KR840005220A - 비점수차 광학요소, 그 제작방법, 비점수차 광학요소를 포함하는 전식장치 및 그 전식장치에 의해 처리되는 물건 - Google Patents

Abstract

내용 없음

Description

비점수차 광학요소, 그 제작방법, 비점수차 광학요소를 포함하는 전식장치 및 그 전식장치에 의해 처리되는 물건

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제1도는 본 발명에 따른 동화기(equalizer)원통형 거울의 사시도.

제2도는 제1도의 선 2-2에 따른 평면 단면도.

제3도는 본 발명에 따라 절삭하여 얻어진 단계진 평탄부재의 예를 부분적으로 도시한 단면도.

Claims (15)

1. 망사광성의 에너지 분포를 변경하는 비점수차 광학 요소에 있어서, 가변두께를 가지며 최소한 두 상태들 사이에서 휘어질 수 있고 2개의 맞은 편 큰 면들을 갖는 평탄 부재를 포함하고, 그두 상태들은 첫번째 큰 면이 평면 또는 회전면이며 두번째 큰 면이 거의 규정된 표면인 준비상태와 상기 첫번째 큰 면이 평면도 회전면도 아니고 상기 두번째 큰 면이 거의 규정된 표면인 최소한 하나의 작동상태이며, 상기 두상태들 사이의 변형은 평탄부재의 규정된 표면의 모선들 주위로의 분포된 굴곡에 의하여 이루어지고, 평탄부재의 상기 첫번째 큰 면은 광학적으로 광택내지며, 그 평탄부재는 상기 첫번째 큰 면의 광택을 내는 중에 그 준비 상태로 되고 광학요소가 방사광선을 반사 또는 굴절하기 위해 사용될 때 작동상태로 되는 것을 특징으로 하는 광학요소.
2. 제1항에 있어서, 평탄부재를 준비 및 작동 상태들 중의 하나로부터 다른 상태로 외곡시키기 위한 힘인가 장치가 또한 포함되는 것을 특징으로 하는 광학요소.
3. 제2항에 있어서, 상기 평탄부재는 몇가지 작동상태를 가지며 상기 힘 인가 장치는 평탄부재가 선정된 작동상태를 취하도록 인가되는 힘을 조절하기 위해 제공되는 것을 특징으로 하는 광학요소.
4. 선행 청구 범위중의 어느 한 항에 있어서, 규정된 표면은 원통형 표며인 것을 특징으로 하는 광학 요소.
5. 선행 청구 범위들 중의 어느 한 항에 있어서, 상기 광택 내진면이 반사성인 것이 거울인 것을 특징으로 하는 광학 요소.
6. 광학적으로 광택 내진 표면을 형성하는 방법에 있어서, 두개의 큰면을 갖는 가변두께의 평탄부재를 형성하고, 그 평탄부재의 첫번째 큰면을 광택을 내며, 그 부재에 광택을 재는 중에, 혹은 광택 내진 표면의 사용중에, 혹은 광택내는 중 및 광택낸 표면의 사용중에 상이한 변형을 위해 상이한 힘을 가하면서 외곡력을 인가하고, 가변두께의 평탄 부재의 형성에는 평면이 아닌 규정된 표면인 두번째 큰 면을 갖는 부재의 형성이 포함되며, 첫번째 큰 면의 광택 내는 것은 이 면이 평면 또는 회전면일 때 이루어지고 외곡력은 평탄부재를 상기 규정된 표면의 모선 주위로 굴곡함에 의해 이루어지는 방법.
7. 제6항에 있어서, 상기 가변 두께 평탄 부재의 형성에는 그 평탄 부재의 두번째 큰 면의 기계 가공이 포함되는 것을 특징으로 하는 방법.
8. 제7항에 있어서, 기계가공은 절삭, 연마 및 전기 방전기계 가공을 포함하는 그룹에서 선정된 작업단계에 의해 이루어지는 것을 특징으로 하는 방법.
9. 제6-8항중의 어느 한 한에 있어서, 외곡력의 인가에는 상기 평탄 부재의 연부를 모선들에 평행하게 2개의 지지부재의 매설하고, 그 평탄부재에 거의 평행하고 모선들에 거의 수직한 방향으로 평탄부재로부터 어떤 거리에서 상기 2개의 지지부재에 수축 또는 신장력을 가하는 것을 특징으로 하는 방법.
10. 에너지 광원, 제5항에 따른 광학 요소 및 또하나의 거울을 포함하고 상기 광학 요소의 평탄부재의 가변두께, 인가되는 외곡력 및 또 하나의 거울의 구조는 상기 광학 요소와 또 하나의 거울 하부의 상기 광선을 횡단하는 선정된 평면에서 에너지 분포가 미리 결정되는 것을 특징으로 하는 전식 장치.
11. 제10항에 있어서, 상기 또 하나의 거울은 촛점 선을 형성하기 위한 원형 직각 단면의 원통형 거울이고, 상기 요소의 평탄부재는 원통형 거울의 촛점 선을 따라 에너지 양의 변화가 미리결정되도록 두께가 변하는 것을 특징으로 하는 장치.
12. 제10항에 있어서, 상기 또 하나의 거울은 제5항에 따른 과학요소이고, 상기 두 광학 요소들은 광선축과 첫번째 요소의 모선을 포함하는 평면이 광선축과 두번째 요소의 모선을 포함하는 평면과 거의 수직하도록 배치되고, 상기 두 요소들은 상기 선정된 평면의 각 단의 면적의 에너지 밀도의 변화가 미리 정해지도록 변하는 두께를 갖는 것을 특징으로 하는 장치.
13. 제10-12항중의 어느 한항에 있어서, 상기 광선축을 따라 상기 광학 요소의 전방에 배치되고 그 광선의 기하학적 매개 변수를 변경하기 위한 또 다른 광학 장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
14. 결정된 고체 재료 물건의 처리를 위한 제10항에서 제13항까지의 어느 한 항에 있어서, 선정된 속도로 물건을 이송하는 장치를 또한 포함하고 있으며, 그 장치는 에너지 분포가 미리 결정된 선정된 평면의일부에서 물건 표면이 이송되도록 배치되는 것을 특징으로 하는 장치.
15. 최소한 처리되지 않은 부분과 구조가 다른 표면 부분을 갖는 고체재료 물건에 있어서, 상기 최소한 표면 부분은 제14항에 따른 전식 장치로써 전식되어 형성되는 것을 특징으로 하는 물건.

    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.