KR20240030719A - 증발원의 히터 제어 유닛을 구비하는 증착 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은, 기판을 지지하는 기판 지지부를 구비하는 진공 챔버와; 상기 진공 챔버 내에 설치되며, 상기 기판을 향해 증착 재료를 증발시키는 증발원; 및 상기 증발원의 도가니를 가열하기 위한 히터를 제어하는 히터 제어 유닛;을 포함하고, 상기 히터 제어 유닛은, 상기 히터로 전력을 공급하는 전력 공급부의 출력을 온도 제어하는 제1 컨트롤러와; 상기 전력 공급부의 출력을 증착 속도에 따라 제어하는 제2 컨트롤러; 및 상기 제1 컨트롤러에 의한 온도 제어 모드와 상기 제2 컨트롤러에 의한 증착 속도 제어 모드를 선택적으로 전환시키도록 상기 전력 공급부를 상기 제1 또는 제2 컨트롤러에 선택적으로 연결하는 스위치부;를 포함하는 것을 특징으로 하는, 증착 장치에 관한 것이다.

Description

증발원의 히터 제어 유닛을 구비하는 증착 장치 {Deposition apparatus having heater control unit of evaporation source}

본 발명은 증발원의 증착 재료 증발량 또는 증발 속도를 조절할 수 있도록 히터의 출력을 제어하는 히터 제어 유닛을 구비하는 증착 장치에 관한 것이다.

유기 발광 소자(Organic Light Emitting Diodes: OLED)는 형광성 유기화합물에 전류가 흐르면 빛을 내는 전계 발광 현상을 이용하는 스스로 빛을 내는 자발광소자로서, 비발광소자에 빛을 가하기 위한 백라이트가 필요하지 않기 때문에 경량이고 박형의 평판표시장치를 제조할 수 있다.

유기 발광 소자는, 애노드 및 캐소드 전극을 제외한 나머지 구성층인 정공주입층, 정공수송층, 발광층, 전자수송층 및 전자주입층 등이 유기 박막으로 되어 있고, 이러한 유기 박막은 진공 증착법 등에 의해 기판 상에 형성될 수 있다.

진공 증착법은 진공 챔버 내에 기판을 배치하고, 일정 패턴이 형성된 마스크를 기판에 정렬시킨 후, 증착 재료가 담겨 있는 증발원에 열을 가하여 증발원에서 증발되는 증착 재료를 기판 상에 증착하는 방식으로 이루어진다.

증발원은 증착 재료가 담겨있는 도가니에 열선과 같은 히터가 설치된 구조를 가지며, 히터의 출력을 조절함으로써 증착 재료의 증발량 또는 증발 속도를 조절할 수 있다. 이와 같은 증발원의 히터 제어는 진공 챔버에 설치된 증착 속도 센서(예를 들어, 수정 진동자를 이용한 QCM 센서)의 측정 결과를 근거로 히터로의 전력 출력을 피드백 제어하는 방식으로 수행된다.

증착 공정의 진행 상태 및 챔버 내 환경 변화에 대응 가능한 제어를 위해 증착 재료의 증착 속도 이외에도 다른 물성치를 이용한 제어를 혼용하여 증발원을 제어할할 수 있는 기술에 대하여 다양한 연구 개발이 이루어지고 있다.

등록특허공보 제10-1350054호 (2014.01.03)

본 발명은 상기와 같은 점을 감안하여 안출된 것으로서, 온도 제어 모드와 증착 속도 모드를 선택적으로 혼용하여 동작시킬 수 있는 증발원 히터 제어 유닛을 구비하는 증착 장치를 제공하는 것을 기술적 과제로 한다.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 기판을 지지하는 기판 지지부를 구비하는 진공 챔버와; 상기 진공 챔버 내에 설치되며, 상기 기판을 향해 증착 재료를 증발시키는 증발원; 및 상기 증발원의 도가니를 가열하기 위한 히터를 제어하는 히터 제어 유닛;을 포함하고, 상기 히터 제어 유닛은, 상기 히터로 전력을 공급하는 전력 공급부의 출력을 온도 제어하는 제1 컨트롤러와; 상기 전력 공급부의 출력을 증착 속도에 따라 제어하는 제2 컨트롤러; 및 상기 제1 컨트롤러에 의한 온도 제어 모드와 상기 제2 컨트롤러에 의한 증착 속도 제어 모드를 선택적으로 전환시키도록 상기 전력 공급부를 상기 제1 또는 제2 컨트롤러에 선택적으로 연결하는 스위치부;를 포함하는 것을 특징으로 하는, 증착 장치가 개시된다.

또한, 상기 제1 및 제2 컨트롤러는 상기 진공 챔버 내에 설치된 온도 센서 및 증착 속도 센서에 각각 연결될 수 있다.

또한, 상기 스위치부는 메인 컨트롤러로부터 인가된 모드 전환 신호에 따라 스위칭 동작하도록 구성될 수 있다.

또한, 상기 스위치부와 상기 전력 공급부의 사이에는, 상기 제1 및 제2 컨트롤러에서 출력되는 제어 신호의 전압 범위를 조정하기 위한 신호 증폭기가 추가로 연결될 수 있다.

또한, 상기 신호 증폭기는, 입력 신호를 펄스 신호로 변조하는 신호 변조부와; 상기 펄스 신호를 선형 신호로 복조하는 신호 복조부와; 상기 선형 신호의 크기를 설정된 비율로 조정하는 신호 성형부; 및 상기 신호 변조부의 말단의 입력 코일 및 상기 신호 변조부의 출력 코일을 통해 상기 신호 변조부와 상기 신호 복조부의 사이를 격리시키는 신호 격리부;를 포함할 수 있다.

또한, 상기 히터 제어 유닛은, 진공 챔버 내 압력에 따라 상기 신호 증폭기와 상기 전력 공급부 사이의 연결을 차단하는 인터락 스위치부;를 더 포함할 수 있다.

또한, 상기 인터락 스위치부는 상기 진공 챔버 내에 설치된 압력 센서 스위치에 연결될 수 있고, 상기 압력 센서 스위치는 상기 진공 챔버 내 압력이 기설정된 압력보다 높은 경우 차단 신호를 출력하도록 구성될 수 있다.

또한, 상기 스위치부, 상기 신호 증폭기 및 상기 인터락 스위치부는 일체형 모듈의 형태로 컨트롤 박스에 내장될 수 있고, 상기 컨트롤 박스는, 복수의 증발원에 대한 개별 제어가 가능하도록 제어 신호 입력 포트와 상기 전력 공급부로의 제어 신호 출력 포트를 각각 멀티 채널의 형태로 구비할 수 있다.

본 발명의 실시예에 따르면, 증발원 히터 제어 유닛의 스위치부가 스위칭 동작함에 따라 온도 제어 모드와 증착 속도 모드를 선택적으로 혼용하여 동작시킬 수 있는 효과가 있다.

또한, 본 발명의 실시예에 따르면, 히터 제어 유닛에 신호 증폭기를 구비하여 제1 및 제2 컨트롤러에서 출력되는 전압 범위를 조정할 수 있게 함으로써, 전력 공급부와의 전압 스케일을 맞출 수 있으며, 이를 통해 보다 정밀한 출력 제어가 가능한 이점이 있다.

또한, 본 발명의 실시예에 따르면, 신호 증폭기에 신호 격리부를 구비함으로써 노이즈 등 왜란으로 인한 신호 왜곡을 방지할 수 있는 이점이 있다.

또한, 본 발명의 실시예에 따르면, 신호 증폭기와 전력 공급부의 사이에 인터락 스위치부를 추가로 구비함으로써, 진공 챔버 내가 상압 환경일 때 증발원이 동작하는 것을 방지할 수 있는 이점이 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 장치를 개략적으로 나타낸 도면.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 증발원의 히터 제어 유닛 및 그와 관련된 구성을 나타낸 블록 다이어그램.
도 3은 도 2에 도시된 히터 제어 유닛의 상세 구성 및 신호 흐름을 나타낸 블록 다이어그램.
도 4는 도 3에 도시된 신호 증폭기의 회로 구성도.

본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함한다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.

이하, 본 발명에 의한 증발원의 히터 제어 유닛을 구비하는 증착 장치의 실시예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 장치를 개략적으로 나타낸 도면이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 증발원의 히터 제어 유닛 및 그와 관련된 구성을 나타낸 블록 다이어그램이다.

도 1을 참조하면, 본 실시예에 따른 증착 장치는 진공 챔버(10), 기판 지지부(20), 증발원(40) 및 히터 제어 유닛(50)을 포함한다.

진공 챔버(10)는 진공 증착 공정을 수행하기 위한 공간을 제공하며, 그 내부는 진공 분위기로 유지된다.

기판 지지부(20)는 진공 챔버(10)의 내부에 설치되며, 기판(1)을 척킹하여 지지한다. 기판 지지부(20)는 기판(1)을 흡착 및 고정시키기 위한 고정척을 구비하며, 고정척으로서 정전기력을 이용하여 기판(1)을 고정시키는 정전척(Electrostatic Chuck)이 사용될 수 있다. 고정척은 정전척 이외에 다른 방식의 고정 방식이 사용되는 것도 가능하다.

기판 지지부(20)의 하측에는 이송 수단(예를 들어, 로봇 암)을 통해 진공 챔버(10) 내로 투입된 기판(1)이 놓이는 기판 홀딩 유닛(21)이 설치될 수 있고, 기판 지지부(20)와 기판 홀딩 유닛(21)은 진공 챔버(10)의 상부에 설치된 얼라인 유닛(22)과 연결될 수 있다.

기판 홀딩 유닛(21)의 하측에는 마스크(2)를 지지하기 위한 마스크 지지부(23)가 설치될 수 있다. 마스크 지지부(23)는 마스크 시트(3)의 둘레에 고정된 마스크 프레임(4)을 지지하며, 지지 부재(24)를 통해 진공 챔버(10)의 내부에 지지된다.

증발원(30)은 진공 챔버(10) 내에 설치되며, 기판(1)을 향해 증착 재료를 증발시키도록 구성된다. 증발원(30)은 증착 재료가 담긴 도가니와, 도가니를 가열하는 히터(31, 예를 들어, 열선 등)을 포함할 수 있다.

히터 제어 유닛(100)은 히터(32)의 출력을 제어하여 증착 재료의 증발량 또는 증발 속도를 조절한다. 본 발명에 따르면, 히터 제어 유닛(100)은 진공 챔버(10)의 내부에 설치된 온도 센서(40), 증착 속도 센서(50, 예를 들어, QCM 센서) 연결되며, 이들로부터 받은 센싱 정보를 근거로 히터(31)로 전력을 공급하는 전력 공급부(32, Power Supply)의 출력을 제어한다.

히터 제어 유닛(100)은 온도 센서(40)의 센싱값을 근거로 하는 온도 제어 모드와, 증착 속도 센서(50)의 센싱값을 근거로 하는 증착 속도 제어 모드 중 어느 하나의 모드로 작동한다. 히터 제어 유닛(100)은 증착 장치의 전반적인 동작을 제어하는 메인 컨트롤러(200)에 연결되며, 메인 컨트롤러(200)로부터 인가되는 모드 전환 신호를 통해 온도 제어 모드와 증착 속도 제어 모드 사이를 전환 동작한다.

로봇 암 등의 이송 수단을 통해 기판 홀딩 유닛(21)에 기판(1)이 로딩되면, 기판 지지부(20)가 기판 홀딩 유닛(21)에 대하여 하강 이동하여 기판 지지부(20)에 기판(1)을 흡착시킨다.

그리고, 기판 홀딩 유닛(21)이 하강 동작하여 기판(1)이 마스크(2)로 근접 이동하게 하며, 얼라인 유닛(22)의 동작에 의해 기판 홀딩 유닛(21)이 마스크(2)에 대하여 소정의 방향(예를 들어, x, y, θ 방향 등)으로 상대 이동하여 기판(1)과 마스크(2) 사이의 정렬이 이루어진다.

얼라인의 완료 후 기판 홀딩 유닛(21)의 하강 동작에 의해 기판(1)과 마스크(2)가 접촉하고, 기판 지지부(20)의 작동에 의해 마스크(2)가 기판 지지부(20)에 부착된다. 그리고, 증발원(30)의 동작에 의해 증발된 증착 재료는 마스크 시트(3)의 패턴을 통과하여 기판(1)의 하면에 증착된다.

도 3은 도 2에 도시된 히터 제어 유닛의 상세 구성 및 신호 흐름을 나타낸 블록 다이어그램이다.

도 3을 참조하면, 히터 제어 유닛(100)은 전력 공급부(32)의 출력을 온도 제어하는 제1 컨트롤러(111)와, 전력 공급부(32)의 출력을 증착 속도에 따라 제어하는 제2 컨트롤러(112)와, 전력 공급부(32)를 제1 컨트롤러(111) 또는 제2 컨트롤러(112)에 선택적으로 연결하는 스위치부(120)를 포함한다.

제1 컨트롤러(111)는 온도 센서(40)에 전기적으로 연결되고, 온도 센서(40)로부터 수신된 측정 신호를 근거로 기설정된 제어 로직에 따라 제어 신호를 출력한다. 그리고, 제2 컨트롤러(112)는 증착 속도 센서(50)에 전기적으로 연결되며, 증착 속도 센서(50)로부터 수신된 측정 신호를 근거로 기설정된 제어 로직에 따라 제어 신호를 출력한다.

스위치부(120)는 제1 및 제2 컨트롤러(111, 112)와 전력 공급부(32)의 사이에 전기적으로 연결되며, 전력 공급부(32)를 제1 컨트롤러(111) 또는 제2 컨트롤러(112)에 선택적으로 연결하는 스위칭 동작을 수행한다. 스위치부(120)가 전력 공급부(32)를 제1 컨트롤러(111)에 연결한 경우 히터 제어 유닛(100)은 온도 제어 모드로 동작하고, 스위치부(120)가 전력 공급부(32)를 제2 컨트롤러(112)에 연결한 경우 히터 제어 유닛(100)은 증착 속도 제어 모드로 동작하게 된다.

스위치부(120)는 메인 컨트롤러(200)와 전기적으로 연결되며, 메인 컨트롤러(200)로부터 인가된 모드 전환 신호에 따라 스위칭 동작하도록 구성된다. 증착 장치의 운영자는 입력 수단(예를 들어, 키패드, 조작 스위치 등)을 통해 작동시키고자 하는 제어 모드를 선택할 수 있고, 메인 컨트롤러(200)는 현재 작동 중인 제어 모드로부터 선택된 제어 모드로의 변경이 필요한 경우 모드 전환 신호를 출력하여 스위치부(120)에 인가되도록 한다.

예를 들어, 운영자는 증발원(30)의 초기 동작 상태부터 일정 온도(예를 들어, 500℃)까지는 히터 제어 유닛(100)은 온도 제어 모드로 동작시킬 수 있고, 그 이후부터는 히터 제어 유닛(100)이 증착 속도 제어 모드로 동작하도록 선택할 수 있다.

한편, 스위치부(120)와 전력 공급부(32)의 사이에는 제1 및 제2 컨트롤러(111, 112)에서 출력되는 제어 신호의 전압 범위를 조정하기 위한 신호 증폭기(130, Signal Amplifier)가 연결될 수 있다. 제1 및 제2 컨트롤러(111, 112)로부터의 출력 제어 신호의 전압 범위와, 전력 공급부(32)에서 인가받을 수 있는 입력 제어 신호의 전압 범위가 상이한 경우, 신호 증폭기(130)는 출력 제어 신호와 입력 제어 신호의 전압 스케일을 매칭시킬 수 있다.

본 실시예에 따르면, 제1 및 제2 컨트롤러(111, 112)로부터의 출력 제어 신호는 0 내지 10V의 전압 범위를 가지며, 전력 공급부(32)의 입력 제어 신호가 0 내지 4V의 전압 범위를 갖는 경우를 예시하고 있으며, 신호 증폭기(130)는 제1 및 제2 컨트롤러(111, 112)에서 출력된 0 내지 10V의 제어 신호를 0 내지 4V의 스케일로 조정하여 전력 공급부(32)에 인가한다. 물론, 전력 공급부(32)에서 인가받을 수 있는 입력 제어 신호의 전압 범위가 동일한 경우(즉, 0 내지 10V)인 경우, 스케일 조정 없이 0 내지 10V의 범위로 그대로 출력한다.

도 4는 도 3에 도시된 신호 증폭기의 회로 구성도이다.

도 4를 참조하면, 신호 증폭기(130)는, 입력 신호를 펄스 신호로 변조하는 신호 변조부(131)와, 펄스 신호를 선형 신호로 복조하는 신호 복조부(132)와, 선형 신호의 크기를 설정된 비율로 조정하는 신호 성형부(133)와, 입력 코일(135) 및 출력 코일(136)을 통해 신호 변조부(131)와 신호 복조부(132)의 사이를 격리(isolation)시킨다.

제1 컨트롤러(111) 또는 제2 컨트롤러(112)로부터 입력된 제어 신호는 신호 변조부(131a)의 변조 소자(131a, MOD)를 통해 펄스 신호로 변조되어 신호 변조부(131) 말단의 입력 코일(135)로 전달되며, 전자기장의 원리로 신호 복조부(132) 선단의 출력 코일로(136)로 유도된다. 유도된 신호는 신호 복조부(132)의 복조 소자(132a, DEMOD)를 통해 선형 신호로 변조된 후, 신호 성형부(133)의 증폭 소자 회로를 통해 원하는 범위로 조정되어 출력되게 된다.

이상과 같은 구성의 신호 증폭기(130)는 신호 변조부(131)와 신호 복조부(132) 사이가 와이어 연결 없이 격리되어 있기 때문에, 노이즈 등 왜란으로 인한 신호 왜곡을 방지할 수 있다.

다시 도 3을 참조하면, 신호 증폭기(130)와 전력 공급부(32)의 사이에는 인터락 스위치부(140)가 설치될 수 있다. 인터락 스위치부(140)은 진공 챔버(10) 내 설치딘 압력 센서 스위치(60)에 연결되며, 진공 챔버(10) 내 압력에 따라 신호 증폭기(130)와 전력 공급부(32) 사이의 연결을 차단한다.

압력 센서 스위치(60)는 진공 챔버 내 압력이 기설정된 압력(예를 들어, 760Torr)보다 높은 경우 차단 신호를 출력하도록 구성될 수 있으며, 인터락 스위치부(140)는 차단 신호를 수신함에 따라 신호 증폭기(130)와 전력 공급부(32) 사이를 연결하거나 그 연결을 차단하도록 스위칭 동작한다. 도 3의 경우 인터락 스위치부(140)가 연결을 차단한 상태를 나타내고 있다. 이에 따르면, 진공 챔버(10) 내부가 상압 환경일 경우, 제어 신호가 전력 공급부(32)로 전달되지 않게 함으로써 상압 환경에서 증발원(30)이 동작하는 것을 방지할 수 있다.

본 실시예에서 예시한 것과 달리 신호 증폭기(130)가 적용되지 않는 경우, 인터락 스위치부(140)는 스위부(120)와 전력 공급부(32)의 사이에 연결되어 이들 사이를 연결하거나 차단하도록 구성될 수 있다. 또한, 인터락 스위치부(140)가 압력 센서 스위치(60)에 직접 연결되지 않고, 메인 컨트롤러(200)에 연결되어 이로부터 차단 신호를 인가받는 구성 또한 가능하다 할 것이다.

한편, 스위치부(120), 신호 증폭기(130) 및 인터락 스위치부(140)는 일체형 모듈(300)의 형태로 컨트롤 박스에 내장될 수 있다. 이를 통해 히터 제어 유닛의 구성을 컴팩트 및 간소화할 수 있고, 설치 및 유지 보수를 용이하게 할 수 있다. 이러한 경우, 컨트롤 박스는, 복수의 증발원(30)에 대한 개별 제어가 가능하도록 제어 신호 입력 포트와 전력 공급부(32)로의 제어 신호 출력 포트를 각각 멀티 채널의 형태로 구비할 수 있다.

상기에서는 본 발명의 특정의 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

1: 기판 2: 마스크
10: 진공 챔버 20: 기판 지지부
21: 기판 홀딩 유닛 22: 얼라인 유닛
23: 마스크 지지부 30: 증발원
31: 히터 32: 전력 공급부
40: 온도 센서 50: 증착 속도 센서
60: 압력 센서 스위치 100: 히터 제어 유닛
111: 제1 컨트롤러 112: 제2 컨트롤러
120: 스위치부 130: 신호 증폭기
140: 인터락 스위치부 200: 메인 컨트롤러

Claims (9)

1. 기판을 지지하는 기판 지지부를 구비하는 진공 챔버;
   상기 진공 챔버 내에 설치되며, 상기 기판을 향해 증착 재료를 증발시키는 증발원; 및
   상기 증발원의 도가니를 가열하기 위한 히터를 제어하는 히터 제어 유닛;을 포함하고,
   상기 히터 제어 유닛은,
   상기 히터로 전력을 공급하는 전력 공급부의 출력을 온도 제어하는 제1 컨트롤러;
   상기 전력 공급부의 출력을 증착 속도에 따라 제어하는 제2 컨트롤러; 및
   상기 제1 컨트롤러에 의한 온도 제어 모드와 상기 제2 컨트롤러에 의한 증착 속도 제어 모드를 선택적으로 전환시키도록 상기 전력 공급부를 상기 제1 또는 제2 컨트롤러에 선택적으로 연결하는 스위치부;를 포함하는 것을 특징으로 하는, 증착 장치.
   
2. 제1항에 있어서,
   상기 제1 및 제2 컨트롤러는 상기 진공 챔버 내에 설치된 온도 센서 및 증착 속도 센서에 각각 연결되는 것을 특징으로 하는, 증착 장치.
   
3. 제1항에 있어서,
   상기 스위치부는 메인 컨트롤러로부터 인가된 모드 전환 신호에 따라 스위칭 동작하도록 구성되는 것을 특징으로 하는, 증착 장치.
   
4. 제1항에 있어서,
   상기 스위치부와 상기 전력 공급부의 사이에 연결되며, 상기 제1 및 제2 컨트롤러에서 출력되는 제어 신호의 전압 범위를 조정하기 위한 신호 증폭기;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 증착 장치.
   
5. 제4항에 있어서, 상기 신호 증폭기는,
   입력 신호를 펄스 신호로 변조하는 신호 변조부;
   상기 펄스 신호를 선형 신호로 복조하는 신호 복조부;
   상기 선형 신호의 크기를 설정된 비율로 조정하는 신호 성형부; 및
   상기 신호 변조부의 말단의 입력 코일 및 상기 신호 변조부의 출력 코일을 통해 상기 신호 변조부와 상기 신호 복조부의 사이를 격리시키는 신호 격리부;를 포함하는 것을 특징으로 하는, 증착 장치.
   
6. 제4항에 있어서,
   상기 진공 챔버 내에 설치된 압력 센서 스위치에 연결되며, 진공 챔버 내 압력에 따라 상기 신호 증폭기와 상기 전력 공급부 사이의 연결을 차단하는 인터락 스위치부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 증착 장치.
   
7. 제6항에 있어서,
   상기 압력 센서 스위치는 상기 진공 챔버 내 압력이 기설정된 압력보다 높은 경우 차단 신호를 출력하도록 구성되는 것을 특징으로 하는, 증착 장치.
   
8. 제6항에 있어서,
   상기 스위치부, 상기 신호 증폭기 및 상기 인터락 스위치부는 일체형 모듈의 형태로 컨트롤 박스에 내장되는 것을 특징으로 하는, 증착 장치.
   
9. 제8항에 있어서, 상기 컨트롤 박스는,
   복수의 증발원에 대한 개별 제어가 가능하도록 제어 신호 입력 포트와 상기 전력 공급부로의 제어 신호 출력 포트를 각각 멀티 채널의 형태로 구비하는 것을 특징으로 하는, 증착 장치.
   

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