KR20230164183A - 압전 구동 장치 및 이를 구비한 압전 구동 시스템 - Google Patents

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KR20230164183A
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마사르 우노
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베이징 시아오미 모바일 소프트웨어 컴퍼니 리미티드
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Abstract

압전 구동 장치는 프레임, 제1 압전 소자, 제2 압전 소자, 및 작동부를 포함하되, 프레임은 변형부를 포함하고, 변형부는 제1 사이드 암, 제1 사이드 암과 대향하는 제2 사이드 암 및 제1 사이드 암과 제2 사이드 암을 연결하는 하단 암을 포함하며, 제1 사이드 암과 제2 사이드 암은 하단 암에 대해 서로를 향해 기울어져 있으며; 제1 압전 소자는 프레임과 변형부의 제1 사이드 암 사이에 설치되고, 제2 압전 소자는 프레임과 변형부의 제2 사이드 암 사이에 설치되며, 제1 압전 소자와 제2 압전 소자는 변형부를 변형시키도록 구성되며; 작동부는 변형부의 하단 암에 설치되고, 변형부의 변형에 따라 구동되어 이동하도록 구성된다.

Description

압전 구동 장치 및 이를 구비한 압전 구동 시스템
본 출원은 압전 구동 기술 분야에 관한 것으로, 구체적으로 압전 구동 장치 및 이를 구비한 압전 구동 시스템에 관한 것이다.
관련 기술에서, 압전 구동 시스템은 일반적으로 두 가지 유형이 있다. 하나는 USM 유형이고, 다른 하나는 SIDM 유형이다. USM 유형의 압전 구동 시스템은 복잡하고 비싸고, 생성하는 스트로크가 매우 작다. 반면에, SIDM 유형의 압전 구동 시스템은 카운터웨이트와 샤프트를 필요로 하기 때문에, 구조적으로 복잡하다. 또한, SIDM 유형의 압전 구동 시스템의 제어 방법은 압전 소자의 변형 속도를 정밀하게 제어해야 하기 때문에 매우 어렵다.
따라서, 관련 기술에서 상술한 기술적 과제 중 적어도 하나를 해결하기 위해, 압전 구동 장치 및 압전 구동 시스템을 제안할 필요가 있다.
이를 위해, 본 출원의 제1 측면 실시예는 압전 구동 장치를 제공하고, 프레임, 제1 압전 소자, 제2 압전 소자, 및 작동부를 포함하되, 상기 프레임은 변형부를 포함하고, 상기 변형부는 제1 사이드 암, 상기 제1 사이드 암과 대향하는 제2 사이드 암 및 상기 제1 사이드 암과 상기 제2 사이드 암을 연결하는 하단 암을 포함하며, 상기 제1 사이드 암과 상기 제2 사이드 암은 상기 하단 암에 대해 서로를 향해 기울어져 있으며; 상기 제1 압전 소자는 상기 프레임과 상기 변형부의 상기 제1 사이드 암 사이에 설치되고, 상기 제2 압전 소자는 상기 프레임과 상기 변형부의 상기 제2 사이드 암 사이에 설치되며, 상기 제1 압전 소자와 상기 제2 압전 소자는 상기 변형부를 변형시키도록 구성되며; 상기 작동부는 상기 변형부의 상기 하단 암에 설치되고, 상기 변형부의 변형에 따라 구동되어 이동하도록 구성된다.
일부 실시예에서, 상기 제1 압전 소자는 상기 프레임에 연결된 제1단 및 상기 변형부의 상기 제1 사이드 암에 연결된 제2단을 구비하고, 상기 제1 압전 소자는 팽창 또는 수축하여 상기 변형부를 변형시키도록 구성되며; 상기 제2 압전 소자는 상기 프레임에 연결된 제1단 및 상기 변형부의 상기 제2 사이드 암에 연결된 제2단을 구비하고, 상기 제2 압전 소자는 팽창 또는 수축하여 상기 변형부를 변형시키도록 구성된다.
일부 실시예에서, 상기 제1 압전 소자의 제2단은 상기 변형부의 상기 제1 사이드 암과 형상 및 방향이 서로 매칭되고, 상기 제2 압전 소자의 제2단은 상기 변형부의 상기 제2 사이드 암과 형상 및 방향이 서로 매칭되며; 상기 변형부의 상기 제1 사이드 암에 수직하는 방향은 상기 변형부의 상기 하단 암의 연장 방향과 제1 협각으로 교차하고, 상기 변형부의 상기 제2 사이드 암에 수직하는 방향은 상기 변형부의 상기 하단 암의 연장 방향과 제2 협각으로 교차한다.
일부 실시예에서, 상기 프레임은 본체, 제1 측부 및 제2 측부를 더 포함하되, 상기 제1 측부 및 상기 제2 측부는 각각 상기 본체의 대향하는 단부로부터 연장되며, 상기 변형부는 상기 본체의 중간 부분으로부터 연장되고, 상기 제1 측부와 상기 제2 측부 사이에 위치하며, 상기 변형부는 상기 제1 측부 및 상기 제2 측부와 각각 제1 갭 및 제2 갭을 형성하고, 상기 제1 압전 소자는 상기 제1 갭에 설치되고, 상기 제2 압전 소자는 상기 제2 갭에 설치되며, 상기 제1 압전 소자의 제1단은 상기 제1 측부에 연결되고, 상기 제2 압전 소자의 제1단은 상기 제2 측부에 연결된다.
일부 실시예에서, 상기 제1 사이드 암의 제1단과 상기 제2 사이드 암의 제1단은 상기 본체에 연결되고, 상기 하단 암은 상기 제1 사이드 암의 제2단과 상기 제2 사이드 암의 제2단 사이에 연결되고, 상기 제1 사이드 암의 제1단과 상기 제2 사이드 암의 제1단은 상기 하단 암의 연장 방향에서 제1 거리로 이격되고, 상기 제1 사이드 암의 제2단과 상기 제2 사이드 암의 제2단은 상기 하단 암의 연장 방향에서 제2 거리로 이격되며, 상기 변형부가 대략 삼각형의 형상 또는 대략 "A"자의 형상을 구비하도록 상기 제1 거리는 상기 제2 거리보다 작다.
일부 실시예에서, 상기 제1 사이드 암과 상기 본체의 연결 위치에 제1 홈이 형성되고, 상기 제2 사이드 암과 상기 본체의 연결 위치에 제2 홈이 형성되고, 상기 제1 사이드 암과 상기 하단 암의 연결 위치에 제3 홈이 형성되고, 상기 제2 사이드 암과 상기 하단 암의 연결 위치에 제4 홈이 형성된다.
일부 실시예에서, 2개의 작동부가 설치되며, 각각 상기 제1 사이드 암의 제2단과 상기 제2 사이드 암의 제2단에 설치되거나; 또는, 2개의 작동부가 설치되며, 상기 하단 암에 설치되고, 각각 상기 제1 사이드 암의 제2단과 상기 제2 사이드 암의 제2단에 인접한다.
일부 실시예에서, 상기 2개의 작동부는 상기 하단 암의 연장 방향에 수직하는 상기 하단 암의 중심선에 대해 대칭된다.
일부 실시예에서, 하나의 작동부가 설치되고, 상기 하단 암에 설치되며, 바람직하게 상기 바닥벽의 표면의 중심에 설치된다.
일부 실시예에서, 상기 작동부는 상기 변형부의 상기 하단 암으로부터 돌출되고, 구형 세그먼트(spherical-segment) 형상을 구비한다.
일부 실시예에서, 상기 제1 압전 소자와 상기 제2 압전 소자는 d33 모드로 동작하도록 구성된다.
일부 실시예에서, 상기 변형부의 상기 제1 사이드 암에 수직하는 방향과 상기 변형부의 상기 하단 암의 연장 방향 사이의 제1 협각의 범위는 24도 내지 26도이고, 상기 변형부의 상기 제2 사이드 암에 수직하는 방향과 상기 변형부의 상기 하단 암의 연장 방향 사이의 제2 협각의 범위는 24도 내지 26도이다.
일부 실시예에서, 상기 변형부는 상기 프레임의 중간 부분에 설치되고 대칭 구조를 구비하며, 상기 제1 사이드 암과 상기 제2 사이드 암은 서로 대칭되고, 상기 제1 압전 소자은 상기 변형부의 대칭축에 대해 상기 제2 압전 소자와 대칭되고, 제1 협각은 제2 협각과 동일하다.
일부 실시예에서, 상기 프레임은 세라믹 재료로 제조되고, 상기 작동부는 세라믹 재료로 제조되고, 상기 프레임의 상기 변형부는 상기 작동부와 일체로 형성된다.
일부 실시예에서, 상기 제1 압전 소자는 상기 프레임 및 상기 변형부에 접착되고, 상기 제2 압전 소자는 상기 프레임 및 상기 변형부에 접착된다.
본 출원의 제2 측면 실시예는 압전 구동 시스템을 제공하고, 전술한 실시예 중 임의의 하나에 따른 압전 구동 장치, 가동 부재 및 유지 스프링을 포함하되, 상기 가동 부재는 상기 압전 구동 장치의 상기 작동부와 결합되고, 상기 작동부의 구동에 따라 이동하도록 구성되며; 상기 유지 스프링은 상기 압전 구동 장치에 설치되고, 상기 압전 구동 장치를 유지하여 상기 작동부로 하여금 상기 가동 부재를 압박하도록 한다.
본 출원의 실시예에 따른 압전 구동 장치 및 압전 구동 시스템에서, 제1 압전 소자 또는 제2 압전 소자가 통전될 때, 제1 압전 소자 또는 제2 압전 소자가 팽창하여, 변형부가 따라서 변형되므로, 작동부가 해당 방향을 따라 이동하도록 구동함으로써, 작동부는 가동 부재와 결합되어 가동 부재가 예기한 방향으로 이동하도록 구동한다. 나아가, 제1 압전 소자 또는 제2 압전 소자가 단전될 때, 제1 압전 소자 또는 제2 압전 소자가 수축하여, 변형부가 초기 형상으로 복원되므로, 작동부도 초기 위치로 복원되어, 가동 부재에 영향을 미치지 않는다. 상기와 같이 반복하여, 가동 부재는 예기한 방향을 따라 연속적으로 이동할 수 있다.
따라서, 본 출원의 실시예에 따른 압전 구동 장치 및 압전 구동 시스템은 구조가 간단하고, 제어가 편리하며, 구동 효율이 높은 장점 등을 구비한다.
본 출원에서 설명된 원통형 캐비닛 실내기의 회전 블레이드 구조의 다른 장점, 목적 및 특징은 하기의 설명에 의해 부분적으로 나타낼 것이며, 또한 본 분야의 기술자가 본 출원의 연구와 실현에 따라 부분적으로 이해할 것이다.
본 출원의 전술한 및/또는 부가적인 측면 및 장점은 이하 도면에 관련하여 실시예에 대한 설명으로부터 명백해지고 쉽게 이해될 것이다.
도 1은 본 출원의 실시예에 따른 압전 구동 장치의 개략도이다.
도 2는 도 1의 A부분의 확대도이다.
도 3은 본 출원의 실시예에 따른 압전 구동 시스템의 개략도이다.
이하, 본 출원의 실시예에 대해 상세히 설명할 것이며, 상기 실시예의 예시는 첨부된 도면에 도시된다. 처음부터 끝까지 동일하거나 유사한 부호는 동일하거나 유사한 소자 또는 동일하거나 유사한 기능을 구비한 소자를 나타낸다. 이하, 첨부된 도면을 참조하여 설명되는 실시예는 예시적이고, 단지 본 출원을 해석하기 위해 사용되고, 본 출원에 대한 제한으로 이해되어서는 안 된다.
본 출원의 설명에서, 이해해야 하는 바로는, "중심", "상", "하", "앞", "뒤", "수직", "수평", "상단", "하단", "내", "외", "축방향", "반경방향" 및 "원주방향" 등 용어에 의해 지시된 방향 또는 위치 관계는 도면에 도시된 방향 또는 위치 관계를 기준으로 한 것이며, 단지 본 출원의 설명을 편의하고 간소하게 하기 위한 것으로, 나타낸 장치 또는 소자가 특정 방향을 가져야 하고 특정 방향으로 구성 및 작동되어야 하는 것을 의미하거나 암시하는 것이 아니므로, 본 출원에 대한 한정으로 이해해서는 안 된다.
첨부된 도면을 참조하여 본 출원의 실시예에 따른 압전 구동 장치(100)를 설명한다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 압전 구동 장치(100)는 프레임(1), 제1 압전 소자(21), 제2 압전 소자(22) 및 작동부(31)를 포함한다. 프레임(1)은 변형부(13)를 포함하고, 변형부(13)는 제1 사이드 암(131), 제1 사이드 암(131)과 대향하는 제2 사이드 암(132), 및 제1 사이드 암(131)과 제2 사이드 암(132)을 연결하는 하단 암(133)을 포함하며, 제1 사이드 암(131)과 제2 사이드 암(132)은 하단 암(133)에 대해 서로를 향해 기울어져 있으며; 제1 압전 소자(21)는 프레임(1)과 변형부(13)의 제1 사이드 암(131) 사이에 설치되고, 제2 압전 소자(22)는 프레임(1)과 변형부(13)의 제2 사이드 암(132) 사이에 설치되며, 제1 압전 소자(21)와 제2 압전 소자(22)는 모두 변형부(13)를 변형시키도록 구성되며; 작동부(31)는 변형부(13)의 하단 암(133)에 설치되고, 변형부(13)의 변형에 따라 구동되어 이동하도록 구성된다.
본 출원의 일부 실시예에서, 도 1에 도시된 바와 같이, 프레임(1)은 수평으로 연장되고, 제1 압전 소자(21) 및 제2 압전 소자(22)는 프레임(1)에 연결되고 서로 이격되며, 제1 압전 소자(21)는 프레임(1)의 좌측 단부에 위치하고, 제2 압전 소자(22)는 프레임(1)의 우측 단부에 위치하며, 변형부(13)는 제1 압전 소자(21)와 제2 압전 소자(22) 사이에 위치한다. 제1 압전 소자(21) 및 제2 압전 소자(22)는 모두 변형부(13)에 연결된다. 작동부(31)는 변형부(13)의 하단 암에 설치된다.
설명해야 하는 바로는, 여기서 사용하는 "상", "하", "앞", "뒤", "좌" 및 "우"는 도면에 도시된 방향을 나타내는 것이며, 본 출원을 쉽게 이해하도록 사용되나, 본 출원에 대한 한정으로 이해해서는 안 된다.
본 출원의 실시예에 따른 압전 구동 장치에서, 제1 압전 소자(21) 또는 제2 압전 소자(22)가 통전될 때, 제1 압전 소자(21) 또는 제2 압전 소자(22)가 팽창하여, 변형부(13)가 따라서 변형되므로, 작동부(31)가 해당 방향을 따라 이동하도록 구동함으로써, 작동부(31)는 압전 구동 시스템(1000)의 가동 부재(5)와 결합되어 가동 부재(5)가 예기한 방향으로 이동하도록 구동할 수 있다. 나아가, 제1 압전 소자(21) 또는 제2 압전 소자(22)가 단전될 때, 제1 압전 소자(21) 또는 제2 압전 소자(22)가 수축하여, 변형부(13)가 초기 형상으로 복원되므로, 작동부(31)도 초기 위치로 복원되어, 가동 부재(5)에 영향을 미치지 않는다. 상기와 같이 반복하여, 가동 부재(5)는 예기한 방향을 따라 연속적으로 이동할 수 있다.
따라서, 본 출원의 실시예에 따른 압전 구동 장치는 구조가 간단하고, 제어가 편리하며, 구동 효율이 높은 장점 등을 구비한다.
본 출원의 일부 실시예에서, 제1 압전 소자(21)는 프레임(1)에 연결된 제1단 및 변형부(13)의 제1 사이드 암(131)에 연결된 제2단을 구비하고, 팽창 또는 수축하여 변형부(13)를 변형시키도록 구성된다. 제2 압전 소자(22)는 프레임(1)에 연결된 제1단 및 변형부(13)의 제2 사이드 암(132)에 연결된 제2단을 구비하고, 팽창 또는 수축하여 변형부(13)를 변형시키도록 구성된다.
나아가, 제1 압전 소자(21)의 제2단은 변형부(13)의 제1 사이드 암(131)과 형상 및 방향이 서로 매칭되고, 제2 압전 소자(22)의 제2단은 변형부(13)의 제2 사이드 암(132)과 형상 및 방향이 서로 매칭된다. 예를 들어, 제1 압전 소자(21)의 제2단은 변형부(13)의 제1 사이드 암(131)의 평탄한 외부 표면과 평행하는 평탄한 단면을 구비하고, 제2 압전 소자(22)의 제2단은 변형부(13)의 제2 사이드 암(132)의 평탄한 외부 표면과 평행하는 평탄한 단면을 구비한다.
설명해야 하는 바로는, 변형부(13)의 제1 사이드 암(131), 제2 사이드 암(132) 및 하단 암(133)은 폐쇄된 캐비티를 형성한다. 따라서, 변형부(13)에 대한 "내"는 캐비티를 향하는 것을 의미하고, 변형부(13)에 대한 "외"는 캐비티를 멀리하는 것을 의미한다.
나아가, 변형부(13)의 제1 사이드 암(131)에 수직하는 방향은 변형부(13)의 하단 암(133)의 연장 방향과 제1 협각( 1)으로 교차하고, 변형부(13)의 제2 사이드 암(132)에 수직하는 방향은 변형부(13)의 하단 암(133)의 연장 방향과 제2 협각( 2)으로 교차한다. 도 1에 도시된 바와 같이, 하단 암(133)의 연장 방향은 수평 방향이다.
본 출원의 일부 실시예에서, 변형부(13)의 제1 사이드 암(131)에 수직하는 방향과 변형부(13)의 하단 암(133)의 연장 방향 사이의 제1 협각( 1)의 범위는 24도 내지 26도이고, 변형부(13)의 제2 사이드 암(132)에 수직하는 방향과 변형부(13)의 하단 암(133)의 연장 방향 사이의 제2 협각( 2)의 범위는 24도 내지 26도이다.
예를 들어, 제1 협각( 1)은 24도, 24.5도, 25도, 25.5도 또는 26도일 수 있고, 제2 협각( 2)은 24도, 24.5도, 25도, 25.5도 또는 26도일 수 있다.
바람직하게, 제1 협각( 1)는 25도이고, 제2 협각( 2)는 25도이다.
제1 협각( 1)과 제2 협각( 2)의 범위가 24도 내지 26도이기 때문에, 압전 구동 시스템(1000)의 가동 부재(5)는 안정적이고 원활하게 이동할 수 있고, 압전 구동 장치(100)는 높은 구동 효율을 구현할 수 있다.
본 출원의 일부 실시예에서, 도 1에 도시된 바와 같이, 변형부(13)는 프레임(1)의 중간 부분에 설치되고, 대칭 구조를 구비한다. 즉, 제1 사이드 암(131)과 제2 사이드 암(132)은 대칭된다. 따라서, 제1 압전 소자(21)는 변형부(13)의 대칭축에 대해 제2 압전 소자(22)와 대칭되고, 제1 협각( 1)은 제2 협각( 2)과 동일하다.
따라서, 압전 구동 장치(100)의 전체 구조는 안정적이고, 강도가 높다. 이에 따라, 압전 구동 시스템(1000)의 가동 부재(5)가 원활하고 안정적으로 이동하도록 구동할 수 있다.
본 출원의 일부 실시예에서, 제1 압전 소자(21)와 제2 압전 소자(22)는 d33 모드로 동작하도록 구성된다. 여기서, d33 모드는 압전 재료가 동일한 분극화 방향과 변형 방향을 구비하는 것을 의미한다. 바꿔 말하면, 제1 압전 소자(21)의 분극화 방향은 제1 압전 소자(21)의 변형 방향과 일치하고, 2개의 방향은 모두 변형부(13)의 제1 사이드 암(131)에 수직한다. 유사하게, 제2 압전 소자(22)의 분극화 방향은 제2 압전 소자(22)의 변형 방향과 일치하고, 2개의 방향은 모두 변형부(13)의 제2 사이드 암(132)에 수직한다.
본 출원의 일부 실시예에서, 프레임(1)은 본체(15), 제1 측부(11) 및 제2 측부(12)를 더 포함한다. 제1 측부(11) 및 제2 측부(12)는 각각 본체(15)의 대향하는 단부로부터 연장된다. 변형부(13)는 본체(15)의 중간 부분으로부터 연장되고, 제1 측부(11)와 제2 측부(12) 사이에 위치한다. 변형부(13)는 제1 측부(11) 및 제2 측부(12)와 각각 제1 갭 및 제2 갭을 형성한다. 제1 압전 소자(21)는 제1 갭에 설치되고, 제2 압전 소자(22)는 제2 갭에 설치된다. 제1 압전 소자(21)의 제1단은 제1 측부(11)에 연결되고, 제2 압전 소자(22)의 제1단은 제2 측부(12)에 연결된다.
본 출원의 일부 바람직한 실시예에서, 본체(15), 변형부(13), 제1 측부(11) 및 제2 측부(12)는 일체로 형성된다. 따라서, 제조가 용이하고 구조적 강도를 향상시킬 수 있다.
도 1에 도시된 바와 같이, 프레임(1)은 수평으로 연장하는 본체(15)를 포함하고, 제1 측부(11)는 본체(15)의 좌측 단부에 설치되고, 제2 측부(12)는 본체(15)의 우측 단부에 설치되고, 변형부(13)는 제1 측부(11)와 제2 측부(12) 사이에 위치한다.
제1 압전 소자(21)는 제1 측부(12)와 변형부(13) 사이에 위치한다. 제1 압전 소자(21)의 제1단은 제1 압전 소자(21)의 좌측 단부이고, 제1 압전 소자(21)의 제2단은 제1 압전 소자(21)의 우측 단부이다. 제1 압전 소자(21)의 좌측 단부는 제1 측부(11)에 연결되고, 제1 압전 소자(21)의 우측 단부는 변형부(13)의 제1 사이드 암(131)에 연결된다.
제2 압전 소자(22)는 제2 측부(12)와 변형부(13) 사이에 위치한다. 제2 압전 소자(22)의 제1단은 제2 압전 소자(22)의 우측 단부이고, 제2 압전 소자(22)의 제2단은 제2 압전 소자(22)의 좌측 단부이다. 제2 압전 소자(22)의 좌측 단부는 변형부(13)의 제2 사이드 암(132)에 연결되고, 제2 압전 소자(22)의 우측 단부는 제2 측부(12)에 연결된다.
이리하여, 제1 압전 소자(21)가 통전될 때 변형부(13)의 제1 사이드 암(131)에 수직하는 방향으로 팽창할 경우, 제1 측부(11)는 제1 압전 소자(21)의 좌측 단부의 이동을 제한할 것이다. 따라서, 제1 압전 소자(21)의 우측 단부는 변형부(13)의 제1 사이드 암(131)에 수직하는 방향으로 변형부(13)를 압박하여, 변형부(13)가 따라서 변형된다. 유사하게, 제2 압전 소자(22)가 통전될 때 변형부(13)의 제2 사이드 암(132)에 수직하는 방향으로 팽창할 경우, 제2 측부(12)는 제2 압전 소자(22)의 우측 단부의 이동을 제한할 것이다. 따라서, 제2 압전 소자(22)의 좌측 단부는 변형부(13)의 제2 사이드 암(132)에 수직하는 방향으로 변형부(13)를 압박하여, 변형부(13)가 따라서 변형된다.
일부 실시예에서, 도 1에 도시된 바와 같이, 제1 측부(11)의 좌측 표면은 수직일 수 있고, 제1 측부(11)의 우측 표면은 변형부(13)의 제1 측벽(131)의 외부 표면과 평행할 수 있으므로, 제1 압전 소자(21)로 하여금 변형부(13)에 대해 안정적이고 고른 힘을 가할 수 있도록 한다. 그러나, 본 출원은 이에 제한되지 않는다. 예를 들어, 제1 압전 소자(21)의 좌측 단부가 제1 측부(11)의 우측 표면과 평행한 평탄한 단면을 갖는다면, 제1 측부(11)의 우측 표면도 수직일 수 있다.
유사하게, 도 1에 도시된 바와 같이, 제2 측부(12)의 우측 표면은 수직일 수 있고, 제2 측부(12)의 좌측 표면은 변형부(13)의 제2 사이드 암(132)의 외부 표면과 평행할 수 있으므로, 제2 압전 소자(22)로 하여금 변형부(13)에 대해 안정적이고 고른 힘을 가할 수 있도록 한다. 그러나, 본 출원은 이에 제한되지 않는다. 예를 들어, 제2 압전 소자(22)의 우측 단부가 제2 측부(12)의 좌측 표면과 평행한 평탄한 단면을 갖는다면, 제2 측부(12)의 좌측 표면도 수직일 수 있다.
나아가, 제1 압전 소자(21)는 프레임(1) 및 변형부(13)에 접착되고, 제2 압전 소자(22)는 프레임(1) 및 변형부(13)에 접착된다. 예를 들어, 제1 압전 소자(21)의 좌측 단부는 경질 접착제를 통해 제1 측부(11)에 접착되고, 제1 압전 소자(21)의 우측 단부는 경질 접착제를 통해 변형부(13)에 접착되며, 제2 압전 소자(22)의 우측 단부는 경질 접착제를 통해 제2 측부(12)에 접착되고, 제2 압전 소자(22)의 좌측 단부는 경질 접착제를 통해 변형부(13)에 접착된다.
그 결과, 제1 압전 소자(21)와 프레임(1) 간의 연결, 제1 압전 소자(21)와 변형부(13) 간의 연결, 제2 압전 소자(22)와 프레임(1) 간의 연결 및 제2 압전 소자(22)와 변형부(13) 간의 연결이 견고하고 안정적이며, 경질 접착제는 제1 압전 소자(21) 및 제2 압전 소자(22)의 팽창을 쉽게 흡수하지 않기 때문에, 제1 압전 소자(21)와 제2 압전 소자(22)는 변형부(13)를 압박할 수 있고, 변형부(13)로 하여금 신뢰성있고 효율적으로 변형되도록 한다.
선택적으로, 도 1의 종이 표면에 수직하는 방향에서, 제1 압전 소자(21)는 복수의 스택 레이어를 포함하고, 제2 압전 소자(22)는 복수의 스택 레이어를 포함한다. 제1 압전 소자(21)의 스택 레이어의 수량은 제2 압전 소자(22)의 스택 레이어의 수량과 같다. 제1 압전 소자(21)의 각 레이어는 프레임(1) 및 변형부(13)에 접착되고, 제2 압전 소자(22)의 각 레이어는 프레임(1) 및 변형부(13)에 접착된다. 예를 들어, 제1 압전 소자(21)의 스택 레이어의 수량 및 제2 압전 소자(22)의 스택 레이어의 수량은 15이다. 그러나, 본 출원은 이에 제한되지 않는다.
본 출원의 일부 실시예에서, 제1 사이드 암(131)의 제1단과 제2 사이드 암(132)의 제1단은 본체(15)에 연결되고, 하단 암(133)은 제1 사이드 암(131)의 제2단과 제2 사이드 암(132)의 제2단 사이에 연결된다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 제1 사이드 암(131) 및 제2 사이드 암(132)은 본체(15)로부터 아래쪽 방향으로 경사지게 연장되고, 하단 암(133)은 수평으로 설치되고, 제1 사이드 암(131)의 제1단은 제1 사이드 암(131)의 상단이고, 제1 사이드 암(131)의 제2단은 제1 사이드 암(131)의 하단이고, 제2 사이드 암(132)의 제1단은 제2 사이드 암(132)의 상단이고, 제2 사이드 암(132)의 제2단은 제2 사이드 암(132)의 하단이고, 제1 사이드 암(131)의 상단 및 제2 사이드 암(132)의 상단은 모두 본체(15)에 연결되고, 제1 사이드 암(131)의 하단은 하단 암(133)의 좌측 단부에 연결되고, 제2 사이드 암(132)의 하단은 하단 암(133)의 우측 단부에 연결된다.
설명해야 하는 바로는, 여기서 사용하는 "상" 및 "하"는 도면에 도시된 방향을 나타내는 것이며, 본 출원을 쉽게 이해하도록 사용되나, 본 출원에 대한 한정으로 이해해서는 안 된다.
나아가, 제1 사이드 암(131)의 상단 및 제2 사이드 암(132)의 상단은 하단 암(133)의 연장 방향에서 제1 거리로 이격되고, 제1 사이드 암(131)의 하단 및 제2 사이드 암(132)의 하단은 하단 암(133)의 연장 방향에서 제2 거리로 이격된다. 변형부(13)가 대략 삼각형의 형상 또는 대략 "A"자의 형상을 구비하도록 제1 거리는 제2 거리보다 작다.
따라서, 제1 사이드 암(131) 및 제2 사이드 암(132)은 서로 영향을 주지 않고 거의 독립적으로 변형될 수 있어, 하단 암(133)의 해당 부분이 변형 및 이동되도록 구동할 수 있으므로, 해당 작동부(31)가 따라서 이동하도록 구동한다.
선택적으로, 제1 사이드 암(131)의 상단과 제2 사이드 암(132)의 상단은 한 지점에서 연결된다. 따라서, 제1 사이드 암(131), 제2 사이드 암(132) 및 하단 암(133)의 형상은 삼각형에 더 유사하다.
이에 따라, 변형부(13)의 대략 삼각형의 형상 또는 대략 "A"자의 형상으로 인해, 제1 압전 소자(21)의 우측 단부는 제1 압전 소자(21)의 좌측 단부보다 낮고, 제2 압전 소자(22)의 좌측 단부는 제2 압전 소자(22)의 우측 단부보다 낮으므로, 제1 압전 소자(21) 및 제2 압전 소자(22)가 변형부(13)에 작용하기 편리하다.
본 출원의 일부 실시예에서, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 제1 사이드 암(131) 및 본체(15)의 연결 위치에 제1 홈(141)이 형성되고, 제2 사이드 암(132) 및 본체(15)의 연결 위치에 제2 홈(142)이 형성되고, 제1 사이드 암(131) 및 하단 암(133)의 연결 위치에 제3 홈(143)이 형성되고, 제2 사이드 암(132) 및 하단 암(133)의 연결 위치에 제4 홈(144)이 형성된다.
나아가, 제1 홈(141), 제2 홈(142), 제3 홈(143) 및 제4 홈(144)은 모두 호형 단면을 구비하므로, 탄성 변형에 유리하고 강성을 감소시켜, 국부적인 응력 집중을 피할 수 있다. 유의해야 하는 것은, 이들 홈은 도 1 및 도 2의 종이 표면에 수직하는 방향으로 연장된다.
이리하여, 제1 사이드 암(131), 제2 사이드 암(132) 및 하단 암(133)은 고장 없이 변형되기 더욱 편리하다.
또한, 하단 암(133)의 중간 부분도 같은 호형 단면을 구비한 제5홈(145)을 형성할 수 있으므로, 하단 암(133)의 좌측 단부와 우측 단부가 독립적으로 운동할 수 있도록 하여, 하단 암(133)의 좌측 단부 및 우측 단부에 설치된 각 작동부(31)가 서로 영향을 주지 않고 이동할 수 있도록 한다.
본 출원의 일부 실시예에서, 2개의 작동부(31)가 설치될 수 있고, 2개의 작동부(31)는 각각 제1 사이드 암(131)의 제2단(하단) 및 제2 사이드 암(132)의 제2단(하단)에 설치된다.
본 출원의 다른 일부 실시예에서, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 2개의 작동부(31)가 설치되고, 2개의 작동부(31)는 하단 암(133)에 설치되고, 각각 제1 사이드 암(131)의 제2단(하단) 및 제2 사이드 암(132)의 제2단(하단)에 인접한다. 바꿔 말하면, 2개의 작동부(31)는 각각 하단 암(133)의 좌측 단부 및 우측 단부에 설치된다.
전술한 임의의 상황에서, 2개의 작동부(31)는 하단 암(133)의 연장 방향에 수직하는 하단 암(133)의 중심선에 대해 대칭된다. 바꿔 말하면, 하단 암(133)의 중심선은 수직이다. 나아가, 제1 압전 소자(21)는 좌측 작동부(31)를 통해 압전 구동 시스템(1000)의 가동 부재(5)가 이동하도록 구동할 수 있고, 제2 압전 소자(22)는 우측 작동부(31)를 통해 압전 구동 시스템(1000)의 가동 부재(5)가 이동하도록 구동할 수 있다.
따라서, 변형부(13)의 상대적으로 작은 변형으로 압전 구동 시스템(1000)의 가동 부재(5)의 상대적으로 큰 운동을 구현할 수 있다. 바꿔 말하면, 제1 압전 소자(21) 또는 제2 압전 소자(22)의 작은 팽창으로 압전 구동 시스템(1000)의 가동 부재(5)의 큰 운동이 발생할 수 있다. 따라서, 높은 구동 효율을 구현할 수 있다.
본 출원의 일부 실시예에서, 하나의 작동부(31)가 설치될 수 있고, 하나의 작동부(31)는 하단 암(133)에 설치된다. 바람직하게, 하나의 작동부(31)는 하단 암(133)의 표면의 중심에 설치된다. 따라서, 제1 압전 소자(21) 및 제2 압전 소자(22)는 하나의 작동부(31)를 공용하여, 압전 구동 시스템(1000)의 가동 부재(5)가 반대 방향으로 운동하도록 구현할 수 있으므로, 재료를 절약하고, 그에 따른 비용이 감소될 수 있다.
또한, 작동부(31)의 설치에 대한 전술한 실시예들은 충돌되지 않을 경우 임의로 조합될 수 있다. 예를 들어, 작동부(31)는 3개가 설치될 수 있으며, 하나의 작동부(31)는 하단 암(133)에 설치되고, 2개의 작동부(31)는 각각 제1 사이드 암(131)의 하단 및 제2 사이드 암(132)의 하단에 설치되거나, 또는 하단 암(133)에 설치되고 제1 사이드 암(131)의 하단 및 제2 사이드 암(133)의 하단에 각각 인접한다.
본 출원의 일부 실시예에서, 작동부(31)는 변형부(13)의 하단 암(133)로부터 돌출되고, 구형 세그먼트 형상을 구비한다.
따라서, 작동부(31)의 표면은 압전 구동 시스템(1000)의 가동 부재(5)와 안정적으로 접촉하도록 구형이므로, 압전 구동 시스템(1000)의 가동 부재(5)의 안정적인 운동을 확보한다.
나아가, 프레임(1)은 세라믹 재료로 제조되고, 작동부(31)도 세라믹 재료로 제조되고, 프레임(1)의 변형부(13)와 작동부(31)는 일체로 형성된다. 세라믹 재료는 내마모성이 우수하여, 프레임(1) 및 작동부(31)의 사용 수명이 길게 한다. 프레임(1)과 작동부(31)가 일체로 형성되므로, 가공이 용이하고, 상호간의 연결 강도를 확보할 수 있다.
본 출원의 실시예는 또한 압전 구동 시스템(1000)을 제공하고, 도 3에 도시된다. 압전 구동 시스템(1000)은 전술한 실시예 중 임의의 하나에 따른 압전 구동 장치(100), 유지 스프링(4) 및 가동 부재(5)를 포함한다. 가동 부재(5)는 압전 구동 장치(100)의 작동부(31)와 결합되고, 작동부(31)의 구동에 따라 이동하도록 구성된다. 유지 스프링(4)은 압전 구동 장치(100)에 설치되고, 압전 구동 장치(100)를 유지하여 작동부(31)로 하여금 가동 부재(5)를 압박하도록 한다.
본 출원의 일부 실시예에서, 유지 스프링(4)은 내부에 압전 구동 장치(100)를 둘러싸도록 개방된 직사각형 형상을 구비하고, 당해 개구부를 둘러싸는 플랜지(41)를 포함하며, 유지 스프링(4)의 플랜지(41)는 고정된다. 유지 스프링(4)은 당해 개구부를 향하는 바닥(42)을 더 구비한다. 유지 스프링(4)의 바닥(42)은 압전 구동 장치(100)의 프레임(1)을 향해 변형되고, 또한 접착 또는 리벳에 의해 압전 구동 장치(100)의 프레임(1)에 연결된다. 따라서, 유지 스프링(4)은 압전 구동 장치(100)에 대해 압력을 인가할 수 있으므로, 작동부(31)로 하여금 가동 부재(5)를 압박하도록 한다. 예를 들어, 유지 스프링(4)이 인가하는 압력은 약 200mN이다.
도 3에 도시된 바와 같이, 가동 부재(5)도 유지 스프링(4) 내에 둘러싸여 있지만, 본 출원은 이에 제한되지 않는다. 예를 들어, 가동 부재(5)의 적어도 일부는 유지 스프링(4) 외부에 설치될 수도 있다.
본 출원의 일부 실시예에서, 가동 부재(5)의 외주면이 편평할 경우, 작동부(31)는 가동 부재(5)를 구동하여 병진운동하게 하며; 가동 부재(5)의 외주면이 만곡될 경우, 작동부(31)는 가동 부재(5)를 구동하여 회전하게 한다.
아하, 제1 압전 소자(21)를 예로 들어, 압전 구동 시스템(1000)의 작동 과정을 간단히 설명한다. 여기서, 2개의 작동부(31)는 하단 암(133)에 설치되고, 각각 제1 사이드 암(131)의 하단 및 제2 사이드 암(132)의 하단에 설치되며, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같다.
통전될 경우, 제1 압전 소자(21)는 변형부(13)의 제1 사이드 암(131)에 수직하는 방향으로 팽창한다. 팽창 과정에서, 제1 압전 소자(21)는 변형부(13)의 제1 측벽(131)에 수직하는 방향으로 변형부(13)를 압박하여, 변형부(13)의 제1 사이드 암(131)이 우측 아래쪽으로 변형되도록 하고, 다음 제1 사이드 암(131)은 하단 암(133)을 구동하여 우측 아래쪽으로 변형되어 이동하도록 한다. 나아가 하단 암(133)은 제1 사이드 암(131)의 하단에 인접한 작동부(31)를 구동하여 우측 아래쪽으로 이동하도록 한다. 작동부(31)는 가동 부재(5)에 당접하여, 가동 부재(5)에 대해 구동력을 인가한다. 작동부(31)에 의해 인가된 구동력은 우쪽 방향 성분 및 아래쪽 방향 성분을 구비한다. 따라서, 가동 부재(5)는 우쪽을 향해 이동하도록 구동된다. 그러나, 제1 압전 소자(21)의 전술한 팽창 과정에서, 제2 압전 소자(22)가 통전되지 않았기 때문에, 변형부(13)의 제2 사이드 암(132)은 변형되지 않으므로, 제2 사이드 암(132)의 하단에 인접한 다른 작동부(31)는 이동하지 않는다.
단전될 경우, 제1 압전 소자(21)는 수축하여 작동부(31)가 좌측 위쪽으로 이동하도록 구동한다. 변형부(13)의 제1 사이드 암(131)에 수직하는 방향은 변형부(13)의 하단 암(133)의 연장 방향과 제1 협각( 1)으로 교차하고, 제1 협각( 1)의 범위는24도 내지 26도이기 때문에, 좌측 위쪽으로 이동하는 작동부(31)는 가동 부재(5)에 대해 구동력을 인가할 수 없다. 미시적으로, 좌측 위쪽으로 이동하는 작동부(31)는 심지어 가동 부재(5)와 분리되어 있다. 따라서, 가동 부재(5)는 작동부(31)와 함께 이동하지 않고, 그 위치에 그대로 유지되어 있다. 이러한 방식으로, 압전 구동 시스템(1000)은 하나의 운동 사이클을 완성한다. 제1 압전 소자(21)가 통전될 때의 팽창 운동과 단전될 때의 수축 운동을 교대로 완성할 수 있도록, 제1 압전 소자(21)에 주기적인 펄스 신호를 인가할 수 있다. 반복적인 운동 사이클에 따라, 가동 부재(5)는 작동부(31)의 구동에 따라 우쪽 방향으로 연속적으로 이동한다.
제2 압전 소자(22)의 동작 과정은 제1 압전 소자(22)의 동작 과정과 기본적으로 동일하나, 상이한 점은 제1 압전 소자(21)가 동작할 때 가동 부재(5)의 이동 방향과 제2 압전 소자(22)가 동작할 때 가동 부재(5)의 이동 방향은 반대이다. 예를 들어, 제1 압전 소자(21)가 가동 부재(5)를 우쪽 방향으로 이동하도록 구동할 경우, 제2 압전 소자(22)는 가동 부재(5)가 좌쪽 방향으로 이동하도록 구동한다. 본 출원의 다른 일부 실시예에서, 제1 압전 소자(21)는 가동 부재(5)가 시계 방향으로 이동하도록 구동할 수 있고, 제2 압전 소자(22)는 가동 부재(5)가 시계 반대 방향으로 이동하도록 구동할 수 있다. 또한, 동일한 시간대에서, 제1 압전 소자(21)와 제2 압전 소자(22) 중 하나만 동작한다. 바꿔 말하면, 제1 압전 소자(21)와 제2 압전 소자(22)는 서로 배척하는 방식으로 동작한다.
본 출원의 전술한 실시예에 따라, 압전 구동 시스템(1000)은 구조가 간단하고, 제어가 편리하며, 구동 효율이 높은 장점 등을 구비한다.
본 출원의 설명에서, 설명해야 하는 바로는, 달리 명백하게 규정하고 한정하지 않는 한, "장착", "서로 연결" 및 "연결" 등 용어는 넓은 의미로 이해되어야 하며, 예를 들어 고정된 연결이거나, 탈착가능한 연결이거나, 일체로 형성될 수도 있고; 기계적으로 연결되거나, 전기적으로 연결될 수도 있고; 직접 연결되거나, 중간 매체를 통해 간접적으로 연결될 수도 있고, 2개의 소자의 내부 연통일 수 있다. 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면, 구체적인 상황에 따라 본 출원에서 상기 용어의 구체적인 의미를 이해할 수 있을 것이다.
본 발명의 설명에서, "실시예", "구체적인 실시예" 또는 "예시" 등 용어는 당해 실시예 또는 예시를 결합하여 설명된 구체적인 특징, 구조, 재료 또는 특징이 본 출원의 적어도 하나의 실시예 또는 예시에 포함됨을 의미한다. 본 발명의 설명에서, 상기 용어에 대한 개략적인 표현은 반드시 동일한 실시예 또는 예시에 나타내는 것이 아니다. 또한, 설명된 구체적인 특징, 구조, 재료 또는 특징은 임의의 하나 또는 복수의 실시예 또는 예시에서 적절한 방식으로 조합될 수 있다. 또한, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면, 본 발명의 설명에서 설명된 서로 다른 실시예 또는 예시를 결합하고 조합할 수 있다.
상기에서 본 출원의 실시예를 나타내고 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 출원의 원칙과 목적을 벗어나지 않는 상황에서, 실시예에 대해 변경, 수정, 대체 및 변형을 수행할 수 있음을 이해할 것이다. 본 출원의 범위는 청구범위 및 그의 등가물에 의해 한정된다.

Claims (16)

  1. 압전 구동 장치에 있어서,
    프레임, 제1 압전 소자, 제2 압전 소자, 및 작동부를 포함하되,
    상기 프레임은 변형부를 포함하고, 상기 변형부는 제1 사이드 암, 상기 제1 사이드 암과 대향하는 제2 사이드 암 및 상기 제1 사이드 암과 상기 제2 사이드 암을 연결하는 하단 암을 포함하며, 상기 제1 사이드 암과 상기 제2 사이드 암은 상기 하단 암에 대해 서로를 향해 기울어져 있으며;
    상기 제1 압전 소자는 상기 프레임과 상기 변형부의 상기 제1 사이드 암 사이에 설치되고, 상기 제2 압전 소자는 상기 프레임과 상기 변형부의 상기 제2 사이드 암 사이에 설치되며, 상기 제1 압전 소자와 상기 제2 압전 소자는 상기 변형부를 변형시키도록 구성되며;
    상기 작동부는 상기 변형부의 상기 하단 암에 설치되고, 상기 변형부의 변형에 따라 구동되어 이동하도록 구성되는,
    것을 특징으로 하는 압전 구동 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1 압전 소자는 상기 프레임에 연결된 제1단 및 상기 변형부의 상기 제1 사이드 암에 연결된 제2단을 구비하고, 상기 제1 압전 소자는 팽창 또는 수축하여 상기 변형부를 변형시키도록 구성되며;
    상기 제2 압전 소자는 상기 프레임에 연결된 제1단 및 상기 변형부의 상기 제2 사이드 암에 연결된 제2단을 구비하고, 상기 제2 압전 소자는 팽창 또는 수축하여 상기 변형부를 변형시키도록 구성되는,
    것을 특징으로 하는 압전 구동 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제1 압전 소자의 제2단은 상기 변형부의 상기 제1 사이드 암과 형상 및 방향이 서로 매칭되고, 상기 제2 압전 소자의 제2단은 상기 변형부의 상기 제2 사이드 암과 형상 및 방향이 서로 매칭되며;
    상기 변형부의 상기 제1 사이드 암에 수직하는 방향은 상기 변형부의 상기 하단 암의 연장 방향과 제1 협각으로 교차하고, 상기 변형부의 상기 제2 사이드 암에 수직하는 방향은 상기 변형부의 상기 하단 암의 연장 방향과 제2 협각으로 교차하는,
    것을 특징으로 하는 압전 구동 장치.
  4. 제2항 또는 제3항에 있어서,
    상기 프레임은 본체, 제1 측부 및 제2 측부를 더 포함하되,
    상기 제1 측부 및 상기 제2 측부는 각각 상기 본체의 대향하는 단부로부터 연장되며,
    상기 변형부는 상기 본체의 중간 부분으로부터 연장되고, 상기 제1 측부와 상기 제2 측부 사이에 위치하며, 상기 변형부는 상기 제1 측부 및 상기 제2 측부와 각각 제1 갭 및 제2 갭을 형성하고, 상기 제1 압전 소자는 상기 제1 갭에 설치되고, 상기 제2 압전 소자는 상기 제2 갭에 설치되며, 상기 제1 압전 소자의 제1단은 상기 제1 측부에 연결되고, 상기 제2 압전 소자의 제1단은 상기 제2 측부에 연결되는,
    것을 특징으로 하는 압전 구동 장치.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1 사이드 암의 제1단과 상기 제2 사이드 암의 제1단은 상기 본체에 연결되고, 상기 하단 암은 상기 제1 사이드 암의 제2단과 상기 제2 사이드 암의 제2단 사이에 연결되고,
    상기 제1 사이드 암의 제1단과 상기 제2 사이드 암의 제1단은 상기 하단 암의 연장 방향에서 제1 거리로 이격되고, 상기 제1 사이드 암의 제2단과 상기 제2 사이드 암의 제2단은 상기 하단 암의 연장 방향에서 제2 거리로 이격되며,
    상기 변형부가 대략 삼각형의 형상 또는 대략 "A"자의 형상을 구비하도록 상기 제1 거리는 상기 제2 거리보다 작은,
    것을 특징으로 하는 압전 구동 장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 제1 사이드 암과 상기 본체의 연결 위치에 제1 홈이 형성되고, 상기 제2 사이드 암과 상기 본체의 연결 위치에 제2 홈이 형성되고, 상기 제1 사이드 암과 상기 하단 암의 연결 위치에 제3 홈이 형성되고, 상기 제2 사이드 암과 상기 하단 암의 연결 위치에 제4 홈이 형성되는,
    것을 특징으로 하는 압전 구동 장치.
  7. 제5항 또는 제6항에 있어서,
    2개의 작동부가 설치되며, 각각 상기 제1 사이드 암의 제2단과 상기 제2 사이드 암의 제2단에 설치되거나;
    또는,
    2개의 작동부가 설치되며, 상기 하단 암에 설치되고, 각각 상기 제1 사이드 암의 제2단과 상기 제2 사이드 암의 제2단에 인접하는,
    것을 특징으로 하는 압전 구동 장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 2개의 작동부는 상기 하단 암의 연장 방향에 수직하는 상기 하단 암의 중심선에 대해 대칭되는,
    것을 특징으로 하는 압전 구동 장치.
  9. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
    하나의 작동부가 설치되고, 상기 하단 암에 설치되는,
    것을 특징으로 하는 압전 구동 장치.
  10. 제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 작동부는 상기 변형부의 상기 하단 암으로부터 돌출되고, 구형 세그먼트(spherical-segment) 형상을 구비하는,
    것을 특징으로 하는 압전 구동 장치.
  11. 제1항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1 압전 소자와 상기 제2 압전 소자는 d33 모드로 동작하도록 구성되는,
    것을 특징으로 하는 압전 구동 장치.
  12. 제1항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 변형부의 상기 제1 사이드 암에 수직하는 방향과 상기 변형부의 상기 하단 암의 연장 방향 사이의 제1 협각의 범위는 24도 내지 26도이고,
    상기 변형부의 상기 제2 사이드 암에 수직하는 방향과 상기 변형부의 상기 하단 암의 연장 방향 사이의 제2 협각의 범위는 24도 내지 26도인,
    것을 특징으로 하는 압전 구동 장치.
  13. 제1항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 변형부는 상기 프레임의 중간 부분에 설치되고 대칭 구조를 구비하며, 상기 제1 사이드 암과 상기 제2 사이드 암은 서로 대칭되고,
    상기 제1 압전 소자은 상기 변형부의 대칭축에 대해 상기 제2 압전 소자와 대칭되고, 제1 협각은 제2 협각과 동일하는,
    것을 특징으로 하는 압전 구동 장치.
  14. 제1항 내지 제13항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 프레임은 세라믹 재료로 제조되고, 상기 작동부는 세라믹 재료로 제조되고, 상기 프레임의 상기 변형부는 상기 작동부와 일체로 형성되는,
    것을 특징으로 하는 압전 구동 장치.
  15. 제1항 내지 제14항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1 압전 소자는 상기 프레임 및 상기 변형부에 접착되고,
    상기 제2 압전 소자는 상기 프레임 및 상기 변형부에 접착되는,
    것을 특징으로 하는 압전 구동 장치.
  16. 압전 구동 시스템에 있어서,
    제1항 내지 제15항 중 어느 한 항에 따른 압전 구동 장치, 가동 부재 및 유지 스프링을 포함하되,
    상기 가동 부재는 상기 압전 구동 장치의 상기 작동부와 결합되고, 상기 작동부의 구동에 따라 이동하도록 구성되며;
    상기 유지 스프링은 상기 압전 구동 장치에 설치되고, 상기 압전 구동 장치를 유지하여 상기 작동부로 하여금 상기 가동 부재를 압박하도록 하는,
    것을 특징으로 하는 압전 구동 시스템.
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