KR900001570B1

KR900001570B1 - Ft-ir을 이용한 유기물 박막의 분석장치

Info

Publication number: KR900001570B1
Application number: KR1019860008279A
Authority: KR
Inventors: 김해천
Original assignee: 주식회사 금성사; 구자학
Priority date: 1986-10-02
Filing date: 1986-10-02
Publication date: 1990-03-15
Also published as: KR880005450A

Abstract

내용 없음.

Description

FT - IR을 이용한 유기물 박막의 분석장치

제1도는 본 발명의 분석장치를 설명하기 위한 마이켈슨의 간섭계를 보인 개략도.

제2도는 본 발명의 분석장치에 의한 마이켈슨의 간섭계를 샘플고정부를 보인 설명도.

제3도는 본 발명 분석장치에 의한 오목거울의 설치상태를 보인 종단면도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

13 : 샘플고정부 18 : 샘플다이

19, 19' : 축봉 20 : 샘플

21, 21' : 축공 22 : 반사경

23 : 유기물 박막 24, 24a, 24b, 24c : 오목거울

25 : 프레임 26 : ＂

＂ 형 고정구

27 : 축핀 28 : 스프링

29, 30 : 조정보울트

본 발명은 금속체의 표면에 도포된 유기물 박막을 분석하는 분석장치에관한 것으로, 특히 마이켈슨의 간섭계(Michelson interferrometer)에 의한 FT - IR(Fourier Transformation-Infrared)을 이용하여 유기물 박막을 분석하는 FT - IR을 이용한 유기물 박막의 분석장치에 관한 것이다.

종래에는 고굴절률의 적외선 투과재와 분석할 시료편을 밀착시키고, 그 경계면에 전반사각에 가까운 각도로 적외선을 입사시켜 반사 스펙트럼을 측정하는 적외반사 스펙트럼의 일종인 ATR법(Attenuated Total Reflection Method)을 이용하여 시료편을 분석하였으나, 이와 같은 종래의 분석장치는 일반적인 유기물 즉, 투명필름 및 액체,기체 등의 시료편만을 분석할 수 있고, 금속체의 표면에 도포한 유기물 박막 등과 같이 특수한 시료편은 분석할 수 없는 결함이 있었다.

본 발명은 이와 같은 종래의 결함을 감안하여, 마이켈슨의 간섭계에 의한 FT - IR을 이용하여 금속체의 표면에 도포된 유기물 박막을 분석하는 분석장치를 안한 것으로, 이를 첨부된 도면에 의하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

제1도는 일반적인 마이켈슨의 간섭계를 보인 개략도로서, 이에 도시된 바와 같이 광원(1)에서 나온 광이 오목거울(2) 및 반사경(3)(4)(5), 오목거울(6)을 지나고, 비임스프리터(7)에 의해 둘로 갈라진 후 하나는 샘플(8)에서 반사되고, 다른 하나는 인터페로미터(9)에서 반사되어 다시 비임스프리터(7)을 통하고, 반사경(10)(11) 및 오목거울(12)에서 반사되어 샘플고정부(13)의 기준소자(13a) 또는 샘플소자(13b), 반사경(14)(15), 오목거울(16)을 지나 검출기(17)에 입사되게 구성되어 있다.

이와 같은 마이켈슨의 간섭계에 있어서, 본 발명은 샘플고정부(13)를 제2도에 도시한 바와 같이 샘플다이(18)에 두개의 축봉(19)(19')을 입설하고, 그 입설된 축봉(19)(19')에 샘플(20) 즉, 금속체에 천공한 축공(21)(21')이 선택적을 끼워지게 함과 아울러 그 샘플(20)의 양면에 반사경(22) 및 유기물 박막(23)을 각기 부착시키며, 샘플(20)의 일측에는 오목거울(24)(24a)(24b)(24c)을 일정간격을 유지하면서 설치하여 샘플고정부(13)로 들어온 광이 오목거울(24b)(24c)에서 반사되게 구성한 것이다.

그리고, 각 오목거울(24)(24a)(24b)(24c)은 제3도에 도시한 바와 같이 프레임(25)에 설치하여 그 프레임(25)의 하부를 ＂

＂형 고정구(26)에 축핀(27)으로 설치함과 아울러 그 프레임(25)이 후방으로 탄지되게 스프링(28)을 설치하고, 고정구(26)의 상부에는 조정보울트(29)를 설치하여 오목거울(24)(24a)(24b)(24c)의 기울기을 조정하게 하며, 고정구(26)의 하부에는 조정보울트(30)를 샘플다이(18)를 통해 체결하여 고정구(26)를 회전시킬 수 있게 구성한 것이다.

이와 같이 구성된 본 발명은 샘플(20)의 축공(21)(21')에 축봉(19)(19')이 각기 끼워지게 샘플(20)을 설치하여 광이 반사경(22)에서 반사되게 한 후 조정보울트(29)로 오목거울(24)(24a)(24b)(24c)의 기울기를 조정함과 아울러 조정보울트(30)로 고정구(26)를 조정하여 검출기(17)에 입사되는 광의 양이 최대로 되게 한 후 그 입사된 광을 검출기(17)에부착되어 있는 공지의 컴퓨터로 푸리에 변환(Fourier transformation)하여 스펙트럼을 구한다.

그리고, 샘플(20)을 180°회전시킨 후 축공(21)(21')에 축봉(19)(19')에 끼워지게 하여 광이 유기물 박막(23)에서 반사되게 하고, 유기물 박막(23)에서 반사된 광을 검출기(17)로 검출한 후 상기와 같이 푸리에 변환하여 스펙트럼을 구하며, 그 유기물 박막(23)의 스펙트럼에서 반사경(22)의 스펙트럼을 감산 즉, 현재 대기상태에 따른 스펙트럼을 감산하여 유기물 박막(23)만의 스펙트럼을 얻는다.

이상에서 설명한 바와 같이 본 발명은 마이켈슨의 간섭계로 유기물 박막(23)의 스펙트럼을 얻어 분석한 것으로, 그 분석이 매우 간편하고, 소요시간이 적게 걸릴 뿐만 아니라 정확히 분석할 수 있는 효과가 있다.

Claims

마이켈슨의 간섭계에 있어서, 샘플고정부(13)를 샘플다이(18)에 두개의 축봉(19)(19')을 입설하여 샘플(20)에 천공한 축공(21)(21')에 그 축봉(19)(19')이 선택적으로 끼워지게 함과 아울러 그 샘플(20)의 양면에 반사경(22) 및 분석할 유기물 박막(23)을 부착하고, 샘플(20)의 일측에는 오목거울(24)(24a)(24b)(24c)을 설치하여 광이 오목거울(24)(24a)에서 반사되고, 샘플(20)의 반사경(22) 및 유기물 박막(23)에서 반사된후 오목거울(24b)(24c)에서 반사되게 구성함을 특징으로 하는 FT-IR을 이용한 유기물 박막의 분석장치.
제1항에 있어서, 오목거울(24)(24a)(24b)(24c)을 프레임(25)의 전면에 설치하여 그 프레임(25)을 ＂
＂ 형 고정구(26)에 축핀(27)으로 설치함과 아울러 후방으로 탄지되게 스프링(28)을 설치하고, 고정구(26)의 상부에는 오목거울(24)(24a)(24b)(24c)의 기울기를 조정하게 조정보울트(29)를 설치하며, 하부에는 샘플다이(18)를 통해 조정보울트(30)를 체결하여 고정구(29)를 회전시킬 수 있게 구성함을 특징으로 하는 FT-IR을 이용한 유기물 박막의 분석장치.