KR20240068428A - Heater built-in gate valve - Google Patents

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Abstract

본 발명과 관련된 히터 내장형 게이트 밸브는, 게이트를 개폐시키는 도어 플레이트와, 상기 도어 플레이트를 지지할 수 있게 형성된 지지 플레이트 및, 상기 도어 플레이트와 상기 지지 플레이트 사이에 배치되는 히터를 갖는, 도어 어셈블리; 상기 피스톤로드를 작동시키기 위한 구동 실린더; 상기 도어 어셈블리와 상기 구동 실린더를 연결하며, 길이방향으로 중공이 형성된 피스톤로드; 및 상기 피스톤로드의 상기 중공을 통과하여 상기 도어 어셈블리에 부착되는 케이블을 포함하고, 상기 지지플레이트는, 상기 케이블이 설치되기 위한 설치홀; 및 상기 설치홀의 상기 히터에 접하는 쪽에 가로질러 형성되며, 스크루에 의하여 상기 케이블의 적어도 일부를 체결하여 고정시킬 수 있게 형성된 브릿지부를 포함한다.A gate valve with a built-in heater related to the present invention includes a door assembly having a door plate that opens and closes a gate, a support plate formed to support the door plate, and a heater disposed between the door plate and the support plate; a driving cylinder for operating the piston rod; a piston rod connecting the door assembly and the driving cylinder and having a hollow longitudinal direction; and a cable passing through the hollow of the piston rod and attached to the door assembly, wherein the support plate includes an installation hole for installing the cable; and a bridge portion formed across a side of the installation hole in contact with the heater and configured to fasten and secure at least a portion of the cable using a screw.

Description

히터 내장형 게이트 밸브{HEATER BUILT-IN GATE VALVE}Gate valve with built-in heater {HEATER BUILT-IN GATE VALVE}

본 발명은 히터가 내장된 게이트 밸브에 관한 것이다.The present invention relates to a gate valve with a built-in heater.

반도체 제조 공정에서는 불순물과 평균 자유 경로, 플라즈마의 사용 등의 이유로 진공 분위기에서 이루어져야 한다. 반도체 외에도 디스플레이, OLED, 태양광 소자 등의 제조에서도 공정의 특성상 진공공정이 수반되는 경우가 많다.The semiconductor manufacturing process must be carried out in a vacuum atmosphere for reasons such as impurities, mean free path, and use of plasma. In addition to semiconductors, the manufacturing of displays, OLEDs, and solar devices often involves vacuum processes due to the nature of the process.

요구된 진공 분위기를 유지하고 공정을 진행하기 위한 진공 시스템은 용기(챔버), 펌프, 진공도를 측정하는 게이지와 함께 각종 밸브가 필요하다. 진공 시스템 내의 밸브는 기능과 타입에 따라 다양한데, 이중 게이트 밸브는 예를 들어 챔버(예비실)와 챔버(가공실) 사이에서 개방시 가공물과 로봇의 출입을 가능하게 하면서도 닫힘시에는 진공도를 유지시켜 줄 수 있도록 구성한 밸브이다. 게이트 밸브에는 통로를 차단 및 개방하기 위한 게이트 플레이트와 이를 구동하기 위한 장치가 구비되는데, 공정에 따른 반복적인 개폐로부터 밀봉성을 유지시키는 것이 핵심 요건이다. 그런데, 챔버 내의 이온성 파티클이 플레이트 및 실링 등에 끼기 쉽고 그에 따라 진공의 누설을 발생시키는 요인으로 작용하거나, 동작 과정에서 발생하는 충격이 챔버 내의 파티클에 교란을 주어 이어지는 공정의 품질을 저하시킬 수 있다. 따라서, 이를 방지할 수 있는 방법이나 구조를 갖는 진공 공정용 게이트 밸브가 개발되고 있다. 파티클이 게이트 밸브에 부착되는 것을 방지하기 위한 유용한 방법의 하나는 온도를 높이는 것이다. 이를 위하여 게이트 밸브에 히터를 부착시키고 설정된 온도까지 가열 및 유지시키는 방안이 제시되고 있다.A vacuum system to maintain the required vacuum atmosphere and proceed with the process requires a container (chamber), a pump, a gauge to measure the degree of vacuum, and various valves. Valves in a vacuum system vary depending on their function and type. For example, a double gate valve allows workpieces and robots to enter and exit between the chamber (preparation room) and the chamber (processing room) when opened, while maintaining the degree of vacuum when closed. It is a valve designed to give The gate valve is equipped with a gate plate to block and open the passage and a device to drive it, and the key requirement is to maintain sealability from repeated opening and closing according to the process. However, ionic particles in the chamber can easily become stuck in plates and seals, thereby acting as a factor causing vacuum leakage, or shocks generated during the operation can disturb the particles in the chamber, deteriorating the quality of the subsequent process. . Accordingly, gate valves for vacuum processes that have a method or structure to prevent this are being developed. One useful way to prevent particles from attaching to the gate valve is to increase the temperature. For this purpose, a method has been proposed to attach a heater to the gate valve and heat and maintain it to a set temperature.

*관련 선행기술*Related prior art

일본 공개특허 제2011-169333호(2011.09.01 공개)Japanese Patent Publication No. 2011-169333 (published on September 1, 2011)

일본 공개특허 제2009-204137호(2009.09.10 공개)Japanese Patent Publication No. 2009-204137 (published on September 10, 2009)

일본 등록특허 제6145445호(2017.05.19 등록)Japanese Patent No. 6145445 (registered on May 19, 2017)

일본 공개특허 제2011-102595호(2011.05.26 공개)Japanese Patent Publication No. 2011-102595 (published on May 26, 2011)

일본 등록특허 제6412670호(2018.10.05 등록)Japanese Patent No. 6412670 (registered on October 5, 2018)

본 발명의 목적은, 히터를 게이트 플레이트에 설치함에 있어 대기압에 노출되며 케이블의 접속이나 센서 케이블의 장착 부위에서의 진공에 대한 안정성과 밀봉차단성을 향상시킬 수 있는 히터 내장형 게이트 밸브를 제시하는데 있다.The purpose of the present invention is to present a gate valve with a built-in heater that is exposed to atmospheric pressure when installing the heater on the gate plate and can improve stability and sealing against vacuum at the cable connection or sensor cable mounting area. .

본 발명의 과제들은 위에서 언급한 것에 국한되지 않으며, 이와 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 통상의 기술자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The problems of the present invention are not limited to those mentioned above, and other technical problems will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

본 발명과 관련된 히터 내장형 게이트 밸브는, 게이트를 개폐시키는 도어 플레이트와, 상기 도어 플레이트를 지지할 수 있게 형성된 지지 플레이트 및, 상기 도어 플레이트와 상기 지지 플레이트 사이에 배치되는 히터를 갖는, 도어 어셈블리; 상기 피스톤로드를 작동시키기 위한 구동 실린더; 상기 도어 어셈블리와 상기 구동 실린더를 연결하며, 길이방향으로 중공이 형성된 피스톤로드; 및 상기 피스톤로드의 상기 중공을 통과하여 상기 도어 어셈블리에 부착되는 케이블을 포함하고, 상기 지지플레이트는, 상기 케이블이 설치되기 위한 설치홀; 및 상기 설치홀의 상기 히터에 접하는 쪽에 가로질러 형성되며, 스크루에 의하여 상기 케이블의 적어도 일부를 체결하여 고정시킬 수 있게 형성된 브릿지부를 포함한다.A gate valve with a built-in heater related to the present invention includes a door assembly having a door plate that opens and closes a gate, a support plate formed to support the door plate, and a heater disposed between the door plate and the support plate; a driving cylinder for operating the piston rod; a piston rod connecting the door assembly and the driving cylinder and having a hollow longitudinal direction; and a cable passing through the hollow of the piston rod and attached to the door assembly, wherein the support plate includes an installation hole for installing the cable; and a bridge portion formed across a side of the installation hole that is in contact with the heater and capable of fastening and fixing at least a portion of the cable with a screw.

본 발명과 관련된 일 예로서, 상기 히터는 면상으로 형성되고, 상기 지지 플레이트는 상기 히터가 배치된 상태에서 상기 도어 플레이트의 후면에 밀착하여 결합될 수 있다.As an example related to the present invention, the heater may be formed in a planar shape, and the support plate may be closely coupled to the rear surface of the door plate when the heater is disposed.

본 발명과 관련된 일 예로서, 상기 브릿지부는 상기 스크루가 체결될 수 있게 형성된 나사홀을 포함할 수 있다.As an example related to the present invention, the bridge portion may include a screw hole formed to allow the screw to be fastened.

본 발명과 관련된 일 예로서, 상기 케이블은, 상기 히터에 부착되는 급전 케이블; 및 상기 브릿지부에 상기 스크루에 의하여 부착될 수 있게 형성된 센서 케이블을 포함할 수 있다.As an example related to the present invention, the cable includes: a power supply cable attached to the heater; And it may include a sensor cable that can be attached to the bridge portion by the screw.

본 발명과 관련된 일 예로서, 상기 센서 케이블의 단부에는 상기 스크루(154)에 의하여 체결되기 위한 체결편이 형성될 수 있다.As an example related to the present invention, a fastening piece for fastening by the screw 154 may be formed at the end of the sensor cable.

본 발명과 관련된 일 예로서, 상기 급전 케이블은 전원의 공급을 위한 2개의 전극 케이블을 포함하고, 상기 브릿지부에 의하여 나뉘어지는 2개의 홀을 상기 2개의 전극 케이블이 나뉘어져 통과하여 상기 히터에 연결될 수 있다.As an example related to the present invention, the feed cable includes two electrode cables for supplying power, and the two electrode cables can pass through two holes divided by the bridge portion and be connected to the heater. there is.

본 발명과 관련된 일 예로서, 상기 히터 내장형 게이트 밸브는, 상기 지지 플레이트(112)에 힌지결합되며, 관통홀이 형성된 요크 블럭; 상기 피스톤로드의 단부에 결합되고, 상기 관통홀에 끼워져 고정될 수 있게 형성된, 결합 부재; 및 상기 결합 부재의 단부에 끼워지고, 상기 설치홀의 내주면에 밀착될 수 있게 형성된 오링을 더 포함할 수 있다.As an example related to the present invention, the heater-embedded gate valve includes a yoke block hinged to the support plate 112 and having a through hole; A coupling member coupled to an end of the piston rod and formed to be inserted into and fixed to the through hole; And it may further include an O-ring fitted to an end of the coupling member and formed to be in close contact with the inner peripheral surface of the installation hole.

본 발명과 관련된 히터 내장형 게이트 밸브에 의하면, 지지 플레이트에 설치홀을 형성하고, 도어 플레이트와 지지 플레이트 사이에 배치된 히터를 연결하는 케이블을 설치홀을 통하여 접속시키는 구조로서, 설치홀에 별도로 형성된 브릿지부를 이용하여 케이블의 고정함으로써 케이블의 히터에 대한 안정적인 접속구조를 얻을 수 있다. 이와 같은 구조는 히터 및 접촉구조가 대기압으로 노출되더라도 챔버에 대한 진공차단을 확실하게 할 수 있는 장점이 있다.According to the heater-embedded gate valve related to the present invention, an installation hole is formed in a support plate, and a cable connecting a heater disposed between the door plate and the support plate is connected through the installation hole, and a bridge is separately formed in the installation hole. By fixing the cable using the part, a stable connection structure of the cable to the heater can be obtained. This structure has the advantage of ensuring vacuum blocking of the chamber even if the heater and contact structure are exposed to atmospheric pressure.

도 1은 본 발명의 일 예에 따른 히터 내장형 게이트 밸브를 보인 사시도이다.
도 2는 도 1의 히터 내장형 게이트 밸브의 단면도이다.
도 3은 도 2의 상태에서 구동 실린더의 작동에 따라 닫힘 상태가 된 모습을 보인 단면도이다.
도 4는 본 발명과 관련된 도어 어셈블리의 사시도이다.
도 5는 도 4의 도어 어셈블리의 분해 사시도이다.
도 6은 본 발명과 관련된 케이블의 접속 구조를 보이기 위한 단면도이다.
도 7은 도어 어셈블리를 후면에서 본 모습을 확대하여 도시한 사시도이다.1 is a perspective view showing a gate valve with a built-in heater according to an example of the present invention.
Figure 2 is a cross-sectional view of the heater-embedded gate valve of Figure 1.
Figure 3 is a cross-sectional view showing the state of Figure 2 in a closed state due to the operation of the driving cylinder.
Figure 4 is a perspective view of a door assembly related to the present invention.
Figure 5 is an exploded perspective view of the door assembly of Figure 4;
Figure 6 is a cross-sectional view showing the connection structure of the cable related to the present invention.
Figure 7 is an enlarged perspective view of the door assembly as seen from the rear.

이하, 본 발명과 관련된 히터 내장형 게이트 밸브를 첨부된 도면을 이용하여 상세히 설명한다. 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어는 사전적인 의미로만 한정되지 않을 수 있으며, 본 발명을 최선의 방법으로 설명하기 위해 적절하게 정의되어 이해될 수 있다.Hereinafter, the heater-embedded gate valve related to the present invention will be described in detail using the attached drawings. Terms used in the specification and claims may not be limited to dictionary meanings, but may be appropriately defined and understood to explain the present invention in the best way.

도 1은 본 발명의 일 예에 따른 히터 내장형 게이트 밸브(100)를 보인 사시도이다. 도 1에 의하면, 히터 내장형 게이트 밸브(100)는 챔버와 챔버 사이의 통로인 게이트(도시되지 않음)를 개폐시키기 위한 도어 플레이트(111)를 갖는 도어 어셈블리(110)와, 도어 어셈블리(110)를 왕복 이동시킬 수 있게 형성된 구동 실린더(140) 및 구동 실린더(140)를 대상 부위에 설치시키기 위한 장착프레임(101) 등을 구비하고 있다. 장착프레임(101)의 장착면 또는 플랜지(102)는 구동 실린더(140)의 왕복 방향에 대하여 경사를 이루도록 형성될 수 있다. 다만, 본 발명은 도어 어셈블리(110)와 구동 실린더(140) 사이의 연결구조나 개폐 타입에 한정되지 않으며, 다른 형태의 게이트 밸브에도 적용될 수 있다.Figure 1 is a perspective view showing a heater-embedded gate valve 100 according to an example of the present invention. According to FIG. 1, the heater-embedded gate valve 100 includes a door assembly 110 having a door plate 111 for opening and closing a gate (not shown), which is a passage between chambers, and a door assembly 110. It is provided with a driving cylinder 140 capable of reciprocating movement and a mounting frame 101 for installing the driving cylinder 140 to the target area. The mounting surface or flange 102 of the mounting frame 101 may be formed to be inclined with respect to the reciprocating direction of the driving cylinder 140. However, the present invention is not limited to the connection structure or opening/closing type between the door assembly 110 and the driving cylinder 140, and can also be applied to other types of gate valves.

도어 어셈블리(110)는 게이트의 내부를 이동하는 파티클 또는 흄(fume)이 도어 플레이트(111)나 씰링에 부착되는 것을 줄일 수 있도록 후술하는 히터를 포함하고 있으며, 히터는 전원의 공급 및 온도 감지를 위한 센서 요소의 케이블(150)과 연결된다. 이러한 케이블(150)은 챔버 내부의 도어 어셈블리(110)가 구동 실린더(140)에 의하여 이동되는 것을 허용하면서도 도어 어셈블리(110)와의 연결되는 부위에서 진공 차단이 확실하게 이루어질 수 있게 구성되어 있다.The door assembly 110 includes a heater, described later, to reduce particles or fumes moving inside the gate from attaching to the door plate 111 or sealing, and the heater supplies power and detects temperature. It is connected to the cable 150 of the sensor element for. This cable 150 is configured to allow the door assembly 110 inside the chamber to be moved by the driving cylinder 140 and to ensure vacuum blocking at the area where it is connected to the door assembly 110.

도 2는 도 1의 히터 내장형 게이트 밸브(100)가 대상 부위(10)에 장착되어 열림 상태일 때의 모습이며, 도 3은 도 1의 히터 내장형 게이트 밸브(100)가 닫힘 상태일 때의 모습이다. 이들 도면과 같이, 구동 실린더(140)에 의하여 도어 어셈블리(110)를 이동시키기 위한 피스톤로드(161)는 챔버의 내부에 위치되는 도어 어셈블리(110)로 연결되는 케이블(160)의 인입을 위하여 중공(162)을 포함하고 있다. 이러한 피스톤로드(161)의 중공(162)이 챔버의 진공과 차단될 수 있도록, 피스톤로드(161)는 벨로우즈(164)에 의하여 둘러싸여 있다. 공정의 진행에 따라 벨로우즈(164)에 파티클 또는 흄이 부착되는 것을 방지하기 위해서 벨로우즈(164)의 외측에는 커버(165)가 장착될 수 있다. 커버(165)는 피스톤로드(161)의 신축에 대응하여 벨로우즈(164)를 보호할 수 있도록 다단의 안테나 또는 망원경 형태로 형성될 수 있다.FIG. 2 is a view of the heater-embedded gate valve 100 of FIG. 1 when it is mounted on the target area 10 and is in an open state, and FIG. 3 is a view of the heater-embedded gate valve 100 of FIG. 1 in a closed state. am. As shown in these figures, the piston rod 161 for moving the door assembly 110 by the driving cylinder 140 is hollow for the introduction of the cable 160 connected to the door assembly 110 located inside the chamber. Contains (162). The piston rod 161 is surrounded by a bellows 164 so that the hollow 162 of the piston rod 161 can be isolated from the vacuum of the chamber. A cover 165 may be installed on the outside of the bellows 164 to prevent particles or fumes from attaching to the bellows 164 as the process progresses. The cover 165 may be formed in the form of a multi-stage antenna or telescope to protect the bellows 164 in response to expansion and contraction of the piston rod 161.

피스톤로드(161)의 하단은 중공(162)을 통과하는 케이블(150)이 외부로 연결될 수 있도록 중공(162)과 연통된 개구(166)가 형성된다. 장착프레임(101)은 개구(166)를 통하여 피스톤로드(161)의 내부로 인입되는 케이블(150)이 피스톤로드(161)의 업/다운에 따라 방해되는 것을 방지할 수 있게 개방공간(103)이 형성될 수 있다. 피스톤로드(161)의 중공(162)은 도어 플레이트(111)의 내부에 설치된 히터(120)와의 연결부위까지 이어지므로 대기압으로부터 도어 플레이트(111) 내부 진공의 차단 상태가 안정적으로 유지될 수 있도록 본 발명과 관련된 접속 구조가 적용되어 있다.The lower end of the piston rod 161 is formed with an opening 166 communicating with the hollow 162 so that the cable 150 passing through the hollow 162 can be connected to the outside. The mounting frame 101 has an open space 103 to prevent the cable 150 entering the inside of the piston rod 161 through the opening 166 from being disturbed by the up/down movement of the piston rod 161. This can be formed. The hollow 162 of the piston rod 161 extends to the connection portion with the heater 120 installed inside the door plate 111, so that the vacuum inside the door plate 111 can be stably maintained from atmospheric pressure. A connection structure related to the invention is applied.

도 4는 본 발명과 관련된 도어 어셈블리(110)의 사시도이고, 도 5는 도 4의 도어 어셈블리의 분해 사시도이고, 도 6은 본 발명과 관련된 케이블의 접속 구조를 보이기 위한 단면도이며, 도 7은 도어 어셈블리를 후면에서 본 모습을 확대하여 도시한 사시도이다. 이들 도면과 같이, 도어 어셈블리(110)는 게이트를 개폐시키는 도어 플레이트(111)와, 도어 플레이트(111)를 지지할 수 있게 형성된 지지 플레이트(112) 및 도어 플레이트(111)와 지지 플레이트(112) 사이에 배치되는 히터(120)를 구비하고 있다. 히터(120)는 면상으로 형성되어 있으며, 지지 플레이트(112)는 히터(120)가 배치된 상태에서 도어 플레이트(111)의 후면에 둘레 방향을 따라 체결되는 복수의 나사(도시되지 않음)에 의하여 밀착하여 결합된다. 이때, 히터(120)가 면상이라는 것은 발열체 자체가 면상이거나 선상의 발열체를 면상으로 배치한 경우를 모두 포함할 수 있다. Figure 4 is a perspective view of the door assembly 110 related to the present invention, Figure 5 is an exploded perspective view of the door assembly of Figure 4, Figure 6 is a cross-sectional view showing the connection structure of the cable related to the present invention, and Figure 7 is a door This is an enlarged perspective view of the assembly as seen from the rear. As shown in these figures, the door assembly 110 includes a door plate 111 that opens and closes the gate, a support plate 112 formed to support the door plate 111, and the door plate 111 and support plate 112. It is provided with a heater 120 disposed therebetween. The heater 120 is formed in a planar shape, and the support plate 112 is connected to the back of the door plate 111 by a plurality of screws (not shown) fastened along the circumferential direction when the heater 120 is disposed. They are tightly coupled. At this time, the fact that the heater 120 has a planar shape may include cases where the heating element itself is planar or when linear heating elements are arranged in a planar shape.

지지 플레이트(112)는 도어 플레이트(111)와 같은 면의 형상을 갖도록 형성되어 있으나, 후면에는 힌지(113)가 형성되어 있고, 힌지(113)에 요크 블럭(114)이 핀(116)에 의하여 스위블 가능하게 결합되어 있다. 요크 블럭(114)은 가운데에 사각 형태의 관통홀(115)이 형성되어 있으며, 관통홀(115)에 피스톤로드(161)의 단부에 결합되어 있는 결합 부재(117)가 끼워져 고정된다.The support plate 112 is formed to have the same surface shape as the door plate 111, but a hinge 113 is formed on the rear side, and the yoke block 114 is attached to the hinge 113 by the pin 116. It is swivelably coupled. The yoke block 114 has a square-shaped through hole 115 formed in the center, and a coupling member 117 coupled to the end of the piston rod 161 is inserted and fixed into the through hole 115.

지지 플레이트(112)의 후면에는 케이블(150)이 설치되기 위한 설치홀(130)이 형성되어 있다. 설치홀(130)의 히터(120)에 접하는 쪽에는 브릿지부(132)가 가로질러 형성되어 있다. 브릿지부(132)의 양측에는 2 개의 홀(131)이 형성된다. 브릿지부(132)는 케이블(150)이 히터(120)에 대하여 견고한 고정상태를 유지하기 위한 지지점으로의 기능을 한다. 케이블(150)은 히터(120)의 후면에 부착되어 전원을 급전 케이블(151)과, 브릿지부(132)에 스크루(154)에 의하여 부착될 수 있게 형성된 센서 케이블(152)을 포함할 수 있다. 브릿지부(132)에는 스크루(154)의 체결을 위한 나사홀(133)이 형성되어 있다. 나사홀(133)이 형성된 부위는 브릿지부(132)의 다른 부위에 비해 단턱의 형태로 돌출되도록 형성될 수 있다. 급전 케이블(151)은 전원의 공급을 위한 2개의 전극 케이블을 포함하고 있으며, 브릿지부(132)에 의하여 나뉘어지는 2개의 홀(131)을 이 2개의 전극 케이블이 나뉘어져 통과하여 히터(120)에 연결될 수 있다. An installation hole 130 for installing the cable 150 is formed on the rear of the support plate 112. A bridge portion 132 is formed across the side of the installation hole 130 that is in contact with the heater 120. Two holes 131 are formed on both sides of the bridge portion 132. The bridge portion 132 functions as a support point to maintain the cable 150 firmly fixed to the heater 120. The cable 150 may include a power supply cable 151 that is attached to the rear of the heater 120 and a sensor cable 152 that can be attached to the bridge portion 132 with a screw 154. . A screw hole 133 for fastening the screw 154 is formed in the bridge portion 132. The portion where the screw hole 133 is formed may be formed to protrude in a step shape compared to other portions of the bridge portion 132. The power supply cable 151 includes two electrode cables for supplying power, and these two electrode cables pass through two holes 131 divided by the bridge portion 132 to reach the heater 120. can be connected

센서 케이블(152)은 브릿지부(132)의 히터(120)에 면하는 쪽 또는 후면에 체결편(153)에 의하여 스크루(154)로 체결될 수 있다. 이러한 센서 케이블(152)의 접속 형태는 히터(120)의 온도 감지를 위한 정확한 접속구조를 제공할 수 있다. The sensor cable 152 may be fastened to the screw 154 by a fastening piece 153 on the side or rear of the bridge portion 132 facing the heater 120. This connection type of the sensor cable 152 can provide an accurate connection structure for sensing the temperature of the heater 120.

도 4와 같이, 케이블(150)의 외부와의 접속을 위하여 커넥터(156)가 구비되며, 커넥터(156)로부터 다시 커넥터(157)를 갖는 외부 케이블(155)과 연결될 수 있다. As shown in FIG. 4, a connector 156 is provided to connect the cable 150 to the outside, and the connector 156 can be connected to an external cable 155 having a connector 157.

결합 부재(117)의 단부에는 오링(118)이 장착된다. 오링(118)은 설치홀(130)의 내주면에 밀착됨으로써 설치홀(130) 주변의 대기압이 도어 어셈블리(110)의 내부의 진공 챔버로 새는 것을 효과적으로 차단할 수 있다.An O-ring 118 is mounted on the end of the coupling member 117. The O-ring 118 can effectively block the atmospheric pressure around the installation hole 130 from leaking into the vacuum chamber inside the door assembly 110 by being in close contact with the inner peripheral surface of the installation hole 130.

상기와 같이 설명된 히터 내장형 게이트 밸브는 설명된 실시예들의 구성과 방법으로 한정되지 않는다. 상기 실시예들은 다양한 변형이 이루어질 수 있도록 각 실시예들의 전부 또는 일부가 선택적으로 조합되어 구성될 수도 있다. 본 발명의 권리범위는 그러한 실시예들 또는 균등 범위에 있는 기술사상이 포함되어 해석되는 것으로 이해되어야 할 것이다.The heater-embedded gate valve described above is not limited to the configuration and method of the described embodiments. The above embodiments may be configured by selectively combining all or part of each embodiment so that various modifications can be made. The scope of rights of the present invention should be understood to include such embodiments or technical ideas within the equivalent scope.

100: 히터 내장형 게이트 밸브 101: 장착프레임
102: 플랜지 103: 개방공간
110: 도어 어셈블리 111: 도어 플레이트
112: 지지 플레이트 113: 힌지
114: 요크 블럭 115: 관통홀
116: 핀 117: 결합 부재
118: 오링 120: 히터
130: 설치홀 131: 홀
132: 브릿지부 133: 나사홀
140: 구동 실린더 150: 케이블
151: 급전 케이블 152: 센서 케이블
153: 체결편 154: 스크루
161: 피스톤로드 162: 중공
164: 벨로우즈 165: 커버
166: 개구100: Gate valve with built-in heater 101: Mounting frame
102: Flange 103: Open space
110: door assembly 111: door plate
112: support plate 113: hinge
114: York block 115: Through hole
116: pin 117: coupling member
118: O-ring 120: Heater
130: installation hole 131: hole
132: Bridge part 133: Screw hole
140: driving cylinder 150: cable
151: feed cable 152: sensor cable
153: fastening piece 154: screw
161: piston rod 162: hollow
164: bellows 165: cover
166: opening

Claims (7)

게이트를 개폐시키는 도어 플레이트와, 상기 도어 플레이트를 지지할 수 있게 형성된 지지 플레이트 및, 상기 도어 플레이트와 상기 지지 플레이트 사이에 배치되는 히터를 갖는, 도어 어셈블리;
상기 피스톤로드를 작동시키기 위한 구동 실린더;
상기 도어 어셈블리와 상기 구동 실린더를 연결하며, 길이방향으로 중공이 형성된 피스톤로드; 및
상기 피스톤로드의 상기 중공을 통과하여 상기 도어 어셈블리에 부착되는 케이블을 포함하고,
상기 지지플레이트는,
상기 케이블이 설치되기 위한 설치홀; 및
상기 설치홀의 상기 히터에 접하는 쪽에 가로질러 형성되며, 스크루에 의하여 상기 케이블의 적어도 일부를 체결하여 고정시킬 수 있게 형성된 브릿지부를 포함하는, 히터 내장형 게이트 밸브.
A door assembly including a door plate that opens and closes the gate, a support plate formed to support the door plate, and a heater disposed between the door plate and the support plate;
a driving cylinder for operating the piston rod;
a piston rod connecting the door assembly and the driving cylinder and having a hollow longitudinal direction; and
Includes a cable that passes through the hollow of the piston rod and is attached to the door assembly,
The support plate is,
An installation hole for installing the cable; and
A gate valve with a built-in heater including a bridge portion formed across a side of the installation hole in contact with the heater and configured to fasten and secure at least a portion of the cable with a screw.
 제1항에 있어서,
상기 히터는 면상으로 형성되고,
상기 지지 플레이트는 상기 히터가 배치된 상태에서 상기 도어 플레이트의 후면에 밀착하여 결합되는, 히터 내장형 게이트 밸브.
According to paragraph 1,
The heater is formed in a planar shape,
The support plate is coupled to the rear of the door plate in close contact with the heater in the state in which the heater is disposed.
 제1항에 있어서,
상기 브릿지부는 상기 스크루가 체결될 수 있게 형성된 나사홀을 포함하는, 히터 내장형 게이트 밸브.
According to paragraph 1,
A gate valve with a built-in heater, wherein the bridge portion includes a screw hole formed to allow the screw to be fastened.
 제1항에 있어서,
상기 케이블은,
상기 히터에 부착되는 급전 케이블; 및
상기 브릿지부에 상기 스크루에 의하여 부착될 수 있게 형성된 센서 케이블을 포함하는, 히터 내장형 게이트 밸브.
According to paragraph 1,
The cable is
a power supply cable attached to the heater; and
A gate valve with a built-in heater, including a sensor cable attachable to the bridge portion by the screw.
 제4항에 있어서,
상기 센서 케이블의 단부에는 상기 스크루(154)에 의하여 체결되기 위한 체결편이 형성된, 히터 내장형 게이트 밸브.
According to paragraph 4,
A gate valve with a built-in heater, wherein a fastening piece for fastening by the screw 154 is formed at the end of the sensor cable.
 제4항에 있어서,
상기 급전 케이블은 전원의 공급을 위한 2개의 전극 케이블을 포함하고,
상기 브릿지부에 의하여 나뉘어지는 2개의 홀을 상기 2개의 전극 케이블이 나뉘어져 통과하여 상기 히터에 연결된, 히터 내장형 게이트 밸브.
According to paragraph 4,
The feed cable includes two electrode cables for supplying power,
A gate valve with a built-in heater, wherein the two electrode cables pass through two holes divided by the bridge portion and are connected to the heater.
 제1항에 있어서,
상기 지지 플레이트(112)에 힌지결합되며, 관통홀이 형성된 요크 블럭;
상기 피스톤로드의 단부에 결합되고, 상기 관통홀에 끼워져 고정될 수 있게 형성된, 결합 부재; 및
상기 결합 부재의 단부에 끼워지고, 상기 설치홀의 내주면에 밀착될 수 있게 형성된 오링을 더 포함하는, 히터 내장형 게이트 밸브.
According to paragraph 1,
A yoke block hinged to the support plate 112 and having a through hole;
A coupling member coupled to an end of the piston rod and formed to be inserted into and fixed to the through hole; and
A gate valve with a built-in heater further comprising an O-ring inserted into an end of the coupling member and formed to be in close contact with an inner peripheral surface of the installation hole.
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