KR20240081729A - Led모듈 및 이를 사용하는 노광장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 제1방향으로 연장되는 가상의 축(A)을 둘러싸는 둘레방향을 따라 배치되는, 복수 개의 기판(110); 각각의 상기 기판(110)에 적어도 한 개씩 설치되어서 광을 방출하되 상기 가상의 축(A)으로부터 멀어지는 방향으로 광을 방출하고, 각각 한 개 이상의 발광소자(122)를 포함하는, 복수 개의 발광단위체(120); 및 각각의 상기 발광단위체(120)의 전방에 설치되는 복수 개의 제1집광렌즈(130)를 포함하는, LED모듈을 제공한다.
이에, 소정영역에서의 LED모듈(100)의 광량이 증가하고 광균일도가 향상될 수 있다. 이에, 노광장치에서 사용되는 종래의 램프를 LED모듈(100)로 교체하 수 있다.

Description

LED모듈 및 이를 사용하는 노광장치{LED MODULE AND EXPOSURE APPARATUS USING THE SAME}
본 발명은 LED모듈 및 이를 사용하는 노광장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는, 광량이 증가하고 광균일도가 향상되고 노광장치에서 사용되는 종래의 램프를 교체할 수 있는 LED모듈 및 이를 사용하는 노광장치에 관한 것이다.
도 1 및 도 2는 종래기술에 따른 노광장치를 나타낸 도면이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 종래의 노광장치는 종래의 자외선램프(예컨대, 수은 UV 램프)를 광원으로 사용한다. 여기에서, 노광장치는 반도체, MEMS, 디스플레이 패널 등의 회로 패턴을 형성하기 위해서 사용되는 장치일 수 있다.
종래의 자외선램프(예컨대, 수은 UV 램프)는 면광원이므로 종래의 자외선램프에서 사방으로 방출된 광이 반사경 또는 렌즈에 반사 또는 굴절된 후에 소정영역에 조사되면 소정영역에서의 광량 및 광균일도가 높을 수 있다.
이러한 종래의 자외선램프를 LED모듈로 교체할 경우에 다음과 같은 문제가 발생한다. LED모듈에 포함되는 각각의 발광소자는 점광원이므로 상기 소정영역에서 90% 이상의 광균일도를 유지하기 어렵고, 발광소자의 조사각도는 115~140도이므로 상기 소정영역에서 광량이 낮아진다.
그러나, 종래의 자외선램프를 LED모듈로 교체하면 소비전력이 낮아지고 유지비용의 절감되므로 종래의 자외선램프를 LED모듈로 교체할 필요가 있다. 또한, 종래의 자외선램프를 LED모듈로 교체 시 램프를 제외한 다른 조명기구(예컨대 반사경)를 교체하지 않고 그대로 사용할 수 있으므로 교체가 용이하고 교체비용이 절감될 수 있다.
따라서, 종래의 자외선램프를 LED모듈로 교체하더라도 상기 소정영역에서의 광량 및 광균일도가 낮아지지 않도록 LED모듈을 구성할 필요가 있다. 또한, LED모듈로 교체 시 발생하는 발열량 증가 등의 문제를 해결할 필요가 있다.
KR 10-0972633
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 본 발명의 실시예들은 광량이 증가하고 광균일도가 향상되는 LED모듈을 제공하는 데 그 목적이 있다.
또한, 본 발명의 실시예들은 노광장치에서 사용되는 종래의 램프를 교체 가능한 LED모듈을 제공하는 데 그 목적이 있다.
또한, 본 발명의 실시예들은 렌즈가 용이하게 배치 및 고정될 수 있고, LED모듈(100)이 소형화, 경량화될 수 있는 LED모듈을 제공하는 데 그 목적이 있다.
또한, 본 발명의 실시예들은 제조비용이 절감되고 제조시간이 단축할 수 있는 LED모듈을 제공하는 데 그 목적이 있다.
또한, 본 발명의 실시예들은 효과적으로 냉각되고 에너지효율이 향상되고 발열량이 감소하는 LED모듈을 제공하는 데 그 목적이 있다.
또한, 본 발명의 실시예들은 에너지효율이 향상되고 수명이 증가하며 유지관리 비용이 절감되는 노광장치를 제공하는 데 그 목적이 있다.
또한, 본 발명의 실시예들은 광조사량 등이 정확하게 조절될 수 있고 안전성이 향상되는 노광장치를 제공하는 데 그 목적이 있다.
또한, 본 발명의 실시예들은 COB(Chip On Board)형 LED(Light Emitting Diode) 패키지에서 LED소자(LED칩)마다 렌즈로 기능하는 실리콘을 도포하여 각각의 LED소자(LED칩)의 단위면적당 광출력 및 에너지효율을 향상시키는 LED모듈을 제공하는 데 그 목적이 있다.
상술한 과제를 해결하기 위해 본 발명은, 제1방향으로 연장되는 가상의 축(A)을 둘러싸는 둘레방향을 따라 배치되는, 복수 개의 기판(110); 각각의 상기 기판(110)에 적어도 한 개씩 설치되어서 광을 방출하되 상기 가상의 축(A)으로부터 멀어지는 방향으로 광을 방출하고, 각각 한 개 이상의 발광소자(122)를 포함하는, 복수 개의 발광단위체(120); 및 각각의 상기 발광단위체(120)의 전방에 설치되는 복수 개의 제1집광렌즈(130)를 포함하는, LED모듈을 제공한다.
일 실시예에서, 각각의 상기 제1집광렌즈(130)는, 각각의 제1집광렌즈(130)의 후방에 설치되고 제1집광렌즈(130)와 대응하는 각각의 상기 발광단위체(120)의 상기 한 개 이상의 발광소자(122)의 전방에 각각 배치되는 한 개 이상의 서브렌즈(132)를 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 각각의 상기 서브렌즈(132)는, 각각의 서브렌즈(132)의 후방에 배치되고 서브렌즈(132)와 대응하는 각각의 상기 발광소자(122)를 둘러싸고 발광소자(122)와 접하며 상기 기판(110)과 결합될 수 있다.
일 실시예에서, 상기 서브렌즈(132)는 광투과성 수지로 구성될 수 있다.
일 실시예에서, 각각의 상기 제1집광렌즈(130)의 전방에 설치되는 복수 개의 오목렌즈(140)를 더 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 가상의 축(A)과 수직인 임의의 평면으로 자른 단면 상에서, 상기 오목렌즈(140)는 입사면이 가상의 축(A)으로부터 멀어지는 방향으로 오목하게 요입되거나 출사면이 가상의 축(A)과 가까워지는 방향으로 오목하게 요입될 수 있다.
일 실시예에서, 발광단위체(120)는 상기 기판(110) 상에 칩온보드(Chip On Board, COB) 방식으로 실장될 수 있다.
일 실시예에서, 각각의 상기 발광단위체(120)는 상기 발광소자(122)를 두 개 이상 포함할 수 있다.
각각의 상기 발광단위체(120)에 있어서 상기 두 개 이상의 발광소자(122)가 둘레방향으로 배치될 수 있다.
일 실시예에서, 상기 기판(110)은 12개 이상이고, 이에 따라 상기 가상의 축(A)과 수직인 임의의 평면에 투영한 경우에 상기 복수 개의 발광단위체(120)의 광축은 적어도 12개 이상의 서로 다른 방향을 향할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 복수 개의 기판(110)으로 둘러싸이는 위치에 설치되고 내부에 냉매가 유동하는 냉각관을 더 포함할 수 있다.
또한, 상술한 과제를 해결하기 위해 본 발명은, 제1방향으로 연장되는 가상의 축(A)을 둘러싸는 둘레방향을 따라 배치되고, 각각 제1방향으로 연장되는, 복수 개의 기판(110); 및
각각의 상기 기판(110)에 복수 개씩 설치되어서 광을 방출하되 상기 가상의 축(A)으로부터 멀어지는 방향으로 광을 방출하고, 각각 한 개 이상의 발광소자(122)를 포함하는, 복수 개의 발광단위체(120)를 포함하는 LED모듈을 제공한다.
각각의 상기 기판(110)에 설치되는 상기 복수 개의 발광단위체(120) 중에서 적어도 일부의 발광단위체(120)는, 기판(110)의 둘레방향의 일측에 배치되되 제1방향으로 나란히 배치되는 제1그룹(G1)에 속하거나 상기 제1그룹(G1)보다 둘레방향의 타측에 배치되되 제1방향으로 나란히 배치되며 제1그룹(G1)과 둘레방향으로 이웃하는 제2그룹(G2)에 속한다.
상기 제1그룹(G1)에 속한 상기 발광단위체(120)와 상기 제2그룹(G2)에 속한 발광단위체(120)는 제1방향으로 서로 중첩되지 않는다.
또한, 상술한 과제를 해결하기 위해 본 발명은, 상기 LED모듈(100); 및 상기 LED모듈(100)의 제1방향의 일측에 배치되고 LED모듈(100)을 부분적으로 둘러싸며 제1방향의 일방으로 오목하게 형성된 반사경(200)을 포함하는 노광장치를 제공한다.
일 실시예에서, 상기 LED모듈(100)은, 상기 복수 개의 기판(110)으로 둘러싸이는 위치에 설치되고 내부에 냉매가 유동하는 냉각관 및 LED모듈(100) 내부의 온도를 측정하는 온도센서를 더 포함할 수 있다.
상기 냉각관과 연결되어서 냉각관에 냉매를 공급하고 냉매공급량을 조절하는 냉각기(400); 및 상기 온도센서로부터 온도정보를 수신하고 상기 냉각기(400)에 상기 온도정보 또는 냉매공급량정보를 송신하는 컨트롤러(500)를 더 포함할 수 있다.
상기 컨트롤러(500)는 상기 수신한 온도정보를 상기 냉각기(400)에 송신하거나 수신한 온도정보를 기초로 냉매공급량정보를 생성해서 상기 냉각기(400)에 송신할 수 있다.
상기 냉각기(400)는 상기 컨트롤러(500)로부터 상기 온도정보 또는 냉매공급량정보를 수신하고 수신한 온도정보 또는 냉매공급량정보를 기초로 냉매공급량을 조절할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 LED모듈(100)은, 상기 발광소자(122)에 인가되는 전압을 측정하는 전압센서, 발광소자(122)에 인가되는 전류를 측정하는 전류센서 및 발광소자(122)의 점등여부를 감지하는 점등센서 중에서 적어도 한 개의 센서를 더 포함할 수 있다.
상기 전압센서, 전류센서 및 점등센서 중에서 적어도 한 개의 센서로부터 전압정보, 전류정보 및 점등여부정보 중에서 적어도 한 가지의 정보를 수신하고 상기 적어도 한 가지의 정보를 기초로 상기 LED모듈(100)의 상기 발광소자(122)에 인가되는 전압 또는 전류를 조절하거나 LED모듈(100)의 작동을 중단하는 컨트롤러(500)를 더 포함할 수 있다.
소정영역에서의 LED모듈(100)의 광량이 증가하고 광균일도가 향상될 수 있다. 이에, 노광장치에서 사용되는 종래의 램프를 LED모듈(100)로 교체하 수 있다.
서브렌즈(132)가 용이하게 배치 및 고정될 수 있고, 서브렌즈(132)의 크기를 줄일 수 있으므로 LED모듈(100)이 소형화, 경량화될 수 있다.
LED모듈(100)의 제조비용이 절감되고 제조시간이 단축될 수 있다.
LED모듈(100)이 효과적으로 냉각될 수 있다.
LED모듈(100)의 에너지효율이 향상될 수 있고 발열량이 감소할 수 있다.
노광장치(10)의 에너지효율이 향상되고 수명이 증가하며 유지관리 비용이 절감될 수 있다.
노광장치(10)의 광조사량 등이 정확하게 조절될 수 있고 안전성이 향상될 수 있다.
상술한 효과와 더불어 본 발명의 구체적인 효과는 이하 발명을 실시하기 위한 구체적인 사항을 설명하면서 함께 기술한다.
도 1 및 도 2는 종래기술에 따른 노광장치를 나타낸 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 노광장치를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 4는 도 3의 노광장치 중에서 LED모듈, 냉각기 및 컨트롤러의 작동을 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 5 내지 도 7은 본 발명의 제1실시예에 따른 LED모듈을 나타낸 도면이다.
도 8 및 도 9는 본 발명의 제2실시예에 따른 LED모듈을 나타낸 도면이다.
도 10 및 도 11은 본 발명의 제3실시예에 따른 LED모듈을 나타낸 도면이다.
도 12 내지 도 15는 도 10 및 도 11의 LED모듈에 제1집광렌즈이 설치된 상태를 나타낸 도면이다.
도 16은 제1집광렌즈의 형태 또는 배치에 따른 조도를 비교한 표이다.
도 17 및 도 18은 도 12 내지 도 15의 LED모듈에 오목렌즈가 설치된 상태를 나타낸 도면이다.
도 19는 오목렌즈 설치 전후의 광분포를 비교한 표이다.
도 20은 제1실시예에 따른 LED모듈과 제2실시예에 따른 LED모듈의 성능을 비교한 표이다.
도 21은 제1실시예에 따른 LED모듈과 디퓨저를 추가한 제2실시예에 따른 LED모듈의 성능을 비교한 표이다.
도 22는 제1실시예에 따른 LED모듈과 제3실시예에 따른 LED모듈의 성능을 비교한 표이다.
도 23은 LED모듈과 컨트롤러의 연결부를 나타낸 도면이다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조로 하여 상세히 설명한다.
본 발명은 이하에서 개시되는 실시 예에 한정되는 것이 아니라 다양한 변경을 가할 수 있고 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있다. 단지 본 실시 예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하며 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위하여 제공되는 것이다. 따라서 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라, 어느 하나의 실시예의 구성과 다른 실시예의 구성을 서로 치환하거나 부가하는 것은 물론 본 발명의 기술적 사상과 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
첨부된 도면은 본 명세서에 개시된 실시 예를 쉽게 이해할 수 있도록 하기 위한 것일 뿐, 첨부된 도면에 의해 본 명세서에 개시된 기술적 사상이 제한되지 않으며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 도면에서 구성요소들은 이해의 편의 등을 고려하여 크기나 두께가 과장되게 크거나 작게 표현될 수 있으나, 이로 인해 본 발명의 보호범위가 제한적으로 해석되어서는 아니 될 것이다.
본 명세서에서 사용한 용어는 단지 특정한 구현예나 실시예를 설명하기 위해 사용되는 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 그리고 단수의 표현은, 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 명세서에서 ~포함하다, ~이루어진다 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이다. 즉 명세서에서 ~포함하다, ~이루어진다 등의 용어는. 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들이 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
제1, 제2 등과 같이 서수를 포함하는 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되지는 않는다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.
어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다.
어떤 구성요소가 다른 구성요소의 "상부에 있다"거나 "하부에 있다"고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소의 바로 위에 배치되어 있는 것뿐만 아니라 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
이하의 실시예들에서 개시되는 노광장치에 대해 각 도면을 참조하여 보다 구체적으로 살펴보기로 한다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 노광장치를 개략적으로 나타낸 도면이다. 도 4는 도 3의 노광장치 중에서 LED모듈, 냉각기 및 컨트롤러의 작동을 개략적으로 나타낸 도면이다. 도 5 내지 도 7은 본 발명의 제1실시예에 따른 LED모듈을 나타낸 도면이다. 도 8 및 도 9는 본 발명의 제2실시예에 따른 LED모듈을 나타낸 도면이다. 도 10 및 도 11은 본 발명의 제3실시예에 따른 LED모듈을 나타낸 도면이다. 도 12 내지 도 15는 도 10 및 도 11의 LED모듈에 제1집광렌즈이 설치된 상태를 나타낸 도면이다. 도 16은 제1집광렌즈의 형태 또는 배치에 따른 조도를 비교한 표이다. 도 17 및 도 18은 도 12 내지 도 15의 LED모듈에 오목렌즈가 설치된 상태를 나타낸 도면이다. 도 19는 오목렌즈 설치 전후의 광분포를 비교한 표이다. 도 20은 제1실시예에 따른 LED모듈과 제2실시예에 따른 LED모듈의 성능을 비교한 표이다. 도 21은 제1실시예에 따른 LED모듈과 디퓨저를 추가한 제2실시예에 따른 LED모듈의 성능을 비교한 표이다. 도 22는 제1실시예에 따른 LED모듈과 제3실시예에 따른 LED모듈의 성능을 비교한 표이다. 도 23은 LED모듈과 컨트롤러의 연결부를 나타낸 도면이다.
[노광장치]
도 3 및 도 4를 참조하면, 노광장치(10)는 LED모듈(100) 및 반사경(200)을 포함할 수 있다. 노광장치(10)는 제2집광렌즈(300), 냉각기(400) 및 컨트롤러(500) 중에서 적어도 하나를 포함할 수 있다. 이하, 각 구성에 대해서 구체적으로 살펴본다.
[LED모듈의 제1실시예]
도 5 내지 도 7을 참조하면, 제1실시예에 따른 LED모듈(100)은 복수 개의 기판(110) 및 복수 개의 발광단위체(120)를 포함할 수 있다. 제1실시예에 따른 LED모듈(100)은 베이스(105)를 더 포함할 수 있다. 제1실시예에 따른 LED모듈(100)은 커버(150)를 더 포함할 수 있다. 제1실시예에 따른 LED모듈(100)은 냉각관을 더 포함할 수 있다.
베이스(105)는 제1방향으로 연장되는 6각기둥 형상을 가질 수 있다.
복수 개의 기판(110)은 제1방향으로 연장되는 가상의 축(A)을 둘러싸는 둘레방향을 따라 배치될 수 있다. 예를 들면, 6개의 기판(110)이 베이스(105)의 6개의 외주면에 설치될 수 있다. 이에, 제1실시예에 따른 LED모듈(100)의 복수 개의 기판(110)은 6각기둥 형상을 이룰 수 있다.
한편, 도면과 달리, 복수 개의 기판(100)이 둘레방향으로 서로 연결될 수도 있다.
복수 개의 발광단위체(120)는 각각의 기판(110)에 적어도 한 개씩 설치될 수 있다. 예를 들면, 복수 개의 발광단위체(120)는 각각의 기판(110)에 제1방향으로 나란히 설치될 수 있고 1열로 설치될 수 있다(도 7). 이 때에 복수 개의 발광단위체(120)는 제1방향으로 서로 소정간격 이격되어서 배치될 수 있다.
복수 개의 발광단위체(120)는 광을 방출하되 가상의 축(A)으로부터 멀어지는 방향으로 광을 방출할 수 있다. 예를 들면 복수 개의 발광단위체(120)는 가상의 축(A)을 중심으로 방사상으로 광을 방출할 수 있다.
복수 개의 발광단위체(120)는 각각 한 개 이상의 발광소자(122)를 포함할 수 있다. 예를 들면, 발광단위체(120)는 4개의 발광소자(122)를 포함할 수 있다.
발광단위체(120)는 기판(110) 상에 칩온보드(Chip On Board, COB) 방식으로 실장될 수 있다.
7항//이에 따라, 복수 개의 발광소자(122)를 포함하는 발광단위체(120)를 기판(110)에 용이하고 저비용으로 설치할 수 있다. 또한, 발광단위체(120) 및/또는 발광소자(122)를 소형화할 수 있고 냉각효율이 향상될 수 있다.
발광단위체(120)는 자외선을 방출할 수 있다.
커버(150)는 복수 개의 기판(110) 및 복수 개의 발광단위체(120)를 둘레방향으로 둘러쌀 수 있다. 커버(150)는 원통형일 수 있다.
커버(150)는 내열성이 높고 자외선의 투과율이 높은 석영(quartz)을 포함하는 재질로 구성될 수 있다.
커버(150)는 광을 확산시키는 디퓨저로서 기능할 수 있다.
커버(150)는 커버(150) 안쪽에 배치되는 기판(110) 및 발광단위체(120) 등을 보호할 수 있다.
냉각관(미도시됨)은 복수 개의 기판(110)으로 둘러싸이는 위치에 설치될 수 있다. 예를 들면, 냉각관은 베이스(105)의 내부에 설치될 수 있다.
냉각관의 내부에 냉매가 유동할 수 있다.
10항//이에 따라, LED모듈(100)이 효과적으로 냉각될 수 있다.
[LED모듈의 제2실시예]
도 8 및 도 9를 참조하면, 제2실시예에 따른 LED모듈(100)은 복수 개의 기판(110) 및 복수 개의 발광단위체(120)를 포함할 수 있다. 제2실시예에 따른 LED모듈(100)은 베이스(105)를 더 포함할 수 있다. 제2실시예에 따른 LED모듈(100)은 커버(150)를 더 포함할 수 있다. 제2실시예에 따른 LED모듈(100)은 냉각관을 더 포함할 수 있다. 제2실시예에 따른 LED모듈(100)은 제1실시예에 따른 LED모듈(100)로부터 유추될 수 있다. 이하, 제1실시예에 따른 LED모듈(100)과의 차이점을 중심으로 살펴본다.
각각의 기판(110)에 설치되는 복수 개의 발광단위체(120) 중에서 적어도 일부의 발광단위체(120)는, 기판(110)의 둘레방향의 일측에 배치되되 제1방향으로 나란히 배치되는 제1그룹(G1)에 속하거나 제1그룹(G1)보다 둘레방향의 타측에 배치되되 제1방향으로 나란히 배치되며 제1그룹(G1)과 둘레방향으로 이웃하는 제2그룹(G2)에 속할 수 있다(도 7). 즉, 복수 개의 발광단위체(120)는 각각의 기판(110)에 제1방향으로 나란히 배치될 수 있고 2열로 배치될 수 있다.
이 때에, 제1그룹(G1)에 속한 발광단위체(120)와 제2그룹(G2)에 속한 발광단위체(120)는 제1방향으로 서로 중첩되지 않을 수 있다.
11항//이에 따라, 각각의 기판(110)에 복수 개의 발광단위체(120)를 제1방향으로 나란히 설치하되 둘레방향으로 2 이상의 열(G1, G2)로 설치할 때에 각 열의 발광단위체(120)의 제1방향 간격을 증가시키더라도 광량 및/또는 광균일도가 크게 저하되지 않을 수 있다. 이에, 에너지효율이 향상될 수 있고 발열량이 감소할 수 있다.
제1실시예에 따른 LED모듈(100)과 제2실시예에 따른 LED모듈(100)의 발광단위체(120)는 형상 및 크기가 동일할 수 있다.
[LED모듈의 제3실시예]
도 10 및 도 11을 참조하면, 제3실시예에 따른 LED모듈(100)은 복수 개의 기판(110) 및 복수 개의 발광단위체(120)를 포함할 수 있다. 제3실시예에 따른 LED모듈(100)은 베이스(105)를 더 포함할 수 있다. 제3실시예에 따른 LED모듈(100)은 커버(150)를 더 포함할 수 있다. 제3실시예에 따른 LED모듈(100)은 냉각관을 더 포함할 수 있다. 제3실시예에 따른 LED모듈(100)은 제1실시예에 따른 LED모듈(100)로부터 유추될 수 있다. 이하, 제1실시예에 따른 LED모듈(100)과의 차이점을 중심으로 살펴본다.
베이스(105)는 제1방향으로 연장되는 12각기둥 형상을 가질 수 있다. 제3실시예에 따른 LED모듈(100)의 베이스(105)의 직경은 제1실시예에 따른 LED모듈(100)의 베이스(105)의 직경보다 클 수 있다.
복수 개의 기판(110)은 12개가 구비될 수 있다. 12개의 기판(110)은 예를 들면, 베이스(105)의 12개의 외주면에 설치될 수 있다. 이에, 제3실시예에 따른 LED모듈(100)의 복수 개의 기판(110)은 12각기둥 형상을 이룰 수 있다.
이처럼, 기판(110)은 12개 이상일 수 있고, 이에 가상의 축(A)과 수직인 임의의 평면에 투영한 경우에 복수 개의 발광단위체(120)의 광축은 적어도 12개 이상의 서로 다른 방향을 향할 수 있다.
9항//이에 따라, 둘레방향으로 서로 이웃하는 한 쌍의 기판(110)에 각각 설치되고 둘레방향으로 서로 이웃하는 한 쌍의 발광단위체(120)의 광축의 각도차가 작아질 수 있다. 이에, 둘레방향으로 광균일도가 저하되는 문제가 완화 또는 해결될 수 있다. 따라서, 발광장치(예컨대, 노광장치)에 있어서, 종래의 램프(예컨대, 수은 UV 램프)를 LED모듈(100)로 교체하더라도 발광장치의 광균일도가 근사한 수준으로 유지되거나 향상될 수 있다.
도 12 내지 도 15를 더 참조하면, 제3실시예에 따른 LED모듈(100)은 복수 개의 제1집광렌즈(130)를 더 포함할 수 있다.
복수 개의 제1집광렌즈(130)는 각각의 발광단위체(120)의 전방에 설치될 수 있다.
1항//이에 따라, 각각의 제1집광렌즈(130)가 각각의 발광단위체(120)에서 방출된 광을 집광할 수 있으므로, i) 각각의 발광단위체(120)의 발광소자(122)의 조사각도가 크더라도 소정의 영역에 조사되는 광량이 증가할 수 있고 ii) 각각의 발광단위체(120)의 발광소자(122)가 점광원이라도 소정의 영역에 조사되는 광의 균일도가 향상될 수 있다. 이에, LED모듈(100)의 복수 개의 발광단위체(120)에 의해서 사방으로 방출된 광이 (예컨대 반사 또는 굴절되어서) 소정영역에 조사되는 경우에 소정영역의 광량이 증가하고 광균일도가 향상될 수 있다. 따라서, 사방으로 광을 방출하는 종래의 램프(예컨대, 수은 UV 램프)를 사용해서 소정영역에 광을 조사하는 발광장치(예컨대, 노광장치)에 있어서, 종래의 램프(예컨대, 수은 UV 램프)를 LED모듈(100)로 교체하더라도 발광장치의 광량 및/또는 광균일도가 유사하게 유지되거나 증가 또는 향상될 수 있다. 또한, 종래의 램프(예컨대, 수은 UV 램프)를 LED모듈(100)로 교체할 수 있으므로, 상기 발광모듈의 에너지효율이 향상되고 수명이 증가하며 유지관리 비용이 절감될 수 있다.
또한, 상기 발광모듈에 있어서, 사방으로 광을 방출하는 종래의 램프(예컨대, UV 램프)를 LED모듈(100)로 교체하기만 하면 충분하고, 기존의 다른 조명기구(예컨대 반사경(200))를 그대로 사용할 수 있다. 따라서, 교체비용이 절감될 수 있다. 또한, 다른 파장대의 광을 방출하는 LED모듈(100)로 간편하게 교체할 수 있다.
각각의 제1집광렌즈(130)는 한 개 이상의 서브렌즈(132)를 포함할 수 있다.
한 개 이상의 서브렌즈(132)는 각각의 제1집광렌즈(130)의 후방에 설치되고 제1집광렌즈(130)와 대응하는 각각의 발광단위체(120)의 한 개 이상의 발광소자(122)의 전방에 각각 배치될 수 있다(도 12, 도 13).
2항//이에 따라, 각각의 제1집광렌즈(130)의 각각의 서브렌즈(132)가 각각의 발광단위체(120)의 각각의 발광소자(122)에서 방출된 광을 개별적으로 집광할 수 있으므로, 집광이 효과적으로 이루어질 수 있다. 따라서, 상기 발광장치(예컨대, 노광장치)에 있어서, 종래의 램프(예컨대, 수은 UV 램프)를 LED모듈(100)로 교체하더라도 발광장치의 광량 및/또는 광균일도가 근사한 수준으로 유지되거나 증가 또는 향상될 수 있다.
한편, 각각의 발광단위체(120)는 칩온보드 방식으로 기판(110)에 실장되는 COB 모듈일 수 있다. 각각의 COB 모듈은 4개의 발광소자(122)를 포함할 수 있고 4각형을 이루어서 배치될 수 있다. COB 모듈의 각 발광소자(122)의 간격은 가로방향 및 세로방향으로 각각 2.8mm 일 수 있다. COB 모듈의 각 발광소자(122)의 광선속(radiant flux)은 2W 일 수 있고 365nm 파장의 광을 방출할 수 있으며 조사각이 130도일 수 있다.
이처럼, 발광소자(122)의 조사각이 130도이므로 광이 확산되어서 광량이 감소하므로, 광량을 증가시키기 위해서 각 발광소자(122)의 전방에 서브렌즈(132)를 설치(적층)할 수 있다.
각각의 서브렌즈(132)는, 각각의 서브렌즈(132)의 후방에 배치되고 서브렌즈(132)와 대응하는 각각의 발광소자(122)를 둘러싸고 발광소자(122)와 접하며 기판(110)과 결합될 수 있다.
3항//이에 따라, 각각의 발광단위체(120)의 각각의 발광소자(122) 별로 전방에 서브렌즈(132)를 용이하게 배치 및 고정할 수 있다. 또한, 서브렌즈(132)의 크기를 줄일 수 있으므로 LED모듈(100)이 소형화, 경량화될 수 있다.
예를 들면, 발광소자(122)가 0.5mm X 0.5mm 내지 1.0mm X 1.0mm 크기를 가지는 경우에 서브렌즈(132)의 직경은 발광소자(122) 전면을 덮을 수 있도록 1.2mm 내지 2.8mm일 수 있다. 한편, 발광소자(122) 간 간격은 서브렌즈(132)의 직경에 0.2mm 를 합산한 값일 수 있다.
서브렌즈(132)는 상단이 볼록하게 돌출되는 볼록렌즈일 수 있고 구형을 가질 수 있다.
서브렌즈(132)는 광투과성 수지로 구성될 수 있다.
4항//이에 따라, 액상의 광투과성 수지(예컨대 실리콘)를 발광소자(122)의 상부에 도포한 후에 도포된 광투과성 수지를 경화시키는 방법으로 간단하고 용이하며 저비용으로 서브렌즈(132)를 형성, 배치 및 고정할 수 있다. 이에, 제조비용이 절감되고 제조시간이 단축될 수 있다.
도 16을 참조하면, 서브렌즈(132) 직경이 1.92mm이고 서브렌즈(132) 높이가 1.64mm이며 서브렌즈(132) 피치(pitch)가 2.49mm인 세번째 조건(광학계 C-3)에서 가장 높은 광량(조도)을 얻는 것을 확인할 수 있다. 즉, 첫번째 조건(광학계 C-1) 대비 30mm 기존 조도가 136% 상승하고 1m 기준 조도가 157% 상승한다.
도 17 및 도 18을 더 참조하면, 제3실시예에 따른 LED모듈(100)은 복수 개의 오목렌즈(140)를 더 포함할 수 있다.
복수 개의 오목렌즈(140)는 각각의 제1집광렌즈(130)의 전방에 설치될 수 있다.
5항//이에 따라, 각각의 발광단위체(120)에서 방출된 광이 제1집광렌즈(130)를 지나면서 집광된 후에 오목렌즈(140)를 지나면서 적절하게 확산되므로 광균일도가 향상될 수 있다. 따라서, 상기 발광장치(예컨대, 노광장치)에 있어서, 종래의 램프(예컨대, 수은 UV 램프)를 LED모듈(100)로 교체하더라도 발광장치의 광균일도가 매우 근사한 수준으로 유지되거나 향상될 수 있다.
가상의 축(A)과 수직인 임의의 평면으로 자른 단면 상에서, 오목렌즈(140)는 입사면이 가상의 축(A)으로부터 멀어지는 방향으로 오목하게 요입되거나 출사면이 가상의 축(A)과 가까워지는 방향으로 오목하게 요입될 수 있다.
6항//이에 따라, 오목렌즈(140)가 발광단위체(120)에서 방출된 광을 둘레방향으로 확산시킬 수 있으므로 둘레방향으로 광균일도가 향상될 수 있다. 이에, 예컨대 둘레방향으로 서로 이웃하는 한 쌍의 기판(110)에 각각 설치되고 둘레방향으로 서로 이웃하는 한 쌍의 발광단위체(120)의 광축이 평행하지 않고 각도차를 이루어서 둘레방향으로 광균일도가 저하되는 문제가 완화 또는 해결될 수 있다. 따라서, 상기 발광장치(예컨대, 노광장치)에 있어서, 종래의 램프(예컨대, 수은 UV 램프)를 LED모듈(100)로 교체하더라도 발광장치의 광균일도가 매우 근사한 수준으로 유지되거나 향상될 수 있다.
도 19를 참조하면, 도 16의 세번째 조건(광학계 C-3)에서 오목렌즈(140) 설치 전후의 광분포를 비교하면, 오목렌즈(140) 설치 전에는 원형분포가 나타나지 않고 LED모듈의 단면 각이 나타나지만 오목렌즈(140) 설치 후에는 종래의 자외선램프와 같은 원형분포가 나타나는 것을 확인할 수 있다.
한편, 도 17 및 도 18과 같이, 발광단위체(120)는 발광소자(122)를 두 개 이상 포함할 수 있고, 각각의 발광단위체(120)에 있어서 두 개 이상의 발광소자(122)가 둘레방향으로 배치될 수 있다.
8항//이에 따라, 둘레방향으로 서로 이웃하는 한 쌍의 기판(110)에 각각 설치되고 둘레방향으로 서로 이웃하는 한 쌍의 발광단위체(120) 사이의 둘레방향 거리가 감소할 수 있으므로 둘레방향으로 광균일도가 향상될 수 있다. 이에, 상기 한 쌍의 발광단위체(120)의 광축이 평행하지 않고 각도차를 이루어서 둘레방향으로 광균일도가 저하되는 문제가 완화 또는 해결될 수 있다. 따라서, 상기 발광장치(예컨대, 노광장치)에 있어서, 종래의 램프(예컨대, 수은 UV 램프)를 LED모듈(100)로 교체하더라도 발광장치의 광균일도가 근사한 수준으로 유지되거나 향상될 수 있다.
한편, 제1실시예에 따른 LED모듈(100), 제2실시예에 따른 LED모듈(100) 및 제3실시예에 따른 LED모듈(100)은 LED모듈(100) 내부의 온도를 측정하는 온도센서, 발광소자(122)에 인가되는 전압을 측정하는 전압센서, 발광소자(122)에 인가되는 전류를 측정하는 전류센서 및 발광소자(122)의 점등여부를 감지하는 점등센서 중에서 적어도 한 개의 센서를 더 포함할 수 있다.
또한, LED모듈(100)이 노광장치(10)에만 사용되는 것은 아니고 노광장치(10) 외의 다른 발광장치에도 사용될 수 있다.
[반사경]
반사경(200)은 LED모듈(100)의 제1방향의 일측에 배치될 수 있다(도 3). 반사경(200)은 LED모듈(100)을 부분적으로 둘러싸며 제1방향의 일방으로 오목하게 형성될 수 있다.
12항//이에 따라, 노광장치가 종래의 램프(예컨대, 수은 UV 램프) 대신에 LED모듈(100)을 사용하므로, 노광장치(10)의 에너지효율이 향상되고 수명이 증가하며 유지관리 비용이 절감될 수 있다.
[제2집광렌즈]
제2집광렌즈(300)는 LED모듈(100)의 제1방향의 타측에 배치될 수 있다.
제2집광렌즈(300)는 LED모듈(100)에서 방출되어서 반사경(200)에 반사된 광을 집광할 수 있다(도 3).
[냉각기]
냉각기(400)는 LED모듈(100)의 냉각관과 연결되어서 냉각관에 냉매를 공급하고 냉매공급량을 조절할 수 있다.
냉각기(400)는 컨트롤러(500)로부터 온도정보 또는 냉매공급량정보를 수신하고 수신한 온도정보 또는 냉매공급량정보를 기초로 냉매공급량을 조절할 수 있다(도 4).
13항//이에 따라, 노광장치가 종래의 램프(예컨대, 수은 UV 램프) 대신에 LED모듈(100)을 사용함에 따라 발열량이 증가하더라도 온도센서, 컨트롤러(500) 및 냉각기(400)를 사용해서 LED모듈(100)을 효과적이고 효율적으로 냉각시킬 수 있다. 따라서, 노광장치의 에너지효율이 향상되고 수명이 증가하며 유지관리 비용이 절감될 수 있다.
[컨트롤러]
컨트롤러(500)는 LED모듈(100)의 온도센서로부터 온도정보를 수신하고 냉각기(400)에 상기 온도정보 또는 냉매공급량정보를 송신할 수 있다(도 4).
컨트롤러(500)는 수신한 온도정보를 냉각기(400)에 송신하거나 수신한 온도정보를 기초로 냉매공급량정보를 생성해서 냉각기(400)에 송신할 수 있다(도 4).
컨트롤러(500)는 전압센서, 전류센서 및 점등센서 중에서 적어도 한 개의 센서로부터 전압정보, 전류정보 및 점등여부정보 중에서 적어도 한 가지의 정보를 수신하고 상기 적어도 한 가지의 정보를 기초로 상기 LED모듈(100)의 상기 발광소자(122)에 인가되는 전압 또는 전류를 조절하거나 LED모듈(100)의 작동을 중단할 수 있다(도 4).
14항//이에 따라, 노광장치가 종래의 램프(예컨대, 수은 UV 램프) 대신에 LED모듈(100)을 사용함에 따라 노광장치의 광조사량 등이 전압 또는 전류 세기에 민감해지고 발광소자(122)의 이상작동 시 발열 등에 의한 피해가 커질 가능성이 있더라도, 전압센서, 전류센서 및/또는 점등센서와 컨트롤러(500)를 사용해서 이러한 문제를 해결할 수 있다. 따라서, 노광장치(10)가 LED모듈(100)을 사용하더라도 노광장치(10)의 광조사량 등이 정확하게 조절될 수 있고 안전성이 향상될 수 있다.
컨트롤러(500)에 의해서 LED모듈(100)의 전류, 전압을 조정 가능하다. 따라서, 사용자의 용도(구동 시간, 조도)에 따라 조견 변동이 가능하다.
컨트롤러(500)는 LED모듈(100) 내부의 센서를 통해 전압, 전류, 온도, LED 점등 신호를 감지하여, 일정 세팅 기준 이상 전압, 전류 온도 감지 및 LED 미점등시 에러 신호를 감지하여 LED모듈(100)이 작동 중지될 수 있다.
냉각기(400)는 LED모듈(100) 내부 냉각관을 통해 냉매 공급하는 역할을 가지고 있으나, 컨트롤러(500) S/W와 연동하여 LED모듈(100) 내부 온도 신호를 감지하면 냉매 유량을 조정할 수 있다.
한편, 도 23을 참조하면, 컨트롤러(500)는 노광장치(10) 내부의 LED모듈(100)과 커넥터를 통해 연결될 수 있다. 또한, LED모듈(100)과 반사경(300)을 결합하는 육각볼트형 고정 지그를 구비될 수 있다. (파워) 커넥터는 LED모듈(100), 컨트롤러(500) 교체 및 배선 연장용으로 구성되며, 노광기 유지보수시 간편하게 관리할 수 있다.
[실험결과]
도 20 및 도 21을 참조하면, 제2실시예에 따른 LED모듈(100)을 사용하되 디퓨저(Diffuser) 없이 사용하는 경우(도 20의 LED 모듈 컨셉 B)보다 디퓨저(Diffuser)와 함께 사용하는 경우(도 21의 LED 모듈 컨셉 B)에 균일도가 상승하지만 조도가 감소하는 것을 확인할 수 있다. 여기에서, 디퓨저는 전술한 커버(150)일 수 있고 두께 2mm의 원통형일 수 있다.
도 22를 참조하면, 제3실시예에 따른 LED모듈(100)을 사용하는 경우(LED 모듈 컨셉 C)에 제1실시예에 따른 LED모듈(100)을 사용하는 경우(LED 모듈 컨셉 A)보다 광균일도가 83%에서 94%로 상승해서 음영 영역(Spot)가 개선된 것을 확인할 수 있다. 또한, 최대조도가 21.2mW/cm2에서 55.4mW/cm2로 상승한 것을 확인할 수 있다.
이상과 같이 본 발명에 대해서 예시한 도면을 참조로 하여 설명하였으나, 본 명세서에 개시된 실시예와 도면에 의해 본 발명이 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 기술사상의 범위 내에서 통상의 기술자에 의해 다양한 변형이 이루어질 수 있음은 자명하다. 아울러 앞서 본 발명의 실시예를 설명하면서 본 발명의 구성에 따른 작용 효과를 명시적으로 기재하여 설명하지 않았을 지라도, 해당 구성에 의해 예측 가능한 효과 또한 인정되어야 함은 당연하다.
10: 노광장치
100: LED모듈 110: 기판
120: 발광단위체 122: 발광소자
130: 제1집광렌즈 132: 서브렌즈
140: 오목렌즈 150: 커버
200: 반사경
300: 제2집광렌즈
400: 냉각기
500: 컨트롤러

Claims (14)

  1. 제1방향으로 연장되는 가상의 축(A)을 둘러싸는 둘레방향을 따라 배치되는, 복수 개의 기판(110);
    각각의 상기 기판(110)에 적어도 한 개씩 설치되어서 광을 방출하되 상기 가상의 축(A)으로부터 멀어지는 방향으로 광을 방출하고, 각각 한 개 이상의 발광소자(122)를 포함하는, 복수 개의 발광단위체(120); 및
    각각의 상기 발광단위체(120)의 전방에 설치되는 복수 개의 제1집광렌즈(130)를 포함하는,
    LED모듈.
  2. 청구항 1에 있어서,
    각각의 상기 제1집광렌즈(130)는, 각각의 제1집광렌즈(130)의 후방에 설치되고 제1집광렌즈(130)와 대응하는 각각의 상기 발광단위체(120)의 상기 한 개 이상의 발광소자(122)의 전방에 각각 배치되는 한 개 이상의 서브렌즈(132)를 포함하는, LED모듈.
  3. 청구항 2에 있어서,
    각각의 상기 서브렌즈(132)는, 각각의 서브렌즈(132)의 후방에 배치되고 서브렌즈(132)와 대응하는 각각의 상기 발광소자(122)를 둘러싸고 발광소자(122)와 접하며 상기 기판(110)과 결합되는, LED모듈.
  4. 청구항 3에 있어서,
    상기 서브렌즈(132)는 광투과성 수지로 구성되는, LED모듈.
  5. 청구항 1에 있어서,
    각각의 상기 제1집광렌즈(130)의 전방에 설치되는 복수 개의 오목렌즈(140)를 더 포함하는, LED모듈.
  6. 청구항 5에 있어서,
    상기 가상의 축(A)과 수직인 임의의 평면으로 자른 단면 상에서, 상기 오목렌즈(140)는 입사면이 가상의 축(A)으로부터 멀어지는 방향으로 오목하게 요입되거나 출사면이 가상의 축(A)과 가까워지는 방향으로 오목하게 요입되는, LED모듈.
  7. 청구항 1에 있어서,
    발광단위체(120)는 상기 기판(110) 상에 칩온보드(Chip On Board, COB) 방식으로 실장되는, LED모듈.
  8. 청구항 1에 있어서,
    각각의 상기 발광단위체(120)는 상기 발광소자(122)를 두 개 이상 포함하고,
    각각의 상기 발광단위체(120)에 있어서 상기 두 개 이상의 발광소자(122)가 둘레방향으로 배치되는, LED모듈.
  9. 청구항 1에 있어서,
    상기 기판(110)은 12개 이상이고, 이에 따라 상기 가상의 축(A)과 수직인 임의의 평면에 투영한 경우에 상기 복수 개의 발광단위체(120)의 광축은 적어도 12개 이상의 서로 다른 방향을 향하는, LED모듈.
  10. 청구항 1에 있어서,
    상기 복수 개의 기판(110)으로 둘러싸이는 위치에 설치되고 내부에 냉매가 유동하는 냉각관을 더 포함하는, LED모듈.
  11. 제1방향으로 연장되는 가상의 축(A)을 둘러싸는 둘레방향을 따라 배치되고, 각각 제1방향으로 연장되는, 복수 개의 기판(110); 및
    각각의 상기 기판(110)에 복수 개씩 설치되어서 광을 방출하되 상기 가상의 축(A)으로부터 멀어지는 방향으로 광을 방출하고, 각각 한 개 이상의 발광소자(122)를 포함하는, 복수 개의 발광단위체(120)를 포함하고,
    각각의 상기 기판(110)에 설치되는 상기 복수 개의 발광단위체(120) 중에서 적어도 일부의 발광단위체(120)는, 기판(110)의 둘레방향의 일측에 배치되되 제1방향으로 나란히 배치되는 제1그룹(G1)에 속하거나 상기 제1그룹(G1)보다 둘레방향의 타측에 배치되되 제1방향으로 나란히 배치되며 제1그룹(G1)과 둘레방향으로 이웃하는 제2그룹(G2)에 속하고,
    상기 제1그룹(G1)에 속한 상기 발광단위체(120)와 상기 제2그룹(G2)에 속한 발광단위체(120)는 제1방향으로 서로 중첩되지 않는,
    LED모듈.
  12. 청구항 1 내지 청구항 9 및 청구항 11 중에서 어느 한 항의 LED모듈(100); 및
    상기 LED모듈(100)의 제1방향의 일측에 배치되고 LED모듈(100)을 부분적으로 둘러싸며 제1방향의 일방으로 오목하게 형성된 반사경(200)을 포함하는,
    노광장치.
  13. 청구항 12에 있어서,
    상기 LED모듈(100)은, 상기 복수 개의 기판(110)으로 둘러싸이는 위치에 설치되고 내부에 냉매가 유동하는 냉각관 및 LED모듈(100) 내부의 온도를 측정하는 온도센서를 더 포함하고,
    상기 냉각관과 연결되어서 냉각관에 냉매를 공급하고 냉매공급량을 조절하는 냉각기(400); 및
    상기 온도센서로부터 온도정보를 수신하고 상기 냉각기(400)에 상기 온도정보 또는 냉매공급량정보를 송신하는 컨트롤러(500)를 더 포함하고,
    상기 컨트롤러(500)는 상기 수신한 온도정보를 상기 냉각기(400)에 송신하거나 수신한 온도정보를 기초로 냉매공급량정보를 생성해서 상기 냉각기(400)에 송신하고,
    상기 냉각기(400)는 상기 컨트롤러(500)로부터 상기 온도정보 또는 냉매공급량정보를 수신하고 수신한 온도정보 또는 냉매공급량정보를 기초로 냉매공급량을 조절하는, 노광장치.
  14. 청구항 12에 있어서,
    상기 LED모듈(100)은, 상기 발광소자(122)에 인가되는 전압을 측정하는 전압센서, 발광소자(122)에 인가되는 전류를 측정하는 전류센서 및 발광소자(122)의 점등여부를 감지하는 점등센서 중에서 적어도 한 개의 센서를 더 포함하고,
    상기 전압센서, 전류센서 및 점등센서 중에서 적어도 한 개의 센서로부터 전압정보, 전류정보 및 점등여부정보 중에서 적어도 한 가지의 정보를 수신하고 상기 적어도 한 가지의 정보를 기초로 상기 LED모듈(100)의 상기 발광소자(122)에 인가되는 전압 또는 전류를 조절하거나 LED모듈(100)의 작동을 중단하는 컨트롤러(500)를 더 포함하는, 노광장치.

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