KR20240050069A - Glass Nozzle for Ink with Ink Ejection Device - Google Patents
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Abstract
잉크 토출 장치에 구비된 잉크용 유리 노즐은 하방의 직경이 작아지는 원뿔형으로 끝단이 뽀족한 형상이고, 잉크가 토출되는 배출구를 구비하고, 외주면에 전도성막을 코팅한 노즐 본체를 포함하며, 노즐 본체의 외주면에는 하방 영역 끝단으로부터 일정 길이의 전도성막을 형성하지 않는 비어 있는 영역을 포함한다.
본 발명은 노즐 끝단에서 일정 길이로 전도성막을 코팅하지 않는 영역을 형성하여 노즐 끝단의 전도성막과 반응이 일어나 유리 노즐의 토출구를 막아버리는 현상을 방지할 수 있는 효과가 있다.
본 발명은 노즐 끝단에서 일정 길이로 전도성막을 코팅하지 않는 영역을 형성하여 잉크용 유리 노즐에서 잉크가 토출하는 과정에서 보드의 배선과 노즐 끝단의 전도성막 사이에서 스파크(Spark)가 발생하는 문제점을 방지할 수 있는 효과가 있다.The glass nozzle for ink provided in the ink ejection device has a cone shape with a smaller diameter at the bottom and a sharp end, and includes a nozzle body coated with a conductive film on the outer circumferential surface and an outlet through which ink is ejected. The outer peripheral surface includes an empty area that does not form a conductive film of a certain length from the end of the lower area.
The present invention has the effect of forming an area that is not coated with a conductive film at a certain length at the end of the nozzle, thereby preventing a phenomenon in which a reaction occurs with the conductive film at the end of the nozzle, blocking the discharge port of the glass nozzle.
The present invention prevents the problem of sparks occurring between the wiring of the board and the conductive film at the end of the nozzle when ink is ejected from the ink glass nozzle by forming an area that is not coated with a conductive film at a certain length at the end of the nozzle. There is an effect that can be done.
Description
본 발명은 잉크 토출 장치에 구비된 잉크용 유리 노즐에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 잉크에 포함된 반응성 용매가 노즐의 외주면에 코팅된 전도성막과 반응하여 발생하는 문제점을 해결하기 위하여 노즐 끝단에서 일정 길이로 전도성막을 코팅하지 않는 영역을 형성하는 잉크 토출 장치에 구비된 잉크용 유리 노즐에 관한 것이다.The present invention relates to a glass nozzle for ink provided in an ink ejection device. More specifically, the present invention relates to a glass nozzle for ink provided in an ink ejection device. More specifically, the present invention relates to a glass nozzle for ink provided in an ink ejection device, and more specifically, to solve the problem caused by the reactive solvent contained in the ink reacting with the conductive film coated on the outer peripheral surface of the nozzle. It relates to a glass nozzle for ink provided in an ink ejection device that forms a lengthwise area that is not coated with a conductive film.
최근 출시되는 다양한 전자 제품들은 그 내부에 각종 기능을 수행하는 반도체 소자들이 구비된다. 반도체 소자들 은 경량화 및 박형화되는 추세이고, 반도체 소자들을 연결하는 패턴라인들의 선폭은 점차 얇아지고 있다.Various electronic products released recently are equipped with semiconductor devices that perform various functions. Semiconductor devices are becoming lighter and thinner, and the width of pattern lines connecting semiconductor devices is gradually becoming thinner.
또한, 스마트폰 및 랩탑 등 모바일 기기의 디스플레이들이 경량화 및 소형화되면서 이들 기기의 디스플레이를 구동하는 PCB(Printed Circuit Board)의 패턴라인들이 미세하고 복잡하게 형성되고 있다.In addition, as the displays of mobile devices such as smartphones and laptops become lighter and smaller, the pattern lines of the printed circuit board (PCB) that drives the displays of these devices are becoming finer and more complex.
이러한 반도체나 FPD 또는 PCB 등을 제조하는 각종 설비에는, 전기수력학적(Electrohydrodynamic, EHD) 현상을 이용하여 노즐에서 도전성 잉크를 미세한 액적으로 토출하면서 수μm 너비의 패턴 라인으로 형성 가능한 리페어 장치가 마련되고, 리페어 장치에는 전기수력학을 이용하여 도전성 잉크를 토출하는 잉크용 분사 노즐이 구비된다.Various facilities that manufacture such semiconductors, FPDs, or PCBs are equipped with repair devices that can form pattern lines several μm wide by ejecting conductive ink as fine droplets from a nozzle using the electrohydrodynamic (EHD) phenomenon. , the repair device is equipped with an ink injection nozzle that ejects conductive ink using electrohydraulics.
전기수력학을 이용하여 잉크용 분사 노즐에서 극미량의 도전성 잉크를 토출하기 위해서는 노즐이 전극으로 작용하여 노즐의 하측에 전기장이 형성되어야 한다. 따라서, 잉크용 분사 노즐은 금속으로 제작되거나 적어도 외주면에 전도성막이 형성되어야 한다.In order to eject a very small amount of conductive ink from an ink injection nozzle using electrohydrodynamics, the nozzle must act as an electrode and an electric field must be formed below the nozzle. Therefore, the ink spray nozzle must be made of metal or at least have a conductive film formed on the outer peripheral surface.
그러나 잉크용 분사 노즐이 유리로 제작되는 이유는 금속으로 제작하게 되면, 노즐의 가공이 어려워져서 끝단 면적을 원하는 만큼 작게 형성하기 어렵다. 따라서, 잉크용 분사 노즐은 유리로 제작하여 외주면에 전도성막을 코팅한다. 이러한 잉크용 유리 노즐은 노즐의 가공이 쉬워져 끝단 면적을 원하는 만큼 작게 형성할 수 있고, 노즐의 외주면에 균일하게 코팅된 금속막에 의하여 노즐의 하측에 전기장을 균일하게 형성할 수 있는 장점이 있다.However, the reason why the ink spray nozzle is made of glass is because if it is made of metal, processing of the nozzle becomes difficult, making it difficult to form the end area as small as desired. Therefore, the ink injection nozzle is made of glass and a conductive film is coated on the outer circumferential surface. These glass nozzles for ink have the advantage of making the nozzle easier to process, allowing the tip area to be as small as desired, and having the metal film uniformly coated on the outer circumferential surface of the nozzle to form an electric field uniformly on the lower side of the nozzle. .
잉크용 유리 노즐은 표면에 전도성막을 코팅하는 경우, 일반적인 잉크 사용 시 문제가 발생되지 않으나, 솔벤트 성분과 같은 특수한 성분이 포함된 잉크 사용 시 노즐 끝단의 전도성막과 반응이 일어나 유리 노즐의 토출구를 막아버리는 현상이 발생된다.If a conductive film is coated on the surface of the glass nozzle for ink, no problem occurs when using general ink. However, when ink containing special ingredients such as solvents is used, it reacts with the conductive film at the end of the nozzle, blocking the discharge port of the glass nozzle. A throwing away phenomenon occurs.
특정한 PCB 보드의 경우, 잉크용 유리 노즐에서 잉크가 토출하는 과정에서 보드의 배선과 노즐 끝단의 전도성막 사이에서 스파크(Spark)가 발생하는 문제점이 발생된다.In the case of certain PCB boards, a problem occurs in which sparks are generated between the wiring of the board and the conductive film at the end of the nozzle when ink is ejected from the ink glass nozzle.
이와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명은 잉크에 포함된 반응성 용매가 노즐의 외주면에 코팅된 전도성막과 반응하여 발생하는 문제점을 해결하기 위하여 노즐 끝단에서 일정 길이로 전도성막을 코팅하지 않는 영역을 형성하는 잉크 토출 장치에 구비된 잉크용 유리 노즐을 제공하는데 그 목적이 있다.In order to solve this problem, the present invention forms an area where the conductive film is not coated at a certain length at the end of the nozzle to solve the problem that occurs when the reactive solvent contained in the ink reacts with the conductive film coated on the outer peripheral surface of the nozzle. The purpose is to provide a glass nozzle for ink provided in an ink ejection device.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징에 잉크 토출 장치에 구비된 잉크용 유리 노즐은,The glass nozzle for ink provided in the ink ejection device is a feature of the present invention for achieving the above object,
하방의 직경이 작아지는 원뿔형으로 끝단이 뽀족한 형상이고, 잉크가 토출되는 배출구를 구비하고, 외주면에 전도성막을 코팅한 노즐 본체를 포함하며,It has a conical shape with a smaller diameter at the bottom and a pointed end, and includes a nozzle body with an outlet through which ink is ejected and coated with a conductive film on the outer peripheral surface,
상기 노즐 본체의 외주면에는 하방 영역 끝단으로부터 일정 길이의 전도성막을 형성하지 않는 비어 있는 영역을 포함한다.The outer peripheral surface of the nozzle body includes an empty area in which a conductive film is not formed with a certain length from the end of the lower area.
본 발명의 다른 특징에 잉크 토출 장치에 구비된 잉크용 유리 노즐은,Another feature of the present invention is the glass nozzle for ink provided in the ink ejection device,
하방의 직경이 작아지는 원뿔형으로 끝단이 뽀족한 형상이고, 잉크가 토출되는 배출구를 구비하고, 외주면에 코팅층을 형성하는 노즐 본체를 포함하고, 상기 코팅층은 제1 길이의 비전도성막과, 상기 비전도성막의 제1 길이보다 긴 제2 길이의 전도성막으로 이루어져 있으며, 상기 노즐 본체의 외주면에는 하방 영역 끝단으로부터 일정 길이의 상기 코팅층을 형성하지 않는 비어 있는 영역과, 상기 비어 있는 영역의 위에 상기 코팅층을 형성한다.It has a conical shape with a smaller diameter at the bottom and a pointed end, and includes a nozzle body having an outlet through which ink is ejected and forming a coating layer on an outer circumferential surface, wherein the coating layer includes a non-conductive film of a first length, and the vision It consists of a conductive film of a second length longer than the first length of the conductive film, and on the outer peripheral surface of the nozzle body, an empty area where the coating layer is not formed with a certain length from the end of the lower region, and the coating layer on the empty area. forms.
본 발명의 또 다른 특징에 잉크 토출 장치에 구비된 잉크용 유리 노즐은,Another feature of the present invention is the glass nozzle for ink provided in the ink ejection device,
하방의 직경이 작아지는 원뿔형으로 끝단이 뽀족한 형상이고, 잉크가 토출되는 배출구를 구비하고, 외주면에 코팅층을 형성하는 노즐 본체를 포함하고, 상기 코팅층은 일정한 길이의 전도성막과, 상기 전도성막의 일측 끝단을 일정 부분을 둘러싸는 형태의 소수성막을 형성하며, 상기 노즐 본체의 외주면에는 하방 영역 끝단으로부터 일정 길이의 상기 코팅층을 형성하지 않는 비어 있는 영역과, 상기 비어 있는 영역의 위에 상기 코팅층을 형성한다.It has a cone shape with a smaller diameter at the bottom and has a pointed end, and includes a nozzle body that has an outlet through which ink is ejected and forms a coating layer on the outer peripheral surface, wherein the coating layer includes a conductive film of a certain length, and a nozzle body of the conductive film. A hydrophobic film is formed to surround a certain portion of one end, and on the outer peripheral surface of the nozzle body, an empty region where the coating layer is not formed is formed at a certain length from the end of the lower region, and the coating layer is formed on the empty region. .
본 발명의 또 다른 특징에 잉크 토출 장치에 구비된 잉크용 유리 노즐은,Another feature of the present invention is the glass nozzle for ink provided in the ink ejection device,
하방의 직경이 작아지는 원뿔형으로 끝단이 뽀족한 형상이고, 잉크가 토출되는 배출구를 구비하고, 외주면에 코팅층을 형성하는 노즐 본체를 포함하고, 상기 코팅층은 제1 길이의 비전도성막과, 상기 비전도성막의 제1 길이보다 긴 제2 길이의 전도성막으로 이루어져 있으며, 상기 노즐 본체의 외주면에는 상기 코팅층을 형성한다.It has a conical shape with a smaller diameter at the bottom and a pointed end, and includes a nozzle body having an outlet through which ink is ejected and forming a coating layer on an outer circumferential surface, wherein the coating layer includes a non-conductive film of a first length, and the vision It consists of a conductive film of a second length longer than the first length of the conductive film, and the coating layer is formed on the outer peripheral surface of the nozzle body.
전술한 일정 길이는 2 내지 5mm인 것을 특징으로 한다.The above-mentioned constant length is characterized in that it is 2 to 5 mm.
전술한 구성에 의하여, 본 발명은 노즐 끝단에서 일정 길이로 전도성막을 코팅하지 않는 영역을 형성하여 노즐 끝단의 전도성막과 반응이 일어나 유리 노즐의 토출구를 막아버리는 현상을 방지할 수 있는 효과가 있다.Due to the above-described configuration, the present invention has the effect of forming an area that is not coated with a conductive film at a certain length at the end of the nozzle, thereby preventing a phenomenon in which a reaction occurs with the conductive film at the end of the nozzle and blocking the discharge port of the glass nozzle.
본 발명은 노즐 끝단에서 일정 길이로 전도성막을 코팅하지 않는 영역을 형성하여 잉크용 유리 노즐에서 잉크가 토출하는 과정에서 보드의 배선과 노즐 끝단의 전도성막 사이에서 스파크(Spark)가 발생하는 문제점을 방지할 수 있는 효과가 있다.The present invention prevents the problem of sparks occurring between the wiring of the board and the conductive film at the end of the nozzle when ink is ejected from the ink glass nozzle by forming an area that is not coated with a conductive film at a certain length at the end of the nozzle. There is an effect that can be done.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 전기 수력학을 이용하는 패턴라인 형성용 잉크 토출 장치의 구성을 나타낸 도면이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 노즐 스퍼터링 장치의 내부 구성을 나타낸 도면이다.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 잉크용 유리 노즐의 구조를 나타낸 도면이다.
도 4는 본 발명의 제2 실시예에 따른 잉크용 유리 노즐의 구조를 나타낸 도면이다.
도 5는 본 발명의 제3 실시예에 따른 잉크용 유리 노즐의 구조를 나타낸 도면이다.
도 6은 본 발명의 제4 실시예에 따른 잉크용 유리 노즐의 구조를 나타낸 도면이다.Figure 1 is a diagram showing the configuration of an ink ejection device for forming a pattern line using electrohydraulics according to an embodiment of the present invention.
Figure 2 is a diagram showing the internal configuration of a nozzle sputtering device according to an embodiment of the present invention.
Figure 3 is a diagram showing the structure of a glass nozzle for ink according to the first embodiment of the present invention.
Figure 4 is a diagram showing the structure of a glass nozzle for ink according to a second embodiment of the present invention.
Figure 5 is a diagram showing the structure of a glass nozzle for ink according to a third embodiment of the present invention.
Figure 6 is a diagram showing the structure of a glass nozzle for ink according to a fourth embodiment of the present invention.
명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.Throughout the specification, when a part is said to “include” a certain element, this means that it may further include other elements rather than excluding other elements, unless specifically stated to the contrary.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 전기 수력학을 이용하는 패턴라인 형성용 잉크 토출 장치의 구성을 나타낸 도면이다.Figure 1 is a diagram showing the configuration of an ink ejection device for forming a pattern line using electrohydraulics according to an embodiment of the present invention.
본 발명의 실시예에 따른 전기 수력학을 이용하는 패턴라인 형성용 잉크 토출 장치(100)는 기판(10)으로 잉크를 토출하는 잉크용 유리 노즐(120)을 구비한 노즐 유닛(110)과, 토출되는 잉크가 저장되는 잉크 저장부(111), 전원 공급부(112), 제어부(113)를 포함한다.The
노즐 유닛(110)은 잉크 저장부(111)로부터 잉크를 공급받아 잉크용 유리 노즐(120)을 통해 기판(10)으로 잉크를 토출한다.The
전원 공급부(112)는 노즐 유닛(110)으로부터 잉크가 토출되도록 기판(10)과 노즐 유닛(110)에 포함된 잉크용 유리 노즐(120) 사이에 전기장을 인가하기 위해 노즐 유닛(110)에 전원을 공급한다.The
제어부(113)는 미리 설정된 형태로 패턴라인(15)을 형성하거나 결합을 수리하도록 노즐 유닛(110), 잉크 저장부(111), 전원 공급부(112)를 제어한다.The
전원 공급부(112)는 직류 전원과 교류 전원 중 어느 하나가 사용될 수 있으며, 본 실시예에서는 교류 전원이 사용되는 것으로 예를 들어 설명한다. 전원 공급부(112)는 노즐 유닛(110)에 전기적으로 연결되고, 노즐 유닛(110)에 전기수력학적 현상이 발생되도록 교류 전압을 인가한다.The
교류 전압은 사인파형 교류 전압과 펄스형 교류 전압 중 어느 하나가 사용될 수 있다.As the alternating voltage, either a sinusoidal alternating voltage or a pulse-type alternating voltage may be used.
노즐 유닛(110)은 전원 공급부(112)에 의해 인가되는 전압에 의해 잉크용 유리 노즐(120)을 통해 잉크를 분사한다. 잉크용 유리 노즐(120)은 유리 소재의 재질로 제조하지만, 이에 한정하지 않으며 다양한 금속 재질도 포함할 수도 있다.The
잉크는 잉크 입자들과 반응성 용매(미도시)가 혼합된 상태이다. 여기서, 반응성 용매는 솔벤트일 수 있으며, 이에 한정되지 않으며, 다른 물질일 수 있다.Ink is a mixture of ink particles and a reactive solvent (not shown). Here, the reactive solvent may be a solvent, but is not limited thereto, and may be another substance.
솔벤트(solvent)는 메탄올(methanol), 에탄올(ethanol), 아세톤(acetone), 테트라데칸(tetradecane), 헥산(hexane), IPA 등을 포함한다.Solvents include methanol, ethanol, acetone, tetradecane, hexane, IPA, etc.
잉크는 Ag, Cu, Au, Cr, Co 등의 잉크 입자들을 포함하는 메탈 잉크나, PVP, PVA, PMMA, Polyurethane, PAN, PEN, OLED, P.PSS 등을 포함하는 오가닉(organic) 잉크를 포함한다.Ink includes metal ink containing ink particles such as Ag, Cu, Au, Cr, Co, etc., and organic ink containing PVP, PVA, PMMA, Polyurethane, PAN, PEN, OLED, P.PSS, etc. do.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 노즐 스퍼터링 장치의 내부 구성을 나타낸 도면이고, 도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 잉크용 유리 노즐의 구조를 나타낸 도면이다.Figure 2 is a diagram showing the internal structure of a nozzle sputtering device according to an embodiment of the present invention, and Figure 3 is a diagram showing the structure of a glass nozzle for ink according to a first embodiment of the present invention.
본 발명의 실시예에 따른 노즐 스퍼터링 장치(130)는 챔버(131) 내에 노즐 지지부(132), 스퍼터링 타겟부(133), 절연부(136), 마스크부(137) 및 전원부(138)를 포함한다.The
챔버(131)의 내부는 10-8 Torr 정도의 진공도를 유지하도록 한다.The interior of the
지지부(132)는 금속 박막 증착을 위해 챔버(131) 내부로 로딩되는 잉크용 유리 노즐(120)을 고정시킨다.The
스퍼터링 타겟부(133)는 잉크용 유리 노즐(120) 상에 증착될 물질로 구성되는 스퍼터링 타겟(134)과, 스퍼터링 타겟(134)을 지지하는 타겟 지지대(Backplate)(135)를 포함한다.The sputtering
스퍼터링 타겟(133)은 잉크용 유리 노즐(120)의 표면에 전도성막을 코팅하기 위하여 알루미늄(Al), 몰리브덴(Mo), 구리(Cu), 금(Au), 백금(Pt) 등과 같은 다양한 금속을 포함할 수 있으며, 유기 발광막, ITO 등을 포함할 수도 있다.The
타겟 지지대(135)는 전원부(138)로부터 음(-)의 전압을 인가받아 플라즈마 방전시 캐소드(cathod)의 역할을 한다. 한편, 전원부(138)의 전원이 직류(Direct Current, DC) 전원인 경우만 도시되어 있으나, 본 발명은 이에 한정되지 아니하고, 전원부(138)가 공급하는 전원은 고주파(Radio Frequency, RF) 전원 또는 DC 펄스 전원 등을 사용할 수도 있다.The
절연부(136)는 절연성이 높은 재질로 이루어져 있고, 마스크부(137)에 결합되어 있다. 마스크부(137)는 잉크용 유리 노즐(120)의 끝단으로부터 일정 거리 이격되어 잉크용 유리 노즐(120)의 끝단으로부터 상부로 2 내지 5mm까지 둘러싸도록 배치된다.The insulating
다시 말해, 마스크부(137)는 잉크용 유리 노즐(120)의 끝단으로부터 상부로 2 내지 5mm를 마스킹하여 스퍼터링 타겟(133)에 의해 분출되는 금속 물질로 증착되지 않도록 한다. 본 발명의 마스크부(137)는 잉크용 유리 노즐(120)의 끝단으로부터 상부로 2 내지 5mm를 마스킹하는 것이 바람직하나, 필요에 따라 전도성막을 코팅하지 않는 마스킹 면적(7mm, 10m 등)을 다르게 구성할 수 있다.In other words, the
마스크부(137)의 형상은 단면이 일측면이 개방된 'ㄷ' 형태일 수 있으며, 본 발명은 이에 한정되지 아니하고,'U' 형태 등 다양한 형상이 가능하다.The shape of the
마스크부(137)는 잉크용 유리 노즐(120)의 끝단 일부를 마스킹하여 전도성 물질이 증착되지 못하게 한다.The
본 발명은 잉크에 포함된 반응성 용매의 종류에 따라 잉크용 유리 노즐(120)의 끝단 부분에 전도성막을 코팅하지 않는 면적을 다르게 구성할 수 있다.In the present invention, the area not coated with a conductive film at the end of the
예를 들어, 반응성 용매가 솔벤트인 경우, 잉크용 유리 노즐(120)의 하방 영역 끝단으로부터 일정 길이로 몇 mm까지 반응하지 않는지 실험을 통해 파악한다. 솔벤트의 경우, 잉크용 유리 노즐(120)의 하방 영역 끝단으로부터 5mm 정도 코팅하지 않는 경우, 전도성막과 잉크의 솔벤트가 반응하지 않는다고 가정하면, 일정 길이는 5mm가 된다.For example, if the reactive solvent is a solvent, it is determined through experiment how many mm it does not react at a certain length from the end of the lower area of the
그러나 만약, A라는 반응성 용매인 경우, 잉크용 유리 노즐(120)의 하방 영역 끝단으로부터 5mm 코팅하지 않을 때, 전도성막과 잉크의 반응성 용매가 반응하는데 반해, 잉크용 유리 노즐(120)의 하방 영역 끝단으로부터 7mm 정도 코팅하지 않는 경우, 전도성막과 잉크의 솔벤트가 반응하지 않는다고 가정하면, 일정 길이는 7mm가 된다.However, in the case of a reactive solvent called A, when 5 mm is not coated from the end of the lower area of the
이와 같이, 잉크용 유리 노즐(120)의 제조 방법은 스퍼터링 현상을 이용하는 노즐 스퍼터링 장치(130)에서 소스 타겟에 충돌하는 이온 입자는 챔버 내의 플라즈마 여기에 의해 만들어진다.As such, in the method of manufacturing the
잉크용 유리 노즐(120)의 제조 방법을 살펴보면 다음과 같다. 먼저, 챔버(131)를 고진공으로 만든 다음, 낮은 압력의 스퍼터링 기체, 보통 아르곤(Ar) 또는 기타 반응성 가스를 챔버 내부로 흘려준다.The manufacturing method of the
그리고 스퍼터링 타겟(134)에 연결된 직류(Direct Current: DC) 또는 고주파(Radio Frequency; RF) 전원의 전원부(138)의 전원을 인가하여 음극에서 방출되어 가속된 자유전자가 아르콘 원자와 충돌하여 아르곤 원자를 이온화시킨다.Then, by applying power to the
아르곤 이온이 만들어지며 방출되는 전자와 전극에서 공급되는 전자가 계속적으로 가속 충돌하여 더욱 많은 이온을 만들어 내게 되며, 한편으로는 전자-이온의 재결합, 전극 및 챔버 내부벽과의 충돌 등으로 인해 전자가 소멸되기도 한다.Argon ions are created, and the electrons emitted and the electrons supplied from the electrode continuously accelerate and collide to create more ions. On the other hand, electrons disappear due to electron-ion recombination and collision with the electrode and the inner wall of the chamber. It can also happen.
이렇게 자유 전자의 생성 및 소멸 비율이 같을 때 안정된 평형 상태의 플라즈마가 형성된다. 타겟 물질로 덮여있는 타겟 지지대(135)는 잉크용 유리 노즐(120)에 비해 (-)전위로 유지되므로 양전하인 아르곤 이온이 스퍼터링 타겟(134) 쪽으로 가속되어 스퍼터링 타겟(134)과 충돌한다. 이때 hv 만큼의 에너지를 가지는 각 아르곤 이온은 충돌 시 에너지가 스퍼터링 타겟(134) 쪽으로 전이되고, 스퍼터링 타겟(134)을 구성하는 원소의 결합력과 전자의 일함수를 극복할 수 있을 때 타겟 물질이 증기의 형태로 방출되어 잉크용 유리 노즐(120)의 외주면 상에 증착하게 된다.When the generation and annihilation rates of free electrons are equal, plasma in a stable equilibrium state is formed. Since the
이때, 잉크용 유리 노즐(120)은 외주면 중에서 마스크부(137)를 제외한 영역에 전도성막을 증착하여 코팅된다.At this time, the
노즐 스퍼터링 장치(130)에서 마스크부(137)를 이용한 잉크용 유리 노즐(120)의 제조하면, 도 3과 같은 잉크용 유리 노즐(120)이 제조된다.When the
잉크용 유리 노즐(120)은 잉크 토출 장치(100)에 구비되어 잉크를 토출하는 장치이다.The
도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제1 실시예에 따른 잉크용 유리 노즐(120)은 하방의 직경이 작아지는 원뿔형으로 끝단이 뽀족한 형상이고, 잉크가 토출되는 배출구(122)를 구비하고, 외주면에 전도성막(123)을 증착하여 코팅한 노즐 본체(121)를 포함한다.As shown in FIG. 3, the
노즐 본체(121)의 외주면에는 마스크부(137)에 의해서 하방 영역 끝단으로부터 일정 길이의 전도성막(123))을 형성하지 않는 비어 있는 영역(124)을 형성한다.On the outer peripheral surface of the
도 4는 본 발명의 제2 실시예에 따른 잉크용 유리 노즐의 구조를 나타낸 도면이다.Figure 4 is a diagram showing the structure of a glass nozzle for ink according to a second embodiment of the present invention.
본 발명의 제2 실시예에 따른 잉크용 유리 노즐(120)은 하방의 직경이 작아지는 원뿔형으로 끝단이 뽀족한 형상이고, 잉크가 토출되는 배출구(122)를 구비하고, 외주면에 코팅층(140)을 형성하는 노즐 본체(121)를 포함한다.The
코팅층(140)은 제1 길이의 비전도성막(141)과, 비전도성막(141)의 제1 길이보다 긴 제2 길이의 전도성막(142)으로 이루어져 있다.The
노즐 본체(121)의 외주면에는 하방 영역 끝단으로부터 일정 길이의 코팅층(140)을 형성하지 않는 비어 있는 영역(124)과, 비어 있는 영역(124)의 위에 코팅층(140)을 형성한다.On the outer peripheral surface of the
도 5는 본 발명의 제3 실시예에 따른 잉크용 유리 노즐의 구조를 나타낸 도면이다.Figure 5 is a diagram showing the structure of a glass nozzle for ink according to a third embodiment of the present invention.
본 발명의 제3 실시예에 따른 잉크용 유리 노즐(120)은 하방의 직경이 작아지는 원뿔형으로 끝단이 뽀족한 형상이고, 잉크가 토출되는 배출구(122)를 구비하고, 외주면에 코팅층(150)을 형성하는 노즐 본체(121)를 포함한다.The
코팅층(150)은 일정한 길이의 전도성막(151)과, 전도성막(151)의 일측 끝단을 일정 부분을 둘러싸는 형태의 소수성막(152)을 형성한다.The
일반적으로 액체는 표면 장력이 있어 노즐 끝단을 타고 올라가는 성질이 있다. In general, liquid has surface tension and has the tendency to rise up the tip of the nozzle.
따라서, 소수성막(152)은 잉크가 토출될 때, 배출구(122)를 통해 토출한 잉크가 노즐 본체(121)의 끝단을 타고 외주면으로 올라가는 것을 방지하기 위하여 친수성인 잉크를 밀어내는 기능을 한다.Therefore, when ink is ejected, the
소수성막(152)은 친수성인 잉크를 밀어내는 소수성 재질의 막이면 어떠한 물질도 가능하며, 일례로 불소막이 형성될 수 있다.The
노즐 본체(121)의 외주면에는 하방 영역 끝단으로부터 일정 길이의 코팅층(150)을 형성하지 않는 비어 있는 영역(124)과, 비어 있는 영역(124)의 위에 코팅층(150)을 형성한다.On the outer peripheral surface of the
전술한 제1, 2, 3 실시예의 비어 있는 영역(124)의 일정 길이는 2 내지 5mm가 바람직하며, 반응성 용매의 종류에 따라 길이(7mm, 10mm 등)를 각각 다르게 형성할 수 있다.The predetermined length of the
도 6은 본 발명의 제4 실시예에 따른 잉크용 유리 노즐의 구조를 나타낸 도면이다.Figure 6 is a diagram showing the structure of a glass nozzle for ink according to a fourth embodiment of the present invention.
본 발명의 제4 실시예에 따른 잉크용 유리 노즐(120)은 하방의 직경이 작아지는 원뿔형으로 끝단이 뽀족한 형상이고, 잉크가 토출되는 배출구(122)를 구비하고, 외주면에 코팅층(160)을 형성하는 노즐 본체(121)를 포함한다.The
코팅층(160)은 제1 길이의 비전도성막(161)과, 비전도성막(161)의 제1 길이보다 긴 제2 길이의 전도성막(162)으로 이루어져 있다. 노즐 본체(121)의 외주면에는 코팅층(160)을 형성한다.The
이상에서 본 발명의 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.Although the embodiments of the present invention have been described in detail above, the scope of the present invention is not limited thereto, and various modifications and improvements made by those skilled in the art using the basic concept of the present invention defined in the following claims are also possible. It falls within the scope of rights.
10: 기판 100: 잉크 토출 장치
110: 노즐 유닛 111: 잉크 저장부
112: 전원 공급부 113: 제어부
120: 잉크용 유리 노즐 130: 노즐 스퍼터링 장치
131: 챔버 132: 노즐 지지부
133: 스퍼터링 타겟부 134: 스퍼터링 타겟
135: 타겟 지지대 136: 절연부
137: 마스크부 138: 전원부10: substrate 100: ink ejection device
110: nozzle unit 111: ink storage unit
112: power supply unit 113: control unit
120: Glass nozzle for ink 130: Nozzle sputtering device
131: Chamber 132: Nozzle support
133: sputtering target unit 134: sputtering target
135: target support 136: insulation portion
137: mask part 138: power supply part
Claims (6)
상기 노즐 본체의 외주면에는 하방 영역 끝단으로부터 일정 길이의 전도성막을 형성하지 않는 비어 있는 영역을 포함하는 잉크 토출 장치에 구비된 잉크용 유리 노즐.It has a conical shape with a smaller diameter at the bottom and a pointed end, and includes a nozzle body with an outlet through which ink is ejected and coated with a conductive film on the outer peripheral surface,
A glass nozzle for ink provided in an ink ejection device, wherein the outer peripheral surface of the nozzle body includes an empty area in which a conductive film of a certain length is not formed from an end of the lower area.
상기 코팅층은 제1 길이의 비전도성막과, 상기 비전도성막의 제1 길이보다 긴 제2 길이의 전도성막으로 이루어져 있으며,
상기 노즐 본체의 외주면에는 하방 영역 끝단으로부터 일정 길이의 상기 코팅층을 형성하지 않는 비어 있는 영역과, 상기 비어 있는 영역의 위에 상기 코팅층을 형성하는 잉크 토출 장치에 구비된 잉크용 유리 노즐.It has a conical shape with a smaller diameter at the bottom and a pointed end, and includes a nozzle body that has an outlet through which ink is ejected and forms a coating layer on the outer peripheral surface,
The coating layer consists of a non-conductive film of a first length and a conductive film of a second length longer than the first length of the non-conductive film,
A glass nozzle for ink provided in an ink ejection device, wherein an empty area in which the coating layer is not formed is formed on an outer peripheral surface of the nozzle body with a predetermined length from an end of the lower area, and the coating layer is formed on the empty area.
상기 코팅층은 일정한 길이의 전도성막과, 상기 전도성막의 일측 끝단을 일정 부분을 둘러싸는 형태의 소수성막을 형성하며,
상기 노즐 본체의 외주면에는 하방 영역 끝단으로부터 일정 길이의 상기 코팅층을 형성하지 않는 비어 있는 영역과, 상기 비어 있는 영역의 위에 상기 코팅층을 형성하는 잉크 토출 장치에 구비된 잉크용 유리 노즐.It has a conical shape with a smaller diameter at the bottom and a pointed end, and includes a nozzle body that has an outlet through which ink is ejected and forms a coating layer on the outer peripheral surface,
The coating layer forms a conductive film of a certain length and a hydrophobic film surrounding a certain portion of one end of the conductive film,
A glass nozzle for ink provided in an ink ejection device, wherein an empty area in which the coating layer is not formed is formed on an outer peripheral surface of the nozzle body with a predetermined length from an end of the lower area, and the coating layer is formed on the empty area.
상기 코팅층은 제1 길이의 비전도성막과, 상기 비전도성막의 제1 길이보다 긴 제2 길이의 전도성막으로 이루어져 있으며,
상기 노즐 본체의 외주면에는 상기 코팅층을 형성하는 잉크 토출 장치에 구비된 잉크용 유리 노즐.It has a conical shape with a smaller diameter at the bottom and a pointed end, and includes a nozzle body that has an outlet through which ink is ejected and forms a coating layer on the outer peripheral surface,
The coating layer consists of a non-conductive film of a first length and a conductive film of a second length longer than the first length of the non-conductive film,
A glass nozzle for ink provided in an ink ejection device that forms the coating layer on the outer peripheral surface of the nozzle body.
상기 일정 길이는 2 내지 5mm인 잉크 토출 장치에 구비된 잉크용 유리 노즐.According to any one of claims 1 to 3,
A glass nozzle for ink provided in an ink ejection device having a certain length of 2 to 5 mm.
상기 일정 길이는 상기 잉크에 포함된 반응성 용매의 종류에 따라 각각 다르게 형성하는 잉크 토출 장치에 구비된 잉크용 유리 노즐.According to any one of claims 1 to 3,
A glass nozzle for ink provided in an ink ejection device in which the predetermined length is formed differently depending on the type of reactive solvent contained in the ink.
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| KR1020220129796A KR20240050069A (en) | 2022-10-11 | 2022-10-11 | Glass Nozzle for Ink with Ink Ejection Device |
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| KR20240050069A true KR20240050069A (en) | 2024-04-18 |
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| KR (1) | KR20240050069A (en) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101000715B1 (en) | 2008-09-03 | 2010-12-10 | 연세대학교 산학협력단 | device for patterning conductive line by electrohydrodynamic spray type and patterning method using the same |
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2022
- 2022-10-11 KR KR1020220129796A patent/KR20240050069A/en not_active Application Discontinuation
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101000715B1 (en) | 2008-09-03 | 2010-12-10 | 연세대학교 산학협력단 | device for patterning conductive line by electrohydrodynamic spray type and patterning method using the same |
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