KR20240050174A - Line heater test equipment and test method using the same - Google Patents

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KR20240050174A
KR20240050174A KR1020220130044A KR20220130044A KR20240050174A KR 20240050174 A KR20240050174 A KR 20240050174A KR 1020220130044 A KR1020220130044 A KR 1020220130044A KR 20220130044 A KR20220130044 A KR 20220130044A KR 20240050174 A KR20240050174 A KR 20240050174A
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line heater
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KR1020220130044A
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김상욱
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이노크리시스템 주식회사
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Abstract

본 발명은, 실제의 가스배관에 구축 예정인 히트트레이싱시스템의 구성에 맞게 시험적으로 구현된 라인히터조립체; 라인히터조립체가 설치되는 프레임조립체; 라인히터조립체를 프레임조립체에 부착하기 위한 복수의 브라켓; 및 라인히터조립체와 전기적으로 결합하고, 라인히터조립체의 온도변화를 측정하는 제어부를 포함하고, 라인히터조립체는, 실제의 가스배관과 동일한 규격의 시험가스배관; 시험가스배관의 가열에 사용되는 라인히터; 시험가스배관 및 라인히터의 표면을 감싸도록 설치되는, 피복재를 포함하는 라인히터 테스트장비를 개시한다. 본 발명에 따르면, 야외에 설치되는 히트트레이싱시스템의 설치에 앞서 실제 시뮬레이션을 통해 온도를 측정하고, 히트트레이싱시스템을 테스트할 수 있다.The present invention includes a line heater assembly experimentally implemented to suit the configuration of a heat tracing system scheduled to be built in an actual gas pipe; A frame assembly on which the line heater assembly is installed; A plurality of brackets for attaching the line heater assembly to the frame assembly; and a control unit electrically coupled to the line heater assembly and measuring a temperature change of the line heater assembly, wherein the line heater assembly includes a test gas pipe of the same standard as the actual gas pipe; Line heater used to heat test gas pipes; Disclosed is a line heater test equipment including a covering material installed to cover the surface of a test gas pipe and a line heater. According to the present invention, the temperature can be measured and the heat tracing system tested through actual simulation prior to installation of the heat tracing system installed outdoors.

Description

라인히터 테스트장비 및 이를 이용한 테스트방법{LINE HEATER TEST EQUIPMENT AND TEST METHOD USING THE SAME}Line heater test equipment and test method using the same {LINE HEATER TEST EQUIPMENT AND TEST METHOD USING THE SAME}

본 발명은 라인히터 테스트장비 및 이를 이용한 테스트방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 히트트레이싱시스템에 라인히터를 설치하기에 앞서 실제의 시뮬레이션을 통해 라인히터의 성능을 테스트할 수 있게 하는 장비 및 이를 이용하여 테스트를 하는 방법에 관한 것이다.The present invention relates to line heater test equipment and a test method using the same, and more specifically, to equipment and use thereof that allow testing the performance of a line heater through actual simulation prior to installing the line heater in a heat tracing system. This is about how to test.

히트 트레이싱(heat tracing)은 단열재를 통해 일어나는 열손실을 교환해줌으로써 탱크 또는 파이프 내부의 유체의 온도를 일정하게 유지하는 것을 말하며, 이러한 히트 트레이싱은 파이프 또는 탱크의 동파를 방지하거나 유체의 온도를 유지하기 위해 적용된다.Heat tracing refers to maintaining the temperature of the fluid inside a tank or pipe at a constant level by exchanging heat loss that occurs through the insulation material. This heat tracing prevents pipes or tanks from freezing or ruptures or maintains the temperature of the fluid. It is applied to do this.

대표적인 히트 트레이싱에는 두 가지 방법이 있는데, 유체순환 트레이싱과 전기 히트 트레이싱 방식이 있다. 유체순환 트레이싱의 일종인, 스팀 트레이싱은 폭 넓게 사용되고 있으나 트레이싱 시스템 설치와 유지비용이 크다는 단점이 있다. 반면에 전기 히트 트레이싱은 히팅 케이블을 사용하는 방식으로, 적용지역에 맞춰 최적의 히팅 케이블이 선택될 수 있고, 상대적으로 적은 비용으로 히트 트레이싱을 운영할 수 있을 뿐 아니라, 시스템의 설계와 제어가 용이하다는 장점이 있다.There are two representative heat tracing methods: fluid circulation tracing and electric heat tracing. Steam tracing, a type of fluid circulation tracing, is widely used, but has the disadvantage of high costs for installing and maintaining the tracing system. On the other hand, electric heat tracing uses a heating cable, so the optimal heating cable can be selected according to the application area, heat tracing can be operated at a relatively low cost, and the system is easy to design and control. There is an advantage to this.

전체적인 전기 히트 트레이싱 시스템은 히팅 케이블 외에도 다른 구성요소가 필요하다. 히팅 케이블뿐만 아니라, 그와 함께 필요한 전원연결 및 분기용 접속장치와 단말처리 장치 등이 있다.A complete electric heat tracing system requires other components in addition to the heating cable. In addition to the heating cable, there are necessary power connection and branch connection devices and terminal processing devices.

주위 온도에 따라 출력이 자동적으로 변화하는 자율제어형 히팅 케이블은 PTC(Positive Temperature coefficient) 특성을 갖고 있는 고분자 복합재료를 발열체로 사용한다. 이러한 고분자 복합재료는 고분자 수지에 전기전도성을 부여하는 카본블랙을 첨가하여 만들어지며, 발열체를 구성하는 복합재료는 케이블 길이 방향과 평행한 부스 와이어 사이에서 전류를 흐르게 하는 도전 통로를 형성한다.The self-controlled heating cable, whose output automatically changes depending on the surrounding temperature, uses a polymer composite material with PTC (Positive Temperature coefficient) characteristics as a heating element. These polymer composite materials are made by adding carbon black, which provides electrical conductivity, to a polymer resin, and the composite material that makes up the heating element forms a conductive path that allows electric current to flow between bus wires parallel to the longitudinal direction of the cable.

자율제어형 히팅 케이블의 부스 와이어 사이에 존재하는 도전통로의 수는 온도에 따라 변화한다. 케이블 주위의 온도가 감소할 때, 발열체는 미시적으로 수축이 일어나며 이는 부스 와이어 사이에서 많은 도전통로를 생성하여 저항을 감소시킨다. 반대로 온도가 증가할 때, 발열체는 팽창이 일어나 도전통로가 감소하며 전기저항을 증가시킨다. 이것을 소위 PTC 현상 (Positive Temperature coefficient)이라 하며, 이런 현상이 자율제어형 히팅 케이블의 기본적인 작동원리가 된다.The number of conductive paths that exist between bus wires of a self-regulating heating cable varies depending on temperature. When the temperature around the cable decreases, the heating element shrinks microscopically, which creates more conductive paths between the bus wires and reduces resistance. Conversely, when the temperature increases, the heating element expands, reducing the conductive path and increasing electrical resistance. This is the so-called PTC phenomenon (Positive Temperature coefficient), and this phenomenon becomes the basic operating principle of self-regulating heating cables.

발열체의 도전통로에 전류가 흐르면 주울열(Joule heat)에 의해 열이 발생하여 발열체의 온도가 올라간다. 온도가 상승하면 발열체는 미시적으로 팽창하므로 발열체의 전기저항을 증가시키며 그 결과, 히팅 케이블의 출력을 자동적으로 감소시킨다.When electric current flows through the conductive path of the heating element, heat is generated by Joule heat and the temperature of the heating element rises. When the temperature rises, the heating element expands microscopically, which increases the electrical resistance of the heating element and, as a result, automatically reduces the output of the heating cable.

한편 PTC 소자의 장점에도 불구하고 히트 트레이싱 시스템에 PCT 소자가 사용되는 경우, 자율제어 원리 때문에 일정 온도 이상 가열이 어려운 경우가 있으며, 가열에 따른 열변화가 늦은 것이 단점으로 거론된다.Meanwhile, despite the advantages of the PTC device, when the PCT device is used in a heat tracing system, it is sometimes difficult to heat above a certain temperature due to the autonomous control principle, and the slow thermal change due to heating is cited as a disadvantage.

히트트레이싱시스템의 설비는 야외에서 이루어지는 경우가 많다. 히트트레이싱시스템의 라인히터가 설치되는 가스배관이 옥외에 설치되어 있는 경우가 많기 때문이다. 이러한 상황에서, 히트트레이싱시스템의 설비에 앞서, 히트트레이싱시스템이 실제로 구현될 경우, 어느 정도의 히팅온도가 구현될 지 예측하는 절차가 필요하다. 그런데, 이러한 히팅온도 예측절차는 대기상황과 연관되어 있어서, 컴퓨터 시뮬레이션에 의하는 경우 많은 오차가 발생할 수 있어서, 실제 히트트레이싱시스템을 축소한 시뮬레이션 모델이 필요하다.Heat tracing systems are often installed outdoors. This is because the gas piping where the line heater of the heat tracing system is installed is often installed outdoors. In this situation, prior to installing the heat tracing system, it is necessary to predict what heating temperature will be achieved when the heat tracing system is actually implemented. However, since this heating temperature prediction procedure is related to atmospheric conditions, many errors may occur when using computer simulations, so a simulation model that is a scaled down version of the actual heat tracing system is needed.

특히 상온에서 고체 분말로 존재하는 무기물을 반도체 증착용 가스로 이용하는 경우, 히트트레이싱시스템을 이용하여 무기물을 고온, 예를 들어 180도씨 내지 200도씨 사이의 온도로 유지하는 것이 필요하다. 이와 같이 고온에서 승화하는 기체는 상온에서 기체로 존재하는 가스와는 다른 차원의 단열이 필요하다.In particular, when using an inorganic material that exists as a solid powder at room temperature as a gas for semiconductor deposition, it is necessary to maintain the inorganic material at a high temperature, for example, between 180 degrees Celsius and 200 degrees Celsius using a heat tracing system. In this way, gases that sublimate at high temperatures require a different level of insulation than gases that exist as gases at room temperature.

히팅 케이블과 관련된 기술로서 등록공보 제10-1254531호의 등록 발명은 반도체 제조를 위한 유체가열용 인라인히터유닛에 관한 것으로, 튜브형태의 열원을 이용하여 유체를 국부의 위치에서 직접가열하는 유닛에 관한 것으로, 라인히터를 이용하여 전체의 가스배관의 온도를 제어하기 위한 장치를 시뮬레이션 하기 위한 테스트장비에 해당하는 본 발명과 발명의 목적, 구성 및 효과 면에서 구별된다.As a technology related to heating cables, the registered invention of Registration Publication No. 10-1254531 relates to an in-line heater unit for heating fluid for semiconductor manufacturing, and relates to a unit that directly heats fluid at a local location using a tube-shaped heat source. , It is distinguished from the present invention, which corresponds to test equipment for simulating a device for controlling the temperature of the entire gas pipe using a line heater, in terms of purpose, configuration, and effect.

KR 등록 특허 제10-1254531호 (2013.04.19 공고)KR Registered Patent No. 10-1254531 (announced on April 19, 2013)

본 발명이 해결하고자 하는 일 과제는, 고체 무기물을 승화시키기 위해 180도씨 내지 200도씨의 범위를 유지해야 하는 히트트레이싱시스템을 테스트할 수 있는 테스트장비를 제공하는 것이다.One problem that the present invention seeks to solve is to provide test equipment that can test a heat tracing system that must maintain a temperature range of 180 degrees Celsius to 200 degrees Celsius in order to sublimate solid inorganic substances.

본 발명이 해결하고자 하는 일 과제는, 야외에 설치되는 히트트레이싱시스템의 설치에 앞서 실제 시뮬레이션을 통해 온도를 측정하고, 히트트레이싱시스템을 테스트할 수 있는 테스트장비를 제공하는 것이다.The problem that the present invention seeks to solve is to provide test equipment that can measure the temperature through actual simulation and test the heat tracing system prior to installation of the heat tracing system installed outdoors.

본 발명이 해결하고자 하는 일 과제는, 테스트를 통해 가장 경제적이고 효율성이 좋은 히트트레이싱시스템의 단열재 및 보온재의 구성을 선택할 수 있게 하는 테스트장비를 제공하는 것이다.The problem that the present invention seeks to solve is to provide testing equipment that allows selection of the most economical and efficient configuration of insulation and insulation materials for a heat tracing system through testing.

본 발명의 일 실시 예에 따른 라인히터 테스트장비는, 실제의 가스배관에 구축 예정인 히트트레이싱시스템의 구성에 맞게 시험적으로 구현된 라인히터조립체(line heater assembly); 라인히터조립체가 설치되는 프레임조립체(frame); 라인히터조립체를 프레임조립체에 부착하기 위한 복수의 브라켓; 및 라인히터조립체와 전기적으로 결합하고, 라인히터조립체의 온도변화를 측정하는 제어부를 포함하고, 라인히터조립체는, 실제의 가스배관과 동일한 규격의 시험가스배관; 시험가스배관의 가열에 사용되는 라인히터; 시험가스배관 및 라인히터의 표면을 감싸도록 설치되는, 피복재를 포함하도록 구성될 수 있다.A line heater test equipment according to an embodiment of the present invention includes a line heater assembly experimentally implemented to suit the configuration of a heat tracing system scheduled to be built in an actual gas pipe; A frame assembly on which the line heater assembly is installed; A plurality of brackets for attaching the line heater assembly to the frame assembly; and a control unit electrically coupled to the line heater assembly and measuring a temperature change of the line heater assembly, wherein the line heater assembly includes a test gas pipe of the same standard as the actual gas pipe; Line heater used to heat test gas pipes; It may be configured to include a covering material installed to cover the surface of the test gas pipe and line heater.

또한, 시험가스배관은, 상온에서 고체 상태인 물질이 기체로 상태변화된 후 승화된 가스를 운반하는 시험가스배관인 것을 특징으로 한다.In addition, the test gas pipe is characterized as a test gas pipe that transports sublimated gas after a substance in a solid state at room temperature changes into a gas state.

또한, 라인히터 테스트장비는, 피복재가 내부단열재 및 외부피복를 포함하도록 구성될 수 있다.Additionally, the line heater test equipment may be configured so that the covering material includes an internal insulation material and an external coating.

또한, 라인히터 테스트장비는, 내부단열재가 열차단 필름 및 열차단 금속박을 포함하고, 제어부는, 열차단 필름과 열차단 금속박의 종류, 및 시공횟수의 변화에 따른 라인히터의 구동을 통해 라인히터의 온도를 측정하도록 구성될 수 있다.In addition, in the line heater test equipment, the internal insulation material includes a heat barrier film and a heat barrier metal foil, and the control unit operates the line heater according to changes in the type of heat barrier film and heat barrier metal foil and the number of times of construction. It can be configured to measure the temperature.

또한, 라인히터 테스트장비는, 프레임조립체가 저면에 이동용휠을 포함하고, 제어부는, 이동용휠을 이용한 이동을 통해 실제의 가스배관이 설치된 환경의 대기와 동일한 조건에서 라인히터의 온도를 측정하도록 구성될 수 있다.In addition, the line heater test equipment includes a frame assembly that includes a moving wheel on the bottom, and the control unit is configured to measure the temperature of the line heater under the same conditions as the atmosphere in the environment where the actual gas pipe is installed through movement using the moving wheel. It can be.

또한, 라인히터 테스트장비는, 프레임조립체가 복수의 프레임모듈을 포함하고, 프레임모듈은 원통 또는 다각기둥 형태로 조립될 수 있고, 라인히터조립체는, 원통 또는 다각기둥의 둘레에 감기면서 경사진 나선 모양으로 형성되는 것을 특징으로 한다.In addition, in the line heater test equipment, the frame assembly includes a plurality of frame modules, the frame modules can be assembled in the form of a cylinder or polygonal column, and the line heater assembly is an inclined spiral wound around the cylinder or polygonal column. It is characterized by being formed into a shape.

또한, 라인히터 테스트장비는, 라인히터가 전원에 연결된 한 쌍의 모선; 모선과 연결되는 열선 및; 열선의 온도를 측정하는 광파이버센서를 포함하도록 구성될 수 있다.In addition, the line heater test equipment includes a pair of busbars where the line heater is connected to a power source; A heating wire connected to the mothership and; It may be configured to include an optical fiber sensor that measures the temperature of the heating wire.

본 발명의 일 실시 예에 따른 라인히터 테스트방법은, 시뮬레이션 대상으로서 실제의 가스배관에 구축 예정인 히트트레이싱시스템의 구성에 맞게 시험적 히트트레이싱시스템을 구현하는 단계; 및 시험적 히트트레이싱시스템으로서 구현된 라인히터 테스트장비를 이용하여 라인히터조립체에 포함된 라인히터의 온도를 측정하는 단계를 포함하고, 시험적 히트트레이싱시스템을 구현하는 단계는, 프레임조립체에 실제의 가스배관과 동일한 규격의 가스배관이 포함된 라인히터조립체(line heater assembly)와 라인히터의 온도를 측정하는 제어부를 설치하는 단계를 포함하고, 라인히터의 온도를 측정하는 단계는, 라인히터조립체를 구성하는 내부단열재의 구성 변화에 따라 제어부를 통해 라인히터의 온도를 측정하는 것을 특징으로 한다.A line heater test method according to an embodiment of the present invention includes the steps of implementing a pilot heat tracing system according to the configuration of a heat tracing system scheduled to be built in an actual gas pipe as a simulation target; and measuring the temperature of the line heater included in the line heater assembly using line heater test equipment implemented as an experimental heat tracing system. The step of implementing the experimental heat tracing system includes measuring the temperature of the line heater included in the line heater assembly. It includes the step of installing a line heater assembly including a gas pipe of the same standard as the gas pipe and a control unit that measures the temperature of the line heater, and the step of measuring the temperature of the line heater includes installing the line heater assembly. It is characterized by measuring the temperature of the line heater through the control unit according to changes in the composition of the internal insulation material.

또한, 라인히터 테스트방법은, 시험가스배관이 상온에서 고체 상태인 물질이 기체로 상태변화된 후 승화성 가스를 운반하는 시험가스배관인 것을 특징으로 한다.In addition, the line heater test method is characterized in that the test gas pipe is a test gas pipe that transports sublimable gas after a substance that is solid at room temperature is changed to a gas state.

또한, 라인히터 테스트방법은, 라인히터조립체를 설치하는 단계가 내부단열재 및 외부피복을 이용하여 시험가스배관 및 라인히터조립체를 감싸는 단계를 포함하도록 구성될 수 있다.Additionally, the line heater test method may be configured so that the step of installing the line heater assembly includes the step of surrounding the test gas pipe and the line heater assembly using an internal insulation material and an external covering.

또한, 라인히터 테스트방법은, 내부단열재가 열차단 필름 및 열차단 금속박을 포함하고, 라인히터의 온도를 측정하는 단계가 열차단 필름과 열차단 금속박의 종류, 및 시공횟수의 변화에 따른 라인히터의 구동을 통해 제어부를 이용하여 라인히터의 온도를 측정하는 단계를 포함하도록 구성될 수 있다.In addition, in the line heater test method, the internal insulation material includes a heat barrier film and a heat barrier metal foil, and the step of measuring the temperature of the line heater is based on changes in the type of heat barrier film and heat barrier metal foil and the number of times of construction. It may be configured to include the step of measuring the temperature of the line heater using a control unit through the operation of .

또한, 라인히터 테스트방법은, 프레임조립체에 설치된 이동용휠을 이용하여 라인히터 테스트장비를 이동시키는 단계를 더 포함하고, 라인히터의 온도를 측정하는 단계가 이동용휠을 이용한 이동을 통해 실제의 가스배관이 설치된 환경의 대기와 동일한 조건의 챔버에서 라인히터의 온도를 측정하는 것을 특징으로 한다.In addition, the line heater test method further includes the step of moving the line heater test equipment using a moving wheel installed on the frame assembly, and the step of measuring the temperature of the line heater is performed by moving the line heater using the moving wheel to connect the actual gas pipe. It is characterized by measuring the temperature of the line heater in a chamber under the same conditions as the atmosphere in the installed environment.

또한, 라인히터 테스트방법은, 히트트레이싱시스템을 구현하는 단계가 복수의 프레임모듈을 이용하여 프레임조립체를 조립하는 단계를 포함하고, 프레임모듈은 원통 또는 다각기둥 형태로 조립될 수 있고, 히트트레이싱조립체는, 원통 또는 다각기둥의 둘레에 감기면서 경사진 나선 모양으로 형성되는 것을 특징으로 한다.In addition, in the line heater test method, the step of implementing the heat tracing system includes assembling a frame assembly using a plurality of frame modules, and the frame modules may be assembled in the form of a cylinder or polygonal column, and the heat tracing assembly is characterized in that it is formed in an inclined spiral shape while winding around a cylinder or polygonal pillar.

또한, 라인히터 테스트방법은, 히트트레이싱시스템을 구현하는 단계가 라인히터로서 전원에 연결된 한 쌍의 모선, 모선과 연결되는 열선 및 열선의 온도를 측정하는 광파이버센서를 포함하는 라인히터를 이용하는 단계를 포함하도록 구성될 수 있다.In addition, in the line heater test method, the step of implementing a heat tracing system involves using a line heater including a pair of busbars connected to a power source, a heating wire connected to the busbar, and an optical fiber sensor that measures the temperature of the heating wire. It can be configured to include:

기타 실시 예의 구체적인 사항은 "발명을 실시하기 위한 구체적인 내용" 및 첨부 "도면"에 포함되어 있다.Specific details of other embodiments are included in “Specific Details for Carrying Out the Invention” and the attached “Drawings.”

본 발명의 이점 및/또는 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 각종 실시 예를 참조하면 명확해질 것이다.The advantages and/or features of the present invention and methods for achieving them will become clear by referring to the various embodiments described in detail below along with the accompanying drawings.

그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 각 실시 예의 구성만으로 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로도 구현될 수도 있으며, 단지 본 명세서에서 개시한 각각의 실시 예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구범위의 각 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐임을 알아야 한다.However, the present invention is not limited to the configuration of each embodiment disclosed below, but may also be implemented in various different forms. However, each embodiment disclosed in this specification ensures that the disclosure of the present invention is complete, and the present invention It is provided to fully inform those skilled in the art of the present invention, and it should be noted that the present invention is only defined by the scope of each claim.

본 발명에 의하면, 야외에 설치되는 히트트레이싱시스템의 설치에 앞서 실제 시뮬레이션을 통해 온도를 측정하고, 히트트레이싱시스템을 테스트할 수 있다.According to the present invention, the temperature can be measured and the heat tracing system tested through actual simulation prior to installation of the heat tracing system installed outdoors.

또한, 테스트를 통해 가장 경제적이고 효율성이 좋은 히트트레이싱시스템의 단열재 및 보온재의 구성을 선택할 수 있다.In addition, through testing, it is possible to select the most economical and efficient composition of insulation and insulation materials for the heat tracing system.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 라인히터 테스트장비의 예시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 라인히터의 예시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 라인히터 테스트장비의 가스배관의 예시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 라인히터 테스트방법의 흐름도이다.
도 5는 제1테스트에서 사용된 라인히터조립체의 단면도이다.
도 6은 도 5의 라인히터조립체를 이용한 제1테스트에서 온도 분포의 예시도이다.
도 7은 도 5의 라인히터조립체를 이용한 제1테스트에서 온도 변화 그래프이다.
도 8은 제2테스트에서 사용된 라인히터조립체의 단면도이다.
도 9는 도 8의 라인히터조립체를 이용한 제2테스트에서 온도 분포의 예시도이다.
도 10은 도 8의 라인히터조립체를 이용한 제2테스트에서 온도 변화 그래프이다.
도 11은 제3테스트에서 사용된 라인히터조립체의 단면도이다.
도 12는 도 11의 라인히터조립체를 이용한 제3테스트에서 온도 분포의 예시도이다.
도 13은 도 11의 라인히터조립체를 이용한 제3테스트에서 온도 변화 그래프이다.
1 is an exemplary diagram of line heater test equipment according to an embodiment of the present invention.
Figure 2 is an exemplary diagram of a line heater according to an embodiment of the present invention.
Figure 3 is an exemplary diagram of a gas pipe of a line heater test equipment according to an embodiment of the present invention.
Figure 4 is a flowchart of a line heater test method according to an embodiment of the present invention.
Figure 5 is a cross-sectional view of the line heater assembly used in the first test.
FIG. 6 is an exemplary diagram of temperature distribution in the first test using the line heater assembly of FIG. 5.
Figure 7 is a graph of temperature change in the first test using the line heater assembly of Figure 5.
Figure 8 is a cross-sectional view of the line heater assembly used in the second test.
FIG. 9 is an exemplary diagram of temperature distribution in a second test using the line heater assembly of FIG. 8.
FIG. 10 is a graph of temperature change in the second test using the line heater assembly of FIG. 8.
Figure 11 is a cross-sectional view of the line heater assembly used in the third test.
FIG. 12 is an exemplary diagram of temperature distribution in the third test using the line heater assembly of FIG. 11.
FIG. 13 is a graph of temperature change in the third test using the line heater assembly of FIG. 11.

본 발명을 상세하게 설명하기 전에, 본 명세서에서 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 무조건 한정하여 해석되어서는 아니 되며, 본 발명의 발명자가 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해서 각종 용어의 개념을 적절하게 정의하여 사용할 수 있고, 더 나아가 이들 용어나 단어는 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야 함을 알아야 한다.Before explaining the present invention in detail, the terms or words used in this specification should not be construed as unconditionally limited to their ordinary or dictionary meanings, and the inventor of the present invention should not use the terms or words in order to explain his invention in the best way. It should be noted that the concepts of various terms can be appropriately defined and used, and furthermore, that these terms and words should be interpreted with meanings and concepts consistent with the technical idea of the present invention.

즉, 본 명세서에서 사용된 용어는 본 발명의 바람직한 실시 예를 설명하기 위해서 사용되는 것일 뿐이고, 본 발명의 내용을 구체적으로 한정하려는 의도로 사용된 것이 아니며, 이들 용어는 본 발명의 여러 가지 가능성을 고려하여 정의된 용어임을 알아야 한다.That is, the terms used in this specification are only used to describe preferred embodiments of the present invention, and are not used with the intention of specifically limiting the content of the present invention, and these terms refer to various possibilities of the present invention. It is important to note that this is a term defined with consideration in mind.

또한, 본 명세서에서, 단수의 표현은 문맥상 명확하게 다른 의미로 지시하지 않는 이상, 복수의 표현을 포함할 수 있으며, 유사하게 복수로 표현되어 있다고 하더라도 단수의 의미를 포함할 수 있음을 알아야 한다.In addition, it should be noted that in this specification, singular expressions may include plural expressions, unless the context clearly indicates a different meaning, and may include singular meanings even if similarly expressed in plural. .

본 명세서의 전체에 걸쳐서 어떤 구성 요소가 다른 구성 요소를 "포함"한다고 기재하는 경우에는, 특별히 반대되는 의미의 기재가 없는 한 임의의 다른 구성 요소를 제외하는 것이 아니라 임의의 다른 구성 요소를 더 포함할 수도 있다는 것을 의미할 수 있다.Throughout this specification, when a component is described as “including” another component, it does not exclude any other component, but rather includes any other component, unless specifically stated to the contrary. It could mean that you can do it.

더 나아가서, 어떤 구성 요소가 다른 구성 요소의 "내부에 존재하거나, 연결되어 설치된다"라고 기재한 경우에는, 이 구성 요소가 다른 구성 요소와 직접적으로 연결되어 있거나 접촉하여 설치되어 있을 수 있고, 일정한 거리를 두고 이격되어 설치되어 있을 수도 있으며, 일정한 거리를 두고 이격되어 설치되어 있는 경우에 대해서는 해당 구성 요소를 다른 구성 요소에 고정 내지 연결하기 위한 제 3의 구성 요소 또는 수단이 존재할 수 있으며, 이 제 3의 구성 요소 또는 수단에 대한 설명은 생략될 수도 있음을 알아야 한다.Furthermore, if a component is described as being "installed within or connected to" another component, it means that this component may be installed in direct connection or contact with the other component and may be installed in contact with the other component and may be installed in contact with the other component. It may be installed at a certain distance, and in the case where it is installed at a certain distance, there may be a third component or means for fixing or connecting the component to another component. It should be noted that the description of the components or means of 3 may be omitted.

반면에, 어떤 구성 요소가 다른 구성 요소에 "직접 연결"되어 있다거나, 또는 "직접 접속"되어 있다고 기재되는 경우에는, 제 3의 구성 요소 또는 수단이 존재하지 않는 것으로 이해하여야 한다.On the other hand, when a component is described as being “directly connected” or “directly connected” to another component, it should be understood that no third component or means is present.

마찬가지로, 각 구성 요소 간의 관계를 설명하는 다른 표현들, 즉 " ~ 사이에"와 "바로 ~ 사이에", 또는 " ~ 에 이웃하는"과 " ~ 에 직접 이웃하는" 등도 마찬가지의 취지를 가지고 있는 것으로 해석되어야 한다.Likewise, other expressions that describe the relationship between each component, such as "between" and "immediately between", or "neighboring" and "directly neighboring", have the same meaning. It should be interpreted as

또한, 본 명세서에서 "일면", "타면", "일측", "타측", "제 1", "제 2" 등의 용어는, 사용된다면, 하나의 구성 요소에 대해서 이 하나의 구성 요소가 다른 구성 요소로부터 명확하게 구별될 수 있도록 하기 위해서 사용되며, 이와 같은 용어에 의해서 해당 구성 요소의 의미가 제한적으로 사용되는 것은 아님을 알아야 한다.In addition, in this specification, terms such as "one side", "other side", "one side", "the other side", "first", "second", etc., if used, refer to one component. It is used to clearly distinguish it from other components, and it should be noted that the meaning of the component is not limited by this term.

또한, 본 명세서에서 "상", "하", "좌", "우" 등의 위치와 관련된 용어는, 사용된다면, 해당 구성 요소에 대해서 해당 도면에서의 상대적인 위치를 나타내고 있는 것으로 이해하여야 하며, 이들의 위치에 대해서 절대적인 위치를 특정하지 않는 이상은, 이들 위치 관련 용어가 절대적인 위치를 언급하고 있는 것으로 이해하여서는 아니된다.In addition, in this specification, terms related to position such as "top", "bottom", "left", "right", etc., if used, should be understood as indicating the relative position of the corresponding component in the corresponding drawing. Unless the absolute location is specified, these location-related terms should not be understood as referring to the absolute location.

또한, 본 명세서에서는 각 도면의 각 구성 요소에 대해서 그 도면 부호를 명기함에 있어서, 동일한 구성 요소에 대해서는 이 구성 요소가 비록 다른 도면에 표시되더라도 동일한 도면 부호를 가지고 있도록, 즉 명세서 전체에 걸쳐 동일한 참조 부호는 동일한 구성 요소를 지시하고 있다.In addition, in this specification, when specifying the reference numeral for each component in each drawing, the same component has the same reference number even if the component is shown in different drawings, that is, the same reference is made throughout the specification. The symbols indicate the same component.

본 명세서에 첨부된 도면에서 본 발명을 구성하는 각 구성 요소의 크기, 위치, 결합 관계 등은 본 발명의 사상을 충분히 명확하게 전달할 수 있도록 하기 위해서 또는 설명의 편의를 위해서 일부 과장 또는 축소되거나 생략되어 기술되어 있을 수 있고, 따라서 그 비례나 축척은 엄밀하지 않을 수 있다.In the drawings attached to this specification, the size, position, connection relationship, etc. of each component constituting the present invention is exaggerated, reduced, or omitted in order to convey the idea of the present invention sufficiently clearly or for convenience of explanation. It may be described, and therefore its proportions or scale may not be exact.

또한, 이하에서, 본 발명을 설명함에 있어서, 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 구성, 예를 들어, 종래 기술을 포함하는 공지 기술에 대해 상세한 설명은 생략될 수도 있다.In addition, hereinafter, in describing the present invention, detailed descriptions of configurations that are judged to unnecessarily obscure the gist of the present invention, for example, known technologies including prior art, may be omitted.

이하, 본 발명의 실시 예에 대해 관련 도면들을 참조하여 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the related drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 라인히터 테스트장비의 예시도이다.1 is an exemplary diagram of line heater test equipment according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시 예에 따른 라인히터 테스트장비(10)는 라인히터조립체(line heater assembly)(100), 라인히터조립체(100)가 설치되는 프레임조립체(frame assembly)(500), 라인히터조립체(100)를 프레임조립체(500)에 부착하기 위한 복수의 브라켓(530) 및 라인히터조립체(100)의 온도변화를 측정하는 제어부(600)를 포함하도록 구성될 수 있다.Referring to FIG. 1, the line heater test equipment 10 according to an embodiment of the present invention includes a line heater assembly 100 and a frame assembly (frame assembly) on which the line heater assembly 100 is installed. 500), a plurality of brackets 530 for attaching the line heater assembly 100 to the frame assembly 500, and a control unit 600 that measures temperature changes in the line heater assembly 100.

도 1에 도시되지는 않았으나, 라인히터 테스트장비(10)는 가스통을 더 구비할 수 있다. 가스통은 상온에서 고체 상태의 무기물, 예를 들어 이산화몰리브덴을 승화점 이상의 온도 예를 들어 180도씨 내지 200도씨를 형성함으로써 가스 상태를 유지시키는 기능을 한다.라인히터조립체는(100) 설비 대상인 히트트레이싱시스템(20)의 구성이 재현된 것으로, 히트트레이싱시스템(20)의 시험가스배관(200)을 포함하도록 구성될 수 있다. 즉 라인히터조립체(100)는, 테스트대상에 포함된 히트트레이싱시스템(20)의 동일한 시험가스배관(200), 시험가스배관(200)의 가열에 사용되는 라인히터(310), 및 라인히터(310)의 표면을 감싸도록 설치되는, 피복재(400)를 포함하도록 구성될 수 있다.Although not shown in FIG. 1, the line heater test equipment 10 may further include a gas cylinder. The gas cylinder functions to maintain the gas state by forming a solid inorganic substance, such as molybdenum dioxide, at room temperature at a temperature above the sublimation point, for example, 180 degrees Celsius to 200 degrees Celsius. The line heater assembly (100) is a heat equipment target. The configuration of the tracing system 20 is reproduced and may be configured to include the test gas piping 200 of the heat tracing system 20. That is, the line heater assembly 100 includes the same test gas pipe 200 of the heat tracing system 20 included in the test object, the line heater 310 used for heating the test gas pipe 200, and the line heater ( It may be configured to include a covering material 400 that is installed to surround the surface of 310).

여기서 사용되는 시험가스배관(200)은 반도체 증착용으로 사용되는 가스를 운반하는 배관에 해당한다.The test gas pipe 200 used here corresponds to a pipe that transports gas used for semiconductor deposition.

텅스텐 화학증착에 육불화텅스텐(WF6)과 이산화몰리브덴(MoO2Cl2)이 사용될 수 있다. 육불화텅스텐은 이산화몰리브덴 보다 증기압이 높고 끓는 점이 17.3도씨인데 반하여, 이산화몰리브덴은 증기압이 상대적으로 낮고 끓는 점이 176도씨이다. 육불화텅스텐과 이산화몰리브덴의 비저항 및 열팽창계수의 차이로 인하여 이산화몰리브덴이 사용되는 경우가 있다. 이러한 경우 이산화몰리브덴을 승화 온도인 176도씨 이상의 온도로 유지하는 것이 필요하다.Tungsten hexafluoride (WF 6 ) and molybdenum dioxide (MoO 2 Cl 2 ) can be used for tungsten chemical vapor deposition. Tungsten hexafluoride has a higher vapor pressure than molybdenum dioxide and a boiling point of 17.3 degrees Celsius, whereas molybdenum dioxide has a relatively low vapor pressure and a boiling point of 176 degrees Celsius. Due to the difference in resistivity and thermal expansion coefficient between tungsten hexafluoride and molybdenum dioxide, molybdenum dioxide is sometimes used. In this case, it is necessary to maintain the molybdenum dioxide at a temperature above 176 degrees Celsius, which is the sublimation temperature.

도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 라인히터의 예시도이다.Figure 2 is an exemplary diagram of a line heater according to an embodiment of the present invention.

도 2를 참조하면, 라인히터(310)는, 한 쌍의 모선(311), 1차절연물질(312), 열선(313), 2차절연물질(314), 차폐 쉴드(315), 최종 외피(316) 및 광파이버센서(317) 및 연결접점부(318)를 포함하도록 구성될 수 있다.Referring to FIG. 2, the line heater 310 includes a pair of bus bars 311, a primary insulating material 312, a heating wire 313, a secondary insulating material 314, a shield 315, and a final outer shell. It may be configured to include (316) and an optical fiber sensor 317 and a connection contact portion 318.

한 쌍의 모선(copper bus line)(311)의 일단에는 단자가 형성되고, 단자는 커넥터를 통해 전원 단자에 연결될 수 있다. 모선(311)의 타단의 양 극은 서로 폐회로를 이룬다. 한 쌍의 모선 중에 어느 한 선이 접지될 수 있다.A terminal is formed at one end of a pair of copper bus lines 311, and the terminal may be connected to a power terminal through a connector. The two poles of the other end of the mothership 311 form a closed circuit with each other. Any one of a pair of busbars can be grounded.

1차절연물질(312)은 모선(311)과 열선(323) 사이를 절연하는 실리콘 고무 등으로 구현될 수 있다.The primary insulating material 312 may be implemented as silicone rubber, etc., which insulates between the bus bar 311 and the heating wire 323.

열선(313)은 모선(311)에 의해 공급된 전기에너지를 열에너지로 변환하는 기능을 갖는다. 열선(313)은 높은 저항을 갖는 금속 또는 이들의 합금, 예를 들어 구리-니켈, 니켈-크롬, 또는 철-니켈 등의 합금체로 구현될 수 있다.The heating wire 313 has the function of converting the electrical energy supplied by the bus bar 311 into thermal energy. The heating wire 313 may be implemented as a metal having high resistance or an alloy thereof, for example, copper-nickel, nickel-chromium, or iron-nickel.

주석 도금 동선, 예를 들어 직경 1.25mm 두 가닥의 모선(311)이 평행하게 나란히 있고, 열선(313)에 해당하는 발열체, 예를 들어 니켈 크롬 발열체가 1차 절연된 평행 도선 주위를 나선형으로 감싸고 있으며 일정한 간격, 예를 들어 1m 간격으로 평행한 모선(311)의 양 가닥과 번갈아 가며 접촉하여 발열 회로를 구성한다.A tin-plated copper wire, for example, two bus wires 311 with a diameter of 1.25 mm, are arranged in parallel, and a heating element corresponding to the heating wire 313, for example, a nickel chrome heating element, is spirally wrapped around the primary insulated parallel wire. A heating circuit is formed by alternately contacting both strands of the parallel bus bars 311 at regular intervals, for example, at 1 m intervals.

열선(313)은, 모선(311)을 따라 1차절연물질(312) 상에서 나선을 형성하도록 구성될 수 있다. 라인히터(310)는, 히팅 능력에 따라 일정 길이 내에 있는 나선의 수가 서로 다르게 구성될 수 있다. 히팅 능력이 서로 다른 라인히터(310)는 서로 다른 환경에 설치된 배관의 히트 트레이싱에 사용될 수 있다.The heating wire 313 may be configured to form a spiral on the primary insulating material 312 along the bus bar 311. The line heater 310 may be configured to have different numbers of spirals within a certain length depending on the heating ability. Line heaters 310 with different heating capabilities can be used for heat tracing of pipes installed in different environments.

라인히터(310)는 모선(311)과 열선(313)이 연결되는 연결접점부(318)를 포함하도록 구성될 수 있다. 연결접점부(318)는, 일정한 간격으로 열선(313)을 한 쌍의 모선(311)과 번갈아 가며 전기적으로 연결하는 역할을 한다. 즉 연결접점부(318)에 의해 일정 간격마다 모선(311)과 열선(313) 간에 병렬 회로가 생성된다.The line heater 310 may be configured to include a connection contact portion 318 where the bus bar 311 and the heating wire 313 are connected. The connection contact portion 318 serves to alternately electrically connect the heating wire 313 to a pair of bus bars 311 at regular intervals. That is, a parallel circuit is created between the bus bar 311 and the hot wire 313 at regular intervals by the connection contact portion 318.

2차절연물질(314)은 연결접점부(318) 및 모선(311)과 차폐 쉴드(315) 사이를 절연시킨다.The secondary insulating material 314 insulates between the connection contact portion 318 and the bus bar 311 and the shield 315.

차폐 쉴드(315)는 라인히터(310)의 외부에서 유입되는 노이즈를 차폐하는 역할을 한다. 차폐 쉴드(315)는 실제 금속선이 직조식으로 짜인 형태로 구현될 수 있다.The shield 315 serves to shield noise coming from outside the line heater 310. The shield 315 may be implemented in a form in which actual metal wires are woven.

최종 외피(316)가 차폐 쉴드(315)를 감싸게 된다. 최종 외피는 PVC 소재 등이 사용될 수 있다. 금속관이 최종 외피(316)를 감싸도록 추가될 수 있다. 이 경우 금속관에 대한 접지가 필요하다.The final outer shell 316 surrounds the shielding shield 315. The final outer shell may be made of PVC material. Metal tubing may be added to surround the final shell 316. In this case, grounding the metal pipe is necessary.

광파이버센서(317)는 열에너지가 이용되는 전기 히트 트레이싱(electric heat tracing )의 온도 측정에 사용될 수 있다. 광파이버센서(317)는, 입사된 특정 파장의 레이저 광을 일정 위치마다 산란시켜 히트 트레이싱의 온도 및 위치 측정에 사용될 산란광을 출력하는 역할을 한다.The optical fiber sensor 317 can be used to measure the temperature of electric heat tracing that uses thermal energy. The optical fiber sensor 317 scatters incident laser light of a specific wavelength at certain positions and outputs scattered light to be used for temperature and position measurement of heat tracing.

광파이버센서(317)의 소재는 유리 광파이버(glass optical fiber) 또는 플라스틱 광파이버(plastic optical fiber)일 수 있다.The material of the optical fiber sensor 317 may be glass optical fiber or plastic optical fiber.

피복재(400)는, 내부단열재(410) 및 외부피복(420)을 포함하도록 구성될 수 있다. 내부단열재(410)는, 열차단필름(411) 및 열차단금속박(412)을 포함할 수 있다.The covering material 400 may be configured to include an internal insulation material 410 and an external covering 420. The internal insulation material 410 may include a heat insulating film 411 and a heat insulating metal foil 412.

프레임조립체(500)는 복수의 프레임모듈(510)을 이용하여 조립될 수 있다. 프레임모듈(510)을 이용하여 제어부(600)를 프레임조립체(500)에 부착할 수 있다.The frame assembly 500 may be assembled using a plurality of frame modules 510. The control unit 600 can be attached to the frame assembly 500 using the frame module 510.

프레임조립체(500)의 바닥에는 이동용휠(520)이 구부될 수 있다. 이동용휠(520)을 통해 라인히터 테스트장비(10)는, 히트트레이싱시스템(20)이 설치될 대기 상태와 유사한 상황의 챔버로 이동될 수 있다. 예를 혹한의 대기상황이 재현될 수 있게, 냉장 및 냉장 장치가 구비된 챔버로 이동될 수 있다.A moving wheel 520 may be bent at the bottom of the frame assembly 500. Through the moving wheel 520, the line heater test equipment 10 can be moved to a chamber in a situation similar to the standby state where the heat tracing system 20 will be installed. For example, it can be moved to a chamber equipped with refrigeration and refrigeration equipment so that harsh atmospheric conditions can be recreated.

제어부(600)는, 열차단 필름과 열차단 금속박의 종류, 및 시공횟수의 변화에 따른 테스트를 통해 라인히터(310)의 온도를 측정하도록 구성될 수 있다.프레임조립체(500)은, 저면에 이동용휠(520)을 포함하고, 제어부(600)는, 이동용휠(520)을 이용하여 라인히터조립체(100)를 테스트대상인 히트트레이싱시스템(20)이 속하는 환경의 대기와 동일하게 조성된 챔버로 이동시켜 라인히터조립체(100)의 온도를 측정하도록 구성될 수 있다.The control unit 600 may be configured to measure the temperature of the line heater 310 through a test according to changes in the type of heat barrier film and heat barrier metal foil and the number of times of construction. The frame assembly 500 is located on the bottom. It includes a moving wheel 520, and the control unit 600 uses the moving wheel 520 to move the line heater assembly 100 into a chamber created to be the same as the atmosphere of the environment to which the heat tracing system 20, which is a test object, belongs. It can be configured to measure the temperature of the line heater assembly 100 by moving it.

프레임조립체(500)은, 복수의 프레임모듈(510)을 포함하고, 프레임모듈(510)이 조립되어 프레임조립체(500)이 원통 또는 직육면체 형태를 가질 수 있다. 라인히터조립체(100)는, 원통 또는 직육면체 모양의 프레임조립체(500)의 내측 둘레에 감기면서 경사진 나선 모양으로 형성되는 것을 특징으로 한다. 라인히터조립체(100)가 경사지게 감김으로써 라인히터조립체(100)의 길이가 최대로 길게 연장될 수 있다.The frame assembly 500 includes a plurality of frame modules 510, and the frame modules 510 are assembled so that the frame assembly 500 may have a cylindrical or rectangular parallelepiped shape. The line heater assembly 100 is wound around the inner circumference of a cylindrical or rectangular frame assembly 500 and is formed in an inclined spiral shape. By winding the line heater assembly 100 obliquely, the length of the line heater assembly 100 can be extended to its maximum length.

도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 라인히터 테스트장비(10)의 가스배관의 예시도이다.Figure 3 is an exemplary diagram of a gas pipe of the line heater test equipment 10 according to an embodiment of the present invention.

도 3을 참조하면, 시험가스배관(200)은, 테스트대상에 해당하는 히트트레이싱시스템(20)에 사용되는 시험가스배관(200)과 동일한 것이 설치되는 것이 특징이다. 시험가스배관(200)에 접촉하여 라인히터(310)가 설치되고, 시험가스배관(200) 및 라인히터(310)를 감싸는 피복재(400)가 설치될 수 있다.Referring to FIG. 3, the test gas pipe 200 is characterized in that it is installed the same as the test gas pipe 200 used in the heat tracing system 20 corresponding to the test object. A line heater 310 may be installed in contact with the test gas pipe 200, and a covering material 400 surrounding the test gas pipe 200 and the line heater 310 may be installed.

도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 라인히터 테스트방법의 흐름도이다.Figure 4 is a flowchart of a line heater test method according to an embodiment of the present invention.

도 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시 예에 따른 라인히터 테스트방법(S100)은, 시물레이션 대상으로서 시험적 히트트레이싱시스템(20)을 구현하는 단계(S110) 및 라인히터 테스트장비를 이용하여 라인히터조립체에 포함된 라인히터의 온도를 측정하는 단계(S120)를 포함하도록 구성된다.Referring to FIG. 4, the line heater test method (S100) according to an embodiment of the present invention includes the step of implementing the experimental heat tracing system 20 as a simulation object (S110) and the line heater test equipment using line heater test equipment. It is configured to include a step (S120) of measuring the temperature of the line heater included in the heater assembly.

시험적 히트트레이싱시스템(20)을 구현하는 단계(S110)는, 프레임조립체(500)에 실제의 가스배관과 동일한 규격의 가스배관이 포함된 라인히터조립체와 라인히터의 온도를 측정하는 제어부를 설치하는 단계를 포함할 수 있다. 특히 시험가스배관은 상온에서 고체 상태인 물질이 기체로 상태변화된 후 승화성 가스를 운반하는 시험가스배인인 것을 특징으로 한다. 대표적인 승화성 물질로서 이산화몰리브덴이 사용될 수 있으며, 승화 온도인 176도씨 이상의 온도로 가열되는 것이 필요한다.The step (S110) of implementing the experimental heat tracing system 20 involves installing a line heater assembly containing a gas pipe of the same standard as the actual gas pipe in the frame assembly 500 and a control unit that measures the temperature of the line heater. It may include steps. In particular, the test gas pipe is characterized as a test gas vessel that transports sublimable gas after a substance that is solid at room temperature changes into a gas state. Molybdenum dioxide can be used as a representative sublimation material, and it needs to be heated to a temperature of 176 degrees Celsius or higher, which is the sublimation temperature.

라인히터의 온도를 측정하는 단계(S120)는 라인히터조립체를 구성하는 내부단열재의 구성 변화에 따라 제어부(600)를 통해 라인히터의 온도를 측정하는 단계(S121)를 포함할 수 있다.The step of measuring the temperature of the line heater (S120) may include the step of measuring the temperature of the line heater through the control unit 600 according to a change in the composition of the internal insulation material constituting the line heater assembly (S121).

여기서, 라인히터조립체(100)는, 테스트대상에 포함된 시험가스배관(200), 가스배관의 가열에 사용되는 라인히터(310), 및 시험가스배관(200)과 라인히터(310)의 표면을 감싸도록 설치되는 피복재(400)를 포함하도록 구성될 수 있다.Here, the line heater assembly 100 includes the test gas pipe 200 included in the test object, the line heater 310 used to heat the gas pipe, and the surfaces of the test gas pipe 200 and the line heater 310. It may be configured to include a covering material 400 installed to surround the .

이하 예시를 통해 라인히터 테스트장비(10)를 이용하여 라인히터(310)의 온도를 측정하는 단계에 대해 설명하기로 한다.The steps for measuring the temperature of the line heater 310 using the line heater test equipment 10 will be described through an example below.

도 5는 제1테스트에서 사용된 라인히터조립체의 단면도이다.Figure 5 is a cross-sectional view of the line heater assembly used in the first test.

도 5를 참조하면, 제1테스트에 사용된 라인히터조립체(100)의 단면이 묘사되어 있다. 라인히터조립체(100)는, 시험가스배관(200) 및 라인히터(310)를 감싸는 4회의 작업에 의한 4개 층의 열차단필름(411), 4회의 작업에 의한 4개 층의 열차단금속박(412) 및 1회의 작업에 의한 1개 층의 외부피복(420)을 포함할 수 있다.Referring to FIG. 5, a cross section of the line heater assembly 100 used in the first test is depicted. The line heater assembly 100 consists of four layers of heat-insulating film 411 made by four operations, and four layers of heat-insulating metal foil wrapped by four operations surrounding the test gas pipe 200 and the line heater 310. (412) and one layer of external coating (420) by one operation.

열차단필름(411)으로 카본 열차단 비접착 테이프가 사용될 수 있다. 열차단금속박(412)으로 유리섬유 양면 알루미늄 호일이 사용될 수 있다. 그리고 외부피복(420)으로 고무발포단열재가 사용될 수 있다.Carbon heat-blocking non-adhesive tape can be used as the heat-blocking film 411. Glass fiber double-sided aluminum foil can be used as the heat insulating metal foil 412. And a rubber foam insulating material may be used as the external covering 420.

도 6은 도 5의 라인히터를 이용한 제1테스트에서 온도 분포의 예시도이다.Figure 6 is an example of temperature distribution in the first test using the line heater of Figure 5.

도 6을 참조하면, 제1테스트에서 최고온도는 205도씨이다.Referring to Figure 6, the highest temperature in the first test was 205 degrees Celsius.

도 7은 도 5의 라인히터를 이용한 제1테스트에서 온도 변화 그래프이다.Figure 7 is a graph of temperature change in the first test using the line heater of Figure 5.

도 7을 참조하면, 제1테스트에서 온도 측정을 시작한지 약 3시간 경과한 시점에서 205도씨의 최고온도가 측정되었다.Referring to FIG. 7, the highest temperature of 205 degrees Celsius was measured about 3 hours after starting the temperature measurement in the first test.

도 8은 제2테스트에서 사용된 라인히터조립체의 단면도이다.Figure 8 is a cross-sectional view of the line heater assembly used in the second test.

도 8을 참조하면, 제2테스트에 사용된 라인히터조립체(100)의 단면이 묘사되어 있다. 라인히터조립체(100)는, 시험가스배관(200) 및 라인히터(310)를 감싸는 2회 작업에 의한 2개 층의 열차단필름(411a, 411b), 2회 작업에 의한 2개 층의 열차단금속박(412) 및 1회 작업에 의한 1개 층의 외부피복(420)을 포함할 수 있다.Referring to FIG. 8, a cross section of the line heater assembly 100 used in the second test is depicted. The line heater assembly 100 includes two layers of heat shielding films 411a and 411b wrapped around the test gas pipe 200 and the line heater 310, and a two-layer heat shield film 411a and 411b wrapped around the test gas pipe 200 and the line heater 310. It may include a single metal foil 412 and a one-layer outer coating 420 performed in one operation.

열차단필름(411a, 411b)으로 2가지 종류의 카본 열차단 비접착 테이프가 사용될 수 있다. 열차단금속박(412)으로 유리섬유 양면 알루미늄 호일이 사용될 수 있다. 그리고 외부피복(420)으로 고무발포단열재가 사용될 수 있다.Two types of carbon heat-blocking non-adhesive tapes can be used as heat-blocking films 411a and 411b. Glass fiber double-sided aluminum foil can be used as the heat insulating metal foil 412. And a rubber foam insulating material may be used as the external covering 420.

도 9는 도 8의 라인히터를 이용한 제2테스트에서 온도 분포의 예시도이다.Figure 9 is an example of temperature distribution in the second test using the line heater of Figure 8.

도 9를 참조하면, 제2테스트에서 최고온도는 194.2도씨이다.Referring to Figure 9, the highest temperature in the second test was 194.2 degrees Celsius.

도 10은 도 8의 라인히터를 이용한 제2테스트에서 온도 변화 그래프이다.Figure 10 is a graph of temperature change in the second test using the line heater of Figure 8.

도 10을 참조하면, 제2테스트에서 온도 측정을 시작한지 약 3시간 경과한 시점에서 194.2도씨의 최고온도가 측정되었다.Referring to Figure 10, in the second test, the highest temperature of 194.2 degrees Celsius was measured about 3 hours after starting temperature measurement.

도 11은 제3테스트에서 사용된 라인히터조립체의 단면도이다.Figure 11 is a cross-sectional view of the line heater assembly used in the third test.

도 11을 참조하면, 제3테스트에 사용된 라인히터조립체(100)의 단면이 묘사되어 있다. 라인히터조립체(100)는, 시험가스배관(200) 및 라인히터(310)를 감싸는 2회 작업에 의한 2개 층의 열차단필름(411a, 411b), 3회 작업에 의한 3개 층의 열차단금속박(412) 및 1회 작업에 의한 1개 층의 외부피복(420)을 포함할 수 있다.Referring to FIG. 11, a cross section of the line heater assembly 100 used in the third test is depicted. The line heater assembly 100 consists of two layers of heat shielding film (411a, 411b) wrapped around the test gas pipe 200 and the line heater 310 by two operations, and a three-layer train by three operations. It may include a single metal foil 412 and a one-layer outer coating 420 performed in one operation.

열차단필름(411a, 411b)으로 2가지 종류의 카본 열차단 비접착 테이프가 사용될 수 있다. 열차단금속박(412)으로 유리섬유 양면 알루미늄 호일이 사용될 수 있다. 그리고 외부피복(420)으로 고무발포단열재가 사용될 수 있다.Two types of carbon heat-blocking non-adhesive tapes can be used as heat-blocking films 411a and 411b. Glass fiber double-sided aluminum foil can be used as the heat insulating metal foil 412. And a rubber foam insulating material may be used as the external covering 420.

도 12는 도 11의 라인히터를 이용한 제3테스트에서 온도 분포의 예시도이다.Figure 12 is an example of temperature distribution in the third test using the line heater of Figure 11.

도 12를 참조하면, 제3테스트에서 최고온도는 191.1도씨이다.Referring to Figure 12, the highest temperature in the third test was 191.1 degrees Celsius.

도 13은 도 11의 라인히터를 이용한 제3테스트에서 온도 변화 그래프이다.Figure 13 is a graph of temperature change in the third test using the line heater of Figure 11.

도 13을 참조하면, 제3테스트에서 온도 측정을 시작한지 약 3시간 경과한 시점에서 191.1도씨의 최고온도가 측정되었다.Referring to Figure 13, in the third test, the highest temperature of 191.1 degrees Celsius was measured about 3 hours after starting the temperature measurement.

제1테스트, 제2테스트 및 제3테스트의 온도측정 결과를 종합하면, 제1테스트에서 보온재의 외곽 사이즈는 120, 시공횟수는 9회 그리고 최고온도는 205도씨이다. 제2테스트에서 보온재의 외곽 사이즈는 100, 시공횟수는 5회 그리고 최고온도는 194.2도씨이다. 제3테스트에서 보온재의 외곽 사이즈는 100, 시공횟소는 6회 그리고 최고온도는 191.1도씨이다.Comprising the temperature measurement results of the first test, second test, and third test, the outer size of the insulation material in the first test was 120, the number of applications was 9, and the maximum temperature was 205 degrees Celsius. In the second test, the outer size of the insulation material was 100, the number of applications was 5, and the maximum temperature was 194.2 degrees Celsius. In the third test, the outer size of the insulation material was 100, the number of construction times was 6, and the maximum temperature was 191.1 degrees Celsius.

제1테스트는 보온 효율이 가장 뛰어났지만, 시공횟수에 따른 시공비, 인건비 및 자재비가 높게 나오는 것이 단점이다. 제2테스트는 시공횟수가 가장 적고, 보온 효율이 제1테스트에 비해 낮은 것이 단점이다. 제3테스트는 시공횟수가 두번째로 적고, 제2테스트 대비 시공횟수가 많음에도 불구하고 보온 효율이 떨어지는 것이 단점이다.The first test had the highest thermal insulation efficiency, but its disadvantage was that construction, labor, and material costs were high depending on the number of construction times. The disadvantage of the second test is that it requires the least number of constructions and its thermal insulation efficiency is lower than that of the first test. The third test has the second-lowest number of constructions, and although the number of constructions is greater than that of the second test, its thermal insulation efficiency is low.

따라서, 요구되는 목표온도에 따라서, 목표온도가 200도씨인 경우, 제1테스트가 최종 선택될 수 있고, 목표온도가 194도씨인 경우에는 가장 경제성이 높은 제2테스트가 최종 선택될 수 있다.Therefore, depending on the required target temperature, if the target temperature is 200 degrees Celsius, the first test can be finally selected, and if the target temperature is 194 degrees Celsius, the most economical second test can be finally selected. .

본 발명의 일 실시 예에 따른 라인히터 테스트장비(10)는 상온에서 고체로 존재하는 무기물을 승화시켜 가스 상태를 유지시켜야 하는 히트트레이싱시스템(20)의 시공에 앞서서 히트트레이싱시스템(20)과 동일한 조건, 예를 들어 동일한 시험가스배관(200) 및 대기환경에서, 어떤 종류의 내부단열재를 몇 회 사용할 것인가를 테스트할 수 있는 장비에 해당한다.The line heater test equipment 10 according to an embodiment of the present invention is the same as the heat tracing system 20 prior to construction of the heat tracing system 20, which must maintain the gas state by sublimating inorganic substances existing as solids at room temperature. It corresponds to equipment that can test what type of internal insulation material will be used and how many times under the same conditions, for example, the same test gas pipe 200 and atmospheric environment.

이와 같이 본 발명의 일 실시 예에 따르면, 야외에 설치되는 히트트레이싱시스템의 설치에 앞서 실제 시뮬레이션을 통해 온도를 측정하고, 히트트레이싱시스템을 테스트할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the temperature can be measured through actual simulation and the heat tracing system can be tested prior to installation of the heat tracing system installed outdoors.

또한, 테스트를 통해 가장 경제적이고 효율성이 좋은 히트트레이싱시스템의 단열재 및 보온재의 구성을 선택할 수 있다.In addition, through testing, it is possible to select the most economical and efficient composition of insulation and insulation materials for the heat tracing system.

이상, 일부 예를 들어서 본 발명의 바람직한 여러 가지 실시 예에 대해서 설명하였지만, 본 "발명을 실시하기 위한 구체적인 내용" 항목에 기재된 여러 가지 다양한 실시 예에 관한 설명은 예시적인 것에 불과한 것이며, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이상의 설명으로부터 본 발명을 다양하게 변형하여 실시하거나 본 발명과 균등한 실시를 행할 수 있다는 점을 잘 이해하고 있을 것이다.Above, various preferred embodiments of the present invention have been described by giving some examples, but the description of the various embodiments described in the "Detailed Contents for Carrying out the Invention" section is merely illustrative and the present invention Those skilled in the art will understand from the above description that the present invention can be implemented with various modifications or equivalent implementations of the present invention.

또한, 본 발명은 다른 다양한 형태로 구현될 수 있기 때문에 본 발명은 상술한 설명에 의해서 한정되는 것이 아니며, 이상의 설명은 본 발명의 개시 내용이 완전해지도록 하기 위한 것으로 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것일 뿐이며, 본 발명은 청구범위의 각 청구항에 의해서 정의될 뿐임을 알아야 한다.In addition, since the present invention can be implemented in various other forms, the present invention is not limited by the above description. The above description is intended to make the disclosure of the present invention complete and is commonly used in the technical field to which the present invention pertains. It is provided only to fully inform those with knowledge of the scope of the present invention, and it should be noted that the present invention is only defined by each claim in the claims.

10: 라인히터 테스트장비
20: 히트트레이싱시스템
100: 라인히터조립체
200: 시험가스배관
310: 라인히터
600: 제어부
10: Line heater test equipment
20: Heat tracing system
100: Line heater assembly
200: Test gas piping
310: Line heater
600: Control unit

Claims (14)

실제의 가스배관에 구축 예정인 히트트레이싱시스템의 구성에 맞게 시험적으로 구현된 라인히터조립체(line heater assembly);
상기 라인히터조립체가 설치되는 프레임조립체(frame);
상기 라인히터조립체를 상기 프레임조립체에 부착하기 위한 복수의 브라켓; 및
상기 라인히터조립체와 전기적으로 결합하고, 상기 라인히터조립체의 온도변화를 측정하는 제어부를 포함하고,
상기 라인히터조립체는,
상기 실제의 가스배관과 동일한 규격의 시험가스배관;
상기 시험가스배관의 가열에 사용되는 라인히터;
상기 시험가스배관 및 상기 라인히터의 표면을 감싸도록 설치되는, 피복재를 포함하도록 구성되는,
라인히터 테스트장비.
A line heater assembly experimentally implemented to suit the configuration of a heat tracing system scheduled to be built in an actual gas pipe;
A frame assembly on which the line heater assembly is installed;
a plurality of brackets for attaching the line heater assembly to the frame assembly; and
A control unit electrically coupled to the line heater assembly and measuring a temperature change of the line heater assembly,
The line heater assembly is,
A test gas pipe of the same standard as the actual gas pipe;
A line heater used to heat the test gas pipe;
Configured to include a covering material installed to surround the surface of the test gas pipe and the line heater,
Line heater test equipment.
청구항 1에 있어서, 상기 시험가스배관은,
상온에서 고체 상태인 물질이 기체로 상태변화된 후 승화된 가스를 운반하는 시험가스배관인 것을 특징으로 하는,
라인히터 테스트장비.
The method of claim 1, wherein the test gas pipe is,
Characterized in that it is a test gas pipe that transports sublimated gas after a substance in a solid state at room temperature changes into a gas state.
Line heater test equipment.
청구항 1에 있어서, 상기 피복재는.
내부단열재 및 외부피복를 포함하도록 구성되는,
라인히터 테스트장비.
The method according to claim 1, wherein the covering material.
Constructed to include internal insulation and external covering,
Line heater test equipment.
청구항 3에 있어서, 상기 내부단열재는
열차단 필름 및 열차단 금속박을 포함하고,
상기 제어부는, 상기 열차단 필름과 상기 열차단 금속박의 종류, 및 시공횟수의 변화에 따른 상기 라인히터의 구동을 통해 상기 라인히터의 온도를 측정하도록 구성되는,
라인히터 테스트장비.
The method of claim 3, wherein the internal insulation material is
Contains a heat barrier film and a heat barrier metal foil,
The control unit is configured to measure the temperature of the line heater through driving the line heater according to changes in the type of the heat barrier film and the heat barrier metal foil and the number of applications,
Line heater test equipment.
청구항 1에 있어서, 상기 프레임조립체는,
저면에 이동용휠을 포함하고,
상기 제어부는, 상기 이동용휠을 이용한 이동을 통해 상기 실제의 가스배관이 설치된 환경의 대기와 동일한 조건에서 상기 라인히터의 온도를 측정하도록 구성되는,
라인히터 테스트장비.
The method of claim 1, wherein the frame assembly:
Includes a moving wheel on the bottom,
The control unit is configured to measure the temperature of the line heater under the same conditions as the atmosphere in the environment where the actual gas pipe is installed through movement using the moving wheel,
Line heater test equipment.
청구항 1에 있어서, 상기 프레임조립체는,
복수의 프레임모듈을 포함하고,
상기 프레임모듈은 원통 또는 다각기둥 형태로 조립될 수 있고,
상기 라인히터조립체는, 상기 원통 또는 다각기둥의 둘레에 감기면서 경사진 나선 모양으로 형성되는 것을 특징으로 하는,
라인히터 테스트장비.
The method of claim 1, wherein the frame assembly:
Contains a plurality of frame modules,
The frame module may be assembled in the form of a cylinder or polygonal column,
The line heater assembly is wound around the cylinder or polygonal column and is formed in an inclined spiral shape.
Line heater test equipment.
청구항 1에 있어서, 상기 라인히터는,
전원에 연결된 한 쌍의 모선;
상기 모선과 연결되는 열선 및;
상기 열선의 온도를 측정하는 광파이버센서를 포함하도록 구성되는,
라인히터 테스트장비.
The method of claim 1, wherein the line heater,
A pair of busbars connected to a power source;
a heating wire connected to the mothership;
Configured to include an optical fiber sensor that measures the temperature of the heating wire,
Line heater test equipment.
시뮬레이션 대상으로서 실제의 가스배관에 구축 예정인 히트트레이싱시스템의 구성을 따라 시험적 히트트레이싱시스템을 구현하는 단계; 및
상기 시험적 히트트레이싱시스템으로서 구현된 라인히터 테스트장비를 이용하여 라인히터조립체(line heater assembly)에 포함된 라인히터의 온도를 측정하는 단계를 포함하고,
상기 시험적 히트트레이싱시스템을 구현하는 단계는,
프레임조립체에 상기 실제의 가스배관과 동일한 규격의 시험가스배관이 포함된 상기 라인히터조립체와 상기 라인히터의 온도를 측정하는 제어부를 설치하는 단계를 포함하고,
상기 라인히터의 온도를 측정하는 단계는,
상기 라인히터조립체를 구성하는 내부단열재의 구성 변화에 따라 상기 제어부를 통해 상기 라인히터의 온도를 측정하는 것을 특징으로 하는,
라인히터 테스트방법.
Implementing a pilot heat tracing system according to the configuration of a heat tracing system scheduled to be built in an actual gas pipe as a simulation target; and
A step of measuring the temperature of a line heater included in a line heater assembly using a line heater test equipment implemented as the experimental heat tracing system,
The step of implementing the experimental heat tracing system is,
It includes the step of installing a control unit for measuring the temperature of the line heater assembly and the line heater, which includes a test gas pipe of the same standard as the actual gas pipe, in the frame assembly,
The step of measuring the temperature of the line heater is,
Characterized in measuring the temperature of the line heater through the control unit according to changes in the composition of the internal insulation material constituting the line heater assembly,
Line heater test method.
청구항 8에 있어서, 상기 시험가스배관은,
상온에서 고체 상태인 물질이 기체로 상태변화된 후 승화성 가스를 운반하는 가스배관인 것을 특징으로 하는,
라인히터 테스트방법.
The method of claim 8, wherein the test gas pipe is,
Characterized in that it is a gas pipe that transports sublimable gas after a substance in a solid state at room temperature changes into a gas state.
Line heater test method.
청구항 9에 있어서,
상기 라인히터조립체를 설치하는 단계는,
내부단열재 및 외부피복을 이용하여 상기 시험가스배관 및 상기 라인히터조립체를 감싸는 단계를 포함하도록 구성되는,
라인히터 테스트방법.
In claim 9,
The step of installing the line heater assembly is,
Configured to include the step of surrounding the test gas pipe and the line heater assembly using an internal insulation material and an external covering,
Line heater test method.
청구항 10에 있어서, 상기 내부단열재는,
열차단 필름 및 열차단 금속박을 포함하고,
상기 라인히터의 온도를 측정하는 단계는,
상기 열차단 필름과 상기 열차단 금속박의 종류, 및 시공횟수의 변화에 따른 상기 라인히터의 구동을 통해 상기 제어부를 이용하여 상기 라인히터의 온도를 측정하는 단계를 포함하도록 구성되는,
라인히터 테스트방법.
The method of claim 10, wherein the internal insulation material is:
Contains a heat barrier film and a heat barrier metal foil,
The step of measuring the temperature of the line heater is,
Configured to include the step of measuring the temperature of the line heater using the control unit through driving the line heater according to changes in the type of the heat barrier film and the heat barrier metal foil and the number of times of construction,
Line heater test method.
청구항 8에 있어서,
프레임조립체에 설치된 이동용휠을 이용하여 상기 라인히터 테스트장비를 이동시키는 단계를 더 포함하고,
상기 라인히터의 온도를 측정하는 단계는,
상기 이동용휠을 이용한 이동을 통해 상기 실제의 가스배관이 설치된 환경의 대기와 동일한 조건의 챔버에서 상기 라인히터의 온도를 측정하는 것을 특징으로 하는,
라인히터 테스트방법.
In claim 8,
Further comprising the step of moving the line heater test equipment using a moving wheel installed on the frame assembly,
The step of measuring the temperature of the line heater is,
Characterized in measuring the temperature of the line heater in a chamber under the same conditions as the atmosphere in the environment where the actual gas pipe is installed through movement using the moving wheel,
Line heater test method.
청구항 8에 있어서,
상기 히트트레이싱시스템을 구현하는 단계는,
복수의 프레임모듈을 이용하여 상기 프레임조립체를 조립하는 단계를 포함하고,
상기 프레임모듈은 원통 또는 다각기둥 형태로 조립될 수 있고,
상기 라인히터조립체는, 상기 원통 또는 다각기둥의 둘레에 감기면서 경사진 나선 모양으로 형성되는 것을 특징으로 하는,
라인히터 테스트방법.
In claim 8,
The step of implementing the heat tracing system is,
Comprising the step of assembling the frame assembly using a plurality of frame modules,
The frame module may be assembled in the form of a cylinder or polygonal column,
The line heater assembly is formed in an inclined spiral shape while being wound around the cylinder or polygonal column.
Line heater test method.
청구항 8에 있어서,
상기 히트트레이싱시스템을 구현하는 단계는,
상기 라인히터로서 전원에 연결된 한 쌍의 모선, 상기 모선과 연결되는 열선 및 상기 열선의 온도를 측정하는 광파이버센서를 포함하는 라인히터를 이용하는 단계를 포함하도록 구성되는,
라인히터 테스트방법.
In claim 8,
The step of implementing the heat tracing system is,
Configured to include the step of using a line heater including a pair of busbars connected to a power source, a heating wire connected to the busbar, and an optical fiber sensor that measures the temperature of the heating wire as the line heater,
Line heater test method.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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