KR20230153730A - 텍스트 추출을 이용한 시뮬레이션 방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은, 전자 파일 형식의 문서로부터 플라즈마 공정과 관련된 문자 정보를 추출하고, 추출된 문자 정보 중 적어도 일부를 시뮬레이션 인자 데이터로 선정하여, 플라즈마 시뮬레이션을 수행하는 플라즈마 시뮬레이션 방법 및 시스템을 제공하는 것이다.
Description
본 발명은 플라즈마 시뮬레이션 방법 및 시스템에 관한 것이다.
반도체 제조 공정은 마이크로프로세서, 메모리 칩 또는 다른 집적 회로와 같은 반도체 디바이스를 만들기 위해 다양한 제조 단계에서 플라즈마 처리를 사용하고 있다. 이러한 플라즈마 공정은 플라즈마 장비에 의하여 수행되며, 예를 들어 웨이퍼 상에 물질막을 증착하거나 웨이퍼 상에 형성된 물질막을 식각하는 장비 등이 이용되고 있다.
플라즈마 장비나 공정의 특성을 분석하기 위해 플라즈마 시뮬레이터를 이용하여 플라즈마 장비 내부 상태를 계산하고 공정의 물리적 현상을 설명하는 것은 시간과 비용을 절감하는데 있어서 매우 중요한 작업이다.
따라서, 플라즈마 시뮬레이터의 수치해석을 위한 많은 연구개발이 활발히 진행되며, 그 결과가 논문, 보고서, 특허 문서 등의 연구 자료를 통하여 공개되고 있다. 일반적으로 연구자들이나 개발자들은, 이러한 연구 자료를 활용하여 새로운 화학식이나 계산 조건 등을 파악하고, 이를 플라즈마 시뮬레이션에 수동으로 입력하는 방식으로 시뮬레이터를 개발하고 있다.
하지만, 이러한 수동 입력의 경우에는 입력 오류로 인해 플라즈마 시뮬레이션의 정확도가 낮아지고, 또한, 많은 시간이 소요되는 등의 문제점이 있다.
본 발명은, 수동 입력에 따른 플라즈마 시뮬레이션의 입력 오류를 방지하여 플라즈마 시뮬레이션의 정확도를 개선하는 플라즈마 시뮬레이션 방법 및 시스템을 제공하는 것이다.
또한, 본 발명은, 연구 자료에서 플라즈마 공정과 관련된 정보를 파악하는 노력과 비용을 감소시켜, 플라즈마 시뮬레이터의 개발을 보다 효율적으로 수행하는 플라즈마 시뮬레이션 방법 및 시스템을 제공하는 것이다.
위에서 살펴본 과제를 해결하기 위하여, 본 발명에 따른 텍스트를 추출을 이용한 플라즈마 시뮬레이션 방법 및 시스템은, 문서 인식 기법을 통하여 연구 자료에서 자동으로 추출한 플라즈마 공정과 관련된 문자 정보를 이용하여 플라즈마 공정에 대한 시뮬레이션을 수행한다.
보다 구체적으로, 본 발명의 플라즈마 시뮬레이션 방법은, 플라즈마 시뮬레이션과 관련된 전자기기를 통해 플라즈마 공정과 관련된 정보를 포함하는 전자 파일 형식의 문서를 수신하는 단계와 문자 인식 기법을 사용하여 상기 전자 파일 형식의 문서에 포함된 상기 플라즈마 공정과 관련된 정보 중 적어도 일부를 문자 정보로 추출하는 단계, 상기 추출된 문자 정보를 이용하여 상기 플라즈마 시뮬레이션의 결과에 영향을 주는 적어도 하나의 시뮬레이션 인자 데이터를 선정하는 단계, 상기 생성된 시뮬레이션의 인자 데이터를 이용하여 상기 플라즈마 시뮬레이션을 수행하는 단계를 포함한다.
상기 문자 정보로 추출하는 단계는, 상기 전자 파일 형식의 문서에 포함된 텍스트 데이터를 제1 단위로 토큰화하여 정형된 데이터를 생성하는 단계; 및, 상기 플라즈마 공정과 관련된 정보를 상기 제1 단위와 다른 제2 단위로 토큰화하여 정형화된 데이터를 생성하는 단계를 포함한다. 상기 제1 단위는 단어 단위 및 문장 단위 중 적어도 하나를 포함하고, 상기 제2 단위는 화학식 단위 및 화학반응식 단위 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.
상기 시뮬레이션 인자 데이터를 선정하는 단계는, 딥 러닝 기반의 자연어 처리 기술(NLP)을 이용하여, 상기 추출된 문자 정보 중 적어도 하나 이상을 시뮬레이션의 인자 데이터로 선정한다. 화학반응식, 상기 화학반응식에 포함되는 가스의 종들, 상기 화학반응식의 반응계수, 상기 종들의 밀도 데이터 중 적어도 하나가 상기 전자 문서로부터 추출되어, 상기 시뮬레이션의 인자 데이터로 선정될 수 있다.
상기 추출된 화학반응식은 상기 전자 파일 형식의 문서에 포함된 반응 계수와 관련된 정보와 서로 매칭되어 데이터베이스로서 저장될 수 있다. 상기 추출된 화학반응식이 전자가 포함된 반응인 경우, 상기 전자의 손실에너지를 상기 전자 파일 형식의 문서로부터 추출할 수 있다. 상기 전자의 손실에너지가 상기 전자 파일 형식의 문서로부터 추출되지 않는 경우에, 상기 전자의 손실에너지를 사용자로부터 수신하여 저장할 수 있다.
본 발명의 플라즈마 시뮬레이션 방법은, 상기 추출된 문자 정보를 이용하여 상기 전자 문서에 포함된 화학반응식의 오류 여부를 점검하는 단계를 포함할 수 있다. 상기 전자 문서에서 특정 범위의 블록을 지정하면, 상기 지정된 블록 내에서 상기 화학반응식의 오류 여부를 점검할 수 있다.
상기 플라즈마 시뮬레이션을 수행하는 단계는, 상기 플라즈마 시뮬레이션과 관련 전자기기 중 적어도 하나에 상기 생성된 시뮬레이션의 인자 데이터를 제공하고, 상기 제공된 시뮬레이션의 인자 데이터 중 적어도 하나 이상을 선택하는 입력 신호를 수신하는 단계를 포함할 수 있다.
나아가, 본 발명에 따른 시뮬레이션 시스템은, 저장부와, 통신부와, 제어부를 포함하고, 상기 통신부는 플라즈마 시뮬레이션과 관련된 전자기기 또는 외부서버 중 적어도 하나에 연결되고, 상기 제어부는 상기 통신부를 통해 플라즈마 공정과 관련된 정보를 포함하는 전자 파일 형식의 문서를 수신하고, 문자 인식 기법을 사용하여 상기 전자 파일 형식의 문서에 포함된 상기 플라즈마 공정과 관련된 정보 중 적어도 일부를 문자 정보로 추출하고, 상기 추출된 문자 정보를 이용하여 상기 플라즈마 시뮬레이션의 결과에 영향을 주는 적어도 하나의 시뮬레이션 인자 데이터를 선정하며, 상기 생성된 시뮬레이션의 인자 데이터를 이용하여 상기 플라즈마 시뮬레이션을 수행한다.
나아가, 본 발명에 따른 프로그램은, 플라즈마 시뮬레이션과 관련된 전자기기를 통해 플라즈마 공정과 관련된 정보를 포함하는 전자 파일 형식의 문서를 수신하는 단계와, 문자 인식 기법을 사용하여 상기 전자 파일 형식의 문서에 포함된 상기 플라즈마 공정과 관련된 정보 중 적어도 일부를 문자 정보로 추출하는 단계와, 상기 추출된 문자 정보를 이용하여 상기 플라즈마 시뮬레이션의 결과에 영향을 주는 적어도 하나의 시뮬레이션 인자 데이터를 선정하는 단계, 및 상기 생성된 시뮬레이션의 인자 데이터를 이용하여 상기 플라즈마 시뮬레이션을 수행하는 단계를 수행하는 명령어들을 포함한다.
이상에서 살펴본 것과 같이, 본 발명은, 문서 인식 기법을 통하여 전자 파일 형식의 문서로부터 시뮬레이션에 필요한 정보를 자동으로 추출함으로써, 보다 용이한 시뮬레이터의 업데이트가 가능하게 된다.
특히, 전자 파일 형식의 문서로부터 추출한 플라즈마 시뮬레이션 관련 정보를 플라즈마 시뮬레이션에 사용하여, 수동 입력의 오류로 인한 플라즈마 시뮬레이션의 정확성을 개선하는 효과가 발생될 수 있다.
나아가, 본 발명은, 문자 인식 기법을 통해 전자 파일 형식의 문서로부터 플라즈마 공정과 관련된 문자 정보를 추출하고, 이를 사용자에게 제공함으로써, 사용자가 시뮬레이션의 여러 조건들을 보다 빠르고 정확하게 선택할 수 있게 한다.
또한, 본 발명은, 문자 인식 기법을 통해 전자 파일 형식의 문서에 포함된 플라즈마 공정과 관련된 문자 정보를 자동으로 추출하기 때문에, 많은 플라즈마 시뮬레이터와 관련된 연구 자료를 보다 용이하게 플라즈마 시뮬레이션에 적용할 수 있다.
따라서, 본 발명에 따른 플라즈마 시뮬레이션 방법 및 시스템은 가장 최신의 연구 자료를 적시에 플라즈마 시뮬레이션 계산에 활용할 수 있게 된다. 이를 통해, 본 발명은, 플라즈마 시뮬레이션 계산의 효율성을 향상시킬 수 있는 효과를 발휘할 수 있다.
도 1은 텍스트 추출을 이용한 플라즈마 시뮬레이션 시스템을 설명하기 위한 블록 다이어그램이다.
도 2는 도 1의 플라즈마 시뮬레이션 시스템에서 수행하는 텍스트 추출을 이용한 플라즈마 시뮬레이션 방법의 흐름도이다.
도 3a 내지 도 3b, 도 4, 도 5은 본 발명에서 제공되는 플라즈마 공정과 관련된 문자 정보를 설명하기 위한 개념도들이다.
도 6은 본 발명에서 제공되는 시뮬레이션 인자 데이터를 설명하기 위한 개념도이다.
도 7는 본 발명에 따른 텍스트 추출을 이용한 플라즈마 시뮬레이터의 GUI(graphical user interface)를 설명하기 위한 개념도이다.
도 8, 도 9a 내지 도 9b, 도 10a 내지 도 10b, 도 11은 본 발명에 따른 시뮬레이션 인자 데이터를 선정하는 방법을 설명하기 위한 개념도들이다.
도 2는 도 1의 플라즈마 시뮬레이션 시스템에서 수행하는 텍스트 추출을 이용한 플라즈마 시뮬레이션 방법의 흐름도이다.
도 3a 내지 도 3b, 도 4, 도 5은 본 발명에서 제공되는 플라즈마 공정과 관련된 문자 정보를 설명하기 위한 개념도들이다.
도 6은 본 발명에서 제공되는 시뮬레이션 인자 데이터를 설명하기 위한 개념도이다.
도 7는 본 발명에 따른 텍스트 추출을 이용한 플라즈마 시뮬레이터의 GUI(graphical user interface)를 설명하기 위한 개념도이다.
도 8, 도 9a 내지 도 9b, 도 10a 내지 도 10b, 도 11은 본 발명에 따른 시뮬레이션 인자 데이터를 선정하는 방법을 설명하기 위한 개념도들이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 명세서에 개시된 실시 예를 상세히 설명하되, 도면 부호에 관계없이 동일하거나 유사한 구성요소에는 동일한 참조 번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다. 이하의 설명에서 사용되는 구성요소에 대한 접미사 "모듈" 및 "부"는 명세서 작성의 용이함만이 고려되어 부여되거나 혼용되는 것으로서, 그 자체로 서로 구별되는 의미 또는 역할을 갖는 것은 아니다. 또한, 본 명세서에 개시된 실시 예를 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 명세서에 개시된 실시 예의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다. 또한, 첨부된 도면은 본 명세서에 개시된 실시 예를 쉽게 이해할 수 있도록 하기 위한 것일 뿐, 첨부된 도면에 의해 본 명세서에 개시된 기술적 사상이 제한되지 않으며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
제1, 제2 등과 같이 서수를 포함하는 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되지는 않는다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.
어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다.
단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
본 출원에서, "포함한다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
본 발명은, 텍스트 추출을 이용한 시뮬레이션 방법 및 시스템에 관한 것으로, 전자 파일 형식의 문서로부터 플라즈마 공정과 관련된 문자 정보를 추출하여, 플라즈마 시뮬레이션에 필요한 정보에 활용할 수 있는 플라즈마 시뮬레이션 방법 및 시스템을 제공하기 위한 것이다.
여기서, 플라즈마는, 제4의 물질 상태라고 알려져 있는 물질의 형태로서, 강력한 전기장 혹은 열원으로 가열되어 기체상태를 뛰어넘어 전자, 중성입자, 이온 등 입자들로 나누어진 상태를 의미할 수 있다. 또한, 상기 플라즈마에서는, 전하 분리도가 상당히 높으면서도 전체적으로 음과 양의 전하수가 같아서 중성을 띠게 되는 상태가 될 수 있다. 또한, 상기 플라즈마는, 스마트 폰 등의 첨단 디지털기기의 핵심 부품인 반도체 디바이스의 제조공정, 예를 들어 식각 및 증착 기술에 이용되며, 플라즈마 전류가 수 암페어 미만인 저온 플라즈마를 의미할 수 있다.
상기 플라즈마는 시뮬레이션(simulation)에 의하여 물리적 거동이나 화학적 현상이 해석될 수 있다. 여기서, 시뮬레이션은 실제로 실행하기 어려운 실험을 간단히 행하는 모의실험을 의미할 수 있으며, 특히 컴퓨터와 수학적 모델을 이용하여 수치적으로 해석하는 컴퓨터 시뮬레이션이 될 수 있다. 상기 수학적 모델은, 예를 들어 플라즈마를 유동하는 유체처럼 해석하는 유체모델, 입자로 취급하는 입자모델 등이 될 수 있다.
본 발명의 플라즈마 시뮬레이션은, 예를 들어 플라즈마 장비 내부에서 발생하는 종들(species)의 온도 등을 계산을 통하여 가상으로 측정하는 것으로, 계산해서 나온 결과물을 보고 플라즈마 장비의 내부상황이나 플라즈마 공정의 진행상황 등을 해석하는 것을 포함하는 개념이 될 수 있다. 나아가, 이러한 시뮬레이션을 할 수 있는 소프트웨어 또는 프로그램은 시뮬레이터라 정의될 수 있다. 상기 시뮬레이터를 통해, 본 발명에서는 플라즈마 공정이나 장비에 대한 가상의 실험을 수행하고, 그 결과를 여러가지 시각적 데이터로 사용자에게 제공할 수 있다.
여기에서, “시뮬레이터”는 본 발명에 따른 플라즈마 시뮬레이션 시스템(100)에 의해 제공되는 제어 프로세스의 일 부분으로 포함되는 용어로 이해될 수 있다. 상기 플라즈마 시뮬레이션 시스템은 시뮬레이터를 이용하여 계산 결과를 사용자에 제공하는 것은 물론, 시뮬레이터의 계산 결과를 이용하여 플라즈마 장비를 제어하거나, 제어하는 데 필요한 다양한 정보를 제공하는 것까지 포함할 수 있다.
이하 첨부된 도면과 함께 본 발명에 대하여 구체적으로 설명하기로 한다. 도 1은 본 발명에 따른 텍스트 추출을 이용한 플라즈마 시뮬레이션 시스템을 설명하기 위한 블록 다이어그램이다.
도 1에 도시된 것과 같이, 본 발명에 따른 플라즈마 시뮬레이션 시스템(100)은, 통신부(110), 저장부(120) 및 제어부(130) 중 적어도 하나를 포함한다. 이때 본 발명에 따른 플라즈마 시뮬레이션 시스템(100)은 상술한 구성 요소로 제한되는 것은 아니며, 본 명세서의 설명에 따른 기능과 동일 또는 유사한 역할을 수행하는 구성요소를 더 포함할 수 있다.
한편, 통신부(110)는 적어도 하나의 전자기기 또는 외부서버(140)와 통신하도록 이루어지며, 통신하는 대상의 통신 규격에 따라 다양한 통신 방식을 지원할 수 있다.
예를 들어 통신부는, WLAN(Wireless LAN), Wi-Fi(WirelessFidelity), Wi-Fi(Wireless Fidelity) Direct, DLNA(Digital Living Network Alliance), WiBro(Wireless Broadband), WiMAX(World Interoperability for Microwave Access), HSDPA(High Speed Downlink Packet Access), HSUPA(High Speed Uplink Packet Access), LTE(Long Term Evolution), LTE-A(Long Term Evolution Advanced), 5G(5th Generation Mobile Telecommunication), 블루투스(Bluetooth™), RFID(Radio Frequency Identification), 적외선 통신(Infrared Data Association; IrDA), UWB(Ultra-Wideband), ZigBee, NFC(Near Field Communication), Wi-Fi Direct, Wireless USB(Wireless Universal Serial Bus) 기술 중 적어도 하나를 이용하여, 전자기기 또는 외부 서버(140)과 통신하도록 이루어질 수 있다.
다음으로 저장부(120)는, 본 발명과 관련된 다양한 정보를 저장하도록 이루어질 수 있다. 저장부(120)는 플라즈마 공정과 관련된 정보(또는 데이터)를 저장하도록 이루어질 수 있다. 플라즈마 공정과 관련된 정보는 플라즈마 시뮬레이션의 초기값, 파라미터, 계산 조건, 가스종, 화학식, 화학반응식 및 방정식 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.
본 발명에서 저장부(120)는 플라즈마 시뮬레이션 시스템(100) 자체에 구비될 수 있다. 이와 다르게, 저장부(120)의 적어도 일부는 외부 서버(140, 예를 들어 클라우드 서버(또는 클라우드 저장소) 및 데이터베이스(database: DB) 중 적어도 하나를 의미할 수 있다. 즉, 저장부(120)는 본 발명에 따른 플라즈마 시뮬레이션에 필요한 정보가 저장되는 공간이면 충분하며, 물리적인 공간에 대한 제약은 없는 것으로 이해될 수 있다. 이에, 이하에서는 저장부(120), 클라우드 서버 및 데이터 베이스를 별도로 구분하지 않고, 모두 저장부(120)라고 표현하도록 한다.
다음으로 제어부(130)는 본 발명과 관련된 플라즈마 시뮬레이션 시스템(100)의 전반적인 동작을 제어하도록 이루어질 수 있다. 제어부(130)는 위에 살펴본 구성 요소들을 통해 입력 또는 출력되는 신호, 데이터, 정보, 기능 등을 제공 또는 처리할 수 있다.
본 발명에서 제어부(130)는 플라즈마 시뮬레이션과 관련된 전자기기로부터 수신한 전자 파일 형식의 문서에서 플라즈마 공정과 관련된 문자 정보를 추출하여, 플라즈마 시뮬레이션에 필요한 정보를 선정할 수 있다.
여기에서 전자 파일 형식은, 이미지 파일 형식 또는 PDF(portable document format) 파일 형식 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 다만, 본 발명에 따른 전자 파일 형식은 상술한 전자 파일 형식에 제한되는 것은 아니며, 다른 형식의 전자 파일도 가능하다.
한편, 플라즈마 시뮬레이션과 관련된 전자기기는 노트북, 데스크탑, 스마트폰(smart phone), 휴대폰, 태블릿 PC, 키오스크(KOISK), 디지털방송용 단말, PDA(Personal Digital Assistants) 및 PMP(Portable Multimedia Player) 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.
이 경우, 본 발명에 따른 플라즈마 시뮬레이션 시스템(100)은, 웹 브라우저(web browser)기반의 서비스로 제공되거나, 애플리케이션 또는 소프트웨어로 구현될 수 있다. 이때, 플라즈마 시뮬레이션 시스템(100)에 따른 애플리케이션 또는 소프트웨어는, 전자기기에 설치될 수 있다.
예를 들어, 본 발명에 따른 플라즈마 시뮬레이션 시스템(100)의 통신부(110), 저장부(120) 및 제어부(130)는, 전자기기의 하드웨어 구성을 활용하여, 플라즈마 시뮬레이션을 수행할 수 있다.
이때, 통신부(110)는 전자기기의 통신부에 구비된 통신 모듈(예를 들어, 이동통신 모듈, 근거리 통신 모듈, 무선 인터넷 모듈, 위치 정보 모듈, 방송 수신 모듈 등)의 구성을 이용하여, 적어도 하나의 외부 서버(140)와 통신할 수 있다.
이때, 통신부(110)는 외부 서버(140)에 저장된 적어도 하나의 문서에 대한 정보를 수신할 수 있다.
나아가 저장부(120)는 전자기기에 구비된(또는 삽입된) 메모리 또는 외부 서버(140)를 이용하여, 본 발명에 따른 플라즈마 시뮬레이션과 관련된 정보를 저장하도록 이루어질 수 있다.
제어부(130)는, 전자기기에 구비된 CPU 및 클라우드 서버 중 적어도 하나를 활용하여, 각 구성에 대한 제어 및 본 발명과 관련된 전반적인 제어를 수행할 수 있다. 나아가 제어부(130)는 본 발명을 수행하기 위하여, 전자기기의 구성 중 적어도 하나에 대한 제어 권한을 가질 수 있다. 나아가 제어부(130)는 전자기기의 디스플레이부를 제어하여, 본 발명에서 제공되는 문서에서 추출한 플라즈마 공정과 관련된 문자 정보를 디스플레이부 상에 제공할 수 있다. 이때, 제어부(130)는 디스플레이부에 대한 직접 제어 또는 디스플레이부를 제어하는 전자기기의 제어부에 제어 명령을 전달함으로써 디스플레이부에 대한 제어를 간접적으로 수행할 수 있다.
이하에서는, 첨부된 도면과 함께, 텍스트 추출을 이용하여 플라즈마 시뮬레이션을 수행하는 방법에 대하여 보다 구체적으로 살펴본다.
도 2는 도 1의 플라즈마 시뮬레이션 시스템에서 수행하는 텍스트 추출을 이용한 플라즈마 시뮬레이션 방법의 흐름도이고, 도 3a, 도 3b, 도 4, 도 5은 본 발명에서 제공되는 플라즈마 공정과 관련된 문자 정보를 설명하기 위한 개념도들이며, 도 6은 본 발명에서 제공되는 시뮬레이션 인자 데이터를 설명하기 위한 개념도이다. 나아가, 도 7는 본 발명에 따른 텍스트 추출을 이용한 플라즈마 시뮬레이터의 GUI(graphical user interface)를 설명하기 위한 개념도이고, 도 8, 도 9a내지 도 9b, 도 10a 내지 도 10b, 도 11은 본 발명에 따른 시뮬레이션 인자 데이터를 선정하는 방법을 설명하기 위한 개념도들이다.
먼저, 도 2에 도시된 것과 같이, 본 발명에 따른 플라즈마 시뮬레이션 방법에 의하면, 플라즈마 시뮬레이션과 관련된 전자기기를 통해 플라즈마 공정과 관련된 정보를 포함하는 전자 파일 형식의 문서를 수신하는 과정이 진행될 수 있다(S210).
여기에서, 전자 파일 형식의 문서를 수신하는 것은, 플라즈마 시뮬레이션과 관련된 전자기기에서 전자 파일 형식의 문서를 전송하면, 본 발명에 따른 플라즈마 시뮬레이션 시스템(100)에서 이를 수신하는 것이 될 수 있다.
예를 들어, 도 7의 (a)에 도시된 것과 같이, 플라즈마 시뮬레이션과 관련된 전자기기로부터 전자 파일 형식의 문서를 수신하기 위한 기능 아이콘(710)이 선택되어, 전자 파일 형식의 문서가 전송되면, 제어부(130)는 통신부(110)을 통해 전자 파일 형식의 문서를 수신할 수 있다.
다른 예로서, 상기 전자기기는 스캐너를 구비하고, 상기 스캐너에서 인쇄본 연구 자료를 전자 파일 형식의 문서로 스캔하고, 상기 스캔된 전자 파일을 플라즈마 시뮬레이터에서 수신할 수 있다. 또 다른 예로서, 상기 플라즈마 시뮬레이터에 전자 파일의 업로드 기능이 구비되어, 상기 전자 파일 형식의 문서가 상기 시뮬레이터에 직접 업로드되는 것도 가능하다.
이때, 전자 파일 형식은 PDF 파일 형식, 이미지 파일 형식 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 다만, 본 발명에 따른 전자 파일 형식은 일 예시일 뿐 다양하게 변경 가능하다.
또한, 전자 파일 형식의 문서에 포함된 플라즈마 공정과 관련된 정보는 플라즈마 시뮬레이션 계산에 사용되는 화학식을 포함할 수 있다.
나아가, 본 발명에 따른 플라즈마 공정과 관련된 정보는, 플라즈마 시뮬레이션의 초기값, 플라즈마 시뮬레이션 계산에 사용되는 화학 반응식, 반응 계수, 플라즈마 시뮬레이션의 조건 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.
단, 본 명세서에 따른 플라즈마 공정과 관련된 정보는 상술한 내용에 제한되는 것은 아니다.
다음으로, 제어부(130)는 문자 인식 기법을 사용하여 전자 파일 형식의 문서에 포함된 플라즈마 공정과 관련된 정보 중 적어도 일부를 문자 정보로 추출하는 과정을 수행할 수 있다(S220).
여기서, 문자 인식 기법은, OCR(Optical character recognition; 광학 문자 인식) 기술을 포함할 수 있다. OCR 기술이란, 사람이 쓰거나 기계로 인쇄한 문자의 영상을 이미지 스캐너로 획득하여 기계가 읽을 수 있는 문자로 변환하는 것이다.
한편, 본 발명에 따른 문자 인식 기법을 사용하는 것은, PDF Parser를 사용하는 것을 포함할 수 있다. 여기서, PDF Parser는, PDF 문서를 구문 분석하는 명령줄 프로그램으로, 압축된 이미지와 같은 PDF 문서에서 원시 데이터를 추출하는 기능을 제공한다.
다만, 본 발명에 따른 문자 인식 기법의 종류는 일 예시일 뿐, 동일한 기능을 수행하는 범위 내에서 다양하게 변경 가능하다.
도 3a 및 도 3b는, 본 발명에 따라 제어부(130)가 문자 인식 기법을 사용하여 전자 파일 형식의 문서에 포함된 플라즈마 공정과 관련된 정보 중 일부를 추출하는 과정의 일 예시를 도시화한 것이다.
제어부(130)는, 도 3a 및 도 3b에 도시된 것과 같이, 문자 인식 기법을 사용하여 전자 파일 형식의 문서에 포함된 플라즈마와 관련된 정보 중 일부를 문자 정보로 추출할 수 있다.
이때, 제어부(130)는, 저장부(120) 또는 외부 서버(140)에 저장된 플라즈마 공정과 관련된 정보를 활용하여, 문자 인식 기법으로 전자 파일 형식의 문서에서 플라즈마 공정과 관련된 정보 중 일부를 문자 정보로 추출할 수 있다.
나아가, 제어부(130)는, 문자 인식 기법을 사용하여, 전자 파일 형식의 문서에 포함된 플라즈마 공정과 관련된 정보 중 일부를 화학식 단위 또는 화학반응식 단위의 문자 정보로 추출할 수 있다.
보다 구체적으로, 상기 문자 정보로 추출하는 단계(S220)는, 상기 전자 파일 형식의 문서에 포함된 텍스트 데이터를 제1 단위로 토큰화하여 정형된 데이터를 생성하는 단계를 포함할 수 있다. 또한, 상기 문자 정보로 추출하는 단계(S220)는 상기 플라즈마 공정과 관련된 정보를 상기 제1 단위와 다른 제2 단위로 토큰화하여 정형화된 데이터를 생성하는 단계를 포함할 수 있다.
이 경우에, 상기 제1 단위는 단어 단위 및 문장 단위 중 적어도 하나를 포함하고, 상기 제2 단위는 화학식 단위 및 화학반응식 단위 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.
이러한 예로서, 도 3a을 참조하면, SF6, C2F6 등의 화학식이 화학식 단위로 토큰화되고, 이온, 활성종, 중성종 등의 단어가 단어 단위로 토큰화될 수 있다. 또한, 도 3b와 같이, 문서에는 다양한 화학반응식이 기재될 수 있으며, 이 경우에 기재된 화학반응식이 토큰화될 수 있다. 보다 구체적인 예로서, 아래 표 1를 참조하면, 
등의 화학 반응식이 화학반응식 단위로 토큰화될 수 있다.
또한, 이 경우에 reactants와 products 가 별도로 추출되어 저장될 수 있다. Reactants는 화학반응식을 기준으로 왼쪽에 있으며, products는 오른쪽에 있는 화학식으로 정의될 수 있다. 또한, 상기 화학반응식은 관여한 화학식(종)과 개수를 구분하여 저장될 수 있다.
한편, 제어부(130)는 전자 파일 형식의 문서에서 추출한 문자 정보를 정형화된 데이터로 생성하여 저장부(120)에 저장할 수 있다.
예를 들어, 제어부(130)는, 도 4에 도시된 것과 같이, 전자 파일 형식의 문서에서 추출한 문자 정보를 저장부(120)에 문서를 기준으로 여러가지 항목을 선택적으로 반영하여 저장할 수 있다.
도 4는 제어부(130)가 전자 파일 형식의 문서에서 추출한 문자 정보를 저장부(120)에 저장하는 방법의 일 예시를 도시화한 것이다.
제어부(130)는 전자 파일 형식의 문서에서 추출한 문자 정보를 플라즈마 공정과 관련된 화학식, 화학 반응식, 플라즈마 시뮬레이션의 초기값, 플라즈마 시뮬레이션의 조건 단위의 문자 정보로 분류하여 저장할 수 있다. 다만, 도 4와 함께 설명하는 플라즈마 공정과 관련된 문자 정보의 분류는 일 예시일 뿐, 다양하게 변경 가능하다.
예를 들어, 도 4에 도시된 (a)와 같이, 전자 파일 형식의 문서에서 추출한 문자 정보가 화학식이라면, 제어부(130)는 전자 파일 형식의 문서에서 추출한 문자 정보를 제어부(130)에서 수신한 전자 파일 형식의 문서의 파일 명, 플라즈마 공정 정보와 매칭시켜 저장부(120)에 저장할 수 있다.
또한, 도 4에 도시된 (b)와 같이, 전자 파일 형식의 문서에서 추출한 문자 정보가 화학 반응식이라면, 제어부(130)는 전자 파일 형식의 문서에서 추출한 문자 정보를 제어부(130)에서 수신한 전자 파일 형식의 문서의 파일 명, 플라즈마 공정 정보와 매칭시켜 저장부(120)에 저장할 수 있다.
도 4에 도시된 (c)와 같이, 전자 파일 형식의 문서에서 추출한 문자 정보가 초기값이라면, 제어부(130)는 전자 파일 형식의 문서에서 추출한 문자 정보를 제어부(130)에서 수신한 전자 파일 형식의 문서의 파일 명, 플라즈마 공정 정보와 저장부(120)에 저장할 수 있다.
한편, 도 4에 도시된 (d)와 같이, 전자 파일 형식의 문서에서 추출한 문자 정보가 플라즈마 시뮬레이션의 조건이라면, 제어부(130)는 전자 파일 형식의 문서에서 추출한 문자 정보를 제어부(130)에서 수신한 전자 파일 형식의 문서의 파일 명, 플라즈마 공정 정보와 매칭시켜 저장부(120)에 저장할 수 있다.
다만, 도 4와 함께 설명하는 플라즈마 공정과 관련된 문자 정보를 저장하는 방법은 일 예시일 뿐, 다양하게 변경 가능하다.
예를 들어, 제어부(130)는, 도 5에 도시될 것과 같이, 전자 파일 형식의 문서에서 추출한 문자 정보들을 서로 매칭시켜 저장부(120)에 저장할 수 있다.
보다 구체적으로, 전자 파일 형식의 문서에서 추출한 문자 정보 중 적어도 하나가 화학반응식과 관련된 문자 정보일 경우, 제어부(130)는, 화학반응식과 관련된 문자 정보에, 전자 파일 형식의 문서에서 추출한 문자 정보들 중 반응 계수와 관련된 문자 정보를 매칭시켜 저장부(120)에 저장할 수 있다.
예를 들어, 도 3b와 같이 문서에는 화학반응식과 관련된 반응 계수 A, B, C가 존재할 수 있다. 상기 반응계수는 Arrhenius form을 따르며, 이 경우에는 A, B, 그리고 C의 값이 제시된다. 제어부는 상기 반응계수의 A, B, 그리고 C의 값을 문서로부터 추출할 수 있다. 이 때에, 상기 화학 반응식과 반응 계수는 서로 매칭되어 표 2와 같이 데이터베이스화될 수 있다.
예를 들어, 표 2를 참고하면, 전자 파일 형식의 문서에서 추출한 문자 정보들 중 적어도 하나가 화학반응식과 관련된 문자 정보(예를 들어, 
)일 경우, 제어부(130)는, 상기 화학반응식과 관련된 문자 정보에, 전자 파일 형식의 문서에서 추출한 문자 정보들 중 반응 계수 A와 관련된 문자 정보(예를 들어, 3.06e-02) 또는 반응 계수 B와 관련된 문자 정보(예를 들어, -1.3) 또는 반응 계수 C와 관련된 문자 정보(예를 들어, 184820.0) 중 적어도 하나를 매칭시켜 저장부(120)에 저장할 수 있다.
또한, 도 3b에 도시된 바와 같이, 문서에는 반응 계수가 전자 온도에 대한 함수 형태로 제공될 수 있으며, 이 경우에 제어부는 함수를 추출하여 반응 계수를 산출할 수 있다. 즉, 반응계수가 임의의 전자 온도로 표현된 경우, 제어부(130)는 상기 저장부(120)에 전자 온도에 대한 방정식 전체를 추출하여 저장할 수 있다.
상기 제어부(130)는 반응계수의 수치를 추출하여 저장한 경우와, 방정식 전체를 추출하여 저장한 경우를 서로 구분하여, 사용자에게 저장의 기준에 대하여 알려줄 수 있다.
다른 예로서, 전자 파일 형식의 문서에서 추출한 문자 정보 중 적어도 하나가 전자(예를 들어, e 또는 E)가 포함된 반응과 관련된 문자 정보일 경우, 제어부(130)는, 상기 전자가 포함된 반응과 관련된 문자 정보에, 전자 파일 형식의 문서에서 추출한 문자 정보들 중 상기 전자의 손실에너지와 관련된 문자 정보를 매칭시켜 저장부(120)에 저장할 수 있다. 이를 위하여, 상기 손실에너지와 관련된 정보가 문서로부터 추출될 수 있다. 이때, 전자 파일 형식의 문서에서 추출한 문자 정보들 중 전자 손실에너지와 관련된 문자 정보가 없는 경우, 제어부(130)는 플라즈마 시뮬레이션과 관련된 전자기기로부터 수신할 수 있도록 플라즈마 시뮬레이션 시스템(100)을 제어할 수 있다.
즉, 제어부(130)는, 전자 파일 형식의 문서에서 추출한 문자 정보들 간의 연관성을 파악하고, 전자 파일 형식의 문서에서 추출한 문자 정보들 중 연관된 문자 정보를 서로 매칭시켜 저장부(120)에 저장할 수 있다. 이 때에, 전자 파일 형식의 문서에서 추출한 문자 정보들 중 서로 매칭시킬 문자 정보가 없는 경우, 플라즈마 시뮬레이션과 관련된 전자기기로부터 수신할 수 있도록 플라즈마 시뮬레이션 시스템(100)을 제어할 수 있다. 이를 위하여, 문자 정보를 없는 경우에, 입력이 필요하다는 정보를 디스플레이 등을 이용하여 출력하고, 사용자로부터 상기 문자 정보에 해당하는 입력을 유도할 수 있다.
상기에서 설명한 바와 같이, 본 발명에서는 문서에서 화학반응식 등의 정보를 추출해서 시뮬레이터에서 읽을 수 있는 정보를 데이터베이스로 구축할 수 있다. 이 때에, 상기 추출한 정보들은 시뮬레이터에 입력되는 파일로 작성될 수 있다. 상기 파일에는 추출한 정보뿐만 아니라, 상기 문서에서 참고를 한 문헌에서 정보를 추출하여 추가로 작성될 수 있으며, 기타 정보들도 저장될 수 있다.
상기 시뮬레이터에 입력되는 파일은, 화학반응식을 추출하여 작성하며, 이는 시뮬레이션 계산에서 반드시 필요하지는 않아도 반응식의 구분을 위해 필요하다. 실제 계산에서는 reactants와 products에 표기된 정보로 계산이 이루어지지만, 이러한 reactants와 products만 표기해 놓으면 어떤 반응이 고려되었는지 직관적으로 구분하는 것이 용이하지 않으며, 화학반응식을 함께 추출하여 파일로 작성하여 이러한 문제를 해결할 수 있다.
나아가, 제어부(130)는, 전자 파일 형식의 문서에서 추출한 문자 정보들 간의 연관성을 파악하기 위해, 통신부(110)를 통해 외부 서버(140)와 데이터를 송수신할 수 있다.
이때, 외부서버(140)는, 플라즈마 시뮬레이션과 관련된 정보를 학습한 인공지능 모델을 탑재하고, 상기 인공지능 모델을 이용하여 상기 연관성 등의 정보를 도출하는 인공지능 서비스를 제공할 수 있다. 상기 인공지능 모델의 학습을 위하여 상기 제어부(130)는 상기 통신부(110)를 통해 전자 파일 형식의 문서에서 추출한 문자 정보를 상기 외부서버(140)로 전송할 수 있다.
예를 들어, 제어부(130)는, 통신부(110)를 통해 위에서 상술한 외부 서버(140)에 전자 파일 형식의 문서에서 추출한 문자 정보를 전송하고, 외부 서버(140)는 전송된 전자 파일 형식의 문서에서 추출한 문자 정보를 학습하여, 전자 파일 형식의 문서에서 추출한 문자 정보들 중 연관된 문자 정보를 매칭시켜 플라즈마 시뮬레이션 시스템(100)의 통신부(110)를 통해 제어부(130)로 전송할 수 있다.
한편, 본 발명에 따른, 상기 문자 정보로 추출하는 단계(S220)를 외부 서버(140)에서 수행할 수 있다.
보다 구체적으로, 제어부(130)는, 문자 인식 기법으로 전자 파일 형식의 문서에서 플라즈마 공정과 관련된 정보 중 일부를 문자 정보로 추출하기 위해, 통신부(110)를 통해 외부 서버(140)와 데이터를 송수신할 수 있다.
이때, 외부 서버(140)는, 머신 러닝 기반의 문자 인식 기법을 사용하는 인공지능 서비스를 제공할 수 있다.
예를 들어, 제어부(130)는 통신부(110)를 통해, 위에서 상술한 외부 서버(140)에 전자 파일 형식의 문서를 전송하고, 외부 서버(140)는 전송받은 전자 파일 형식의 문서로부터 플라즈마 공정과 관련된 정보 중 일부를 문자 정보로 추출하여 플라즈마 시뮬레이션 시스템(100)의 통신부(110)를 통해 제어부(130)로 전송할 수 있다.
나아가, 외부 서버(140)는 전자 파일 형식의 문서에서 추출된 문자 정보들 간의 연관성을 파악하고, 전자 파일 형식의 문서에서 추출한 문자 정보들 중 연관된 문자 정보를 서로 매칭시켜 플라즈마 시뮬레이션 시스템(100)의 통신부(110)를 통해 제어부(130)로 전송할 수 있다.
한편, 제어부(130)는, 전자 파일 형식의 문서에서 플라즈마 공정과 관련된 정보 중 적어도 일부를 문자 정보로 추출하는 과정에 대한 정보를 본 발명에 따른 플라즈마 시뮬레이션 시스템(100)이 제공하는 화면에 출력할 수 있다.
예를 들어, 도 7의 (a)에 도시된 것과 같이, 제어부(130)는, 본 발명에 따른 플라즈마 시뮬레이션 시스템(100)이 제공하는 상세 페이지 영역(720)에, 안내 문구(예를 들어, “플라즈마 공정과 관련된 문자 정보를 추출하고 있습니다”)와 전자 파일 형식의 문서에서 플라즈마 공정과 관련된 문자 정보를 추출하는 과정의 진행 정도를 출력할 수 있다.
위에서 살펴본 것과 같이, 제어부(130)가 전자 파일 형식의 문서에서 플라즈마 공정과 관련된 문자 정보를 추출한 경우, 본 발명에서는 추출된 문자 정보를 이용하여 플라즈마 시뮬레이션의 결과에 영향을 주는 적어도 하나의 시뮬레이션 인자 데이터를 선정하는 과정이 진행될 수 있다(S230).
여기서, 플라즈마 시뮬레이션 결과에 영향을 주는 시뮬레이션 인자 데이터에는, 플라즈마 공정과 관련된 화학식, 화학반응식, 화학식에 사용되는 종의 기본 질량, 전하량 등이 포함될 수 있다.
시뮬레이션 인자 데이터는 제어부(130)가 수신한 문서에서 추출한 화학식 단위의 문자 정보를 중 일부를 선정한 것으로, 제어부(130)는 저장부(120)에 저장된 플라즈마 공정과 관련된 문자 정보를 이용하여 시뮬레이션 인자 데이터를 선정할 수 있다.
이 때에, 상기 시뮬레이션 인자 데이터를 선정하는 단계(S230)는, 딥 러닝 기반의 자연어 처리 기술(Natural language processing; NLP)을 이용하여, 상기 추출된 문자 정보 중 적어도 하나 이상을 시뮬레이션의 인자 데이터로 선정할 수 있다.
이 경우에, 제어부(130)는 시뮬레이션 인자 데이터를 선정하기 위해, 통신부(110)를 통해 외부 서버(140)와 데이터를 송수신할 수 있다.
외부 서버(140)는 딥 러닝 기반의 자연어 처리 기술을 가진 인공지능 서비스를 제공할 수 있다. 여기서 자연어 처리 기술이란, 인간의 언어 현상을 컴퓨터와 같은 기계를 이용해서 묘사할 수 있도록 연구하고 이를 구현하는 인공지능의 주요 분야 중 하나이다.
예를 들어, 제어부(130)은 통신부(110)를 통해 위에 상술한 외부 서버(140)에 문서에서 추출한 플라즈마 공정과 관련된 문자 정보를 전송하고, 외부 서버(140)는 전송받은 플라즈마 공정과 관련된 문자 정보 중 적어도 하나를 플라즈마 시뮬레이션의 결과에 영향을 주는 시뮬레이션 인자 데이터를 선정하여 플라즈마 시뮬레이션 시스템(100)의 통신부(110)를 통해 제어부(130)로 전송할 수 있다.
즉, 제어부(130)는 외부 서버(140)에서 제공하는 딥 러닝 기반의 자연어 처리 기술을 이용하여 전자 파일 형식의 문서에서 추출된 화학식 단위의 문자 정보 중 적어도 하나를 플라즈마 시뮬레이션 결과에 영향을 주는 시뮬레이션 인자 데이터로 선정할 수 있다.
한편, 제어부(130)는 전자 파일 형식의 문서로부터 추출된 플라즈마 공정과 관련된 문자 정보 중 적어도 일부를 플라즈마 시뮬레이션의 결과에 영향을 주는 적어도 하나의 시뮬레이션 인자 데이터로 선정하여 저장부(120)에 저장할 수 있다.
예를 들어, 도 6에 도시된 것과 같이, 제어부(130)는 전자 파일 형식의 문서에서 추출한 플라즈마 공정과 관련된 문자 정보 중 적어도 일부를 플라즈마 시뮬레이션의 결과에 영향을 주는 적어도 하나의 시뮬레이션 인자 데이터로 선정하여 저장부(120)에 저장할 수 있다.
도 6에 도시된 것을 살펴보면, 제어부(130)는 수신한 문서의 종류, 플라즈마 공정 정보, 화학식, 화학반응식, 초기값, 조건을 매칭시켜 시뮬레이션 인자 데이터로 저장할 수 있다. 보다 구체적인 예로서, 화학반응식, 상기 화학반응식에 포함되는 가스의 종들, 상기 화학반응식의 반응계수, 상기 종들의 밀도 데이터 중 적어도 하나가 상기 전자 문서로부터 추출되어, 상기 시뮬레이션의 인자 데이터로 선정될 수 있다. 다만, 도 6과 함께 설명하는 시뮬레이션 인자 데이터의 구성은 일 예시일 뿐, 다양하게 변경될 수 있다.
한편, 제어부(130)는, 추출한 문자 정보를 이용하여 플라즈마 시뮬레이션의 결과에 영향을 주는 적어도 하나의 시뮬레이션 인자 데이터를 선정하는 과정에 대한 정보를 본 발명에 따른 플라즈마 시뮬레이션 시스템(100)이 제공하는 화면에 출력할 수 있다.
예를 들어, 도 7의 (b)에 도시된 것과 같이, 제어부(130)는, 본 발명에 따른 플라즈마 시뮬레이션 시스템(100)이 제공하는 상세 페이지 영역(730)에, 안내 문구(예를 들어, “플라즈마 시뮬레이션 인자 데이터를 선정하고 있습니다.”)와 시뮬레이션 인자 데이터를 선정하는 과정의 진행 정도를 출력할 수 있다.
위에서 살펴본 것과 같이, 제어부(130)가 시뮬레이션 인자 데이터를 선정한 경우, 본 발명에서는, 선정된 시뮬레이션 인자 데이터를 이용하여 플라즈마 시뮬레이션을 수행하는 과정이 진행될 수 있다(S240).
이 경우에, 상기 플라즈마 시뮬레이션을 수행하는 단계(S240)는, 상기 플라즈마 시뮬레이션과 관련 전자기기 중 적어도 하나에 상기 생성된 시뮬레이션의 인자 데이터를 제공하고, 상기 제공된 시뮬레이션의 인자 데이터 중 적어도 하나 이상을 선택하는 입력 신호를 수신하는 단계를 포함할 수 있다.
예를 들어, 도 7의 (c)에 도시된 것과 같이, 플라즈마 시뮬레이션과 관련된 전자기기로부터 상세 페이지 영역(740)에 제공되는 기능 아이콘들(741, 742, 743) 중 적어도 하나(예를 들어, “바로 적용”, 742)가 선택되는 경우, 제어부(130)는 본 발명에 따라 선정된 시뮬레이터 인자 데이터를 사용하여 플라즈마 시뮬레이션을 수행할 수 있다.
반면, 제어부(130)는 플라즈마 시뮬레이션과 관련된 전자기기로부터 상세 페이지(740)상에 제공되는 기능 아이콘들(741, 742, 743) 중 적어도 하나(예를 들어, “취소”, 743)가 선택되는 경우, 제어부(130)는 선정된 시뮬레이션 인자 데이터를 사용하여 플라즈마 시뮬레이션을 수행하는 과정을 종료할 수 있다.
나아가, 제어부(130)는 플라즈마 시뮬레이션과 관련된 전자기기로부터 상세 페이지(740)상에 제공되는 기능 아이콘들(741, 742, 743) 중 적어도 하나(예를 들어, “직접 선정”, 741)가 선택되는 경우, 제어부(130)는 전자 파일 형식의 문서에서 시뮬레이션 인자 데이터를 사용자가 직접 선정할 수 있는 기능을 제공할 수 있다.
예를 들어, 제어부(130)는, 도 8에 도시된 것과 같이, 본 발명에 따른 전자 파일 형식의 문서에서 추출한 문자 정보에서 사용자가 시뮬레이션 인자 데이터를 직접 선정할 수 있는 기능을 제공하는 선택 페이지 영역(800)를 출력할 수 있다.
선택 페이지 영역(800)에는 제1 영역 내지 제4 영역(810, 820, 830, 840)이 일 방향을 따라 나란하게 배치될 수 있다.
예를 들어, 제1 영역(810)은, 제2 영역(820) 상단에 배치되고, 제2 영역(820)은, 제3 영역(830) 상단에 배치되고, 제3 영역(830)은 제4 영역(840) 상단에 배치될 수 있다.
이러한 선택 페이지 영역(800)의 구성은 일 예시에 불과하여, 다양하게 변경 가능하다.
나아가, 제2 영역(820)에 포함된 복수의 탭(821, 822, 823, 824) 및 제3 영역은 서로 관련(또는 연계)되도록 이루어질 수 있다.
이하에서는, 도 8과 함께, 제1 영역(810) 내지 제4 영역(840)의 연관성을 설명하도록 한다. 다만, 도 8과 함께 설명하는 제1 영역(810) 내지 제4 영역(840)의 구성은 일 예시일 뿐, 동일한 기능을 수행하는 범위 내에서 다양하게 변경 가능하다.
먼저, 도 8에 도시된 것과 같이, 제1 영역(810)에는 선택 페이지 영역(800)에서 제공되는 기능의 안내 문구(예를 들어, “시뮬레이션에 입력할 내용을 선택해 주세요”)가 출력될 수 있다.
다음으로, 도 8에 도시된 것과 같이, 제2 영역(820)에는, 선택 페이지 영역(800)에서 제공 가능한 전자 파일 형식의 문서에서 추출한 문자 정보의 분류에 따른 복수의 탭(821, 822, 823, 824)이 표시될 수 있다.
복수의 탭(821, 822, 823, 824) 각각에는, 도 4에 도시된 것과 같이, 저장부(120)에 저장된 추출된 문자 정보의 분류가 매칭되어 있을 수 있다.
한편, 복수의 탭(821, 822, 823, 824) 중 어느 하나에는 기본값(또는 디폴트(default)값)이 설정되어 있을 수 있다.
제어부(130)는 선택 페이지 영역(800)을 출력할 때, 기본값으로 설정된 특정 탭(예를 들어, 제1 탭 “화학식”, 821)에 대응되어 저장부(120)에 저장된 문자 정보(400)를 제3 영역(830)에 출력할 수 있다.
나아가, 제3 영역(830)에서는, 기본값으로 설정된 특정 탭(제1 탭, 821)과는 다른 탭(예를 들어, 제2 탭 “화학 반응식”, 822)에 대응되어 저장부(120)에 저장된 문자 정보(410)가 포함될 수 있다.
또한, 제3 영역(830)에서는, 기본값으로 설정된 특정 탭(제1 탭, 821)과는 다른 탭(예를 들어, 제3 탭 “초기값”, 823)에 대응되어 저장부(120)에 저장된 문자 정보(420)가 포함될 수 있다.
제3 영역(830)에서는, 기본값으로 설정된 특정 탭(제1 탭, 821)과는 다른 탭(예를 들어, 제4 탭 “조건”, 824)에 대응되어 저장부(120)에 저장된 문자 정보(430)가 포함될 수 있다.
한편, 제어부(130)는, 제3 영역(830)에 제1 탭(821)에 대응되어 저장부(120)에 저장된 문자 정보(400)가 포함되어 있는 상태에서, 플라즈마 시뮬레이션과 관련된 전자기기로부터 제2 영역(820)에 출력된 복수의 탭(821, 822, 823, 824) 중 제2 탭(822)이 선택되면, 선택된 제2 탭(822)에 대응되어 저장부(120)에 저장된 문자정보(410)를 제3 영역(830)에 출력할 수 있다.
제어부(130)는, 제3 영역(830)에 제2 탭(822)에 대응되어 저장부(120)에 저장된 문자 정보(410)가 포함되어 있는 상태에서, 플라즈마 시뮬레이션과 관련된 전자기기로부터 제2 영역(820)에 출력된 복수의 탭(821, 822, 823, 824) 중 제3 탭(823)이 선택되면, 선택된 제3 탭(823)에 대응되어 저장부(120)에 저장된 문자 정보(420)를 제3 영역(830)에 출력할 수 있다.
제어부(130)는, 제3 영역(830)에 제3 탭(822)에 대응되어 저장된 문자 정보(420)가 포함되어 있는 상태에서, 플라즈마 시뮬레이션과 관련된 전자기기로부터 제2 영역(820)에 출력된 복수의 탭(821, 822, 823, 824) 중 제4 탭(824)이 선택되면, 선택된 제4 탭(824)에 대응되어 저장부(120)에 저장된 문자 정보(430)를 제3 영역(830)에 출력할 수 있다.
즉, 제3 영역(830)에는, 제2 영역(820)에 포함된 복수의 탭(821, 822, 823, 824) 중 어느 하나와 관련되도록 이루어질 수 있다.
나아가, 제3 영역(830)에 포함된 문자 정보는 복수의 선택이 가능한 체크 리스트로 출력할 수 있다.
제어부(130)는 제3 영역(830)에 포함된 문자 정보 중 제어부(130)에 의해 선정된 시뮬레이션 인자 데이터(600)가 존재하는 경우, 시뮬레이션 인자 데이터에 포함된 문자 정보는 선택되어 있고, 시뮬레이션 인자 데이터에 포함되지 않은 문자 정보는 선택되지 않은 체크 리스트를 출력할 수 있다.
한편, 제어부(130)는 플라즈마 시뮬레이션과 관련된 전자기기로부터 제3 영역(830)에 포함된 복수의 선택이 가능한 체크 리스트에서 선택되지 않은 것으로 표시된 문자 정보가 선택되면, 선택된 플라즈마 공정과 관련된 문자 정보를 선택한 것으로 출력할 수 있다.
반면, 제어부(130)는 사용자가 플라즈마 시뮬레이션과 관련된 전자기기로부터 제3 영역(830)에 포함된 복수의 선택이 가능한 체크 리스트에서 선택된 것으로 표시된 문자 정보가 선택되면, 선택된 문자 정보를 선택되지 않은 것으로 출력할 수 있다.
다음으로, 도 8에 도시된 것과 같이, 제4 영역(840)에는, 선택 페이지 영역(800)에서 제공되는 기능 아이콘들(841, 842, 843)이 포함될 수 있다.
제어부(130)는 제4 영역(840)에 포함된 기능 아이콘들(841, 842, 843) 중 적어도 하나(예를 들어, “확인”, 842)가 선택되면, 본 발명에 따라 선택 페이지 영역(800)에서 선택된 시뮬레이터 인자 데이터를 사용하여 플라즈마 시뮬레이션을 수행할 수 있다.
나아가, 제어부(130)는, 플라즈마 시뮬레이션 수행에 사용한 시뮬레이션 인자 데이터를 저장부(120)에 저장할 수 있다.
한편, 제어부(130)는 제4 영역(840)에 포함된 기능 아이콘들(841, 842, 843) 중 적어도 하나(예를 들어, “취소”, 843)가 선택되는 경우, 제어부(130)는 직접 선택한 시뮬레이션 인자 데이터를 사용하여 플라즈마 시뮬레이션을 수행하는 과정을 종료할 수 있다.
나아가, 제어부(130)는 제4 영역(840)에 포함된 기능 아이콘들(841, 842, 843) 중 적어도 하나(예를 들어, “문서 보기”, 841)가 선택되는 경우, 제어부(130)는 전자 파일 형식의 문서를 확인할 수 있는 기능을 제공할 수 있다.
제어부(130)는 플라즈마 시뮬레이션과 관련된 전자기기로부터 제4 영역(840)에 포함된 기능 아이콘들(841, 842, 843) 중 적어도 하나(예를 들어, “문서 보기”, 841)가 선택되면, 도 9a에 도시된 것과 같이, 제어부(130)가 본 발명에 따라 수신한 전자 파일 형식의 문서와 해당 문서로부터 추출한 문자 정보를 제공하는 문서 보기 페이지 영역(900)를 출력할 수 있다.
문서 보기 페이지 영역(900)에는 제1 영역 내지 제4 영역(910, 920, 930, 940)이 방향과 상관없이 배치될 수 있다.
이러한 선택 페이지 영역(900)의 구성은 일 예시에 불과하여, 다양하게 변경 가능하다.
예를 들어, 도 9a에 도시된 것과 같이, 제1 영역(910)에는 문서 보기 페이지 영역(900)에서 제공되는 기능의 안내 문구(예를 들어, “시뮬레이션에 입력할 내용을 선택해 주세요”)가 출력될 수 있다.
다음으로, 도 9a에 도시된 것과 같이, 제2 영역(920)에는, 문서 보기 페이지 영역(900)에서 제공 가능한 전자 파일 형식의 문서(922)를 출력할 수 있다.
여기서, 제어부(130)는, 전자 파일 형식의 문서(922)을 출력할 때, 전자 파일 형식의 문서에서 추출한 문자 정보를 표시(예를 들어, 박스, 925)하도록 출력할 수 있다.
나아가, 제어부(130)는 전자 파일 형식의 문서에서 추출한 문자 정보 중 시뮬레이션 인자 데이터로 선정된 문자 정보는 표시를 다르게 하여 출력할 수 있다.
예를 들어, 도 9a에 도시된 것과 같이, 제어부(130)는 전자 파일 형식의 문서(922)를 전자 파일 형식의 문서에서 추출한 문자 정보 중 시뮬레이션 인자 데이터로 선정된 문자 정보(예를 들어, 923, 924)를 다른 플라즈마 공정과 관련된 문자 정보(예를 들어, 925)와 다르게 표시되도록 출력할 수 있다.
여기서, 다르게 표시되는 것은, 색이 다른 박스로 표시하는 것을 포함할 수 있다. 다만, 도 9a와 함께 설명하는 시뮬레이션 인자 데이터로 선정된 문자 정보를 표시하는 방법은 일 예시에 불과하여, 다양하게 변경 가능하다.
한편, 제2 영역(920)에는 전자 파일 형식의 문서에서 추출한 문자 정보를 수정할 수 있는 기능 아이콘(예를 들어, “편집”, 921)이 포함될 수 있다.
제어부(130)는 플라즈마 시뮬레이션과 관련된 전자기기로부터 제2 영역(920)에 포함된 기능 아이콘(921)이 선택되면, 전자 파일 형식의 문서에서 추출한 플라즈마 공정과 관련된 문자 정보를 편집할 수 있는 기능을 제공할 수 있다.
이 경우에, 본 발명의 플라즈마 시뮬레이션 방법에서는 상기 추출된 문자 정보를 이용하여 상기 전자 문서에 포함된 화학반응식의 오류 여부를 점검하는 단계를 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 전자 문서에서 특정 범위의 블록을 지정하면, 상기 지정된 블록 내에서 상기 화학반응식의 오류 여부를 점검할 수 있다.
이러한 블록의 지정은 본 예시와 같은 문자 정보를 편집할 수 있는 기능에서 제공될 수 있으나, 본 발명은 이에 한정되는 것은 아니며, 전자 파일을 업로드하는 과정 또는 업로드 후의 과정의 어디에서도 이러한 블록 지정이 가능하다.
한편, 제2 영역(920)에 포함된 전자 파일 형식의 문서(922)는 복수의 페이지를 포함할 수 있으며, 복수의 페이지 중 제1 페이지는 기본값(또는 디폴트(default)값)으로 설정되어 있을 수 있다.
제어부(130)는 문서 보기 페이지 영역(900)을 출력할 때, 기본값으로 설정된 전자 파일 형식의 문서의 제1 페이지(예를 들어, 922)에 포함된 문자 정보를 제3 영역(930)에 출력할 수 있다.
나아가, 제3 영역(930)에는 기본값으로 설정된 전자 파일 형식의 문서의 제1 페이지(922)와는 다른 페이지에 포함되는 플라즈마 공정과 관련된 문자 정보를 제3 영역(930)에 출력할 수 있다.
나아가, 제3 영역(930)에 포함된 플라즈마 공정과 관련된 문자 정보는 복수의 선택이 가능한 체크 리스트로 출력할 수 있다.
제어부(130)는 제3 영역(930)에 포함된 문자 정보 중 제어부(130)에 의해 선정된 시뮬레이션 인자 데이터(600)가 존재하는 경우, 시뮬레이션 인자 데이터에 포함된 문자 정보는 선택되어 있고, 시뮬레이션 인자 데이터에 포함되지 않은 문자 정보는 선택되지 않은 체크 리스트를 출력할 수 있다.
한편, 제어부(130)는, 도 9b에 도시된 것과 같이, 플라즈마 시뮬레이션과 관련된 전자기기로부터 제3 영역(950)에 포함된 복수의 선택이 가능한 체크 리스트에서, 선택되지 않은 것으로 표시된 문자 정보가 선택되면, 선택된 문자 정보(953)를 선택한 것으로 체크 리스트에 출력할 수 있다.
다음으로, 도 9b에 도시된 것과 같이, 제4 영역(940)에는, 문서 보기 페이지 영역(900)에서 제공되는 기능 아이콘들(941, 942)이 포함될 수 있다.
제어부(130)는 제4 영역(940)에 포함된 기능 아이콘들(941, 942) 중 적어도 하나(예를 들어, “이전”, 941)가 선택되는 경우, 제어부(130)는 문서 보기를 통해 전자 파일 형식의 문서에서 추출한 플라즈마 공정과 관련된 문자 정보 중 시뮬레이션 인자 데이터를 선택하는 과정을 종료할 수 있다.
제어부(130)는 제4 영역(940)에 포함된 기능 아이콘들(941, 942) 중 적어도 하나(예를 들어, “적용”, 942)가 선택되면, 제어부(130)는 앞서 살펴본 도 8의 선택 페이지 영역(800)을 출력할 수 있다.
이때, 제어부(130)는, 본 발명에 따라 문서 보기 페이지 영역(900)에서 선택된 시뮬레이터 인자 데이터를 선택 페이지 영역(800)의 제3 영역(800)에 포함되게 출력할 수 있다.
한편, 제어부(130)는, 저장부(120)에 저장된 전자 파일 형식의 문서를 제공할 수 있다.
예를 들어, 도 10a에 도시된 것과 같이, 제어부(130)는 플라즈마 시뮬레이션과 관련된 전자기기로부터 저장부(120)에 저장된 전자 파일 형식의 문서를 수신하기 위한 기능 아이콘(1001)이 선택되면, 저장부(120)에 저장된 전자 파일 형식의 문서 제공할 수 있는 문서 불러오기 페이지 영역(1000)를 출력할 수 있다.
먼저, 도 10a에 도시된 것과 같이, 제1 영역(1010)에는 문서 불러오기 페이지 영역(1000)에서 제공되는 기능의 안내 문구(예를 들어, “저장된 문서를 선택해주세요”)가 출력될 수 있다.
다음으로, 도 10a에 도시된 것과 같이, 제2 영역(1020)에는 문서 불러오기 페이지 영역(1000)에서 제공하는 전자 파일 형식의 문서들이 출력할 수 있다.
한편, 제어부(130)는 저장부(120)에 저장된 제공하는 전자 파일 형식의 문서들을 제2 영역(1020)에 출력할 수 있다.
나아가, 제어부(130)는 플라즈마 시뮬레이션과 관련된 전자기기로부터 제2 영역(1020)에 포함된 전자 파일 형식의 문서 중 적어도 하나(예를 들어, “문서1”, 1021)가 선택되면, 선택된 전자 파일 형식의 문서를 사용하여 해당 전자 파일 형식의 문서에서 선정된 시뮬레이션 인자 데이터를 제공할 수 있다.
제어부(130)는 플라즈마 시뮬레이션과 관련된 전자기기로부터 제2 영역(1020)에 포함된 전자 파일 형식의 문서 중 적어도 하나가 선택되면, 도 10b에 도시된 것과 같이, 시뮬레이션 인자 데이터 선택 페이지 영역(1030)을 출력할 수 있다.
시뮬레이션 인자 데이터 선택 페이지 영역(1030)에는 제1 영역 내지 제3 영역(1040, 1050, 1060)이 일 방향을 따라 나란하게 배치될 수 있다.
예를 들어, 제1 영역(1040)은, 제2 영역(1050) 상단에 배치되고, 제2 영역(1050)은 제3 영역(1060) 상단에 배치될 수 있다. 이러한 시뮬레이션 인자 데이터 선택 페이지 영역(1030)의 구성은 일 예시에 불과하여, 다양하게 변경 가능하다.
도 10b에 도시된 것과 같이, 제1 영역(1040)에는 안내 문구가 출력되고, 제2 영역(1050)에는 시뮬레이션 인자 데이터가 출력될 수 있다.
제어부(130)는 저장부(120)에 저장된 플라즈마 시뮬레이션과 관련된 전자기기로부터 선택된 전자 파일 형식의 문서(“문서1”, 1021)에 대응되는 시뮬레이션 인자 데이터를 제2 영역(1050)에 체크 리스트(1051)의 형태로 출력할 수 있다.
나아가, 제어부(130)는 플라즈마 시뮬레이션과 관련된 전자기기로부터 시뮬레이션 인자 데이터(1051) 중 적어도 하나가 선택되면, 선택된 시뮬레이션 인자 데이터가 선택된 것으로 출력할 수 있다.
한편, 제2 영역(1050)은 저장부(130)에 저장된 시뮬레이션 인자 데이터와 다른 시뮬레이션 인자 데이터를 선택하기 위한 기능 아이콘(예를 들어, “추가”, 1052)를 포함할 수 있다.
제어부(130)는, 플라즈마 시뮬레이션과 관련된 전자기기로부터 제2 영역에 포함된 기능 아이콘(1052)를 선택되면, 선택된 전자 파일 형식의 문서(“문서1”, 1021)에 포함된 플라즈마 공정과 관련된 정보 중 적어도 일부를 시뮬레이션 인자 데이터로 선정할 수 있는 기능을 제공할 수 있다.
이러한 기능은 도 8, 도 9a 내지 도 9b와 함께 설명한 과정과 동일하게 진행될 수 있다.
다음으로, 도 10b에 도시된 것과 같이, 제3 영역(1060)에는, 시뮬레이션 인자 데이터 선택 페이지 영역(1030)에서 제공되는 기능 아이콘들(1061, 1062)이 포함될 수 있다. 상기 기능 아이콘들(1061, 1062)은, 예를 들어, 본 발명에 따라 제2 영역 (1050)에서 선택된 시뮬레이션 인자 데이터를 사용하여 플라즈마 시뮬레이션을 수행하는 선택 아이콘(예를 들어, “확인”, 1061)과 시뮬레이션 인자 데이터를 선택하는 과정을 종료하는 선택 아이콘(예를 들어, “취소”, 1062) 등을 포함할 수 있다.
한편, 제어부(130)는, 도 11에 도시된 것과 같이, 저장부(120)에 저장된 시뮬레이션 인자 데이터를 제공할 수 있다.
예를 들어, 도 11에 도시된 것과 같이, 제어부(130)는 플라즈마 시뮬레이션과 관련된 전자기기로부터 저장부(120)에 저장된 시뮬레이션 인자 데이터를 수신하기 위한 기능 아이콘(1001)이 선택되면, 저장부(120)에 저장된 시뮬레이션 인자 데이터를 제공할 수 있는 시뮬레이션 인자 데이터 불러오기 페이지 영역(1100)를 출력할 수 있다.
시뮬레이션 인자 데이터 불러오기 페이지 영역(1100)에는 제1 영역 내지 제3 영역(1110, 1120, 1130)이 일 방향을 따라 나란하게 배치될 수 있다.
예를 들어, 제1 영역(1110)은, 제2 영역(1120) 상단에 배치되고, 제2 영역(1120)은 제3 영역(1130) 상단에 배치될 수 있다. 이러한 시뮬레이션 인자 데이터 불러오기 페이지 영역(1100)의 구성은 일 예시에 불과하여, 다양하게 변경 가능하다.
예를 들어, 제1 영역(1110)에는 시뮬레이션 인자 데이터 불러오기 페이지 영역(1100)에서 제공되는 기능의 안내 문구가 출력되고, 제2 영역(1120)에는 시뮬레이션 인자 데이터 불러오기 페이지 영역(1100)에서 제공할 수 있는 시뮬레이션 인자 데이터가 출력될 수 있다.
제어부(130)는 저장부(120)에 저장된 시뮬레이션 인자 데이터를 제2 영역(1120)에 체크 리스트로 출력할 수 있다.
나아가, 제어부(130)는 플라즈마 시뮬레이션과 관련된 전자기기로부터 시뮬레이션 인자 데이터 중 적어도 하나가 선택되면, 체크 리스트에 선택된 시뮬레이션 인자 데이터가 선택된 것으로 출력할 수 있다.
다음으로, 도 11에 도시된 것과 같이, 제3 영역(1130)에는, 시뮬레이션 인자 데이터 불러오기 페이지 영역(1100)에서 제공되는 기능 아이콘들(1131, 1132)이 포함될 수 있다. 상기 기능 아이콘들은 도 10b를 참조하여 설명한 기능 아이콘과 동일한 기능의 아이콘들이 될 수 있으며, 이에 대한 설명은 전술한 내용으로 갈음한다.
이상에서 살펴본 것과 같이, 본 발명에 따른 플라즈마 시뮬레이션 방법 및 시스템은, 전자 파일 형식의 문서로부터 플라즈마 공정과 관련된 문자 정보를 추출하고, 추출된 문자 정보 중 적어도 일부를 시뮬레이션 인자 데이터로 선정하여 플라즈마 시뮬레이션 수행에 사용함으로써, 플라즈마 시뮬레이션 수행을 용이하게 하는 환경을 제공할 수 있다.
나아가, 본 발명에 따른 플라즈마 시뮬레이션 방법 및 시스템은, 전자 파일 형식의 문서로부터 플라즈마 공정과 관련된 문자 정보를 추출하여 제공함으로써, 사용자 측면에서, 문서에서 플라즈마 공정과 관련된 정보를 찾는 수고로움을 줄여주며, 플라즈마 시뮬레이션 계산에 필요한 정보를 직접 입력하지 않아 입력 오류를 범하지 않도록 할 수 있다.
한편, 컴퓨터가 읽을 수 있는 매체는, 컴퓨터 시스템에 의하여 읽힐 수 있는 데이터가 저장되는 모든 종류의 기록장치를 포함한다. 컴퓨터가 읽을 수 있는 매체의 예로는, HDD(Hard Disk Drive), SSD(Solid State Disk), SDD(Silicon Disk Drive), ROM, RAM, CD-ROM, 자기 테이프, 플로피 디스크, 광 데이터 저장 장치 등이 있다.
나아가, 컴퓨터가 읽을 수 있는 매체는, 저장소를 포함하며 전자기 기가 통신을 통하여 접근할 수 있는 서버 또는 클라우드 저장소일 수 있다. 이 경 우, 컴퓨터는 유선 또는 무선 통신을 통하여, 서버 또는 클라우드 저장소로부터 본 발명에 따른 프로그램을 다운로드 받을 수 있다.
나아가, 본 발명에서는 위에서 설명한 컴퓨터는 프로세서, 즉 CPU(Central Processing Unit, 중앙처리장치)가 탑재된 전자기기로서, 그 종류에 대하여 특별한 한정을 두지 않는다.
한편, 본 명세서와 도면에 개시된 본 발명의 실시 예들은 본 발명의 기술 내용을 쉽게 설명하고 본 발명의 이해를 돕기 위해 특정 예를 제시한 것일 뿐이며, 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것은 아니다. 따라서 본 발명의 범위는 여기에 개시된 실시 예들 이외에도 본 발명의 기술적 사상을 바탕으로 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
Claims (13)
- 플라즈마 시뮬레이션과 관련된 전자기기를 통해 플라즈마 공정과 관련된 정보를 포함하는 전자 파일 형식의 문서를 수신하는 단계;
문자 인식 기법을 사용하여 상기 전자 파일 형식의 문서에 포함된 상기 플라즈마 공정과 관련된 정보 중 적어도 일부를 문자 정보로 추출하는 단계;
상기 추출된 문자 정보를 이용하여 상기 플라즈마 시뮬레이션의 결과에 영향을 주는 적어도 하나의 시뮬레이션 인자 데이터를 선정하는 단계; 및
상기 생성된 시뮬레이션의 인자 데이터를 이용하여 상기 플라즈마 시뮬레이션을 수행하는 단계를 포함하는 플라즈마 시뮬레이션 방법. - 제1항에 있어서,
상기 문자 정보로 추출하는 단계는,
상기 전자 파일 형식의 문서에 포함된 텍스트 데이터를 제1 단위로 토큰화하여 정형된 데이터를 생성하는 단계; 및
상기 플라즈마 공정과 관련된 정보를 상기 제1 단위와 다른 제2 단위로 토큰화하여 정형화된 데이터를 생성하는 단계를 포함하는 플라즈마 시뮬레이션 방법. - 제2항에 있어서,
상기 제1 단위는 단어 단위 및 문장 단위 중 적어도 하나를 포함하고,
상기 제2 단위는 화학식 단위 및 화학반응식 단위 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 시뮬레이션 방법. - 제1항에 있어서,
상기 시뮬레이션 인자 데이터를 선정하는 단계는,
딥 러닝 기반의 자연어 처리 기술(NLP)을 이용하여, 상기 추출된 문자 정보 중 적어도 하나 이상을 상기 시뮬레이션의 인자 데이터로 선정하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 시뮬레이션 방법. - 제4항에 있어서,
화학반응식, 상기 화학반응식에 포함되는 가스의 종들, 상기 화학반응식의 반응계수, 상기 종들의 밀도 데이터 중 적어도 하나가 상기 전자 문서로부터 추출되어, 상기 시뮬레이션의 인자 데이터로 선정되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 시뮬레이션 방법. - 제5항에 있어서,
상기 추출된 화학반응식은 상기 전자 파일 형식의 문서에 포함된 반응 계수와 관련된 정보와 서로 매칭되어 데이터베이스로서 저장되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 시뮬레이션 방법. - 제5항에 있어서,
상기 추출된 화학반응식이 전자가 포함된 반응인 경우, 상기 전자의 손실에너지를 상기 전자 파일 형식의 문서로부터 추출하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 시뮬레이션 방법. - 제7항에 있어서,
상기 전자의 손실에너지가 상기 전자 파일 형식의 문서로부터 추출되지 않을 경우, 상기 전자 손실에너지를 사용자로부터 수신하여 저장하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 시뮬레이션 방법. - 제1항에 있어서,
상기 추출된 문자 정보를 이용하여 상기 전자 문서에 포함된 화학반응식의 오류 여부를 점검하는 단계를 더 포함하는 플라즈마 시뮬레이션 방법. - 제9항에 있어서,
상기 전자 문서에서 특정 범위의 블록을 지정하면, 상기 지정된 블록 내에서 상기 화학반응식의 오류 여부를 점검하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 시뮬레이션 방법. - 제1항에 있어서,
상기 플라즈마 시뮬레이션을 수행하는 단계는,
상기 플라즈마 시뮬레이션과 관련 전자기기 중 적어도 하나에 상기 생성된 시뮬레이션의 인자 데이터를 제공하고,
상기 제공된 시뮬레이션의 인자 데이터 중 적어도 하나 이상을 선택하는 입력 신호를 수신하는 단계를 포함하는 플라즈마 시뮬레이션 방법. - 저장부;
플라즈마 시뮬레이션과 관련된 전자기기 또는 외부서버 중 적어도 하나에 연결되는 통신부;
상기 통신부를 통해 플라즈마 공정과 관련된 정보를 포함하는 전자 파일 형식의 문서를 수신하고,
문자 인식 기법을 사용하여 상기 전자 파일 형식의 문서에 포함된 상기 플라즈마 공정과 관련된 정보 중 적어도 일부를 문자 정보로 추출하고,
상기 추출된 문자 정보를 이용하여 상기 플라즈마 시뮬레이션의 결과에 영향을 주는 적어도 하나의 시뮬레이션 인자 데이터를 선정하며,
상기 생성된 시뮬레이션의 인자 데이터를 이용하여 상기 플라즈마 시뮬레이션을 수행하는 제어부를 포함하는 플라즈마 시뮬레이션 시스템. - 전자기기에서 하나 이상의 프로세스에 의하여 실행되며, 컴퓨터로 판독될 수 있는 기록매체에 저장된 프로그램으로서,
상기 프로그램은,
플라즈마 시뮬레이션과 관련된 전자기기를 통해 플라즈마 공정과 관련된 정보를 포함하는 전자 파일 형식의 문서를 수신하는 단계;
문자 인식 기법을 사용하여 상기 전자 파일 형식의 문서에 포함된 상기 플라즈마 공정과 관련된 정보 중 적어도 일부를 문자 정보로 추출하는 단계;
상기 추출된 문자 정보를 이용하여 상기 플라즈마 시뮬레이션의 결과에 영향을 주는 적어도 하나의 시뮬레이션 인자 데이터를 선정하는 단계; 및
상기 생성된 시뮬레이션의 인자 데이터를 이용하여 상기 플라즈마 시뮬레이션을 수행하는 단계를 수행하는 명령어들을 포함하는 것을 특징으로 하는 컴퓨터로 판독될 수 있는 기록매체에 저장된 프로그램.
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