KR20240027547A - Method of mounting protection member - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 53
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims abstract description 97
- 230000010354 integration Effects 0.000 claims abstract description 25
- 229920005992 thermoplastic resin Polymers 0.000 claims abstract description 7
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 47
- 238000009434 installation Methods 0.000 abstract description 72
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 20
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 14
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 12
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 11
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 11
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 9
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 9
- -1 polyethylene Polymers 0.000 description 9
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 8
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 7
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 6
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 4
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- BAPJBEWLBFYGME-UHFFFAOYSA-N Methyl acrylate Chemical compound COC(=O)C=C BAPJBEWLBFYGME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 description 2
- 239000002390 adhesive tape Substances 0.000 description 2
- 150000001732 carboxylic acid derivatives Chemical class 0.000 description 2
- 239000005038 ethylene vinyl acetate Substances 0.000 description 2
- FPYJFEHAWHCUMM-UHFFFAOYSA-N maleic anhydride Chemical compound O=C1OC(=O)C=C1 FPYJFEHAWHCUMM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 2
- 229920001200 poly(ethylene-vinyl acetate) Polymers 0.000 description 2
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 description 2
- 238000003303 reheating Methods 0.000 description 2
- 125000000391 vinyl group Chemical group [H]C([*])=C([H])[H] 0.000 description 2
- 229920002554 vinyl polymer Polymers 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methoxy-5-methylphenyl)ethanamine Chemical compound COC1=CC=C(C)C=C1CCN SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JAHNSTQSQJOJLO-UHFFFAOYSA-N 2-(3-fluorophenyl)-1h-imidazole Chemical compound FC1=CC=CC(C=2NC=CN=2)=C1 JAHNSTQSQJOJLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 2-Propenoic acid Natural products OC(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CFVWNXQPGQOHRJ-UHFFFAOYSA-N 2-methylpropyl prop-2-enoate Chemical compound CC(C)COC(=O)C=C CFVWNXQPGQOHRJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OFNISBHGPNMTMS-UHFFFAOYSA-N 3-methylideneoxolane-2,5-dione Chemical compound C=C1CC(=O)OC1=O OFNISBHGPNMTMS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 1
- JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N AsGa Chemical compound [As]#[Ga] JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IEPRKVQEAMIZSS-UHFFFAOYSA-N Di-Et ester-Fumaric acid Natural products CCOC(=O)C=CC(=O)OCC IEPRKVQEAMIZSS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IEPRKVQEAMIZSS-WAYWQWQTSA-N Diethyl maleate Chemical compound CCOC(=O)\C=C/C(=O)OCC IEPRKVQEAMIZSS-WAYWQWQTSA-N 0.000 description 1
- VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N Ethene Chemical compound C=C VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JIGUQPWFLRLWPJ-UHFFFAOYSA-N Ethyl acrylate Chemical compound CCOC(=O)C=C JIGUQPWFLRLWPJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XLYMOEINVGRTEX-ARJAWSKDSA-N Ethyl hydrogen fumarate Chemical compound CCOC(=O)\C=C/C(O)=O XLYMOEINVGRTEX-ARJAWSKDSA-N 0.000 description 1
- 239000005977 Ethylene Substances 0.000 description 1
- 229920000219 Ethylene vinyl alcohol Polymers 0.000 description 1
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- 244000043261 Hevea brasiliensis Species 0.000 description 1
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N Methacrylic acid Chemical compound CC(=C)C(O)=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VVQNEPGJFQJSBK-UHFFFAOYSA-N Methyl methacrylate Chemical compound COC(=O)C(C)=C VVQNEPGJFQJSBK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002292 Nylon 6 Polymers 0.000 description 1
- 229920002302 Nylon 6,6 Polymers 0.000 description 1
- 229930182556 Polyacetal Natural products 0.000 description 1
- 239000004695 Polyether sulfone Substances 0.000 description 1
- 239000004697 Polyetherimide Substances 0.000 description 1
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 1
- 229920000265 Polyparaphenylene Polymers 0.000 description 1
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 1
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 1
- OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N Propanedioic acid Natural products OC(=O)CC(O)=O OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XTXRWKRVRITETP-UHFFFAOYSA-N Vinyl acetate Chemical compound CC(=O)OC=C XTXRWKRVRITETP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- CQEYYJKEWSMYFG-UHFFFAOYSA-N butyl acrylate Chemical compound CCCCOC(=O)C=C CQEYYJKEWSMYFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920005549 butyl rubber Polymers 0.000 description 1
- 150000001733 carboxylic acid esters Chemical class 0.000 description 1
- 150000001735 carboxylic acids Chemical class 0.000 description 1
- 229920006026 co-polymeric resin Polymers 0.000 description 1
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 1
- 238000004590 computer program Methods 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- LDCRTTXIJACKKU-ARJAWSKDSA-N dimethyl maleate Chemical compound COC(=O)\C=C/C(=O)OC LDCRTTXIJACKKU-ARJAWSKDSA-N 0.000 description 1
- UIWXSTHGICQLQT-UHFFFAOYSA-N ethenyl propanoate Chemical compound CCC(=O)OC=C UIWXSTHGICQLQT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- XLYMOEINVGRTEX-UHFFFAOYSA-N fumaric acid monoethyl ester Natural products CCOC(=O)C=CC(O)=O XLYMOEINVGRTEX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NKHAVTQWNUWKEO-UHFFFAOYSA-N fumaric acid monomethyl ester Natural products COC(=O)C=CC(O)=O NKHAVTQWNUWKEO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 229920000554 ionomer Polymers 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 125000000959 isobutyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])(C([H])([H])[H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 229920003049 isoprene rubber Polymers 0.000 description 1
- VZCYOOQTPOCHFL-UPHRSURJSA-N maleic acid Chemical compound OC(=O)\C=C/C(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UPHRSURJSA-N 0.000 description 1
- 239000011976 maleic acid Substances 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 125000005641 methacryl group Chemical group 0.000 description 1
- 239000000113 methacrylic resin Substances 0.000 description 1
- NKHAVTQWNUWKEO-IHWYPQMZSA-N methyl hydrogen fumarate Chemical compound COC(=O)\C=C/C(O)=O NKHAVTQWNUWKEO-IHWYPQMZSA-N 0.000 description 1
- LVHBHZANLOWSRM-UHFFFAOYSA-N methylenebutanedioic acid Natural products OC(=O)CC(=C)C(O)=O LVHBHZANLOWSRM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229920003052 natural elastomer Polymers 0.000 description 1
- 229920001194 natural rubber Polymers 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- PNJWIWWMYCMZRO-UHFFFAOYSA-N pent‐4‐en‐2‐one Natural products CC(=O)CC=C PNJWIWWMYCMZRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920006287 phenoxy resin Polymers 0.000 description 1
- 239000013034 phenoxy resin Substances 0.000 description 1
- 229920001084 poly(chloroprene) Polymers 0.000 description 1
- 229920002492 poly(sulfone) Polymers 0.000 description 1
- 229920000058 polyacrylate Polymers 0.000 description 1
- 229920002239 polyacrylonitrile Polymers 0.000 description 1
- 229920001748 polybutylene Polymers 0.000 description 1
- 229920001707 polybutylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 229920005668 polycarbonate resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004431 polycarbonate resin Substances 0.000 description 1
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 1
- 229920006393 polyether sulfone Polymers 0.000 description 1
- 229920001601 polyetherimide Polymers 0.000 description 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 1
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 1
- 229920000193 polymethacrylate Polymers 0.000 description 1
- 229920000306 polymethylpentene Polymers 0.000 description 1
- 239000011116 polymethylpentene Substances 0.000 description 1
- 229920000098 polyolefin Polymers 0.000 description 1
- 229920006324 polyoxymethylene Polymers 0.000 description 1
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 1
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 1
- 239000004800 polyvinyl chloride Substances 0.000 description 1
- 229920000915 polyvinyl chloride Polymers 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 238000007127 saponification reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 229920001897 terpolymer Polymers 0.000 description 1
- 229920006259 thermoplastic polyimide Polymers 0.000 description 1
- 229920002803 thermoplastic polyurethane Polymers 0.000 description 1
- VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N trans-butenedioic acid Natural products OC(=O)C=CC(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920001567 vinyl ester resin Polymers 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67132—Apparatus for placing on an insulating substrate, e.g. tape
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L21/6835—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using temporarily an auxiliary support
- H01L21/6836—Wafer tapes, e.g. grinding or dicing support tapes
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- Lining Or Joining Of Plastics Or The Like (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(과제) 설치 후에 보호 부재를 분리하는 수고와, 보호 부재의 두께의 정밀도의 저하를 억제할 수 있는 보호 부재의 설치 방법을 제공하는 것이다.
(해결 수단) 보호 부재의 설치 방법은, 열가소성 수지를 포함하고 피가공물의 직경보다 큰 폭을 갖는 시트 형상으로 형성된 보호 부재가 롤 형상으로 권취된 시트 롤로부터 보호 부재를 인출하는 인출 단계(102)와, 인출된 보호 부재를 가열하여 연화 또는 용융시키면서, 보호 부재를 롤의 인출 방향으로 연신시켜 박화하는 박화 단계(103)와, 박화 단계(103)에서 박화된 보호 부재를 피가공물에 밀착시켜, 피가공물과 보호 부재를 일체화시키는 일체화 단계(104)를 구비하고, 박화 단계(103)에 의해 가열된 열을 보호 부재가 유지한 상태에서, 일체화 단계(104)를 실시한다.(Problem) To provide a method of installing a protective member that can suppress the effort of removing the protective member after installation and the decrease in the thickness precision of the protective member.
(Solution) A method of installing a protective member includes a drawing step (102) of pulling out the protective member from a sheet roll in which a protective member formed in a sheet shape including a thermoplastic resin and having a width larger than the diameter of the workpiece is wound into a roll shape. and a thinning step (103) in which the drawn-out protective member is heated to soften or melt it and the protective member is thinned by stretching in the pulling-out direction of the roll, and the protective member thinned in the thinning step (103) is brought into close contact with the workpiece, An integration step (104) is provided to integrate the workpiece and the protection member, and the integration step (104) is performed with the protection member maintaining the heat generated by the thinning step (103).
Description
본 발명은, 보호 부재의 설치 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method of installing a protective member.
반도체 웨이퍼 등의 판형의 피가공물을 연삭하여 박화하거나, 절삭 블레이드나 레이저 빔의 조사에 의해 분할할 때, 피가공물은 척 테이블에 유지된다. 이 때, 피가공물을 직접 척 테이블에 재치하면, 피가공물의 손상이나 오염으로 이어지는 점이나, 분할 후에 일괄 반송할 수 없게 되어 버리는 점에서, 척 테이블의 유지면과 접촉하는 면에 점착 테이프가 부착되는 것이 일반적이다(예를 들어, 특허문헌 1 참조).When a plate-shaped workpiece such as a semiconductor wafer is ground and thinned or divided by irradiation with a cutting blade or laser beam, the workpiece is held on a chuck table. At this time, if the workpiece is placed directly on the chuck table, it may lead to damage or contamination of the workpiece, or it will not be possible to convey the workpiece in batches after division, so an adhesive tape is attached to the surface in contact with the holding surface of the chuck table. It is common (for example, see Patent Document 1).
그러나, 피가공물로부터 점착 테이프를 박리할 때에 점착제 등의 잔사(殘渣)가 피가공물에 남아 버리는 경우가 있었다.However, when peeling the adhesive tape from the workpiece, residues such as adhesive may remain on the workpiece.
따라서, 평탄한 지지 테이블의 지지면에 덩어리 형상, 끈 형상, 입자 형상, 또는 유동 상태의 열가소성 수지를 공급하고, 가열하면서 가압 확장하는 것에 의해 시트 형상의 보호 부재를 형성하고, 이 시트 형상의 보호 부재를 피가공물에 접착하는 방법이 제안되어 있다(예를 들어, 특허문헌 2 참조).Therefore, a thermoplastic resin in the form of lumps, strings, particles, or fluid is supplied to the support surface of a flat support table and expanded by pressure while heating to form a sheet-shaped protection member, and this sheet-shaped protection member A method of adhering to a workpiece has been proposed (for example, see Patent Document 2).
특허문헌 2에 개시된 방법으로 형성된 보호 부재는, 점착층을 사용하지 않고 가열에 의해 접착하는 것이 가능하기 때문에, 피가공물로부터 박리했을 때에 잔사가 잔존하지 않는다는 이점이 있다.Since the protective member formed by the method disclosed in Patent Document 2 can be bonded by heating without using an adhesive layer, there is an advantage that no residue remains when peeled from the workpiece.
그러나, 한편으로, 지지 테이블 상에서 가열하면서 가압 확장하는 것에 의해 형성된 시트 상의 보호 부재를 지지 테이블로부터 박리하는 수고가 든다고 하는 과제나, 시트 형상의 보호 부재를 지지 테이블로부터 박리한 후, 피가공물에 접착할 때에, 압박 부재가 열에 의해 팽창되어 버려, 시트의 두께 정밀도가 나오기 어렵다고 하는 과제도 존재하고 있었다.However, on the other hand, there is a problem that it takes time to peel the sheet-shaped protection member formed by pressing and expanding while heating on the support table from the support table, and after peeling the sheet-shaped protection member from the support table, it is adhered to the workpiece. When doing so, the pressing member expands due to heat, and there was also the problem that it was difficult to achieve sheet thickness accuracy.
본 발명은, 이러한 문제점을 감안하여 이루어진 것으로, 그 목적은, 설치 후에 보호 부재를 분리하는 수고와, 보호 부재의 두께의 정밀도의 저하를 억제할 수 있는 보호 부재의 설치 방법을 제공하는 것이다.The present invention was made in view of these problems, and its purpose is to provide a method of installing a protective member that can suppress the trouble of removing the protective member after installation and the reduction in the accuracy of the thickness of the protective member.
상술한 과제를 해결하고, 목적을 달성하기 위해서, 본 발명의 보호 부재의 설치 방법은, 피가공물에 보호 부재를 설치하는 보호 부재의 설치 방법으로서,In order to solve the above-mentioned problems and achieve the purpose, the method of installing a protective member of the present invention is a method of installing a protective member for installing a protective member on a workpiece, comprising:
열가소성 수지를 포함하고, 피가공물의 직경보다 큰 폭을 갖는 시트 형상으로 형성된 보호 부재가 롤 형상으로 권취된 시트 롤로부터 상기 보호 부재를 인출하는 인출 단계와,A pulling step of pulling out a protective member formed in a sheet shape including a thermoplastic resin and having a width larger than the diameter of the workpiece from a sheet roll wound in a roll shape;
인출된 상기 보호 부재를 가열하여 연화 또는 용융시키면서, 상기 보호 부재를 롤의 인출 방향으로 연신시켜 박화하는 박화 단계와,A thinning step of heating the drawn-out protective member to soften or melt it and stretching the protective member in the pulling-out direction of the roll to thin it;
상기 박화 단계에서 박화된 상기 보호 부재를 피가공물에 밀착시켜, 상기 피가공물과 상기 보호 부재를 일체화시키는 일체화 단계를 구비하고,An integration step of bringing the protective member thinned in the thinning step into close contact with the workpiece to integrate the workpiece and the protection member,
상기 박화 단계에 의해 가열된 열을 상기 보호 부재가 유지한 상태에서, 상기 일체화 단계를 실시하는 것에 의해, 상기 보호 부재와 상기 피가공물을 일체화할 때에 재차 가열하여 연화 또는 용융시킬 필요가 없는 것을 특징으로 한다.By carrying out the integration step while the protection member maintains the heat generated by the thinning step, there is no need to re-heat to soften or melt the protective member and the workpiece when integrating them. Do it as
상기 보호 부재의 설치 방법에 있어서, 상기 박화 단계에서는, 인출 방향의 연신량을 제어하는 것에 의해, 상기 보호 부재의 두께를 조정해도 된다.In the above-described protective member installation method, in the thinning step, the thickness of the protective member may be adjusted by controlling the stretching amount in the drawing direction.
본 발명은, 설치 후에 보호 부재를 분리하는 수고와, 보호 부재의 두께의 정밀도의 저하를 억제할 수 있다고 하는 효과를 발휘한다.The present invention has the effect of suppressing the effort of removing the protection member after installation and reducing the accuracy of the thickness of the protection member.
도 1은, 실시 형태 1에 관련되는 보호 부재의 설치 방법에 의해 보호 부재가 설치되는 피가공물의 일례를 모식적으로 도시하는 사시도이다.
도 2는, 실시 형태 1에 관련되는 보호 부재의 설치 방법에 의해 피가공물에 설치되는 보호 부재가 구성하는 시트 롤의 사시도이다.
도 3은, 실시 형태 1에 관련되는 보호 부재의 설치 방법을 실시하는 시트 설치 장치의 시트 송출 유닛의 구성을 모식적으로 도시하는 측면도이다.
도 4는, 실시 형태 1에 관련되는 보호 부재의 설치 방법을 실시하는 시트 설치 장치의 시트 설치 유닛의 구성을 모식적으로 도시하는 측면도이다.
도 5는, 실시 형태 1에 관련되는 보호 부재의 설치 방법의 흐름을 도시하는 플로우차트이다.
도 6은, 도 5에 도시되는 보호 부재의 설치 방법의 일체화 단계의 시트 커트 유닛이 피가공물의 외측 가장자리를 따라서 보호 부재를 절단하는 상태를 모식적으로 도시하는 측면도이다.
도 7은, 실시 형태 1에 관련되는 보호 부재의 설치 방법에 의해 보호 부재가 설치된 피가공물이 연삭되는 상태를 모식적으로 도시하는 측면도이다.
도 8은, 실시 형태 1에 관련되는 보호 부재의 설치 방법에 의해 보호 부재가 설치된 피가공물이 절삭되는 상태를 모식적으로 도시하는 측면도이다.
도 9는, 도 1에 도시되는 피가공물의 변형예의 사시도이다.
도 10은 도 9에 도시되는 피가공물을 이면 측에서 본 사시도이다.
Fig. 1 is a perspective view schematically showing an example of a workpiece on which a protection member is installed by the protection member installation method according to Embodiment 1.
Fig. 2 is a perspective view of a sheet roll constituted by a protection member installed on a workpiece by the protection member installation method according to Embodiment 1.
FIG. 3 is a side view schematically showing the configuration of a sheet delivery unit of a sheet installation device that implements the protective member installation method according to Embodiment 1.
FIG. 4 is a side view schematically showing the configuration of a sheet installation unit of a sheet installation device that implements the protective member installation method according to Embodiment 1.
Fig. 5 is a flow chart showing the flow of the installation method of the protection member according to Embodiment 1.
FIG. 6 is a side view schematically showing a state in which the sheet cut unit in the integration step of the protective member installation method shown in FIG. 5 cuts the protective member along the outer edge of the workpiece.
FIG. 7 is a side view schematically showing a state in which a workpiece on which a protection member is installed is ground by the protection member installation method according to Embodiment 1.
FIG. 8 is a side view schematically showing a state in which a workpiece on which a protection member is installed is cut by the protection member installation method according to Embodiment 1.
FIG. 9 is a perspective view of a modified example of the workpiece shown in FIG. 1.
FIG. 10 is a perspective view of the workpiece shown in FIG. 9 as seen from the back side.
본 발명을 실시하기 위한 형태(실시 형태)에 대하여, 도면을 참조하면서 상세하게 설명한다. 이하의 실시 형태에 기재한 내용에 의해 본 발명이 한정되는 것은 아니다. 또한, 이하에 기재한 구성 요소에는, 당업자가 용이하게 상정할 수 있는 것, 실질적으로 동일한 것이 포함된다. 또한, 이하에 기재한 구성은 적절히 조합하는 것이 가능하다. 또한, 본 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에서 구성의 다양한 생략, 치환 또는 변경을 행할 수 있다.The form (embodiment) for carrying out the present invention will be described in detail with reference to the drawings. The present invention is not limited to the content described in the following embodiments. In addition, the components described below include those that can be easily assumed by those skilled in the art and those that are substantially the same. Additionally, the configurations described below can be combined appropriately. Additionally, various omissions, substitutions, or changes in the structure may be made without departing from the gist of the present invention.
[실시 형태 1][Embodiment 1]
본 발명의 실시 형태 1에 관련되는 보호 부재의 설치 방법을 도면에 기초하여 설명한다. 도 1은, 실시 형태 1에 관련되는 보호 부재의 설치 방법에 의해 보호 부재가 설치되는 피가공물의 일례를 모식적으로 도시하는 사시도이다. 도 2는, 실시 형태 1에 관련되는 보호 부재의 설치 방법에 의해 피가공물에 설치되는 보호 부재가 구성하는 시트 롤의 사시도이다.The installation method of the protection member according to Embodiment 1 of the present invention will be explained based on the drawings. Fig. 1 is a perspective view schematically showing an example of a workpiece on which a protection member is installed by the protection member installation method according to Embodiment 1. Fig. 2 is a perspective view of a sheet roll constituted by a protection member installed on a workpiece by the protection member installation method according to Embodiment 1.
(피가공물)(workpiece)
실시 형태 1에 관련되는 보호 부재의 설치 방법은, 도 1에 도시하는 피가공물(200)에 도 2에 도시하는 보호 부재(1)를 설치하는 방법이다. 실시 형태 1에 관련되는 보호 부재의 설치 방법에 있어서, 보호 부재(1)가 설치되는 피가공물(200)은, 실시 형태 1에서는, 실리콘, 사파이어, 또는 갈륨비소 등을 기판(201)으로 하는 원판 형상의 반도체 웨이퍼나 광 디바이스 웨이퍼 등의 웨이퍼이다. 피가공물(200)은, 도 1에 도시하는 바와 같이, 표면(202)의 복수의 분할 예정 라인(203)에 의해 구획된 영역에 각각 디바이스(204)가 형성되어 있다.The method of attaching a protection member according to Embodiment 1 is a method of attaching the protection member 1 shown in FIG. 2 to the workpiece 200 shown in FIG. 1. In the method of installing a protective member according to Embodiment 1, the workpiece 200 on which the protective member 1 is installed is, in Embodiment 1, an original plate using silicon, sapphire, gallium arsenide, etc. as the substrate 201. These are wafers such as shaped semiconductor wafers and optical device wafers. As shown in FIG. 1 , the workpiece 200 has devices 204 formed in areas defined by a plurality of division lines 203 on the surface 202 .
디바이스(204)는, 예를 들면, IC(Integrated Circuit) 또는 LSI(Large Scale Integration) 등의 집적 회로, CCD(Charge Coupled Device) 또는 CMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor) 등의 이미지 센서, 또는 각종의 메모리(반도체 기억 장치)이다. 또한, 실시 형태 1 에서는, 디바이스(204)는, 전극 등에 접속된 도전성의 구형의 범프(205)를 구비한다.The device 204 is, for example, an integrated circuit such as an IC (Integrated Circuit) or LSI (Large Scale Integration), an image sensor such as a CCD (Charge Coupled Device) or CMOS (Complementary Metal Oxide Semiconductor), or various types of memory. (semiconductor memory device). Additionally, in Embodiment 1, the device 204 includes a conductive spherical bump 205 connected to an electrode or the like.
또한, 실시 형태 1에서는, 피가공물(200)은, 기판(201)의 표면이 수지(206)에 의해 피복되어 있다. 실시 형태 1에서는, 범프(205)가, 피가공물(200)의 표면(202)인 수지(206)의 표면으로부터 돌출하고, 피가공물(200)은, 표면(202)이 요철로 형성되어 있다. 피가공물(200)은, 보호 부재(1)가 설치된 후, 분할 예정 라인(203)을 따라 개개의 디바이스(204)로 분할된다.Additionally, in Embodiment 1, the surface of the substrate 201 of the workpiece 200 is covered with the resin 206. In Embodiment 1, the bump 205 protrudes from the surface of the resin 206, which is the surface 202 of the workpiece 200, and the surface 202 of the workpiece 200 is formed to be uneven. After the protection member 1 is installed, the workpiece 200 is divided into individual devices 204 along the division line 203.
(보호 부재)(no protection)
실시 형태 1에 관련되는 보호 부재의 설치 방법에 의해 피가공물(200)에 설치되는 보호 부재(1)는, 도 2에 도시하는 원통 형상의 코어(11)의 외주에 롤 형상으로 권취되어, 시트 롤(10)을 구성한다. 실시 형태 1에 있어서, 보호 부재(1)는, 열가소성 수지를 포함하고, 피가공물(200)의 직경(207)(도 1에 도시함)보다 큰 폭(2)을 갖는 장척의 시트 형상으로 형성되어 있다. 보호 부재(1)는, 폭 방향(3)이 코어(11)의 축심에 평행하고 또한 길이 방향(4)이 코어(11)의 외주 방향을 따르는 상태로, 코어(11)의 외주에 권취되어, 시트 롤(10)을 구성한다.The protection member 1 installed on the workpiece 200 by the protection member installation method according to Embodiment 1 is wound in a roll shape around the outer periphery of the cylindrical core 11 shown in FIG. 2, and is formed into a sheet. Constructs a roll (10). In Embodiment 1, the protection member 1 contains a thermoplastic resin and is formed into a long sheet shape with a width 2 larger than the diameter 207 (shown in FIG. 1) of the workpiece 200. It is done. The protection member 1 is wound around the outer periphery of the core 11 with the width direction 3 parallel to the axis of the core 11 and the longitudinal direction 4 along the outer circumferential direction of the core 11. , constitutes the sheet roll 10.
실시 형태 1에 있어서, 보호 부재(1)를 구성하는 열가소성 수지는, 구체적으로는, 아크릴 수지, 메타크릴 수지, 비닐계 수지, 폴리아세탈, 천연 고무, 부틸 고무, 이소프렌 고무, 클로로프렌 고무, 폴리에틸렌, 폴리프로필렌, 폴리(4-메틸-1-펜텐), 폴리(1-부텐) 등의 폴리올레핀, 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리부틸렌테레프탈레이트 등의 폴리에스테르, 나일론-6, 나일론-66, 폴리메타크실렌아디파미드 등의 폴리아미드, 폴리아크릴레이트, 폴리메타아크릴레이트, 폴리염화비닐, 폴리에테르이미드, 폴리아크릴로니트릴, 폴리카보네이트, 폴리스티렌, 폴리술폰, 폴리에테르술폰, 폴리페닐렌, 에테르폴리부타디엔 수지, 폴리카보네이트 수지, 열가소성 폴리이미드 수지, 열가소성 폴리우레탄 수지, 페녹시 수지, 폴리아미드이미드 수지, 불소 수지, 에틸렌-불포화 카르복실산 공중합 수지, 에틸렌-초산비닐 공중합 수지, 아이오노머, 에틸렌-초산비닐-무수말레산 삼원 공중합 수지, 에틸렌-초산비닐 공중합체 비누화수지, 및, 에틸렌-비닐알코올 공중합 수지 등으로부터 선택되는 1종 또는 2종 이상을 들 수 있다.In Embodiment 1, the thermoplastic resin constituting the protective member 1 is specifically, acrylic resin, methacrylic resin, vinyl resin, polyacetal, natural rubber, butyl rubber, isoprene rubber, chloroprene rubber, polyethylene, Polyolefins such as polypropylene, poly(4-methyl-1-pentene) and poly(1-butene), polyesters such as polyethylene terephthalate and polybutylene terephthalate, nylon-6, nylon-66, and polymetaxylenedi. Polyamides such as polyamide, polyacrylate, polymethacrylate, polyvinyl chloride, polyetherimide, polyacrylonitrile, polycarbonate, polystyrene, polysulfone, polyethersulfone, polyphenylene, etherpolybutadiene resin, Polycarbonate resin, thermoplastic polyimide resin, thermoplastic polyurethane resin, phenoxy resin, polyamidoimide resin, fluororesin, ethylene-unsaturated carboxylic acid copolymer resin, ethylene-vinyl acetate copolymer resin, ionomer, ethylene-vinyl acetate- One or two or more types selected from maleic anhydride terpolymer resin, ethylene-vinyl acetate copolymer saponification resin, and ethylene-vinyl alcohol copolymer resin can be mentioned.
상기의 에틸렌-불포화 카르복실산 공중합체를 구성하는 불포화 카르복실산은, 아크릴산, 메타크릴산, 말레산, 이타콘산, 말레산 모노메틸, 말레산 모노에틸, 무수 말레산, 및 무수 이타콘산 등이 예시된다. 여기서, 에틸렌-불포화 카르복실산 공중합체는, 에틸렌과 불포화 카르복실산의 2원 공중합체뿐만 아니라, 또 다른 단량체가 공중합된 다원 공중합체를 포함하는 것이다. 에틸렌-불포화 카르복실산 공중합체에 공중합되어 있어도 좋은 상기 다른 단량체로서는, 초산비닐, 프로피온산비닐과 같은 비닐에스테르, 아크릴산메틸, 아크릴산에틸, 아크릴산이소부틸, 아크릴산n-부틸, 메타크릴산메틸, 메타크릴산이소부틸, 말레산디메틸, 말레산디에틸과 같은 불포화 카르복실산에스테르 등이 예시된다.The unsaturated carboxylic acids constituting the above ethylene-unsaturated carboxylic acid copolymer include acrylic acid, methacrylic acid, maleic acid, itaconic acid, monomethyl maleate, monoethyl maleate, maleic anhydride, and itaconic anhydride. It is exemplified. Here, the ethylene-unsaturated carboxylic acid copolymer includes not only a binary copolymer of ethylene and an unsaturated carboxylic acid, but also a multi-component copolymer in which another monomer is copolymerized. Examples of the other monomers that may be copolymerized in the ethylene-unsaturated carboxylic acid copolymer include vinyl esters such as vinyl acetate and vinyl propionate, methyl acrylate, ethyl acrylate, isobutyl acrylate, n-butyl acrylate, methyl methacrylate, and methacryl. Examples include unsaturated carboxylic acid esters such as isobutyl acid, dimethyl maleate, and diethyl maleate.
또한, 실시 형태 1에 있어서, 보호 부재(1)는, 상술한 열가소성 수지의 성분, 분자량 등이 적절히 조정되는 것에 의해, 연화점이 0℃ 이상이고 또한 300℃ 이하(바람직하게는, 80℃ 이상이고 또한 100℃ 이하)로 조정되어 있다. 또한, 실시 형태 1에서는, 보호 부재(1)의 연화점은, 피가공물(200)의 기판(201)의 표면을 피복한 수지(206)의 연화점 및 융점보다 낮다. 실시 형태 1에서는, 보호 부재(1)의 10℃부터 30℃에서의 저장 탄성률은 1×106(Pa) 이상이고 또한 1×109(Pa) 이하이며, 가열 시(접착 시)의 온도 80℃부터 100℃에서의 저장 탄성률은 1×106(Pa) 이상이고 또한 1×107(Pa) 이하이다.Furthermore, in Embodiment 1, the protective member 1 has a softening point of 0°C or higher and 300°C or lower (preferably 80°C or higher) by appropriately adjusting the components and molecular weight of the thermoplastic resin described above. It is also adjusted to 100℃ or less). Additionally, in Embodiment 1, the softening point of the protective member 1 is lower than the softening point and melting point of the resin 206 covering the surface of the substrate 201 of the workpiece 200. In Embodiment 1, the storage modulus of the protective member 1 from 10°C to 30°C is 1×10 6 (Pa) or more and 1×10 9 (Pa) or less, and the temperature at the time of heating (at the time of adhesion) is 80 The storage modulus from ℃ to 100℃ is 1×10 6 (Pa) or more and 1×10 7 (Pa) or less.
(시트 설치 장치)(Sheet installation device)
다음으로, 실시 형태 1에 관련되는 보호 부재의 설치 방법을 실시하는 시트 설치 장치(20)를 설명한다. 도 3은, 실시 형태 1에 관련되는 보호 부재의 설치 방법을 실시하는 시트 설치 장치의 시트 송출 유닛의 구성을 모식적으로 도시하는 측면도이다. 도 4는, 실시 형태 1에 관련되는 보호 부재의 설치 방법을 실시하는 시트 설치 장치의 시트 설치 유닛의 구성을 모식적으로 도시하는 측면도이다.Next, a sheet installation device 20 that implements the protective member installation method according to Embodiment 1 will be described. FIG. 3 is a side view schematically showing the configuration of a sheet delivery unit of a sheet installation device that implements the protective member installation method according to Embodiment 1. FIG. 4 is a side view schematically showing the configuration of a sheet installation unit of a sheet installation device that implements the protective member installation method according to Embodiment 1.
실시 형태 1에 관련되는 보호 부재의 설치 방법을 실시하는 시트 설치 장치(20)는, 도시하지 않은 장치 본체와, 도 3에 도시하는 시트 송출 유닛(30)과, 도 4에 도시하는 시트 설치 유닛(40)과, 도시하지 않은 제어 유닛을 구비한다.The sheet installation device 20 that implements the method of installing a protective member according to Embodiment 1 includes an apparatus main body (not shown), a sheet feeding unit 30 shown in FIG. 3, and a sheet installation unit shown in FIG. 4. (40) and a control unit not shown.
시트 송출 유닛(30)은, 도 3에 도시하는 바와 같이, 시트 롤 유지 롤러(31)와, 복수의 가열 롤러(32)를 구비한다. 시트 롤 유지 롤러(31)는, 외관이 원기둥 형상으로 형성되고, 코어(11) 내에 삽입 관통되어 시트 롤(10) 즉 보호 부재(1)를 유지한다. 시트 롤 유지 롤러(31)는, 축심 둘레로 회전 가능하게 장치 본체에 지지되어 있다. 시트 롤 유지 롤러(31)는, 외주면에 시트 롤(10)의 코어(11)의 내주면을 고정하고, 축심 둘레로 회전하는 것에 의해, 보호 부재(1)를 끝에서부터 순서대로 시트 설치 유닛(40)을 향하여 송출한다.As shown in FIG. 3, the sheet feeding unit 30 is provided with a sheet roll holding roller 31 and a plurality of heating rollers 32. The sheet roll holding roller 31 has a cylindrical appearance and is inserted into the core 11 to hold the sheet roll 10, that is, the protection member 1. The sheet roll holding roller 31 is supported on the device main body so that it can rotate around its axis. The sheet roll holding roller 31 fixes the inner circumferential surface of the core 11 of the sheet roll 10 to the outer circumferential surface, and rotates around the axis to sequentially attach the protection member 1 to the sheet installation unit 40 from the end. ) is sent to.
복수의 가열 롤러(32)는, 각각 외관이 원기둥 형상으로 형성되고, 축심이 서로 평행하게 간격을 두고 배치되어 있다. 실시 형태 1에서는, 복수의 가열 롤러(32)는, 외경이 동일하게 형성되고, 시트 롤 유지 롤러(31)에 가까운 것으로부터 하나씩 순서대로 시트 롤 유지 롤러(31)로부터 송출된 보호 부재(1)가 외주면에 접촉하고, 시트 롤 유지 롤러(31)에 가까운 것으로부터 순서대로 보호 부재(1)가 걸쳐져 있다. 또한, 실시 형태 1에서는, 복수의 가열 롤러(32)는, 시트 롤 유지 롤러(31)에 가장 가까운 가열 롤러(32)의 하방에 보호 부재(1)가 통과되고, 시트 롤 유지 롤러(31)에 가장 가까운 가열 롤러(32)에 인접한 가열 롤러(32)의 상방에 보호 부재(1)가 통과되며, 시트 롤 유지 롤러(31)에 가까운 것으로부터 순서대로 상방과 하방에 교대로 보호 부재(1)가 통과되어, 보호 부재(1)가 걸쳐져 있다.The plurality of heating rollers 32 each have a cylindrical outer appearance and are arranged at intervals so that their axes are parallel to each other. In Embodiment 1, the plurality of heating rollers 32 are formed with the same outer diameter, and the protection members 1 are sent out from the sheet roll holding roller 31 one by one in order from those closest to the sheet roll holding roller 31. is in contact with the outer peripheral surface, and the protection members 1 are draped in order from those closest to the sheet roll holding roller 31. In addition, in Embodiment 1, the plurality of heating rollers 32 have the protection member 1 passed under the heating roller 32 closest to the sheet roll holding roller 31, and the sheet roll holding roller 31 A protection member (1) is passed above the heating roller (32) adjacent to the heating roller (32) closest to the sheet roll holding roller (31), and the protection members (1) are passed alternately upward and downward in that order from the one closest to the sheet roll holding roller (31). ) is passed through, and the protection member 1 is draped.
또한, 가열 롤러(32)는, 내부에 외주면에 접촉한 보호 부재(1)를 가열하는 히터를 내장함과 함께, 도시되지 않은 모터 등의 구동원에 의해 축심 둘레로 회전된다. 가열 롤러(32)는, 히터로 보호 부재(1)를 가열하면서 모터에 의해 축심 둘레로 회전되는 것에 의해, 시트 롤 유지 롤러(31)로부터 송출된 보호 부재(1)를 시트 설치 유닛(40)을 향하여 송출한다. 실시 형태 1에서는, 가열 롤러(32)는 모터에 의해 축심 둘레로 회전하는 것에 의해, 시트 롤 유지 롤러(31)에 유지된 시트 롤(10)로부터 보호 부재(1)를 인출한다. 또한, 실시 형태 1에서는, 가열 롤러(32)는, 시트 롤 유지 롤러(31)에 유지된 시트 롤(10)로부터 인출한 보호 부재(1)를, 보호 부재(1)의 연화점을 초과하면서 융점을 하회하는 온도로 가열한다.Additionally, the heating roller 32 has a built-in heater that heats the protection member 1 in contact with the outer peripheral surface, and is rotated around its axis by a drive source such as a motor (not shown). The heating roller 32 is rotated around its axis by a motor while heating the protection member 1 with a heater, thereby attaching the protection member 1 delivered from the sheet roll holding roller 31 to the sheet installation unit 40. It is sent towards. In Embodiment 1, the heating roller 32 is rotated about its axis by a motor to pull out the protection member 1 from the sheet roll 10 held on the sheet roll holding roller 31. Additionally, in Embodiment 1, the heating roller 32 heats the protective member 1 pulled out from the sheet roll 10 held on the sheet roll holding roller 31 to a melting point that exceeds the softening point of the protective member 1. Heat to a temperature below .
또한, 실시 형태 1에서는, 가열 롤러(32)의 회전수는, 시트 설치 유닛(40)에 가까운 회전수가 시트 롤 유지 롤러(31)에 가까운 회전수보다 고속으로 설정되어 있다. 즉, 가열 롤러(32)의 회전수는, 시트 롤 유지 롤러(31)로부터 멀어짐에 따라서 보다 고속으로 설정되어 있다. 이 때문에, 실시 형태 1에서는, 복수의 가열 롤러(32) 즉 시트 송출 유닛(30)은, 시트 롤(10)로부터 인출한 보호 부재(1)를, 시트 롤(10)의 인출 방향인 보호 부재(1)의 길이 방향(4)으로 서서히 연신시켜 박화한다.Additionally, in Embodiment 1, the rotation speed of the heating roller 32 closer to the sheet installation unit 40 is set to be faster than the rotation speed closer to the sheet roll holding roller 31. That is, the rotational speed of the heating roller 32 is set to become faster as it moves away from the sheet roll holding roller 31. For this reason, in Embodiment 1, the plurality of heating rollers 32, that is, the sheet feeding unit 30, extends the protection member 1 pulled out from the sheet roll 10 to the protection member in the pulling direction of the sheet roll 10. It is thinned by gradually stretching in the longitudinal direction (4) of (1).
시트 설치 유닛(40)은, 유지 테이블(41)과, 한 쌍의 반송 롤러(42)와, 압박 롤러(43)와, 시트 커트 유닛(44)과, 권취 롤러(45)를 구비한다.The sheet installation unit 40 includes a holding table 41, a pair of conveying rollers 42, a pressing roller 43, a sheet cutting unit 44, and a winding roller 45.
유지 테이블(41)은, 피가공물(200)을 유지하는 것이다. 유지 테이블(41)은, 외경이 피가공물(200)의 직경(207)보다 대직경인 원판 형상으로 형성되고, 상면이 피가공물(200)이 재치되는 수평 방향과 평행한 유지면(411)이다. 유지면(411)은, 이 유지면(411)과 동축이 되는 위치에 피가공물(200)이 재치된다. 유지 테이블(41)은, 유지면(411)에 재치된 피가공물(200)을 도시하지 않는 흡인원에 의해 흡인되는 것에 의해, 흡인 유지한다. 유지 테이블(41)은, 유지면(411) 상에 시트 송출 유닛(30)으로부터 송출된 보호 부재(1)가 통과한다.The holding table 41 holds the workpiece 200. The holding table 41 is formed in a disk shape whose outer diameter is larger than the diameter 207 of the workpiece 200, and is a holding surface 411 whose upper surface is parallel to the horizontal direction in which the workpiece 200 is placed. . On the holding surface 411, the workpiece 200 is placed at a position coaxial with the holding surface 411. The holding table 41 suction-holds the workpiece 200 placed on the holding surface 411 by being attracted by a suction source (not shown). The holding table 41 has a holding surface 411 through which the protection member 1 delivered from the sheet feeding unit 30 passes.
또한, 실시 형태 1에서는, 유지 테이블(41)은, 유지면(411)에 유지한 피가공물(200)을 가열하는 것에 의해, 피가공물(200)에 설치되는 보호 부재(1)를 가열하는 히터(412)를 내장하고 있다. 실시 형태 1에서는, 유지 테이블(41)의 히터(412)는, 보호 부재(1)를, 보호 부재(1)의 연화점을 초과하며 또한 융점을 하회하는 온도로 가열한다.Additionally, in Embodiment 1, the holding table 41 is a heater that heats the protection member 1 provided on the workpiece 200 by heating the workpiece 200 held on the holding surface 411. (412) is built-in. In Embodiment 1, the heater 412 of the holding table 41 heats the protection member 1 to a temperature that exceeds the softening point of the protection member 1 and is below the melting point.
반송 롤러(42)는, 외관이 원기둥 형상으로 형성되고, 축심이 서로 평행하며 또한 서로 간격을 두고 배치되어 있다. 또한, 반송 롤러(42)는, 평면에서 보아 서로의 사이에 유지 테이블(41)을 위치시키고, 장치 본체에 축심 둘레로 회전 가능하게 지지되어 있음과 함께, 유지면(411)의 상방에 배치되어 있다. 실시 형태 1에서는, 반송 롤러(42)는, 축심이 시트 롤 유지 롤러(31) 및 가열 롤러(32)의 축심과 평행하게 배치되고, 외주면에서 시트 송출 유닛(30)으로부터 송출된 보호 부재(1)를 압박하여, 보호 부재(1)에 텐션을 부여함과 함께, 축심 둘레로 회전하는 것에 의해, 보호 부재(1)가 유지 테이블(41)의 유지면(411) 상을 통과하도록 보호 부재(1)를 지지한다.The conveyance rollers 42 have a cylindrical appearance, and their axes are parallel to each other and are arranged at intervals from each other. In addition, the conveyance rollers 42 are positioned above the holding surface 411, with the holding table 41 positioned between them in a plan view, and rotatably supported around the axis by the device main body. there is. In Embodiment 1, the conveyance roller 42 has its axis disposed parallel to the axis of the sheet roll holding roller 31 and the heating roller 32, and includes a protection member 1 delivered from the sheet feeding unit 30 on the outer peripheral surface. ) is pressed to apply tension to the protection member 1 and rotate around the axis so that the protection member 1 passes on the holding surface 411 of the holding table 41. I support 1).
압박 롤러(43)는, 외관이 외주면이 평탄한 원기둥 형상으로 형성되고, 축심이 시트 롤 유지 롤러(31), 가열 롤러(32) 및 반송 롤러(42)의 축심과 평행하게 배치되어 있다. 압박 롤러(43)는, 도시하지 않은 이동 유닛에 의해, 반송 롤러(42)의 사이에서 수평 방향을 따라 평행하고 또한 축심에 대하여 직교하는 방향으로 이동 가능하게 지지되어 있음과 함께, 유지면(411)에 대하여 직교하는 방향으로 승강 가능하게 지지되어 있다.The pressing roller 43 is formed in a cylindrical shape with a flat outer peripheral surface, and its axis is arranged parallel to the axes of the sheet roll holding roller 31, the heating roller 32, and the conveying roller 42. The pressing roller 43 is supported to be movable in a direction parallel to the horizontal direction and perpendicular to the axis center between the conveyance rollers 42 by a moving unit (not shown), and has a holding surface 411. ) is supported so that it can be raised and lowered in a direction perpendicular to ).
압박 롤러(43)는, 하강하는 것에 의해, 가열 롤러(32) 등에 의해 가열되어 연화된 한 쌍의 반송 롤러(42) 사이의 보호 부재(1)를 유지 테이블(41)에 유지된 피가공물(200)에 압박함과 함께, 하강한 상태에서 수평 방향으로 이동하는 것에 의해, 연화된 보호 부재(1)를 피가공물(200)에 밀착시켜, 보호 부재(1)를 피가공물(200)에 설치한다.By descending, the pressing roller 43 moves the protection member 1 between the pair of conveyance rollers 42, which has been heated and softened by the heating roller 32, etc., to the workpiece held on the holding table 41 ( By pressing against 200 and moving in the horizontal direction in the lowered state, the softened protection member 1 is brought into close contact with the workpiece 200, and the protection member 1 is installed on the workpiece 200. do.
시트 커트 유닛(44)은, 압박 롤러(43)가 보호 부재(1)를 피가공물(200)에 설치한 후에, 보호 부재(1)를 피가공물(200)의 외측 가장자리를 따라 절단하는 것이다. 시트 커트 유닛(44)은, 유지 테이블(41)의 유지면(411)의 상방에 배치되어 있다.The sheet cut unit 44 cuts the protection member 1 along the outer edge of the workpiece 200 after the pressure roller 43 installs the protection member 1 on the workpiece 200. The sheet cutting unit 44 is disposed above the holding surface 411 of the holding table 41.
실시 형태 1에 있어서, 시트 커트 유닛(44)은, 커터 날(441)과, 외측 가장자리부에 커터 날(441)을 장착한 원판 형상의 장착 베이스(442)와, 장착 베이스(442)를 유지 테이블(41)의 유지면(411)의 중심 상의 축심 둘레로 회전 가능하고 승강 가능하게 지지한 도시하지 않는 이동 유닛을 구비한다.In Embodiment 1, the sheet cutting unit 44 holds the cutter blade 441, a disk-shaped mounting base 442 on which the cutter blade 441 is mounted on the outer edge, and the mounting base 442. It is provided with a moving unit (not shown) rotatable around an axis on the center of the holding surface 411 of the table 41 and supported to be raised and lowered.
커터 날(441)은, 유지 테이블(41)의 유지면(411) 상에 송출되는 보호 부재(1)의 두께보다 긴 절삭 날을 하단에 갖는 것이다. 커터 날(441)의 절삭 날은, 유지 테이블(41)의 유지면(411)에 유지되는 피가공물(200)의 외측 가장자리와 대향한다. 장착 베이스(442)는, 유지 테이블(41)과 동축인 원판 형상으로 형성되고, 유지면(411)에 대향하여 배치되어 있음과 함께, 외경이 유지 테이블(41)의 외경보다 대직경으로 형성되어 있다.The cutter blade 441 has a cutting edge at its lower end that is longer than the thickness of the protection member 1 delivered on the holding surface 411 of the holding table 41. The cutting edge of the cutter blade 441 faces the outer edge of the workpiece 200 held on the holding surface 411 of the holding table 41. The mounting base 442 is formed in a disk shape coaxial with the holding table 41, is disposed opposite to the holding surface 411, and has an outer diameter larger than the outer diameter of the holding table 41. there is.
시트 커트 유닛(44)은, 이동 유닛에 의해 장착 베이스(442) 즉 커터 날(441)을 하강시켜, 커터 날(441)의 절삭 날을 피가공물(200)의 외측 가장자리 상의 보호 부재(1)에 절입시킨다. 시트 커트 유닛(44)은, 이동 유닛에 의해 장착 베이스(442)를 축심 둘레로 회전하는 것에 의해, 커터 날(441)에 의해 보호 부재(1)를 유지 테이블(41)에 유지된 피가공물(200)의 외측 가장자리를 따라 절단한다.The sheet cut unit 44 lowers the mounting base 442, that is, the cutter blade 441, by the moving unit, and cuts the cutting edge of the cutter blade 441 against the protection member 1 on the outer edge of the workpiece 200. Inserted into. The sheet cutting unit 44 rotates the mounting base 442 around its axis by a moving unit, thereby holding the protection member 1 on the holding table 41 with the cutter blade 441 and the workpiece ( 200) is cut along the outer edge.
권취 롤러(45)는, 시트 커트 유닛(44)에 의해 피가공물(200)의 외측 가장자리를 따라 절단된 후의 보호 부재(1)의 불필요 부분을 권취하는 것이다. 또한, 보호 시트의 불필요 부분은, 보호 부재(1)의 커터 날(441)에 의해 절단되는 피가공물(200)의 외측 가장자리보다 외주 측의 부분이다.The winding roller 45 winds up the unnecessary portion of the protection member 1 after being cut along the outer edge of the workpiece 200 by the sheet cutting unit 44. Additionally, the unnecessary portion of the protective sheet is a portion on the outer periphery side of the outer edge of the workpiece 200 that is cut by the cutter blade 441 of the protective member 1.
권취 롤러(45)는, 실시 형태 1에서는 한 쌍의 반송 롤러(42) 중 시트 송출 유닛(30)으로부터 이격된 측의 반송 롤러(42)의 상방에 배치되어 있다. 권취 롤러(45)는, 축심이 시트 롤 유지 롤러(31), 가열 롤러(32), 반송 롤러(42) 및 압박 롤러(43)의 축심과 평행한 원기둥 형상으로 형성되고, 도시되지 않은 모터 등의 구동 장치에 의해 축심 둘레로 회전되는 것에 의해, 외주면 상에 보호 부재(1)를 권취한다. 권취 롤러(45)는, 외주면 상에 보호 부재(1)를 권취하는 것에 의해, 시트 롤 유지 롤러(31)에 지지된 시트 롤(10)로부터 보호 부재(1)를 인출하는 것이다.In Embodiment 1, the winding roller 45 is disposed above the conveyance roller 42 on the side away from the sheet delivery unit 30 among the pair of conveyance rollers 42. The winding roller 45 is formed in a cylindrical shape whose axis is parallel to the axis of the sheet roll holding roller 31, the heating roller 32, the conveying roller 42, and the pressing roller 43, and a motor, not shown, etc. The protection member 1 is wound on the outer peripheral surface by being rotated around the axis by the driving device. The winding roller 45 takes out the protection member 1 from the sheet roll 10 supported on the sheet roll holding roller 31 by winding the protection member 1 on the outer peripheral surface.
제어 유닛은, 시트 설치 장치(20)의 상술한 각 구성 요소를 각각 제어하여, 피가공물(200)에 보호 부재(1)를 설치하는 설치 동작을 시트 설치 장치(20)에 실시시키는 것이다. 제어 유닛은, CPU(central processing unit)와 같은 마이크로 프로세서를 갖는 연산 처리 장치와, ROM(read only memory) 또는 RAM(random access memory)과 같은 메모리를 갖는 기억 장치와, 입출력 인터페이스 장치를 갖는 컴퓨터이다. 제어 유닛의 연산 처리 장치는, 기억 장치에 기억되어 있는 컴퓨터 프로그램에 따라 연산 처리를 실시하여, 시트 설치 장치(20)를 제어하기 위한 제어 신호를, 입출력 인터페이스 장치를 통해 시트 설치 장치(20)의 상술한 각 유닛에 출력한다.The control unit controls each of the above-described components of the sheet installation device 20 and causes the sheet installation device 20 to perform an installation operation for installing the protection member 1 on the workpiece 200. The control unit is a computer having an arithmetic processing unit having a microprocessor such as a CPU (central processing unit), a storage device having memory such as ROM (read only memory) or RAM (random access memory), and an input/output interface device. . The arithmetic processing unit of the control unit performs arithmetic processing according to a computer program stored in the storage device and sends a control signal for controlling the sheet installation device 20 to the sheet installation device 20 through the input/output interface device. Output to each unit mentioned above.
또한, 제어 유닛은, 설치 동작의 상태나 화상 등을 표시하는 표시 유닛과, 오퍼레이터가 시트 설치 장치(20)의 제어 유닛에 설치 조건 등을 입력할 때에 이용하는 입력 유닛과, 소리와 광 중 적어도 한쪽을 발하여 오퍼레이터에게 통지하는 통지 유닛이 접속되어 있다.In addition, the control unit includes a display unit that displays the status or image of the installation operation, an input unit used when the operator inputs installation conditions, etc. into the control unit of the sheet installation device 20, and at least one of sound and light. A notification unit that issues and notifies the operator is connected.
(보호 부재의 설치 방법)(Installation method of protective member)
다음으로, 실시 형태 1에 관련되는 보호 부재의 설치 방법을 설명한다. 도 5는, 실시 형태 1에 관련되는 보호 부재의 설치 방법의 흐름을 도시하는 플로우차트이다. 도 6은, 도 5에 도시되는 보호 부재의 설치 방법의 일체화 단계의 시트 커트 유닛이 피가공물의 외측 가장자리를 따라 보호 부재를 절단하는 상태를 모식적으로 도시하는 측면도이다. 도 7은, 실시 형태 1에 관련되는 보호 부재의 설치 방법에 의해 보호 부재가 설치된 피가공물이 연삭되는 상태를 모식적으로 도시하는 측면도이다. 도 8은, 실시 형태 1에 관련되는 보호 부재의 설치 방법에 의해 보호 부재가 설치된 피가공물이 절삭되는 상태를 모식적으로 도시하는 측면도이다.Next, the installation method of the protection member according to Embodiment 1 will be described. Fig. 5 is a flow chart showing the flow of the installation method of the protection member according to Embodiment 1. FIG. 6 is a side view schematically showing a state in which the sheet cut unit in the integration step of the protective member installation method shown in FIG. 5 cuts the protective member along the outer edge of the workpiece. FIG. 7 is a side view schematically showing a state in which a workpiece on which a protection member is installed is ground by the protection member installation method according to Embodiment 1. FIG. 8 is a side view schematically showing a state in which a workpiece on which a protection member is installed is cut by the protection member installation method according to Embodiment 1.
실시 형태 1에 관련되는 보호 부재의 설치 방법은, 피가공물(200)에 보호 부재(1)를 설치하는 방법으로서, 상술한 시트 설치 장치(20)가, 피가공물(200)에 보호 부재(1)를 설치하는 설치 동작이기도 하다. 실시 형태 1에 관련되는 보호 부재의 설치 방법은, 도 5에 도시하는 바와 같이, 준비 단계(101)와, 인출 단계(102)와, 박화 단계(103)와, 일체화 단계(104)를 구비한다.The method of installing the protection member according to Embodiment 1 is a method of installing the protection member 1 on the workpiece 200, wherein the sheet installation device 20 described above attaches the protection member 1 to the workpiece 200. ) is also an installation operation that installs. As shown in FIG. 5, the installation method of the protective member according to Embodiment 1 includes a preparation step (101), a drawing step (102), a thinning step (103), and an integration step (104). .
(준비 단계)(Preparation stage)
준비 단계(101)는, 시트 설치 장치(20)의 피가공물(200)에 보호 부재(1)를 설치하는 설치 동작을 준비하는 단계이다. 실시 형태 1에 있어서, 준비 단계(101)에서는, 먼저, 오퍼레이터 등이, 시트 롤 유지 롤러(31)에 시트 롤(10)을 유지하고, 시트 롤(10)로부터 보호 부재(1)의 끝을 인출하여, 보호 부재(1)를 시트 롤 유지 롤러(31)에 가까운 것으로부터 순서대로 복수의 가열 롤러(32)에 걸처져, 한 쌍의 반송 롤러(42)의 하방을 통과시킨 후, 권취 롤러(45)의 외주면 상에 권취한다.The preparation step 101 is a step of preparing for the installation operation of installing the protection member 1 on the workpiece 200 of the sheet installation device 20. In Embodiment 1, in the preparation step 101, an operator or the like first holds the sheet roll 10 on the sheet roll holding roller 31 and removes the end of the protection member 1 from the sheet roll 10. The protection member 1 is pulled out, placed across a plurality of heating rollers 32 in order from the one closest to the sheet roll holding roller 31, passed under a pair of conveying rollers 42, and then passed through the take-up roller. It is wound on the outer circumference of (45).
실시 형태 1에 있어서, 준비 단계(101)에서는, 오퍼레이터 등이 피가공물(200)의 표면(202)의 이면 측의 이면(208)을 유지 테이블(41)의 유지면(411)에 재치하고, 설치 조건을 제어 유닛에 등록한다. 준비 단계(101)에 있어서, 시트 설치 장치(20)는, 제어 유닛이 오퍼레이터 등으로부터의 설치 동작의 개시 지시를 접수하면, 가열 롤러(32)의 히터 및 유지 테이블(41)의 히터(412)를 구동하여, 보호 부재(1)를 가열하여, 설치 동작을 개시하고, 인출 단계(102)로 진행한다.In Embodiment 1, in the preparation step 101, an operator or the like places the back surface 208 on the back side of the surface 202 of the workpiece 200 on the holding surface 411 of the holding table 41, Register installation conditions in the control unit. In the preparation step 101, when the control unit receives an instruction to start the installation operation from an operator or the like, the sheet installation device 20 operates the heater of the heating roller 32 and the heater 412 of the holding table 41. is driven to heat the protection member 1, the installation operation is started, and the process proceeds to the extraction step 102.
(인출 단계)(withdrawal stage)
인출 단계(102)는, 보호 부재(1)가 롤 형상으로 권취된 시트 롤(10)로부터 보호 부재(1)를 인출하는 단계이다. 인출 단계(102)에서는, 시트 설치 장치(20)는, 유지 테이블(41)의 유지면(411)에 피가공물(200)을 흡인 유지하고, 가열 롤러(32)의 히터 및 유지 테이블(41)의 히터로 보호 부재(1)를 가열하면서 권취 롤러(45)로 보호 부재(1)를 권취함과 함께 가열 롤러(32)를 상술한 회전수로 회전시켜, 시트 롤 유지 롤러(31)에 유지된 시트 롤(10)로부터 보호 부재(1)를 인출하고, 박화 단계(103)로 진행한다.The pulling out step 102 is a step of pulling out the protective member 1 from the sheet roll 10 in which the protective member 1 is wound into a roll shape. In the drawing step 102, the sheet installation device 20 suctions and holds the workpiece 200 on the holding surface 411 of the holding table 41, and the heater of the heating roller 32 and the holding table 41 While heating the protective member 1 with a heater, the protective member 1 is wound with the take-up roller 45, and the heating roller 32 is rotated at the above-mentioned rotation speed and held on the sheet roll holding roller 31. The protective member 1 is pulled out from the sheet roll 10 and proceeds to the thinning step 103.
(박화 단계)(Thinning stage)
박화 단계(103)는, 인출된 보호 부재(1)를 가열하여 연화 또는 용융시키면서, 보호 부재(1)를 시트 롤(10)의 인출 방향인 보호 부재(1)의 길이 방향(4)에 연신시켜 박화하는 단계이다. 실시 형태 1에 있어서, 박화 단계(103)에서는, 시트 설치 장치(20)가, 각 가열 롤러(32)의 히터 및 유지 테이블(41)의 히터(412)를 보호 부재(1)의 연화점을 초과하고 또한 융점을 하회하는 온도로 가열하고 있기 때문에, 시트 롤(10)로부터 인출한 보호 부재(1)를 연화시킨다.In the thinning step 103, the protective member 1 is stretched in the longitudinal direction 4 of the protective member 1, which is the pulling direction of the sheet roll 10, while softening or melting the pulled out protective member 1 by heating. This is the step of thinning it out. In Embodiment 1, in the thinning step 103, the sheet installation device 20 adjusts the heater of each heating roller 32 and the heater 412 of the holding table 41 to a temperature exceeding the softening point of the protection member 1. And since it is heated to a temperature below the melting point, the protection member 1 taken out from the sheet roll 10 is softened.
실시 형태 1에 있어서, 박화 단계(103)에서는, 시트 설치 장치(20)가, 시트 롤(10)로부터 인출한 보호 부재(1)를 연화시키면서, 복수의 가열 롤러(32)를 상술한 회전수로 회전하기 때문에, 가열 롤러(32) 사이에 있어서, 길이 방향(4)을 따라 보호 부재(1)가 연신되어, 보호 부재(1)가 박화한다. 복수의 가열 롤러(32)에 의해 길이 방향(4)으로 연신되어 박화된 보호 부재(1)가 유지 테이블(41) 상에 위치하면, 일체화 단계(104)로 진행한다.In Embodiment 1, in the thinning step 103, the sheet installation device 20 moves the plurality of heating rollers 32 at the above-mentioned rotation speed while softening the protective member 1 drawn out from the sheet roll 10. Because of the rotation, the protective member 1 is stretched along the longitudinal direction 4 between the heating rollers 32, and the protective member 1 is thinned. When the protective member 1, which has been stretched and thinned in the longitudinal direction 4 by the plurality of heating rollers 32, is placed on the holding table 41, the process proceeds to the integration step 104.
또한, 실시 형태 1에 있어서, 박화 단계(103)에서는, 시트 설치 장치(20)가, 피가공물(200)에 설치되는 보호 부재(1)의 두께에 따라, 가열 롤러(32) 간의 회전수의 차를 적절히 변경한다. 즉, 피가공물(200)에 설치되는 보호 부재(1)의 두께가 얇아짐에 따라, 가열 롤러(32) 사이의 회전수의 차를 크게 하여, 보호 부재(1)의 길이 방향(4)의 연신량을 증가시킨다. 이렇게 하여, 실시 형태 1에 있어서, 박화 단계(103)에서는, 시트 설치 장치(20)가, 보호 부재(1)의 길이 방향(4)의 연신량을 제어하는 것에 의해, 피가공물(200)에 설치되는 보호 부재(1)의 두께를 조정한다.In addition, in Embodiment 1, in the thinning step 103, the sheet installation device 20 adjusts the number of rotations between the heating rollers 32 according to the thickness of the protection member 1 installed on the workpiece 200. Modify the vehicle appropriately. That is, as the thickness of the protection member 1 installed on the workpiece 200 becomes thinner, the difference in rotation speed between the heating rollers 32 increases, so that the longitudinal direction 4 of the protection member 1 increases. Increases stretching amount. In this way, in Embodiment 1, in the thinning step 103, the sheet installation device 20 controls the stretching amount of the protection member 1 in the longitudinal direction 4 to provide a Adjust the thickness of the installed protective member (1).
(일체화 단계)(integration stage)
일체화 단계(104)는, 박화 단계(103)에서 박화된 보호 부재(1)를 피가공물(200)에 밀착시켜, 피가공물(200)과 보호 부재(1)를 일체화시키는 단계이다. 실시 형태 1에 있어서, 일체화 단계(104)에서는, 시트 설치 장치(20)가, 보호 부재(1)의 복수의 가열 롤러(32)에 의해 박화된 개소가 유지 테이블(41)에 유지된 피가공물(200)의 상방에 위치하면, 권취 롤러(45)의 보호 부재(1)의 권취를 정지함과 함께, 가열 롤러(32)의 회전을 정지하여, 보호 부재(1)의 복수의 가열 롤러(32)에 의해 박화된 개소를 유지 테이블(41)에 유지된 피가공물(200)의 상방에서 정지한다. 또한, 유지 테이블(41)에 유지된 피가공물(200)의 상방에 위치하는 보호 부재(1)는, 박화 단계(103)에서 가열된 열을 유지한 상태(실시 형태 1에서는, 연화점을 초과하고 또한 융점을 하회하는 온도로 가열된 상태)를 유지하고 있다.The integration step 104 is a step of bringing the protective member 1, which has been thinned in the thinning step 103, into close contact with the workpiece 200 to integrate the workpiece 200 and the protection member 1. In Embodiment 1, in the integration step 104, the sheet installation device 20 holds the workpiece in which the portion thinned by the plurality of heating rollers 32 of the protection member 1 is held on the holding table 41. When located above (200), winding of the protection member 1 by the winding roller 45 is stopped, and rotation of the heating roller 32 is stopped, and a plurality of heating rollers of the protection member 1 ( The portion thinned by 32) is stopped above the workpiece 200 held on the holding table 41. In addition, the protection member 1 located above the workpiece 200 held on the holding table 41 maintains the heat heated in the thinning step 103 (in Embodiment 1, the softening point is exceeded and In addition, it is maintained in a heated state at a temperature below the melting point.
실시 형태 1에 있어서, 일체화 단계(104)에서는, 시트 설치 장치(20)가, 압박 롤러(43)를 하강시켜, 가열 롤러(32)의 히터(412)에 의해 연화점을 초과하는 온도로 가열된 보호 부재(1)를 피가공물(200)에 가압함과 함께, 압박 롤러(43)를 한 쌍의 반송 롤러(42) 사이에서 소정 횟수 수평 방향으로 이동시킨다. 그러면, 일체화 단계(104)에서는, 보호 부재(1)가 연화점을 초과하는 온도로 연화되어, 압박 롤러(43)의 외주면이 평탄하기 때문에, 보호 부재(1)가 피가공물(200)의 범프(205) 사이에 들어가는 동시에, 피가공물(200)의 표면(202)으로부터의 두께가 일정해짐과 함께, 보호 부재(1)의 상면이 평탄하게 형성된다.In Embodiment 1, in the integration step 104, the sheet installation device 20 lowers the pressing roller 43, which is heated to a temperature exceeding the softening point by the heater 412 of the heating roller 32. While the protection member 1 is pressed against the workpiece 200, the pressing roller 43 is moved in the horizontal direction a predetermined number of times between the pair of conveying rollers 42. Then, in the integration step 104, the protection member 1 is softened to a temperature exceeding the softening point, and the outer peripheral surface of the pressing roller 43 is flat, so that the protection member 1 is not affected by the bump (()) of the workpiece 200. 205), the thickness of the workpiece 200 from the surface 202 becomes constant, and the upper surface of the protection member 1 is formed flat.
이렇게 하여, 실시 형태 1에 있어서, 일체화 단계(104)에서는, 시트 설치 장치(20)가, 피가공물(200)의 표면(202) 전체에 보호 부재(1)의 표면(202)으로부터의 두께가 균일하고 상면이 평탄한 보호 부재(1)를 밀착시켜, 피가공물(200)의 표면(202)에 보호 부재(1)를 설치하고, 피가공물(200)에 보호 부재(1)를 일체화한다. 이와 같이, 실시 형태 1에서는, 박화 단계(103)의 직후에, 박화 단계(103)에 의해서 가열된 열을 보호 부재(1)가 유지한 상태(즉, 보호 부재(1)가 연화점을 초과하고 또한 융점을 하회하는 온도로 가열된 상태)에서, 일체화 단계(104)를 실시한다. 이 때문에, 실시 형태 1에 관련되는 보호 부재의 설치 방법은, 보호 부재(1)와 피가공물(200)을 일체화할 때에 재차 가열하여 연화 또는 용융시킬 필요가 없다.In this way, in Embodiment 1, in the integration step 104, the sheet installation device 20 applies the thickness from the surface 202 of the protection member 1 to the entire surface 202 of the workpiece 200. The protection member 1 with a uniform and flat top surface is brought into close contact, the protection member 1 is installed on the surface 202 of the workpiece 200, and the protection member 1 is integrated with the workpiece 200. In this way, in Embodiment 1, immediately after the thinning step 103, the protective member 1 maintains the heat heated by the thinning step 103 (i.e., the protective member 1 exceeds the softening point and Also, in a state of heating to a temperature below the melting point), the integration step (104) is performed. For this reason, the method of installing the protective member according to Embodiment 1 does not require reheating to soften or melt the protective member 1 and the workpiece 200 when integrating them.
실시 형태 1에 있어서, 일체화 단계(104)에서는, 시트 설치 장치(20)가, 보호 부재(1)를 피가공물(200)의 표면(202)에 설치한 후, 압박 롤러(43)를 상승시킴과 함께, 시트 커트 유닛(44)의 장착 베이스(442) 및 커터 날(441)을 하강시켜, 커터 날(441)을 피가공물(200)의 외측 가장자리 상의 보호 부재(1)에 절입시킨다.In Embodiment 1, in the integration step 104, the sheet installation device 20 installs the protection member 1 on the surface 202 of the workpiece 200 and then raises the pressing roller 43. At the same time, the mounting base 442 and the cutter blade 441 of the sheet cutting unit 44 are lowered, so that the cutter blade 441 is cut into the protection member 1 on the outer edge of the workpiece 200.
실시 형태 1에 있어서, 일체화 단계(104)에서는, 시트 설치 장치(20)가, 도 6에 도시하는 바와 같이, 장착 베이스(442)를 축심 둘레로 적어도 1회전, 회전하여, 커터 날(441)에 의해 보호 부재(1)를 유지 테이블(41)에 유지된 피가공물(200)의 외측 가장자리를 따라 절단한다. 실시 형태 1에 있어서, 일체화 단계(104)에서는, 시트 설치 장치(20)가, 시트 커트 유닛(44)을 상승시켜, 유지 테이블(41)의 피가공물(200)의 흡인 유지를 정지하고, 실시 형태 1에 관련되는 보호 부재의 설치 방법, 즉 설치 동작을 종료한다.In Embodiment 1, in the integration step 104, the sheet installation device 20 rotates the mounting base 442 at least one rotation around the axis, as shown in FIG. 6, to form the cutter blade 441. The protection member 1 is cut along the outer edge of the workpiece 200 held on the holding table 41. In Embodiment 1, in the integration step 104, the sheet installation device 20 raises the sheet cutting unit 44, stops suction and holding the workpiece 200 on the holding table 41, and carries out The installation method, that is, the installation operation, of the protective member related to form 1 is completed.
또한, 본 발명에서는, 유지 테이블(41) 상에서 보호 부재(1)가 연화점을 초과하며 또한 융점을 하회하는 온도를 유지하고 있는 것이면, 유지 테이블(41)이 히터(412)를 구비하고 있지 않아도 좋다. 또한, 본 발명에서는, 유지 테이블(41)이 히터(412)를 구비하지 않고, 압박 롤러(43)가 보호 부재(1)를 가열하는 히터를 구비해도 된다.In addition, in the present invention, as long as the protection member 1 is maintained at a temperature exceeding the softening point and below the melting point on the holding table 41, the holding table 41 does not need to be provided with the heater 412. . In addition, in the present invention, the holding table 41 may not be provided with the heater 412, and the pressing roller 43 may be provided with a heater for heating the protection member 1.
표면(202)에 보호 부재(1)가 설치되어, 보호 부재(1)와 일체화된 피가공물(200)은, 예를 들어, 도 7에 도시하는 바와 같이, 보호 부재(1) 측이 연삭 장치(50)의 척 테이블(51)에 흡인 유지되고, 연삭수(52)가 공급되면서 연삭 휠(53)의 연삭 지석(54)에 의해 연삭된다. 또한, 표면(202)에 보호 부재(1)가 설치되어, 보호 부재(1)와 일체화된 피가공물(200)은, 예를 들어, 도 8에 도시하는 바와 같이, 보호 부재(1) 측이 절삭 장치(60)의 척 테이블(61)에 흡인 유지되고, 절삭수가 공급되면서 절삭 블레이드(62)에 의해 분할 예정 라인이 절삭되어도 좋다.As shown in FIG. 7 , the protective member 1 is provided on the surface 202 and the workpiece 200 is integrated with the protective member 1. For example, as shown in FIG. 7, the protective member 1 side is a grinding device. It is held by suction on the chuck table 51 of 50, and is ground by the grinding wheel 54 of the grinding wheel 53 while being supplied with grinding water 52. In addition, the protective member 1 is installed on the surface 202, and the workpiece 200 integrated with the protective member 1 has the protective member 1 side, for example, as shown in FIG. 8. The line to be divided may be cut by the cutting blade 62 while being held by suction on the chuck table 61 of the cutting device 60 and cutting water supplied.
또한, 본 발명에서는, 표면(202)에 보호 부재(1)가 설치되고, 보호 부재(1)와 일체화된 피가공물(200)은, 보호 부재(1) 측이 레이저 가공 장치의 척 테이블에 흡인 유지되어, 피가공물(200)에 대하여 투과성 또는 흡수성을 갖는 레이저 빔이 조사되어 레이저 가공이 실시되어도 좋다. 요컨대, 본 발명에서는, 표면(202)에 보호 부재(1)가 설치되어, 보호 부재(1)와 일체화된 피가공물(200)은, 여러 가지 가공이 실시된다.In addition, in the present invention, the protection member 1 is provided on the surface 202, and the workpiece 200 integrated with the protection member 1 is attracted to the chuck table of the laser processing device on the protection member 1 side. Laser processing may be performed by maintaining the laser beam and irradiating the workpiece 200 with a transmissive or absorptive laser beam. In short, in the present invention, the protection member 1 is provided on the surface 202, and the workpiece 200 integrated with the protection member 1 is subjected to various processes.
이상 설명한 실시 형태 1에 관련되는 보호 부재의 설치 방법은, 인출 단계(102)에 있어서 롤 형상으로 권취된 시트 롤(10)로부터 보호 부재(1)를 인출하고, 박화 단계(103)에 있어서 보호 부재(1)를 가열하여 길이 방향(4)으로 연신시켜 박화하고, 일체화 단계(104)에 있어서 보호 부재(1)를 피가공물(200)에 밀착시켜, 보호 부재(1)를 피가공물(200)에 설치하기 때문에, 보호 부재(1)를 가열하여 피가공물(200)에 가압하여 밀착시킬 필요가 없다.In the method of installing the protection member according to Embodiment 1 described above, the protection member 1 is pulled out from the sheet roll 10 wound into a roll shape in the drawing step 102, and protected in the thinning step 103. The member 1 is heated and stretched in the longitudinal direction 4 to be thinned, and in the integration step 104, the protection member 1 is brought into close contact with the workpiece 200, and the protection member 1 is attached to the workpiece 200. ), there is no need to heat the protection member 1 and press it into close contact with the workpiece 200.
이 때문에, 실시 형태 1에 관련되는 보호 부재의 설치 방법은, 압박 롤러(43)로부터 보호 부재(1)를 박리하는 수고를 억제할 수 있고, 피가공물(200)에 설치 후에 보호 부재(1)를 압박 롤러(43)로부터 분리하는 수고를 억제할 수 있다.For this reason, the installation method of the protection member according to Embodiment 1 can suppress the effort of peeling the protection member 1 from the pressing roller 43, and the protection member 1 can be removed after installation on the workpiece 200. The effort of separating from the pressing roller 43 can be reduced.
또한, 실시 형태 1에 관련되는 보호 부재의 설치 방법은, 인출 단계(102)에 있어서 롤 형상으로 권취된 시트 롤(10)로부터 보호 부재(1)를 인출하고, 박화 단계(103)에 있어서 보호 부재(1)를 가열하여 길이 방향(4)으로 연신시켜 박화하기 때문에, 가열하면서 보호 부재(1)를 피가공물(200)에 압박하여 밀착할 때보다 압박 롤러(43)가 받는 보호 부재(1)의 열의 영향을 억제할 수 있다. 이 때문에, 실시 형태 1에 관련되는 보호 부재의 설치 방법은, 피가공물(200)에 설치되는 보호 부재(1)의 두께의 정밀도의 저하를 억제할 수 있다.In addition, in the method of installing the protective member according to Embodiment 1, the protective member 1 is pulled out from the sheet roll 10 wound into a roll shape in the drawing step 102, and the protective member 1 is taken out in the thinning step 103. Since the member 1 is heated and stretched in the longitudinal direction 4 to be thinned, the protection member 1 received by the pressing roller 43 is compared to when the protection member 1 is pressed and adhered to the workpiece 200 while heating. ) can suppress the effects of heat. For this reason, the method of installing a protective member according to Embodiment 1 can suppress a decrease in the accuracy of the thickness of the protective member 1 installed on the workpiece 200.
그 결과, 실시 형태 1에 관련되는 보호 부재의 설치 방법은, 설치 후에 보호 부재(1)를 분리하는 수고와, 보호 부재(1)의 두께의 정밀도의 저하를 억제할 수 있다고 하는 효과를 발휘한다.As a result, the method of installing the protective member according to Embodiment 1 has the effect of suppressing the effort of removing the protective member 1 after installation and reducing the accuracy of the thickness of the protective member 1. .
또한, 실시 형태 1에 관련되는 보호 부재의 설치 방법은, 박화 단계(103)에 있어서 보호 부재(1)를 가열하여 연화시켜 박화하고 나서, 일체화 단계(104)에 있어서 보호 부재(1)가 박화 단계(103)에 있어서 가열된 열을 유지한 상태에서 그대로 피가공물(200)과 일체화한다. 그 결과, 실시 형태 1에 관련되는 보호 부재의 설치 방법은, 피가공물(200)에 보호 부재(1)를 일체화시키기 위해서 재차 가열할 필요가 없어지기 때문에, 생산성의 향상에 공헌한다.In addition, in the method of installing the protective member according to Embodiment 1, in the thinning step 103, the protective member 1 is heated to soften and thin, and then in the integration step 104, the protective member 1 is thinned. In step 103, it is integrated with the workpiece 200 while maintaining the heated heat. As a result, the method of installing the protective member according to Embodiment 1 contributes to an improvement in productivity because it eliminates the need for reheating to integrate the protective member 1 with the workpiece 200.
또한, 본 발명은, 상기 실시 형태에 한정되는 것은 아니다. 즉, 본 발명의 골자를 일탈하지 않는 범위에서 다양하게 변형하여 실시할 수 있다. 예를 들어, 본 발명에서는, 보호 부재(1)를 피가공물(200)의 이면(208)에 설치해도 좋다. 또한, 본 발명에서는, 박화 단계(103)에 있어서, 보호 부재(1)를, 가열 롤러(32)의 히터로 보호 부재(1)의 융점을 초과하는 온도까지 가열하여 용융시키면서, 보호 부재(1)를 길이 방향(4)으로 연신시켜 박화하고, 피가공물(200)에 설치해도 된다. 또한, 본 발명에서는, 일체화 단계(104)에 있어서, 압박 롤러(43)의 대신에 유지면(411)과 평행하고 평탄한 압박면을 갖는 압박 부재로 보호 부재(1)를 피가공물(200)에 압박하여 일체화해도 좋고, 피가공물(200)과 보호 부재(1)와의 사이에 진공 상태를 형성하는 것에 의해, 보호 부재(1)를 피가공물(200)에 일체화해도 좋다.Additionally, the present invention is not limited to the above embodiments. In other words, the present invention can be implemented with various modifications without departing from the gist of the present invention. For example, in the present invention, the protection member 1 may be installed on the back surface 208 of the workpiece 200. In addition, in the present invention, in the thinning step 103, the protective member 1 is melted by heating to a temperature exceeding the melting point of the protective member 1 with the heater of the heating roller 32, and the protective member 1 is melted. ) may be stretched in the longitudinal direction (4) to be thinned and installed on the workpiece (200). In addition, in the present invention, in the integration step 104, the protection member 1 is attached to the workpiece 200 by a pressing member having a flat pressing surface parallel to the holding surface 411 instead of the pressing roller 43. It may be integrated by pressing, or the protection member 1 may be integrated with the workpiece 200 by forming a vacuum state between the workpiece 200 and the protection member 1.
또한, 본 발명에서는, 보호 부재(1)를 도 9 및 도 10에 도시하는 패키지 기판인 피가공물(200-1)에 설치해도 된다. 도 9 및 도 10에 도시되는 피가공물(200-1)은, 서로 교차하는 분할 예정 라인(211)이 설정된 기판(210)과, 기판(210)의 표면(212)의 분할 예정 라인(211)에 의해 둘러싸인 영역에 설치된 디바이스 칩과, 기판(210)의 표면(212) 상의 디바이스 칩을 피복하는 밀봉 수지(213)를 구비한 QFN(Quad Flat Non-leaded Package) 기판 또는 CSP(Chip Scale Packaging) 기판 등의 패키지 기판이다.Additionally, in the present invention, the protection member 1 may be installed on the workpiece 200-1, which is a package substrate shown in FIGS. 9 and 10. The workpiece 200-1 shown in FIGS. 9 and 10 includes a substrate 210 on which dividing lines 211 that intersect each other are set, and a dividing line 211 on the surface 212 of the substrate 210. Quad Flat Non-leaded Package (QFN) substrate or Chip Scale Packaging (CSP) having a device chip installed in the area surrounded by and a sealing resin 213 covering the device chip on the surface 212 of the substrate 210. It is a package substrate such as a substrate.
본 발명에서는, 패키지 기판인 피가공물(200)에 보호 부재(1)를 설치하는 경우에는, 기판(210)의 표면(212) 또는 이면(214)에 보호 부재(1)를 설치한다. 또한, 도 9는, 도 1에 도시되는 피가공물의 변형예의 사시도이다. 도 10은, 도 9에 도시되는 피가공물을 이측에서 본 사시도이다.In the present invention, when installing the protection member 1 on the workpiece 200, which is a package substrate, the protection member 1 is installed on the front surface 212 or the back surface 214 of the substrate 210. Additionally, FIG. 9 is a perspective view of a modified example of the workpiece shown in FIG. 1. FIG. 10 is a perspective view of the workpiece shown in FIG. 9 as seen from the other side.
1 보호 부재
2 폭
4 길이 방향(인출 방향)
10 시트 롤
102 인출 단계
103 박화 단계
104 일체화 단계
200, 200-1 피가공물
207 직경
1 protection member
2 width
4 Length direction (drawing direction)
10 sheet roll
102 withdrawal steps
103 Thinning stage
104 Integration stage
200, 200-1 Workpiece
207 diameter
Claims (2)
열가소성 수지를 포함하고, 피가공물의 직경보다 큰 폭을 갖는 시트 형상으로 형성된 보호 부재가 롤 형상으로 권취된 시트 롤로부터 상기 보호 부재를 인출하는 인출 단계와,
인출된 상기 보호 부재를 가열하여 연화 또는 용융시키면서, 상기 보호 부재를 롤의 인출 방향으로 연신시켜 박화하는 박화 단계와,
상기 박화 단계에서 박화된 상기 보호 부재를 피가공물에 밀착시켜, 상기 피가공물과 상기 보호 부재를 일체화시키는 일체화 단계를 구비하고,
상기 박화 단계에 의해 가열된 열을 상기 보호 부재가 유지한 상태에서, 상기 일체화 단계를 실시하는 것에 의해, 상기 보호 부재와 상기 피가공물을 일체화할 때에 재차 가열하여 연화 또는 용융시킬 필요가 없는 것을 특징으로 하는, 보호 부재의 설치 방법.A method of installing a protective member for installing a protective member on a workpiece, comprising:
A pulling step of pulling out a protective member formed in a sheet shape including a thermoplastic resin and having a width larger than the diameter of the workpiece from a sheet roll wound in a roll shape;
A thinning step of heating the drawn-out protective member to soften or melt it and stretching the protective member in the pulling-out direction of the roll to thin it;
An integration step of bringing the protective member thinned in the thinning step into close contact with the workpiece to integrate the workpiece and the protection member,
By carrying out the integration step while the protection member maintains the heat generated by the thinning step, there is no need to re-heat to soften or melt the protective member and the workpiece when integrating them. A method of installing a protective member.
상기 박화 단계에서는, 인출 방향의 연신량을 제어하는 것에 의해, 상기 보호 부재의 두께를 조정하는 것을 특징으로 하는, 보호 부재의 설치 방법.
According to paragraph 1,
A method of installing a protective member, characterized in that, in the thinning step, the thickness of the protective member is adjusted by controlling the stretching amount in the drawing direction.
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2022132368A JP2024029907A (en) | 2022-08-23 | 2022-08-23 | How to install protective members |
| JPJP-P-2022-132368 | 2022-08-23 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20240027547A true KR20240027547A (en) | 2024-03-04 |
Family
ID=90030973
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020230106002A KR20240027547A (en) | 2022-08-23 | 2023-08-14 | Method of mounting protection member |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2024029907A (en) |
| KR (1) | KR20240027547A (en) |
| CN (1) | CN117637575A (en) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013021017A (en) | 2011-07-07 | 2013-01-31 | Disco Abrasive Syst Ltd | Wafer grinding method |
| JP2021082631A (en) | 2019-11-14 | 2021-05-27 | 株式会社ディスコ | Method for installing protective member, method for processing workpiece, and method for manufacturing protective member |
-
2022
- 2022-08-23 JP JP2022132368A patent/JP2024029907A/en active Pending
-
2023
- 2023-08-14 KR KR1020230106002A patent/KR20240027547A/en unknown
- 2023-08-16 CN CN202311029885.3A patent/CN117637575A/en active Pending
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|---|---|---|---|---|
| JP2013021017A (en) | 2011-07-07 | 2013-01-31 | Disco Abrasive Syst Ltd | Wafer grinding method |
| JP2021082631A (en) | 2019-11-14 | 2021-05-27 | 株式会社ディスコ | Method for installing protective member, method for processing workpiece, and method for manufacturing protective member |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN117637575A (en) | 2024-03-01 |
| JP2024029907A (en) | 2024-03-07 |
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