KR20240064280A - Vertical axis light emission compensation device and the compensation method in the integrated structure of laser diode and optical waveguide - Google Patents

Vertical axis light emission compensation device and the compensation method in the integrated structure of laser diode and optical waveguide Download PDF

Info

Publication number
KR20240064280A
KR20240064280A KR1020220146100A KR20220146100A KR20240064280A KR 20240064280 A KR20240064280 A KR 20240064280A KR 1020220146100 A KR1020220146100 A KR 1020220146100A KR 20220146100 A KR20220146100 A KR 20220146100A KR 20240064280 A KR20240064280 A KR 20240064280A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
waveguide
light
laser diode
light guide
vertical axis
Prior art date
Application number
KR1020220146100A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
정영우
Original Assignee
(주)파트론
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by (주)파트론 filed Critical (주)파트론
Priority to KR1020220146100A priority Critical patent/KR20240064280A/en
Publication of KR20240064280A publication Critical patent/KR20240064280A/en

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S5/00Semiconductor lasers
    • H01S5/06Arrangements for controlling the laser output parameters, e.g. by operating on the active medium
    • H01S5/068Stabilisation of laser output parameters
    • H01S5/0683Stabilisation of laser output parameters by monitoring the optical output parameters
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/10Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
    • H01S3/101Lasers provided with means to change the location from which, or the direction in which, laser radiation is emitted

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optical Couplings Of Light Guides (AREA)

Abstract

본 발명은 레이저 다이오드와 웨이브가이드의 통합구조에서의 수직축 광 출사 보정장치 및 그 보정 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 레이저 다이오드와 웨이브가이드가 인접한 통합 구조에서, 레이저 다이오드로부터 출사되는 수직축 방향의 광을 정확히 웨이브가이드로 인도하는 레이저 다이오드와 웨이브가이드의 통합구조에서의 수직축 광 출사 보정장치 및 그 보정 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a vertical axis light emission correction device and a correction method thereof in an integrated structure of a laser diode and a waveguide. More specifically, in an integrated structure where a laser diode and a waveguide are adjacent, the light in the vertical axis direction emitted from the laser diode is It relates to a vertical axis optical emission correction device and correction method in an integrated structure of a laser diode and a waveguide that accurately guides the light to the waveguide.

Description

레이저 다이오드와 웨이브가이드의 통합구조에서 수직축 광 출사 보정장치 및 그 보정 방법{Vertical axis light emission compensation device and the compensation method in the integrated structure of laser diode and optical waveguide}Vertical axis light emission compensation device and the compensation method in the integrated structure of laser diode and optical waveguide}

본 발명은 레이저 다이오드와 웨이브가이드의 통합구조에서 수직축 광 출사 보정장치 및 그 보정 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 레이저 다이오드와 웨이브가이드가 인접한 통합 구조에서, 레이저 다이오드로부터 출사되는 수직축 방향의 광을 정확히 웨이브가이드로 인도하는 레이저 다이오드와 웨이브가이드의 통합구조에서 수직축 광 출사 보정장치 및 그 보정 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a vertical axis light emission correction device and a correction method thereof in an integrated structure of a laser diode and a waveguide. More specifically, in an integrated structure where a laser diode and a waveguide are adjacent, the light in the vertical axis direction emitted from the laser diode is It relates to a vertical axis optical emission correction device and its correction method in an integrated structure of a laser diode and a waveguide that accurately guides the waveguide.

레이저 다이오드(Laser Diode)의 LASER는 "Light Amplification by Stimulated Emission of Radiation(유도방출에 의한 빛의 증폭)"의 이니셜을 조합한 것이다.LASER in Laser Diode is a combination of the initials of "Light Amplification by Stimulated Emission of Radiation."

이러한 레이저 다이오드는 파장 및 위상 등의 성질이 완벽히 동일한 빛을 출력할 수 있어, 간섭성이 높다(coherent)는 점이 최대의 특징이며, 전류를 주입함으로써 발생한 빛이 2개의 거울 사이를 왕복하는 사이에 증폭하여 레이저 발진이 일어나는 것이다.The biggest characteristic of these laser diodes is that they can output light with completely identical properties such as wavelength and phase, and have high coherence. The light generated by injecting current travels back and forth between two mirrors. It is amplified and laser oscillation occurs.

한편, 웨이브가이드(optical waveguide)는 빛을 전달하는 물질을 사용하는 도광판 및 광도파관으로 이루어진 것이다.Meanwhile, an optical waveguide is composed of a light guide plate and an optical waveguide using a material that transmits light.

상기 레이저 다이오드와 웨이브가이드는 첨부 도면 도 1에 도시된 바와 같이, 반도체기판(1) 상에 인접하여 통합 실장되며, 상기 레이저 다이오드(2)에서 출사되는 레이저 광이 인접한 웨이브가이드(3)를 통해 유도되어, 특정 부위 또는 장치로 출력된다.As shown in Figure 1, the laser diode and the waveguide are integrated and mounted adjacent to each other on the semiconductor substrate 1, and the laser light emitted from the laser diode 2 passes through the adjacent waveguide 3. It is guided and output to a specific area or device.

이때, 상기 레이저 다이오드(2)와 웨이브가이드(3)는 반도체 기판 상에 실장되는 과정에서, 수평축 방향과 수직축 방향으로 위치가 어긋나 위치할 수 있는데, 이때, 상기 수평축 방향으로 위치가 어긋난 경우, 첨부 도면 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 웨이브가이드(3)의 광 유입단을 폭이 넓게 테이퍼진 형태로 도광 경로를 갖도록 함으로써, 상기 레이저 다이오드(2)에서 출사되는 광이 웨이브가이드(3)로 정확히 유입되도록 할 수 있다.At this time, during the process of mounting the laser diode 2 and the waveguide 3 on the semiconductor substrate, the positions may be misaligned in the horizontal and vertical directions. In this case, if the positions are misaligned in the horizontal axis direction, the attached As shown in FIG. 2, the light input end of the waveguide 3 is made to have a light guiding path in a tapered shape with a wide width, so that the light emitted from the laser diode 2 is directed to the waveguide 3. You can ensure that it flows in accurately.

그러나, 수직축 방향으로 위치가 어긋난 경우, 상기 레이저 다이오드(2)에서 출사되는 광을 웨이브가이드(3)로 정확히 유입 유도하는데 한계가 있는 것이다.However, if the position is misaligned in the vertical axis direction, there is a limit to accurately guiding the light emitted from the laser diode 2 into the waveguide 3.

대한민국 등록특허공보 제10-0388823호(명칭: 레이저 다이오드; 공개일: 1998년04월30일)Republic of Korea Patent Publication No. 10-0388823 (Name: Laser Diode; Publication Date: April 30, 1998)

본 발명은 레이저 다이오드와 웨이브가이드가 인접한 통합 구조에서, 레이저 다이오드로부터 출사되는 수직축 방향의 광을 정확히 웨이브가이드로 인도할 수 있도록 개선된 레이저 다이오드와 웨이브가이드의 통합구조에서 수직축 광 출사 보정장치 및 그 보정 방법을 제공하는데 목적이 있다.The present invention provides a vertical axis light emission correction device and a vertical axis light emission correction device in an integrated structure of a laser diode and a waveguide that have been improved to accurately guide the vertical axis light emitted from the laser diode to the waveguide in an integrated structure where the laser diode and the waveguide are adjacent. The purpose is to provide a correction method.

본 발명인 레이저 다이오드와 웨이브가이드의 통합구조에서 수직축 광 출사 보정장치는, 기판상에 간격을 두고 실장되는 레이저 다이오드와 웨이브가이드 사이에서, 수평 방향으로의 광도파 경로를 제공하는 광유도부; 및 상기 광유도부의 높이 및 기울기 조절 가능하도록, 상기 레이저 다이오드와 웨이브가이드 사이의 기판 상에 마련되어, 상기 레이저 다이오드와 웨이브가이드의 수직 높이 차이에서 오는 광 포커스 불일치를 보정하는 보정부; 를 포함하는 것일 수 있다.In the integrated structure of the laser diode and the waveguide of the present invention, the vertical axis optical emission correction device includes an optical guide part that provides an optical waveguide path in the horizontal direction between the laser diode and the waveguide mounted at intervals on a substrate; and a correction unit provided on a substrate between the laser diode and the waveguide to adjust the height and inclination of the optical guide, and correcting optical focus mismatch resulting from a vertical height difference between the laser diode and the waveguide. It may include.

본 발명 중 상기 광유도부는 상기 레이저 다이오드에서 출사된 광을 웨이브가이드로 인도하는 경로를 제공하는 활성영역; 및 상기 활성영역 상하에 배치되어, 상기 활성영역으로 광이 도파되도록 광 반사 부위를 제공하는 반사층; 을 포함하는 보정블록인 것일 수 있다.In the present invention, the optical guide part includes an active area that provides a path for guiding light emitted from the laser diode to a waveguide; and a reflective layer disposed above and below the active area to provide a light reflection area so that light is guided to the active area. It may be a correction block containing .

본 발명 중 상기 보정부는 상기 광유도부가 배치되는 부위에 마련되어, 상기 광유도부의 광 포커싱 과정에서, 상기 광유도부를 임시 고정하고, 광 포커싱이 완료된 후 상기 광유도부를 최종 고정하는 보정 및 고정 수단인 것일 수 있다.In the present invention, the correction unit is a correction and fixing means provided at the area where the light guide unit is disposed, temporarily fixing the light guide unit during the light focusing process of the light guide unit, and finally fixing the light guide unit after the light focusing is completed. It could be.

본 발명의 상기 보정부는 접착제로서, UV 조사에 의해 가경화되면서 임시 고정이 이루어지고, 열 경화되어 최종 고정되는 것에 의해, 상기 광유도부의 수직축 광 포커스를 보정 및 고정하는 것일 수 있다.The correction unit of the present invention is an adhesive that is temporarily fixed by being pre-cured by UV irradiation, and is finally fixed by heat curing, thereby correcting and fixing the vertical axis light focus of the light guide unit.

본 발명의 상기 보정부는 기판 상에 고정되는 브라켓 및 접착제로서, 상기 브라켓은 상기 광유도부 하단의 끼움 부위를 제공하여, 상기 수직축 방향에 대한 광 포커싱이 이루어지도록 하고, 상기 접착제는 상기 브라켓 상에 도포되어, 상기 광 포커싱 과정에서 상기 광유도부를 임시 고정하고, 광 포커싱이 완료된 후 상기 광유도부를 최종 고정하는 하이브리드 보정 및 고정 수단인 것일 수 있다.The correction unit of the present invention is a bracket and an adhesive fixed on a substrate. The bracket provides an insertion portion at the bottom of the light guide unit to enable light focusing in the vertical axis direction, and the adhesive is applied on the bracket. It may be a hybrid correction and fixing means that temporarily fixes the light guide part during the light focusing process and finally fixes the light guide part after the light focusing is completed.

본 발명의 상기 브라켓은 상기 광유도부가 끼워지는 하단 부위 양측을 지지하는 한 쌍의 지지돌기가 마련되고, 상기 한 쌍의 지지돌기는 서로 마주하는 내측 상단 모서리가 테이퍼진 것일 수 있다.The bracket of the present invention is provided with a pair of support protrusions that support both sides of the lower part where the light guide part is inserted, and the pair of support protrusions may have tapered inner upper corners facing each other.

본 발명의 상기 브라켓은 상기 광유도부가 끼워지는 하단 부위 양측을 지지하는 한 쌍의 지지돌기가 마련되고, 상기 한 쌍의 지지돌기는 서로 마주하는 내측면에 '∠'형 조절돌기가 수직 방향으로 연속 배열되어, 상기 광유도부 양측 하단의 조절슬릿이 끼워지도록 된 것일 수 있다.The bracket of the present invention is provided with a pair of support protrusions supporting both sides of the lower part where the light guide part is inserted, and the pair of support protrusions have '∠'-shaped adjustment protrusions on the inner surfaces facing each other in the vertical direction. It may be arranged continuously so that the adjustment slits at the bottom of both sides of the light guide are inserted.

본 발명인 레이저 다이오드와 웨이브가이드의 통합구조에서 수직축 광 출사 보정 방법은, 기판상에 간격을 두고 실장되는 레이저 다이오드와 웨이브가이드 사이에 접착제를 도포하는 보정부 준비단계; 상기 접착제 상에 수평방향으로의 광도파 경로를 제공하는 광유도부를 안치하는 광유도부 준비단계; 상기 광유도부의 높이 및 기울기를 조절하여 수직축 방향의 광 포커싱을 진행하면서, 상기 접착제에 UV를 조사하여 임시 고정하는 광 포커싱 진행단계; 및 상기 광 포커싱이 완료되면, 상기 접착제에 열을 가해 최종 고정하는 광 포커싱 완료 및 고정단계; 를 포함하여서 진행되는 것일 수 있다.The vertical axis light emission correction method in the integrated structure of the laser diode and the waveguide of the present invention includes a correction part preparation step of applying adhesive between the laser diode and the waveguide mounted at intervals on the substrate; A light guide unit preparation step of placing the light guide unit providing a horizontal optical waveguide path on the adhesive; A light focusing step of temporarily fixing the adhesive by irradiating UV light while focusing the light in the vertical axis direction by adjusting the height and tilt of the light guide part; And when the optical focusing is completed, an optical focusing completion and fixing step of applying heat to the adhesive for final fixation; It may be progressing including.

본 발명인 레이저 다이오드와 웨이브가이드의 통합구조에서 수직축 광 출사 보정 방법은, 기판상에 간격을 두고 실장되는 레이저 다이오드와 웨이브가이드 사이에 브라켓을 고정하는 브라켓 준비단계 및 상기 브라켓에 접착제를 도포하는 접착제 준비단계를 포함하는 보정부 준비단계; 상기 브라켓 상에 수평방향으로의 광도파 경로를 제공하는 광유도부를 위치시키는 광유도부 준비단계; 상기 브라켓에 대해 광유도부의 높이 및 기울기를 조절하여 수직축 방향의 광 포커싱을 진행하면서, 상기 접착제에 UV를 조사하여 임시 고정하는 광 포커싱 진행단계; 및 상기 광 포커싱이 완료되면, 상기 접착제에 열을 가해 최종 고정하는 광 포커싱 완료 및 고정단계; 를 포함하여서 진행되는 것일 수 있다.The vertical axis light emission correction method in the integrated structure of the laser diode and waveguide of the present invention includes a bracket preparation step of fixing the bracket between the laser diode and the waveguide mounted at intervals on the board, and adhesive preparation of applying adhesive to the bracket. A correction unit preparation step including the steps; A light guide unit preparation step of positioning the light guide unit providing a horizontal optical waveguide path on the bracket; A light focusing step of temporarily fixing the adhesive by irradiating UV light while focusing the light in the vertical axis by adjusting the height and tilt of the light guide with respect to the bracket; And when the optical focusing is completed, an optical focusing completion and fixing step of applying heat to the adhesive for final fixation; It may be progressing including.

본 발명은 상기 레이저 다이오드와 웨이브가이드가 인접한 통합 구조에서, 상기 레이저 다이오드와 웨이브가이드를 기판 상에 실장하는 과정에서 높이 차이 또는 기울기 차이가 발생하여 광 포커스가 어긋나 있는 경우, 상기 보정장치의 높이와 기울기를 조절하여, 상기 레이저 다이오드로부터 출사되는 수직축 방향의 광을 정확히 웨이브가이드로 인도하여 출력되도록 하는 효과를 얻는다.The present invention is an integrated structure where the laser diode and the waveguide are adjacent, and when the optical focus is misaligned due to a height difference or tilt difference during the process of mounting the laser diode and the waveguide on the substrate, the height of the correction device and By adjusting the inclination, the effect of accurately guiding the vertical light emitted from the laser diode to the waveguide and outputting the light is obtained.

본 발명은 상기 보정부가 브라켓과 접착제의 하이브리드 구조로 이루어져, 상기 광유도부가 접착제로만 이루어진 것에 비해, 수직축 방향에 대한 광 포커싱 작업 시, 상기 브라켓이 접착제의 유동성을 억제하고 응집성을 유지시켜, 안정적이면서 정확한 광 포커싱 작업이 이루어지도록 하는 효과를 얻는다.In the present invention, the correction part is made of a hybrid structure of a bracket and an adhesive, and compared to the light guide part made only of an adhesive, the bracket suppresses the fluidity of the adhesive and maintains cohesion during light focusing in the vertical axis direction, making it stable and This has the effect of ensuring accurate light focusing work.

본 발명은 상기 보정부가 브라켓과 접착제의 하이브리드 구조로 이루어져, 수직축 방향에 대한 광 포커싱 작업이 완료된 후에, 외부 충격에 의해 상기 보정부의 고정력이 와해되는 것에 의해 광유도부가 유동하는 것을 방지함으로써, 반영구적으로 광 포커스를 유지하도록 하는 효과를 얻는다.In the present invention, the correction part is made of a hybrid structure of a bracket and an adhesive, and after the light focusing operation in the vertical axis direction is completed, the fixing force of the correction part is broken by an external impact to prevent the light guide part from flowing, thereby creating a semi-permanent effect. This has the effect of maintaining optical focus.

본 발명은 상기 브라켓에 상기 광유도부를 끼워 넣게 되면, 상기 광유도부 하단의 슬릿이 상기 조절유지돌기에 걸리듯이 인입되면서 미세 조절 및 그 상태를 유지 즉, 미세 조절을 위한 움직임이 상기 조절유지돌기의 한 스텝 마다 이루어지고 그 상태가 유지되도록 할 수 있으며, 이러한 상태에서 상기 접착제에 의해 고정이 이루어지도록 함으로써, 미세 조절 및 그 상태의 유지가 이루어지도록 하는 효과를 얻는다.According to the present invention, when the light guide part is inserted into the bracket, the slit at the bottom of the light guide part is retracted as if caught by the control retaining protrusion, thereby making fine adjustment and maintaining the state, that is, the movement for fine adjustment is performed by the control retaining protrusion. It can be performed at each step and maintained in that state, and by being fixed by the adhesive in this state, the effect of fine adjustment and maintenance of that state is obtained.

도 1은 종래 레이저 다이오드와 웨이브가이드의 통합 구조에서 광 출사 및 도파 상태를 도시한 측면 구성도.
도 2는 종래 레이저 다이오드와 웨이브가이드의 통합 구조에서 광 출사 및 도파 상태를 도시한 평면 구성도.
도 3은 본 발명 중 보정장치와 관련한 일 실시예를 도시한 측면 구성도.
도 4는 본 발명 중 보정방법과 관련한 일 실시예를 도시한 단계 블록도.
도 5 내지 도 7은 본 발명의 일실시예에 따른 광 포커싱(틸팅에 의한) 상태를 도시한 측면 구성도.
도 8은 본 발명 중 보정장치와 관련한 다른 실시예를 도시한 측면 구성도.
도 9 내지 도 11은 본 발명의 다른 실시예에 따른 광 포커싱(틸팅에 의한) 상태를 도시한 측면 구성도.
도 12는 본 발명 중 보정방법과 관련한 다른 실시예를 도시한 단계 블록도.
Figure 1 is a side configuration diagram showing light emission and waveguide states in an integrated structure of a conventional laser diode and waveguide.
Figure 2 is a plan view showing the light emission and waveguide states in an integrated structure of a conventional laser diode and waveguide.
Figure 3 is a side configuration diagram showing an embodiment of the correction device of the present invention.
Figure 4 is a step block diagram showing an embodiment related to the correction method of the present invention.
5 to 7 are side configuration diagrams showing a state of light focusing (by tilting) according to an embodiment of the present invention.
Figure 8 is a side configuration diagram showing another embodiment related to the correction device of the present invention.
9 to 11 are side configuration diagrams showing a state of light focusing (by tilting) according to another embodiment of the present invention.
Figure 12 is a step block diagram showing another embodiment related to the correction method of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 명세서에 개시된 실시 예를 상세히 설명하되, 도면 부호에 관계없이 동일하거나 유사한 구성요소는 동일한 참조 번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다. 또한, 본 명세서에 개시된 실시 예를 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 명세서에 개시된 실시 예의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.Hereinafter, embodiments disclosed in the present specification will be described in detail with reference to the attached drawings. However, identical or similar components will be assigned the same reference numbers regardless of reference numerals, and duplicate descriptions thereof will be omitted. Additionally, in describing the embodiments disclosed in this specification, if it is determined that detailed descriptions of related known technologies may obscure the gist of the embodiments disclosed in this specification, the detailed descriptions will be omitted.

제1, 제2 등과 같이 서수를 포함하는 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되지는 않는다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.Terms containing ordinal numbers, such as first, second, etc., may be used to describe various components, but the components are not limited by the terms. The above terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another.

단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise.

본 출원에서, 설명되는 각 단계들은 특별한 인과관계에 의해 나열된 순서에 따라 수행되어야 하는 경우를 제외하고, 나열된 순서와 상관없이 수행될 수 있다.In this application, each step described may be performed regardless of the listed order, except when it must be performed in the listed order due to a special causal relationship.

본 출원에서, "포함한다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.In this application, terms such as “comprise” or “have” are intended to designate the presence of features, numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof described in the specification, but are not intended to indicate the presence of one or more other features. It should be understood that this does not exclude in advance the possibility of the existence or addition of elements, numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.

이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명에 대해 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described with reference to the attached drawings.

먼저, 본 발명인 레이저 다이오드와 웨이브가이드의 통합구조에서 수직축 광 출사 보정장치(10)는, 기판(1) 상에 간격을 두고 실장되는 레이저 다이오드(2)와 웨이브가이드(3) 사이에서, 수평 방향으로의 광도파 경로를 제공하는 광유도부(11); 및 상기 광유도부(11)의 높이 및 기울기 조절 가능하도록, 상기 레이저 다이오드(2)와 웨이브가이드(3) 사이의 기판(1) 상에 마련되어, 상기 레이저 다이오드(2)와 웨이브가이드(3)의 수직 높이 차이에서 오는 광 포커스 불일치를 보정하는 보정부(12); 를 포함하는 것일 수 있다.First, in the integrated structure of the laser diode and waveguide of the present invention, the vertical axis light emission correction device 10 is installed in the horizontal direction between the laser diode 2 and the waveguide 3, which are mounted at intervals on the substrate 1. An optical guide unit (11) that provides an optical waveguide path to; and is provided on the substrate (1) between the laser diode (2) and the waveguide (3) so that the height and tilt of the light guide part (11) can be adjusted, A correction unit (12) that corrects optical focus mismatch resulting from vertical height difference; It may include.

다음으로, 본 발명인 레이저 다이오드와 웨이브가이드의 통합구조에서 수직축 광 출사 보정 방법은, 기판(1) 상에 간격을 두고 실장되는 레이저 다이오드(2)와 웨이브가이드(3) 사이에 접착제(12")를 도포하는 보정부 준비단계(S11); 상기 접착제(12") 상에 수평방향으로의 광 도파 경로를 제공하는 광유도부(11)를 안치하는 광유도부 준비단계(S12); 상기 광유도부(11)의 높이 및 기울기를 조절하여 수직축 방향의 광 포커싱을 진행하면서, 상기 접착제(12")에 UV를 조사하여 임시 고정하는 광 포커싱 진행단계(S13); 및 상기 광 포커싱이 완료되면, 상기 접착제(12")에 열을 가해 최종 고정하는 광 포커싱 완료 및 고정단계(S14); 를 포함하여서 진행되는 것일 수 있다.Next, the vertical axis light emission correction method in the integrated structure of the laser diode and waveguide of the present invention uses an adhesive (12") between the laser diode (2) and the waveguide (3) mounted at intervals on the substrate (1). A correction part preparation step (S11) for applying a light guide part preparation step (S12) for placing a light guide part 11 that provides a horizontal light guide path on the adhesive 12"; A light focusing step (S13) of temporarily fixing the adhesive 12" by irradiating UV while focusing light in the vertical axis by adjusting the height and tilt of the light guide unit 11; and the light focusing is completed. Once this is done, an optical focusing completion and fixing step (S14) in which heat is applied to the adhesive (12") to finally fix it; It may be progressing including.

이와 같은 본 발명의 세부적인 실시예와 작용을 설명하면 다음과 같다.Detailed embodiments and operations of the present invention will be described as follows.

본 발명에서, 레이저 다이오드와 웨이브가이드의 통합구조에서 수직축 광 출사 보정장치(10)에 대한 기본적인 실시예는 첨부 도면 도 3에 도시된 바와 같이, 기판(1) 상에 간격을 두고 실장되는 레이저 다이오드(2)와 웨이브가이드(3) 사이에서, 수평 방향으로의 광도파 경로를 제공하는 광유도부(11); 및 상기 광유도부(11)의 높이 및 기울기 조절 가능하도록, 상기 레이저 다이오드(2)와 웨이브가이드(3) 사이의 기판(1) 상에 마련되어, 상기 레이저 다이오드(2)와 웨이브가이드(3)의 수직 높이 차이에서 오는 광 포커스 불일치를 보정하는 보정부(12); 를 포함하는 것이다.In the present invention, the basic embodiment of the vertical axis light emission correction device 10 in the integrated structure of the laser diode and the waveguide is a laser diode mounted at intervals on the substrate 1, as shown in Figure 3 of the attached drawing. Between (2) and the waveguide (3), an optical guide unit (11) providing an optical waveguide path in the horizontal direction; and is provided on the substrate (1) between the laser diode (2) and the waveguide (3) so that the height and tilt of the light guide part (11) can be adjusted, A correction unit (12) that corrects optical focus mismatch resulting from vertical height difference; It includes.

여기서, 본 발명 중 상기 광유도부(11)는 상기 레이저 다이오드(2)에서 출사된 광을 웨이브가이드(3)로 인도하는 경로를 제공하는 활성영역(11a); 및 상기 활성영역(11a) 상하에 배치되어, 상기 활성영역(11a)으로 광이 도파되도록 광 반사 부위를 제공하는 반사층(11b); 을 포함하는 보정블록인 것을 세부적인 실시예로 한다.Here, in the present invention, the optical guide unit 11 includes an active area 11a that provides a path for guiding the light emitted from the laser diode 2 to the waveguide 3; and a reflective layer (11b) disposed above and below the active area (11a) to provide a light reflection area so that light is guided to the active area (11a). A detailed example is a correction block including.

한편, 본 발명 중 상기 보정부(12)는 상기 광유도부(11)가 배치되는 부위에 마련되어, 상기 광유도부(11)의 광 포커싱 과정에서, 상기 광유도부(11)를 임시 고정하고, 광 포커싱이 완료된 후 최종 고정하는 보정 및 고정 수단인 것을 세부적인 실시예로 한다.Meanwhile, in the present invention, the correction unit 12 is provided at the area where the light guide unit 11 is disposed, and temporarily fixes the light guide unit 11 during the light focusing process of the light guide unit 11 and performs light focusing. After this is completed, the final fixing means for correction and fixation will be described in detail.

이때, 본 발명의 상기 보정부(12)는 접착제로서, UV 조사에 의해 가경화되면서 임시 고정이 이루어지고, 열 경화되어 최종 고정되는 것에 의해, 상기 광유도부(11)의 수직축 광 포커스를 보정 및 고정하는 것을 세부적인 실시예로 한다.At this time, the correction unit 12 of the present invention is an adhesive, which is temporarily fixed by being pre-cured by UV irradiation, and is finally fixed by heat curing, thereby correcting and correcting the vertical axis light focus of the light guide unit 11. Fixing is described in detail as an example.

다음으로, 본 발명인 레이저 다이오드와 웨이브가이드의 통합구조에서 수직축 광 출사 보정 방법의 기본적인 실시예는 첨부 도면 도 4에 도시된 바와 같이, 기판(1) 상에 간격을 두고 실장되는 레이저 다이오드(2)와 웨이브가이드(3) 사이에 접착제(12")를 도포하는 보정부 준비단계(S11); 상기 접착제(12") 상에 수평방향으로의 광 도파 경로를 제공하는 광유도부(11)를 안치하는 광유도부 준비단계(S12); 상기 광유도부(11)의 높이 및 기울기를 조절하여 수직축 방향의 광 포커싱을 진행하면서, 상기 접착제(12")에 UV를 조사하여 임시 고정하는 광 포커싱 진행단계(S13); 및 상기 광 포커싱이 완료되면, 상기 접착제(12")에 열을 가해 최종 고정하는 광 포커싱 완료 및 고정단계(S14); 를 포함하여서 진행되는 것이다.Next, the basic embodiment of the vertical axis light emission correction method in the integrated structure of the laser diode and waveguide of the present invention is a laser diode (2) mounted at intervals on the substrate (1), as shown in Figure 4 of the attached drawing. A correction unit preparation step (S11) of applying adhesive 12" between the adhesive 12" and the waveguide 3; placing a light guide 11 that provides an optical waveguide path in the horizontal direction on the adhesive 12". Optical guidance unit preparation step (S12); A light focusing step (S13) of temporarily fixing the adhesive 12" by irradiating UV while focusing light in the vertical axis by adjusting the height and tilt of the light guide unit 11; and the light focusing is completed. Once this is done, an optical focusing completion and fixing step (S14) in which heat is applied to the adhesive (12") to finally fix it; It is carried out including.

이와 같은 본 발명의 레이저 다이오드와 웨이브가이드의 통합구조에서 수직축 광 출사 즉 광 포커스를 보정하는 단계를 살펴보면, 먼저, 상기 기판(1) 상에 간격을 두고 실장되는 레이저 다이오드(2)와 웨이브가이드(3) 사이에 상기 보정부(12)인 접착제(12")를 도포한다.Looking at the step of correcting the vertical axis light emission, that is, the optical focus, in the integrated structure of the laser diode and the waveguide of the present invention, first, the laser diode 2 and the waveguide (2) mounted at intervals on the substrate 1 ( 3) Apply adhesive 12", which is the correction part 12, between the correction parts 12.

이후, 상기 보정부(12)인 접착제(12") 상에 수평방향으로의 광 도파 경로를 제공하는 광유도부(11)를 안치한다.Thereafter, the light guide unit 11, which provides a horizontal optical waveguide path, is placed on the adhesive 12", which is the correction unit 12.

이후, 상기 보정부(12)인 접착제(12")에 하단 부분이 점착되어 있는 상기 광유도부(11)의 높이 및 기울기를 조절하여, 상기 레이저 다이오드(2)와 웨이브가이드(3) 간 높이 또는 기울기 차이를 조절함으로써, 수직축 방향의 광 포커싱 일치 과정에서, 상기 접착제(12")에 UV를 조사하여, 상기 광유도부(11)를 임시 고정한다.Thereafter, the height and tilt of the light guide part 11, the lower part of which is adhered to the adhesive 12", which is the correction part 12, is adjusted to adjust the height or tilt between the laser diode 2 and the wave guide 3. By adjusting the tilt difference, UV is irradiated to the adhesive 12" in the process of matching the light focusing in the vertical axis direction, thereby temporarily fixing the light guide portion 11.

이후, 정밀한 조절을 통해 상기 광 포커싱이 완료되면, 상기 접착제(12")에 열을 가해 최종 고정한다.Afterwards, when the light focusing is completed through precise adjustment, heat is applied to the adhesive (12") for final fixation.

상기와 같은 본 발명은 상기 레이저 다이오드(2)와 웨이브가이드(3)가 인접한 통합 구조에서, 상기 레이저 다이오드(2)와 웨이브가이드(3)를 기판(1) 상에 실장하는 과정에서 높이 차이 또는 기울기 차이가 발생하여, 광 포커스가 어긋나 있는 경우, 첨부 도면 도 5(단순 높이 차이) 및 도 6(높이 및 기울기 차이)에 도시된 바와 같이, 상기 보정장치(10)의 높이와 기울기를 조절하여, 첨부 도면 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 레이저 다이오드(2)로부터 출사되는 수직축 방향의 광을 상기 보정장치(10)가 정확히 웨이브가이드(3)로 인도되어 출력되도록 하는 것이 가능하다.The present invention as described above has an integrated structure in which the laser diode (2) and the waveguide (3) are adjacent to each other, and in the process of mounting the laser diode (2) and the waveguide (3) on the substrate (1), there is a difference in height or When a tilt difference occurs and the optical focus is misaligned, the height and tilt of the correction device 10 are adjusted as shown in Figures 5 (simple height difference) and 6 (height and tilt difference) in the accompanying drawings. As shown in FIG. 7 of the attached drawing, it is possible for the correction device 10 to accurately guide the light in the vertical axis direction emitted from the laser diode 2 to the waveguide 3 and output it.

이하, 본 발명의 다른 실시예를 살펴보면 다음과 같다.Hereinafter, other embodiments of the present invention will be looked at.

본 발명의 상기 보정부(12)는 첨부 도면 도 8에 도시된 바와 같이, 상기 기판(1) 상에 고정되는 브라켓(12') 및 접착제(12")로서, 상기 브라켓(12)은 상기 광유도부(11) 하단의 끼움 부위를 제공하여, 상기 수직축 방향에 대한 광 포커싱이 이루어지도록 하고, 상기 접착제(12")는 상기 브라켓(12') 상에 도포되어, 상기 광 포커싱 과정에서 상기 광유도부(11)를 임시 고정하고, 광 포커싱이 완료된 후 상기 광유도부(11)를 최종 고정하는 하이브리드 보정 및 고정 수단인 것일 수도 있다.As shown in FIG. 8 of the accompanying drawing, the correction unit 12 of the present invention includes a bracket 12' and an adhesive 12" fixed on the substrate 1, and the bracket 12 is used to attach the light. An insertion portion at the bottom of the guide part 11 is provided to allow light focusing in the vertical axis direction, and the adhesive 12" is applied on the bracket 12', so that the light guide part 11 is used in the light focusing process. It may be a hybrid correction and fixing means that temporarily fixes (11) and finally fixes the light guide unit (11) after light focusing is completed.

이와 같이 된 본 발명은 상기 보정부(12)가 브라켓(12')과 접착제(12")의 하이브리드 구조로 이루어져, 상기 광유도부(11)가 접착제(12")로만 이루어진 것에 비해, 수직축 방향에 대한 광 포커싱 작업 시, 상기 브라켓(12')이 접착제(12")의 유동성을 억제하고 응집성을 유지시켜, 안정적이면서 정확한 광 포커싱 작업이 이루어지도록 하는 것이 가능하다.In this invention, the correction unit 12 is made of a hybrid structure of a bracket 12' and an adhesive 12", and compared to the case where the light guide unit 11 is made only of an adhesive 12", When performing an optical focusing operation, the bracket 12' suppresses the fluidity of the adhesive 12" and maintains cohesion, thereby enabling a stable and accurate optical focusing operation.

또한, 상기와 같이 된 본 발명은 상기 보정부(12)가 브라켓(12')과 접착제(12")의 하이브리드 구조로 이루어져, 수직축 방향에 대한 광 포커싱 작업이 완료된 후에, 외부 충격에 의해 상기 보정부(12)의 고정력이 와해되는 것에 의해 광유도부(11)가 유동하는 것을 방지함으로써, 반영구적으로 광 포커스를 유지하도록 하는 것이 가능하다.In addition, in the present invention as described above, the correction unit 12 is made of a hybrid structure of a bracket 12' and an adhesive 12", and after the light focusing operation in the vertical axis direction is completed, the correction unit 12 is damaged by an external impact. By preventing the light guide portion 11 from moving due to the breakdown of the fixing force of the top 12, it is possible to maintain the light focus semi-permanently.

이때, 본 발명의 상기 브라켓(12')은 상기 광유도부(11)가 끼워지는 하단 부위 양측을 지지하는 한 쌍의 지지돌기(12a)가 마련되고, 상기 한 쌍의 지지돌기(12a)는 서로 마주하는 내측 상단 모서리가 테이퍼진 것을 세부적인 실시예로 한다.At this time, the bracket 12' of the present invention is provided with a pair of support protrusions 12a supporting both sides of the lower part where the light guide part 11 is inserted, and the pair of support protrusions 12a are connected to each other. In a detailed embodiment, the facing inner upper edge is tapered.

상기와 같은 상기 한 쌍의 지지돌기(12a)는 상기 레이저 다이오드(2)와 웨이브가이드(3) 방향에 각각 돌출된 것으로 도면에서 예시하였으나, 90도 각도 틀어져 위치하는 것도 바람직하며, 상기와 같이 90도 각도 틀어져 위치할 경우, 상기 광유도부(11)의 기울기의 조절이 용이하다.The pair of support protrusions 12a as described above are illustrated in the drawing as protruding in the directions of the laser diode 2 and the waveguide 3, but it is also preferable that they are positioned at an angle of 90 degrees, as described above. When positioned at an angle off, it is easy to adjust the inclination of the light guide unit 11.

또한, 본 발명의 상기 브라켓(12')은 상부가 개방된 함체 형태로 이루어지는 것일 수도 있으며, 이와 같이 되면 상기 접착제(12")가 브라켓(12') 내부에서 흘러나오지 않게 된다.Additionally, the bracket 12' of the present invention may be in the form of a box with an open top, and in this case, the adhesive 12" will not flow out from the inside of the bracket 12'.

또한, 본 발명의 상기 브라켓(12')은 첨부 도면 도 9에 도시된 바와 같이, 상기 광유도부(11)가 끼워지는 하단 부위 양측을 지지하는 한 쌍의 지지돌기(12a)가 마련되고, 상기 한 쌍의 지지돌기(12a)는 서로 마주하는 내측면에 '∠'형 조절유지돌기(12b)가 수직 방향으로 연속 배열되어, 상기 광유도부(11) 양측 하단의 슬릿(11c)이 끼워지도록 된 것도 바람직하다.In addition, as shown in FIG. 9 of the accompanying drawing, the bracket 12' of the present invention is provided with a pair of support protrusions 12a supporting both sides of the lower part where the light guide part 11 is inserted, and the A pair of support protrusions (12a) have '∠'-shaped adjustment retaining protrusions (12b) arranged vertically continuously on the inner surfaces facing each other, so that the slits (11c) at the bottom of both sides of the light guide part (11) are inserted. It is also desirable.

이와 관련된 도면에서 상기 조절유지돌기(12b)와 슬릿(11c)이 크게 도시되었으나, 이는 설명의 이해를 돕기 위한 것이고, 실제로는 미세 조절이 가능하도록 수 마이크로미터()정도의 폭을 갖도록 된 것이 바람직하며, 상기 레이저 다이오드(2)와 웨이브가이드(3)의 사이즈에 따라서는 수 나노미터() 또는 수 밀리미터()일 수도 있다.In the related drawings, the adjustment retaining protrusion 12b and the slit 11c are shown large, but this is for the purpose of facilitating understanding of the description, and in reality, fine adjustment is possible by several micrometers ( It is preferable to have a width of about ), and depending on the size of the laser diode (2) and waveguide (3), it is several nanometers ( ) or several millimeters ( ) may be.

또한, 도면에서 상기 조절유지돌기(12b)와 슬릿(11c)에 간격이 넓게 형성되어 있으나, 이는 상기 접착제(12")가 침투된 상태를 도시하기 위한 것이고, 실제로는 상기 조절유지돌기(12b)와 슬릿(11c)이 밀착된다.In addition, in the drawing, the gap between the adjustment retaining protrusion 12b and the slit 11c is formed wide, but this is to show a state in which the adhesive 12" has penetrated, and in reality, the adjusting retaining protrusion 12b is and the slit 11c are in close contact.

이와 같이 된 본 발명은 상기 브라켓(12')에 상기 광유도부(11)를 끼워 넣게 되면, 상기 광유도부(11) 하단의 슬릿(11c)이 상기 조절유지돌기(12b)에 걸리듯이 인입되면서 미세 조절 및 그 상태를 유지 즉, 미세 조절을 위한 움직임이 상기 조절유지돌기(12b)의 한 스텝 마다 이루어지고 그 상태가 유지되도록 할 수 있으며, 이러한 상태에서 상기 접착제(12")에 의해 고정이 이루어지도록 함으로써, 미세 조절 및 그 상태의 유지가 이루어지도록 하는 것이 가능하다.According to the present invention, when the light guide part 11 is inserted into the bracket 12', the slit 11c at the bottom of the light guide part 11 is retracted as if caught by the adjustment retaining protrusion 12b, and the light guide part 11 is inserted into the bracket 12'. Adjustment and maintaining the state, that is, movement for fine adjustment can be made at each step of the adjustment retaining protrusion (12b) and the state can be maintained, and in this state, it is fixed by the adhesive (12"). By doing so, it is possible to make fine adjustments and maintain that state.

상기와 같은 본 발명은 첨부 도면 도 10(단순 높이 조절) 및 도 11(높이 조절 및 기울기 조절)에 도시된 바와 같이, 상기 광유도부(11)의 높이와 기울기를 조절하여, 상기 레이저 다이오드(2)와 웨이브가이드(3)의 높이 및 기울기 차이에 의한 광 포커싱의 어긋남을 보정하고 그 상태를 유지시킬 수 있게 된다.The present invention as described above adjusts the height and tilt of the light guide unit 11, as shown in Figures 10 (simple height adjustment) and Figure 11 (height adjustment and tilt adjustment) of the accompanying drawings, to control the laser diode (2). ) and the difference in height and inclination of the waveguide 3 can be corrected and maintained.

그리고, 본 발명인 레이저 다이오드와 웨이브가이드의 통합구조에서 수직축 광 출사 보정 방법의 다른 실시예로는, 첨부 도면 도 12에 도시된 바와 같이, 상기 기판(1) 상에 간격을 두고 실장되는 레이저 다이오드(2)와 웨이브가이드(3) 사이에 브라켓(12')을 고정하는 브라켓 준비단계(S21-1) 및 상기 브라켓(12')에 접착제(12")를 도포하는 접착제 준비단계(S21-2)를 포함하는 보정부 준비단계(S21); 상기 브라켓(12')과 접착제(12") 상에 수평방향으로의 광 도파 경로를 제공하는 광유도부(11)를 위치시키는 광유도부 준비단계(S22); 상기 브라켓(12')에 대해 광유도부(11)의 높이 및 기울기를 조절하여 수직축 방향의 광 포커싱을 진행하면서, 상기 접착제(12")에 UV를 조사하여 임시 고정하는 광 포커싱 진행단계(S23); 및 상기 광 포커싱이 완료되면, 상기 접착제(12")에 열을 가해 최종 고정하는 광 포커싱 완료 및 고정단계(S24); 를 포함하여서 진행되는 것도 바람직하다.In addition, another embodiment of the vertical axis light emission correction method in the integrated structure of the laser diode and waveguide of the present invention includes laser diodes mounted at intervals on the substrate 1, as shown in Figure 12 of the accompanying drawing. A bracket preparation step (S21-1) for fixing the bracket (12') between 2) and the waveguide (3) and an adhesive preparation step (S21-2) for applying adhesive (12") to the bracket (12') A correction unit preparation step (S21) including a light guide unit preparation step (S22) of positioning the light guide unit 11 that provides a horizontal optical waveguide path on the bracket 12' and the adhesive 12". ; A light focusing step (S23) of temporarily fixing the adhesive 12" by irradiating UV while focusing the light in the vertical axis by adjusting the height and tilt of the light guide 11 with respect to the bracket 12'. ; and when the optical focusing is completed, heat is applied to the adhesive (12") for final fixation (S24); It is also desirable to proceed including.

상기와 같은 본 발명의 방법적인 다른 실시예는 상기 브라켓(12')에 상기 광유도부(11)를 끼워 넣게 되면, 상기 광유도부(11) 하단의 슬릿(11c)이 상기 조절유지돌기(12b)에 걸리듯이 인입되면서 미세 조절 및 그 상태를 유지시킬 수 있도록 하는 것으로, 그 외 단계는 전술한 방법의 기본적인 실시예와 대동소이 하므로, 구체적인 설명은 생략한다.Another methodological embodiment of the present invention as described above is that when the light guide part 11 is inserted into the bracket 12', the slit 11c at the bottom of the light guide part 11 is connected to the control retaining protrusion 12b. This is to enable fine adjustment and maintain the state while being drawn in as if caught, and other steps are largely the same as the basic embodiment of the above-described method, so detailed descriptions are omitted.

본 발명의 각 실시예에 개시된 기술적 특징들은 해당 실시예에만 한정되는 것은 아니고, 서로 양립 불가능하지 않은 이상, 각 실시예에 개시된 기술적 특징들은 서로 다른 실시예에 병합되어 적용될 수 있다.The technical features disclosed in each embodiment of the present invention are not limited to the corresponding embodiment, and unless they are incompatible with each other, the technical features disclosed in each embodiment may be combined and applied to other embodiments.

따라서, 각 실시예에서는 각각의 기술적 특징을 위주로 설명하지만, 각 기술적 특징이 서로 양립 불가능하지 않은 이상, 서로 병합되어 적용될 수 있다.Therefore, in each embodiment, each technical feature is mainly explained, but unless the technical features are incompatible with each other, they can be applied in combination with each other.

본 발명은 상술한 실시예 및 첨부한 도면에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자의 관점에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서 본 발명의 범위는 본 명세서의 청구범위뿐만 아니라 이 청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다. The present invention is not limited to the above-described embodiments and the accompanying drawings, and various modifications and variations will be possible from the perspective of those skilled in the art to which the present invention pertains. Therefore, the scope of the present invention should be determined not only by the claims of this specification but also by equivalents to these claims.

10: 수직축 광 출사 보정장치 11: 광유도부
11a: 활성영역 11b: 반사층
12: 보정부 12': 브라켓
12": 접착제 12a: 지지돌기
12b: 조절유지돌기 1: 기판
2: 레이저 다이오드 3: 웨이브가이드
10: Vertical axis light emission correction device 11: Light guide unit
11a: active area 11b: reflective layer
12: Correction unit 12': Bracket
12": adhesive 12a: support protrusion
12b: control retaining protrusion 1: substrate
2: Laser diode 3: Waveguide

Claims (9)

기판상에 간격을 두고 실장되는 레이저 다이오드와 웨이브가이드 사이에서, 수평 방향으로의 광도파 경로를 제공하는 광유도부; 및
상기 광유도부의 높이 및 기울기 조절 가능하도록, 상기 레이저 다이오드와 웨이브가이드 사이의 기판 상에 마련되어, 상기 레이저 다이오드와 웨이브가이드의 수직 높이 차이에서 오는 광 포커스 불일치를 보정하는 보정부; 를 포함하는
레이저 다이오드와 웨이브가이드의 통합구조에서의 수직축 광 출사 보정장치.
An optical guide unit that provides an optical waveguide path in the horizontal direction between the laser diode and the waveguide mounted at intervals on the substrate; and
A correction unit provided on a substrate between the laser diode and the waveguide to adjust the height and tilt of the optical guide unit, and correcting optical focus mismatch resulting from a vertical height difference between the laser diode and the waveguide; containing
Vertical axis optical emission correction device in an integrated structure of a laser diode and waveguide.
제1 항에 있어서,
상기 광유도부는,
상기 레이저 다이오드에서 출사된 광을 웨이브가이드로 인도하는 경로를 제공하는 활성영역; 및
상기 활성영역 상하에 배치되어, 상기 활성영역으로 광이 도파되도록 광 반사 부위를 제공하는 반사층; 을 포함하는 보정블록인
레이저 다이오드와 웨이브가이드의 통합구조에서의 수직축 광 출사 보정장치.
According to claim 1,
The optical induction unit,
an active area that provides a path for guiding light emitted from the laser diode to a waveguide; and
a reflective layer disposed above and below the active area to provide a light reflection area so that light is guided to the active area; A correction block containing
Vertical axis optical emission correction device in an integrated structure of a laser diode and waveguide.
제1 항에 있어서,
상기 보정부는,
상기 광유도부가 배치되는 부위에 마련되어,
상기 광유도부의 광 포커싱 과정에서 상기 광유도부를 임시 고정하고,
광 포커싱이 완료된 후 상기 광유도부를 최종 고정하는
레이저 다이오드와 웨이브가이드의 통합구조에서의 수직축 광 출사 보정장치.
According to claim 1,
The correction unit,
Provided at the area where the light guide unit is disposed,
Temporarily fixing the light guide unit during the light focusing process of the light guide unit,
After light focusing is completed, the light guide unit is finally fixed.
Vertical axis optical emission correction device in an integrated structure of a laser diode and waveguide.
제1 항에 있어서,
상기 보정부는,
접착제로서,
UV 조사에 의해 가경화되면서 임시 고정이 이루어지고,
열 경화되어 최종 고정되는 것에 의해,
상기 광유도부의 수직축 광 포커스를 보정 및 고정하는
레이저 다이오드와 웨이브가이드의 통합구조에서의 수직축 광 출사 보정장치.
According to claim 1,
The correction unit,
As an adhesive,
Temporary fixation is achieved by temporary hardening by UV irradiation.
By heat curing and final fixation,
Correcting and fixing the vertical axis optical focus of the light guide unit
Vertical axis optical emission correction device in an integrated structure of a laser diode and waveguide.
제1 항에 있어서,
상기 보정부는,
상기 기판 상에 고정되는 브라켓 및 접착제로서,
상기 브라켓은 상기 광유도부 하단의 끼움 부위를 제공하여, 상기 수직축 방향에 대한 광 포커싱이 이루어지도록 하고,
상기 접착제는 상기 브라켓 상에 도포되어, 상기 광 포커싱 과정에서 상기 광유도부를 임시 고정하고,
광 포커싱이 완료된 후 상기 광유도부를 최종 고정하는
하이브리드 보정 및 고정 수단인
레이저 다이오드와 웨이브가이드의 통합구조에서의 수직축 광 출사 보정장치.
According to claim 1,
The correction unit,
A bracket and adhesive fixed to the substrate,
The bracket provides an insertion portion at the bottom of the light guide to enable light focusing in the vertical axis direction,
The adhesive is applied on the bracket to temporarily fix the light guide part during the light focusing process,
After light focusing is completed, the light guide unit is finally fixed.
Hybrid correction and fixation means
Vertical axis optical emission correction device in an integrated structure of a laser diode and waveguide.
제5 항에 있어서,
상기 브라켓은,
상기 광유도부가 끼워지는 하단 부위 양측을 지지하는 한 쌍의 지지돌기가 마련되고,
상기 한 쌍의 지지돌기는 서로 마주하는 내측 상단 모서리가 테이퍼진
레이저 다이오드와 웨이브가이드의 통합구조에서의 수직축 광 출사 보정장치.
According to clause 5,
The bracket is,
A pair of support protrusions are provided to support both sides of the lower part where the light guide unit is inserted,
The pair of support protrusions have tapered inner upper edges facing each other.
Vertical axis optical emission correction device in an integrated structure of a laser diode and waveguide.
제5 항에 있어서,
상기 브라켓은,
상기 광유도부가 끼워지는 하단 부위 양측을 지지하는 한 쌍의 지지돌기가 마련되고,
상기 한 쌍의 지지돌기는 서로 마주하는 내측면에 '∠'형 조절돌기가 수직 방향으로 연속 배열되어, 상기 광유도부 양측 하단의 조절슬릿이 끼워지도록 된
레이저 다이오드와 웨이브가이드의 통합구조에서의 수직축 광 출사 보정장치.
According to clause 5,
The bracket is,
A pair of support protrusions are provided to support both sides of the lower part where the light guide unit is inserted,
The pair of support protrusions have '∠'-shaped adjustment protrusions arranged vertically in succession on the inner surfaces facing each other, so that adjustment slits at the bottom of both sides of the light guide unit are inserted.
Vertical axis optical emission correction device in an integrated structure of a laser diode and waveguide.
기판 상에 간격을 두고 실장되는 레이저 다이오드와 웨이브가이드 사이에 접착제를 도포하는 보정부 준비단계;
상기 접착제 상에 수평방향으로의 광도파 경로를 제공하는 광유도부를 안치하는 광유도부 준비단계;
상기 광유도부의 높이 및 기울기를 조절하여 수직축 방향의 광 포커싱을 진행하면서, 상기 접착제에 UV를 조사하여 임시 고정하는 광 포커싱 진행단계; 및
상기 광 포커싱이 완료되면, 상기 접착제에 열을 가해 최종 고정하는 광 포커싱 완료 및 고정단계; 를 포함하여서 진행되는
레이저 다이오드와 웨이브가이드의 통합구조에서의 수직축 광 출사 보정방법.
A correction unit preparation step of applying adhesive between the laser diode and the waveguide mounted at intervals on the board;
A light guide unit preparation step of placing the light guide unit providing a horizontal optical waveguide path on the adhesive;
A light focusing step of temporarily fixing the adhesive by irradiating UV light while focusing the light in the vertical axis direction by adjusting the height and tilt of the light guide part; and
When the optical focusing is completed, an optical focusing completion and fixing step of applying heat to the adhesive to finally fix it; In progress, including
Vertical axis light emission correction method in an integrated structure of a laser diode and waveguide.
기판 상에 간격을 두고 실장되는 레이저 다이오드와 웨이브가이드 사이에 브라켓을 고정하는 브라켓 준비단계 및 상기 브라켓에 접착제를 도포하는 접착제 준비단계를 포함하는 보정부 준비단계;
상기 브라켓 상에 수평방향으로의 광도파 경로를 제공하는 광유도부를 위치시키는 광유도부 준비단계;
상기 브라켓에 대해 광유도부의 높이 및 기울기를 조절하여 수직축 방향의 광 포커싱을 진행하면서, 상기 접착제에 UV를 조사하여 임시 고정하는 광 포커싱 진행단계; 및
상기 광 포커싱이 완료되면, 상기 접착제에 열을 가해 최종 고정하는 광 포커싱 완료 및 고정단계; 를 포함하여서 진행되는
레이저 다이오드와 웨이브가이드의 통합구조에서의 수직축 광 출사 보정방법.
A correction unit preparation step including a bracket preparation step for fixing the bracket between the laser diode and the waveguide mounted at intervals on the board and an adhesive preparation step for applying adhesive to the bracket;
A light guide unit preparation step of positioning the light guide unit providing a horizontal optical waveguide path on the bracket;
A light focusing step of temporarily fixing the adhesive by irradiating UV light while focusing the light in the vertical axis by adjusting the height and tilt of the light guide with respect to the bracket; and
When the optical focusing is completed, an optical focusing completion and fixing step of applying heat to the adhesive to finally fix it; In progress, including
Vertical axis light emission correction method in an integrated structure of a laser diode and waveguide.
KR1020220146100A 2022-11-04 2022-11-04 Vertical axis light emission compensation device and the compensation method in the integrated structure of laser diode and optical waveguide KR20240064280A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020220146100A KR20240064280A (en) 2022-11-04 2022-11-04 Vertical axis light emission compensation device and the compensation method in the integrated structure of laser diode and optical waveguide

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020220146100A KR20240064280A (en) 2022-11-04 2022-11-04 Vertical axis light emission compensation device and the compensation method in the integrated structure of laser diode and optical waveguide

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20240064280A true KR20240064280A (en) 2024-05-13

Family

ID=91073405

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020220146100A KR20240064280A (en) 2022-11-04 2022-11-04 Vertical axis light emission compensation device and the compensation method in the integrated structure of laser diode and optical waveguide

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20240064280A (en)

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100388823B1 (en) 1996-07-15 2004-05-31 삼성전자주식회사 Laser diode

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100388823B1 (en) 1996-07-15 2004-05-31 삼성전자주식회사 Laser diode

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US20170326684A1 (en) Laser marking head and laser marking machine
EP2213443B1 (en) Optical shaping apparatus and shaping base
US8816245B2 (en) Method of cutting object to be processed
JP6353683B2 (en) Laser processing apparatus and laser processing method
JP5479924B2 (en) Laser processing method
KR102454121B1 (en) Laser processing apparatus and laser processing method
US20070228616A1 (en) Device and method for cutting nonmetalic substrate
US7718554B2 (en) Focused laser beam processing
CN102123817B (en) Chamfering apparatus
WO2005107999A1 (en) Device and method for cutting nonmetalic substrate
TW201111082A (en) Acousto-optic deflector applications in laser processing of dielectric or other materials
KR100971042B1 (en) System for brittle material cutting process and method employed therein
US20090161705A1 (en) Laser projection utilizing beam misalignment
KR20240064280A (en) Vertical axis light emission compensation device and the compensation method in the integrated structure of laser diode and optical waveguide
KR20190100777A (en) Flip chip bonding apparatus and method
JPH11109270A (en) Cylindrical lens and optical scanning device using same
CN108581189B (en) Laser cutting method
US20230405713A1 (en) Fiber laser apparatus and method for processing workpiece
CN105636739B (en) Laser scanning system for laser release
CN111133639B (en) Fiber laser device and method for processing workpiece
JP2008161749A (en) Resin curing apparatus
CN107921582B (en) Method and apparatus for forming conductive traces
JP2015204320A (en) Exposure device and method for fixing the same
KR101377239B1 (en) Scribe line forming apparatus using laser beam with movable mirror
CN114450160A (en) Method for producing an adhesive bond and support plate for producing an adhesive bond