KR20240099742A

KR20240099742A - Test probe

Info

Publication number: KR20240099742A
Application number: KR1020220181541A
Authority: KR
Inventors: 조성현
Original assignee: 리노공업주식회사
Filing date: 2022-12-22
Publication date: 2024-07-01

Abstract

피검사체의 전기적 특성을 검사하는 검사프로브가 개시된다. 검사프로브는 서로를 향해 내측으로 돌출하는 메인고정돌기를 가진 원통형의 배럴 및 상기 피검사체에 접촉하는 접촉부와, 다각 단면을 갖고 상기 접촉부로부터 일체로 연장하며, 상기 배럴의 일단부에 삽입되는 고정부와, 상기 다각 단면의 일면으로부터 상기 메인고정돌기를 향하여 돌출되며, 상기 고정부의 길이방향으로 연장되며, 상기 메인고정돌기에 삽입되도록 함몰된 메인고정홈부가 마련된 물림부를 가진 터미널를 포함한다.A test probe that tests the electrical characteristics of an object to be inspected is disclosed. The inspection probe has a cylindrical barrel with main fixing protrusions protruding inward toward each other, a contact part in contact with the object to be inspected, and a fixing part that has a polygonal cross-section and integrally extends from the contact part and is inserted into one end of the barrel. and a terminal that protrudes from one surface of the polygonal cross-section toward the main fixing protrusion, extends in the longitudinal direction of the fixing part, and has a engaging portion provided with a main fixing groove recessed to be inserted into the main fixing protrusion.

Description

Test probe{TEST PROBE}

본 발명은 반도체와 같은 피검사체의 전기적 특성을 검사하기 위한 검사프로브에 관한 것이다.The present invention relates to an inspection probe for inspecting the electrical characteristics of an object to be inspected, such as a semiconductor.

검사프로브는 원통형의 배럴, 배럴의 일단에 부분 삽입되어 고정되는 제1플런저, 배럴 내에서 슬라이딩 이동 가능하게 배럴의 타단에 부분 삽입되는 제2플런저 및 배럴 내에 삽입되어 제2플런저를 탄성력을 제공하는 스프링을 포함한다. 제1플런저와 제2플런저는 각각 원통형 배럴에 대응하는 원기둥의 배럴수용부와 검사접점에 접촉하는 접촉부를 가진다. 제1플런저와 제2플런저는 원기둥 형상의 모재를 정밀 가공하여 제작해야 한다. 그러나, 제1플런저와 제2플런저의 정밀 가공은 검사프로브의 제작 비용과 시간이 커지는 문제가 있다.The inspection probe consists of a cylindrical barrel, a first plunger that is partially inserted and fixed into one end of the barrel, a second plunger that is partially inserted into the other end of the barrel to enable sliding movement within the barrel, and a second plunger that is inserted into the barrel to provide elastic force to the second plunger. Includes springs. The first plunger and the second plunger each have a cylindrical barrel receiving portion corresponding to the cylindrical barrel and a contact portion that contacts the inspection contact point. The first plunger and the second plunger must be manufactured by precision processing a cylindrical base material. However, precision machining of the first plunger and the second plunger has the problem of increasing the manufacturing cost and time of the inspection probe.

본 발명의 목적은 제조비용을 절감할 수 있는 검사프로브를 제공하는 데에 있다.The purpose of the present invention is to provide an inspection probe that can reduce manufacturing costs.

상술한 과제를 달성하기 위한 검사프로브가 제공된다. 검사프로브는 서로를 향해 내측으로 돌출하는 메인고정돌기를 가진 원통형의 배럴 및 상기 피검사체에 접촉하는 접촉부와, 다각 단면을 갖고 상기 접촉부로부터 일체로 연장하며, 상기 배럴의 일단부에 삽입되는 고정부와, 상기 다각 단면의 일면으로부터 상기 메인고정돌기를 향하여 돌출되며, 상기 고정부의 길이방향으로 연장되며, 상기 메인고정돌기에 삽입되도록 함몰된 메인고정홈부가 마련된 물림부를 가진 터미널를 포함한다.An inspection probe is provided to achieve the above-described task. The inspection probe has a cylindrical barrel with main fixing protrusions protruding inward toward each other, a contact part in contact with the object to be inspected, and a fixing part that has a polygonal cross-section and integrally extends from the contact part and is inserted into one end of the barrel. and a terminal that protrudes from one surface of the polygonal cross-section toward the main fixing protrusion, extends in the longitudinal direction of the fixing part, and has a engaging portion provided with a main fixing groove recessed to be inserted into the main fixing protrusion.

상기 고정부는 상기 일면에 상기 메인고정홈부를 사이에 두고 상기 길이방향의 가로로 함몰된 서브고정홈부를 포함할 수 있다.The fixing part may include a sub fixing groove recessed horizontally in the longitudinal direction on the one surface with the main fixing groove in between.

상기 배럴은 상기 메인고정돌기를 사이에 두고 상기 배럴의 내측으로 돌출하는 서브고정돌기를 포함할 수 있다.The barrel may include a sub-fixing protrusion that protrudes into the inside of the barrel with the main fixing protrusion interposed therebetween.

상기 서브고정돌기는 상기 고정부가 상기 배럴 내에 회전됨에 따라 상기 서브고정홈부에 삽입될 수 있다.The sub-fixing protrusion may be inserted into the sub-fixing groove as the fixing part rotates within the barrel.

상기 터미널은 MEMS 공정에 의해 제조될 수 있다.The terminal may be manufactured by a MEMS process.

상기 터미널은 각각 서로 다른 단면을 가진 복수의 단면층을 포함할 수 있다.The terminal may include a plurality of cross-sectional layers, each having a different cross-section.

상기 접촉부는 상기 피검사체에 접촉하는 접촉팁을 포함하며, 상기 접촉팁과 상기 물림부는 상기 복수의 단면층 중 하나에 마련될 수 있다.The contact portion includes a contact tip that contacts the object to be inspected, and the contact tip and the engaging portion may be provided on one of the plurality of cross-sectional layers.

상기 메인고정돌기의 돌출길이(L1)는 상기 배럴의 직경(R)의 5~7%일 수 있다.The protruding length (L1) of the main fixing protrusion may be 5 to 7% of the diameter (R) of the barrel.

상기 물림부의 돌출길이(L2)는 상기 배럴의 직경(R)의 7~10%일 수 있다.The protruding length (L2) of the engaging portion may be 7 to 10% of the diameter (R) of the barrel.

상기 메인고정홈부의 깊이(D)는 상기 배럴의 직경(R)의 4~5%일 수 있다.The depth (D) of the main fixing groove may be 4 to 5% of the diameter (R) of the barrel.

본 발명의 실시예에 따른 검사프로브는 배럴에 고정되는 고정플런저를 MEMS 공정에 의해 대량 생산되는 터미널로 대체함으로써 제조비용을 절감할 수 있다. 또한, 터미널은 MEMS 공정의 제조에 따른 다각단면 형상을 가지면서도 원통형의 배럴에 안정적으로 고정 결합될 수 있다.The inspection probe according to an embodiment of the present invention can reduce manufacturing costs by replacing the fixed plunger fixed to the barrel with a terminal mass-produced by the MEMS process. In addition, the terminal can be stably fixedly coupled to a cylindrical barrel while having a polygonal cross-sectional shape according to the MEMS process manufacturing.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 검사프로브의 사시도이다.
도 2는 도 1의 검사프로브를 분해하여 나타낸 분해사시도이다.
도 3은 도 1의 터미널를 나타내는 사시도이다.
도 4는 도 3의 터미널을 제조하는 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 5는 도 1의 A-A선을 따라 절취한 단면의 일부를 나타내는 단면사시도이다.
도 6는 도 1의 B-B선을 따라 나타낸 도면이다.
도 7은 도 6에서 터미널이 반시계 방향으로 45°회전한 상태를 나타내는 도면이다.1 is a perspective view of an inspection probe according to an embodiment of the present invention.
Figure 2 is an exploded perspective view showing the inspection probe of Figure 1 disassembled.
Figure 3 is a perspective view showing the terminal of Figure 1.
FIG. 4 is a diagram for explaining a method of manufacturing the terminal of FIG. 3.
Figure 5 is a cross-sectional perspective view showing a portion of a cross section taken along line AA of Figure 1.
FIG. 6 is a view taken along line BB in FIG. 1.
FIG. 7 is a diagram showing a state in which the terminal in FIG. 6 is rotated 45° counterclockwise.

이하 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 검사프로브를 상세하게 설명한다.Hereinafter, an inspection probe according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the attached drawings.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 검사프로브(1)의 사시도이고, 도 2는 도 1의 검사프로브(1)를 분해하여 나타낸 분해사시도이다.FIG. 1 is a perspective view of the inspection probe 1 according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is an exploded perspective view showing the inspection probe 1 of FIG. 1 disassembled.

검사프로브(1)는 배럴(11), 배럴(11)의 일단부에 삽입 고정되는 터미널(12), 배럴(11)의 타단부에 삽입되는 플런저(13) 및 배럴(11) 내에 삽입되는 스프링(14)을 포함한다.The inspection probe (1) includes a barrel (11), a terminal (12) inserted into and fixed to one end of the barrel (11), a plunger (13) inserted into the other end of the barrel (11), and a spring inserted into the barrel (11). Includes (14).

배럴(11)은 중공을 가진 원통 형상으로 전도성 재질로 이루어진다. 배럴(11)은 일단부에 반경방향 내측으로 돌출 변형시킨 4개의 고정돌기(111a,111b)를 포함한다. 4개의 고정돌기(111a,111b)는 배럴(11)의 원주면에 대해 대략 90°간격으로 배치된다. 4개의 고정돌기(111a,111b)는 배럴(11)의 외주면을 펀칭하여 내측으로 함몰 변형시키는 코킹작업에 의해 형성될 수 있다. 4개의 고정돌기(111a,111b)는 서로 마주보는 한 쌍의 메인고정돌기(111a)와, 메인고정돌기에 인접하여 서로 마주보는 한 쌍의 서브고정돌기(111b)를 포함한다. The barrel 11 has a hollow cylindrical shape and is made of a conductive material. The barrel 11 includes four fixing protrusions 111a and 111b at one end that protrude and deform inward in the radial direction. The four fixing protrusions 111a and 111b are arranged at approximately 90° intervals with respect to the circumferential surface of the barrel 11. The four fixing protrusions (111a, 111b) can be formed by a caulking operation that punches the outer peripheral surface of the barrel 11 and deforms it inward. The four fixing protrusions (111a, 111b) include a pair of main fixing protrusions (111a) facing each other, and a pair of sub fixing protrusions (111b) adjacent to the main fixing protrusions and facing each other.

터미널(12)은 도전성 재질로서, 예를 들면 반도체와 같은 피검사체의 검사접점에 접촉하도록 배럴(11)의 일단부에 고정 결합된다. 이때, 고정 결합은 배럴(11)의 메인고정돌기(111a)와 후술하는 터미널(12)의 메인고정홈부(123c)의 결합에 의해 이루어질 수 있다. 터미널(12)에 대한 상세한 설명은 후술한다.The terminal 12 is made of a conductive material and is fixedly coupled to one end of the barrel 11 so as to contact an inspection contact point of an object to be inspected, such as a semiconductor. At this time, the fixed coupling may be achieved by coupling the main fixing protrusion 111a of the barrel 11 with the main fixing groove 123c of the terminal 12, which will be described later. A detailed description of the terminal 12 will be described later.

플런저(13)는 도전성 재질로서, 예를 들면 검사회로기판의 검사접점에 접촉하도록 배럴(11)의 타단부에 부분 삽입된다. 이때, 플런저(13)는 부분 삽입된 상태에서 배럴(11) 내에서 슬라이딩 이동될 수 있다. 플런저(13)는 배럴(11)의 타단부를 오므림 작업에 의해 외부로 인출되지 않고 배럴(11) 내에 지지될 수 있다.The plunger 13 is made of a conductive material and, for example, is partially inserted into the other end of the barrel 11 so as to contact an inspection contact point of the inspection circuit board. At this time, the plunger 13 may be slidably moved within the barrel 11 in a partially inserted state. The plunger 13 may be supported within the barrel 11 without being pulled out by retracting the other end of the barrel 11.

스프링(14)은 배럴(11) 내에 마련되어 플런저(13)의 슬라이딩 이동에 따라 압축 또는 복원되어 플런저(133)에 탄성력을 제공할 수 있다. The spring 14 is provided in the barrel 11 and can be compressed or restored according to the sliding movement of the plunger 13 to provide elastic force to the plunger 133.

도 3은 도 1의 터미널(12)를 나타내는 사시도이다.Figure 3 is a perspective view showing the terminal 12 of Figure 1.

도 3을 참조하면, 터미널(12)은 바디(121), 접촉팁(122) 및 한 쌍의 물림부(123)를 포함한다.Referring to FIG. 3, the terminal 12 includes a body 121, a contact tip 122, and a pair of engaging portions 123.

바디(121)는 피검사체에 접촉하는 접촉부(121a)와 배럴(11)의 일단부에 삽입되는 고정부(121b)를 포함한다. 바디(121)는 길이 방향에 대해 가로로 절단한 단면이 사각형상을 가진다. The body 121 includes a contact portion 121a that contacts the object to be inspected and a fixing portion 121b inserted into one end of the barrel 11. The body 121 has a square cross section cut horizontally in the longitudinal direction.

접촉부(121a)는 상단에 경사진 단부를 가진다. 접촉부(121a)의 단부 처단에는 접촉팁(122)이 마련되어 있다.The contact portion 121a has an inclined end at the top. A contact tip 122 is provided at the end of the contact portion 121a.

접촉부(121a)의 직사각형 단면의 대각선 길이는 배럴(11)의 내경보다 크다. 결과적으로, 접촉부(121a)는 배럴(11)에 삽입되지 않는다.The diagonal length of the rectangular cross section of the contact portion 121a is larger than the inner diameter of the barrel 11. As a result, the contact portion 121a is not inserted into the barrel 11.

고정부(121b)는 접촉부(121a)로부터 일체로 연장한다. 고정부(121b)는 대략 정사각형 단면을 가진다. 고정부(121b)는 정사각형 단면의 대각선 길이는 배럴(11)에 삽입될 수 있도록 배럴(11)의 내경과 같거나 작다.The fixing portion 121b extends integrally from the contact portion 121a. The fixing portion 121b has an approximately square cross-section. The fixing part 121b has a square cross-section and a diagonal length equal to or smaller than the inner diameter of the barrel 11 so that it can be inserted into the barrel 11.

고정부(121b)는 서로 마주보는 일면 및 타면에 마련된 한 쌍의 서브고정홈부(121c)를 포함한다. 한 쌍의 서브고정홈부(121c)는 터미널(12)이 배럴(11) 내에서 회전되었을 때 한 쌍의 서브고정돌기(111b)에 맞물린다.The fixing part 121b includes a pair of sub-fixing grooves 121c provided on one side and the other side facing each other. The pair of sub-fixing grooves 121c engages with the pair of sub-fixing protrusions 111b when the terminal 12 is rotated within the barrel 11.

접촉부(121a)와 고정부(b) 사이에는 단차부(121d)가 형성된다. 단차부(121d)는 고정부(121b)가 배럴(11)에 삽입 시 진입을 허용하지 않도록 배럴(11)의 일단부에 걸린다.A step portion 121d is formed between the contact portion 121a and the fixing portion (b). The step portion 121d is caught on one end of the barrel 11 to prevent the fixing portion 121b from entering the barrel 11 when inserted into the barrel 11.

한 쌍의 물림부(123)는 접촉부(121a)의 일면 그리고 그 반대편의 타면으로부터 돌출하는 한 쌍의 제1물림부(123a)와, 고정부(121b)의 일면 그리고 그 반대편의 타면으로부터 배럴(11)의 메인고정돌기(111a)를 향하여 돌출하는 제2물림부(123b)를 포함한다. 한 쌍의 제1 및 제2물림부(123a,123b)는 바디(121)의 일면 그리고 그 반대편의 타면에 길이방향을 따라 연장한다.A pair of engaging portions 123 include a pair of first engaging portions 123a protruding from one surface of the contact portion 121a and the other surface opposite to the contact portion 121a, and a barrel ( It includes a second engaging portion (123b) protruding toward the main fixing protrusion (111a) of 11). A pair of first and second engaging portions 123a and 123b extend along the longitudinal direction on one side of the body 121 and the other side opposite to it.

한 쌍의 제1물림부(123a)에는 한 쌍의 메인고정돌기(111a)에 대응하는 위치에 한 쌍의 메인고정홈부(123c)가 마련된다. 고정부(121b)를 배럴(11)의 일단부에 삽입한 상태에서, 한 쌍의 메인고정홈부(123c)가 위치한 배럴(11)의 외주면을 코킹작업에 의해 변형시키켜 한 쌍의 메인고정돌기(111a)를 형성시키면, 고정부(121b)는 배럴(11)의 일단부에 고정 결합된다.A pair of main fixing grooves 123c are provided in the pair of first engaging portions 123a at positions corresponding to the pair of main fixing protrusions 111a. With the fixing part (121b) inserted into one end of the barrel (11), the outer peripheral surface of the barrel (11) where the pair of main fixing grooves (123c) are located is deformed by caulking to form a pair of main fixing protrusions. When (111a) is formed, the fixing portion (121b) is fixedly coupled to one end of the barrel (11).

도 4는 도 3의 터미널(12)을 제조하는 방법을 설명하기 위한 도면이다.FIG. 4 is a diagram for explaining a method of manufacturing the terminal 12 of FIG. 3.

도 4를 참조하면, 터미널(12)은 3개의 섹션(layer1~3)으로 분할되어 증착과 식각으로 제조될 수 있다. 이때, 터미널(12)은 최소의 공정 수로 제조될 수 있도록 사전 설계될 필요가 있다.Referring to FIG. 4, the terminal 12 can be divided into three sections (layers 1 to 3) and manufactured through deposition and etching. At this time, the terminal 12 needs to be designed in advance so that it can be manufactured with the minimum number of processes.

layer1은 MEMS 제1단계에 의해 제조된 바디(121)의 일부에 대한 패턴을 나타낸다. layer1 represents a pattern for a portion of the body 121 manufactured by the first step of MEMS.

layer2는 MEMS 제2단계에 의해 제조된 바디(121)의 일부, 접촉팁(122) 및 물림부(123)에 대한 패턴을 나타낸다. Layer2 represents a pattern for a portion of the body 121, the contact tip 122, and the engagement portion 123 manufactured by the second MEMS step.

layer3은 MEMS 제1단계에 의해 제조된 바디(121)의 나머지 일부에 대한 패턴을 나타낸다. layer3 represents the pattern for the remaining part of the body 121 manufactured by the first step of MEMS.

이상과 같이, 테스트 프로브(1)는 MEMS공정에 의해 대량 생산될 수 있다.As described above, the test probe 1 can be mass-produced by the MEMS process.

도 5는 도 1의 A-A선을 따라 절취한 단면의 일부를 나타내는 단면사시도이고, 도 6는 도 1의 B-B선을 따라 나타낸 도면이고, 도 7은 도 6에서 터미널이 반시계 방향으로 45°회전한 상태를 나타내는 도면이다.Figure 5 is a cross-sectional perspective view showing a portion of the cross section taken along line A-A of Figure 1, Figure 6 is a view taken along line B-B of Figure 1, and Figure 7 shows the terminal in Figure 6 rotated 45° counterclockwise. It is a drawing showing one state.

도 5 및 도 6을 참조하면, 고정부(121b)는 한 쌍의 메인고정돌기(111a)와 메인고정홈부(123c)의 물림 결합에 의해 배럴(110에 고정된다. 메인고정돌기(111a)와 메인고정홈부(123c)의 물림 결합은 메인고정돌기(111a)의 내부 형상이 타원 곡면형상을 갖기 때문에 견고한 상태를 유지하기 힘들다. 만일 검사프로브(1)의 검사 시에, 도 7에 나타낸 바와 같이 터미널(12)이 배럴(11)내에서 반시계 방향으로 예를 들면 45°회전하면, 한 쌍의 메인고정돌기(111a)와 메인고정홈부(123c)의 물림 결합은 해제되지만, 한 쌍의 서브고정돌기(111b)는 각각 한 쌍의 서브고정홈부(121b)에 결합된다. 결과적으로, 터미널(12)은 배럴(11) 내에서 회전하더라도 배럴(11) 내에 안정적으로 고정 지지될 수 있다.Referring to Figures 5 and 6, the fixing part 121b is fixed to the barrel 110 by engaging a pair of main fixing protrusions 111a and the main fixing groove 123c. The main fixing protrusions 111a and The engagement of the main fixing groove 123c is difficult to maintain in a solid state when inspecting the inspection probe 1 because the inner shape of the main fixing protrusion 111a has an elliptical curved shape, as shown in FIG. When the terminal 12 is rotated counterclockwise, for example, 45° within the barrel 11, the engagement between the pair of main fixing protrusions 111a and the main fixing groove 123c is released, but the pair of sub As a result, the fixing protrusions 111b are each coupled to a pair of sub-fixing grooves 121b. As a result, the terminal 12 can be stably fixed and supported within the barrel 11 even if it rotates within the barrel 11.

터미널(12)의 고정부(121c)가 사각기둥 형상이고, 배럴(11)의 중공은 원형 이기 때문에, 배럴의 내부 곡면과 고정부(121c)의 평면 사이에는 소정의 갭이 존재할 수밖에 없다. 고정부(121c)를 배럴(11)에 고정하기 위해서는, 고정부(121c)의 평면에 고정홈을 형성하고 배럴(12)의 외주면을 코킹 작업하여 고정홈에 삽입되는 고정돌기를 형성하여야 한다. 그러나, 갭의 크기가 너무 크면, 코킹작업에 의한 배럴(11)의 변형량(고정돌기의 돌출길이(L1))도 커질 수 밖에 없어, 과조한 변형에 따른 배럴(11)의 불량이 초래되었다. 이를 해결하기 위해, 본 발명의 실시예에 따른 터미널(12)은 고정부(121c)의 일면으로부터 돌출하는 제2물림부(123b) 및 메인고정홈부(123c)를 마련하여 코킹작업에 의한 배럴(11)의 변형량(고정돌기의 돌출길이(L1))를 줄일 수 있었다.Since the fixing part 121c of the terminal 12 has a square pillar shape and the hollow of the barrel 11 is circular, a certain gap is bound to exist between the inner curved surface of the barrel and the flat surface of the fixing part 121c. In order to fix the fixing part 121c to the barrel 11, a fixing groove must be formed on the plane of the fixing part 121c and the outer peripheral surface of the barrel 12 must be caulked to form a fixing protrusion inserted into the fixing groove. However, if the size of the gap is too large, the amount of deformation (protrusion length (L1) of the fixing protrusion) of the barrel 11 due to the caulking operation also inevitably increases, resulting in defects in the barrel 11 due to excessive deformation. In order to solve this problem, the terminal 12 according to an embodiment of the present invention is provided with a second engaging portion 123b and a main fixing groove 123c protruding from one surface of the fixing portion 121c, so that the barrel (123c) is formed by caulking. 11), the amount of deformation (protrusion length (L1) of the fixing protrusion) could be reduced.

코킹작업에 의한 배럴(11)의 변형량(고정돌기의 돌출길이(L1))이 너무 작으면, 메인고정돌기(111a)와 메인고정홈부(123c)의 물림 정도가 너무 작아져 안정적인 고정 결합이 어렵다.If the amount of deformation (protruding length (L1) of the fixing protrusion) of the barrel 11 due to the caulking operation is too small, the degree of engagement between the main fixing protrusion (111a) and the main fixing groove (123c) becomes too small, making stable fixation difficult. .

고정부(121c)와 배럴(11)의 고정 결합을 위해서, 배럴(11)의 직경(R)에 따른 메인고정돌기(111a)의 돌출길이(L1), 제2물림부(123b)의 돌출길이(L2) 및 메인고정홈부(123c)의 깊이(D)를 다음과 같이 설정하였다.For fixed coupling of the fixing part 121c and the barrel 11, the protruding length L1 of the main fixing protrusion 111a and the protruding length of the second engaging portion 123b according to the diameter R of the barrel 11. (L2) and the depth (D) of the main fixing groove (123c) were set as follows.

메인고정돌기(111a)의 돌출길이(L1)는 배럴(11)의 직경(R)의 5~7%인 것이 좋다. 만일, 돌출길이(L1)가 배럴(11)의 직경(R)의 5% 미만이면, 제2물림부(123b)의 돌출길이(L2)가 길어지고 폭은 좁아지게 되어 제2물림부(123b)의 내구성이 취약해질 수 있다. 반대로, 돌출길이(L1)가 배럴(11)의 직경(R)의 7%를 초과하면, 제2물림부(123b)의 내구성이 좋아지나, 배럴(11)의 변형량이 과다에 따른 배럴(11)의 파손을 초래할 수 있다.The protrusion length (L1) of the main fixing protrusion (111a) is preferably 5 to 7% of the diameter (R) of the barrel (11). If the protruding length (L1) is less than 5% of the diameter (R) of the barrel (11), the protruding length (L2) of the second engaging portion (123b) becomes longer and the width becomes narrower so that the second engaging portion (123b) ) may become vulnerable to durability. On the other hand, when the protrusion length (L1) exceeds 7% of the diameter (R) of the barrel (11), the durability of the second engagement portion (123b) improves, but the deformation of the barrel (11) is excessive, resulting in excessive deformation of the barrel (11). ) may result in damage.

제2물림부(123b)의 돌출길이(L2)는 배럴(11)의 직경(R)의 7~10%인 것이 좋다. 만일, 돌출길이(L2)가 배럴(11)의 직경(R)의 7%미만이면, 상대적으로 배럴(11)의 변형량이 커져 배럴(11)의 파손을 초래할 수 있다. 만일, 돌출길이(L2)가 배럴(11)의 직경(R)의 10%를 초과하면, 제2물림부(123b)의 돌출길이(L2)가 길어지고 폭은 좁아지게 되어 제2물림부(123b)의 내구성이 취약해질 수 있다.The protrusion length (L2) of the second engagement portion (123b) is preferably 7 to 10% of the diameter (R) of the barrel (11). If the protrusion length L2 is less than 7% of the diameter R of the barrel 11, the amount of deformation of the barrel 11 becomes relatively large, which may cause damage to the barrel 11. If the protruding length (L2) exceeds 10% of the diameter (R) of the barrel (11), the protruding length (L2) of the second engaging portion (123b) becomes longer and the width becomes narrower so that the second engaging portion (123b) The durability of 123b) may become weak.

메인고정홈부(123c)의 깊이(D)는 배럴(11)의 직경(R)의 4~5%인 것이 좋다. 만일, 메인고정홈부(123c)의 깊이(D)가 배럴(11)의 직경(R)의 4% 미만이면, 타원 곡면형상의 메인고정돌기(111a)가 메인고정홈부(123c)에 물림량이 줄어 견고한 결합을 유지할 수 없다. 만일, 메인고정홈부(123c)의 깊이(D)가 배럴(11)의 직경(R)의 5%를 초과하면, 메인고정돌기(111a)의 폭이 증가하여 배럴(11)의 변형량이 커져 배럴(11)의 파손을 초래할 수 있다.The depth (D) of the main fixing groove (123c) is preferably 4 to 5% of the diameter (R) of the barrel (11). If the depth (D) of the main fixing groove (123c) is less than 4% of the diameter (R) of the barrel (11), the amount of engagement of the elliptical curved main fixing protrusion (111a) with the main fixing groove (123c) is reduced. A firm bond cannot be maintained. If the depth (D) of the main fixing groove (123c) exceeds 5% of the diameter (R) of the barrel (11), the width of the main fixing protrusion (111a) increases and the amount of deformation of the barrel (11) increases, causing the barrel to deform. (11) may result in damage.

이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 도시하고 설명하였지만, 본 발명은 상술한 특정의 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 이러한 변형 실시 예들은 본 발명의 기술적 사상이나 전망으로부터 개별적으로 이해되어서는 안 될 것이다.In the above, preferred embodiments of the present invention have been shown and described, but the present invention is not limited to the specific embodiments described above, and may be used in the technical field to which the invention pertains without departing from the gist of the invention as claimed in the claims. Of course, various modifications can be made by those skilled in the art, and these modifications should not be understood individually from the technical idea or perspective of the present invention.

1: 검사프로브 11: 배럴
111a: 메인고정돌기 111b: 서브고정돌기
12: 터미널 121: 바디
121a: 접촉부 121b: 고정부
121c: 서브고정홈부 122: 접촉팁
123: 물림부 123a: 제1물림부
123b: 제2물림부 123c: 메일고정홈부1: Inspection probe 11: Barrel
111a: main fixing protrusion 111b: sub fixing protrusion
12: terminal 121: body
121a: contact part 121b: fixing part
121c: Sub fixing groove 122: Contact tip
123: engaging portion 123a: first engaging portion
123b: second engagement portion 123c: mail fixing groove portion

Claims

In a test probe that tests the electrical characteristics of an object to be inspected,
A cylindrical barrel with main fixing protrusions projecting inward toward each other; and
A contact portion in contact with the object to be inspected,
a fixing part that has a polygonal cross-section, extends integrally from the contact part, and is inserted into one end of the barrel;
An inspection probe including a terminal that protrudes from one side of the polygonal cross-section toward the main fixing protrusion, extends in the longitudinal direction of the fixing part, and has a engagement portion provided with a main fixing groove recessed to be inserted into the main fixing protrusion.

According to paragraph 1,
The fixing part is an inspection probe including a sub-fixing groove recessed horizontally in the longitudinal direction on the one surface with the main fixing groove in between.

According to paragraph 2,
The barrel is an inspection probe including a sub-fixing protrusion protruding inside the barrel with the main fixing protrusion interposed therebetween.

According to paragraph 3,
The sub-fixing protrusion is an inspection probe inserted into the sub-fixing groove as the fixing part is rotated within the barrel.

According to paragraph 1,
The terminal is an inspection probe manufactured by the MEMS process.

According to clause 5,
The terminal is an inspection probe including a plurality of cross-sectional layers, each having a different cross-section.

According to clause 6,
The contact portion includes a contact tip that contacts the object to be inspected,
An inspection probe wherein the contact tip and the engaging portion are provided on one of the plurality of cross-sectional layers.

According to paragraph 1,
An inspection probe in which the protruding length (L1) of the main fixing protrusion is 5 to 7% of the diameter (R) of the barrel.

According to paragraph 1,
An inspection probe in which the protrusion length (L2) of the engagement portion is 7 to 10% of the diameter (R) of the barrel.

According to paragraph 1,
An inspection probe in which the depth (D) of the main fixing groove is 4 to 5% of the diameter (R) of the barrel.