KR860002749A - 하전비임장치의 제어방식 - Google Patents

하전비임장치의 제어방식 Download PDF

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KR860002749A
KR860002749A KR1019850005737A KR850005737A KR860002749A KR 860002749 A KR860002749 A KR 860002749A KR 1019850005737 A KR1019850005737 A KR 1019850005737A KR 850005737 A KR850005737 A KR 850005737A KR 860002749 A KR860002749 A KR 860002749A
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feedback control
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히데노브(외 1) 무라가이
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시기 모리야
미쓰비시 뎅기 가부시끼 가이샤
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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/248—Components associated with high voltage supply
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/24—Circuit arrangements not adapted to a particular application of the tube and not otherwise provided for
    • H01J37/243—Beam current control or regulation circuits

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  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)
  • Welding Or Cutting Using Electron Beams (AREA)

Abstract

내용 없음

Description

하전비임장치의 제어방식
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 한 실시예를 나타내는 비임가속전압 및 전원전류의 제어회로 구성도.
제3도는 본 발명의 다른 실시예에 의한 비임가속전압 및 전원전류의 제어회로 구성도.
도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1:가제어전원 11:가제어바이어스전원 18:부하단락 19:귀환신호
VA:비임가속전압 IK:전원전류.
(도면중 동일부호는 동일 또는 상당부분을 나타낸다)

Claims (4)

  1. 비임발생부로 급전을 하는 가제어전원을 비임가속전압에 따라서 귀환제어하는 하전비임장치의 제어방식에서 방전에 의한 부하단락시에 귀환제어계의 귀환신호를 상기 부하단락전의 상기 귀환신호에 따른 소정의 값에 일단 고정한후 상기 고정을 해제하고 상기 귀환제어를 계속하는 것을 특징으로 하는 하전비임장치의 제어방식.
  2. 비임발생부에 급전을 하는 가제어전원을 비임가속전압에 따라서 귀환제어사흔 하전비임장치의 제어방식에 있어서, 방전에 의한 부하단락시에 귀환제어계의 귀환신호를 상기 부하단락전의 상기 귀환신호에 따른 소정의 값에 일단 고정한 후에 상기 고정을 해제하고 상기 귀환제어를 게속하며 한편 상기 부하단락시에는 상기 비임가속전압의 인가를 일단 정지하고 상기 귀환제어를 계속하기 전에 상기 비임가속전압의 인가를 재개하는 것을 특징으로 하는 하전비임장치의 제어방식.
  3. 비임발생부에 급전을 하는 가제어전원을 비임가속전압에 따라서 귀환제어함과 동시에 사익 비임발생부의 가제어바이어스전원을 상기 가제어전원의 급전회로에 흐르는 전원전류에 따로 귀환제어하는 하전비임장치의 제어방식에 있어서 방전에 의한 부하단락시에 상기 가제어전원의 귀환제어계 및 상기 가제어바이어스전원의 귀환제어계의 어느쪽에 대하여도 각각 제어계의 귀환신호를 상기 부하단락전의 상기 귀환신호에 따른 소정의 값에 일단 고정한후 상기 고정을 해제하고 상기 귀환제어를 계속하는 것을 특징으로 하는 하전비임장치의 제어방식.
  4. 비임발생부에 급전을 할 가제어전원을 비임가속전압에 따라서 귀환제어함과 동시에 상기 비임발생부의 가제어바이어스전원을 상기 가제어전원의 급전회로에 흐르는 전원전류에 따라 귀환제어하는 하전비임장치의 제어방식에 있어서 방전에 의한 부하단락시에 상기 가제어전원의 귀환제어계 및 상기 가제어바이어스전원의 귀환제어계의 어느쪽에 대하여도 각각의 제어계 귀환신호를 상기 부하단락전의 상기 귀환신호에 따른 소정의 값에 일단 고정시킨 후에 상기 고정을 해제하고 상기 귀환제어를 계속하는 한편 상기 부하단락시에는 상기 비임가속전압의 인가를 일단 정지하고 상기 귀환제어를 계속하기 전에 상기 비임 가속전압의 인가를 재개하는 것을 특징으로 하는 하전비임장치의 제어방식.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019850005737A 1984-09-19 1985-08-08 하전비임장치의 제어방식 KR890005194B1 (ko)

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JP84-198122 1984-09-19
JP198122 1984-09-19

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KR890005194B1 KR890005194B1 (ko) 1989-12-16

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