KR101567908B1 - Dicing device, dicing device unit, and method of dicing - Google Patents

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KR101567908B1 KR1020100032255A KR20100032255A KR101567908B1 KR 101567908 B1 KR101567908 B1 KR 101567908B1 KR 1020100032255 A KR1020100032255 A KR 1020100032255A KR 20100032255 A KR20100032255 A KR 20100032255A KR 101567908 B1 KR101567908 B1 KR 101567908B1
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타카시 후지타
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가부시키가이샤 토쿄 세이미쯔
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Abstract

본 발명은 블레이드의 교환, 진직도, 동축도 확인 및 단면 조정 및 노즐 조정 등을 용이하게 실행할 수 있고, 또한, 메인터넌스의 작업성을 향상시켜, 다이싱 장치의 중심을 안정화시킴과 동시에 설치 스페이스를 축소시킨다.
워크를 재치한 워크 테이블과, 이 워크를 절단하는 블레이드와, 이 워크 테이블상의 워크를 상기 블레이드에 대하여 상대적으로 이동시키는 워크 테이블 이송 기구와, 상기 블레이드를 회전 가능하게 부착한 스핀들과, 이 스핀들을 지지하는 스핀들 이동 기구를 구비하고, 이 스핀들 이동 기구와 상기 워크 테이블 이송 기구가 서로 직교하여 배치된 다이싱 장치에 있어서, 상기 스핀들 이동 기구와 상기 워크 테이블 이송 기구는, 방형으로 형성된 다이싱 장치의 방형 케이스의 대각선 위에 배치되고, 또한, 상기 다이싱 장치의 대략 중앙부에 워크 절단 가공부가 배치되어 있음과 함께 상기 다이싱 장치의 앞부분에 워크 교환부가 설치되어 있다.It is an object of the present invention to easily carry out replacement, straightness, coaxiality adjustment, cross-section adjustment, nozzle adjustment, and the like of a blade, and improve workability of maintenance, stabilize the center of the dicing apparatus, .
A work table on which the work is placed, a blade for cutting the work, a work table feed mechanism for moving the work on the work table relative to the blade, a spindle on which the blade is rotatably mounted, Wherein the spindle moving mechanism and the work table moving mechanism are disposed orthogonally to each other, wherein the spindle moving mechanism and the work table moving mechanism are constituted by a dicing device A workpiece cutting machining portion is disposed in a substantially central portion of the dicing device and a workpiece changing portion is provided in a front portion of the dicing device.

Description

다이싱 장치, 다이싱 장치 유닛 및 다이싱 방법{Dicing device, dicing device unit, and method of dicing}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a dicing apparatus, a dicing apparatus unit,

본 발명은 다이싱 장치, 다이싱 장치 유닛 및 다이싱 방법에 관한 것으로서, 특히, 반도체 웨이퍼 등의 워크를 칩으로 절단 분할하는 콤팩트한 구조의 다이싱 장치, 다이싱 장치 유닛 및 다이싱 방법에 관한 것이다.
The present invention relates to a dicing apparatus, a dicing apparatus unit and a dicing method, and more particularly to a dicing apparatus, a dicing apparatus unit and a dicing method having a compact structure for dividing a work such as a semiconductor wafer into chips will be.

종래, 반도체 웨이퍼나 전자 부품 재료 등의 워크를 개개의 칩으로 절단 분할하기 위하여 다이싱 장치가 사용되었다. 다이싱 장치는, 워크가 재치(載置)되는 워크 테이블과, 이 워크를 절단하는 블레이드와, 이 워크를 상기 블레이드에 대하여 상대적으로 이동시키는 워크 테이블 이송 기구와, 상기 블레이드를 회전 가능하게 부착한 스핀들과, 이 스핀들을 이동 가능하게 지지하는 스핀들 이동 기구를 구비하였다.Conventionally, a dicing apparatus has been used for cutting and dividing a work such as a semiconductor wafer or an electronic component material into individual chips. The dicing apparatus includes a work table on which a workpiece is placed, a blade for cutting the workpiece, a workpiece table transfer mechanism for moving the workpiece relative to the blade, A spindle and a spindle moving mechanism for movably supporting the spindle.

종래의 다이싱 장치로서는, 일본국 특개 2002-280328(특허문헌 1) 및 일본국 특개평11-77461(특허문헌 2)에 기재된 기술이 알려져 있다. 특허문헌 1의 기술은, 도 11에 나타낸 바와 같이, 플로어 스페이스를 증가시키지 않고 안전한 기계 배치를 확보하기 위해, 케이스(다이싱 장치(D)의 본체부)(1)의 우측 후부에 로드 포트(2)가 설치되어 있음과 동시에, 이 케이스(1)의 우측 후부에 워크 세정부(3)가 제공된다.As a conventional dicing apparatus, there is known a technique described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2002-280328 (Patent Document 1) and Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-77461 (Patent Document 2). The technology of Patent Document 1 is characterized in that a load port (not shown) is attached to the right rear end of the case (the main body portion of the dicing device D) 1 in order to secure a safe machine arrangement without increasing the floor space, 2 is provided on the right side of the case 1 and a work cleaning part 3 is provided on the right rear side of the case 1. [

또한, 케이스(1)의 좌측 중앙부에 워크(웨이퍼) 절단 가공부(4)가 배치되고, 케이스(1)의 우측 중앙부에 워크 테이블(5)이 설치되고, 이에 의해, 로드 포트(2) 및 워크 세정부(3)에 액세스할 수 있도록 구성된다. 또한, 케이스(1)의 전후 방향 중앙부에 워크 테이블 이송 기구(6)가 배치되어 있기 때문에, 워크(W)는 오퍼레이터(M)로부터 멀리 떨어진 케이스(1)의 전후 방향 중앙부를 좌우 방향으로 주행한다. 또한, 도면 중의 부호 7은 워크(W)를 절단하는 블레이드, 부호 8은 블레이드(7)를 회전할 수 있도록 부착한 스핀들 유닛, 부호 9는 스핀들 유닛(8)을 지지하는 가이드 레일(가이드 레일 기구)이다.A workpiece (wafer) cutting portion 4 is disposed at the center of the left side of the case 1 and a work table 5 is provided at the center of the right side of the case 1, And is configured to be able to access the work cleaning section 3. Since the work table transfer mechanism 6 is disposed at the central portion in the front-rear direction of the case 1, the work W travels in the longitudinal direction central portion of the case 1 far from the operator M in the left-right direction . Reference numeral 7 denotes a blade for cutting the work W; 8, a spindle unit attached to rotate the blade 7; 9, a guide rail for supporting the spindle unit 8 )to be.

또한, 특허문헌 2의 기술에서는, 가이드 레일 기구는, 방형 케이스의 좌측에 설치되고, 워크 테이블은 방형 케이스를 좌우 방향으로 횡단하도록 배치되어 있다. 그리고 스핀들 유닛과 가이드 레일은, 방형 케이스의 좌측에서 교차하고, 이 교차 부분에서 워크의 절단 가공이 행해진다.Further, in the technique of Patent Document 2, the guide rail mechanism is provided on the left side of the rectangular case, and the work table is arranged so as to transverse the rectangular case in the left-right direction. Then, the spindle unit and the guide rail intersect at the left side of the rectangular case, and cutting work of the work is performed at this intersection.

통상, 워크를 절단 가공할 때에는, 소요 워크 위치 결정 정밀도가 요구되는 것 외에, 절단 가공시에 발생하는 진동을 억제하기 위해, 특히 워크 절단 가공부를 지지하는 부분은 충분한 강성을 가지도록 구성한다.
In general, when a workpiece is cut, a required workpiece positioning accuracy is required. In addition, in order to suppress the vibration generated at the time of cutting, particularly, the portion supporting the workpiece cutter has sufficient rigidity.

일본국 특개 2002-280328Japanese Patent Application Laid-Open No. 2002-280328 일본국 특개평 11-77461Japanese Patent Laid-Open No. 11-77461

상기 특허문헌 1 및 2 기재된 기술은, 다음과 같은 문제점을 가지고 있었다. 즉, 특허문헌 1에 기재된 기술에서는, 워크가 케이스상을 좌우 방향으로 주행하고, 블레이드가 오퍼레이터로부터 멀리 떨어진 케이스의 전후 방향 중앙부에 존재하기 때문에, 블레이드를 교환할 때에, 블레이드의 교환 작업을 행하기 어렵다는 문제가 있었다.The techniques described in Patent Documents 1 and 2 have the following problems. That is, in the technique described in Patent Document 1, since the workpiece travels in the lateral direction in the case, and the blade exists in the front-rear direction central portion of the case away from the operator, There was a problem that it was difficult.

또한, 블레이드가 워크 테이블에 대하여 진직(眞直)인지 아닌지를 확인하기 위해서는, 오퍼레이터는 그때마다 다이싱 장치의 앞측면에서 우측면 혹은 좌측면까지 돌아 확인해야 한다. 그리고 만약 블레이드의 진직도(眞直度)가 나쁜 경우에는, 블레이드의 진직도를 확인하면서 조정할 필요가 있다.In addition, in order to check whether the blade is straight or not with respect to the work table, the operator should check every time from the front side of the dicing apparatus to the right side or the left side. And, if the straightness of the blade is bad, it is necessary to check the straightness of the blade.

이 때, 오퍼레이터는, 블레이드와 가이드 레일이 간섭하지 않는 장소, 예를 들면, 케이스의 우측면으로 이동하여, 블레이드의 진직도를 확인·조정해야 한다. 그러나, 케이스의 우측면으로부터 진직도의 확인·조정 작업을 행하면, 오퍼레이터로부터 블레이드까지의 거리가 멀리 떨어져 있으므로, 진직도의 확인·조정 작업이 곤란하게 된다.At this time, the operator must move to the place where the blade and the guide rail do not interfere, for example, to the right side of the case, and check the straightness of the blade. However, when checking and adjusting the straightness from the right side surface of the case, the distance from the operator to the blade is far away, so that it becomes difficult to check and adjust straightness.

또한, 블레이드를 부착할 때, 블레이드의 기준면이 되는 스핀들 단면에 대하여, 평면도를 조정하기 위한 단면 연마가 실시되지만, 이 경우, 스핀들 단면은 워크에 대한 블레이드의 진직도에 크게 영향을 주기 때문에, 상기 단면 연마를 매우 정밀하게 행할 필요가 있다. 이 단면 연마에 대해서는, 연석을 이용하여 스핀들 단면을 정밀하게 연마 가공하여 진직도를 높인다. 구체적으로는, 연석을 스핀들 단면에 꽉 대고 스핀들을 천천히 돌리면서, 스핀들 단면의 돌기물을 연마 제거하면서, 꼼꼼하게 스핀들 단면의 진직도를 높여 간다.In addition, when the blade is attached, end face polishing is performed to adjust the flatness of the end face of the spindle as a reference plane of the blade. In this case, since the end face of the spindle largely affects the straightness of the blade relative to the work, It is necessary to carry out extremely high-precision surface polishing. For this end face polishing, the end face of the spindle is precisely polished by using a curb to enhance straightness. Concretely, the straightness of the end surface of the spindle is precisely increased while polishing the projection on the end surface of the spindle while grinding the curb on the end surface of the spindle and slowly rotating the spindle.

상기 단면 연마를 행할 때에, 예를 들면, 도 11에 나타낸 대향형의 트윈 스핀들을 가지는 다이싱 장치에서는, 한쪽의 스핀들 단면은 다이싱 장치의 앞면측으로부터 보이지만, 다른 한쪽의 스핀들 단면은 다이싱 장치의 배면측을 향하고 있기 때문에, 다이싱 장치의 앞면으로부터는 한쪽의 스핀들 단면밖에 연마할 수 없다. 또한, 다이싱 장치의 앞면측으로부터 상기 스핀들 단면까지의 액세스 거리가 길기 때문에, 스핀들 단면의 연마 작업이 매우 어렵고, 고도의 숙련을 필요로 한다.In the case of performing the above-mentioned end face polishing, for example, in the dicing apparatus having the twin spindle of the opposite type shown in Fig. 11, one end of the spindle is seen from the front side of the dicing device, So that it is impossible to grind only the end face of one of the spindles from the front face of the dicing apparatus. Further, since the access distance from the front surface side of the dicing apparatus to the end surface of the spindle is long, the polishing work of the end surface of the spindle is very difficult and requires a high degree of skill.

또한, 다른 하나의 스핀들 단면을 연마할 때는, 다이싱 장치의 배면측으로 오퍼레이터가 돌아 연마 작업을 행하지만, 고정밀도의 단면 연마를 행함에 있어 고도의 기술이 요구된다. 즉, 블레이드 교환이나 블레이드 교환 후의 정밀도 확인에 있어서도, 다이싱 장치의 앞면으로부터뿐만 아니라, 다이싱 장치의 배면측 혹은 측면측 등으로 돌아 정밀도 확인을 행할 필요가 있다.Further, when polishing the end face of another spindle, the operator performs polishing work on the back side of the dicing apparatus, but a high technique is required for performing high-precision end face polishing. That is, in confirming accuracy after blade replacement or blade replacement, it is necessary to check not only from the front side of the dicing apparatus but also from the back side or side of the dicing apparatus to check accuracy.

한편, 특허문헌 2의 다이싱 장치에서는, 특히, 워크 절단 가공시에 발생하는 진동을 억제하기 위해, 워크 절단 가공부를 지지하는 부분은 충분한 강성을 갖게 하고 있지만, 강성이 높은 분만큼 다이싱 장치의 중량도 커진다. 그리고 상기 중량이 큰 부분은 다이싱 장치의 중심에 대하여 한쪽으로 기울어져 있기 때문에, 전체적으로 중심 위치도 다이싱 장치의 중심으로부터 변위하여 언밸런스하게 된다. 그 결과, 다이싱 장치가 전체의 밸런스를 무너뜨려 진동하기 쉬워지고, 다이싱 장치에 미리 설정한 절단 정밀도가 유지되지 않게 된다.On the other hand, in the dicing machine disclosed in Patent Document 2, in order to suppress the vibration generated at the time of cutting the workpiece, the portion supporting the workpiece cutting portion has sufficient rigidity. However, Weight increases. Since the heavy portion is inclined to one side with respect to the center of the dicing device, the center position as a whole is also displaced from the center of the dicing device to become unbalanced. As a result, the dicing apparatus tends to vibrate by breaking the balance of the whole, and the cutting precision set in advance in the dicing apparatus can not be maintained.

또한, 워크 테이블 이송 기구 및 가이드 레일 기구는 충분한 강성을 구비한 대좌(臺座) 위에 부착할 필요가 있다. 예를 들면, 두꺼운 판 위에 워크 테이블 이송 기구 등을 설치한 경우에는, 다이싱 장치 전체가 매우 무거워진다. 그 때문에, 케이스의 네 귀퉁이에 형성한 지주 사이에 대들보를 걸쳐 놓고, 이 대들보의 위에 가이드 레일이나 워크 테이블 이송 기구를 설치한다.In addition, the workpiece table transfer mechanism and the guide rail mechanism need to be mounted on a pedestal having sufficient rigidity. For example, when a work table feed mechanism or the like is provided on a thick plate, the entire dicing apparatus becomes very heavy. Therefore, girders are placed between the supports formed at the four corners of the case, and a guide rail or a work table feed mechanism is provided on the girders.

이 경우, 대들보 자체의 강성에 대해서도, 가이드 레일이나 워크 테이블 이송 기구의 진동을 제지할 수 있는 정도의 강성이 요구되기 때문에, 상기 지주 사이에 걸쳐 놓는 대들보의 판두께도 충분히 크게 설정할 필요가 있고, 그에 따라 다이싱 장치 전체의 중량이 더욱 증가하고, 따라서, 다이싱 장치의 제작비가 상승함과 동시에, 대대적인 과대 설비가 요구되게 된다.In this case, since the stiffness of the girder itself is required to have a rigidity enough to restrain the vibration of the guide rail or the work table feed mechanism, it is necessary to set the plate thickness of the girder laid between the girders sufficiently large, As a result, the weight of the entire dicing apparatus is further increased, so that the production cost of the dicing apparatus is increased, and a large overtaking facility is required.

또한, 노즐 위치의 조정도 문제가 된다. 노즐에는, 블레이드의 회전 방향에 따라 윤활 작용을 부여하기 위한 물과, 블레이드 그 자체를 절단시의 마찰열로부터 냉각하기 위하여 냉각 작용을 부여하기 위한 물의 2 종류의 노즐이 있다. 윤활 작용을 위한 노즐은, 하나의 노즐로 블레이드의 회전에 따라 공급하지만, 블레이드를 냉각하기 위한 노즐은, 블레이드의 좌우 양방향으로부터 블레이드의 측면에 공급한다. 이러한 노즐의 방향 조정은 매우 미묘하고, 그 방향이 정확하게 설정되지 않은 경우에는, 절삭점에서 필요한 윤활 작용을 얻을 수 없게 된다. 그 때문에, 절단 가공시의 마찰 저항에 의해 진동을 일으키거나, 혹은, 블레이드 자체가 과열되어 절단 가공의 저항이 커지고, 그 결과, 절단 속도가 저하되거나, 혹은, 절단 정밀도 그 자체를 악화시키는 경우가 있다.In addition, adjustment of the position of the nozzle also becomes a problem. There are two types of nozzles in the nozzle: water for imparting a lubrication action in accordance with the rotational direction of the blade, and water for imparting a cooling action to cool the blade itself from the frictional heat at the time of cutting. The nozzles for lubrication are supplied by one nozzle in accordance with the rotation of the blades, but the nozzles for cooling the blades are supplied to the side surfaces of the blades from both left and right sides of the blades. Such direction adjustment of the nozzle is very subtle, and if the direction is not precisely set, the necessary lubrication action at the cutting point can not be obtained. Therefore, there is a case where vibration is caused by frictional resistance at the time of cutting, or the blade itself is overheated to increase the resistance of the cutting process, resulting in a reduction in cutting speed or deterioration of the cutting precision itself have.

또한, 웨이퍼를 수매 절단한 후에는, 노즐 위치가 다소 변화하는 경우도 있기 때문에, 노즐의 위치나 방향을 수시로 정밀하게 조정할 필요가 있다. 이 노즐 조정에 대해서는, 도 8에 나타낸 바와 같이, 동일축선상에 2개의 블레이드가 서로 대치하여 존재하는 경우, 메인터넌스를 행할 때의 조정 방향의 수는 모두 세 방향이 된다.Further, after the wafer is taken and cut off, the position of the nozzle may change somewhat, so it is necessary to adjust the position and the direction of the nozzle from time to time. With respect to this nozzle adjustment, as shown in Fig. 8, when two blades exist on the same axial line and face each other, the number of adjustment directions when maintenance is performed is all three directions.

특허문헌 1에 기재된 다이싱 장치에서는, 블레이드 교환에 더하여, 상기 노즐의 위치나 방향의 조정 작업이 매우 곤란하게 된다. 또한, 이러한 노즐의 조정이나 상술한 단면 연마 등을 행할 때는, 다이싱 장치의 앞면측뿐만 아니라, 다이싱 장치의 측면측이나 배면측 등으로 돌아 조정하는 것이 부득이하게 된다.In the dicing apparatus described in Patent Document 1, it is very difficult to adjust the position and direction of the nozzle in addition to the blade replacement. When adjusting the nozzles or polishing the end face as described above, it is inevitable to adjust not only the front face side of the dicing device but also the side face side or the back face side of the dicing device.

상기와 같이, 다이싱 장치의 앞면, 측면 또는 배면으로부터 메인터넌스를 행하는 경우, 다음과 같은 문제가 부수적으로 생긴다. 즉, 동일 종류의 다이싱 장치를 다수 나열하는 양산 방식의 설비에 있어서는, 다이싱 장치들을 빈틈없이 인접시켜 배치하는 것이 요망된다. 또한, 오퍼레이터가 혼자서 복수의 다이싱 장치를 감시하면서 작업을 행하는 경우도 종종 있다.As described above, when the maintenance is performed from the front surface, the side surface, or the back surface of the dicing apparatus, the following problems arise incidentally. That is, in a mass production system in which a large number of dicing devices of the same kind are arranged, it is desired to arrange the dicing devices adjacent to each other. In some cases, an operator performs work while monitoring a plurality of dicing devices by himself / herself.

특허문헌 1에 기재된 다이싱 장치는, 다이싱 장치의 다양한 방향으로부터 메인터넌스를 행하기 때문에, 다이싱 장치들을 빈틈없이 인접시켜 배치하는 것은 곤란하다. 그 때문에, 인접한 개개의 다이싱 장치들을 일정한 간격을 가지도록 배치할 필요가 있고, 따라서, 복수대의 다이싱 장치를 배치하는 경우의 플로어 스페이스의 설계에서도, 1대당의 전유 면적이 매우 커진다는 문제가 있었다.Since the dicing apparatus disclosed in Patent Document 1 carries out maintenance from various directions of the dicing apparatus, it is difficult to arrange the dicing apparatuses adjacent to each other. Therefore, it is necessary to arrange adjacent individual dicing devices so as to be spaced apart from each other. Therefore, even in the design of the floor space when a plurality of dicing devices are arranged, there is a problem that the whole oil- there was.

또한, 다이싱 장치 단체(單體)에 있어서의 스페이스의 문제도 있다. 특허문헌 1에 기재한 다이싱 장치는, 다이싱 장치의 네 귀퉁이에 데드 스페이스(dead space)가 생기기 때문에 스페이스의 유효 활용이 저해되고, 결과적으로, 다이싱 장치의 기능에 대하여 과대한 설비 스페이스를 필요로 한다는 문제가 있었다.There is also a problem of space in a single dicing device. In the dicing apparatus disclosed in Patent Document 1, a dead space is generated in the four corners of the dicing apparatus, so that effective utilization of the space is hindered. As a result, an excessive facility space There is a problem that it is necessary.

따라서, 블레이드의 교환, 진직도, 동축도(同軸度) 확인 및 단면 조정 및 노즐 조정 등을 용이하게 실행할 수 있고, 또한, 메인터넌스의 작업성을 향상시켜, 다이싱 장치의 중심을 안정화시키는 것과 동시에, 설치 스페이스를 축소시키기 위해 해결해야 할 기술적 과제가 생기게 되고, 본 발명은 이 과제를 해결하는 것을 목적으로 한다.
Therefore, it is possible to easily carry out the replacement of the blade, the straightness, the coaxiality, the cross-section adjustment, the nozzle adjustment, and the like, and also the workability of the maintenance is improved and the center of the dicing apparatus is stabilized , There is a technical problem to be solved in order to reduce the installation space, and the present invention aims to solve this problem.

본 발명은 상기 목적을 달성하기 위해 제안된 것으로, 청구항 1에 기재한 발명은, 워크를 재치한 워크 테이블과, 이 워크를 절단하는 블레이드와, 이 워크 테이블상의 워크를 상기 블레이드에 대하여 상대적으로 이동시키는 워크 테이블 이송 기구와, 상기 블레이드를 회전 가능하게 부착한 스핀들과, 이 스핀들을 지지하는 스핀들 이동 기구와 상기 워크 테이블 이송 기구가 서로 직교하여 배치된 다이싱 장치에 있어서, 상기 스핀들 이동 기구와 상기 워크 테이블 이송 기구는, 평면으로 보아 방형으로 형성된 다이싱 장치의 방형 케이스의 대각선 위에 배치되고, 또한, 상기 다이싱 장치의 대략 중앙부에 워크 절단 가공부가 배치되어 있음과 동시에, 상기 다이싱 장치의 앞부분에 워크 교환부가 설치되고, 상기 워크 절단 가공부를 끼우고 상기 워크 교환부와 반대측에, 미스트 배기부가 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 다이싱 장치를 제공한다.The present invention has been proposed in order to achieve the above object. The invention described in claim 1 is characterized in that a work table on which a work is placed, a blade for cutting the work, and a work on the work table are moved relative to the blade And a spindle moving mechanism for supporting the spindle and the work table transfer mechanism being arranged orthogonally to each other, wherein the spindle moving mechanism, the spindle moving mechanism, The workpiece table transfer mechanism is disposed on a diagonal line of a rectangular case of a dicing machine formed in a plan view as viewed from a plane, and a workpiece cutting machining portion is disposed at a substantially central portion of the dicing machine, A workpiece changer is provided in the workpiece changer, And a mist exhausting portion is disposed on the side opposite to the side of the substrate.

이 구성에 따르면, 스핀들 이동 기구와 상기 워크 테이블 이송 기구는, 방형으로 형성된 다이싱 장치의 방형 케이스의 대각선 위에 배치되고, 또한, 상기 다이싱 장치의 대략 중앙부에 워크 절단 가공부가 배치되어 있음과 동시에, 상기 다이싱 장치의 앞부분에 워크 교환부가 설치되어 있다.According to this configuration, the spindle moving mechanism and the work table transfer mechanism are arranged on the diagonal line of the square case of the dicing machine formed in a square shape, and the workpiece cutting machining portion is arranged at the substantially central portion of the dicing machine , And a work exchange unit is provided at the front of the dicing apparatus.

즉, 워크를 절단할 때에, 블레이드에 대하여 상대적으로 이동시키는 워크 테이블 이송 기구와, 스핀들을 지지하는 가이드 레일 기구를 가지고, 워크 테이블 이송 기구와 가이드 레일 기구는 서로 직교함과 동시에, 이들 기구가 방형 케이스의 대각선 위에 배치되고, 또한, 다이싱 장치의 대략 중앙부에 워크 절단 가공부가 위치하므로, 워크 절단 가공부의 강성이 높고 중량이 큰 경우에도, 중량이 큰 부분이 다이싱 장치의 중심부와 일치하기 때문에, 다이싱 장치가 전체적으로 중심의 밸런스가 안정화된다. 그 결과, 가공시에 다이싱 장치에 진동을 전달하기 어려운 구조가 되어, 다이싱 장치에 설정한 가공 정밀도를 항상 유지할 수 있다.That is, there is a workpiece table transfer mechanism that moves the workpiece relative to the blade when cutting the workpiece, and a guide rail mechanism that supports the spindle. The workpiece table transfer mechanism and the guide rail mechanism are orthogonal to each other, Since the workpiece cutting machining portion is located at the approximate center of the dicing device, even if the rigidity of the workpiece cutting machining portion is high and the weight is large, the portion having a large weight coincides with the center portion of the dicing device , The center balance of the dicing device as a whole is stabilized. As a result, it becomes difficult to transmit vibration to the dicing device at the time of machining, and the machining precision set in the dicing device can be maintained at all times.

요컨데, 다이싱 장치내의 대략 중앙에 워크 절단 가공부가 위치함으로써, 가장 높은 강성과 정밀도가 요구되는 부분이 다이싱 장치의 대략 중앙에 위치하므로, 다이싱 장치의 중심 위치가 다이싱 장치의 중앙 위치와 대략 일치하여 다이싱 장치 전체의 밸런스가 안정화된다. 그 때문에, 워크 절단 가공시에 있어서의 진동을 극력 제지할 수 있다.Therefore, the position of the center of the dicing apparatus is shifted from the center position of the dicing apparatus to the center position of the dicing apparatus, The balance of the entire dicing apparatus is stabilized. Therefore, vibration at the time of cutting the workpiece can be suppressed as much as possible.

또한, 다이싱 장치의 앞부분에 워크 교환부가 위치하므로, 블레이드를 교환할 때는, 다이싱 장치의 앞면측으로부터 대치하는 어느 블레이드에 대해서도 간편하게 교환할 수 있다. 또한, 블레이드 교환 후의 블레이드의 부착 상태 등의 확인 및 조정, 예를 들면, 블레이드의 동축도 조정 및 블레이드의 워크에 대한 진직도의 확인·조정에 관해서 다이싱 장치의 앞면측으로부터 간편하게 작업을 행할 수 있다. 이 경우, 블레이드의 워크에 대한 진직도는, 워크의 절단 방향의 정면측으로부터 시인할 수 있다.Further, since the workpiece changer is located at the front portion of the dicing apparatus, any blade that is displaced from the front side of the dicing apparatus can be easily exchanged when the blade is exchanged. Further, it is possible to perform operations easily from the front face side of the dicing apparatus for confirmation and adjustment of the attachment state of the blades after blade replacement, for example, adjustment of the coaxiality of the blades and confirmation and adjustment of the straightness of the blade to the work have. In this case, the straightness of the blade with respect to the work can be visually recognized from the front side in the cutting direction of the work.

또한, 블레이드의 스핀들에 대한 부착 동축도는, 워크의 절단 방향에 대해서 직각으로 시인할 수 있다. 이에 관하여, 블레이드의 동축도 조정 및 블레이드의 워크에 대한 진직도의 확인·조정은 쌍방 모두, 다이싱 장치의 앞면측으로부터 기울기 45도의 방향에서 볼 수 있고, 따라서, 블레이드의 동축도 및 진직도의 확인·조정 작업을 다이싱 장치의 앞면측에서만 실행할 수 있으므로, 오퍼레이터는 종래예와 같이 다이싱 장치의 측면 혹은 배면측으로 돌 필요가 없다.Further, the attachment coaxiality of the blade to the spindle can be visually recognized at a right angle with respect to the cutting direction of the work. In this respect, both the adjustment of the coaxiality of the blade and the confirmation and adjustment of the straightness of the blade with respect to the work can be seen in the direction of the inclination of 45 degrees from the front side of the dicing machine, Since the confirmation and adjustment operation can be performed only on the front surface side of the dicing apparatus, the operator does not need to move to the side surface or the back surface side of the dicing apparatus as in the conventional example.

또, 스핀들의 정기적인 단면 조정에 대해서도, 상기와 마찬가지로, 다이싱 장치의 앞면측에서만 실행할 수 있으므로, 다이싱 장치의 측면 혹은 배면측으로 도는 일 없이 간편하게 작업을 행할 수 있다.Regular adjustment of the end face of the spindle can be performed only on the front surface side of the dicing apparatus as in the above, so that the work can be performed easily on the side surface or the back surface side of the dicing apparatus.

또한, 윤활용의 물을 공급하기 위한 노즐의 위치 조정, 및 냉각용의 물을 공급하기 위한 노즐의 위치 조정에 대해서도, 상기와 동등하게, 다이싱 장치의 앞면측에서만 실행할 수 있으므로, 다이싱 장치의 측면 혹은 배면측으로 도는 일 없이 간편하게 작업을 행할 수 있다.The adjustment of the position of the nozzle for supplying water for lubrication and the adjustment of the position of the nozzle for supplying water for cooling can be performed only on the front surface side of the dicing device, The work can be carried out easily without turning to the side or the back side.

청구항 1에 기재한 발명은, 워크 절단 가공부의 강성이 높고 중량이 큰 경우에도, 중량이 큰 부분이 다이싱 장치의 중심부와 일치하기 때문에, 다이싱 장치가 전체적으로 중심의 밸런스가 안정화된다. 그 결과, 가공시에 다이싱 장치에 진동이 전달하기 어려운 구조가 되고, 다이싱 장치에 설정한 가공 정밀도를 항상 유지할 수 있다.According to the invention as set forth in claim 1, even if the stiffness of the workpiece cutting-off portion is high and the weight is large, since the portion having a large weight coincides with the center portion of the dicing machine, the center balance of the dicing machine as a whole is stabilized. As a result, the structure becomes less likely to transmit vibration to the dicing device at the time of machining, and the machining accuracy set in the dicing device can be maintained at all times.

요컨데, 다이싱 장치내의 대략 중앙에 워크 절단 가공부가 위치함으로써, 가장 높은 강성과 정밀도가 요구되는 부분이 다이싱 장치의 대략 중앙에 위치하므로, 다이싱 장치의 중심 위치가 다이싱 장치의 중앙 위치와 대략 일치하여, 다이싱 장치 전체의 밸런스가 안정화된다. 그 때문에, 워크 절단 가공시에 있어서의 진동을 극력 제지할 수 있다.Therefore, the position of the center of the dicing apparatus is shifted from the center position of the dicing apparatus to the center position of the dicing apparatus, The balance of the entire dicing apparatus is stabilized. Therefore, vibration at the time of cutting the workpiece can be suppressed as much as possible.

또한, 블레이드의 교환, 블레이드의 동축도 혹은 진직도의 확인·조정, 스핀들의 단면 조정 및 노즐의 위치 조정을 행할 때, 오퍼레이터는 다이싱 장치의 배면측으로 이동하는 일 없이 다이싱 장치의 앞면측에서 간편하게 작업을 행할 수 있으므로, 이러한 작업 효율을 종래예에 비하여 향상시킬 수 있다.Further, when changing the blade, checking or adjusting the coaxiality or straightness of the blade, adjusting the cross-section of the spindle, and adjusting the position of the nozzle, the operator does not move to the back side of the dicing apparatus, The work can be performed easily, and therefore, this working efficiency can be improved as compared with the conventional example.

청구항 2에 기재한 발명은, 워크를 재치한 워크 테이블과, 이 워크를 절단하는 블레이드와, 상기 워크 테이블 위의 워크를 상기 블레이드에 대하여 상대적으로 이동시키는 워크 테이블 이송 기구와, 상기 블레이드를 회전 가능하게 부착한 2개의 스핀들과, 이 스핀들을 지지하는 스핀들 이동 기구를 구비하고, 상기 2개의 스핀들은 동일축선상에서 서로 대향하여 배치되고, 상기 스핀들 이동 기구와 상기 워크 테이블 이송 기구가 서로 직교하여 배치된 다이싱 장치에 있어서, 상기 스핀들 이동 기구와 상기 워크 테이블 이송 기구는, 평면으로 보아 방형으로 형성된 다이싱 장치의 방형 케이스의 대각선 위에 배치되고, 또한, 상기 다이싱 장치의 대략 중앙부에 워크 절단 가공부가 배치되어 있음과 동시에, 상기 다이싱 장치의 앞부분에 워크 교환부가 설치되고, 상기 워크 절단 가공부를 끼우고 상기 워크 교환부와 반대측에, 미스트 배기부가 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 다이싱 장치를 제공한다.According to a second aspect of the present invention, there is provided a cutting tool comprising a work table on which a work is placed, a blade for cutting the work, a work table feed mechanism for relatively moving the work on the work table relative to the blade, And a spindle moving mechanism for supporting the spindle, wherein the two spindles are arranged to face each other on the same axis, and the spindle moving mechanism and the work table moving mechanism are arranged orthogonally to each other In the dicing machine, the spindle moving mechanism and the work table transfer mechanism are arranged on a diagonal line of a rectangular case of a dicing machine formed in a square shape in plan view, and the workpiece cutting machining portion And a work exchange unit is provided at the front of the dicing apparatus And a mist discharging portion is disposed on the opposite side of the workpiece changing portion with the workpiece cutting portion interposed therebetween.

이 구성에 따르면, 워크를 절단할 때에, 블레이드에 대하여 상대적으로 이동시키는 워크 테이블 이송 기구와, 스핀들을 지지하는 가이드 레일 기구를 가지고, 워크 테이블 이송 기구와 가이드 레일 기구는 서로 직교함과 동시에, 이들 기구가 방형 케이스의 대각선 위에 배치되고, 또한, 다이싱 장치의 대략 중앙부에 워크 절단 가공부가 위치한다. 따라서, 워크 절단 가공부의 강성이 높고 중량이 큰 경우에도, 중량이 큰 부분이 다이싱 장치의 중심부와 일치하기 때문에, 다이싱 장치가 전체적으로 중심의 밸런스가 안정화된다.According to this configuration, when cutting a work, the work table has a workpiece table feed mechanism that moves relative to the blade and a guide rail mechanism that supports the spindle. The work table feed mechanism and the guide rail mechanism are orthogonal to each other, The mechanism is disposed on the diagonal line of the rectangular case, and the workpiece cutting machining portion is located in the approximate center of the dicing machine. Therefore, even when the workpiece cutting machining portion has a high rigidity and a large weight, the portion having a large weight coincides with the center portion of the dicing machine, so that the center balance of the dicing machine as a whole is stabilized.

또한, 다이싱 장치의 앞부분에 워크 교환부가 위치하므로, 블레이드를 교환할 때는, 다이싱 장치의 앞면측으로부터 대치하는 어느 블레이드에 대해서도 간편하게 교환할 수 있다. 또한, 블레이드 교환 후의 블레이드의 부착 상태 등의 확인 및 조정, 예를 들면, 블레이드의 동축도 조정 및 블레이드의 워크에 대한 진직도의 확인·조정에 관하여 다이싱 장치의 앞면측으로부터 간편하게 작업을 행할 수 있다. 이 경우, 블레이드의 워크에 대한 진직도는, 워크의 절단 방향의 정면측으로부터 시인할 수 있다. 또한, 블레이드의 스핀들에 대한 부착 동축도는, 워크의 절단 방향에 대해서 직각으로 시인할 수 있다.Further, since the workpiece changer is located at the front portion of the dicing apparatus, any blade that is displaced from the front side of the dicing apparatus can be easily exchanged when the blade is exchanged. Further, it is possible to easily carry out operations from the front surface side of the dicing apparatus for confirmation and adjustment of the attachment state of the blades after blade replacement, for example, adjustment of the coaxiality of the blades and confirmation and adjustment of the straightness of the blade to the work have. In this case, the straightness of the blade with respect to the work can be visually recognized from the front side in the cutting direction of the work. Further, the attachment coaxiality of the blade to the spindle can be visually recognized at a right angle with respect to the cutting direction of the work.

또한, 블레이드의 동축도 조정 및 블레이드의 워크에 대한 진직도의 확인·조정은 쌍방 모두, 다이싱 장치의 앞면측으로부터 기울기 45도의 방향에서 볼 수 있고, 이 때문에, 블레이드의 동축도 및 진직도의 확인·조정 작업을 다이싱 장치의 앞면측에서만 실행할 수 있으므로, 오퍼레이터는 종래예와 같이 다이싱 장치의 측면 혹은 배면측으로 돌 필요가 없다. 또한, 스핀들의 정기적인 단면 조정에 대해서도, 상기와 마찬가지로 다이싱 장치의 앞면측에서만 실행할 수 있으므로, 다이싱 장치의 측면 혹은 배면측으로 도는 일 없이 간편하게 작업을 행할 수 있다.Both the adjustment of the coaxiality of the blade and the confirmation and adjustment of the straightness of the blade with respect to the work can be seen in the direction of the inclination of 45 degrees from the front surface side of the dicing machine. Since the confirmation and adjustment operation can be performed only on the front surface side of the dicing apparatus, the operator does not need to move to the side surface or the back surface side of the dicing apparatus as in the conventional example. Regular adjustment of the end face of the spindle can also be performed only on the front surface side of the dicing machine as described above, so that the work can be performed easily on the side surface or the back surface side of the dicing machine.

또한, 윤활용의 물을 공급하기 위한 노즐의 위치 조정, 및 냉각용의 물을 공급하기 위한 노즐의 위치 조정에 대해서도, 상기와 동등하게, 다이싱 장치의 앞면측에서만 실행할 수 있으므로, 다이싱 장치의 측면 혹은 배면측으로 도는 일 없이 간편하게 작업을 행할 수 있다.The adjustment of the position of the nozzle for supplying water for lubrication and the adjustment of the position of the nozzle for supplying water for cooling can be performed only on the front surface side of the dicing device, The work can be carried out easily without turning to the side or the back side.

청구항 3에 기재한 발명은, 상기 평면으로 보아 방형으로 형성된 다이싱 장치의 방형 케이스는, 상기 대각선 위의 양쪽 구석 중 상기 워크 교환부가 배치된 앞부분의 일측은 비스듬하게 잘려지고, 또한, 이 다이싱 장치의 상기 앞부분의 일측에 워크 교환 및 메인터넌스를 행하기 위한 개구부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 청구항 1 또는 청구항 2에 기재한 다이싱 장치를 제공한다.According to a third aspect of the present invention, in the square case of the dicing apparatus formed in a square shape in plan view, one side of the front portion of the corners on the diagonal line where the workpiece exchange portion is disposed is obliquely cut, A dicing apparatus as set forth in claim 1 or 2, wherein openings for performing workpiece exchange and maintenance are formed on one side of the front portion of the apparatus.

이 구성에 따르면, 방형으로 형성된 다이싱 장치의 방형 케이스는, 그 앞부분의 일측은 비스듬하게 잘려지고, 또한, 이 방형 케이스의 앞부분의 일측에 워크 교환 및 메인터넌스를 행하기 위한 개구부가 형성되어 있다. 따라서, 오퍼레이터는 이 개구부로부터 블레이드, 노즐 및 스핀들까지의 액세스 거리가 짧아진다.According to this configuration, the rectangular case of the dicing apparatus formed in a square shape has one side of the front portion cut obliquely, and an opening for performing work exchange and maintenance is formed on one side of the front side of the rectangular case. Therefore, the operator has a shorter access distance from the opening to the blade, the nozzle and the spindle.

청구항 4에 기재한 발명은, 청구항 3에 기재한 다이싱 장치를 2대 1조로 하여 서로 맞댄 상태로 짝수조 설치하여 이루어지는 다이싱 장치 유닛으로서, 각 조의 다이싱 장치의 방형 케이스의 앞부분의 일측에 형성한 절결 개소들이 서로 인접하도록 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 다이싱 장치 유닛을 제공한다.According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a dicing apparatus unit comprising a dicing apparatus according to the third aspect of the present invention, And the formed cut-out portions are arranged adjacent to each other.

이 구성에 따르면, 각 조의 다이싱 장치의 방형 케이스의 앞부분의 일측에 형성한 절결 개소들이 서로 인접하도록 배치되어 있으므로, 복수조의 다이싱 장치를 나열하여 레이아웃되어 있어도, 오퍼레이터는, 인접하는 절결 개소의 개구부로부터 블레이드, 노즐 및 스핀들까지의 액세스 거리가 짧아진다.According to this configuration, since the notch portions formed on one side of the front portion of the rectangular case of the respective dicing devices of the respective groups are arranged adjacent to each other, even if a plurality of sets of dicing devices are arranged and arranged, The access distance from the opening to the blade, the nozzle and the spindle is shortened.

청구항 5에 기재한 발명은, 청구항 1 내지 청구항 4에 기재한 다이싱 장치 또는 다이싱 장치 유닛을 이용한 다이싱 방법으로서, 워크를 상기 방형 케이스의 한쪽의 대각선 방향을 따라 반송하고, 방형 케이스의 대략 중앙부에 형성한 워크 절단 가공부에서 정지시킨 후, 상기 스핀들에 부착한 상기 블레이드를 워크 절단 위치까지 이동시키고, 이 블레이드의 회전에 의해 워크를 절단하는 것을 특징으로 하는 다이싱 방법을 제공한다.According to a fifth aspect of the present invention, there is provided a dicing method using the dicing apparatus or the dicing apparatus unit according to any one of the first to fourth aspects of the present invention, wherein the workpiece is transported along one diagonal direction of the rectangular case, The present invention also provides a dicing method in which the blade attached to the spindle is moved to a workpiece cutting position after the workpiece is cut at a workpiece cutting machining portion formed at the center and the workpiece is cut by the rotation of the blade.

이 방법에 의하면, 워크를 방형 케이스의 한쪽의 대각선 방향을 따라 반송하고, 방형 케이스의 대략 중앙부에 형성한 워크 절단 가공부에서 정지시킨 후, 상기 스핀들에 부착한 블레이드를 워크 절단 위치까지 이동시키고, 이 블레이드의 회전에 의해 워크를 절단한다. 이 경우, 가장 강성이 높은 워크 절단 가공 부분이 다이싱 장치의 대략 중앙에 위치하므로, 다이싱 장치 전체의 중심 위치가 이 다이싱 장치의 중앙 위치와 대략 일치하고 다이싱 장치의 밸런스가 안정화되어, 진동이 생기기 어려운 상태로 워크에 대하여 절단 가공이 실시된다.
According to this method, after the workpiece is carried along the diagonal direction of one side of the rectangular case and stopped at the workpiece cutting machining portion formed at the substantially central portion of the rectangular case, the blade attached to the spindle is moved to the workpiece cutting position, The work is cut by the rotation of the blade. In this case, since the workpiece cutting portion having the highest rigidity is located substantially at the center of the dicing device, the center position of the entire dicing device is substantially coincident with the center position of the dicing device and the balance of the dicing device is stabilized, The workpiece is subjected to cutting processing in a state in which vibration is less likely to occur.

청구항 1에 기재한 발명은, 워크 절단 가공부의 강성이 높고 중량이 큰 경우에도, 중량이 큰 부분이 다이싱 장치의 중심부와 일치하기 때문에, 다이싱 장치가 전체적으로 중심의 밸런스가 안정화된다. 그 결과, 가공시에 다이싱 장치에 진동이 전달되기 어려운 구조가 되어, 다이싱 장치에 설정한 가공 정밀도를 항상 유지할 수 있다.According to the invention as set forth in claim 1, even if the stiffness of the workpiece cutting-off portion is high and the weight is large, since the portion having a large weight coincides with the center portion of the dicing machine, the center balance of the dicing machine as a whole is stabilized. As a result, a structure in which vibration is hardly transmitted to the dicing device at the time of machining becomes a structure, and the machining precision set in the dicing device can always be maintained.

요컨데, 다이싱 장치내의 대략 중앙에 워크 절단 가공부가 위치함으로써, 가장 높은 강성과 정밀도가 요구되는 부분이 다이싱 장치의 대략 중앙에 위치하므로, 다이싱 장치의 중심 위치가 다이싱 장치의 중앙 위치와 대략 일치하여 다이싱 장치 전체의 밸런스가 안정화된다. 따라서, 워크 절단 가공시에 있어서의 진동을 극력 제지할 수 있다.Therefore, the position of the center of the dicing apparatus is shifted from the center position of the dicing apparatus to the center position of the dicing apparatus, The balance of the entire dicing apparatus is stabilized. Therefore, vibration at the time of cutting the workpiece can be suppressed as much as possible.

또한, 블레이드의 교환, 블레이드의 동축도 혹은 진직도의 확인·조정, 스핀들의 단면 조정 및 노즐의 위치 조정을 행할 때, 오퍼레이터는 다이싱 장치의 배면측으로 이동하는 일 없이 다이싱 장치의 앞면측에서 간편하게 작업을 행할 수 있으므로, 이들의 작업 효율을 현저하게 향상시킬 수 있다.Further, when changing the blade, checking or adjusting the coaxiality or straightness of the blade, adjusting the cross-section of the spindle, and adjusting the position of the nozzle, the operator does not move to the back side of the dicing apparatus, The work can be carried out easily, and the working efficiency of these can be remarkably improved.

청구항 2에 기재한 발명은, 가장 높은 강성과 정밀도가 요구되는 워크 절단 가공 부분이 다이싱 장치의 대략 중앙에 위치하므로, 다이싱 장치 전체의 중심 위치가 이 다이싱 장치의 중앙 위치와 대략 일치하고, 다이싱 장치의 밸런스가 안정화된다. 그 때문에, 절단 가공시에 다이싱 장치 전체적으로 진동이 생기기 어려운 구조가 되어, 다이싱 장치에 설정한 가공 정밀도를 항상 유지할 수 있다.According to the invention as set forth in claim 2, since the workpiece cutting portion requiring the highest rigidity and accuracy is located substantially at the center of the dicing machine, the center position of the entire dicing machine is substantially coincident with the center position of the dicing machine , The balance of the dicing device is stabilized. As a result, the structure becomes less likely to cause vibration throughout the dicing apparatus at the time of cutting, and the machining accuracy set in the dicing apparatus can be maintained at all times.

또한, 블레이드의 교환, 블레이드의 동축도 혹은 진직도의 확인·조정, 스핀들의 단면 조정 및 노즐의 위치 조정을 행할 때, 오퍼레이터는 다이싱 장치의 배면측으로 이동하는 일 없이 다이싱 장치의 앞면측에서 간편하게 작업을 행할 수 있으므로, 이들의 작업성을 큰폭으로 향상시킬 수 있다.Further, when changing the blade, checking or adjusting the coaxiality or straightness of the blade, adjusting the cross-section of the spindle, and adjusting the position of the nozzle, the operator does not move to the back side of the dicing apparatus, The work can be carried out easily, so that the workability of these can be greatly improved.

청구항 3 기재의 발명에서는, 오퍼레이터는 블레이드, 노즐 및 스핀들까지의 액세스 거리가 짧아지므로, 청구항 1 또는 청구항 2에 기재한 발명의 효과에 더하여, 방형 케이스의 외형 치수가 큰 경우에도, 블레이드의 교환, 블레이드의 동축도 혹은 진직도의 확인·조정 작업, 스핀들의 단면 조정 작업 및 노즐의 위치 조정 작업을 더욱 간편하게 행할 수 있다.According to the invention described in claim 3, in addition to the effects of the invention described in claim 1 or claim 2, since the operator has a shorter access distance to the blades, nozzles and spindles, even when the outer dimensions of the square case are large, It is possible to simplify and adjust the coaxiality or straightness of the blade, adjust the end face of the spindle, and adjust the position of the nozzle more easily.

청구항 4에 기재한 발명에서는, 복수조의 다이싱 장치를 나열하여 레이아웃함으로써, 워크의 다이싱 가공의 생산성 향상을 도모함과 동시에, 인접하는 다이싱 장치들을 채워 배치할 수 있으므로, 스페이스의 유효 활용이 가능하게 되고, 다이싱 장치 1대당의 전유 면적이 작아져, 설비의 공간 절약화가 가능하게 된다.According to the invention as set forth in claim 4, since a plurality of sets of dicing devices are arranged and arranged, productivity of the dicing process of the work can be improved, and adjacent dicing devices can be filled and arranged, So that the total area of the dicing device per unit area is reduced, thereby making it possible to save the space of the facility.

또한, 블레이드의 교환, 블레이드의 동축도 혹은 진직도의 확인·조정, 스핀들의 단면 조정 및 노즐의 위치 조정을 행할 때에, 오퍼레이터는 블레이드, 노즐 및 스핀들까지의 액세스 거리가 짧아지므로, 복수대의 다이싱 장치를 일개소에 집약화한 경우에도, 블레이드의 교환, 블레이드의 동축도 혹은 진직도의 확인·조정 작업, 스핀들의 단면 조정 작업 및 노즐의 위치 조정 작업을 보다 간편하게 행할 수 있다.Further, when the blade is exchanged, the coaxiality or straightness of the blade is checked and adjusted, the end face of the spindle is adjusted, and the position of the nozzle is adjusted, the operator has to shorten the access distance to the blade, the nozzle and the spindle, It is possible to more easily perform the operations of exchanging the blades, checking or adjusting the coaxiality or straightness of the blade, adjusting the end face of the spindle, and adjusting the position of the nozzle even when the apparatus is concentrated in one place.

청구항 5에 기재한 발명은, 워크의 절단 가공을 행할 때에 진동이 생기기 어렵기 때문에, 다이싱 장치에 설정한 높은 가공 정밀도를 안정적으로 확보할 수 있다.
According to the invention as set forth in claim 5, since vibration is unlikely to occur when cutting a workpiece, high machining accuracy set in the dicing apparatus can be stably secured.

도 1은 본 발명의 일 실시예를 나타내고, 다이싱 장치의 각부의 레이아웃을 설명한 배치 평면도이다.
도 2는 도 1의 다이싱 장치를 2대 나열한 구성예를 나타낸 평면도이다.
도 3은 본 실시예에 관한 다이싱 장치의 로더를 공용화하여 2대 나열한 구성예를 나타낸 평면도이다.
도 4는 도 1의 다이싱 장치를 4대 나열한 구성예를 나타낸 평면도이다.
도 5는 본 실시예에 관한 블레이드를 스핀들에 부착할 때의 상태를 설명한 사시도이다.
도 6은 도 5의 블레이드 외주의 측면에 전기 마이크로 미터의 픽업을 대고 블레이드의 흔들림폭을 측정할 때 상태를 설명한 사시도이다.
도 7은 도 5의 블레이드의 최외주부에 전기 마이크로 미터의 픽업을 대고 블레이드의 진원도(眞円度)를 측정할 때 상태를 설명한 측면도이다.
도 8은 본 실시예에 있어서 스핀들의 교환 등을 설명하기 위한 도면이며, 도 8(a)는 스핀들(A)의 교환 등을 설명하기 위한 평면도, 도 8(b)는 스핀들(B)의 교환 등을 설명하기 위한 평면도이다.
도 9는 본 실시예에 있어서 케이스상의 워크 교환부 위치측은 클린 존이며, 스핀들 이동 기구를 끼우고 그 반대측은 더티 존인 것을 설명하기 위한 평면도이다.
도 10은 케이스 형상의 변형예를 나타낸 도면이며, 도 10(a)는 8각형으로 한 경우의 평면도, 도 10(b)는 7각형으로 한 경우의 평면도이다.
도 11은 종래예를 나타내고, 다이싱 장치의 각부의 레이아웃을 설명한 배치 평면도이다.BRIEF DESCRIPTION OF DRAWINGS FIG. 1 is a layout plan view showing one embodiment of the present invention and explaining a layout of each part of a dicing apparatus. FIG.
Fig. 2 is a plan view showing a configuration example in which two dicing devices of Fig. 1 are arranged.
3 is a plan view showing a configuration example in which two loaders of the dicing apparatus according to the present embodiment are shared and shared.
Fig. 4 is a plan view showing a configuration example in which four dicing devices of Fig. 1 are arranged.
5 is a perspective view for explaining a state of attaching the blade according to the present embodiment to a spindle.
FIG. 6 is a perspective view illustrating a state in which a pickup of the electric micrometer is placed on the side of the outer periphery of the blade of FIG. 5 and the swing width of the blade is measured.
FIG. 7 is a side view illustrating a state in which the pickup of the electric micrometer is placed on the outermost periphery of the blade of FIG. 5 and the roundness of the blade is measured.
8A is a plan view for explaining the replacement of the spindle A and FIG. 8B is a view for explaining the replacement of the spindle B And the like.
9 is a plan view for explaining that the position on the case side of the work exchange unit on the case is a clean zone in the present embodiment, the spindle moving mechanism is sandwiched, and the opposite side is a dirty zone.
Fig. 10 is a view showing a modified example of the case shape. Fig. 10 (a) is a plan view of an octagonal shape, and Fig. 10 (b) is a plan view of a case of a hexagonal shape.
11 is a layout plan view showing a conventional example and illustrating the layout of each part of the dicing apparatus.

본 발명은, 블레이드의 교환, 진직도, 동축도 확인 및 단면 조정 및 노즐 조정 등을 용이하게 실행할 수 있고, 또한, 메인터넌스의 작업성을 향상시켜, 다이싱 장치의 중심을 안정화시킴과 동시에, 설치 스페이스를 축소시킨다는 목적을 달성하기 위하여, 워크를 재치한 워크 테이블과, 이 워크를 절단하는 블레이드와, 상기 워크 테이블 위의 워크를 상기 블레이드에 대하여 상대적으로 이동시키는 워크 테이블 이송 기구와, 상기 블레이드를 회전 가능하게 부착한 스핀들과, 이 스핀들을 지지하는 스핀들 이동 기구와 상기 워크 테이블 이송 기구가 서로 직교하여 배치된 다이싱 장치에 있어서, 상기 스핀들 이동 기구와 상기 워크 테이블 이송 기구는, 평면으로 보아 방형으로 형성된 다이싱 장치의 방형 케이스의 대각선 위에 배치되고, 또한, 상기 다이싱 장치의 대략 중앙부에 워크 절단 가공부가 배치되어 있음과 동시에, 상기 다이싱 장치의 앞부분에 워크 교환부가 설치되고, 상기 워크 절단 가공부를 끼우고 상기 워크 교환부와 반대측에, 미스트 배기부가 배치되어 있는 것에 의해 실현된다.
It is an object of the present invention to facilitate the exchange of the blades, the straightness, the coaxiality, the cross-section adjustment, the nozzle adjustment, and the like, and to improve the workability of maintenance and to stabilize the center of the dicing apparatus, A work table moving mechanism for relatively moving the work on the work table relative to the blade; and a work table moving mechanism for moving the work on the work table, The spindle moving mechanism and the work table moving mechanism are arranged such that the spindle moving mechanism and the work table moving mechanism are arranged in a plane, Is arranged on the diagonal line of the rectangular case of the dicing apparatus formed by the die A workpiece cutting portion is disposed at a substantially central portion of the apparatus and a workpiece changing portion is provided at a front portion of the dicing device and a mist removing portion is disposed at the opposite side of the workpiece cutting portion from the workpiece changing portion .

[실시예 1][Example 1]

이하, 본 발명의 적합한 실시예를 도 1 내지 도 7에 따라 설명한다. 도 1은 본 실시예에 관한 다이싱 장치(21)를 나타낸 평면도이다. 도 1에 나타낸 바와 같이, 다이싱 장치(21)의 본체부인 케이스(22)의 평면시(平面視) 형상은 방형으로 형성되고, 방형 케이스(이하, 「방형 케이스」라고 함)(22)의 우전측 구석부의 직각 이등변 삼각형 부분은 잘려지고, 다이싱 장치(21)의 앞면에 대하여 45도의 각도를 이루는 사변 가장자리부가 형성되어 있다. 이 사변 가장자리부에는 개폐 커버가 있는 개구부(23)가 형성되고, 이 개구부(23)로부터 방형 케이스(22) 위에서 워크 교환 및 메인터넌스 작업을 행할 수 있도록 구성되어 있다.Hereinafter, a preferred embodiment of the present invention will be described with reference to Figs. 1 is a plan view showing a dicing apparatus 21 according to the present embodiment. 1, the case 22 as a main body of the dicing device 21 is formed in a square shape in a plan view, and a rectangular case 22 (hereinafter referred to as a rectangular case) The right-angle isosceles triangle portion of the right-side corner portion is cut off and the oblique edge portion having an angle of 45 degrees with respect to the front surface of the dicing device 21 is formed. An opening 23 having an opening / closing cover is formed on the side edge of the obverse side, and the workpiece can be exchanged and a maintenance work can be performed from the opening 23 on the rectangular case 22. [

또한, 방형 케이스(22) 위에는, 워크인 웨이퍼(W)가 재치되는 회전 가능한 워크 테이블(24)과, 이 웨이퍼(W)를 절단하는 블레이드(25, 25)와, 웨이퍼(W)를 재치한 워크 테이블(24)을 블레이드(25, 25)에 대하여 상대적으로 이동시키는 워크 테이블 이송 기구(26)가 설치되어 있다. 워크 테이블 이송 기구(26)는, 도 2에 나타낸 바와 같이, 방형 케이스(22)의 우전측 구석부와 좌후측 구석부를 연결하는 제1 대각선 위에 설치되어 있다.On the rectangular case 22, there are provided a rotatable work table 24 on which a work-in-wafer W is placed, blades 25 and 25 for cutting the wafer W, A work table feed mechanism 26 for moving the work table 24 relative to the blades 25 and 25 is provided. As shown in Fig. 2, the work table feed mechanism 26 is provided on a first diagonal line connecting the right side corner portion and the left rear corner portion of the rectangular case 22.

또한, 방형 케이스(22) 위에는 스핀들 이동 기구(28)가 설치되고, 이 스핀들 이동 기구(28)는 가이드 레일(29)을 구비하고 있다. 스핀들 이동 기구(28)는, 방형 케이스(22)의 좌전측 구석부와 우후측 구석부를 연결하는 제2 대각선 위에 설치되어 있다. 때문에, 스핀들 이동 기구(28)는, 워크 테이블 이송 기구(26)에 대하여 직교하도록 배치되어 있다. 따라서, 스핀들 이동 기구(28)의 가이드 레일(29)은, 워크 테이블 이송 기구(26)에 의한 워크 이송 방향에 대하여 직각으로 교차한다.A spindle moving mechanism 28 is provided on the rectangular case 22 and the spindle moving mechanism 28 is provided with a guide rail 29. The spindle moving mechanism 28 is provided on the second diagonal line connecting the left-side corner portion and the right-side corner portion of the rectangular case 22. Therefore, the spindle moving mechanism 28 is arranged so as to be orthogonal to the work table transfer mechanism 26. Therefore, the guide rails 29 of the spindle moving mechanism 28 cross at right angles to the workpiece conveying direction by the workpiece table conveying mechanism 26.

가이드 레일(29)에는, 2개의 스핀들(30, 30)이 이동 가능하게 지지되고, 이 스핀들(30, 30)은 동일축선상에서 서로 대향하여 배치되어 있다. 각 스핀들(30, 30)에는 블레이드(25, 25)가 회전 가능하게 부착되어 있다.Two spindles 30 and 30 are movably supported on the guide rail 29 and these spindles 30 and 30 are disposed so as to face each other on the same axis. Blades 25 and 25 are rotatably attached to the spindles 30 and 30, respectively.

또한, 다이싱 장치(21)의 대략 중앙부, 즉, 방형 케이스(22)에서의 스핀들 이동 기구(28)와 워크 테이블 이송 기구(26)가 직교하는 부분에는 워크 절단 가공부(32)가 배치되고, 이 워크 절단 가공부(32)에서 블레이드(25, 25)에 의해 웨이퍼(W)를 절단 가공할 수 있도록 구성되어 있다.The workpiece cutting machining portion 32 is disposed at a substantially central portion of the dicing device 21, that is, at a portion where the spindle moving mechanism 28 and the work table feed mechanism 26 in the rectangular case 22 are orthogonal to each other And the wafer W is cut by the blades 25 and 25 in the work cutting processing portion 32. [

본 실시예의 웨이퍼 절단 가공부(32)에 있어서는, 블레이드(25, 25)를 보유하는 스핀들(30, 30)의 이동 거리를 대각선의 길이에 따라 길게 할 수 있기 때문에, 대구경의 웨이퍼라도 이것을 효율 좋게 절단할 수 있다. 또한, 스핀들 이동 기구(28)(또는 가이드 레일(29))는 강도적으로 문형(門型) 구조로 형성하는 것을 가능하게 하고, 본 실시예에서는, 스핀들 이동 기구(28)를 지지하는 문형의 지주는, 다이싱 장치(21)의 방형 케이스(22)의 지주와 공용할 수 있도록 구성되어 있다.The moving distance of the spindles 30 and 30 holding the blades 25 and 25 can be increased in accordance with the length of the diagonal line in the wafer cutting processing portion 32 of the present embodiment, Can be cut. In addition, the spindle moving mechanism 28 (or the guide rail 29) can be formed to have a strength in a gate-type structure. In the present embodiment, the spindle moving mechanism 28 The pillar is configured to be able to share with the support of the rectangular case (22) of the dicing device (21).

따라서, 강성이 높은 스핀들 이동 기구(28)용의 문형의 지주를 특별히 제공하지 않아도, 다이싱 장치(21) 내에 스핀들 이동 기구(28) 및 가이드 레일(29)을 효율 좋게 배치할 수 있고, 고강성이며 고정밀도의 다이싱 장치(21)를 구성할 수 있다.Therefore, the spindle moving mechanism 28 and the guide rail 29 can be efficiently arranged in the dicing device 21 without providing a column-shaped support for the spindle moving mechanism 28 having a high rigidity, The dicing device 21 having rigidity and high precision can be constructed.

또한, 다이싱 장치(21)의 우전측 부분에는 워크 교환부(33)가 설치되고, 이 워크 교환부(33)는, 방형 케이스(22)의 우전측 사변 가장자리에 형성한 개구부(23)에 근접하여 배치되어 있다. 이 워크 교환부(33)에 있어서, 워크 테이블(24)에 재치된 웨이퍼(W)를 용이하게 교환할 수 있다.A workpiece changer 33 is provided on the right side portion of the dicing machine 21. The workpiece changer 33 is movable in the opening 23 formed on the right side of the rectangular case 22 Are arranged in close proximity. The wafer W placed on the work table 24 can be easily exchanged in the work exchange portion 33. [

도면 중의 부호 34는, 워크 절단 가공부(32)로부터 흘러나오는 절삭수나 세정수의 폐액을 받는 오일 팬이며, 오일 팬(34)은 워크 테이블 이송 기구(26)를 포위하도록 형성되어 있다.Reference numeral 34 in the drawing denotes an oil pan which receives a waste liquid of cutting water or cleaning water flowing out of the workpiece cutting processing section 32. The oil pan 34 is formed so as to surround the workpiece table transfer mechanism 26. [

또한, 방형 케이스(22)의 좌후측 구석부에는, 배수구(35)를 가지는 배수 기구(36)와, 배기구(37)를 가지는 배기 기구(38)가 배치되어 있다. 상기 배수구(35)는, 고속 회전하는 블레이드(25, 25)로 웨이퍼(W)를 절단할 때에, 이 블레이드(W)의 회전 방향에 따라 절삭수나 세정수가 비산하는 방향의 대략 연장선상에 배치되어 있다. 또한, 상기 배기구(37)는 배수구(35)와 대응하는 바로 상부에 형성되어 있다. 또한, 다이싱 장치(21)의 소정 위치에는, 조작·표시부, 촬상 수단, 모니터 TV, 표시등 및 콘트롤러(도시하지 않음) 등이 설치되어 있다.A drainage mechanism 36 having a drainage port 35 and an exhaust mechanism 38 having an exhaustion port 37 are disposed in the left rear corner portion of the rectangular case 22. When the wafer W is cut by the blades 25 and 25 rotating at a high speed, the drain port 35 is disposed on an approximately extended line in the direction in which the cutting water and the washing water scatter in accordance with the rotational direction of the blade W have. Further, the exhaust port 37 is formed directly above the drain port 35. In addition, an operation / display unit, an imaging unit, a monitor TV, a display, and a controller (not shown) are provided at predetermined positions of the dicing unit 21.

다음에, 상기 다이싱 장치(21)를 이용한 다이싱 가공 방법에 대해 설명한다. 먼저, 스핀들(30, 30)에 블레이드(25, 25)를 부착함과 동시에, 워크 테이블(24)에 웨이퍼(W)를 재치 고정한다. 다음에, 워크 테이블(24)을 워크 테이블 이송 기구(26)에 의해 방형 케이스(22)의 제1 대각선 방향을 따라 방형 케이스(22)의 대략 중앙부측으로 반송시키고, 워크 절단 가공부(32)에 웨이퍼(W)를 소정의 이동 속도로 반입시킨다.Next, a dicing processing method using the dicing device 21 will be described. First, the blades 25 and 25 are attached to the spindles 30 and 30, and the wafers W are fixed to the workpiece table 24. Next, the work table 24 is transferred by the work table transfer mechanism 26 to the substantially central portion side of the rectangular case 22 along the first diagonal direction of the rectangular case 22, and is transferred to the work cutting processing portion 32 Thereby bringing the wafer W at a predetermined moving speed.

그런 후, 워크 절단 가공부(32)의 중심을 향하여 스핀들(30, 30)을 이동시키고, 이 스핀들(30, 30)에 부착한 블레이드(25, 25)를 고속 회전시키면서, 웨이퍼(W)의 절단 가공을 행한다. 가공 중, 스핀들(30, 30)의 선단에 형성한 절삭수용 노즐 및 세정용 노즐(도시하지 않음)로부터 각각 절삭수 및 세정수를 웨이퍼(W)의 가공 포인트에 공급한다.Thereafter, the spindles 30 and 30 are moved toward the center of the workpiece cutting portion 32 and the blades 25 and 25 attached to the spindles 30 and 30 are rotated at a high speed, And a cutting process is performed. During machining, the cutting water and the washing water are supplied from the cutting water receiving nozzle and the cleaning nozzle (not shown) formed at the ends of the spindles 30, 30 to the machining point of the wafer W, respectively.

그리고 공급된 절삭수(세정수를 포함함, 이하 동일)는, 오일 팬(34)에 의해 받아진 후, 오일 팬(34)의 하류측으로 흘러, 배수구(36)로부터 배수관을 통과하여 외부로 배출된다. 또한, 가공시에, 절삭수와 함께 미스트가 블레이드(25, 25)의 회전 방향을 따라 비산하고, 비산한 미스트는 상승하면서 워크 절단 가공부(32)로부터 방형 케이스(22)의 좌후측 구석부를 향하여 흐른다. 방형 케이스(22)의 좌후측 구석부에 흐른 미스트는, 배수구(35)의 상방에 형성한 배기구(37)로부터 배기관을 통과하여 외부로 배출된다.Then, the supplied cutting water (including cleaning water, hereinafter the same) is received by the oil pan 34, then flows to the downstream side of the oil pan 34 and is discharged from the drain port 36 through the drain pipe to the outside do. At the time of machining, the mist is scattered along the rotational direction of the blades 25, 25 together with the cutting water, and the scattered mist is raised from the work cutting machining portion 32 to the left rear corner portion of the square case 22 . The mist flowing in the left rear corner portion of the rectangular case 22 passes through the exhaust port 37 formed above the drain port 35 and is discharged to the outside.

이렇게 하여, 웨이퍼(W)에 대한 하나의 절단 라인을 따르는 다이싱 가공이 종료되면, 블레이드(25, 25)는, 다음에 가공하는 옆의 절단 라인에 인덱스 이송되어 위치 결정되고, 상기와 같은 가공 순서에 의해, 이 절단 라인을 따르는 다이싱 가공이 실시된다.Thus, when the dicing process along one cutting line with respect to the wafer W is completed, the blades 25 and 25 are index-fed and positioned on the next cutting line to be processed, By the procedure, dicing processing along this cutting line is carried out.

그리고 상기 다이싱 가공이 반복됨으로써, 소정수의 절단 라인을 따르는 다이싱 가공이 모두 종료되면, 워크 테이블(24)과 함께 웨이퍼(W)를 90도 회전시키고, 상기와 같은 가공 순서에 의해, 상술한 절단 라인과 직교하는 방향의 절단 라인을 따라 다이싱 가공이 행해진다.When the dicing process is repeated to complete the dicing process along the predetermined number of cutting lines, the wafer W is rotated 90 degrees together with the work table 24, The dicing process is performed along the cutting line in the direction orthogonal to one cutting line.

이렇게 하여, 이 절단 라인을 따르는 다이싱 가공이 모두 완료되면, 웨이퍼(W)는 다수의 칩으로 절단 분할된다. 이 후, 웨이퍼(W)를 재치한 워크 테이블(24)은 워크 테이블 이동 기구(26)에 의해 워크 교환부(33)로 반송되고, 다음에 가공해야 하는 웨이퍼(W)와 교환된다. 이 후, 상기 가공 순서에 따라, 이 웨이퍼(W)의 다이싱 가공이 새롭게 실시된다.Thus, when the dicing process along the cutting line is completed, the wafer W is cut and divided into a plurality of chips. Thereafter, the work table 24 on which the wafers W are mounted is transferred to the work exchange unit 33 by the work table movement mechanism 26, and is then exchanged with the wafers W to be processed next. Thereafter, dicing of the wafer W is newly performed in accordance with the above-described machining sequence.

다음에, 본 발명에 관한 다이싱 가공의 구체적인 실시형태에 대하여 보충 설명한다. 상기 블레이드(25)는, 도 5에 나타낸 바와 같이, 블레이드(25)를 부착하는 블레이드 플랜지(50)에 맞추어 부착한다. 그리고 블레이드 플랜지(50) 단면에 블레이드(25)를 끼워넣고, 그 위로부터, 너트(51)를 조임으로써 블레이드(25)를 고정한다. 블레이드 플랜지(50)의 진직도가 충분히 나오기 때문에, 진직도가 어긋나는 경우는 거의 없지만, 블레이드(25)와 블레이드 플랜지(50)의 사이에 이물이 끼어 들어가거나 혹은, 너트(51)의 조임이 충분하지 않는 경우에는, 진직도를 확보할 수 없는 경우가 있다.Next, a specific embodiment of the dicing process according to the present invention will be supplementarily described. The blade 25 is attached to the blade flange 50 to which the blade 25 is attached, as shown in Fig. Then, the blade 25 is inserted into the end surface of the blade flange 50, and the blade 25 is fixed by tightening the nut 51 from above. The straightness of the blade flange 50 is sufficiently extended so that the straightness hardly deviates. However, the foreign matter may get caught between the blade 25 and the blade flange 50, or the nut 51 may suffice In some cases, the straightness may not be secured.

상기 블레이드(25)를 조이는 너트(51)는 전용의 토크 렌치를 사용하여, 약 40 Kgf·cm 정도의 토크로 조인다. 블레이드(25)를 부착한 후, 도 6에 나타낸 바와 같이, 블레이드(25) 외주의 측면에 전기 마이크로 미터(52)의 픽업(53)을 대고, 블레이드(25)를 천천히 회전시키면서, 블레이드(25)의 흔들림폭을 측정한다. 또한, 전기 마이크로 미터(52)를 상기 워크 테이블(24) 위에 고정하고, 블레이드(25)를 상대적으로 천천히 앞뒤로 슬라이드시켜, 블레이드(25)의 진직도를 확인한다.The nut 51 for tightening the blade 25 is tightened with a torque of about 40 Kgf · cm using a dedicated torque wrench. 6, a pickup 53 of the electric micrometer 52 is placed on the side of the outer periphery of the blade 25 and the blade 25 is rotated slowly while rotating the blade 25 ) Is measured. Further, the electric micrometer 52 is fixed on the work table 24, and the blade 25 is relatively slowly slid back and forth so that the straightness of the blade 25 is confirmed.

이 경우, 블레이드(25)를 약간 회전시켜 상기와 마찬가지로, 블레이드(25)를 상대적으로 천천히 앞뒤로 슬라이드시킨다. 블레이드(25)가 블레이드 플랜지(50)에 대하여 기울여 부착되고, 블레이드(25)의 진직도가 나오지 않은 경우에는, 블레이드 플랜지(50) 단면의 진직도와 비교하여 상대적으로 위치 편차가 발생한다. 그 위치 편차를 확인함으로써, 블레이드(25)의 진직도를 확인할 수 있다.In this case, the blade 25 is slightly rotated to slide the blade 25 back and forth relatively slowly, similarly to the above. When the blade 25 is tilted and attached to the blade flange 50 and the straightness of the blade 25 is not straightened, positional deviation relatively occurs as compared with the straightness of the cross section of the blade flange 50. By checking the positional deviation, the straightness of the blade 25 can be confirmed.

이러한 측정에서는, 전기 마이크로 미터(52)를 정확하게 세트하는 것이 요구된다. 진직도를 확인하기 위한 전기 마이크로 미터(52)를 정확하게 세트하기 위해서는 블레이드(25)의 외주 부근의 소정의 장소에 전기 마이크로 미터(52)의 픽업(53)을 대고, 블레이드(25)의 대략 정면과 블레이드(25)의 측면, 즉 블레이드(25)가 선상으로 보이는 방향과의 양쪽에서 보아 확인할 필요가 있다. 본 발명의 상기 구성에 따르면, 블레이드(25) 및 스핀들(30) 단면은 대향형이라고 하더라도, 양쪽을 마찬가지로 시인할 수 있기 때문에, 이러한 메인터넌스를 적합하게 실시하는 것이 가능하게 된다. 통상, 이 진직도의 조정에 있어서, 그 흔들림폭의 범위는, 1∼3 ㎛ 이하로 억제하여 조정한다.In this measurement, it is required to set the electric micrometer 52 correctly. To accurately set the electric micrometer 52 for confirming the straightness, a pickup 53 of the electric micrometer 52 is placed at a predetermined position near the outer periphery of the blade 25, And the side of the blade 25, that is, the direction in which the blade 25 is viewed in a line. According to the above-described structure of the present invention, even if the cross section of the blade 25 and the spindle 30 is opposed to each other, both of them can be visually recognized in the same manner. Normally, in the adjustment of the straightness, the range of the swing width is adjusted to be suppressed to 1 to 3 mu m or less.

또한, 블레이드(25)의 동축도의 확인에 있어서는, 도 7에 나타낸 바와 같이, 블레이드(25)의 최외주부에 전기 마이크로 미터(52)의 픽업(53)을 대고 측정한다. 블레이드(25) 단체의 진원도는, 블레이드(25) 자체의 검사에 맡겨진다. 한편, 동축도에 있어서는, 블레이드(25)의 중심과 스핀들(30)의 중심이 합치되지 않은 경우에 불량이 되기 때문에, 이것은 블레이드(25) 교환의 메인터넌스 시에 일어난다. 따라서, 블레이드(25)를 교환하여, 새로 부착했을 때에는, 이 동축도 조정도 가능한 한 행하는 것이 바람직하다.In order to confirm the coaxiality of the blade 25, as shown in Fig. 7, the pickup 53 of the electric micrometer 52 is placed on the outermost peripheral portion of the blade 25 and measured. The roundness of the blade 25 is left to the inspection of the blade 25 itself. On the other hand, in the case of the coaxiality, it becomes defective when the center of the blade 25 and the center of the spindle 30 are not aligned. This occurs during maintenance of the exchange of the blade 25. Therefore, when the blades 25 are exchanged and newly attached, it is desirable to perform this coaxiality adjustment as long as possible.

이 동축도가 확보되어 있지 않은 경우는, 피가공물의 절단시에 블레이드(25)가 피가공물에 대해 단속적으로 접촉하여, 블레이드(25) 외주가 한쪽으로 치우치는 경우가 있다. 또한, 극단적인 경우, 진동을 유발하여, 정밀도 좋게 컷할 수 없는 경우도 있다. 이러한 동축도의 측정은, 블레이드(25) 외주에 전기 마이크로 미터(52)의 픽업(53)을 대고, 스핀들(30)과 블레이드(25)를 천천히 회전시키면서, 그 흔들림폭을 본다. 일회전에 따라 흔들리는 쪽이 주기적으로 나타나지만, 그 흔들림폭의 절반이 동축도에 상당한다. 이 동축도도 1∼3 ㎛ 이하 정도로 하는 것이 바람직하다.When the coaxiality is not ensured, the blade 25 intermittently contacts the workpiece at the time of cutting the workpiece, and the outer periphery of the blade 25 may be biased to one side. Further, in extreme cases, vibration may be induced, and the cut can not be performed with high precision. The measurement of the coaxiality is performed by rotating the spindle 30 and the blade 25 slowly while holding the pickup 53 of the electric micrometer 52 on the outer periphery of the blade 25. The side that swings along with one rotation periodically appears, but half of the swinging width corresponds to the coaxiality. The coaxiality is preferably about 1 to 3 mu m or less.

이러한 동축도에 대해서도, 블레이드(25)를 절단 방향에서 보아, 블레이드(25)가 선상으로 보이는 장소에서 블레이드(25)와 전기 마이크로 미터(52)의 픽업(53)의 위치를 확인하여, 그 상태에서 블레이드(25) 최외주부의 선단에 전기 마이크로 미터(52)의 픽업(53)을 댄다. 이 위치가 어긋나면, 동축도는 좋음에도 불구하고, 흔들림폭이 나빠지는 결과가 되는 경우도 있기 때문에, 충분히 주의하여 적정한 방향으로부터 조정할 필요가 있다. 본 발명의 구성에서는, 이것을 적정한 방향으로부터 행할 수 있기 때문에, 블레이드(25)를 부착한 후의 정밀도 확인을 정확하게 행할 수 있다.The position of the blades 25 and the pickup 53 of the electric micrometer 52 is checked at a position where the blade 25 is viewed in a line as viewed from the cutting direction of the blade 25, The pick-up 53 of the electric micrometer 52 is placed at the tip of the outermost peripheral portion of the blade 25 at the tip of the blade. If this position is shifted, although the coaxiality is good, the swing width may be deteriorated in some cases. Therefore, it is necessary to adjust from the proper direction with sufficient caution. In the configuration of the present invention, since this can be performed from an appropriate direction, accuracy after the attachment of the blade 25 can be accurately confirmed.

이러한 블레이드(25)로서는, 예를 들면, 미츠비시 머테리얼사 제품 MD325-50 KM050의 회전날 등을 적합하게 사용할 수 있다. 블레이드(25) 선단부에는 다이아몬드 연마용 입자가 금속 전착(電着)되어 있다. 또, 비트리파이드본드 등으로 소결된 블레이드(25) 등도 적합하게 사용할 수 있다. 이러한 블레이드(25)는 절단시에 입자 부서짐을 일으키면서도 다이아몬드가 탈락하여, 새로운 연마용 입자가 안에서 나온다는 연마용 입자의 자생 작용을 이용하면, 블레이드(25)를 비교적 길게 사용할 수 있다.As the blade 25, for example, a rotating blade of MD325-50 KM050 manufactured by Mitsubishi Materials Co., Ltd. can be suitably used. At the tip of the blade 25, diamond abrasive grains are electrodeposited. The blade 25 sintered with a non-trippled bond or the like can also be suitably used. The blade 25 can be used for a comparatively long period of time by utilizing the abrasive grains' naturally occurring action, in which diamonds fall off and new polishing particles come out from the blades 25 at the time of cutting.

절삭하는 피가공물로서는, 통상은 실리콘 웨이퍼나 반도체 디바이스 전용의 실리콘 웨이퍼 등이 많이 있지만, 이것에 한정된 것은 아니다. 알루미나 등의 세라믹이나 석영 유리, 또, 사파이어 기판상의 GaN, AlTiC 기판 등 다양한 피가공물의 절단 가공에 대해 적용할 수 있다. 또한, 피가공물의 형상에 대해서도, 웨이퍼는 원반상이지만, 각형 기판 등에 대해서도 워크 테이블(24)의 형태를 바꿈으로써 대응하는 것이 가능하다.As the workpiece to be cut, there are usually many silicon wafers and silicon wafers dedicated to semiconductor devices, but the present invention is not limited thereto. For example, ceramics such as alumina, quartz glass, and GaN and AlTiC substrates on sapphire substrates. With respect to the shape of the workpiece, the wafer is in a disk shape, but it can also be handled by changing the shape of the work table 24 with respect to a rectangular substrate or the like.

피가공물의 절단 조건으로서는, 예를 들면, 이하의 조건을 이용할 수 있다. As the cutting condition of the work, for example, the following conditions can be used.

스핀들 회전수 10000 rpm∼30000 rpm Spindle speed 10000 rpm to 30000 rpm

워크(피가공물)의 이송 속도: 50∼100 mm/sec Feed rate of work (workpiece): 50 to 100 mm / sec

윤활용 순수(純水): 1∼2 L/min, Pure water for lubrication: 1 to 2 L / min,

냉각용 순수: 0.5 L/min∼2 L/min Cooling water: 0.5 L / min to 2 L / min

윤활용 순수는, 특히 절삭시 블레이드(25)의 벤 자리를 따르면서, 블레이드(25)의 회전으로 말려들게 하도록 하면서, 절삭점으로 순수를 옮기면서 공급한다. 또한, 블레이드(25)의 측면으로부터는 블레이드(25) 그 자체가 열을 가지지 않도록 냉각용으로서 물을 공급한다. 이것도 0.5∼2 L/min 정도의 공급량이면 된다.The pure water for lubrication is supplied while transferring the pure water to the cutting point, in particular, so as to allow the blades 25 to swirl while keeping the position of the blade 25 at the time of cutting. Further, from the side surface of the blade 25, water is supplied for cooling so that the blade 25 itself does not have heat. This may be a supply amount of about 0.5 to 2 L / min.

또한, 이러한 조건은, 워크(피가공물)의 재질이나 두께 등에 의해서도 최적화되는 것이며, 상기 사항은 어디까지나 일례이다. 워크(피가공물)의 절단 방향은 일방향이며, 블레이드(25)가 회전하여, 미절단 부분이 블레이드(25)의 회전에 의해 자연스럽게 말려 들어가는 방향으로 워크를 보낸다. 한 번의 워크의 앞에서 블레이드(25)를 내려, 워크를 절단하여 워크를 넘기면, 스핀들(30)을 1 피치 어긋나게 하여, 다음의 절단 위치로 이동한다. 또, 그것과 동시에 블레이드(25)를 일단 위로 들어 올리고, 워크 위를 이동하고, 다시, 워크의 전방에서 블레이드(25)를 내려 워크를 일직선으로 절단한다. 이것을 반복하여, 절단마다 워크를 순차 이동시켜 등간격으로 일직선으로 절단해 간다.These conditions are also optimized by the material and thickness of the work (workpiece), and the above-mentioned matters are merely examples. The cutting direction of the work (workpiece) is unidirectional, and the blade 25 rotates to send the work in a direction in which the uncut portion naturally curls by the rotation of the blade 25. [ When the blade 25 is lowered in front of one work and the work is cut and passed over the work, the spindle 30 is shifted by one pitch and moved to the next cut position. At the same time, the blade 25 is lifted up to one end, moved on the workpiece, and again, the blade 25 is lowered in front of the workpiece to cut the workpiece straightly. This is repeated, and the workpiece is successively moved for each cutting so as to be linearly cut at regular intervals.

한방향의 절단이 완료되면, 워크 테이블(24)을 90도 회전시켜, 다시 워크에 대하여 스핀들을 상대적으로 이동시켜, 일직선상으로 순차 절단해 간다. 이것을 모두 끝내면, 하나의 워크를 다수의 작은 각편(칩 혹은 다이라고 부름)으로 구분할 수 있고, 절단 가공이 완료된다. 이러한 절단 가공은 싱글 스핀들, 즉 하나의 블레이드를 가지는 스핀들로 완전히 절단할 때까지 가공해도 좋지만, 다른 하나의 방식으로서는 더블 스핀들이어도 좋다. 더블 스핀들에서는 대향형의 스핀들이 다용된다. 대향형 스핀들에서는, 한쪽의 스핀들의 블레이드를 초기 절단으로 하고, 다른 한쪽을 최종 절단으로 하여 블레이드 자체도 그 워크 상태에 따라 구분할 수 있다.When cutting in one direction is completed, the work table 24 is rotated by 90 degrees, the spindle is relatively moved relative to the work, and the workpiece is cut in a straight line. When this is done, one work can be divided into a number of small angles (called chips or dice) and the cutting process is completed. This cutting process may be performed until a single spindle, that is, a spindle having one blade, is completely cut, but in the other method, it may be a double spindle. In a double spindle, a counter-rotating spindle is used. In the opposite spindle, the blade of one spindle may be initially cut and the other may be the final cut so that the blade itself can be classified according to the work state.

먼저, 초기 절단으로 피가공물을 완전히 절단하지 않고, 표면 부근에 칼집을 넣어간다. 다음에 스핀들을 1 피치분 보내면, 최종 절단용의 블레이드가 같은 라인에 맞추어져, 워크를 보내면서, 동일한 라인을 최종 절단용의 블레이드가 작동하여, 완전하게 워크를 절단한다. 이러한 워크(피가공물)의 절단 방법은, 예를 들면, 워크의 표면과 내부에서 조성이 바뀌는 경우 등에 적합하게 사용할 수 있다.First, the workpiece is not completely cut by the initial cutting, but the sheath is put near the surface. Next, when the spindle is fed for one pitch, the blades for final cutting are aligned on the same line, and the final cutting blade is operated on the same line while the work is being sent, thereby completely cutting the work. The method of cutting such a work (work) can be suitably used, for example, when the composition changes on the surface and inside of the work.

예를 들면, 표면이 산화막이고 내부가 실리콘 등인 경우, 초기 절단은 비교적 단단한 것을 절단하는 블레이드를 선택하고, 최종 절단은 비교적 부드러운 재료를 절단할 수 있는 블레이드를 사용하면 좋다. 이렇게 절단 방법을 구분함으로써 스루풋도 향상되고, 또한, 재료의 특성에 따른 효율 좋은 절단 가공을 실시할 수 있다. 또한, 대향하는 2개의 블레이드의 간격은, 절단하는 다이(칩)의 간격에 대응시켜 두면 좋다. 칩 사이즈가 작은 경우에는, 2개의 다이(칩) 간격으로 대향하는 블레이드의 간격을 설정해도 좋다.For example, if the surface is an oxide film and the inside is made of silicon or the like, a blade for cutting the relatively hard material is selected for the initial cutting, and a blade capable of cutting the relatively soft material is used for the final cutting. By dividing the cutting method in this manner, it is possible to improve the throughput and to carry out cutting processing with high efficiency in accordance with the characteristics of the material. Further, the gap between the opposing two blades may be made to correspond to the interval of the die (chips) to be cut. When the chip size is small, the intervals of the opposing blades may be set at intervals of two dies (chips).

소정의 수매의 웨이퍼(W)를 다이싱 가공하면, 오일 팬(34)의 최하류측 바닥부에 형성한 배수구(35)의 근방에 연삭 부스러기(연삭 가루를 포함함)가 퇴적되므로, 다이싱 장치(21)의 가동을 정기적으로 정지하여, 오일 팬(34)의 청소가 실행된다.Since grinding debris (including grinding powder) is deposited in the vicinity of the drain port 35 formed at the bottom of the most downstream side of the oil pan 34 when the wafer W having a predetermined purchase is diced, The operation of the device 21 is periodically stopped, and the oil pan 34 is cleaned.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 워크 테이블 이송 기구(26)는, 방형 케이스(22)의 제 1 대각선 위에 배치되어 있음과 동시에, 스핀들 이동 기구(28)는, 방형 케이스(22)의 제 2 대각선 위에 배치되고, 방형 케이스(22)의 대략 중앙부에 워크 절단 가공부(32)가 배치되어 있다.As described above, according to the present invention, the workpiece table transfer mechanism 26 is disposed on the first diagonal line of the rectangular case 22, and the spindle moving mechanism 28 is disposed on the first diagonal line of the rectangular case 22, 2, and a workpiece cutting machining portion 32 is disposed in a substantially central portion of the rectangular case 22. As shown in Fig.

따라서, 가장 높은 강성과 정밀도가 요구되는 워크 절단 가공부(32), 즉, 최대 중량 부분의 중량이 큰 경우에도, 이 중심 위치가 다이싱 장치(21)의 중앙 위치와 대략 일치하므로, 다이싱 장치(21) 전체의 밸런스가 안정화된다. 이렇게 하여, 워크 절단 가공시에, 다이싱 장치(21)의 중심의 언밸런스에 기인하는 진동의 발생이 극력 제지되기 때문에, 다이싱 장치(21)에 설정한 가공 정밀도가 안정적으로 유지된다.Therefore, even when the weight of the workpiece cutting portion 32, that is, the weight of the maximum weight portion, which requires the highest rigidity and accuracy, is large, the center position is substantially the same as the center position of the dicing device 21, The balance of the entire device 21 is stabilized. Thus, at the time of cutting the workpiece, generation of vibration due to unbalance at the center of the dicing machine 21 is suppressed to the utmost, so that the machining accuracy set in the dicing machine 21 is stably maintained.

또한, 방형 케이스(22)의 우전측 구석부에 워크 교환부(33)가 설치되어 있으므로, 블레이드(25, 25)를 교환할 때에, 오퍼레이터는, 다이싱 장치(21)의 우전측 구석부로부터 2개의 블레이드(25, 25)의 어느 쪽도 간편하게 교환할 수 있다. 또한, 교환 후의 블레이드(25, 25)의 부착 상태 등의 확인·조정, 예를 들면, 블레이드(25, 25)의 동축도 조정·확인 및 블레이드(25, 25)의 웨이퍼(W)에 대한 진직도의 확인·조정 작업도, 다이싱 장치(21)의 우전측 구석부로부터 간편하게 실시할 수 있다. 이 경우, 블레이드(25, 25)의 웨이퍼(W)에 대한 진직도는, 웨이퍼(W)의 절단 방향의 정면측으로부터 정확하고 용이하게 시인할 수 있다.Since the workpiece changer 33 is provided at the corners on the right side of the rectangular case 22, when replacing the blades 25 and 25, the operator moves from the right corner of the dicing machine 21 Either of the two blades 25 and 25 can be exchanged easily. It is also possible to check and adjust the state of attachment of the blades 25 and 25 after the exchange such as adjustment and confirmation of the coaxiality of the blades 25 and 25, The straightness checking and adjusting operation can be easily performed from the right corner of the dicing machine 21. [ In this case, the straightness of the blades 25, 25 with respect to the wafer W can be accurately and easily visually recognized from the front side in the cutting direction of the wafer W. [

또한, 블레이드(25, 25)의 스핀들(30, 30)에 대한 부착 동축도는, 웨이퍼(W)의 절단 방향에 대하여 직각 방향으로부터 시인할 수 있다. 또한, 블레이드(25, 25)의 동축도 조정 및 블레이드(25, 25)의 웨이퍼(W)에 대한 진직도의 확인·조정은 쌍방 모두, 다이싱 장치(21)의 전우측 구석부로부터 기울기 45도의 방향에서 볼 수 있다. 그 결과, 블레이드(25, 25)의 동축도 및 진직도의 확인·조정 작업을 행할 때, 오퍼레이터(M)는 다이싱 장치(21)의 전우측 구석부에서 실행할 수 있으므로, 종래예와 같이 다이싱 장치(21)의 측면 혹은 배면측으로 돌 필요가 없다.The attachment coaxiality of the blades 25 and 25 to the spindles 30 and 30 can be visually recognized from a direction perpendicular to the cutting direction of the wafer W. [ Adjustment of the coaxiality of the blades 25 and 25 and confirmation and adjustment of the straightness of the blades 25 and 25 with respect to the wafer W are performed from the front right corner portion of the dicing device 21 to the inclination 45 Can be seen in the direction of the figure. As a result, when checking and adjusting the coaxiality and straightness of the blades 25 and 25, the operator M can be executed at the front right corner of the dicing machine 21, It is not necessary to make the side surface or the back surface side of the squeezing device 21.

또한, 스핀들(30, 30)의 정기적인 단면 조정에 대해서도, 상기와 마찬가지로, 다이싱 장치(21)의 앞면측에서만 실행할 수 있으므로, 종래예와 같이 다이싱 장치(21)의 측면 혹은 배면측으로 도는 일 없이 간편하게 작업을 행할 수 있다.Regular adjustment of the end faces of the spindles 30 and 30 can be performed only on the front face side of the dicing device 21 as described above. So that the work can be performed easily and easily.

또한, 윤활용의 물을 공급하기 위한 노즐의 위치 조정, 및 냉각용의 물을 공급하기 위한 노즐의 위치 조정에 대해서도, 상술한 순서와 마찬가지로, 다이싱 장치(21)의 전우측 구석부에서 간편하게 작업을 행할 수 있다.Further, regarding the position adjustment of the nozzle for supplying the water for lubrication and the adjustment of the position of the nozzle for supplying the water for cooling, it is also possible to easily carry out the operation in the front right corner portion of the dicing device 21 Can be performed.

본 실시예에서는, 방형 케이스(22)의 우전측 구석부는 45도 오른쪽으로 기울어진 방향으로 잘려지고, 이 잘려진 사변 가장자리부에, 워크 교환 및 메인터넌스를 행하기 위한 개구부(23)가 형성되어 있다. 따라서, 오퍼레이터는 이 개구부(23)로부터 블레이드(25, 25), 스핀들(30, 30) 및 상기 노즐까지의 액세스 거리가 짧아지므로, 방형 케이스(22)의 외형 치수가 큰 경우에도, 블레이드(25, 25)의 교환 작업, 블레이드(25, 25)의 동축도 혹은 진직도의 확인·조정 작업, 스핀들(30, 30)의 단면 조정 작업 및 노즐의 위치 조정 작업을 신속 용이하게 행할 수 있고, 이러한 작업성이 종래예에 비하여 큰폭으로 향상된다.In this embodiment, the corners on the right side of the square case 22 are cut in a direction tilted to the right by 45 degrees, and openings 23 are formed in the cut edge portions for performing workpiece exchange and maintenance. Therefore, the operator can reduce the access distance from the opening 23 to the blades 25 and 25, the spindles 30 and 30, and the nozzle. Therefore, even when the outer shape of the rectangular case 22 is large, And 25 of the blades 25 and 25 can be quickly and easily confirmed and adjusted, the cross-sectional adjustment of the spindles 30 and 30, and the adjustment of the position of the nozzle. The workability is greatly improved as compared with the conventional example.

본 발명에 관한 다이싱 장치(21)는, 도 2 내지 도 4에 나타낸 바와 같이, 2대 1조로 하여 서로 맞댄 상태로 짝수조 설치함으로써, 다이싱 장치 유닛(40)을 구성할 수 있다. 이 경우, 각 조의 다이싱 장치(21, 21)의 방형 케이스의 앞부분의 일측에 잘려진 사변 가장자리(개구부(23, 23))들이 서로 인접하도록 배치된다.As shown in Figs. 2 to 4, the dicing apparatus 21 according to the present invention can constitute the dicing unit 40 by arranging two sets of the dicing apparatus 21 in an even number in a mutually opposite state. In this case, the oblique edges (openings 23, 23), which are cut at one side of the front side of the rectangular case of the dicing devices 21, 21 of each group, are arranged adjacent to each other.

이 다이싱 장치 유닛(40)에 의하면, 2대 또는 4대의 다이싱 장치(21)가 서로 맞대고 병설됨으로써, 웨이퍼(W)의 개수가 다수인 경우에도, 다이싱 가공의 생산성을 향상시킬 수 있다.According to the dicing device unit 40, two or four dicing devices 21 are juxtaposed and juxtaposed to each other, so that the productivity of the dicing process can be improved even when the number of the wafers W is large .

본 발명에서는, 도 3에 나타낸 바와 같이, 2대의 다이싱 장치(21, 21)의 사이에 로더(41)를 공통으로 설치할 수 있다. 이와 같이 구성하면, 2대의 다이싱 장치(21, 21)와 로더(41)를 공용화할 수 있어, 설비 비용의 저감화가 가능하게 된다. 또한, 도 4에 나타낸 바와 같이, 다이싱 장치 유닛(40)의 우측 또는 좌측을 구성하는 전후 한쌍의 다이싱 장치(21, 21)들의 인접부 외측에는, 배기관 및 배수관을 포함하는 배관 에리어(42)를 공용할 수 있다. 이와 같이 구성하면, 배관 에리어(42)의 공용화에 따라, 다이싱 설비의 공간 절약화 및 배관 비용의 저감화가 가능하게 된다.In the present invention, as shown in Fig. 3, the loader 41 can be installed in common between the two dicing devices 21, 21. Fig. With this configuration, it is possible to share the two dicing devices 21 and 21 with the loader 41, thereby making it possible to reduce the equipment cost. 4, a piping area 42 including an exhaust pipe and a drain pipe 42 is provided outside the adjacent portions of the pair of front and rear dicing devices 21, 21 constituting the right side or the left side of the dicing device unit 40 ) Can be shared. With such a configuration, the space of the dicing equipment can be saved and the piping cost can be reduced in accordance with the common use of the piping area 42.

게다가, 인접하는 4대의 다이싱 장치(21, 21, 21, 21)들을 서로 맞대 배치함으로써, 배치 스페이스를 한층 더 유효하게 활용할 수 있게 되므로, 다이싱 장치 1대당의 전유 면적이 작아져, 설비의 대폭적인 공간 절약화가 가능하게 된다.Further, by arranging the four adjoining dicing devices 21, 21, 21, and 21 in opposition to each other, it becomes possible to more effectively utilize the arrangement space, so that the total area per one dicing device becomes small, It is possible to realize a considerable space saving.

짝수대의 다이싱 장치(21, 21)를 일개소에 병설한 경우에도, 오퍼레이터(M)는, 인접하는 절결 개소의 스페이스가 증대되기 때문에 작업성이 향상되어, 좌우 양측의 개구부(23, 23)로부터 2대의 각 다이싱 장치(21, 21)의 쌍방의 블레이드(25, 25), 스핀들(30, 30) 및 상기 노즐에 대한 액세스 거리가 짧아진다. 따라서, 블레이드(25, 25)의 교환, 블레이드(25, 25)의 동축도 혹은 진직도의 확인·조정, 스핀들(30, 30)의 단면 조정 및 노즐의 위치 조정을 행할 때에, 이 확인 조정 작업, 단면 조정 작업 및 위치 조정 작업을 보다 간편하게 실시할 수 있고, 보수 점검 작업성을 큰 폭으로 향상시킬 수 있다.Even when the even number of dicing devices 21 and 21 are juxtaposed at one location, the operator M has an increased work space because of the increased space at the adjacent cut-out portions, and the openings 23, The access distances to both the blades 25 and 25, the spindles 30 and 30 and the nozzles of the two dicing devices 21 and 21 are shortened. Therefore, when changing the blades 25, 25, checking / adjusting the coaxiality or straightness of the blades 25, 25, adjusting the cross-section of the spindles 30, 30 and adjusting the position of the nozzle, , The section adjustment work and the position adjustment work can be carried out more easily, and the maintenance workability can be greatly improved.

또한, 메인터넌스 향상성에 대해서는, 도 8(a), 도 8(b)에 나타낸 바와 같은 방법으로 블레이드(25, 25)를 회전시키는 스핀들 등의 교환도 가능하다. 스핀들 교환도 정기적으로 행해지고, 교환 전에도 회전 정밀도 체크 등 다양한 작업이 행해진다.In addition, as for the maintenance improvement, it is also possible to replace the spindle for rotating the blades 25 and 25 by the method shown in Figs. 8 (a) and 8 (b). The spindle exchange is also performed regularly, and various operations such as checking the rotation accuracy are performed before the exchange.

스핀들 교환 위치로서는, 워크 교환부(33) 위치를 경계로 하여, 스핀들 이동 기구(28)의 양단 방향에 각각 존재한다. 통상 다이싱 장치에서는, 스핀들은 대향한 형태로 2개의 스핀들을 가진다. 워크 교환부(33) 위치로부터 마주보고 좌측의 스핀들을 스핀들(A), 우측의 스핀들을 스핀들(B)라고 한다.The spindle exchange positions are present in both end directions of the spindle moving mechanism 28 with the position of the work exchange portion 33 as a boundary. In a typical dicing apparatus, the spindle has two spindles in opposing form. The spindle on the left side facing the workpiece exchange portion 33 is referred to as a spindle A, and the spindle on the right side is referred to as a spindle B.

스핀들(A)을 교환하기 위해서는, 도 8(a)에 나타낸 바와 같이, 워크 교환부(33) 위치의 좌측으로 스핀들(A, B)을 이동하여 가까이 댄다. 이 좌측으로 댄 위치를 스핀들 메인터넌스 위치 1(SP·MT1)이라고 한다. 스핀들(A)의 메인터넌스는 워크 교환부(33) 위치의 좌측의 패널을 여는 것만으로 바로 액세스하는 것이 가능하게 되고, 스핀들(A) 내부의 메인터넌스나 스핀들의 교환 등이 방향 (3)으로 나타낸 바와 같이 장치 외부로부터 용이하게 행할 수 있다.In order to exchange the spindle A, the spindles A and B are moved to the left side of the position of the workpiece changer 33 as shown in Fig. 8 (a). This left-handed position is called spindle maintenance position 1 (SP · MT1). The maintenance of the spindle A can be immediately accessed only by opening the left panel at the position of the workpiece changer 33 and the maintenance inside the spindle A, Can be easily performed from the outside of the apparatus.

또한, 스핀들 메인터넌스 위치 1(SP·MT1)에서는, 스핀들(B)의 블레이드(25)의 조정이 가능하게 된다. 특히, 스핀들 메인터넌스 위치 1(SP·MT1)의 방향 (1)로 나타낸 좌측으로부터 스핀들(B)을 보면, 스핀들(B)의 블레이드(25)를 대략 정면에서 볼 수 있다. 따라서, 스핀들(B)의 블레이드(25)의 진원도 측정, 블레이드(25)의 스핀들(B)에 대한 동축도 측정 및 스핀들(B)의 단면 연마와 측정 등, 눈 앞에서 확인하면서, 블레이드 부착 조정과 측정을 행하는 것이 가능하게 된다.In addition, in the spindle maintenance position 1 (SP 占 1 1), the blade 25 of the spindle B can be adjusted. In particular, the blade 25 of the spindle B can be viewed from the front when viewed from the left side of the spindle B in the direction 1 of the spindle maintenance position 1 (SP 占 1 1). Therefore, it is possible to perform the blade attachment adjustment and the blade attaching adjustment while checking the roundness of the blade 25 of the spindle B, the measurement of the coaxiality of the blade 25 with respect to the spindle B, Measurement can be performed.

또한, 스핀들 메인터넌스 위치 1(SP·MT1)의 방향 (2)로 나타낸 우측으로부터 스핀들(B)을 보면, 스핀들(B)의 블레이드(25)를 바로 옆에서 볼 수 있다. 따라서, 스핀들(B)의 블레이드(25)의 워크에 대한 수직도의 측정이나 조정에 있어서, 눈으로 확인하면서, 블레이드(25)의 부착 조정과 수직도나 흔들림의 측정을 행할 수 있다.In addition, when the spindle B is viewed from the right side in the direction 2 of the spindle maintenance position 1 (SP 占 1 1), the blade 25 of the spindle B can be seen from the side. Therefore, in the measurement and adjustment of the vertical degree of the blade 25 of the spindle B with respect to the work, it is possible to perform the adjustment of the attachment of the blade 25 and the measurement of the vertical degree and the shake while checking with eyes.

다음에, 우측의 스핀들(B)을 교환하는 경우는, 도 8(b)에 나타낸 바와 같이, 워크 교환부(33) 위치의 마주보고 우측으로 스핀들(B, A)을 이동하여 가까이 댄다. 그 우측에 댄 위치를 스핀들 메인터넌스 위치 2(SP·MT2)라고 한다. 스핀들(B)의 메인터넌스는, 워크 교환부(33) 위치의 우측의 패널을 여는 것만으로 바로 액세스하는 것이 가능하게 되고, 스핀들(B) 내부의 메인터넌스나 스핀들의 교환 등이 방향 (6)으로 나타낸 바와 같이 장치 외부로부터 용이하게 행할 수 있다.Next, when the spindle B on the right side is exchanged, the spindles B and A move toward the right side of the position of the workpiece changer 33, as shown in Fig. 8 (b), and are moved close to each other. The position on the right side is called spindle maintenance position 2 (SP · MT2). The maintenance of the spindle B can be immediately accessed only by opening the panel on the right side of the position of the workpiece changer 33 and the maintenance inside the spindle B and the replacement of the spindle, It can be easily performed from the outside of the apparatus as shown in Fig.

또한, 스핀들 메인터넌스 위치 2(SP·MT2)에서는, 앞에서와 마찬가지로 스핀들(A)의 블레이드(25)의 조정이 가능하게 된다. 특히, 스핀들 메인터넌스 위치 2(SP·MT2)의 방향 (4)로 나타낸 우측으로부터 스핀들(A)을 보면, 스핀들(A)의 블레이드(25)를 대략 정면에서 볼 수 있다. 따라서, 스핀들(A)의 블레이드(25)의 진원도 측정, 블레이드(25)의 스핀들(A)에 대한 동축도 측정 및 스핀들(A)의 단면 연마와 측정 등, 눈으로 확인하면서, 블레이드 부착 조정과 측정을 행하는 것이 가능하게 된다.Further, in the spindle maintenance position 2 (SP 占 2 2), it is possible to adjust the blade 25 of the spindle A as before. Particularly when the spindle A is viewed from the right side in the direction 4 of the spindle maintenance position 2 (SP 占 2 2), the blade 25 of the spindle A can be seen substantially in the front view. Therefore, it is possible to perform the blade attaching adjustment and the blade attaching operation while visually confirming the roundness of the blade 25 of the spindle A, the coaxiality measurement of the blade 25 with respect to the spindle A, Measurement can be performed.

또한, 스핀들 메인터넌스 위치 2(SP·MT2)의 방향 (5)로 나타낸 좌측으로부터 스핀들(A)을 보면, 스핀들(A)의 블레이드(25)를 바로 옆에서 볼 수 있다. 따라서, 스핀들(A)의 블레이드(25)의 워크에 대한 수직도의 측정이나 조정에 있어서, 눈으로 확인하면서, 블레이드(25)의 부착 조정과 수직도나 흔들림의 측정을 행할 수 있다.The blade 25 of the spindle A can be seen from the side when the spindle A is viewed from the left side in the direction 5 of the spindle maintenance position 2 (SP 占 2 2). Therefore, in the measurement and adjustment of the vertical degree of the blade 25 of the spindle A with respect to the work, it is possible to perform the adjustment of the attachment of the blade 25 and measurement of the vertical degree or the shake while visually confirming it.

종래 장치의 경우, 스핀들을 교환함에 있어서도, 장치 외측으로부터 스핀들 위치까지의 거리가 길기 때문에, 교환이 번거롭거나, 한쪽의 스핀들은 액세스하기 쉬운 한편, 다른측의 스핀들은 액세스하기 어렵다는 등의 문제가 있었다. 또한, 대향하는 스핀들과 그 스핀들에 부착된 블레이드에 대하여, 블레이드 조정에서는 블레이드의 정면측에서 보는 것과, 블레이드의 측면측에서 보는 것의 양쪽의 동작이 필요하고, 종래 장치에서는, 적어도 3 방향으로부터 장치내에 들어가 조정과 측정을 행할 필요가 있었다.In the case of the conventional apparatus, even when the spindle is exchanged, there is a problem that the distance from the outside of the apparatus to the spindle position is long, so that the exchange is troublesome, the one spindle is easy to access and the other spindle is difficult to access there was. Further, with respect to the opposing spindle and the blade attached to the spindle, in the blade adjustment, it is necessary to perform both the operation of looking at the front side of the blade and the operation of looking at the side of the blade, It was necessary to carry out adjustment and measurement.

본 장치 구성에 있어서는, 대향하는 스핀들(A, B)에 있어서 블레이드(25) 조정이나 스핀들(A, B) 조정에 대하여, 상술한 불과 2개의 스핀들 메인터넌스 위치 1, 2에서, 간단하게 조정하는 것이 가능하게 된다. 또한, 하나의 메인터넌스 위치에서, 블레이드를 2 방향에서 확인하는 것이 가능하게 되므로, 블레이드 설치와 조정, 그 조정 후의 확인 측정을 효율적으로 행할 수 있다.It is possible to easily adjust the blade 25 adjustment and the spindle A and B adjustment in the above-described two spindle maintenance positions 1 and 2 in the opposing spindles A and B . In addition, since it is possible to confirm the blade in two directions at one maintenance position, it is possible to efficiently perform the blade installation and adjustment and the confirmation measurement after the adjustment.

또한, 블레이드 조정이나, 스핀들 메인터넌스와 함께, 블레이드에 냉각수를 뿜어내는 노즐 위치도 노즐 방향이나 블레이드에 대한 위치 관계 등, 대향하는 블레이드에 있어서, 각각의 블레이드로 쌍방향으로부터 위치를 확인하는 것이 가능하게 된다. 이러한 구성에 의해, 스핀들 메인터넌스를 장치의 외측으로부터 매우 가까운 위치에서 작업할 수 있음과 동시에, 종래에 비해 매우 간편하게 정밀도 조정 작업을 행할 수 있다.In addition, with the blade adjustment and the spindle maintenance, it is possible to confirm the positions of the nozzles for blowing the cooling water to the blades from both directions with the respective blades in opposing blades, such as the nozzle direction and the positional relationship with the blades . With this configuration, the spindle maintenance can be performed at a position very close to the outside of the apparatus, and at the same time, the precision adjustment operation can be performed much more easily than in the past.

이상의 구성은, 방형 케이스(22)의 대략 대각선 위에 스핀들 이동 기구(28)가 있고, 그것과 수직으로 워크 테이블 이송 기구(26)가 있고, 워크 테이블 이송 기구(26)의 스핀들 이동 기구(28)보다 앞측에 워크 교환부(33) 위치가 있고, 안쪽에 배수구나 미스트 배기부가 있다.The spindle moving mechanism 28 of the work table transfer mechanism 26 has the spindle moving mechanism 28 on the substantially diagonal line of the rectangular case 22, There is a position of the workpiece changer 33 on the front side, and there is a drain hole or mist evacuation portion on the inside.

그러나, 이러한 구성을 바꿔 말하면, 엄밀하게는 방형 케이스가 아니어도 좋다. 즉, 워크 교환부(33) 위치로부터 스핀들 이동 기구(28)에 이르는 부분은, 서서히 장치의 케이스폭을 넓혀 가는 구성으로 하는 것이어도 좋다. 그것은, 앞에서 설명한 바와 같이, 스핀들이나 블레이드의 메인터넌스, 워크 절단 가공을 위한 냉각수의 노즐 조정이 여러 각도에서 행하기 쉬워지기 때문이다. 스핀들 이동 기구(28) 부분의 깊이는 어느 정도 확보하고, 다음에, 절삭수·절삭 미스트의 배수·배기 효율을 향상시키기 위해, 서서히 장치의 케이스폭을 좁게 해 가는 구성으로 하면 좋다.However, in other words, this configuration is not strictly a rectangular case. That is, the portion extending from the position of the work exchange portion 33 to the spindle moving mechanism 28 may be configured to gradually increase the case width of the device. This is because, as described above, the adjustment of the nozzle of the cooling water for the maintenance of the spindle and the blade, and the cutting work of the work is easy to be performed at various angles. The depth of the portion of the spindle moving mechanism 28 is secured to some extent and then the case width of the apparatus is gradually narrowed in order to improve the drainage and exhaust efficiency of the cutting water and the cutting mist.

그렇게 함으로써, 스핀들 이동 기구(28)와 워크 테이블 이송 기구(26)가 교차하는 가공 부분으로부터 비산하는 절삭수나 절삭수 미스트는, 케이스폭이 좁아짐으로써 유속이 증가하여, 효율적으로 배제하는 것이 가능하게 된다.By doing so, the cutting water or the cutting water mist scattering from the machining portion where the spindle moving mechanism 28 and the work table feed mechanism 26 cross each other becomes narrower in the case width, so that the flow velocity increases and can be efficiently eliminated .

결과적으로, 바꿔 말하면 다음과 같은 구성이 된다. 즉, 워크 교환부(33) 위치로부터 스핀들 이동 기구(28)까지는 서서히 장치의 케이스폭이 증대되고, 스핀들 이동 기구(28)의 위치에서 가장 폭이 커진다. 그 스핀들 이동 기구(28)로부터, 워크 교환부(33) 위치와 반대측에 있는 배수·배기 기구(36, 38)까지는, 서서히 장치의 케이스폭이 좁아지도록 구성한다. 도 9에 나타낸 바와 같이, 장치의 워크 교환부(33) 위치측은 클린 존(CLㆍZ)이며, 메인터넌스 존도 인접한다. 한편, 스핀들 이동 기구(28)를 사이에 두고 반대측은, 워크 절단 가공에 의한 워크의 슬러지나, 절삭수, 절삭수 미스트 등이 비산하는 더티 존(DTㆍZ)이 된다.As a result, in other words, the following configuration is obtained. In other words, the case width of the apparatus gradually increases from the position of the workpiece changer 33 to the spindle moving mechanism 28, and the width becomes largest at the position of the spindle moving mechanism 28. The case width of the apparatus is gradually reduced from the spindle moving mechanism 28 to the drain / exhaust mechanism 36, 38 on the opposite side of the position of the work exchange portion 33. As shown in Fig. 9, the position of the apparatus on the position of the work exchange portion 33 is the clean zone (CLZ), and the maintenance zone is also adjacent. On the other hand, the opposite side with the spindle moving mechanism 28 therebetween becomes a dirt zone DT 占 하는 in which the sludge of the work, the cutting water, the cutting water mist, and the like are scattered by the work cutting work.

이러한 영역 나누기를 하기 위해서는, 워크 교환부(33) 위치와 워크 절단 가공부(32) 위치와 배수·배기 기구(36, 38) 위치가 대략 직선상으로 배치되고, 워크 절단 가공부(32) 위치를 경계로 하여 워크 교환부(33) 위치와, 배수·배기 기구(36, 38) 위치가 반대측에 배치될 필요가 있다.In order to perform such area division, the position of the workpiece changer 33, the position of the workpiece cutting machining portion 32 and the positions of the drain and exhaust mechanisms 36 and 38 are arranged in a substantially straight line, The position of the work exchange portion 33 and the position of the drain / exhaust mechanism 36, 38 need to be disposed on the opposite side.

그렇게 이해하면, 엄밀하게는 방형 케이스가 아니어도 좋다. 예를 들면, 케이스 코너 부분을 모따기하여, 도 10(a)에 나타낸 바와 같이, 대략 8각형의 케이스(22a)나, 도 10(b)에 나타낸 바와 같이, 대략 7각형의 케이스(22b)의 장치로 해도 좋다. 결과적으로 상기에 나타낸 작용 효과는 크게 변하지 않는다. 케이스(22a)를 대략 8각형으로 하는 경우, 그 중에서 각부의 구성은 다음과 같이 나타낼 수 있다. 즉, 스핀들 이동 기구(28)와 워크 테이블 이송 기구(26)는 각각이 일정한 폭을 가지고, 그것들은 직교하여 배치된다.If you understand that, you do not need to be strictly square. For example, as shown in Fig. 10 (a), a case 22a having a substantially octagonal shape and a case 22b having a substantially hexagonal shape as shown in Fig. 10 (b) May be used. As a result, the above-mentioned action and effect are not greatly changed. When the case 22a is formed into a substantially octagonal shape, the constitution of each part of the case 22a can be expressed as follows. That is, the spindle moving mechanism 28 and the work table moving mechanism 26 each have a constant width, and they are arranged orthogonally.

스핀들 이동 기구(28)의 폭의 부분으로 구성되는 양단면에서, 8각형의 2변을 이룬다. 워크 테이블 이송 기구(26)의 폭의 부분으로 구성되는 단면에서 한변을 이루고, 배수·배기 기구(36, 38) 부분의 폭으로 구성되는 단면에서 한변을 이룬다. 나머지의 4변은 이들 변을 연결하도록 구성한다. 8각형 중 2변은, 스핀들 메인터넌스 위치(SP·MT1 및 SP·MT2)에 상당시켜도 좋다.And has two sides of octagonal shape at both end faces constituted by a portion of the width of the spindle moving mechanism 28. One side is formed at a section constituted by the width of the work table feed mechanism 26 and one side is formed at a section constituted by the width of the portions of the drain and exhaust mechanisms 36 and 38. [ The remaining four sides are configured to connect these sides. The two sides of the octagon may correspond to the spindle maintenance positions SP 占 1 1 and SP 占 2 2.

또한, 7각형의 케이스(22b)로 하는 경우, 배수·배기 기구(36, 38) 부분은 중앙부에 절삭수를 모으기 위해 굳이 변이 아니라, 정점으로서 구성하고, 나머지는 8각형의 케이스(22a)의 경우와 마찬가지로 하면 좋다.
In the case of the case 22b of the hexagonal shape, the portions of the drainage and exhaust mechanisms 36 and 38 are formed as apices, not dots, in order to collect cutting water at the center, As in the case, it is good.

본 발명은, 워크를 블레이드에 대하여 상대적으로 이동시키는 워크 테이블 이송 기구와, 스핀들을 지지하는 스핀들 이동 기구를 구비한 다이싱 장치라면 모두 적용 가능하다.
The present invention can be applied to any dicing apparatus provided with a work table transfer mechanism for moving the work relative to the blade and a spindle moving mechanism for supporting the spindle.

21: 다이싱 장치 22: 방형 케이스
23: 개구부 24: 워크 테이블
25: 블레이드 26: 워크 테이블 이송 기구
29: 가이드 레일 28: 스핀들 이동 기구
30: 스핀들 32: 워크 절단 가공부
33: 워크 교환부 34: 오일 팬
35: 배수구 36: 배수 기구
37: 배기구 38: 배기 기구21: Dicing device 22: Square type case
23: opening 24: work table
25: blade 26: work table transfer mechanism
29: Guide rail 28: Spindle moving mechanism
30: spindle 32: workpiece cutting machining part
33: work exchange part 34: oil pan
35: drain hole 36: drainage device
37: exhaust port 38: exhaust mechanism

Claims (5)

워크를 재치한 워크 테이블과, 상기 워크를 절단하는 블레이드와, 상기 워크 테이블 상의 워크를 상기 블레이드에 대하여 상대적으로 이동시키는 워크 테이블 이송 기구와, 상기 블레이드를 회전 가능하게 부착한 스핀들을 구비하고, 상기 스핀들을 지지하는 스핀들 이동 기구와 상기 워크 테이블 이송 기구가 서로 직교하여 배치된 다이싱 장치에 있어서,
상기 스핀들 이동 기구와 상기 워크 테이블 이송 기구는, 평면으로 보아 방형으로 형성된 다이싱 장치의 방형 케이스의 대각선 위에 배치되고, 또한, 상기 다이싱 장치의 중앙부에 워크 절단 가공부가 배치되어 있음과 동시에, 상기 다이싱 장치의 앞부분에 워크 교환부가 설치되고, 상기 워크 교환부와 반대측에 미스트 배기부가 배치되고, 상기 워크 절단 가공부를 상기 워크 교환부와 상기 미스트 배기부의 사이에 놓고 있는 것을 특징으로 하는 다이싱 장치.
A work table on which a work is placed; a blade for cutting the work; a work table feed mechanism for relatively moving the work on the work table relative to the blade; and a spindle on which the blade is rotatably mounted, In a dicing apparatus in which a spindle moving mechanism for supporting a spindle and the work table transfer mechanism are arranged orthogonally to each other,
Wherein the spindle moving mechanism and the work table transfer mechanism are arranged on a diagonal line of a rectangular case of a dicing machine formed in a square shape in a plan view and a work cutting machining portion is disposed in a central portion of the dicing machine, Characterized in that a work exchanging portion is provided at the front portion of the dicing device and a mist discharging portion is disposed at the opposite side of the work exchanging portion and the work cutting portion is placed between the work exchanging portion and the mist discharging portion. .
워크를 재치한 워크 테이블과, 상기 워크를 절단하는 블레이드와, 상기 워크 테이블 상의 워크를 상기 블레이드에 대하여 상대적으로 이동시키는 워크 테이블 이송 기구와, 상기 블레이드를 회전 가능하게 부착한 2개의 스핀들과, 상기 스핀들을 지지하는 스핀들 이동 기구를 구비하고, 상기 2개의 스핀들은 동일축선상에서 서로 대향하여 배치되고, 상기 스핀들 이동 기구와 상기 워크 테이블 이송 기구가 서로 직교하여 배치된 다이싱 장치에 있어서,
상기 스핀들 이동 기구와 상기 워크 테이블 이송 기구는, 평면으로 보아 방형으로 형성된 다이싱 장치의 방형 케이스의 대각선 위에 배치되고, 또한, 상기 다이싱 장치의 중앙부에 워크 절단 가공부가 배치되어 있음과 동시에, 상기 다이싱 장치의 앞부분에 워크 교환부가 설치되고, 상기 워크 교환부와 반대측에 미스트 배기부가 배치되고, 상기 워크 절단 가공부를 상기 워크 교환부와 상기 미스트 배기부의 사이에 놓고 있는 것을 특징으로 하는 다이싱 장치.
A work table on which a work is mounted, a blade for cutting the work, a work table feed mechanism for relatively moving the work on the work table relative to the blade, two spindles on which the blade is rotatably mounted, And a spindle moving mechanism for supporting the spindle, wherein the two spindles are arranged so as to face each other on the same axis, and in the dicing apparatus in which the spindle moving mechanism and the work table moving mechanism are arranged orthogonally to each other,
Wherein the spindle moving mechanism and the work table transfer mechanism are arranged on a diagonal line of a rectangular case of a dicing machine formed in a square shape in a plan view and a work cutting machining portion is disposed in a central portion of the dicing machine, Characterized in that a work exchanging portion is provided at the front portion of the dicing device and a mist discharging portion is disposed at the opposite side of the work exchanging portion and the work cutting portion is placed between the work exchanging portion and the mist discharging portion. .
청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
상기 평면으로 보아 방형으로 형성된 다이싱 장치의 방형 케이스는, 상기 대각선 위의 양쪽 구석 중 상기 워크 교환부가 배치된 앞부분의 일측은 비스듬하게 잘려지고, 또한, 상기 다이싱 장치의 상기 앞부분의 일측에 워크 교환 및 메인터넌스를 행하기 위한 개구부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 다이싱 장치.
The method according to claim 1 or 2,
Wherein the rectangular case is formed in a rectangular shape in a plan view, wherein one side of the front portion of the corner where the workpiece exchange portion is disposed is cut obliquely at both corners of the diagonal line, And an opening for exchanging and maintenance is formed.
청구항 3에 기재한 다이싱 장치를 2대 1조로 하여 서로 맞댄 상태로 짝수조 설치하여 이루어지는 다이싱 장치 유닛으로서,
각 조의 각 다이싱 장치의 방형 케이스의 앞부분의 일측을 각각 비스듬하게 잘라 형성된 절결 개소들이 서로 인접하도록 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 다이싱 장치 유닛.
A dicing apparatus unit comprising a dicing apparatus as set forth in claim 3 in a two-to-one arrangement so as to be even-
Wherein the cut-out portions formed by cutting obliquely one side of the front side of the square case of each dicing device of each group are arranged adjacent to each other.
청구항 1 또는 청구항 2에 따른 다이싱 장치를 이용한 다이싱 방법으로서,
워크를 방형 케이스의 한쪽의 대각선 방향을 따라 반송하고, 방형 케이스의 중앙부에 형성한 워크 절단 가공부에서 정지시킨 후, 상기 스핀들에 부착한 상기 블레이드를 워크 절단 위치까지 이동시키고, 상기 블레이드의 회전에 의해 워크를 절단하는 것을 특징으로 하는 다이싱 방법.
A dicing method using a dicing apparatus according to claim 1 or 2,
The workpiece is conveyed along one diagonal direction of the rectangular case and is stopped at the workpiece cutting portion formed at the center of the rectangular case and then the blade attached to the spindle is moved to the workpiece cutting position, And cutting the workpiece by a predetermined distance.
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