KR20240088697A - Organic EL display device - Google Patents

Organic EL display device Download PDF

Info

Publication number
KR20240088697A
KR20240088697A KR1020247007746A KR20247007746A KR20240088697A KR 20240088697 A KR20240088697 A KR 20240088697A KR 1020247007746 A KR1020247007746 A KR 1020247007746A KR 20247007746 A KR20247007746 A KR 20247007746A KR 20240088697 A KR20240088697 A KR 20240088697A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
layer
organic
photosensitive composition
display device
light
Prior art date
Application number
KR1020247007746A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
아키히로 이시카와
료스케 아이하라
타쿠야 미야우치
Original Assignee
도레이 카부시키가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 도레이 카부시키가이샤 filed Critical 도레이 카부시키가이샤
Publication of KR20240088697A publication Critical patent/KR20240088697A/en

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/10OLED displays
    • H10K59/12Active-matrix OLED [AMOLED] displays
    • H10K59/122Pixel-defining structures or layers, e.g. banks
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004Photosensitive materials
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004Photosensitive materials
    • G03F7/027Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004Photosensitive materials
    • G03F7/027Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds
    • G03F7/032Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds with binders
    • G03F7/033Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds with binders the binders being polymers obtained by reactions only involving carbon-to-carbon unsaturated bonds, e.g. vinyl polymers
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004Photosensitive materials
    • G03F7/038Macromolecular compounds which are rendered insoluble or differentially wettable
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004Photosensitive materials
    • G03F7/039Macromolecular compounds which are photodegradable, e.g. positive electron resists
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004Photosensitive materials
    • G03F7/09Photosensitive materials characterised by structural details, e.g. supports, auxiliary layers
    • G03F7/095Photosensitive materials characterised by structural details, e.g. supports, auxiliary layers having more than one photosensitive layer
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004Photosensitive materials
    • G03F7/09Photosensitive materials characterised by structural details, e.g. supports, auxiliary layers
    • G03F7/105Photosensitive materials characterised by structural details, e.g. supports, auxiliary layers having substances, e.g. indicators, for forming visible images
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/20Exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/22Exposing sequentially with the same light pattern different positions of the same surface
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05BELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B33/00Electroluminescent light sources
    • H05B33/12Light sources with substantially two-dimensional radiating surfaces
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05BELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B33/00Electroluminescent light sources
    • H05B33/12Light sources with substantially two-dimensional radiating surfaces
    • H05B33/22Light sources with substantially two-dimensional radiating surfaces characterised by the chemical or physical composition or the arrangement of auxiliary dielectric or reflective layers
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/10OLED displays
    • H10K59/12Active-matrix OLED [AMOLED] displays
    • H10K59/124Insulating layers formed between TFT elements and OLED elements
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/30Devices specially adapted for multicolour light emission
    • H10K59/38Devices specially adapted for multicolour light emission comprising colour filters or colour changing media [CCM]
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/80Constructional details
    • H10K59/805Electrodes
    • H10K59/8051Anodes
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/80Constructional details
    • H10K59/805Electrodes
    • H10K59/8052Cathodes

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Architecture (AREA)
  • Structural Engineering (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Electroluminescent Light Sources (AREA)

Abstract

본 발명은 높은 차광성을 갖고, 개구폭이 좁은 개구부를 갖는 화소 분할층을 구비하고 있으면서, 높은 발광 신뢰성을 갖는 유기 EL 표시 장치를 제공한다.
본 발명은, 기판, 평탄화층, 제 1 전극, 화소 분할층, 발광 화소, 제 2 전극을 이 순서로 구비하는 유기 EL 표시 장치로서, 상기 화소 분할층은 층(A)과 층(B)을 포함하고, 상기 층(A)은 상기 제 1 전극의 표면을 부분적으로 노출시켜서 상기 제 1 전극의 표면에 배치된 층이며, 상기 층(B)은 상기 층(A)의 표면의 적어도 일부에 배치된 층이며, 상기 층(A)이 안료 및/또는 염료와, 에틸렌성 불포화 이중 결합기를 분자 내에 2개 이상 갖는 화합물과, 광중합 개시제를 함유하는 네거티브형 감광성 조성물(a)의 경화물을 함유하고, 상기 층(B)이 수지와 광산 발생제를 함유하는 포지티브형 감광성 조성물(b)의 경화물을 함유하는 유기 EL 표시 장치이다.
The present invention provides an organic EL display device having high light-shielding properties and a pixel dividing layer having a narrow aperture width, and having high light emission reliability.
The present invention is an organic EL display device comprising a substrate, a planarization layer, a first electrode, a pixel splitting layer, a light emitting pixel, and a second electrode in this order, wherein the pixel splitting layer includes a layer (A) and a layer (B). wherein the layer (A) is a layer disposed on the surface of the first electrode by partially exposing the surface of the first electrode, and the layer (B) is disposed on at least a portion of the surface of the layer (A) This layer (A) contains a cured product of the negative photosensitive composition (a) containing a pigment and/or dye, a compound having two or more ethylenically unsaturated double bond groups in the molecule, and a photopolymerization initiator, , an organic EL display device in which the layer (B) contains a cured product of a positive photosensitive composition (b) containing a resin and a photoacid generator.

Description

유기 EL 표시 장치Organic EL display device

본 발명은 유기 EL 표시 장치에 관한 것이다.The present invention relates to organic EL display devices.

스마트폰, 텔레비전, 차재 모니터 등 유기 일렉트로 루미네선스(EL) 표시 장치가 탑재된 많은 제품이 개발되고 있다. 최근, 유기 EL 표시 장치의 시인성 및 콘트라스트의 향상을 목적으로 해서, 인접하는 발광 화소에의 광누설에 의한 혼색이나 태양광 등의 외광 반사를 억제하기 위해서, 화소 분할층을 흑색화해서 차광성을 부여하는 기술이 주목받고 있다. 또한, 발광 화소 사이즈를 작게 하는 것에 의한 표시부의 고정세화도 또한 요구되고 있다. 레드/그린/블루 등의 각 발광 화소는 절연층의 기능을 갖는 패턴 형상의 화소 분할층의 개구부에 형성되기 때문에, 표시부의 면 내에 작은 발광 화소를 다수 배치하기 위해서는, 개구폭이 좁은 개구부를 다수 갖는 화소 분할층을 패턴 형성할 필요가 있다. 화소 분할층은 통상 감광성 조성물을 사용한 포토리소그래피법에 의해 형성되고, 흑색의 화소 분할층을 형성하기 위한 감광성 조성물로서는, 예를 들면 유기 흑색 안료를 함유하는 네거티브형 감광성 조성물이 특허문헌 1에 개시되어 있고, 그것을 사용해서 형성한 화소 분할층을 구비하는 유기 EL 표시 장치가 개시되어 있다.Many products equipped with organic electroluminescence (EL) display devices, such as smartphones, televisions, and in-vehicle monitors, are being developed. Recently, for the purpose of improving the visibility and contrast of organic EL display devices, the pixel dividing layer is blackened to suppress light mixing due to light leakage to adjacent light-emitting pixels and reflection of external light such as sunlight, thereby improving light blocking properties. The technology it provides is attracting attention. In addition, there is also a demand for high-definition display portions by reducing the size of the light-emitting pixels. Since each light-emitting pixel, such as red/green/blue, is formed in the opening of a pattern-shaped pixel division layer that functions as an insulating layer, in order to arrange a large number of small light-emitting pixels within the surface of the display unit, a plurality of openings with narrow aperture widths are required. It is necessary to form a pattern of the pixel division layer. The pixel split layer is usually formed by a photolithography method using a photosensitive composition, and as a photosensitive composition for forming a black pixel split layer, for example, a negative photosensitive composition containing an organic black pigment is disclosed in Patent Document 1. and an organic EL display device including a pixel division layer formed using the same is disclosed.

국제공개 제2021/111860호International Publication No. 2021/111860

그렇지만, 특허문헌 1에 개시된 네거티브형 감광성 조성물을 사용해서 개구폭이 좁은 개구부를 갖는 화소 분할층을 형성하면, 높은 발광 신뢰성이 얻어지지 않는다는 과제가 있었다. However, when a pixel dividing layer having an aperture with a narrow aperture width is formed using the negative photosensitive composition disclosed in Patent Document 1, there is a problem in that high luminescence reliability cannot be obtained.

이상으로부터, 높은 차광성을 갖고, 개구폭이 좁은 개구부를 갖는 화소 분할층을 구비하고 있으면서, 높은 발광 신뢰성을 갖는 유기 EL 표시 장치가 갈망되고 있었다.From the above, there has been a desire for an organic EL display device that has high light-shielding properties, has a pixel dividing layer with a narrow aperture, and has high light emission reliability.

본 발명은 이하와 같다.The present invention is as follows.

(1) 기판, 평탄화층, 제 1 전극, 화소 분할층, 발광 화소, 제 2 전극을 이 순서로 구비하는 유기 EL 표시 장치로서, 상기 화소 분할층은 층(A)과 층(B)을 포함하고,(1) An organic EL display device comprising a substrate, a planarization layer, a first electrode, a pixel splitting layer, a light emitting pixel, and a second electrode in this order, wherein the pixel splitting layer includes a layer (A) and a layer (B). do,

상기 층(A)은 상기 제 1 전극의 표면을 부분적으로 노출시켜서 상기 제 1 전극의 표면에 배치된 층이며, 상기 층(B)은 상기 층(A)의 표면의 적어도 일부에 배치된 층이며,The layer (A) is a layer disposed on the surface of the first electrode by partially exposing the surface of the first electrode, and the layer (B) is a layer disposed on at least a portion of the surface of the layer (A). ,

상기 층(A)이 안료 및/또는 염료와, 에틸렌성 불포화 이중 결합기를 분자 내에 2개 이상 갖는 화합물과, 광중합 개시제를 함유하는 네거티브형 감광성 조성물(a)의 경화물을 함유하고, 상기 층(B)이 수지와 광산 발생제를 함유하는 포지티브형 감광성 조성물(b)의 경화물을 함유하는 유기 EL 표시 장치.The layer (A) contains a cured product of the negative photosensitive composition (a) containing a pigment and/or dye, a compound having two or more ethylenically unsaturated double bond groups in the molecule, and a photopolymerization initiator, and the layer ( B) An organic EL display device containing a cured product of the positive photosensitive composition (b) containing this resin and a photoacid generator.

(2) 표시부에 있어서, 상기 층(B)이 상기 층(A)의 표면을 덮는 면적률이 상기 층(A)의 전체 표면적 100% 중 20∼100%인 부위를 갖는 (1)에 기재된 유기 EL 표시 장치.(2) In the display unit, the organic layer according to (1), wherein the layer (B) has a portion covering the surface of the layer (A) of 20 to 100% of 100% of the total surface area of the layer (A). EL display device.

(3) 상기 발광 화소의 광인출측에 컬러 필터를 더 구비하는 (1) 또는 (2)에 기재된 유기 EL 표시 장치.(3) The organic EL display device according to (1) or (2), further comprising a color filter on the light extraction side of the light-emitting pixel.

(4) 상기 층(A)이 표시부에 있어서, 상기 발광 화소가 배치된 개구 면적 30.0∼260.0㎛2의 개구부를 갖는 (1)∼(3) 중 어느 하나에 기재된 유기 EL 표시 장치.(4) The organic EL display device according to any one of (1) to (3), wherein the layer (A) is a display portion and has an opening with an opening area of 30.0 to 260.0 μm 2 where the light-emitting pixels are disposed.

(5) 상기 포지티브형 감광성 조성물(b)의 경화물이 이미드 결합 및/또는 벤조옥사졸 골격을 갖는 수지를 함유하는 (1)∼(4) 중 어느 하나에 기재된 유기 EL 표시 장치.(5) The organic EL display device according to any one of (1) to (4), wherein the cured product of the positive photosensitive composition (b) contains a resin having an imide bond and/or a benzoxazole skeleton.

(6) 상기 네거티브형 감광성 조성물(a)의 경화물이 상기 안료를 함유하고, 상기 안료가 후술하는 식(1) 또는 식(2)으로 나타내어지는 벤조디푸라논계 흑색 안료를 함유하는 (1)∼(5) 중 어느 하나에 기재된 유기 EL 표시 장치.(6) (1) wherein the cured product of the negative photosensitive composition (a) contains the pigment, and the pigment contains a benzodifuranone-based black pigment represented by formula (1) or formula (2) described later. The organic EL display device according to any one of to (5).

(7) 상기 네거티브형 감광성 조성물(a)의 경화물이 C. I. 피그먼트 레드 123, C. I. 피그먼트 레드 149, C. I. 피그먼트 레드 178, C. I. 피그먼트 레드 179, C. I. 피그먼트 레드 190, C. I. 피그먼트 바이올렛 29 및 3,4,9,10-페릴렌테트라카르복실산비스벤조이미다졸로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1종의 페릴렌계 유기 안료를 더 함유하는 (1)∼(6) 중 어느 하나에 기재된 유기 EL 표시 장치.(7) The cured product of the negative photosensitive composition (a) is C. I. Pigment Red 123, C. I. Pigment Red 149, C. I. Pigment Red 178, C. I. Pigment Red 179, C. I. Pigment Red 190, and C. I. Pigment Violet 29. and the organic EL according to any one of (1) to (6), further comprising at least one perylene-based organic pigment selected from the group consisting of 3,4,9,10-perylenetetracarboxylic acid bisbenzimidazole. display device.

(8) 상기 네거티브형 감광성 조성물(a)의 경화물이 3,4,9,10-페릴렌테트라카르복실산비스벤조이미다졸을 더 함유하는 (1)∼(7) 중 어느 하나에 기재된 유기 EL 표시 장치.(8) The organic according to any one of (1) to (7), wherein the cured product of the negative photosensitive composition (a) further contains 3,4,9,10-perylenetetracarboxylic acid bisbenzoimidazole. EL display device.

(9) 상기 층(B)이 상기 층(A)의 표면에 배치된 부위에 있어서, 상기 층(A)의 막두께의 최대값이 0.5∼3.0㎛이며, 또한 상기 층(B)의 막두께의 최대값이 0.1∼3.0㎛인 (1)∼(8) 중 어느 하나에 기재된 유기 EL 표시 장치.(9) In the area where the layer (B) is disposed on the surface of the layer (A), the maximum value of the film thickness of the layer (A) is 0.5 to 3.0 μm, and the film thickness of the layer (B) is 0.5 to 3.0 μm. The organic EL display device according to any one of (1) to (8), wherein the maximum value of is 0.1 to 3.0 μm.

(10) 상기 층(A)의 막두께 1㎛당의 광학 농도(OD/㎛)가 0.5∼1.5인 (1)∼(9) 중 어느 하나에 기재된 유기 EL 표시 장치.(10) The organic EL display device according to any one of (1) to (9), wherein the optical density (OD/μm) per 1 μm film thickness of the layer (A) is 0.5 to 1.5.

(11) 상기 네거티브형 감광성 조성물(a)의 경화물이 1차 입자지름이 5∼30nm이며, 또한 애스펙트비(장경/단경)가 1.0∼1.5인 실리카 입자를 함유하는 (1)∼(10) 중 어느 하나에 기재된 유기 EL 표시 장치.(11) (1) to (10), wherein the cured product of the negative photosensitive composition (a) contains silica particles having a primary particle diameter of 5 to 30 nm and an aspect ratio (major axis/minor axis) of 1.0 to 1.5. The organic EL display device according to any one of the above.

본 발명에 의하면, 높은 차광성을 갖고, 개구폭이 좁은 개구부를 갖는 화소 분할층을 구비하고 있으면서, 높은 발광 신뢰성을 갖는 유기 EL 표시 장치를 제공한다.According to the present invention, an organic EL display device is provided that has high light-shielding properties, has a pixel dividing layer having a narrow aperture width, and has high luminescence reliability.

도 1은 본 발명의 실시형태의 구체예로서 들 수 있는 유기 EL 표시 장치에 있어서의 TFT 기판의 단면도이다.
도 2는 본 발명의 실시형태의 구체예로서 들 수 있는 유기 EL 표시 장치가 구비하고 있어도 좋은 컬러 필터 기판의 단면도이다.
도 3은 본 발명의 실시형태의 구체예로서 들 수 있는, 층(A)의 표면의 전부를 덮도록 층(B)이 배치되고, 층(A)과 층(B)이 동일한 개구폭을 갖는 화소 분할층 형성 기판의 단면도를 나타낸다.
도 4는 본 발명의 실시형태의 구체예로서 들 수 있는, 층(A)의 표면의 일부에 층(B)이 배치되고, 스페이서 기능을 갖는 화소 분할층 형성 기판의 단면도를 나타낸다.
도 5는 본 발명의 실시형태의 구체예로서 들 수 있는, 층(A)의 표면의 전부를 덮도록 층(B)이 배치되고, 층(A)과 층(B)이 동일한 개구폭을 갖고, 스페이서 기능을 갖는 화소 분할층 형성 기판의 단면도를 나타낸다.
도 6은 본 발명의 실시형태의 구체예로서 들 수 있는, 층(A)의 표면의 전부를 덮도록 층(B)이 배치되고, 층(A)과 층(B)이 동일한 개구폭을 갖고, 스페이서 기능을 갖는 화소 분할층 형성 기판의 단면도를 나타낸다.
도 7은 본 발명의 실시형태의 구체예로서 들 수 있는, 층(A)의 표면 중, 층(A)의 개구부의 패턴 둘레가장자리에 위치하는 경사부 이외의 표면을 덮도록 층(B)이 배치되고, 층(A)은 제 1 전극의 표면 및 평탄화층의 표면에 배치된 층이며, 스페이서 기능을 갖는 화소 분할층 형성 기판의 단면도를 나타낸다.
도 8은 본 발명의 실시형태의 구체예로서 들 수 있는, 표시부에 있어서, 발광 화소가 배치된 개구 면적이 30.0∼260.0㎛2의 범위 내에 있는 홀 패턴 형상의 개구부를 갖는 층(A)을 나타낸다.
도 9는 본 발명의 실시형태의 구체예로서 들 수 있는, 표시부에 있어서, 발광 화소가 배치된 개구 면적이 30.0∼260.0㎛2의 범위 내에 있는 스퀘어 패턴 형상의 개구부를 갖는 층(A)을 나타낸다.
도 10은 발광 화소부를 관찰했을 때의 층(A), 발광 부위 및 비발광 부위의 일례를 나타낸다.
도 11은 모든 실시예 및 비교예에 있어서의, 화소 분할층의 형성 공정을 포함하는 유기 EL 표시 장치의 제작 공정을 나타낸다.
1 is a cross-sectional view of a TFT substrate in an organic EL display device that can be cited as a specific example of an embodiment of the present invention.
Fig. 2 is a cross-sectional view of a color filter substrate that may be included in an organic EL display device as a specific example of the embodiment of the present invention.
Figure 3 shows a specific example of the embodiment of the present invention, where the layer (B) is arranged to cover the entire surface of the layer (A), and the layer (A) and layer (B) have the same opening width. A cross-sectional view of the pixel split layer formation substrate is shown.
FIG. 4 shows a cross-sectional view of a pixel division layer forming substrate having a spacer function and having the layer (B) disposed on a part of the surface of the layer (A), which can be cited as a specific example of the embodiment of the present invention.
Figure 5 shows a specific example of the embodiment of the present invention, in which the layer (B) is arranged to cover the entire surface of the layer (A), and the layer (A) and layer (B) have the same opening width. , shows a cross-sectional view of a pixel division layer forming substrate having a spacer function.
Figure 6 shows a specific example of the embodiment of the present invention, in which the layer (B) is arranged to cover the entire surface of the layer (A), and the layer (A) and layer (B) have the same opening width. , shows a cross-sectional view of a pixel division layer forming substrate having a spacer function.
Figure 7 is a specific example of the embodiment of the present invention, where the layer (B) covers the surface of the layer (A) other than the inclined portion located at the pattern peripheral edge of the opening of the layer (A). The layer (A) is a layer disposed on the surface of the first electrode and the surface of the planarization layer, and shows a cross-sectional view of the pixel split layer forming substrate having a spacer function.
FIG. 8 shows a layer (A) having hole pattern-shaped openings in which the opening area where the light-emitting pixels are arranged is within the range of 30.0 to 260.0 μm 2 in the display portion, which can be cited as a specific example of the embodiment of the present invention. .
FIG. 9 shows a layer (A) having square pattern-shaped openings in which light-emitting pixels are disposed in a range of 30.0 to 260.0 μm 2 in a display portion, which is a specific example of the embodiment of the present invention. .
Figure 10 shows an example of the layer (A), the light-emitting portion, and the non-light-emitting portion when observing the light-emitting pixel portion.
Figure 11 shows the manufacturing process of the organic EL display device, including the pixel split layer formation process, in all examples and comparative examples.

이하, 본 발명에 대해서 상세하게 설명한다. 「∼」를 사용해서 나타내어지는 수치 범위는 「∼」의 전후에 기재된 수치를 하한값 및 상한값으로서 포함하는 범위를 의미한다. 화소 분할층이란, 유기 EL 표시 장치가 구비하는 화소 분할층을 의미하고, 액정 표시 장치의 블랙 매트릭스는 포함하지 않는다. 가시광선이란, 파장 380nm 이상 780nm 미만의 영역의 광을 의미하고, 근자외선이란 200nm 이상 380nm 미만의 영역의 광을 의미한다. 차광이란, 경화막에 대하여 수직 방향으로 입사한 광의 강도와 비교하여, 투과한 광의 강도를 저하시키는 기능을 의미하고, 차광성이란, 가시광선을 차폐하는 정도를 말한다. 감광성 조성물이란, 근자외선에 대한 감광성을 갖는 조성물을 의미한다. 중량 평균 분자량(Mw)이란, 테트라히드로푸란을 캐리어로 하는 겔 퍼미에이션 크로마토그래피로 분석하고, 표준 폴리스티렌에 의한 검량선을 사용해서 환산한 값을 의미한다. 고형분이란, 감광성 조성물 중, 용제 및 물을 제외한 성분의 비율(중량%)을 의미한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail. The numerical range expressed using “~” means a range that includes the numerical values written before and after “~” as the lower limit and upper limit. The pixel split layer refers to a pixel split layer included in an organic EL display device and does not include the black matrix of the liquid crystal display device. Visible light refers to light in the range of 380 nm to less than 780 nm, and near-ultraviolet ray refers to light in the range of 200 nm to less than 380 nm. Light-shielding refers to the function of lowering the intensity of transmitted light compared to the intensity of light incident in the direction perpendicular to the cured film, and light-shielding refers to the degree to which visible light is shielded. Photosensitive composition refers to a composition that has photosensitivity to near-ultraviolet rays. Weight average molecular weight (Mw) means a value analyzed by gel permeation chromatography using tetrahydrofuran as a carrier and converted using a calibration curve using standard polystyrene. Solid content means the ratio (% by weight) of components excluding solvent and water in the photosensitive composition.

일부 착색재의 호칭에 사용한 「C. I.」란, Colour Index Generic Name의 약칭이며, The Society of Dyers and Colourists 발행의 컬러 인덱스에 의거하고, 컬러 인덱스에 등록 완료된 착색재에 관해서는, Colour Index Generic Name이 안료 또는 염료의 화학 구조나 결정형을 나타낸다.“C.” is used to name some colorants. "I." is an abbreviation for Color Index Generic Name. Based on the color index published by The Society of Dyers and Colourists, for colorants that have been registered in the color index, the Color Index Generic Name refers to the chemical structure of the pigment or dye or It represents the crystalline form.

본 발명자들이 전술한 과제에 대해서 검증한 결과, 안료 및/또는 염료와, 에틸렌성 불포화 이중 결합기를 분자 내에 2개 이상 갖는 화합물과, 광중합 개시제를 함유하는 네거티브형 감광성 조성물을 사용해서 개구폭이 좁은 개구부(예를 들면, 세로폭 7.0㎛, 가로폭 7.0㎛의 정방형)를 형성한 경우, 개구폭이 넓은 개구부(예를 들면, 세로폭 30.0㎛, 가로폭 30.0㎛의 정방형)를 형성한 경우와 비교하여, 최종적으로 얻어지는 유기 EL 표시 장치의 발광 신뢰성이 열등한 것을 알 수 있었다. 즉, 동일한 네거티브형 감광성 조성물을 사용했다고 하여도, 화소 분할층의 개구부의 개구폭으로부터 결정되는 발광 화소 사이즈가 작을수록 유기 EL 표시 장치의 발광 신뢰성이 저하하기 쉬워, 표시부의 고정세화를 행하는 데에 있어서 트레이드 오프의 관계에 있는 것을 알 수 있었다.As a result of verification of the above-described problem by the present inventors, a narrow aperture width can be achieved by using a negative photosensitive composition containing a pigment and/or dye, a compound having two or more ethylenically unsaturated double bond groups in the molecule, and a photopolymerization initiator. When an opening (for example, a square with a vertical width of 7.0 μm and a horizontal width of 7.0 μm) is formed, when an opening with a wide opening width is formed (for example, a square with a vertical width of 30.0 μm and a horizontal width of 30.0 μm) In comparison, it was found that the emission reliability of the finally obtained organic EL display device was inferior. That is, even if the same negative photosensitive composition is used, the smaller the light emitting pixel size determined from the aperture width of the aperture of the pixel dividing layer, the easier it is for the light emission reliability of the organic EL display device to decrease, making it difficult to achieve high definition of the display portion. So, I could see that there was a trade-off relationship.

이상을 감안하여 본 발명자들은 예의 검토를 행하여, 네거티브형 감광성 조성물의 경화물을 함유하는 층과, 포지티브형 감광성 조성물의 경화물을 함유하는 층을 조합하는 것을 착상하고, 이하의 구성을 취하는 것이 전술한 과제의 해결에 있어서, 각별히 현저한 효과를 발휘하는 것을 찾아냈다.In view of the above, the present inventors conducted intensive studies and came up with the idea of combining a layer containing a cured product of a negative photosensitive composition and a layer containing a cured product of a positive photosensitive composition, and the following configuration was adopted. In solving one problem, we found something that had a particularly remarkable effect.

즉, 본 발명은 기판, 평탄화층, 제 1 전극, 화소 분할층, 발광 화소, 제 2 전극을 이 순서로 구비하는 유기 EL 표시 장치로서, 상기 화소 분할층은 층(A)과 층(B)을 포함하고, 상기 층(A)은 상기 제 1 전극의 표면을 부분적으로 노출시켜서 상기 제 1 전극의 표면에 배치된 층이며, 상기 층(B)은 상기 층(A)의 표면의 적어도 일부에 배치된 층이며, 상기 층(A)이 안료 및/또는 염료와, 에틸렌성 불포화 이중 결합기를 분자 내에 2개 이상 갖는 화합물과, 광중합 개시제를 함유하는 네거티브형 감광성 조성물(a)의 경화물을 함유하고, 상기 층(B)이 수지와 광산 발생제를 함유하는 포지티브형 감광성 조성물(b)의 경화물을 함유하는 유기 EL 표시 장치이다.That is, the present invention is an organic EL display device comprising a substrate, a planarization layer, a first electrode, a pixel splitting layer, a light emitting pixel, and a second electrode in this order, wherein the pixel splitting layer is comprised of layer (A) and layer (B). It includes, wherein the layer (A) is a layer disposed on the surface of the first electrode by partially exposing the surface of the first electrode, and the layer (B) is disposed on at least a portion of the surface of the layer (A) It is an arranged layer, wherein the layer (A) contains a cured product of the negative photosensitive composition (a) containing a pigment and/or dye, a compound having two or more ethylenically unsaturated double bond groups in the molecule, and a photopolymerization initiator. and the layer (B) is an organic EL display device containing a cured product of the positive photosensitive composition (b) containing a resin and a photoacid generator.

본 발명의 유기 EL 표시 장치는 기판, 평탄화층, 제 1 전극, 화소 분할층, 발광 화소, 제 2 전극을 이 순서로 구비한다.The organic EL display device of the present invention includes a substrate, a planarization layer, a first electrode, a pixel division layer, a light-emitting pixel, and a second electrode in this order.

도 1에, 본 발명의 실시형태의 구체예로서 들 수 있는 유기 EL 표시 장치에 있어서의 TFT 기판의 단면도를 나타낸다.Fig. 1 shows a cross-sectional view of a TFT substrate in an organic EL display device that can be cited as a specific example of an embodiment of the present invention.

기판(6)의 표면에 보텀 게이트형 또는 톱 게이트형의 TFT(1)(박막 트랜지스터)가 행렬 형상으로 설치되어 있고, TFT(1)와, TFT(1)에 접속된 배선(2)을 덮는 상태로 TFT 절연층(3)이 형성되어 있다. TFT(1)로서는, 예를 들면 In-Ga-Zn-O(IGZO), Ga-Zn-Sn 등의 산화물 반도체나, 저온 폴리실리콘(LTPS)으로 이루어지는 TFT를 들 수 있다. 또한, TFT 절연층(3)의 표면에는 평탄화층(4)이 형성되어 있고, 평탄화층(4)에는 배선(2)을 개구하는 콘택트 홀(7)이 형성되어 있다. 콘택트 홀(7)은, 예를 들면 원 형상의 개구부여도 좋다. 평탄화층(4)의 표면에는 제 1 전극(5)이 패턴 형성되어 있고, 배선(2)에 접속되어 있다. 층(A)(8)은 제 1 전극(5)의 표면을 부분적으로 노출시켜서 제 1 전극(5)의 표면에 배치되어 있고, 층(A)(8)의 표면의 일부에는 층(B)(9)이 배치되어 있고, 층(A)(8) 및 층(B)(9)이 화소 분할층(10)을 이루고 있다. 화소 분할층(10)에는 개구부가 형성되어 있고, 개구부에는 유기 EL 발광 재료를 포함하는 발광 화소(11)가 형성되어 있고, 제 2 전극(12)이 층(A)(8), 층(B)(9) 및 발광 화소(11)를 덮도록 배치되어 있다. 화소 분할층(10)이 갖는 개구부의 형상은 특별히 한정되지 않고, 정방형, 장방형, 진원 또는 타원 형상이어도 좋고, 발광 화소(11)의 사이즈는 화소 분할층(10)이 포함하는 층(A)(8)의 개구부의 개구폭에 의해 결정된다.Bottom gate type or top gate type TFTs 1 (thin film transistors) are installed in a matrix on the surface of the substrate 6, and cover the TFT 1 and the wiring 2 connected to the TFT 1. The TFT insulating layer 3 is formed in this state. Examples of the TFT 1 include oxide semiconductors such as In-Ga-Zn-O (IGZO) and Ga-Zn-Sn, and TFTs made of low-temperature polysilicon (LTPS). Additionally, a planarization layer 4 is formed on the surface of the TFT insulating layer 3, and a contact hole 7 for opening the wiring 2 is formed in the planarization layer 4. The contact hole 7 may have a circular opening, for example. The first electrode 5 is patterned on the surface of the planarization layer 4 and is connected to the wiring 2. The layer (A) 8 is disposed on the surface of the first electrode 5 by partially exposing the surface of the first electrode 5, and a portion of the surface of the layer (A) 8 is covered with the layer (B). (9) is arranged, and layer (A) (8) and layer (B) (9) form the pixel division layer (10). An opening is formed in the pixel split layer 10, and a light-emitting pixel 11 containing an organic EL light-emitting material is formed in the opening, and the second electrode 12 is formed in the layer (A) (8) and the layer (B). ) (9) and the light emitting pixel (11). The shape of the opening of the pixel division layer 10 is not particularly limited, and may be square, rectangular, circular, or elliptical, and the size of the light-emitting pixel 11 is determined by the layer (A) included in the pixel division layer 10 ( It is determined by the opening width of the opening in 8).

이상의 적층 구성으로 이루어지는 TFT 기판을 진공하에서 밀봉한 후에 발광 화소부에 전압을 인가하면, 유기 EL 표시 장치로서 발광시킬 수 있다.By sealing the TFT substrate with the above laminated structure under vacuum and then applying a voltage to the light-emitting pixel portion, it can be made to emit light as an organic EL display device.

본 발명의 유기 EL 표시 장치는 발광 화소(11)로부터 발산되는 발광광을, 기판(6)을 통해서 기판측으로 인출하는 보텀 이미션형 유기 EL 표시 장치여도 좋고, 제 2 전극(12)을 통해서 발광광을 기판(6)의 반대측으로 인출하는 톱 이미션형 유기 EL 표시 장치여도 좋고, 특별히 한정되지 않는다.The organic EL display device of the present invention may be a bottom emission type organic EL display device that extracts the light emitted from the light emitting pixel 11 to the substrate side through the substrate 6, and the light emitted through the second electrode 12. It may be a top emission type organic EL display device that extends to the opposite side of the substrate 6, and is not particularly limited.

기판(6)으로서는, 유리 등으로 대표되는 경질의 판 형상 기판을 사용하면, 구부릴 수 없는 리지드 타입의 유기 EL 표시 장치로 할 수 있다. 유리로서는, 알칼리 금속 원소의 함유량이 0.5% 미만이며, 규소를 주성분으로 하는 무알칼리 유리를 바람직하게 사용할 수 있다. 그 중에서도, 열팽창계수가 작고, 250℃ 이상의 고온 프로세스에 있어서의 치수 안정성이 우수한 것이 좋고, 예를 들면 OA-10G, OA-11(이상, 모두 닛폰 덴키 가라스(주)제), AN-100(아사히 가라스(주)제)을 들 수 있고, 그 두께는 물리적 내구성의 관점에서 통상 0.1∼0.5mm이다.If a hard plate-shaped substrate such as glass is used as the substrate 6, a rigid-type organic EL display device that cannot be bent can be obtained. As the glass, an alkali-free glass containing silicon as a main component and having an alkali metal element content of less than 0.5% can be preferably used. Among them, those with a small thermal expansion coefficient and excellent dimensional stability in high temperature processes of 250°C or higher are good, for example, OA-10G, OA-11 (all manufactured by Nippon Denki Glass Co., Ltd.), AN-100. (manufactured by Asahi Glass Co., Ltd.), and its thickness is usually 0.1 to 0.5 mm from the viewpoint of physical durability.

한편, 플렉시블 기판을 사용하면, 구부릴 수 있는 플렉시블 타입의 유기 EL 표시 장치로 할 수 있다. 플렉시블 기재로서는, 굴곡성이 높고 기계적 강도가 우수한 폴리이미드 수지로 이루어지는 기재를 바람직하게 사용할 수 있고, 이것을 제작하는 방법으로서는, 폴리아미드산을 포함하는 용액을 가지지체의 표면에 도포하고, 이어서 가열함으로써 폴리아미드산을 이미드화해서 폴리이미드 수지로 변환한 후에 가지지체를 레이저 등으로 박리하는 방법을 들 수 있다. 폴리아미드산은, 테트라카르복실산 2무수물과 디아민 화합물을 N-메틸-2-피롤리돈 등의 아미드계 용제 중에서 반응시켜서 합성할 수 있고, 그 중에서도 열선팽창계수가 작고 치수 안정성이 우수한 점에서, 방향족 테트라카르복실산 2무수물의 잔기와, 방향족 디아민 화합물의 잔기를 갖는 폴리아미드산이 바람직하다. 구체예로서는, 3,3',4,4'-비페닐테트라카르복실산 2무수물의 잔기와, p-페닐렌디아민의 잔기를 갖는 폴리아미드산을 들 수 있다. 그 두께는 통상 10∼40㎛이며, 전술한 무알칼리 유리를 사용하는 경우와 비교해서 기판(6)을 얇게 할 수 있다. On the other hand, if a flexible substrate is used, a bendable flexible type organic EL display device can be obtained. As a flexible base material, a base material made of polyimide resin with high flexibility and excellent mechanical strength can be preferably used. As a method of manufacturing this, a solution containing polyamic acid is applied to the surface of a support and then heated to form polyimide resin. One example is a method of imidizing amidic acid to convert it into polyimide resin and then peeling the branched support with a laser or the like. Polyamic acid can be synthesized by reacting tetracarboxylic dianhydride and a diamine compound in an amide-based solvent such as N-methyl-2-pyrrolidone, and has a small thermal expansion coefficient and excellent dimensional stability, A polyamic acid having a residue of aromatic tetracarboxylic dianhydride and a residue of an aromatic diamine compound is preferred. Specific examples include polyamic acid having a residue of 3,3',4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride and a residue of p-phenylenediamine. The thickness is usually 10 to 40 μm, and the substrate 6 can be made thinner compared to the case of using the alkali-free glass described above.

평탄화층(4)은 제 1 전극(5)의 하지층으로서 배치된 절연층으로서 기능하는 층이면 특별히 한정되지 않고, TFT(1)의 두께를 기인으로 한 볼록부를 덮도록 형성되고, 제 1 전극(5)을 보다 평활하게 패턴 형성할 수 있도록 하는 기능을 발휘하는 층이어도 좋다. 평탄화층(4)은 예를 들면, 후술하는 네거티브형 감광성 조성물(a) 또는 포지티브형 감광성 조성물(b)과 동일한 감광성 조성물을 사용해서 패턴 형성할 수 있고, 평탄화층(4)은 단층 또는 2층 이상으로 이루어져 있어도 좋다.The planarization layer 4 is not particularly limited as long as it is a layer that functions as an insulating layer disposed as the base layer of the first electrode 5, and is formed to cover the convex portion based on the thickness of the TFT 1, and the first electrode (5) may be a layer that functions to form a pattern more smoothly. The planarization layer 4 can be patterned using, for example, the same photosensitive composition as the negative photosensitive composition (a) or positive photosensitive composition (b) described later, and the planarization layer 4 is a single layer or two layers. It may consist of the above.

제 1 전극(5)은 애노드 전극으로서 기능하는 막이면 어떠한 물질로 이루어져 있어도 상관없다. 제 1 전극(5)으로서는, 예를 들면 ITO(Indium Tin Oxide), ITZO(Indium Tin Zinc Oxide), IZO(Indium Zinc Oxide) 등의 도전성 금속 산화물을 사용할 수 있고, 그 중에서도 투명성과 도전성이 우수한 점에서 ITO를 바람직하게 사용할 수 있다. ITO를 패턴 형성하는 방법으로서는, 우선 스퍼터법으로 ITO를 전체면 성막한 후에, 에칭용 포지티브형 레지스트 재료를 포토리소그래피법에 의해 패턴 형성해서 ITO막 상에 레지스트 패턴을 얻는다. 다음으로, 상기 레지스트 패턴 비형성부의 ITO막만을 액온 20∼60℃의 에칭액에 의해 제거하고, 이어서 레지스트 패턴을 액온 20∼60℃의 레지스트 박리액에 의해 제거하고, 또한 필요에 따라서 소망의 결정화도가 되도록 열처리를 행하는 방법을 들 수 있다. 여기서 말하는 ITO란, 소위 아모르퍼스 ITO를 포함한다. 에칭용 포지티브형 레지스트 재료로서는 알칼리 가용성 노볼락계 수지를 함유하는 포지티브형 감광성 조성물을 사용할 수 있다. 에칭액으로서는 질산과 염산을 포함하는 수용액이나 옥살산 수용액을 사용할 수 있고, 시판품으로서는, 예를 들면 ITO-101N(칸토 카가쿠(주)제), "에스클린"(등록상표) IS-2, 동IS-3(이상, 모두 사사키 카가쿠 야쿠힝(주)제)을 들 수 있다.The first electrode 5 may be made of any material as long as it is a film that functions as an anode electrode. As the first electrode 5, for example, a conductive metal oxide such as ITO (Indium Tin Oxide), ITZO (Indium Tin Zinc Oxide), IZO (Indium Zinc Oxide) can be used, and among these, it is excellent in transparency and conductivity. ITO can be preferably used. As a method of forming a pattern of ITO, first, ITO is deposited on the entire surface by sputtering, and then a positive resist material for etching is patterned by photolithography to obtain a resist pattern on the ITO film. Next, only the ITO film in the resist pattern non-forming area is removed with an etching liquid at a liquid temperature of 20 to 60°C, and then the resist pattern is removed with a resist stripping liquid at a liquid temperature of 20 to 60°C, and, if necessary, a desired crystallinity degree is obtained. A method of performing heat treatment as much as possible can be mentioned. ITO referred to here includes so-called amorphous ITO. As a positive resist material for etching, a positive photosensitive composition containing an alkali-soluble novolac resin can be used. As an etching solution, an aqueous solution containing nitric acid and hydrochloric acid or an aqueous oxalic acid solution can be used. Commercially available products include, for example, ITO-101N (manufactured by Kanto Chemical Co., Ltd.), "S-Clean" (registered trademark) IS-2, and IS-2. -3 (above, all manufactured by Sasaki Kagaku Yakuhin Co., Ltd.).

레지스트 박리액으로서는 유기 아민계 수용액을 사용할 수 있고, 시판품으로서는, 예를 들면 "언라스트"(등록상표) M6, 동M6B, 동TN-1-5, 동M71-2(이상, 모두 미츠카와 준야쿠 켕큐쇼)를 들 수 있다. 본 발명의 유기 EL 표시 장치가 톱 이미션형 유기 EL 표시 장치인 경우, 광인출 효율을 높여서 발광 휘도를 향상시키기 위해서, 제 1 전극(5)은 금속 반사층의 표면에 투명 도전층이 적층된 적층막인 것이 바람직하고, 예를 들면 은 합금/ITO 또는 ITO/은 합금/ITO의 적층 구성이어도 좋다. 은 합금으로서는, 예를 들면 Ag와 Cu의 합금, Ag와 Pd와 Cu의 합금을 들 수 있다.As a resist stripper, an organic amine-based aqueous solution can be used. Commercially available products include, for example, “Unlast” (registered trademark) M6, M6B, TN-1-5, and M71-2 (all from Junya Mitsukawa). Ku Keng Kyusho). When the organic EL display device of the present invention is a top emission type organic EL display device, in order to increase light extraction efficiency and improve luminance, the first electrode 5 is a laminated film in which a transparent conductive layer is laminated on the surface of a metal reflective layer. It is preferable, and for example, it may be a laminated structure of silver alloy/ITO or ITO/silver alloy/ITO. Examples of silver alloys include alloys of Ag and Cu, and alloys of Ag, Pd, and Cu.

발광 화소(11)는 특별히 한정되지 않고, 발광광이 어떠한 피크 파장을 갖고 있어도 좋다. 발광 화소(11)를 구성하는 유기 EL 발광 재료로서는, 발광층에 추가해서, 또한 정공 수송층 및/또는 전자 수송층을 조합한 재료를 바람직하게 사용할 수 있다. 각 색의 발광 화소로서는, 예를 들면 피크 파장이 560∼700nm인 레드 발광 화소, 피크 파장이 420∼490nm인 블루 발광 화소, 피크 파장이 500∼550nm인 그린 발광 화소를 들 수 있다. 발광 화소(11)는 피크 파장이 상이한 복수종의 발광층이 적층되어서 이루어지는 탠덤형 발광층을 갖고 있어도 좋다. 탠덤형 발광층으로서는, 예를 들면 블루, 옐로그린, 레드 및 블루의 합계 4개의 발광층이 이 순서로 적층되어서 이루어지는 화이트 발광 화소를 들 수 있다. 발광 화소(11)를 패턴 형성하는 방법으로서는 마스크 증착법을 들 수 있다. 마스크 증착법이란, 증착 마스크를 사용해서 유기 화합물을 증착해서 패터닝하는 방법이며, 구체적으로는 소망의 패턴 형상의 개구부를 갖는 증착 마스크를 접촉시켜서 증착을 행하는 방법을 들 수 있다. 고정세한 발광 화소(11)를 형성하기 위해서 이용할 수 있는 증착 마스크로서는, 예를 들면 일본 특허공개 2019-163543호 공보에 개시된 증착 마스크를 들 수 있다.The light emitting pixel 11 is not particularly limited, and the light emitted may have any peak wavelength. As the organic EL emitting material constituting the light emitting pixel 11, a material that combines a hole transport layer and/or an electron transport layer in addition to the light emitting layer can be preferably used. Examples of the light-emitting pixels of each color include red light-emitting pixels with a peak wavelength of 560 to 700 nm, blue light-emitting pixels with a peak wavelength of 420 to 490 nm, and green light-emitting pixels with a peak wavelength of 500 to 550 nm. The light-emitting pixel 11 may have a tandem light-emitting layer formed by stacking multiple types of light-emitting layers with different peak wavelengths. Examples of the tandem type light emitting layer include a white light emitting pixel formed by stacking a total of four light emitting layers of blue, yellow green, red, and blue in this order. A method of forming a pattern of the light emitting pixel 11 includes a mask deposition method. The mask deposition method is a method of depositing and patterning an organic compound using a deposition mask, and specifically, a method of performing vapor deposition by contacting a deposition mask having an opening with a desired pattern shape. Examples of a deposition mask that can be used to form the high-definition light-emitting pixel 11 include the deposition mask disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2019-163543.

제 2 전극(12)은 캐소드 전극으로서 기능하는 막이면 어떠한 물질로 이루어져 있어도 상관없다. 제 2 전극(12)으로서는, 본 발명의 유기 EL 표시 장치가 톱 이미션형 유기 EL 표시 장치인 경우, 광투과성이 높고, 광인출 효율이 우수한 점에서, 은과 마그네슘의 합금으로 이루어지는 층을 바람직하게 사용할 수 있다. 전술한 제 1 전극(5)과 비교해서 가시 영역에 있어서의 광투과율이 높은 층이 되도록 박막 형성하는 것이 바람직하다. 한편, 보텀 이미션형 유기 EL 표시 장치인 경우, 광반사성이 높고, 광인출 효율이 우수한 점에서, 알루미늄 합금으로 이루어지는 층을 바람직하게 사용할 수 있고, 전술한 제 1 전극(5)과 비교해서 가시 영역에 있어서의 광반사율이 높은 층이 되도록 후막 형성하는 것이 바람직하다. 제 2 전극(12)은 스퍼터법으로 전체면 성막함으로써 형성할 수 있다.The second electrode 12 may be made of any material as long as it is a film that functions as a cathode electrode. As the second electrode 12, when the organic EL display device of the present invention is a top emission type organic EL display device, a layer made of an alloy of silver and magnesium is preferably used because light transmittance is high and light extraction efficiency is excellent. You can use it. It is preferable to form a thin film so that the layer has a high light transmittance in the visible region compared to the above-described first electrode 5. On the other hand, in the case of a bottom emission type organic EL display device, a layer made of aluminum alloy can be preferably used because light reflectivity is high and light extraction efficiency is excellent, and compared to the above-described first electrode 5, the visible region is improved. It is desirable to form a thick film so that the layer has a high light reflectance. The second electrode 12 can be formed by forming a film on the entire surface using a sputtering method.

본 발명의 유기 EL 표시 장치는 적어도 1색의 컬러 필터와 기판으로 이루어지는 컬러 필터 기판을 더 구비하고 있어도 좋다. 구체적으로는, 도 1에 그 단면을 나타내는 유기 EL 표시 장치에 있어서의 TFT 기판의 광인출측에, 도 2에 그 단면을 나타내는 컬러 필터 기판을 접합한 형태를 들 수 있다. 컬러 필터를 구비함으로써, 특히 근자외선 내지 가시광 영역의 광에 대한 내광성을 향상시킬 수 있고, 특히 옥외 이용 시에 있어서의 발광 신뢰성을 향상시킬 수 있다.The organic EL display device of the present invention may further include a color filter substrate consisting of at least one color filter and a substrate. Specifically, one example is a form in which a color filter substrate, the cross section of which is shown in FIG. 2, is bonded to the light extraction side of a TFT substrate in an organic EL display device, the cross section of which is shown in FIG. 1. By providing a color filter, light resistance to light in the near-ultraviolet to visible light region can be improved, and luminescence reliability can be improved, especially when used outdoors.

또한, 광인출측이란, 유기 EL 표시 장치의 발광면측이다. 유기 EL 표시 장치가, 발광 화소(11)로부터 발산되는 발광광을, 기판(6)을 통해서 기판측으로 인출하는 보텀 이미션형 유기 EL 표시 장치이면, 광인출측은 기판측이다. 유기 EL 표시 장치가, 제 2 전극(12)을 통해서 발광광을 기판(6)의 반대측으로 인출하는 톱 이미션형 유기 EL 표시 장치이면, 광인출측은 기판(6)의 반대측이다.In addition, the light extraction side is the light emitting surface side of the organic EL display device. If the organic EL display device is a bottom emission type organic EL display device that extracts the light emitted from the light emitting pixel 11 to the substrate side through the substrate 6, the light extraction side is the substrate side. If the organic EL display device is a top emission type organic EL display device that extracts the emitted light to the opposite side of the substrate 6 through the second electrode 12, the light extraction side is the opposite side of the substrate 6.

즉, 본 발명의 유기 EL 표시 장치는 발광 화소의 광인출측에 컬러 필터를 더 구비하는 것이 바람직하다.That is, the organic EL display device of the present invention preferably further includes a color filter on the light extraction side of the light-emitting pixel.

기판(13)의 표면에 배치된 블랙 매트릭스(14)의 개구부에, 그린 컬러 필터(15), 레드 컬러 필터(16) 및 블루 컬러 필터(17)가 각각 패턴 형성되어 있다. 블랙 매트릭스(14)의 개구부의 개구폭/형상은 도 1 중의 층(A)의 개구부의 개구폭/형상과 동일해도 좋고, 상이해도 좋다. 컬러 필터 기판은 플렉시블성이 높은 것이어도 좋고, 도 1 중의 기판(6)의 표면 또는 제 2 전극(12)의 표면에 열경화형 또는 근자외선 경화형의 투명 접착제 등을 사용해서 간편하게 접합할 수 있다. 투명 접착제로서는, 예를 들면 "스트럭 본드"(등록상표)(미츠이 카가쿠(주)제)를 들 수 있다.A green color filter 15, a red color filter 16, and a blue color filter 17 are each patterned at the opening of the black matrix 14 disposed on the surface of the substrate 13. The opening width/shape of the opening of the black matrix 14 may be the same as or different from the opening width/shape of the opening of layer A in FIG. 1. The color filter substrate may be highly flexible, and can be easily bonded to the surface of the substrate 6 in FIG. 1 or the surface of the second electrode 12 using a thermosetting or near-ultraviolet curing transparent adhesive. Examples of the transparent adhesive include "Struck Bond" (registered trademark) (manufactured by Mitsui Chemicals Co., Ltd.).

화소 분할층(10)에 대해서, 이하와 같이 상세하게 설명한다.The pixel division layer 10 will be described in detail as follows.

본 발명의 유기 EL 표시 장치가 구비하는 화소 분할층은 층(A)과 층(B)을 포함한다. 상기 층(A)은 상기 제 1 전극의 표면을 부분적으로 노출시켜서 상기 제 1 전극의 표면에 배치된 층이며, 상기 층(B)은 상기 층(A)의 표면의 적어도 일부에 배치된 층이다. 즉, 본 발명의 유기 EL 표시 장치가 구비하는 화소 분할층은 복수의 층으로 이루어지는 적층막이다. 상기 층(A)은 상기 제 1 전극의 표면을 부분적으로 노출시켜서 상기 제 1 전극의 표면에 배치된 층이다란, 층(A)은 제 1 전극의 표면에만 배치된 층이어도 좋고, 혹은 제 1 전극의 표면에 추가해서 제 1 전극 이외의 다른 층의 표면에 배치된 층이어도 좋은 것을 의미한다. 층(A)의 하지가 되는 층이 복수종인 구성의 구체예로서는, 층(A)이 제 1 전극의 표면 및 평탄화층의 표면에 배치된 층인 구성을 바람직하게 들 수 있다.The pixel division layer included in the organic EL display device of the present invention includes a layer (A) and a layer (B). The layer (A) is a layer disposed on the surface of the first electrode by partially exposing the surface of the first electrode, and the layer (B) is a layer disposed on at least a portion of the surface of the layer (A). . That is, the pixel division layer included in the organic EL display device of the present invention is a laminated film composed of a plurality of layers. If the layer (A) is a layer disposed on the surface of the first electrode by partially exposing the surface of the first electrode, the layer (A) may be a layer disposed only on the surface of the first electrode, or the layer (A) may be a layer disposed only on the surface of the first electrode. This means that in addition to the surface of the electrode, the layer may be disposed on the surface of another layer other than the first electrode. A specific example of a configuration in which the layer (A) has multiple types of underlying layers is preferably a configuration in which the layer (A) is a layer disposed on the surface of the first electrode and the surface of the planarization layer.

층(B)이 층(A)의 표면의 적어도 일부에 배치된 구성은, 유기 EL 표시 장치의 발광 신뢰성을 향상시키는 효과를 발휘한다. 수지와 광산 발생제를 함유하는 포지티브형 감광성 조성물(b)의 경화물을 함유하는, 층(B)을 적층한 구성에 의해 층(A)의 해상도에 의하지 않고, 바람직하게 높은 발광 신뢰성을 얻을 수 있다.The configuration in which the layer (B) is disposed on at least part of the surface of the layer (A) has the effect of improving the light emission reliability of the organic EL display device. By laminating the layer (B) containing a cured product of the positive photosensitive composition (b) containing a resin and a photoacid generator, preferably high luminescence reliability can be obtained regardless of the resolution of the layer (A). there is.

본 명세서 중에 있어서의 높은 발광 신뢰성이란, 유기 EL 표시 장치의 발광 화소부의 면적에 대한 발광 부위의 면적률(화소 발광 면적률)이 높게 유지되는, 즉 화소 쉬링크에 의한 비발광 부위의 발생이 적은 것을 의미한다. 발광 신뢰성이 높을수록 발광 수명이 길고, 장기간에 걸쳐 높은 휘도를 유지하여 사용할 수 있는 점에서 표시 장치로서의 가치가 높다. 발광 화소부의 둘레가장자리부로부터 중앙부를 향해서 서서히 진행하는 경향이 있는 비발광 부위의 면적은, 발광 화소 사이즈가 작을수록 증대하기 쉬운 경향이 있다. 또한, 발광 화소 사이즈가 작을수록 비발광 부위의 면적 1.0㎛2당의 화소 발광 면적률의 변화가 커진다.High light emission reliability in this specification means that the area ratio of the light emitting part (pixel light emission area ratio) relative to the area of the light emitting pixel portion of the organic EL display device is maintained high, that is, the occurrence of non-light emitting parts due to pixel shrinkage is low. means that The higher the luminescence reliability, the longer the luminescence life, and the higher the value as a display device in that it can be used while maintaining high luminance over a long period of time. The area of the non-emission area, which tends to gradually progress from the peripheral edge of the light-emitting pixel portion toward the center, tends to increase easily as the size of the light-emitting pixel becomes smaller. Additionally, the smaller the light-emitting pixel size, the greater the change in the pixel light-emitting area ratio per 1.0 μm 2 area of the non-light-emitting region.

본 발명의 기술적 효과를 발휘하는 메커니즘으로서는 복수종의 인자가 생각되지만, 층(B)이 네거티브형 감광성 조성물(a)의 경화물 중에 잔존하는 에틸렌성 불포화 이중 결합기를 분자 내에 2개 이상 갖는 화합물이나 광중합 개시제의 미반응분 및/또는 분해물 등을 층(A)의 막 내부에 머물게 해, 발광 소자 내로의 방출을 억제하는 효과가 적어도 기여한 것이라고 생각된다.A plurality of factors are considered to be the mechanism for exerting the technical effect of the present invention, but the layer (B) may be a compound having two or more ethylenically unsaturated double bond groups in the molecule remaining in the cured product of the negative photosensitive composition (a), It is thought that at least the effect of keeping unreacted components and/or decomposed products of the photopolymerization initiator inside the film of layer (A) and suppressing their emission into the light emitting device contributed.

층(A)의 표면의 적어도 일부에 층(B)이 배치된 화소 분할층의 형태는 특별히 한정되는 것은 아니지만, 본 발명의 유기 EL 표시 장치에 있어서의 바람직한 실시형태의 구체예를 도 3∼도 7에 나타낸다. 유기 EL 표시 장치의 표시부의 면 내에 있어서, 이들 상이한 복수종의 화소 분할층의 형태가 혼재하고 있어도 좋다. 유기 EL 표시 장치의 표시부란, 유기 EL 표시 장치를 구동시켰을 때, 발광 화소로부터 발산된 광이, 광인출측에 있어서 유기 EL 표시 장치의 사용자에게 인식되는 영역을 의미한다. 표시부가 표시하는 내용은 특별히 제한되지 않지만, 예를 들면 문자 정보, 화상 또는 동영상을 들 수 있다. 한편, 예를 들면 발광 화소가 배치되지 않는 베젤부 등의 가식부는 표시부에 포함되지 않는다.The form of the pixel dividing layer in which the layer (B) is disposed on at least a portion of the surface of the layer (A) is not particularly limited, but specific examples of preferred embodiments in the organic EL display device of the present invention are shown in FIGS. 3 to 3. It is shown in 7. In the surface of the display portion of the organic EL display device, a plurality of these different types of pixel division layers may coexist. The display portion of an organic EL display device refers to an area on the light extraction side where light emitted from a light-emitting pixel is recognized by a user of the organic EL display device when the organic EL display device is driven. The content displayed by the display unit is not particularly limited, but examples include text information, images, or moving images. On the other hand, decorative parts such as bezel parts where light-emitting pixels are not arranged are not included in the display part.

본 발명의 유기 EL 표시 장치가 구비하는 화소 분할층은 단차 형상을 갖고, 스페이서 기능을 갖는 것이 바람직하다. 스페이서 기능을 가짐으로써, 발광 화소를 형성할 때, 화소 분할층과 증착 마스크의 접촉 면적을 적게 할 수 있고, 결함이나 손상을 방지해서 생산 수율을 향상시킬 수 있다.The pixel division layer included in the organic EL display device of the present invention preferably has a step shape and a spacer function. By having a spacer function, when forming a light-emitting pixel, the contact area between the pixel division layer and the deposition mask can be reduced, defects and damage can be prevented, and production yield can be improved.

층(A)과 층(B)이 접한 면적, 즉 층(B)이 층(A)을 덮는 면적은 발광 신뢰성을 향상시키는 데에 있어서, 유기 EL 표시 장치의 표시부에 있어서의 층(A)의 전체 표면적 중 5% 이상이 바람직하고, 20% 이상이 보다 바람직하다.The area where the layer (A) and the layer (B) are in contact, that is, the area where the layer (B) covers the layer (A), is the area of the layer (A) in the display portion of the organic EL display device in improving light emission reliability. Preferably 5% or more of the total surface area, more preferably 20% or more.

즉, 본 발명의 유기 EL 표시 장치는 표시부에 있어서, 상기 층(B)이 상기 층(A)의 표면을 덮는 면적률이 상기 층(A)의 전체 표면적 100% 중 20∼100%인 부위를 갖는 것이 바람직하다. 층(B)이 층(A)의 표면을 덮는 면적률은, 표시부에 있어서 무작위로 선택한 세로 250㎛/가로 250㎛의 정방형의 에어리어에 있어서, 층(B)이 층(A)의 표면을 덮는 면적, 즉 층(B)이 층(A)의 표면에 배치된 부위의 면적(㎛2)을 층(A)의 전체 표면적(㎛2)으로 나눈 값에, 또한 100을 곱한 값의 소수점 첫째 자리를 사사오입해서 산출할 수 있다.That is, in the organic EL display device of the present invention, in the display portion, the area ratio where the layer (B) covers the surface of the layer (A) is 20 to 100% of 100% of the total surface area of the layer (A). It is desirable to have it. The area ratio that the layer (B) covers the surface of the layer (A) is the ratio that the layer (B) covers the surface of the layer (A) in a square area of 250 μm in length and 250 μm in width selected at random in the display unit. Area, that is, the area of the area where layer (B) is placed on the surface of layer (A) (㎛ 2 ) divided by the total surface area of layer (A) (㎛ 2 ), multiplied by 100 to the first decimal place It can be calculated by rounding off .

또한, 표시부에 있어서의 세로 250㎛/가로 250㎛의 에어리어의 면적인 62500㎛2로부터 표시부에 있어서의 세로 250㎛/가로 250㎛의 동에어리어 내에 형성된 층(A)의 개구부의 면적을 뺀 값을 층(A)의 전체 표면적으로 간주할 수 있다.Additionally, the value obtained by subtracting the area of the openings of the layer (A) formed within the same area of 250 μm in height and 250 μm in width in the display section from 62500 μm 2 , which is the area of the area of 250 μm in height and 250 μm in width. The total surface area of layer (A) can be considered.

층(A)의 막두께 1.0㎛당의 광학 농도(Optical Density)는 외광 반사를 억제하는 효과를 향상시키고, 또한 발광 신뢰성을 향상시키는 데에 있어서 0.5 이상이 바람직하고, 0.7 이상이 보다 바람직하다. 또한, 발광 신뢰성을 높이는 데에 있어서 1.5 이하가 바람직하고, 1.4 이하가 보다 바람직하다. The optical density per 1.0 μm film thickness of the layer (A) is preferably 0.5 or more, and more preferably 0.7 or more in order to improve the effect of suppressing external light reflection and improve luminescence reliability. Moreover, in order to improve light emission reliability, 1.5 or less is preferable, and 1.4 or less is more preferable.

즉, 본 발명의 유기 EL 표시 장치가 구비하는 화소 분할층이 포함하는 층(A)의 막두께 1.0㎛당의 광학 농도(OD/㎛)는 0.5∼1.5인 것이 바람직하다.That is, the optical density (OD/μm) per 1.0 μm film thickness of the layer (A) included in the pixel division layer included in the organic EL display device of the present invention is preferably 0.5 to 1.5.

층(B)의 막두께 1.0㎛당의 광학 농도(Optical Density)는 발광 신뢰성을 높이는 데에 있어서 0.3 이하가 바람직하고, 0.1 이하가 보다 바람직하다.The optical density per 1.0 μm film thickness of the layer (B) is preferably 0.3 or less, and more preferably 0.1 or less in order to improve light emission reliability.

즉, 본 발명의 유기 EL 표시 장치가 구비하는 화소 분할층이 포함하는 층(B)의 막두께 1.0㎛당의 광학 농도(OD/㎛)는 0.0∼0.3인 것이 바람직하다.That is, the optical density (OD/μm) per 1.0 μm film thickness of the layer (B) included in the pixel division layer included in the organic EL display device of the present invention is preferably 0.0 to 0.3.

여기서 말하는 막두께 1.0㎛당의 광학 농도란, 광학 농도계(X-Rite사제; X-Rite 361T)를 사용해서 입사광 강도와 투과광 강도를 측정하고, 이하의 식으로부터 산출된 값을 막두께의 값으로 나눈 값에 대해서 소수점 둘째 자리를 사사오입한 값을 의미하고, 광학 농도가 높을수록 차광성이 높은 것을 나타낸다.The optical density per 1.0 ㎛ film thickness here refers to measuring the incident light intensity and transmitted light intensity using an optical densitometer (X-Rite 361T manufactured by X-Rite) and dividing the value calculated from the following equation by the film thickness value. It means the value rounded to two decimal places, and the higher the optical density, the higher the light blocking ability.

광학 농도 = log10(I0/I)Optical density = log 10 (I 0 /I)

I0 : 입사광 강도I 0 : Incident light intensity

I: 투과광 강도I: Transmitted light intensity

층(B)이 층(A)의 표면에 배치된 부위에 있어서, 층(A)의 막두께의 최대값은 차광성을 높이는 데에 있어서 0.5㎛ 이상이 바람직하고, 0.8㎛ 이상이 보다 바람직하다. 발광 신뢰성을 높이는 데에 있어서 3.0㎛ 이하가 바람직하고, 2.0㎛ 이하가 보다 바람직하다.In the area where the layer (B) is disposed on the surface of the layer (A), the maximum value of the film thickness of the layer (A) is preferably 0.5 μm or more, and more preferably 0.8 μm or more in order to improve light blocking properties. . In order to improve light emission reliability, 3.0 μm or less is preferable, and 2.0 μm or less is more preferable.

층(B)이 층(A)의 표면에 배치된 부위에 있어서, 층(B)의 막두께의 최대값은, 발광 신뢰성을 향상시키는 데에 있어서 0.1㎛ 이상이 바람직하고, 0.3㎛ 이상이 보다 바람직하다. 발광 신뢰성을 향상시키는 데에 있어서 3.0㎛ 이하가 바람직하고, 2.0㎛ 이하가 보다 바람직하다.In the area where the layer (B) is disposed on the surface of the layer (A), the maximum value of the film thickness of the layer (B) is preferably 0.1 μm or more, and more preferably 0.3 μm or more in order to improve luminescence reliability. desirable. In order to improve light emission reliability, 3.0 μm or less is preferable, and 2.0 μm or less is more preferable.

즉, 본 발명의 유기 EL 표시 장치는, 층(B)이 층(A)의 표면에 배치된 부위에 있어서, 층(A)의 막두께의 최대값이 0.5∼3.0㎛이며, 또한 층(B)의 막두께의 최대값이 0.1∼3.0㎛인 부위를 갖는 것이 바람직하다.That is, in the organic EL display device of the present invention, the maximum film thickness of the layer (A) is 0.5 to 3.0 ㎛ in the area where the layer (B) is disposed on the surface of the layer (A), and the layer (B) has a maximum thickness of 0.5 to 3.0 μm. ) It is desirable to have a region where the maximum film thickness is 0.1 to 3.0 μm.

여기서 말하는, 층(A)의 막두께의 최대값, 및 층(B)의 막두께의 최대값은 유기 EL 표시 장치의 표시부에 있어서 무작위로 선택한 세로 250㎛/가로 250㎛의 에어리어 내에 있어서의 층(A)의 막두께의 최대값, 층(B)의 막두께의 최대값을 측정한 값의 소수점 둘째 자리를 사사오입하여, 각각 산출할 수 있다.Here, the maximum value of the film thickness of layer (A) and the maximum value of the film thickness of layer (B) are the layers within a randomly selected area of 250 μm in height and 250 μm in width in the display portion of the organic EL display device. The maximum film thickness of layer (A) and the maximum film thickness of layer (B) can be calculated by rounding off the two decimal places of the measured values.

층(A) 및 층(B)의 막두께는 주사 전자현미경(이하, 「SEM」이라고 표기한다.)을 사용해서 화소 분할층의 단면을 관측하고, 그 촬상으로부터 각각 측정할 수 있다. 층(A)과 층(B)이 접하는 면에 있어서 양층이 혼화 또는 용착해서 중간층을 이루고 있는 경우에는, 중간층의 막깊이 방향의 중앙에 상당하는 부위를 층(A)과 층(B)의 계면으로 간주해서 막두께를 각각 측정할 수 있다. SEM 이외의 방법으로서는, 촉침식 막두께 측정 장치를 이용하는 방법을 들 수 있다.The film thicknesses of layer (A) and layer (B) can be measured by observing the cross section of the pixel division layer using a scanning electron microscope (hereinafter referred to as “SEM”) and taking images thereof. In the case where the two layers are mixed or fused together on the surface where the layers (A) and (B) are in contact to form an intermediate layer, the area corresponding to the center of the intermediate layer in the film depth direction is the interface between the layers (A) and (B). The film thickness can be measured separately by considering . Methods other than SEM include a method using a stylus-type film thickness measuring device.

화소 분할층의 개구부와의 경계에 있어서의 화소 분할층의 단부의 단면 테이퍼 각도는, 제 2 전극의 성막성을 높여서 발광 화소의 비점등을 억제하는 데에 있어서 50°이하가 바람직하고, 40°이하가 보다 바람직하다. 화소 분할층의 개구부에 있어서의 단부의 차광성을 향상시키는 데에 있어서 15°이상이 바람직하고, 20°이상이 보다 바람직하다. 또한, 동관점에서, 층(A)의 개구부의 개구폭이 층(B)의 개구부의 개구폭과 비교해서 동일하거나, 또는 좁아지도록 양층이 배치되는 것이 바람직하다. 즉, 화소 분할층의 개구부에 있어서의 단부가 층(A)에서 유래하는 차광성을 갖는 것이 바람직하다.The cross-sectional taper angle of the end of the pixel dividing layer at the boundary with the opening of the pixel dividing layer is preferably 50° or less, and is 40° in order to improve the film forming properties of the second electrode and suppress non-lighting of the light emitting pixel. The following is more preferable. In order to improve the light-shielding property of the edge of the opening of the pixel dividing layer, 15° or more is preferable, and 20° or more is more preferable. Also, from the same point of view, it is preferable that both layers are arranged so that the opening width of the openings in layer (A) is the same or narrower than that of the openings in layer (B). That is, it is preferable that the end portion of the opening of the pixel dividing layer has light-shielding properties derived from the layer (A).

유기 EL 표시 장치는 발광 신뢰성을 향상시키는 데에 있어서, 층(A)이 표시부에 있어서, 발광 화소가 배치된 개구 면적 30.0㎛2 이상의 개구부를 갖는 것이 바람직하다. 또한, 단위면적당에 배치 가능한 발광 화소의 수를 많게 할 수 있고, 표시 품위를 향상시킬 수 있는 점에서, 발광 화소가 배치된 개구 면적 260.0㎛2 이하의 개구부를 갖는 것이 바람직하다.In order to improve the luminescence reliability of the organic EL display device, it is preferable that the layer (A) in the display portion has an opening with an opening area of 30.0 μm 2 or more where the luminescent pixels are arranged. In addition, since the number of light-emitting pixels that can be arranged per unit area can be increased and display quality can be improved, it is preferable to have an opening where the light-emitting pixels are arranged with an opening area of 260.0 ㎛ 2 or less.

즉, 본 발명의 유기 EL 표시 장치는, 층(A)이 표시부에 있어서, 발광 화소가 배치된 개구 면적 30.0∼260.0㎛2의 개구부를 갖는 것이 바람직하다.That is, in the organic EL display device of the present invention, the layer (A) preferably has an opening with an opening area of 30.0 to 260.0 μm 2 in the display portion where the light-emitting pixels are arranged.

각 개구부의 형상은 특별히 제한되지 않고, 예를 들면 직경이 7∼18㎛인 진원 형상의 개구부나, 한 변이 6∼16㎛인 정방형의 개구부여도 좋다. 발광 화소 1개당의 면적이 작을수록, 높은 발광 신뢰성이라는 본 발명의 우수한 기술적 효과는 보다 현저한 것이 된다.The shape of each opening is not particularly limited. For example, a circular opening with a diameter of 7 to 18 μm or a square opening with a side of 6 to 16 μm may be used. The smaller the area per light-emitting pixel, the more significant the excellent technical effect of the present invention, such as high light emission reliability, becomes.

본 발명의 실시형태의 구체예로서 들 수 있는, 표시부에 있어서, 발광 화소가 배치된 개구 면적이 30.0∼260.0㎛2의 범위 내에 있는 홀 패턴 형상의 개구부를 갖는 층(A)을 도 8에, 발광 화소가 배치된 개구 면적이 30.0∼260.0㎛2의 범위 내에 있는 스퀘어 패턴 형상의 개구부를 갖는 층(A)을 도 9에 나타낸다.As a specific example of the embodiment of the present invention, in the display portion, a layer (A) having hole pattern-shaped openings in which the opening area where the light-emitting pixels are arranged is within the range of 30.0 to 260.0 μm 2 is shown in FIG. 8. FIG. 9 shows a layer (A) having square pattern-shaped openings in which the light-emitting pixels are arranged and the opening area is in the range of 30.0 to 260.0 μm 2 .

층(A)은, 안료 및/또는 염료와, 에틸렌성 불포화 이중 결합기를 분자 내에 2개 이상 갖는 화합물과, 광중합 개시제를 함유하는 네거티브형 감광성 조성물(a)의 경화물을 필수 성분으로서 함유한다. 경화물을 함유하는 막을 경화막이라고 하는 경우가 있다. 네거티브형 감광성 조성물(a)의 경화물의 함유량은, 발광 신뢰성을 향상시키는 데에 있어서, 층(A) 중 99중량% 이상이 바람직하다. 네거티브형 감광성 조성물이란, 네거티브형 노광 마스크를 통한 패턴 노광에 의해 노광부의 막의 알칼리 용해성을, 미노광부의 막의 알칼리 용해성과 비교해서 상대적으로 낮게 함으로써, 알칼리 현상액에 의해 미노광부의 막을 제거해서 패턴 형성하는, 네거티브형 감광성을 갖는 조성물을 의미한다.The layer (A) contains as essential components a cured product of the negative photosensitive composition (a) containing a pigment and/or dye, a compound having two or more ethylenically unsaturated double bond groups in the molecule, and a photopolymerization initiator. The film containing the cured product is sometimes called a cured film. The content of the cured product of the negative photosensitive composition (a) is preferably 99% by weight or more in the layer (A) in order to improve luminescence reliability. A negative photosensitive composition refers to a pattern formed by removing the film of the unexposed area with an alkaline developer by making the alkali solubility of the film of the exposed area relatively low compared to the alkali solubility of the film of the unexposed area by pattern exposure through a negative exposure mask. , refers to a composition with negative photosensitivity.

층(B)은, 수지와 광산 발생제를 함유하는 포지티브형 감광성 조성물(b)의 경화물을 필수 성분으로서 함유한다. 경화물을 함유하는 막을 경화막이라고 하는 경우가 있다. 포지티브형 감광성 조성물(b)의 경화물의 함유량은, 발광 신뢰성을 향상시키는 데에 있어서, 층(B) 중 99중량% 이상이 바람직하다. 포지티브형 감광성 조성물이란, 포지티브형 노광 마스크를 통한 패턴 노광에 의해 노광부의 막의 알칼리 용해성을, 미노광부의 막의 알칼리 용해성과 비교해서 상대적으로 높게 함으로써 알칼리 현상액에 의해 노광부의 막을 제거해서 패턴 형성하는, 포지티브형 감광성을 갖는 조성물을 의미한다.The layer (B) contains as an essential component a cured product of the positive photosensitive composition (b) containing a resin and a photoacid generator. The film containing the cured product is sometimes called a cured film. The content of the cured product of the positive photosensitive composition (b) is preferably 99% by weight or more in the layer (B) in order to improve luminescence reliability. A positive type photosensitive composition is a positive type photosensitive composition in which a pattern is formed by removing the film of the exposed area with an alkaline developer by making the alkali solubility of the film of the exposed area relatively high compared to the alkali solubility of the film of the unexposed area by pattern exposure through a positive exposure mask. It refers to a composition having type photosensitivity.

여기서 말하는 네거티브형 감광성 조성물(a)의 경화물이란, 네거티브형 감광성 조성물(a)을 실(實)온도 200℃ 이상이 되는 가열 온도에서 10분간 이상 가열 처리하는 공정을 적어도 포함하는 방법에 의해 얻어진 물(物)을 의미한다. 포지티브형 감광성 조성물(b)의 경화물이란, 포지티브형 감광성 조성물(b)을 실온도 200℃ 이상의 온도 조건하에서 10분간 이상 가열 처리하는 공정을 적어도 포함하는 방법에 의해 얻어진 물을 의미한다.The cured product of the negative photosensitive composition (a) herein refers to a product obtained by a method that includes at least the step of heat-treating the negative photosensitive composition (a) at a heating temperature of 200°C or higher for 10 minutes or more. It means water. The cured product of the positive photosensitive composition (b) refers to water obtained by a method that includes at least a step of heat-treating the positive photosensitive composition (b) under room temperature conditions of 200°C or higher for 10 minutes or more.

층(A)은 네거티브형 감광성 조성물(a)의 경화물을 필수 성분으로서 함유하고, 층(B)은 포지티브형 감광성 조성물(b)의 경화물을 필수 성분으로서 함유하지만, 본 발명의 기술적 효과를 저해하지 않는 범주에서 기타 성분을 각각 함유해도 상관없다. 기타 성분으로서는, 예를 들면 네거티브형 감광성 조성물(a)의 경화물 또는 포지티브형 감광성 조성물(b)의 경화물에 대하여 흡착한 수분을 들 수 있다. 기타 성분의 합계량은 층(A) 또는 층(B) 중 각각 1중량% 이하가 바람직하다.The layer (A) contains the cured product of the negative photosensitive composition (a) as an essential component, and the layer (B) contains the cured product of the positive photosensitive composition (b) as an essential component, but the technical effect of the present invention is achieved. It is okay to contain other ingredients as long as they do not cause harm. Other components include, for example, moisture adsorbed on the cured product of the negative photosensitive composition (a) or the cured product of the positive photosensitive composition (b). The total amount of other components is preferably 1% by weight or less in each layer (A) or layer (B).

네거티브형 감광성 조성물(a)은 안료 및/또는 염료를 함유한다. 안료 및/또는 염료를 함유함으로써 층(A)에 차광성을 부여할 수 있다. 안료로서는, 차광성과 발광 신뢰성이 우수한 점에서, 벤조디푸라논계 흑색 안료가 바람직하다. 벤조디푸라논계 흑색 안료란, 1개의 벤젠환에 2개의 푸라논환이 축합한 다환 구조를 분자 내에 1개 갖는 화합물로 이루어지는 유기 흑색 안료이며, 예를 들면 국제공개 제2009/010521호에 기재된 비스-옥소디히드로인돌릴렌-벤조디푸라논을 들 수 있다. 그 중에서도, 발광 신뢰성을 향상시키는 데에 있어서, 네거티브형 감광성 조성물(a)의 경화물이 식(1) 또는 식(2)으로 나타내어지는 벤조디푸라논계 흑색 안료를 함유하는 것이 바람직하다. 네거티브형 감광성 조성물(a)의 경화물이 식(3)으로 나타내어지는 벤조디푸라논계 흑색 안료를 함유하는 것이 보다 바람직하다. 식(3)은, 식(1) 중의 R1∼R10이 수소 원자이다. 식(3)으로 나타내어지는 벤조디푸라논계 흑색 안료의 시판품으로서는, Irgaphor Black(등록상표) S0100CF, Experimental Black 582(이상, 모두 BASF사제)를 들 수 있다. 층(A)의 해상도를 향상시키는 데에 있어서, 식(1) 또는 식(2)으로 나타내어지는 벤조디푸라논계 흑색 안료는 실리카, 금속 산화물 및/또는 금속 수산화물을 포함하는 피복층에 의해 안료 표면의 적어도 일부가 피복되어 있는 것이 바람직하다. 층(A)의 해상도를 향상시키는 데에 있어서, 네거티브형 감광성 조성물(a)의 경화물이 식(4)으로 나타내어지는 화합물 또는 그 염을 더 함유하는 것이 보다 바람직하다. 식(1) 또는 식(2)으로 나타내어지는 벤조디푸라논계 흑색 안료를 네거티브형 감광성 조성물(a)에 함유시켜 둠으로써, 네거티브형 감광성 조성물(a)의 경화물에 식(1) 또는 식(2)으로 나타내어지는 벤조디푸라논계 흑색 안료를 함유시킬 수 있다.The negative photosensitive composition (a) contains pigment and/or dye. Light-shielding properties can be imparted to the layer (A) by containing pigment and/or dye. As the pigment, a benzodifuranone-based black pigment is preferred because it has excellent light-shielding properties and luminescence reliability. The benzodifuranone-based black pigment is an organic black pigment composed of a compound having in the molecule a polycyclic structure in which two furanone rings are condensed to one benzene ring, for example, bis- described in International Publication No. 2009/010521. Oxodihydroindolylene-benzodifuranone can be mentioned. Among these, in order to improve luminescence reliability, it is preferable that the cured product of the negative photosensitive composition (a) contains a benzodifuranone-based black pigment represented by formula (1) or formula (2). It is more preferable that the cured product of the negative photosensitive composition (a) contains the benzodifuranone-based black pigment represented by formula (3). In formula (3), R 1 to R 10 in formula (1) are hydrogen atoms. Commercially available products of the benzodifuranone-based black pigment represented by formula (3) include Irgaphor Black (registered trademark) S0100CF and Experimental Black 582 (all manufactured by BASF). In improving the resolution of the layer (A), the benzodifuranone-based black pigment represented by formula (1) or formula (2) is formed on the pigment surface by a coating layer containing silica, metal oxide, and/or metal hydroxide. It is desirable that at least part of it is covered. In order to improve the resolution of the layer (A), it is more preferable that the cured product of the negative photosensitive composition (a) further contains the compound represented by formula (4) or a salt thereof. By containing the benzodifuranone-based black pigment represented by Formula (1) or Formula (2) in the negative photosensitive composition (a), the cured product of the negative photosensitive composition (a) is coated with Formula (1) or Formula ( The benzodifuranone-based black pigment represented by 2) can be contained.

식(1) 및 식(2) 중, R1∼R10은 각각 독립적으로 수소 원자, 불소 원자, 탄소수 1∼12의 알킬기, 수산기 또는 카르복실기를 나타낸다.In formulas (1) and (2), R 1 to R 10 each independently represent a hydrogen atom, a fluorine atom, an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, a hydroxyl group, or a carboxyl group.

발광 신뢰성을 향상시키는 데에 있어서, 네거티브형 감광성 조성물(a)의 경화물은 C. I. 피그먼트 레드 123, C. I. 피그먼트 레드 149, C. I. 피그먼트 레드 178, C. I. 피그먼트 레드 179, C. I. 피그먼트 레드 190, C. I. 피그먼트 바이올렛 29 및 3,4,9,10-페릴렌테트라카르복실산비스벤조이미다졸로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1종의 페릴렌계 유기 안료를 함유하는 것이 바람직하다. 3,4,9,10-페릴렌테트라카르복실산비스벤조이미다졸을 함유하는 것이 보다 바람직하다. In improving the luminescence reliability, the cured product of the negative photosensitive composition (a) is C. I. Pigment Red 123, C. I. Pigment Red 149, C. I. Pigment Red 178, C. I. Pigment Red 179, C. I. Pigment Red 190, C. I. It is preferable to contain at least one type of perylene-based organic pigment selected from the group consisting of Pigment Violet 29 and 3,4,9,10-perylenetetracarboxylic acid bisbenzimidazole. It is more preferable to contain 3,4,9,10-perylenetetracarboxylic acid bisbenzimidazole.

즉, 본 발명의 유기 EL 표시 장치가 구비하는 층(A)이 함유하는 네거티브형 감광성 조성물(a)의 경화물이 3,4,9,10-페릴렌테트라카르복실산비스벤조이미다졸을 더 함유하는 것이 보다 바람직하다. That is, the cured product of the negative photosensitive composition (a) contained in the layer (A) of the organic EL display device of the present invention further contains 3,4,9,10-perylenetetracarboxylic acid bisbenzimidazole. It is more preferable to contain it.

여기서 말하는 3,4,9,10-페릴렌테트라카르복실산비스벤조이미다졸이란, cis체인 식(5)으로 나타내어지는 화합물과, trans체인 식(6)으로 나타내어지는 화합물을 포함해서 의미한다.The term 3,4,9,10-perylenetetracarboxylic acid bisbenzimidazole herein includes the compound represented by formula (5), which is a cis chain, and the compound represented by formula (6), which is a trans chain.

전술한 페릴렌계 유기 안료를 네거티브형 감광성 조성물(a)에 함유시켜 둠으로써, 네거티브형 감광성 조성물(a)의 경화물에 전술한 페릴렌계 유기 안료를 함유시킬 수 있다.By containing the above-mentioned perylene-based organic pigment in the negative photosensitive composition (a), the above-mentioned perylene-based organic pigment can be contained in the cured product of the negative photosensitive composition (a).

기타 안료로서, 예를 들면 C. I. 피그먼트 옐로 151, 175, 180, 185, 192, C. I. 피그먼트 레드 254, 255, 264, C. I. 피그먼트 오렌지 43, 61, 72, C. I. 피그먼트 블루 15:3, 15:4, 15:6, 25, 26, 60, 65, 80, C. I. 피그먼트 바이올렛 19, 29, 32, 37 등의 유기 안료, 카본 블랙, 질화티타늄, 질화지르코늄 등의 무기 안료를 병용해도 상관없다.As other pigments, for example, C. I. Pigment Yellow 151, 175, 180, 185, 192, C. I. Pigment Red 254, 255, 264, C. I. Pigment Orange 43, 61, 72, C. I. Pigment Blue 15:3, 15. :4, 15:6, 25, 26, 60, 65, 80, C.I. You may use together organic pigments such as Pigment Violet 19, 29, 32, 37, and inorganic pigments such as carbon black, titanium nitride, and zirconium nitride. .

염료로서는, 용제에 대한 용해도와 현상성의 관점에서, 유용성(油溶性) 염료 및 산성 염료가 바람직하고, 예를 들면 C. I. 솔벤트 레드 46, 72, C. I. 애시드 레드 52, 87, 289, 388 등의 적색 염료, C. I. 솔벤트 옐로 93 등의 황색 염료, C. I. 솔벤트 블루 35, 45, 97, 104, 122, C. I. 애시드 블루 9, 25, 27, 40, 80, 90, 112, 127, 129, 145 등의 청색 염료, C. I. 솔벤트 바이올렛 9, 13, 43, C. I. 애시드 바이올렛 29, 31, 33, 36, 39, 48, 63, 109 등의 자색 염료, C. I. 솔벤트 블랙 27, 29, 34, C. I. 애시드 블랙 52 등의 흑색 염료를 들 수 있다. 필요에 따라서, 산성 염료를 염기성 염료 또는 양이온 성분과 조염시킴으로써 용제에 대한 용해성을 향상시켜도 좋다.As dyes, from the viewpoint of solubility in solvents and developability, oil-soluble dyes and acid dyes are preferable, for example, red dyes such as C.I. Solvent Red 46, 72, C.I. Acid Red 52, 87, 289, 388, etc. , yellow dyes such as C.I. Solvent Yellow 93, blue dyes such as C.I. Solvent Blue 35, 45, 97, 104, 122, C.I. Acid Blue 9, 25, 27, 40, 80, 90, 112, 127, 129, 145, etc., Purple dyes such as C.I. Solvent Violet 9, 13, 43, C.I. Acid Violet 29, 31, 33, 36, 39, 48, 63, 109, and black dyes such as C.I. Solvent Black 27, 29, 34, and C.I. Acid Black 52. I can hear it. If necessary, the solubility in the solvent may be improved by salting the acidic dye with a basic dye or a cationic component.

네거티브형 감광성 조성물(a)에 안료 및 염료를 함유시켜도 좋고, 그들 함유량의 합계는, 층(A)의 차광성과 해상도를 양립시키는 데에 있어서, 네거티브형 감광성 조성물의 고형분 100중량% 중 10∼50중량%가 바람직하다. 전술한 유기 안료 및 염료는 근적외선 투과성이며, 근적외선 카메라를 사용하여, 프리베이크막을 형성한 기판과, 노광 마스크의 고정밀도의 자동 위치 맞춤, 즉 근적외선 얼라인먼트가 가능해서, 패널 생산 시의 수율을 향상시킬 수 있다.The negative photosensitive composition (a) may contain pigments and dyes, and the total of their contents is 10 to 50% by weight of the solid content of the negative photosensitive composition (a), in order to achieve both light-shielding properties and resolution of the layer (A). Weight percent is preferred. The above-mentioned organic pigments and dyes are transparent to near-infrared rays, and enable high-precision automatic alignment, that is, near-infrared alignment, of the substrate on which the prebake film is formed and the exposure mask using a near-infrared camera, thereby improving the yield during panel production. You can.

네거티브형 감광성 조성물(a)은 에틸렌성 불포화 이중 결합기를 분자 내에 2개 이상 갖는 화합물을 함유한다. 에틸렌성 불포화 이중 결합기를 분자 내에 2개 이상 갖는 화합물은, 후술하는 광중합 개시제가 생기는 라디칼 활성종에 의해 광경화 반응이 연쇄적으로 진행되고, 노광부의 막의 알칼리 용해성을, 미노광부의 막의 알칼리 용해성과 비교해서 상대적으로 낮게 하는 효과를 발휘하고, 네거티브형의 포토리소그래피에 의한 패턴 형성이 가능해진다. 구체예로서는, "KAYARAD"(등록상표) DPHA, 동DPCA-20, 동DPCA-30, 동DPCA-60, 동DPCA-120, 동ZAR-1494H, 동ZAR-2001H, 동ZFR-1491H, 동ZCR-1569H, 동ZCR-1797H, 동ZCR-1798H, 동ZCR-1761H, CCR-1171H, CCR-1291H, CCR-1307H, CCR-1309H(이상, 모두 닛폰 카야쿠(주)제), "라이트 아크릴레이트"(등록상표) BP-4EAL, 동BP-4PA(이상, 모두 쿄에이샤 카가쿠(주)제), "OGSOL"(등록상표) EA-0200, 동EA-0250P, 동EA-0300, 동CR-1030(이상, 모두 오사카 가스 케미컬(주)제), 식(7)으로 나타내어지는 구조 단위를 갖는 불포화 이중 결합기 함유 알칼리 가용성 에폭시아크릴레이트 수지, 식(8)으로 나타내어지는 구조 단위를 갖는 불포화 이중 결합기 함유 알칼리 가용성 폴리이미드 전구체를 들 수 있다. 이들을 단독 또는 혼합해서 사용해도 상관없다. 또한, 에틸렌성 불포화 이중 결합기를 분자 내에 2개 이상 갖는 화합물이며, 또한 후술하는 알칼리 가용성 수지에 상당하는 화합물에 대해서는, 에틸렌성 불포화 이중 결합기를 분자 내에 2개 이상 갖는 화합물에 속하는 성분이라고 정의한다.The negative photosensitive composition (a) contains a compound having two or more ethylenically unsaturated double bond groups in the molecule. In the case of compounds having two or more ethylenically unsaturated double bond groups in the molecule, the photocuring reaction proceeds in chain by radical active species that generate a photopolymerization initiator, which will be described later, and the alkali solubility of the film in the exposed area is changed to the alkali solubility of the film in the unexposed area. In comparison, this has the effect of making it relatively low, and pattern formation by negative photolithography becomes possible. Specific examples include "KAYARAD" (registered trademark) DPHA, DPCA-20, DPCA-30, DPCA-60, DPCA-120, ZAR-1494H, ZAR-2001H, ZFR-1491H, ZCR- 1569H, ZCR-1797H, ZCR-1798H, ZCR-1761H, CCR-1171H, CCR-1291H, CCR-1307H, CCR-1309H (all manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), "Light Acrylate" (registered trademark) BP-4EAL, BP-4PA (all manufactured by Kyoeisha Kagaku Co., Ltd.), "OGSOL" (registered trademark) EA-0200, EA-0250P, EA-0300, CR -1030 (above, all manufactured by Osaka Gas Chemical Co., Ltd.), alkali-soluble epoxy acrylate resin containing an unsaturated double bond group having a structural unit represented by formula (7), an unsaturated double bond group having a structural unit represented by formula (8) and an alkali-soluble polyimide precursor containing a linking group. It does not matter whether these are used alone or in combination. In addition, a compound having two or more ethylenically unsaturated double bond groups in the molecule, and a compound corresponding to an alkali-soluble resin described later, is defined as a component belonging to a compound having two or more ethylenically unsaturated double bond groups in the molecule.

에틸렌성 불포화 이중 결합기를 분자 내에 2개 이상 갖는 화합물의 함유량은, 현상 공정에 있어서의 막의 밀착성과 해상도를 양립시키는 데에 있어서, 네거티브형 감광성 조성물의 고형분 100중량% 중 10∼60중량%가 바람직하다.The content of the compound having two or more ethylenically unsaturated double bond groups in the molecule is preferably 10 to 60% by weight based on 100% by weight of solid content of the negative photosensitive composition in order to achieve both film adhesion and resolution in the development process. do.

식 (7) 중, R34, R35는 각각 독립적으로 수소 원자 또는 메틸기를 나타낸다. *는 탄소 원자와의 결합 부위를 니타낸다.In formula (7), R 34 and R 35 each independently represent a hydrogen atom or a methyl group. * indicates the bonding site with a carbon atom.

식(8) 중, R36은 방향족환 또는 환상 지방족을 포함하는 4가의 유기기를 나타낸다. R37은 방향족환 또는 환상 지방족을 포함하는 3가의 유기기를 나타낸다. R38은 탄소수 1∼5의 알킬렌기를 나타낸다. R39는 수소 원자 또는 메틸기를 나타낸다. *는 결합 부위를 나타낸다.In formula (8), R 36 represents a tetravalent organic group containing an aromatic ring or cyclic aliphatic ring. R 37 represents a trivalent organic group containing an aromatic ring or cyclic aliphatic ring. R 38 represents an alkylene group having 1 to 5 carbon atoms. R 39 represents a hydrogen atom or a methyl group. * indicates binding site.

네거티브형 감광성 조성물(a)은 광중합 개시제를 함유한다. 광중합 개시제는, 근자외선의 노광에 의해 라디칼 활성종을 발생시키는 화합물이면 특별히 한정되지 않는다. 광중합 개시제로서는, 예를 들면 옥심에스테르계 광중합 개시제, 알킬페논계 광중합 개시제, 아실포스핀옥사이드계 광중합 개시제를 들 수 있다. 그 중에서도, 현상 공정에 있어서의 막의 밀착성을 향상시키는 데에 있어서 옥심에스테르계 광중합 개시제가 바람직하고, 예를 들면 "아데카쿨즈"(등록상표) NCI-831E, 동N-1919T(이상, 모두 ADEKA(주)제), "Irgacure"(등록상표) OXE01, 동OXE02, 동OXE03, 동OXE04, 식(9)으로 나타내어지는 화합물을 들 수 있다. 광중합 개시제의 함유량은, 현상 공정에 있어서의 막의 밀착성과 해상도를 양립시키는 데에 있어서, 네거티브형 감광성 조성물의 고형분 100중량% 중 1∼10중량%가 바람직하다.The negative photosensitive composition (a) contains a photopolymerization initiator. The photopolymerization initiator is not particularly limited as long as it is a compound that generates radical active species by exposure to near-ultraviolet rays. Examples of the photopolymerization initiator include an oxime ester-based photopolymerization initiator, an alkylphenone-based photopolymerization initiator, and an acylphosphine oxide-based photopolymerization initiator. Among them, an oxime ester-based photopolymerization initiator is preferable in improving the adhesion of the film in the development process, for example, "Adeca Cools" (registered trademark) NCI-831E, N-1919T (all ADEKA (Co., Ltd.), "Irgacure" (registered trademark) OXE01, OXE02, OXE03, OXE04, and compounds represented by formula (9). The content of the photopolymerization initiator is preferably 1 to 10% by weight based on 100% by weight of solid content of the negative photosensitive composition in order to achieve both film adhesion and resolution in the development process.

네거티브형 감광성 조성물(a)은, 층(A)의 해상도를 향상시키는 데에 있어서, 알칼리 가용성 수지를 더 함유하는 것이 바람직하다. 여기서 말하는 알칼리 가용성 수지란, 수지를 γ-부티로락톤에 용해시킨 용액을 실리콘 웨이퍼의 표면에 도포하고, 실온도 120℃의 핫플레이트 상에서 4분간 프리베이크를 행해서 막두께 10±0.5㎛의 프리베이크막을 형성하고, 상기 프리베이크막을, 알칼리 현상액인 23±1℃의 2.38중량% 수산화테트라메틸암모늄 수용액에 1분간 침지하고, 이어서 23±1℃의 순수로 10초간 린스 처리를 한 후의 막감소량으로부터 구해지는 막깊이 방향의 용해 속도가 50nm/분 이상인 수지를 말한다. 수지란 중량 평균 분자량(Mw)이 1000 이상이며, 반복 구조 단위로 이루어지는 고분자쇄를 갖는 화합물을 말한다.In order to improve the resolution of the layer (A), the negative photosensitive composition (a) preferably further contains an alkali-soluble resin. The alkali-soluble resin referred to here is a solution obtained by dissolving the resin in γ-butyrolactone, applied to the surface of a silicon wafer, prebaked for 4 minutes on a hot plate at a room temperature of 120°C, and prebaked to a film thickness of 10 ± 0.5 ㎛. After forming the film, the prebaked film was immersed in an alkaline developer, 2.38% by weight tetramethylammonium hydroxide aqueous solution at 23 ± 1°C, for 1 minute, and then rinsed with pure water at 23 ± 1°C for 10 seconds, and then the amount of film loss was obtained. Resin refers to a resin with a dissolution rate in the membrane depth direction of 50 nm/min or more. Resin refers to a compound that has a weight average molecular weight (Mw) of 1000 or more and has a polymer chain composed of repeating structural units.

알칼리 가용성 수지로서는, 예를 들면 알칼리 가용성 페놀 수지, 알칼리 가용성 (메타)아크릴 수지, 알칼리 가용성 폴리히드록시스티렌, 알칼리 가용성 폴리이미드, 알칼리 가용성 폴리이미드 전구체, 알칼리 가용성 폴리벤조옥사졸, 알칼리 가용성 폴리벤조옥사졸 전구체, 알칼리 가용성 폴리실록산, 알칼리 가용성 폴리아민을 들 수 있다. 이들을 단독 또는 혼합해서 사용해도 상관없다. 여기서 말하는 알칼리 가용성 폴리이미드 전구체란, 가열 처리에 의해 이미드 결합을 형성해서 폴리이미드로 변환되는 수지를 의미하고, 구체예로서는, 폴리아미드산 및 폴리아미드산에스테르를 들 수 있다.Examples of alkali-soluble resin include alkali-soluble phenol resin, alkali-soluble (meth)acrylic resin, alkali-soluble polyhydroxystyrene, alkali-soluble polyimide, alkali-soluble polyimide precursor, alkali-soluble polybenzoxazole, and alkali-soluble polybenzo. Examples include oxazole precursors, alkali-soluble polysiloxanes, and alkali-soluble polyamines. It does not matter whether these are used alone or in combination. The alkali-soluble polyimide precursor referred to herein means a resin that is converted into polyimide by forming an imide bond through heat treatment, and specific examples include polyamic acid and polyamic acid ester.

그 중에서도, 층(A)의 단부의 단면 테이퍼 각도를 낮게 하고, 또한 해상도를 향상시키는 데에 있어서, 알칼리 가용성 페놀 수지, 알칼리 가용성 (메타)아크릴 수지 및/또는 알칼리 가용성 폴리이미드를 함유하는 것이 바람직하다. 또한, 안료 분산제로서 알칼리 가용성 폴리아민을 함유하는 것이 바람직하다. (메타)아크릴 수지란, 메타크릴 수지 또는 아크릴 수지를 의미한다. 알칼리 가용성 페놀 수지로서는, 예를 들면 노볼락형 페놀 수지, 레졸형 페놀 수지 외에, 일본 특허공개 2010-106278에 기재된 폴리히드록시스티렌으로 이루어지는 고분자쇄를 갖는 노볼락형 페놀 수지를 들 수 있고, 공지의 방법으로 합성할 수 있다. 페놀, o-크레졸, m-크레졸, p-크레졸, 2,5-크실레놀, 3,5-크실레놀 등의 페놀 골격을 갖는 화합물에, 포름알데히드, 벤즈알데히드 등의 알데히드 화합물을 산성 촉매 또는 염기성 촉매의 공존하에서 반응시킴으로써 얻어진다. 시판품으로서는, 예를 들면 TRR5030G, TRR5010G, TR4020G, TR4080G, TR4000B, TRM30B20G, EP23F10G(이상, 모두 아사히 유키자이(주)제)를 들 수 있다.Among them, in order to lower the cross-sectional taper angle at the end of the layer (A) and improve resolution, it is preferable to contain an alkali-soluble phenolic resin, an alkali-soluble (meth)acrylic resin, and/or an alkali-soluble polyimide. do. Additionally, it is preferable to contain an alkali-soluble polyamine as a pigment dispersant. (meth)acrylic resin means methacrylic resin or acrylic resin. Examples of alkali-soluble phenol resins include novolak-type phenol resins and resol-type phenol resins, as well as novolak-type phenol resins having a polymer chain made of polyhydroxystyrene described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2010-106278, and known It can be synthesized by the method. Aldehyde compounds such as formaldehyde and benzaldehyde are added to compounds having a phenol skeleton such as phenol, o-cresol, m-cresol, p-cresol, 2,5-xylenol, and 3,5-xylenol using an acidic catalyst or It is obtained by reacting in the presence of a basic catalyst. Examples of commercially available products include TRR5030G, TRR5010G, TR4020G, TR4080G, TR4000B, TRM30B20G, and EP23F10G (all manufactured by Asahi Yukizai Co., Ltd.).

알칼리 가용성 폴리아민으로서는, 특허문헌 1에 기재된 3급 아미노기를 분자 내에 2개 이상 갖는 수지를 바람직하게 들 수 있다. 알칼리 가용성 폴리이미드로서는 후술하는 식(10)으로 나타내어지는 구조 단위를 갖는 수지를 들 수 있다.As the alkali-soluble polyamine, a resin having two or more tertiary amino groups in the molecule described in Patent Document 1 is preferably used. Examples of the alkali-soluble polyimide include resins having a structural unit represented by formula (10) described later.

네거티브형 감광성 조성물(a)은 용제를 더 함유해도 좋다. 용제를 함유함으로써 네거티브형 감광성 조성물의 점도, 틱소트로피성 등을 조절할 수 있고, 도포막의 막두께 균일성을 높일 수 있다. 용제로서는, 예를 들면 프로필렌글리콜모노메틸에테르(이하, PGME로 표기한다.), 프로필렌글리콜모노에틸에테르, 디프로필렌글리콜모노메틸에테르, 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트(이하, 「PGMEA」로 표기한다.), 3-메톡시부틸아세테이트(이하, 「MBA」로 표기한다.), 락트산메틸, 락트산에틸, γ-부티로락톤, 발레로락톤, ε-카프로락톤을 바람직하게 들 수 있다. 보존 안정성의 관점에서, 네거티브형 감광성 조성물(a) 100중량부 중의 함수율은 0.01∼0.5중량부가 바람직하다. 보다 높은 막두께 균일성을 얻는 데에 있어서 비이온계 계면활성제로 이루어지는 레벨링제를 함유시켜도 좋다.The negative photosensitive composition (a) may further contain a solvent. By containing a solvent, the viscosity, thixotropy, etc. of the negative photosensitive composition can be adjusted, and the film thickness uniformity of the coating film can be improved. Examples of solvents include propylene glycol monomethyl ether (hereinafter referred to as PGME), propylene glycol monoethyl ether, dipropylene glycol monomethyl ether, and propylene glycol monomethyl ether acetate (hereinafter referred to as “PGMEA”). ), 3-methoxybutylacetate (hereinafter referred to as “MBA”), methyl lactate, ethyl lactate, γ-butyrolactone, valerolactone, and ε-caprolactone. From the viewpoint of storage stability, the moisture content in 100 parts by weight of the negative photosensitive composition (a) is preferably 0.01 to 0.5 parts by weight. In order to obtain higher film thickness uniformity, a leveling agent consisting of a nonionic surfactant may be contained.

발광 신뢰성을 향상시키는 데에 있어서, 층(A)이 함유하는 네거티브형 감광성 조성물(a)의 경화물은, 1차 입자지름이 5∼30nm이며, 또한 애스펙트비(장경/단경)가 1.0∼1.5인 실리카 입자를 함유하는 것이 바람직하다. 여기서 말하는 실리카 입자란, 물을 제외한 중량 중 SiO2의 순분이 90중량% 이상인 입자, 이산화규소(무수 규산)로 이루어지는 입자, 이산화규소 수화물(함수 규산, 화이트 카본)로 이루어지는 입자, 또는 석영 유리로 이루어지는 입자를 의미한다. 오르토 규산, 메타 규산 및/또는 메타 2규산으로 이루어지는 입자도 또한 포괄한다. 입자의 구조는 특별히 한정되지 않고, 내부 공극을 갖고 있어도 좋다. 여기서 말하는 애스펙트비란, 실리카 입자의 장경을, 단경으로 나눈 값의 소수점 둘째 자리를 사사오입한 값을 말한다. 또한, 애스펙트비가 1.0인 경우, 진구상 실리카 입자로 간주할 수 있다. 1차 입자지름이 5∼30nm이며, 또한 애스펙트비(장경/단경)가 1.0∼1.5인 실리카 입자 또는 그것을 포함하는 분산액을 네거티브형 감광성 조성물(a) 중에 함유시켜 둠으로써, 네거티브형 감광성 조성물(a)의 경화물 중에 상기 실리카 입자를 함유시킬 수 있다.In improving the luminescence reliability, the cured product of the negative photosensitive composition (a) contained in the layer (A) has a primary particle diameter of 5 to 30 nm and an aspect ratio (major axis/minor axis) of 1.0 to 1.5. It is preferred that it contains phosphorus silica particles. The silica particles referred to herein are particles with a pure content of SiO 2 of 90% by weight or more based on the weight excluding water, particles made of silicon dioxide (anhydrous silicic acid), particles made of silicon dioxide hydrate (hydrous silicic acid, white carbon), or quartz glass. It means particles made up of Also encompassed are particles consisting of ortho-silicic acid, meta-silicic acid and/or meta-disilicic acid. The structure of the particles is not particularly limited, and may have internal voids. The aspect ratio referred to here refers to the value obtained by dividing the major axis of a silica particle by its minor axis, rounded off to two decimal places. Additionally, when the aspect ratio is 1.0, it can be regarded as a spherical silica particle. By containing silica particles having a primary particle diameter of 5 to 30 nm and an aspect ratio (major axis/minor axis) of 1.0 to 1.5, or a dispersion liquid containing the same, in the negative photosensitive composition (a), the negative photosensitive composition (a) ) The silica particles can be contained in the cured product.

1차 입자지름이 5∼30nm이며, 또한 애스펙트비(장경/단경)가 1.0∼1.5인 실리카 입자를 포함하는 분산액의 시판품으로서는, MEK-ST-40, MEK-ST-L(이상, 모두 닛산 카가쿠 코교(주)제)을 들 수 있다. 1차 입자지름 및 애스펙트비는, 화소 분할층을 얇게 할단한 것을 관측 시료로 하고, 이온 밀링 처리에 의해 연마해서 평활성을 높인 단면에 대해서 투과형 전자현미경(TEM)을 사용해서 화소 분할층의 최표층으로부터 막깊이 방향으로 0.2∼0.8㎛의 범위에 위치하는 개소를 배율 50000배의 조건으로 관측한 촬상을, 화상 해석식 입도 분포 측정기 「Mac-View」 (MOUNTECH사제)를 사용해서 측정할 수 있다. 또한, 에너지 분산형 X선 분광법(TEM-EDX)에 의해, 입자를 구성하는 원소의 판별로부터 실리카 입자를 특정할 수 있다.Commercially available dispersions containing silica particles with a primary particle diameter of 5 to 30 nm and an aspect ratio (major axis/minor axis) of 1.0 to 1.5 include MEK-ST-40 and MEK-ST-L (all Nissan Car products). Product made by Kaku Kogyo Co., Ltd.) can be mentioned. The primary particle diameter and aspect ratio were measured by using a transmission electron microscope (TEM) on a cross-section of a thinly cut pixel division layer as an observation sample and polished by ion milling to increase smoothness. The outermost layer of the pixel division layer was measured. Imaging observed at a location within a range of 0.2 to 0.8 μm in the film depth direction from the film depth direction under the condition of a magnification of 50,000 times can be measured using an image analysis type particle size distribution measuring device “Mac-View” (manufactured by MOUNTECH). Additionally, silica particles can be identified by determining the elements constituting the particles using energy dispersive X-ray spectroscopy (TEM-EDX).

네거티브형 감광성 조성물(a)은 열가교제를 더 함유해도 좋다. 해상도를 손상시키지 않는 범주에서 열가교제를 적량 함유함으로써 보다 높은 발광 신뢰성을 얻을 수 있는 경우가 있다. 열가교제로서는, 에폭시기를 2개 이상 갖는 화합물이 바람직하고, 구체예로서는 TEPIC-L, TEPIC-S, TEPIC-PAS(이상, 모두 닛산 카가쿠 코교(주)제), NC-3000, XD-1000, XD-1000H(이상 모두 닛폰 카야쿠(주))를 들 수 있다.The negative photosensitive composition (a) may further contain a heat crosslinking agent. There are cases where higher luminescence reliability can be obtained by containing an appropriate amount of thermal crosslinking agent within a range that does not impair resolution. As a thermal crosslinking agent, compounds having two or more epoxy groups are preferable, and specific examples include TEPIC-L, TEPIC-S, TEPIC-PAS (all manufactured by Nissan Chemical Industries, Ltd.), NC-3000, XD-1000, An example is the XD-1000H (all from Nippon Kayaku Co., Ltd.).

포지티브형 감광성 조성물(b)은 수지를 함유한다. 수지로서는 특별히 한정되지 않지만, 예를 들면 전술한 알칼리 가용성 수지를 들 수 있다.The positive photosensitive composition (b) contains a resin. The resin is not particularly limited, but examples include the alkali-soluble resin described above.

높은 발광 신뢰성을 얻는 데에 있어서, 층(B)이 함유하는 포지티브형 감광성 조성물(b)의 경화물이 이미드 결합 및/또는 벤조옥사졸 골격을 갖는 수지를 함유하는 것이 바람직하다. 포지티브형 감광성 조성물(b) 중에 이미드 결합 및/또는 벤조옥사졸 골격을 갖는 수지 또는 그 전구체를 함유시켜 둠으로써, 포지티브형 감광성 조성물(b)의 경화물 중에 이미드 결합 및/또는 벤조옥사졸 골격을 갖는 수지를 함유시킬 수 있다. 이상의 관점에서, 전술한 알칼리 가용성 수지 중, 포지티브형 감광성 조성물(b)은 알칼리 가용성 폴리이미드, 알칼리 가용성 폴리이미드 전구체, 알칼리 가용성 폴리벤조옥사졸, 알칼리 가용성 폴리벤조옥사졸 전구체 및/또는 그들의 공중합체를 함유하는 것이 바람직하다. 식(10)으로 나타내어지는 구조 단위 및/또는 식(11)으로 나타내어지는 구조 단위를 갖는 수지를 함유하는 것이 보다 바람직하다.In order to obtain high luminescence reliability, it is preferable that the cured product of the positive photosensitive composition (b) contained in the layer (B) contains a resin having an imide bond and/or a benzoxazole skeleton. By containing a resin or a precursor thereof having an imide bond and/or benzoxazole skeleton in the positive photosensitive composition (b), the cured product of the positive photosensitive composition (b) contains an imide bond and/or benzoxazole. A resin having a skeleton may be contained. In view of the above, among the alkali-soluble resins described above, the positive photosensitive composition (b) is alkali-soluble polyimide, alkali-soluble polyimide precursor, alkali-soluble polybenzoxazole, alkali-soluble polybenzoxazole precursor and/or copolymers thereof. It is preferable to contain. It is more preferable to contain a resin having a structural unit represented by formula (10) and/or a structural unit represented by formula (11).

식(10) 중, R11은 4∼10가의 유기기를 나타낸다. R12는 2∼8가의 유기기를 나타낸다. R13 및 R14는 각각 독립적으로 페놀성 수산기 또는 카르복실기를 나타내고, 각각 단일의 기여도 좋고, 상이한 기가 혼재하고 있어도 좋다. p 및 q는 정수이며, 각각 독립적으로 0∼6을 나타낸다. 단, p+q>0을 충족시킨다. *는 결합 부위를 나타낸다.In formula (10), R 11 represents a 4- to 10-valent organic group. R 12 represents a 2-8 valent organic group. R 13 and R 14 each independently represent a phenolic hydroxyl group or a carboxyl group, and each may be a single contribution, or different groups may be mixed. p and q are integers and each independently represents 0 to 6. However, p+q>0 is satisfied. * indicates binding site.

식(11) 중, R15 및 R16은 2∼8가의 유기기를 나타낸다. R17 및 R18은 각각 독립적으로 수산기, 카르복실기 또는 COOA를 나타내고, 각각 단일의 기여도 좋고, 상이한 기가 혼재하고 있어도 좋다. A는 탄소수 1∼10의 1가의 탄화수소기를 나타낸다. r 및 s는 정수이며, 각각 독립적으로 0∼6을 나타낸다. 단, r+s>2를 충족시킨다. *는 결합 부위를 나타낸다.In formula (11), R 15 and R 16 represent a divalent to octavalent organic group. R 17 and R 18 each independently represent a hydroxyl group, a carboxyl group, or COOA, and each may be a single contribution, or different groups may be mixed. A represents a monovalent hydrocarbon group having 1 to 10 carbon atoms. r and s are integers and each independently represents 0 to 6. However, r+s>2 is satisfied. * indicates binding site.

식(11) 중, 탄소수 1∼10의 1가의 탄화수소기 A로서는, 예를 들면 메틸기, 에틸기, 프로필기, 페닐기 또는 벤질기를 들 수 있다.In formula (11), examples of the monovalent hydrocarbon group A having 1 to 10 carbon atoms include methyl group, ethyl group, propyl group, phenyl group, or benzyl group.

식(10)으로 나타내어지는 구조 단위 및/또는 식(11)으로 나타내어지는 구조 단위를 갖는 수지의 중량 평균 분자량(Mw)은, 해상도를 향상시키는 데에 있어서, 10,000 이상 50,000 이하가 바람직하다.The weight average molecular weight (Mw) of the resin having the structural unit represented by formula (10) and/or the structural unit represented by formula (11) is preferably 10,000 or more and 50,000 or less in order to improve resolution.

식(10) 중, R11-(R13)p는 산 2무수물의 잔기를 나타낸다. R11은, 방향족환 또는 환상 지방족기를 포함하는 탄소 원자수 5∼40의 유기기가 바람직하다. 산 2무수물의 잔기로서는, 예를 들면 피로멜리트산 2무수물, 3,3',4,4'-비페닐테트라카르복실산 2무수물, 2,3,3',4'-비페닐테트라카르복실산 2무수물, 2,2',3,3'-비페닐테트라카르복실산 2무수물, 3,3',4,4'-벤조페논테트라카르복실산 2무수물, 2,2',3,3'-벤조페논테트라카르복실산 2무수물, 2,2-비스(3,4-디카르복시페닐)프로판 2무수물, 2,2-비스(2,3-디카르복시페닐)프로판 2무수물, 1,1-비스(3,4-디카르복시페닐)에탄 2무수물, 1,1-비스(2,3-디카르복시페닐)에탄 2무수물, 비스(3,4-디카르복시페닐)메탄 2무수물, 비스(2,3-디카르복시페닐)메탄 2무수물, 비스(3,4-디카르복시페닐)에테르 2무수물, 1,2,5,6-나프탈렌테트라카르복실산 2무수물, 2,3,6,7-나프탈렌테트라카르복실산 2무수물, 9,9-비스(3,4-디카르복시페닐)플루오렌산 2무수물, 9,9-비스{4-(3,4-디카르복시페녹시)페닐}플루오렌산 2무수물, 식(12)으로 나타내어지는 구조의 산 2무수물의 잔기 등의 방향족 테트라카르복실산 2무수물의 잔기나, 부탄테트라카르복실산 2무수물, 1,2,3,4-시클로펜탄테트라카르복실산 2무수물의 잔기 등의 지방족 테트라카르복실산 2무수물의 잔기를 들 수 있다.In formula (10), R 11 -(R 13 )p represents the residue of acid dianhydride. R 11 is preferably an organic group containing 5 to 40 carbon atoms containing an aromatic ring or a cyclic aliphatic group. Examples of acid dianhydride residues include pyromellitic dianhydride, 3,3',4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride, and 2,3,3',4'-biphenyltetracarboxyl. Acid dianhydride, 2,2',3,3'-biphenyltetracarboxylic acid dianhydride, 3,3',4,4'-benzophenonetetracarboxylic acid dianhydride, 2,2',3,3 '-Benzophenonetetracarboxylic acid dianhydride, 2,2-bis(3,4-dicarboxyphenyl)propane dianhydride, 2,2-bis(2,3-dicarboxyphenyl)propane dianhydride, 1,1 -bis(3,4-dicarboxyphenyl)ethane dianhydride, 1,1-bis(2,3-dicarboxyphenyl)ethane dianhydride, bis(3,4-dicarboxyphenyl)methane dianhydride, bis(2) ,3-dicarboxyphenyl)methane dianhydride, bis(3,4-dicarboxyphenyl)ether dianhydride, 1,2,5,6-naphthalenetetracarboxylic acid dianhydride, 2,3,6,7-naphthalene Tetracarboxylic dianhydride, 9,9-bis(3,4-dicarboxyphenyl)fluoric acid dianhydride, 9,9-bis{4-(3,4-dicarboxyphenoxy)phenyl}fluoric acid Dianhydride, the residue of aromatic tetracarboxylic dianhydride such as the residue of acid dianhydride of the structure represented by formula (12), butanetetracarboxylic dianhydride, 1,2,3,4-cyclopentanetetracar and residues of aliphatic tetracarboxylic dianhydride, such as the residue of boxylic acid dianhydride.

식(12) 중, R19는 단결합, 산소 원자, C(CF3)2, C(CH3)2 또는 SO2를 나타낸다. R20 및 R21은 각각 독립적으로 수소 원자 또는 수산기를 나타낸다.In formula (12), R 19 represents a single bond, an oxygen atom, C(CF 3 ) 2 , C(CH 3 ) 2 or SO 2 . R 20 and R 21 each independently represent a hydrogen atom or a hydroxyl group.

식(11) 중, R15-(R17)r은 산의 잔기를 나타낸다. R15는 방향족환 또는 환상 지방족기를 함유하는 탄소 원자수 5∼40의 유기기가 바람직하다.In formula (11), R 15 -(R 17 )r represents an acid residue. R 15 is preferably an organic group containing an aromatic ring or a cyclic aliphatic group and having 5 to 40 carbon atoms.

산의 잔기로서는, 예를 들면 디카르복실산의 잔기, 트리카르복실산의 잔기, 테트라카르복실산의 잔기를 들 수 있다. 디카르복실산으로서는, 테레프탈산, 이소프탈산, 디페닐에테르디카르복실산, 비스(카르복시페닐)헥사플루오로프로판, 비페닐디카르복실산, 벤조페논디카르복실산, 트리페닐디카르복실산을 들 수 있다. 트리카르복실산으로서는, 트리멜리트산, 트리메스산, 디페닐에테르트리카르복실산, 비페닐트리카르복실산의 잔기를 들 수 있다. 테트라카르복실산의 잔기로서는, 피로멜리트산, 3,3',4,4'-비페닐테트라카르복실산, 2,3,3',4'-비페닐테트라카르복실산, 2,2',3,3'-비페닐테트라카르복실산, 3,3',4,4'-벤조페논테트라카르복실산, 2,2',3,3'-벤조페논테트라카르복실산, 2,2-비스(3,4-디카르복시페닐)헥사플루오로프로판, 2,2-비스(2,3-디카르복시페닐)헥사플루오로프로판, 1,1-비스(3,4-디카르복시페닐)에탄, 1,1-비스(2,3-디카르복시페닐)에탄, 비스(3,4-디카르복시페닐)메탄, 비스(2,3-디카르복시페닐)메탄, 비스(3,4-디카르복시페닐)에테르, 1,2,5,6-나프탈렌테트라카르복실산, 2,3,6,7-나프탈렌테트라카르복실산, 2,3,5,6-피리딘테트라카르복실산, 3,4,9,10-페릴렌테트라카르복실산의 잔기 등의 방향족 테트라카르복실산의 잔기나, 부탄테트라카르복실산, 1,2,3,4-시클로펜탄테트라카르복실산의 잔기 등의 지방족 테트라카르복실산의 잔기를 들 수 있다.Examples of acid residues include dicarboxylic acid residues, tricarboxylic acid residues, and tetracarboxylic acid residues. As dicarboxylic acids, terephthalic acid, isophthalic acid, diphenyl ether dicarboxylic acid, bis (carboxyphenyl) hexafluoropropane, biphenyl dicarboxylic acid, benzophenone dicarboxylic acid, and triphenyl dicarboxylic acid. I can hear it. Examples of tricarboxylic acids include residues of trimellitic acid, trimesic acid, diphenyl ether tricarboxylic acid, and biphenyl tricarboxylic acid. As residues of tetracarboxylic acid, pyromellitic acid, 3,3',4,4'-biphenyltetracarboxylic acid, 2,3,3',4'-biphenyltetracarboxylic acid, 2,2' ,3,3'-Biphenyltetracarboxylic acid, 3,3',4,4'-benzophenonetetracarboxylic acid, 2,2',3,3'-benzophenonetetracarboxylic acid, 2,2 -Bis(3,4-dicarboxyphenyl)hexafluoropropane, 2,2-bis(2,3-dicarboxyphenyl)hexafluoropropane, 1,1-bis(3,4-dicarboxyphenyl)ethane , 1,1-bis(2,3-dicarboxyphenyl)ethane, bis(3,4-dicarboxyphenyl)methane, bis(2,3-dicarboxyphenyl)methane, bis(3,4-dicarboxyphenyl) ) Ether, 1,2,5,6-naphthalenetetracarboxylic acid, 2,3,6,7-naphthalenetetracarboxylic acid, 2,3,5,6-pyridinetetracarboxylic acid, 3,4,9 , aromatic tetracarboxylic acid residues such as the residues of 10-perylenetetracarboxylic acid, and aliphatic tetracarboxylic acids such as butanetetracarboxylic acid and 1,2,3,4-cyclopentanetetracarboxylic acid residues. A residue of an acid may be mentioned.

식(10) 중의 R12-(R14)q 및 식(11) 중의 R16-(R18)s는 디아민의 잔기를 나타낸다. R12 및 R16은 방향족환 또는 환상 지방족기를 함유하는 탄소 원자수 5∼40의 유기기가 바람직하다.R 12 -(R 14 )q in formula (10) and R 16 -(R 18 )s in formula (11) represent diamine residues. R 12 and R 16 are preferably organic groups containing 5 to 40 carbon atoms containing an aromatic ring or cyclic aliphatic group.

디아민의 잔기로서는, 예를 들면 3,4'-디아미노디페닐에테르, 4,4'-디아미노디페닐에테르, 3,4'-디아미노디페닐메탄, 4,4'-디아미노디페닐메탄, 1,4-비스(4-아미노페녹시)벤젠, m-페닐렌디아민, p-페닐렌디아민, 1,5-나프탈렌디아민, 2,6-나프탈렌디아민, 비스(4-아미노페녹시)비페닐, 비스{4-(4-아미노페녹시)페닐}에테르, 1,4-비스(4-아미노페녹시)벤젠, 2,2'-디메틸-4,4'-디아미노비페닐, 2,2'-디에틸-4,4'-디아미노비페닐, 3,3'-디메틸-4,4'-디아미노비페닐, 3,3'-디에틸-4,4'-디아미노비페닐, 9-비스(4-아미노페닐)플루오렌의 잔기 또는 이들의 방향족환의 수소 원자의 적어도 일부를 알킬기나 할로겐 원자로 치환한 화합물의 잔기 외에, 식(13)으로 나타내어지는 화합물, 식(14)으로 나타내어지는 화합물, 식(15)으로 나타내어지는 화합물, 식(16)으로 나타내어지는 화합물의 잔기를 들 수 있다.Examples of diamine residues include 3,4'-diaminodiphenyl ether, 4,4'-diaminodiphenyl ether, 3,4'-diaminodiphenylmethane, and 4,4'-diaminodiphenyl. Methane, 1,4-bis(4-aminophenoxy)benzene, m-phenylenediamine, p-phenylenediamine, 1,5-naphthalenediamine, 2,6-naphthalenediamine, bis(4-aminophenoxy) Biphenyl, bis{4-(4-aminophenoxy)phenyl}ether, 1,4-bis(4-aminophenoxy)benzene, 2,2'-dimethyl-4,4'-diaminobiphenyl, 2 ,2'-diethyl-4,4'-diaminobiphenyl, 3,3'-dimethyl-4,4'-diaminobiphenyl, 3,3'-diethyl-4,4'-diaminobi In addition to phenyl, 9-bis (4-aminophenyl) fluorene residues, or residues of compounds in which at least part of the hydrogen atoms of their aromatic rings are replaced with alkyl groups or halogen atoms, compounds represented by formula (13), formula (14) Examples include residues of the compound represented by, the compound represented by formula (15), and the compound represented by formula (16).

식(13) 중, R22는 단결합, 산소 원자, C(CF3)2, C(CH3)2 또는 SO2를 나타낸다. R23 및 R24는 각각 독립적으로 수소 원자 또는 수산기를 나타낸다.In formula (13), R 22 represents a single bond, an oxygen atom, C(CF 3 ) 2 , C(CH 3 ) 2 or SO 2 . R 23 and R 24 each independently represent a hydrogen atom or a hydroxyl group.

식(14) 중, R25는 단결합, 산소 원자, C(CF3)2, C(CH3)2 또는 SO2를 나타낸다. R26 및 R27은 각각 독립적으로 수소 원자 또는 수산기를 나타낸다. In formula (14), R 25 represents a single bond, an oxygen atom, C(CF 3 ) 2 , C(CH 3 ) 2 or SO 2 . R 26 and R 27 each independently represent a hydrogen atom or a hydroxyl group.

식(15) 중, R28, R29, R30 및 R31은 각각 독립적으로 수소 원자 또는 수산기를 나타낸다.In formula (15), R 28 , R 29 , R 30 and R 31 each independently represent a hydrogen atom or a hydroxyl group.

식(16) 중, R32 및 R33은 각각 독립적으로 수소 원자 또는 수산기를 나타낸다.In formula (16), R 32 and R 33 each independently represent a hydrogen atom or a hydroxyl group.

또한, 이들 수지의 말단을, 모노아민에 의해 밀봉함으로써 중량 평균 분자량(Mw)을 합성 시에 조절하기 쉬워짐과 아울러, 알칼리 가용성 수지로서의 보존 안정성을 향상시킬 수 있다.Additionally, by sealing the ends of these resins with a monoamine, the weight average molecular weight (Mw) can be easily adjusted during synthesis, and the storage stability as an alkali-soluble resin can be improved.

모노아민으로서는, 예를 들면 1-히드록시-4-아미노나프탈렌, 2-히드록시-7-아미노나프탈렌, 2-히드록시-6-아미노나프탈렌, 2-히드록시-5-아미노나프탈렌, 1-카르복시-7-아미노나프탈렌, 1-카르복시-6-아미노나프탈렌, 1-카르복시-5-아미노나프탈렌, 2-카르복시-7-아미노나프탈렌, 2-카르복시-6-아미노나프탈렌, 2-아미노페놀, 3-아미노페놀, 4-아미노페놀을 들 수 있다.As monoamines, for example, 1-hydroxy-4-aminonaphthalene, 2-hydroxy-7-aminonaphthalene, 2-hydroxy-6-aminonaphthalene, 2-hydroxy-5-aminonaphthalene, 1-carboxylic -7-aminonaphthalene, 1-carboxy-6-aminonaphthalene, 1-carboxy-5-aminonaphthalene, 2-carboxy-7-aminonaphthalene, 2-carboxy-6-aminonaphthalene, 2-aminophenol, 3-amino Phenol and 4-aminophenol can be mentioned.

식(11) 중, COOA로 나타내어지는 기는 카르복실기를 에스테르화제에 의해 변환함으로써 얻어진다. 에스테르화제로서는, 예를 들면 N,N-디메틸포름아미드디메틸아세탈, N,N-디메틸포름아미드디에틸아세탈을 들 수 있다.In formula (11), the group represented by COOA is obtained by converting the carboxyl group with an esterifying agent. Examples of the esterifying agent include N,N-dimethylformamide dimethyl acetal and N,N-dimethylformamide diethyl acetal.

식(10)으로 나타내어지는 구조 단위 및/또는 식(11)으로 나타내어지는 구조 단위를 갖는 수지는 공지의 방법으로 얻을 수 있고, 예를 들면 일본 특허 제4341293호, 국제공개 제2014/097992호, 국제공개 제2019/181782호에 개시된 방법으로 합성할 수 있다.Resins having the structural unit represented by formula (10) and/or the structural unit represented by formula (11) can be obtained by known methods, for example, Japanese Patent No. 4341293, International Publication No. 2014/097992, It can be synthesized by the method disclosed in International Publication No. 2019/181782.

수지의 함유량은 발광 신뢰성을 향상시키는 데에 있어서, 포지티브형 감광성 조성물(b)의 고형분 100중량% 중 50∼90중량%가 바람직하다.In order to improve luminescence reliability, the resin content is preferably 50 to 90% by weight based on 100% by weight of solid content of the positive photosensitive composition (b).

포지티브형 감광성 조성물(b)은 광산 발생제를 함유한다. 광산 발생제는 근자외광의 조사에 의해 분해하고, 산을 발생하는 화합물이면, 특별히 한정되지 않는다. 발생한 산에 의해 노광부의 막의 알칼리 용해성을, 미노광부의 막의 알칼리 용해성과 비교해서 상대적으로 높게 하는 효과를 발휘하고, 포지티브형의 포토리소그래피에 의한 패턴 형성이 가능해진다. 발생하는 산으로서는, 예를 들면 인덴카르복실산, 메탄술폰산, 에탄술폰산, 벤젠술폰산, p-톨루엔술폰산, 나프탈렌술폰산을 들 수 있다.The positive photosensitive composition (b) contains a photoacid generator. The photoacid generator is not particularly limited as long as it is a compound that decomposes upon irradiation of near-ultraviolet light and generates acid. The generated acid has the effect of increasing the alkali solubility of the film in the exposed area relatively compared to the alkali solubility of the film in the unexposed area, making pattern formation by positive photolithography possible. Examples of the acids generated include indenecarboxylic acid, methanesulfonic acid, ethanesulfonic acid, benzenesulfonic acid, p-toluenesulfonic acid, and naphthalenesulfonic acid.

광산 발생제로서는, 예를 들면 퀴논디아지드 화합물, 이미드술포네이트 화합물, 옥심술포네이트 화합물을 들 수 있다. 그 중에서도, 발광 신뢰성을 향상시키는 데에 있어서, 근자외광의 조사에 의해, 산으로서 카르복실산 및/또는 술폰산을 발생시키는 퀴논디아지드 화합물이 바람직하다. 퀴논디아지드 화합물로서는, 페놀성 수산기를 갖는 화합물과, 1,2-나프토퀴논-2-디아지드-4-술포닐클로라이드(이하, 「4-나프토퀴논디아지드술포닐산클로라이드」라고 하는 경우가 있다.)의 에스테르화 반응에 의해 얻어지는 화합물인 4-나프토퀴논디아지드술포닐에스테르 화합물이나, 페놀성 수산기를 갖는 화합물과, 1,2-나프토퀴논-2-디아지드-5-술포닐클로라이드(이하, 「5-나프토퀴논디아지드술포닐산클로라이드」라고 하는 경우가 있다.)의 에스테르화 반응에 의해 얻어지는 화합물인 5-나프토퀴논디아지드술포닐에스테르 화합물, 일본 특허공개 2019-174793호에 기재된 나프토퀴논디아지드술폰산 유도체를 들 수 있다. 페놀성 수산기를 갖는 화합물로서는, 예를 들면 TrisP-HAP, TrisP-PA, TekP-4HBPA, TrisP-SA, TrisOCR-PA, BisP-AP, BisP-NO, BisP-PR, BisP-B, BisP-DE, BisP-DP, BisP-DP, BisRS-2P, BisRS-3P, BisP-DEK(이상, 모두 혼슈 카가쿠 코교(주)제)를 들 수 있다. 5-나프토퀴논디아지드술포닐에스테르 화합물의 시판품으로서는, 예를 들면 4NT-250, 4NT-300(토요 고세 코교(주)제)을 들 수 있다. 광산 발생제의 함유량은, 노광 감도를 향상시키는 데에 있어서 포지티브형 감광성 조성물(b)의 고형분 100중량% 중 1∼40중량%가 바람직하다.Examples of photoacid generators include quinonediazide compounds, imide sulfonate compounds, and oxime sulfonate compounds. Among them, quinonediazide compounds that generate carboxylic acid and/or sulfonic acid as acids by irradiation of near-ultraviolet light are preferable in improving luminescence reliability. As the quinonediazide compound, a compound having a phenolic hydroxyl group and 1,2-naphthoquinone-2-diazide-4-sulfonyl chloride (hereinafter referred to as “4-naphthoquinone diazide sulfonylic acid chloride”) There is a 4-naphthoquinone diazide sulfonyl ester compound, which is a compound obtained by the esterification reaction of), a compound having a phenolic hydroxyl group, and 1,2-naphthoquinone-2-diazide-5-sulfonyl ester compound. 5-Naphthoquinone diazidesulfonyl ester compound, a compound obtained by esterification of phenyl chloride (hereinafter sometimes referred to as “5-naphthoquinone diazidesulfonylic acid chloride”), Japanese Patent Publication 2019- Examples include naphthoquinone diazide sulfonic acid derivatives described in No. 174793. Compounds having a phenolic hydroxyl group include, for example, TrisP-HAP, TrisP-PA, TekP-4HBPA, TrisP-SA, TrisOCR-PA, BisP-AP, BisP-NO, BisP-PR, BisP-B, BisP-DE. , BisP-DP, BisP-DP, BisRS-2P, BisRS-3P, and BisP-DEK (all manufactured by Honshu Kagaku Kogyo Co., Ltd.). Commercially available products of 5-naphthoquinone diazide sulfonyl ester compounds include, for example, 4NT-250 and 4NT-300 (manufactured by Toyo Kose Kogyo Co., Ltd.). The content of the photoacid generator is preferably 1 to 40% by weight based on 100% by weight of solid content of the positive photosensitive composition (b) in order to improve exposure sensitivity.

포지티브형 감광성 조성물(b)은 열가교제를 더 함유해도 좋다. 열가교제를 함유함으로써, 보다 우수한 발광 신뢰성이 얻어진다. 열가교제로서는 알콕시알킬기를 분자 내에 2개 이상 갖는 화합물이 바람직하다. 알콕시알킬기로서는, 예를 들면 메톡시메틸기, 에톡시메틸기, 프로폭시메틸기, 부톡시메틸기를 들 수 있다. 알콕시메틸기를 분자 내에 2개 이상 갖는 화합물로서는, 예를 들면 식(17)으로 나타내어지는 화합물, 식(18)으로 나타내어지는 화합물, 식(19)으로 나타내어지는 화합물을 바람직하게 들 수 있다.The positive photosensitive composition (b) may further contain a heat crosslinking agent. By containing a thermal crosslinking agent, better luminescence reliability is obtained. As a thermal crosslinking agent, a compound having two or more alkoxyalkyl groups in the molecule is preferable. Examples of the alkoxyalkyl group include methoxymethyl group, ethoxymethyl group, propoxymethyl group, and butoxymethyl group. Preferred examples of compounds having two or more alkoxymethyl groups in the molecule include compounds represented by formula (17), compounds represented by formula (18), and compounds represented by formula (19).

포지티브형 감광성 조성물(b)은 전술한 용제를 더 함유해도 좋다. 용제를 함유함으로써 포지티브형 감광성 조성물의 점도, 틱소트로피성 등을 조절할 수 있고, 도포막의 막두께 균일성을 높일 수 있다.The positive photosensitive composition (b) may further contain the above-mentioned solvent. By containing a solvent, the viscosity, thixotropy, etc. of the positive photosensitive composition can be adjusted, and the film thickness uniformity of the coating film can be improved.

본 발명의 유기 EL 표시 장치는, 본 발명의 효과를 손상시키지 않는 범주에서, 층(A)과 마찬가지로, 안료 및/또는 염료를 층(B)에 함유시켜도 좋다. 단, 안료 및 염료의 함유량의 합계는 높은 발광 신뢰성을 얻는 데에 있어서, 층(B) 100중량부 중 5중량부 이하가 바람직하고, 0중량부가 보다 바람직하다.The organic EL display device of the present invention may contain a pigment and/or dye in the layer (B) as in the layer (A), as long as the effect of the present invention is not impaired. However, in order to obtain high luminescence reliability, the total content of the pigment and dye is preferably 5 parts by weight or less, and more preferably 0 parts by weight, based on 100 parts by weight of the layer (B).

즉, 본 발명의 유기 EL 표시 장치는, 기판, 평탄화층, 제 1 전극, 화소 분할층, 발광 화소, 제 2 전극을 이 순서로 구비하는 유기 EL 표시 장치로서, 상기 화소 분할층은 층(A)과 층(B)을 포함하고, 상기 층(A)은 상기 제 1 전극의 표면을 부분적으로 노출시켜서 상기 제 1 전극의 표면에 배치된 층이며, 상기 층(B)은 상기 층(A)의 표면의 적어도 일부에 배치된 층이며, 상기 층(A)이 안료 및/또는 염료와, 에틸렌성 불포화 이중 결합기를 분자 내에 2개 이상 갖는 화합물과, 광중합 개시제를 함유하는 네거티브형 감광성 조성물(a)의 경화물을 함유하고, 상기 층(B)이 수지와 광산 발생제를 함유하는 포지티브형 감광성 조성물(b)의 경화물을 함유하고, 상기 층(B) 중의 안료 및/또는 염료의 함유량의 합계가 상기 층(B) 100중량부 중 5중량부 이하인 유기 EL 표시 장치인 것이 바람직하다.That is, the organic EL display device of the present invention is an organic EL display device comprising a substrate, a planarization layer, a first electrode, a pixel split layer, a light-emitting pixel, and a second electrode in this order, and the pixel split layer is a layer (A). ) and a layer (B), wherein the layer (A) is a layer disposed on the surface of the first electrode by partially exposing the surface of the first electrode, and the layer (B) is the layer (A) A negative photosensitive composition (a) is a layer disposed on at least a portion of the surface of ), wherein the layer (B) contains a cured product of a positive photosensitive composition (b) containing a resin and a photoacid generator, and the content of pigment and/or dye in the layer (B) is It is preferable that the total amount be 5 parts by weight or less out of 100 parts by weight of the layer (B) in an organic EL display device.

네거티브형 감광성 조성물(a)을 사용해서 층(A)을 형성하는 방법으로서는, 네거티브형 감광성 조성물(a)을 도포해서 도포막을 얻는 도포 공정과, 네거티브형 노광 마스크를 통해서 근자외선을 포함하는 활성 화학선을 패턴 노광함으로써, 노광된 노광부와, 노광되지 않은 미노광부를 면 내에 갖는 노광막을 얻는 노광 공정과, 알칼리 현상액을 사용해 현상해서 현상막을 얻는 현상 공정과, 가열에 의해 열경화시켜서 경화막을 얻는 큐어 공정을 포함하는 방법이 바람직하다.A method of forming the layer (A) using the negative photosensitive composition (a) includes an application process of applying the negative photosensitive composition (a) to obtain a coating film, and an active chemical treatment including near-ultraviolet rays through a negative exposure mask. An exposure process to obtain an exposed film having an exposed portion and an unexposed unexposed portion in a surface by exposing lines in a pattern, a development process to obtain a developed film by developing using an alkaline developer, and obtaining a cured film by thermosetting by heating. A method including a cure process is preferred.

포지티브형 감광성 조성물(b)을 사용해서 층(B)을 형성하는 방법으로서는, 포지티브형 감광성 조성물(b)을 도포해서 도포막을 얻는 도포 공정과, 포지티브형 노광 마스크를 통해서 근자외선을 포함하는 활성 화학선을 패턴 노광함으로써, 노광부와 미노광부를 면 내에 갖는 노광막을 얻는 노광 공정과, 알칼리 현상액을 사용해 현상해서 현상막을 얻는 현상 공정과, 가열에 의해 열경화시켜서 경화막을 얻는 큐어 공정을 포함하는 방법이 바람직하다.A method of forming the layer (B) using the positive photosensitive composition (b) includes an application step of applying the positive photosensitive composition (b) to obtain a coating film, and an active chemical treatment including near-ultraviolet rays through a positive exposure mask. A method comprising an exposure process to obtain an exposed film having exposed and unexposed parts in a plane by exposing lines in a pattern, a developing process to obtain a developed film by developing using an alkaline developer, and a cure process to obtain a cured film by thermosetting by heating. This is desirable.

도포 공정에서 사용하는 도포 장치로서는 박막 도포성이 우수한 점에서, 스핀 코터 또는 슬릿 코터를 바람직하게 사용할 수 있다. 도포 후에는 핀갭 프리베이크 혹은 콘택트 프리베이크를 행해도 좋다. 프리베이크 온도는 50∼150℃가 바람직하고, 프리베이크 시간은 30초간∼5분간이 바람직하다.As a coating device used in the coating process, a spin coater or a slit coater can be preferably used because of its excellent thin film coating properties. After application, pin gap prebake or contact prebake may be performed. The prebake temperature is preferably 50 to 150°C, and the prebake time is preferably 30 seconds to 5 minutes.

노광 공정에서 사용하는 노광 장치로서는, 예를 들면 스텝퍼, 미러 프로젝션 마스크 얼라이너(MPA), 패럴렐 라이트 마스크 얼라이너(PLA)를 들 수 있다. 노광 시에 조사하는 근자외선을 포함하는 활성 화학선으로서는, 수은등의 j선(파장 313nm), i선(파장 365nm), h선(파장 405nm) 또는 g선(파장 436nm)을 들 수 있고, i선 또는, g선과 h선과 i선을 포함하는 혼합선이 바람직하다. 네거티브형 노광 마스크 및 포지티브형 노광 마스크로서는, 예를 들면 유리, 석영 또는 필름 등의 근자외선 투과부를 갖는 기판의 편측의 표면에 크롬 등의 금속으로 이루어지는 차광부가 패턴 형상으로 성막된 마스크를 들 수 있고, 개구부만 활성 화학선을 투과시켜서 패턴 노광함으로써, 노광부와 미노광부를 면 내에 갖는 노광막이 얻어진다. 또한, 활성 화학선의 투과율이 상이한, 전체 투과부와 반투과부를 면 내에 갖는 하프톤 노광 마스크를 사용해서 패턴 노광을 행함으로써, 볼록 형상의 후막부를 일괄 형성하고, 화소 분할층의 적어도 일부에 스페이서 기능을 부여해도 좋다.Examples of exposure devices used in the exposure process include steppers, mirror projection mask aligners (MPA), and parallel light mask aligners (PLA). Active actinic rays including near-ultraviolet rays irradiated during exposure include j-rays (wavelength 313 nm), i-rays (wavelength 365 nm), h-rays (wavelength 405 nm), or g-rays (wavelength 436 nm) of mercury lamps, i A line or a mixed line including the g-line, h-line, and i-line is preferable. Examples of the negative exposure mask and the positive exposure mask include a mask in which a light-shielding portion made of a metal such as chromium is formed in a pattern on the surface of one side of a substrate having a near-ultraviolet transmission portion such as glass, quartz, or film. By pattern-exposing only the openings through active actinic rays, an exposed film having an exposed portion and an unexposed portion in a plane is obtained. In addition, by performing pattern exposure using a halftone exposure mask having a fully transmissive portion and a semi-transmissive portion with different transmittances of active actinic rays in the plane, a convex-shaped thick film portion is collectively formed, and a spacer function is provided to at least a portion of the pixel division layer. You may grant it.

현상 공정에 있어서의 현상 방식으로서는, 예를 들면 샤워, 디핑, 패들 등의 방식을 들 수 있고, 노광막을 10초∼3분간 침지하는 방법을 들 수 있다. 개구부의 개구폭의 면 내 균일성을 높이는 데에 있어서 패들 방식이 바람직하다. 알칼리 현상액으로서는, 1.0∼2.5중량% 수산화테트라메틸암모늄 수용액(이하, TMAH라고 한다)이 바람직하고, 시판품으로서는, 2.38중량% TMAH 수용액(타마 카가쿠 코교(주)제)을 들 수 있다. 현상 공정 후에는 탈이온수의 샤워에 의한 세정 처리 및/또는 에어 분사에 의한 수분 제거 처리를 추가해도 상관없다.Examples of the development method in the development process include shower, dipping, and paddle methods, and include a method of immersing the exposure film for 10 seconds to 3 minutes. The paddle method is preferable in increasing the in-plane uniformity of the opening width of the opening. As an alkaline developer, a 1.0 to 2.5% by weight aqueous solution of tetramethylammonium hydroxide (hereinafter referred to as TMAH) is preferable, and a commercially available product includes a 2.38% by weight TMAH aqueous solution (manufactured by Tama Chemical Co., Ltd.). After the development process, a cleaning treatment using a shower of deionized water and/or a moisture removal treatment using air injection may be added.

큐어 공정에 있어서는, 가열에 의해 현상막을 열경화시킴과 동시에, 수분이나 현상액 등을 휘산시킨다. 가열 장치로서는, 예를 들면 열풍 오븐, IR 오븐 등을 들 수 있다. 가열 온도는 대기압하 200∼350℃가 바람직하고, 220∼280℃가 보다 바람직하다.In the cure process, the developing film is thermoset by heating and moisture, developer, etc. are volatilized. Examples of heating devices include hot air ovens and IR ovens. The heating temperature is preferably 200 to 350°C under atmospheric pressure, and more preferably 220 to 280°C.

안료를 함유하는 네거티브 감광성 조성물(a)을 조제하는 방법으로서는, 습식 분산 처리에 의해 안료 분산액을 조제하고, 이어서 에틸렌성 불포화 이중 결합기를 분자 내에 2개 이상 갖는 화합물과 광중합 개시제와, 필요에 따라서 용제 등 기타 성분을 혼합한 후, 안료 분산액에 첨가한 후에 혼합, 교반하고, 필요에 따라서 여과 필터를 사용해서 여과를 행하는 방법을 들 수 있다. 습식 분산 처리에는 분산 처리 속도가 우수하고, 해쇄력이 강해 경제적으로 유리한 점에서 비즈 밀 등의 습식 미디어 분산기의 사용이 바람직하다. 안료 분산액 중, 및 그것을 사용해서 조제되는 네거티브 감광성 조성물(a) 중의 안료의 누적 50% 입자지름은, 발광 신뢰성을 향상시키는 데에 있어서, 각각 20nm 이상이 바람직하고, 40nm 이상이 보다 바람직하다. 동관점에서, 100nm 이하가 바람직하고, 80nm 이하가 보다 바람직하다. 누적 50% 입자지름이란, 광원(파장 532nm/10mW의 반도체 여기 고체 레이저)에 대한 광산란 강도를 기준으로 하는 입자지름의 누적 분포 곡선에 있어서의 누적 50%에 상당하는 입자지름이다. 누적 50% 입자지름은 동적 광산란법의 입도 분포 측정 장치 「SZ-100」을 사용해서 미세한 입자지름의 측을 기점(0%)으로 해서 산출할 수 있다. 또한, 최대 입자지름은 발광 신뢰성을 향상시키는 데에 있어서, 400nm 이하가 바람직하고, 300nm 이하가 보다 바람직하다.As a method of preparing a negative photosensitive composition (a) containing a pigment, a pigment dispersion is prepared by wet dispersion treatment, and then a compound having two or more ethylenically unsaturated double bond groups in the molecule, a photopolymerization initiator, and, if necessary, a solvent. After mixing other components, such as adding them to the pigment dispersion, they are mixed, stirred, and, if necessary, filtered using a filtration filter. For wet dispersion treatment, it is preferable to use a wet media disperser such as a bead mill because it has excellent dispersion speed and strong disintegration power, making it economically advantageous. The cumulative 50% particle diameter of the pigment in the pigment dispersion and in the negative photosensitive composition (a) prepared using it is preferably 20 nm or more, and more preferably 40 nm or more, respectively, in order to improve luminescence reliability. From the same point of view, 100 nm or less is preferable, and 80 nm or less is more preferable. The cumulative 50% particle diameter is the particle diameter corresponding to the cumulative 50% of the cumulative distribution curve of the particle diameter based on the light scattering intensity for the light source (semiconductor excited solid-state laser with a wavelength of 532 nm/10 mW). The cumulative 50% particle diameter can be calculated using the particle size distribution measuring device "SZ-100" of the dynamic light scattering method, using the fine particle diameter side as the starting point (0%). In addition, the maximum particle diameter is preferably 400 nm or less, and more preferably 300 nm or less in order to improve light emission reliability.

한편, 염료를 함유하는 네거티브 감광성 조성물(a)을 조제하는 방법으로서는, 전술한 습식 분산 처리의 공정은 필요하지 않고, 염료를 수지 중 또는 수지 용액 중에 첨가해서 용해시키는 공정을 행하는 것 이외에는, 안료를 함유시키는 경우와 마찬가지의 방법으로 조제하면 좋다.On the other hand, as a method of preparing the negative photosensitive composition (a) containing a dye, the wet dispersion treatment step described above is not necessary, and other than performing a step of adding and dissolving the dye in a resin or a resin solution, the pigment is It can be prepared in the same way as when containing it.

포지티브형 감광성 조성물(b)을 조제하는 방법으로서는, 수지와 광산 발생제와, 필요에 따라서 용제 등 기타 성분을 혼합, 교반하고, 필요에 따라서 여과 필터를 사용해서 여과를 행하는 방법을 들 수 있다.Methods for preparing the positive photosensitive composition (b) include mixing and stirring the resin, the photoacid generator, and, if necessary, other components such as a solvent, and performing filtration using a filtration filter as needed.

실시예Example

이하에 본 발명을, 그 실시예 및 비교예를 들어서 상세하게 설명하지만, 본 발명의 형태는 이들에 한정되는 것은 아니다.The present invention will be described in detail below by giving examples and comparative examples, but the form of the present invention is not limited to these.

우선, 각 실시예 및 비교예에 있어서의 평가 방법에 대해서 설명한다.First, the evaluation method in each Example and Comparative Example will be explained.

<층(A) 형성 시의 네거티브형 감광성 조성물의 최적 노광량(A)의 측정><Measurement of the optimal exposure amount (A) of the negative photosensitive composition when forming layer (A)>

후술하는 실시예 1에 기재된 방법과 동일한 방법으로, 은 합금막/저결정성 ITO의 적층 패턴으로 이루어지는 제 1 전극을 구비하는 제 1 전극 형성 기판을 제작했다.A first electrode formation substrate provided with a first electrode consisting of a lamination pattern of a silver alloy film/low crystallinity ITO was produced in the same manner as the method described in Example 1 described later.

네거티브형 감광성 조성물을, 스핀 코터를 사용해서 최종적으로 얻어지는 경화막이 소망의 막두께가 되도록 회전수를 조절하고, 제 1 전극 형성 기판의 ITO 표면에 도포하여, 도포막을 얻었다. 또한, 핫플레이트를 사용하고, 도포막을 대기압하 110℃에서 120초간 프리베이크하여, 프리베이크막을 얻었다. 근적외선 카메라로 네거티브형 스퀘어 패턴 노광 마스크의 위치 맞춤을 행하고, 양면 얼라인먼트 편면 노광 장치를 사용하여, 네거티브형 스퀘어 패턴 노광 마스크(세로폭: 7.0㎛, 가로폭: 7.0㎛의 정방형의 차광부가 1000개 배열)를 통해서, 노광량 10∼100mJ(mJ/㎠: i선 환산값)의 범위 내에서 5mJ마다 단계적으로 노광량을 변경하고, 초고압 수은등의 g, h, i 혼합선을 패턴 노광하여, 노광부와 미노광부를 면 내에 갖는 노광막을 얻었다. 또한, 패턴 노광은 네거티브형 스퀘어 패턴 노광 마스크를 프리베이크막의 표면에 접촉시켜서 행했다. 이어서, 포토리소그래피용 소형 현상 장치(AD-2000; 타키자와 산쿄(주)제)를 사용하고, 알칼리 현상액인 2.38중량% TMAH 수용액에 의해 패들 방식으로 현상했다. 여기서 말하는 패들 방식이란, 노광막의 표면에 현상액을 10초간 샤워 도포해서 알칼리 현상액을 프리베이크막의 표면에 얹은 후, 소정의 현상 시간에 도달할 때까지 기판째 정치시켜서 현상하는 방식의 것을 말한다. 또한, 현상 시간은 미노광부의 막이 막깊이 방향으로 용해 제거되는 시간에 1.5를 곱한 시간으로 했다. 또한, 탈이온수를 사용해서 30초간 샤워 방식으로 린스한 후에 200rpm으로 30초간의 조건으로 기판을 공회전해서 건조시켜, 패턴 형상의 현상막을 구비하는 현상막 형성 기판을 얻었다. 이어서, 고온 이너트 가스 오븐(INH-9CD-S; 코요 서모 시스템(주)제)을 사용하고, 현상막을 공기 분위기하 250℃에서 1시간 가열하여, 네거티브형 감광성 조성물의 경화물을 함유하는 경화막을 얻었다. FPD 검사 현미경(MX-61L; 올림푸스(주)제)을 사용해서 경화막을 관찰하고, 각 노광량의 영역에 있어서의 개구부 10개소의 개구폭의 평균값이, 노광 마스크의 차광부의 폭에 대한 바이어스가 ±0.1㎛(즉, 7.0±0.1㎛)의 범위 내가 되도록 개구했을 때의 최소 노광량(mJ/㎠: i선 환산값)을, 층(A)의 형성에 사용하는 네거티브형 감광성 조성물의 최적 노광량(A)으로 했다.The negative photosensitive composition was applied to the ITO surface of the first electrode forming substrate using a spin coater, adjusting the rotation speed so that the finally obtained cured film had the desired film thickness, to obtain a coating film. Additionally, using a hot plate, the coating film was prebaked at 110°C under atmospheric pressure for 120 seconds to obtain a prebaked film. The negative square pattern exposure mask is aligned using a near-infrared camera, and a double-sided alignment single-side exposure device is used to create a negative square pattern exposure mask (1,000 square light-shielding portions with a vertical width of 7.0 μm and a horizontal width of 7.0 μm are arranged). ), the exposure amount is changed step by step every 5 mJ within the range of 10 to 100 mJ (mJ/cm2: i line conversion value), and the g, h, and i mixed lines of the ultra-high pressure mercury lamp are pattern exposed, and the exposed area and mino An exposed film having a light portion in the plane was obtained. In addition, pattern exposure was performed by bringing a negative square pattern exposure mask into contact with the surface of the prebake film. Next, using a small developing device for photolithography (AD-2000; manufactured by Takizawa Sankyo Co., Ltd.), development was performed using a paddle method with a 2.38% by weight TMAH aqueous solution, which is an alkaline developer. The paddle method referred to here refers to a method in which a developer is shower applied to the surface of the exposure film for 10 seconds, the alkaline developer is placed on the surface of the prebake film, and then the entire substrate is left standing until a predetermined development time is reached and developed. In addition, the development time was set as the time for the film of the unexposed area to be dissolved and removed in the film depth direction multiplied by 1.5. Additionally, after rinsing in a shower using deionized water for 30 seconds, the substrate was dried by idling at 200 rpm for 30 seconds to obtain a developing film forming substrate having a pattern-shaped developing film. Next, using a high-temperature inert gas oven (INH-9CD-S; manufactured by Koyo Thermo System Co., Ltd.), the developing film is heated at 250°C for 1 hour in an air atmosphere to cure the cured product containing the negative photosensitive composition. got the curtain The cured film was observed using an FPD inspection microscope (MX-61L; manufactured by Olympus Co., Ltd.), and the average value of the aperture width of 10 openings in the area of each exposure dose was determined to be the bias with respect to the width of the light-shielding portion of the exposure mask. The minimum exposure amount (mJ/cm2: i-line conversion value) when the opening is within the range of ±0.1㎛ (i.e., 7.0±0.1㎛) is determined as the optimal exposure amount ( It was done as A).

<층(B) 형성 시의 포지티브형 감광성 조성물의 최적 노광량(B)의 측정><Measurement of the optimal exposure amount (B) of the positive photosensitive composition when forming layer (B)>

전술한 최적 노광량으로 얻어진 네거티브형 감광성 조성물의 경화물을 함유하는 경화막의 표면에, 포지티브형 감광성 조성물을, 스핀 코터를 사용해서 최종적으로 얻어지는 경화막이 소망의 막두께가 되도록 회전수를 조절해서 도포하여, 도포막을 얻었다. 또한, 핫플레이트를 사용하고, 도포막을 대기압하 110℃에서 120초간 프리베이크하여, 프리베이크막을 얻었다. 근적외선 카메라로 포지티브형 스퀘어 패턴 노광 마스크의 위치 맞춤을 행하고, 양면 얼라인먼트 편면 노광 장치를 사용해서 포지티브형 스퀘어 패턴 노광 마스크(세로폭: 7.0㎛, 가로폭: 7.0㎛의 정방형의 투과부가 1000개 배열)를 통하여, 노광량 50∼150mJ(mJ/㎠: i선 환산값)의 범위 내에서 5mJ마다 단계적으로 노광량을 변경하고, 초고압 수은등의 g, h, i 혼합선을 패턴 노광하여, 노광부와 미노광부를 면 내에 갖는 노광막을 얻었다. 또한, 패턴 노광은 포지티브형 스퀘어 패턴 노광 마스크를 프리베이크막의 표면에 접촉시켜서 행했다.The positive photosensitive composition is applied to the surface of the cured film containing the cured product of the negative photosensitive composition obtained at the above-described optimal exposure dose using a spin coater, adjusting the rotation speed so that the final cured film has the desired film thickness. , a coating film was obtained. Additionally, using a hot plate, the coating film was prebaked at 110°C under atmospheric pressure for 120 seconds to obtain a prebaked film. The position of the positive square pattern exposure mask is aligned with a near-infrared camera, and a positive square pattern exposure mask (1,000 square transparent parts with a vertical width of 7.0 ㎛ and a horizontal width of 7.0 ㎛ arranged) is used using a double-sided alignment single-side exposure device. Through this, the exposure amount is changed step by step every 5 mJ within the range of 50 to 150 mJ (mJ/cm2: i line conversion value), and the g, h, and i mixed lines of the ultra-high pressure mercury lamp are exposed in a pattern, exposing the exposed and unexposed areas. An exposed film having in-plane was obtained. In addition, pattern exposure was performed by bringing a positive square pattern exposure mask into contact with the surface of the prebake film.

이어서, 포토리소그래피용 소형 현상 장치를 사용하고, 2.38중량% TMAH 수용액에 의해 패들 방식으로 80초간 현상했다. 포지티브형 감광성 조성물의 프리베이크막의 막두께 및 현상막의 막두께는, 적층막의 막두께와, 네거티브형 감광성 조성물의 경화물을 함유하는 경화막의 막두께의 차분으로부터 각각 구했다. 또한, 탈이온수를 사용해서 30초간 샤워 방식으로 린스한 후에 200rpm으로 30초간의 조건으로 기판을 공회전해서 건조시켜, 패턴 형상의 현상막을 구비하는 현상막 형성 기판을 얻었다. 이어서, 고온 이너트 가스 오븐을 사용하고, 현상막을 공기 분위기하 250℃에서 1시간 가열해서 포지티브형 감광성 조성물의 경화물을 함유하는 경화막을 얻었다. FPD 검사 현미경을 사용해서 경화막을 관찰하고, 각 노광량의 영역에 있어서의 개구부 10개소의 개구폭의 평균값이, 노광 마스크의 투과부의 폭에 대한 바이어스가 ±0.1㎛(즉, 7.0±0.1㎛)의 범위 내가 되도록 개구했을 때의 최소 노광량(mJ/㎠: i선 환산값)을, 층(B)의 형성에 사용하는 포지티브형 감광성 조성물의 최적 노광량(B)으로 했다.Next, using a small developing device for photolithography, development was performed for 80 seconds using a paddle method with a 2.38% by weight TMAH aqueous solution. The film thickness of the prebaked film and the developing film of the positive photosensitive composition were each obtained from the difference between the film thickness of the laminated film and the film thickness of the cured film containing the cured product of the negative photosensitive composition. Additionally, after rinsing in a shower using deionized water for 30 seconds, the substrate was dried by idling at 200 rpm for 30 seconds to obtain a developing film forming substrate having a pattern-shaped developing film. Next, using a high-temperature inert gas oven, the developing film was heated at 250°C in an air atmosphere for 1 hour to obtain a cured film containing the cured product of the positive photosensitive composition. The cured film is observed using an FPD inspection microscope, and the average value of the opening widths of 10 openings in the area of each exposure dose has a bias of ±0.1 ㎛ (i.e., 7.0 ± 0.1 ㎛) with respect to the width of the transmission portion of the exposure mask. The minimum exposure amount (mJ/cm2: i-line conversion value) when the opening is within the range was set as the optimal exposure amount (B) of the positive photosensitive composition used to form the layer (B).

<층(A) 형성 시의 포지티브형 감광성 조성물의 최적 노광량(A), 층(B) 형성 시의 네거티브형 감광성 조성물의 최적 노광량(B)의 측정><Measurement of the optimal exposure dose (A) of the positive photosensitive composition when forming layer (A) and the optimal exposure dose (B) of the negative photosensitive composition when forming layer (B)>

포지티브형 감광성 조성물의 경화물을 함유하는 경화막의 표면에, 네거티브형 감광성 조성물의 경화물을 함유하는 경화막을 형성하는 경우에는, 전술한 패턴 형성의 순서를 반대로 하여, 층(A)의 형성에 사용하는 포지티브형 감광성 조성물의 최적 노광량(A)과, 층(B)의 형성에 사용하는 네거티브형 감광성 조성물의 최적 노광량(B)을 이 순서로 각각 측정했다.When forming a cured film containing a cured product of a negative photosensitive composition on the surface of a cured film containing a cured product of a positive photosensitive composition, the order of pattern formation described above is reversed and used to form the layer (A). The optimal exposure amount (A) of the positive photosensitive composition used to form the layer (B) and the optimal exposure amount (B) of the negative photosensitive composition used to form the layer (B) were respectively measured in this order.

<층(B) 형성 시의 네거티브형 감광성 조성물의 최적 노광량(B)의 측정><Measurement of the optimal exposure amount (B) of the negative photosensitive composition when forming the layer (B)>

네거티브형 감광성 조성물의 경화물을 함유하는 경화막의 표면에 네거티브형 감광성 조성물의 경화물을 함유하는 경화막을 형성하는 경우에는, 전술한 층(A)의 형성에 사용하는 네거티브형 감광성 조성물의 최적 노광량(A)에 추가해서, 층(B)의 형성에 사용하는 네거티브형 감광성 조성물의 최적 노광량(B)을 동일한 방법으로 측정했다.When forming a cured film containing a cured product of a negative photosensitive composition on the surface of a cured film containing a cured product of a negative photosensitive composition, the optimal exposure amount of the negative photosensitive composition used for forming the above-described layer (A) is ( In addition to A), the optimal exposure amount (B) of the negative photosensitive composition used for forming the layer (B) was measured in the same manner.

이상의 각종 구성에 있어서의, 네거티브형 또는 포지티브형의 스퀘어 패턴 노광 마스크를 사용한 최적 노광량의 측정에 있어서, 경화막의 개구부의 형상이 정방형으로 형성되지 않은 경우는 개구부의 단변을 개구폭으로 간주하고, 각 노광량의 영역에 있어서의 개구부 10개소의 개구폭의 평균값을 구하고, 최적 노광량(A) 및 최적 노광량(B)을 측정했다. 단, 애스펙트비가 1.1 이상인 개구부가 면 내에 포함되는 경화막은 측정 대상으로부터 제외하는 것으로 했다. 여기서 말하는 애스펙트비란, 개구부의 장변의 길이(㎛)를 단변의 길이(㎛)로 나눈 값의 소수점 둘째 자리를 사사오입한 값을 말한다. 또한, 경화막의 막두께는, 층(A) 및 층(B)에 상당하는 막의 단면을 SEM으로 관측하고, 그 촬상을 기초로, 각각 측장해서 구했다.In measuring the optimal exposure amount using a negative or positive square pattern exposure mask in the various configurations above, if the shape of the opening of the cured film is not square, the short side of the opening is regarded as the opening width, and each The average value of the aperture widths of 10 openings in the exposure dose area was determined, and the optimal exposure dose (A) and optimal exposure dose (B) were measured. However, the cured film in which an opening with an aspect ratio of 1.1 or more is included in the surface was excluded from the measurement object. The aspect ratio referred to here refers to the value obtained by dividing the length of the long side of the opening (㎛) by the length of the short side (㎛), rounded off to two decimal places. In addition, the film thickness of the cured film was determined by observing the cross sections of the films corresponding to the layer (A) and layer (B) with an SEM and measuring them based on the imaging.

또한, 네거티브형 또는 포지티브형의 홀 패턴 노광 마스크를 사용한 최적 노광량의 측정은, 전술한 네거티브형 또는 포지티브형 스퀘어 패턴 노광 마스크를 사용한 최적 노광량을 측정할 때와 동일한 방법으로 행하고, 경화막의 개구부의 형상이 진원 형상으로 형성된 경우는 그 직경을, 타원 형상으로 형성된 경우에는 그 단축을 개구폭으로 간주하고, 각 노광량의 영역에서 있어서의 개구부 10개소의 개구폭의 평균값을 구하고, 최적 노광량(A) 및 최적 노광량(B)을 측정했다. 단, 애스펙트비가 1.1 이상인 개구부가 면 내에 포함되는 경화막은 측정 대상으로부터 제외하는 것으로 했다. 여기서 말하는 애스펙트비란, 개구부의 장축의 길이(㎛)를 단축의 길이(㎛)로 나눈 값의 소수점 둘째 자리를 사사오입한 값을 말한다.In addition, the measurement of the optimal exposure amount using a negative or positive hole pattern exposure mask is performed in the same manner as the measurement of the optimal exposure amount using the negative or positive square pattern exposure mask described above, and the shape of the opening of the cured film is determined. If it is formed in a circular shape, its diameter is regarded as the aperture width, and if it is formed in an oval shape, its minor axis is regarded as the aperture width. The average value of the aperture widths of 10 openings in the area of each exposure amount is calculated, and the optimal exposure amount (A) and The optimal exposure dose (B) was measured. However, the cured film in which an opening with an aspect ratio of 1.1 or more is included in the surface was excluded from the measurement object. The aspect ratio referred to here refers to the value obtained by dividing the length of the major axis of the opening (㎛) by the length of the minor axis (㎛), rounded off to two decimal places.

(1) 경화막의 광학 농도(OD/㎛)의 평가(1) Evaluation of the optical density (OD/㎛) of the cured film

실시예 1∼11에서 얻어진, 막두께 1.5㎛의 경화막을 형성한 광학 농도 평가용 기판에 대해서, 광학 농도계(X-Rite사제; X-Rite 361T)를 사용해서 막면측으로부터 면 내 3개소에 있어서 전체 광학 농도(Total OD값)를 측정해서 평균값을 산출했다. 평균값을 1.5로 나눈 값의 소수점 둘째 자리를 사사오입한 값을 경화막의 막두께 1.0㎛당의 OD값(OD/㎛)으로 했다. OD/㎛가 높을수록 차광성이 우수한 경화막이라는 기준으로 평가를 행했다. 경화막을 형성하고 있지 않은 템팍스의 OD값을 별도 측정한 결과, 0.00이었기 때문에, 광학 농도 평가용 기판의 OD값을, 경화막의 OD값으로 간주했다. 경화막의 막두께는, 촉침식 막두께 측정 장치(토쿄 세이미츠(주); 서프콤)를 사용해서 면 내 3개소에 있어서 측정한 평균값의 소수점 둘째 자리를 사사오입한 값을 구했다. 또한, 해상도의 부족에 의해 전술한 최적 노광량을 측정할 수 없던 경우는 평가 불능으로 했다.For the optical density evaluation substrates obtained in Examples 1 to 11, on which a cured film with a film thickness of 1.5 μm was formed, an optical density meter (X-Rite manufactured by X-Rite; The total optical density (Total OD value) was measured and the average value was calculated. The value obtained by dividing the average value by 1.5 and rounding off the two decimal places was taken as the OD value per 1.0 μm of the film thickness of the cured film (OD/μm). Evaluation was performed based on the standard that the higher the OD/μm, the better the light-shielding properties of the cured film. As a result of separately measuring the OD value of Tempax on which no cured film was formed, it was 0.00, so the OD value of the substrate for optical density evaluation was regarded as the OD value of the cured film. The film thickness of the cured film was obtained by rounding off the two decimal places of the average value measured at three locations within the surface using a stylus-type film thickness measuring device (Tokyo Seimitsu Co., Ltd.; Surfcom). In addition, in cases where the above-mentioned optimal exposure amount could not be measured due to insufficient resolution, evaluation was not possible.

(2) 유기 EL 표시 장치의 표시부의 해상도 평가(2) Evaluation of resolution of display part of organic EL display device

실시예 1∼15, 비교예 1∼2 및 비교예 4∼14에서 얻어진 유기 EL 표시 장치를, 발광면을 위로 하고, 10mA/㎠의 직류 구동에 의해 발광시킨 채 실온하에서 정치하고, 발광 화소부에 있어서의 중앙부에 위치하는 발광 화소부를, 모니터 상에 확대 표시시켜서 측장했다. 발광 화소부 20개소의 단경(진원인 경우는 직경, 타원 형상인 경우는 단축)의 평균값이 20.0㎛ 미만인 경우, 유기 EL 표시 장치의 표시부의 해상도가 우수하여, 합격으로 했다. 한편, 20.0㎛ 이상인 경우, 유기 EL 표시 장치의 표시부의 해상도가 부족하여, 불합격으로 했다. 또한, 비점등 화소가 1개소 이상 보인 경우에는 해상도에 의하지 않고, 불합격으로 했다.The organic EL display devices obtained in Examples 1 to 15, Comparative Examples 1 to 2, and Comparative Examples 4 to 14 were left standing at room temperature with the light emitting surface facing up and emitting light by direct current driving at 10 mA/cm2, and the light emitting pixel portion was left to stand at room temperature. The light-emitting pixel portion located in the center was enlarged and displayed on the monitor and measured. When the average value of the minor diameter (diameter in the case of a perfect circle, short axis in the case of an elliptical shape) of 20 light-emitting pixel portions was less than 20.0 μm, the resolution of the display portion of the organic EL display device was excellent and was passed. On the other hand, in the case of 20.0 μm or more, the resolution of the display portion of the organic EL display device was insufficient and it was disqualified. In addition, when one or more non-lighting pixels were visible, the test was disqualified regardless of resolution.

(3) 유기 EL 표시 장치의 발광 신뢰성 평가(고온 연속 구동 시험)(3) Evaluation of luminescence reliability of organic EL display devices (high temperature continuous operation test)

실시예 1∼12, 비교예 1∼2 및 비교예 4∼11에서 얻어진 유기 EL 표시 장치를, 발광면을 위로 하고 85℃의 온도로 유지한 핫플레이트 상에, 10mA/㎠의 직류 구동에 의해 발광시킨 채 정치했다. 발광 화소부에 있어서의 중앙부에 위치하는 발광 화소부 20개소를, 모니터 상에 확대 표시시켜서 관찰하고, 발광 화소부의 면적에 대한 발광 부위의 면적률(화소 발광 면적률)을, 구동 개시 1시간 후 및 200시간 후에 측정했다.The organic EL display devices obtained in Examples 1 to 12, Comparative Examples 1 to 2, and Comparative Examples 4 to 11 were placed with the emitting surface facing upward on a hot plate maintained at a temperature of 85°C by direct current driving at 10 mA/cm2. Politics was carried out with enthusiasm. The 20 light-emitting pixel parts located in the central part of the light-emitting pixel part are observed by enlarging them on the monitor, and the area ratio of the light-emitting part to the area of the light-emitting pixel part (pixel emission area ratio) is measured 1 hour after the start of operation. and measured after 200 hours.

화소 쉬링크(비발광 부위)가 발생하기 어렵고, 1시간 후의 화소 발광 면적률을 기준으로 해서, 200시간 후의 화소 발광 면적률을 높게 유지할 수 있을수록 발광 신뢰성이 우수하다고 했다. 발광 화소부를 관찰했을 때의 층(A), 발광 부위 및 비발광 부위의 일례를 도 10에 나타낸다.It is said that pixel shrinkage (non-light-emitting area) is less likely to occur, and based on the pixel light-emitting area rate after 1 hour, the higher the pixel light-emitting area rate after 200 hours can be maintained, the better the light emission reliability is. An example of the layer (A), the light-emitting portion, and the non-light-emitting portion when observing the light-emitting pixel portion is shown in Figure 10.

이하의 판정 기준에 의거해서 평가하고, AA 및 A∼C를 합격, D∼F를 불합격으로 했다. 또한, 전술한 최적 노광량의 측정에 있어서 소망의 개구폭을 갖는 개구부를 형성할 수 없던 경우는 정당한 평가가 곤란하기 때문에, 그 평가를 F로 했다.Evaluation was made based on the following criteria, with AA and A to C being passed and D to F being rejected. In addition, in the case where an opening having the desired opening width could not be formed in the measurement of the above-described optimal exposure amount, a fair evaluation was difficult, so the evaluation was set as F.

AA: 화소 발광 면적률이 95% 이상이다.AA: The pixel emission area ratio is 95% or more.

A: 화소 발광 면적률이 90% 이상 95% 미만이다.A: The pixel emission area ratio is 90% or more and less than 95%.

B: 화소 발광 면적률이 85% 이상 90% 미만이다.B: The pixel emission area ratio is 85% or more and less than 90%.

C: 화소 발광 면적률이 80% 이상 85% 미만이다.C: The pixel emission area ratio is 80% or more and less than 85%.

D: 화소 발광 면적률이 75% 이상 80% 미만이다.D: The pixel emission area ratio is 75% or more and less than 80%.

E: 화소 발광 면적률이 75% 미만이다.E: The pixel emission area ratio is less than 75%.

F: 해상도의 부족에 의해 화소 발광 면적률의 평가가 곤란하다.F: It is difficult to evaluate the pixel emission area ratio due to lack of resolution.

(4) 유기 EL 표시 장치의 발광 신뢰성 평가(내광성 시험)(4) Evaluation of luminescence reliability of organic EL display devices (light fastness test)

실시예 13∼15, 비교예 12∼14에서 얻어진 유기 EL 표시 장치를, 발광면을 위로 하고, 10mA/㎠의 직류 구동에 의해 실온하에서 발광시켰다. 유기 EL 표시 장치의 표시부를 발광시킨 상태를 유지하고, 근자외선이 포함되는 유사 태양광으로서 크세논 램프를 광원으로 하는, 파장 420nm에 있어서의 조도 3.0W/㎠의 광을 끊임없이 계속 조사했다. 발광 화소부에 있어서의 중앙부에 위치하는 발광 화소부 20개소를, 모니터 상에 확대 표시시켜서 관찰하고, 발광 화소부의 면적에 대한 발광 부위의 면적률(화소 발광 면적률)을, 구동 개시 1시간 후 및 200시간 후에 측정했다. 화소 쉬링크(비발광 부위)가 발생하기 어렵고, 1시간 후의 화소 발광 면적률을 기준으로 해서, 200시간 후의 화소 발광 면적률을 높게 유지할 수 있을수록 발광 신뢰성이 우수하다고 했다. 이하의 판정 기준에 의거해서 평가하고, AA 및 A∼C를 합격, D∼F를 불합격으로 했다. 또한, 전술한 최적 노광량의 측정에 있어서 소망의 개구폭을 갖는 개구부를 형성할 수 없던 경우는 정당한 평가가 곤란하기 때문에, 그 평가를 F로 했다.The organic EL display devices obtained in Examples 13 to 15 and Comparative Examples 12 to 14 were made to emit light at room temperature by direct current driving at 10 mA/cm2 with the light emitting surface facing upward. The display portion of the organic EL display device was kept in a state of emitting light, and light with an illuminance of 3.0 W/cm2 at a wavelength of 420 nm, using a xenon lamp as a light source, was continuously irradiated as pseudo-sunlight containing near-ultraviolet rays. The 20 light-emitting pixel parts located in the central part of the light-emitting pixel part are observed by enlarging them on the monitor, and the area ratio of the light-emitting part to the area of the light-emitting pixel part (pixel emission area ratio) is measured 1 hour after the start of operation. and measured after 200 hours. It is said that pixel shrinkage (non-light-emitting area) is less likely to occur, and based on the pixel light-emitting area rate after 1 hour, the higher the pixel light-emitting area rate after 200 hours can be maintained, the better the light emission reliability is. Evaluation was made based on the following criteria, with AA and A to C being passed and D to F being rejected. In addition, in the case where an opening having the desired opening width could not be formed in the measurement of the above-described optimal exposure amount, a fair evaluation was difficult, so the evaluation was set as F.

AA: 화소 발광 면적률이 95% 이상이다.AA: The pixel emission area ratio is 95% or more.

A: 화소 발광 면적률이 90% 이상 95% 미만이다.A: The pixel emission area ratio is 90% or more and less than 95%.

B: 화소 발광 면적률이 85% 이상 90% 미만이다.B: The pixel emission area ratio is 85% or more and less than 90%.

C: 화소 발광 면적률이 80% 이상 85% 미만이다.C: The pixel emission area ratio is 80% or more and less than 85%.

D: 화소 발광 면적률이 75% 이상 80% 미만이다.D: The pixel emission area ratio is 75% or more and less than 80%.

E: 화소 발광 면적률이 75% 미만이다.E: The pixel emission area ratio is less than 75%.

F: 해상도의 부족에 의해 화소 발광 면적률의 평가가 곤란하다.F: It is difficult to evaluate the pixel emission area ratio due to lack of resolution.

이하에, 실시예 및 비교예에서 사용한 각종 원료에 대한 정보를 나타낸다. 「벤조디푸라논계 흑색 안료 A」: 핵인 100중량부의 식(3)으로 나타내어지는 벤조디푸라논계 흑색 안료와, 피복재인 10중량부의 실리카로 이루어지는 흑색 안료. 특허문헌 1(국제공개 제2021/111860호)의 합성예 3에 기재된, 실리카로 이루어지는 피복층을 표면에 갖는 벤조디푸라논계 흑색 안료 2에 상당한다. BET법에 의한 비표면적 40㎡/g.Below, information on various raw materials used in examples and comparative examples is shown. “Benzodifuranone-based black pigment A”: A black pigment consisting of 100 parts by weight of the benzodifuranone-based black pigment represented by formula (3) as the core and 10 parts by weight of silica as the coating material. It corresponds to the benzodifuranone-based black pigment 2 having a coating layer made of silica on the surface described in Synthesis Example 3 of Patent Document 1 (International Publication No. 2021/111860). Specific surface area 40㎡/g by BET method.

「C. I. 피그먼트 레드 179」: 시판품으로서, "PALIOGEN"(등록상표) RED L3875(BASF사제)를 사용했다.「C. I. Pigment Red 179”: As a commercial product, “PALIOGEN” (registered trademark) RED L3875 (manufactured by BASF) was used.

「C. I. 피그먼트 바이올렛 29」: 시판품으로서, "PALIOGEN"(등록상표) REDVIOLET K5411(BASF사제)을 사용했다.「C. I. Pigment Violet 29”: As a commercial product, “PALIOGEN” (registered trademark) REDVIOLET K5411 (manufactured by BASF) was used.

「안료 분산제 1」: 식(20)으로 나타내어지는 화합물. 알칼리 가용성 폴리아민(고형분 100중량%). 특허문헌 1(국제공개 제2021/111860호)에 기재된 분산제 5에 상당한다.“Pigment dispersant 1”: Compound represented by formula (20). Alkali soluble polyamine (100% by weight solids). It corresponds to dispersant 5 described in Patent Document 1 (International Publication No. 2021/111860).

「TR4020G」: 에틸렌성 불포화 이중 결합기를 갖지 않는 알칼리 가용성 페놀 수지인 노볼락형 페놀 수지. 고형분 100중량%(아사히 유키자이제).“TR4020G”: A novolak-type phenolic resin that is an alkali-soluble phenolic resin without an ethylenically unsaturated double bond group. Solid content: 100% by weight (made by Asahi Yukizai).

「ZCR-1569H」:비페닐 골격을 갖는 알칼리 가용성 에폭시아크릴레이트의 PGMEA 용액. 고형분 70중량%(닛폰 카야쿠(주)제). 에틸렌성 불포화 이중 결합기를 분자 내에 2개 이상 갖는 화합물.“ZCR-1569H”: PGMEA solution of alkali-soluble epoxy acrylate having a biphenyl skeleton. Solid content: 70% by weight (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.). A compound having two or more ethylenically unsaturated double bond groups in the molecule.

「DPCA-20」: "KAYARAD"(등록상표) DPCA-20(닛폰 카야쿠(주)제). 에틸렌성 불포화 이중 결합기를 분자 내에 6개 갖는 화합물. 고형분 100중량%.“DPCA-20”: “KAYARAD” (registered trademark) DPCA-20 (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.). A compound that has six ethylenically unsaturated double bond groups in the molecule. Solid content 100% by weight.

「DPCA-60」: "KAYARAD"(등록상표) DPCA-60(닛폰 카야쿠(주)제). 에틸렌성 불포화 이중 결합기를 분자 내에 6개 갖는 화합물. 고형분 100중량%.“DPCA-60”: “KAYARAD” (registered trademark) DPCA-60 (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.). A compound that has six ethylenically unsaturated double bond groups in the molecule. Solid content 100% by weight.

「EA-0250P」: "OGSOL"(등록상표) EA-0250P(오사카 가스 케미컬(주)제). 에틸렌성 불포화 이중 결합기를 분자 내에 2개 갖는 화합물. 고형분 50중량% PGMEA 용액.“EA-0250P”: “OGSOL” (registered trademark) EA-0250P (manufactured by Osaka Gas Chemical Co., Ltd.). A compound having two ethylenically unsaturated double bond groups in the molecule. 50 wt% solids PGMEA solution.

「BP-4EAL」: "라이트아크릴레이트"(등록상표) BP-4EAL(쿄에이샤 카가쿠(주)제). 에틸렌성 불포화 이중 결합기를 분자 내에 2개 갖는 화합물. 고형분 100중량%.“BP-4EAL”: “Light Acrylate” (registered trademark) BP-4EAL (manufactured by Kyoeisha Kagaku Co., Ltd.). A compound having two ethylenically unsaturated double bond groups in the molecule. Solid content 100% by weight.

「광중합 개시제 1」: 식(21)으로 나타내어지는 화합물. 특허문헌 1(국제공개 제2021/111860호)에 기재된 구조식(31)으로 나타내어지는 화합물과 동일한 화합물이다.“Photopolymerization initiator 1”: Compound represented by formula (21). It is the same compound as the compound represented by structural formula (31) described in Patent Document 1 (International Publication No. 2021/111860).

「MEK-ST-40」: 1차 입자지름의 분포가 10∼15nm이며, 애스펙트비가 1.0∼1.1인 실리카 입자를 함유하고, 평균 1차 입자지름이 12nm인 실리카 입자 분산액(닛산 카가쿠 코교(주)제). 실리카 입자의 함유량은 40중량%이며, 고형분은 40중량%이며, 용제종은 메틸에틸케톤이다.“MEK-ST-40”: Silica particle dispersion liquid containing silica particles with a primary particle diameter distribution of 10 to 15 nm and an aspect ratio of 1.0 to 1.1, and an average primary particle diameter of 12 nm (Nissan Chemical Co., Ltd. )my). The content of silica particles is 40% by weight, the solid content is 40% by weight, and the solvent species is methyl ethyl ketone.

「HMOM-TPHAP」: 식(17)으로 나타내어지는 화합물(혼슈 카가쿠 코교(주)제)“HMOM-TPHAP”: Compound represented by formula (17) (manufactured by Honshu Kagaku Kogyo Co., Ltd.)

(합성예 1: 히드록실기 함유 디아민 화합물 A의 합성)(Synthesis Example 1: Synthesis of hydroxyl group-containing diamine compound A)

18.3g(0.05mol)의 2,2-비스(3-아미노-4-히드록시페닐)헥사플루오로프로판을, 100mL의 아세톤, 17.4g(0.3mol)의 프로필렌옥사이드에 용해시키고, -15℃로 냉각했다. 여기에 0.11mol(20.4g)의 3-니트로벤조일클로라이드를, 100mL의 아세톤에 용해시킨 용액을 적하했다. 적하 종료 후, -15℃에서 4시간 반응시키고, 그 후 실온으로 되돌렸다. 석출된 백색 고체를 여과 선별하고, 50℃에서 진공 건조했다. 고체 30g을 300mL의 스테인리스 오토클레이브에 넣고, 메틸셀로솔브 250mL에 분산시키고, 5% 팔라듐-탄소를 2g 첨가했다. 여기에 수소를 풍선으로 도입하고, 환원 반응을 실온에서 행했다. 약 2시간 후, 풍선이 더 이상 오그라들지 않는 것을 확인하고 반응을 종료시켰다. 반응 종료 후, 여과해서 촉매인 팔라듐 화합물을 제거하고, 로터리 이배퍼레이터로 농축하여, 식(22)으로 나타내어지는 히드록실기 함유 디아민 화합물 A를 얻었다.18.3 g (0.05 mol) of 2,2-bis (3-amino-4-hydroxyphenyl) hexafluoropropane was dissolved in 100 mL of acetone and 17.4 g (0.3 mol) of propylene oxide, and incubated at -15°C. Cooled. A solution of 0.11 mol (20.4 g) of 3-nitrobenzoyl chloride dissolved in 100 mL of acetone was added dropwise here. After the dropwise addition was completed, the reaction was performed at -15°C for 4 hours and then returned to room temperature. The precipitated white solid was filtered and dried under vacuum at 50°C. 30 g of solid was placed in a 300 mL stainless steel autoclave, dispersed in 250 mL of methyl cellosolve, and 2 g of 5% palladium-carbon was added. Hydrogen was introduced using a balloon, and the reduction reaction was performed at room temperature. After about 2 hours, it was confirmed that the balloon was no longer deflated and the reaction was terminated. After completion of the reaction, it was filtered to remove the palladium compound as a catalyst, and concentrated with a rotary evaporator to obtain hydroxyl group-containing diamine compound A represented by formula (22).

(합성예 2: 알칼리 가용성 폴리이미드 전구체 A의 합성)(Synthesis Example 2: Synthesis of alkali-soluble polyimide precursor A)

건조 질소 기류하, 31.0g(0.10mol)의 3,3',4,4'-디페닐에테르테트라카르복실산 2무수물을, 용제인 500g의 N-메틸피롤리돈(이하, 「NMP」로 약기한다.)에 용해시켰다. 여기에 합성예 1에서 얻어진 45.35g(0.075mol)의 히드록실기 함유 디아민 화합물 A와, 1.24g(0.005mol)의 1,3-비스(3-아미노프로필)테트라메틸디실록산을, 50g의 NMP와 함께 첨가하고, 20℃에서 1시간 반응시키고, 이어서 50℃에서 2시간 반응시켰다. 말단 밀봉제로서, 4.36g(0.04mol)의 4-아미노페놀을, 5g의 NMP와 함께 첨가하고, 50℃에서 2시간 반응시켰다. 그 후, 28.6g(0.24mol)의 N,N-디메틸포름아미드디메틸아세탈을 50g 투입했다. 투입 후, 50℃에서 3시간 교반했다. 교반 종료 후, 용액을 실온까지 냉각한 후, 용액을 3L의 물에 투입해서 백색 침전을 얻었다. 이상의 조작을 5회 반복해서 얻어진 백색 침전을 여물(濾物)로서 모으고, 물로 5회 세정한 후, 80℃의 진공 건조기로 24시간 건조시켜, 알칼리 가용성 폴리이미드 전구체 A를 얻었다. 알칼리 가용성 폴리이미드 전구체 A는 고형분 100중량%의 분말상이며, 중량 평균 분자량(Mw)은 25,000이며, 식(11)으로 나타내어지는 구조 단위를 갖는 수지이다.Under a dry nitrogen stream, 31.0 g (0.10 mol) of 3,3',4,4'-diphenyl ether tetracarboxylic dianhydride was mixed with 500 g of N-methylpyrrolidone (hereinafter referred to as "NMP") as a solvent. Abbreviated.) was dissolved in. Here, 45.35 g (0.075 mol) of hydroxyl group-containing diamine compound A obtained in Synthesis Example 1 and 1.24 g (0.005 mol) of 1,3-bis (3-aminopropyl) tetramethyldisiloxane were added to 50 g of NMP. was added together with and reacted at 20°C for 1 hour, followed by reaction at 50°C for 2 hours. As an end capping agent, 4.36 g (0.04 mol) of 4-aminophenol was added along with 5 g of NMP, and reacted at 50°C for 2 hours. After that, 50 g of 28.6 g (0.24 mol) of N,N-dimethylformamide dimethyl acetal was added. After addition, it was stirred at 50°C for 3 hours. After the stirring was completed, the solution was cooled to room temperature, and then the solution was added to 3 L of water to obtain a white precipitate. The white precipitate obtained by repeating the above operation 5 times was collected as a residue, washed with water 5 times, and dried in a vacuum dryer at 80°C for 24 hours to obtain alkali-soluble polyimide precursor A. Alkali-soluble polyimide precursor A is a powder with a solid content of 100% by weight, has a weight average molecular weight (Mw) of 25,000, and is a resin having a structural unit represented by formula (11).

(합성예 3: 알칼리 가용성 폴리이미드 B의 합성)(Synthesis Example 3: Synthesis of alkali-soluble polyimide B)

건조 질소 기류하, 58.60g(0.16mol)의 2,2-비스(3-아미노-4-히드록시페닐)헥사플루오로프로판, 말단 밀봉제로서 8.73g(0.08mol)의 3-아미노페놀을, 300.00g의 NMP에 용해했다. 여기에, 62.04g(0.20mol)의 3,3',4,4'-디페닐에테르테트라카르복실산 2무수물을, 100.00g의 NMP와 함께 첨가하고, 20℃에서 1시간 교반하고, 이어서 50℃에서 4시간 교반했다. 그 후, 크실렌을 15g 첨가하고, 물을 크실렌과 함께 공비하면서, 150℃에서 5시간 교반했다. 교반 종료 후, 용액을 물 5L에 투입하고 백색 침전을 모았다. 이 침전을 여과로 모으고, 물로 3회 세정한 후, 80℃의 진공 건조기로 24시간 건조시켜, 알칼리 가용성 폴리이미드 B를 얻었다. 알칼리 가용성 폴리이미드 B는, 고형분 100중량%의 분말상이며, 중량 평균 분자량(Mw)은 28,000이며, 식(10)으로 나타내어지는 구조 단위를 갖는 수지이다.Under a dry nitrogen stream, 58.60 g (0.16 mol) of 2,2-bis (3-amino-4-hydroxyphenyl) hexafluoropropane, 8.73 g (0.08 mol) of 3-aminophenol as an end cap, Dissolved in 300.00 g of NMP. Here, 62.04 g (0.20 mol) of 3,3',4,4'-diphenylethertetracarboxylic dianhydride was added along with 100.00 g of NMP, stirred at 20°C for 1 hour, and then stirred at 50°C. It was stirred at ℃ for 4 hours. After that, 15 g of xylene was added, and the mixture was stirred at 150°C for 5 hours while azeotropically mixing water with xylene. After stirring was completed, the solution was added to 5L of water and the white precipitate was collected. This precipitate was collected by filtration, washed three times with water, and then dried in a vacuum dryer at 80°C for 24 hours to obtain alkali-soluble polyimide B. Alkali-soluble polyimide B is a resin with a solid content of 100% by weight in powder form, a weight average molecular weight (Mw) of 28,000, and a structural unit represented by formula (10).

(합성예 4: 퀴논디아지드 화합물 C의 합성)(Synthesis Example 4: Synthesis of quinonediazide compound C)

건조 질소 기류하, 21.22g(0.05mol)의 TrisP-PA(혼슈 카가쿠 코교(주)제)와, 36.27g(0.135mol)의 5-나프토퀴논디아지드술포닐산클로라이드를, 450g의 1,4-디옥산에 용해시키고, 실온으로 했다. 여기에, 15.18g의 트리에틸아민을, 50.00g의 1,4-디옥산에 용해시킨 액을, 계 내가 35℃ 이하가 되도록 적하했다. 적하 후 30℃에서 2시간 교반했다. 트리에틸아민염을 여과하고, 여과액을 물에 투입했다. 그 후 여과를 행하고, 석출된 침전물을 모았다. 이 침전물을 진공 건조기로 건조시켜, 식(23)으로 나타내어지는 퀴논디아지드 화합물 C를 얻었다.Under a dry nitrogen stream, 21.22 g (0.05 mol) of TrisP-PA (manufactured by Honshu Kagaku Kogyo Co., Ltd.), 36.27 g (0.135 mol) of 5-naphthoquinone diazidesulfonylic acid chloride, 450 g of 1, It was dissolved in 4-dioxane and brought to room temperature. Here, 15.18 g of triethylamine dissolved in 50.00 g of 1,4-dioxane was added dropwise so that the temperature inside the system was 35°C or lower. After dropping, it was stirred at 30°C for 2 hours. The triethylamine salt was filtered, and the filtrate was added to water. Afterwards, filtration was performed and the precipitated precipitate was collected. This precipitate was dried with a vacuum dryer to obtain quinonediazide compound C represented by formula (23).

식(23) 중, *는 산소 원자와의 결합 부위를 나타낸다.In formula (23), * represents a bonding site with an oxygen atom.

(합성예 5: 알칼리 가용성 메타크릴 수지 용액 D의 합성)(Synthesis Example 5: Synthesis of alkali-soluble methacrylic resin solution D)

65.07g의 2-히드록시에틸메타크릴레이트(0.50mol)와, 211.45g의 벤질메타크릴레이트(1.20mol)와, 25.83g의 메타크릴산(0.30mol)과, 열중합 개시제인 5.00g의 2,2'-아조비스(이소부티로니트릴)과, 200.00g의 PGMEA의 혼합 용액을 제조했다. 이것을, 건조 질소 기류하, 액온 90℃로 유지하여 교반 중인 261.02g의 PGMEA 중에 깔때기를 사용해서 1시간 걸쳐 적하했다. 그 후, 용액을 120℃로 승온해서 유지하고, 최종적으로 얻어지는 공중합체의 중량 평균 분자량(Mw)이 8000이 될 때까지 교반하면서 공중합해서 수지 용액을 얻었다. 이것을 25℃로 냉각한 후에 PGMEA를 사용해서 고형분 30중량%가 되도록 희석하여, 알칼리 가용성 메타크릴 수지 용액 D를 얻었다. 알칼리 가용성 메타크릴 수지 용액 D는, 2-히드록시에틸메타크릴레이트/벤질메타크릴레이트/메타크릴산=25/60/15의 mol% 비율로 이루어지는 공중합체를 함유하는 PGMEA 용액이다.65.07 g of 2-hydroxyethyl methacrylate (0.50 mol), 211.45 g of benzyl methacrylate (1.20 mol), 25.83 g of methacrylic acid (0.30 mol), and 5.00 g of 2 as a thermal polymerization initiator. A mixed solution of 2'-azobis(isobutyronitrile) and 200.00 g of PGMEA was prepared. This was added dropwise over 1 hour using a funnel into 261.02 g of PGMEA that was being stirred while maintaining the liquid temperature at 90°C under a dry nitrogen stream. Thereafter, the solution was heated and maintained at 120°C, and copolymerized with stirring until the weight average molecular weight (Mw) of the finally obtained copolymer reached 8000 to obtain a resin solution. After cooling this to 25°C, it was diluted to a solid content of 30% by weight using PGMEA to obtain alkali-soluble methacrylic resin solution D. Alkali-soluble methacrylic resin solution D is a PGMEA solution containing a copolymer in a mol% ratio of 2-hydroxyethyl methacrylate/benzyl methacrylate/methacrylic acid = 25/60/15.

(합성예 6: 알칼리 가용성 아크릴 수지 용액 E의 합성)(Synthesis Example 6: Synthesis of alkali-soluble acrylic resin solution E)

건조 질소 기류하, 액온 120℃로 유지하여 교반 중인 260.83g의 PGMEA 중에, 깔때기를 사용하여, 72.10g의 4-히드록시부틸아크릴레이트(0.50mol)와, 92.15g의 2-에틸헥실아크릴레이트(0.50mol)와, 1.47g의 아크릴산(0.02mol)과, 중합 개시제인 8.16g의 t-부틸퍼옥시-2-에틸헥사노에이트의 혼합물을 1시간 걸쳐 적하하고, 최종적으로 얻어지는 공중합체의 중량 평균 분자량이 10000이 될 때까지 120℃에서 교반하고, 공중합해서 수지 용액을 얻었다. 이것을 25℃로 냉각한 후에 PGMEA를 사용해서 고형분 30중량%로 희석하여, 알칼리 가용성 아크릴 수지 용액 E를 얻었다. 알칼리 가용성 아크릴 수지 용액 E는, 4-히드록시부틸아크릴레이트:2-에틸헥실아크릴레이트:아크릴산=49:49:2의 mol% 비율로 이루어지는 공중합체를 함유하는 PGMEA 용액이다.In 260.83 g of PGMEA being stirred and maintained at a liquid temperature of 120°C under a dry nitrogen stream, 72.10 g of 4-hydroxybutylacrylate (0.50 mol) and 92.15 g of 2-ethylhexyl acrylate ( 0.50 mol), 1.47 g of acrylic acid (0.02 mol), and 8.16 g of t-butylperoxy-2-ethylhexanoate as a polymerization initiator were added dropwise over 1 hour, and the weight average of the copolymer finally obtained was It was stirred at 120°C until the molecular weight reached 10000, and copolymerized to obtain a resin solution. After cooling this to 25°C, it was diluted to a solid content of 30% by weight using PGMEA to obtain alkali-soluble acrylic resin solution E. The alkali-soluble acrylic resin solution E is a PGMEA solution containing a copolymer in a mol% ratio of 4-hydroxybutylacrylate:2-ethylhexyl acrylate:acrylic acid = 49:49:2.

(합성예 7: 플루오렌아크릴레이트 용액 F의 합성)(Synthesis Example 7: Synthesis of fluorene acrylate solution F)

플라스크에, 용제인 400.00g의 메틸이소부틸케톤을 주입하고, 거기에 350.00g의 9,9-비스(6-글리시딜옥시-2-나프틸)플루오렌과, 112.10g의 아크릴산과, 중합 금지제인 1.50g의 메토퀴논과, 촉매인 0.30g의 테트라에틸암모늄브로마이드를 첨가하고, 액온을 120℃로 유지하여 10시간 교반해서 반응시킨 후에 가열을 정지하고 실온까지 냉각했다. 반응물을 분액 조작에 의해 수세하고, 또한 감압 건조함으로써 플루오렌아크릴레이트(식(24)으로 나타내어지는 화합물:식(25)으로 나타내어지는 화합물=mol% 비율 91:9)를 얻었다. 이어서, 고형분 30중량%가 되도록 PGMEA를 첨가해서 교반하여, 플루오렌아크릴레이트 용액 F를 얻었다.Into the flask, 400.00 g of methyl isobutyl ketone as a solvent was added, 350.00 g of 9,9-bis(6-glycidyloxy-2-naphthyl)fluorene, and 112.10 g of acrylic acid were polymerized. 1.50 g of methoquinone as an inhibitor and 0.30 g of tetraethylammonium bromide as a catalyst were added, and the liquid temperature was maintained at 120°C and stirred for 10 hours to react, then heating was stopped and cooled to room temperature. The reactant was washed with water through a liquid separation operation and dried under reduced pressure to obtain fluorene acrylate (compound represented by formula (24):compound represented by formula (25) = mol% ratio 91:9). Next, PGMEA was added and stirred so that the solid content would be 30% by weight, and fluorene acrylate solution F was obtained.

(합성예 8: 플루오렌아크릴레이트 용액 G의 합성)(Synthesis Example 8: Synthesis of fluorene acrylate solution G)

플라스크에, 200.00g의 PGMEA를 주입하고, 거기에 275.33g(0.50mol)의 식(26)으로 나타내어지는 플루오렌 화합물(오사카 가스 케미컬(주)제)과, 72.06g의 아크릴산(1.00mol)과, 0.50g의 메토퀴논과, 0.15g의 테트라에틸암모늄브로마이드를 첨가하고, 액온을 100℃로 유지하여 2시간 교반했다. 이어서 액온을 120℃로 승온하고, 10시간 교반해서 반응시켰다.Into the flask, 200.00 g of PGMEA was added, 275.33 g (0.50 mol) of a fluorene compound represented by formula (26) (manufactured by Osaka Gas Chemical Co., Ltd.), 72.06 g of acrylic acid (1.00 mol), and , 0.50 g of methoquinone and 0.15 g of tetraethylammonium bromide were added, and the liquid temperature was maintained at 100°C and stirred for 2 hours. Next, the liquid temperature was raised to 120°C and stirred for 10 hours to cause reaction.

또한, 국제공개 2011/099518호의 실시예 1에 의거해서 합성한, 96.10g(0.25mol)의 식(27)으로 나타내어지는 산 2무수물을 첨가해서 5시간 교반해서 반응시켰다. 30.43g(0.20mol)의 1,2,3,6-테트라히드로프탈산 무수물을 첨가해서 90℃에서 5시간 교반한 후에 가열을 정지하고, 실온까지 냉각했다.Additionally, 96.10 g (0.25 mol) of acid dianhydride represented by formula (27), synthesized based on Example 1 of International Publication No. 2011/099518, was added and stirred for 5 hours to react. 30.43 g (0.20 mol) of 1,2,3,6-tetrahydrophthalic anhydride was added and stirred at 90°C for 5 hours, then heating was stopped and cooled to room temperature.

이어서, 고형분 30중량%가 되도록 PGMEA를 첨가해서 교반하여, 식(28)으로 나타내어지는 구조 단위를 갖는 알칼리 가용성 에폭시아크릴레이트를 함유하는, 플루오렌아크릴레이트 용액 G를 얻었다.Next, PGMEA was added and stirred so that the solid content was 30% by weight, and fluorene acrylate solution G containing alkali-soluble epoxy acrylate having a structural unit represented by formula (28) was obtained.

식(28) 중 *는 결합 부위를 나타낸다.In formula (28), * represents the binding site.

(제조예 1: 안료 분산액 1의 제조)(Preparation Example 1: Preparation of pigment dispersion 1)

37.50g의 안료 분산제 1과, 53.57g의 ZCR-1569H(고형분 70.00중량%)를, 용제인 783.93g의 PGMEA에 혼합해서 10분간 교반한 후, 125.00g의 벤조디푸라논계 흑색 안료 A를 첨가해서 30분간 교반하여, 예비 교반액을 얻었다. 0.4mmφ의 지르코니아 비즈(토레이(주)제 "토레이세람"(등록상표))가 충전된 비즈 밀로 예비 교반액을 송액하고, 30분간 순환 방식으로 습식 미디어 분산 처리를 행했다. 또한, 0.05mmφ의 지르코니아 비즈(토레이(주)제 "토레이세람"(등록상표))가 충전된 비즈 밀로 송액하고, 안료의 입도 분포에 있어서의 누적 50% 입자지름이 99nm에 도달할 때까지 순환식으로 습식 미디어 분산 처리를 행하여, 고형분 20.00중량%의 안료 분산액 1을 얻었다. 각 원료의 배합 중량(g), 누적 50% 입자지름 및 최대 입자지름을 표 1에 나타낸다. 또한, 누적 50% 입자지름 및 최대 입자지름은 입도 분포 측정 장치 「SZ-100」((주)호리바 세이사쿠쇼제)에, 분산 시간마다 샘플링한 각 0.10g의 안료 분산액에, 99.90g의 PGMEA를 첨가해서 희석한 것을 측정 시료로서 세트하고, 누적 50% 입자지름을 자동 출력해서 습식 미디어 분산 처리의 종점을 정했다. 또한, 입도 분포상, 검지된 최대의 입자지름을 최대 입자지름으로 했다.37.50 g of pigment dispersant 1 and 53.57 g of ZCR-1569H (solid content 70.00% by weight) were mixed with 783.93 g of PGMEA as a solvent and stirred for 10 minutes, then 125.00 g of benzodifuranone-based black pigment A was added. It was stirred for 30 minutes to obtain a preliminary stirred solution. The pre-stirred liquid was fed through a bead mill filled with 0.4 mmϕ zirconia beads ("Toray Ceram" (registered trademark) manufactured by Toray Industries, Ltd.), and wet media dispersion treatment was performed in a circulation manner for 30 minutes. Additionally, the liquid is fed into a bead mill filled with 0.05 mmϕ zirconia beads (“Toray Ceram” (registered trademark) manufactured by Toray Co., Ltd.), and cycled until the cumulative 50% particle size in the particle size distribution of the pigment reaches 99 nm. Wet media dispersion treatment was performed in the following manner to obtain pigment dispersion 1 with a solid content of 20.00% by weight. Table 1 shows the blended weight (g), cumulative 50% particle diameter, and maximum particle diameter of each raw material. In addition, the cumulative 50% particle diameter and maximum particle diameter were obtained by measuring 99.90 g of PGMEA in each 0.10 g of pigment dispersion sampled at each dispersion time using a particle size distribution measuring device "SZ-100" (manufactured by Horiba Seisakusho Co., Ltd.). What was added and diluted was set as a measurement sample, and the cumulative 50% particle diameter was automatically output to determine the end point of the wet media dispersion treatment. In addition, in terms of particle size distribution, the largest particle diameter detected was taken as the maximum particle diameter.

[표 1][Table 1]

(제조예 2: 안료 분산액 2의 제조)(Preparation Example 2: Preparation of pigment dispersion 2)

안료의 입도 분포에 있어서의 누적 50% 입자지름이 60nm에 도달할 때까지 순환식으로 분산 시간을 연장해서 행한 것 이외에는 제조예 1과 동일한 방법으로 습식 미디어 분산 처리를 행하여, 고형분 20.00중량%의 안료 분산액 2를 얻었다. 각 원료의 배합 중량(g), 누적 50% 입자지름 및 최대 입자지름을 표 1에 나타낸다.Wet media dispersion treatment was performed in the same manner as in Production Example 1 except that the dispersion time was extended in a cyclic manner until the cumulative 50% particle diameter in the particle size distribution of the pigment reached 60 nm, and a pigment with a solid content of 20.00% by weight was obtained. Dispersion 2 was obtained. Table 1 shows the blended weight (g), cumulative 50% particle diameter, and maximum particle diameter of each raw material.

(제조예 3: 안료 분산액 3의 제조)(Preparation Example 3: Preparation of pigment dispersion 3)

벤조디푸라논계 흑색 안료 A 대신에, C. I. 피그먼트 레드 179를 사용하고, 또한 안료의 입도 분포에 있어서의 누적 50% 입자지름이 60nm에 도달할 때까지 순환식으로 분산 시간을 연장해서 행한 것 이외에는 제조예 1과 동일한 방법으로 습식 미디어 분산 처리를 행하여, 고형분 20.00중량%의 안료 분산액 3을 얻었다. 각 원료의 배합 중량(g), 누적 50% 입자지름 및 최대 입자지름을 표 1에 나타낸다.Instead of benzodifuranone-based black pigment A, C. I. Pigment Red 179 was used, and the dispersion time was extended in a cyclic manner until the cumulative 50% particle diameter in the pigment particle size distribution reached 60 nm. Wet media dispersion treatment was performed in the same manner as in Production Example 1, and pigment dispersion 3 with a solid content of 20.00% by weight was obtained. Table 1 shows the blended weight (g), cumulative 50% particle diameter, and maximum particle diameter of each raw material.

(제조예 4: 안료 분산액 4의 제조)(Preparation Example 4: Preparation of pigment dispersion 4)

벤조디푸라논계 흑색 안료 A 대신에, C. I. 피그먼트 바이올렛 29를 사용하고, 또한 안료의 입도 분포에 있어서의 누적 50% 입자지름이 60nm에 도달할 때까지 순환식으로 분산 시간을 연장해서 행한 것 이외에는 제조예 1과 동일한 방법으로 습식 미디어 분산 처리를 행하여, 고형분 20.00중량%의 안료 분산액 4를 얻었다. 각 원료의 배합 중량(g), 누적 50% 입자지름 및 최대 입자지름을 표 1에 나타낸다.Instead of the benzodifuranone-based black pigment A, C.I. Pigment Violet 29 was used, and the dispersion time was extended in a cyclic manner until the cumulative 50% particle diameter in the particle size distribution of the pigment reached 60 nm. Wet media dispersion treatment was performed in the same manner as in Production Example 1, and pigment dispersion 4 with a solid content of 20.00% by weight was obtained. Table 1 shows the blended weight (g), cumulative 50% particle diameter, and maximum particle diameter of each raw material.

(제조예 5: 안료 분산액 5의 제조)(Preparation Example 5: Preparation of pigment dispersion 5)

(a) 페릴렌계 암자색 안료 B의 제조(a) Preparation of perylene-based dark purple pigment B

1,000.00g의 "Spectrasense(등록상표)" Black K0087(BASF사제)을, 대기압하/공기하 250℃의 오븐에서 1시간 가열하고, 실온이 될 때까지 냉각한 후에 볼 밀로 건조 응집을 풀어, 암자색 안료를 얻었다.1,000.00 g of "Spectrasense (registered trademark)" Black K0087 (manufactured by BASF) is heated in an oven at 250°C under atmospheric pressure/air for 1 hour, cooled to room temperature, dried and agglomerated using a ball mill to obtain a dark purple pigment. got it

500.00g의 암자색 안료와, 2.5kg의 마쇄재(염화나트륨 입자), 250.00g의 디프로필렌글리콜을 혼합하고, 스테인리스제 1갤론 니더(이노우에 세이사쿠쇼제)에 주입하고, 90℃에서 8시간 혼련했다. 이 혼련물을 5L의 온수에 투입하고, 70℃로 유지하면서 1시간 교반해서 슬러리 형상으로 하고, 여과, 수세를 반복해서 마쇄재 및 디프로필렌글리콜을 제거했다. 또한, 대기압하/공기하 100℃의 오븐에서 6시간 건조시킨 후에 볼 밀로 건조 응집을 풀고, 3,4,9,10-페릴렌테트라카르복실산비스벤조이미다졸인, 식(5)으로 나타내어지는 화합물 및 식(6)으로 나타내어지는 화합물의 이성체 혼합물로 이루어지는 페릴렌계 암자색 안료 B를 얻었다.500.00 g of dark purple pigment, 2.5 kg of friction material (sodium chloride particles), and 250.00 g of dipropylene glycol were mixed, poured into a 1-gallon stainless steel kneader (manufactured by Inoue Seisakusho), and kneaded at 90°C for 8 hours. This kneaded product was poured into 5 L of warm water, stirred for 1 hour while maintaining the temperature at 70°C to form a slurry, and filtered and washed repeatedly to remove the grinding material and dipropylene glycol. In addition, after drying in an oven at 100°C under atmospheric pressure/air for 6 hours, the dried agglomerates were broken using a ball mill, and the 3,4,9,10-perylenetetracarboxylic acid bisbenzoimidazole, represented by formula (5), was dried in an oven at 100°C under atmospheric pressure/air for 6 hours. A perylene-based dark purple pigment B consisting of a compound and an isomer mixture of the compound represented by formula (6) was obtained.

(b) 페릴렌계 색소형 분산제 C의 제조(b) Preparation of perylene-based pigment dispersant C

페릴렌계 유기 안료인 50.00g의 C. I. 피그먼트 레드 178을, 500.00g의 80중량% 농황산에 용해시켜서 가열하고, 액온 70℃에서 6시간 교반을 행하여, 술폰화 반응을 진행시켰다. 이어서, 5kg의 빙수 중에 투입해서 석출물을 포함하는 슬러리를 얻고 여과를 행했다. 이어서, 여물을 에탄올로 세정한 후에 수세를 행하고, 감압하 80℃에서 24시간 건조시켰다. 또한, 나노젯마이저((주)아이신나노테크놀러지즈제)를 사용해서 건식 분쇄 처리를 행하여, 모노술폰산, 디술폰산 및 트리술폰산의 혼합물인, 식(29)으로 나타내어지는 페릴렌계 색소형 분산제 C를 얻었다.50.00 g of C.I. Pigment Red 178, a perylene-based organic pigment, was dissolved in 500.00 g of 80% by weight concentrated sulfuric acid, heated, and stirred at a liquid temperature of 70°C for 6 hours to proceed with the sulfonation reaction. Next, it was poured into 5 kg of ice water to obtain a slurry containing precipitates and filtered. Next, the residue was washed with ethanol, then washed with water, and dried at 80°C under reduced pressure for 24 hours. Additionally, dry grinding was performed using a nanojetmizer (manufactured by Aisin Nanotechnology Co., Ltd.) to obtain a perylene-based dye-type dispersant C represented by formula (29), which is a mixture of monosulfonic acid, disulfonic acid, and trisulfonic acid. .

(c) 안료 분산액 5의 제조(c) Preparation of pigment dispersion 5

페릴렌계 암자색 안료 B, 페릴렌계 색소형 분산제 C 및 분산 수지로서 플루오렌아크릴레이트 용액 G를 사용하고, 표 1에 나타내는 각 원료의 배합량으로 한 것 이외에는 제조예 1과 동일한 방법으로 습식 미디어 분산 처리를 행하여, 고형분 20.00중량%의 안료 분산액 5를 얻었다. 누적 50% 입자지름 및 최대 입자지름을 표 1에 나타낸다.Perylene-based dark purple pigment B, perylene-based pigment-type dispersant C, and fluorene acrylate solution G as the dispersion resin were used, and wet media dispersion treatment was carried out in the same manner as in Production Example 1, except that the mixing amounts of each raw material shown in Table 1 were used. This was performed to obtain pigment dispersion 5 with a solid content of 20.00% by weight. The cumulative 50% particle diameter and maximum particle diameter are shown in Table 1.

(제조예 6: 안료 분산액 6의 제조)(Preparation Example 6: Preparation of pigment dispersion 6)

벤조디푸라논계 흑색 안료 A 대신에 페릴렌계 암자색 안료 B를 사용한 것 이외에는 제조예 1과 동일한 방법으로 습식 미디어 분산 처리를 시도했지만, 안료의 입도 분포에 있어서의 누적 50% 입자지름이 99nm에 도달하기 전에 현저한 점도 상승이 발생하여 펌프 내압이 상승하고, 비즈 밀로의 송액이 곤란해졌기 때문에, 안료 분산액 6을 얻을 수 없었다. 표 1에 각 원료의 배합량을 나타낸다.Wet media dispersion treatment was attempted in the same manner as Preparation Example 1 except that perylene-based dark purple pigment B was used instead of benzodifuranone-based black pigment A, but the cumulative 50% particle size in the particle size distribution of the pigment did not reach 99 nm. Pigment dispersion 6 could not be obtained because a significant increase in viscosity occurred before, which increased the pump internal pressure and made it difficult to feed the liquid to the bead mill. Table 1 shows the mixing amount of each raw material.

(제조예 7: 안료 분산액 7의 제조)(Preparation Example 7: Preparation of pigment dispersion 7)

721.78g의 혼합 용제(PGME:PGMEA=중량비율 20:80)에, 아크릴계 분산제인 142.22g의 "DISPERBYK(등록상표)" 2001(빅케미 재팬(주)제; 고형분 45중량% 용액)을 첨가해서 10분간 교반했다. 이어서, 94.00g의 C. I. 피그먼트 그린 59(DIC(주)제)와, 42.00g의 C. I. 피그먼트 옐로 150(랑세스사제)을 혼합해서 30분간 교반하여, 예비 교반액을 얻었다. 0.4mmφ의 지르코니아 비즈(토레이(주)제 "토레이세람"(등록상표))가 충전된 비즈 밀로 예비 교반액을 송액하고, 5시간 순환 방식으로 습식 미디어 분산 처리를 행하여, 고형분 20.00중량%의 안료 분산액 7을 얻었다.To 721.78 g of mixed solvent (PGME:PGMEA = weight ratio 20:80), 142.22 g of an acrylic dispersant, "DISPERBYK (registered trademark)" 2001 (manufactured by Big Chemi Japan Co., Ltd.; solid content 45% by weight solution) was added. Stirred for 10 minutes. Next, 94.00 g of C.I. Pigment Green 59 (manufactured by DIC Corporation) and 42.00 g of C.I. Pigment Yellow 150 (manufactured by LANXESS) were mixed and stirred for 30 minutes to obtain a preliminary stirred liquid. The pre-stirred liquid was fed through a bead mill filled with 0.4 mm ϕ zirconia beads (“Toray Ceram” (registered trademark) manufactured by Toray Co., Ltd.), and wet media dispersion treatment was performed in a 5-hour circulation method to obtain a pigment with a solid content of 20.00% by weight. Dispersion 7 was obtained.

(조제예 1: 포지티브형 감광성 조성물 1의 조제)(Preparation Example 1: Preparation of positive photosensitive composition 1)

황색등하, 85.00g의 혼합 용제(PGME:락트산에틸:γ-부티로락톤=중량비율 50:40:10) 중에, 7.50g의 알칼리 가용성 폴리이미드 전구체 A와, 2.25g의 퀴논디아지드 화합물 C와, 열가교제인 5.25g의 HMOM-TPHAP를 첨가하고, 30분간 교반해서 용해시켜, 고형분 15.00중량%의 포지티브형 감광성 조성물 1을 얻었다. 각 원료의 배합 중량을 표 2에 나타낸다.Light yellow, 7.50 g of alkali-soluble polyimide precursor A, 2.25 g of quinonediazide compound C in 85.00 g of mixed solvent (PGME: ethyl lactate: γ-butyrolactone = weight ratio 50:40:10). , 5.25 g of HMOM-TPHAP, a thermal crosslinking agent, was added, stirred for 30 minutes to dissolve, and positive photosensitive composition 1 with a solid content of 15.00% by weight was obtained. The combined weight of each raw material is shown in Table 2.

[표 2][Table 2]

(조제예 2∼3: 포지티브형 감광성 조성물 2∼3의 조제)(Preparation Examples 2 to 3: Preparation of positive photosensitive compositions 2 to 3)

알칼리 가용성 폴리이미드 전구체 A 대신에, 알칼리 가용성 폴리이미드 B 또는 알칼리 가용성 페놀 수지인 TR4020G(아사히 유키자이(주)제)를 사용한 것 이외에는 조제예 1과 동일한 방법으로 포지티브형 감광성 조성물 2∼3을 각각 조제했다. 각 원료의 배합 중량을 표 2에 나타낸다.Positive photosensitive compositions 2 to 3 were prepared in the same manner as Preparation Example 1, except that alkali soluble polyimide B or TR4020G (manufactured by Asahi Yukizai Co., Ltd.), an alkali soluble phenolic resin, was used instead of alkali soluble polyimide precursor A. It was prepared. The combined weight of each raw material is shown in Table 2.

(조제예 4: 네거티브형 감광성 조성물 1의 조제)(Preparation Example 4: Preparation of negative photosensitive composition 1)

황색등하, 8.50g의 MBA와, 43.03g의 PGMEA의 혼합 용제 중에, 0.60g의 광중합 개시제 1을 첨가해서 3분간 교반해서 용해시켰다. 이것에, 3.15g의 ZCR-1569H와, 10.00g의 알칼리 가용성 메타크릴 수지 용액 D를 첨가했다. 이어서, 0.75g의 DPCA-60(닛폰 카야쿠(주))과, 3.90g의 EA-0250P(고형분 50중량%의 PGMEA 용액. 오사카 가스 케미컬(주)제)를 첨가했다. 또한, 열가교제인 0.60g의 TEPIC-L(닛산 카가쿠 코교(주)제)을 첨가하고, 10분간 교반해서 조합액을 얻었다. 이 조합액과, 29.48g의 안료 분산액 1을 혼합해서 30분간 교반하여, 고형분이 15.00중량%인 네거티브형 감광성 조성물 1을 얻었다. 각 원료의 배합량(g)을 표 3에 나타낸다.In a yellowish colored solvent mixture of 8.50 g of MBA and 43.03 g of PGMEA, 0.60 g of photopolymerization initiator 1 was added and stirred for 3 minutes to dissolve. To this, 3.15 g of ZCR-1569H and 10.00 g of alkali-soluble methacrylic resin solution D were added. Next, 0.75 g of DPCA-60 (Nippon Kayaku Co., Ltd.) and 3.90 g of EA-0250P (PGMEA solution with a solid content of 50% by weight, manufactured by Osaka Gas Chemical Co., Ltd.) were added. Additionally, 0.60 g of TEPIC-L (manufactured by Nissan Chemical Industries, Ltd.), a thermal crosslinking agent, was added and stirred for 10 minutes to obtain a preparation solution. This preparation liquid and 29.48 g of pigment dispersion liquid 1 were mixed and stirred for 30 minutes to obtain negative photosensitive composition 1 with a solid content of 15.00% by weight. The mixing amount (g) of each raw material is shown in Table 3.

[표 3][Table 3]

(조제예 5: 네거티브형 감광성 조성물 2의 조제)(Preparation Example 5: Preparation of negative photosensitive composition 2)

황색등하, 4.25g의 MBA와, 42.21g의 PGMEA의 혼합 용제 중에, 0.60g의 NCI-831E를 첨가해서 3분간 교반해서 용해시켰다. 이것에, 4.29g의 ZCR-1569H와, 2.00g의 알칼리 가용성 아크릴 수지 용액 E를 첨가했다. 이어서, 0.75g의 DPCA-20과, 2.40g의 EA-0250P와, 0.75g의 "라이트아크릴레이트"(등록상표) BP-4EAL(쿄에이샤 카가쿠(주)제)을 첨가했다. 또한, 에뮬겐 A-60의 고형분 5중량% PGMEA 용액을 3.00g 첨가하고, 10분간 교반해서 조합액을 얻었다. 이 조합액과, 39.75g의 안료 분산액 1을 혼합해서 30분간 교반하여, 고형분이 15.00중량%인 네거티브형 감광성 조성물 2를 얻었다. 각 원료의 배합량(g)을 표 3에 나타낸다. 또한, 에뮬겐 A-60의 5중량% PGMEA 용액은, 비이온계 계면활성제인 5중량부의 "에뮬겐"(등록상표) A-60(카오(주)제)을, 95중량부의 PGMEA에 용해시켜서 조제했다.In a yellow-light mixed solvent of 4.25 g of MBA and 42.21 g of PGMEA, 0.60 g of NCI-831E was added and stirred for 3 minutes to dissolve. To this, 4.29 g of ZCR-1569H and 2.00 g of alkali-soluble acrylic resin solution E were added. Next, 0.75 g of DPCA-20, 2.40 g of EA-0250P, and 0.75 g of "Light Acrylate" (registered trademark) BP-4EAL (manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.) were added. Additionally, 3.00 g of PGMEA solution with a solid content of 5% by weight of Emulgen A-60 was added and stirred for 10 minutes to obtain a preparation solution. This preparation liquid and 39.75 g of pigment dispersion liquid 1 were mixed and stirred for 30 minutes to obtain negative photosensitive composition 2 with a solid content of 15.00% by weight. The mixing amount (g) of each raw material is shown in Table 3. In addition, the 5% by weight PGMEA solution of Emulgen A-60 is prepared by dissolving 5 parts by weight of “Emugen” (registered trademark) A-60 (manufactured by Kao Co., Ltd.), a nonionic surfactant, in 95 parts by weight of PGMEA. It was prepared as ordered.

(조제예 6: 네거티브형 감광성 조성물 3의 조제)(Preparation Example 6: Preparation of negative photosensitive composition 3)

황색등하, 8.50g의 MBA와, 39.94g의 PGMEA의 혼합 용제 중에, 광중합 개시제인 0.60g의 "Irgacure"(등록상표) OXE03(표 4 중 「OXE03」)을 첨가해서 3분간 교반해서 용해시켰다. 이것에, 11.00g의 알칼리 가용성 메타크릴 수지 용액 D와, 알칼리 가용성 페놀 수지인 1.60g의 TR4020G를 첨가했다. 이어서, 0.75g의 DPCA-60과, 7.50g의 플루오렌아크릴레이트 용액 F와, 0.60g의 TEPIC-L을 첨가했다. 또한, 실리콘계 레벨링제인 BYK-333(빅케미 재팬(주)제)의 5중량% PGMEA 용액을 0.03g 첨가하고, 10분간 교반해서 조합액을 얻었다. 이 조합액과, 29.48g의 안료 분산액 2를 혼합해서 30분간 교반하여, 고형분 15.00중량%인 네거티브형 감광성 조성물 3을 얻었다. 각 원료의 배합량(g)을 표 4에 나타낸다.Light yellow, 0.60 g of "Irgacure" (registered trademark) OXE03 ("OXE03" in Table 4), a photopolymerization initiator, was added to a mixed solvent of 8.50 g of MBA and 39.94 g of PGMEA, and stirred for 3 minutes to dissolve. To this, 11.00 g of alkali-soluble methacrylic resin solution D and 1.60 g of TR4020G, which is an alkali-soluble phenol resin, were added. Next, 0.75 g of DPCA-60, 7.50 g of fluorene acrylate solution F, and 0.60 g of TEPIC-L were added. Additionally, 0.03 g of a 5% by weight PGMEA solution of BYK-333 (manufactured by Big Chemi Japan Co., Ltd.), a silicone-based leveling agent, was added and stirred for 10 minutes to obtain a preparation solution. This preparation liquid and 29.48 g of pigment dispersion liquid 2 were mixed and stirred for 30 minutes to obtain negative photosensitive composition 3 with a solid content of 15.00% by weight. The mixing amount (g) of each raw material is shown in Table 4.

[표 4][Table 4]

(조제예 7∼9: 네거티브형 감광성 조성물 4∼6의 조제)(Preparation Examples 7 to 9: Preparation of negative photosensitive compositions 4 to 6)

또한, MEK-ST-40 또는 안료 분산액 3∼4를 사용한 것 이외에는 조제예 6과 마찬가지의 순서로, 표 4에 나타내는 각 원료의 배합량(g)으로, 고형분 15.00중량%인 네거티브형 감광성 조성물 4∼6을 얻었다.In addition, except that MEK-ST-40 or pigment dispersion 3 to 4 was used, negative photosensitive composition 4 to 4 with a solid content of 15.00% by weight was prepared in the same manner as in Preparation Example 6, with the mixing amount (g) of each raw material shown in Table 4. Got 6.

(조제예 10: 네거티브형 감광성 조성물 7의 조제)(Preparation Example 10: Preparation of negative photosensitive composition 7)

황색등하, 67.55g의 혼합 용제(PGME:PGMEA:γ-부티로락톤=중량비율 30:60:10) 중에, 안트라퀴논계 염료인 1.20g의 C. I. 솔벤트 블루 97과, 메틴계 염료인 0.60g의 C. I. 솔벤트 옐로 93과, 크산텐계 염료인 1.20g의 C. I. 애시드 레드 52를 첨가해서 2시간 교반했다. 이어서, 0.60g의 "Irgacure"(등록상표) OXE03(표 5 중「OXE03」)을 첨가해서 3분간 교반해서 용해시켰다. 이것에, 1.71g의 ZCR-1569H와, 16.65g의 알칼리 가용성 메타크릴 수지 용액 D와, 1.60g의 TR4020G를 첨가했다. 이어서, 0.75g의 DPCA-60과, 7.50g의 플루오렌아크릴레이트 용액 F와, 0.60g의 TEPIC-L을 첨가했다. 또한, 실리콘계 레벨링제인 BYK-333의 5중량% PGMEA 용액을 0.03g 첨가하고, 30분간 교반하여, 고형분 15.00중량%인 네거티브형 감광성 조성물 7을 얻었다. 각 원료의 배합량(g)을 표 5에 나타낸다.Light yellow, in 67.55 g of mixed solvent (PGME:PGMEA:γ-butyrolactone = weight ratio 30:60:10), 1.20 g of C.I. Solvent Blue 97, an anthraquinone dye, and 0.60 g of methine dye. C. I. Solvent Yellow 93 and 1.20 g of C. I. Acid Red 52, a xanthene dye, were added and stirred for 2 hours. Next, 0.60 g of “Irgacure” (registered trademark) OXE03 (“OXE03” in Table 5) was added and stirred for 3 minutes to dissolve. To this, 1.71 g of ZCR-1569H, 16.65 g of alkali-soluble methacrylic resin solution D, and 1.60 g of TR4020G were added. Next, 0.75 g of DPCA-60, 7.50 g of fluorene acrylate solution F, and 0.60 g of TEPIC-L were added. Additionally, 0.03 g of a 5% by weight PGMEA solution of BYK-333, a silicone-based leveling agent, was added and stirred for 30 minutes to obtain negative photosensitive composition 7 with a solid content of 15.00% by weight. The mixing amount (g) of each raw material is shown in Table 5.

[표 5][Table 5]

(조제예 11: 네거티브형 감광성 조성물 8의 조제)(Preparation Example 11: Preparation of negative photosensitive composition 8)

알칼리 가용성 메타크릴 수지 용액 D 대신에, 알칼리 가용성 폴리이미드 B를 사용한 것 이외에는 조제예 4와 동일한 방법으로, 표 6에 나타내는 각 원료의 배합량(g)으로, 고형분 15.00중량%인 네거티브형 감광성 조성물 8을 얻었다.Negative photosensitive composition 8 with a solid content of 15.00% by weight in the same manner as Preparation Example 4 except that alkali-soluble polyimide B was used instead of alkali-soluble methacrylic resin solution D, with the mixing amount (g) of each raw material shown in Table 6. got it

[표 6][Table 6]

(조제예 12: 네거티브형 감광성 조성물 9의 조제)(Preparation Example 12: Preparation of negative photosensitive composition 9)

안료 분산액 1과 EA-0250P를 사용하지 않은 것 이외에는 조제예 4와 동일한 방법으로, 표 6에 나타내는 각 원료의 배합량(g)으로, 고형분 15.00중량%인 네거티브형 감광성 조성물 9를 얻었다.In the same manner as Preparation Example 4 except that Pigment Dispersion 1 and EA-0250P were not used, Negative Photosensitive Composition 9 with a solid content of 15.00% by weight was obtained with the mixing amount (g) of each raw material shown in Table 6.

(조제예 13: 네거티브형 감광성 조성물 10의 조제)(Preparation Example 13: Preparation of negative photosensitive composition 10)

안료 분산액 1 대신에 안료 분산액 5를 사용하고, EA-0250P 대신에 플루오렌아크릴레이트 용액 F를 사용한 것 이외에는 조제예 4와 동일한 방법으로, 표 6에 나타내는 각 원료의 배합량(g)으로, 고형분 15.00중량%인 네거티브형 감광성 조성물 10을 얻었다.In the same manner as Preparation Example 4, except that Pigment Dispersion 5 was used instead of Pigment Dispersion 1 and fluorene acrylate solution F was used instead of EA-0250P, the mixing amount (g) of each raw material shown in Table 6 was used, and the solid content was 15.00. A negative photosensitive composition 10% by weight was obtained.

(조제예 14: 컬러 필터용 네거티브형 감광성 녹색 조성물의 조제)(Preparation Example 14: Preparation of negative photosensitive green composition for color filter)

황색등하, 34.26g의 혼합 용제(PGME:PGMEA=중량비율 20:80) 중에, 0.60g의 "Irgacure"(등록상표) OXE03을 첨가하고 5분간 교반해서 용해시켰다. 또한, 31.71g의 알칼리 가용성 메타크릴 수지 용액 D와, 4.00g의 DPCA-60을 첨가하고, 10분간 교반해서 조합액을 얻었다. 이 조합액과, 29.43g의 안료 분산액 7을 혼합해서 30분간 교반하여, 고형분 20.00중량%인 컬러 필터용 네거티브형 감광성 녹색 조성물을 얻었다.0.60 g of "Irgacure" (registered trademark) OXE03 was added to 34.26 g of yellowish mixed solvent (PGME:PGMEA = weight ratio 20:80) and stirred for 5 minutes to dissolve. Additionally, 31.71 g of alkali-soluble methacrylic resin solution D and 4.00 g of DPCA-60 were added and stirred for 10 minutes to obtain a prepared solution. This mixture and 29.43 g of pigment dispersion 7 were mixed and stirred for 30 minutes to obtain a negative photosensitive green composition for color filters with a solid content of 20.00% by weight.

(실시예 1)(Example 1)

투명 유리 기재인 「템팍스」(AGC 테크노 글래스(주)제)의 표면에, 네거티브형 감광성 조성물 1을, 최종적으로 얻어지는 경화막의 막두께가 1.5㎛가 되도록 회전수를 조절해서 스핀 코터로 도포해서 도포막을 얻었다. 핫플레이트(SCW-636; 다이니폰 스크린 제조(주)제)를 사용해서 도포막을 대기압하 110℃에서 120초간 프리베이크하여, 프리베이크막을 얻었다. 양면 얼라인먼트 편면 노광 장치를 사용하고, 초고압 수은등의 g, h, i 혼합선을 전술한 방법으로 구한 최적 노광량(A)으로, 프리베이크막의 전체면에 조사해서 노광막을 얻었다. 이어서, 최적 노광량(A)의 측정 시와 동일한 방법으로 현상, 린스 및 건조를 행하여, 솔리드 형상의 현상막을 얻었다. 고온 이너트 가스 오븐(INH-9CD-S; 코요 서모 시스템(주)제)을 사용하고, 현상막을 공기 분위기하 250℃에서 1시간 가열하여, 막두께 1.5㎛의 솔리드 형상의 경화막을 구비하는 광학 농도 평가용 기판을 얻고, 전술한 방법으로 네거티브형 감광성 조성물 1의 경화물의 막두께 1.0㎛당의 광학 농도(OD/㎛)를 평가했다.Negative photosensitive composition 1 was applied to the surface of a transparent glass substrate, “Tempax” (manufactured by AGC Techno Glass Co., Ltd.), using a spin coater, adjusting the rotation speed so that the film thickness of the final cured film obtained was 1.5 μm. A coating film was obtained. The coating film was prebaked at 110°C under atmospheric pressure for 120 seconds using a hot plate (SCW-636; manufactured by Dainippon Screen Co., Ltd.) to obtain a prebaked film. Using a double-sided alignment single-sided exposure device, the entire surface of the prebaked film was irradiated with the g, h, i mixing line of an ultra-high pressure mercury lamp at the optimal exposure amount (A) determined by the above-described method to obtain an exposed film. Next, development, rinsing, and drying were performed in the same manner as when measuring the optimal exposure amount (A), and a solid developed film was obtained. Using a high-temperature inert gas oven (INH-9CD-S; manufactured by Koyo Thermo Systems Co., Ltd.), the developing film was heated at 250°C for 1 hour in an air atmosphere, and a solid-shaped cured film with a film thickness of 1.5 μm was obtained. A substrate for density evaluation was obtained, and the optical density (OD/μm) per 1.0 μm film thickness of the cured product of negative photosensitive composition 1 was evaluated by the method described above.

이어서, 네거티브형 감광성 조성물 1 대신에 포지티브형 감광성 조성물 1을 사용한 것, 노광을 행하지 않은 것, 전술한 최적 노광량(B)의 측정 시와 동일한 현상 시간으로 한 것 이외에는 동일한 방법으로, 막두께 1.5㎛의 솔리드 형상의 경화막을 구비하는 광학 농도 평가용 기판을 얻고, 전술한 방법으로 포지티브형 감광성 조성물 1의 경화물의 막두께 1.0㎛당의 광학 농도(OD/㎛)를 평가했다. 평가 결과를 표 7에 나타낸다. 또한, 투명 유리 기재 대신에 실리콘 웨이퍼 상에 동경화막을 제작한 기판을 적외 흡수 스펙트럼으로 분석하여, 포지티브형 감광성 조성물 1의 경화물이 이미드 결합 및 벤조옥사졸 골격을 갖는 것을 확인했다.Next, the same method was used except that positive photosensitive composition 1 was used instead of negative photosensitive composition 1, no exposure was performed, and the development time was the same as when measuring the optimal exposure amount (B) described above, and a film thickness of 1.5 μm was obtained. A substrate for optical density evaluation having a solid cured film was obtained, and the optical density per 1.0 μm film thickness (OD/μm) of the cured product of positive photosensitive composition 1 was evaluated by the method described above. The evaluation results are shown in Table 7. In addition, a substrate on which a copper cured film was produced on a silicon wafer instead of a transparent glass substrate was analyzed with an infrared absorption spectrum, and it was confirmed that the cured product of positive photosensitive composition 1 had an imide bond and a benzoxazole skeleton.

또한, 이하의 방법으로 화소 분할층을 구비하는 유기 EL 표시 장치를 제작했다. 도 11에, 화소 분할층의 형성 공정을 포함하는 유기 EL 표시 장치의 제작 공정을 나타낸다.Additionally, an organic EL display device including a pixel split layer was produced by the following method. Figure 11 shows the manufacturing process of the organic EL display device, including the forming process of the pixel split layer.

포지티브형 감광성 조성물 1을, 스핀 코터를 사용하고, 최종적으로 얻어지는 평탄화층의 막두께가 1.0㎛가 되도록 회전수를 조절하여, 세로 100mm/가로 100mm의 무알칼리 유리 기판(55)의 표면에 도포해, 도포막을 얻었다. 또한, 핫플레이트를 사용해서 도포막을 대기압하 110℃에서 120초간 프리베이크하여, 프리베이크막을 얻었다. 양면 얼라인먼트 편면 노광 장치를 사용하고, 포지티브형 스퀘어 패턴 노광 마스크(세로폭: 30mm, 가로폭: 30mm의 정방형의 차광부를 중앙부에 1개 갖는다.)를 통하여, 노광량 100mJ/㎠로 프리베이크막에 패턴 노광해서 노광막을 얻었다. 2.38중량% TMAH 수용액을 사용해서 노광막을 60초간 현상하고, 탈이온수를 사용해서 30초간 린스를 한 후에 공기 블로우로 건조시켜, 패턴 형상의 현상막을 얻었다. 고온 이너트 가스 오븐을 사용해서 현상막을 공기 분위기하 250℃에서 1시간 가열하여, 세로폭: 30mm, 가로폭: 30mm의 정방형의 평탄화층(56)을 얻었다.Positive photosensitive composition 1 was applied to the surface of an alkali-free glass substrate 55 of 100 mm in length and 100 mm in width using a spin coater and adjusting the rotation speed so that the final thickness of the planarization layer obtained was 1.0 μm. , a coating film was obtained. Additionally, the coating film was prebaked at 110°C under atmospheric pressure for 120 seconds using a hot plate to obtain a prebaked film. Using a double-sided alignment single-sided exposure device, a pattern is patterned on the prebaked film at an exposure dose of 100 mJ/cm2 through a positive square pattern exposure mask (one square light-shielding portion of 30 mm in height and 30 mm in width is provided in the center). By exposure, an exposure film was obtained. The exposed film was developed for 60 seconds using a 2.38% by weight TMAH aqueous solution, rinsed for 30 seconds using deionized water, and then dried with air blow to obtain a developed film in a pattern shape. Using a high-temperature inert gas oven, the developing film was heated at 250°C in an air atmosphere for 1 hour to obtain a square flattening layer 56 with a vertical width of 30 mm and a horizontal width of 30 mm.

이어서, 스퍼터법에 의해 은 합금(99.00중량%의 은과, 1.00중량%의 구리로 이루어지는 합금)을 전체면 성막했다. 포지티브형 감광성 조성물 3의 패턴 형상 경화막을 에칭용 레지스트막으로서 사용하고, 액온 30℃의 은 합금 에칭액 SEA-1에 침지해서 에칭해, 막두께 50nm의 패턴 형상의 은 합금막을 얻었다. 또한, 스퍼터법에 의해 ITO막을 전체면 성막했다. 포지티브형 감광성 조성물 3을 레지스트막으로서 사용하고, 액온 50℃의 5중량% 옥살산 수용액에 5분간 침지하고, 탈이온수로 2분간 샤워 수세한 후에 공기 블로우로 건조시켜, 막두께 10nm의 동패턴 형상의 ITO막을 얻었다. 이상의 공정이 의해, 은 합금막과 ITO막의 적층 패턴으로 이루어지는 제 1 전극(57)을 구비하는 제 1 전극 형성 기판을 얻었다.Next, a silver alloy (an alloy consisting of 99.00% by weight silver and 1.00% by weight copper) was deposited on the entire surface by a sputtering method. The patterned cured film of positive photosensitive composition 3 was used as a resist film for etching, and was immersed and etched in silver alloy etchant SEA-1 at a liquid temperature of 30°C to obtain a patterned silver alloy film with a film thickness of 50 nm. Additionally, an ITO film was formed on the entire surface by sputtering. Positive photosensitive composition 3 was used as a resist film, immersed in a 5% by weight aqueous oxalic acid solution at a liquid temperature of 50°C for 5 minutes, shower washed with deionized water for 2 minutes, and dried with an air blow to form a copper patterned film with a film thickness of 10 nm. An ITO membrane was obtained. Through the above steps, a first electrode formation substrate provided with a first electrode 57 made of a lamination pattern of a silver alloy film and an ITO film was obtained.

네거티브형 감광성 조성물 1을, 스핀 코터를 사용하고, 최종적으로 얻어지는 층(A)의 막두께가 1.5㎛가 되도록 회전수를 조절하고, 제 1 전극 형성 기판의 표면에 도포해, 도포막을 얻었다. 또한, 핫플레이트를 사용하고, 도포막을 대기압하 110℃에서 120초간 프리베이크하여, 프리베이크막을 얻었다. 양면 얼라인먼트 편면 노광 장치를 사용하고, 네거티브형 스퀘어 패턴 노광 마스크(세로폭: 7.0㎛, 가로폭: 7.0㎛의 정방형의 차광부가 1000개 배열)를 통하여, 전술한 방법으로 구한 최적 노광량(A)으로 프리베이크막에 패턴 노광해서 노광막을 얻었다. 또한, 패턴 노광은, 네거티브형 스퀘어 패턴 노광 마스크를 프리베이크막의 표면에 접촉시켜서 행했다. 이어서, 최적 노광량(A)의 측정과 동일한 방법으로 현상, 린스 및 건조를 행하여, 패턴 형상의 현상막을 얻었다. 고온 이너트 가스 오븐을 사용해서 현상막을 공기 분위기하 250℃에서 1시간 가열해서 네거티브형 감광성 조성물 1의 경화물을 함유하는 막두께 1.5㎛의 층(A)을 얻었다.Negative photosensitive composition 1 was applied to the surface of the first electrode forming substrate using a spin coater, adjusting the rotation speed so that the film thickness of the finally obtained layer (A) was 1.5 μm, to obtain a coating film. Additionally, using a hot plate, the coating film was prebaked at 110°C under atmospheric pressure for 120 seconds to obtain a prebaked film. Using a double-sided alignment single-sided exposure device, a negative square pattern exposure mask (1000 square light-shielding portions with a vertical width of 7.0 ㎛ and a horizontal width of 7.0 ㎛ arranged) is applied to the optimal exposure amount (A) obtained by the method described above. A pattern exposure was performed on the prebaked film to obtain an exposed film. In addition, pattern exposure was performed by bringing a negative square pattern exposure mask into contact with the surface of the prebake film. Next, development, rinsing, and drying were performed in the same manner as the measurement of the optimal exposure amount (A), and a developed film in a pattern shape was obtained. Using a high-temperature inert gas oven, the developing film was heated at 250° C. in an air atmosphere for 1 hour to obtain a layer (A) with a film thickness of 1.5 μm containing the cured product of the negative photosensitive composition 1.

포지티브형 감광성 조성물 1을, 스핀 코터를 사용하고, 최종적으로 얻어지는 층(B)의 막두께가 0.3㎛가 되도록 회전수를 조절하고, 층(B)의 표면에 도포하여, 도포막을 얻었다. 또한, 핫플레이트를 사용하고, 도포막을 대기압하 110℃에서 120초간 프리베이크하여, 프리베이크막을 얻었다. 근적외선 카메라로 포지티브형 스퀘어 패턴 노광 마스크의 위치 맞춤을 행하고, 포지티브형 스퀘어 패턴 노광 마스크(세로폭: 7.0㎛, 가로폭: 7.0㎛의 정방형의 투과부가 1000개 배열)를 통하여, 양면 얼라인먼트 편면 노광 장치를 사용하고, 전술한 방법으로 구한 최적 노광량(B)으로 프리베이크막에 패턴 노광해서 노광막을 얻었다. 또한, 패턴 노광은, 포지티브형 스퀘어 패턴 노광 마스크를 프리베이크막의 표면에 접촉시켜서 행했다. 이어서, 최적 노광량(B)의 측정과 동일한 방법으로 현상, 린스 및 건조를 행하여, 패턴 형상의 현상막을 얻었다. 고온 이너트 가스 오븐을 사용해서 현상막을 공기 분위기하 250℃에서 1시간 가열해서 포지티브형 감광성 조성물 1의 경화물을 함유하는 막두께 0.3㎛의 층(B)을 얻었다.Positive photosensitive composition 1 was applied to the surface of the layer (B) using a spin coater, adjusting the rotation speed so that the final thickness of the layer (B) obtained was 0.3 μm, and a coating film was obtained. Additionally, using a hot plate, the coating film was prebaked at 110°C under atmospheric pressure for 120 seconds to obtain a prebaked film. A near-infrared camera is used to align the position of the positive square pattern exposure mask, and a double-sided alignment single-sided exposure device is used through the positive square pattern exposure mask (1,000 square transparent parts with a vertical width of 7.0 μm and a width of 7.0 μm arranged). Using , a pattern was exposed to the prebaked film with the optimal exposure amount (B) determined by the above-described method to obtain an exposed film. In addition, pattern exposure was performed by bringing a positive square pattern exposure mask into contact with the surface of the prebake film. Next, development, rinsing, and drying were performed in the same manner as the measurement of the optimal exposure amount (B), and a developed film in a pattern shape was obtained. Using a high-temperature inert gas oven, the developing film was heated at 250° C. in an air atmosphere for 1 hour to obtain a layer (B) with a film thickness of 0.3 μm containing the cured product of positive photosensitive composition 1.

이상으로부터, 제 1 전극 형성 기판의 중앙부의 세로폭 30mm/가로폭 30mm의 에어리어 내에, 개구폭 7.0㎛의 개구부를 1000개 갖고, 층(A)의 표면에 층(B)이 배치된 화소 분할층(58)을 구비하는 화소 분할층 형성 기판을 얻었다. 화소 분할층(58) 중, 층(B)이 층(A)의 표면에 배치된 부위에 있어서, 층(A)의 막두께의 최대값은 1.5㎛이며, 층(B)의 막두께의 최대값은 0.3㎛였다. 층(B)이 층(A)의 표면을 덮는 면적률은 층(A)의 전체 표면적 100% 중 100%였다(도 3). 또한, 후술하는 제 2 전극(60)의 비형성 부위에 대해서, 층(A) 형성 후의 막두께와, 또한 층(B) 형성 후의 막두께를 촉침식 막두께 측정 장치(토쿄 세이미츠(주); 서프콤)를 사용해서 각각 면 내 3개소에 있어서 측정한 평균값의 소수점 둘째 자리를 사사오입한 값을 층(A)의 막두께, 층(A)의 막두께와 층(B)의 막두께의 합계값으로 했다. 층(A)의 막두께와 층(B)의 막두께의 합계값으로부터 층(A)의 막두께를 뺀 값을 층(B)의 막두께로 했다. 별도로, 전술한 면 내 3개소에 대해서 측정한 막두께 중, 최대값의 소수점 둘째 자리를 사사오입한 값을 층(A)의 막두께의 최대값으로 했다. 또한, 층(A)의 막두께와 층(B)의 막두께의 합계값의 최대값으로부터 층(A)의 막두께의 최소값을 뺀 값의 소수점 둘째 자리를 사사오입한 값을 층(B)의 최대값으로 했다.From the above, the pixel division layer has 1000 openings with an opening width of 7.0 μm in an area of 30 mm in height and 30 mm in width at the center of the first electrode forming substrate, and the layer (B) is disposed on the surface of the layer (A). A pixel split layer forming substrate provided with (58) was obtained. In the portion of the pixel division layer 58 where the layer (B) is disposed on the surface of the layer (A), the maximum film thickness of the layer (A) is 1.5 μm, and the maximum film thickness of the layer (B) is 1.5 μm. The value was 0.3㎛. The area ratio that layer (B) covered the surface of layer (A) was 100% of 100% of the total surface area of layer (A) (FIG. 3). In addition, for the non-formed portion of the second electrode 60 described later, the film thickness after forming the layer (A) and the film thickness after forming the layer (B) were measured using a stylus type film thickness measuring device (Tokyo Seimitsu Co., Ltd.). ; The film thickness of layer (A) and the film thickness of layer (B) are calculated by rounding off the two decimal places of the average value measured at three locations in each surface using a surfcom. It was taken as the sum of . The value obtained by subtracting the film thickness of layer (A) from the total value of the film thickness of layer (A) and the film thickness of layer (B) was taken as the film thickness of layer (B). Separately, among the film thicknesses measured at three locations in the above-mentioned surface, the value obtained by rounding off the maximum value to two decimal places was taken as the maximum film thickness of the layer (A). In addition, the value obtained by subtracting the minimum value of the film thickness of layer (A) from the maximum value of the sum of the film thickness of layer (A) and the film thickness of layer (B), rounded to two decimal places, is calculated as layer (B). was set to the maximum value.

이어서, 진공증착법에 의해 발광층을 포함하는 유기 EL층(59)을, 화소 분할층(58)의 개구부에 형성하기 위해서, 진공도 1×10-3Pa 이하의 증착 조건하에서, 증착원에 대하여 화소 분할층 형성 기판을 회전시키고, 우선 정공 주입층으로서 식(30)으로 나타내어지는 화합물(HT-1)을 10nm, 정공 수송층으로서 식(31)으로 나타내어지는 화합물(HT-2)을 막두께 50nm로 성막했다. 이어서, 발광층 상에, 호스트 재료로서, 식(32)으로 나타내어지는 화합물(GH-1), 도펀트 재료로서 식(33)으로 나타내어지는 화합물(GD-1)을 막두께 40nm로 증착했다. 이어서, 전자 수송 재료로서 식(34)으로 나타내어지는 화합물(ET-1)과, 식(35)으로 나타내어지는 화합물(LiQ)을 체적비 1:1로, 막두께 40nm로 적층했다.Next, in order to form the organic EL layer 59 including the light-emitting layer in the opening of the pixel division layer 58 by vacuum deposition, pixels are divided with respect to the deposition source under deposition conditions of a vacuum degree of 1 × 10 -3 Pa or less. The layer forming substrate was rotated, and first, the compound (HT-1) represented by formula (30) as a hole injection layer was deposited to a thickness of 50 nm, and the compound (HT-2) represented by formula (31) as a hole transport layer was formed to a film thickness of 50 nm. did. Next, on the light emitting layer, a compound (GH-1) represented by formula (32) as a host material and a compound (GD-1) represented by formula (33) as a dopant material were deposited at a film thickness of 40 nm. Next, as an electron transport material, a compound (ET-1) represented by formula (34) and a compound (LiQ) represented by formula (35) were laminated at a volume ratio of 1:1 and a film thickness of 40 nm.

이어서, 화합물(LiQ)을 2nm 증착한 후, 은과 마그네슘의 합금(체적비 10:1)을 막두께 150nm가 되도록 증착해서 제 2 전극(60)을 형성했다. 이어서, 저습/질소 분위기하, 에폭시 수지계 접착제를 사용하고, 캡 형상 유리판을 접착함으로써 밀봉하여, 그린의 발광 화소가 배열한 유기 EL 표시 장치를 얻었다. 또한, 유기 EL층(59)을 구성하는 층은, 전술한 화소 분할층과 비교해서 매우 얇기 때문에, 100nm 미만의 박막에 적합한 수정 발진식 막두께 모니터를 사용해서 각각 측정하고, 면 내 3점의 평균값의 소수점 둘째 자리를 사사오입해서 얻어진 값을 막두께로 했다.Next, after depositing 2 nm of a compound (LiQ), an alloy of silver and magnesium (volume ratio 10:1) was deposited to a film thickness of 150 nm to form the second electrode 60. Next, under a low humidity/nitrogen atmosphere, an epoxy resin adhesive was used to seal the cap-shaped glass plate by adhering it to obtain an organic EL display device in which green light-emitting pixels were arranged. In addition, since the layers constituting the organic EL layer 59 are very thin compared to the above-mentioned pixel division layer, each was measured using a crystal oscillation type film thickness monitor suitable for thin films of less than 100 nm, and the thickness of three points in the plane was measured. The value obtained by rounding off the average value to two decimal places was taken as the film thickness.

이상의 순서로 제작한 유기 EL 표시 장치의 발광 신뢰성(고온 연속 구동 시험)을 전술한 방법으로 평가했다. 평가 결과를 표 7-1 및 표 7-2에 나타낸다.The luminescence reliability (high-temperature continuous driving test) of the organic EL display device manufactured through the above procedure was evaluated by the method described above. The evaluation results are shown in Table 7-1 and Table 7-2.

[표 7-1][Table 7-1]

[표 7-2][Table 7-2]

(실시예 2)(Example 2)

네거티브형 감광성 조성물 1 대신에 네거티브형 감광성 조성물 3을 사용한 것 이외에는 실시예 1과 동일한 방법으로 경화막의 광학 농도(OD/㎛) 및 유기 EL 표시 장치의 발광 신뢰성(고온 연속 구동 시험)을 평가했다. 평가 결과를 표 7-1 및 표 7-2에 나타낸다.The optical density (OD/μm) of the cured film and the luminescence reliability (high temperature continuous driving test) of the organic EL display device were evaluated in the same manner as in Example 1, except that negative photosensitive composition 3 was used instead of negative photosensitive composition 1. The evaluation results are shown in Table 7-1 and Table 7-2.

(실시예 3∼4)(Examples 3 to 4)

네거티브형 감광성 조성물 1 대신에 네거티브형 감광성 조성물 3을 사용하고, 포지티브형 감광성 조성물 1 대신에 포지티브형 감광성 조성물 2∼3을 사용한 것 이외에는 실시예 1과 동일한 방법으로 경화막의 광학 농도(OD/㎛) 및 유기 EL 표시 장치의 발광 신뢰성(고온 연속 구동 시험)을 평가했다. 평가 결과를 표 7-1 및 표 7-2에 나타낸다.The optical density (OD/㎛) of the cured film was measured in the same manner as in Example 1, except that negative photosensitive composition 3 was used instead of negative photosensitive composition 1, and positive photosensitive compositions 2 to 3 were used instead of positive photosensitive composition 1. and the luminescence reliability (high-temperature continuous driving test) of the organic EL display device was evaluated. The evaluation results are shown in Table 7-1 and Table 7-2.

(실시예 5∼8)(Examples 5 to 8)

네거티브형 감광성 조성물 1 대신에 네거티브형 감광성 조성물 4∼7을 각각 사용한 것 이외에는 실시예 1과 동일한 방법으로 경화막의 광학 농도(OD/㎛) 및 유기 EL 표시 장치의 발광 신뢰성(고온 연속 구동 시험)을 평가했다. 평가 결과를 표 7-1, 표 7-2, 표 8-1 및 표 8-2에 나타낸다.The optical density (OD/㎛) of the cured film and the luminescence reliability (high temperature continuous driving test) of the organic EL display device were tested in the same manner as in Example 1, except that negative photosensitive compositions 4 to 7 were used instead of negative photosensitive composition 1. evaluated. The evaluation results are shown in Table 7-1, Table 7-2, Table 8-1, and Table 8-2.

[표 8-1][Table 8-1]

[표 8-2][Table 8-2]

(실시예 9)(Example 9)

네거티브형 감광성 조성물 1 대신에 네거티브형 감광성 조성물 4를 사용한 것, 막두께 1.5㎛의 층(B)이, 막두께 1.5㎛의 층(A)의 표면을 덮는 면적률이, 층(A)의 전체 표면적 100% 중 20%가 되도록 형성하고, 화소 분할층에 포토스페이서 기능을 부여한 것(도 4), 층(B)의 형성에 있어서 포지티브형 스퀘어 패턴 노광 마스크(세로폭: 7.0㎛, 가로폭: 7.0㎛의 정방형의 투과부가 1000개 배열) 대신에, 포지티브형 스퀘어 패턴 노광 마스크(세로폭: 20.0㎛, 가로폭: 20.0㎛의 정방형의 투과부가 500개 배열)를 사용한 것 이외에는 실시예 5와 동일한 방법으로 유기 EL 표시 장치를 제작하고, 발광 신뢰성(고온 연속 구동 시험)을 평가했다. 평가 결과를 표 8-1 및 표 8-2에 나타낸다. 또한, 층(B)이 층(A)의 표면에 배치된 부위에 있어서, 층(A)의 막두께의 최대값은 1.5㎛이며, 층(B)의 막두께의 최대값은 1.5㎛였다.Negative photosensitive composition 4 was used instead of negative photosensitive composition 1, and the area ratio of the layer (B) with a film thickness of 1.5 μm covering the surface of the layer (A) with a film thickness of 1.5 μm was the entire layer (A). It is formed to cover 20% of 100% of the surface area, and a photo-spacer function is provided to the pixel division layer (FIG. 4). In forming the layer (B), a positive square pattern exposure mask (height width: 7.0 ㎛, width: The same method as Example 5 except that a positive square pattern exposure mask (500 square transparent parts with a vertical width of 20.0 μm and a horizontal width of 20.0 μm was arranged) was used instead of 1000 square transparent parts of 7.0 μm. An organic EL display device was produced using this method, and luminescence reliability (high-temperature continuous driving test) was evaluated. The evaluation results are shown in Table 8-1 and Table 8-2. Additionally, in the area where layer (B) was disposed on the surface of layer (A), the maximum value of the film thickness of layer (A) was 1.5 μm, and the maximum value of the film thickness of layer (B) was 1.5 μm.

(실시예 10)(Example 10)

네거티브형 감광성 조성물 4 대신에 네거티브형 감광성 조성물 5를 사용한 것 이외에는 실시예 9와 동일한 방법으로 유기 EL 표시 장치를 제작하고, 발광 신뢰성(고온 연속 구동 시험)을 평가했다. 평가 결과를 표 8-1 및 표 8-2에 나타낸다.An organic EL display device was manufactured in the same manner as in Example 9 except that negative photosensitive composition 5 was used instead of negative photosensitive composition 4, and luminescence reliability (high temperature continuous driving test) was evaluated. The evaluation results are shown in Table 8-1 and Table 8-2.

(실시예 11)(Example 11)

네거티브형 감광성 조성물 1 대신에 네거티브형 감광성 조성물 10을 사용한 것 이외에는 실시예 1과 동일한 방법으로 경화막의 광학 농도(OD/㎛) 및 유기 EL 표시 장치의 발광 신뢰성(고온 연속 구동 시험)을 평가했다. 평가 결과를 표 8-1 및 표 8-2에 나타낸다.The optical density (OD/μm) of the cured film and the luminescence reliability (high temperature continuous driving test) of the organic EL display device were evaluated in the same manner as in Example 1, except that negative photosensitive composition 10 was used instead of negative photosensitive composition 1. The evaluation results are shown in Table 8-1 and Table 8-2.

(비교예 1)(Comparative Example 1)

층(B)을 형성하지 않은 것 이외에는 실시예 1과 동일한 방법으로 유기 EL 표시 장치를 제작하고, 발광 신뢰성(고온 연속 구동 시험)을 평가했다. 평가 결과를 표 9-1 및 표 9-2에 나타낸다.An organic EL display device was manufactured in the same manner as in Example 1 except that the layer (B) was not formed, and the luminescence reliability (high temperature continuous driving test) was evaluated. The evaluation results are shown in Table 9-1 and Table 9-2.

[표 9-1][Table 9-1]

[표 9-2][Table 9-2]

(비교예 2)(Comparative Example 2)

네거티브형 감광성 조성물 1 대신에 포지티브형 감광성 조성물 1을 사용해서 층(A)을 형성한 것, 포지티브형 감광성 조성물 1 대신에 네거티브형 감광성 조성물 1을 사용해서 층(B)을 형성한 것 이외에는 실시예 1과 동일한 방법으로 유기 EL 표시 장치를 제작하고, 발광 신뢰성(고온 연속 구동 시험)을 평가했다. 평가 결과를 표 9-1 및 표 9-2에 나타낸다. 비교예 2에서 제작한 유기 EL 표시 장치가 구비하는 화소 분할층은, 수지와 광산 발생제를 함유하는 포지티브형 감광성 조성물 1의 경화물을 함유하는 층(A)의 표면에, 안료와, 에틸렌성 불포화 이중 결합기를 분자 내에 2개 이상 갖는 화합물과, 광중합 개시제를 함유하는 네거티브형 감광성 조성물 1의 경화물을 함유하는 층(B)이 배치된 화소 분할층이다. 또한, 층(A)의 막두께의 최대값은 0.3㎛이며, 층(B)의 막두께의 최대값은 1.5㎛였다.Examples except that layer (A) was formed using positive photosensitive composition 1 instead of negative photosensitive composition 1, and layer (B) was formed using negative photosensitive composition 1 instead of positive photosensitive composition 1. An organic EL display device was manufactured in the same manner as in 1, and luminescence reliability (high temperature continuous driving test) was evaluated. The evaluation results are shown in Table 9-1 and Table 9-2. The pixel division layer provided in the organic EL display device produced in Comparative Example 2 is a pigment and an ethylenic acid on the surface of the layer (A) containing the cured product of positive photosensitive composition 1 containing a resin and a photoacid generator. It is a pixel dividing layer in which a layer (B) containing a cured product of negative photosensitive composition 1 containing a compound having two or more unsaturated double bond groups in the molecule and a photopolymerization initiator is disposed. Additionally, the maximum film thickness of layer (A) was 0.3 ㎛, and the maximum film thickness of layer (B) was 1.5 ㎛.

(비교예 3)(Comparative Example 3)

네거티브형 감광성 조성물 1 대신에 네거티브형 감광성 조성물 2를 사용해서 실시예 1과 동일한 방법으로 층(A)을 형성하려고 했지만, 해상도 부족에 의해 최적 노광량(A)의 측정에 있어서 개구폭 7.0±0.1㎛의 개구부를 형성할 수 없었다. 따라서, 유기 EL 표시 장치를 제작할 수 없었다.An attempt was made to form the layer (A) in the same manner as in Example 1 using negative photosensitive composition 2 instead of negative photosensitive composition 1, but due to insufficient resolution, the aperture width was 7.0 ± 0.1 μm in measurement of the optimal exposure amount (A). It was not possible to form an opening. Therefore, an organic EL display device could not be manufactured.

(비교예 4)(Comparative Example 4)

포지티브형 감광성 조성물 1 대신에 네거티브형 감광성 조성물 1을 사용해서 층(B)을 형성한 것 이외에는 실시예 1과 동일한 방법으로 유기 EL 표시 장치를 제작하고, 발광 신뢰성(고온 연속 구동 시험)을 평가했다. 평가 결과를 표 9-1 및 표 9-2에 나타낸다.An organic EL display device was manufactured in the same manner as in Example 1 except that the layer (B) was formed using negative photosensitive composition 1 instead of positive photosensitive composition 1, and luminescence reliability (high temperature continuous driving test) was evaluated. . The evaluation results are shown in Table 9-1 and Table 9-2.

(비교예 5)(Comparative Example 5)

네거티브형 감광성 조성물 1 대신에 네거티브형 감광성 조성물 8을 사용해서 층(A)을 형성하고, 층(B)을 형성하지 않은 것 이외에는 실시예 1과 동일한 방법으로 유기 EL 표시 장치를 제작하고, 발광 신뢰성(고온 연속 구동 시험)을 평가했다. 평가 결과를 표 9-1 및 표 9-2에 나타낸다.An organic EL display device was manufactured in the same manner as in Example 1 except that the layer (A) was formed using the negative photosensitive composition 8 instead of the negative photosensitive composition 1 and the layer (B) was not formed, and the luminescence reliability was tested. (High temperature continuous driving test) was evaluated. The evaluation results are shown in Table 9-1 and Table 9-2.

(비교예 6)(Comparative Example 6)

포지티브형 감광성 조성물 1 대신에 네거티브형 감광성 조성물 9를 사용해서 층(B)을 형성한 것 이외에는 실시예 1과 동일한 방법으로 유기 EL 표시 장치를 제작하고, 발광 신뢰성(고온 연속 구동 시험)을 평가했다. 평가 결과를 표 10-1 및 표 10-2에 나타낸다.An organic EL display device was manufactured in the same manner as in Example 1 except that the layer (B) was formed using negative photosensitive composition 9 instead of positive photosensitive composition 1, and luminescence reliability (high temperature continuous driving test) was evaluated. . The evaluation results are shown in Table 10-1 and Table 10-2.

[표 10-1][Table 10-1]

[표 10-2][Table 10-2]

(비교예 7)(Comparative Example 7)

네거티브형 감광성 조성물 1 대신에 포지티브형 감광성 조성물 3을 사용해서 층(A)을 형성하고, 포지티브형 감광성 조성물 1 대신에 포지티브형 감광성 조성물 3을 사용한 것 이외에는 실시예 1과 동일한 방법으로 유기 EL 표시 장치를 제작하고, 발광 신뢰성(고온 연속 구동 시험)을 평가했다. 평가 결과를 표 10-1 및 표 10-2에 나타낸다.An organic EL display device was manufactured in the same manner as in Example 1, except that positive photosensitive composition 3 was used instead of negative photosensitive composition 1 to form the layer (A), and positive photosensitive composition 3 was used instead of positive photosensitive composition 1. was manufactured and the luminescence reliability (high-temperature continuous driving test) was evaluated. The evaluation results are shown in Table 10-1 and Table 10-2.

(비교예 8)(Comparative Example 8)

층(A)의 형성에 사용하는 네거티브형 감광성 조성물 1의 최적 노광량(A)을 측정할 때, 얻어진 현상막 형성 기판 상의 현상막측으로부터 초고압 수은등의 g, h, i 혼합선을 1000mJ(mJ/㎠: i선 환산값)의 노광량으로 전체면 노광하는 제 2 노광 공정을 추가한 것, 화소 분할층 형성 기판을 제작할 때에 있어서도 동일한 방법으로 1000mJ(mJ/㎠: i선 환산값)의 노광량으로 전체면 노광하는 제 2 노광 공정을 추가한 것, 층(B)을 형성하지 않은 것 이외에는 실시예 1과 동일한 방법으로 유기 EL 표시 장치를 제작하고, 발광 신뢰성(고온 연속 구동 시험)을 평가했다. 평가 결과를 표 10-1 및 표 10-2에 나타낸다.When measuring the optimal exposure dose (A) of the negative photosensitive composition 1 used for forming the layer (A), the g, h, and i mixing lines of an ultra-high pressure mercury lamp were measured from the developer side on the obtained developer film-forming substrate at 1000 mJ (mJ/cm2). : A second exposure process is added to expose the entire surface with an exposure amount of 1000 mJ (mJ/cm2: i-line conversion value) in the same manner when manufacturing a pixel division layer formation substrate. An organic EL display device was manufactured in the same manner as in Example 1 except that a second exposure process was added and the layer (B) was not formed, and the luminescence reliability (high temperature continuous driving test) was evaluated. The evaluation results are shown in Table 10-1 and Table 10-2.

(비교예 9)(Comparative Example 9)

네거티브형 스퀘어 패턴 노광 마스크(세로폭: 7.0㎛, 가로폭: 7.0㎛의 정방형의 차광부가 1000개 배열) 대신에, 해상도가 낮은 네거티브형 스퀘어 패턴 노광 마스크(세로폭: 50.0㎛, 가로폭: 260.0㎛의 장방형의 차광부가 50개 배열)를 사용하고, 개구폭 50.0±0.1㎛의 개구부가 얻어지도록, 층(A)의 형성에 사용하는 네거티브형 감광성 조성물 1의 최적 노광량(A)의 측정과, 화소 분할층 형성 기판의 제작을 행한 것, 층(B)을 형성하지 않은 것 이외에는 실시예 1과 동일한 방법으로 유기 EL 표시 장치를 제작하고, 발광 신뢰성(고온 연속 구동 시험)을 평가했다. 평가 결과를 표 10-1 및 표 10-2에 나타낸다.Instead of a negative square pattern exposure mask (1,000 square light-shielding portions with a height of 7.0 ㎛ and width of 7.0 ㎛), a low-resolution negative square pattern exposure mask (height of 50.0 ㎛, width of 260.0 ㎛) is used. Measurement of the optimal exposure amount (A) of the negative photosensitive composition 1 used in forming the layer (A) so that an aperture with an aperture width of 50.0 ± 0.1 mu m is obtained using an array of 50 ㎛ rectangular light-shielding portions; An organic EL display device was manufactured in the same manner as in Example 1 except that the pixel split layer formation substrate was manufactured and the layer (B) was not formed, and the luminescence reliability (high temperature continuous driving test) was evaluated. The evaluation results are shown in Table 10-1 and Table 10-2.

(비교예 10)(Comparative Example 10)

네거티브형 스퀘어 패턴 노광 마스크(세로폭: 7.0㎛, 가로폭: 7.0㎛의 정방형의 차광부가 1000개 배열) 대신에, 해상도가 낮은 네거티브형 스퀘어 패턴 노광 마스크(세로폭: 30.0㎛, 가로폭: 30.0㎛의 장방형의 차광부가 100개 배열)를 사용하고, 개구폭 30.0±0.1㎛의 개구부가 얻어지도록, 층(A)의 형성에 사용하는 네거티브형 감광성 조성물 1의 최적 노광량(A)의 측정과, 화소 분할층 형성 기판의 제작을 행한 것, 층(B)을 형성하지 않은 것 이외에는 실시예 1과 동일한 방법으로 유기 EL 표시 장치를 제작하고, 발광 신뢰성(고온 연속 구동 시험)을 평가했다. 평가 결과를 표 10-1 및 표 10-2에 나타낸다.Instead of a negative square pattern exposure mask (1000 square light-shielding portions of height: 7.0 ㎛, width: 7.0 ㎛ arranged), a low-resolution negative square pattern exposure mask (height: 30.0 ㎛, width: 30.0 ㎛) is used. Measurement of the optimal exposure amount (A) of the negative photosensitive composition 1 used in forming the layer (A) so that an aperture with an aperture width of 30.0 ± 0.1 mu m is obtained using an array of 100 ㎛ rectangular light-shielding portions; An organic EL display device was manufactured in the same manner as in Example 1 except that the pixel split layer formation substrate was manufactured and the layer (B) was not formed, and the luminescence reliability (high temperature continuous driving test) was evaluated. The evaluation results are shown in Table 10-1 and Table 10-2.

(실시예 12)(Example 12)

네거티브형 감광성 조성물 1 대신에, 네거티브형 감광성 조성물 4를 사용한 것, 네거티브형 스퀘어 패턴 노광 마스크(세로폭: 7.0㎛, 가로폭: 7.0㎛의 정방형의 차광부가 1000개 배열) 대신에, 네거티브형 홀 패턴 노광 마스크(직경 17.0㎛의 진원 형상의 차광부가 500개 배열)를 사용하고, 개구폭 17.0±0.1㎛의 개구부가 얻어지도록, 층(A)의 형성에 사용하는 네거티브형 감광성 조성물 4의 최적 노광량(A)의 측정과, 화소 분할층 형성 기판의 제작을 행한 것, 포지티브형 스퀘어 패턴 노광 마스크(세로폭: 7.0㎛, 가로폭: 7.0㎛의 정방형의 투과부가 1000개 배열) 대신에, 포지티브형 홀 패턴 노광 마스크(직경 30.0㎛의 진원 형상의 투과부가 500개 배열)를 사용하고, 개구폭 30.0±0.1㎛의 개구부가 얻어지도록, 층(B)의 형성에 사용하는 포지티브형 감광성 조성물 1의 최적 노광량(B)의 측정과, 화소 분할층 형성 기판의 제작을 행한 것 이외에는 실시예 1과 동일한 방법으로 유기 EL 표시 장치를 제작하고, 발광 신뢰성(고온 연속 구동 시험)을 평가했다. 또한, 층(B)이 층(A)의 표면을 덮는 면적률은 층(A)의 전체 표면적 100% 중 92%였다. 평가 결과(고온 연속 구동 시험)를 표 11-1 및 표 11-2에 나타낸다.Instead of negative photosensitive composition 1, negative photosensitive composition 4 was used, and instead of the negative square pattern exposure mask (1000 square light-shielding portions with a vertical width of 7.0 μm and a horizontal width of 7.0 μm arranged), a negative hole was used. Optimum exposure amount of negative photosensitive composition 4 used in forming layer (A) using a pattern exposure mask (500 circular light-shielding portions with a diameter of 17.0 μm arranged) so that an opening with an opening width of 17.0 ± 0.1 μm is obtained. The measurement in (A) and the production of the pixel dividing layer forming substrate were performed. Instead of a positive type square pattern exposure mask (1000 square transparent parts with a vertical width of 7.0 μm and a horizontal width of 7.0 μm arranged), a positive type was used. Optimum image of positive photosensitive composition 1 used in forming layer (B) using a hole pattern exposure mask (an array of 500 circularly shaped transparent portions with a diameter of 30.0 ㎛) so that an opening with an opening width of 30.0 ± 0.1 ㎛ is obtained. An organic EL display device was manufactured in the same manner as in Example 1 except that the exposure amount (B) was measured and the pixel split layer formation substrate was fabricated, and the luminescence reliability (high temperature continuous driving test) was evaluated. Additionally, the area ratio that layer (B) covered the surface of layer (A) was 92% of 100% of the total surface area of layer (A). The evaluation results (high temperature continuous operation test) are shown in Table 11-1 and Table 11-2.

[표 11-1][Table 11-1]

[표 11-2][Table 11-2]

(비교예 11)(Comparative Example 11)

층(B)을 형성하지 않은 것 이외에는 실시예 12와 동일한 방법으로 유기 EL 표시 장치를 제작하고, 발광 신뢰성(고온 연속 구동 시험)을 평가했다. 평가 결과를 표 11-1 및 표 11-2에 나타낸다.An organic EL display device was manufactured in the same manner as in Example 12 except that the layer (B) was not formed, and the luminescence reliability (high temperature continuous driving test) was evaluated. The evaluation results are shown in Table 11-1 and Table 11-2.

(실시예 13)(Example 13)

막두께가 0.5㎛가 되도록 층(B)을 형성한 것 이외에는 실시예 12와 동일한 방법으로 유기 EL 표시 장치를 제작하고, 발광 신뢰성(내광성 시험)을 평가했다. 평가 결과를 표 12-1 및 표 12-2에 나타낸다.An organic EL display device was produced in the same manner as in Example 12 except that the layer (B) was formed to have a film thickness of 0.5 μm, and the luminescence reliability (light fastness test) was evaluated. The evaluation results are shown in Table 12-1 and Table 12-2.

[표 12-1][Table 12-1]

[표 12-2][Table 12-2]

(비교예 12)(Comparative Example 12)

막두께가 0.5㎛가 되도록 층(B)을 형성한 것, 층(B)을 형성하지 않은 것 이외에는 실시예 12와 동일한 방법으로 유기 EL 표시 장치를 제작하고, 발광 신뢰성(내광성 시험)을 평가했다. 평가 결과를 표 12-1 및 표 12-2에 나타낸다.An organic EL display device was manufactured in the same manner as in Example 12, except that the layer (B) was formed so that the film thickness was 0.5 μm, and the layer (B) was not formed, and the luminescence reliability (light fastness test) was evaluated. . The evaluation results are shown in Table 12-1 and Table 12-2.

(실시예 14)(Example 14)

막두께가 0.5㎛가 되도록 층(B)을 형성한 것 이외에는 실시예 12와 동일한 방법으로 유기 EL 표시 장치를 제작하고, 또한 이하의 방법으로 제작한 컬러 필터 기판을, 에폭시계 접착제를 사용해서 광인출측에 부착하여, 컬러 필터 기판을 구비하는 유기 EL 표시 장치를 얻고, 발광 신뢰성(내광성 시험)을 평가했다. 평가 결과를 표 12-1 및 표 12-2에 나타낸다.An organic EL display device was manufactured in the same manner as in Example 12 except that the layer (B) was formed so that the film thickness was 0.5 ㎛, and the color filter substrate manufactured by the following method was optically bonded using an epoxy adhesive. By attaching it to the drawing side, an organic EL display device equipped with a color filter substrate was obtained, and the luminescence reliability (light fastness test) was evaluated. The evaluation results are shown in Table 12-1 and Table 12-2.

<컬러 필터 기판의 제작><Production of color filter substrate>

투명 유리 기재인 템팍스의 표면에, 컬러 필터용 네거티브형 감광성 녹색 조성물을, 최종적으로 얻어지는 경화막의 막두께가 1.0㎛가 되도록 회전수를 조절해서 스핀 코터로 도포해서 도포막을 얻었다. 핫플레이트를 사용해서 도포막을 대기압하 110℃에서 120초간 프리베이크하여, 프리베이크막을 얻었다. 양면 얼라인먼트 편면 노광 장치를 사용하고, 초고압 수은등의 g, h, i 혼합선을 노광량 100mJ/㎠로 프리베이크막에 전체면 노광해서 노광막을 얻었다. 노광막을 형성한 기판을, 고온 이너트 가스 오븐을 사용해서 공기 분위기하 230℃ 30분간 가열하여, 그린 컬러 필터 기판을 얻었다.A negative photosensitive green composition for color filters was applied to the surface of Tempax, a transparent glass substrate, with a spin coater while adjusting the rotation speed so that the film thickness of the final cured film obtained was 1.0 μm to obtain a coating film. Using a hot plate, the coating film was prebaked at 110°C under atmospheric pressure for 120 seconds to obtain a prebaked film. Using a double-sided alignment single-sided exposure device, the entire surface of the prebake film was exposed to the g, h, and i mixed lines of an ultra-high pressure mercury lamp at an exposure dose of 100 mJ/cm 2 to obtain an exposed film. The substrate on which the exposure film was formed was heated at 230°C for 30 minutes in an air atmosphere using a high-temperature inert gas oven to obtain a green color filter substrate.

(비교예 13)(Comparative Example 13)

층(B)을 형성하지 않은 것 이외에는 실시예 14와 동일한 방법으로 컬러 필터 기판을 구비하는 유기 EL 표시 장치를 제작하고, 발광 신뢰성(내광성 시험)을 평가했다. 평가 결과를 표 12-1 및 표 12-2에 나타낸다.An organic EL display device including a color filter substrate was produced in the same manner as in Example 14 except that the layer (B) was not formed, and the luminescence reliability (light fastness test) was evaluated. The evaluation results are shown in Table 12-1 and Table 12-2.

(실시예 15)(Example 15)

네거티브형 감광성 조성물 4 대신에, 네거티브형 감광성 조성물 10을 사용한 것 이외에는 실시예 14와 동일한 방법으로 제작한 컬러 필터 기판을 구비하는 유기 EL 표시 장치의 발광 신뢰성(내광성 시험)을 평가했다. 평가 결과를 표 12-1 및 표 12-2에 나타낸다.The luminescence reliability (light fastness test) of an organic EL display device equipped with a color filter substrate manufactured in the same manner as in Example 14 was evaluated, except that negative photosensitive composition 10 was used instead of negative photosensitive composition 4. The evaluation results are shown in Table 12-1 and Table 12-2.

(비교예 14)(Comparative Example 14)

층(B)을 형성하지 않은 것 이외에는 실시예 15와 동일한 방법으로 컬러 필터 기판을 구비하는 유기 EL 표시 장치를 제작하고, 발광 신뢰성(내광성 시험)을 평가했다. 평가 결과를 표 12-1 및 표 12-2에 나타낸다.An organic EL display device including a color filter substrate was produced in the same manner as in Example 15 except that the layer (B) was not formed, and the luminescence reliability (light fastness test) was evaluated. The evaluation results are shown in Table 12-1 and Table 12-2.

이상의 결과로부터, 실시예 1∼15에서 제작한 유기 EL 표시 장치는 비교예 1∼2 및 4∼14에서 제작한 유기 EL 표시 장치와 비교하여, 높은 차광성을 갖고, 개구폭이 좁은 개구부를 갖는 화소 분할층을 구비하고 있으면서, 우수한 발광 신뢰성이 얻어지고 있는 것을 알 수 있다.From the above results, compared to the organic EL display devices manufactured in Examples 1 to 15, the organic EL display devices manufactured in Comparative Examples 1 to 2 and 4 to 14 had high light blocking properties and had an aperture with a narrow aperture width. It can be seen that excellent light emission reliability is obtained by providing the pixel dividing layer.

따라서, 본 발명의 유기 EL 표시 장치가 유용한 것을 알 수 있다.Therefore, it can be seen that the organic EL display device of the present invention is useful.

산업상 이용 가능성Industrial applicability

본 발명의 유기 EL 표시 장치는, 표시부의 높은 해상도와 발광 신뢰성이 요구되는 용도, 예를 들면 옥외에서 이용되는 손목 시계 타입의 소형 웨어러블 디바이스나, 접을 수 있는 스마트폰 등의 전자기기에 바람직하게 이용할 수 있다.The organic EL display device of the present invention can be suitably used in applications requiring high resolution and luminous reliability of the display portion, for example, electronic devices such as small wearable devices of the wristwatch type used outdoors and foldable smartphones. You can.

1: TFT 2: 배선
3: TFT 절연층 4: 평탄화층
5: 제 1 전극 6: 기판
7: 콘택트 홀 8: 층(A)
9: 층(B) 10: 화소 분할층
11: 발광 화소 12: 제 2 전극
13: 기판 14: 블랙 매트릭스
15: 그린 컬러 필터 16: 레드 컬러 필터
17 : 블루 컬러 필터 18: 기판
19: 평탄화층 20: 제 1 전극
21: 층(A) 22: 층(B)
23: 기판 24: 평탄화층
25: 제 1 전극 26: 층(A)
27: 층(B) 28: 기판
29: 평탄화층 30: 제 1 전극
31: 층(A) 32: 층(B)
33: 기판 34: 평탄화층
35: 제 1 전극 36: 층(A)
37: 층(B) 38: 기판
39: 평탄화층 40: 제 1 전극
41: 층(A) 42: 층(B)
43: TFT 44: 층(A)
45: 블루 발광 화소가 배치된 층(A)의 개구부
46: 레드 발광 화소가 배치된 층(A)의 개구부
47: 그린 발광 화소가 배치된 층(A)의 개구부
48: 층(A)
49: 블루 발광 화소가 배치된 층(A)의 개구부
50: 레드 발광 화소가 배치된 층(A)의 개구부
51: 그린 발광 화소가 배치된 층(A)의 개구부
52: 층(A) 53: 발광 부위
54: 비발광 부위 55: 무알칼리 유리 기판
56: 평탄화층 57: 제 1 전극
58: 화소 분할층 59: 유기 EL층
60: 제 2 전극
1: TFT 2: Wiring
3: TFT insulating layer 4: Planarization layer
5: first electrode 6: substrate
7: Contact hole 8: Floor (A)
9: Layer (B) 10: Pixel division layer
11: light-emitting pixel 12: second electrode
13: substrate 14: black matrix
15: Green color filter 16: Red color filter
17: Blue color filter 18: Substrate
19: planarization layer 20: first electrode
21: Floor (A) 22: Floor (B)
23: substrate 24: planarization layer
25: first electrode 26: layer (A)
27: layer (B) 28: substrate
29: planarization layer 30: first electrode
31: Floor (A) 32: Floor (B)
33: substrate 34: planarization layer
35: first electrode 36: layer (A)
37: layer (B) 38: substrate
39: planarization layer 40: first electrode
41: Layer (A) 42: Layer (B)
43: TFT 44: Layer (A)
45: Opening of layer (A) where blue light-emitting pixels are arranged
46: Opening of layer (A) where red light-emitting pixels are arranged
47: Opening of layer (A) where green light-emitting pixels are arranged
48: Floor (A)
49: Opening of layer (A) where blue light-emitting pixels are arranged
50: Opening of layer (A) where red light-emitting pixels are arranged
51: Opening of layer (A) where green light-emitting pixels are arranged
52: Layer (A) 53: Light-emitting region
54: Non-luminous area 55: Alkali-free glass substrate
56: planarization layer 57: first electrode
58: Pixel division layer 59: Organic EL layer
60: second electrode

Claims (11)

기판, 평탄화층, 제 1 전극, 화소 분할층, 발광 화소, 제 2 전극을 이 순서로 구비하는 유기 EL 표시 장치로서, 상기 화소 분할층은 층(A)과 층(B)을 포함하고,
상기 층(A)은 상기 제 1 전극의 표면을 부분적으로 노출시켜서 상기 제 1 전극의 표면에 배치된 층이며, 상기 층(B)은 상기 층(A)의 표면의 적어도 일부에 배치된 층이며,
상기 층(A)이 안료 및/또는 염료와, 에틸렌성 불포화 이중 결합기를 분자 내에 2개 이상 갖는 화합물과, 광중합 개시제를 함유하는 네거티브형 감광성 조성물(a)의 경화물을 함유하고, 상기 층(B)이 수지와 광산 발생제를 함유하는 포지티브형 감광성 조성물(b)의 경화물을 함유하는 유기 EL 표시 장치.
An organic EL display device comprising a substrate, a planarization layer, a first electrode, a pixel split layer, a light emitting pixel, and a second electrode in this order, wherein the pixel split layer includes a layer (A) and a layer (B),
The layer (A) is a layer disposed on the surface of the first electrode by partially exposing the surface of the first electrode, and the layer (B) is a layer disposed on at least a portion of the surface of the layer (A). ,
The layer (A) contains a cured product of the negative photosensitive composition (a) containing a pigment and/or dye, a compound having two or more ethylenically unsaturated double bond groups in the molecule, and a photopolymerization initiator, and the layer ( B) An organic EL display device containing a cured product of the positive photosensitive composition (b) containing this resin and a photoacid generator.
제 1 항에 있어서,
표시부에 있어서, 상기 층(B)이 상기 층(A)의 표면을 덮는 면적률이, 상기 층(A)의 전체 표면적 100% 중 20∼100%인 부위를 갖는 유기 EL 표시 장치.
According to claim 1,
An organic EL display device in which, in the display portion, the area ratio of the layer (B) covering the surface of the layer (A) is 20 to 100% of 100% of the total surface area of the layer (A).
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 발광 화소의 광인출측에 컬러 필터를 더 구비하는 유기 EL 표시 장치.
The method of claim 1 or 2,
An organic EL display device further comprising a color filter on a light extraction side of the light-emitting pixel.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 층(A)이 표시부에 있어서, 상기 발광 화소가 배치된 개구 면적 30.0∼260.0㎛2의 개구부를 갖는 유기 EL 표시 장치.
The method of claim 1 or 2,
An organic EL display device, wherein the layer (A) is a display portion and has an opening with an opening area of 30.0 to 260.0 μm 2 where the light-emitting pixels are disposed.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 포지티브형 감광성 조성물(b)의 경화물이 이미드 결합 및/또는 벤조옥사졸 골격을 갖는 수지를 함유하는 유기 EL 표시 장치.
The method of claim 1 or 2,
An organic EL display device wherein the cured product of the positive photosensitive composition (b) contains a resin having an imide bond and/or a benzoxazole skeleton.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 네거티브형 감광성 조성물(a)의 경화물이 상기 안료를 함유하고, 상기 안료가 식(1) 또는 식(2)으로 나타내어지는 벤조디푸라논계 흑색 안료를 함유하는 유기 EL 표시 장치.


(식(1) 및 식(2) 중, R1∼R10은 각각 독립적으로 수소 원자, 불소 원자, 탄소수 1∼12의 알킬기, 수산기 또는 카르복실기를 나타낸다.)
The method of claim 1 or 2,
An organic EL display device in which the cured product of the negative photosensitive composition (a) contains the pigment, and the pigment contains a benzodifuranone-based black pigment represented by formula (1) or (2).


(In formulas (1) and (2), R 1 to R 10 each independently represent a hydrogen atom, a fluorine atom, an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, a hydroxyl group, or a carboxyl group.)
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 네거티브형 감광성 조성물(a)의 경화물이 C. I. 피그먼트 레드 123, C. I. 피그먼트 레드 149, C. I. 피그먼트 레드 178, C. I. 피그먼트 레드 179, C. I. 피그먼트 레드 190, C. I. 피그먼트 바이올렛 29 및 3,4,9,10-페릴렌테트라카르복실산비스벤조이미다졸로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1종의 페릴렌계 유기 안료를 더 함유하는 유기 EL 표시 장치.
The method of claim 1 or 2,
The cured product of the negative photosensitive composition (a) is CI Pigment Red 123, CI Pigment Red 149, CI Pigment Red 178, CI Pigment Red 179, CI Pigment Red 190, CI Pigment Violet 29 and 3, An organic EL display device further comprising at least one type of perylene-based organic pigment selected from the group consisting of 4,9,10-perylenetetracarboxylic acid bisbenzimidazole.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 네거티브형 감광성 조성물(a)의 경화물이 3,4,9,10-페릴렌테트라카르복실산비스벤조이미다졸을 더 함유하는 유기 EL 표시 장치.
The method of claim 1 or 2,
An organic EL display device wherein the cured product of the negative photosensitive composition (a) further contains 3,4,9,10-perylenetetracarboxylic acid bisbenzoimidazole.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 층(B)이 상기 층(A)의 표면에 배치된 부위에 있어서, 상기 층(A)의 막두께의 최대값이 0.5∼3.0㎛이며, 또한 상기 층(B)의 막두께의 최대값이 0.1∼3.0㎛인 부위를 갖는 유기 EL 표시 장치.
The method of claim 1 or 2,
In the area where the layer (B) is disposed on the surface of the layer (A), the maximum film thickness of the layer (A) is 0.5 to 3.0 μm, and the maximum film thickness of the layer (B) is 0.5 to 3.0 μm. An organic EL display device having a region of 0.1 to 3.0 μm.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 층(A)의 막두께 1㎛당의 광학 농도(OD/㎛)가 0.5∼1.5인 유기 EL 표시 장치.
The method of claim 1 or 2,
An organic EL display device wherein the optical density (OD/μm) per 1 μm film thickness of the layer (A) is 0.5 to 1.5.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 네거티브형 감광성 조성물(a)의 경화물이, 1차 입자지름이 5∼30nm이며, 또한 애스펙트비(장경/단경)가 1.0∼1.5인 실리카 입자를 함유하는 유기 EL 표시 장치.
The method of claim 1 or 2,
An organic EL display device in which the cured product of the negative photosensitive composition (a) contains silica particles having a primary particle diameter of 5 to 30 nm and an aspect ratio (major axis/minor axis) of 1.0 to 1.5.
KR1020247007746A 2021-10-18 2022-09-01 Organic EL display device KR20240088697A (en)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2021170041 2021-10-18
JPJP-P-2021-170041 2021-10-18
PCT/JP2022/032960 WO2023067908A1 (en) 2021-10-18 2022-09-01 Organic el display device

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20240088697A true KR20240088697A (en) 2024-06-20

Family

ID=86059073

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020247007746A KR20240088697A (en) 2021-10-18 2022-09-01 Organic EL display device

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JPWO2023067908A1 (en)
KR (1) KR20240088697A (en)
CN (1) CN118077312A (en)
WO (1) WO2023067908A1 (en)

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2021111860A1 (en) 2019-12-02 2021-06-10 東レ株式会社 Photosensitive composition, negative-type photosensitive composition, pixel division layer, and organic el display device

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9698204B2 (en) * 2013-12-06 2017-07-04 Sharp Kabushiki Kaisha Light-emitting substrate, photovoltaic cell, display device, lighting device, electronic device, organic light-emitting diode, and method of manufacturing light-emitting substrate
JP2015220001A (en) * 2014-05-15 2015-12-07 株式会社ジャパンディスプレイ Electroluminescent display device
WO2020194633A1 (en) * 2019-03-27 2020-10-01 シャープ株式会社 Display device
CN112349865B (en) * 2020-10-26 2024-04-26 京东方科技集团股份有限公司 OLED panel manufacturing method, OLED panel and electronic equipment

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2021111860A1 (en) 2019-12-02 2021-06-10 東レ株式会社 Photosensitive composition, negative-type photosensitive composition, pixel division layer, and organic el display device

Also Published As

Publication number Publication date
JPWO2023067908A1 (en) 2023-04-27
CN118077312A (en) 2024-05-24
WO2023067908A1 (en) 2023-04-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102318807B1 (en) A negative photosensitive resin composition, a cured film, a display device provided with a cured film, and its manufacturing method
TWI685099B (en) Organic EL display device
JP7234631B2 (en) Negative photosensitive resin composition, cured film, device and organic EL display provided with cured film, and method for producing the same
TWI599596B (en) Polyimide precursor, polyimide, flexible substrate using the same, color filter and method for producing the same, and flexible display device
TWI644944B (en) Polyimide precursor,polyimide resin film obtained from the same and display device thereof, optical device, light-receiving device, touch panel, circuit board, organic el display and organic el device and method for manufacturing color filter
TWI782907B (en) Negative photosensitive resin composition, cured film, display device with cured film, and manufacturing method thereof
JP2021167949A (en) Colored resin composition, colored film, color filter, and liquid crystal display device
JP6958351B2 (en) Hardened film and positive photosensitive resin composition
TW201920200A (en) Organic el display device and method for forming pixel division layer and planarizing layer
WO2021182499A1 (en) Organic el display device and photosensitive resin composition
JP2004145320A (en) Positive photosensitive resin composition
WO2022270182A1 (en) Positive photosensitive pigment composition, cured film containing cured product thereof, and organic el display device
JP6331314B2 (en) Flexible color filter, manufacturing method thereof, and flexible light-emitting device using the same
KR20240088697A (en) Organic EL display device
WO2022085433A1 (en) Display device and method for manufacturing display device
TW202248299A (en) Photosensitive resin composition, cured object, layered product, display device, and method for producing display device
TW202147606A (en) Organic el display device, production method for cured product, and production method for organic el display device
WO2022196261A1 (en) Organic el display device
WO2023171284A1 (en) Photosensitive resin composition, cured article, method for manufacturing cured article, organic el display device, and display device
WO2024038810A1 (en) Positive-type photosensitive composition, cured film, organic el display device, and colorant
CN117043676A (en) Positive photosensitive pigment composition, cured film containing cured product thereof, and organic EL display device
JP2023041121A (en) Colored resin composition, colored film and organic EL display device
TW202330729A (en) Photosensitive resin composition, cured article, organic el display device, semiconductor device, and method for producing cured article
JP2023134943A (en) Photosensitive resin composition, cured product and organic EL display
JP2023145369A (en) image display device