KR20230171804A - 정전척 표면 형상 검사 방법 및 장치 - Google Patents

정전척 표면 형상 검사 방법 및 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 정전척 표면 형상 검사 방법 및 장치에 관한 것으로, 본 발명의 일 실시예에 의한 모아레 기법을 이용한 정전척의 표면 형상에 대한 검사를 하기 위한 방법은, 상기 정전척에 패턴 광을 조사하는 제1 단계; 상기 패턴이 형성된 상기 정전척을 촬영하여 패턴 이미지를 획득하는 제2 단계; 및 상기 정전척의 표면 형상에 대한 변화를 판단하기 위해 상기 획득된 패턴 이미지를 분석하는 제3 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

정전척 표면 형상 검사 방법 및 장치{METHOD AND APPARATUS FOR SHAPE INSPECTION OF ELECTROSTATIC CHUCK SURFACE}
본 발명은 정전척 표면 형상 검사 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 모아레(Moire) 기법을 이용하여 정전척의 표면 형상 변화를 공정 전 또는 공정 중에 실시간으로 확인하는 검사 방법 및 검사 장치에 관한 것이다.
정전척(ESC; Electrostatic Chuck)은 반도체 및 디스플레이 제조장비의 진공챔버 내부에서 기판이나 유리 패널을 일정한 위치에 고정시키기 위해 사용된다. 이러한 정전척 표면은 정전척과 기판의 접촉 특성을 결정하는 중요한 요인이다. 정전척은 제조 공정이 진행될수록 고온 환경에서 야기되는 열응력이나 열팽창계수 차이와 같은 요인들로 인하여 표면 형상이 변형되거나 평탄도가 저하된다. 이러한 문제점으로 인하여, 기판을 잡는 힘, 즉 척력(Chucking Force)이 약해지기도 하고, 기판을 냉각시키는 헬륨(He) 가스가 누설되거나, 반도체 소자의 패턴의 선폭(CD; Critical Dimension)이 달라지는 등과 같은 다양한 불량 요인들이 발생하게 된다. 이와 같이 정전척의 성능 저하가 발생하게 되면, 기판에 영향을 미치게 되고 반도체 소자의 수율 역시 감소하게 된다.
이러한 문제를 해결하기 위해 정전척의 표면 형상의 변화를 측정하는 것이 필요하다. 정전척의 표면 형상 변화는 3차원 좌표 측정기(CCM; Coordinate Measuring Machine)를 이용하여 측정할 수 있다. 3차원 좌표 측정기는 X축을 좌우 방향으로, Y축을 전후 방향으로, Z축을 상하 방향으로 하여 다양한 물체의 치수와 형상을 측정할 수 있다. 그러나 3차원 좌표 측정기를 이용한 측정 방법은 좌표계의 설정에 따라 일부 구간만 측정이 가능하며, 좌표계에 따라 측정 결과가 달라지게 된다. 또한, 측정된 데이터를 가시화 하는데 오랜 시간이 소요된다. 이로 인해, 정전척 표면의 변형된 부분을 정확하게 파악하기 힘들고, 변형 부분을 실시간으로 파악하기 어려운 문제가 있다.
따라서, 정전척의 전체 표면 형상의 변화를 실시간으로 파악할 수 있는 기술이 요구된다.
대한민국특허공보 제10-2007-122014호(2007.12.28) 대한민국특허공보 제10-2014-0083470호(2014.07.04)
본 발명은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 정전척의 표면 형상의 변화를 실시간으로 확인할 수 있는 정전척 표면 형상 검사 방법 및 검사 장치를 제공하고자 한다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 이상에서 언급한 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 통상의 기술자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 모아레 기법을 이용한 정전척의 표면 형상을 검사를 하기 위한 방법은, 상기 정전척에 패턴 광을 조사하는 제1 단계; 상기 패턴 광에 의해 표면에 광 패턴이 형성된 상기 정전척을 촬영하여 패턴 이미지를 획득하는 제2 단계; 상기 정전척의 표면 형상에 대한 변화를 판단하기 위해 획득된 패턴 이미지를 분석하는 제3 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
일 실시예에서, 상기 패턴 광은 상기 정전척의 표면에 모아레 간섭 무늬를 형성할 수 있는 패턴 광일 수 있다.
일 실시예에서, 상기 패턴 광은, 백색광 및 단색광 중 어느 하나일 수 있다.
일 실시예에서, 상기 제2 단계는, 상기 정전척의 전체 영역을 촬영하여 패턴 이미지를 획득하는 단계일 수 있다.
일 실시예에서, 상기 제3 단계는, 상기 획득된 패턴 이미지와 기저장된 기준 패턴 이미지의 모아레 간섭 무늬를 비교하여 상기 정전척의 표면 형상에 대한 변화를 판단하는 단계일 수 있다.
일 실시예에서, 상기 정전척 표면 형상에 대한 변화 판단은, 정전척 표면 영역별로 수행될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 모아레 기법을 이용한 정전척의 표면 형상에 대한 변화를 검사하기 위한 장치는, 패턴 광을 상기 정전척 표면에 조사하기 위한 투영부; 상기 패턴 광에 의해 광 패턴이 형성된 상기 정전척의 표면을 촬영하기 위한 촬상부; 상기 촬상부로부터 획득한 패턴 이미지를 분석하고, 상기 정전척의 표면 형상에 대한 변화를 판단하는 영상 처리부; 및 상기 투영부 및 상기 촬상부의 구동 및 동작을 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
일 실시예에서, 상기 투영부는 광원 및 상기 광원에서 조사된 광이 투과하면서 패턴 광을 형성할 수 있도록 소정의 투과 패턴이 형성된 그리드를 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 투영부는, 상기 정전척 표면의 법선 방향에 대해 소정 각도 기울어진 방향으로 패턴 광을 조사하도록 설치될 수 있다.
일 실시예에서, 상기 투영부는, 정전척의 전체 영역에 패턴 광을 조사하도록 위치 이동 가능하게 설치될 수 있다.
일 실시예에서, 상기 영상처리부는, 상기 촬상부에서 획득한 패턴 이미지와 기저장된 기준 패턴 이미지의 모아레 간섭 무늬를 비교하여 상기 정전척의 표면 형상에 대한 변화를 판단할 수 있다.
본 발명에 의하면, 모아레(Moire) 기법을 이용하여 정전척의 표면 형상 변화를 실시간으로 확인함으로써, 정전척의 불량 요인 분석 및 불량 위치 파악이 용이하다. 이로 인해, 정전척 표면 형상 변화로 인한 기판 처리 공정 불량을 줄일 수 있다.
다만, 본 발명의 효과는 위에 언급된 것으로 제한되지 않으며, 언급하지 않은 또 다른 효과들은 아래의 도면으로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 의한 정전척 표면 형상 검사 방법의 흐름도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 정전척 표면 형상 검사 장치의 개략적인 구성도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세하게 설명하지만, 본 발명의 실시예들에 의해 한정되거나 제한되는 것은 아니다.
먼저, 명세서에서 사용되는 용어들 중 적어도 일부는 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의한 것이기에 사용자, 운용자 의도, 관례 등에 따라 달라질 수 있다. 그러므로, 그 용어에 대해서는 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 하여 해석되어야 한다.
'제1', '제2' 등의 용어는 하나의 구성요소를 다른 구성요소로 구별하기 위한 것으로, 이들 용어들에 의해 권리범위가 한정되어서는 안 된다. 예를 들어, 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.
또한, 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서, 어떤 구성 요소를 포함한다고 하는 때, 이것은 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성 요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성 요소를 더 포함할 수 있음을 의미한다. 그리고, 어떤 부분이 다른 부분과 연결(또는, 결합)된다고 하는 때, 이것은, 직접적으로 연결(또는, 결합)되는 경우뿐만 아니라, 다른 부분을 사이에 두고 간접적으로 연결(또는, 결합)되는 경우도 포함한다.
한편, 도면에서 구성 요소의 크기나 형상, 선의 두께 등은 이해의 편의상 다소 과장되게 표현되어 있을 수 있다.
본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들의 개략적인 도해를 참조하여 설명된다. 이에 따라, 상기 도해의 형상으로부터의 변화들, 예를 들면, 제작 방법 및/또는 허용 오차의 변화는 충분히 예상될 수 있는 것들이다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 도해로서 설명된 영역들의 특정 형상들에 한정된 바대로 설명되어지는 것이 아니라 형상에서의 편차를 포함하는 것이며, 도면에 설명된 요소들은 전적으로 개략적인 것이며 이들의 형상은 요소들의 정확한 형상을 설명하기 위한 것이 아니며 또한 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것도 아니다.
또한, 본 발명의 실시예를 설명하는 데 있어서, 관련된 공지 기능이나 구성에 대한 구체적 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 구체적 설명을 생략하고, 유사 기능 및 작용을 하는 부분은 도면 전체에 걸쳐 동일한 부호를 사용하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 정전척 표면 형상 검사 방법의 흐름도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 정전척 표면 형상 검사 방법은, 정전척에 패턴 광을 조사하는 제1 단계(S100); 상기 패턴 광에 의해 표면에 광 패턴이 형성된 상기 정전척의 표면을 촬영하여 패턴 이미지를 획득하는 제2 단계(S200); 및 상기 획득된 패턴 이미지를 분석하고, 상기 정전척의 표면 형상에 대한 변화를 판단하는 제3 단계(S300)를 포함한다.
제1 단계(S100)는, 상기 정전척에 패턴 광을 조사하여 정전척 표면에 광 패턴을 형성하는 단계이다. 패턴 광은 모아레(Moire) 간섭 무늬를 형성할 수 있는 패턴 광일 수 있다. 모아레 간섭 무늬는 두 개 이상의 주기적인 패턴이 겹쳐질 때 만들어지는 간섭 무늬로, 예를 들어 패턴 광은 제1 주기의 패턴과 제2 주기의 패턴이 중첩된 형태의 패턴을 가지는 패턴 광일 수 있다. 상기 패턴은 서로 다른 간격을 가지는 두 개 이상의 격자가 겹쳐진 것 일 수 있으나, 이에 한정되지 않는다. 본 발명의 패턴 광이 가지는 패턴은 모아레 간섭 무늬를 형성할 수 있는 패턴이면 족하며, 특정 패턴으로 한정되지 않는다.
패턴 광은 소정의 투과 패턴이 형성된 그리드에 광원을 비추어 형성할 수 있다. 광원으로부터 조사된 광이 그리드를 통과함으로써 정전척의 표면 전체 영역에 그리드에 형성된 투과 패턴에 대응하는 광 패턴이 형성될 수 있다. 상기 광원은 백색광 및 단색광 중 어느 하나를 이용하여 정전척 표면에 광 패턴을 형성할 수 있다.
제2 단계(S200)는, 상기 제1 단계에 의해서 광 패턴이 형성된 정전척의 표면을 촬영하여 패턴 이미지를 획득하는 단계이다. 이때, 정전척의 법선 방향에서 패턴을 촬영할 수 있으며, 정전척의 전체 영역에 대한 패턴 이미지를 얻을 수 있다. 이러한 패턴 이미지로부터 정전척의 표면 형상 정보를 획득할 수 있다.
제3 단계(S300)는, 상기 획득된 패턴 이미지를 분석하여 정전척 표면 형상에 대한 변화를 판단하는 단계이다. 여기서 패턴 이미지의 분석은, 패턴 이미지에 포함된 모아레 간섭 무늬를 분석하는 단계를 포함할 수 있다. 패턴 이미지에 포함된 모아레 간섭 무늬를 분석함으로써, 정전척 표면 형상의 변화를 판단할 수 있다. 예를 들어, 모아레 간섭 무늬의 등고선 개수, 간격, 경사각, 높이 등을 분석함으로써, 정전척 표면 영역별로 형상 변화를 검출할 수 있다.
선택적으로, 제2 단계에서 획득된 패턴 이미지와 기저장된 기준 패턴 이미지를 서로 비교하여 상기 정전척의 표면 형상에 대한 변화를 판단할 수 있다. 기준 패턴 이미지는 정전척의 표면 형상 변화를 판단하기 위해 비교 기준이 되는 패턴 이미지로서, 표면 변형이 없는 기준 상태의 정전척 표면으로부터 얻어지는 패턴 이미지일 수 있다. 예를 들어, 기준 패턴 이미지는 기판 처리 장치에 장착한 후 기판 처리 공정을 수행하기 전의 정전척으로부터 얻어진 패턴 이미지일 수 있다. 기준 패턴 이미지는 정전척 표면 형상 검사 장치에 구비된 저장부에 기억되어 있을 수 있다. 이를 위해, 제1 단계(S100) 이전에 정전척 표면에 패턴 광을 조사하고 정전척 표면에 형성된 광 패턴을 촬영하여 기준 패턴 이미지를 취득하는 단계가 선행될 수 있다.
패턴 이미지를 기준 패턴 이미지와 비교함에 있어서, 패턴 이미지의 모아레 간섭 무늬와 기준 패턴 이미지의 모아레 간섭 무늬를 비교하는 방법으로 정전척의 표면 형상 변화를 판단할 수 있다. 예를 들어, 모아레 간섭 무늬의 등고선 개수, 간격, 경사각, 높이 등의 차이를 비교하여 변형량을 산출할 수 있다. 변형량이 기설정된 임계치 이상인 경우, 정전척의 보수 또는 교체 시점으로 판단할 수 있다. 산출되는 변형량은 소정 면적 내의 모아레 간섭 무늬 등고선 개수의 변화량, 등고선 간격의 변화량, 등고선 경사각의 변화량, 등고선 높이의 변화량 등일 수 있으나, 이에 한정되지 않는다. 변형량은 제2 단계에서 획득된 패턴 이미지와 기준 패턴 이미지의 직간접적 비교를 통해 산출되는 임의의 값일 수 있다.
또한, 정전척 표면 영역 별로 변형량을 산출함으로써, 정전척 표면 전체 면적 중 표면 형상 변화가 상대적으로 큰 영역을 알 수 있다.
이러한 검사 방법은, 공정 전이나 공정 중에 패턴 광을 정전척에 조사하여 정전척의 패턴 이미지를 획득할 수 있다. 이때, 획득한 패턴 이미지를 분석하여 정전척의 표면 형상에 대한 변화를 확인할 수 있다. 그 결과 정전척의 불량 요인 분석 및 불량 위치를 바로 확인할 수 있다. 이로 인해, 정전척의 표면 형상 변화로 인한 기판 공정 불량 등의 문제를 감소시킬 수 있다.
본 발명에 따른 정전척의 표면 형상 검사 방법은 아래에서 설명할 본 발명의 일 실시예에 따른 정전척 표면 형상 검사 장치를 통해 구현할 수 있다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 의한 정전척의 표면 형상 검사 방법을 수행하기 위한 정전척 표면 형상 검사 장치의 개략적인 구성도이다.
도 2를 참조하면, 정전척 표면 형상 검사 장치는 정전척(100), 투영부(200), 촬상부(300), 영상 처리부(400) 및 제어부(500)를 포함하여 구성된다.
본 발명의 일 실시예에 따른 정전척(100)은 베이스 기재(미도시) 및 정전척 플레이트(미도시)를 포함할 수 있다. 상기 정전척(100)은 상면에 정전기력에 의해 기판을 지지하기 위해 원형 타입인 것이 바람직하지만, 이에 한정되지 않으며, 기판을 지지할 수 있으면 어떠한 형태도 가능하다.
투영부(200)는 정전척(100)의 표면에 패턴 광을 조사하기 위해 패턴부(210)와 광원(220)을 포함하여 구성될 수 있다. 투영부(200)의 패턴부(210)는 광원(220)에서 조사된 광이 투과하면서 패턴 광을 형성할 수 있도록 소정의 투과 패턴이 형성된 그리드일 수 있다. 패턴부(210)에 형성된 패턴은 서로 다른 간격을 가지는 두 개 이상의 격자가 겹쳐진 것일 수 있으나, 모아레 간섭 무늬를 형성할 수 있도록 형성된 패턴이면 특정 패턴으로 한정되지 않는다. 또한, 투영부(200)의 광원(220)에서 조사되는 광은 평행광으로서, 백색광 및 단색광 중 어느 하나를 포함하여 구성될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 의한 패턴부(210)는 그리드와는 다른 방식으로 패턴 광을 형성하는 구성일 수 있다. 예를 들어, LCD(Liquid Crystal Display) 또는 디지털 마이크로미러 디바이스(DMD; Digital Micromirror Device) 등 디지털 방식으로 패턴 광을 형성하는 구성일 수 있다.
본 발명에 일 실시예에 의하면, 정전척(100)의 표면 형상 변화를 확인하기 위해서, 정전척(100)의 상부에 투영부(200)와 촬상부(300)가 배치될 수 있다. 투영부(200)는 정전척(100)의 상부에 설치되는 촬상부(300)로부터 일정 각도 기울어진 측부에 설치될 수 있다. 투영부(200)는 정전척(100)의 전체 영역에 패턴 광을 조사하도록 위치 및 높이를 이동시킬 수 있다. 본 발명의 일 실시예에서는, 하나의 투영부(200)를 이용하여 정전척(100)의 표면 형상 변화를 관찰하는 것으로 설명하였으나, 이에 한정되는 것은 아니며 복수 개의 투영부(200)를 이용하여 정전척(100)의 표면에 패턴 광을 형성할 수 있다.
촬상부(300)는, 상기 광 패턴이 형성된 정전척(100) 표면을 촬영하여 패턴 이미지를 획득할 수 있다. 촬상부(300)는 정전척(100)의 법선 방향에 배치될 수 있다. 또한, 촬상부(300)는 촬영 영역(FOV; Field of Vision) 내에서 정전척(100)에 대한 촬영을 통해 패턴 이미지 또는 영상을 획득 가능하도록 위치가 조절되어 배치될 수 있다. 촬상부(300)는 상기 정전척(100) 표면에 형성된 광 패턴을 촬영하기 위해서 카메라(310)와 상기 정전척(100)에서 반사되는 광이 통과되는 렌즈(320)를 더 포함하여 구성될 수 있다. 상기 렌즈(320)는 상기 정전척(100)에서 소정 거리만큼 떨어진 위치 즉, 상기 카메라(310)의 하측에 배치된다. 패턴 이미지를 획득하기 위한 카메라(310)는 CCD(Charge-Coupled Device) 및 CMOS(Complementary Metal-Oxide-Semiconductor) 등을 사용할 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 일 실시예에서는 하나의 촬상부(300)를 이용하여 정전척(100)에 형성된 패턴 이미지를 촬영하는 것으로 설명하였으나 이에 한정되는 것은 아니다.
영상 처리부(400)는 촬상부(300)에서 획득한 패턴 이미지를 전달받아 처리하는 구성이다. 영상 처리부(400)는 촬상부(300)에 의해 획득된 패턴 이미지, 패턴 이미지로부터 추출된 모아레 간섭 무늬 등의 검사 이미지 또는 모아레 간섭 무늬를 이용하여 분석된 정전척(100)의 표면 형상 검사 결과 데이터 중 하나 이상을 디스플레이 수단(미도시)으로 출력할 수 있다. 일 예로, 영상 처리부(400)는 데스크톱 컴퓨터, 랩톱 컴퓨터, 스마트폰, 태블릿 PC 등 네트워크 접속이 가능한 통신 기기일 수 있으며, 이미지 데이터 처리 및 표면 형상 검사 등을 수행할 수 있는 단말기면, 그 종류에 제한을 가지지 않는다.
또한, 영상 처리부(400)는 촬상부(300)에서 획득한 패턴 이미지와 기준 이미지를 서로 비교하여 상기 정전척(100)의 표면 형상에 대한 변화를 판단할 수 있다. 기준 이미지는 영상 처리부(400) 또는 별도의 저장부에 기억되어 있을 수 있다. 정전척의 표면 형상 변화는 촬상부(300)에서 획득한 패턴 이미지와 기준 이미지의 모아레 간섭 무늬를 비교하여 판단될 수 있다. 영상 처리부(400)는 상기 비교 결과에 의해 판단된 정전척 표면 형상의 변형량을 디스플레이 수단(미도시)에 출력할 수 있다. 또한, 정전척 표면 형상의 변형량을 기설정된 임계값과 비교하여, 정전척 표면 형상의 정상 여부, 또는 정전척 보수나 교체와 관련한 메시지를 출력할 수 있다.
제어부(500)는 투영부(200) 및 촬상부(300)의 구동 및 동작을 제어할 수 있다. 제어부(500)는 정전척(100)의 표면 형상을 검사하기 위해서 투영부(200)와 촬상부(300)를 정전척(100)의 상단에 배치되도록 제어할 수 있다.
제어부(500)는 정전척(100)의 전체 영역에 대해 투영부(200)의 패턴(210)을 조사하도록 투영부(200)의 위치 및 높이를 제어할 수 있다. 또한, 정전척 표면에 형성된 광 패턴을 정전척(100)의 전체 영역에 대해 촬영할 수 있도록 촬상부(300)의 위치 및 높이 또한 제어할 수 있다.
이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서 본 발명에 기재된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상이 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호범위는 아래의 청구범위에 의해서 해석되어야하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
100 : 정전척
200 : 투영부
300 : 촬상부
400 : 영상 처리부
500 : 제어부

Claims (11)

  1. 모아레 기법을 이용한 정전척의 표면 형상에 대한 검사를 하기 위한 방법에 있어서,
    상기 정전척에 패턴 광을 조사하는 제1 단계;
    상기 패턴 광에 의해 표면에 광 패턴이 형성된 상기 정전척을 촬영하여 패턴 이미지를 획득하는 제2 단계; 및
    상기 정전척의 표면 형상에 대한 변화를 판단하기 위해 상기 획득된 패턴 이미지를 분석하는 제3 단계;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 정전척 표면 형상 검사 방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 패턴 광은, 상기 정전척의 표면에 모아레 간섭 무늬를 형성할 수 있는 패턴 광인 것을 특징으로 하는 정전척 표면 형상 검사 방법.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 패턴 광은, 백색광 및 단색광 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 정전척 표면 형상 검사 방법.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 제2 단계는, 상기 정전척의 전체 영역을 촬영하여 패턴 이미지를 획득하는 단계인 것을 특징으로 하는 정전척 표면 형상 검사 방법.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 제3 단계는, 상기 획득된 패턴 이미지와 기저장된 기준 패턴 이미지의 모아레 간섭 무늬를 비교하여 상기 정전척의 표면 형상에 대한 변화를 판단하는 것을 특징으로 하는 정전척 표면 형상 검사 방법.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 정전척 표면 형상에 대한 변화 판단은, 정전척 표면 영역별로 수행되는 것을 특징으로 하는 정전척 표면 형상 검사 방법.
  7. 모아레 기법을 이용한 정전척의 표면 형상에 대한 변화를 검사하기 위한 장치에 있어서,
    패턴 광을 상기 정전척 표면에 조사하기 위한 투영부;
    상기 패턴 광에 의해 광 패턴이 형성된 상기 정전척의 표면을 촬영하기 위한 촬상부;
    상기 촬상부로부터 획득한 패턴 이미지를 분석하고, 상기 정전척의 표면 형상에 대한 변화를 판단하는 영상 처리부; 및
    상기 투영부 및 상기 촬상부의 구동 및 동작을 제어하는 제어부;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 정전척 표면 형상 검사 장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 투영부는, 광원 및 상기 광원에서 조사된 광이 투과하면서 패턴 광을 형성할 수 있도록 소정의 투과 패턴이 형성된 그리드를 포함하는 것을 특징으로 하는 정전척 표면 형상 검사 장치.
  9. 제7항에 있어서,
    상기 투영부는, 상기 정전척 표면의 법선 방향에 대해 소정 각도 기울어진 방향으로 패턴 광을 조사하도록 설치되는 것을 특징으로 하는 정전척 표면 형상 검사 장치.
  10. 제7항에 있어서,
    상기 투영부는, 정전척의 전체 영역에 패턴 광을 조사하도록 위치 이동 가능하게 설치되는 것을 특징으로 하는 정전척 표면 형상 검사 장치.
  11. 제7항에 있어서,
    상기 영상 처리부는, 상기 촬상부에서 획득한 패턴 이미지와 기저장된 기준 패턴 이미지의 모아레 간섭 무늬를 비교하여 상기 정전척의 표면 형상에 대한 변화를 판단하는 것을 특징으로 하는 정전척 표면 형상 검사 장치.
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