는 것을 특징으로 하는 내부전반사 홀로그램의 구성 및 상기 홀로그램에 의한 영상의 재구성 방법.
  7. 제6항에 있어서, 홀로그램에 의해 재구성 된 영상은 감광성 수지막층에 기록되는 것을 특징으로 하는 방법.
  8. 제5항 내지 제7항중 어느 한항에 있어서, 상기 반사방지막은 마스크의 투명 및 불투명 영역이 생성되기 이전에 마스크의 면에 도포되는 것을 특징으로 하는 방법.
  9. 상기 홀로그래팩 레코딩 층의 한면으로부터 내부전반사된 참조 비임 및 마스크를 통과한 신호비임을 상기 홀로그래픽 층으로 지향시키는 단계에 의해 홀로그래픽 레코딩 층에 영상을 기록하기 위해 투명 및 불투명 영역을 포함하는 내부전반사 홀로그램의 구성에 사용하는 마스크에 있어서, 상기 마스크의 하측면 및 상부면의 적어도 한면에 형성되는 반사방지막을 구비하는 것을 특징으로 하는 마스크.
  10. 제9항에 있어서, 상기 반사방지막음 마스크의 투명 및 불투명 영역이 생성되기 이전에 마스크 각면에 도포되는 것을 특징으로 하는 마스크.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개되는 것임.
KR1019910008026A 1990-05-18 1991-05-17 내부전반사 홀로그램에 의한 고화질 영상 마스크 KR100212905B1 (ko)

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KR100212905B1 KR100212905B1 (ko) 1999-08-02

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