KR900000370Y1 - 간섭무늬 정밀 측정 장치 - Google Patents

Abstract

내용 없음.

Description

간섭무늬 정밀 측정 장치

제1도는 종래의 광선 정반에 나타난 공작물 표면의 간섭무늬를 나타내는 상태도.

제2도는 본 고안의 평면도.

제3도는 본 고안의 정면도.

제4도는 본 고안인 간섭무늬 정밀 측정장치의 하부에 설치된 공작물의 표면에 의하여 광선정반에 나타난 간섭무늬도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 몸체 2 : 마이크로미터 헤드

3 : 기준선 4 : 투명이송판

5 : 스핀들 6,6',7,7' : 가로대

8 : 스페이서(spacer) 9 : 볼트

10,10' : 스프링 11 : 조정간

12 : 다리

본 고안은 공작물 가공표면에 나타나는 간섭무늬를 이용, 공작물 표면의 평면도와 관련한 가공정밀도를 측정하기 위하여 광선정반에 나타난 간섭무늬의 치수를 정밀하게 측정하기 위한 간섭무늬 정밀측정 장치에 관한 것이다.

종래의 경우 광선정반을 이용하여 공작물 표면의 평면도에 대한 가공 정밀도를 측정할때는 형성된 간섭무늬의 치수를 어떤 기계적인 장치에 의하지 않고 어림측정으로 일관하여 왔으므로 정밀도가 높지 않았다.

제1도는 종래의 광선청반(optical flat)과 단색광 발생장치(Mono-Chromatic Light)로 빛의 간섭현상을 이용, 공작물의 표면이나 정밀기기의 래핑한 표면의 평면도와 관련한 정밀도를 측정할 경우에 표면에 나타나는 간섭무늬도 이다.

일예로서, 마이크로미터의 스핀들(spindle)면이나 엔빌(Anvil)면에 광선정반을 가볍게 올려놓을 경우, 제1도와 같은 간섭무늬가 생기는 바, 이 간섭무늬를 보고서, 피치(P) 굽음량(B)을 목측으로 읽어 사용된 단색광의 파장(λ)을 포함시켜 아래와 같은 식에 의해 평면도(η)은 계산된다.

그런데, 여기에서 피치(P)와 굽음량(B)을 측정하는데 있어 목측으로 대강의 값을 측정하게 되고 래핑가공된 평면의 미세한 량(μm)을 측정하기 때문에 상기의 목측에 의한 측정방법에 의해서는 일관된 정밀측정을 할 수 없는 단점이 있다.

따라서 본 고안은 이러한 문제점을 해결하고자 안출된 것으로서, 중앙에 기준선이 설정된 투명의 이송판과 몸체에 착설된 마이크로 미터 헤드의 스핀들과 고정연결시켜 좌, 우측의 상부 고정판과 하부 고청판 사이에서 이송, 몸체하단에 공작물의 표면에 올려놓은 광선정반에 나타난 간섭무늬를 마이크로 미터 헤드를 이용, 투명의 이송판을 이동시켜 기준선에 간섭무늬를 맞추어 정확한 공작물의 평면의 미세한 량을 측정할 수 있는 유용한 고안인바, 이를 첨부 도면에 의거 상세히 설명하면 다음과 같다.

본 고안은 중앙에 기준선(3)이 설정된 투명이송판(4), 투명이송판(4)의 일측중앙에 설치되는 스핀들(5), 스핀들(5)을 정확하게 이동시키게 되는 마이크로미터 헤드(2), 투명이송판(4)의 상하에 설치되는 가로대(6,6',7,7'), 상기 가로대(6,6')와 가로대(7,7') 사이에 각각 끼워지는 스페이서(8), 이들 가로대(6,7)의 하부와 가로대(6',7')의 상하에 위치하고, 상기 마이크로미터 헤드(2)를 장착하는 몸체(1), 상기 가로대(6,6',7,7'), 스페이서(8) 및 몸체(1)를 서로 고정하는 4개의 볼트(9), 상기 볼트(9)와 상기 투명이송판(4) 사이에 탄설되는 스프링(10,10') 및 상기 몸체(1)의 하부에 설치되는조정간(11) 및 다리(12)로 이루어진 받침대로 구성된다.

상기와 같이 구성된 본 고안을 제4도를 참조하여 작용효과를 설명하면 다음과 같다.

피측정물(22)위에 광선정반(21)을 가볍게 올려놓아 간섭무늬가 4-5개가 형성된 상태에서 간섭무늬들 중 가장 확실한 부분의 양끝에 본 고안의 투명이송판(4) 상의 기준선(3)을 일치시킨다음, 일치된 상태에서 마이크로미터 헤드(2)의 눈금을 읽고(A), 마이크로미터를 움직여 굽음량(b)을 읽은 다음(B), 마이크로미터를 다시 움직여 다음 간섭무늬의 양끝에 일치시킨 후, 피치(P)를 읽는다(C).

따라서 굽음량 : b=B-A, 피치 P=C-A에 의하여 각각의 값을 구한다음, 그 측정값에 사용된 단색광의 파장(λz)을 이용하여 평면도에 의해 평면도를 구할 수 있게 된다.

또한 볼트(9)와 투명이송판(4) 사이에 탄설되는 스프링(10,10')은 투명이송판을 지지 전송시는 조금씩 이송되게하고, 후송시는 쉽게 마이크로미터 헤드(2)에 의해 조절하면서 이송되도록 탄력을 부여하여 정밀성을 주는 것이다.

따라서 본 고안인 간섭무늬 정밀 측정장치는 종래의 경우, 목측에 의하여 구하여진 측정치의 정밀도가 크게 낮았던 반면, 정밀기기의 표면의 평면도에 대한 정밀도를 정확하게 측정할 수 있는 유용한 고안인 것이다.

Claims (1)

1. 중앙에 기준선(3)이 설정된 투명이송판(4), 투명이송판(4)의 일측중앙에 설치되는 스핀들(5), 스핀들(5)을 정확하게 이동시키게 되는 마이크로미터 헤드(2), 투명이송판(4)의 상하에 설치되는 가로대(6,6',7,7'), 상기 가로대(6,6')와 가로대(7,7') 사이에 각각 끼워지는 스페이서(8), 이들 가로대(6,7)의 하부와 가로대(6',7')의 상하에 위치하고, 상기 마이크로미터 헤드(2)를 장착하는 몸체(1), 상기 가로대(6,6')(7,7'), 스페이서(8) 및 몸체(l)를 서로 고정하는 4개의 볼트(9), 상기 볼트(9)와 상기 투명이송판(4)사이에 탄설되는 스프링(10,10') 및 상기 본체(1)의 하부에 설치되는 조정간(11) 및 다리(12)로 이루어진 받침대로 구성됨을 특징으로 하는 간섭무늬 정밀 측정장치.