KR900702073A - 화학적 증착용 온도제어 디스트리뷰터 비임 - Google Patents
화학적 증착용 온도제어 디스트리뷰터 비임Info
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- C03C17/001—General methods for coating; Devices therefor
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Abstract
내용 없음
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 따른 디스트리뷰터 비임을 포함하여 단면에 나타낸 장치를 제조하는 부유 글라스의 측정면도이다. 제2도는 제1도에 나타낸 디스트리뷰터 비임의 확대 측정면 단면도이다. 제3도는 제2도에 나타낸 온도보상 파스너 중 하나의 확대 부분도이다.
Claims (21)
- 각각 출구를 가지고 별도의 코팅가스를 받기위한 최소한 한 쌍의 플리넘, 혼합쳄버는 비교적 열전도도가높은 물질의 벽과는 별도의 공간에 의해 한정되고 크팅될 글라스 시이트의 표면 근처에 위치하도록 부착된 출구와 상기 플리넘과 출구에 연결된 입구를 가진 혼합쳄버, 냉각유체를 포함하도록 부착된 관을 한정하는 서포트, 상기 플리넘 상기 서포트 사이에서 그리고 상기 블록과 상기 서포트 사이에서 위치한 절연물질 및 상기 블록의 온도가 상승함에 따라 상기 파스너 장치가 증가된 클램핑 압력을 발휘하는 상기 서포트에 상기 플리넘, 상기 블록 및 상기 절연물질을 부착하기 위한 냉각된 파스터 장치로 되어 있는 것을 특징으로 하는 코팅물질의 증착으로 글라스시이트의 표면을 코팅하는 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 코팅가스를 가열하기 위하여 상기 플리넘에 인접하여 위치한 가열장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 코팅물질의 증착으로 글라스시이티의 표면을 코팅하는 장치.
- 제2항에 있어서, 상기 가열장치는 상기 블록에 형성된 리세스에 위치한 최소한 하나의 히이터를 포함하는 것을 특징으로 하는 코팅물질의 증착으로 글라스시이티의 표면을 코팅하는 장치.
- 제2항에 있어서, 상기 가열장치는 상기 블록내 리세스에 위치한 최소한 하나의 전기 히이터와 전력소오스 및 상기 전기 히이터 사이에 연결된 히이터 콘트롤을 포함하는 것을 특징으로 하는 코팅물질의 증착으로 글라스시이티의 표면을 코팅하는 장치.
- 제4항에 있어서, 상기 전기 히이터에 인접하여 위치한 열전기 쌍과 상기 열전기쌍 및 상기 히이터 콘트롤에 연결된 온도제어기를 포함하고, 상기 온도제어기는 상기 전기 히이터에 의해 공급된 열량을 조정하기 위하여 상기 히이터 콘트롤을 제어하는 상기 열저기쌍에 의해 발생된 온도신화가 세트 포인트 온도신호에 응답하는 것을 특징으로 하는 코팅물질의 증착으로 글라스시이트에 표면을 코팅하는 장치.
- 제5항에 있어서, 상기 온도제어기는 프로그램된 마이크로 프로세서를 포함하는 것을 특징으로 하는 코팅물질의 증착으로 글라스시이트의 표면을 코팅하는 장치.
- 제5항에 있어서, 상기 열전기쌍은 상기 혼합챔버에 인접하여 위치하는 것을 특징으로 하는 코팅물질의 증착으로 글라스시이트에 표면을 코팅하는 장치.
- 제5항에 있어서, 상기 열전기쌍을 코팅될 글라스시이트의 표면에 인접하여 위치하도록 부착된 상기 블록의 표면에 인접하여 위치하는 것을 특징으로 하는 코팅물질의 증착으로 글라스시이트의 표면을 코팅하는 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 플리넘에 인접하여 위치한 전지가열장치, 상기 블록에 위치한 하나의 열전기쌍, 상기 플리넘에 의해 형성된 최소한 하나의 와이어관 및 상기 전기가열장치와 상기 열전기쌍에 연결된 리이드용통로를 한정하는 상기 지지체를 포함하는 것을 특징으로 하는 코팅물질의 증착으로 글라스시이트의 표면을 코팅하는 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 냉각돤 파스너 장치는 상기 블록과 상기 절연물질을 통하여 헤드에서 상기 지지체에 형성된 나사흠이 있는 구멍에 끼워진 나사흠이 있는 말단까지 뻗어 있는 최소한 하나의 나사흠이 있는 파스너, 상기 지지체에 상기 헤드까지 뻗어 있고 상기 나사흠이 있는 파스너가 통과하는 부싱, 및 상기 나사흠이 있는 파스너가 통과하고 상기 헤드의 인접한 상기 부싱의 끌과 상기 헤드 사이에 위치한 와셔를 포함하는 것을 특징으로 하는 코팅물질의 증착으로 글라스시이트의 표면을 코팅하는 장치.
- 제10항에 있어서, 상기 부싱은 상기 나사흠이 있는 파스너보다 열팽창계수가 더 크고, 상기 나사흠이 있는 파스너는 상기 블록 물질보다 열팽챙계수가 더 큰 것을 특징으로 하는 코팅물질의 증착으로 글라스시이트의 표면을 코팅하는 장치.
- 각각 출구를 가지고 별도의 코팅가스를 받기 위한 최소한 한쌍의 플리넘, 혼합챔버는 비교적 열전도가 높은 물질의 블록의 벽과는 별도의 공간에 의해 한정되고 이동하는 글라스시이트의 상부표면 위에 위치하도록 부착된 출구와 상기 플리넘 출구에 연결된 입구를 가진 혼합쳄버, 상기 유체관을 한정하는 서포트, 상기 플리넘과 상기 서포트 사이에 그리고 상기 블록과 상기 서포트 사이에 위치한 절연 물질, 상기 가열장치에 의해 공급된 열량을 조정하기 위하여 히이터 콘트롤에 연결되고 상기 플리넘 이웃에 위치한 가열장치, 및 상기 서포트에 상기 플리넘, 상기 블록 및 상기 절연물질을 부착하기 위한 파스너 장치로 된 것을 특징으로 하는 코팅물질의 증착으로 글라스시이트의 표면을 코팅하는 장치.
- 제12항에 있어서, 이동하는 클라스시이트의 상부면과 마주보도록 부착된 상기 블록면과 상기 혼합챔버에 인접하여 위치한 열전기쌍, 및 상기 가열장치에 의해 공급된 열량을 제어하기 위하여 상기 히이터 콘트롤에 제어신호를 발생하고 상기 열전기쌍으로부터 온도를 나타내는 신호를 받는 상기 히이터 콘트롤과 상기 열전기 쌍에 리이드에 의해 연결된 온도 제어기를 포함하는 것을 특징으로 하는 코팅물질의 증착으로 글라스시이트의 표면을 코팅하는 장치.
- 제13항에 있어서, 냉각유체소오스와 상기 냉각유체관 사이에 연결된 밸브장치와 상기 냉각유체관에 공급된 냉각유체의 양을 제어하기 위하여 상기 온도제어기와 상기 밸브사이에 연결된 밸브 콘트롤을 포함하는 것을 특징으로 하는 코팅물질의 증착으로 글라스시이트의 표면을 코팅하는 장치.
- 제14항에 있어서, 상기 온도제어기는 프로그램된 마이크로 프로세서를 포함하는 것을 특징으로 하는 코팅물질의 증착으로 글라스시이트의 표면을 코팅하는 장치.
- 제12항에 있어서, 상기 플리넘과 상기 지지체에 형성된 리이드관을 포함하고 각각 상기 히이터 콘트롤과 상기 온도제어기에 상기 열전기쌍 및 상기 가열장치로부터 리이드용 통로를 한정하는 것을 특징으로 하는 코팅물질의 증착으로 글라스시이트의 표면을 코팅하는 장치.
- 각각 출구를 가지고 별도의 코팅가스를 받기 위한 최소한 한쌍의 플리넘, 혼합쳄버는 비교적 열전도도가 높은 물질의 블록의 벽과 떨어진 공간에 의한 한정되고 코팅될 글라스시이트의 표면에 인접하여 위치하도록 부착된 출구와 상기 플리넘 출구에 연결된 입구를 가진 혼합쳄버, 냉각유체관을 한정하는 서포트, 상기 플리넘과 상기 서포트 사이에 그리고 상기 블록과 상기 서포트 사이에 위치한 절연 물질, 및 상기 나사흠이 있는 파스너는 상기 블록의 열팽창제수보다 더 큰 열팽창계수를 가지고 상기 절연물질과 상기 블록을 통하여 뻗어 있어 상기 서포트와 나사물림을 하는 나사흠이 있는 파스너를 포한 상기 서포트에 대하여 상기 플리넘, 상기 블록과 상기 절연물질을 부착하는 냉각 파스너 장치로 된 것을 특징으로 하는 코팅물질의 증착으로 글라스시이트의 표면을 코팅하는 장치.
- 제17항에 있어서, 상기 나사흠이 있는 파스너와 상기 지지체 사이에 뻗어 있는 부싱을 포함하고 이 부싱을 통하여 상기 나사흠이 있는 파스너가 뻗어 있고, 상기 부싱은 상기 나사흠이 있는 파스너의 열팽창계수보다 더 큰 열팽창계수를 갖는것을 특징으로 하는 코팅물질의 증착으로 글라스시이트의 표면을 코팅하는 장치.
- 제18항에 있어서, 상기 나사흠이 있는 파스너의 상기 헤드와 상기 부싱 사이에 위치한 와셔를 포함하고 상기 와셔를 통하여 상기 나사흠이 있는 파스너가 통과하는 것을 특징으로 하는 코팅물질의 증착으로 글라스시이트의 표면을 코팅하는 장치.
- 제19항에 있어서, 상기 부싱은 상기 나사흠이 있는 파스너의 상기 헤드에 인접한 끝에 형성된 방사형으로 바깥으로 뻗어 있는 플라지, 상기 나사흠이 있는 파스너와 상기 블록에 형성된 구멍을 통하여 뻗어 있는 상기 부싱을 가지고 있고, 상기 나사흠이 있는 파스너와 상기 부싱의 상기 플란지된 끝을 유지하기 위하여 확대 오프닝을 가지고 있는 상기 구멍과 상기 구멍의 상기확대 오프닝을 닫는 플러그를 포함하는 것을 특징으로 하는 코팅물질의 증착으로 글라스시이트의 표면을 코팅하는 장치.
- 첨부도면을 참고로 하여 명세서 속에 기술된 것을 특징으로 하는 코팅물질의 증착으로 글라스시이트의 표면을 코팅하는 장치.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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