KR900006407B1 - Spriral flow meter - Google Patents

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KR900006407B1
KR900006407B1 KR1019860004754A KR860004754A KR900006407B1 KR 900006407 B1 KR900006407 B1 KR 900006407B1 KR 1019860004754 A KR1019860004754 A KR 1019860004754A KR 860004754 A KR860004754 A KR 860004754A KR 900006407 B1 KR900006407 B1 KR 900006407B1
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데쯔오 이와모도
히로유끼 아메모리
시게루 니시야마
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도끼꼬 주식회사
가와아이노보루
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    • G01FMEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/05Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects
    • G01F1/20Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by detection of dynamic effects of the flow
    • G01F1/32Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by detection of dynamic effects of the flow using swirl flowmeters

Abstract

a flow passage through which a measuring fluid flows, a bluff body arranged in the flow passage for generating Karman vortex of the measuring fluid which flows through the flow passage, the bluff body being provided with a pair of differential pressure introducing holes for introducing a pressur change caused by the generation of the Karman vortex of the measuring fluid, the differential pressure introducing holes opening to respective side surfaces of the bluff body and extending toward and penetrating through one end of the bluff body; a main detecting part body which is an independent member from the bluff body; a pair of detecting parts provided in the main detecting part body, the pair of detecting parts comprising a pair of recesses provided on the main detecting part body.

Description

와형유량계Eddy flowmeter

제1도는 본 발명인 와형유량계의 제1실시예의 배면도.1 is a rear view of a first embodiment of the swirl flow meter of the present invention.

제2도는 제1도의 와형유량계의 종단 측면도.2 is a longitudinal side view of the vortex flowmeter of FIG.

제3도는 제1도의 와형유량계의 Ⅲ-Ⅲ선을 따른 횡단 평면도.3 is a transverse plan view along line III-III of the vortex flowmeter of FIG.

제4도는 제1도의 와형유량계에 쓰여지는 검출회로의 회로도.4 is a circuit diagram of a detection circuit used in the vortex flow meter of FIG.

제5도는 와류발생기둥의 다른 실시예의 횡단 평면도.5 is a cross-sectional plan view of another embodiment of a vortex generating column.

제6도는 본 발명인 와힝유량켸의 제2실시예의 종단 배면도.Figure 6 is a longitudinal rear view of a second embodiment of the present inventors flow rate.

제7도는 제6도의 와형유량계의 검출부의 걔략 평면도.7 is a schematic plan view of the detector of the vortex flowmeter of FIG.

제8도는 제6도의 와형유량계의 종단 측면도.8 is a longitudinal side view of the swirl flow meter of FIG.

제9도는 제6도의 와형유량계에 쓰여지는 검출 회로의 회로도.9 is a circuit diagram of a detection circuit used in the vortex flowmeter of FIG.

제10도는 검출부의 다른 실시예의 개략 평면도.10 is a schematic plan view of another embodiment of the detector.

본 발명은 와형유량계에 관한 것이며, 특히 유체유로중에 설치되어 피측유체에 카아맨(Karmann)와류를 발생시키는 와류발생의 구성을 간단하게 하고 또한 배관진동이 있어도 계측정도가 저하치 않게한 와형유량계에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a vortex flowmeter, particularly to a vortex flowmeter which is installed in a fluid flow path to simplify the configuration of vortex generation that generates Karmann vortices in the fluid to be inspected and does not deteriorate the measurement accuracy even in the presence of pipe vibration. It is about.

종래부터, 유로중에 와류발생체를 설치하여, 이 와류발생체에 의하여 그 하류측의 피측유체에 발생하는 카아맨와류에 대응하는 압력변화를 검출하고, 피측유체의 유속, 유량을 검출하는 와형유량계가 실용화 되어있다.Conventionally, a vortex flow meter which forms a vortex generator in the flow path, detects a pressure change corresponding to the Cayman vortex generated in the downstream side fluid by the vortex generator, and detects the flow velocity and flow rate of the side fluid. Has been put to practical use.

종래의 와형유량계에서는, 정전 용량식 검출부를 보유하는 것은 와류발생체의 양측면에 요부를 설치하고, 그곳에 고정 전극판을 설치함과 동시에 이 전극과 미소한 간격을 두고 피측유체의 압력변화를 받는 가동전극으로서의 다이어프렘을 설치하며, 전극판과 다이어프렘과의 사이의 공간에 액체를 봉입함과 동시에 1쌍의공간을 연통시켜 봉입액을 봉입하여 구성한 것이 있었다. 이 와형유량계에서는 피측유체의 흐름에 따라 와류 발생체의 양측을 통과한 피측유체에 상호 카아맨와류가 발생하여, 그 압력변화에 응하여 1쌍의 다이어프렘이 변위하고, 다이어프렘과 고정전극과의 사이의 정전 용량이 변화하는 것을 전기적으로 검출하여 유량을 검출한다.In the conventional vortex flowmeter, the capacitive detection unit is provided with recesses on both sides of the vortex generator, a fixed electrode plate is provided thereon, and at the same time, the electrode receives a change in the pressure of the fluid to be spaced at a small interval. The diaphragm was provided as an electrode, and the liquid was enclosed in the space between an electrode plate and a diaphragm, and a pair of space was connected, and the sealing liquid was enclosed. In this vortex flowmeter, a carman vortex is generated in the side fluid passing through both sides of the vortex generator as the flow of the side fluid flows, and a pair of diaphragms are displaced in response to the pressure change, and the diaphragm and the fixed electrode The flow rate is detected by electrically detecting that the capacitance between them changes.

그렇지만 배관에는 배관유로내의 유체의 이송에 따른 진동이 발생하고 있어서, 배관에 직접고정된 유량검출부에도 배관으로부터의 진동이 전달되어 유량검출부는 배관으로부터의 진동을 받으면서 유량계측을 행하고 있다.However, the piping generates vibration due to the transfer of the fluid in the piping flow path. The vibration is transmitted from the piping to the flow rate detection section fixed directly to the pipe, and the flow rate detection section performs the flow measurement while receiving the vibration from the pipe.

일반적으로 와류발생에 의한 차압을 검출하는 1쌍의 센서부는 배관의 길이방향에 대향하여 직교하는 수평방향에 설치되어 있다. 그렇지만, 배관을 전달하는 진동으로서 배관길이방향의 진동은 일어나기 어렵고, 발생하여도 비교적 적게 되지만, 배관길이방향과 직교하는 수평방향 및 수직방향의 진동성분은 비교적 크다. 이 때문에 종래의 와류유량계에서는 1쌍의 센서부가 배관길이방향과 직교하는 수평방향에 설치하여 있으므로, 배관에 수평방향으로의 진동이 발생하면 1쌍의 센서부의 다이어프렘실 및 연통로에 충전된 봉입액이 수평방향으로 요동한다.Generally, a pair of sensor part which detects the differential pressure by vortex generation is provided in the horizontal direction orthogonal to the longitudinal direction of piping. However, the vibration in the pipe length direction is unlikely to occur as a vibration for transmitting the pipe, and although relatively small, the vibration component in the horizontal and vertical directions orthogonal to the pipe length direction is relatively large. For this reason, in the conventional vortex flowmeter, a pair of sensor portions are provided in a horizontal direction perpendicular to the pipe length direction. Therefore, if vibration in the horizontal direction occurs in the pipe, the pair of sensor portions is filled in the diaphragm chamber and the communication path. The liquid swings in the horizontal direction.

따라서, 종래의 와형유량계에서는 배관의 수평방향의 진동이 발생하는 것 때문에 봉입액이 1쌍의 센서부에서 가속도를 받아, 이 봉입액의 완성에 의하여 금속 다이어프렘이 변위하여 버린다.Therefore, in the conventional vortex flowmeter, since the vibration in the horizontal direction of the pipe occurs, the encapsulating liquid receives an acceleration in a pair of sensor portions, and the metal diaphragm is displaced by the completion of the encapsulating liquid.

이경우 이와같은 배관진동에 의한 금속 다이어프렘의 변위에 의하여 정전용량의 변화가 검지되어 신호가 출력되어 버린다는 결점이 있다.In this case, there is a drawback that a change in capacitance is detected by the displacement of the metal diaphragm due to the pipe vibration, and a signal is output.

또한 금속 다이어프렘의 변위가 작은 미소유량을 계측할때, 카아맨와류에 의한 차압으로 금속 다이어프렘이 변위하였는지, 배관진동에 의하여 금속 다이어프렘이 변위하였는지를 판별치 못한다. 따라서, 저유량의 측정시에는 배관진동에 따른 금속 다이어프렘의 편의에 의한 정전용량의 변화를 검출치 않게 하는 전기회로의 증폭감도를 저하시킬 필요가 있다.In addition, when measuring a small flow rate with small displacement of the metal diaphragm, it is not possible to determine whether the metal diaphragm is displaced by the differential pressure caused by the carman vortex or whether the metal diaphragm is displaced by the pipe vibration. Therefore, when measuring the low flow rate, it is necessary to reduce the amplification sensitivity of the electric circuit which makes it impossible to detect the change in capacitance caused by the bias of the metal diaphragm due to the pipe vibration.

그러므로, 카아맨와류의 발생에 따른 금속 다이어프렘의 변위가 작은 미소유량을 계측하지 못하고, 유량계측범위가 협소하여 진다는 결점이 있다. 그래서, 본 발명은 상기한 종래의 결점을 제거한 신규이고 또한 유용한 와형유량계를 제공하는 것이며, 이하 도면과 같이 각기의 실시예에 대하여 설명한다.Therefore, there is a drawback that the small flow rate of the metal diaphragm caused by the generation of the carman vortex cannot be measured and the flow rate measurement range is narrowed. Thus, the present invention provides a novel and useful eddy flowmeter which eliminates the above-mentioned drawbacks, and each embodiment will be described as follows.

제l도 내지 제3도에 표시한 본 발명인 와형유량계의 제1실시예로서의 와형유량계(l0)는, 대략 플렌지를 갖는 관로(11)와, 관로(1l)의 중앙에 수직방향으로 뻗어 설치된 와류발생기둥(12)과, 와류발생기둥(12)에 관련하여 관로(l1) 바깥 상부에 설치된 검출부(13)와, 검출부(13)와 전기적으로 접속된 후술하는 검출회로로 된다.The swirl flow meter 10 as the first embodiment of the swirl flow meter according to the present invention shown in FIGS. 1 to 3 has a conduit 11 having a substantially flange and a vortex generated in a direction perpendicular to the center of the pipeline 1 l. A detection unit 13 provided above the column 12, the vortex generating column 12 outside the pipeline 11, and a detection circuit described later electrically connected to the detection unit 13.

와류발생기둥(12)의 양측면(12a),(12b)중간상부에 각기 차압도입개구(14a),(14b)가 열려 있다. 이 개구(14a),(14b)로부터 연통하여 차압도입금(15a),(15b)가 와류발생기둥(12)속을 뒷쪽으로 뻗어있다. 또한 개구(14a),(14b)는 와류 발생기둥(12)에 좌우 대칭으로 설치되어 있으면 충분하고 캐구(14a),(14b) 차압도입공(15a),(15b)의 구멍설치 정밀도의 엄밀성은 요구치 않으며 와류발생기둥(12)을 염가로 제조할 수 있다. 와류발생체(12)의 상부는 관로(11)의 관벽을 관통하고 있다.Differential pressure introduction openings 14a and 14b are respectively opened in the upper middle portions of both side surfaces 12a and 12b of the vortex generating column 12. In communication with the openings 14a and 14b, the differential pressure introduction platings 15a and 15b extend inwardly in the vortex generating column 12. As shown in FIG. It is sufficient that the openings 14a and 14b are symmetrically provided in the vortex generating column 12, and the rigidity of the hole mounting accuracy of the differential openings 15a and 15b of the catches 14a and 14b is sufficient. It is not required and the vortex generating column 12 can be manufactured at low cost. The upper part of the vortex generator 12 penetrates the pipe wall of the pipe line 11.

관로(11)의 관벽외주와 검출부(13)와의 사이에 도입공형성부재(16)에는 차압도입공(15a),(15b)에 연통하는 경사진 차압도입공(17a),(17b)이 형성되어 있으며, 또한 그 상면에는 차압도입공(17a),(17b)이 열리는 원형요부(l8a),(18b)가 설치되어 있다. 부재(16)상에는 검출부(l3)가 부착되어 있다.Between the pipe wall outer periphery of the pipe line 11 and the detection unit 13, the introduction hole forming member 16 is formed with inclined differential pressure introduction holes 17a, 17b communicating with the differential pressure introduction holes 15a, 15b. In addition, circular recesses 18a and 18b for opening the differential pressure introduction holes 17a and 17b are provided on the upper surface thereof. The detection part 13 is attached on the member 16.

검출부(13)에 있어서, 요부(l8a),(18b)에 면하여 원형의 가동전극으로서의 스텐레스제의 다이어프렘(19a),(19b)이 설치되어 있고, 또 다이어프렘(19a),(19b)과는 그 사이에 공간(20a),(20b)을 두고 원형의 고정전극으로서 도전박(箔)과 같이된 전극(21a),(21b)이 설치되어 있다.In the detection unit 13, stainless diaphragms 19a and 19b are provided to face the recesses 18a and 18b as circular movable electrodes, and the diaphragms 19a and 19b. The electrode 21a, 21b like the conductive foil is provided as a circular fixed electrode with space 20a, 20b between them.

상기공간(20a),(20b)은 전극(21a),(21b)을 관통하여 연통로(22)와 연통하여 있고, 이들의 공간(20a),(20b) 및 연통공(22)에는 비 압축성의 유체, 예로서 실리콘오일 등의 액체(23)가 봉입되어 있다.The spaces 20a and 20b pass through the electrodes 21a and 21b to communicate with the communication path 22. The spaces 20a and 20b are non-compressible in the spaces 20a, 20b and the communication holes 22. Fluid, eg, liquid 23, such as silicone oil, is enclosed.

다이어프렘(19a)과 전극(21a)과는 하나의 센서부로서의 가변용량 콘덴서(24a)를 형성하며, 다이어프렘(l9b)과 전극(21b)과는 다른 하나의 센서부로서의 가변용량 큰덴서(24b)를 형성하고 있다.The diaphragm 19a and the electrode 21a form a variable capacitor 24a as a sensor unit, and the variable capacitance capacitor as a sensor unit different from the diaphragm l9b and the electrode 21b ( 24b) is formed.

이 가변용량 콘덴서에 접속된 리드선(도시치 않음)은 관(25)내를 통하여 각기 전기회로수용 케이스(도시치 않음)내에 도입되어, 검출회로에 접속되어 있다, 여기에서, 1쌍의 가변 용량 콘덴서(24a),(24b)는 관로(11)의 길이방향에 연하는 방향으로 사이를 두고 배설되어 있고, 관로(11)의 길이방향과 직교하는 방향으로 사이를 두고 설치되어 있는 개구(11a),(11b)부터의 차압을 관로(11)의 긴 방향으로 사이를 두고 설치되어있는 요부(l8a),(18b)에 도입하기 위하여 경사진 차압도임공(17a),(17b)이 설치되어 있다.Lead wires (not shown) connected to the variable capacitors are introduced into the electrical circuit receiving cases (not shown) through the pipe 25 and connected to the detection circuits. The condenser 24a, 24b is mutually arrange | positioned in the direction which extends to the longitudinal direction of the conduit 11, and the opening 11a which is interposed in the direction orthogonal to the longitudinal direction of the conduit 11 is provided. Sloped differential pressure cavities 17a and 17b are provided to introduce the differential pressures from and 11b into the recessed portions l8a and 18b which are interposed in the longitudinal direction of the conduit 11. .

콘덴서(24a) 및 (24b)와 같이 브리지 회로(30)를 형성하는 코일(3l)(32)이 브리지 회로(30)에 교류를 공급하는 교류전원(33), 브리지회로(30)의 출력을 증폭하는 증폭회로(34), 복조회로(復調回路)(35) 및 슈이트회로(36)가 설치되어 있다. 슈미트회로(36)부터는, 피측유체의 유속에 비례한 반복 주파수를 보유하는 펄스신호가 출력되며, 출력단자(37)로부터의 후속의 회로에 공급된다.The coils 3l and 32 forming the bridge circuit 30, such as the capacitors 24a and 24b, provide the outputs of the AC power supply 33 and the bridge circuit 30 to supply AC to the bridge circuit 30. An amplifying circuit 34, a demodulation circuit 35 and a chute circuit 36 for amplifying are provided. From the Schmitt circuit 36, a pulse signal having a repetition frequency proportional to the flow rate of the fluid to be measured is output, and supplied to the subsequent circuit from the output terminal 37.

상기구성의 와형유량계(10)에 있어서, 관로(11)에 피측유체가 F 방향으로 흐르면 와류 발생기둥(12)에 의해 카아맨 와류(26)가 그 양측면(12a),(l2b)에 제3도에 표시한 것과 같이 교대로 발생된다. 이때 카아맨와류가 생기는 쪽의 압력도 저하하고 카아맨와류가 발생하지 않는 쪽의 압력은 상승한다.In the vortex flowmeter 10 having the above-described configuration, when the fluid to be flowed through the conduit 11 in the F direction, the Cayman vortex 26 is formed on both sides 12a and l2b by the vortex generating column 12. It is generated alternately as shown in the figure. At this time, the pressure on the side where the carman vortex is generated also decreases and the pressure on the side where the carman vortex does not occur increases.

따라서, 카아맨 와류가 생기는 쪽의 압력(예로서는 측면12a) 및 카아맨 와류가 생기지 않는쪽의 압력(예로서는 측면 12b)는 개구(14a), 차압 도입공(15a),(17a) 요부(18a)를 경유하여 다이어프렘(19a)의 한쪽면에 또는 개구(14b), 차압도입공(15b),(17b), 요부(18b)를 경유하여 다이어프렘(19b)의 한쪽면에 유도되기때문에 다이어프렘(19a)은 하방으로 변위하고 다이어프렘(19b)은 상방으로 변위하는 것이다.Therefore, the pressure on the side where the carman vortex is generated (for example, the side surface 12a) and the pressure on the side where the carman vortex does not occur (for example the side surface 12b) are the openings 14a, the differential pressure introduction holes 15a, and 17a. The diaphragm is guided to one side of the diaphragm 19a via the diaphragm 19a or through the opening 14b, the differential pressure introduction holes 15b, 17b, and the recessed portion 18b. 19a displaces downward and the diaphragm 19b displaces upward.

이 결과, 피측유체가 흐르면 와류발생기둥(12)에 의해 카아맨 와류가 그 양측으로 제3도에 도시한 바와같이 상호발생하고 이에 의해 양측면(12a) 및 (12b)에는 피측유체의 역위상의 압력이 발생하여 이 피측유체의 역위상의 압력변화는 개구(14a),(14b) 차압도입공(15a),(15b)(17a)(17b) 요부(18a),(18b)를 통하여 다이어프렘(19a) 및 (19b)의 한쪽 면에 도입된다. 다이어프렘(19a) 및 (19b)는, 이 압력변화를 받아서, 역위상에서 서로 상하로 변위되고, 이에따라 콘덴서(24a)의 용량은 증감되며, 콘덴서(24b)의 용량도 증감한다. 콘덴서(24a) 및 (24b)의 용량변화의 주기는, 와류(26)의 발생주기에 대응하고 있으며, 유속에 역비례하고 있다.As a result, when the fluid to be flowed, the carman vortices are mutually generated by the vortex generating column 12 on both sides thereof as shown in FIG. 3, whereby the opposite surfaces 12a and 12b have the reverse phase When pressure is generated, the pressure change in the reverse phase of the side fluid is diaphragm through the openings 14a, 14b, the differential pressure introduction holes 15a, 15b, 17a, 17b, the recesses 18a, and 18b. It is introduced to one side of (19a) and (19b). The diaphragms 19a and 19b receive this pressure change and are displaced up and down with each other in the reverse phase, whereby the capacity of the condenser 24a is increased and decreased, and the capacity of the condenser 24b is also increased. The period of the capacitance change of the capacitors 24a and 24b corresponds to the generation period of the vortex 26 and is inversely proportional to the flow rate.

따라서 브리지 회로(30)는 교류전원(33)의 신호를 유속에 비례한 진폭 변조한 출력을 발생시키고, 유속에 비례한 반복주파수의 펄스신호가 슈미트회로(36)으로부터 출력된다. 이 출력신호의 주기 또는 출력신호의 개수를 계측하는 것으로서 유속 또는 유량을 구할 수가 있다.Accordingly, the bridge circuit 30 generates an output obtained by amplitude-modulating the signal of the AC power supply 33 in proportion to the flow rate, and a pulse signal having a repetition frequency proportional to the flow rate is output from the Schmitt circuit 36. By measuring the period of the output signal or the number of output signals, the flow velocity or the flow rate can be obtained.

여기에서, 관로(11)에 외부진동이 가해지면 검출부(13)도 같이 진동한다.Here, when external vibration is applied to the pipe line 11, the detection part 13 also vibrates together.

그러나 전술함과 같이 관로(11)에 가해지는 진동은 관로의 길이방향의 진동보다는 세로방향의 진동쪽이 많다. 그러나 상기와 같이, 검출부(13)의 가변용량콘덴서(24a),(24b)는 관로(11)의 길이방향에 병열설치되어 있고, 양 가변용량 콘덴서(24a),(24b)의 공간(20a),(20b)을 묶어 봉입액(23)이 봉입되어 있는 연통공(22)은 관로(11)의 길이방향으로 뻗어 있다. 따라서 관로(11)가 세로 방향으로 진동하며, 봉입액(23)이 똑같이 진동하여도 다이어프렘(19a)(19b)에는 봉입액(23)의 진동에 의한 압력 변화가 가해지는 일은 없다.However, as described above, the vibration applied to the conduit 11 is more frequent in the longitudinal direction than the vibration in the longitudinal direction of the conduit. However, as described above, the variable capacitance capacitors 24a and 24b of the detection unit 13 are arranged in parallel in the longitudinal direction of the conduit 11, and the space 20a of both variable capacitance capacitors 24a and 24b. The communication hole 22 which bundles 20b and encloses the sealing liquid 23 extends in the longitudinal direction of the conduit 11. Therefore, even if the conduit 11 vibrates in the longitudinal direction, and the sealing liquid 23 vibrates in the same manner, the pressure change due to the vibration of the sealing liquid 23 is not applied to the diaphragms 19a and 19b.

또, 다이어프렘(19a),(19b)에 봉입액(23)의 진동에 의한 압력변화가 가하여 지더라도 같은 위상이므로 이는 서로 상쇄되어 틀린 검출 출력이 생기는 일은 없다.In addition, even if the pressure change due to the vibration of the encapsulating liquid 23 is applied to the diaphragms 19a and 19b, they are in the same phase so that they do not cancel each other and produce an incorrect detection output.

또한, 상기실시예에서는 관로(11)의 세로방향에 사이를 두고 위치하는 요부(18a),(18b)와를 연통하기 위하여 경사진 차압도입공(17a),(17b)을 갖는 부재(16)를 사용하고 있으나, 제5도에 횡단면을 표시한 와류발생기둥(40)을 사용함으로서 부재(16)를 생략하여도 좋다. 이경우, 와류발생기둥(40)에 있어서, 양측면의 개구(14a),(14b)로부터 서로 역방향으로 뻗은 구멍(41a),(41b)와, 그 홈부분으로부터 수직방향 윗쪽으로 뻗는 구멍(42a),(42b)들이 뚫려 있다.Further, in the above embodiment, the member 16 having the inclined differential pressure introduction holes 17a and 17b to communicate with the recesses 18a and 18b which are interposed in the longitudinal direction of the conduit 11 is provided. Although used, the member 16 may be omitted by using the vortex generating column 40 whose cross section is shown in FIG. In this case, in the vortex generating column 40, the holes 41a and 41b extending in opposite directions from the openings 14a and 14b on both sides, and the holes 42a extending upward in the vertical direction from the groove portions thereof. (42b) are open.

구멍(42a),(42b)는 관로(11)의 길이방향으로 사이를 두고 있고, 제2도에 표시한 것과같이 관로(11)의 길이방향에 사이를 두고 있는 요부(18a),(18b)에 그대로 연봉된다.Holes 42a and 42b are interposed in the longitudinal direction of the conduit 11, and recesses 18a and 18b are interposed in the longitudinal direction of the conduit 11 as shown in FIG. Salary intact.

다음에 제6도 내지 제8도와 같이 본 발명의 와형유량계 제2실시예에 대하여 설명한다.Next, a second embodiment of the vortex flow meter of the present invention will be described with reference to FIGS.

상기와 같이 관로의 진동 가운데 관로의 길이방향의 진동은 일어나기 어렵고, 관로의 길이방향에 대하여 직각의 방향의 진동은 일어나기 쉽다고는 하지만, 관로길이방향의 진동도 다소는 있다. 상기 제1실시예에서는 1쌍의 가변 콘덴서가 관로의 길이방향에 따라 배설되어 있으므로, 관로의 길이방향의 진동이 있으면 계측정밀도가 저하하는 문제점이 있다.As mentioned above, although the vibration in the longitudinal direction of the pipeline hardly occurs among the vibrations of the pipeline, the vibration in the direction perpendicular to the longitudinal direction of the pipeline tends to occur, but the vibration in the pipeline length direction is also somewhat. In the first embodiment, since a pair of variable capacitors are arranged along the longitudinal direction of the pipeline, there is a problem that the measurement accuracy decreases when there is vibration in the longitudinal direction of the pipeline.

본제2실시예에서는, 관로의 길이방향에 대향하여 직각의 방향의 진동뿐만 아니라, 관로의 길이방향의 진동이 있다하더라도, 계측정밀도가 저하하지 않게 한 것이다. 가동전극으로서의 금속다이어프렘과 이와공간을 두고 대향하는 고정전극과 같이한 센러부로서의 가변콘덴서의 구성, 1쌍의 가변콘덴서 각기의 공간이 연통로를 통하여 연통하며 그 속에 봉입액이 채워져 있는 구성은 상기 실시예와 동일함므로, 그 상세한 설명은 생략한다. 본 실시예의 와형유량계(50)는 검출부(51)의 구성은 상기 실시예와는 다르다.In the second embodiment, not only the vibration in the direction perpendicular to the longitudinal direction of the conduit but also the vibration in the longitudinal direction of the conduit are prevented from decreasing the measurement accuracy. The structure of the variable capacitor as a sensor part like the metal diaphragm as the movable electrode and the fixed electrode facing the space, and the space of each pair of variable capacitors communicate through the communication path, Since it is the same as the above embodiment, its detailed description is omitted. In the swirl flow meter 50 of this embodiment, the configuration of the detection unit 51 is different from that of the above embodiment.

관로(11)의 외벽위에 설치된 도입공 형성부재(52)는 각각 차압도입공(15a)에 연동하며 서로 대략 역방향에 경사지게 뻗은 차압도입공(53a),(53b), 차압도입공(15b)에 연통하여 서로 대략 역방향으로 경사지게 뻗은 차압도입공(53a),(53b)가 설치되어 있다. 차압도입공(53a)과 (53b)는 입체적으로 교차되어 있다. 부재(52)의 윗면에는 차압도입공(53a)-53(b)의 열리는 요부(54a)-(54b)가 설치되어 있다.The introduction hole forming members 52 provided on the outer wall of the conduit 11 respectively interlock with the differential pressure introduction holes 15a and extend to the differential pressure introduction holes 53a and 53b and the differential pressure introduction holes 15b which are inclined substantially in opposite directions. The differential pressure introduction holes 53a and 53b which communicate with each other and inclined substantially in opposite directions are provided. The differential pressure introduction holes 53a and 53b intersect in three dimensions. On the upper surface of the member 52, recessed portions 54a and 54b of the differential pressure introduction holes 53a and 53b are provided.

여기에서 제7도에 잘 표시되어 있는 것과 같이 차압도입공(15a)부터 차압도입공(53a)(53b)를 통하여 서로 동일한 차압을 도입하는 요부(54a)(54b)는 액체의 흐르는 방향 F에 대향하여 왼쪽앞, 오른쪽 뒤에 배설되어 있으며, 차압도입공(15b)로부터 차압도입공(53b),(53c)를 통하여 서로 동일한 차압을 도입하는 요부(54b),(54c)는 오른쪽앞, 왼쪽뒤에 배설되어 있다.As shown in FIG. 7, the recesses 54a and 54b for introducing the same differential pressure through the differential pressure introducing holes 15a through the differential pressure introducing holes 53a and 53b are formed in the flow direction F of the liquid. The recesses 54b and 54c which are disposed opposite to the left front and the right back and introduce the same differential pressure from the differential pressure introduction hole 15b through the differential pressure introduction holes 53b and 53c are located at the right front and the left rear. Excreted.

부재(52)위에는 부착부재(56)가 부착되어 있으며 부착부재(56)의 하면에는 요부(54a)-(54b)에 각각 대향하여 가변콘덴서(55a)-(55d)가 설치되어 있다. 여기에서 관로의 길이방향(유체의 흐르는 방향 F와 동일함)에 대하여 직교하는 방향에 옆으로 병열하고 있는 l쌍의 가변콘덴서(55c),(55d)는 가동전극과 고정전극과 그 사이의 공간은 연통로(58)를 통하여 연통되어 있으며 그 사이에 액이 채워져 있다. 똑같이 옆으로 병열되어 있는 다른 1쌍의 가변콘덴서(55a),(55b)에 대하여도 각기의 공간은 액이 채워진 연통로(57)를 통하여 연통되어 있다.An attachment member 56 is attached to the member 52, and variable capacitors 55a to 55d are provided on the lower surface of the attachment member 56 to face the recessed portions 54a and 54b, respectively. Here, l pairs of variable capacitors 55c and 55d arranged side by side in a direction orthogonal to the longitudinal direction of the pipeline (same as the flow direction F of the fluid) are movable electrodes, fixed electrodes, and a space therebetween. Is communicated through the communication path 58, and the liquid is filled therebetween. Similarly, the spaces of the other pairs of variable capacitors 55a and 55b which are arranged side by side are also communicated through the communication path 57 filled with the liquid.

이들 콘덴서(55a)-(55b)는 제9도에 표시한 것과 같이 접속되어 있다. 제4도와 제9도와의 비료로서 명백한 것과 같이, 코일(31)(32)와 결합된 브리지 회로중 제4도의 콘덴서(24a)에 해당하는 쪽의 콘덴서(55a)와 (55c)의 병열회로가 접속되며, 콘덴서(24b)에 해당하는 쪽의 콘덴서(55b)와 (55c)의 병열회로가 접속되어 있다.These capacitors 55a-55b are connected as shown in FIG. As apparent from the fertilizers of Figs. 4 and 9, parallel circuits of the condenser 55a and 55c of the bridge circuit combined with the coils 31 and 32, which correspond to the condenser 24a of Fig. 4, The parallel circuit of the capacitor | condenser 55b and 55c of the side corresponding to the capacitor | condenser 24b is connected.

유량켸측에 있어서 관로(11)내를 흐르는 피측유체의 유량에 대응하여 와류 발생기둥(12)의 하류측에 발생하는 카아맨 와류에 의한 차압이 와류발생기둥(12)의 개구(14a),(14b), 차압도입공(15a),(15b),(53a)-(53d)을 통하여 각각의 요부(54a)-(54d)에 도입된다. 여기에서 요부(54a)와는 동일한 차압이 도입되며,요부(54b)와 (54c)도 동일한 차압이 도입된다.The differential pressure due to the Cayman vortex generated downstream of the vortex generating column 12 corresponds to the flow rate of the fluid to be flowed in the conduit 11 at the flow rate 개구 side. 14b), through the differential pressure introduction holes 15a, 15b, 53a, and 53d, they are introduced into the respective recessed portions 54a and 54d. Here, the same differential pressure as that of the recessed portion 54a is introduced, and the same differential pressure is also introduced to the recessed portions 54b and 54c.

따라서 차압변화에 의하여 콘덴서(55a),(55b)의 정전용량이 같이 증감하면 이것과 역위상으로 되어 콘덴서(55b)(55c)는 정전용량이 같이 증감한다.Therefore, if the capacitances of the capacitors 55a and 55b increase and decrease together due to the differential pressure change, they become in phase with this and the capacitances of the capacitors 55b and 55c increase and decrease together.

상기 구성의 와형유량계(50)에 있어서, 배관진동이 생겨 검출부(51)에 진동이 전달되는 경우에 대하여 설명한다.In the vortex flow meter 50 of the above-described configuration, a case in which pipe vibration occurs and vibration is transmitted to the detection unit 51 will be described.

우선, 검출부(51)가 관로(11)의 길이방향에 따르는 화살표 Z 방향에 진동을 받았을 경우에 대하여 연통로(57),(58)는 Z 방향과 직교하는 방향으로 뻗어 있으므로, 연통로(57),(58) 및 각 콘덴서(55a)-(55d)의 공간에 채워져 있는 봉입액은 각기의 다이어프렘을 변위시키는 것과 같은 가속도는 받지 않는다.First, since the communication paths 57 and 58 extend in a direction orthogonal to the Z direction with respect to the case where the detection unit 51 is vibrated in the arrow Z direction along the longitudinal direction of the pipe line 11, the communication path 57 ), 58 and the encapsulating liquid filled in the spaces of the condensers 55a-55d are not subjected to acceleration such as displacing the respective diaphragms.

따라서 이 Z 방향의 진동이 있어도 계측 정밀도는 저하하지 않는다.Therefore, even if there exists the vibration of this Z direction, a measurement precision does not fall.

다음에 유량검출부(51)가 관로(11)의 길이방향과 직교하는 상하수직방향(제6도중 화살표 Y 방향)으로 진동한 경우, 각 콘덴서(55a)-(55d)의 가동전극으로서의 다이어프렘이 각각 동일한 Y 방향으로 전동하며, 다이어프렘의 관셩력에 의한 변위는 같은 위상으로 된다.Next, when the flow rate detection unit 51 vibrates in the vertical and vertical directions (the arrow Y direction in Fig. 6) orthogonal to the longitudinal direction of the conduit 11, the diaphragm as the movable electrode of each condenser 55a-55d Each is driven in the same Y direction, and the displacement caused by the diaphragm observing force becomes the same phase.

이 콘덴서(55a)-(55d)의 같은 위상의 정전용량 변화는 브리지회로(60})에서 꺼진다 따라서 이 화살표 Y방향의 진동이 생겨도 계측정도가 저하하는 일은 없다.The capacitance change in the same phase of the capacitors 55a to 55d is turned off in the bridge circuit 60. Therefore, even if the vibration in the Y direction occurs, the measurement accuracy does not decrease.

다음에 유량검출부(51)가 관로(11)의 길이방향으로 직교하는 수평방향(제6도중 화살표 X1X2방향)으로 진동하는 경우에 대하여 설명한다. 화살표 X1방향의 진동성분이 유량검출부(51)에 작용하면 연통로(57),(58)내의 봉입액이 상대적으로 X2방향으로 가속도를 받는다.Next, the case where the flow rate detection part 51 vibrates in the horizontal direction (arrow X 1 X 2 direction in FIG. 6) orthogonal to the longitudinal direction of the pipe line 11 is demonstrated. When the vibration component in the direction of the arrow X 1 acts on the flow rate detection unit 51, the encapsulating liquid in the communication paths 57 and 58 receives acceleration in the X 2 direction relatively.

이때문에 봉입액의 관성력이 좌측의 콘덴서(55a),(55c)의 각 공간에 작용하여 다이어프렘이 고정전극으로부터 사이를 두는 방향으로 변위한다. 또한 우측의 캐페시터(Capacitor)(55b)(55d)의 다이어프렘의 고정전극에 근접하는 방향으로 변위한다.For this reason, the inertial force of the encapsulating liquid acts on the spaces of the capacitors 55a and 55c on the left side, and the diaphragm is displaced in the direction interposed from the fixed electrode. In addition, it is displaced in a direction close to the fixed electrode of the diaphragm of the capacitors 55b and 55d on the right side.

이때문에, 콘덴서(55a),(55c)의 정전용량이 감소함과 동시에 콘덴서(55b),(55d)의 정전용량이 증가한다. 따라서, 제9도의 브리지회로(60)에 있어서, 병열회로의 한쪽 콘덴서(55a)의 정전용량이 감소함과 동시에 다른쪽의 콘덴서(55a)의 정전용량이 증가한다 똑같이 다른 병열회로의 한쪽의 콘덴서(55b)의 정전용량이 증가함과 동시에 다른쪽의 콘덴서(55c)의 정전용량이 감소한다, 이 때문에 콘덴서(55a),(55d)(55b)(55c)의 정전용량변화가 꺼진다.For this reason, while the capacitances of the capacitors 55a and 55c decrease, the capacitances of the capacitors 55b and 55d increase. Therefore, in the bridge circuit 60 of FIG. 9, the capacitance of one capacitor 55a of the parallel circuit decreases and the capacitance of the other capacitor 55a increases. As the capacitance of 55b increases, the capacitance of the other capacitor 55c decreases, so that the capacitance change of the capacitors 55a, 55d, 55b, 55c is turned off.

이와같이 관로진동에 의하여 화살표 X1방향으로 유량검출부(51)가 변위하여도 브리지 회로(66)의 평형이 무너지는 일이 없으며, 브리지회로(20)로부터 신호가 출력되지 않는다.Thus, even if the flow rate detection part 51 is displaced in the direction of arrow X 1 by the pipe line vibration, the balance of the bridge circuit 66 does not collapse, and a signal is not output from the bridge circuit 20.

또, 관로 진동의 화살표 X2방향의 진동성분이 유량검출부(51)에 작용한 경우도 똑같이 되어 브리지회로(60)의 평형이 유지되어 오인검출 신호는 출력되지 않는다.The same applies to the case where the vibration component in the direction of the arrow X 2 of the pipeline vibration acts on the flow rate detection unit 51, and the balance of the bridge circuit 60 is maintained so that a false detection signal is not output.

이와같이 본 실시예의 와형유량계(50)는 어느 방향으로의 진동이 생겨도, 진동의 영향에 의하여 오인검출신호를 출력하는 일이 없으며, 정확히 유량계측을 할 수 있다.In this way, the vortex flowmeter 50 of this embodiment does not output a false detection signal due to the influence of the vibration even in any direction of vibration, and can accurately measure the flow rate.

또 관로 진동에 의하여 브리지회로(60)가 오인검출 신호를 출력하는 일이 없으므로 증폭회로(34)의 케인을 올릴 수가 있으며, 저유량 영역까지 광범위하게 정확히 유량계측할 수 있다.In addition, since the bridge circuit 60 does not output the false detection signal due to the pipeline vibration, the gain of the amplification circuit 34 can be raised, and flow measurement can be accurately and extensively carried out to a low flow rate region.

또,2쌍의 센서부(55a)와 (55b),(55c)와 (55d)가 설치되어 있으므로 이로서 한쪽의 센서부(55a),(55b)가 고장을 일으켰을 경우에도 다른쪽의 센서부(55c),(55d)에 의하여 응급적으로 유량계측 된다.In addition, since two pairs of sensor sections 55a, 55b, 55c, and 55d are provided, the other sensor section (55a, 55b) fails even if one sensor section (55a, 55b) fails. 55c) and 55d are used for emergency flow measurement.

따라서, 수리를 할때까지의 공백을 유량계측을 중단하지 않을 수 있어 메인테넌스의 면에서 유리하다.Therefore, it is advantageous in terms of maintenance that the gap until repair can not be stopped.

또한 상기 실시예에서는 차압도입공(15a),(15b)가 각각 분기하여 차압도입공(53a)-(53d)에 연통하는 구성으로 하고 있으나, 이에 한하지 않고 예로서 차압도입공(53a)-(53d)에 별개로 연통하는 4개의 차압도입공을 와류 발생기둥에 설치하여도 좋다In the above embodiment, the differential pressure introduction holes 15a and 15b are branched to communicate with the differential pressure introduction holes 53a and 53d, respectively. Four differential pressure introduction holes communicating with (53d) separately may be provided on the vortex generating column.

검출부(51)의 다른 실시예로서의 검출부(51A)를 제10도에 표시하였다. 이 실시예에서는 와류발생기둥(12)의 대신에 제5도에 표시한 와류발생기둥(40)을 사용한다. 1쌍의 요부(54a)(54b) 콘덴서(55a)(55b)는 유체의 흐르는 방향 F에 대향하여 왼쪽앞, 오른쪽 뒤에 배설되며, 다른 1쌍의 요부(54c),(54d), 콘덴서(55c),(55d)의 왼쪽 뒤, 오른쪽 앞에 배설되어 있다.A detection unit 51A as another embodiment of the detection unit 51 is shown in FIG. In this embodiment, instead of the vortex generating column 12, the vortex generating column 40 shown in FIG. 5 is used. The pair of recesses 54a and 54b are disposed left front and right behind the flow direction F of the fluid, and the other pair of recesses 54c and 54d are condenser 55c. ), And 55d are disposed at the left rear and right front.

콘덴서(55a),(55b)의 공간은 액체를 봉입한 연통로(57)로서 연통되며, 콘덴서(55c),(55d)의 공간은 액체를 봉입한 연통로(58)로 연통되어 있다. 여기에서 연통로(57)과 (58)은 입체적으로 교차되어 있다. 관로길이 방향에 대향하여 직교방향에 옆으로 병열하고 있는 요부(54a),(54b)는 차압도입공(41b),(42b)에 연통한 차압도입공(70a),(70d)에 연통하고 있다.The spaces of the condensers 55a and 55b communicate with each other as the communication path 57 in which the liquid is enclosed, and the spaces of the condensers 55c and 55d communicate with the communication path 58 in which the liquid is enclosed. Here, the communication paths 57 and 58 intersect in three dimensions. The recessed portions 54a and 54b which are arranged side by side in the orthogonal direction opposite to the pipe length direction communicate with the differential pressure introducing holes 70a and 70d communicating with the differential pressure introducing holes 41b and 42b. .

또 요부(54b),(54c)는 차압도입공(41a),(42b)에 연통한 차압도입공(70b),(70c)에 연통하여 있다. 이 구성에 있어서도 검출부(51)의 경우와 동일한 효과가 얻어지는 것이다.The recessed portions 54b and 54c communicate with the differential pressure introduction holes 70b and 70c in communication with the differential pressure introduction holes 41a and 42b. Also in this structure, the same effect as the case of the detection part 51 is acquired.

Claims (6)

피측유체의 흐르는 관로(11)와 그 관로중에 배설되어 이 관로를 흐르는 피측유체에 카아맨 와류를 발생시켜, 양측으로 열리고 한쪽에 관통 연장하여 그 피측유체의 카아맨 와류발생에 따른 압력변화를 도입하는 한쌍의 차압도입공(15a),(15b)이 뚫려있는 와류발생기둥(12)과 검출부 본체(13)와 그것으로부터 이루어진 와류유량계에 있어서, 그 검출부 본체에 길이방향으로 사이를 두고 설치된 차압도입공으로부터의 차압에 대응하여 유량계측 신호를 출력하기 위한 적어도 한쌍의 센서부(24a),(24b)를 가진 것을 특징으로 한 와형유량계.Carman vortex is generated in the pipe 11 of the fluid to be flowed and flows through the pipe, and it opens to both sides and extends through one side to introduce pressure change according to the generation of carman vortex of the fluid. In the vortex generating column 12 and the detector main body 13 through which a pair of differential pressure introducing holes 15a and 15b are drilled, and the vortex flowmeter formed therefrom, differential pressure introduction is provided between the detector main body in the longitudinal direction. A vortex flow meter having at least one pair of sensor parts (24a, 24b) for outputting a flow measurement signal in response to a differential pressure from a ball. 제1항에 있어서, 이 한쌍의 센서부는 이 검출부 본체에 뚫린 한쌍의 요부(18a),(18b)와 이 요부에 고정된 한쌍의 고정전극(21a),(21b)과 그 고정전극과 소정 간격을 두고 그 사이에 공간(20a),(20b)을 두어설치된 한쌍의 가동전극(19a),(19b)과 한쌍의 고정전극과 가동전극과의 사이에 한쌍의 공간을 연통하여 검출부 본체에 뚫린 연통공(22)과, 그 한쌍의 공간 및 연통공에 채워진 봉입액(23)으로 이루어지며, 이 가동전극은 봉입액에 접하는 면과 반대쪽 면은 이 와류발생체에 의하여 도입된 피측유체의 압력변화를 받아서 변위하고, 이 한쌍의 고정전극과 한쌍의 가동전극과는 한쌍의 가변용량콘덴서를 형성하고, 이 한쌍의 센서부의 가변용량 콘덴서의 용량번화에 따라 검출회로(30)로부터 신호가 출력되는 것을 특징으로 하는 와형유량계.2. The pair of sensor portions according to claim 1, wherein the pair of sensor portions have a pair of recesses (18a) and (18b) drilled through the detector main body, and a pair of fixed electrodes (21a) and (21b) fixed to the recesses, and the fixed electrodes and the predetermined intervals. Communication between the pair of movable electrodes 19a, 19b provided between the pair of movable electrodes 19a, 19b and the pair of fixed electrodes and the movable electrodes, with the spaces 20a, 20b interposed therebetween. Ball 22, and a sealing liquid 23 filled in a pair of spaces and communication holes, the movable electrode of which is opposite to the surface of the sealing liquid, on the opposite side of the fluid being introduced by the vortex generator. And a pair of fixed electrodes and a pair of movable electrodes form a pair of variable capacitors, and a signal is outputted from the detection circuit 30 in accordance with the capacitance of the variable capacitor of the pair of sensors. Eddy flow meter. 제1항에 있어서, 이 관로의 길이방향에 사이를 두고 설치된 한쌍의 센서부(55a),(55b)와 별도로, 이한쌍의 센서부의 옆에 이 관로 길이방향으로 사이를 두고 설치된 다른 한쌍의 센서부(55c)(55d)를 가지고, 각 센서부는 가동전극으로서의 다이어프렘과 다이어프렘의 사이에 액이 채워진 공간에 설치된 고정전극 등을 갖는 가변콘덴서로 되며, 이 차압도입공의 하나는 두짱의 센서부의 각각 어느하나의 센서부와 다이어프렘에 차압을 도입하도록 연통하고, 그 차압도입공의 다른 하나는 이 두쌍의 센서부의 각각 다른 하나의 센서부에 다이어프렘에 차압을 도입하도록 연통하여 있고, 하나의 쌍의 상기한 어느 하나의 센서부와 이것과 다른쌍의 다른 하나의 센서부와의 공간을 액으로 채운 하나의 연통로로서 연통하고, 이 하나의 쌍의 다른 하나의 센서부와 이와다른 쌍의 상기한 하나의 센서부와의 공간을 액으로 채운 하나의 연통로로서 연통하여서 된 것을 특징으로 한 와형유량계.The other pair of sensors according to claim 1, wherein the pair of sensor units 55a and 55b are provided in the longitudinal direction of the conduit, and the pair of other sensors provided in the longitudinal direction of the conduit next to the pair of sensor sections. Each of the sensor units includes a variable capacitor having a fixed electrode or the like installed in a space filled with a liquid between the diaphragm as the movable electrode and the diaphragm, and one of the differential pressure introducing holes is one of two sensors. Each of the parts communicates with one sensor unit and the diaphragm to introduce a differential pressure, and the other of the differential pressure introduction holes communicates with each other to introduce a differential pressure to the diaphragm with one sensor unit. And a communication path filled with a liquid to fill the space between any one of the above-described sensor units of the pair and another sensor unit of the other pair, and the other sensor unit of the pair And the other pair of the above-mentioned flow meter wahyeong one space to the sensor unit characterized in that a soft tonghayeoseo as one of the communication path is filled with liquid. 제3항에 있어서, 각 연통로(58)(57)는 관로의 길이 방향으로 직교하는 방향으로 평행하게 뻗어있는 것을 특징으로한 와형유량계4. The swirl flow meter according to claim 3, wherein each of the communication paths (58) and (57) extends in parallel in the direction orthogonal to the longitudinal direction of the pipe. 제3항에 있어서, 각 연통로는 관로의 길이방향으로 대향하여 경사진 "+"자 형으로 입체적으로 교차되어 있는 것을 특징으로 하는 와형유량계.4. The vortex flow meter according to claim 3, wherein each communication path is three-dimensionally intersected in a " + " shape inclined in the longitudinal direction of the conduit. 제3항에 있어서, 이 차압도입공의 하나에 연통하여 동일한 차압을 도입하는 센서부로서의 가변콘덴서는 병렬로 접속되어 제1의 병열 접속을 이루고, 이 차입도입공의 다른 하나에 연통하여 동일한 차압을 도입하는 센서부로서의 병열로 접속되어 제2의 병열접속을 이루며, 그 제1, 제2의 병열접속은 각각 코일과 브리지 접속되어 검출회로를 구성하는 것을 특징으로 하는 와형유량계.The variable capacitor as a sensor unit which communicates with one of the differential pressure introducing holes and introduces the same differential pressure is connected in parallel to form a first parallel connection, and the same differential pressure is communicated with the other of the differential introducing holes. And a second parallel connection, wherein the first and second parallel connections are bridged with a coil to form a detection circuit, respectively.
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