KR20230155818A - 제한된 편집을 제공하는 플라즈마 시뮬레이터 - Google Patents
제한된 편집을 제공하는 플라즈마 시뮬레이터 Download PDFInfo
- Publication number
- KR20230155818A KR20230155818A KR1020220055505A KR20220055505A KR20230155818A KR 20230155818 A KR20230155818 A KR 20230155818A KR 1020220055505 A KR1020220055505 A KR 1020220055505A KR 20220055505 A KR20220055505 A KR 20220055505A KR 20230155818 A KR20230155818 A KR 20230155818A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- type data
- data
- plasma simulation
- plasma
- item
- Prior art date
Links
- 238000004088 simulation Methods 0.000 claims abstract description 132
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 57
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 27
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 24
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims description 19
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 12
- 230000004044 response Effects 0.000 claims description 6
- 239000000306 component Substances 0.000 description 19
- 230000006870 function Effects 0.000 description 11
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 10
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 9
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 5
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 4
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 2
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 2
- 230000014509 gene expression Effects 0.000 description 2
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000013178 mathematical model Methods 0.000 description 2
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 2
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 238000012827 research and development Methods 0.000 description 2
- 239000010454 slate Substances 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 230000006399 behavior Effects 0.000 description 1
- 238000005094 computer simulation Methods 0.000 description 1
- 239000008358 core component Substances 0.000 description 1
- 238000013500 data storage Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 238000010295 mobile communication Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F30/00—Computer-aided design [CAD]
- G06F30/20—Design optimisation, verification or simulation
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F21/00—Security arrangements for protecting computers, components thereof, programs or data against unauthorised activity
- G06F21/10—Protecting distributed programs or content, e.g. vending or licensing of copyrighted material ; Digital rights management [DRM]
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F21/00—Security arrangements for protecting computers, components thereof, programs or data against unauthorised activity
- G06F21/30—Authentication, i.e. establishing the identity or authorisation of security principals
- G06F21/31—User authentication
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F21/00—Security arrangements for protecting computers, components thereof, programs or data against unauthorised activity
- G06F21/60—Protecting data
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F21/00—Security arrangements for protecting computers, components thereof, programs or data against unauthorised activity
- G06F21/60—Protecting data
- G06F21/602—Providing cryptographic facilities or services
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F30/00—Computer-aided design [CAD]
- G06F30/10—Geometric CAD
- G06F30/12—Geometric CAD characterised by design entry means specially adapted for CAD, e.g. graphical user interfaces [GUI] specially adapted for CAD
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F9/00—Arrangements for program control, e.g. control units
- G06F9/06—Arrangements for program control, e.g. control units using stored programs, i.e. using an internal store of processing equipment to receive or retain programs
- G06F9/44—Arrangements for executing specific programs
- G06F9/451—Execution arrangements for user interfaces
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Software Systems (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Computer Security & Cryptography (AREA)
- Geometry (AREA)
- Evolutionary Computation (AREA)
- Human Computer Interaction (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Mathematical Analysis (AREA)
- Bioethics (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Architecture (AREA)
- Multimedia (AREA)
- Computational Mathematics (AREA)
- Technology Law (AREA)
- Mathematical Optimization (AREA)
- Pure & Applied Mathematics (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Storage Device Security (AREA)
- Management, Administration, Business Operations System, And Electronic Commerce (AREA)
Abstract
본 발명은, 플라즈마 시뮬레이션에 활용되는 데이터의 보안 조건에 기초하여, 플라즈마 시뮬레이션에 활용되는 데이터의 내용에 대한 노출을 제한하고, 플라즈마 시뮬레이션에 활용되는 데이터의 편집 조건에 기초하여, 플라즈마 시뮬레이션에 활용되는 데이터의 편집 기능을 제한하는 플라즈마 시뮬레이션 제공 방법 및 시스템을 제공하는 것이다.
Description
본 발명은 플라즈마 시뮬레이션 제공 방법 및 시스템에 관한 것이다.
반도체 제조 공정은 마이크로프로세서, 메모리 칩 또는 다른 집적 회로와 같은 반도체 디바이스를 만들기 위해 다양한 제조 단계에서 플라즈마 처리를 사용하고 있다. 이러한 플라즈마 공정은 플라즈마 장비에 의하여 수행되며, 예를 들어 웨이퍼 상에 물질막을 증착하거나 웨이퍼 상에 형성된 물질막을 식각하는 장비 등이 이용되고 있다.
플라즈마 장비나 공정의 특성을 분석하기 위해 플라즈마 시뮬레이터를 이용하여 플라즈마 장비 내부 상태를 계산하고 공정의 물리적 현상을 설명하는 것은 시간과 비용을 절감하는데 있어서 매우 중요한 작업이다.
따라서, 플라즈마 시뮬레이터의 수치해석을 위한 많은 연구개발이 활발히 진행되며, 일반적으로 연구자들이나 개발자들은 이러한 연구 개발의 결과로부터 새로운 플라즈마 시뮬레이션에 필요한 화학식이나 계산 조건 등을 플라즈마 시뮬레이터의 데이터베이스로 제공하고 있다.
또한, 이러한 화학식이나 계산 조건에는 입력 오류가 발생하는 경우에, 플라즈마 시뮬레이션의 정확도가 낮아지고, 또한, 많은 시간이 소요되는 등의 문제점을 야기하는 것들이 있다.
본 발명은, 플라즈마 시뮬레이션의 입력 오류를 방지하여 플라즈마 시뮬레이션의 정확도를 개선하는 플라즈마 시뮬레이션 제공방법 및 시스템을 제공하는 것이다.
나아가, 본 발명은, 플라즈마 시뮬레이션에 이용되는 중요한 데이터의 보안을 강화하여, 플라즈마 시뮬레이터의 개발을 보다 효율적으로 수행하는 플라즈마 시뮬레이션 제공방법 및 시스템을 제공하는 것이다.
위에서 살펴본 과제를 해결하기 위하여, 본 발명에 따른 플라즈마 시뮬레이션 제공 방법 및 시스템은 플라즈마 시뮬레이션 프로그램에 로그인된 계정 또는 설치된 라이선스에 따라 제한된 편집 제공하는 플라즈마 시뮬레이션 프로그램을 제공한다.
보다 구체적으로, 본 발명의 플라즈마 시뮬레이션 제공 방법은, 플라즈마 시뮬레이션 프로그램이 구동된 전자기기의 디스플레이 상에, 상기 플라즈마 시뮬레이션 프로그램의 페이지를 제공하는 단계와 상기 페이지 상에, 플라즈마 시뮬레이션에 활용되는 제1 타입 데이터 및 제2 타입 데이터에 각각 대응되는 항목들로 구성된 반응식 리스트를 제공하는 단계, 상기 반응식 리스트에 포함된 상기 항목들 중 적어도 하나의 항목에 대응되는 데이터를 이용하여, 상기 플라즈마 시뮬레이션을 수행하는 단계, 상기 페이지 상에, 상기 플라즈마 시뮬레이션의 결과를 제공하는 단계를 포함한다.
상기 제1 타입 데이터 및 상기 제2타입 데이터의 구분은, 상기 제1 타입 데이터 및 제2 타입 데이터 각각에 대하여 설정된 기 설정된 보안 조건에 근거하여 이루어질 수 있다.
나아가, 상기 항목들 중 상기 제1 타입 데이터에 대응되는 제1 항목의 표시 방식과 상기 제2 타입 데이터에 대응되는 제2 항목의 표시 방식은, 상기 제1 타입 데이터 및 상기 제2 타입 데이터 각각에 설정된 상기 기 설정된 보안 조건에 근거하여, 결정될 수 있다.
상기 제1 타입 데이터는 상기 제1 타입 데이터의 내용이 상기 반응식 리스트 상에서 노출되지 않도록, 상기 기 설정된 보안 조건에 근거하여 암호화되고, 상기 제1 항목에는, 제1 타입 데이터 내용이 노출되지 않도록 상기 제1 타입 데이터가 암호화되었음을 나타내는 가이드 정보가 포함될 수 있다.
한편, 상기 제2 타입 데이터는 상기 제2 타입 데이터의 내용이 상기 반응식 리스트 상에서 노출되도록, 암호화가 제한되는 데이터이며, 상기 제2 항목에는 상기 제2 타입 데이터의 내용이 포함될 수 있다.
본 발명의 플라즈마 시뮬레이션 방법은, 상기 전자기기로부터 상기 제1 타입 데이터에 대응되는 상기 제1 항목이 선택되는 경우, 상기 페이지 상에, 상기 제1 항목에 대응되는 상기 제1 타입 데이터의 내용과 관련된 정보를 제공할 수 있다.
또한, 상기 전자기기로부터 상기 제1 타입 데이터에 대응되는 상기 제1 항목이 선택되는 경우, 상기 플라즈마 시뮬레이션 프로그램에 로그인된 사용자 계정이나 저장된 라이선스를 확인하고, 상기 사용자 계정이나 라이선스가, 상기 제1 타입 데이터의 내용에 접근 권한이 있는지 여부를 판단하며, 상기 판단 결과에 근거하여, 상기 제1 타입 데이터의 내용 및 제1 타입 데이터의 내용과 관련된 정보 중 적어도 하나를 상기 전자기기 상에 제공할 수 있다.
한편, 상기 제1 타입 데이터 및 상기 제2 타입 데이터 각각은, 상기 제1 타입 데이터 및 상기 제2 타입 데이터를 편집 가능한지 여부에 따라, 편집이 제한된 제1 편집 조건 또는 편집이 가능한 제2 편집 조건을 갖도록 이루어질 수 있다.
나아가, 상기 제1 타입 데이터 및 상기 제2 타입 데이터 중 상기 제2 편집 조건을 갖는 데이터에 대응되는 특정 항목이 선택되는 경우, 상기 특정 항목에 대응되는 데이터의 편집이 가능하도록, 상기 페이지의 적어도 일 영역에 포함된 편집 영역이 활성화될 수 있다.
본 발명에 따른, 상기 플라즈마 시뮬레이션의 결과를 제공하는 단계에서는, 상기 페이지상에, 상기 플라즈마 시뮬레이션 결과와 함께, 상기 플라즈마 시뮬레이션 수행에 이용된 데이터에 대응되는 상기 적어도 하나의 항목이 제공될 수 있다.
그리고, 상기 플라즈마 시뮬레이션 수행에 이용된 데이터에 대응되는 상기 적어도 하나의 항목은, 상기 적어도 하나의 항목에 각각 대응되는 데이터에 설정된 상기 기 설정된 보안 조건에 근거하여, 서로 다르게 표시될 수 있다.
또한, 상기 플라즈마 시뮬레이션의 결과를 제공하는 단계에서는, 상기 페이지상에, 상기 적어도 하나의 항목에 대응되는 데이터를 이용하여 수행된 상기 플라즈마 시뮬레이션의 결과가 제공되고, 상기 플라즈마 시뮬레이션의 결과는, 상기 적어도 하나의 항목에 대응되는 데이터에 근거한 반응을 나타내는 도형을 포함할 수 있다.
나아가, 상기 전자기기로부터 상기 도형의 일 지점이 선택되는 경우, 상기 적어도 하나의 항목에 대응되는 데이터 중 상기 일 지점에 관련된 반응에 해당하는 특정 데이터에 대한 정보가 제공되고, 상기 특정 데이터에 대한 정보는, 상기 특정 데이터에 대해 설정된 상기 기 설정된 보안 조건에 따라 달라질 수 있다.
한편, 본 발명에 따른 시뮬레이션 시스템은, 저장부와, 통신부와, 제어부를 포함하고, 상기 통신부는 플라즈마 시뮬레이션과 관련된 전자기기 또는 외부서버 중 적어도 하나에 연결되고, 상기 플라즈마 시뮬레이션 프로그램이 구동되는 전자기기 상에 상기 플라즈마 시뮬레이션 프로그램의 페이지를 제공하는 제어부를 포함하고, 상기 제어부는, 상기 페이지 상에, 상기 플라즈마 시뮬레이션에 활용되는 제1 타입 데이터 및 제2 타입 데이터에 각각 대응되는 항목들로 구성된 반응식 리스트를 제공하고, 상기 반응식 리스트에 포함된 상기 항목들 중 적어도 하나의 항목에 대응되는 데이터를 이용하여, 상기 플라즈마 시뮬레이션을 수행하고, 상기 페이지 상에, 상기 플라즈마 시뮬레이션의 결과를 제공한다.
나아가, 본 발명에 따른 프로그램은, 플라즈마 시뮬레이션 프로그램이 구동된 전자기기의 디스플레이 상에, 상기 플라즈마 시뮬레이션 프로그램의 페이지를 제공하는 단계와, 상기 페이지 상에, 플라즈마 시뮬레이션에 활용되는 제1 타입 데이터 및 제2 타입 데이터에 각각 대응되는 항목들로 구성된 반응식 리스트를 제공하는 단계와, 상기 반응식 리스트에 포함된 상기 항목들 중 적어도 하나의 항목에 대응되는 데이터를 이용하여, 상기 플라즈마 시뮬레이션을 수행하는 단계와, 상기 페이지 상에, 상기 플라즈마 시뮬레이션의 결과를 제공하는 단계를 수행하는 명령어들을 포함한다.
이상에서 살펴본 것과 같이, 본 발명은, 제한된 편집을 제공하는 플라즈마 시뮬레이터를 통해, 사용자의 입력의 오류를 방지할 수 있다. 또한, 사용자가 편집할 수 있는 데이터와, 없는 데이터를 별도로 관리하여 플라즈마 시뮬레이션의 정확성을 개선하는 효과가 발생될 수 있다.
또한, 본 발명은, 플라즈마 시뮬레이션에 활용되는 데이터에 대한 보안 조건에 따라, 데이터를 암호화하기 때문에, 플라즈마 시뮬레이션 결과에 영향을 주는 핵심적인 데이터에 대한 보안을 유지할 수 있는 효과가 발생될 수 있다.
또한, 본 발명은, 플라즈마 시뮬레이션 계산에 사용된 데이터를 플라즈마 시뮬레이션 결과와 함께 제공함으로써, 사용자가 플라즈마 시뮬레이션 결과에 대한 분석을 보다 빠르고 정확하게 할 수 있게 한다.
도 1은 제한된 편집을 제공하는 플라즈마 시뮬레이션 시스템을 설명하기 위한 블록 다이어그램이다.
도 2는 도 1의 플라즈마 시뮬레이션 시스템에서 수행하는 제한된 편집을 제공하는 플라즈마 시뮬레이션 방법의 흐름도이다.
도 3은 본 발명에서 제공되는 플라즈마 시뮬레이션에 활용되는 데이터를 설명하기 위한 개념도이다.
도 4는 본 발명에서 제공되는 플라즈마 시뮬레이션 프로그램의 페이지를 설명하기 위한 개념도이다.
도 5, 도 6은 본 발명에서 제공되는 제1 타입 데이터에 대응되는 항목의 제공 방법을 설명하기 위한 개념도들이다.
도 7, 도 8, 도 9는 제2 타입 데이터에 대응되는 항목의 제공 방법을 설명하기 위한 개념도들이다.
도 10a, 도 10b은 본 발명에서 제공되는 플라즈마 시뮬레이션 결과의 제공 방법을 설명하기 위한 개념도들이다.
도 2는 도 1의 플라즈마 시뮬레이션 시스템에서 수행하는 제한된 편집을 제공하는 플라즈마 시뮬레이션 방법의 흐름도이다.
도 3은 본 발명에서 제공되는 플라즈마 시뮬레이션에 활용되는 데이터를 설명하기 위한 개념도이다.
도 4는 본 발명에서 제공되는 플라즈마 시뮬레이션 프로그램의 페이지를 설명하기 위한 개념도이다.
도 5, 도 6은 본 발명에서 제공되는 제1 타입 데이터에 대응되는 항목의 제공 방법을 설명하기 위한 개념도들이다.
도 7, 도 8, 도 9는 제2 타입 데이터에 대응되는 항목의 제공 방법을 설명하기 위한 개념도들이다.
도 10a, 도 10b은 본 발명에서 제공되는 플라즈마 시뮬레이션 결과의 제공 방법을 설명하기 위한 개념도들이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 명세서에 개시된 실시 예를 상세히 설명하되, 도면 부호에 관계없이 동일하거나 유사한 구성요소에는 동일한 참조 번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다. 이하의 설명에서 사용되는 구성요소에 대한 접미사 "모듈" 및 "부"는 명세서 작성의 용이함만이 고려되어 부여되거나 혼용되는 것으로서, 그 자체로 서로 구별되는 의미 또는 역할을 갖는 것은 아니다. 또한, 본 명세서에 개시된 실시 예를 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 명세서에 개시된 실시 예의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다. 또한, 첨부된 도면은 본 명세서에 개시된 실시 예를 쉽게 이해할 수 있도록 하기 위한 것일 뿐, 첨부된 도면에 의해 본 명세서에 개시된 기술적 사상이 제한되지 않으며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
제1, 제2 등과 같이 서수를 포함하는 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되지는 않는다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.
어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다.
단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
본 출원에서, "포함한다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
본 발명은, 제한된 편집을 제공하는 플라즈마 시뮬레이션 방법 및 시스템에 관한 것으로, 플라즈마 시뮬레이션에 활용되는 데이터의 타입에 따라, 데이터의 항목을 표시할지 여부를 결정하여, 시뮬레이션에 필요한 데이터를 선택적으로 편집할 수 있는 플라즈마 시뮬레이션 방법 및 시스템을 제공하기 위한 것이다.
여기서, 플라즈마는, 제4의 물질 상태라고 알려져 있는 물질의 형태로서, 강력한 전기장 혹은 열원으로 가열되어 기체상태를 뛰어넘어 전자, 중성입자, 이온 등 입자들로 나누어진 상태를 의미할 수 있다. 또한, 상기 플라즈마에서는, 전하 분리도가 상당히 높으면서도 전체적으로 음과 양의 전하수가 같아서 중성을 띠게 되는 상태가 될 수 있다. 또한, 상기 플라즈마는, 스마트 폰 등의 첨단 디지털기기의 핵심 부품인 반도체 디바이스의 제조공정, 예를 들어 식각 및 증착 기술에 이용되며, 플라즈마 전류가 수 암페어 미만인 저온 플라즈마를 의미할 수 있다.
상기 플라즈마는 시뮬레이션(simulation)에 의하여 물리적 거동이나 화학적 현상이 해석될 수 있다. 여기서, 시뮬레이션은 실제로 실행하기 어려운 실험을 간단히 행하는 모의실험을 의미할 수 있으며, 특히 컴퓨터와 수학적 모델을 이용하여 수치적으로 해석하는 컴퓨터 시뮬레이션이 될 수 있다. 상기 수학적 모델은, 예를 들어 플라즈마를 유동하는 유체처럼 해석하는 유체모델, 입자로 취급하는 입자모델 등이 될 수 있다.
본 발명의 플라즈마 시뮬레이션은, 예를 들어 플라즈마 장비 내부에서 발생하는 종들(species)의 온도 등을 계산을 통하여 가상으로 측정하는 것으로, 계산해서 나온 결과물을 보고 플라즈마 장비의 내부상황이나 플라즈마 공정의 진행상황 등을 해석하는 것을 포함하는 개념이 될 수 있다. 나아가, 이러한 시뮬레이션을 할 수 있는 소프트웨어 또는 프로그램은 시뮬레이터라 정의될 수 있다. 상기 시뮬레이터를 통해, 본 발명에서는 플라즈마 공정이나 장비에 대한 가상의 실험을 수행하고, 그 결과를 여러가지 시각적 데이터로 사용자에게 제공할 수 있다.
여기에서, “시뮬레이터”는 본 발명에 따른 플라즈마 시뮬레이션 시스템(100)에 의해 제공되는 제어 프로세스의 일 부분으로 포함되는 용어로 이해될 수 있다. 상기 플라즈마 시뮬레이션 시스템은 시뮬레이터를 이용하여 계산 결과를 사용자에 제공하는 것은 물론, 시뮬레이터의 계산 결과를 이용하여 플라즈마 장비를 제어하거나, 제어하는 데 필요한 다양한 정보를 제공하는 것까지 포함할 수 있다.
이하 첨부된 도면과 함께 본 발명에 대하여 구체적으로 설명하기로 한다. 도 1은 본 발명에 따른 제한된 편집을 제공하는 플라즈마 시뮬레이션 시스템을 설명하기 위한 블록 다이어그램이다.
도 1에 도시된 것과 같이, 본 발명에 따른 플라즈마 시뮬레이션 시스템(100)은, 통신부(110), 저장부(120) 및 제어부(130) 중 적어도 하나를 포함한다. 이때 본 발명에 따른 플라즈마 시뮬레이션 시스템(100)은 상술한 구성 요소로 제한되는 것은 아니며, 본 명세서의 설명에 따른 기능과 동일 또는 유사한 역할을 수행하는 구성요소를 더 포함할 수 있다.
한편, 통신부(110)는 적어도 하나의 전자기기(200) 또는 외부서버(140)와 통신하도록 이루어지며, 통신하는 대상의 통신 규격에 따라 다양한 통신 방식을 지원할 수 있다.
예를 들어 통신부는, WLAN(Wireless LAN), Wi-Fi(WirelessFidelity), Wi-Fi(Wireless Fidelity) Direct, DLNA(Digital Living Network Alliance), WiBro(Wireless Broadband), WiMAX(World Interoperability for Microwave Access), HSDPA(High Speed Downlink Packet Access), HSUPA(High Speed Uplink Packet Access), LTE(Long Term Evolution), LTE-A(Long Term Evolution Advanced), 5G(5th Generation Mobile Telecommunication), 블루투스(Bluetooth™), RFID(Radio Frequency Identification), 적외선 통신(Infrared Data Association; IrDA), UWB(Ultra-Wideband), ZigBee, NFC(Near Field Communication), Wi-Fi Direct, Wireless USB(Wireless Universal Serial Bus) 기술 중 적어도 하나를 이용하여, 전자기기(200) 또는 외부 서버(140)과 통신하도록 이루어질 수 있다.
다음으로 저장부(120)는 본 발명과 관련된 다양한 정보를 저장하도록 이루어질 수 있다. 저장부(120)는 플라즈마 시뮬레이션에 활용되는 제1 타입 데이터 및 제2 타입 데이터를 저장하도록 이루어질 수 있다. 플라즈마 시뮬레이션에 활용되는 제1 타입 데이터 및 제2 타입 데이터는 플라즈마 시뮬레이션의 초기값, 파라미터, 계산 조건, 가스종, 화학 반응식 및 화학 방정식 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.
본 발명에서 저장부(120)는 플라즈마 시뮬레이션 시스템(100) 자체에 구비될 수 있다. 이와 다르게, 저장부(120)의 적어도 일부는 외부 서버(140, 예를 들어 클라우드 서버(또는 클라우드 저장소) 및 데이터베이스(database: DB) 중 적어도 하나를 의미할 수 있다.
즉, 저장부(120)는 본 발명에 따른 플라즈마 시뮬레이션에 필요한 정보가 저장되는 공간이면 충분하며, 물리적인 공간에 대한 제약은 없는 것으로 이해될 수 있다. 이에, 이하에서는 저장부(120), 클라우드 서버 및 데이터 베이스를 별도로 구분하지 않고, 모두 저장부(120)라고 표현하도록 한다.
저장부(120)에는, 본 발명에 따라, 플라즈마 시뮬레이션에 활용되는 제1 타입 데이터 및 제2 타입 데이터를 구분하는 “보안 조건”이 특정 데이터에 매칭되어 저장될 수 있다.
여기에서, “보안 조건”은, 특정 데이터의 암호화 및 데이터 내용의 노출 제한과 관련 있는 조건으로, 예를 들어, 제1 타입 데이터의 내용이 노출되지 않도록 제1 타입 데이터를 암호화하거나 제2 타입 데이터의 내용이 노출되도록 제2 타입 데이터의 암호화를 제한하는 적어도 하나의 조건으로 이해될 수 있다.
또한, 저장부(120)에는, 본 발명에 따라, 플라즈마 시뮬레이션에 활용되는 특정 데이터를 편집 가능한지 여부에 따라, “편집 조건”이 특정 데이터에 매칭되어 저장될 수 있다.
이때, “편집 조건”은 특정 데이터에 매칭된 보안 조건에 근거하여 특정 데이터에 매칭되어 저장될 수 있다. 예를 들어, 특정 데이터에 매칭되어 저장된 보안 조건에 근거하여, 특정 데이터의 편집이 제한된 제1 편집 조건 및 특정 데이터의 편집이 가능한 제2 편집 조건 중 적어도 하나가 특정 데이터에 매칭되어 저장될 수 있다.
보안 조건은, 본 발명에 따른 시스템 관리자(미도시)로부터 입력된 정보에 근거하여, 특정 데이터에 매칭되어 저장될 수 있다.
시스템 관리자는, 특정 데이터의 내용에 근거하여, 특정 데이터에 보안 조건을 매칭할 수 있다.
일 예로, 시스템 관리자는, 특정 데이터를 플라즈마 시뮬레이션 프로그램을 이용하는 모든 사용자 계정에 비공개하기 위한 보안 조건을, 특정 데이터에 매칭할 수 있다.
예를 들어, 도 3에 도시된 것과 같이, 저장부(120)에는, 플라즈마 시뮬레이션에 활용되는 데이터 각각에 “보안 조건” 및 “편집 조건”이 매칭되어 저장되어 있을 수 있다.
한편, 저장부(120)에는 본 발명에 따른 플라즈마 시뮬레이션 프로그램에 가입된 사용자 계정 정보와 연관된 이용권 정보가 저장되어 있을 수 있다. 구체적으로, 이용권 정보는, 사용자 계정, 보유한 이용권 종류, 사용한 이용권의 종류, 보안 등급 등을 포함할 수 있다. 단, 사용자 계정 정보와 연관된 이용된 정보는, 본 명세서에서 상술한 내용에 제한되는 것은 아니다.
본 발명에서는, 사용자 계정에 매칭된 보안 등급에 근거하여, 플라즈마 시뮬레이션 프로그램을 이용하는 사용자에게 특정 데이터의 내용의 노출 제한 및 특정 데이터의 편집 제한을 결정할 수 있다.
다음으로, 제어부(130)는 본 발명과 관련된 플라즈마 시뮬레이션 시스템(100)의 전반적인 동작을 제어하도록 이루어질 수 있다. 제어부(130)는 위에 살펴본 구성 요소들을 통해 입력 또는 출력되는 신호, 데이터, 정보, 기능 등을 제공 또는 처리할 수 있다.
본 발명에 따르면, 제어부(130)는, 통신부(110)을 통해, 저장부(120) 또는 외부 서버(140)에 저장된 본 발명에 따른 플라즈마 시뮬레이션에 필요한 정보를 송수신할 수 있다.
나아가, 제어부(130)는, 플라즈마 시뮬레이션 프로그램에 로그인된 사용자 계정을 확인하고, 계정에 매칭된 보안 등급에 따라, 특정 데이터의 내용에 대한 접근 권한이 있는지를 판단하여, 특정 데이터의 내용을 제공할 수 있다. 다른 예로서, 상기 제어부(130)는, 플라즈마 시뮬레이션 프로그램에 대한 라이선스를 확인하고, 상기 라이선스에 매칭된 보안 등급에 따라, 특정 데이터의 내용에 대한 접근 권한이 있는지를 판단하여, 특정 데이터의 내용을 제공할 수 있다. 이 경우에, 상기 라이선스는 상기 저장부(120)에 저장되거나, 별도의 서버에 설치될 수 있다.
또한, 제어부(130)는, 플라즈마 시뮬레이션 프로그램이 구동된 전자기기(200)로부터 특정 데이터가 선택된 경우, 특정 데이터에 설정된 편집 조건에 따라, 제한된 편집 기능을 제공할 수 있다.
한편, 도 1에 도시된 것과 같이, 전자기기(200)는, 그 종류에 제한이 없으며, 휴대폰, 스마트 폰(smart phone), 노트북 컴퓨터(notebook computer), 휴대용 컴퓨터(laptop computer), 슬레이트 PC(slate PC), 태블릿 PC(tablet PC), 울트라북(ultrabook), 데스크톱 컴퓨터(desktop computer), 디지털방송용 단말기, PDA(personal digital assistants), PMP(portable multimedia player) 등이 될 수 있다. 본 발명에서, 전자기기(200)는, 사용자 단말기, 사용자 단말 등과 혼용되어 사용될 수 있다.
이 경우, 본 발명에 따른 플라즈마 시뮬레이션 시스템(100)은, 웹 브라우저(web browser)기반의 서비스로 제공되거나, 애플리케이션 또는 소프트웨어로 구현될 수 있다. 이때, 플라즈마 시뮬레이션 시스템(100)에 따른 애플리케이션 또는 소프트웨어는, 전자기기(200)에 설치될 수 있다.
예를 들어, 본 발명에 따른 플라즈마 시뮬레이션 시스템(100)의 통신부(110), 저장부(120) 및 제어부(130)는, 전자기기(200)의 하드웨어 구성을 활용하여, 플라즈마 시뮬레이션을 수행할 수 있다.
이때, 통신부(110)는 전자기기(200)의 통신부에 구비된 통신 모듈(예를 들어, 이동통신 모듈, 근거리 통신 모듈, 무선 인터넷 모듈, 위치 정보 모듈, 방송 수신 모듈 등)의 구성을 이용하여, 적어도 하나의 외부 서버(140)와 통신할 수 있다.
이때, 통신부(110)는 외부 서버(140)에 저장된 적어도 하나의 플라즈마 시뮬레이션에 활용되는 데이터를 수신할 수 있다.
나아가, 저장부(120)는 전자기기(200)에 구비된(또는 삽입된) 메모리 또는 외부 서버(140)를 이용하여, 본 발명과 관련된 다양한 정보를 저장하도록 이루어질 수 있다.
한편, 제어부(130)는, 전자기기(200)에 구비된 CPU 및 클라우드 서버 중 적어도 하나를 활용하여, 각 구성에 대한 제어 및 본 발명과 관련된 전반적인 제어를 수행할 수 있다.
나아가 제어부(130)는 본 발명을 수행하기 위하여, 전자기기(200)의 구성 중 적어도 하나에 대한 제어 권한을 가질 수 있다. 또한, 제어부(130)는 전자기기(200)의 디스플레이부를 제어하여, 본 발명에서 제공하는 데이터의 노출 및 편집이 제한된 플라즈마 시뮬레이션 프로그램의 페이지를 디스플레이부 상에 제공할 수 있다. 이때, 제어부(130)는 디스플레이부에 대한 직접 제어 또는 디스플레이부를 제어하는 전자기기(200)의 제어부에 제어 명령을 전달함으로써 디스플레이부에 대한 제어를 간접적으로 수행할 수 있다.
이하에서는, 첨부된 도면과 함께, 제한된 편집을 제공하는 플라즈마 시뮬레이션 제공 방법에 대하여 보다 구체적으로 살펴본다.
도 2는 도 1의 플라즈마 시뮬레이션 시스템에서 수행하는 제한된 편집을 제공하는 플라즈마 시뮬레이션 방법의 흐름도이고, 도 4는 플라즈마 시뮬레이션 프로그램의 페이지를 설명하기 위한 개념도이다.
도 2에 도시된 것과 같이, 본 발명에 따른 플라즈마 시뮬레이션 방법에 의하면, 제어부(130)는, 플라즈마 시뮬레이션 프로그램이 구동된 전자기기(200)의 디스플레이 상에, 플라즈마 시뮬레이션 프로그램의 페이지를 제공할 수 있다(S210).
본 예시에서, 상기 페이지는 사용자 인터페이스가 될 수 있으며, 주로 그래픽 사용자 인터페이스(Graphical User Interface, GUI)를 예시한다.
예를 들어, 도 4에 도시된 것과 같이, 플라즈마 시뮬레이션 프로그램을 위하여, 제어부(130)는, 플라즈마 시뮬레이션 프로그램이 구동된 전자기기(200)의 디스플레이 상에, 플라즈마 시뮬레이션에 활용되는 데이터를 포함하는 플라즈마 시뮬레이션 프로그램의 페이지(또는 “화면”이라고 명명 가능, 400)가 출력되도록 제어할 수 있다.
또한, 본 발명에서 제공하는 플라즈마 시뮬레이션 프로그램 페이지(400)는, 플라즈마 시뮬레이션에 활용되는 데이터에 대응되는 항목을 포함하는 복수의 영역을 포함할 수 있다.
예를 들어, 도 4에 도시된 것과 같이, 플라즈마 시뮬레이션 프로그램 페이지(400)는, i) 플라즈마 시뮬레이션에 활용되는 데이터에 대응되는 항목으로 구성된 반응식 리스트를 포함하는 영역(예를 들어, Data, 410), ii) 플라즈마 시뮬레이션에 활용되는 데이터에 대응되는 항목 및 항목에 대응되는 데이터의 편집 영역을 포함하는 영역(예를 들어, Properties, 420) 등을 포함할 수 있다.
한편, 위에 나열된 플라즈마 시뮬레이션 프로그램의 페이지는 일 예시에 불과하며, 본 발명에 따른 페이지는, 플라즈마 시뮬레이션과 관련하여 필요한 정보를 포함하거나 기능을 수행하는 다양한 영역을 포함할 수 있다.
나아가, 본 발명에 따른 플라즈마 시뮬레이션에 활용되는 데이터는, 플라즈마 시뮬레이션의 초기값, 플라즈마 시뮬레이션 계산에 사용되는 화학 반응식, 플라즈마 시뮬레이션의 조건 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.
단, 본 명세서에 따른 플라즈마 공정과 관련된 정보는 상술한 내용에 제한되는 것은 아니다.
다음으로, 제어부(130)는, 플라즈마 시뮬레이션 프로그램의 페이지 상에, 플라즈마 시뮬레이션에 활용되는 제1 타입 데이터 및 제2 타입 데이터에 각각 대응되는 항목들로 구성된 반응식 리스트를 제공할 수 있다(S220).
제어부(130)는, 제1 타입 데이터 및 제2 타입 데이터 각각에 대하여 설정된 기 설정된 보안 조건에 근거하여, 제1 타입 데이터 및 제2 타입 데이터를 구분할 수 있다.
나아가, 제어부(130)는, 상기 제1 타입 데이터 및 상기 제2 타입 데이터 각각에 설정된 상기 기 설정된 보안 조건에 근거하여, 제1 타입 데이터에 대응되는 제1 항목의 표시 방식과 제2 타입 데이터에 대응되는 제2 항목의 표시 방식을 결정할 수 있다.
예를 들어, 도 4에 도시된 것과 같이, 제어부(130)는, 플라즈마 시뮬레이션 프로그램의 페이지(400)의 일 영역(예를 들어, Data, 410)에, 플라즈마 시뮬레이션에 활용되는 제1 타입 데이터에 대응되는 제1 항목(예를 들어, “DB”412) 및 제2 타입 데이터에 대응되는 제2 항목(예를 들어, “ C2F4+E”413) 중 적어도 하나로 구성된 반응식 리스트(411)가 출력되도록 제어할 수 있다.
보다 구체적으로, 제어부(130)는, 제1 타입 데이터의 내용이 반응식 리스트(411)상에 노출되지 않도록, 제1 타입 데이터를 기 설정된 보안 조건에 근거하여 암호화하고, 제1 항목(412)에는 제1 타입 데이터의 내용이 노출되지 않도록, 제1 타입 데이터가 암호화되었음을 나타내는 가이드 정보(예를 들어, “Confidential DB”)가 포함되도록 할 수 있다.
또한, 제어부(130)는, 제2 타입 데이터의 내용이 반응식 리스트(411)상에서 노출되도록, 제2 타입 데이터의 암호화를 제한하고, 제2 항목(413)에는 제2 타입 데이터의 내용이 포함되도록 할 수 있다.
나아가, 제어부(130)는, 플라즈마 시뮬레이션 프로그램에 로그인된 사용자 계정에 따라, 제1 타입 데이터 및 제2 타입 데이터에 각각 대응되는 항목들로 구성된 반응식 리스트가 서로 다르게 출력되도록 제어할 수 있다. 이 경우에, 상기 로그인된 사용자 계정은 상기 플라즈마 시뮬레이션 프로그램과 관련된 라이선스로 대체될 수 있다. 특히, 제어부(130)는 오프라인으로 상기 플라즈마 시뮬레이션 프로그램을 사용하는 경우에, 상기 라이선스에 따라, 제1 타입 데이터 및 제2 타입 데이터에 각각 대응되는 항목들로 구성된 반응식 리스트가 서로 다르게 출력되도록 제어할 수 있다. 다만, 설명의 편의상 이하에서는, 사용자 계정을 기준으로 본 발명에 대하여 설명한다.
예를 들어, 도 3에 도시된 플라즈마 시뮬레이션에 활용되는 데이터와 같이, 보안 조건1에 매칭된 데이터(310), 보안 조건2에 매칭된 데이터(320), 보안 조건3에 매칭된 데이터(330)가 있을 경우에 다음과 같은 예시가 가능하다.
제어부(130)는, 플라즈마 시뮬레이션 프로그램에 로그인된 사용자 계정이 보안 조건2 및 보안 조건 3에 각각 매칭된 데이터(320, 330)의 내용에 접근 권한이 있다고 판단한 경우, 보안 조건 1에 매칭된 데이터(310)를 제1 타입 데이터, 보안 조건 2 및 보안 조건 3에 각각 매칭된 데이터(320, 330)는 제2 타입 데이터로 구분할 수 있다.
이와 같이, 본 발명에 따른, 제1 타입 데이터 및 제2 타입 데이터에 각각 대응되는 항목들로 구성된 반응식 리스트(411)는, 플라즈마 시뮬레이션 프로그램에 로그인된 계정에 따라, 서로 다르게 제공될 수 있다.
한편, 제어부(130)는, 플라즈마 시뮬레이션 프로그램이 구동된 전자기기(200)로부터, 제1 타입 데이터에 대응되는 제1 항목이 선택되는 경우, 플라즈마 시뮬레이션 프로그램의 페이지(400)상에, 제1 항목에 대응되는 제1 타입 데이터의 내용과 관련된 정보를 제공할 수 있다.
예를 들어, 제1 타입 데이터에 대응되는 항목의 제공 방법을 설명하기 위한 개념도인 도5에 도시된 것과 같이, 제어부(130)는, 플라즈마 시뮬레이션 프로그램이 구동된 전자기기(200)로부터 반응식 리스트(411)에 포함된 항목들 중 제1 타입 데이터에 대응되는 제1 항목(예를 들어, 510)이 선택되는 경우, 플라즈마 시뮬레이션 프로그램의 페이지(400)상에, 제1 타입 데이터의 내용과 관련된 정보(520)를 출력하도록 제어할 수 있다.
여기서, 제1 타입 데이터의 내용과 관련된 정보(520)에는, 제1 타입 데이터의 내용이 노출되지 않도록, 제1 타입 데이터가 암호화되었음 나타내는 가이드 정보(예를 들어, “비공개 데이터”)와 제1 타입 데이터의 내용에 대한 정보(예를 들어, “플라즈마 식각 공정에 사용되는 반응식”) 등이 포함될 수 있다.
나아가, 제1 타입 데이터의 내용과 관련된 정보는, 플라즈마 시뮬레이션 프로그램에 로그인된 계정에 따라 달라질 수 있다.
보다 구체적으로, 제어부(130)는, 플라즈마 시뮬레이션 프로그램이 구동된 전자기기(200)로부터, 제1 타입 데이터에 대응되는 제1 항목이 선택되는 경우,
플라즈마 시뮬레이션 프로그램에 로그인된 사용자 계정을 확인하고, 사용자 계정이 제1 타입 데이터의 내용에 접근 권한이 있는지 여부를 판단하며,
판단 결과에 근거하여, 제1 타입 데이터의 내용 및 제1 타입 데이터의 내용과 관련된 정보 중 적어도 하나를 플라즈마 시뮬레이션 프로그램의 페이지(400)상에 제공할 수 있다.
일 예로, 제어부(130)는, 플라즈마 시뮬레이션 프로그램에 로그인된 사용자 계정에 매칭되어 저장된 보안 등급에 기초하여, 플라즈마 시뮬레이션 프로그램에 로그인된 사용자 계정이 제1 타입 데이터의 내용에 접근 권한이 있다고 판단할 할 수 있다.
이때, 제어부(130)는, 제1 타입 데이터의 보안을 해제할 수 있는 가이드 정보를, 플라즈마 시뮬레이션 프로그램의 페이지(400)상에 제공할 수 있다.
예를 들어, 도 6에 도시된 것과 같이, 플라즈마 시뮬레이션 프로그램이 구동된 전자기기(200)로부터, 반응식 리스트(411)에 포함된 항목들 중 제1 타입 데이터에 대응되는 제1 항목(예를 들어, 610)이 선택되는 경우,
제어부(130)는, 플라즈마 시뮬레이션 프로그램의 페이지(400)상에, 제1 타입 데이터의 보안을 해제할 수 있는 가이드 정보(예를 들어, “보안 해제 시, 반응식 제공 가능”)가 포함된 제1 타입 데이터의 내용과 관련된 정보(630)를 출력하도록 제어할 수 있다.
또한, 제1 타입 데이터의 내용과 관련된 정보(630)에는, 제1 타입 데이터의 내용이 노출되지 않도록, 제1 타입 데이터가 암호화되었음 나타내는 가이드 정보(예를 들어, “비공개 데이터”)와 제1 타입 데이터의 내용에 대한 정보(예를 들어, “플라즈마 식각 공정에 사용되는 반응식”) 등이 포함될 수 있다.
단, 본 명세서에 따른 제1 타입 데이터의 내용과 관련된 정보(520, 630)는, 상술한 내용에 제한되는 것은 아니다.
한편, 제어부(130)는, 플라즈마 시뮬레이션 프로그램에 로그인된 계정이 제1 타입 데이터에 접근 권한이 있다고 판단할 경우, 제1 타입 데이터의 보안을 해제하기 위한 기능 아이콘(예를 들어, 620)이 플라즈마 시뮬레이션 프로그램의 페이지(400)상에 출력되도록 제어할 수 있다.
예를 들어, 도 6에 도시된 것과 같이, 제어부(130)는, 제1 타입 데이터에 대응되는 보안 해제 기능 아이콘(620)을, 반응식 리스트(411)상에, 제1 타입 데이터에 대응하는 제1 항목(610)과 함께 출력되도록 할 수 있다.
나아가, 제어부(130)는, 플라즈마 시뮬레이션 프로그램이 구동된 전자기기(200)로부터, 제1 타입 데이터에 대응되는 보안 해제 기능 아이콘(620)이 선택된 경우, 플라즈마 시뮬레이션 프로그램에 로그인된 계정에 있어서, 선택된 제1 타입 데이터에 대한 보안 해제 절차를 수행할 수 있다.
일 예로, 보안 해제 절차는, 제어부(130)가, 플라즈마 시뮬레이션 프로그램이 구동된 전자기기(200)로부터, 플라즈마 시뮬레이션 프로그램에 포함된 계정의 비밀번호를 수신하고, 수신된 비밀번호가 플라즈마 시뮬레이션 프로그램에 포함된 계정의 비밀번호와 일치하는지를 판단하는 것을 포함할 수 있다.
나아가, 제어부(130)는, 보안 해제 절차의 결과에 따라, 제1 타입 데이터의 내용을 플라즈마 시뮬레이션 프로그램의 페이지(400)상에 제공할 수 있다.
한편, 위에 나열한 제1 타입 데이터의 보안 해제 절차는 일 예시에 불과하면, 본 발명에 따른 제1 타입 데이터의 보안 해제 절차는, 플라즈마 시뮬레이션 프로그램에 활용되는 데이터의 내용을 확인하기 위한 다양한 방법을 포함할 수 있다.
본 발명에 따르면, 저장부(120)에 저장된 제1 타입 데이터 및 제2 타입 데이터 각각은, 제1 타입 데이터 및 제2 타입 데이터를 편집 가능한지 여부에 따라, 편집이 제한된 제1 편집 조건 또는 편집이 가능한 제2 편집 조건을 갖도록 이루어진다.
제어부(130)는, 플라즈마 시뮬레이션 프로그램이 구동된 전자기기(200)로부터, 제1 타입 데이터 및 제2 타입 데이터 중 제1 편집 조건을 갖는 데이터에 대응하는 항목이 선택되는 경우, 플라즈마 시뮬레이션 프로그램의 페이지(400)상에, 선택된 항목에 대응되는 데이터를 편집할 수 없다는 가이드 정보를 제공할 수 있다.
예를 들어, 도 7에 도시된 것과 같이, 제어부(130)는, 플라즈마 시뮬레이션 프로그램이 구동된 전자기기(200)로부터, 반응식 리스트(411)를 구성하는 항목들 중 제1 편집 조건을 갖는 데이터에 대응되는 특정 항목(예를 들어, 710)이 선택되는 경우, 특정 항목에 대한 수정이 불가능하다는 가이드 정보(예를 들어, “수정 불가능, 720)를 플라즈마 시뮬레이션 프로그램의 페이지(400)상에 출력되도록 제어할 수 있다.
반면, 제어부(130)는, 플라즈마 시뮬레이션 프로그램이 구동된 전자기기(200)로부터, 제1 타입 데이터 및 제2 타입 데이터 중 제2 편집 조건을 갖는 데이터에 대응되는 특정 항목이 선택되는 경우, 특정 항목에 대응되는 데이터의 편집이 가능하도록, 플라즈마 시뮬레이션 프로그램의 페이지(400)의 적어도 일 영역에 포함된 편집 영역이 활성화되도록 제어할 수 있다.
예를 들어, 도 8에 도시된 것과 같이, 플라즈마 시뮬레이션 프로그램이 구동된 전자기기(200)로부터, 반응식 리스트(411)를 구성하는 항목들 중 제2 편집 조건을 같은 데이터에 대응되는 특정 항목(예를 들어, 810)이 선택되는 경우, 제어부(130)는 선택된 특정 항목(810)에 연관된 편집 영역 활성화 아이콘(820)과 특정 항목에 대응되는 데이터를 편집할 수 있다는 가이드 정보(예를 들어, “수정 가능”, 830)를 플라즈마 시뮬레이션 프로그램의 페이지(400)상에 출력되도록 제어할 수 있다.
제어부(130)는, 플라즈마 시뮬레이션 프로그램이 구동된 전자기기(200)로부터, 특정 항목(810)에 연관된 편집 영역 활성화 아이콘(820)이 선택되는 경우, 특정 항목에 대응되는 데이터의 편집 영역을 플라즈마 시뮬레이션 프로그램의 페이지(400)상에 제공할 수 있다.
예를 들어, 도 9에 도시된 것과 같이, 제어부(130)는 특정 항목에 대응되는 데이터의 편집 영역(900)를 플라즈마 시뮬레이션 프로그램의 페이지(400)상에 팝업 형태로 출력되도록 제어할 수 있다.
특정 항목에 대응되는 데이터의 편집 영역(900)은, 제1 영역 내지 제2 영역(910, 920)이 일 방향을 따라 나란하게 배치될 수 있다.
예를 들어, 제1 영역(910)은, 제2 영역(920) 상단에 배치될 수 있다. 이러한 특정 항목에 대응되는 데이터의 편집 영역(900)의 구성은 일 예시에 불과하며, 다양하게 변경이 가능하다.
먼저, 도 9에 도시된 것과 같이, 제1 영역(910)에는, 특정 항목에 대응되는 데이터의 내용을 수정할 수 있도록 특정 항목에 대응되는 데이터의 내용이 포함될 수 있다.
다음으로 도 9에 도시된 것과 같이, 제1 영역(920)에는, 특정 항목에 대응되는 데이터의 편집 영역(900)에서 제공되는 기능 아이콘들(921, 922)이 포함될 수 있다.
제어부(130)는, 제2 영역(920)에 포함된 기능 아이콘들(921, 922) 중 적어도 하나(예를 들어, “확인”, 922)가 선택되면, 본 발명에 따라, 특정 항목에 대응되는 데이터의 편집 영역(900)의 제1 영역에 포함된 데이터의 내용을 특정 항목에 대응되는 데이터의 내용으로 저장부(120)에 저장할 수 있다.
한편, 제어부(130)는, 제2 영역(920)에 포함된 기능 아이콘들(921, 922) 중 적어도 하나(예를 들어, “취소”, 921)가 선택되면, 특정 항목에 대응되는 데이터의 편집을 수행하는 과정을 종료할 수 있다.
단, 본 발명에 따른, 특정 항목에 대응되는 데이터의 편집 영역(900)의 제공 방법은, 본 명세서에 상술하 내용에 국한되지 않으며, 플라즈마 시뮬레이션 프로그램의 페이지(400)의 분할된 영역, 새로운 페이지 구성 등 다양한 형태로 제공될 수 있다.
또한, 본 발명에 따라, 제1 타입 데이터의 항목은 제1 타입 데이터의 내용이 노출되지 않도록 암호화되므로, 제1 타입 데이터에 매칭된 편집 조건이 제2 편집 조건일지라도, 제어부(130)는, 제1 타입 데이터의 편집을 제한할 수 있다.
나아가, 제어부(130)는 반응식 리스트(411)에 포함된 항목들 중 적어도 하나의 항목에 대응되는 데이터를 이용하여, 플라즈마 시뮬레이션을 수행할 수 있다(S230).
다음으로, 제어부(130)는, 페이지(400)상에 플라즈마 시뮬레이션의 결과를 제공할 수 있다(S240).
예를 들어, 플라즈마 시뮬레이션 결과의 제공 방법을 설명하기 위한 개념도인 도 10a 내지 도 10b에 도시된 것과 같이, 제어부(130)는, 플라즈마 시뮬레이션 프로그램 페이지(400)의 일 영역(예를 들어, Result, 1000)에 플라즈마 시뮬레이션의 결과가 출력되도록 제어할 수 있다.
플라즈마 시뮬레이션 프로그램의 페이지(400)의 일 영역(예를 들어, Result, 1000)은, i) 플라즈마 시뮬레이션 수행에 이용된 데이터에 대응되는 적어도 하나의 항목을 포함하는 영역(예를 들어, Input Data Table, 1010), ii) 플라즈마 시뮬레이션의 결과를 포함하는 영역(예를 들어, Output, 1020)을 포함할 수 있다.
보다 구체적으로, 제어부(130)는, 플라즈마 시뮬레이션 프로그램의 페이지(400)의 일 영역(예를 들어, Input Data Table, 1010)에, 플라즈마 시뮬레이션 결과와 함께, 플라즈마 시뮬레이션 수행에 이용된 데이터에 대응되는 적어도 하나의 항목을 출력하도록 제어할 수 있다.
나아가, 제어부(130)는, 플라즈마 시뮬레이션 수행에 이용된 데이터에 대응되는 적어도 하나의 항목이, 적어도 하나의 항목 각각 대응되는 데이터에 설정된 기 설정된 보안 조건에 근거하여, 서로 다르게 표시되도록 할 수 있다.
예를 들어, 도 10a에 도시된 것과 같이, 제어부(130)는, 플라즈마 시뮬레이션 수행에 이용된 데이터에 설정된 기 설정 보안 조건에 근거하여, 플라즈마 시뮬레이션 수행에 이용된 데이터의 내용을 포함하는 항목(1011) 및 플라즈마 시뮬레이션 수행에 이용된 데이터의 내용이 노출되지 않도록 데이터가 암호화되었음을 나타내는 가이드 정보(예를 들어, Confidential DB)를 포함하는 항목(1012) 중 적어도 하나의 항목이, 플라즈마 시뮬레이션 프로그램의 페이지(400)의 일 영역(예를 들어, Input Data Table, 1010)상에 출력되도록 제어할 수 있다.
또한, 제어부(130)는, 플라즈마 시뮬레이션의 결과를 포함하는 영역(예를 들어, Output, 1020)상에, 플라즈마 시뮬레이션 프로그램의 페이지(400)의 일 영역(예를 들어, Input Data Table, 1010)에 포함된 적어도 하나의 항목에 대응되는 데이터를 이용하여 수행된 플라즈마 시뮬레이션의 결과를 출력하도록 제어할 수 있다.
나아가, 플라즈마 시뮬레이션의 결과는, 적어도 하나의 항목에 대응되는 데이터에 근거하여 반응을 나타내는 도형을 포함할 수 있다.
예를 들어, 도 10a 내지 도 10b에 도시된 것과 같이, 제어부(130)는, 플라즈마 시뮬레이션의 결과를 포함하는 영역(예를 들어, Output, 1020)상에, 적어도 하나의 항목에 대응되는 데이터에 근거하여 반응을 나타내는 도형(예를 들어, 2차원 그래프, 1021)이 출력되도록 제어할 수 있다.
나아가, 제어부(130)는, 플라즈마 시뮬레이션 프로그램이 구동된 전자기기(200)로부터 적어도 하나의 항목에 대응되는 데이터에 근거하여 반응을 나타내는 도형(1021)의 일 지점이 선택되는 경우, 적어도 하나의 항목에 대응되는 데이터 중 일 지점에 관련된 반응에 해당하는 특정 데이터에 대한 정보를 제공할 수 있다.
여기서, 특정 데이터에 대한 정보는, 특정 데이터에 대해 설정된 기 설정된 보안 조건에 따라 달라질 수 있다.
예를 들어, 도 10a에 도시된 것과 같이, 제어부(130)는, 도형(1021)의 일 지점에 관련된 반응에 해당하는 특정 데이터가, 특정 데이터에 설정된 기 설정 보안 조건에 근거하여, 제2 타입 데이터로 구분될 경우, 특정 데이터의 내용을 포함하는 특정 데이터에 대한 정보(1022)가, 플라즈마 시뮬레이션의 결과를 포함하는 영역(예를 들어, Output, 1020)상에 출력되도록 제어할 수 있다.
또한, 도 10b에 도시된 것과 같이, 제어부(130)는 도형(1021)의 일 지점에 관련된 반응에 해당하는 특정 데이터가, 특정 데이터에 설정된 기 설정 보안 조건에 근거하여, 제1 타입 데이터로 구분될 경우, 내용이 노출되지 않도록 데이터가 암호화되었음을 나타내는 가이드 정보(예를 들어, Confidential DB)를 포함하는 특정 데이터에 대한 정보(1023)가, 플라즈마 시뮬레이션의 결과를 포함하는 영역(예를 들어, Output, 1020)상에 출력되도록 제어할 수 있다.
한편, 위에 나열된 플라즈마 시뮬레이션 프로그램의 페이지(400)의 일 영역(예를 들어, Result, 1000)은 일 예시에 불과하며, 페이지(400)의 일 영역(예를 들어, Result, 1000)은 플라즈마 시뮬레이션의 결과와 관련하여 필요한 정보를 포함하거나 기능을 수행하는 다양한 영역을 포함할 수 있다.
한편, 컴퓨터가 읽을 수 있는 매체는, 컴퓨터 시스템에 의하여 읽힐 수 있는 데이터가 저장되는 모든 종류의 기록장치를 포함한다. 컴퓨터가 읽을 수 있는 매체의 예로는, HDD(Hard Disk Drive), SSD(Solid State Disk), SDD(Silicon Disk Drive), ROM, RAM, CD-ROM, 자기 테이프, 플로피 디스크, 광 데이터 저장 장치 등이 있다.
나아가, 컴퓨터가 읽을 수 있는 매체는, 저장소를 포함하며 전자기 기가 통신을 통하여 접근할 수 있는 서버 또는 클라우드 저장소일 수 있다. 이 경 우, 컴퓨터는 유선 또는 무선 통신을 통하여, 서버 또는 클라우드 저장소로부터 본 발명에 따른 프로그램을 다운로드 받을 수 있다.
나아가, 본 발명에서는 위에서 설명한 컴퓨터는 프로세서, 즉 CPU(Central Processing Unit, 중앙처리장치)가 탑재된 전자기기로서, 그 종류에 대하여 특별한 한정을 두지 않는다.
한편, 본 명세서와 도면에 개시된 본 발명의 실시 예들은 본 발명의 기술 내용을 쉽게 설명하고 본 발명의 이해를 돕기 위해 특정 예를 제시한 것일 뿐이며, 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것은 아니다. 따라서 본 발명의 범위는 여기에 개시된 실시 예들 이외에도 본 발명의 기술적 사상을 바탕으로 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
Claims (10)
- 플라즈마 시뮬레이션 프로그램이 구동된 전자기기의 디스플레이 상에, 상기 플라즈마 시뮬레이션 프로그램의 페이지를 제공하는 단계;
상기 페이지 상에, 플라즈마 시뮬레이션에 활용되는 제1 타입 데이터 및 제2 타입 데이터에 각각 대응되는 항목들로 구성된 반응식 리스트를 제공하는 단계;
상기 반응식 리스트에 포함된 상기 항목들 중 적어도 하나의 항목에 대응되는 데이터를 이용하여, 상기 플라즈마 시뮬레이션을 수행하는 단계; 및
상기 페이지 상에, 상기 플라즈마 시뮬레이션의 결과를 제공하는 단계를 포함하고,
상기 제1 타입 데이터 및 상기 제2타입 데이터의 구분은 상기 제1 타입 데이터 및 제2 타입 데이터 각각에 대하여 설정된 기 설정된 보안 조건에 근거하여 이루어지고,
상기 항목들 중 상기 제1 타입 데이터에 대응되는 제1 항목의 표시 방식과 상기 제2 타입 데이터에 대응되는 제2 항목의 표시 방식은, 상기 제1 타입 데이터 및 상기 제2 타입 데이터 각각에 설정된 상기 기 설정된 보안 조건에 근거하여, 결정되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 시뮬레이션 제공 방법. - 제1 항에 있어서,
상기 제1 타입 데이터는 상기 제1 타입 데이터의 내용이 상기 반응식 리스트 상에서 노출되지 않도록, 상기 기 설정된 보안 조건에 근거하여 암호화되고,
상기 제1 항목에는, 제1 타입 데이터 내용이 노출되지 않도록 상기 제1 타입 데이터가 암호화되었음을 나타내는 가이드 정보가 포함되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 시뮬레이션 제공 방법. - 제2 항에 있어서,
상기 제2 타입 데이터는 상기 제2 타입 데이터의 내용이 상기 반응식 리스트 상에서 노출되도록, 암호화가 제한되는 데이터이며,
상기 제2 항목에는 상기 제2 타입 데이터의 내용이 포함되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 시뮬레이션 제공 방법. - 제2 항에 있어서,
상기 전자기기로부터 상기 제1 타입 데이터에 대응되는 상기 제1 항목이 선택되는 경우,
상기 페이지 상에, 상기 제1 항목에 대응되는 상기 제1 타입 데이터의 내용과 관련된 정보를 제공하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 시뮬레이션 제공 방법. - 제2 항에 있어서,
상기 전자기기로부터 상기 제1 타입 데이터에 대응되는 상기 제1 항목이 선택되는 경우,
상기 플라즈마 시뮬레이션 프로그램에 로그인된 사용자 계정이나 저장된 라이선스를 확인하고,
상기 사용자 계정이나 라이선스가, 상기 제1 타입 데이터의 내용에 접근 권한이 있는지 여부를 판단하며,
상기 판단 결과에 근거하여, 상기 제1 타입 데이터의 내용 및 제1 타입 데이터의 내용과 관련된 정보 중 적어도 하나를 상기 페이지 상에 제공하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 시뮬레이션 제공 방법. - 제1 항에 있어서,
상기 제1 타입 데이터 및 상기 제2 타입 데이터 각각은, 상기 제1 타입 데이터 및 상기 제2 타입 데이터를 편집 가능한지 여부에 따라, 편집이 제한된 제1 편집 조건 또는 편집이 가능한 제2 편집 조건을 갖도록 이루어지고,
상기 제1 타입 데이터 및 상기 제2 타입 데이터 중 상기 제2 편집 조건을 갖는 데이터에 대응되는 특정 항목이 선택되는 경우,
상기 특정 항목에 대응되는 데이터의 편집이 가능하도록, 상기 페이지의 적어도 일 영역에 포함된 편집 영역이 활성화되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 시뮬레이션 제공 방법. - 제1 항에 있어서,
상기 플라즈마 시뮬레이션의 결과를 제공하는 단계에서는,
상기 페이지상에, 상기 플라즈마 시뮬레이션 결과와 함께, 상기 플라즈마 시뮬레이션 수행에 이용된 데이터에 대응되는 상기 적어도 하나의 항목이 제공되고,
상기 플라즈마 시뮬레이션 수행에 이용된 데이터에 대응되는 상기 적어도 하나의 항목은, 상기 적어도 하나의 항목에 각각 대응되는 데이터에 설정된 상기 기 설정된 보안 조건에 근거하여, 서로 다르게 표시되도록 하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 시뮬레이션 방법. - 제1 항에 있어서,
상기 플라즈마 시뮬레이션의 결과를 제공하는 단계에서는,
상기 페이지상에, 상기 적어도 하나의 항목에 대응되는 데이터를 이용하여 수행된 상기 플라즈마 시뮬레이션의 결과가 제공되고,
상기 플라즈마 시뮬레이션의 결과는, 상기 적어도 하나의 항목에 대응되는 데이터에 근거한 반응을 나타내는 도형을 포함하고,
상기 전자기기로부터 상기 도형의 일 지점이 선택되는 경우, 상기 적어도 하나의 항목에 대응되는 데이터 중 상기 일 지점에 관련된 반응에 해당하는 특정 데이터에 대한 정보가 제공되고,
상기 특정 데이터에 대한 정보는, 상기 특정 데이터에 대해 설정된 상기 기 설정된 보안 조건에 따라 달라지는 것을 특징으로 하는 플라즈마 시뮬레이션 방법. - 저장부;
플라즈마 시뮬레이션 프로그램이 구동되는 전자기기 또는 외부서버 중 적어도 하나에 연결되는 통신부;
상기 플라즈마 시뮬레이션 프로그램이 구동되는 전자기기 상에 상기 플라즈마 시뮬레이션 프로그램의 페이지를 제공하는 제어부를 포함하고,
상기 제어부는,
상기 페이지 상에, 상기 플라즈마 시뮬레이션에 활용되는 제1 타입 데이터 및 제2 타입 데이터에 각각 대응되는 항목들로 구성된 반응식 리스트를 제공하고,
상기 반응식 리스트에 포함된 상기 항목들 중 적어도 하나의 항목에 대응되는 데이터를 이용하여, 상기 플라즈마 시뮬레이션을 수행하고,
상기 페이지 상에, 상기 플라즈마 시뮬레이션의 결과를 제공하며,
상기 제1 타입 데이터 및 상기 2타입 데이터의 구분은 상기 제1 타입 데이터 및 제2 타입 데이터 각각에 대하여 설정된 기 설정된 보안 조건에 근거하여 이루어지고,
상기 항목들 중 상기 제1 타입 데이터에 대응되는 제1 항목의 표시 방식과 상기 제2 타입 데이터에 대응되는 제2 항목의 표시 방식은, 상기 제1 타입 데이터 및 상기 제2 타입 데이터 각각에 설정된 상기 기 설정된 보안 조건에 근거하여, 결정되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 시뮬레이션 시스템. - 전자기기에서 하나 이상의 프로세스에 의하여 실행되며, 컴퓨터로 판독될 수 있는 기록매체에 저장된 프로그램으로서,
상기 프로그램은,
플라즈마 시뮬레이션 프로그램이 구동된 전자기기의 디스플레이 상에, 상기 플라즈마 시뮬레이션 프로그램의 페이지를 제공하는 단계;
상기 페이지 상에, 플라즈마 시뮬레이션에 활용되는 제1 타입 데이터 및 제2 타입 데이터에 각각 대응되는 항목들로 구성된 반응식 리스트를 제공하는 단계;
상기 반응식 리스트에 포함된 상기 항목들 중 적어도 하나의 항목에 대응되는 데이터를 이용하여, 상기 플라즈마 시뮬레이션을 수행하는 단계; 및
상기 페이지 상에, 상기 플라즈마 시뮬레이션의 결과를 제공하는 단계를 수행하는 명령어들을 포함하도록 구성되고,
상기 제1 타입 데이터 및 상기 2타입 데이터의 구분은 상기 제1 타입 데이터 및 제2 타입 데이터 각각에 대하여 설정된 기 설정된 보안 조건에 근거하여 이루어지고,
상기 항목들 중 상기 제1 타입 데이터에 대응되는 제1 항목의 표시 방식과 상기 제2 타입 데이터에 대응되는 제2 항목의 표시 방식은, 상기 제1 타입 데이터 및 상기 제2 타입 데이터 각각에 설정된 상기 기 설정된 보안 조건에 근거하여, 결정되는 것을 특징으로 하는 컴퓨터로 판독될 수 있는 기록매체에 저장된 프로그램.
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020220055505A KR20230155818A (ko) | 2022-05-04 | 2022-05-04 | 제한된 편집을 제공하는 플라즈마 시뮬레이터 |
| PCT/KR2022/006824 WO2023214606A1 (ko) | 2022-05-04 | 2022-05-12 | 제한된 편집을 제공하는 플라즈마 시뮬레이터 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020220055505A KR20230155818A (ko) | 2022-05-04 | 2022-05-04 | 제한된 편집을 제공하는 플라즈마 시뮬레이터 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20230155818A true KR20230155818A (ko) | 2023-11-13 |
Family
ID=88646551
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020220055505A KR20230155818A (ko) | 2022-05-04 | 2022-05-04 | 제한된 편집을 제공하는 플라즈마 시뮬레이터 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR20230155818A (ko) |
| WO (1) | WO2023214606A1 (ko) |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100575894B1 (ko) * | 2003-08-18 | 2006-05-02 | 학교법인 호서학원 | 플라즈마 공정 챔버의 최적화 진단시스템 및 진단방법 |
| US7353379B2 (en) * | 2005-02-25 | 2008-04-01 | Lam Research Corporation | Methods for configuring a plasma cluster tool |
| JP2011022690A (ja) * | 2009-07-14 | 2011-02-03 | Renesas Electronics Corp | シミュレーションモデル生成装置 |
| KR20210025461A (ko) * | 2019-08-27 | 2021-03-09 | 삼성전자주식회사 | 반도체 제조 공정 가이드 방법 및 이를 포함하는 전자 장치 |
| KR20210131026A (ko) * | 2020-04-23 | 2021-11-02 | 한국핵융합에너지연구원 | 플라즈마 시뮬레이션 서비스 제공 시스템 및 방법 |
-
2022
- 2022-05-04 KR KR1020220055505A patent/KR20230155818A/ko unknown
- 2022-05-12 WO PCT/KR2022/006824 patent/WO2023214606A1/ko unknown
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| WO2023214606A1 (ko) | 2023-11-09 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US11902281B2 (en) | On-demand security policy activation | |
| US11570160B2 (en) | Securely authorizing access to remote resources | |
| AU2014259666B2 (en) | Location-based configuration profile toggling | |
| US8639814B2 (en) | Electronic apparatus, virtual machine providing apparatus, and method of using virtual machine service | |
| US20170048698A1 (en) | Systems and methods for detection and control of information leaks in network traffic | |
| US20210133298A1 (en) | Systems and methods for dynamic workspace targeting with crowdsourced user context | |
| KR102202108B1 (ko) | 클라우드 인프라 자산의 취약점을 자동진단하기 위한 시스템 및 방법 | |
| US10114939B1 (en) | Systems and methods for secure communications between devices | |
| Ascoli et al. | Closed‐form analytical solution for on‐switching dynamics in a TaO memristor | |
| KR20230155818A (ko) | 제한된 편집을 제공하는 플라즈마 시뮬레이터 | |
| Kuroda | A combination of raspberry pi and softether vpn for controlling research devices via the internet | |
| US20190146897A1 (en) | Static program analysis of a partial software program | |
| Mihova et al. | Cognos Mobile-dashboards design and implementation technology | |
| US20230351023A1 (en) | System for remediation of security vulnerabilities in computing devices using continuous device-level scanning and monitoring | |
| KR102311827B1 (ko) | 사용자 적응형 모바일 디바이스 제어 방법 및 시스템 | |
| KR102633150B1 (ko) | 임의 반출이 통제된 데이터 분석 환경을 제공하는 방법, 컴퓨터 시스템, 및 컴퓨터 프로그램 | |
| AU2014259659B2 (en) | Time-based configuration policy toggling | |
| US11664989B2 (en) | Commissioning an access control device with a programmable card | |
| US11645391B2 (en) | Protecting computer systems against malicious software stored on removeable data storage devices | |
| Li et al. | Front Cover: DeepRescore: Leveraging Deep Learning to Improve Peptide Identification in Immunopeptidomics | |
| KR20230153730A (ko) | 텍스트 추출을 이용한 시뮬레이션 방법 | |
| Lu et al. | Identifying Duplicate Apps Across Platforms | |
| KR20190051667A (ko) | 클라우드 기반의 가상 데스크탑 환경을 제공하기 위한 장치, 이를 위한 방법 및 이 방법이 기록된 컴퓨터 판독 가능한 기록매체 | |
| Voas | Vetting Mobile App Vendors |