KR20240018754A - Thermal denaturation measurement device for the surface of heat-resistant painted parts and method for measuring thermal denaturation of parts using the same - Google Patents
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Abstract
본 출원 발명은 고온에 노출되는 환경에서 부품의 도장층의 탑 코팅과 본드 코팅(bond coating) 사이의 탑 코팅의 열변성으로 재료표면의 도장(top coating)이 벗겨지고, 지속적인 사용으로 부품이 열변성되어 파괴되는 것을 미리 감지하고자 하는 기술로 부품표면의 도장이 벗겨지지 않은 상태에서 코팅의 열변성을 측정할 수 있는 수단을 제공하고자 한다. 이를 위하여 임피던스 값을 표시하는 디스플레이를 구비한 임피던스 측정기; 및 상기 임피던스 측정기에 연결되어 부품의 임피던스를 측정하기 위하여 부품의 표면에 연결되는 임피던스프로부; 및 상기 임피던스 측정기와 연결되고, 상기 부품의 뒤편에 연결되어 상기 임피던스프로부와 함께 상기 부품의 임피던스를 측정하는 임프던스프로부패드를 구비한 것을 특징으로 하는 코팅된 내열 부품의 임피던스 측정기를 제공 한다.
본 출원 발명의 상기와 같은 발명의 구성에 의하여 고온 환경에서 사용되는 부품이 열화되어 내구성이 떨어지기 전에 부품 표면의 코팅을 보수해 줄 수 있는 정보를 제공함으로써 부품을 다시 내열 코팅하여 사용할 수 있도록 정보를 제공하는 효과가 있다.In the present application, in an environment exposed to high temperatures, the top coating on the surface of the material is peeled off due to thermal denaturation of the top coating between the top coating and the bond coating of the component, and the component heats up with continuous use. This is a technology that seeks to detect denaturation and destruction in advance, and seeks to provide a means of measuring thermal denaturation of a coating while the paint on the surface of the part is not peeled off. For this purpose, an impedance meter equipped with a display that displays the impedance value; and an impedance probe connected to the impedance measuring device and connected to the surface of the component to measure the impedance of the component. and an impedance probe pad connected to the impedance meter and connected to the back of the component to measure the impedance of the component together with the impedance probe. do.
According to the above-mentioned configuration of the invention of the present application, information is provided to repair the coating on the surface of the part before the part used in a high temperature environment deteriorates and its durability decreases, so that the part can be used again with a heat-resistant coating. It has the effect of providing.
Description
본 출원 발명은 터빈 블레이드와 같이 고온의 환경에서 동작하는 장치의 내열 도장이 변성되었는지를 측정하는 측정기술에 관한 것이다. 더욱 자세하게는 임피던스를 측정하여 도장의 열변성을 측정하는 기술에 관한 것이다.The invention of this application relates to a measurement technology for measuring whether the heat-resistant coating of a device operating in a high temperature environment, such as a turbine blade, has been denatured. More specifically, it relates to technology for measuring thermal deterioration of paint by measuring impedance.
본 발명의 출원 이전의 선행기술로 메타 물질을 이용한 도장층의 유전율 측정 장치에 관한 기술이 개시되어 있다. 이 기술은 시뮬레이션을 통해 생성되는 도장층 유전율별 투과율 정보를 갖는 데이터베이스; 및 도파관법 및 자유 공간법을 이용하여 도장층의 유무에 따른 메타물질의 유전율별 투과율 정보를 획득하는 측정 모듈; 및 획득된 유전율별 투과율 정보와 상기 데이터베이스에 저장된 도장층 유전율별 투과율 정보를 비교하는 비교 모듈; 및 비교 결과에 따라 상기 도장층의 유전물성의 유전율을 도출하는 유전율 산출 모듈을 포함하는 기술에 관한 것이다.As prior art before the application of the present invention, a technology related to a device for measuring the dielectric constant of a coating layer using a meta material has been disclosed. This technology includes a database with transmittance information for each paint layer dielectric constant generated through simulation; and a measurement module that acquires transmittance information for each dielectric constant of the metamaterial according to the presence or absence of a coating layer using the waveguide method and the free space method; and a comparison module that compares the obtained transmittance information for each dielectric constant with the transmittance information for each dielectric constant of the coating layer stored in the database. and a dielectric constant calculation module that derives the dielectric constant of the dielectric properties of the coating layer according to the comparison results.
또 다른 선행기술로 유전율 측정장치가 개시되어 있다. 이 기술에서는 제1 안테나 연결기와 제2 안테나 연결기의 각각의 평탄한 출사면을 서로 대향하도록 병행으로 배치하고, 또한 상기 제 1 안테나 연결기와 상기 제 2 안테나 연결기와의 사이에 피시험 시료를 배치하는 배치 수단과 상기 제 1 안테나 연결기로부터 상기 피시험 시료 및 상기 제 2 안테나 연결기를 향해, 정해진 주파수 범위의 전자파를 출사하고 상기 제 1 안테나 연결기로부터의 반사파 상기 제 2 안테나 연결기로부터의 투과파를 각각 측정해 상기 반사파 및 상기 투과파에 근거하여 S파라미터를 생성하는 측정 수단과 상기 측정 수단에 따라 생성된 S파라미터를 취득하는 S파라미터취득 수단과 상기 S파라미터에 근거하여 그 피시험 시료의 유전율 특성을 측정하는 기술이 개시되어 있다.As another prior art, a dielectric constant measuring device has been disclosed. In this technology, the flat emission surfaces of the first antenna coupler and the second antenna coupler are arranged in parallel to face each other, and the test specimen is placed between the first antenna coupler and the second antenna coupler. Electromagnetic waves in a predetermined frequency range are radiated from the means and the first antenna connector toward the test sample and the second antenna connector, and a reflected wave from the first antenna connector and a transmitted wave from the second antenna connector are measured, respectively. Measuring means for generating S parameters based on the reflected wave and the transmitted wave, S parameter acquisition means for acquiring S parameters generated according to the measuring means, and measuring dielectric constant characteristics of the test sample based on the S parameters. The technology has been disclosed.
본 출원 발명은 고온에 노출되는 환경에서 부품의 도장층의 탑 코팅과 본드 코팅(bond coating) 사이의 탑 코팅의 열변성으로 재료표면의 도장(top coating)이 벗겨지고, 지속적인 사용으로 부품이 열변성되어 파괴되는 것을 미리 알고자 하는 기술이다.In the present application, in an environment exposed to high temperatures, the top coating on the surface of the material is peeled off due to thermal denaturation of the top coating between the top coating and the bond coating of the component, and the component heats up with continuous use. It is a technology that seeks to know in advance what will be transformed and destroyed.
기존에는 열변성이 발생하여 부품표면의 도장이 벗겨지는 경우에 본드코팅의 열변성을 알 수 있었으나, 도장이 벗겨지지 않은 상태에서 열변성을 측정할 수 있는 수단을 제공하고자 한다.Previously, thermal denaturation of a bond coating could be known when thermal denaturation occurred and the paint on the surface of the part peeled off, but we would like to provide a means to measure thermal denaturation in a state where the paint has not peeled off.
상기와 같은 문제를 해결하고자 본 출원 발명은 다음의 과제해결 수단을 제공한다.In order to solve the above problems, the present invention provides the following problem solving means.
임피던스 값을 표시하는 디스플레이를 구비한 임피던스 측정기; 및An impedance meter having a display showing the impedance value; and
상기 임피던스 측정기에 연결되어 부품의 임피던스를 측정하기 위하여 부품의 표면에 연결되는 임피던스프로부; 및An impedance probe connected to the impedance measuring device and connected to the surface of the component to measure the impedance of the component; and
상기 임피던스 측정기와 연결되고, 상기 부품의 뒤편에 연결되어 상기 임피던스프로부와 함께 상기 부품의 임피던스를 측정하는 임프던스프로부패드를 구비한 것을 특징으로 하는 코팅된 내열 부품의 임피던스 측정기를 제공한다.An impedance measuring device for a coated heat-resistant component is provided, which is connected to the impedance measuring device and has an impedance probe pad connected to the back of the component to measure the impedance of the component together with the impedance probe unit. .
또한, 상기 코팅된 내열 부품의 임피던스 측정기를 이용한 내열 부품의 열화검사에 있어서,In addition, in the inspection of deterioration of heat-resistant parts using an impedance meter of the coated heat-resistant parts,
상기 임피던스 측정기로 내열 부품이 사용되기 전의 임피던스를 측정하는 내열 부품의 초기 임피던스 측정 및 저장단계; 및Measuring and storing the initial impedance of the heat-resistant component by measuring the impedance before the heat-resistant component is used with the impedance meter; and
사용 시간에 따라 정기적으로 상기 내열 부품의 임피던스를 측정하는 정기 임피던스 측정단계; 및A regular impedance measurement step of periodically measuring the impedance of the heat-resistant component according to usage time; and
상기 정기 임피던스 측정단계에서 측정된 임피던스의 감소가 15% 이상이면 상기 내열 부품의 탑 코팅이 산화된 것으로 판단하는 것을 특징으로 하는 코팅된 내열 부품의 임피던스 측정기를 이용한 코팅된 내열 부품의 본드코팅 열화 감지방법을 제공한다.Detection of bond coating deterioration of coated heat-resistant parts using an impedance meter of coated heat-resistant parts, characterized in that it is determined that the top coating of the heat-resistant part is oxidized if the decrease in impedance measured in the regular impedance measurement step is 15% or more. Provides a method.
또 다른 실시예로 상기 코팅된 내열부품이 두껍거나 뒷면에 임피던스프로브패드를 연결하기 어려운 경우에 사용할 수있도록 제2실시예의 임피던스 측정 프로브를 구비한 코팅된 내열 부품의 임피던스 측정기를 제공한다.In another embodiment, an impedance measuring device for a coated heat-resistant component equipped with the impedance measurement probe of the second embodiment is provided so that it can be used when the coated heat-resistant component is thick or it is difficult to connect an impedance probe pad to the back.
임피던스 값을 표시하는 디스플레이를 구비한 임피던스 측정기; 및An impedance meter having a display showing the impedance value; and
상기 임피던스 측정기와 2선으로 연결된 임피던스프로부; 및 임피던스프로부패드를 하나의 기판위에 구비한 평면형임피던스측정센서; 및An impedance probe connected to the impedance measuring device by two lines; and a planar impedance measurement sensor provided with an impedance probe pad on one substrate; and
상기 평면형임피던스측정센서에는 테두리에 자석을 구비하여 측정대상 부품의 표면에 부착 가능한 것을 특징으로 하는 코팅된 내열 부품의 임피던스 측정기를 제공한다.The planar impedance measurement sensor provides an impedance measuring device for coated heat-resistant parts, which is equipped with a magnet on the edge and can be attached to the surface of the part to be measured.
또한, 상기 코팅된 내열 부품의 임피던스 측정기에는 GPS 위치측정기를 더 구비하여 측정 시 측정위치를 함께 보관함으로써 재측정 시 GPS 위치에 기반하여 저장된 측정결과 및 측정시간을 현재 측정결과와 동시에 표시되는 것을 특징으로 하는 코팅된 내열 부품의 임피던스 측정기를 제공한다. In addition, the impedance measuring instrument of the coated heat-resistant part is further equipped with a GPS position measuring device to store the measurement position during measurement, so that when re-measurement, the stored measurement results and measurement time based on the GPS location are displayed simultaneously with the current measurement result. Provides an impedance measuring device for coated heat-resistant components.
또한, 상기 GPS 위치측정기는 상기 평면형임피던스측정센서에 구비되는 것을 특징으로 하는 코팅된 내열 부품의 임피던스 측정기를 제공한다. In addition, the GPS location measuring device provides an impedance measuring device for coated heat-resistant parts, characterized in that it is provided on the planar impedance measuring sensor.
또한, 상기 코팅된 내열 부품의 임피던스 측정기를 이용한 내열 부품의 열화검사에 있어서, In addition, in the inspection of deterioration of heat-resistant parts using an impedance meter of the coated heat-resistant parts,
상기 임피던스 측정기로 내열 부품이 사용되기 전의 임피던스를 측정하여 측정시의 위치정보와 측정간 정보와 함께 측정된 임피던스가 함께 저장되는 내열 부품의 초기 임피던스 측정 및 저장단계; 및 A step of measuring and storing the initial impedance of the heat-resistant component in which the impedance of the heat-resistant component before it is used is measured using the impedance measuring device and the measured impedance is stored along with location information at the time of measurement and information between measurements; and
사용자의 사용 시간에 따라 정기적으로 상기 내열 부품의 임피던스를 측정하는 정기 임피던스 측정단계; 및 A regular impedance measurement step of periodically measuring the impedance of the heat-resistant component according to the user's usage time; and
상기 정기 임피던스 측정단계에서는 측정위치의 GPS 위치신호에 연동하여 기존에 측정된 임피던스 측정결과 중 가장 최초에 측정된 임피던스와 최종측정된 임피던스의 측정결과로부터 임피던스의 감소가 15% 이상이면, 상기 내열 부품의 탑코팅과 부품을 결합하여 내열 성능을 나타내는 본드 코팅의 경계면이 산화된 것으로 판단하는 것을 특징으로 하는 코팅된 내열 부품의 임피던스 측정기를 이용한 코팅된 내열 부품의 본드코팅 열화 감지방법을 제공한다. In the regular impedance measurement step, if the impedance decrease is more than 15% from the first and last measured impedance measurement results among the previously measured impedance measurement results in conjunction with the GPS location signal of the measurement location, the heat-resistant component Provides a method for detecting bond coating deterioration of coated heat-resistant parts using an impedance meter of coated heat-resistant parts, characterized in that the interface of the bond coating, which shows heat-resistant performance by combining the top coating and the part, is determined to be oxidized.
탑 코팅의 열화가 빈번하게 발생하는 경우 상기 탑코팅의 표면에 산소투과방지 코팅을 추가로 실시하여 상기 탑 코팅이 산화되는 것을 방지하는 것을 특징으로 하는 코팅된 내열 부품의 임피던스 측정기를 이용한 코팅된 내열 부품의 본드코팅 열화 감지방법을 제공한다.When deterioration of the top coating occurs frequently, an oxygen penetration prevention coating is additionally applied to the surface of the top coating to prevent oxidation of the top coating. Coated heat resistance using an impedance meter of a coated heat-resistant part. Provides a method for detecting bond coating deterioration of components.
상기와 같은 발명의 구성에 의하여 고온환경에서 사용되는 부품이 열화되어 내구성이 떨어지기 전에 부품 표면의 코팅을 보수해 줄수 있는 정보를 제공함으로써 부품을 내구 연한동안 다시 내열 코팅을 통하여 충분히 사용할 수 있도록 정보를 제공하는 효과가 있다. 또한, 기존의 경도검사와 비교하여 비파괴적이고 간단한 임피던스 측정을 통하여 검사시간과 비용을 절약할 수 있는 효과 또한 있다.By providing information that can repair the surface coating of parts used in a high-temperature environment before they deteriorate and lose durability through the configuration of the invention as described above, information is provided so that the parts can be fully used through heat-resistant coating again during their durability. It has the effect of providing. In addition, compared to existing hardness tests, there is also the effect of saving test time and costs through non-destructive and simple impedance measurement.
도 1은 기존의 증기터빈의 터빈 로터 수명을 측정하기 위하여 경도 측정기를 사용하여 터빈 로터의 수명을 측정하는 사진이다.
도 2는 고온의 환경에서 동작하는 부품의 Top 코팅이 열화되어 벗겨지는 과정을 도시하고 있는 개념도 이다.
도 3은 도2와 같이 재료에 내열 코팅을 하는 경우 코팅 표면의 임피던스 모델을 설명하기 위한 수식과 도면이다.
도 4는 본 출원 발명의 열에 의하여 탑 코팅이 산화되기 전의 임피던스 모델이다.
도 5는 본 출원 발명의 열에 의하여 탑 코팅이 산화되는 경우의 임피던스 모델이다.
도 6은 본 출원 발명의 임피던스 측정방법에 의하여 부품의 탑 코팅의 산화를 측정하는 사진이다.
도 7은 본 출원 발명의 임피던스 측정방법에 의하여 부품의 사용시간에 따른 임피던스 변화를 도시하고 있는 그래프이다.
도 8은 본 출원 발명의 임피던스 측정방법에 의하여 부품의 사용시간에 따른 임피던스 측정결과를 표로써 설명하고 있다.
도 9는 본 출원 발명의 임피던스 측정장치 사진이다.
도 10은 본 출원 발명의 제2 실시예의 임피던스 측정 프로브 개념도이다.
도 11은 본 발명의 제2 실시예에 따른 임피던스 측정 개념도를 도시하고 있다.Figure 1 is a photograph of measuring the life of a turbine rotor of an existing steam turbine using a hardness meter to measure the life of the turbine rotor.
Figure 2 is a conceptual diagram showing the process in which the top coating of components operating in a high temperature environment deteriorates and peels off.
Figure 3 is a formula and diagram to explain the impedance model of the coating surface when heat-resistant coating is applied to the material as shown in Figure 2.
Figure 4 is an impedance model before the top coating is oxidized by heat according to the invention of this application.
Figure 5 is an impedance model when the top coating is oxidized by heat according to the invention of this application.
Figure 6 is a photograph measuring oxidation of the top coating of a part by the impedance measurement method of the invention of this application.
Figure 7 is a graph showing the impedance change according to the usage time of the component according to the impedance measurement method of the invention of this application.
Figure 8 illustrates in a table the impedance measurement results according to the usage time of the component by the impedance measurement method of the invention of this application.
Figure 9 is a photograph of the impedance measuring device of the invention of this application.
Figure 10 is a conceptual diagram of an impedance measurement probe of the second embodiment of the invention of this application.
Figure 11 shows a conceptual diagram of impedance measurement according to the second embodiment of the present invention.
본 출원 발명의 작용효과를 도면을 활용하여 설명하면 다음과 같다.The effects of the invention of this application are explained using the drawings as follows.
도 1은 기존의 증기터빈의 터빈 로터 수명을 측정하기 위하여 경도 측정기를 사용하여 터빈 로터의 수명을 측장하는 사진이다. 고온의 환경에서 동작하는 터빈 로터의 경우 일정시간 이상 사용하면 내열 코팅이 벗겨지고, 내열 코팅이 손상된 시기부터는 로터의 재료가 열 충격을 받아 경화되어 작은 충격에도 깨어질 수 있다. 이러한 것을 확인하기 위하여 정기적으로 터빈 로터의 경도를 측정하고 있다. 사진에서 보는 것과 같이 측정장비도 크고 측정을 위한 장비의 세팅도 정확해야하므로 많은 시간과 비용이 소요된다.Figure 1 is a photograph of measuring the life of a turbine rotor of an existing steam turbine using a hardness meter to measure the life of the turbine rotor. In the case of a turbine rotor operating in a high temperature environment, the heat-resistant coating peels off when used for more than a certain period of time, and when the heat-resistant coating is damaged, the rotor material hardens through thermal shock and may break even with a small impact. To check this, the hardness of the turbine rotor is regularly measured. As you can see in the picture, the measuring equipment is large and the settings for the measuring equipment must be accurate, so a lot of time and money are spent.
도 2는 고온의 환경에서 동작하는 부품의 Top 코팅(내열코팅)이 벗겨지는 과정을 도시하고 있는 개념도 이다. 부품을 구성하는 재질 또는 재료가 있고 여기에 내열코팅을 하기위한 본드코팅을 하고 그 위에 탑코팅이라고도 하는 내열코팅을 하여 열이 재료에 바로 전달되지 않고 발산되도록 하고 있다. 그러나, 고온환경에서 부품을 사용하면, 부품의 표면에 지속적으로 열이전달되고 이 열에 의하여 재료에 열이 전달되는 것을 막는 탑코팅이 사용에 따라 열화된다.Figure 2 is a conceptual diagram showing the process of peeling off the top coating (heat-resistant coating) of components operating in a high temperature environment. There is a material or material that makes up the part, and a bond coating for heat-resistant coating is applied to it, and a heat-resistant coating, also called a top coating, is applied on top of it to ensure that heat is dissipated rather than directly transferred to the material. However, when a part is used in a high temperature environment, heat is continuously transferred to the surface of the part, and the top coating, which prevents heat from being transferred to the material, deteriorates with use.
도 3은 도2와 같이 재료에 내열 코팅(탑코팅)을 하는 경우의 코팅 표면의 임피던스 모델을 설명하기 위한 수식과 도면이다. 도2와 같이 여러층의 코팅이 순차적으로 연결된 것은 캐패시터의 직렬연결과 같다. 따라서 이를 모델링한 것이 도3의 도면이다.Figure 3 is a formula and diagram to explain the impedance model of the coating surface when heat-resistant coating (top coating) is applied to the material as shown in Figure 2. As shown in Figure 2, the sequential connection of multiple layers of coating is the same as the series connection of capacitors. Therefore, the drawing in Figure 3 is a modeling of this.
도 4는 본 출원 발명은 외부의 고온의 열에 의하여 탑코팅과 내부 본드 코팅 사이에 탑코팅이 산화되기 전의 임피던스 모델이다. 최초 부품이 사용되기 전의 임퍼던스 측정결과이다. 산화층 없어 부품의 표면에 탑코팅이 잘 형성되어 있다.Figure 4 is an impedance model before the top coating is oxidized between the top coating and the internal bond coating by external high temperature heat. This is the impedance measurement result before the first component was used. There is no oxidation layer, so the top coating is well formed on the surface of the part.
도 5는 본 출원 발명의 열에 의하여 탑코팅과 내부 본드 코팅의 결합부위에서 열에 의한 산화가 발생되는 경우의 임피던스 모델이다. 탑코팅과 본드코팅 사이에 열화가 진행된 것을 볼 수 있다. 이렇게 내열코팅(탑코팅)의 산화가 진행되면 탑코팅이 손상되어 부품이 고온에 의한 경화가 진행된다.Figure 5 is an impedance model in the case where thermal oxidation occurs at the joint site between the top coating and the internal bond coating due to heat according to the invention of the present application. You can see that deterioration has progressed between the top coating and the bond coating. When oxidation of the heat-resistant coating (top coating) progresses in this way, the top coating is damaged and the component hardens due to high temperature.
도 6은 본 출원 발명의 임피던스 측정방법에 의하여 부품의 탑코팅과 내부 본드 코팅 사이에서 산화가 진행되는 것을 실제로 측정하는 사진이다. 본 출원 발명의 임피던스 측정장치를 이용하여 부품의 임피던스를 측정하는 사진이다. 사용시간에 따라 탑코팅과 본드코팅 사이에서 열화가 진행되면 임피던스가 낮아지는 특성이 있다.Figure 6 is a photograph of actually measuring oxidation progressing between the top coating and internal bond coating of a component by the impedance measurement method of the invention of this application. This is a photo of measuring the impedance of a part using the impedance measuring device of the invention of this application. As deterioration progresses between the top coating and bond coating depending on the usage time, the impedance decreases.
도 7은 본 출원 발명의 임피던스 측정방법에 의하여 부품의 사용시간에 따른 임피던스 변화를 도시하고 있는 그래프이다. 본 출원 발명의 효과를 확인할 수 있는 도표이다. 6000시간이 지난 후에는 임피던스의 변화가 거의 없는 것을 알 수 있다. 내열코팅인 탑코팅의 열화가 완전히 진행된 것으로 판단된다.Figure 7 is a graph showing the impedance change according to the usage time of the component according to the impedance measurement method of the invention of this application. This is a chart that confirms the effect of the invention of this application. It can be seen that there is almost no change in impedance after 6000 hours. It is believed that the heat-resistant top coating has completely deteriorated.
도 8은 본 출원 발명의 임피던스 측정방법에 의하여 부품의 사용시간에 따른 임피던스 변화를 표로써 설명하고 있다. 탑 코팅이 완전히 열화되면 최초 임피던스의 15%정도가 적어진 것으로 판단된다. 만약 내열코팅의 두께가 두꺼워 질수록 최초 임피던스와 변화폭이 커질 수 있을 것으로 판단된다.Figure 8 illustrates in a table the impedance change according to the usage time of the component according to the impedance measurement method of the invention of this application. When the top coating is completely deteriorated, it is believed that about 15% of the initial impedance decreases. It is believed that as the thickness of the heat-resistant coating increases, the initial impedance and change range can increase.
도 9는 본 출원 발명의 임피던스 측정장치 사진이다. 임피던스프로브와 임피던스프로브패드가 구비된 것을 확인할 수 있다.Figure 9 is a photograph of the impedance measuring device of the invention of this application. You can see that an impedance probe and an impedance probe pad are provided.
도 10은 본 출원 발명의 제2 실시예의 임피던스 측정 프로브 개념도이다. 측정 대상부품이 크거나, 부품의 후방으로 임피던스프로브패드를 부착하기 어려운 경우에 사용할 수 있는 형태이다. 2개의 전극을 모두 PCB 기판위에 실장하여, 센서보드를 한 쪽면에서만 부착하여도 임피던스를 측정할 수 있다. 상기 PCB 기판의 테두리에 자석을 구하여, 금속 재료의 임피던스를 측정하는 경우 상기 자석을 이용하여 센서보드를 측정하고자하는 부품의 표면에 붙여둠으로써 편리하게 임피던스를 측정할 수 있다.Figure 10 is a conceptual diagram of an impedance measurement probe of the second embodiment of the present invention. This type can be used when the part to be measured is large or it is difficult to attach an impedance probe pad to the rear of the part. By mounting both electrodes on a PCB board, impedance can be measured by attaching the sensor board to only one side. When measuring the impedance of a metal material by obtaining a magnet on the edge of the PCB board, the impedance can be conveniently measured by attaching the sensor board to the surface of the component to be measured using the magnet.
한편 상기 센서 보드에는 GPS 수신부를 더 구비하여 둘 수 있다. 작은 부품이나 장치의 경우 사용장소가 이동될 수 있으나, 대형장치나 부품의 경우 위치를 이동하지 않고 사용하는 경우가 대부분이다. 이렇게 위치를 이동하기 어려운 장치들의 경우 측정 시 측정 값과 함께 측정위치를 저장함으로써 비교해야하는 측정값들이 동일위치에서 측정된 경우 자동으로 표시되어 계산할 수 있도록 할 수 있다. 즉, 측정 위치에 기반하여 최초 또는 최근의 측정값과 현재 측정값을 자동으로 비교하여 표시할 수 있도록 할 수 있다.Meanwhile, the sensor board may further include a GPS receiver. In the case of small parts or devices, the location of use may be moved, but in the case of large devices or parts, they are mostly used without moving the location. In the case of devices that are difficult to move, the measurement location can be saved along with the measurement value during measurement, so that measurement values to be compared can be automatically displayed and calculated if they are measured at the same location. That is, based on the measurement location, the first or most recent measurement value and the current measurement value can be automatically compared and displayed.
본 임피던스 기반의 내열코팅 열화측정 장치와 방법은 최초 또는 지난 측정값과의 비교가로 더욱 쉽게 열화를 감지할 수 있기 때문에 고정된 위치에서 장치를 사용하는 경우에 상기 GPS를 이용하여 위치기반의 저장된 측정데이터를 표시한다면 더욱 편리하게 기존의 측정값과 비교할 수 있다. 아울러 저장시의 데이터 레이블을 이용하여 데이터를 불러올 수 있음은 당연하다. 지난 측정값이 없는 경우에는 재료가 표면에 노출된 위치의 임피던스를 측정하고, 측정부의 임피던스가 상기 재료가 노출된 표면의 임피던스 보다 얼마나 높은지 측정하여 내열코팅의 산화정도를 예측할 수 있다.This impedance-based heat-resistant coating deterioration measurement device and method can more easily detect deterioration by comparing it with the first or past measurement value, so when the device is used in a fixed location, location-based stored information is stored using the GPS. If you display measured data, you can more conveniently compare it with existing measured values. In addition, it is natural that data can be retrieved using the data label when saved. If there is no previous measurement value, the degree of oxidation of the heat-resistant coating can be predicted by measuring the impedance at the location where the material is exposed to the surface and measuring how much higher the impedance of the measuring part is than the impedance of the surface where the material is exposed.
도 11은 본 발명의 제2 실시예에 따른 임피던스 측정 개념도를 도시하고 있다. 중앙에 구비된 전극에서 화살표와 같이 코팅된 부품에 전기장이 형성되어 임피던스를 측정할 수 있다.Figure 11 shows a conceptual diagram of impedance measurement according to the second embodiment of the present invention. An electric field is formed in the coated part as shown by the arrow from the electrode provided in the center, allowing impedance to be measured.
또한, 상기 부품이 고온의 환경에서 사용되는 경우 부품의 열화를 방지하기위하여 부품의 표면에 본드코팅을한후 탑코팅(내열)을 하는 것이 일반적이다. 이러한 탑코팅의 열화를 방지하기위하여, 상기 탑코팅표면에 산소투과 방지코팅을 추가하거나, 본드코팅과 탑코팅 사이에 추가함으로써 열화를 좀 더 늦출 수 있다. 이렇게 코팅이 추가된 경우에는 전체 임피던스 측정값이 높아질 것을 감안하여 측정값을 분석하여야 할 것이다. 이러한 경우에도 15%의 임피던스 값이 떨어진다면 상기 본드코팅이 열화된 것으로 판단한다. 그럼에도 10% 이상의 임피던스 값이 떨어진 이후에는 부품이 열화될 수 있어 추가 내열 코팅을 하는 것이 바람직하다.Additionally, when the part is used in a high temperature environment, it is common to apply a top coating (heat resistance) after bond coating on the surface of the part to prevent deterioration of the part. In order to prevent such deterioration of the top coating, the deterioration can be further slowed by adding an oxygen permeation prevention coating to the surface of the top coating or adding it between the bond coating and the top coating. If a coating is added like this, the measured value should be analyzed considering that the overall impedance measured value will be higher. Even in this case, if the impedance value drops by 15%, it is determined that the bond coating has deteriorated. Nevertheless, after the impedance value drops by more than 10%, the component may deteriorate, so it is advisable to apply additional heat-resistant coating.
상기와 같은 작용효과는 나타내기 위한 발명의 구성은 다음과 같다. The structure of the invention to achieve the above-mentioned effects is as follows.
임피던스 값을 표시하는 디스플레이를 구비한 임피던스 측정기; 및An impedance meter having a display showing the impedance value; and
상기 임피던스 측정기에 연결되어 부품의 임피던스를 측정하기 위하여 부품의 표면에 연결되는 임피던스프로부; 및An impedance probe connected to the impedance measuring device and connected to the surface of the component to measure the impedance of the component; and
상기 임피던스 측정기와 연결되고, 상기 부품의 뒤편에 연결되어 상기 임피던스프로부와 함께 상기 부품의 임피던스를 측정하는 임프던스프로부패드를 구비한 것을 특징으로 하는 코팅된 내열 부품의 임피던스 측정기를 제공한다.An impedance measuring device for a coated heat-resistant component is provided, which is connected to the impedance measuring device and has an impedance probe pad connected to the back of the component to measure the impedance of the component together with the impedance probe unit. .
또한, 상기 코팅된 내열 부품의 임피던스 측정기를 이용한 내열 부품의 열화검사에 있어서,In addition, in the inspection of deterioration of heat-resistant parts using an impedance meter of the coated heat-resistant parts,
상기 임피던스 측정기로 내열 부품이 사용되기 전의 임피던스를 측정하는 내열 부품의 초기 임피던스 측정 및 저장단계; 및Measuring and storing the initial impedance of the heat-resistant component by measuring the impedance before the heat-resistant component is used with the impedance meter; and
사용 시간에 따라 정기적으로 상기 내열 부품의 임피던스를 측정하는 정기 임피던스 측정단계; 및A regular impedance measurement step of periodically measuring the impedance of the heat-resistant component according to usage time; and
상기 정기 임피던스 측정단계에서 측정된 임피던스의 감소가 15% 이상이면 상기 내열 부품의 탑 코팅이 산화된 것으로 판단하는 것을 특징으로 하는 코팅된 내열 부품의 임피던스 측정기를 이용한 코팅된 내열 부품의 본드코팅 열화 감지방법을 제공한다.Detection of bond coating deterioration of coated heat-resistant parts using an impedance meter of coated heat-resistant parts, characterized in that it is determined that the top coating of the heat-resistant part is oxidized if the decrease in impedance measured in the regular impedance measurement step is 15% or more. Provides a method.
또 다른 실시예로 상기 코팅된 내열부품이 두껍거나 뒷면에 임피던스프로브패드를 연결하기 어려운 경우에 사용할 수있도록 제2실시예의 임피던스 측정 프로브를 구비한 코팅된 내열 부품의 임피던스 측정기를 제공한다. In another embodiment, an impedance measuring device for a coated heat-resistant component equipped with the impedance measurement probe of the second embodiment is provided so that it can be used when the coated heat-resistant component is thick or it is difficult to connect an impedance probe pad to the back.
임피던스 값을 표시하는 디스플레이를 구비한 임피던스 측정기; 및 An impedance meter having a display showing the impedance value; and
상기 임피던스 측정기와 2선으로 연결된 임피던스프로부; 및 임피던스프로부패드를 하나의 기판위에 구비한 평면형임피던스측정센서; 및An impedance probe connected to the impedance measuring device by two lines; and a planar impedance measurement sensor provided with an impedance probe pad on one substrate; and
상기 평면형임피던스측정센서에는 테두리에 자석을 구비하여 측정대상 부품의 표면에 부착 가능한 것을 특징으로 하는 코팅된 내열 부품의 임피던스 측정기를 제공한다.The planar impedance measurement sensor provides an impedance measuring device for coated heat-resistant parts, which is equipped with a magnet on the edge and can be attached to the surface of the part to be measured.
또한, 상기 코팅된 내열 부품의 임피던스 측정기에는 GPS 위치측정기를 더 구비하여 측정 시 측정위치를 함께 보관함으로써 재측정 시 GPS 위치에 기반하여 저장된 측정결과 및 측정시간을 현재 측정결과와 동시에 표시되는 것을 특징으로 하는 코팅된 내열 부품의 임피던스 측정기를 제공한다.In addition, the impedance measuring instrument of the coated heat-resistant part is further equipped with a GPS position measuring device to store the measurement position during measurement, so that when re-measurement, the stored measurement results and measurement time based on the GPS location are displayed simultaneously with the current measurement result. Provides an impedance measuring device for coated heat-resistant components.
또한, 상기 GPS 위치측정기는 상기 평면형임피던스측정센서에 구비되는 것을 특징으로 하는 코팅된 내열 부품의 임피던스 측정기를 제공한다.In addition, the GPS location measuring device provides an impedance measuring device for coated heat-resistant parts, characterized in that it is provided on the planar impedance measuring sensor.
또한, 상기 코팅된 내열 부품의 임피던스 측정기를 이용한 내열 부품의 열화검사에 있어서,In addition, in the inspection of deterioration of heat-resistant parts using an impedance meter of the coated heat-resistant parts,
상기 임피던스 측정기로 내열 부품이 사용되기 전의 임피던스를 측정하여 측정시의 위치정보와 측정간 정보와 함께 측정된 임피던스가 함께 저장되는 내열 부품의 초기 임피던스 측정 및 저장단계; 및A step of measuring and storing the initial impedance of the heat-resistant component in which the impedance of the heat-resistant component before it is used is measured using the impedance measuring device and the measured impedance is stored along with location information at the time of measurement and information between measurements; and
사용자의 사용 시간에 따라 정기적으로 상기 내열 부품의 임피던스를 측정하는 정기 임피던스 측정단계; 및A regular impedance measurement step of periodically measuring the impedance of the heat-resistant component according to the user's usage time; and
상기 정기 임피던스 측정단계에서는 측정위치의 GPS 위치신호에 연동하여 기존에 측정된 임피던스 측정결과 중 가장 최초에 측정된 임피던스와 최종측정된 임피던스의 측정결과로부터 임피던스의 감소가 15% 이상이면, 상기 내열 부품의 탑코팅과 부품을 결합하여 내열 성능을 나타내는 본드 코팅의 경계면이 산화된 것으로 판단하는 것을 특징으로 하는 코팅된 내열 부품의 임피던스 측정기를 이용한 코팅된 내열 부품의 본드코팅 열화 감지방법을 제공한다.In the regular impedance measurement step, if the impedance decrease is more than 15% from the first and last measured impedance measurement results among the previously measured impedance measurement results in conjunction with the GPS location signal of the measurement location, the heat-resistant component Provides a method for detecting bond coating deterioration of coated heat-resistant parts using an impedance meter of coated heat-resistant parts, characterized in that the interface of the bond coating, which shows heat-resistant performance by combining the top coating and the part, is determined to be oxidized.
열화가 빈번하게 발생하는 경우 상기 탑코팅의 표면에 산소투과방지 코팅을 추가로 실시하여 상기 탑 코팅이 산화되는 것을 방지하는 것을 특징으로 하는 코팅된 내열 부품의 임피던스 측정기를 이용한 코팅된 내열 부품의 본드코팅 열화 감지방법을 제공한다.Bonding of coated heat-resistant parts using an impedance meter of coated heat-resistant parts, characterized in that when deterioration occurs frequently, an oxygen penetration prevention coating is additionally applied to the surface of the top coating to prevent oxidation of the top coating. Provides a method for detecting coating deterioration.
200 : 평면형임피던스측정센서
210 : 기판
300 : 임피던스프로브
310 : 임피던스프로브패드
400 : 자석1
410 : 자석2
500 : 임피던스측정기200: Planar impedance measurement sensor
210: substrate
300: Impedance probe
310: Impedance probe pad
400: Magnet 1
410: Magnet 2
500: Impedance meter
Claims (4)
상기 임피던스 측정기에 연결되어 부품의 임피던스를 측정하기 위하여 부품의 표면에 연결되는 임피던스프로부; 및
상기 임피던스 측정기와 연결되고, 상기 부품의 뒤편에 연결되어 상기 임피던스프로부와 함께 상기 부품의 임피던스를 측정하는 임프던스프로부패드를 구비한 것을 특징으로 하는 코팅된 내열 부품의 임피던스 측정기.An impedance meter having a display showing the impedance value; and
An impedance probe connected to the impedance measuring device and connected to the surface of the component to measure the impedance of the component; and
An impedance measuring device for a coated heat-resistant component, characterized in that it is connected to the impedance measuring device and has an impedance probe pad connected to the back of the component to measure the impedance of the component together with the impedance probe portion.
상기 임피던스 측정기로 내열 부품이 사용되기 전의 임피던스를 측정하는 내열 부품의 초기 임피던스 측정 및 저장단계; 및
사용 시간에 따라 정기적으로 상기 내열 부품의 임피던스를 측정하는 정기 임피던스 측정단계; 및
상기 정기 임피던스 측정단계에서 측정된 임피던스의 감소가 15% 이상이면 상기 내열 부품의 탑 코팅이 산화된 것으로 판단하는 것을 특징으로 하는 코팅된 내열 부품의 임피던스 측정기를 이용한 코팅된 내열 부품의 본드코팅 열화 감지방법.In the inspection of deterioration of heat-resistant parts using the impedance meter of the coated heat-resistant parts of claim 1,
Measuring and storing the initial impedance of the heat-resistant component by measuring the impedance before the heat-resistant component is used with the impedance meter; and
A regular impedance measurement step of periodically measuring the impedance of the heat-resistant component according to usage time; and
Detection of bond coating deterioration of coated heat-resistant parts using an impedance meter of coated heat-resistant parts, characterized in that it is determined that the top coating of the heat-resistant part is oxidized if the decrease in impedance measured in the regular impedance measurement step is 15% or more. method.
상기 임피던스 측정기와 2선으로 연결된 임피던스프로부; 및 임피던스프로부패드를 하나의 기판위에 구비한 평면형임피던스측정센서; 및
상기 평면형임피던스측정센서에는 테두리에 자석을 구비하여 측정대상 부품의 표면에 부착 가능한 것을 특징으로 하는 코팅된 내열 부품의 임피던스 측정기.An impedance meter having a display showing the impedance value; and
An impedance probe connected to the impedance measuring device by two lines; and a planar impedance measurement sensor provided with an impedance probe pad on one substrate; and
An impedance measuring device for coated heat-resistant parts, characterized in that the planar impedance measurement sensor is equipped with a magnet on the edge and can be attached to the surface of the part to be measured.
상기 임피던스 측정기로 내열 부품이 사용되기 전의 임피던스를 측정하여 측정시의 위치정보와 측정간 정보와 함께 측정된 임피던스가 함께 저장되는 내열 부품의 초기 임피던스 측정 및 저장단계; 및
사용자의 사용 시간에 따라 정기적으로 상기 내열 부품의 임피던스를 측정하는 정기 임피던스 측정단계; 및
상기 정기 임피던스 측정단계에서는 측정위치의 GPS 위치신호에 연동하여 기존에 측정된 임피던스 측정결과 중 가장 최초에 측정된 임피던스와 최종측정된 임피던스의 측정결과로부터 임피던스의 감소가 15% 이상이면, 상기 내열 부품의 탑코팅과 부품을 결합하여 내열 성능을 나타내는 본드 코팅의 경계면이 산화된 것으로 판단하는 것을 특징으로 하는 코팅된 내열 부품의 임피던스 측정기를 이용한 코팅된 내열 부품의 본드코팅 열화 감지방법.
In the inspection of deterioration of heat-resistant parts using the impedance meter of the coated heat-resistant parts of claim 3,
A step of measuring and storing the initial impedance of the heat-resistant component in which the impedance of the heat-resistant component before it is used is measured using the impedance measuring device and the measured impedance is stored along with location information at the time of measurement and information between measurements; and
A regular impedance measurement step of periodically measuring the impedance of the heat-resistant component according to the user's usage time; and
In the regular impedance measurement step, if the impedance decrease is more than 15% from the first and last measured impedance measurement results among the previously measured impedance measurement results in conjunction with the GPS location signal of the measurement location, the heat-resistant component A method for detecting bond coating deterioration of coated heat-resistant parts using an impedance meter of coated heat-resistant parts, characterized in that the interface of the bond coating, which shows heat-resistant performance by combining the top coating and the part, is determined to be oxidized.
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Citations (2)
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| KR101983802B1 (en) | 2017-11-14 | 2019-09-03 | 국방과학연구소 | Apparatus for measuring permittivity of doping layer using meta-material, Method thereof, and Computer readable storage medium having the method |
| KR20220078723A (en) | 2017-12-15 | 2022-06-10 | 램 리써치 코포레이션 | Ex situ coating of chamber components for semiconductor processing |
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Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101983802B1 (en) | 2017-11-14 | 2019-09-03 | 국방과학연구소 | Apparatus for measuring permittivity of doping layer using meta-material, Method thereof, and Computer readable storage medium having the method |
| KR20220078723A (en) | 2017-12-15 | 2022-06-10 | 램 리써치 코포레이션 | Ex situ coating of chamber components for semiconductor processing |
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