KR830002442B1

KR830002442B1 - Scanning electron microscope

Info

Publication number: KR830002442B1
Application number: KR1019800002726A
Authority: KR
Inventors: 요시히로 히라다
Original assignee: 니혼덴시 가부시끼 가이샤; 가세이 다다오
Priority date: 1980-07-09
Filing date: 1980-07-09
Publication date: 1983-10-26
Also published as: KR830003800A

Abstract

내용 없음.No content.

Description

Scanning electron microscope

제1도는 각각 동기펄스, 주사신호, 서거신호를 도시한 도면.1 is a diagram showing a sync pulse, a scan signal, and a death signal, respectively.

제2도는 본 발명의 한 실시예를 도시한 블럭선도.2 is a block diagram illustrating one embodiment of the present invention.

제3도는 제2도의 상세도.3 is a detail of FIG.

본 발명은 주사전자 현미경에 관한 것으로, 특히 시료상의 관찰면의 손상 및 오염을 방지할 수 있는 주사전자 현미경에 관한 것이다.The present invention relates to a scanning electron microscope, and more particularly to a scanning electron microscope capable of preventing damage and contamination of the observation surface on a sample.

주사전자 현미경의 편향수단에 공급되는 주사신호는 제1(a)도에 도시한 주사속도에 따른 펄스 간격을 갖는 동기펄스가 주사신호 발생기에 공급되므로써 형성된다. 이 주사신호 발생기에 있어서, 동기펄스가 공급될 때마다 제1(b)도에 도시된 주사신호를 발생하지만, 한 주사신호의 종료시, 즉 (t₁)에서부터 다음의 공기펄스가 공급되는 시점(t₂)까지의 시간(Δt) 동안에는 일정강도의 신호(소거신호)를 발생한다. 이 시간(Δt)은 주사상을 표시하는 음극선관에 있어서는 전자소거 시간으로 되어 제1(c)도에 도시된 소거신호가 공급되지만, 시료상에는 이 시간동안 전자선이 정체(停●)하게 된다. 이 때문에, 전자선이 정제하고 있는 시료면은 이 전자선에 의해 손상됨과 동시에, 시료주변에 오염의 원인이 되는 물질이 존재하여 있으면, 이 물질이 상기 시료면에 부착되어 시료는 오염된다.The scanning signal supplied to the deflection means of the scanning electron microscope is formed by supplying a synchronous pulse having a pulse interval corresponding to the scanning speed shown in FIG. 1 (a) to the scanning signal generator. In this scan signal generator, each time a synchronous pulse is supplied, the scan signal shown in Fig. 1 (b) is generated, but at the end of one scan signal, i.e., the time at which the next air pulse is supplied from (t ₁ ) ( During the time Δt up to t ₂ ), a signal (clear signal) of constant intensity is generated. This time Δt becomes the electron erasing time in the cathode ray tube displaying the scanning image, and the erase signal shown in FIG. 1 (c) is supplied, but the electron beam is stagnant during this time on the sample. For this reason, if the sample surface refine | purified by an electron beam is damaged by this electron beam, and the substance which causes a contamination exists in the vicinity of a sample, this substance will adhere to the said sample surface, and a sample will be contaminated.

본 발명은 주사신호의 종료시로부터 다음의 동기펄스의 발생시까지의 전자선이 시료상의 원하는 범위 밖으로 편향되도록 하여시료의 관찰면의 손상 및 오염을 방지할 수 있는 주사현미경을 제공하는 것으로 제2도를 기초하여 본 발명의 한 실시예를 설명할 것이다.The present invention provides a scanning microscope capable of preventing damage and contamination of an observation surface of a sample by causing the electron beam from the end of the scanning signal to the generation of the next synchronous pulse to be deflected out of a desired range on the sample. One embodiment of the present invention will be described.

제2도에 있어서, (1)은 제1(a)도에 도시된 전자선 주사속도에 따른 간격을 갖는 동기 펄스를 발생하는 동기펄스 발생기이며 발생한 동기펄스는 주사신호 발생기(2)에 공급된다. 이 주사신호 발생기(2)는 동기펄스가 공급될 때마다 주사신호를 발생하고 그 결과 제1(b)도에 도시된 톱니파신호가 배율설정회로(3)에 공급된다. 이 톱니파 신호는 이 배율설정회로(3) 내의 설정된 배율에 따른 전류값으로 편향코일(4)에 공급된다. 이 편향코일(4)로 신호가 공급됨에 따라 시료(6)상에 전자총(5)에 의해 조사(照射)된 전자선은 편향되고 이 시료(6)의 원하는 범위가 전자선에 의해 주사된다.In Fig. 2, reference numeral 1 denotes a synchronous pulse generator for generating synchronous pulses having an interval corresponding to the electron beam scanning speed shown in Fig. 1 (a), and the generated synchronous pulse is supplied to the scan signal generator 2. This scan signal generator 2 generates a scan signal each time a synchronous pulse is supplied, and as a result, the sawtooth wave signal shown in FIG. 1 (b) is supplied to the magnification setting circuit 3. This sawtooth signal is supplied to the deflection coil 4 at a current value corresponding to the set magnification in the magnification setting circuit 3. As the signal is supplied to the deflection coil 4, the electron beam irradiated on the sample 6 with the electron gun 5 is deflected, and the desired range of the sample 6 is scanned by the electron beam.

상술된 구성에 의해, 주사신호 발생기(2)에서 발생한 제1b도의 톱니파 신호 및 제1(c)도의 전자선 소거신호(blanking signal)는 주사상을 표시하는 음극선관에도 공급된다. 여기에서 제1(c)도의 소거신호는 배율설정회로(3)에도 공급되며,이 배율설정회로(3)는 이 소거신호가 공급되는 시간(Δt) 동안 주사신호의 최대 전류값의 10배 정도의 전류를 편향코일(4)에 공급할 수 있도록 되어 있다. 그 결과 전자선은 (Δt)동안에 시료(6)의 관찰면 밖으로 크게 편향되어 관찰면상에 전자선이 정제되지 않기 때문에 이 관찬면의 손상 및 오염이 방지된다.By the above-described configuration, the sawtooth wave signal of FIG. 1b and the electron beam blanking signal of FIG. 1 (c) generated in the scanning signal generator 2 are also supplied to the cathode ray tube displaying the scanning image. Here, the erasing signal of FIG. Current can be supplied to the deflection coil 4. As a result, the electron beam is greatly deflected out of the observation surface of the sample 6 during Δt so that the electron beam is not purified on the observation surface, thereby preventing damage and contamination of the surface.

따라서 상기의 구성을 더욱 상세히 나타낸 제3도를 참조하여 설명하면(11)은 음극선관(Braun tube)(12)는 음극선관의 편향코일을 나타내며, 편향코일(12)에는 주사신호 발생회로(2)로 부터의 주사신호(1(B))가 공급된다. 음극선관(11)의 일방(一方)의 휘도 변조용 전극에는 주사신호 발생히로(2)로부터 소거신호(blanking 신호)가 공급되며 음극선관의 타방의 휘도변조용 전극에는 시료에서 발생하는 2차 전자의 신호를 검출하는 검출기(7)로부터의 영상신호가 증폭기(8)를 통하여 음극선관(11)에 공급되고 있다. 또한 배율 설정회로(3)는 가변증폭기(3') 정전압(전류) 전원(9) 및 스위칭회로(10)로 구성되며, 이 스위칭회로(10)는 주사신호 회로(2)로부터 소거신호(1(C)도)가 인가되고 있는 시간(Δt)동안만 정전압원(9)의 출력을 음극선관의 휘도변조전극에 접속한다. 이 정전압전원(9)의 출력은 증폭기(8)의 최대(최소) 출력치 보다도 큰(작은)므로 (Δt)의 시간동안 전자선은 시료면의 주사범위 밖으로 편향된다.Therefore, referring to FIG. 3 showing the above configuration in more detail (11), the cathode tube 12 represents the deflection coil of the cathode ray tube, and the deflection coil 12 includes the scan signal generation circuit 2. Is supplied from the scan signal 1 (B). The blanking signal is supplied from the scanning signal generating furnace 2 to one of the luminance modulation electrodes of the cathode ray tube 11, and the secondary electrons generated from the sample are provided to the other luminance modulation electrode of the cathode ray tube 11. The video signal from the detector 7 which detects a signal of? Is supplied to the cathode ray tube 11 through the amplifier 8. In addition, the magnification setting circuit 3 is composed of a variable amplifier 3 'constant voltage (current) power supply 9 and a switching circuit 10. The switching circuit 10 includes an erase signal 1 from the scan signal circuit 2; (C) also connects the output of the constant voltage source 9 to the luminance modulating electrode of the cathode ray tube only during the time DELTA t. Since the output of the constant voltage power supply 9 is larger (smaller) than the maximum (minimum) output value of the amplifier 8, the electron beam is deflected out of the scanning range of the sample surface during the time of (Δt).

이상 본 발명을 상세하게 설명했지만, 본 고안은 상술된 실시예에 국한되지 않고 다수의 변형이 가능하다. 예로, 2단 편향이 행해지는 주사전자 현미경에 있어서 상단의 편향코일에서 소거신호가 동기된 편향전류를 흐르게 하여도 좋고, 또 하단의 편향코일 전류를 0으로 하여도 좋다.Although the present invention has been described in detail above, the present invention is not limited to the above-described embodiments and many modifications are possible. For example, in a scanning electron microscope in which two-stage deflection is performed, a deflection current synchronized with the erase signal may flow through the upper deflection coil, or the lower deflection coil current may be zero.

Claims

And a scan signal generator 2 for generating a scan signal 1B by a synchronous pulse, and supplying the scan signal B to the electron beam deflection coil 4 so that a desired range on the sample is scanned by the electron beam. In the scanning electron microscope, an electron beam deflection coil (4) for deflecting the electron beam out of the sample range by the magnification setting circuit (3) for the time (Δt) from the end of the scanning signal to the generation of the next synchronous pulse. Scanning electron microscope, characterized in that.