KR830004667A - 주사전자 현미경 - Google Patents

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KR830004667A
KR830004667A KR1019800004240A KR800004240A KR830004667A KR 830004667 A KR830004667 A KR 830004667A KR 1019800004240 A KR1019800004240 A KR 1019800004240A KR 800004240 A KR800004240 A KR 800004240A KR 830004667 A KR830004667 A KR 830004667A
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KR
South Korea
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sample
tilting
electron beam
electron microscope
axis
Prior art date
Application number
KR1019800004240A
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English (en)
Inventor
오까 세쯔오 노리
요시오 이시모리
Original Assignee
가세이 다다오
니혼 덴시 가부시끼 가이샤
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Publication date
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Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J9/00Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
    • H01J9/46Machines having sequentially arranged operating stations

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)

Abstract

내용 없음

Description

주사전자 현미경
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 한 실시예를 도시한 종단면도. 제2도는 제1도의 A-A선에서 본 도면.

Claims (1)

  1. 접속된 전자선을 시료위로 주사하는 것에 의해 발생하는 반사 전자를 검출하여 표시 장치에 공급시키도록 된 장치에 있어서, 상기 시료를 전자선 광축에 따라 이동시키는 수단과 상기 시료를 경사 시키기 위하여 상기 이동 수단에 조립된 수단과, 상기 반사 전자를 검출하는 검출소자를 상기 시료의 경사축과 평행하게 또전자 선광축 과대 략직교하는 축심을 중심으로 하여 경사 시키기 위하여 상기 이동부재에 회동가능하게 취부된 지지부재와, 상기 시료의 경동에 따라 상기 검출 소자를 연속 혹은 단속적으로 경동시키기 위한 수단으로 된 주사 전자 현미경.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019800004240A 1980-11-05 1980-11-05 주사전자 현미경 KR830004667A (ko)

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