KR20240067644A - Flying vision alignment system and error compensation method due to trigger delay using the same - Google Patents

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Abstract

본 발명은 플라잉 얼라인먼트 시스템 및 이를 이용한 트리거 지연으로 인한 오차보정방법에 관한 것으로 특히, 이동 중인 제품의 실제 위치를 보정하는 시스템에 있어서, 적어도 하나 이상의 카메라와; 보정용 마크가 구비된 제품을 적제하고, 상면에는 오차 확인용 마크가 형성 또는 부착되는 스테이지; 및 상기 카메라 및 상기 스테이지를 제어하는 제어부;를 포함하고, 상기 제어부는 상기 스테이지의 이동 전과 이동 중 위치를 측정하고, 상기 오차 확인용 마크에 대한 이동 전 위치 및 이동 중의 위치 변화 값을 획득하며, 상기 위치 변화 값을 기초로 정렬 오프셋(align offset)을 적용하여 이동 중인 상기 제품의 실제 위치를 실시간으로 보정하는 것을 특징으로 한다.
따라서, 비전 시스템의 캘리브레이션 및 얼라인먼트 후 스테이지의 이동시 설비의 진동이나 흔들림이 발생하여 정렬(align)에 오차가 발생하더라도 지연(delay) 없이 진동 및 스테이지의 이동 중에 촬영시 트리거 지연에 따른 이동 중인 제품의 위치 오차를 정확히 자동 보정할 수 있다.The present invention relates to a flying alignment system and a method for correcting errors due to trigger delay using the same. In particular, the system for correcting the actual position of a moving product includes at least one camera; A stage where products equipped with correction marks are stacked and marks for error confirmation are formed or attached on the upper surface; and a control unit that controls the camera and the stage, wherein the control unit measures the position of the stage before and during movement, and obtains a change value of the position before and during movement of the error confirmation mark, The actual position of the moving product is corrected in real time by applying an alignment offset based on the position change value.
Therefore, even if an error in alignment occurs due to vibration or shaking of the equipment when moving the stage after calibration and alignment of the vision system, there is no delay and there is no delay in the moving product due to trigger delay when shooting while moving the vibration or stage. Position errors can be accurately and automatically corrected.

Description

플라잉 비전 얼라인먼트 시스템 및 이를 이용한 트리거 지연으로 인한 오차보정방법{Flying vision alignment system and error compensation method due to trigger delay using the same}Flying vision alignment system and error compensation method due to trigger delay using the same {Flying vision alignment system and error compensation method due to trigger delay using the same}

본 발명은 비전 시스템의 카메라와 무빙 스테이지(moving stage; 이하 "스테이지"로 총칭함)를 정확한 위치에 정렬시키기 위한 비전 얼라인먼트(Vision Alignment) 시스템 및 방법에 관한 것으로, 더 상세하게는, 스테이지의 이동 중 트리거(Trigger) 신호를 받아 촬영이 이루어지도록 구성되는 플라잉 비전 얼라인먼트(Flying Vision Alignment) 시스템에 있어서, 소프트웨어 방식의 트리거(Software Trigger)를 사용하는 경우 스테이지의 이동 중에 설비의 진동 및 스테이지의 이동 중에 촬영시 트리거 지연(Trigger Delay)으로 인해 오차가 발생하고, 그로 인해 위치의 정밀도가 떨어지게 되는 한계가 있었던 종래 플라잉 비전 얼라인먼트 시스템 및 방법들의 문제점을 해결하기 위해, 비교적 간단한 구성 및 저렴한 비용으로 설비의 진동 및 스테이지의 이동 중에 촬영시 트리거 지연으로 인한 이동 중인 제품의 위치 오차를 연속 보정할 수 있도록 발명한 플라잉 비전 얼라인먼트 시스템 및 이를 이용한 트리거 지연으로 인한 오차보정방법에 관한 것이다.The present invention relates to a vision alignment system and method for aligning a camera and a moving stage (hereinafter collectively referred to as “stage”) of a vision system to an accurate position, and more specifically, to the movement of the stage. In the Flying Vision Alignment system, which is configured to take pictures by receiving a trigger signal, when using a software trigger, the vibration of the equipment and the movement of the stage occur during the movement of the stage. In order to solve the problems of conventional flying vision alignment systems and methods, which have limitations in that errors occur due to trigger delay when shooting and thus reduce position precision, vibration of equipment is achieved with a relatively simple configuration and low cost. and a flying vision alignment system invented to continuously correct the positional error of a moving product due to trigger delay during filming while the stage is moving, and a method for correcting errors due to trigger delay using the same.

또한, 본 발명은 스테이지의 이동 중에 설비의 진동 및 스테이지의 이동 중에 촬영시 트리거 지연으로 인해 오차가 발생하고, 그로 인해 위치의 정밀도가 떨어지게 되는 한계가 있었던 종래 플라잉 얼라인먼트 시스템 및 방법들의 문제점을 해결하기 위해, 스테이지에 오차 확인용 마크(Error check mark)를 추가하여 설비의 진동 및 스테이지의 이동 중에 촬영시 트리거 지연으로 인한 오차발생시 오차 확인용 마크를 기준으로 정렬 오프셋(align offset)을 적용하여 보정하는 방식을 통해, 설비의 진동 및 스테이지의 이동 중에 촬영시 트리거 지연으로 인해 정렬(align)에 오차가 발생하더라도 실시간으로 이동 중인 제품의 위치 오차를 연속 보정할 수 있도록 발명한 플라잉 비전 얼라인먼트 시스템 및 이를 이용한 트리거 지연으로 인한 오차보정방법에 관한 것이다.In addition, the present invention solves the problems of conventional flying alignment systems and methods, which have limitations in that errors occur due to vibration of equipment during movement of the stage and trigger delay when shooting during movement of the stage, resulting in a decrease in position accuracy. To this end, an error check mark is added to the stage, and when an error occurs due to vibration of the equipment or trigger delay during filming while the stage is moving, an alignment offset is applied based on the error check mark to correct the error. Through this method, the Flying Vision Alignment System invented to continuously correct the positional error of a moving product in real time even if an alignment error occurs due to trigger delay during filming while the vibration of the equipment or the stage is moving, and the Flying Vision Alignment System using the same This relates to error correction methods due to trigger delay.

최근, 반도체나 디스플레이 등의 각종 제조장치 및 생산설비에 있어서, 예를 들면, 머신 비전(Machine Vision) 등과 같이, 기존에 사람이 직접 눈으로 보고 불량 여부를 판단하던 것을 대신하여 카메라를 통해 촬영된 영상을 분석하여 불량여부를 자동으로 판단하는 것에 의해 생산성 및 정확성을 높이고 불량률을 낮출 수 있도록 구성되는 비전 시스템이 널리 이용되고 있다.Recently, in various manufacturing equipment and production facilities such as semiconductors and displays, for example, machine vision, etc., instead of having to judge defects by looking directly at the human eye, images are taken using a camera. Vision systems are widely used to increase productivity and accuracy and reduce defect rates by automatically determining defects by analyzing images.

또한, 비전 시스템(Vision system)은 통상 로봇이 물체를 보거나 적당한 위치를 파악할 수 있는 능력을 갖게 하기 위하여 데이터를 수집하여 영상 데이터를 형성하는 시스템을 지칭하는 것으로, 이와 같은 비전 시스템을 사용하기 위하여는 카메라와 스테이지를 정확한 위치에 정렬(align)하고, 이동시에도 지정된 위치에 정확히 도달하도록 하기 위해 캘리브레이션(calibration) 및 보정작업이 필수적이며, 이를 위해, 비전 얼라인먼트(Vision Alignment) 시스템이 적용되고 있다.In addition, a vision system usually refers to a system that collects data to form image data so that a robot has the ability to see an object or identify an appropriate location. In order to use such a vision system, Calibration and correction work are essential to align the camera and stage to the correct position and ensure that it reaches the designated position accurately even when moving. For this purpose, the Vision Alignment system is applied.

더 상세하게는, 종래 예를 들면, 스테이지의 이동 중 트리거(Trigger) 신호를 받아 촬영이 이루어지도록 구성의 플라잉 비전 얼라인먼트(Flying Vision Alignment) 시스템이 제시된 바 있다.More specifically, for example, a Flying Vision Alignment system has been proposed that allows shooting by receiving a trigger signal while the stage is moving.

이와 같은 소프트웨어 방식의 트리거(Software Trigger)를 사용하는 플라잉 비전 얼라인먼트 시스템의 경우는, 스테이지의 이동 중에 설비의 진동 및 스테이지의 이동 중에 촬영시 트리거 지연(Trigger Delay)으로 인해 오차가 발생하게 되나, 종래 플라잉 비전 얼라인먼트 장치 및 방법들은 작업중에 이러한 오차를 보정할 수 있는 기능이 제공되지 못하는 한계가 있었다.In the case of a flying vision alignment system using such a software trigger, errors occur due to vibration of the equipment during the movement of the stage and trigger delay when shooting while the stage is moving. Flying vision alignment devices and methods had a limitation in that they did not provide a function to correct such errors during work.

더욱이, 종래 플라잉 비전 얼라인먼트 장치 및 방법들은, 상기한 바와 같이 작업중에 오차가 발생하면 일단 작업을 중지하고, 오차를 보정한 후 다시 작업을 재개하여야 하므로, 제품 하나를 생산하는데 필요한 시간을 의미하는 택트 타임(Tact Time)이 증가하게 되는 문제도 있었다.Moreover, in the conventional flying vision alignment devices and methods, as described above, if an error occurs during work, the work must be stopped and the work must be resumed after correcting the error, so the tact, which refers to the time required to produce one product, is required. There was also a problem where tact time increased.

따라서, 상기한 바와 같이 스테이지의 이동 중에 설비의 진동 및 촬영시 트리거 지연(Trigger Delay)으로 인해 발생하는 오차를 보정할 수 없는 한계가 있었던 종래 플라잉 비전 얼라인먼트 장치 및 방법들의 문제점을 해결하기 위하여는, 비전 시스템의 캘리브레이션 및 얼라인먼트 후 스테이지의 이동 중 설비의 진동 및 촬영시 트리거 지연(Trigger Delay)으로 인하여 정렬(align)에 오차가 발생되더라도 실시간으로 이동 중인 제품의 위치 오차를 연속 보정할 수 있는 새로운 구성의 플라잉 비전 얼라인먼트 시스템 및 그 보정방법을 제시하는 것이 바람직하나, 아직까지 그러한 요구를 모두 만족시키는 시스템이나 방법은 제시되지 못하고 있는 실정이다.Therefore, in order to solve the problems of conventional flying vision alignment devices and methods, which had limitations in correcting errors caused by vibration of equipment during movement of the stage and trigger delay during filming as described above, After calibration and alignment of the vision system, a new configuration that can continuously correct the position error of the moving product in real time even if alignment errors occur due to equipment vibration during stage movement and trigger delay during filming. It would be desirable to present a flying vision alignment system and its correction method, but no system or method that satisfies all such requirements has yet been proposed.

국내 등록특허공보 10-2249304호(2021년 04월 30일)Domestic Registered Patent Publication No. 10-2249304 (April 30, 2021) 국내 등록특허공보 10-1341379호(2013년 12월 09일)Domestic Registered Patent Publication No. 10-1341379 (December 9, 2013) 국내 등록특허공보 10-0880172호(2009년 01월 16일)Domestic Registered Patent Publication No. 10-0880172 (January 16, 2009)

본 발명은 이와 같은 종래의 제반 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로서, 스테이지의 이동 중 트리거(Trigger) 신호를 받아 촬영이 이루어지도록 구성된 플라잉 비전 얼라인먼트(Flying Vision Alignment) 시스템에 있어서, 소프트웨어 방식의 트리거(Software Trigger)를 사용하는 경우, 스테이지의 이동 중에 설비의 진동 및 스테이지의 이동 중에 촬영시 트리거 지연(Trigger Delay)으로 인해 오차가 발생하고, 그로 인해 위치정밀도가 떨어지게 되는 종래 플라잉 비전 얼라인먼트 시스템 및 방법들의 문제점을 해결하기 위해, 비교적 간단한 구성 및 저렴한 비용으로 설비의 진동 및 스테이지의 이동 중에 촬영시 트리거 지연으로 인한 이동 중인 제품의 위치 오차를 연속 보정할 수 있는 플라잉 비전 얼라인먼트 시스템 및 이를 이용한 트리거 지연으로 인한 오차보정방법을 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention was developed to solve all of these conventional problems. In the Flying Vision Alignment system, which is configured to receive a trigger signal while moving the stage and perform shooting, the software-based trigger ( When using Software Trigger, errors occur due to vibration of equipment during movement of the stage and trigger delay when shooting during movement of the stage, which results in a decrease in positional accuracy of conventional flying vision alignment systems and methods. To solve the problem, a flying vision alignment system that has a relatively simple configuration and low cost can continuously correct the positional error of a moving product due to trigger delay when shooting while moving the stage and vibration of equipment. The purpose is to provide an error correction method.

또한, 본 발명의 다른 목적은, 스테이지의 이동 중에 설비의 진동 및 스테이지의 이동 중에 촬영시 트리거 지연으로 인해 오차가 발생하고, 그로 인해 위치에 대한 정밀도가 떨어지게 되는 종래 플라잉 얼라인먼트 시스템 및 방법들의 문제점을 해결하기 위해, 스테이지에 오차 확인용 마크를 추가하여, 설비의 진동 및 스테이지의 이동 중에 촬영시 트리거 지연으로 인한 오차발생시 오차 확인용 마크를 기준으로 정렬 오프셋(align offset)을 적용하여 보정하는 방식을 통해, 설비의 진동 및 스테이지의 이동 중에 트리거 지연으로 인해 정렬(align)에 오차가 발생하더라도 실시간으로 이동 중인 제품의 위치 오차를 연속 보정할 수 있는 플라잉 비전 얼라인먼트 시스템 및 이를 이용한 트리거 지연으로 인한 오차보정방법을 제공하는데 있다.In addition, another object of the present invention is to solve the problems of conventional flying alignment systems and methods in which errors occur due to vibration of equipment during movement of the stage and trigger delay when shooting during movement of the stage, and as a result, the accuracy of the position is reduced. To solve the problem, a mark for error confirmation is added to the stage, and when an error occurs due to vibration of the equipment or trigger delay when shooting while moving the stage, an alignment offset is applied to correct the error based on the error confirmation mark. Through the Flying Vision Alignment System, which can continuously correct the positional error of a moving product in real time even if an alignment error occurs due to trigger delay during equipment vibration or stage movement, error correction due to trigger delay using this system is possible. The goal is to provide a method.

그 외 본 발명의 세부적인 목적은 이하에 기재되는 구체적인 내용을 통하여 이 기술분야의 전문가나 연구자에게 자명하게 파악되고 이해될 것이다.Other detailed purposes of the present invention will be clearly understood and understood by experts or researchers in this technical field through the detailed contents described below.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 플라잉 비전 얼라인먼트 시스템은, 이동 중인 제품의 실제 위치를 보정하는 시스템에 있어서, 적어도 하나 이상의 카메라와; 보정용 마크가 구비된 제품을 적제하고, 상면에는 오차 확인용 마크(Error check mark)가 형성 또는 부착되는 스테이지; 및 상기 카메라 및 상기 스테이지를 제어하는 제어부;를 포함하고, 상기 제어부는 상기 스테이지의 이동 전과 이동 중 위치를 측정하고, 상기 오차 확인용 마크에 대한 이동 전 위치 및 이동 중의 위치 변화 값을 획득하며, 상기 위치 변화 값을 기초로 정렬 오프셋(align offset)을 적용하여 이동 중인 상기 제품의 실제 위치를 실시간으로 보정하는 것을 특징으로 한다.The flying vision alignment system of the present invention for achieving the above object is a system for correcting the actual position of a moving product, including at least one camera; A stage where products equipped with correction marks are loaded and an error check mark is formed or attached to the upper surface; and a control unit that controls the camera and the stage, wherein the control unit measures the position of the stage before and during movement, and obtains a change value of the position before and during movement of the error confirmation mark, The actual position of the moving product is corrected in real time by applying an alignment offset based on the position change value.

또한, 상기 카메라를 통해 상기 제품의 상기 보정용 마크의 이동 중 위치를 촬영한 상태에서, 상기 오차 확인용 마크의 이동 전 위치가 제1-1 위치 값이고, 이동 중 위치가 제1-2 위치 값이며, 상기 보정용 마크의 이동 중 위치가 제2 위치 값이라고 할 때,In addition, when the position of the correction mark of the product is photographed through the camera, the position before movement of the error confirmation mark is the 1-1 position value, and the position during movement is the 1-2 position value. , and when the position during movement of the correction mark is the second position value,

상기 제어부는,The control unit,

상기 제1-1 위치 값과 상기 제1-2 위치 값의 차이에 해당하는 상기 위치 변화 값을 획득하고, 상기 위치 변화 값을 이용하여 상기 제2 위치 값을 보정하여 상기 보정용 마크의 실제 위치를 획득하고, 이동 중인 상기 제품의 실제 위치를 보정하는 것을 특징으로 한다.Obtain the position change value corresponding to the difference between the 1-1 position value and the 1-2 position value, and correct the second position value using the position change value to determine the actual position of the correction mark. It is characterized in that it acquires and corrects the actual position of the product while it is moving.

또, 상기 스테이지의 이동 전과 이동 중 각각에 대해 상기 카메라를 통해 상기 스테이지의 상기 오차 확인용 마크 및 상기 제품의 보정용 마크가 각각 촬영된 상태에서,In addition, in a state where the error confirmation mark of the stage and the correction mark of the product are each photographed through the camera before and during the movement of the stage,

상기 오차 확인용 마크에 대한 이동 전 및 이동 중의 상기 위치 변화 값을 제1 위치 변화 값이라고 하고, 상기 보정용 마크에 대한 이동 전 및 이동 중의 위치 변화 값을 제2 위치 변화 값이라고 할 때,When the position change value before and during movement with respect to the error confirmation mark is referred to as a first position change value, and the position change value before and during movement with respect to the correction mark is referred to as a second position change value,

상기 제어부는, The control unit,

상기 제1 위치 변화 값이 허용 오차 범위를 초과하는지 판단하고, 상기 허용 오차 범위를 초과한 경우, 상기 제1 위치 변화 값을 기초로 정렬 오프셋을 적용하여 이동 중인 상기 제품의 실제 위치를 1차적으로 보정하고,It is determined whether the first position change value exceeds the tolerance range, and if it exceeds the tolerance range, an alignment offset is applied based on the first position change value to primarily determine the actual position of the moving product. correct,

상기 제2 위치 변화 값이 상기 허용 오차 범위를 초과하는지 판단하고, 상기 허용 오차 범위를 초과한 경우, 상기 제2 위치 변화 값을 기초로 정렬 오프셋을 적용하여 이동 중인 상기 제품의 실제 위치를 2차적으로 보정하는 것을 특징으로 한다.It is determined whether the second position change value exceeds the tolerance range, and if it exceeds the tolerance range, an alignment offset is applied based on the second position change value to secondaryize the actual position of the moving product. It is characterized by correction.

이때, 상기 오차 확인용 마크는, "" 형상, "" 형상, ""형상 또는 "" 형상의 패턴 중 어느 한 형상의 패턴을 포함하는 것을 특징으로 한다.At this time, the error confirmation mark is " " shape, " " shape, " "Shape or " "It is characterized by including a pattern of one shape among the pattern of shapes.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 플라잉 비전 얼라인먼트 시스템을 이용한 트리거 지연에 대한 오차보정방법은, 이동 중인 제품의 실제 위치를 보정하는 방법에 있어서, 적어도 하나 이상의 카메라, 보정용 마크가 구비된 제품을 적제하고 상면에 오차 확인용 마크가 형성 또는 부착된 스테이지를 포함하는 비전 얼라인먼트 시스템이 존재하는 상태에서, 상기 플라잉 비전 얼라인먼트 시스템이, 적어도 하나 이상의 카메라를 통해 상기 오차 확인용 마크를 촬영하여 위치를 측정하여 상기 오차 확인용 마크의 이동 전 위치 및 이동 중 위치를 측정하는 단계; 상기 플라잉 비전 얼라인먼트 시스템이, 상기 오차 확인용 마크에 대한 이동 전 및 이동 중의 위치 변화 값을 획득하는 단계; 및 상기 플라잉 비전 얼라인먼트 시스템이, 상기 위치 변화 값을 기초로 정렬 오프셋(align offset)을 적용하여 이동 중인 상기 제품의 실제 위치를 실시간으로 보정하는 단계;를 포함한다.The error correction method for trigger delay using the flying vision alignment system of the present invention to achieve the above object is a method of correcting the actual position of a moving product, using a product equipped with at least one camera and a correction mark. In the presence of a vision alignment system including a stage on which an error confirmation mark is formed or attached to an upper surface of an object, the flying vision alignment system measures the position by photographing the error confirmation mark through at least one camera. measuring the position before and during movement of the error confirmation mark; Obtaining, by the flying vision alignment system, a position change value before and during movement with respect to the error confirmation mark; And a step of correcting, by the flying vision alignment system, the actual position of the moving product in real time by applying an alignment offset based on the position change value.

또, 상기 제어부는 상기 스테이지의 상기 오차 확인용 마크 또는 상기 제품의 상기 보정용 마크에 대한 위치 변화 값을, ㎜ 단위 또는 ㎛ 단위 또는 ㎚ 단위 중 어느 한 단위로 비교하는 하는 것을 포함한다.In addition, the control unit includes comparing the position change value with respect to the error confirmation mark of the stage or the correction mark of the product in any one of mm, ㎛, and nm units.

또한, 상기 제어부는 상기 스테이지의 상기 오차 확인용 마크 또는 상기 제품의 상기 보정용 마크에 대한 위치 변화 값이, 각각 최초 위치 대비 Y축 또는 X축으로 특정 거리(예를 들어 10(㎜ 또는 ㎛ 또는 ㎚))만큼 이동된 경우, 오프셋(Offset)을 적용하여 상기 스테이지 또는 상기 제품의 위치값을 최초 마크들의 위치값 대비 Y축 또는 X축으로 특정 거리(예를 들어 10(㎜ 또는 ㎛ 또는 ㎚))만큼 이동시켜 이동 중인 제품의 위치 오차를 보정하는 것을 포함할 수 있다.In addition, the control unit determines the position change value for the error confirmation mark of the stage or the correction mark of the product at a specific distance (for example, 10 (mm or ㎛ or ㎚) on the Y-axis or X-axis compared to the initial position, respectively. )), an offset is applied to change the position value of the stage or the product to a certain distance (e.g., 10 (mm or ㎛ or ㎚)) on the Y-axis or X-axis compared to the position value of the initial marks. This may include correcting the positional error of the moving product by moving it as much as possible.

또, 상기 제어부는 트리거 오차의 보정이 가능한 플라잉 비전 시스템을 용이하게 구현하는 것을 포함할 수 있다.Additionally, the control unit may include easily implementing a flying vision system capable of correcting trigger error.

한편, 이에 앞서 본 명세서는 특허등록청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.Meanwhile, prior to this, the terms and words used in the patent registration claims in this specification should not be construed as limited to their usual or dictionary meanings, and the inventor should use the concept of terms to explain his/her invention in the best way. It must be interpreted as meaning and concept consistent with the technical idea of the present invention based on the principle that can be appropriately defined.

따라서, 본 명세서에 기재된 실시 예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시 예에 불과할 뿐, 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형 예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.Accordingly, the embodiments described in this specification and the configurations shown in the drawings are only one of the most preferred embodiments of the present invention, and do not represent the entire technical idea of the present invention, so at the time of filing this application, various alternatives may be used to replace them. It should be understood that equivalents and variations may exist.

이상에서 설명한 바와 같이 본 발명의 플라잉 얼라인먼트 시스템 및 이를 이용한 트리거 지연으로 인한 오차보정방법에 의하면, 스테이지에 오차 확인용 마크를 추가로 형성 또는 부착하고, 진동으로 인한 오차 발생시 마크를 기준으로 정렬 오프셋(align offset)을 적용하여 보정함으로써 비전 시스템의 캘리브레이션 및 얼라인먼트 후 스테이지의 이동시 설비의 진동이나 흔들림이 발생하여 정렬(align)에 오차가 발생하더라도 지연(delay) 없이 진동 및 스테이지의 이동 중에 촬영시 트리거 지연에 따른 이동 중인 제품의 위치 오차를 정확히 자동 보정할 수 있는 효과가 있다.As described above, according to the flying alignment system of the present invention and the error correction method due to trigger delay using the same, a mark for error confirmation is additionally formed or attached to the stage, and when an error occurs due to vibration, an alignment offset ( By applying calibration and alignment of the vision system, even if an alignment error occurs due to vibration or shaking of the equipment when moving the stage after calibration and alignment of the vision system, there is no delay and there is a trigger delay when shooting during vibration and movement of the stage. This has the effect of accurately and automatically correcting the positional error of a moving product.

또한, 본 발명에서는 비교적 간단한 구성 및 저렴한 비용으로 스테이지 이동시 진동 및 스테이지의 이동 중에 촬영시 트리거 지연에 의한 오차를 지연 없이 보정할 수 있도록 함으로써 비전 시스템에서 스테이지의 이동시 설비의 진동이나 흔들림에 의해 정렬(align)에 오차가 발생하게 되고, 정렬에 오차가 발생하면 이를 보정하기 위해 시간이 지연되어 택트 타임(Tact Time)이 증가하게 되는 종래 플라잉 얼라인먼트 시스템 및 방법들에서 발생되던 문제점을 해결할 수 있는 등 매우 유용한 발명인 것이다.In addition, the present invention allows, with a relatively simple configuration and low cost, to correct errors due to vibration when moving the stage and trigger delay when shooting while moving the stage without delay, so that the vision system is aligned (aligned) by vibration or shaking of the equipment when moving the stage. It is very possible to solve the problems that occurred in conventional flying alignment systems and methods in which an error occurs in aligning, and when an error occurs in alignment, time is delayed to correct the error, which increases the tact time. It is a useful invention.

그 외 본 발명의 효과들은 이하에 기재되는 구체적인 내용을 통하여, 또는 본 발명을 실시하는 공정 중에 이 기술분야의 전문가나 연구자에게 자명하게 파악되고 이해될 것이다.Other effects of the present invention will be readily apparent and understood by experts or researchers in the technical field through the specific details described below or during the process of implementing the present invention.

도 1 및 도 2는 종래 비전 시스템에서 스테이지 이동 중 오차가 발생하는 과정을 개략적으로 나타내는 개념도.
도 3은 본 발명의 일 실시 예가 적용된 플라잉 얼라인먼트 시스템의 개략적인 구성도.
도 4의 (a)~(d)는 본 발명에서 스테이지에 형성 또는 부착한 오차 확인용 마크들의 예시도.
도 5 내지 도 7은 본 발명의 일 실시 예에 따른 스테이지 이동시 진동 및 스테이지의 이동 중에 촬영시 트리거 지연에 의한 오차보정방법을 개략적으로 나타내는 개념도.
도 8은 본 발명이 적용된 플라잉 얼라인먼트 시스템을 통해 측정되는 스테이지의 오차 확인용 마크에 대한 위치 분포도.
도 9는 본 발명의 일 실시 예에 따른 스테이지 이동시 진동 및 스테이지의 이동 중에 촬영시 트리거 지연에 의한 오차보정방법을 설명하기 위한 대한 플로우챠트.
도 10은 본 발명의 실시예에 따른 스테이지 이동시 진동 및 스테이지의 이동 중에 촬영시 트리거 지연에 의한 오차보정방법을 이용하여 트리거 오차의 보정기능을 가지는 플라잉 얼라인먼트 시스템의 전체적인 구성을 개략적으로 나타내는 개념도.
도 11은 본 발명의 실시예에 따른 스테이지 이동시 진동 및 스테이지의 이동 중에 촬영시 트리거 지연에 의한 오차보정방법을 적용하여 비전 시스템의 캘리브레이션 작업을 수행하는 구성을 개략적으로 나타내는 개념도.Figures 1 and 2 are conceptual diagrams schematically showing the process in which errors occur during stage movement in a conventional vision system.
Figure 3 is a schematic configuration diagram of a flying alignment system to which an embodiment of the present invention is applied.
Figures 4 (a) to (d) are examples of marks for error confirmation formed or attached to the stage in the present invention.
5 to 7 are conceptual diagrams schematically showing an error correction method due to vibration when moving the stage and trigger delay when shooting while moving the stage according to an embodiment of the present invention.
Figure 8 is a position distribution diagram of marks for checking errors of the stage measured through a flying alignment system to which the present invention is applied.
Figure 9 is a flowchart for explaining an error correction method due to vibration when moving the stage and trigger delay when shooting while moving the stage according to an embodiment of the present invention.
Figure 10 is a conceptual diagram schematically showing the overall configuration of a flying alignment system having a trigger error correction function using an error correction method due to vibration when moving the stage and trigger delay when shooting while moving the stage according to an embodiment of the present invention.
Figure 11 is a conceptual diagram schematically showing a configuration for performing a calibration task of a vision system by applying an error correction method due to vibration when moving the stage and trigger delay when taking pictures while moving the stage according to an embodiment of the present invention.

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들은 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.Since the present invention can make various changes and take various forms, specific embodiments will be illustrated in the drawings and described in detail in the text. However, this is not intended to limit the present invention to a specific disclosed form, and should be understood to include all changes, equivalents, and substitutes included in the spirit and technical scope of the present invention.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성 요소는 제2 구성 요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성 요소도 제1 구성 요소로 명명될 수 있다.Terms such as first, second, etc. may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. The above terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. For example, a first component may be referred to as a second component, and similarly, the second component may also be referred to as a first component without departing from the scope of the present invention.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예들을 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terms used in this application are only used to describe specific embodiments and are not intended to limit the invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise. In this application, terms such as “comprise” or “have” are intended to designate the presence of features, numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof described in the specification, but are not intended to indicate the presence of one or more other features or It should be understood that this does not exclude in advance the possibility of the presence or addition of numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 갖는다.Unless otherwise defined, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by a person of ordinary skill in the technical field to which the present invention pertains.

일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.Terms defined in commonly used dictionaries should be interpreted as having a meaning consistent with the meaning in the context of the related technology, and unless clearly defined in the present application, should not be interpreted as having an ideal or excessively formal meaning. No.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시 예를 포함하여 각 구성에 따른 작동상태를 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, with reference to the attached drawings, the operating conditions according to each configuration, including preferred embodiments according to the present invention, will be described in detail as follows.

도 1 및 도 2는 종래 비전 시스템에서 스테이지 이동 중 오차가 발생하는 과정을 개략적으로 나타내는 개념도를 나타낸 것이다.Figures 1 and 2 are conceptual diagrams schematically showing the process by which errors occur during stage movement in a conventional vision system.

도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 종래 비전 시스템 및 그 얼라인먼트 시스템들에 있어서, 일반적으로 스테이지의 이동시 및 이동 중 진동이나 흔들림에 의해 실제 마커의 위치와 카메라로 촬영된 계측위치 사이에 오차가 발생하게 된다.As shown in Figures 1 and 2, in conventional vision systems and their alignment systems, errors generally occur between the actual marker position and the measured position captured by the camera due to vibration or shaking during and during movement of the stage. I do it.

이에, 종래의 시스템들에서는 진동이 멈출 때까지 지연시간(delay)을 적용한 후에 측정을 수행하거나, 또는 이러한 오차 발생시 작업을 중단하고 오차를 수정한 후 다시 작업을 진행해야 하므로, 적용된 지연시간(delay)이나 오차수정을 위해 지연된 시간만큼 제품 하나를 생산하는데 필요한 시간, 즉, 택트 타임(Tact Time)이 증가하게 되고, 이는 곧 생산성의 저하로 직결된다.Accordingly, in conventional systems, measurements are performed after applying a delay until the vibration stops, or when such an error occurs, work must be stopped, the error corrected, and then work must be done again, so the applied delay time (delay) must be applied. ) or the time delayed for error correction increases the time required to produce one product, that is, the Tact Time, which directly leads to a decrease in productivity.

한편, 도 3은 본 발명의 일 실시 예가 적용된 플라잉 얼라인먼트 시스템의 개략적인 구성도를 나타낸 것이고, 도 4의 (a)~(d)는 본 발명에서 스테이지에 형성 또는 부착한 오차 확인용 마크들의 예시도를 나타낸 것이다.Meanwhile, Figure 3 shows a schematic configuration diagram of a flying alignment system to which an embodiment of the present invention is applied, and Figures 4 (a) to (d) are examples of marks for error confirmation formed or attached to the stage in the present invention. It shows the degree.

이에 따르면, 본 발명의 일 실시 예가 적용된 플라잉 얼라인먼트 시스템은, 크게 적어도 하나 이상의 카메라(10)와 스테이지(20) 및 제어부(30)를 포함한다.According to this, the flying alignment system to which an embodiment of the present invention is applied largely includes at least one camera 10, a stage 20, and a control unit 30.

상기 적어도 하나 이상의 카메라(10)는 스테이지(20)의 이동 전의 시작 위치 및 이동로 중 정해진 위치레 각각 설치된 상태에서, 제어부(30)의 제어를 받아 스테이지(20)를 포함하여 그 상면에 적제된 제품(40)을 스테이지(20)가 이동하기 전과 이동 중 각각 촬영하여 제어부(30)로 전달해 주는 기능을 수행한다.The at least one camera 10 is installed on the upper surface of the stage 20, including the stage 20, under the control of the control unit 30, while being installed at a predetermined starting position before the movement of the stage 20 and at a designated position during the movement path. It performs a function of photographing the product 40 before and while the stage 20 moves and transmitting the images to the control unit 30.

또한, 상기 스테이지(20)는 제품(40)을 적재하고 제어부(20)의 출력신호에 대응하여 작동되는 도시 생략된 구동장치의 구동 상태에 부응하여 이동함은 물론 제어부(30)의 출력신호에 대응하여 그 위치가 변화될 수도 있다.In addition, the stage 20 loads the product 40 and moves in response to the driving state of a driving device (not shown) that operates in response to the output signal of the control unit 20, as well as in response to the output signal of the control unit 30. The location may change accordingly.

이때, 비록 도시는 생략하였으나, 상기 구동장치는 제품이 적제되는 스테이지를 각 단계별로 정해진 거리씩 또는 정해진 속도를 갖고 연속해서 이동시켜 주는 것으로, 상기 스테이지(20)는 모터의 구동력에 대응하여 레일 또는 컨베이어 등을 통해 이동되는 구성 등을 포함할 수 있다.At this time, although not shown, the driving device continuously moves the stage on which the product is loaded at a set distance or at a set speed for each step, and the stage 20 moves the rail or rail in response to the driving force of the motor. It may include components that are moved via conveyors, etc.

또, 상기 제어부(30)는 기본적으로 상기 스테이지(20)의 이동 및 상기 카메라(10)들의 구동을 제어함과 동시에 상기 카메라(10)에 의해 촬영된 영상을 기반으로 영상분석, 위치 분석 및 정렬 프로그램 등을 수행하고, 그 결과에 대응하여 시스템의 전체적인 동작을 제어하는 기능을 수행한다.In addition, the control unit 30 basically controls the movement of the stage 20 and the operation of the cameras 10, as well as image analysis, location analysis, and alignment based on the image captured by the camera 10. It performs the function of executing programs, etc. and controlling the overall operation of the system in response to the results.

여기서, 상기한 카메라(10)와 상기 스테이지(20)의 기본적인 구성은, 기존의 비전 시스템 또는 플라잉 비전 시스템들을 참조하여 당업자가 용이하게 구현할 수 있는 사항이므로 이에, 본 발명에서는 설명을 간략히 하기 위해, 상기한 바와 같이 당업자가 종래기술의 내용 등을 참조하여 용이하게 이해하고 실시할 수 있는 내용에 대하여는 그 상세한 설명을 생략하였음에 유념해야 한다.Here, the basic configuration of the camera 10 and the stage 20 can be easily implemented by a person skilled in the art by referring to existing vision systems or flying vision systems. Therefore, in order to simplify the description in the present invention, As mentioned above, it should be noted that detailed descriptions of content that can be easily understood and implemented by those skilled in the art by referring to the prior art have been omitted.

다만, 본 발명에서는 종래 비전 시스템 또는 플라잉 비전 시스템에서와 달리, 상기 스테이지(20)의 상면에 소정 형상을 갖는 오차 확인용 마크(21)를 더 형성 또는 부착한 것을 포함한다.However, in the present invention, unlike the conventional vision system or the flying vision system, an error confirmation mark 21 having a predetermined shape is further formed or attached to the upper surface of the stage 20.

이때, 상기 오차 확인용 마크(21)는, 도 4의 (a)~(d)에 도시한 바와 같이 평면 상에서 볼 때, "" 형상, "" 형상, ""형상 또는 "" 형상의 패턴 중 어느 한 형상의 패턴을 갖게 형성할 수 있다.At this time, the error confirmation mark 21 is, when viewed from a plane as shown in Figures 4 (a) to (d), " " shape, " " shape, " "Shape or " “It can be formed to have a pattern of any one shape.

이와 같은 형상을 갖는 상기 오차 확인용 마크(21)는, 상기 스테이지(20)의 상면 중 전방부 양측에 또는 전방 및 후방부 양측에 직접 형성하거나 또는 별도로 제작하여 부착한 형태를 가질 수 있다.The error confirmation mark 21 having this shape may be formed directly on both sides of the front part of the upper surface of the stage 20 or on both front and rear parts, or may be manufactured and attached separately.

상기에서 제시된 "" 형상, "" 형상, ""형상 또는 "" 형상의 패턴 중 어느 한 형상의 패턴을 갖는 상기 오차 확인용 마크(21)를 상기 스테이지(20)의 상면 중 전방부 양측 또는 전 후방부 양측에 직접 형성 또는 별도로 부착하고, 상기 스테이지(20)의 이동 전 및 이동 중 상기 카메라(10)를 통해 이를 포함한 스테이지 전체를 촬영하여 상기 제어부(30)에 제공할 경우, 상기 제어부(30)는 상기 오차 확인용 마크(21)의 형상에 무관하게 정확한 형태를 인식하고, 상기 스테이지(20)의 이동 전 및 이동 중의 위치 변화 값을 정확히 검출해 낼 수 있으므로 그 어느 형태를 가져도 동일한 효과를 얻을 수 있다.The above-mentioned " " shape, " " shape, " "Shape or " "The error confirmation mark 21 having a pattern of any one of the shape patterns is directly formed or separately attached on both sides of the front part or both front and rear parts of the upper surface of the stage 20, and the stage 20 When the entire stage, including this, is photographed through the camera 10 before and during the movement and provided to the control unit 30, the control unit 30 provides accurate information regardless of the shape of the error confirmation mark 21. Since the shape can be recognized and the positional change value before and during movement of the stage 20 can be accurately detected, the same effect can be obtained regardless of the shape.

물론, 상기 오차 확인용 마크(21)의 형상은 상기한 형태 이외에 식별이 가능한 다른 어떻한 형태를 작게 형성해도 동일한 효과를 얻을 수 있으므로 그 형상에 대해 상기한 예로 한정하지는 않는다.Of course, the shape of the error confirmation mark 21 is not limited to the above-mentioned example because the same effect can be obtained even if it is formed in a small, identifiable shape other than the above-described shape.

또한, 상기 제어부(30)는 일반 PC나 노트북 및 산업용 PC 등을 포함하는 것으로, 이와 같은 상기 제어부(30)는 상기 카메라(10) 및 상기 스테이지(20) 등을 포함하여 시스템의 전반적인 제어에 필요한 각종 프로그램 등(예를 들어 전술한 영상분석, 위치 분석 및 정렬 프로그램 등)을 내장할 수 있다.In addition, the control unit 30 includes a general PC, a laptop, and an industrial PC, and the control unit 30 is necessary for overall control of the system including the camera 10 and the stage 20. Various programs, etc. (for example, the above-described image analysis, location analysis, and alignment programs, etc.) can be embedded.

이와 같은 상기 제어부(30)는, 상기 제품(40)을 적재한 상기 스테이지(20)가 이동되기 전에 상기 카메라(10)를 통해 상기 스테이지(20)의 상기 오차 확인용 마크(21)와 상기 스테이지(20)에 적재된 제품(40)의 보정용 마크(41)를 촬영하고, 상기 스테이지(20)의 이동 전 상기 오차 확인용 마크(21)의 위치를 측정하여 제1-1 위치 값으로 획득할 수 있음은 물론 상기 제품(40)의 이동 중 상기 보정용 마크(41)의 위치를 측정하여 제1 위치 값으로 획득할 수 있다.As such, the control unit 30 detects the error confirmation mark 21 of the stage 20 and the stage through the camera 10 before the stage 20 on which the product 40 is loaded is moved. The correction mark 41 of the product 40 loaded on (20) is photographed, and the position of the error confirmation mark 21 is measured before moving the stage 20 to obtain the 1-1 position value. In addition, the position of the correction mark 41 can be measured while the product 40 is moving and obtained as the first position value.

또, 상기 제어부(30)는 상기 제품(40)이 적재된 상기 스테이지(20)를 이동시킨 다음, 다시 상기 스테이지(20)의 이동로 중 특정 위치에 설치된 상기 카메라(10)를 통해 이동 중인 상기 스테이지(20)의 상기 오차 확인용 마크(21)와 상기 스테이지(20)에 적재된 제품(40)의 보정용 마크(41)를 촬영하고, 상기 스테이지(20)의 이동 중 상기 오차 확인용 마크(21)의 위치를 측정하여 제1-2 위치 값으로 획득할 수 있다.In addition, the control unit 30 moves the stage 20 on which the product 40 is loaded, and then moves the stage 20 again through the camera 10 installed at a specific position in the moving path of the stage 20. The error confirmation mark 21 of the stage 20 and the correction mark 41 of the product 40 loaded on the stage 20 are photographed, and the error confirmation mark ( 21) can be measured and obtained as the 1st-2nd position value.

이후, 상기 제어부(30)는 상기 스테이지(20)의 이동 중 진동 및 스테이지의 이동 중에 촬영시 트리거 지연으로 인한 오차가 발생되었는지 확인하기 위해, 영상분석 및 위치 분석 프로그램 등을 이용하여 상기 스테이지(20)의 이동 전 및 이동 중의 상기 스테이지(20)에 형성된 상기 오차 확인용 마크(21)의 상기 제1-1 위치 값과 상기 제1-2 위치 값을 상호 비교하여 그 차이에 해당하는 위치 변화 값을 획득할 수 있다.Thereafter, the control unit 30 uses an image analysis and position analysis program to check whether an error has occurred due to vibration during movement of the stage 20 or a trigger delay during filming while the stage is moving. ) The 1-1 position value and the 1-2 position value of the error confirmation mark 21 formed on the stage 20 before and during movement are compared to each other, and a position change value corresponding to the difference can be obtained.

또, 상기 제어부(30)는 상기 제1-1 위치 값과 상기 제1-2 위치 값의 차이에 해당하는 상기 위치 변화 값을 이용하여 이동 중인 상기 제품(40)의 상기 보정용 마크(41)의 제2 위치 값도 획득할 수 있다.In addition, the control unit 30 uses the position change value corresponding to the difference between the 1-1 position value and the 1-2 position value to adjust the correction mark 41 of the moving product 40. A second position value can also be obtained.

이후, 상기 제어부(30)는 상기 스테이지(20)의 이동 전 및 이동 중의 상기 오차 확인용 마크(21)에 대한 위치 변화 값을 이용하여 획득한 상기 제품(40)의 상기 보정용 마크()에 대한 이동 중 상기 제2 위치 값을 기초로 상기 제품(40)의 실제 위치를 획득하고, 이를 정렬 오프셋(align offset)을 적용시켜 이동 중인 상기 제품(40)에 대한 실제 위치를 자동 보정하게 된다.Thereafter, the control unit 30 determines the correction mark ( During movement, the actual position of the product 40 is acquired based on the second position value, and an alignment offset is applied to automatically correct the actual position of the product 40 in motion.

실제로 본 발명의 일 실시 예가 적용된 경우, 상기 제어부(30)는 상기 스테이지(20)의 이동 전과 이동 중 상기 카메라(10)를 통해 각각 촬영한 상기 스테이지(20)의 상기 오차 확인용 마크(21)에 대한 이동 전 및 이동 중 위치 변화 값만 상호 비교하여, 상기 스테이지(20) 이동 중 시스템의 결함이나 모터의 구동 등에 따른 상기 스테이지의 진동 및 스테이지의 이동 중에 촬영시 트리거 지연으로 인해 발생되는 상기 오차 확인용 마크(21)의 위치 오차 값만 산출하고, 그의 위치 변화 값을 정렬 오프셋(align offset)을 적용하여 상기 제품(40)의 실제 위치를 실시간으로 자동 보정하게 된다.When an embodiment of the present invention is actually applied, the control unit 30 displays the error confirmation mark 21 of the stage 20 photographed through the camera 10 before and during movement of the stage 20. By comparing only the position change values before and during movement, the error caused by vibration of the stage due to system defects or motor operation during movement of the stage 20 and trigger delay when shooting while moving the stage is confirmed. Only the position error value of the dragon mark 21 is calculated, and an alignment offset is applied to the position change value to automatically correct the actual position of the product 40 in real time.

따라서, 플라잉 비전 시스템의 캘리브레이션 및 얼라인먼트 후 스테이지의 이동시 설비의 진동이나 스테이지의 이동 중에 촬영시 트리거 지연이 발생하여 상기 제품(40)에 대한 정렬(align) 오차가 발생하더라도 지연(delay) 없이 진동 및 스테이지의 이동 중에 촬영시 트리거 지연에 따른 제품의 위치 오차를 보정할 수 있는 것이다.Therefore, even if an alignment error for the product 40 occurs due to vibration of the equipment when moving the stage after calibration and alignment of the flying vision system or trigger delay when shooting while moving the stage, vibration and vibration occur without delay. It is possible to correct the product's position error due to trigger delay when shooting while the stage is moving.

그러나, 상기 제품(40)의 실제 위치를 보다 정밀하게 보정하기 위해 적용된 수 있는 본 발명의 다른 실시 예의 경우, 상기 제어부(30)는 상기 스테이지(20)의 이동 전과 이동 중 상기 카메라(10)를 통해 상기 스테이지(20)의 상기 오차 확인용 마크(21) 및 상기 제품(40)의 보정용 마크(41)를 각각 촬영한다.However, in another embodiment of the present invention that can be applied to more precisely correct the actual position of the product 40, the control unit 30 operates the camera 10 before and during movement of the stage 20. The error confirmation mark 21 of the stage 20 and the correction mark 41 of the product 40 are respectively photographed.

이어서, 상기 스테이지(20)의 이동 전과 이동 중 상기 스테이지(20)의 상기 오차 확인용 마크(21)의 상기 위치 변화 값은 물론 상기 제품(41)의 상기 보정용 마크(41)에 대한 위치 변화 값을 모두 획득하고, 이들 모두를 각각 상호 비교하여, 상기 스테이지(20) 이동 중 진동 및 촬영시 트리거 지연으로 인한 상기 스테이지(20)의 상기 오차 확인용 마크(21)에 대한 위치 오차 값을 1차적으로 산출함과 동시에 상기 스테이지 이동 중 진동 및 촬영시 트리거 지연으로 인한 상기 제품(40)의 상기 보정용 마크(41)에 대한 위치 오차 값도 2차적으로 산출한다. Subsequently, the position change value of the error confirmation mark 21 of the stage 20 before and during movement of the stage 20 as well as the position change value of the correction mark 41 of the product 41 are obtained, and all of them are compared with each other, and the position error value for the error confirmation mark 21 of the stage 20 due to vibration during movement of the stage 20 and trigger delay during shooting is determined as a primary value. At the same time, the position error value for the correction mark 41 of the product 40 due to vibration during movement of the stage and trigger delay during shooting is also calculated secondarily.

이후, 상기 제어부(30)는 상기 오차 확인용 마크(21)에 대한 위치 오차 값 및 상기 제품(40)의 상기 보정용 마크(41)에 대한 위치 오차 값을 모두 정렬 오프셋(align offset)에 적용하여 이동 중인 상기 제품(40)에 대한 실제 위치를 실시간으로 정밀 보정하게 된다.Thereafter, the control unit 30 applies both the position error value for the error confirmation mark 21 and the position error value for the correction mark 41 of the product 40 to an alignment offset. The actual position of the moving product 40 is precisely corrected in real time.

즉, 본 발명의 다른 실시 예에서는, 상기 제어부(30)가 상기 스테이지(20)의 이동 전과 이동 중 각각에 대해 상기 카메라(10)를 통해 상기 스테이지(20)의 상기 오차 확인용 마크(21) 및 상기 제품(40)의 상기 보정용 마크(41)를 각각 촬영한 상태에서, 상기 진동 측정용 인식 마크(21)에 대한 이동 전 및 이동 중의 상기 위치 변화 값을 제1 위치 변화 값으로 획득하고, 상기 보정용 마크(41)에 대한 이동 전 및 이동 중의 위치 변화 값을 제2 위치 변화 값으로 획득한다.That is, in another embodiment of the present invention, the control unit 30 displays the error confirmation mark 21 of the stage 20 through the camera 10 before and during movement of the stage 20. And in a state where the correction mark 41 of the product 40 is photographed, the position change value before and during movement of the vibration measurement recognition mark 21 is obtained as a first position change value, The position change value before and during movement of the correction mark 41 is obtained as a second position change value.

이후, 상기 제어부(30)는 상기에서 획득한 상기 오차 확인용 마크(21)의 상기 제1 위치 변화 값이 허용 오차 범위를 초과하는지 판단하고, 상기 허용 오차 범위를 초과한 경우, 상기 제1 위치 변화 값을 기초로 정렬 오프셋을 적용하여 상기 제품(40)의 실제 위치를 1차적으로 보정한다.Thereafter, the control unit 30 determines whether the first position change value of the error confirmation mark 21 obtained above exceeds the allowable error range, and if it exceeds the allowable error range, the first position change value The actual position of the product 40 is initially corrected by applying an alignment offset based on the change value.

이어서 상기 제어부(30)에서는 상기 보정용 마크(41)의 상기 제2 위치 변화 값이 상기 허용 오차 범위를 초과하는지 판단하고, 상기 허용 오차 범위를 초과한 경우, 상기 제2 위치 변화 값을 기초로 정렬 오프셋을 적용하여 상기 스테이지(20)의 상면에 적제된 상태에서 이동 중인 상기 제품(40)의 실제 위치를 2차적으로 실시간으로 보정해 줌으로써 이동 중인 상기 제품(40)에 대한 실제 위치를 보다 정밀하게 보정할 수 있다.Subsequently, the control unit 30 determines whether the second position change value of the correction mark 41 exceeds the tolerance range, and if it exceeds the tolerance range, sorts it based on the second position change value. By applying an offset to secondarily correct the actual position of the moving product 40 in real time while placed on the upper surface of the stage 20, the actual position of the moving product 40 can be more precisely determined. It can be corrected.

따라서, 플라잉 비전 시스템의 캘리브레이션 및 얼라인먼트 후 스테이지의 이동시 설비의 진동이나 스테이지의 이동 중에 촬영시 트리거 지연이 발생하여 상기 스테이지(20) 및 상기 제품(40)에 대한 정렬(align) 오차가 발생하더라도 지연(delay) 없이 진동 및 트리거 지연에 따른 스테이지 및 제품의 위치 오차를 보다 정밀하게 보정할 수 있는 것이다.Therefore, even if an alignment error occurs for the stage 20 and the product 40 due to vibration of the equipment or trigger delay when shooting while moving the stage after calibration and alignment of the flying vision system, there is a delay. Position errors of the stage and product due to vibration and trigger delay can be corrected more precisely without delay.

한편, 도 5 내지 도 7은 본 발명의 일 실시 예에 따른 스테이지 이동시 진동 및 스테이지의 이동 중에 촬영시 트리거 지연에 의한 오차보정방법을 개략적으로 나타내는 개념도를 나타낸 것이고, 도 8은 본 발명이 적용된 플라잉 비전 얼라인먼트 시스템을 통해 측정되는 스테이지의 오차 확인용 마크에 대한 위치 분포도를 나타낸 것이며, 도 9는 본 발명의 일 실시 예에 따른 스테이지 이동시 진동 및 스테이지의 이동 중에 촬영시 트리거 지연에 의한 오차보정방법을 설명하기 위한 대한 플로우챠트를 나타낸 것이다.Meanwhile, Figures 5 to 7 are conceptual diagrams schematically showing an error correction method due to vibration when moving the stage and trigger delay when shooting while moving the stage according to an embodiment of the present invention, and Figure 8 is a flying diagram to which the present invention is applied. It shows the positional distribution of marks for checking errors on the stage measured through a vision alignment system, and Figure 9 shows an error correction method due to vibration when moving the stage and trigger delay when shooting while moving the stage according to an embodiment of the present invention. This is a flow chart for explanation.

이에 따르면, 플라잉 비전 얼라인먼트 시스템을 이용한 스테이지 이동시 진동 및 스테이지의 이동 중에 촬영시 트리거 지연에 대한 오차보정방법에 대한 일 실시 예에서 도 9와 같이, 먼저 작업자 등이 상기 스테이지(20)의 상면 중 미리 정해진 특정 위치에 소정 형상을 갖는 상기 오차 확인용 마크(21)를 추가로 형성 또는 부착하게 된다(S1).According to this, in one embodiment of an error correction method for vibration when moving the stage using a flying vision alignment system and trigger delay when taking pictures while moving the stage, as shown in FIG. 9, first, an operator, etc. The error confirmation mark 21 having a predetermined shape is additionally formed or attached at a specific location (S1).

이때, 상기 오차 확인용 마크(21)는 도 8에 도시된 통계 분포도를 참조하여 중심 위치를 결정하고, 이에 대응한 위치의 상기 스테이지(20) 상면에 형성 또는 부착하면 된다.At this time, the center position of the error confirmation mark 21 may be determined with reference to the statistical distribution diagram shown in FIG. 8, and may be formed or attached to the upper surface of the stage 20 at the corresponding position.

이후, 작업자 등이 상기 스테이지(20) 상면에 보정용 마크(41)가 구비된 제품(40)을 적재하게 되면, 본 발명이 적용된 플라잉 비전 얼라인먼트 시스템 내의 구성요소 중 상기 제어부(30)에서는 상기 카메라(10)들을 통해 상기 스테이지(20)의 상기 오차 확인용 마크(21)를 포함하여 상기 스테이지(20)에 적제된 상기 제품(40)의 상기 보정용 마크(41)를 촬영(S2)하고, 상기 스테이지(20)의 이동 전 상기 오차 확인용 마크(21)의 위치를 측정하여 제1-1 위치 값으로 획득함은 물론 상기 제품(40)의 이동 전 상기 보정용 마크(41)의 위치를 측정하여 제1 위치 값으로 획득한다.Thereafter, when an operator or the like loads the product 40 equipped with the correction mark 41 on the upper surface of the stage 20, the control unit 30, among the components in the flying vision alignment system to which the present invention is applied, uses the camera ( 10), the correction mark 41 of the product 40 loaded on the stage 20, including the error confirmation mark 21 of the stage 20, is photographed (S2), and the stage Before moving the product (20), the position of the error confirmation mark (21) is measured and obtained as the 1-1 position value, and the position of the correction mark (41) is measured before the product (40) is moved. 1 Obtained as a position value.

또한, 상기 제어부(30)는 도시 생략한 스테이지 이동장치를 작동시켜 도 5와 같이, 상기 스테이지(20)를 이동시키고, 상기 스테이지의 이동로 중 특정 위치에 설치된 상기 카메라(10)들을 통해 다시 한번 이동 중인 상기 스테이지(20)의 상기 오차 확인용 마크(21)는 물론 상기 제품(40)의 상기 보정용 마크(41)를 촬영(S3)하고, 상기 스테이지(20)의 이동 중 상기 오차 확인용 마크(21)의 위치를 측정하여 제1-2 위치 값으로 획득한다.In addition, the control unit 30 operates a stage moving device (not shown) to move the stage 20 as shown in FIG. 5, and once again moves the stage 20 through the cameras 10 installed at specific positions on the movement path of the stage. The error confirmation mark 21 of the moving stage 20 as well as the correction mark 41 of the product 40 are photographed (S3), and the error confirmation mark is taken while the stage 20 is moving. Measure the position of (21) and obtain the 1st-2nd position value.

이후, 상기 제어부(30)는 상기 스테이지(20)의 이동 중 진동 및 스테이지의 이동 중에 촬영시 트리거 지연으로 인한 오차가 발생되었는지 확인하기 위해, 영상분석 및 위치 분석 프로그램 등을 이용하여 상기 스테이지(20)의 이동 전 및 이동 중의 상기 스테이지(20)에 형성된 상기 오차 확인용 마크(21)의 상기 제1-1 위치 값과 상기 제1-2 위치 값을 상호 도 6과 같이 비교하여 그 차이에 해당하는 위치 변화 값을 획득한다(S4).Thereafter, the control unit 30 uses an image analysis and position analysis program to check whether an error has occurred due to vibration during movement of the stage 20 or a trigger delay during filming while the stage is moving. ) The 1-1 position value and the 1-2 position value of the error confirmation mark 21 formed on the stage 20 before and during movement are compared as shown in FIG. 6, and the difference corresponds to the difference. Obtain the position change value (S4).

이때, 상기 제어부(30)는 상기 제1-1 위치 값과 상기 제1-2 위치 값의 차이에 해당하는 상기 위치 변화 값을 이용하여 상기 제품(40)의 상기 보정용 마크(41)의 이동 중 위치인 제2 위치 값도 획득할 수 있다.At this time, the control unit 30 is moving the correction mark 41 of the product 40 using the position change value corresponding to the difference between the 1-1 position value and the 1-2 position value. A second position value, which is the location, can also be obtained.

이어서 상기 제어부(30)는 상기 스테이지(20)의 이동 전 및 이동 중의 상기 오차 확인용 마크(21)에 대한 위치 변화 값을 이용하여 획득한 상기 제품(40)의 상기 보정용 마크()에 대한 이동 중 상기 제2 위치 값을 기초로 하여 상기 제품(40)의 실제 위치를 획득하고, 이를 정렬 오프셋(align offset)을 적용시켜 상기 제품(40)에 대한 실제 위치를 자동 보정하게 된다(S5).Subsequently, the control unit 30 moves the product 40 with respect to the correction mark ( The actual position of the product 40 is obtained based on the second position value, and an alignment offset is applied to automatically correct the actual position of the product 40 (S5).

그런데, 본 발명의 상기 제품(40)의 실제 위치를 보다 정밀하게 보정하기 위해 설계된 다른 실시 예가 적용된 경우, 본 발명이 적용된 플라잉 비전 얼라인먼트 시스템 내 상기 제어부(30)는 상기 스테이지(20)의 이동 전과 이동 중 상기 카메라(10)를 통해 상기 스테이지(20)의 상기 오차 확인용 마크(21) 및 상기 제품(40)의 보정용 마크(41)를 각각 촬영한다.However, when another embodiment designed to more precisely correct the actual position of the product 40 of the present invention is applied, the control unit 30 in the flying vision alignment system to which the present invention is applied is operated before and after the movement of the stage 20. During movement, the error confirmation mark 21 of the stage 20 and the correction mark 41 of the product 40 are photographed through the camera 10, respectively.

이후, 상기 제어부(30)는 상기 스테이지(20)의 이동 전과 이동 중 상기 스테이지(20)의 상기 오차 확인용 마크(21)의 상기 위치 변화 값은 물론 상기 제품(41)의 상기 보정용 마크(41)에 대한 위치 변화 값을 모두 획득하고, 이들 모두를 각각 상호 비교하여, 상기 스테이지(20) 이동 중 진동 및 스테이지의 이동 중에 촬영시 트리거 지연으로 인한 상기 스테이지(20)의 상기 오차 확인용 마크(21)에 대한 위치 오차 값을 1차적으로 산출함과 동시에 상기 스테이지 이동 중 진동 및 스테이지의 이동 중에 촬영시 트리거 지연으로 인한 상기 제품(40)의 상기 보정용 마크(41)에 대한 위치 오차 값도 2차적으로 산출한다. Thereafter, the control unit 30 determines the position change value of the error confirmation mark 21 of the stage 20 before and during movement of the stage 20 as well as the correction mark 41 of the product 41. ) are obtained, and all of them are compared with each other, and the error confirmation mark ( In addition to primarily calculating the position error value for 21), the position error value for the correction mark 41 of the product 40 due to vibration during movement of the stage and trigger delay when shooting while moving the stage is also calculated. It is calculated sequentially.

이어서, 상기 제어부(30)는 상기 오차 확인용 마크(21)에 대한 위치 오차 값 및 상기 제품(40)의 상기 보정용 마크(41)에 대한 위치 오차 값을 모두 정렬 오프셋(align offset)에 적용하여 이동 중인 상기 제품(40)에 대한 실제 위치를 실시간으로 정밀 보정하게 된다.Subsequently, the control unit 30 applies both the position error value with respect to the error confirmation mark 21 and the position error value with respect to the correction mark 41 of the product 40 to an alignment offset. The actual position of the moving product 40 is precisely corrected in real time.

즉, 본 발명 방법의 다른 실시 예에서는, 상기 제어부(30)가 상기 스테이지(20)의 이동 전과 이동 중 각각에 대해 상기 카메라(10)를 통해 상기 스테이지(20)의 상기 오차 확인용 마크(21) 및 상기 제품(40)의 상기 보정용 마크(41)를 각각 촬영한 상태에서, 상기 진동 측정용 인식 마크(21)에 대한 이동 전 및 이동 중의 상기 위치 변화 값을 제1 위치 변화 값으로 획득하고, 상기 보정용 마크(41)에 대한 이동 전 및 이동 중의 위치 변화 값을 제2 위치 변화 값으로 획득한다.That is, in another embodiment of the method of the present invention, the control unit 30 displays the error confirmation mark 21 of the stage 20 through the camera 10 before and during movement of the stage 20. ) and the correction mark 41 of the product 40, respectively, obtain the position change value before and during movement of the vibration measurement recognition mark 21 as the first position change value, , the position change value before and during movement of the correction mark 41 is obtained as the second position change value.

이후, 상기 제어부(30)는 상기에서 획득한 상기 오차 확인용 마크(21)의 상기 제1 위치 변화 값이 허용 오차 범위를 초과하는지 판단하고, 상기 허용 오차 범위를 초과한 경우, 상기 제1 위치 변화 값을 기초로 정렬 오프셋을 적용하여 상기 제품(40)의 실제 위치를 1차적으로 보정한다.Thereafter, the control unit 30 determines whether the first position change value of the error confirmation mark 21 obtained above exceeds the allowable error range, and if it exceeds the allowable error range, the first position change value The actual position of the product 40 is initially corrected by applying an alignment offset based on the change value.

이어서 상기 제어부(30)에서는 상기 보정용 마크(41)의 상기 제2 위치 변화 값이 상기 허용 오차 범위를 초과하는지 판단하고, 상기 허용 오차 범위를 초과한 경우, 상기 제2 위치 변화 값을 기초로 정렬 오프셋을 적용하여 상기 스테이지(20)와 함께 이동 중인 상기 제품(40)의 실제 위치를 2차적으로 실시간으로 보정해 줌으로써 이동 중인 상기 제품(40)에 대한 실제 위치를 2차적으로 보다 더 정밀하게 보정하게 된다.Subsequently, the control unit 30 determines whether the second position change value of the correction mark 41 exceeds the tolerance range, and if it exceeds the tolerance range, sorts it based on the second position change value. By applying an offset to secondarily correct the actual position of the product 40 moving with the stage 20 in real time, the actual position of the moving product 40 is secondarily corrected more precisely. I do it.

따라서, 본 발명 방법의 다른 실시 예를 적용할 경우, 플라잉 비전 시스템의 캘리브레이션 및 얼라인먼트 후 스테이지의 이동시 설비의 진동이나 스테이지 이동 중 촬영시 트리거 지연이 발생하여 상기 스테이지(20) 및 상기 제품(40)에 대한 정렬(align) 오차가 발생하더라도 지연(delay) 없이 스테이지 및 제품의 위치 오차를 보다 정밀하게 보정할 수 있는 것이다.Therefore, when applying another embodiment of the method of the present invention, vibration of the equipment when moving the stage after calibration and alignment of the flying vision system or trigger delay when taking pictures while moving the stage occur, causing the stage 20 and the product 40 Even if an alignment error occurs, the positional error of the stage and product can be corrected more precisely without delay.

이때, 상기 제어부(30)는 상기 스테이지(20)에 표시된 상기 오차 확인용 마크(21)와 상기 제품(40)에 표시된 상기 보정용 마크(41)의 위치를 상호 비교함에 있어서, 본 발명 시스템이 적동되는 분야에서 원하는 정밀도에 따라, 위치 변화 값을 ㎜ 단위 또는 ㎛ 단위 또는 ㎚ 단위 등 중 어느 한 단위로 구분하여 실시간으로 비교하고, 그 오차를 상기에서 설정된 단위를 기준으르호 보정할 수 있다.At this time, the control unit 30 compares the positions of the error confirmation mark 21 displayed on the stage 20 and the correction mark 41 displayed on the product 40, and the present invention system operates accordingly. Depending on the desired precision in the field, the position change value can be classified in units such as mm, ㎛, or ㎚ and compared in real time, and the error can be corrected based on the units set above.

예를 들어, 상기 제어부(30)에서는 상기 스테이지(20)에 형성 또는 부착된 상기 오차 확인용 마크(21)와 상기 제품(41)의 보정용 마크(41)의 위치를 비교 판단한 결과, 상기 스테이지(20)의 상기 오차 확인용 마크(21)가 상기 스테이지(20)의 이동 중 발생된 진동 및 스테이지의 이동 중에 촬영시 트리거 지연 등으로 인해 도 7과 같이 Y축(또는 도시는 생략하였으나 X축)으로 10(㎜ 또는 ㎛ 또는 ㎚ 또는 화소) 만큼 위치 이동된 경우라면, 상기 제품(40)에 표시된 보정용 마크(41)에 대해서도 카메라로 측정된 좌표에 대하여 Y축(또는 X축) 좌표값 대비 10(㎜ 또는 ㎛ 또는 ㎚ 또는 화소) 만큼 오프셋(Offset)을 적용하여 최종 좌표값으로 계산하고, 실시간으로 상기 제품(40)의 해당 오차를 보정함으로써 지연 없이 상기 스테이지(20)의 이동시 발생된 진동 및 스테이지의 이동 중에 촬영시 트리거 지연에 대한 제품(40)의 오차를 정확히 측정하고 이를 자동 보정할 수 있다.For example, the control unit 30 compares and determines the positions of the error confirmation mark 21 formed or attached to the stage 20 and the correction mark 41 of the product 41, and as a result, the stage ( 20), the error confirmation mark 21 is on the Y-axis (or the If the position is moved by 10 (mm or ㎛ or ㎚ or pixel), the correction mark 41 displayed on the product 40 is also 10 compared to the Y-axis (or X-axis) coordinate value relative to the coordinates measured by the camera. An offset of (mm or ㎛ or ㎚ or pixel) is applied to calculate the final coordinate value, and the corresponding error of the product 40 is corrected in real time, thereby eliminating the vibration and vibration generated when the stage 20 is moved without delay. It is possible to accurately measure the error of the product 40 regarding trigger delay when shooting while moving the stage and automatically correct it.

따라서, 스테이지 이동시 진동 또는 스테이지의 이동 중에 촬영시 트리거 지연에 대한 오차보정은, 본 발명을 적용하고자 하는 분야에 따라서 그 정밀도를 선택하여 정할 수 있을 뿐만 아니라, 그에 대응하여 오차를 자동 보정할 수 있다.Therefore, error correction for vibration when moving the stage or trigger delay when shooting while moving the stage can not only select and determine the precision according to the field to which the present invention is to be applied, but also automatically correct the error in response. .

여기서 상기 제어부(30)에서 상기 스테이지(20)에 표시된 상기 오차 확인용 마크(21)와 상기 제품(40)에 표시된 상기 보정용 마크(41)의 위치를 상기 스테이지(20)의 이동 전 기준 위치 대비 이동 중 현재 위치를 상호 비교할 때, 기준이 되는 위치 변화 값 판단 단위는, 상기한 ㎜ 단위 또는 ㎛ 단위 또는 ㎚ 단위에 한정하지 않고, 상기 카메라(10)를 통해 촬영된 마크들의 위치 변화에 대응되는 거리 내의 화소 개수 변화 값으로 비교 판단하는 것을 포함할 수도 있다.Here, the control unit 30 compares the positions of the error confirmation mark 21 displayed on the stage 20 and the correction mark 41 displayed on the product 40 to the reference position before movement of the stage 20. When comparing the current positions during movement, the standard position change value determination unit is not limited to the above-mentioned mm unit, ㎛ unit, or ㎚ unit, but is a unit corresponding to the position change of the marks photographed through the camera 10. It may also include comparing and judging the change value of the number of pixels within the distance.

한편, 도 10은 본 발명의 실시 예에 따른 스테이지 이동시 진동 및 스테이지의 이동 중에 촬영시 트리거 지연에 의한 오차보정방법을 이용하여 트리거 오차의 보정기능을 가지는 플라잉 얼라인먼트 시스템의 전체적인 구성을 개략적으로 나타내는 개념도이다.Meanwhile, Figure 10 is a conceptual diagram schematically showing the overall configuration of a flying alignment system that has a trigger error correction function using an error correction method due to vibration when moving the stage and trigger delay when shooting while moving the stage according to an embodiment of the present invention. am.

이에 따르면, 종래 일반적인 플라잉 비전 얼라인먼트 시스템은, 스테이지의 이동 중 트리거(Trigger) 신호를 받아 촬영이 이루어지도록 구성되나, 소프트웨어 방식의 트리거(Software Trigger)를 사용하는 경우 스테이지의 이동 중에 촬영시 트리거 지연(Trigger Delay)으로 인해 정확한 타이밍에 촬영이 이루어지지 못하고 촬영 주기에 오차가 발생하게 된다.According to this, a typical conventional flying vision alignment system is configured to receive a trigger signal while the stage is moving and take pictures, but when using a software trigger, there is a trigger delay (trigger delay) when filming while the stage is moving. Due to Trigger Delay, shooting cannot be performed at the correct timing and errors occur in the shooting cycle.

그러나 이러한 경우에도, 상기한 바와 같은 본 발명의 일 실시 예에 따른 스테이지 이동시 진동 및 흔들림에 의한 오차보정방법을 이용하여, 상기 스테이지(20)에 오차 확인용 마크(21)를 추가하고, 오프셋을 적용하는 것에 의해 트리거 지연에 의한 오차를 보정할 수 있다.However, even in this case, an error confirmation mark 21 is added to the stage 20 using the error correction method due to vibration and shaking when moving the stage according to an embodiment of the present invention as described above, and an offset is set. By applying this, errors due to trigger delay can be corrected.

뿐만 아니라, 상기한 바와 같이 하여 구성되는 본 발명의 일 실시 예에 따른 스테이지 이동시 진동 및 흔들림에 의한 오차보정방법을 플라잉 얼라인먼트 시스템의 캘리브레이션(calibration)에 적용하여 캘리브레이션 작업을 수행할 수 있다.In addition, calibration work can be performed by applying the error correction method due to vibration and shaking during stage movement according to an embodiment of the present invention configured as described above to the calibration of the flying alignment system.

즉, 도 11은 본 발명의 실시예에 따른 스테이지 이동시 진동 및 스테이지의 이동 중에 촬영시 트리거 지연에 의한 오차보정방법을 적용하여 비전 시스템의 캘리브레이션 작업을 수행하는 구성을 개략적으로 나타내는 개념도이다.That is, FIG. 11 is a conceptual diagram schematically showing a configuration for performing a calibration task of a vision system by applying an error correction method due to vibration when moving the stage and trigger delay when taking pictures while moving the stage according to an embodiment of the present invention.

도 11에 도시한 바와 같이, 종래 일반적인 캘리브레이션 작업시에는 캘리브레이션 시트(Calibration Sheet) 및 인식마크(Fiducial Mark)가 표시된 패널(Panel)이 필요하나, 본 발명의 일 실시 예에 따른 스테이지 이동시 진동 및 흔들림에 의한 오차보정방법을 적용하면, 별도의 인식마크(Fiducial Mark) 패널이 없어도 상기 스테이지(20)에 오차 확인용 마크(21)를 형성 또는 부착하여 캘리브레이션 작업의 진행이 가능해지며, 그것에 의해, 캘리브레이션 작업의 진행시 준비물에 대한 번거로움 및 작업시간을 단축하여 생산성 향상에 기여할 수 있다.As shown in Figure 11, conventional general calibration work requires a calibration sheet and a panel with a fiducial mark, but vibration and shaking occur when the stage is moved according to an embodiment of the present invention. By applying the error correction method, it becomes possible to proceed with the calibration work by forming or attaching a mark 21 for error confirmation to the stage 20 even without a separate fiducial mark panel, thereby enabling calibration. It can contribute to improving productivity by reducing the hassle of preparing materials and working time during work progress.

따라서, 상기한 바와 같이 하여 본 발명의 일 실시 예에 따른 플라잉 비전 얼라인먼트 시스템 및 이를 이용한 트리거 지연으로 인한 오차보정방법을 구현할 수 있으며, 그것에 의해 본 발명에 따르면, 상기 스테이지(20)에 상기 오차 확인용 마크(21)를 추가하여 진동 또는 스테이지의 이동 중에 촬영시 트리거 지연으로 인한 오차 발생시 상기한 마크를 기준으로 정렬 오프셋(align offset)을 적용하여 보정함으로써, 플라잉 비전 시스템의 캘리브레이션 및 얼라인먼트 후 스테이지의 이동시 설비의 진동이나 스테이지의 이동 중에 촬영시 트리거 지연이 발생하여 정렬(align)에 오차가 발생하더라도 지연(delay) 없이 제품에 대한 위치 오차를 보정할 수 있다.Therefore, as described above, the flying vision alignment system according to an embodiment of the present invention and the error correction method due to trigger delay using the same can be implemented, and thereby, according to the present invention, the error is confirmed on the stage 20. By adding a mark (21) to compensate for errors caused by trigger delay when shooting during vibration or movement of the stage, an alignment offset is applied based on the above-mentioned mark to correct the stage after calibration and alignment of the flying vision system. Even if an alignment error occurs due to vibration of the equipment or trigger delay during filming while the stage is moving, the positional error of the product can be corrected without delay.

또한, 본 발명에 따르면, 상기한 바와 같이 비교적 간단한 구성 및 저렴한 비용으로 설비의 진동 및 트리거 지연으로 인한 오차를 실시간으로 보정할 수 있도록 구성되는 플라잉 비전 얼라인먼트 시스템 및 이를 이용한 트리거 지연으로 인한 오차보정방법이 제공됨으로써, 소프트웨어 방식의 트리거(Software Trigger)를 사용하는 경우 스테이지의 이동중에 설비의 진동 및 촬영시 트리거 지연(Trigger Delay)으로 인해 오차가 발생하고, 그로 인해 위치정밀도가 떨어지게 되는 한계가 있었던 종래기술의 플라잉 비전 얼라인먼트 시스템 및 방법들의 문제점을 해결할 수 있다.In addition, according to the present invention, as described above, a flying vision alignment system configured to correct errors due to vibration and trigger delay of equipment in real time with a relatively simple configuration and low cost, and a method for correcting errors due to trigger delay using the same. By providing this, when using a software trigger, errors occur due to vibration of equipment during stage movement and trigger delay when shooting, which had the limitation of lowering positional accuracy. Problems with flying vision alignment systems and methods can be solved.

이상에서와 같이, 본 발명은 기재된 실시 예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다.As described above, the present invention is not limited to the described embodiments, and it is obvious to those skilled in the art that various modifications and changes can be made without departing from the spirit and scope of the present invention.

따라서, 기술적 사상 또는 주요한 특징으로부터 벗어남이 없이 다른 여러 가지 형태로 실시될 수 있으므로, 본 발명의 실시 예들은 모든 점에서 단순한 예시에 지나지 않으며 한정적으로 해석되어서는 아니되며 다양하게 변형하여 실시할 수 있다.Therefore, since it can be implemented in various other forms without departing from the technical idea or main features, the embodiments of the present invention are merely examples in all respects and should not be construed as limited, and can be implemented with various modifications. .

즉, 앞서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시 예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술분야에 통상의 지식을 갖는 자라면 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.That is, although the detailed description of the present invention described above has been described with reference to preferred embodiments of the present invention, those skilled in the art or have ordinary knowledge in the relevant technical field will understand that the present invention described in the patent claims to be described later It will be understood that the present invention can be modified and changed in various ways without departing from the spirit and technical scope of the present invention.

10 : 카메라
20 : 스테이지 21 : 오차 확인용 마크
30 : 제어부
40 : 제품 41 : 보정용 마크10: Camera
20: Stage 21: Mark for error confirmation
30: control unit
40: Product 41: Mark for correction

Claims (5)

이동 중인 제품의 실제 위치를 보정하는 시스템에 있어서,
적어도 하나 이상의 카메라와;
보정용 마크가 구비된 제품을 적제하고, 상면에는 오차 확인용 마크가 형성 또는 부착되는 스테이지; 및
상기 카메라 및 상기 스테이지를 제어하는 제어부;를 포함하고,
상기 제어부는,
상기 스테이지의 이동 전과 이동 중 위치를 측정하고, 상기 오차 확인용 마크에 대한 이동 전 위치 및 이동 중의 위치 변화 값을 획득하며, 상기 위치 변화 값을 기초로 정렬 오프셋(align offset)을 적용하여 이동 중인 상기 제품의 실제 위치를 실시간으로 보정하는 것을 특징으로 하는 플라잉 얼라인먼트 시스템.
In a system for correcting the actual position of a moving product,
At least one camera;
A stage where products equipped with correction marks are stacked and marks for error confirmation are formed or attached on the upper surface; and
Includes a control unit that controls the camera and the stage,
The control unit,
Measure the position of the stage before and during movement, obtain the position change value before movement and during movement for the error confirmation mark, and apply an alignment offset based on the position change value while moving. A flying alignment system that corrects the actual position of the product in real time.
 청구항 1에 있어서,
상기 카메라를 통해 상기 제품의 상기 보정용 마크의 이동 중 위치를 촬영한 상태에서,
상기 오차 확인용 마크의 이동 전 위치가 제1-1 위치 값이고, 이동 중 위치가 제1-2 위치 값이며, 상기 보정용 마크의 이동 중 위치가 제2 위치 값이라고 할 때,
상기 제어부는,
상기 제1-1 위치 값과 상기 제1-2 위치 값의 차이에 해당하는 상기 위치 변화 값을 획득하고, 상기 위치 변화 값을 이용하여 상기 제2 위치 값을 보정하여 상기 보정용 마크의 실제 위치를 획득하고, 이동 중인 상기 제품의 실제 위치를 보정하는 것을 특징으로 하는 플라잉 얼라인먼트 시스템.
In claim 1,
In a state where the moving position of the correction mark of the product is photographed through the camera,
Assuming that the position before movement of the error confirmation mark is the 1-1 position value, the position during movement is the 1-2 position value, and the position during movement of the correction mark is the second position value,
The control unit,
Obtain the position change value corresponding to the difference between the 1-1 position value and the 1-2 position value, and correct the second position value using the position change value to determine the actual position of the correction mark. A flying alignment system characterized in that it acquires and corrects the actual position of the moving product.
 청구항 1에 있어서,
상기 스테이지의 이동 전과 이동 중 각각에 대해 상기 카메라를 통해 상기 스테이지의 상기 오차 확인용 마크 및 상기 제품의 보정용 마크가 각각 촬영된 상태에서,
상기 오차 확인용 마크에 대한 이동 전 및 이동 중의 상기 위치 변화 값을 제1 위치 변화 값이라고 하고, 상기 보정용 마크에 대한 이동 전 및 이동 중의 위치 변화 값을 제2 위치 변화 값이라고 할 때,
상기 제어부는,
상기 제1 위치 변화 값이 허용 오차 범위를 초과하는지 판단하고, 상기 허용 오차 범위를 초과한 경우, 상기 제1 위치 변화 값을 기초로 정렬 오프셋을 적용하여 이동 중인 상기 제품의 실제 위치를 1차적으로 보정하고,
상기 제2 위치 변화 값이 상기 허용 오차 범위를 초과하는지 판단하고, 상기 허용 오차 범위를 초과한 경우, 상기 제2 위치 변화 값을 기초로 정렬 오프셋을 적용하여 이동 중인 상기 제품의 실제 위치를 2차적으로 보정하는 것을 특징으로 하는 플라잉 얼라인먼트 시스템.
In claim 1,
In a state where the error confirmation mark of the stage and the correction mark of the product are each photographed through the camera before and during movement of the stage,
When the position change value before and during movement with respect to the error confirmation mark is referred to as a first position change value, and the position change value before and during movement with respect to the correction mark is referred to as a second position change value,
The control unit,
It is determined whether the first position change value exceeds the tolerance range, and if it exceeds the tolerance range, an alignment offset is applied based on the first position change value to primarily determine the actual position of the moving product. correct,
It is determined whether the second position change value exceeds the tolerance range, and if it exceeds the tolerance range, an alignment offset is applied based on the second position change value to secondaryize the actual position of the moving product. A flying alignment system characterized by correction.
 청구항 1에 있어서,
상기 오차 확인용 마크는,
"" 형상 또는 "" 형상, 또는 ""형상 또는 "" 형상의 패턴 중 어느 한 형상의 패턴을 갖게 형성한 것을 포함하는 플라잉 얼라인먼트 시스템.
In claim 1,
The error confirmation mark is,
" " shape or " " shape, or " "Shape or " "A flying alignment system that includes one formed to have a pattern of any one shape.
 이동 중인 제품의 실제 위치를 보정하는 방법에 있어서,
적어도 하나 이상의 카메라, 보정용 마크가 구비된 제품을 적제하고 상면에 오차 확인용 마크가 형성 또는 부착된 스테이지를 포함하는 비전 얼라인먼트 시스템이 존재하는 상태에서,
상기 플라잉 비전 얼라인먼트 시스템이,
적어도 하나 이상의 카메라를 통해 상기 오차 확인용 마크를 촬영하여 위치를 측정하여 상기 오차 확인용 마크의 이동 전 위치 및 이동 중 위치를 측정하는 단계;
상기 오차 확인용 마크에 대한 이동 전 및 이동 중의 위치 변화 값을 획득하는 단계; 및
상기 위치 변화 값을 기초로 정렬 오프셋(align offset)을 적용하여 이동 중인 상기 제품의 실제 위치를 실시간으로 보정하는 단계;를 실시하는 것을 특징으로 하는 플라잉 얼라인먼트 시스템을 이용한 트리거 지연으로 인한 오차보정방법.In a method of correcting the actual position of a moving product,
In the presence of a vision alignment system including at least one camera, a stage on which a product equipped with a calibration mark is loaded and a mark for error confirmation is formed or attached to the upper surface,
The flying vision alignment system,
Measuring the position of the error confirmation mark by photographing the error confirmation mark through at least one camera to measure the position before and during movement of the error confirmation mark;
Obtaining position change values before and during movement of the error confirmation mark; and
A method for correcting errors due to trigger delay using a flying alignment system, comprising the step of correcting the actual position of the moving product in real time by applying an alignment offset based on the position change value.
KR1020220148880A 2022-11-09 Flying vision alignment system and error compensation method due to trigger delay using the same KR20240067644A (en)

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