KR800002012Y1 - Capacity type convertiing device - Google Patents

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KR800002012Y1
KR800002012Y1 KR2019800002615U KR800002615U KR800002012Y1 KR 800002012 Y1 KR800002012 Y1 KR 800002012Y1 KR 2019800002615 U KR2019800002615 U KR 2019800002615U KR 800002615 U KR800002615 U KR 800002615U KR 800002012 Y1 KR800002012 Y1 KR 800002012Y1
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시게루 고도오
시게도시 가데가루
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가부시기 가이샤 요고 가와덴기 세이사구쇼
요고가와 쇼오조오
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Description

용량식 변환장치Capacitive inverter

제 1 도는 본 고안장치의 1 실시예를 표시한 접속도,1 is a connection diagram showing an embodiment of the present invention device,

제 2 도는 그 동작을 표시한 특성선도,2 is a characteristic line showing the operation thereof;

제 3 도 및 제 4 도는 본 고안 장치의 다른 실시예를 표시한 접속도이다.3 and 4 are connection diagrams showing another embodiment of the present invention device.

본 고안은 압력, 차압 등의 피측정량에 대응하는 변위량에 따라서 용량이 차동적으로 변화되는 한쌍의 가변콘덴서를 사용하여 피측정량을 전기신호로 변환시키는 용량식 변환장치에 관한 것이다.The present invention relates to a capacitive converter for converting a measurand into an electrical signal by using a pair of variable capacitors whose capacity varies differentially according to the displacement corresponding to the measurand such as pressure and differential pressure.

일반적으로 용량식 변환장치는 예를들면 일본의 실용신안공보 소 44-15398호 공보에 표시되어 있는 바와 같이, 변위량(變位量)에 따라서 차동적으로 변화되는 용량의 합에 대응한 전기신호가 일정하게 되도록 발진기를 제어하고, 용량의 차에 대응한 전기신호를 출력으로 하는 것에 의하여 피측정량을 전기신호로 변환시키고 있다. 그런데 이 종류의 용량식 변환장치에 있어서는, 가변 콘덴서에 병렬로 스트레이(stray)용량이 존재하기 때문에, 그 영향을 받아서 직선성(直線性)이 불량했었다.In general, a capacitive converter has an electrical signal corresponding to the sum of capacitances that are differentially changed according to the displacement amount, as shown in Japanese Utility Model Publication No. 44-15398. The oscillator is controlled so as to be constant, and an electrical signal corresponding to the difference in capacitance is outputted to convert the measured amount into an electrical signal. By the way, in this type of capacitive converter, since the stray capacitance exists in parallel with the variable capacitor, the linearity was poor due to the influence.

또 예를들면 차압 변환기와 같이 차압을 금속 다이어프램(Diaphragm) 변위로 변경시켜서 한쌍의 가변콘덴서의 용량을 차동적으로 변환시켜 피측정량(차압)을 전기신호로 변환시킬 경우에는, 금속 다이어프램의 변위량이 크게되면 차암에 비례하지 않게 되기때문에, 피측정량과 출력이 비직선적으로 된다.For example, when a differential pressure is changed to a metal diaphragm displacement like a differential pressure transducer, and the capacity of a pair of variable capacitors is differentially converted to convert the measured amount (differential pressure) into an electrical signal, the displacement of the metal diaphragm is changed. If it becomes large, it will not be proportional to the car arm, and therefore, the measured amount and the output will be nonlinear.

본 고안의 목적은, 변위량에 대해서 소망하는 관계에 있는 출력을 얻도록 구성하여, 상술한 바와 같은 비직선성의 보정을 용이하게 할수 있는 용량식 변환장치를 실현하는 데에 있다.An object of the present invention is to realize a capacitive converter which can be configured to obtain an output having a desired relationship with respect to the displacement amount, and which can easily correct the nonlinearity as described above.

제 1 도는 본 고안장치의 1 실시예를 도시한 접속도이다. 도면에 있어서 C1, C2는 변위량에 따라서 용량이 차동적으로 변화하는 한쌍의 가변 콘덴서로서 도면에는 피측정량에 따라서 변위하는 가동전극(10)과, 이 가동전극(10)을 사이에 두고 대향 배치되어 있는, 고정전극(11),(12)으로 구성되어 있다. C3은 보상용의 고정콘덴서, A는 고이득(高利得)의 차동증폭기, O는 발진기, T는 트랜스이며, 1차코일 n1과 3개의 2차 코일 n2,n3,n4를 가지고 있다. Vr은 안정화된 직류전원, D1~D6은 각각 정류용 다이오드, R9~R5는 각각 저항, Cf0~Cf3은 각각 평활용 콘덴서, C4는 직류분 저지용 콘덴서이다.1 is a connection diagram showing an embodiment of the present invention device. In the drawing, C 1 and C 2 are a pair of variable capacitors whose capacitance varies differentially according to the displacement amount. In the drawing, the movable electrode 10 and the movable electrode 10 are disposed between the movable electrode 10 and the displacement electrode. It consists of the fixed electrodes 11 and 12 arrange | positioned opposingly. C 3 is a fixed capacitor for compensation, A is a high-gain differential amplifier, O is an oscillator, T is a transformer, and the primary coil n 1 and three secondary coils n 2 , n 3 , n 4 Have. Vr is a stabilized DC power supply, D 1 to D 6 are rectifier diodes, R 9 to R 5 are resistors, Cf 0 to Cf 3 are smoothing capacitors, and C 4 is a DC blocking capacitor.

이와같이 구성된 본 고안의 장치에 있어서, 한쌍의 가변콘덴서 C1,C2에는 트랜스 T를 통하여 발진기 O의 발진출력이 주어지고 있으므로, 각각 그 용량에 따른 교류전류 i1,i2가 흐른다. 교류전류 i1,i2는 다이오드 D1~D4및 평활용 콘덴서 Cf0~Cf2에 의해서 정류 평활된다. 따라서, 저항 R0에는 전류 i1,i2의 차에 대응한 평균치전류 I0이 흐르고, 그 양단에는 다음식에 표시한 바와 같은 출력전압 E0가 생긴다.In the apparatus of the present invention configured as described above, since the oscillating output of the oscillator O is given to the pair of variable capacitors C 1 and C 2 , AC currents i 1 and i 2 flow according to their respective capacities. The alternating currents i 1 , i 2 are rectified and smoothed by diodes D 1 to D 4 and smoothing capacitors Cf 0 to Cf 2 . Therefore, the average value current I 0 corresponding to the difference between the currents i 1 and i 2 flows through the resistor R 0 , and the output voltage E 0 is generated at both ends thereof as shown in the following equation.

E0=Rok{(C1+Cs1)-(C2+Cs2)} (1)E 0 = Rok {(C 1 + Cs 1 )-(C 2 + Cs 2 )} (1)

여기에서, K는 발진기 O의 발진출력의 진폭이나 주파수 등의 함수이고, Cs1,Cs2는 가변콘덴서 C1,C2에 병렬로 존재하는 스트레이용량이다.Here, K is a function of the amplitude and frequency of the oscillator output of the oscillator O, and Cs 1 and Cs 2 are stray capacitances present in parallel in the variable capacitors C 1 and C 2 .

또 저항 R1,R2에는 각각 전류 i1,i2에 대응한 평균치 전류 I1I2가 도시한 극성으로 흐른다.In addition, the resistors R 1 and R 2 flow in the polarity of the average current I 1 I 2 corresponding to the currents i 1 and i 2 , respectively.

또 저항 R1,R2는 저항 R4,R5와 함께 직류전원 Vr에 직렬로 접속되고, 일정한 직류전류 Ir이 상기한 평균치전류 I1,I2와는 반대방향으로 공급되고 있다. 따라서 저항 R1,R2의 직렬회로의 양단에는 다음식에 표시한 바와 같은 귀환전압 Ef가 생긴다.The resistors R 1 and R 2 are connected in series with the resistors R 4 and R 5 to the DC power supply Vr, and a constant DC current Ir is supplied in the opposite direction to the above average value currents I 1 and I 2 . Therefore, the feedback voltage Ef is generated at both ends of the series circuit of the resistors R 1 and R 2 as shown in the following equation.

Ef=R{(C1+C2+Cs1+Cs2)-2Zr)} (2)Ef = R {(C 1 + C 2 + Cs 1 + Cs 2 ) -2Zr)} (2)

단 R=R1=R2 Where R = R 1 = R 2

한편, 보상용 고정콘덴서 C3에도 트랜스 T를 통하여 발진기 O의 발진출력이 주어지고 있으므로 그 용량에 따른 교류전류 i3이 흐른다. 이 교류전류 i3은 다이오드 D5,D6및 평활용 콘덴서 Cf3에서 정류평활 되어서 저항 R3에 흐르므로, 저항 R3의 양단에는 다음식에 표시한 것과 같은 보상전압 Ec가 얻어진다.On the other hand, since the oscillating output of the oscillator O is given to the compensating fixed capacitor C 3 through the transformer T, the AC current i 3 according to its capacity flows. The alternating current i 3 is the diode D 5, D 6, and so the smoothing capacitor Cf be rectifying and smoothing at 3 flows to the resistor R 3, the compensation voltage Ec such as that the two ends of the resistor R 3 is displayed on the food is obtained.

EC=KR3C3(3)EC = KR 3 C 3 (3)

이 보상전압 Ec와 귀환전압 Ef의 차가 차동증폭기 A에 가해진다. 차동증폭기 A는 상기한 차전압이 영(零)으로 되도록 발진기 O의 예를들면 전원전압을 제어한다. 따라서 출력전압 E0는 다음식으로 주어진다.The difference between the compensation voltage Ec and the feedback voltage Ef is applied to the differential amplifier A. The differential amplifier A controls, for example, the power supply voltage of the oscillator O such that the difference voltage becomes zero. Therefore, the output voltage E 0 is given by

그리고 한쌍의 가변콘덴서 C1,C2의 용량이, 가동전극(10)의 변위량 X(피측정량에 따른 양)에 대하여,The capacitance of the pair of variable capacitors C 1 and C 2 is determined with respect to the displacement amount X (the amount according to the measured amount) of the movable electrode 10.

단 C0: 초기용량C 0 : initial capacity

b : 고정전극(11),(12) 사이의 거리의과 같이 변화되고, 또 한쌍의 가변콘덴서 C1,C2는 대칭으로 만들어져 있으며, 스트레이 용량을 Cs1=Cs2=Cs라고 간주하면, 출력전압 E0는 다음식으로 주어진다.b is the distance between the fixed electrodes 11 and 12 And a pair of variable capacitors C 1 and C 2 are made symmetrically. Assuming that the stray capacitance is Cs 1 = Cs 2 = Cs, the output voltage E 0 is given by the following equation.

따라서 저항 R3의 저항치를,Therefore, the resistance value of the resistor R 3 ,

가 되도록 조정하면, 출력전압 E0는,When adjusted so that the output voltage E 0 is

로 되어, 스트레이 용량 Cs의 영향을 받지않고, 제 2a 도에 도시한 바와같이 변위량 X에 정확하게 비례한 것으로 된다. 실험에 의하면, 리니어리티(Linearity) 오차는 스트레이 용량의 영향을 보상하지 않을 경우의 -0.98%에서 ±0.03%로 대폭으로 강소시킬수 있다.In this way, it is not affected by the stray capacitance Cs, and is exactly proportional to the displacement amount X as shown in FIG. 2A. Experiments have shown that linearity errors can be drastically reduced from -0.98% to ± 0.03% without compensating the effects of stray capacity.

또 저항 R3의 저항치는가 되도록 조정하면, 제 2b 도에 표시한 것과 같이 변위량 X가 커질수록 증가율이 증대하고,로 되면 제 2c 도에 표시한 바와 같이 변위량 X가 커질수록 증가율이 감소되게되어, 입출력관계를 비직선(非直線)으로 할 수 있다.The resistance of the resistor R 3 If it is adjusted to be, the increase rate increases as the displacement amount X increases, as shown in FIG. 2B. As shown in FIG. 2C, the increase rate decreases as the displacement amount X increases, and the input / output relation can be made nonlinear.

또 그 비직선성의 크기는 저항 R3의 값을 변경시키는 것에 의하여 설정할 수 있다. 따라서, 예를들면 금속다이어프램으로 차압을 변위로 변환하는 경우와 같이, 피측정량(차압)과 가동전근(10)의 변위량 X의 비직선성이나, 한쌍의 가변, 콘덴서의 기계적배치나 전기부품의 불균형등의 여러가지 조건에 따른 입출력 관계의 비직선성을 저항 R3의 값을 적절히 산정하는 것에 의하여 보정할 수 있다.In the non-linearity it may be set by the size of changing the value of the resistor R 3. Thus, for example, the nonlinearity of the measured amount (differential pressure) and the displacement amount X of the movable transmission 10, as in the case of converting the differential pressure into a displacement using a metal diaphragm, a mechanical arrangement or electrical component of a pair of variable capacitors The nonlinearity of the input / output relationship according to various conditions such as the unbalance can be corrected by properly calculating the value of the resistor R 3 .

제 3 도는 본 고안장치의 다른 실시예를 표시하는 접속도로서, 제 1 도의 실시예와 다른 점은 2선식으로 구성된 점이다. 제 3 도에 있어서, R0은 스팬(SPAN) 조정용의 가변저항, A1은 고이득의 차동증폭기로, 그입력단자(+)에는 저항R1,R2의 접속점의 전위 E1와 저항 R0의 양단전압 E0의 합이 저항 R6을 거쳐서 가해짐과 동시에 귀환 저항 Rf의 양단전압 E2가 저항 R7을 거쳐서 가해지고, 다른쪽의 입력단자(-)에는 일정전압을 영점 조정용의 분압저항 R10으로 분압한 전압 E3이 저항 R8,R9의 분압회로를 거쳐서 가하여진다.3 is a connection diagram showing another embodiment of the device of the present invention, which is different from the embodiment of FIG. 1 in a two-wire configuration. In FIG. 3, R 0 is a variable resistor for span adjustment, A 1 is a high gain differential amplifier, and the input terminal (+) has a potential E 1 and a resistance R at the connection points of the resistors R 1 and R 2 . the zero point to have a constant voltage-adjusting-the sum of the both-end voltage E 0 of 0 is applied via a resistor R 6 both ends of the feedback resistor Rf at the same time and load voltage E 2 that is applied through a resistor R 7, the other terminal of which () The voltage E 3 divided by the voltage dividing resistor R 10 is applied via the voltage dividing circuit of the resistors R 8 and R 9 .

또한 저항 R0-R9는 신호원(源) 저항에 비해서 충분히 크게 선정되어 있다. Q는 출력 트랜지스터에서 증폭기 A1의 출력으로 구동되고, 출력전류 I0로 귀환저항 Rf 및 한쌍의 전송선 ℓ을 거쳐서 수신측에 배치된 부하 RL에 공급하는 것이다. 그리고 출력전류 I0에 의해서 저항 Rf의 양단에 생기는 전압 강하가 상기한 전압 E2로 된다. J는 정전류회로로서, 예를들면 도시한 바와 트랜지스터와 전계(電界)효과 트랜지스터로, 되고, 제너다이오드 Dz에 일정전류를 공급하여 그 양단에 안정화된 직류전압 Vr을 얻는다.In addition, the resistors R 0 -R 9 are selected sufficiently large compared to the signal source resistance. Q is driven from the output transistor to the output of the amplifier A 1 and supplied to the load R L arranged on the receiving side via the feedback resistor Rf and the pair of transmission lines L to the output current I 0 . The voltage drop generated across the resistor Rf by the output current I 0 becomes the above-described voltage E 2 . J is a constant current circuit, for example, as shown in the figure, and a transistor and a field effect transistor. A constant current is supplied to the zener diode Dz to obtain a stabilized DC voltage Vr at both ends thereof.

이 안정화된 직류전압 Vr이 저항 R4,R1,R2,R5의 직렬회로와 영점 조정용의 분압저항 R10에 각각 가해짐과 동시에, 트랜지스터를 거쳐서 증폭기 A,A1의 전원단자에 가해진다. E는 직류전원으로서, 이 장치의 유일한 전원이며 부하 RL에 직렬로 접속되어, 수신측에 배치되어 있다.The stabilized DC voltage Vr is applied to the series circuits of resistors R 4 , R 1 , R 2 , and R 5 and the voltage divider R 10 for zero adjustment, respectively, and is applied to the power terminals of the amplifiers A and A 1 via the transistors. All. E is a direct current power source, which is the only power source of this apparatus, is connected in series to the load R L , and is disposed on the receiving side.

이와같이 구성된 본 고안장치에 있어서는, 한쌍의 전송선 ℓ을 거쳐서 수신측의 부하 RL에 전송되는 출력전류 I0는,In the inventive device configured as described above, the output current I 0 transmitted to the load R L on the receiving side via the pair of transmission lines L is

단, R6=R7=R8=R9 Provided that R 6 = R 7 = R 8 = R 9

β=분압저항 R10의 분압비β = partial voltage ratio of voltage divider R 10

로 되어, 변위량 X에 대응된 것으로 된다. (10)식에서 명백한 바와 같이 분압저항 R10의 분압비 β를 조정하면, 변위량 X의 0%시의 출력전류 I0의 값을 소망치(所望値)(예를들면 4mA)로 할수있고, 영점의 조정을 할 수 있다. 또 저항 R0의 값을 조정하면, 변위량 X의 100%때의 출력전류 I0의 값을 소망치(예를들면 20mA)로 할수 있고, 스팬조정을 할 수 있다. 그리고 또 가변저항 R0의 값을 변경하여도 영점에는 아무런 영향을 주지않고, 또한 분압저항 R10의 분압비 β를 변경시켜서 스팬에는 아무런 영향을 주주 않는다.This corresponds to the displacement amount X. As apparent from the equation (10), when the voltage dividing ratio β of the voltage dividing resistor R 10 is adjusted, the value of the output current I 0 at 0% of the displacement amount X can be set as a desired value (for example, 4 mA). Can be adjusted. If the value of the resistor R 0 is adjusted, the value of the output current I 0 at 100% of the displacement amount X can be set to a desired value (for example, 20 mA), and the span can be adjusted. Also, changing the value of the variable resistor R 0 has no effect on the zero point, and changing the partial pressure ratio β of the voltage divider resistor R 10 has no effect on the span.

즉 2선식의 변화장치에 있어서, 영점의 조정과 스팬조정을 서로 독립해서 시행할 수 있다. 또 상술한실시예에서는, 귀환전압 Ef와 보상전압 Ec를 직렬적으로 가산하고 있으나, 제 4 도에 표시한 바와 같이 연산 저항 R10~R13을 사용하여 차동증폭기 A로서 병렬적으로 가산하도록 하여도 좋다. 또 상술한바에서는 한쌍의 가변콘덴서에 발진기의 발진출력을 트랜스 T의 2조의 2차권선을 거쳐서 주어질 경우를 예시하였으나, 1조의 2차권선을 거쳐서 주어지도록 구성하여도 좋다. 단 실시예와 같이 구성하면 가변콘덴서의 일단을 접지시킬 수 있는 이점이 있다. 다시 정류용의 다이오드 대신에 콜렉터 베이스(COLLECTOR BASE)사이를 접속시킨 스위칭(SWITCHING) 트랜지스터를 사용하여도 똑같이 된다. 또 보상용의 콘덴서 C3을 가변으로 하여서 (8)식의 관계를 만족시켜도 된다. 또 스트레이용량의 주위온도의 영향을 받을 경우에는, 보상용의 콘덴서 C3을 한쌍의 가변콘덴서 C1,C2의 가까이에 배치하고 동일하고 주위온도의 영향을 받도록 하면 된다.In other words, in the two-wire changer, the zero point adjustment and the span adjustment can be performed independently of each other. In the above-described embodiment, the feedback voltage Ef and the compensation voltage Ec are added in series, but as shown in FIG. 4, the operational resistors R 10 to R 13 are used to add in parallel as the differential amplifier A. Also good. In the above-described case, the oscillation output of the oscillator is given to the pair of variable capacitors via two sets of secondary windings of the transformer T, but may be configured to be provided through one set of secondary windings. However, when configured as in the embodiment, there is an advantage in that one end of the variable capacitor can be grounded. In the same manner, a switching transistor connected between collector bases instead of a rectifying diode is used. In addition, the relationship of the expression (8) may be satisfied by making the compensating capacitor C 3 variable. In the case of being affected by the ambient temperature of the stray capacitance, the compensating capacitor C 3 may be arranged near a pair of the variable capacitors C 1 and C 2 so as to be affected by the ambient temperature.

이상 설명한 바와같이 본 고안에 의하면, 간단한 구성으로 변위량과 소망하는 관계에 있는 출력전기 신호가 얻어지고, 비직선성의 보정이 용이한 용량식 변환장치가 얻어진다.As described above, according to the present invention, an output electric signal having a desired relationship with the displacement amount can be obtained with a simple configuration, and a capacitive converter which can easily correct nonlinearity is obtained.

Claims (1)

피측정량에 따라서 용량이 차동적으로 변화하는 한쌍의 가변콘덴서(C1,C2)와, 이 한쌍의 가변콘덴서(C1,C2)에 발진출력을 인가하는 발진기(O)와, 상기한 한 쌍의 가변콘덴서(C1,C2)의 용량의 합에 대응한 전류와 기준전류를 서로 반대방향으로 저항으로 흘려서 귀환전압(Ef)을 얻는 수단과, 상기한 발진기(O)의 발진출력이 인가되는 보상용콘덴서(C3)와, 이 보상용의 콘덴서(C3)의 용량에 따라서 흐르는 전류에 대응한 보상전압(Ec)을 얻는 수단과, 상기한 귀환전압(Ef)이 상기한 보상전압(Ec)과 동등하게 되도록 상기한 발진기(O)를 제어하는 수단과, 상기한 한쌍의 가변콘덴서(C1,C3)의 용량의 차에 대응한 전류에 관련된 출력신호를 얻는 수단을 가져서 된 용량식 변환장치.A pair of variable capacitors (C 1 , C 2 ) whose capacitance varies differentially in accordance with the measured amount, an oscillator (O) for applying an oscillation output to the pair of variable capacitors (C 1 , C 2 ), and Means for flowing the current corresponding to the sum of the capacities of the pair of variable capacitors C 1 and C 2 and the reference current to the resistor in the opposite direction to obtain a feedback voltage Ef, and oscillation of the oscillator O described above Means for obtaining a compensation capacitor C 3 to which an output is applied, a compensation voltage Ec corresponding to a current flowing in accordance with the capacitance of the compensation capacitor C 3 , and the feedback voltage Ef described above. Means for controlling the oscillator (O) so as to be equal to one compensation voltage (Ec), and means for obtaining an output signal related to a current corresponding to a difference in capacitance of the pair of variable capacitors (C 1 , C 3 ). With capacitive inverter.
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