KR20240057996A - 노광장치 및 물품 제조방법 - Google Patents

노광장치 및 물품 제조방법 Download PDF

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캐논 가부시끼가이샤
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Abstract

기판 위의 복수의 숏 영역을 노광하는 노광장치는, 투영 광학계와, 기판을 구동하도록 구성된 구동기구와, 기판의 표면의 높이를 검출하도록 구성된 검출기와, 검출기의 출력에 근거하여 구동기구를 제어하도록 구성된 제어부를 구비한다. 투영 광학계는, 원판의 패턴을 투영 광학계의 상면에 있어서의 노광 영역에 투영하도록 구성된다. 검출기의 검출 영역은 노광 영역보다 크다. 제어부는, 복수의 숏 영역 중 제1 숏 영역이 노광 영역에 배치되어 있을 때 얻어지는 검출기의 출력에 근거하여, 복수의 숏 영역 중 제2 숏 영역을 노광하기 위해, 구동기구에 의한 기판의 구동을 제어하도록 구성된다.

Description

노광장치 및 물품 제조방법{EXPOSURE APPARATUS AND ARTICLE MANUFACTURING METHOD}
본 발명은, 노광장치 및 물품 제조방법에 관한 것이다.
노광장치에서는, 기판의 숏 영역의 높이를 계측하고, 그 계측 결과에 근거하여 기판의 높이를 조정한 후에, 이 숏 영역의 노광이 행해질 수 있다. 일본국 특개 2016-206654호 공보에는, 기판의 숏 영역 내의 복수의 계측 개소의 높이(축소 투영 렌즈계의 광축 방향의 위치)를 계측하고, 그 계측 결과에 근거하여 기판의 높이 및 기울기를 조정하는 것이 기재되어 있다.
노광시에 투영 광학계에 의해 빛이 조사되는 영역인 투영 광학계의 노광 영역에 기판의 숏 영역이 들어간 후에 그 숏 영역의 높이 등의 계측을 개시하는 노광장치에서는, 이와 같은 처리가 스루풋을 제한한다.
본 발명은, 스루풋의 향상에 유리한 기술을 제공한다.
본 발명의 일면은, 기판 위의 복수의 숏 영역을 노광하는 노광장치로서, 투영 광학계와, 상기 기판을 구동하도록 구성된 구동기구와, 상기 기판의 표면의 높이를 검출하도록 구성된 검출기와, 상기 검출기의 출력에 근거하여 상기 구동기구를 제어하도록 구성된 제어부를 구비하고, 상기 투영 광학계는, 원판의 패턴을 상기 투영 광학계의 상면에 있어서의 노광 영역에 투영하도록 구성되고, 상기 검출기의 검출 영역은 상기 노광 영역보다 크고, 상기 제어부는, 상기 복수의 숏 영역 중 제1 숏 영역이 상기 노광 영역에 배치되어 있을 때 얻어지는 상기 검출기의 출력에 근거하여, 상기 복수의 숏 영역 중 제2 숏 영역을 노광하기 위해, 상기 구동기구에 의한 상기 기판의 구동을 제어하도록 구성된 노광장치를 제공한다.
본 발명의 또 다른 특징은 첨부도면을 참조하는 이하의 실시형태의 설명으로부터 명백해질 것이다.
도1은 본 개시의 일 실시형태에 따른 노광장치의 구성예를 모식적으로 도시한 도면.
도2는 검출기의 구성예를 도시한 도면.
도3은 촬상 소자, 검출 영역 및 패턴 상의 기하학적인 관계를 예시하는 도면.
도4는 일 실시형태에 따른 동작을 예시적으로 설명하기 위한 도면.
도5는 제1변형예의 동작을 설명하기 위한 도면.
도6은 제2변형예의 동작을 설명하기 위한 도면.
도7은 제3변형예의 동작을 설명하기 위한 도면.
이하, 첨부도면을 참조해서 실시형태를 상세히 설명한다. 이때, 이하의 실시형태는 청구범위에 관한 발명을 한정하는 것은 아니다. 실시형태에는 복수의 특징이 기재되어 있지만, 이들 복수의 특징의 모두가 발명에 필수적인 것은 아니고, 또한, 복수의 특징은 임의로 조합되어도 된다. 더구나, 첨부도면에 있어서는, 동일 혹은 유사한 구성에 동일한 참조번호를 붙이고, 중복한 설명은 생략한다.
도1에는, 본 개시의 일 실시형태에 따른 노광장치 EX의 구성예가 모식적으로 도시되어 있다. 노광장치 EX는, 기판(405) 위의 복수의 숏 영역을 노광하도록 구성될 수 있다. 노광장치 EX는, 투영 광학계(404)와, 기판(405)을 구동하는 구동기구(기판 구동기구)(412)와, 기판(405)의 표면의 높이를 검출하는 검출기(100)와, 검출기(100)의 출력에 근거하여 구동기구(412)를 제어하는 제어부(410)를 구비할 수 있다. 투영 광학계(404)는, 원판(402)의 패턴을 투영 광학계(404)의 상면에 있어서의 노광 영역 ER에 투영하도록 구성될 수 있다. 노광 영역 ER는, 투영 광학계(404)에 의해 노광 광이 조사되는 영역이다. 노광장치 EX가 스텝퍼로서 구성되는 경우, 기판(405) 위의 숏 영역이 노광 영역 ER에 배치되었을 때, 숏 영역의 범위는 노광 영역 ER의 범위와 일치할 수 있다. 노광장치 EX가 스캐너로서 구성되는 경우, 노광 영역 ER는 슬릿 형상의 영역이며, 노광 영역 ER에 대하여 기판(405)이 주사될 때, 기판(405) 위의 숏 영역이 노광된다. 검출기(100)의 시야인 검출 영역은, 노광 영역 ER보다 크다.
제어부(410)는, 기판(405)의 복수의 숏 영역 중 제1 숏 영역이 노광 영역 ER에 배치되어 있을 때 얻어지는 검출기(100)의 출력에 근거하여, 복수의 숏 영역 중 제2 숏 영역을 노광하기 위해 구동기구(412)에 의한 기판의 구동을 제어할 수 있다. 이때, "제1 숏 영역" 및 "제2 숏 영역"이라고 하는 표현은, 서로 다른 숏 영역을 구별하기 위한 용어에 지나지 않는다. 제어부(410)는, 제1 숏 영역이 노광 영역 ER에 배치되어 있을 때 얻어지는 검출기(100)의 출력에 근거하여, 제2 숏 영역을 노광 영역 ER로 이동시킬 때 구동기구(412)에 의한 기판(405)의 구동을 제어할 수 있다. 여기에서, 기판의 구동은, 제2 숏 영역(의 표면)을 투영 광학계(404)의 상면과 일치시키기 위한 구동(투영 광학계(404)의 광축에 평행한 방향에 있어서의 기판의 구동)을 포함할 수 있다.
예를 들면, 제어부(410)는, 제1 숏 영역이 노광 영역 ER에서 노광되고 있을 때 얻어지는 검출기(100)의 출력에 근거하여, 제2 숏 영역을 노광 영역 ER로 이동시키기 위해, 구동기구(412)에 의한 기판(405)의 구동을 제어할 수 있다. 이와 달리, 제어부(410)는, 제1 숏 영역이 노광 영역 ER에 배치된 후 상기 제1 숏 영역이 노광될 때까지의 기간에 얻어지는 검출기(100)의 출력에 근거하여, 제2 숏 영역을 노광 영역 ER로 이동시키기 위해, 구동기구(412)에 의한 기판의 구동을 제어할 수 있다.
제어부(410)는, 예를 들면, FPGA(Field Programmable Gate Array의 약자) 등의 PLD(Programmable Logic Device의 약자), ASIC(Application Specific Integrated Circuit의 약자), 프로그램이 설치된 범용 또는 전용의 컴퓨터, 또는 이들의 전부 또는 일부의 조합으로 구성될 수 있다. 노광장치 EX는, 기판(405)을 유지하는 기판 척을 갖는 기판 스테이지(406)를 구비해도 된다. 구동기구(412)는, 기판 스테이지(406)를 구동함으로써 기판(405)을 구동할 수 있다.
본 명세서 및 도면에서는, 방향이 XYZ 좌표계 상에서 의해 특정된다. 투영 광학계(404)의 광축 AX는 Z축에 평행하다. 광축 AX 및 Z축은, 전형적으로는, 연직방향에 평행하다. 기판(405)은, 구동기구(412)에 의해, X축, Y축, Z축, 및, X축 주위의 회전(θX), Y축 주위의 회전(θY), Z축 주위의 회전(θZ)의 6축에 관해 구동 및 위치결정될 수 있다. 노광장치 EX는, 기판 스테이지(406)의 위치 및 자세를 계측하기 위해 사용되는 계측기(407)를 구비할 수 있다. 계측기(407)는, 예를 들면, 레이저 간섭계이다. 계측기(407)는, 기판 스테이지(406)에 설치된 반사판(411)에 레이저 빔을 조사하고, 반사판(411)에 의해 반사된 레이저 빔을 사용해서 기판 스테이지(406)의 변위를 검출하도록 구성될 수 있다.
노광장치 EX는, 원판(402)을 조명하는 조명 광학계(401), 및, 원판(402)을 구동하는 원판 구동기구(403)를 더 구비할 수 있다. 조명 광학계(401)는, 광원(미도시)으로부터 출사된 노광 광을 사용해서 원판(402)을 균일하게 조명할 수 있다. 노광 광으로서는, 예를 들면, 초고압 수은 램프(g선 램프 또는 i선 램프), KrF 엑시머 레이저, ArF 엑시머 레이저, F2 레이저 등이 사용될 수 있다. 이와 달리. 보다 미세한 반도체 디바이스를 제조하기 위해서, 수 nm 내지 수백 nm의 파장의 극단자외광(extreme ultraviolet: EUV광)이 노광 광으로서 사용되어도 된다.
제어부(410)는, 검출기(100)의 출력에 근거하여, 기판(405) 위의 노광해야 할 숏 영역(더욱 구체적으로는, 예를 들면, 숏 영역의 표면)을 투영 광학계(404)의 상면과 일치하도록 하기 위해 구동기구(412)를 제어할 수 있다. 이 제어는, 기판(405)의 표면의 높이(Z축 방향의 위치) 및 틸트(θX 및 θY)의 제어를 포함할 수 있다. 제어부(410)는, 기판(405) 위의 노광해야 할 숏 영역을 투영 광학계(404)의 상면에 일치하게 하기 위해 투영 광학계(404)의 광학 소자를 제어해도 된다.
도2에는, 검출기(100)의 구성예가 도시되어 있다. 검출기(100)는, 투광부(110) 및 수광부(120)를 포함할 수 있다. 투광부(110)는, 피검물인 기판(405)의 표면에 사입사로 패턴을 투영하도록 구성될 수 있다. 투광부(110)는, 예를 들면, 광원(111)과, 2차원적으로 배열된 패턴을 갖는 패턴부(112)와, 패턴부(112)의 패턴을 기판(405)에 투광하는 투광 광학계(113)를 포함할 수 있다. 단, 광원(111)의 종류와, 패턴부(112)와 기판(405)의 거리에 따라서는, 투광 광학계(113)가 설치되지 않아도 된다.
수광부(120)는, 촬상 소자(121)와, 투광부(110)에 의해 기판(405)에 투광된 패턴을 촬상 소자(121)에 결상시키는 결상 광학계(122)를 포함할 수 있다. 도3에는, 촬상 소자(121)와, 검출 영역(201)과, 결상 광학계(122)에 의해 촬상 소자(121)의 촬상면에 형성되는 패턴 상(151)이 예시되어 있다. 검출 영역(201)은, 검출기(100)의 시야이며, 노광 영역 ER보다 크다. 제어부(410)는, 검출 영역(201)에서 촬상된 화상을 처리함으로써, 기판(405)의 표면의 전체 영역 중 검출 영역(201)에 대응하는 영역의 높이 또는 높이 분포를 취득할 수 있다.
피검물인 기판(405)의 표면의 높이가 변동되면, 그것에 따라 패턴 상(151)이 변동한다. 제어부(410)는, 촬상 소자(121)에 의해 촬상된 패턴 상(151)의 변동에 근거하여 기판(405)의 표면의 높이를 취득할 수 있다. 제어부(410)는, 촬상 소자(121)의 검출 영역(201)의 임의 영역(기판(405)의 표면의 임의 영역에 대응)의 화상을 처리함으로써, 기판(405)의 표면의 임의 영역의 높이를 검출할 수 있다. 촬상 소자(121)는, 예를 들면, CMOS 이미지 센서, CCD 이미지 센서, 포토다이오드 어레이 등으로 구성될 수 있다.
투광 광학계(113)를 사용해서 패턴부(112)와 기판(405)의 표면을 샤임플러그(Scheimpflug) 광학계의 관계로 설정하여도 된다. 샤임플러그 광학계의 관계로 함으로써, 패턴부(112)의 전체 영역을 기판(405)에 초점맞추는 것이 가능하게 되어, 계측 정밀도를 향상시킬 수 있다. 더구나, 샤임플러그 광학계에 의해, 노광장치 EX에 있어서의 노광 순서를 규정하는 주 방향과 패턴부(112)의 투광 방향을 일치시킬 수 있다. 이것에 의해, 촬상 소자(121)에 의해 촬상할 패턴 상이 축소되기 때문에, 다음에 노광을 행할 예정의 인접한 숏 영역을 포함하도록 검출 영역(201)을 설정할 수 있다. 도면에 도시된 실시예에서, 주 방향은 Y축 방향이다. 통상, 노광장치 EX는 주 방향으로 배치된 복수의 숏 영역을 순차적으로 노광한 후에, 인접한 행에 배치된 복수의 숏 영역을 순차적으로 노광한다.
도4에는, 일 실시형태에 있어서의 검출 영역(501)(상기한 검출 영역 201에 해당한다), 패턴 상(500)(상기한 패턴 상 151에 해당한다), 및, 숏 영역 503, 504, 505가 예시되어 있다. 숏 영역 503, 504, 505는, 주 방향을 따른 복수의 숏 영역의 예이다.
검출기(100)는, 제1 숏 영역(504)이 노광 영역 ER에 배치되어 있을 때, 제1 숏 영역(504)에 인접하는 제2 숏 영역 503 또는 505의 화상을 촬상하여 출력하도록 제어될 수 있다. 제2 숏 영역 503 또는 505는, 제1 숏 영역(504)의 다음에 노광될 숏 영역, 또는 제1 숏 영역(504)의 노광 후에 노광될 숏 영역일 수 있다. 제어부(410)는, 제1 숏 영역(504)이 노광 영역 ER에 배치되어 있을 때 얻어지는 검출기(100)의 출력에 근거하여, 제2 숏 영역 503 또는 505를 노광하기 위해 구동기구(412)에 의한 기판(405)의 구동을 제어할 수 있다. 이와 달리, 제어부(410)는, 제1 숏 영역(504)이 노광 영역 ER에 배치되어 있을 때 얻어지는 검출기(100)의 출력에 근거하여, 제2 숏 영역 503 또는 505를 노광 영역 ER로 이동시키기 위해 구동기구(412)에 의한 기판(405)의 구동을 제어할 수 있다.
다른 관점에서는, 제어부(410)는, 제1 숏 영역(504)이 노광 영역 ER에서 노광되고 있을 때 얻어지는 검출기(100)의 출력에 근거하여, 제2 숏 영역 503 또는 505를 노광하기 위해 구동기구(412)에 의한 기판(405)의 구동을 제어할 수 있다. 이와 달리, 제어부(410)는, 제1 숏 영역(504)이 노광 영역 ER에서 노광되고 있을 때 얻어지는 검출기(100)의 출력에 근거하여, 제2 숏 영역 503 또는 505를 노광 영역 ER로 이동시키기 위해 구동기구(412)에 의한 기판(405)의 구동을 제어할 수 있다.
또 다른 관점에서는, 제어부(410)는, 제1 숏 영역(504)이 노광 영역 ER에 배치된 후 상기 제1 숏 영역이 노광될 때까지의 기간에 얻어지는 검출기(100)의 출력에 근거하여, 제2 숏 영역 503 또는 505를 노광하기 위해 구동기구(412)에 의한 기판(405)의 구동을 제어할 수 있다. 이와 달리, 제어부(410)는, 제1 숏 영역(504)이 노광 영역 ER에 배치된 후 상기 제1 숏 영역이 노광될 때까지의 기간에 얻어지는 검출기(100)의 출력에 근거하여, 제2 숏 영역 503 또는 505를 노광 영역 ER로 이동시키기 위해 구동기구(412)에 의한 기판의 구동을 제어할 수 있다.
제1 숏 영역이 노광 영역 ER에 배치되어 있는 상태에서, 제2 숏 영역의 전체가 검출 영역(501)에 들어가는 것이 바람직하지만, 제2 숏 영역의 일부 만이 검출 영역(501)에 들어가도 된다. 이 경우, 제2 숏 영역의 일부의 높이 또는 높이 분포가 검출기(100)를 사용해서 검출되고, 검출부(410)는, 그 검출 결과에 근거하여, 제2 숏 영역을 노광하기 위해 구동기구(412)에 의한 기판(405)의 구동을 제어할 수 있다.
일례에 있어서, 제1 숏 영역(504)이 노광 영역 ER에 배치된 상태에서 제2 숏 영역 503의 높이 또는 높이 분포가 검출기(100)를 사용해서 검출된다. 그리고, 제1 숏 영역(504)의 노광후에, 제어부(410)는 제2 숏 영역 503을 노광 영역 ER에 위치결정하면서 제2 숏 영역 503의 표면을 투영 광학계(404)의 상면과 일치시키게 하기 위해 그 검출 결과에 근거하여 구동기구(412)를 제어할 수 있다 이에 따라, 제1 숏 영역(504)의 노광후에 제2 숏 영역 503의 노광이 개시될 수 있을 때까지 필요한 시간을 단축하여, 스루풋을 향상시킬 수 있다.
도5를 참조하면서, 제1변형예를 설명한다. 제1변형예에서는, 제어부(410)는, 기판(405)의 제1 숏 영역(604)이 노광 영역 ER에 배치되어 있을 때 얻어지는 검출기(100)의 출력에 근거하여, 기판(405)의 제2 숏 영역(605)의 제1부분(601)의 높이를 검출한다. 제어부(410)는, 제2 숏 영역(605)이 노광 영역 ER로 이동한 후, 검출기(100)의 출력에 근거하여 제2 숏 영역(605)의 제2부분(608)의 높이를 검출한다. 그리고, 제어부(410)는, 제1부분(601)의 높이 및 제2부분(608)의 높이에 근거하여, 제2 숏 영역(605)(의 표면)을 투영 광학계(404)의 상면과 일치시키기 위해 구동기구(412)에 의한 기판(405)의 구동을 제어한다. 여기에서, 제2부분(608)은, 제2 숏 영역(605)의 전체로부터 제1부분(601)에 대응하는 제외 영역(607)을 제외하여 얻어지는 부분일 수 있다. 제외 영역(607)은, 제1부분(601)과 동일하거나, 또는 제1부분(601)과 제2부분(608)이 부분적으로 중복하도록, 제1부분(601)보다 작아도 된다.
제1변형예에 따르면, 종래의 방법에 비해, 제2 숏 영역(605)이 노광 영역 ER로 이동한 후에 제2 숏 영역(605)의 높이를 검출하기 위해서 필요한 데이터 처리의 양을 제외 영역(607)에 해당하는 양만큼 줄일 수 있다. 데이터 처리는, 예를 들면, 검출기(100)로부터 제어부(410)에의 데이터의 전송, 및, 제어부(410)에 있어서의 연산을 포함할 수 있다. 이에 따라, 종래의 방법이 비해 스루풋을 향상시킬 수 있다.
도6을 참조하면서, 제2변형예를 설명한다. 제어부(410)는, 제1 숏 영역(701)이 노광 영역 ER에 배치되어 있을 때 얻어지는 검출기(100)의 출력에 근거하여, 제2 숏 영역(702)의 일부인 제1부분(703)의 높이를 제1높이로서 검출한다. 여기에서, 제2 숏 영역(702)은, 숏 영역 701에 인접하는 숏 영역 702, 705, 706, 707 중 숏 영역 701의 다음에 노광해야 할 숏 영역일 수 있다. 제어부(410)는, 제2 숏 영역(702)이 노광 영역 ER로 이동한 후, 검출기(100)의 출력에 근거하여, 제2 숏 영역(702)의 전체의 높이를 제2높이로서 검출한다. 또한, 제어부(410)는, 제1높이와 제2높이의 차분을 오프셋으로서 기억한다.
제어부(410)는, 다른 기판 위의 복수의 숏 영역 중 제2 숏 영역(702)에 대응하는 제2 숏 영역을 노광 영역 ER로 이동시킬 때, 이 다른 기판의 제2 숏 영역의 제1부분의 높이 및 이 차분에 근거하여, 구동기구(412)에 의한 기판의 구동을 제어한다. 예를 들면, 제어부(410)는, 다른 기판의 제2 숏 영역을 노광 영역 ER로 이동시킬 때, 다른 기판의 제2 숏 영역의 제1부분의 높이를 상기 차분을 사용하여 보정하여 얻어진 값에 근거하여, 다른 기판의 제2 숏 영역을 투영 광학계(404)의 상면과 일치시킬 수 있다.
상기 차분(오프셋)은, 예를 들면, 로트의 적어도 1매의 선두 기판을 처리할 때에 계측될 수 있다. 이후의 기판에 대해서는, 제1 숏 영역이 노광 영역 ER에 배치되어 있을 때 얻어지는 검출기(100)의 출력에 근거하여, 제2 숏 영역의 일부인 제1부분의 높이를 구하면 된다. 그리고, 제어부(410)는, 제2 숏 영역을 노광 영역 ER로 이동시킬 때, 제2 숏 영역의 제1부분의 높이 및 상기 차분에 근거하여 구동기구(412)에 의한 기판(405)의 구동을 제어할 수 있다. 따라서, 제2변형예는, 포커스 정밀도의 향상과 스루풋의 향상에 유리하다.
도7을 참조하면서, 제3변형예를 설명한다. 검출기(100)의 검출 영역(801)에는, 제1 숏 영역(800)과, 제2 숏 영역(802)의 일부인 제1부분(803)이 들어갈 수 있다. 제어부(410)는, 기판(405)의 제1 숏 영역(800)이 노광 영역 ER에 배치되어 있을 때 얻어지는 검출기(100)의 출력에 근거하여, 제2 숏 영역(802)의 제1부분(803)의 높이를 검출한다. 제어부(410)는, 제2 숏 영역(802)을 노광 영역 ER로 이동시킬 때, 제1부분(803)의 높이와, 미리 등록된 정보에 근거해서 얻어지는 제1 숏 영역(800)과 제2 숏 영역(802)의 높이 차이에 근거하여, 구동기구(412)를 제어할 수 있다. 이 제어는, 제2 숏 영역(802)을 투영 광학계(404)의 상면과 일치시키기 위해 행해질 수 있다. 이 높이 차이는, 로트의 적어도 1매의 선두 기판을 사용해서 취득될 수 있다.
제1부분(803)의 높이(a)와, 숏 영역 800과 영역 802 사이의 높이 차이(b)에 근거하여 기판의 구동을 제어하는 방법으로서는, 다양한 방법을 적용할 수 있다. 예를 들면, 실제의 노광 결과에 근거하여, 제1부분(803)의 높이(a)의 가중 및 높이 차이(b)의 가중을 결정하고, 제1부분(803)의 높이(a) 및 높이 차이(b)의 가중 평균에 근거하여 기판의 구동을 제어하는 방법이 유효하다.
다음에, 전술한 노광장치를 이용한 물품(반도체 IC 소자, 액정 표시 소자, MEMS 등)을 제조하는 물품 제조방법을 설명한다. 물품은, 전술한 노광장치를 사용하여, 감광제가 도포된 기판(웨이퍼, 글래스 기판 등)을 노광하는 단계와, 그 기판(감광제)을 현상하는 단계와, 현상된 기판을 다른 주지의 공정으로 처리함으로써 제조된다. 다른 주지의 공정에는, 에칭, 레지스트 박리, 다이싱, 본딩, 패키징 등이 포함된다. 본 물품 제조방법에 따르면, 종래 방법보다도 고품위의 물품을 제조할 수 있다.
예시적인 실시형태들을 참조하여 본 발명을 설명하였지만, 본 발명이 이러한 실시형태에 한정되지 않는다는 것은 자명하다. 이하의 청구범위의 보호범위는 가장 넓게 해석되어 모든 변형, 동등물 구조 및 기능을 포괄하여야 한다.

Claims (12)

  1. 기판 위의 복수의 숏 영역을 노광하는 노광장치로서,
    투영 광학계와,
    상기 기판을 구동하도록 구성된 구동기구와,
    상기 기판의 표면의 높이를 검출하도록 구성된 검출기와,
    상기 검출기의 출력에 근거하여 상기 구동기구를 제어하도록 구성된 제어부를 구비하고,
    상기 투영 광학계는, 원판의 패턴을 상기 투영 광학계의 상면에 있어서의 노광 영역에 투영하도록 구성되고,
    상기 검출기의 검출 영역은 상기 노광 영역보다 크고,
    상기 제어부는, 상기 복수의 숏 영역 중 제1 숏 영역이 상기 노광 영역에 배치되어 있을 때 얻어지는 상기 검출기의 출력에 근거하여, 상기 복수의 숏 영역 중 제2 숏 영역을 노광하기 위해, 상기 구동기구에 의한 상기 기판의 구동을 제어하도록 구성된 노광장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 제어부는, 상기 제1 숏 영역이 상기 노광 영역에 배치되어 있을 때 얻어지는 상기 검출기의 출력에 근거하여, 상기 제2 숏 영역을 상기 노광 영역으로 이동시키기 위해, 상기 구동기구에 의한 상기 기판의 구동을 제어하도록 구성된 노광장치.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 제어부는, 상기 제1 숏 영역이 상기 노광 영역에서 노광될 때 얻어지는 상기 검출기의 출력에 근거하여, 상기 제2 숏 영역을 상기 노광 영역으로 이동시키기 위해, 상기 구동기구에 의한 상기 기판의 구동을 제어하도록 구성된 노광장치.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 제어부는, 상기 제1 숏 영역이 상기 노광 영역에 배치된 후 상기 제1 숏 영역이 노광될 때까지의 기간에 얻어지는 상기 검출기의 출력에 근거하여, 상기 제2 숏 영역을 상기 노광 영역으로 이동시키기 위해, 상기 구동기구에 의한 상기 기판의 구동을 제어하도록 구성된 노광장치.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 제2 숏 영역은 상기 제1 숏 영역의 다음에 노광될 숏 영역인 노광장치.
  6. 제 1항에 있어서,
    상기 제어부는, 상기 제1 숏 영역이 상기 노광 영역에 배치되어 있을 때 얻어지는 상기 검출기의 출력에 근거하여, 상기 제2 숏 영역을 상기 노광 영역으로 이동시키기 위해, 상기 투영 광학계의 광축 방향에 대해, 상기 구동기구에 의한 상기 기판의 구동을 제어하도록 구성된 노광장치.
  7. 제 1항에 있어서,
    상기 제어부는, 상기 제1 숏 영역이 상기 노광 영역에 배치되어 있을 때 얻어지는 상기 검출기의 출력에 근거하여, 상기 제2 숏 영역의 제1부분의 높이를 검출하도록 구성되고,
    상기 제어부는, 상기 제2 숏 영역을 상기 노광 영역으로 이동시키기 위해, 상기 제1부분의 높이에 근거하여, 상기 구동기구에 의한 상기 기판의 구동을 제어하도록 구성된 노광장치.
  8. 제 1항에 있어서,
    상기 제어부는, 상기 제1 숏 영역이 상기 노광 영역에 배치되어 있을 때 얻어지는 상기 검출기의 출력에 근거하여, 상기 제2 숏 영역의 제1부분의 높이를 검출하도록 구성되고,
    상기 제2 숏 영역이 상기 노광 영역으로 이동한 후, 상기 제어부는, 상기 검출기의 출력에 근거하여 상기 제2 숏 영역의 제2부분의 높이를 검출하고, 상기 제1부분의 높이 및 상기 제2부분의 높이에 근거하여 상기 구동기구에 의한 상기 기판의 구동을 제어하는 노광장치.
  9. 제 1항에 있어서,
    상기 제어부는, 상기 제1 숏 영역이 상기 노광 영역에 배치되어 있을 때 얻어지는 상기 검출기의 출력에 근거하여, 상기 제2 숏 영역의 일부인 제1부분의 높이를 제1높이로서 검출하도록 구성되고,
    상기 제2 숏 영역이 상기 노광 영역으로 이동한 후, 상기 제어부는, 상기 검출기의 출력에 근거하여, 상기 제2 숏 영역의 전체의 높이를 제2높이로서 검출하고,
    상기 제어부는 상기 제1높이와 상기 제2높이의 차분을 기억하도록 구성되고,
    다른 기판 위의 복수의 숏 영역 중 상기 기판의 상기 제2 숏 영역에 대응하는 제2 숏 영역을 상기 노광 영역으로 이동시키기 위해, 상기 제어부는, 상기 다른 기판 위의 제2 숏 영역의 제1부분의 높이 및 상기 차분에 근거하여 상기 구동기구에 의한 상기 기판의 구동을 제어하도록 구성된 노광장치.
  10. 제 1항에 있어서,
    상기 제어부는, 상기 제1 숏 영역이 상기 노광 영역에 배치되어 있을 때 얻어지는 상기 검출기의 출력에 근거하여, 상기 제2 숏 영역의 제1부분의 높이를 검출하도록 구성되고,
    상기 제2 숏 영역을 상기 노광 영역으로 이동시키기 위해, 상기 제어부는, 상기 제1부분의 높이와, 미리 등록된 정보에 근거해서 얻어지는 상기 제1 숏 영역과 상기 제2 숏 영역의 높이 차이에 근거하여, 상기 구동기구에 의한 상기 기판의 구동을 제어하도록 구성된 노광장치.
  11. 제 10항에 있어서,
    상기 높이 차이는 로트(lot)의 적어도 1매의 선두 기판을 사용해서 취득되는 노광장치.
  12. 청구항 1 내지 11 중 어느 한 항에 기재된 노광장치에 의해 기판을 노광하는 단계와,
    상기 노광하는 단계를 거친 상기 기판을 현상하는 단계와,
    상기 현상하는 단계를 거친 상기 기판을 처리해서 물품을 얻는 단계를 포함하는 물품 제조방법.
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