KR20240046997A

KR20240046997A - Basket structure of wire sawing equipment

Info

Publication number: KR20240046997A
Application number: KR1020220126081A
Authority: KR
Inventors: 배동우; 오기헌
Original assignee: 에스케이실트론 주식회사
Priority date: 2022-10-04
Filing date: 2022-10-04
Publication date: 2024-04-12

Abstract

본 발명은 잉곳 절삭을 위한 와이어가 결합된 롤러로 이물질이 유입되는 것을 방지하기 위해 상기 롤러의 상부에 배치하는 와이어 쏘잉 장비의 바스켓 구조에 관한 것으로, 상기 롤러의 회전축 길이 방향보다 길게 형성되어 양 단부가 상기 롤러의 회전축 양 단부보다 더 길게 배치되며, 상부에 수용홈이 형성된 제1 바스켓; 및 상기 제1 바스켓의 수용홈에 탈착가능하게 결합되는 제2 바스켓을 포함하는 와이어 쏘잉 장비의 바스켓 구조에 관한 것이다.The present invention relates to a basket structure of wire sawing equipment placed on top of the roller to prevent foreign substances from entering the roller to which the wire for cutting ingots is combined. It is formed longer than the longitudinal direction of the rotation axis of the roller and has both ends A first basket is disposed longer than both ends of the rotation shaft of the roller and has a receiving groove formed at the upper portion; And it relates to a basket structure of wire sawing equipment including a second basket detachably coupled to the receiving groove of the first basket.

Description

Basket structure of wire sawing equipment {BASKET STRUCTURE OF WIRE SAWING EQUIPMENT}

본 발명은 와이어 쏘잉 장비의 바스켓 구조에 관한 것으로서, 특히, 와이어 쏘잉 가공 또는 청소 작업시, 하부에 위치한 롤러 위로 이물질이 유입되는 것을 방지할 수 있도록 구성한 와이어 쏘잉 장비의 바스켓 구조에 관한 것이다.The present invention relates to a basket structure of wire sawing equipment, and in particular, to a basket structure of wire sawing equipment configured to prevent foreign substances from flowing onto the roller located at the bottom during wire sawing processing or cleaning work.

도 1은 3축 롤러 구조를 갖는 와이어 쏘잉 장비의 바스켓(basket)의 위치와 구조를 개념적으로 나타낸 도면이다.Figure 1 is a diagram conceptually showing the position and structure of a basket of wire sawing equipment with a three-axis roller structure.

와이어 쏘잉(wire sawimg) 장비는 블록(block) 상태의 실리콘 잉곳(Si-Ingot)을 롤러에 권취되어 고속 회전하는 절삭 와이어와 연마액(slurry)을 이용하여 낱장 단위의 웨이퍼(wafer)로 절삭하는 장비이다.Wire sawing equipment cuts block-shaped silicon ingots (Si-Ingots) into individual wafers using a high-speed rotating cutting wire and slurry wound on a roller. It's equipment.

도 1에 도시된 바와 같이, 일반적인 와이어 쏘잉 장비는 3개의 3축 롤러(2)를 가지며 상부에 두 개, 하부에 한 개가 배치된다. 3개의 롤러(2-1, 2-2, 2-3)에는 와이어(3)가 권취된다. 도 1의 하부에 박스 처리된 도면을 참조하면, 각 롤러(2-1, 2-2, 2-3)의 표면은 대개 우레탄 재질로 구성되며, 일정한 간격으로 그루브(groove) 가공처리 되어 각각의 그루브(도면번호 미기재)에는 일정한 두께의 와이어(3)가 안착지지된다.As shown in Figure 1, a typical wire sawing equipment has three three-axis rollers (2), two at the top and one at the bottom. The wire 3 is wound around three rollers 2-1, 2-2, and 2-3. Referring to the boxed drawing at the bottom of FIG. 1, the surface of each roller (2-1, 2-2, 2-3) is mostly made of urethane material and is grooved at regular intervals to form each roller (2-1, 2-2, 2-3). A wire 3 of a certain thickness is seated and supported in the groove (drawing number not shown).

또한, 두 개의 롤러(2-1, 2-2) 상부에는 잉곳(1)이 고정되어 있으며, 설정된 레시피(recipe)에 의해 절삭 가공된다. 이때, 연마액(SiC + Oil)이 와이어(3)에 분사되면서 절삭 공정이 수행된다.In addition, the ingot 1 is fixed on the upper part of the two rollers 2-1 and 2-2, and is cut according to a set recipe. At this time, the cutting process is performed while the polishing liquid (SiC + Oil) is sprayed onto the wire 3.

절삭 공정 수행 중 웨이퍼 파손 조각이나 잉곳 조각 및 와이어 조각 등과 같은 이물질(5)이 하부에 위치된 롤러(2-3)로 유입될 경우 와이어(3)가 그루브로부터 이탈하여 웨이퍼의 품질을 저하시키거나 와이어(3)의 단선을 유발할 수 있다. 도 1의 우측 상부 박스 처리된 도면 대용 사진의 이점쇄선 원으로 표시된 부분은 이물질 유입에 따른 웨이퍼 가공 불량 상태를 나타낸 것이다.During the cutting process, if foreign substances (5) such as broken wafer pieces, ingot pieces, or wire pieces enter the roller (2-3) located at the bottom, the wire (3) may deviate from the groove, deteriorating the quality of the wafer. This may cause disconnection of the wire (3). The portion indicated by the double-dashed circle in the upper right boxed drawing substitute photo of FIG. 1 indicates a defective wafer processing condition due to the inflow of foreign substances.

이와 같은 이물질(5)의 유입을 방지하고자 바스켓(4)을 사용하고 있으나, 바스켓(4) 청소를 위해 와이어 쏘잉 장비로부터 바스켓(4)을 분리하는 과정에서 연마액 덩어리나 전술한 이물질(5)이 하부에 위치한 롤러(2-3)로 떨어지면서 2차 오염이 발생될 수 있다. 이와 같은 2차 오염 역시 웨이퍼의 품질을 저하시키거나 와이어(3)의 단선을 유발할 수 있다.The basket (4) is used to prevent the inflow of foreign substances (5), but in the process of separating the basket (4) from the wire sawing equipment to clean the basket (4), chunks of polishing liquid or the aforementioned foreign substances (5) are removed. Secondary contamination may occur as it falls onto the roller (2-3) located below. Such secondary contamination may also deteriorate the quality of the wafer or cause disconnection of the wire 3.

따라서, 바스켓(4)의 청소 과정에서 발생할 수 있는 2차 오염을 방지하기 위한 근본적인 대책이 필요한 실정이다.Therefore, fundamental measures are needed to prevent secondary contamination that may occur during the cleaning process of the basket 4.

(0001) 일본특허공보 제5504471호(0001) Japanese Patent Publication No. 5504471 (0002) 일본공개특허공보 특개2016-203303호(0002) Japanese Patent Laid-Open No. 2016-203303

본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는, 전술한 문제를 해결하기 위해 2중 바스켓 구조를 적용한 와이어 쏘잉 장비의 바스켓 구조를 제공하는데 있다.The technical problem to be solved by the present invention is to provide a basket structure for wire sawing equipment using a double basket structure to solve the above-mentioned problem.

본 발명에서 이루고자 하는 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제들로 제한되지 않으며, 언급하지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The technical problems to be achieved in the present invention are not limited to the technical problems mentioned above, and other technical problems not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the description below. You will be able to.

상기와 같은 기술적 과제를 해결하기 위한 본 발명인 와이어 쏘잉 장비의 바스켓 구조는, 잉곳 절삭을 위한 와이어가 결합된 롤러로 이물질이 유입되는 것을 방지하기 위해 상기 롤러의 상부에 배치하는 와이어 쏘잉 장비의 바스켓 구조에 관한 것으로, 회전축 길이 방향으로 상기 롤러의 길이 방향보다 길게 형성되어 양 단부가 각각 상기 롤러의 양 단부보다 더 길게 배치되며, 상부에 수용홈이 형성된 제1 바스켓; 및 상기 제1 바스켓의 수용홈에 탈착가능하게 결합되는 제2 바스켓을 포함하는 것을 특징으로 한다.The basket structure of the wire sawing equipment of the present invention to solve the above technical problems is disposed on the upper part of the roller to prevent foreign substances from entering the roller to which the wire for cutting ingots is combined. Regarding this, a first basket is formed to be longer in the longitudinal direction of the rotation axis than the longitudinal direction of the roller, each end of which is longer than both ends of the roller, and a receiving groove is formed at the upper portion; and a second basket detachably coupled to the receiving groove of the first basket.

또한, 상기 제1 바스켓의 양 단부에는 각각 적어도 하나의 배출홀이 형성되는 것을 특징으로 한다.Additionally, at least one discharge hole is formed at both ends of the first basket.

또한, 상기 제1 바스켓의 하부면은, 중심 상부에서 상기 배출홀이 형성된 양측 하부로 경사지게 형성되는 것을 특징으로 한다.In addition, the lower surface of the first basket is inclined from the upper center to the lower portions of both sides where the discharge holes are formed.

또한, 상기 배출홀에는 거름망이 더 구비된 것을 특징으로 한다.In addition, the discharge hole is characterized in that a strainer is further provided.

또한, 상기 제2 바스켓은, 상부가 개방된 거름망 구조로 형성되는 것을 특징으로 한다.In addition, the second basket is characterized in that it is formed as a strainer structure with an open top.

또한, 상기 거름망은 금속 재질로 형성되며, 상기 거름망에는 적어도 하나의 마그넷이 더 결합되는 것을 특징으로 한다.In addition, the filter is made of a metal material, and at least one magnet is further coupled to the filter.

또한, 상기 마그넷은 상기 거름망의 하부면에 비해 작은 크기를 가지면서 자력에 의해 상기 제2 바스켓의 거름망에 탈부착되는 것을 특징으로 한다.In addition, the magnet is characterized in that it has a smaller size compared to the lower surface of the strainer and is attached and detachable to the strainer of the second basket by magnetic force.

또한, 상기 제1 바스켓의 수용홈 일 측면은 개방되고, 상기 제2 바스켓은 상기 수용홈의 개방된 일 측면을 통해 슬라이딩 방식으로 결합되는 것을 특징으로 한다.In addition, one side of the receiving groove of the first basket is open, and the second basket is coupled in a sliding manner through the open side of the receiving groove.

또한, 상기 제1 바스켓의 수용홈 일 측면에 대응되는 상기 제2 바스켓의 일 측면에는 손잡이가 배치된 것을 특징으로 한다.In addition, a handle is disposed on one side of the second basket corresponding to one side of the receiving groove of the first basket.

상기 본 발명의 양태들은 본 발명의 바람직한 실시예들 중 일부에 불과하며, 본원 발명의 기술적 특징들이 반영된 다양한 실시예들이 당해 기술분야의 통상적인 지식을 가진 자에 의해 이하 상술할 본 발명의 상세한 설명을 기반으로 도출되고 이해될 수 있다.The above aspects of the present invention are only some of the preferred embodiments of the present invention, and various embodiments reflecting the technical features of the present invention will be described in detail by those skilled in the art. It can be derived and understood based on.

이상에서 설명한 본 발명인 와이어 쏘잉 장비의 바스켓 구조는 다음과 같은 효과가 있다.The basket structure of the wire sawing equipment of the present invention described above has the following effects.

먼저, 2중 바스켓 구조를 적용함으로써 웨이퍼 파손 조각이나 잉곳 조각 및 와이어 조각 등과 같은 이물질 제거를 위한 바스켓 청소 작업시, 상부에 위치된 바스켓만 분리하여 세척할 수 있으므로 종래와 같이 바스켓 청소 작업 중 발생되는 하부에 위치된 롤러로의 이물질 낙하 문제를 방지할 수 있다.First, by applying a double basket structure, when cleaning the basket to remove foreign substances such as broken wafers, ingot pieces, and wire pieces, only the basket located at the top can be separated and cleaned, eliminating the problems generated during the basket cleaning work as in the past. This can prevent the problem of foreign substances falling onto the roller located at the bottom.

또한, 제1 바스켓에 배출홀을 구성함으로써, 제1 바스켓으로 유입된 이물질과 슬러리가 하부 롤러에 유입되는 것을 방지할 수 있다.In addition, by forming a discharge hole in the first basket, it is possible to prevent foreign substances and slurry flowing into the first basket from flowing into the lower roller.

또한, 제1 바스켓의 하부면을 경사지게 형성함으로써, 제1 바스켓에 유입된 이물질과 슬러리를 배출홀로 가이드하여 배출홀을 통한 원활한 배출을 유도할 수 있다.In addition, by sloping the lower surface of the first basket, foreign substances and slurry flowing into the first basket can be guided to the discharge hole to induce smooth discharge through the discharge hole.

또한, 금속 재질의 거름망에 마그넷을 결합함으로써, 탈부착이 용이함은 물론 금속 이물질까지도 흡착을 통해 걸러낼 수 있다.In addition, by combining a magnet with a metal filter, it is easy to attach and detach, and even metal foreign substances can be filtered out through adsorption.

또한, 제2 바스켓의 슬라이딩 방식의 탈착구조 및 손잡이를 적용하여, 제2 바스켓 분리 작업을 용이하게 수행할 수 있다.In addition, by applying a sliding detachment structure and a handle for the second basket, the second basket can be easily separated.

또한, 거름망을 통해 원하는 크기의 이물질을 걸러낼 수 있다.Additionally, foreign substances of the desired size can be filtered out through a strainer.

또한, 전술한 구조를 적용함으로써, 종래 제기되었던 문제점들을 해소시킬 수 있다.Additionally, by applying the above-described structure, problems previously raised can be solved.

본 발명에서 얻을 수 있는 효과는 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며 언급하지 않은 또 다른 효과들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The effects that can be obtained from the present invention are not limited to the effects mentioned above, and other effects not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the description below.

도 1은 3축 롤러 구조를 갖는 와이어 쏘잉 장비의 바스켓(basket)의 위치와 구조를 개념적으로 나타낸 도면,
도 2는 본 발명인 와이어 쏘잉 장비의 바스켓 구조의 일 실시례에 따른 분해 사시도,
도 3은 도 2의 결합사시도,
도 4는 도 2의 정면도,
도 5는 도 3의 정면도,
도 6은 본 발명에 따른 제2 바스켓에 마그넷이 결합된 상태를 나타낸 개념도,
도 7은 본 발명에 따른 제1 바스켓의 하부면과 배출홀 구조 및 제2 바스켓의 탈착 상태를 나타낸 개념도.1 is a diagram conceptually showing the position and structure of a basket of wire sawing equipment with a three-axis roller structure;
Figure 2 is an exploded perspective view of an embodiment of the basket structure of the wire sawing equipment of the present inventors;
Figure 3 is a combined perspective view of Figure 2;
Figure 4 is a front view of Figure 2,
Figure 5 is a front view of Figure 3;
Figure 6 is a conceptual diagram showing a state in which a magnet is coupled to a second basket according to the present invention;
Figure 7 is a conceptual diagram showing the lower surface and discharge hole structure of the first basket and the detachment state of the second basket according to the present invention.

이하, 본 발명을 구체적으로 설명하기 위해 실시례를 들어 설명하고, 발명에 대한 이해를 돕기 위해 첨부도면을 참조하여 상세하게 설명하기로 한다.Hereinafter, the present invention will be described with reference to examples to specifically explain the present invention, and will be described in detail with reference to the accompanying drawings to aid understanding of the invention.

도면에서 크기는 설명의 편의 및 명확성을 위하여 과장되거나 생략되거나 또는 개략적으로 도시되었다. 또한 각 구성요소의 크기는 실제 크기를 전적으로 반영하는 것은 아니며, 동일한 참조번호는 도면의 설명을 통하여 동일한 요소를 나타낸다.In the drawings, sizes are exaggerated, omitted, or schematically shown for convenience and clarity of explanation. Additionally, the size of each component does not entirely reflect the actual size, and the same reference number indicates the same element throughout the description of the drawings.

도 2는 본 발명인 와이어 쏘잉 장비의 바스켓 구조의 일 실시례에 따른 분해 사시도이고, 도 3은 도 2의 결합사시도이며, 도 4는 도 2의 정면도이고, 도 5는 도 3의 정면도이다.Figure 2 is an exploded perspective view according to an embodiment of the basket structure of the wire sawing equipment of the present invention, Figure 3 is a combined perspective view of Figure 2, Figure 4 is a front view of Figure 2, and Figure 5 is a front view of Figure 3.

먼저, 도 2 내지 도 5를 참조하여 본 발명인 와이어 쏘잉 장비의 바스켓 구조를 설명하면 다음과 같다.First, the basket structure of the wire sawing equipment of the present invention will be described with reference to FIGS. 2 to 5 as follows.

설명에 앞서 바스켓의 장착 위치는 도 1을 참조할 수 있으므로, 종래의 바스켓에 대응되는 제1 바스켓(10)의 장착 위치 및 장착 방법에 대한 설명은 편의상 생략하도록 한다.Prior to the explanation, the mounting position of the basket may refer to FIG. 1, so descriptions of the mounting position and mounting method of the first basket 10 corresponding to the conventional basket will be omitted for convenience.

본 발명은 잉곳 절삭을 위한 와이어가 결합된 롤러에 이물질이 유입되는 것을 방지하기 위해 롤러의 상부에 배치하는 와이어 쏘잉 장비의 바스켓 구조에 관한 것으로써, 2중 바스켓 구조가 적용되며, 일례로 제1 바스켓(10)과 제2 바스켓(20)을 포함하여 구성될 수 있다. 여기서, '이물질'이란 절삭 공정 수행 중 발생될 수 있는 웨이퍼 파손 조각이나 잉곳 조각, 와이어 조각 및 연마액 덩어리 등을 지칭하는 것으로 이해할 수 있다.The present invention relates to a basket structure of wire sawing equipment placed on the upper part of the roller to prevent foreign substances from entering the roller to which the wire for cutting ingots is combined. A double basket structure is applied, and as an example, the first It may be configured to include a basket 10 and a second basket 20. Here, 'foreign matter' can be understood to refer to broken wafer pieces, ingot pieces, wire pieces, and polishing fluid lumps that may be generated during the cutting process.

제1 바스켓(10)은 도 1에 도시된 바와 같이, 3개의 롤러(2-1, 2-2, 2-3) 중 하부에 위치한 하나의 롤러(2-3) 상부에 배치되며, 회전축 길이 방향으로 롤러(2-3)의 길이 방향보다 더 길게 형성될 수 있다. 이하, '롤러'는 하부에 위치한 하나의 롤러(2-3)를 의미하는 것으로 이해할 수 있다. 즉, 제1 바스켓(10)의 x축 방향 길이가 롤러(2-3)의 길이에 비해 더 길게 형성되므로, 제1 바스켓(10)의 x축 방향 양측 단부는 각각 롤러(2-3)의 양측 단부 외측에 배치될 수 있으며, 이에 대한 구조는 후술하기로 한다.As shown in FIG. 1, the first basket 10 is disposed on the upper part of one roller 2-3 located at the lower part of the three rollers 2-1, 2-2, and 2-3, and the rotation axis length is It may be formed to be longer than the longitudinal direction of the roller 2-3. Hereinafter, 'roller' can be understood to mean one roller (2-3) located at the bottom. That is, since the x-axis direction length of the first basket 10 is formed to be longer than the length of the roller 2-3, both ends of the first basket 10 in the It can be placed on the outside of both ends, and its structure will be described later.

제1 바스켓(10)은 상부가 개방되어 전체적으로 수용홈(11)을 형성하는 구조이다. 수용홈(11)의 일 측면은 개방된 구조이며, 개방된 일 측면 하부에는 소정 높이의 단턱(도면번호 미기재)이 형성될 수 있다. 단턱에는 손잡이(14)가 배치될 수 있다.The first basket 10 has a structure in which the upper part is open to form a receiving groove 11 as a whole. One side of the receiving groove 11 has an open structure, and a step (drawing number not shown) of a predetermined height may be formed in the lower part of the open side. A handle 14 may be placed on the step.

또한, 제1 바스켓(10)에는 복수의 배출홀(12)이 형성될 수 있으며, 이에 대해서도 후술하기로 한다.Additionally, a plurality of discharge holes 12 may be formed in the first basket 10, which will also be described later.

한편, 설명의 편의를 위해 손잡이(14)가 배치된 단턱 측을 제1 면(15)이라 칭하고, 제1 면(15)으로부터 x축 방향 반대쪽에 위치한 면을 제2 면(16)이라 칭하며, z축 방향 일측면을 제3 면(17)이라 칭하고, 제3 면(17)으로부터 z축 방향 반대쪽에 위치한 면을 제4 면(18)이라 칭하도록 한다. 후술할 제2 바스켓(20)의 측면도, 도면부호를 미기재 하였으나, 제1 바스켓(10)의 제1 면(15) 내지 제4 면(18)에 대응되는 면으로 생각할 수 있다.Meanwhile, for convenience of explanation, the step side where the handle 14 is placed is called the first side 15, and the side located opposite the x-axis direction from the first side 15 is called the second side 16. One side in the z-axis direction is called the third side 17, and the side located opposite the third side 17 in the z-axis direction is called the fourth side 18. The side view of the second basket 20, which will be described later, although reference numerals are not shown, it can be thought of as a surface corresponding to the first to fourth surfaces 15 to 18 of the first basket 10.

제2 바스켓(20)은 제1 바스켓(10)의 수용홈(11)에 결합될 수 있다. 도 2에서 제2 바스켓(20)은 제1 바스켓(10)의 상부에서 하부 방향, 즉 y축 방향으로 결합되는 상태로 도시하였으나, 제2 바스켓(20)은 수용홈(11)의 개방된 일 측면, 즉 제1 면(15)을 통해 x축 방향으로 슬라이딩되어 탈착가능하게 결합될 수 있다. 탈착 방식은 공지의 다양한 방법을 적용할 수 있으며, 일례로 볼트 체결방식을 적용할 수 있다. 즉, 제1 바스켓(10)의 제3 면(17)과 제4 면(18)의 상부 외측 수평 방향으로는 체결부(도면번호 미기재)가 형성되며, 이에 제2 바스켓(20)의 대응되는 측면부가 각각 볼트를 통해 체결 고정 및 고정된 상태가 해제될 수 있다. 도면 상에는 볼트의 체결 개수를 각 3개씩 총 6개로 도시하였으나, 이는 일 실시례를 도시한 것으로써, 체결 위치와 체결 개수는 작업 환경과 사용 환경에 따라 다르게 설정할 수 있을 것이다.The second basket 20 may be coupled to the receiving groove 11 of the first basket 10. In FIG. 2, the second basket 20 is shown coupled to the first basket 10 from the top to the bottom, that is, in the y-axis direction. However, the second basket 20 is connected to the open portion of the receiving groove 11. It can be detachably coupled by sliding in the x-axis direction through the side, that is, the first side 15. As for the detachment method, various known methods can be applied, and for example, the bolt fastening method can be applied. That is, a fastening portion (number not shown) is formed on the upper outer horizontal direction of the third surface 17 and the fourth surface 18 of the first basket 10, and the corresponding fastener of the second basket 20 is formed. The side parts may be fastened and released through bolts, respectively. In the drawing, the number of fastened bolts is shown as a total of 6, with 3 bolts each. However, this shows one embodiment, and the fastening position and number of fastening bolts may be set differently depending on the work environment and use environment.

제2 바스켓(20)은 상부가 개방된 거름망으로 구성될 수 있다. 즉, 제2 바스켓(20)의 하부면과 제3 면(17) 및 제4 면(18)에 대응되는 면을 거름망으로 구성할 수 있다. 제1 바스켓(10)의 제1 면(15)과 제2 면(16)에 대응되는 면은 거름망 구조가 아닌 면으로 구성할 수 있다. 거름망에는 거름망의 처짐과 텐션 및 강성 등을 보강하기 위한 지지프레임(도면번호 미기재) 등이 구성될 수 있다. 거름망의 재질은 다양한 재질로 구성할 수 있으며, 일례로 금속 재질로 구성할 수 있다. 거름망의 메쉬(mesh) 사이즈는 다양한 크기, 일례로 20 ~ 1,000㎛ 범위 내에서 작업 환경과 목적에 따라 선택적으로 크기를 적용할 수 있을 것이다.The second basket 20 may be composed of a strainer with an open top. That is, the lower surface of the second basket 20 and the surfaces corresponding to the third surface 17 and the fourth surface 18 can be configured as a strainer. The surface corresponding to the first surface 15 and the second surface 16 of the first basket 10 may be composed of a surface other than a strainer structure. The strainer may be configured with a support frame (drawing number not shown) to reinforce the strain, tension, and rigidity of the strainer. The material of the strainer can be made of various materials, for example, it can be made of metal. The mesh size of the strainer can be selectively applied depending on the work environment and purpose within the range of various sizes, for example, 20 to 1,000㎛.

도 6은 본 발명에 따른 제2 바스켓에 마그넷이 결합된 상태를 나타낸 개념도이고, 도 6은 본 발명에 따른 제1 바스켓의 하부면과 배출홀 구조 및 제2 바스켓의 탈착 상태를 나타낸 개념도이다.Figure 6 is a conceptual diagram showing a state in which a magnet is coupled to a second basket according to the present invention, and Figure 6 is a conceptual diagram showing the lower surface and discharge hole structure of the first basket and the detachment state of the second basket according to the present invention.

먼저, 도 6을 참조하면, 제2 바스켓(20)의 하부면을 형성하는 거름망에는 적어도 하나의 마그넷(22, magnet)이 탈부착될 수 있다. 마그넷(22)의 형태는 도시된 바와 같은 바 형태 또는 원형이나 다각형 프레임 형태로도 구성될 수 있으며, 거름망을 통한 이물질의 필터링 동작에 간섭되지 않는 크기 내에서 다양한 형태로 구성될 수 있을 것이다. 마그넷(22)과의 결합을 위해 거름망의 재질 자체를 철로 구성하거나, 철 재질의 거름망을 코팅하여 구성할 수도 있을 것이다. 또는 거름망을 마그넷(22)이 붙지 않는 스테인리스 재질로 구성할 경우 마그넷이 탈착되기 위한 별도의 포켓(미도시)을 형성할 수도 있을 것이다.First, referring to FIG. 6, at least one magnet 22 may be attached and detachable to the strainer forming the lower surface of the second basket 20. The shape of the magnet 22 may be in the form of a bar as shown, or in the form of a circular or polygonal frame, and may be configured in various shapes within a size that does not interfere with the filtering operation of foreign substances through the strainer. For combination with the magnet 22, the material of the filter itself may be made of iron, or it may be made by coating the filter made of iron. Alternatively, if the strainer is made of stainless steel to which the magnet 22 does not stick, a separate pocket (not shown) may be formed for the magnet to be attached and detached.

도 7을 참조하면, 제1 바스켓(10)의 일측면(도면상 좌측면)에도 손잡이(21)가 구성되어 탈착시 손잡이(21)를 파지하여 탈착시킬 수 있으며, 제2 바스켓(20)의 일측면에도 손잡이(21)가 구성되어 제1 바스켓(10)으로부터 제2 바스켓(20) 탈착시 손잡이(21)를 파지하여 탈착시킬 수 있다.Referring to FIG. 7, a handle 21 is also provided on one side (left side in the drawing) of the first basket 10, so that it can be detached by holding the handle 21 when detaching, and the second basket 20 can be detached by holding the handle 21. A handle 21 is also provided on one side, so that the second basket 20 can be detached from the first basket 10 by holding the handle 21.

제2 바스켓(20)은 거름망 구조로 형성되어, 제1 바스켓(10)의 일측면으로부터 x축 좌우 방향으로 슬라이딩되어 결합 및 분리되며, 결합 후 전술한 볼트 체결방식을 통해 제2 바스켓(20)을 제1 바스켓(10)에 고정시킬 수 있다. 물론, 분리 시에는 체결된 볼트를 해제하여 분리할 수 있을 것이다.The second basket 20 is formed in a strainer structure and is coupled and separated by sliding in the left and right directions of the Can be fixed to the first basket (10). Of course, during separation, the fastened bolts can be released and separated.

일정 시간 와이어 쏘잉 장비를 사용 후 이물질(5)이 제2 바스켓(20)에 일정량 이상 쌓이게 되면 제2 바스켓(20)만 분리하여 세척 후 다시 제1 바스켓(10)에 장착하여 사용할 수 있다.After using the wire sawing equipment for a certain period of time, if foreign matter (5) accumulates more than a certain amount in the second basket (20), only the second basket (20) can be separated, cleaned, and then reinstalled on the first basket (10) for use.

제1 바스켓(10)의 하부면 x축 방향 양 측에는 각각 적어도 하나의 배출홀(12)이 형성될 수 있다. 배출홀(12)의 형태는 다양한 형태로 구성할 수 있다. 다만, 배출홀(12)의 위치는 배출홀(12)을 통해 하부로 떨어질 수 있는 이물질(5)이 하부에 위치한 롤러(2-3)에 유입되지 않도록, 배출홀(12)의 이격 간격(W1)은 롤러(2-3)의 x축 방향 길이(W2)보다 작아야 한다. 즉, 배출홀(12)은 롤러(2-3)의 x축 방향 길이 좌우 단부보다 더 외측에 위치되어야 한다.At least one discharge hole 12 may be formed on both sides of the lower surface of the first basket 10 in the x-axis direction. The shape of the discharge hole 12 can be configured in various forms. However, the position of the discharge hole 12 is such that the separation distance ( W1) must be smaller than the x-axis direction length (W2) of the roller (2-3). That is, the discharge hole 12 must be located further outside the left and right ends of the roller 2-3 along the x-axis direction.

한편, 제2 바스켓(20)의 하부면은 가운데 중심부(A)를 기준으로 중심부(A) 상부에서 양 측(도 7의 좌우방향) 하부로 각각 경사지게 형성하는 것이 바람직하다. 이와 같은 경사면 구조를 통해 제1 바스켓(10)으로 유입된 이물질이 배출홀(12)을 통해 원활하게 배출되도록 가이드할 수 있다. 또한, 배출홀(12)에도 제2 바스켓(20)의 거름망 구조를 적용할 수 있다.Meanwhile, the lower surface of the second basket 20 is preferably formed to be slanted from the upper part of the central part A to the lower part of both sides (left and right directions in FIG. 7), based on the central part A. Through this inclined surface structure, foreign substances flowing into the first basket 10 can be guided to be smoothly discharged through the discharge hole 12. Additionally, the strainer structure of the second basket 20 can also be applied to the discharge hole 12.

이상에서 설명한 본 발명에 따른 와이어 쏘잉 장비의 바스켓 구조를 적용함으로써, 바스켓 세척 작업시, 제1 바스켓(10)은 고정시킨 상태에서 제2 바스켓(20)만 분리하여 세척할 수 있으므로, 이물질(5)이 하부 롤러(2-3)로 유입되는 문제를 해결할 수 있다.By applying the basket structure of the wire sawing equipment according to the present invention described above, during the basket cleaning operation, only the second basket 20 can be separated and cleaned while the first basket 10 is fixed, thereby removing foreign substances (5) ) can solve the problem of flowing into the lower roller (2-3).

이상에서 실시례들에 설명된 특징, 구조, 효과 등은 본 발명의 적어도 하나의 실시례에 포함되며, 반드시 하나의 실시례에만 한정되는 것은 아니다. 나아가, 각 실시례에서 예시된 특징, 구조, 효과 등은 실시례들이 속하는 분야의 통상의 지식을 가지는 자에 의해 다른 실시례들에 대해서도 조합 또는 변형되어 실시 가능하다. 따라서 이러한 조합과 변형에 관계된 내용들은 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.The features, structures, effects, etc. described in the examples above are included in at least one embodiment of the present invention and are not necessarily limited to only one embodiment. Furthermore, the features, structures, effects, etc. illustrated in each embodiment can be combined or modified and implemented in other embodiments by a person with ordinary knowledge in the field to which the embodiments belong. Therefore, contents related to such combinations and modifications should be construed as being included in the scope of the present invention.

1: 잉곳 2: 롤러
3: 와이어 4: 바스켓
5: 이물질
10: 제1 바스켓 11: 수용홈
12: 배출홀 13: 하부면
14: 손잡이 15: 제1 면
16: 제2 면 17: 제3 면
18: 제4 면
20: 제2 바스켓 21: 손잡이1: Ingot 2: Roller
3: Wire 4: Basket
5: Foreign matter
10: first basket 11: receiving groove
12: discharge hole 13: lower surface
14: handle 15: first side
16: Side 2 17: Side 3
18: Page 4
20: second basket 21: handle

Claims

It relates to a basket structure of wire sawing equipment placed on top of the roller to prevent foreign substances from entering the roller to which the wire for cutting ingots is combined,
a first basket formed to be longer in the longitudinal direction of the rotation axis than the longitudinal direction of the roller, each end of which is longer than both ends of the roller, and a receiving groove formed at the upper portion; and
Basket structure of wire sawing equipment including a second basket detachably coupled to the receiving groove of the first basket.

According to claim 1,
A basket structure of wire sawing equipment in which at least one discharge hole is formed at both ends of the first basket.

According to clause 2,
The lower surface of the first basket is,
A basket structure of wire sawing equipment that is inclined from the top of the center to the bottom of both sides where the discharge holes are formed.

According to clause 3,
A basket structure of wire sawing equipment further equipped with a strainer in the discharge hole.

According to claim 1,
The second basket is,
The basket structure of wire sawing equipment is formed as a strainer structure with an open top.

According to claim 1,
The filter is made of a metal material, and at least one magnet is further coupled to the filter. A basket structure of wire sawing equipment.

According to clause 6,
The magnet is a basket structure of wire sawing equipment that is attached and detachable to the strainer of the second basket by magnetic force while having a smaller size compared to the lower surface of the strainer.

The method according to any one of claims 1 to 7,
One side of the receiving groove of the first basket is open,
The second basket is a basket structure of wire sawing equipment that is coupled in a sliding manner through one open side of the receiving groove.

According to clause 8,
A basket structure of wire sawing equipment in which a handle is disposed on one side of the second basket corresponding to one side of the receiving groove of the first basket.