KR900010900A - 하전입자의 집속을 위한 정전렌즈의 구조 - Google Patents

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KR900010900A
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이종현
배남진
장원익
이상수
이운장
박승교
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경상현
재단법인 한국전자통신연구소
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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
    • H01J37/10—Lenses
    • H01J37/12—Lenses electrostatic

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Abstract

내용 없음

Description

하전입자의 집속을 위한 정전렌즈의 구조
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3도는 본 발명에 의한 등전위 정전렌즈의 실시예.

Claims (5)

  1. 3개의 전극으로 구성된 정전렌즈에 있어서 제3전극의 연결조립부분을 가운데부분보다 낮춘것을 특징으로 하는 하전입자의 집속을 위한 정전렌즈의 구조.
  2. 제1항에 있어서, 각 전극의 끝단에 1개 또는 2개의 돌출부를 갖는 것을 특징으로 하는 하전입자의 집속을 위한 정전렌즈의 구조.
  3. 제1항에 있어서, 각 전극면에 경사면을 없애고 수직면과 수평면으로 처리하는 것을 특징으로 하는 하전입자의 집속을 위한 정전렌즈의 구조.
  4. 2개 또는 3개 이상의 전극으로 구성되는 정전 렌즈에 있어서, 각 전극의 끝단에 1개 또는 2개의 돌출부를 갖이며 각 전극면에 경사면을 없애고 수직면과 수평면으로 처리하는 것을 특징으로 하는 하전입자의 집속을 위한 정전렌즈의 구조.
  5. 제1항에 있어서, 마지막 전극의 연결 조립부분을 가운데 부분보다 낮춘 것을 특징으로 하는 하전입자의 집속을 위한 정전렌즈의 구조.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019880017980A 1988-12-30 1988-12-30 하전입자(전자 또는 이온)의 집속을 위한 정전렌즈의 구조 KR910007806B1 (ko)

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