Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from JP62167822Aexternal-prioritypatent/JPS644220A/ja
Application filed by 원본미기재, 유니온 소와 가부시기가이샤filedCritical원본미기재
Publication of KR890001630ApublicationCriticalpatent/KR890001630A/ko
Processo para purificar gas de alimentacao de alta pureza do grupo de helio contendo pelo menos um entre oxigenio,hidrogenio ou umidade,sistema de purificacao capaz de mudar ou inverter o fluxo da gas contaminado do grupo do helio,sistema de purificacao capaz de mudar ou inverter o fluxo de gas do grupo do helio e capaz de ser usado em um ponto de utilizacao de gas do grupo do helio de alta pureza