KR900001544B1 - Composite silicon carbides/silicon nitride coatings for carbon-carbon materials - Google Patents

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다니엘 벨트리 리챠드
살바토르 갤러소 프랜시스
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유나이티드 테크놀로지스 코오포레이숀
로버트 시. 워커
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Abstract

A carbon-carbon composite having an oxidation-resistance is prepared by making a fibrous carbon-carbon composite, completely pack-coating it with 0.5-30 mil. silicon carbide, CVD-treating it with 3-30 mil. silicon nitride. The resulting composite has 1-5 mil. pyrolysis graphite layer and 0.5-5 mil. CVD-treated silicon carbide coating layer between carbon-carbon composite and silicon carbide coating layer.

Description

탄소-탄소 합성물질Carbon-carbon composites

제1도는 탄소-탄소 합성물에 가해진 여러가지 다양한 피복형태 및 이에 따른 산화도를 나타낸 흐름 도표이며.FIG. 1 is a flow chart showing the various coating types and thus oxidation levels applied to the carbon-carbon composites.

제2도-제4도는 다양한 피복에 의해 탄소-탄소 물질의 억제된 산화도 및 비피복된 물질의 비억제된 산화도를 비교한 도면이며.2-4 compare the inhibited oxidation degree of carbon-carbon material and the uninhibited oxidation degree of an uncovered material by various coatings.

제5도는 산화도가 억제된 탄소-탄소 기판의 다른 형태가 사용된 것으로서 제4도와 유사한 도면이다.FIG. 5 is a view similar to FIG. 4, in which another form of the carbon-carbon substrate with reduced oxidation degree is used.

본 발명은 탄소기본물질의 피복에 관한 것으로서, 특히 탄소-탄소 합성물질을 위한 다층 또는 복합피복에 관한 것이다.The present invention relates to the coating of carbon base materials, and more particularly to multilayer or composite coatings for carbon-carbon composites.

탄소-탄소 합성물질은 특히 가온상태에서 지니고 있는 특성으로 인해 항공우주 장치에 다양하게 사용되는 독특한 부류의 물질이다. 이 물질은 물질의 모든 엘리먼트들이 거의 다양한 동소체 형태의 탄소로 이루어졌음에도 불구하고 합성 물질이라고 한다.Carbon-carbon composites are a unique class of materials that are used in a variety of aerospace devices, especially because of their warm properties. The material is said to be a synthetic material, although all elements of the material consist of almost all forms of allotopic carbon.

탄소-탄소 물질들은 폴리아크릴로니트릴, 레이온 또는 핏치(pitch)와 같은 유기전구체 섬유를 출발물질로 하여 생산된다. 이와 같은 섬유는 주로 사출공정에 의하여 일반적으로 얀(yarn)으로 생산된다. 전구체 섬유는 열분해 또는 탄소화 되기 위해 불활성 대기내에서 가열된 뒤 그래파이트(graphite) 섬유생산을 위하여 더 높은 온도[예. 4000℉(2204℃)]에서 가열된다. 이러한 탄소 또는 그래파이트물질은 꼬임, 직조 또는 삽입되어 1D, 2D, 3D등의 형으로 형성된다(여기서 D는 방향을 나타내는 것으로서 예를 들면 2D구조 섬유는 두가지 방향(일반적으로 직교)으로 꼬아짐을 의미한다).Carbon-carbon materials are produced using organic precursor fibers such as polyacrylonitrile, rayon or pitch as starting materials. Such fibers are usually produced as yarns, mainly by injection processes. Precursor fibers are heated in an inert atmosphere to pyrolyze or carbonize and then at higher temperatures [eg, for the production of graphite fibers]. 4000 ° F. (2204 ° C.)]. These carbon or graphite materials are twisted, woven or inserted to form 1D, 2D, 3D, etc. (where D represents the direction, for example, 2D structure fibers are twisted in two directions (generally orthogonal)). ).

이러한 직조 구조물은 핏치 또는 수지물질로 함침된 뒤 탄소, 그후에 그래파이트로 전환된다. 이러한 공정에 있어서, 밀도있는 구조를 얻기 위하여 열압착이 또한 사용되기도 한다. 밀도를 증가시키기 위하여 함침 단계가 반복될 수 있다.This woven structure is impregnated with a pitch or resinous material and then converted to carbon and then graphite. In this process, thermocompression may also be used to obtain a dense structure. The impregnation step may be repeated to increase the density.

다른 방법으로는 열분해성 그래파이트 매트릭스(matrix)를 용착시키기 위하여 화학적 증기용착(Chemical Vapor Depositon, CVD)이 사용되기도 한다.Alternatively, chemical vapor deposition (CVD) may be used to deposit pyrolytic graphite matrices.

최종 생성물은 90+%의 탄소이지만 섬유 배열과 농밀화와 같은 공정 아이템에 의해 다른 탄소형 물질과 비교했을 때 뛰어난 기계적 특성을 갖는다. 이러한 기계적 특성은 약 4000℉(2204℃) 이하의 온도에서 일정하게 유지되거나 약간 증가한다. 이러한 온도에 대한 역량은 가스터어빈 엔진을 포함한 다양한 항공 우주 장치에 탄소-탄소 물질의 적합하다는 것을 보여준다. 결정적인 단점은 탄소-탄소물질이 산화에 민감하다는 것이다. 본 발명은 최소한 1371℃(2500℉)가지의 온도에서 산화로부터 탄소-탄소물질을 보호하는 피복에 관한 것이다.The final product is 90 +% carbon but has excellent mechanical properties compared to other carbonaceous materials by process items such as fiber arrangement and densification. These mechanical properties remain constant or increase slightly at temperatures below about 4000 ° F. (2204 ° C.). These temperature capacities show the suitability of carbon-carbon materials in a variety of aerospace devices, including gas turbine engines. The decisive disadvantage is that the carbon-carbon material is sensitive to oxidation. The present invention relates to a coating that protects the carbon-carbon material from oxidation at temperatures of at least 1371 ° C (2500 ° F).

탄소-탄소 합성물을 포함하는 탄소 기본 물질을 보호하기 위해 SiC 전환 피복을 사용하는 것은 재래 기술에 공지되어 있다. 이와 같은 피복은 피복되는 제품의 표면이 실리콘과의 반응에 의하여 SiC로 전환되기 때문에 전환 피복이라고 부른다. 팩(pack) 피복 공정이 일반적으로 사용된다. 탄소제품은 팩물질로 함유되어 가열되는데 가열시에 Si 또는 Si 화합물 증기를 산출한다. 미합중국 특허 제2,972,566호와 제2,992,127호에는 팩킹되지 않은 SiC 피복상에 Si3N4를 적용하는 것이 교시되어 있다.It is known in the art to use SiC conversion coatings to protect carbon base materials, including carbon-carbon composites. Such a coating is called a conversion coating because the surface of the coated product is converted to SiC by reaction with silicon. Pack coating processes are commonly used. The carbon product is contained as a pack material and heated to produce Si or Si compound vapors upon heating. US Pat. Nos. 2,972,566 and 2,992,127 teach the application of Si 3 N 4 on unpacked SiC coatings.

본 발명의 목적은 탄소기본기판 보호를 위한 개선된 다층 피복을 제공하는 것이다.It is an object of the present invention to provide an improved multilayer coating for protecting a carbon base substrate.

탄소-탄소 합성물질은 피복되면 가온 상태에서 산화에 대해 견딜 수 있다. 다층 피복이 사용된다. SiC 인 제1층 또는 내부층은 Si를 탄소 기본 기판에 확산시킴으로서 생성된다. 이층의 두께는 약 0.5-약 30밀(mil)이다. 약 5-약 25mil 두께를 갖는 Si3N4제2층 또는 외부층은 CVD 처리를 받는다. 복합피복은 뛰어난 산화 저항성을 제공한다.The carbon-carbon composite, when coated, can withstand oxidation in the warmed state. Multilayer coatings are used. The first layer or inner layer, which is SiC, is produced by diffusing Si onto a carbon based substrate. The thickness of the bilayer is about 0.5-about 30 mils. The Si 3 N 4 second or outer layer, having a thickness of about 5 to about 25 mils, is subjected to CVD. Composite coatings provide excellent oxidation resistance.

본 발명은 장점 및 기타 특징이 하기 설명과 첨부된 도면에 상세히 나타나 있다.Advantages and other features of the present invention are shown in detail in the following description and the accompanying drawings.

탄소-탄소 합성물질은 노출표면에 복합 또는 다층 보호피복을 지님으로서 가온 상태에서 뛰어난 산화 저항성을 갖게된다. 본 발명의 복합피복은 초기의 SiC 전환피복(예, 팩 피복)과 SiC 팩 피복상에 CVD된 Si3N4피복의 두가지 기본요소를 포함한다.Carbon-carbon composites have complex or multilayer protective coatings on the exposed surface, resulting in excellent oxidation resistance in warm conditions. The composite coating of the present invention comprises two basic elements: initial SiC conversion coating (eg pack coating) and Si 3 N 4 coating CVD on the SiC pack coating.

이러한 피복이 처리된 탄소-탄소물질은 1371℃(2500℉)까지 가온된 상태에서 500시간 이상 노출된 뒤에도 실질적으로 산화에 대해 저항성이 있었다.The carbon-carbon material treated with this coating was substantially resistant to oxidation after over 500 hours of exposure in the warmed state to 1371 ° C. (2500 ° F.).

초기 SiC 전환피복은 0.5-30mil, 바람직하게는 1-10mil의 두께를 갖는다. 이러한 피복은 (명목상)10% Al2O3, 60% SiC 및 30% Si를 함유하는 팩 분말 혼합물로 피복할 물체를 팩킹한 뒤 팩 물질을 약 1600℃에서 2-10시간 가열함으로서 이루어진다. 팩 혼합물에 0.1%-3%, 바람직하게는 0.3%-1.5%의 붕소가 함유되는 경우 개선된 SiC 전환 피복이 이루어진다. 본 발명은 "탄소기본 물질상의 개선된 SiC피복용착"이라는 명칭으로 본원과 같은날 출원된 갤러소와 벨트리에 의한 미합중국 출원번호(도켓 R-2696)에 교시되어 있다. 본 출원인들은 동등한 SiC피복을 제공할 수 있는 그외의 팩 혼합물들이 발명될 수 있다고 생각한다.The initial SiC conversion coating has a thickness of 0.5-30 mils, preferably 1-10 mils. This coating is achieved by packing the object to be covered with a pack powder mixture containing (nominal) 10% Al 2 O 3 , 60% SiC and 30% Si and then heating the pack material at about 1600 ° C. for 2-10 hours. An improved SiC conversion coating results when the pack mixture contains 0.1% -3%, preferably 0.3% -1.5%, of boron. The present invention is taught in US Application No. (Doct R-2696) by Galloso and Beltley, filed on the same day as the present application under the phrase “Improved SiC Coating on Carbon Base Material”. Applicants believe that other pack mixtures can be invented that can provide equivalent SiC coatings.

SiC전환피복을 적용하는 경우 CVD Si3N4외부피복이 적용된다. 미합중국 특허 제3,226,194호(본원에 참고로 인용되었음)에는 실시예적 공정이 교시되어 있다. 간단히 말해서 이 특허는 기판의 온도를 약 1500℃에서 유지시킨뒤 기판상에 SiF4함유의 기체성 혼합물을 통과시켜 기판상에 열분해성 실리콘 니트라이드를 용착시키는 방법을 기술하였다. 바람직한 기체는 약 75%의 암모니아를 함유하며 반응기체의 부분압은 약 100mmHg 이하로 유지시키는 것이 더욱 바람직하다.In case of applying SiC conversion coating, CVD Si 3 N 4 outer coating is applied. US Pat. No. 3,226,194, which is incorporated herein by reference, teaches an exemplary process. In short, the patent describes a method for depositing pyrolytic silicon nitride on a substrate by maintaining the temperature of the substrate at about 1500 ° C. and passing a gaseous mixture containing SiF 4 over the substrate. Preferred gases contain about 75% ammonia and more preferably the partial pressure of the reactor body is maintained at about 100 mmHg or less.

SiF4, 그외의 실리콘 할라이드 또는 실란은 뜨거운 기판 표면상에서 NH3또는 N2와 반응하여 무정형 또는 αSi3N4피복을 산출한다. SiF4-NH3반응은 1400℃-1600℃에서 가장 잘 일어나는 반면 실란과 질소함유 기체의 반응은 이보다 더 낮은 온도에서 일어난다. 이러한 공정은 이미 SiC 전환 피복된 탄소-탄소 물질상에 실리콘 나이트라이드를 제공하는데 용이하게 사용될 수 있다. 본 발명의 목적을 위해서, 약 3-30밀, 바람직하게는 10-20밀 두께의 피복이 사용된다. 따라서 산출된 피복제품은 엄격한 조건하에서도 산화방지가 가능하다.SiF 4 , other silicon halides or silanes react with NH 3 or N 2 on the hot substrate surface to yield an amorphous or αSi 3 N 4 coating. SiF 4 -NH 3 reactions occur best at 1400 ° C-1600 ° C, while the reaction of silane and nitrogenous gases occurs at lower temperatures. This process can be readily used to provide silicon nitride on carbon-carbon materials already coated with SiC conversion. For the purposes of the present invention, a coating of about 3-30 mils, preferably 10-20 mils thick, is used. The resulting coated product can therefore be prevented from oxidation even under strict conditions.

첨가되는 피복성분으로서 열분해성 그래파이트 예비층이 어떤경우 SiC 전환피복처리에 앞서 탄소-탄소 합성물에 적용될 수 있다. 이 층은 10-25토르의 압력으로 유지되는 반응실에서 약 1800℃의 온도로 표면을 가열하면서 이 표면상에 기체 혼합물(CH4와 아르곤의 비율이 4 : 1)을 통과시키면 1-5밀 두께로 산출되는 층이다.As a coating component to be added, a pyrolytic graphite prelayer may in some cases be applied to the carbon-carbon composite prior to SiC conversion coating. This layer is heated to a temperature of about 1800 ° C. in a reaction chamber maintained at a pressure of 10-25 Torr, while passing a gas mixture (CH 4 to argon ratio of 4: 1) on this surface to 1-5 mils. It is a layer calculated by thickness.

상기의 열분해성 그래파이트 피복은 기판과 100% 완전히 결합되지 않고, 열분해성 그래파이트 매트릭스를 갖지 않으면 열팽창 계수가 양의 값을 갖는 기판에 대해 처리될때 특히 유용하다. 그래파이트 층은 균일한 표면을 제공하여 출발물질의 차이를 최소로 감소시키면서 균일한 질의 SiC 전환피복을 산출할 수 있다. 탄소-탄소 합성물을 피복할 때 초기에 열분해성 그래파이트층을 사용하는 것은 벨트리와 갈러소에 의해 같은날 출원된 미합중국 출원번호(Docket No. R-2697)의 "탄소-탄소 합성물의 열분해성 그래파이트 예처리"에 교시되어 있다.Such pyrolytic graphite coatings are particularly useful when processed for substrates that are not 100% fully bonded to the substrate and have no pyrolytic graphite matrix and whose thermal expansion coefficient is positive. The graphite layer can provide a uniform surface to yield a uniform quality SiC conversion coating with minimal difference in starting material. The initial use of pyrolytic graphite layers in coating carbon-carbon composites is due to the pyrolytic graphite of the carbon-carbon composites of the United States application number (Docket No. R-2697) filed the same day by Beltley and Galluso. Pre-treatment.

대안으로서, SiC 전환피복에 앞서 상기 팩공정에 의해 CVD로 SiC박층이 예비층으로서 적용될 수 있다. 이러한 층은 열팽창 계수가 음수인 기판을 피복하는데 바람직하다.Alternatively, the SiC thin layer may be applied as a preliminary layer by CVD by the pack process prior to the SiC conversion coating. Such a layer is preferred for coating a substrate having a negative coefficient of thermal expansion.

탄소-탄소 물질의 표면상에 CVD SiC 용착을 하기 위한 바람직한 공정은 2-20토르의 압력하에 감압실에서 기판을 유지하면서 1000℃-1200℃의 온도로 기판을 가열하고 메탄, 수소와 메틸디클로로실판의 혼합물을 샘플의 표면상에 흘려보내는 것이다. 메탄 : 수소 : 메탈디클로로실란의 바람직한 비율은 약 100 : 100 : 14(약 60-140 : 60-140 : 10-20도 가능함)이다. 내부 직경이 2인치(5.08cm)이고 길이가 4인치(10.2cm)인 소규모 반응실의 경우 100cc/분의 메탄 및 수소와 13.6cc/분의 메틸디클로로실란을 반응실에 흘려보냄으로서 바람직한 피복이 산출된다.A preferred process for CVD SiC deposition on the surface of a carbon-carbon material is to heat the substrate to a temperature of 1000 ° C.-1200 ° C. while maintaining the substrate in a reduced pressure chamber under a pressure of 2-20 Torr, with methane, hydrogen and methyldichlorosilphan. The mixture of is flowed onto the surface of the sample. The preferred ratio of methane: hydrogen: metaldichlorosilane is about 100: 100: 14 (about 60-140: 60-140: 10-20 also possible). For small reaction chambers with an internal diameter of 2 inches (5.08 cm) and 4 inches (10.2 cm) in length, 100 cc / min of methane and hydrogen and 13.6 cc / min of methyldichlorosilane are allowed to flow into the reaction chamber. Is calculated.

상기 서술된 상태에서 약 1-4시간 경과후 0.1-5mil, 바람직하게는 0.5-3mil 두께의 피복이 산출될 수 있다. 열분해성 그래파이트 예비층의 경우, 연속되는 용착된 SiC전환층의 두께는 CVD SiC층의 두께보다 큰 것이 바람직하다.After about 1-4 hours in the state described above, a coating of 0.1-5 mils, preferably 0.5-3 mils thick, can be produced. In the case of a pyrolytic graphite prelayer, the thickness of the successively deposited SiC conversion layer is preferably larger than that of the CVD SiC layer.

예비의 CVD SiC 피복의 사용이 동일자 출원된 벨트리와 갤러소에 의한 "탄소-탄소 합성물의 피복에 있어서 CVD SiC 예처리" 명칭으로 미합중국 특허 명세서(Docket R-2698)에 교시되어 있다.The use of a preliminary CVD SiC coating is taught in the US Patent Specification (Docket R-2698) under the name CVD SiC Pretreatment for the coating of “carbon-carbon composites by Beltley and GalloS” filed on the same day.

도면을 살피면서 본 발명을 설명하기로 한다.The present invention will be described with reference to the drawings.

제1도는 다양한 피복에 의해 수행된 장점들을 나타낸다. 단독의 CVD Si3N4피복은 1093℃(2000℉)에서 산화를 감소시키는데 비교적 효과가 없었으며 1시간동안 질량손실을 5.8%이었음을 나타내었다. CVD Si3N4피복에 앞서 팩 SiC피복을 가하면 실질적으로 개선된 보호를 나타내며; 47시간의 노출에 대한 질량 손실이 5.3%이었다. 예비적 열분해성 그래파이트층을 첨가하면 보호력이 증가되므로 따라서 165시간의 노출에 대한 질량 손실이 5.5%이었다.1 shows the advantages performed by various coatings. CVD Si 3 N 4 coating alone was relatively ineffective at reducing oxidation at 1093 ° C. (2000 ° F.) and showed a mass loss of 5.8% for 1 hour. Applying pack SiC coating prior to CVD Si 3 N 4 coating shows substantially improved protection; The mass loss was 5.3% for 47 hours of exposure. The addition of a preliminary pyrolytic graphite layer increased the protection and thus the mass loss for 165 hours of exposure was 5.5%.

제2-4도는 다양한 피복에 의해 탄소-탄소 샘플의 억제된 산화도 및 비피복 샘플의 비억제된 산화도를 표시한 곡선을 도시한 도면이다. 억제된 탄소-탄소물질은 샘플 고유의 산화율 감소시키는 첨가제를 함유하고 있다. 제2-4도에 그 특성이 보여지는 샘플은 HITCO Corp.에서 제조되는 물질들로서 이들이 지닌 고유의 산화 억제성 첨가제는 텅스텐 또는 붕소이다. 제2-4도는 649℃(1200℉), 1093℃(2000℉)과 1204℃(2200℉/1371℃(2500℉) 각각에서의 산화도를 나타낸다.2-4 show curves indicating the degree of inhibited oxidation of carbon-carbon samples and the uninhibited degree of oxidation of uncoated samples by various coatings. The inhibited carbon-carbon material contains additives that reduce the inherent oxidation rate of the sample. Samples whose properties are shown in FIGS. 2-4 are materials manufactured by HITCO Corp., and their inherent antioxidant additives are tungsten or boron. 2-4 show oxidation degrees at 649 ° C. (1200 ° F.), 1093 ° C. (2000 ° F.) and 1204 ° C. (2200 ° F./1371° C. (2500 ° F.), respectively.

각 도면은 비 피복된 산화 비억제성 샘플의 베이스라인 곡선, 종래기술 피복에 의한 산화억제성 샘플의 곡선, 본 발명에 따라 피복되어진 산화억제성 샘플의 특성을 나타내는 곡선으로 구성되어 있다. 본 발명 피복의 상세한 설명은 다음과 같다 : 초기단계로서 1-2mil두께의 열분해성 그래파이트 예비층을 적용한다. 그후 팩, 분산공정을 사용하여 실리콘 카바이드층을 제조하고 (3-5mil 두께), 최종적으로 CVD 공정에 의하여 5-10mil 두께의 Si3N4을 제조한다.Each figure consists of a baseline curve of an uncoated oxidative non-inhibitory sample, a curve of an oxidative inhibitor sample by prior art coating, and a curve representing the characteristics of the oxidative-inhibited sample coated according to the present invention. Detailed description of the coating of the present invention is as follows: As an initial step, a 1-2 mil thick pyrolytic graphite preliminary layer is applied. Then, a silicon carbide layer is prepared (3-5 mils thick) using a pack, dispersion process, and finally a 5-10 mils thick Si 3 N 4 is produced by a CVD process.

제2-4도의 모든 경우에 있어서, 본 발명의 피복은 모든 다른 실험에 대해 우수함을 나타낸다. 고온에서, 본 발명의 우수성은 더욱 명백히된다. 재래 공정의 피복은 1093℃(2000℉)보다 1204℃(2200℉)에서 테스트되었고 여기에 비하여 종래 공정은 1204℃(2200℉)에서 테스트되었음을 알 수 있다.In all cases of FIGS. 2-4, the coating of the present invention is shown to be good for all other experiments. At high temperatures, the superiority of the present invention becomes more apparent. It can be seen that the coating of conventional processes was tested at 1204 ° C. (2200 ° F.) rather than 1093 ° C. (2000 ° F.), while the conventional process was tested at 1204 ° C. (2200 ° F.).

제5도는 다른 형태의 탄소-탄소 기판이 사용됐다는 것을 제외하고는 제4도의 결과와 비슷한 도면이다. 본 발명의 피복은 1371℃(2500℉)에서 실질적으로 더많은 산화질량 손실을 보였으며 본 발명의 피복은 1371℃(2500℉)에서 전례에 없는 650시간의 장기간동안에서도 감지할 만한 질량손실을 나타내지 않았다.FIG. 5 is similar to the results of FIG. 4 except that other types of carbon-carbon substrates are used. The coating of the present invention showed substantially more oxidative mass loss at 1371 ° C. (2500 ° F.) and the coating of the present invention showed no detectable mass loss even at an unprecedented 650 hours at 1371 ° C. (2500 ° F.). .

본 발명의 구체화를 위해 상기처럼 서술되었지만 특허청구된 본 발명의 영역과 정신을 벗어나지 않는 범주에서 기술에 숙련된 당업자에 의해 여러가지 수정과 변경이 가능하다.Various modifications and variations are possible by those skilled in the art without departing from the scope and spirit of the invention as described above for the purposes of the invention.

Claims (6)

a) 탄소-탄소기판, b) 이 기판표면상에 약 0.5-30밀 두께로 완전하게 팩 유도된 SiC 피복층 및 c) SiC층의 외부표면상에 약 3-30mil두께로 CVD 처리된 Si3N4층으로 구성되어, 가온상태에서 환경 분해에 대해 저항성을 갖는 탄소-탄소 합성물질.a) a carbon-carbon substrate, b) a SiC coating layer which is completely packed to a thickness of about 0.5-30 mils on the substrate surface, and c) a Si 3 N CVD process of about 3-30 mils on the outer surface of the SiC layer. Carbon-carbon composite, consisting of four layers, resistant to environmental degradation in warm conditions. 제1항에 있어서, 탄소-탄소 기판 및 팩 유도된 SiC 피복층 사이에 1-5mil 두께로 열 분해성 그래파이트층을 함유하는 탄소-탄소 합성물질.The carbon-carbon composite of claim 1 containing a thermally decomposable graphite layer at a thickness of 1-5 mils between the carbon-carbon substrate and the pack derived SiC coating layer. 제1항에 있어서, 탄소-탄소기판 및 팩 유도된 SiC 피복층 사이에 0.5-5mil 두께의 CVD 적용 SiC 피복층을 함유하는 탄소-탄소 합성물질.The carbon-carbon composite according to claim 1, comprising a 0.5-5 mil thick CVD applied SiC coating layer between the carbon-carbon substrate and the pack derived SiC coating layer. 제1, 2 또는 3항에 있어서, 팩 유도된 SiC 피복물은 유효한 소량의 붕소를 함유하는 탄소-탄소 합성물질.4. The carbon-carbon composite of claim 1, 2 or 3 wherein the pack derived SiC coating contains an effective small amount of boron. 제1, 2 또는 3항에 있어서, SiC 피복은 약 1-10mil 두께인 탄소-탄소 합성물질.The carbon-carbon composite of claim 1, 2 or 3, wherein the SiC coating is about 1-10 mils thick. 제1, 2 또는 3항에 있어서, Si3N4피복은 약 5-20mil 두께인 탄소-탄소 합성물질.The carbon-carbon composite of claim 1, 2 or 3, wherein the Si 3 N 4 coating is about 5-20 mils thick.
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