KR20240039686A - Equipment Front End Module with buffer - Google Patents

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KR20240039686A
KR20240039686A KR1020220118295A KR20220118295A KR20240039686A KR 20240039686 A KR20240039686 A KR 20240039686A KR 1020220118295 A KR1020220118295 A KR 1020220118295A KR 20220118295 A KR20220118295 A KR 20220118295A KR 20240039686 A KR20240039686 A KR 20240039686A
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김구
백상운
강래근
김한섭
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주식회사 에스엠코어
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Abstract

본 발명은 버퍼가 구비된 EFEM에 관한 것으로서, 특히 내부에 반송실이 형성된 하우징과; 상기 하우징의 전방에 구비되고, 내부에 웨이퍼가 적재된 다수의 풉(FOUP: Front Opening Unified Pod)이 각각 로딩되는 다수의 로드포트(Load Port)와; 상기 하우징의 반송실 내에서 동작하여, 상기 웨이퍼에 소정의 공정처리를 하는 공정장비에 상기 로드포트에 로딩된 풉 내의 공정처리 전 웨이퍼를 전달함과 아울러 상기 공정장비에 의해 공정처리 완료된 웨이퍼를 상기 로드포트에 로딩된 풉 내에 전달하는 반송로봇과; 상기 다수의 로드포트 전부에 풉이 로딩된 경우 공정처리 전의 웨이퍼가 적재된 상태로 OHT 장비에 의해 이송되고 있던 풉이 로딩되는 OHT포트를 구비하고, 상기 OHT포트에 로딩된 공정처리 전의 웨이퍼가 적재된 풉이 상기 로드포트로 이송되기 전에 경유하는 버퍼포트를 구비하며, 상기 로드포트에서 상기 반송로봇을 통해 공정처리가 완료된 웨이퍼를 전달받은 풉을 상기 OHT포트에 로딩하여 상기 OHT 장비로 이송시키는 버퍼시스템;을 포함하여 구성되어, OHT 장비의 물동량을 분산시킬 수 있는 효과가 있다.The present invention relates to an EFEM equipped with a buffer, particularly a housing having a transfer chamber formed therein; a plurality of load ports provided at the front of the housing and into which a plurality of Front Opening Unified Pods (FOUPs) each loaded with wafers are loaded; It operates within the transfer room of the housing, and transfers the wafer before processing within the foop loaded into the load port to processing equipment that performs a predetermined process on the wafer, and also transfers the wafer that has been processed by the processing equipment. a transfer robot that delivers the pooh loaded into the load port; When the poo is loaded in all of the plurality of load ports, an OHT port is provided into which the poo being transported by OHT equipment is loaded with wafers before processing, and the wafers before processing loaded into the OHT port are loaded. It has a buffer port through which the processed FOOF passes before being transferred to the load port, and loads the FOOF, which has received the processed wafer from the load port through the transfer robot, into the OHT port and transfers it to the OHT equipment. It is composed of a system, which has the effect of dispersing the volume of OHT equipment.

Description

버퍼가 구비된 EFEM{Equipment Front End Module with buffer}EFEM {Equipment Front End Module with buffer}

본 발명은 버퍼가 구비된 EFEM에 관한 것으로서, 특히 반도체 공정 장비들이 연속적으로 배치된 반도체 제조 라인의 천장에 구비되어 풉(FOUP: Front-Opening Unified Pod)을 이송하는 OHT의 물동량을 분산시킬 수 있는 버퍼가 구비된 EFEM에 관한 것이다.The present invention relates to an EFEM equipped with a buffer, and in particular, is provided on the ceiling of a semiconductor manufacturing line where semiconductor processing equipment is continuously arranged to disperse the volume of OHT transporting FOUP (Front-Opening Unified Pod). It relates to an EFEM equipped with a buffer.

반도체 소자를 제조하는 각 공정을 수행하는 공정장비는 내부로부터 발생되는 미세한 파티클이나 극미량의 오염 등의 발생요인을 최소화하면서 동시에 외부로부터 유입되는 미세한 파티클과 극미량의 오염 등은 미연에 차단함으로써 높은 제품수율과 높은 제품신뢰성을 유지한다.The process equipment that performs each process for manufacturing semiconductor devices minimizes the factors that generate internally generated fine particles or trace amounts of contamination, while at the same time blocking fine particles and trace amounts of contamination coming from the outside in advance, thereby achieving high product yield. and maintain high product reliability.

특히, 내부에 다수의 웨이퍼를 수평하게 적재하고 전면에 구비된 도어를 통해 웨이퍼가 내외부를 출입할 수 있도록 하는 풉(FOUP: Front Opening Unified Pod)과, 상기 풉 내부에 적재된 웨이퍼를 공정챔버로 이송시키는 역할을 수행하는 EFEM(Equipment Front End Module)과 같은 웨이퍼 이송장비를 이용하여 피티클과 오염을 차단하고 있다.In particular, there is a FOUP (Front Opening Unified Pod) that stacks a number of wafers horizontally inside and allows the wafers to enter and exit through a door provided on the front, and wafers loaded inside the FOUP are transported to the process chamber. Wafer transfer equipment such as EFEM (Equipment Front End Module), which performs the role of transfer, is used to block particles and contamination.

웨이퍼 이송 자동화 모듈인 EFEM은 반도체 공정 장비들이 연속적으로 배치된 반도체 제조 라인의 천장에 구비된 OHT(Overhead Hoist Transport) 장비로부터 공정처리가 안된 웨이퍼가 저장된 풉을 제공받은 후, 웨이퍼를 공정장비에 제공하여 공정처리가 완료된 웨이퍼가 저장된 풉을 OHT 장비에 제공한다.EFEM, a wafer transport automation module, receives poufs containing unprocessed wafers from OHT (Overhead Hoist Transport) equipment installed on the ceiling of a semiconductor manufacturing line where semiconductor processing equipment is continuously placed, and then provides the wafers to the processing equipment. Thus, the pouf containing the processed wafer is provided to the OHT equipment.

이렇게 OHT 장비는 반도체 제조 라인의 천장을 따라 움직이면서 웨이퍼가 저장된 풉을 여기저기로 분주하게 이송시키기 때문에, 종종 반도체 공정장비들의 공정처리 시간과의 버퍼링 문제 발생으로 OHT 장비가 수행 작업을 지속하지 못하고 잠시 멈추는 문제가 발생될 수 있다.As the OHT equipment moves along the ceiling of the semiconductor manufacturing line and busily transports the wafers stored here and there, buffering problems with the processing time of the semiconductor processing equipment often occur, causing the OHT equipment to not continue its work and wait for a while. Stopping problems may occur.

등록특허 10-2126466Registered Patent 10-2126466

본 발명은 상기한 종래기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 풉을 임시 보관할 수 있는 버퍼(Buffer) 공간을 EFEM 내에 별도로 마련하여 OHT 장비의 물동량을 분산시킬 수 있는 버퍼가 구비된 EFEM을 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention was developed to solve the problems of the prior art described above, and provides an EFEM with a buffer that can distribute the volume of OHT equipment by providing a separate buffer space in the EFEM to temporarily store the poo. There is a purpose to doing so.

상기한 과제를 해결하기 위한 본 발명에 의한 버퍼가 구비된 EFEM는 내부에 반송실이 형성된 하우징과; 상기 하우징의 전방에 구비되고, 내부에 웨이퍼가 적재된 다수의 풉(FOUP: Front Opening Unified Pod)이 각각 로딩되는 다수의 로드포트(Load Port)와; 상기 하우징의 반송실 내에서 동작하여, 상기 웨이퍼에 소정의 공정처리를 하는 공정장비에 상기 로드포트에 로딩된 풉 내의 공정처리 전 웨이퍼를 전달함과 아울러 상기 공정장비에 의해 공정처리 완료된 웨이퍼를 상기 로드포트에 로딩된 풉 내에 전달하는 반송로봇과; 상기 다수의 로드포트 전부에 풉이 로딩된 경우 공정처리 전의 웨이퍼가 적재된 상태로 OHT 장비에 의해 이송되고 있던 풉이 로딩되는 OHT포트를 구비하고, 상기 OHT포트에 로딩된 공정처리 전의 웨이퍼가 적재된 풉이 상기 로드포트로 이송되기 전에 경유하는 버퍼포트를 구비하며, 상기 로드포트에서 상기 반송로봇을 통해 공정처리가 완료된 웨이퍼를 전달받은 풉을 상기 OHT포트에 로딩하여 상기 OHT 장비로 이송시키는 버퍼시스템;을 포함하여 구성된다.The EFEM equipped with a buffer according to the present invention to solve the above problems includes a housing having a transfer chamber formed therein; a plurality of load ports provided at the front of the housing and into which a plurality of Front Opening Unified Pods (FOUPs) each loaded with wafers are loaded; It operates within the transfer room of the housing, and transfers the wafer before processing within the foop loaded into the load port to processing equipment that performs a predetermined process on the wafer, and also transfers the wafer that has been processed by the processing equipment. a transfer robot that delivers the pooh loaded into the load port; When the poo is loaded in all of the plurality of load ports, an OHT port is provided into which the poo being transported by OHT equipment is loaded with wafers before processing, and the wafers before processing loaded into the OHT port are loaded. It has a buffer port through which the processed FOOF passes before being transferred to the load port, and loads the FOOF, which has received the processed wafer from the load port through the transfer robot, into the OHT port and transfers it to the OHT equipment. It consists of: system;

여기에서, 상기 버퍼시스템은 상기 공정장비에 인접 배치되는 프레임과; 상기 프레임에 구비되고, 상기 OHT포트와 버퍼포트가 구비된 풉 셸프와; 상기 풉 셸프의 상부에서 X축, Y축, Z축 방향으로 동작하여 상기 OHT포트에 로딩되어 있는 공정처리 전의 웨이퍼가 적재된 풉을 상기 버퍼포트에 로딩함과 아울러 상기 버퍼포트에 로딩된 풉을 상기 로드포트에 로딩하고, 상기 로드포트에 로딩되어 있는 공정처리 완료된 웨이퍼가 적재된 풉을 상기 OHT포트에 로딩하는 무빙유닛;을 포함하여 구성된다.Here, the buffer system includes a frame disposed adjacent to the process equipment; a pooh shelf provided in the frame and equipped with the OHT port and the buffer port; The pooh shelf operates in the It is configured to include; a moving unit that loads the load port and loads the pouf loaded with the processed wafer loaded in the load port into the OHT port.

한편, 상기 무빙유닛은 상기 로드포트에 로딩되어 있는 공정처리 완료된 웨이퍼가 적재된 풉을 상기 버퍼포트에 로딩할 수 있고, 상기 버퍼포트에 로딩되어 있는 공정처리 완료된 웨이퍼가 적재된 풉을 상기 OHT포트에 로딩할 수 있다.Meanwhile, the moving unit may load the pooh on which the processed wafers loaded in the load port are loaded into the buffer port, and may load the pooh on which the processed wafers loaded on the buffer port are loaded into the OHT port. It can be loaded into .

그리고, 상기 무빙유닛은 상기 프레임 상에서 X축 방향으로 슬라이딩하는 케이싱과; 상기 케이싱을 따라 Y축 방향으로 슬라이딩하는 제1이동블록과; 상기 제1이동블록을 따라 Y축 방향으로 슬라이딩하는 제2이동블록과; 상기 제2이동블록을 따라 Y축 방향으로 슬라이딩하는 제3이동블록과; 상기 제3이동블록의 하측에서 일정각도 회동하는 회동블록과; 상기 회동블록과 함께 회동하면서 Z축 방향으로 승강하고 상기 풉을 파지하는 파지블록;으로 구성된다.And, the moving unit includes a casing that slides on the frame in the X-axis direction; a first moving block sliding in the Y-axis direction along the casing; a second moving block sliding in the Y-axis direction along the first moving block; a third moving block sliding in the Y-axis direction along the second moving block; a rotating block rotating at a certain angle below the third moving block; It consists of a gripping block that rotates together with the pivoting block and moves up and down in the Z-axis direction and grips the pooper.

한편, 상기 제3이동블록에는 상기 회동블록을 일정각도 회동시키는 회동력 제공부가 구비되되; 상기 회동력 제공부는 제3이동블록에 설치되는 회동모터와; 상기 회동모터의 모터축을 따라 직선이동하는 브라켓과; 일단이 상기 브라켓에 회전가능하게 연결되는 링크와; 상단이 상기 링크의 타단에 연결되고 하단이 제3이동블록에 형성된 곡선형의 가이드홀을 관통하여 상기 회동블록에 연결되는 연결봉;으로 구성된다.Meanwhile, the third moving block is provided with a rotational force providing portion that rotates the rotational block at a certain angle; The rotation force providing unit includes a rotation motor installed in a third moving block; a bracket that moves linearly along the motor axis of the rotation motor; a link at one end rotatably connected to the bracket; It consists of a connecting rod whose upper end is connected to the other end of the link and whose lower end is connected to the rotating block through a curved guide hole formed in the third moving block.

그리고, 상기 회동블록에는 상기 파지블록을 상하방향으로 승강시키는 승강 유도부가 구비되되; 상기 승강 유도부는 회동블록에 설치되는 승강모터와; 상기 승강모터의 모터축으로부터 동력을 제공받아 회전하는 샤프트와; 상기 샤프트에 이격 설치되어 샤프트와 함께 회전하는 다수의 풀리와; 상기 풀리에 권취되고 끝단이 회동블록을 관통하여 상기 파지블록에 연결되는 연결띠;로 구성된다.In addition, the rotating block is provided with a lifting guide that raises and lowers the gripping block in the vertical direction; The lifting guide unit includes a lifting motor installed on a rotating block; a shaft that rotates by receiving power from the motor shaft of the lifting motor; a plurality of pulleys spaced apart from the shaft and rotating together with the shaft; It is composed of a connecting band that is wound around the pulley and whose ends penetrate the rotating block and are connected to the gripping block.

또한, 상기 파지블록에는 풉 파지부가 구비되되; 상기 풉 파지부는 파지블록에 설치되는 파지모터와; 상기 파지모터의 모터축을 따라 직선이동하는 이동암과; 상기 이동암의 양 끝단에 경사지게 설치되고 경사홀이 형성된 한 쌍의 경사판과; 상기 경사홀 내에서 이동을 하는 관통핀이 설치되어 이동암의 전후진에 따라 간격이 벌어지거나 좁아지는 한 쌍의 파지브라켓;으로 구성된다.In addition, the gripping block is provided with a loose gripping portion; The pooch gripping part includes a gripping motor installed on a gripping block; a moving arm that moves linearly along the motor axis of the gripping motor; a pair of inclined plates installed at an angle at both ends of the moving arm and having inclined holes formed therein; It consists of a pair of gripping brackets on which a penetrating pin that moves within the inclined hole is installed and the gap between them widens or narrows as the moving arm moves forward and backward.

상기와 같이 구성되는 본 발명의 버퍼가 구비된 EFEM은 로드포트 전부에 풉이 로딩되어 있는 경우 풉을 임시보관할 수 있는 OHT포트를 버퍼시스템에 구비함으로써 OHT 장비의 물동량을 분산시킬 수 있는 이점이 있다.The EFEM equipped with the buffer of the present invention configured as described above has the advantage of dispersing the volume of OHT equipment by providing an OHT port in the buffer system that can temporarily store the FOOF when all of the load ports are loaded. .

도 1은 본 발명에 의한 버퍼가 구비된 EFEM을 간단히 보인 도.
도 2 및 도 3은 본 발명에 의한 버퍼가 구비된 EFEM의 버퍼시스템을 보인 도.
도 4는 본 발명에 의한 버퍼가 구비된 EFEM의 풉 셸프를 보인 도.
도 5는 본 발명에 의한 버퍼가 구비된 EFEM의 무빙유닛을 보인 도.
도 6은 본 발명에 의한 버퍼가 구비된 EFEM의 제3이동블록과 회동블록 및 파지블록을 보인 도.
도 7 및 도 8은 본 발명에 의한 버퍼가 구비된 EFEM의 회동력 제공부를 보인 도.
도 9 내지 도 11은 본 발명에 의한 버퍼가 구비된 EFEM의 승강 유도부를 보인 도.
도 12는 본 발명에 의한 버퍼가 구비된 EFEM의 풉 파지부를 보인 도.1 is a schematic view of an EFEM equipped with a buffer according to the present invention.
Figures 2 and 3 show a buffer system of an EFEM equipped with a buffer according to the present invention.
Figure 4 is a diagram showing the poof shelf of an EFEM equipped with a buffer according to the present invention.
Figure 5 is a diagram showing an EFEM moving unit equipped with a buffer according to the present invention.
Figure 6 is a diagram showing the third moving block, rotation block, and gripping block of the EFEM equipped with a buffer according to the present invention.
Figures 7 and 8 show the rotational force providing part of the EFEM equipped with a buffer according to the present invention.
Figures 9 to 11 show the lifting guide part of the EFEM equipped with a buffer according to the present invention.
Figure 12 is a diagram showing the pull grip part of the EFEM equipped with a buffer according to the present invention.

이하, 본 발명에 의한 버퍼가 구비된 EFEM의 실시 예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, an embodiment of an EFEM equipped with a buffer according to the present invention will be described in detail with reference to the attached drawings.

도 1은 본 발명에 의한 버퍼가 구비된 EFEM을 간단히 보인 도이다.Figure 1 is a schematic view of an EFEM equipped with a buffer according to the present invention.

그리고, 도 2 및 도 3은 본 발명에 의한 버퍼가 구비된 EFEM의 버퍼시스템을 보인 도이며, 도 4는 본 발명에 의한 버퍼가 구비된 EFEM의 풉 셸프를 보인 도이고, 도 5는 본 발명에 의한 버퍼가 구비된 EFEM의 무빙유닛을 보인 도이며, 도 6은 본 발명에 의한 버퍼가 구비된 EFEM의 제3이동블록과 회동블록 및 파지블록을 보인 도이다.And, Figures 2 and 3 are diagrams showing a buffer system of an EFEM equipped with a buffer according to the present invention, Figure 4 is a diagram showing a poof shelf of an EFEM equipped with a buffer according to the present invention, and Figure 5 is a diagram showing a buffer system of an EFEM equipped with a buffer according to the present invention. This is a diagram showing the moving unit of an EFEM equipped with a buffer according to the present invention, and Figure 6 is a diagram showing the third moving block, rotation block, and gripping block of the EFEM equipped with a buffer according to the present invention.

또한, 도 7 및 도 8은 본 발명에 의한 버퍼가 구비된 EFEM의 회동력 제공부를 보인 도이고, 도 9 내지 도 11은 본 발명에 의한 버퍼가 구비된 EFEM의 승강 유도부를 보인 도이며, 도 12는 본 발명에 의한 버퍼가 구비된 EFEM의 풉 파지부를 보인 도이다.In addition, Figures 7 and 8 are diagrams showing a rotational force providing part of an EFEM equipped with a buffer according to the present invention, and Figures 9 to 11 are diagrams showing a lifting guide part of an EFEM equipped with a buffer according to the present invention. 12 is a diagram showing the poo grip part of the EFEM equipped with a buffer according to the present invention.

본 발명에 의한 버퍼가 구비된 EFEM(Equipment Front End Module)은 하우징(100)과, 상기 하우징(100)의 전방에 구비되어 웨이퍼(미도시)가 내부에 적재된 풉(FOUP: Front Opening Unified Pod,F)이 로딩되는 다수의 로드포트(Load Port,200)와, 상기 풉(F) 내부의 웨이퍼를 이송하는 반송로봇(300)과, 상기 풉(F)을 임시 보관하는 버퍼링 공간을 구비한 버퍼시스템(400)을 포함하여 구성된다.EFEM (Equipment Front End Module) equipped with a buffer according to the present invention includes a housing 100 and a FOUP (Front Opening Unified Pod) provided in the front of the housing 100 and having a wafer (not shown) loaded therein. , Equipped with a plurality of load ports (Load Port, 200) on which F) is loaded, a transfer robot (300) that transfers the wafer inside the foop (F), and a buffering space for temporarily storing the foop (F) It is configured to include a buffer system 400.

상기 하우징(100)은 내부에 반송실(100a)이 형성되고, 상기 반송실(100a) 내에는 반송로봇(300)이 구비된다.The housing 100 has a transfer chamber 100a formed therein, and a transfer robot 300 is provided within the transfer chamber 100a.

상기 로드포트(200)는 하우징(100) 옆에 다수개가 구비되고, 상면에 다수의 풉(F)이 각각 로딩된다.A plurality of load ports 200 are provided next to the housing 100, and a plurality of poops F are respectively loaded on the upper surface.

상기 풉(F)은 공정장비(A)에 의해 소정의 공정처리를 해야 하는 다수의 웨이퍼가 내부에 수평하게 적재되고, 더불어 공정장비(A)에 의해 소정의 공정처리가 완료된 웨이퍼가 내부에 적재된다.The poof (F) has a plurality of wafers that need to undergo a certain process by process equipment (A) loaded horizontally inside, and wafers that have undergone a certain process by process equipment (A) are loaded inside. do.

부연하면, 로드포트(200)는 반도체 제조라인에 구비된 공정장비(A)에 의해 공정처리를 받아야 하는 웨이퍼의 대기하는 공간이면서, 동시에 공정장비(A)에 의해 공정처리가 완료된 웨이퍼가 다음 공정장비(A)로 이송될 때까지 대기하는 공간이다.To elaborate, the load port 200 is a waiting space for wafers that need to be processed by the process equipment (A) provided in the semiconductor manufacturing line, and at the same time, wafers that have completed the process by the process equipment (A) are stored in the next process. This is a waiting area until transferred to equipment (A).

상기 반송로봇(300)은 하우징(100)의 반송실(100a) 내에서 동작하여 웨이퍼를 이송한다. 반송로봇(300)은 전개 가능한 링크암을 구비하여 소정의 공정처리를 하는 공정장비(A)에 로드포트(200)에 로딩된 풉(F) 내부의 공정처리 전 웨이퍼를 전달하면서, 동시에 공정장비(A)에 의해 공정처리 완료된 웨이퍼를 로드포트(200)에 로딩된 풉(F) 내에 전달한다.The transfer robot 300 operates within the transfer chamber 100a of the housing 100 to transfer the wafer. The transfer robot 300 is equipped with a deployable link arm and transfers the wafer before processing inside the foop (F) loaded into the load port 200 to the process equipment (A) that performs a predetermined process, while simultaneously transporting the wafer to the process equipment (A). The wafer that has completed the processing in (A) is delivered into the poof (F) loaded into the load port 200.

즉, 반송로봇(300)은 로드포트(200)와 공정장비(A) 사이를 왕복하면서 웨이퍼를 이송시킨다.That is, the transfer robot 300 transfers the wafer while reciprocating between the load port 200 and the process equipment (A).

상기 버퍼시스템(400)은 프레임(410)과, 상기 프레임(410)에 구비되는 풉 셸프(FOUP Shelf,420)와, 상기 풉 셸프(420)의 상부에서 기동하는 무빙유닛(430)을 포함하여 구성된다.The buffer system 400 includes a frame 410, a FOUP Shelf 420 provided on the frame 410, and a moving unit 430 that moves on top of the FOUP Shelf 420. It is composed.

상기 프레임(410)은 공정장비(A)에 인접 배치되는 것으로서, 하우징(100)을 둘러싸도록 설치되고 풉 셸프(420)와 무빙유닛(430)을 지지한다.The frame 410 is disposed adjacent to the process equipment (A), is installed to surround the housing 100, and supports the pooh shelf 420 and the moving unit 430.

상기 풉 셸프(420)는 OHT포트(421)와 버퍼포트(422)를 구비하는 것으로서, 하우징(100)과 로드포트(200)의 상부에 위치한다. 이러한 풉 셸프(420)에는 하나의 OHT포트(421)와 3개의 버퍼포트(422)로 구성된다.The pooch shelf 420 has an OHT port 421 and a buffer port 422, and is located on the upper part of the housing 100 and the load port 200. This pooh shelf (420) consists of one OHT port (421) and three buffer ports (422).

상기 OHT포트(421)에는 풉(F)이 로딩되는데, OHT포트(421)에 로딩되는 풉(F)에는 공정장비(A)에 의한 소정의 공정처리 전의 웨이퍼가 적재될 수도 있고, 공정장비(A)에 의해 소정의 공정처리가 완료된 후의 웨이퍼가 적재될 수도 있다.A foof (F) is loaded into the OHT port 421. A wafer before a predetermined process by process equipment (A) may be loaded into the foof (F) loaded into the OHT port (421), and a wafer before a certain process by process equipment (A) may be loaded. A wafer may be loaded after a predetermined process has been completed in A).

즉, 공정처리 전의 웨이퍼가 적재된 풉(F)을 OHT 장비(O)로 이송하다가 다수의 로드포트(200) 중 어느 하나의 로드포트(200)에 로딩하려고 할 때, 이 다수의 로드포트(200) 전부에 이미 로딩된 풉(F)이 있는 경우에는 OHT 장비(O)는 공정처리 전의 웨이퍼가 적재된 풉(F)을 OHT포트(421)에 로딩한다.That is, when transferring the pouf (F) loaded with wafers before processing to the OHT equipment (O) and loading it into any one of the plurality of load ports 200, the plurality of load ports ( 200) In the case where there is a previously loaded foop (F), the OHT equipment (O) loads the foop (F) loaded with the wafer before processing into the OHT port (421).

그리고, 로드포트(200)에서 로딩된 상태로 반송로봇(300)을 통해 공정처리가 완료된 웨이퍼를 전달받은 풉(F)은 무빙유닛(430)으로 OHT포트(421)에 로딩된 후 OHT 장비(O)를 이용하여 다른 공정장비 쪽으로 이송시킬 수 있다.In addition, Foop (F), which has received the wafer that has been processed through the transfer robot 300 in a loaded state from the load port 200, is loaded into the OHT port 421 by the moving unit 430 and then loaded into the OHT port 421 using the OHT equipment ( O) can be used to transfer it to other process equipment.

상기 버퍼포트(422)는 OHT포트(421)에 로딩되어 있는 공정처리 전의 웨이퍼가 적재된 풉(F)을 로드포트(200)에 이송하기 전에 경유하는 곳이다.The buffer port 422 is a place where the pouf (F) loaded with the wafer before processing, which is loaded in the OHT port 421, passes through before being transferred to the load port 200.

한편, 풉 셸프(420)에는 풉(F) 내부에 질소와 같은 불활성 가스를 주입하여 웨이퍼를 퍼지할 수 있는 기능이 포함되어 있다.Meanwhile, the foop shelf 420 includes a function to purge the wafer by injecting an inert gas such as nitrogen into the foop (F).

상기 무빙유닛(430)은 풉 셸프(420)의 상부에서 X축, Y축, Z축 방향으로 동작하여 OHT포트(421)에 로딩되어 잇는 공정처리 전의 웨이퍼가 적재된 풉(F)을 버퍼포트(422)에 로딩함과 아울러 버퍼포트(422)에 로딩된 풉(F)을 로드포트(200)에 로딩하고, 로드포트(200)에 로딩되어 있는 공정처리 완료된 웨이퍼가 적재된 풉(F)을 OHT포트(421)에 로딩한다.The moving unit 430 operates in the X-axis, Y-axis, and Z-axis directions at the top of the pooh shelf 420 to move the pooh (F) loaded with wafers before processing loaded into the OHT port 421 into the buffer port. In addition to loading at 422, the pouf (F) loaded in the buffer port 422 is loaded into the load port 200, and the pouf (F) on which the processed wafer loaded in the load port 200 is loaded. Loads into the OHT port (421).

물론, 무빙유닛(430)은 로드포트(200)에 로딩되어 있는 공정처리 완료된 웨이퍼가 적재된 풉(F)을 버퍼포트(422)가 비어 있는 경우 그 비어 있는 버퍼포트(422)에 로딩할 수 있을 뿐만 아니라, 버퍼포트(422)에 로딩되어 있는 공정처리 완료된 웨이퍼가 적재된 풉(F)을 OHT포트(421)가 비어 있는 경우 그 OHT포트(421)에 로딩할 수도 있다.Of course, the moving unit 430 can load the poof (F) loaded with the processed wafer loaded in the load port 200 into the empty buffer port 422 when the buffer port 422 is empty. In addition, the pouf (F) loaded with the processed wafer loaded in the buffer port 422 can be loaded into the OHT port 421 when the OHT port 421 is empty.

그리고, 무빙유닛(430)을 통하지 않고서도 OHT 장비(O)가 버퍼포트(422)에 로딩된 풉(F)을 로드포트(200)에 직접 이송하여 로딩하는 것도 가능하다.In addition, it is also possible for the OHT equipment (O) to load the pooh (F) loaded in the buffer port (422) by directly transferring it to the load port (200) without passing through the moving unit (430).

한편, 무빙유닛(430)은 케이싱(431)과, 상기 케이싱(431)에 설치되는 제1이동블록(432)과, 상기 제1이동블록(432)의 하측에 설치되는 제2이동블록(433)과, 상기 제2이동블록(433)의 하측에 설치되는 제3이동블록(434)과, 제3이동블록(434)의 하측에 설치되는 회동블록(435)과, 상기 회동블록(435)의 하측에 설치되는 파지블록(436)을 포함하여 구성된다.Meanwhile, the moving unit 430 includes a casing 431, a first moving block 432 installed in the casing 431, and a second moving block 433 installed below the first moving block 432. ), a third moving block 434 installed below the second moving block 433, a rotating block 435 installed below the third moving block 434, and the rotating block 435 It is configured to include a grip block 436 installed on the lower side of.

상기 케이싱(431)은 프레임(410)에 수평방향으로 설치된 X축 레일(411)을 따라 X축 방향으로 슬라이딩 이동한다.The casing 431 slides in the X-axis direction along the X-axis rail 411 installed horizontally on the frame 410.

상기 제1이동블록(432)은 케이싱(431)에 설치되되 Y축 방향으로 슬라이딩 가능하게 설치되므로, 케이싱(431)이 X축 방향으로 이동할 때 함께 X축 방향으로 이동하면서 동시에 Y축 방향으로 독자적으로 슬라이딩 이동할 수 있다. The first moving block 432 is installed on the casing 431 so that it can slide in the Y-axis direction, so when the casing 431 moves in the X-axis direction, it moves in the You can move by sliding.

상기 제2이동블록(433)은 제1이동블록(432) 상에서 Y축 방향으로 슬라이딩 가능하게 설치된다. 따라서 케이싱(431)과 제1이동블록(432)을 따라 X축 방향으로 이동하면서 동시에 Y축 방향으로 독자적으로 슬라이딩 이동할 수 있다.The second moving block 433 is installed to be slidable in the Y-axis direction on the first moving block 432. Therefore, it can move in the X-axis direction along the casing 431 and the first moving block 432 and independently slide in the Y-axis direction at the same time.

상기 제3이동블록(434)은 제2이동블록(433) 상에서 Y축 방향으로 슬라이딩 가능하게 설치된다. 따라서 케이싱(431)과 제1이동블록(432) 및 제2이동블록(433)을 따라 X축 방향으로 이동하면서 동시에 Y축 방향으로 독자적으로 슬라이딩 이동할 수 있다.The third moving block 434 is installed to be slidable in the Y-axis direction on the second moving block 433. Therefore, it is possible to independently slide in the Y-axis direction while moving in the

이와 같은 제3이동블록(434)에는 회동블록(435)을 일정각도 회동시키는 회동력 제공부(437)가 구비된다.This third moving block 434 is provided with a rotational force providing unit 437 that rotates the rotational block 435 at a certain angle.

상기 회동력 제공부(437)는 회동모터(437a)와, 상기 회동모터(437a)의 모터축에 설치되는 브라켓(437b)과, 일단이 상기 브라켓(437b)에 연결되는 링크(437c)와, 상단이 상기 링크(437c)의 타단에 연결되는 연결봉(437d)으로 구성된다.The rotation force provider 437 includes a rotation motor 437a, a bracket 437b installed on the motor shaft of the rotation motor 437a, and a link 437c whose end is connected to the bracket 437b, The upper end is composed of a connecting rod 437d connected to the other end of the link 437c.

상기 회동모터(437a)는 제3이동블록(434)에 설치되어 회동블록(435)이 일정각도 회동할 수 있도록 동력을 제공한다.The rotation motor 437a is installed on the third moving block 434 and provides power so that the rotation block 435 can rotate at a certain angle.

상기 브라켓(437b)은 회동모터(437a)의 모터축을 따라 직선이동한다. 즉 회동모터(437a)의 모터축이 일방향으로 회전하면 브라켓(437b)은 전진하고 타방향으로 회전하면 브라켓(437b)은 전진한다.The bracket 437b moves linearly along the motor axis of the rotation motor 437a. That is, when the motor shaft of the rotation motor (437a) rotates in one direction, the bracket (437b) advances, and when it rotates in the other direction, the bracket (437b) advances.

상기 링크(437c)는 일단이 브라켓(437b)에 회전가능하게 연결되고 타단이 제3이동블록(434)에 형성된 가이드홀(434a) 쪽으로 연장된다.One end of the link 437c is rotatably connected to the bracket 437b, and the other end extends toward the guide hole 434a formed in the third moving block 434.

상기 연결봉(437d)은 상단이 링크(437c)의 타단에 연결되면서 하단이 곡선형의 가이드홀(434a)을 관통하여 회동블록(435)에 연결된다. 따라서 회동모터(437a)의 모터축이 회전을 하면 연결봉(437d)이 가이드홀(434a) 내에서 이동을 하면서 회동블록(435)을 일정각도 회동시킨다.The upper end of the connecting rod 437d is connected to the other end of the link 437c, and the lower end passes through the curved guide hole 434a and is connected to the pivot block 435. Therefore, when the motor shaft of the rotation motor 437a rotates, the connecting rod 437d moves within the guide hole 434a and rotates the rotation block 435 at a certain angle.

상기 회동블록(435)은 제3이동블록(434)의 하측에서 일정각도 회동한다. 따라서 회동블록(435)은 X축으로 이동을 하면서 Y축으로 이동을 할 수 있다.The rotating block 435 rotates at a certain angle below the third moving block 434. Therefore, the rotating block 435 can move along the Y axis while moving along the X axis.

이와 같은 회동블록(435)에는 파지블록(436)을 상하방향으로 승강시키는 승강 유도부(438)가 구비된다.This rotating block 435 is provided with a lifting guide part 438 that lifts the gripping block 436 in the vertical direction.

상기 승강 유도부(438)는 회동블록(435)에 설치되는 승강모터(438a)와, 상기 승강모터(438a)의 모터축으로부터 동력을 제공받아 회전하는 샤프트(438b)와, 상기 샤프트(438b)에 이격 설치되어 샤프트(438b)와 함게 회전하는 다수의 풀리(438c)와, 상기 풀리(438c)에 권취되고 끝단이 파지블록(436)에 연결되는 연결띠(438d)로 구성된다.The lifting guide unit 438 includes a lifting motor 438a installed on the rotating block 435, a shaft 438b that rotates by receiving power from the motor shaft of the lifting motor 438a, and the shaft 438b. It consists of a plurality of pulleys 438c that are installed spaced apart and rotate together with the shaft 438b, and a connecting band 438d that is wound around the pulleys 438c and whose ends are connected to the gripping block 436.

상기 승강모터(438a)는 파지블록(436)이 위아래로 움직일 수 있는 동력을 제공한다.The lifting motor 438a provides power to move the gripping block 436 up and down.

상기 샤프트(438b)는 체인이나 풀리 등과 같은 동력연결수단을 통해서 승강모터(438a)의 모터축과 연결된어, 모터축이 회전을 하면 샤프트(438b)도 회전한다.The shaft 438b is connected to the motor shaft of the lifting motor 438a through a power connection means such as a chain or pulley, and when the motor shaft rotates, the shaft 438b also rotates.

상기 풀리(438c)는 샤프트(438b)에 일정간격으로 3개가 설치된다.Three pulleys 438c are installed on the shaft 438b at regular intervals.

상기 연결띠(438d)는 끝단이 회동블록(435)을 관통하여 아래쪽에 있는 파지블록(436)과 연결된다. 3개의 풀리(438c)에 권취된 연결띠(438d) 중에서 샤프트(438b)의 양 끝에 있는 풀리(438c)의 2개의 연결띠(438d) 끝단은 같은 방향으로 회동블록(435)을 관통하고, 중앙에 있는 풀리(438c)의 연결띠(438d) 끝단은 그 맞은편으로 회동블록(435)을 관통한다.The end of the connecting band 438d passes through the pivoting block 435 and is connected to the gripping block 436 below. Among the connection bands 438d wound around the three pulleys 438c, the ends of the two connection bands 438d of the pulleys 438c at both ends of the shaft 438b penetrate the rotation block 435 in the same direction, and The end of the connecting band (438d) of the pulley (438c) in passes through the rotating block (435) on the opposite side.

따라서, 승강모터(438a)가 회전하여 풀리(438c)에서 연결띠(438d)가 풀려 나오면 파지블록(436)은 아래쪽으로 이동하고 연결띠(438d)가 풀리(438c)에 감기면 파지블록(436)은 위쪽으로 이동한다.Therefore, when the lifting motor 438a rotates and the connecting band 438d is released from the pulley 438c, the gripping block 436 moves downward, and when the connecting band 438d is wound around the pulley 438c, the gripping block 436 ) moves upward.

상기 파지블록(436)은 회동블록(435)과 함께 회동하면서 Z축 방향으로 승강하고 풉(F)을 파지한다.The gripping block 436 rotates together with the rotating block 435 to move up and down in the Z-axis direction and grips the fob (F).

이러한 파지블록(436)에는 풉 파지부(439)가 구비된다.This gripping block 436 is provided with a quick gripping portion 439.

상기 풉 파지부(439)는 파지블록(436)에 설치되는 파지모터(439a)와, 상기 파지모터(439a)의 모터축을 따라 직선이동하는 이동암(439b)과, 상기 이동암(439b)의 양 끝단에 경사지게 설치되고 경사홀(439d)이 형성된 한 쌍의 경사판(439c)과, 상기 경사홀(439d) 내에서 이동을 하는 관통핀(439f)이 설치되어 이동암(439b)의 전후진에 따라 간격이 벌어지거나 좁아지는 한 쌍의 파지브라켓(439e)으로 구성된다.The pooch gripping part 439 includes a gripping motor 439a installed on the gripping block 436, a moving arm 439b that moves linearly along the motor axis of the gripping motor 439a, and both ends of the moving arm 439b. A pair of inclined plates (439c) are installed at an angle and have inclined holes (439d), and a through pin (439f) that moves within the inclined holes (439d) is installed so that the gap is adjusted according to the forward and backward movement of the moving arm (439b). It consists of a pair of gripping brackets (439e) that expand or narrow.

상기 파지모터(439a)는 파지블록(436)이 풉(F)을 파지할 수 있는 동력을 제공한다.The gripping motor 439a provides power for the gripping block 436 to grip the pooh (F).

상기 이동암(439b)은 파지모터(439a)의 모터축이 일방향으로 회전하면 일측으로 직선이동하고 타방향으로 회전하면 반대방향으로 직선이동한다.The moving arm 439b moves linearly in one direction when the motor shaft of the gripping motor 439a rotates in one direction, and moves linearly in the opposite direction when it rotates in the other direction.

상기 파지브라켓(439e)은 파지블록(436)을 관통하여 설치되는 것으로서, 상면에 관통핀(439f)이 구비되고, 이 관통핀(439f)은 경사홀(439d) 내에서 이동을 하여 한 쌍의 파지브라켓(439e) 사이를 좁혀 풉(F)을 파지하거나 한 쌍의 파지브라켓(439e) 사이를 넓혀 파지했던 풉(F)을 놓는다.The holding bracket (439e) is installed to penetrate the holding block (436) and is provided with a through pin (439f) on its upper surface. This through pin (439f) moves within the inclined hole (439d) to form a pair of Narrow the space between the gripping brackets (439e) to grip the foof (F), or widen the space between the pair of grip brackets (439e) to place the gripped foof (F).

100: 하우징 100a: 반송실
200: 로드포트 300: 반송로봇
400: 버퍼시스템 410: 프레임
411: X축 레일 420: 풉 셸프
421: OHT포트 422: 버퍼포트
430: 무빙유닛 431: 케이싱
432: 제1이동블록 433: 제2이동블록
434: 제3이동블록 434a: 가이드홀
435: 회동블록 436: 파지블록
437: 회동력 제공부 437a: 회동모터
437b: 브라켓 437c: 링크
437d: 연결봉 438: 승강 유도부
438a: 승강모터 438b: 샤프트
438c: 풀리 438d: 연결띠
439: 풉 파지부 439a: 파지모터
439b: 이동암 439c: 경사판
439d: 경사홀 439e: 파지브라켓
439f: 관통핀 A: 공정장비
F: 풉 W: 웨이퍼100: Housing 100a: Return room
200: Load port 300: Transfer robot
400: buffer system 410: frame
411: X-axis rail 420: Poop shelf
421: OHT port 422: Buffer port
430: Moving unit 431: Casing
432: 1st moving block 433: 2nd moving block
434: Third moving block 434a: Guide hole
435: rotation block 436: gripping block
437: Rotating force provider 437a: Rotating motor
437b: Bracket 437c: Link
437d: connecting rod 438: lifting guide unit
438a: lifting motor 438b: shaft
438c: pulley 438d: connecting band
439: Poop gripping part 439a: Gripping motor
439b: Moving arm 439c: Inclined plate
439d: inclined hole 439e: gripping bracket
439f: Through pin A: Process equipment
F: Phew W: Wafer

Claims (8)

내부에 반송실(100a)이 형성된 하우징(100)과;
상기 하우징(100)의 전방에 구비되고, 내부에 웨이퍼가 적재된 다수의 풉(FOUP: Front Opening Unified Pod,F)이 각각 로딩되는 다수의 로드포트(Load Port,200)와;
상기 하우징(100)의 반송실(100a) 내에서 동작하여, 상기 웨이퍼에 소정의 공정처리를 하는 공정장비(A)에 상기 로드포트(200)에 로딩된 풉(F) 내의 공정처리 전 웨이퍼를 전달함과 아울러 상기 공정장비(A)에 의해 공정처리 완료된 웨이퍼를 상기 로드포트(200)에 로딩된 풉(F) 내에 전달하는 반송로봇(300)과;
상기 다수의 로드포트(200) 전부에 풉(F)이 로딩된 경우 공정처리 전의 웨이퍼가 적재된 상태로 OHT 장비(O)에 의해 이송되고 있던 풉(F)이 로딩되는 OHT포트(421)를 구비하고, 상기 OHT포트(421)에 로딩된 공정처리 전의 웨이퍼가 적재된 풉(F)이 상기 로드포트(200)로 이송되기 전에 경유하는 버퍼포트(422)를 구비하며, 상기 로드포트(200)에서 상기 반송로봇(300)을 통해 공정처리가 완료된 웨이퍼를 전달받은 풉(F)을 상기 OHT포트(421)에 로딩하여 상기 OHT 장비(O)로 이송시키는 버퍼시스템(400);을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 버퍼가 구비된 EFEM.
A housing 100 having a transfer chamber 100a formed therein;
A plurality of load ports 200 are provided in the front of the housing 100 and each load a plurality of Front Opening Unified Pods (FOUPs) loaded with wafers therein;
The processing equipment (A), which operates within the transfer chamber (100a) of the housing (100) and performs a predetermined process on the wafer, loads the wafer before processing in the foop (F) into the load port (200). a transfer robot (300) that transfers the wafer that has been processed by the process equipment (A) into the pooper (F) loaded in the load port (200);
When the FOOF (F) is loaded in all of the plurality of load ports 200, the OHT port 421 where the FOOF (F), which is being transported by the OHT equipment (O) with the wafer before processing loaded, is loaded It is provided with a buffer port 422 through which the pouf (F) loaded with the wafer before processing loaded into the OHT port 421 passes through before being transferred to the load port 200, and the load port 200 ), a buffer system 400 that loads the pouf (F), which has received the processed wafer through the transfer robot 300, into the OHT port 421 and transfers it to the OHT equipment (O); including; EFEM with a buffer, characterized in that:
 청구항 1에 있어서,
상기 버퍼시스템(400)은 상기 공정장비(A)에 인접 배치되는 프레임(410)과;
상기 프레임(410)에 구비되고, 상기 OHT포트(421)와 버퍼포트(422)가 구비된 풉 셸프(420)와;
상기 풉 셸프(420)의 상부에서 X축, Y축, Z축 방향으로 동작하여 상기 OHT포트(421)에 로딩되어 있는 공정처리 전의 웨이퍼가 적재된 풉(F)을 상기 버퍼포트(422)에 로딩함과 아울러 상기 버퍼포트(422)에 로딩된 풉(F)을 상기 로드포트(200)에 로딩하고, 상기 로드포트(200)에 로딩되어 있는 공정처리 완료된 웨이퍼가 적재된 풉(F)을 상기 OHT포트(421)에 로딩하는 무빙유닛(430);을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 버퍼가 구비된 EFEM.
In claim 1,
The buffer system 400 includes a frame 410 disposed adjacent to the process equipment (A);
a pooh shelf 420 provided on the frame 410 and equipped with the OHT port 421 and the buffer port 422;
The pooh shelf 420 operates in the In addition to loading, the pouf (F) loaded in the buffer port 422 is loaded into the load port 200, and the pouf (F) loaded with the processed wafer loaded in the load port 200 is loaded. EFEM with a buffer, characterized in that it includes a moving unit 430 that loads into the OHT port 421.
 청구항 2에 있어서,
상기 무빙유닛(430)은 상기 로드포트(200)에 로딩되어 있는 공정처리 완료된 웨이퍼가 적재된 풉(F)을 상기 버퍼포트(422)에 로딩할 수 있는 것을 특징으로 하는 것을 특징으로 하는 버퍼가 구비된 EFEM.
In claim 2,
The moving unit 430 has a buffer characterized in that it can load the poof (F) loaded with the processed wafer loaded in the load port 200 into the buffer port 422. Equipped with EFEM.
 청구항 3에 있어서,
상기 무빙유닛(430)은 상기 버퍼포트(422)에 로딩되어 있는 공정처리 완료된 웨이퍼가 적재된 풉(F)을 상기 OHT포트(421)에 로딩할 수 있는 것을 특징으로 하는 것을 특징으로 하는 버퍼가 구비된 EFEM.
In claim 3,
The moving unit 430 has a buffer characterized in that it is capable of loading the pouf (F) loaded with the processed wafer loaded in the buffer port 422 into the OHT port 421. Equipped with EFEM.
 청구항 2에 있어서,
상기 무빙유닛(430)은 상기 프레임(410) 상에서 X축 방향으로 슬라이딩하는 케이싱(431)과;
상기 케이싱(431)을 따라 Y축 방향으로 슬라이딩하는 제1이동블록(432)과;
상기 제1이동블록(432)을 따라 Y축 방향으로 슬라이딩하는 제2이동블록(433)과;
상기 제2이동블록(433)을 따라 Y축 방향으로 슬라이딩하는 제3이동블록(434)과;
상기 제3이동블록(434)의 하측에서 일정각도 회동하는 회동블록(435)과;
상기 회동블록(435)과 함께 회동하면서 Z축 방향으로 승강하고 상기 풉(F)을 파지하는 파지블록(436);으로 구성된 것을 특징으로 하는 버퍼가 구비된 EFEM.
In claim 2,
The moving unit 430 includes a casing 431 sliding in the X-axis direction on the frame 410;
a first moving block 432 sliding in the Y-axis direction along the casing 431;
a second moving block 433 sliding in the Y-axis direction along the first moving block 432;
a third moving block 434 sliding in the Y-axis direction along the second moving block 433;
a rotating block 435 rotating at a certain angle below the third moving block 434;
An EFEM with a buffer, characterized in that it consists of a gripping block 436 that rotates together with the pivoting block 435 and moves up and down in the Z-axis direction and grips the pooch (F).
 청구항 5에 있어서,
상기 제3이동블록(434)에는 상기 회동블록(435)을 일정각도 회동시키는 회동력 제공부(437)가 구비되되,
상기 회동력 제공부(437)는 제3이동블록(434)에 설치되는 회동모터(437a)와;
상기 회동모터(437a)의 모터축을 따라 직선이동하는 브라켓(437b)과;
일단이 상기 브라켓(437b)에 회전가능하게 연결되는 링크(437c)와;
상단이 상기 링크(437c)의 타단에 연결되고 하단이 제3이동블록(434)에 형성된 곡선형의 가이드홀(434a)을 관통하여 상기 회동블록(435)에 연결되는 연결봉(437d);으로 구성된 것을 특징으로 하는 버퍼가 구비된 EFEM.
In claim 5,
The third moving block 434 is provided with a rotational force provider 437 that rotates the rotational block 435 at a certain angle,
The rotation force providing unit 437 includes a rotation motor 437a installed on the third moving block 434;
a bracket (437b) that moves linearly along the motor axis of the rotation motor (437a);
a link (437c) whose end is rotatably connected to the bracket (437b);
A connecting rod (437d) whose upper end is connected to the other end of the link (437c) and whose lower end is connected to the rotating block (435) through a curved guide hole (434a) formed in the third moving block (434). EFEM equipped with a buffer, characterized in that.
 청구항 5에 있어서,
상기 회동블록(435)에는 상기 파지블록(436)을 상하방향으로 승강시키는 승강 유도부(438)가 구비되되,
상기 승강 유도부(438)는 회동블록(435)에 설치되는 승강모터(438a)와;
상기 승강모터(438a)의 모터축으로부터 동력을 제공받아 회전하는 샤프트(438b)와;
상기 샤프트(438b)에 이격 설치되어 샤프트(438b)와 함께 회전하는 다수의 풀리(438c)와;
상기 풀리(438c)에 권취되고 끝단이 회동블록(435)을 관통하여 상기 파지블록(436)에 연결되는 연결띠;로 구성된 것을 특징으로 하는 버퍼가 구비된 EFEM.
In claim 5,
The pivoting block 435 is provided with a lifting guide part 438 that raises and lowers the gripping block 436 in the vertical direction,
The lifting guide unit 438 includes a lifting motor 438a installed on the rotating block 435;
a shaft (438b) that rotates by receiving power from the motor shaft of the lifting motor (438a);
a plurality of pulleys 438c installed spaced apart from the shaft 438b and rotating together with the shaft 438b;
An EFEM with a buffer, characterized in that it consists of a connection band wound around the pulley (438c) and the end of which passes through the rotation block (435) and is connected to the gripping block (436).
 청구항 5에 있어서,
상기 파지블록(436)에는 풉 파지부(439)가 구비되되,
상기 풉 파지부(439)는 파지블록(436)에 설치되는 파지모터(439a)와;
상기 파지모터(439a)의 모터축을 따라 직선이동하는 이동암(439b)과;
상기 이동암(439b)의 양 끝단에 경사지게 설치되고 경사홀(439d)이 형성된 한 쌍의 경사판(439c)과;
상기 경사홀(439d) 내에서 이동을 하는 관통핀(439f)이 설치되어 이동암(439b)의 전후진에 따라 간격이 벌어지거나 좁아지는 한 쌍의 파지브라켓(439e);으로 구성된 것을 특징으로 하는 버퍼가 구비된 EFEM.In claim 5,
The gripping block 436 is provided with a poof gripping portion 439,
The pooch gripping part 439 includes a gripping motor 439a installed on the gripping block 436;
a moving arm (439b) that moves linearly along the motor axis of the gripping motor (439a);
a pair of inclined plates (439c) installed at an angle at both ends of the moving arm (439b) and having inclined holes (439d);
A buffer characterized in that it consists of a pair of gripping brackets (439e) on which a through pin (439f) that moves within the inclined hole (439d) is installed and the gap widens or narrows depending on the forward and backward movement of the moving arm (439b). Equipped with EFEM.
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