KR900009080B1

KR900009080B1 - In-line type electron gun structure

Info

Publication number: KR900009080B1
Application number: KR1019870001335A
Authority: KR
Inventors: 가즈아끼 나이끼
Original assignee: 니뽄 덴끼 가부시끼가이샤; 세끼모또 다다히로
Priority date: 1986-02-20
Filing date: 1987-02-18
Publication date: 1990-12-20
Also published as: JPH0789474B2; JPS62195834A; KR870008367A

Abstract

내용 없음.No content.

Description

Inline Gun Sphere

제1도 및 제2도는 각각 본 발명의 일실시예에 의한 내부 전극이 배설된 인라인형 일체화 구조 전극의 3개의 전자총의 축을 포함하는 단면도와, 이 단면에 수직인 중앙의 전자총의 축을 포함하는 단면도.1 and 2 are cross-sectional views each of which includes the axes of three electron guns of an inline type integrated structure electrode in which an internal electrode is disposed according to one embodiment of the present invention, and a shaft of the central electron gun perpendicular to this cross section. .

제3도 및 제 4도는 각각 본 발명의 일실시예에 의한 내부 전극의 사시도.3 and 4 are perspective views of internal electrodes according to one embodiment of the present invention, respectively.

제 5도 및 제 6도는 각각 개공 지름 D과 개공 이심거리 S가 1＞D/S≥0.88로 되도록 대구경화 된 인라인 일체화 구조의 주전자렌즈 전극 구체의 단면도와 평면도.5 and 6 are cross-sectional views and plan views, respectively, of the in-line integral structure of the kettle lens electrode having a large diameter such that the opening diameter D and the opening eccentric distance S are 1> D / S ≧ 0.88.

제7도 및 제8도는 제5도에 도시하는 전극에 소정의 전위를 부여하였을때에 3개의 전자총의 축을 포함하는 단면과, 이 단면에 수직으로 중앙의 전자총의 축을 포함하는 단면내에 형성되는 주전자렌즈 정진계를 도시하는 도면.7 and 8 show a kettle formed in a cross section including the axes of three electron guns when a predetermined potential is applied to the electrode shown in FIG. 5, and in the cross section including the axes of the center electron guns perpendicular to the cross sections. A diagram showing a lens inspection system.

제9도는 본 발명의 다른 실시예의 D/S≥1로 된 중첩형 개공을 구비한 인라인형 일체화 구조의 주전자렌즈 전극 구체의 평면도.9 is a plan view of a kettle lens electrode sphere having an inline integrated structure with overlapping openings of D / S ≧ 1 according to another embodiment of the present invention.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings

1, 1' : 대구경화 인라인형 일체화 전극 10R, 10G, 10B : 전자총의 축1, 1 ': large diameter inline integrated electrode 10R, 10G, 10B: axis of electron gun

11R, 11G, 11B : 22R, 22G, 22B, 41R, 41G, 41B : 전자빔 투과 개공11R, 11G, 11B: 22R, 22G, 22B, 41R, 41G, 41B: Electron beam penetration opening

14, 24 : 돌상 가장자리 15 : 간극부14, 24: stone edge 15: gap portion

2, 2' : 내부 전극 22, 22' : 내부 전극 고정판2, 2 ': internal electrode 22, 22': internal electrode fixing plate

21R, 21G, 21B, 21R', 21G', 21B' : 원통상 전극21R, 21G, 21B, 21R ', 21G', 21B ': cylindrical electrode

23, 23' : 원통상 전극선단23, 23 ': cylindrical electrode tip

16, 17, 26, 27, 16', 17', 26', 27' : 등전위선군16, 17, 26, 27, 16 ', 17', 26 ', 27': Equipotential group

본 발명은, 인라인형 칼라 음극선관용 전자총의 주전자렌즈 구성 전극의 해상도 개선에 관한 것이다.TECHNICAL FIELD This invention relates to the improvement of the resolution of the kettle lens structure electrode of the electron gun for inline type cathode ray tubes.

전자총의 해상도는, 주로 바이.포탠셜.포오커스형, 유니.포텐셜.포오커스형, 흑은 이들을 조합시킨다. 단집속으로 되는 정전 전자렌즈의 구면수차에 의해 제약된다. 따라서, 고해상도 특성을 얻으려면 주전자렌즈를 구성하는 전극 개공 지름을 크게하여, 전자렌즈의 구면수차를 작게할 필요가 있다. 주전자렌즈를 형성하는 전극의 개공 지름은 칼라 음극선관외 전자총이 봉지되는 유리경부 내경에 제한되고 3전자총이 일렬로 배열된 인라인형 칼라 음극선관에서는 주전자렌즈 전극 개공 지름은 최대라도 유리 경부 내경의 1/3 이하로 된다. 한편, 인라인형 전자총에서는 단순히 주전자렌즈 전극의 개공 지름을 크게하면, 주전자렌즈 전극의 개공간 거리인 이심거리가 커짐과 동시에, 유리 경부 구경을 크게 할 필요가 있다.The resolution of the electron gun is mainly bi.potential.focus type, unipotential.focus type, and black combines these. It is constrained by the spherical aberration of the electrostatic electron lens which becomes single focusing. Therefore, in order to obtain high resolution characteristics, it is necessary to increase the diameter of the electrode openings constituting the kettle lens and to reduce the spherical aberration of the electron lens. The opening diameter of the electrode forming the kettle lens is limited to the inner diameter of the glass neck portion in which the electron gun is encapsulated outside the colored cathode ray tube. 3 or less. On the other hand, in the inline type electron gun, if the aperture diameter of the kettle lens electrode is simply increased, the eccentric distance, which is the opening distance of the kettle lens electrode, becomes large, and the diameter of the glass neck needs to be increased.

주지하는 바와 같이, 이심거리의 증대는 2전자빔을 형광면상 전역에 걸쳐서 일점에 집중시키는 콘버젼스 특성을 예화시키며, 유리경부 구경의 증대는 수상관의 편향 전력 증대로 되어, 어느 것이나 바람직하지 못하다.As is well known, the increase in the eccentricity exemplifies the convergence characteristic of concentrating the two electron beams in one point over the entire fluorescent surface, and the increase in the glass neck diameter results in an increase in the deflection power of the water pipe, which is undesirable. .

거리에서 인라인형 전자총의 이심거리 5와 유리경부 구결을 변경하는 일없이, 주전자렌즈 구성 전극의 공지름 D을 크게하는 방법으로서, 일체화 전극상에 3개의 개공 지름 D을 개공 이심거리 S에 가급적 근접시키거나, 3개의 개공 이심거리 S 이상의 공지름 D을 가지고, 3개의 개공을 서로 중첩시켜 인라인으로 배열하는 전극 구조가 제안되고 있다.As a method of increasing the notch D of the in-line electron gun and the glass diameter of the glass neck without changing the grain diameter of the glass lens, the three opening diameters D on the integrated electrode are as close to the opening eccentric distance S as possible. An electrode structure is proposed which has a known diameter D equal to or greater than three opening eccentric distances S and arranges the three openings in line with each other.

제5도, 제6도는 전극 개공 지름 D의 이심거리 S에 대한 비를 1＞D/S≥0.88로 되도록 공지름 D를 이심거리 S에 가능한 한 근접 시켜서 대구경화된 인라인형 일체화 구조의 주전자렌즈 전극의 일예를 도시하는 단면도와 평면도이다. 전극(1)은 서로 이심거리 S로 격리된 중앙 및 양외측의 3개의 전자총의 축(10G, 10R, 10B)상에 중앙 및 양외측 전자빔 투과 개공(11G, 11R, 11B)이 패쇄면(12)에 천설되어, 폐쇄면(12)에 연속해서 통측부(13)가 형성된 폐쇄 통상체로 되어 있다.5 and 6 show the large-diameter inline integrated kettle lens having the diameter D as close as possible to the eccentric distance S so that the ratio of the eccentric distance S of the electrode opening diameter D is 1> D / S≥0.88. It is sectional drawing and a top view which show an example of an electrode. The electrode 1 has the center and both outer electron beam transmission apertures 11G, 11R, and 11B on the axes 10G, 10R, and 10B of three electron guns separated from each other with an eccentric distance S, and the shielding surface 12 ), And is a closed body in which a cylinder side portion 13 is formed continuously to the closing surface 12.

투과 개공(11G, 11R, 11B)의 주위는 폐쇄 통상 내부에 돌출하는 돌상 가장자리(14)에서 감싸여져, 각 개공부에 형성되는 정전 전자렌즈의 상호 영향을 방지함과 동시에 폐쇄면(12)을 강화하고 있어서, 그 높이 h는 가능한 한 크게 형성되어 있다. 전자빔 투과 개공(11R, 11G ,11B)의 공지름 D은 서로 겹쳐지지 않고 인접개공(11R, 11G) 및 (11G, 11B)의 간극부(15)를 거의 전극(1)의 형성재판 두께 정도까지 좁히므로서 대구경화되어 있다. 예를 들면 S=5.10㎜, 전극 형성재판 두께 t=0.25㎜라 하면, 종래는 D=4.10㎜ 정도가 돌상 가장자리 부착 개공 가공의 한계로 되어 있었으나, 일본국 특허공개 공보 소화 제58-102446호에 도시하는 가공 기술의 개선에 의해 D=4.8㎜가 얻어진다. 이 경우 D/S=0.941로 되어 있다.The periphery of the transmissive openings 11G, 11R, and 11B is enclosed by the protrusion edges 14 projecting inside the closing normally, thereby preventing the mutual influence of the electrostatic electron lenses formed at each opening and simultaneously closing the closing surface 12. The height h is formed as large as possible. The known diameters D of the electron beam transmissive openings 11R, 11G, and 11B do not overlap each other, and the gaps 15 of the adjacent openings 11R, 11G and 11G, 11B are almost up to the thickness of the plate formed of the electrode 1. It is largely hardened by narrowing. For example, if S = 5.10 mm and the electrode forming plate thickness t = 0.25 mm, D = 4.10 mm was the limit of the perforation process of the perforated edge in the past, but Japanese Patent Laid-Open No. 58-102446 D = 4.8 mm is obtained by the improvement of the processing technique shown. In this case, D / S = 0.941.

또한, 상기 대구경화 이전의 기술에서는 전극 가공상의 제약에서, 개공 지름 D는 D/S＜0.835정도가 한계로 되어 왔다. 한편 개공 지름 확대화에 의한 전자렌즈의 구면수차 개선 효과가 형광면 위에서 해상도 개선으로서 인정이 되려면 개공 지름은 5% 이상 크게 할 필요가 있으며 D/S=0.88은 이 하한에 해당하고 있다.In addition, in the technique before the large diameter, the opening diameter D has a limit of about D / S < On the other hand, in order for the spherical aberration improvement effect of the electron lens due to the enlarged aperture diameter to be recognized as an improvement in resolution on the fluorescent surface, the aperture diameter needs to be larger than 5%, and D / S = 0.88 corresponds to the lower limit.

제7도는 이 전극(1)을 바이.포텐셜.포오커스 방식의 주전자렌즈의 양극 전극에, 이것과 동일 구조를 한 전극(1')을 집속 전극으로 하고, 동일축(10R, 10G, 10B)위에 대향배치 하고, 각 전극에 소정의 전압을 인가한 경우, 3개의 전자총의 축(10R, 10G, 10B)을 포함하는 단면내에 있어서 주전자렌즈를 형성하는 정전계를 도시하고, 주전자렌즈의 등전위면과 이 단면과의 교선인 등전위선을 선군(16, 16')에서 도시한다. 제8도는 상기 단면에 수직으로, 중앙의 전자총의 축을 포함하는 단면내의 주전자렌즈 정전계를 도시하고, 주전자렌즈의 등전위면과 이 단면과의 교선인 등전위선을 선군(17, 17')으로 도시한다.7 shows the same axis 10R, 10G, and 10B as the focusing electrode, with the electrode 1 'having the same structure as that of the anode electrode of the bi-potential-focus type kettle lens. The electrostatic field which forms a kettle lens in the cross section containing the axes 10R, 10G, and 10B of three electron guns when it arrange | positions on the above and apply | prescribes predetermined voltage to each electrode is shown, and the equipotential surface of a kettle lens is shown. And equipotential lines, which are intersections with these cross sections, are shown in the line groups 16 and 16 '. FIG. 8 shows the kettle lens electrostatic field in the cross section including the axis of the electron gun in the center, perpendicular to the cross section, and the equipotential lines intersecting the equipotential surface of the kettle lens with this cross section as line groups 17 and 17 '. do.

제7도에 도시하는 단면내에서는 도면에서도 명백한 바와 같이, 전극(1, 1')의 대향부의 전자빔 투과 개공에는 각각 독립된 정전 전자렌즈가 형성되어 있으나, 전극 구조상 및 전극 형성상의 제약에서 돌상 가장자리(14)의 높이 h는 충분히 크게 잡히지 않고, 통상 개공 직경 D의 1/2 이하로 되어, 전극(1, 1')의 개공부에서 분리된 내부에서는 정전 전자렌즈를 구성하는 등전위선군(16, 16')은 전극 내부로의 침입이 충족된다. 따라서, 전극 내부에서는 등전위선군(16, 16')은 간극부(15, 15')를 경유하지 않고 공통의 등전위선으로 되어, 전극 내부에는 약한 렌즈가 형성되고, 그 상중앙 개공(11G, 11G')부근의 전자렌즈 전계의 곡률은 양회측 개공(11R, 11R', 11B, 11B')부근의 그것보다 적어져 있다.In the cross section shown in FIG. 7, as shown in the figure, independent electrostatic electron lenses are formed in the electron beam transmission apertures of the opposing portions of the electrodes 1, 1 ', respectively, The height h of 14) is not sufficiently large and is usually 1/2 or less of the opening diameter D, and the equipotential line groups 16 and 16 constituting the electrostatic electron lens in the interior separated from the openings of the electrodes 1 and 1 '. ') Is satisfied the intrusion into the interior of the electrode. Therefore, in the electrode, the equipotential line groups 16 and 16 'become common equipotential lines without passing through the gap portions 15 and 15', so that a weak lens is formed inside the electrode, and the upper center openings 11G and 11G are formed. The curvature of the electron lens electric field near ') is smaller than that near both openings 11R, 11R', 11B, 11B '.

또 다시 개공 지름 D를 이심거리 S에 한없이 근접시키고 있기 때문에 중앙 개공과 양외축 개공을 사이에 두는 간극부(15)가 양회측 개공의 중앙 개공에 인접하지 않는 외측과 통측부(13, 13')로 형성되는 간극에 비해서 매우 적기 때문에, 중앙 개공축의 간극부(15)부근에 형성되는 등전위선군에서 양외측 개공의 전극 외측부에 형성되는 등전위선군의 쪽이 밀하게 된다. 이 현상은 개공 지름 D의 이심거리(5)에 근접함에 따라, 흑은 이심거리 S 이상으로 되어 3개의 개공을 가로막는 간극부가 없어짐에 따라 현저해진다.In addition, since the opening diameter D is closely approached to the eccentric distance S, the gap portion 15 between the center opening and both outer shaft openings is not adjacent to the center opening of both openings, and the outside portion and the communicating portion 13, 13 ' Since there are very few compared with the clearance gap formed by the space | interval, the equipotential wire | wire group formed in the electrode outer side part of both outer openings in the equipotential line group formed near the clearance part 15 of a center opening axis becomes dense. As this phenomenon approaches the eccentric distance 5 of the pore diameter D, the black becomes more than the eccentric distance S and becomes remarkable as the gap portion blocking the three pores disappears.

따라서, 3개의 전자총 축을 포함하는 면내의 전자렌즈는 종래보다 약해져, 또한 중앙 개공(11G, 11G')에 형성되는 정전 전자렌즈는 양외측 개공(11R, 11R', 11B, 11B')에 형성되는 정전 전자렌즈보다 약해져, 이 단면 내에서의 전자빔은 중앙 전자빔 지름이 양외측 전자빔 지름보다 커진다.Therefore, the in-plane electron lens including the three electron gun axes is weaker than the conventional one, and the electrostatic electron lens formed in the center openings 11G and 11G 'is formed in both outer openings 11R, 11R', 11B, 11B '. It is weaker than the electrostatic electron lens, and the electron beam in this cross section has a central electron beam diameter larger than both outer electron beam diameters.

한편, 제8도에 도시하는 단면내에서는(도면에서는 중앙 개공부(11G, 11G')를 포함하는 면만 도시한다). 중앙 및 양외측 개공부에 형성되는 등전위선군(17, 17')은 각각 독립된 정전 전자렌즈를 구성하고, 그 각각은 전자총의 축에 대칭으로. 거의 동일 전자렌즈 강도를 갖고 있다. 여기에, 제7도와 제8도의 정전 전자렌즈를 비교하면, 제7도의 3개의 개공 배열 방향인 수평면 내의 등전위선군(16, 16')의 전극 내부에서의 곡률은 제8도에 도시하는 수직면 내의 등전위선군(17, 17')의 전극 내부의 곡률보다 적다. 이로 인하여 제7도의 수평면 내에서 제8도의 수직면내의 전자렌즈 강도가 강해져, 각 전자빔은 수평면 내에서 강하게 집속되는 비점수차를 받는다.In addition, in the cross section shown in FIG. 8 (only the surface containing center opening part 11G, 11G 'is shown in figure). The equipotential line groups 17 and 17 'formed in the center and both outward openings each constitute independent electrostatic electron lenses, each of which is symmetrical to the axis of the electron gun. It has almost the same electron lens intensity. If the electrostatic electron lenses of FIG. 7 and FIG. 8 are compared, the curvature inside the electrodes of the group of equipotential lines 16, 16 'in the horizontal plane in the three opening directions in FIG. 7 is in the vertical plane shown in FIG. It is less than the curvature inside the electrode of the equipotential line group 17 and 17 '. This intensifies the electron lens strength in the vertical plane of FIG. 8 in the horizontal plane of FIG. 7, and each electron beam is subjected to astigmatism that is strongly focused in the horizontal plane.

상술한 바와같이, 주렌즈 개공 지름 D를 이심거리 S에 한없이 근접시키거나 S 이상으로 한 정전 전자렌즈에서는, 각 전자빔 개공 통과 전자빔은 3개의 개공 배열 방향으로 장축을 가진 가로로 긴 전자빔 단면을 가지고, 그 위 중앙 전자빔은 양외측 전자빔보다 가로로 길어진다. 이 결과 형광면상에서는 수평방향의 해상도가 수직 방향보다 예화 되며, 또한 중앙 전자빔의 해상도는 양외측의 해상도 보다 나빠진다. 이 현상은 고휘도 화상으로 되는 전자빔 전류가 커져, 전자빔 개공부에서의 전자빔 속의 점유률이 커지면 한층 현저해져 해상도가 현저하게 예화된다.As described above, in the electrostatic electron lens in which the main lens opening diameter D is closely approximated to or greater than or equal to the eccentric distance S, each electron beam opening through-beam electron beam has a horizontally long electron beam cross section with long axes in three opening directions. The central electron beam above it is longer than the outer electron beam. As a result, on the fluorescent surface, the resolution in the horizontal direction is sharper than in the vertical direction, and the resolution of the central electron beam is worse than the resolution on both sides. This phenomenon becomes more remarkable when the electron beam current which becomes a high luminance image becomes large, and the occupancy rate in the electron beam in an electron beam opening part becomes large, and the resolution is remarkably exemplified.

본 발명은 상기한 결점을 감안하여 행하여 진것이며, 인라인형 전자총의 주전자렌즈의 개공 배열 방향인 수평 방향의 전자렌즈 강도를 수직 방향과 동등이상으로 하고, 또한 중앙과 양외측 전자렌즈 강도를 같게하여, 저전류에서 고전류역 까지 해상도가 뛰어난 인라인형 전자총을 제공하는 것이다.The present invention has been made in view of the above-described drawbacks, and the intensity of the electron lens in the horizontal direction, which is the opening direction of the kettle lens of the in-line electron gun, is equal to or greater than the vertical direction, and the center and the external electron lens strengths are the same. It is to provide inline electron gun with excellent resolution from low current to high current range.

본 발명은, 전자빔 투과 개공의 개공 지름을 개공 이심거리에 한없이 근접시키거나, 이심거리 이상으로 한 대구경 개공을 구비한 일체화 전극을 대향시킨 주전자렌즈를 가지는 인라인형 전자총에 있어서, 일체화 전극 내부에 그 개공 지름보다 적고, 개공과 소정의 거리를 가지고 대향하도록, 공통면에서 돌출한 원통상 내부 전극을 배설하고, 원통상 내부 전극의 선단의 높이를 개공 배열 방향과 이것과 직교하는 방향에서 다르게 한 것을 특징으로 한다.The present invention relates to an inline electron gun having a kettle lens in which an opening diameter of an electron beam transmission opening is close to an opening eccentric distance, or an integral electrode having a large diameter opening having an eccentric distance or more is opposed. Cylindrical internal electrodes protruding from the common surface are disposed so as to face the openings at a predetermined distance and smaller than the opening diameters, and the heights of the ends of the cylindrical internal electrodes are different from the opening arrangement direction and the direction orthogonal to the openings. It features.

이와 같이 구성하므로서, 대구경 개공을 구비한 인라인형 전자렌즈의 수차를 제거하여, 중앙 및 양외측 개공부의 전자렌즈의 강도를 일치시켜, 저전류역에서 고전류역 까지 해상도를 현저히 개선한 인라인형 전자총을 얻을 수가 있다.In this configuration, the aberration of the in-line type electron lens with large-diameter openings is eliminated to match the intensity of the electron lens of the center and both outside openings, and the in-line type electron gun significantly improves the resolution from the low current range to the high current range. You can get

아래에, 도면을 참조로하여 본 발명의 일실시예를 상세히 설명을 한다.In the following, an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

제1도는 전극 구경 D에서 개공 이심거리 S에 대한 비를 1＞D/S≥0.88이 되도록 대구경화된 인라인형 일체화 구조의 주전자렌즈 전극(1, 1')를 동일축상(10R, 10G, 10B)위에 대향 배치하여, 각각의 전극(1, 1')내에 내부 전극(2, 2')을 배설한 본 발명의 일실시예의 단면도이다. 제2도는 제1도의 면에 수직인 중앙의 전자총의 축(10G)을 포함하는 단면도를 도시한다. 전극(1), (2)에는 고전압이 부가되어, 전극(1, 2')에는 고전압의 소정의 비율인 저전압이 부가된다. 고전압이 부가되는 내부 전극(2)은 제3도의 사시도, 및 제1도, 제2도에 도시하는 바와 같이, 서로 개공 이심거리 S로 떨어진 중앙 및 양외측의 3개의 전자총의 축(10G, 10R, 10B)위에 있도록 중앙 및 양외측의 돌상 가장자리(24) 부착 개공(22G, 22R, 22B)이 천설된 내부 전극 고정판(22)에 원통상 전극(21R, 21G, 21B)이 3개의 개공의 각각과 동일축으로 되도록 고정되어 있다. 원통상 전극(21R, 21G, 21B)의 선단(23)은 그것의 배열 방향인 수평 방향으로 높이가 최저로, 이것과 직교하는 방향에 최고부를 갖도록 凹상으로 가공되어 있다. 저전압이 부가되는 내부전극(2')은, 제4도의 사시도에 도시하는 바와같이 내부전극(2)과 거의 동일한 구조이며, 대응하는 부위에는(1')를 붙여서 도시하고, 설명은 생략한다.1 shows the coaxial lens 10R, 10G, and 10B of the in-line-integrated structure having the large diameter of the ratio of the opening eccentric distance S at the electrode aperture D to be 1> D / S≥0.88. ) Is a cross-sectional view of an embodiment of the present invention in which the internal electrodes 2, 2 'are disposed in each of the electrodes 1, 1'. FIG. 2 shows a sectional view including the axis 10G of the central electron gun perpendicular to the plane of FIG. 1. High voltage is added to the electrodes 1 and 2, and low voltage, which is a predetermined ratio of high voltage, is added to the electrodes 1 and 2 '. The internal electrodes 2 to which the high voltage is applied are the axes 10G and 10R of three electron guns in the center and both sides, which are separated from each other by the opening eccentric distance S as shown in the perspective view of FIG. 3 and the first and second views. Cylindrical electrodes 21R, 21G, 21B are formed in each of the three openings on the inner electrode fixing plate 22 on which the openings 22G, 22R, 22B of the center and both sides are attached to each other, 10B). It is fixed to be coaxial with. The tip 23 of the cylindrical electrodes 21R, 21G, 21B is processed in a wedge shape so that the height is the lowest in the horizontal direction, which is its arrangement direction, and has the highest part in the direction orthogonal to this. The internal electrode 2 'to which the low voltage is added has a structure substantially the same as that of the internal electrode 2, as shown in the perspective view of FIG. 4, and the corresponding portion is shown with 1', and description thereof is omitted.

단, 원통상 전극(21R', 21G', 21B)의 선단(23')은 그것의 배열 방향인 수평 방향으로 높이가 최고로, 이것과 직교하는 방향으로 최저부를 갖도록 凹상 가공의 방향이 90도 달라져 있다. 이상의 원통상 전극(21R, 21G, 21B, 21R', 21G', 21B')의 내경 D₁은 적극 구체(1, 1')의 개공 지름 D보다 적고, D₁/S＜0.88을 만족시키는 완전원으로 되어 있다. 이들의 내부 전극(2, 2')은 내부전극 고정판(22, 22')을 전극(1, 1')의 통측부에 연속하여 이것에 수직으로 형성된 플랜지상 가장자리 (18, 18')에 고정이 되어 있다.However, the tip 23 'of the cylindrical electrodes 21R', 21G ', 21B has the highest height in the horizontal direction, which is its arrangement direction, and has 90 degrees in the direction of flattening so as to have the lowest portion in the direction orthogonal to this. It is different. The inner diameter D ₁ of the above cylindrical electrodes 21R, 21G, 21B, 21R ', 21G', 21B 'is smaller than the opening diameter D of the active spheres 1, 1', and satisfies D ₁ /S<0.88. It is in a circle. These internal electrodes 2, 2 ′ fix the internal electrode fixing plates 22, 22 ′ to flange-like edges 18, 18 ′ which are formed perpendicular to the successive portions of the electrodes 1, 1 ′ continuously. Has become.

제1도에 도시하는 단면(수평면) 내에는 도면에서도 명백한 바와 같이, 전극(1, 1')의 대향부측, 및 전극 내부에서는 내부 전극(2, 2')에 의해 정전 전자렌즈를 형성하는 등전위선군(26, 26')은 모두 각 개공의 간극부(15, 15')를 경유하고, 각 대향 개공부(11R, 11R', 11G, 11G', 11B, 11B')에는 완전하게 독립된 정전 전자렌즈가 형성되고, 전극(1, 1') 내부에서는 각각 중앙 및 양외측 개공부에 형성되는 전자렌즈 전계는 같도록 되어 있다.In the cross section (horizontal plane) shown in FIG. 1, as is also apparent in the drawing, an equipotential for forming an electrostatic electron lens by opposing portions of the electrodes 1, 1 'and internal electrodes 2, 2' inside the electrode. The sunguns 26 and 26 'all pass through the gaps 15 and 15' of each opening, and each of the opposing openings 11R, 11R ', 11G, 11G', 11B and 11B 'is completely independent of the electrostatic electrons. A lens is formed, and inside the electrodes 1, 1 ', the electron lens electric fields formed in the center and both outer openings are equal.

한편, 제2도에 도시하는 3개의 전자총의 축(10R, 10G, 10B)을 포함하는 면에 수직으로 축(10G), 또는 도시하지 않은 축(10R, 10B)을 포함하는 단면(수직면) 내에서도 종래와 같이 각 개공부에는 각 전극 내부에서는 같고, 등전위선군(27, 27')에서 도시하는 독립된 정전 전자렌즈가 형성되어 있다.On the other hand, even in a cross section (vertical plane) including the axis 10G or the axes 10R and 10B (not shown) perpendicular to the plane including the axes 10R, 10G and 10B of the three electron guns shown in FIG. As in the prior art, each of the openings is formed with an independent electrostatic electron lens, which is the same inside each electrode and shown by the equipotential line groups 27 and 27 '.

일반적으로, 2개의 전극 개공을 대향시켰을때, 저 전위측에는 집속렌즈가, 고 전위측에는 발산렌즈가 되나, 전자빔이 가속되는 저 전위측의 집속렌즈 효과만 제외된다. 또한 전극 개공부로의 등전위선의 침입이 깊어지면 렌즈효과는 약해져, 역으로 침입이 얕으면 렌즈효과는 강해진다.In general, when two electrode openings are opposed to each other, the focusing lens becomes a diverging lens on the low potential side and the diverging lens on the high potential side, but only the focusing lens effect on the low potential side on which the electron beam is accelerated is excluded. Further, the deeper the penetration of the equipotential lines into the electrode openings, the weaker the lens effect. Conversely, the shallower the penetration, the stronger the lens effect.

따라서, 고전압이 인가되는 전극(1)내를 보면, 제1도의 3개의 전자총 축을 포함하는 수평면 내에서는, 내부 전극(2)의 원통상 전극(21R, 21G, 21B)의 선단(23)은 대향하는 개공 배열 방향이 이것과 직교하는 방향에서 전극(1)의 개공(11R, 11G, 11B)과 반대측으로 후퇴하여 있기 때문에, 각 개공부에 형성되는 등전위선(26)은 제2도의 수직면 내와 등전위선(27)에서 침입이 저지된다. 그 결과 전극(1)내에 형성되는 발산 렌즈는 수평면 내에서, 수직면 내쪽이 강해져, 전자빔은 개공 배열 방향으로 대해 수직 방향으로 큰 발산력을 받아 종장상으로 된다.Therefore, in the electrode 1 to which the high voltage is applied, in the horizontal plane including the three electron gun axes of FIG. 1, the tip 23 of the cylindrical electrodes 21R, 21G, 21B of the internal electrode 2 faces each other. Since the opening arrangement direction to be retracted on the opposite side to the openings 11R, 11G, and 11B of the electrode 1 in a direction orthogonal to this, the equipotential lines 26 formed in the openings are in the vertical plane of FIG. Intrusion is prevented at the equipotential line 27. As a result, the diverging lens formed in the electrode 1 becomes strong in the horizontal plane and in the vertical plane, and the electron beam receives a large divergence force in the vertical direction with respect to the opening arrangement direction to have a longitudinal shape.

역으로, 저전압이 부가되는 전극(1')내를 보면, 제1도의 수평면 내에서는, 내부전극(21R', 21G', 21B')의 선단(23')은 대향하는 개공 배열 방향이 이것과 직교하는 방향보다 전극(1')의 개공(11R', 11G', 11B')쪽으로 돌출하고 있기 때문에, 각 개공부에 형성되는 등전위선(26')은 제2도의 수직면 내의 등전위선(27')에서 침입이 저지된다. 이로인하여 전극(1')내에 형성되는 집속 렌즈는 수직면내(제2도)에서 수평면내(제1도)쪽이 강해져, 전자빔은 개공 배열 방향인 수평 방향으로 큰 집속력을 받아 종장상으로 된다. 즉, 대구경화 전극(1, 1)에 의해 전자빔이 수평 방향으로 길게 휘어지는 렌즈의 비점수차는 내부전극(2, 2')에 의해 상쇄되어, 중앙 및 양외측 개공부의 전자렌즈 강도를 일치시킬 수가 있게되어, 구면 및 비점수차의 적은 대구경화 전자렌즈가 얻어진다. 이에 따라 저전류역에서 고전류역 까지 해상도를 현저하게 개선한 인라인형 전자총을 얻을 수가 있다.On the contrary, in the electrode 1 'to which the low voltage is applied, in the horizontal plane of FIG. 1, the front end 23' of the internal electrodes 21R ', 21G', 21B 'has an opposite opening arrangement direction. Since it protrudes toward the openings 11R ', 11G', and 11B 'of the electrode 1' from the direction perpendicular to each other, the equipotential lines 26 'formed in each opening portion are equipotential lines 27' in the vertical plane of FIG. Intrusion is prevented). As a result, the focusing lens formed in the electrode 1 'becomes stronger in the horizontal plane (FIG. 1) in the vertical plane (FIG. 2), so that the electron beam is subjected to a large focusing force in the horizontal direction in the opening arrangement direction and becomes vertical. . That is, the astigmatism of the lens in which the electron beam is bent in the horizontal direction by the large-curing electrodes 1 and 1 is canceled by the internal electrodes 2 and 2 'so that the intensity of the electron lens of the center and both outer openings can be matched. This makes it possible to obtain a large-diameter electron lens with little spherical surface and astigmatism. As a result, an inline electron gun with remarkably improved resolution from the low current region to the high current region can be obtained.

한편 D/S≥0.88을 만족하는 이심거리 S를 가지고, 대구경 D을 가진 전극의 개공은 D₁/S＜0.88로 된 D보다 소구경으로 된 D₁을 가진 완전원공의 원통상 전극과 소정의 거리를 가지고 서로 대향하고 있기 때문에 전극 몸체의 대구경화에 의한 구면수차 저감 효과가 방해되는 일은 없다.On the other hand, the opening of the electrode having an eccentric distance S satisfying D / S≥0.88, and having a large diameter D, is made of a cylindrical cylindrical electrode with a perfect hole having a smaller diameter D ₁ than that of D ₁ /S<0.88 and a predetermined diameter. Since they face each other with a distance, the effect of reducing spherical aberration due to the large diameter of the electrode body is not disturbed.

본 발명이 적용이 가능한 전극 구체는 제5도, 제6도에 도시하는 개공 지름 D가 개공 이심거리 S 이하의 것에 한정되지 않고, 제9도에 도시하도록 3개의 개공(41R, 41G, 41B)이 이심거리 S 이상의 구경 D을 가지고, 3개의 개공을 서로 중첩시켜, 간극부가 일부 결락되어서 인라인 배열된 전극(4)에도 적용이 되는것은 말할나위도 없다.The electrode spheres to which the present invention is applicable are not limited to the hole diameter D shown below in FIGS. 5 and 6 but the hole separation distance S or less, and the three holes 41R, 41G, and 41B are shown in FIG. Needless to say, the aperture D having a diameter D or more of this eccentric distance S is overlapped with each other, and the gap is partially removed to be applied to the electrodes 4 arranged inline.

이상의 설명에서도 내부 전극을 전극 고정판에 선단이 凹상 가공된 원통상 전극을 고정시키고 있으나, 전극 고정판과 원통상 전극이 돌상 가장자리와 같이 일체화 되어 있어도 본 발명의 적용이 가능한 것은 말할 나위도 없다. 또 다시 본 발명의 내부 전극은 서로 대향하여 저전압과 고전압이 부가되는 전극의 어느 한쪽에 적용하여도 소정의 효과가 얻어지는 것은 말할나위도 없다.In the above description, the inner electrode is fixed to the electrode fixing plate by the cylindrical electrode of which the tip is roughly processed, but it goes without saying that the present invention can be applied even if the electrode holding plate and the cylindrical electrode are integrated like the protrusion. Moreover, it goes without saying that the internal electrodes of the present invention can be applied to either of the electrodes to which the low voltage and the high voltage are applied to face each other, thereby obtaining a predetermined effect.

이상으로 상술한 바와같이 본 발명에 의하면, 인라인형 전자총의 대구경화 전극에서 형성되는 전자렌즈의 개공 배열 방향과 이것에 직교하는 방향에서의 전자렌즈의 비점수차를 제거하여, 중앙 및 양외측 개공부의 전자렌즈 강도를 일치시켜, 전자빔 전류의 저전류 영역에서 고전류 영역까지 전자렌즈의 해상도를 현저하게 개선한 인라인형 전자총 구체를 얻을 수가 있다.As described above, according to the present invention, the astigmatism of the electron lens in the direction in which the electron lens is formed in the large-curing electrode of the inline electron gun and in the direction orthogonal to the hole is removed, thereby allowing the center and the both outer openings to be removed. By matching the electron lens intensities, it is possible to obtain an inline electron gun sphere in which the resolution of the electron lens is significantly improved from the low current region to the high current region of the electron beam current.

Claims

When the opening diameter of the electron beam through hole is D and the opening eccentric distance is S, the integrated electrodes 1 and 1 provided with the central and both large-diameter openings 11 having a ratio of D / S ≧ 0.88 In the in-line electron gun having a kettle lens facing '), the cylindrical internal electrodes 2, 2' having a diameter smaller than the opening diameter are formed coaxially at the inside of at least one of the integrated electrodes, and the opening ( 11) is provided so as to face a predetermined distance so that the distal end portion of the cylindrical inner electrode 2 on the high potential side of the opposing integrated electrodes 1 and 1 'is perpendicular to the opening alignment direction. An inline electron gun sphere characterized in that the tip end portion of the cylindrical inner electrode 2 'of the cylindrical inner electrode 2' is protruded in a shape that protrudes best in the opening arrangement direction.