KR20230152220A - Substrate guide vehicle and method for carrying a substrate - Google Patents

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KR20230152220A
KR20230152220A KR1020220051625A KR20220051625A KR20230152220A KR 20230152220 A KR20230152220 A KR 20230152220A KR 1020220051625 A KR1020220051625 A KR 1020220051625A KR 20220051625 A KR20220051625 A KR 20220051625A KR 20230152220 A KR20230152220 A KR 20230152220A
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배재익
김정일
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삼성디스플레이 주식회사
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Abstract

본 발명의 일 실시예에 따른 기판 운반차는 제1 구동부, 상기 제1 구동부와 제1 이동 방향으로 이격된 제2 구동부, 제1 구동부 및 제2 구동부 사이에 배치된 서브 구동부, 상기 제1 구동부 또는 상기 제2 구동부와 상기 서브 구동부 사이의 상기 제1 이동 방향과 교차하는 제2 이동 방향의 거리를 산출하는 센서, 및 상기 제1 구동부 또는 상기 제2 구동부를 상기 거리를 근거로 상기 제2 이동 방향으로 이동시키는 제어부를 포함하고, 상기 제1 구동부, 상기 제2 구동부, 및 상기 서브 구동부 중 적어도 2개를 근거로 이동할 수 있다. A substrate transport vehicle according to an embodiment of the present invention includes a first driving unit, a second driving unit spaced apart from the first driving unit in the first moving direction, a sub-driving unit disposed between the first driving unit and the second driving unit, the first driving unit, or A sensor that calculates a distance between the second driving unit and the sub-driving unit in a second moving direction that intersects the first moving direction, and the first driving unit or the second driving unit in the second moving direction based on the distance. It includes a control unit that moves, and can move based on at least two of the first driving unit, the second driving unit, and the sub-driving unit.

Description

기판 운반차 및 기판 운반 방법{SUBSTRATE GUIDE VEHICLE AND METHOD FOR CARRYING A SUBSTRATE}Substrate transport vehicle and substrate transport method {SUBSTRATE GUIDE VEHICLE AND METHOD FOR CARRYING A SUBSTRATE}

본 발명은 신뢰성이 향상된 기판 운반차 및 기판 운반 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate transport vehicle and a substrate transport method with improved reliability.

텔레비전, 휴대폰, 네비게이션, 컴퓨터 모니터, 또는 게임기 등과 같은 멀티 미디어 장치에 사용되는 다양한 표시 장치들이 개발되고 있다. 표시 장치들은 기판을 포함할 수 있다.Various display devices used in multimedia devices such as televisions, mobile phones, navigation systems, computer monitors, or game consoles are being developed. Display devices may include a substrate.

기판에는 표시 장치로 제공되고 위해 복수의 공정들이 진행될 수 있다. 기판은 복수의 공정들 중 보관 및 운반을 용이하게 하기 위해 기판 운반차에 적재되어 이동될 수 있다. A plurality of processes may be performed on the substrate to be provided as a display device. The substrate may be loaded and moved on a substrate transport vehicle to facilitate storage and transportation during a plurality of processes.

본 발명은 신뢰성이 향상된 기판 운반차 및 기판 운반 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.The purpose of the present invention is to provide a substrate transport vehicle and a substrate transport method with improved reliability.

본 발명의 일 실시예에 따른 기판 운반차는 제1 구동부, 상기 제1 구동부와 제1 이동 방향으로 이격된 제2 구동부, 제1 구동부 및 제2 구동부 사이에 배치된 서브 구동부, 상기 제1 구동부 또는 상기 제2 구동부와 상기 서브 구동부 사이의 상기 제1 이동 방향과 교차하는 제2 이동 방향의 거리를 산출하는 센서, 및 상기 제1 구동부, 상기 제2 구동부, 및 상기 서브 구동부 중 적어도 하나를 상기 거리를 근거로 상기 제2 이동 방향으로 이동시키는 제어부를 포함하고, 상기 제1 구동부, 상기 제2 구동부, 및 상기 서브 구동부 중 적어도 2개를 근거로 이동할 수 있다. A substrate transport vehicle according to an embodiment of the present invention includes a first driving unit, a second driving unit spaced apart from the first driving unit in the first moving direction, a sub-driving unit disposed between the first driving unit and the second driving unit, the first driving unit, or A sensor that calculates a distance between the second driving unit and the sub-driving unit in a second moving direction intersecting the first moving direction, and the distance by measuring at least one of the first driving unit, the second driving unit, and the sub-driving unit. and a control unit that moves in the second moving direction based on , and can move based on at least two of the first driving unit, the second driving unit, and the sub-driving unit.

기판이 적재되고, 상기 제1 구동부, 상기 제2 구동부, 및 상기 서브 구동부 위에 배치된 기판 적재용 카세트를 더 포함할 수 있다. A substrate is loaded, and may further include a cassette for loading the substrate disposed on the first driving unit, the second driving unit, and the sub-driving unit.

상기 센서부는 상기 기판의 지면과의 기울기 각도를 측정할 수 있다. The sensor unit can measure the tilt angle of the substrate with respect to the ground.

상기 제어부는 상기 기울기 각도를 근거로 상기 상기 제1 구동부 또는 상기 제2 구동부의 이동을 제어할 수 있다. The control unit may control movement of the first driving unit or the second driving unit based on the tilt angle.

상기 서브 구동부는 이동부 및 이동부 아래에 배치된 바퀴부를 포함할 수 있다. The sub-drive unit may include a moving part and a wheel part disposed below the moving part.

상기 이동부는 상기 바퀴부를 상기 제1 이동 방향으로 이동시킬 수 있다. The moving unit may move the wheel unit in the first moving direction.

상기 바퀴부는 상기 제2 이동 방향으로 이동할 수 있다. The wheel portion may move in the second moving direction.

상기 이동부는 상기 바퀴부를 상기 제1 구동부 및 상기 제2 구동부 사이의 상기 제1 구동부의 질량 중심의 2/3 또는 상기 제2 구동부의 질량 중심의 2/3에 배치시킬 수 있다. The moving part may be disposed between the first driving part and the second driving part at 2/3 of the center of mass of the first driving part or 2/3 of the center of mass of the second driving part.

상기 제1 구동부는 상기 제2 이동 방향으로 이동할 수 있다. The first driving unit may move in the second movement direction.

상기 제2 구동부는 상기 제2 이동 방향으로 이동할 수 있다. The second driving unit may move in the second movement direction.

상기 센서부는 자이로 센서를 포함하고, 상기 거리는 상기 제1 구동부 또는 상기 제2 구동부 및 상기 서브 구동부가 접하는 지면과의 각도를 근거로 산출할 수 있다. The sensor unit includes a gyro sensor, and the distance can be calculated based on an angle with the ground that the first drive unit, the second drive unit, and the sub-drive unit contact.

상기 센서부는 변위 센서를 포함하고, 상기 거리는 상기 센서부로부터 상기 제1 구동부 또는 상기 제2 구동부로의 상기 제2 이동 방향과 나란한 방향의 제1 거리 및 상기 센서부로부터 상기 서브 구동부로의 상기 제2 이동 방향과 나란한 방향의 제2 거리를 근거로 산출할 수 있다. The sensor unit includes a displacement sensor, and the distance includes a first distance in a direction parallel to the second movement direction from the sensor unit to the first driving unit or the second driving unit, and the first distance from the sensor unit to the sub-driving unit. 2 It can be calculated based on the second distance in the direction parallel to the direction of movement.

상기 센서부는 외부로부터 신호를 수신하여 상기 제어부에 진입 신호를 제공하고, 상기 제어부는 상기 제1 구동부, 상기 제2 구동부, 및 상기 서브 구동부를 제어할 수 있다. The sensor unit may receive a signal from the outside and provide an entry signal to the control unit, and the control unit may control the first drive unit, the second drive unit, and the sub-drive unit.

상기 제1 구동부 및 상기 제2 구동부가 상기 제2 이동 방향으로 이동 가능한 제1 최대폭은 상기 서브 구동부가 상기 제2 이동 방향으로 이동 가능한 제2 최대폭보다 작을 수 있다. A first maximum width at which the first driver and the second driver can move in the second movement direction may be smaller than a second maximum width at which the sub-driver can move in the second movement direction.

본 발명의 일 실시예에 따른 기판 운반 방법은 제1 공간에 배치되고, 기판이 수용되며, 제1 구동부, 상기 제1 구동부와 제1 이동 방향으로 이격된 제2 구동부, 상기 제1 구동부 및 상기 제2 구동부 사이에 배치된 서브 구동부, 및 센서부를 포함하는 기판 운반차를 상기 제1 공간과 상이한 제2 공간과 인접하게 배치하는 단계, 상기 서브 구동부를 상기 제1 이동 방향과 교차하는 제2 이동 방향으로 이동하여, 상기 제2 구동부 및 상기 서브 구동부가 상기 기판을 지지하는 단계, 상기 제2 공간 내에 상기 제1 구동부가 배치되는 단계, 상기 제1 구동부를 상기 제2 이동 방향으로 이동하여, 상기 제1 구동부, 상기 서브 구동부, 및 상기 제2 구동부가 상기 기판을 지지하는 단계, 상기 서브 구동부를 상기 제2 이동 방향으로 이동하여, 상기 제1 구동부 및 상기 제2 구동부가 상기 기판을 지지하는 단계, 상기 제2 공간 내에 상기 제1 구동부 및 상기 서브 구동부가 배치되고, 상기 서브 구동부가 상기 제1 이동 방향으로 이동하는 단계, 상기 서브 구동부를 상기 제2 이동 방향으로 이동하여 상기 제1 구동부 및 상기 서브 구동부가 상기 기판을 지지하는 단계, 상기 제2 공간 내에 상기 제1 구동부, 상기 서브 구동부, 및 상기 제2 구동부가 배치되는 단계, 및 상기 제1 구동부 및 상기 서브 구동부를 상기 제2 이동 방향으로 이동하여, 상기 제1 구동부 및 상기 제2 구동부가 상기 기판을 지지하는 단계를 포함할 수 있다. A substrate transport method according to an embodiment of the present invention is disposed in a first space, a substrate is received, a first driving unit, a second driving unit spaced apart from the first driving unit in a first moving direction, the first driving unit, and the Arranging a substrate transport vehicle including a sub-driving unit and a sensor unit disposed between second driving units adjacent to a second space different from the first space, second moving the sub-driving unit intersecting the first moving direction moving in a direction to support the substrate by the second driving unit and the sub-driving unit, disposing the first driving unit in the second space, moving the first driving unit in the second moving direction, Supporting the substrate by the first driving unit, the sub-driving unit, and the second driving unit, moving the sub-driving unit in the second movement direction, and supporting the substrate by the first driving unit and the second driving unit. , the first driver and the sub-driver are disposed in the second space, and the sub-driver moves in the first moving direction, moving the sub-driver in the second moving direction so that the first driver and the supporting the substrate by a sub-driving unit, disposing the first driving unit, the sub-driving unit, and the second driving unit in the second space, and moving the first driving unit and the sub-driving unit in the second moving direction. The method may include moving the first driver and the second driver to support the substrate.

상기 센서부가 상기 제1 공간 및 상기 제2 공간의 경계를 판단하는 단계를 더 포함할 수 있다. The sensor unit may further include determining a boundary between the first space and the second space.

상기 센서부가 상기 제1 공간의 표면과 상기 기판 사이의 각도를 -3° 내지 3°로 유지하는 단계를 더 포함할 수 있다. The sensor unit may further include maintaining an angle between the surface of the first space and the substrate at -3° to 3°.

상기 서브 구동부가 상기 제1 이동 방향으로 이동하는 단계는 상기 서브 구동부가 상기 제1 구동부 및 상기 제2 구동부 사이의 상기 제1 구동부의 질량 중심의 2/3 또는 상기 제2 구동부의 질량 중심의 2/3로 이동하는 단계를 포함할 수 있다. The step of moving the sub-driver in the first moving direction may include the sub-driver being 2/3 of the center of mass of the first driver between the first driver and the second driver or 2/3 of the center of mass of the second driver. It may include the step of moving to /3.

상기 제1 구동부, 상기 서브 구동부, 및 상기 제2 구동부가 상기 기판을 지지하는 단계는 상기 제2 공간에 상기 제2 이동 방향과 평행한 방향으로 제1 부하를 가하는 단계를 포함할 수 있다. Supporting the substrate by the first driver, the sub-driver, and the second driver may include applying a first load to the second space in a direction parallel to the second movement direction.

상기 서브 구동부를 상기 제2 이동 방향으로 이동하여, 상기 제1 구동부 및 상기 서브 구동부가 상기 기판을 지지하는 단계는 상기 서브 구동부를 제1 폭만큼 이동 시키는 단계를 포함하고, 상기 제1 구동부를 상기 제2 이동 방향으로 이동하여, 상기 제1 구동부, 상기 서브 구동부, 및 상기 제2 구동부가 상기 기판을 지지하는 단계는 상기 제1 구동부를 상기 제1 폭과 상이한 제2 폭만큼 이동 시키는 단계를 포함하며, 상기 제1 폭은 상기 제2 폭보다 클 수 있다.The step of moving the sub-driver in the second movement direction to support the substrate by the first driver and the sub-driver includes moving the sub-driver by a first width, and moving the first driver by the first width. Moving in a second moving direction, the step of supporting the substrate by the first driving unit, the sub-driving unit, and the second driving unit includes moving the first driving unit by a second width that is different from the first width. And the first width may be larger than the second width.

상술된 바에 따르면, 제어부는 적재된 기판의 기울기 각도를 제어할 수 있고, 기판에 불필요한 충격이 가해지는 것을 방지할 수 있다. 즉, 기판 운반차는 기판의 손상을 방지할 수 있다. 따라서, 신뢰성이 향상된 기판 운반차를 제공할 수 있다.As described above, the control unit can control the tilt angle of the loaded substrate and prevent unnecessary shock from being applied to the substrate. In other words, the substrate transport vehicle can prevent damage to the substrate. Therefore, it is possible to provide a substrate transport vehicle with improved reliability.

또한, 상술된 바에 따르면, 본 발명의 기판 운반 방법에서 제1 구동부, 서브 구동부, 및 제2 구동부 각각은 점진적으로 부하를 가할 수 있다. 제1 구동부, 서브 구동부, 및 제2 구동부 각각은 기판 운반차의 순간적인 충돌에 의해 발생될 수 있는 충격을 방지할 수 있다. 기판에 발생될 수 있는 충격이 방지될 수 있다. 기판이 안정적으로 운송될 수 있다. 따라서, 신뢰성이 향상된 기판 운반차 및 기판 운반 방법을 제공할 수 있다.Additionally, as described above, in the substrate transport method of the present invention, each of the first driver, sub-driver, and second driver may gradually apply a load. Each of the first driving unit, the sub-driving unit, and the second driving unit can prevent shock that may be generated by an instantaneous collision of the substrate transport vehicle. Shock that may occur on the substrate can be prevented. The substrate can be transported stably. Therefore, it is possible to provide a substrate transport vehicle and a substrate transport method with improved reliability.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 운반차의 측면도이다.
도 2a는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 운반차의 측면도이다.
도 2b는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 운반차의 측면도이다.
도 3a 내지 도 3i는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 운반 방법을 도시한 것들이다.
도 4a 내지 도 4h는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 운반 방법을 도시한 것들이다.1 is a side view of a substrate transport vehicle according to an embodiment of the present invention.
Figure 2a is a side view of a substrate transport vehicle according to an embodiment of the present invention.
Figure 2b is a side view of a substrate transport vehicle according to an embodiment of the present invention.
Figures 3A to 3I illustrate a substrate transport method according to an embodiment of the present invention.
Figures 4A to 4H illustrate a substrate transport method according to an embodiment of the present invention.

본 명세서에서, 어떤 구성요소(또는 영역, 층, 부분 등)가 다른 구성요소 “상에 있다”, “연결된다”, 또는 “결합된다”고 언급되는 경우에 그것은 다른 구성요소 상에 직접 배치/연결/결합될 수 있거나 또는 그들 사이에 제3의 구성요소가 배치될 수도 있다는 것을 의미한다. In this specification, when a component (or region, layer, portion, etc.) is referred to as being “on,” “connected to,” or “coupled to” another component, it is said to be placed/directly on the other component. This means that they can be connected/combined or a third component can be placed between them.

동일한 도면부호는 동일한 구성요소를 지칭한다. 또한, 도면들에 있어서, 구성요소들의 두께, 비율, 및 치수는 기술적 내용의 효과적인 설명을 위해 과장된 것이다. “및/또는”은 연관된 구성요소들이 정의할 수 있는 하나 이상의 조합을 모두 포함한다.Like reference numerals refer to like elements. Additionally, in the drawings, the thickness, proportions, and dimensions of components are exaggerated for effective explanation of technical content. “And/or” includes all combinations of one or more that can be defined by the associated components.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.Terms such as first, second, etc. may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. The above terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. For example, a first component may be named a second component, and similarly, the second component may also be named a first component without departing from the scope of the present invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise.

또한, “아래에”, “하측에”, “위에”, “상측에” 등의 용어는 도면에 도시된 구성요소들의 연관관계를 설명하기 위해 사용된다. 상기 용어들은 상대적인 개념으로, 도면에 표시된 방향을 기준으로 설명된다.Additionally, terms such as “below,” “on the lower side,” “above,” and “on the upper side” are used to describe the relationships between the components shown in the drawings. The above terms are relative concepts and are explained based on the direction indicated in the drawings.

"포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다. Terms such as “include” or “have” are intended to designate the presence of features, numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof described in the specification, but do not include one or more other features, numbers, or steps. , it should be understood that this does not exclude in advance the possibility of the presence or addition of operations, components, parts, or combinations thereof.

다르게 정의되지 않는 한, 본 명세서에서 사용된 모든 용어 (기술 용어 및 과학 용어 포함)는 본 발명이 속하는 기술 분야의 당업자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 갖는다. 또한, 일반적으로 사용되는 사전에서 정의된 용어와 같은 용어는 관련 기술의 맥락에서 갖는 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석되어야 하고, 여기서 명시적으로 정의되지 않는 한 너무 이상적이거나 지나치게 형식적인 의미로 해석되어서는 안된다.Unless otherwise defined, all terms (including technical terms and scientific terms) used in this specification have the same meaning as commonly understood by a person skilled in the art to which the present invention pertains. Additionally, terms such as those defined in commonly used dictionaries should be interpreted as having a meaning consistent with the meaning they have in the context of the relevant technology, and unless explicitly defined herein, should not be interpreted as having an overly idealistic or overly formal meaning. It shouldn't be.

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 운반차의 측면도이다.1 is a side view of a substrate transport vehicle according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 기판 운반차(AGV)에는 기판(SUB)이 적재될 수 있다. 기판 운반차(AGV)는 적재된 기판(SUB)을 보관 및/또는 운반할 수 있다. 예를 들어, 기판 운반차(AGV)는 제1 공정을 마친 기판(SUB)을 제2 공정을 위한 장소로 외부의 충격으로부터 보호하며 안전하게 운반할 수 있다. Referring to FIG. 1, a substrate (SUB) may be loaded on a substrate transport vehicle (AGV). A substrate transport vehicle (AGV) can store and/or transport loaded substrates (SUBs). For example, a substrate transport vehicle (AGV) can safely transport a substrate (SUB) that has completed the first process to a location for the second process while protecting it from external shock.

기판(SUB)은 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2)이 정의하는 면과 평행한 면을 가질 수 있다. 기판(SUB)의 두께 방향은 제3 방향(DR3)이 지시할 수 있다. 기판(SUB)의 전면(또는 상면)과 배면(또는 하면)은 제3 방향(DR3)에 의해 구분될 수 있다. 제3 방향(DR3)은 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2)과 교차하는 방향일 수 있다. 예를 들어, 제1 방향(DR1), 제2 방향(DR2), 및 제3 방향(DR3)은 서로 직교할 수 있다. 또한, 본 명세서에서 제1 방향(DR1)과 제2 방향(DR2)이 정의하는 면을 평면이라 정의하고, "평면 상에서 보았다"는 것은 제3 방향(DR3)에서 바라본 것으로 정의될 수 있다. The substrate SUB may have a surface parallel to a surface defined by the first direction DR1 and the second direction DR2. The thickness direction of the substrate SUB may be indicated by the third direction DR3. The front (or top) and back (or bottom) surfaces of the substrate SUB may be distinguished by the third direction DR3. The third direction DR3 may intersect the first direction DR1 and the second direction DR2. For example, the first direction DR1, the second direction DR2, and the third direction DR3 may be orthogonal to each other. Additionally, in this specification, the surface defined by the first direction DR1 and the second direction DR2 is defined as a plane, and “viewed on a plane” may be defined as viewed in the third direction DR3.

기판 운반차(AGV)는 제1 구동부(DV1), 제2 구동부(DV2), 서브 구동부(SD), 센서부(SS), 제어부(CC), 및 기판 적재용 카세트(CH)를 포함할 수 있다. The substrate transport vehicle (AGV) may include a first drive unit (DV1), a second drive unit (DV2), a sub-drive unit (SD), a sensor unit (SS), a control unit (CC), and a cassette (CH) for loading the substrate. there is.

제1 구동부(DV1)는 기판 운반차(AGV)가 소정의 방향으로 이동할 수 있도록 회전할 수 있다. 제1 구동부(DV1)는 제3 방향(DR3)으로 이동할 수 있다. 제1 구동부(DV1)는 서보 모터를 포함할 수 있다. 상기 서보 모터는 제1 구동부(DV1)가 제3 방향(DR3)으로 이동할 수 있도록 가감속을 용이하게 할 수 있다. 상기 서보 모터에 의해 제1 구동부(DV1)가 움직임에 있어서 외부의 충격이 저감될 수 있다. The first driving unit DV1 may rotate so that the substrate transport vehicle AGV can move in a predetermined direction. The first driving unit DV1 may move in the third direction DR3. The first driving unit DV1 may include a servo motor. The servo motor can facilitate acceleration and deceleration so that the first driving unit DV1 can move in the third direction DR3. External shock may be reduced when the first driving unit DV1 moves by the servo motor.

제2 구동부(DV2)는 제1 구동부(DV1)와 제1 방향(DR1)으로 이격될 수 있다. 제2 구동부(DV2)는 기판 운반차(AGV)가 상기 소정의 방향으로 이동할 수 있도록 회전할 수 있다. 제2 구동부(DV2)는 제3 방향(DR3)으로 이동할 수 있다. 제2 구동부(DV2)는 서보 모터를 포함할 수 있다. 상기 서보 모터는 제2 구동부(DV2)가 제3 방향(DR3)으로 이동할 수 있도록 가감속을 용이하게 할 수 있다. 상기 서보 모터에 의해 제2 구동부(DV2)가 움직임에 있어서 외부의 충격이 저감될 수 있다. The second driving unit DV2 may be spaced apart from the first driving unit DV1 in the first direction DR1. The second driving unit DV2 may rotate so that the substrate transport vehicle AGV can move in the predetermined direction. The second driving unit DV2 may move in the third direction DR3. The second driving unit DV2 may include a servo motor. The servo motor can facilitate acceleration and deceleration so that the second driving unit DV2 can move in the third direction DR3. External shock may be reduced when the second driving unit DV2 moves by the servo motor.

서브 구동부(SD)는 제1 구동부(DV1) 및 제2 구동부(DV2) 사이에 배치될 수 있다. 서브 구동부(SD)는 이동부(MV) 및 바퀴부(WH)을 포함할 수 있다. 이동부(MV)는 바퀴부(WH)를 제1 방향(DR1)으로 이동시킬 수 있다. 바퀴부(WH)는 기판 운반차(AGV)를 상기 소정의 방향으로 이동할 수 있도록 회전할 수 있다. 바퀴부(WH)는 이동부(MV)에 의해 제1 방향(DR1)으로 이동될 수 있다. 바퀴부(WH)는 제3 방향(DR3)으로 이동할 수 있다. 바퀴부(WH)는 서보 모터를 포함할 수 있다. 상기 서보 모터는 바퀴부(WH)가 제3 방향(DR3)으로 이동할 수 있ㄷ록 가감속을 용이하게 할 수 있다. 상기 서보 모터에 의해 바퀴부(WH)가 움직임에 있어서 외부의 충격이 저감될 수 있다. The sub-driver SD may be disposed between the first driver DV1 and the second driver DV2. The sub-drive unit (SD) may include a moving unit (MV) and a wheel unit (WH). The moving part MV may move the wheel part WH in the first direction DR1. The wheel portion (WH) can rotate so as to move the substrate transport vehicle (AGV) in the predetermined direction. The wheel portion WH may be moved in the first direction DR1 by the moving portion MV. The wheel portion WH can move in the third direction DR3. The wheel portion (WH) may include a servo motor. The servo motor can facilitate acceleration and deceleration so that the wheel portion (WH) can move in the third direction (DR3). External shock can be reduced when the wheel portion WH is moved by the servo motor.

센서부(SS)는 제1 구동부(DV1) 또는 제2 구동부(DV2)와 서브 구동부(SD) 사이의 제3 방향(DR3)의 거리를 산출할 수 있다. 센서부(SS)는 자이로 센서 또는 변위 센서를 포함할 수 있다. The sensor unit SS may calculate the distance in the third direction DR3 between the first driver DV1 or the second driver DV2 and the sub driver SD. The sensor unit (SS) may include a gyro sensor or a displacement sensor.

제어부(CC)는 제1 구동부(DV1) 또는 제2 구동부(DV2)를 센서부(SS)가 측정한 상기 거리를 근거로 제3 방향(DR3)으로 이동시킬 수 있다. 이에 대해서는 후술된다. The control unit CC may move the first driving unit DV1 or the second driving unit DV2 in the third direction DR3 based on the distance measured by the sensor unit SS. This will be described later.

기판 운반차(AGV)는 제1 구동부(DV1), 제2 구동부(DV2), 및 서브 구동부(SD) 중 적어도 2개를 근거로 이동할 수 있다. The substrate transport vehicle (AGV) may move based on at least two of the first drive unit (DV1), the second drive unit (DV2), and the sub-drive unit (SD).

기판 적재용 카세트(CH)는 복수의 기판들(SUB)을 적재할 수 있다. 기판 적재용 카세트(CH)는 제1 구동부(DV1), 제2 구동부(DV2), 및 서브 구동부(SD) 위에 배치될 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 적재용 카세트(CH)는 기판 운반차(AGV)가 복수의 기판들(SUB)을 이송하지 않을 때는 생략될 수 있다. The substrate loading cassette (CH) can load a plurality of substrates (SUB). The cassette CH for loading the substrate may be disposed on the first drive unit DV1, the second drive unit DV2, and the sub drive unit SD. The substrate loading cassette (CH) according to an embodiment of the present invention may be omitted when the substrate transport vehicle (AGV) does not transport a plurality of substrates (SUB).

도 2a는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 운반차의 측면도이다.Figure 2a is a side view of a substrate transport vehicle according to an embodiment of the present invention.

도 2a를 참조하면, 센서부(SS)는 기판(SUB)의 지면(SF1)과의 기울기 각도(SAG)를 측정할 수 있다. 제어부(CC)는 기울기 각도(SAG)가 소정의 범위 내에서 동작하도록 제어할 수 있다. 예를 들어, 제어부(CC)는 기울기 각도(SAG)가 -3° 내지 3°로 유지하도록 제어할 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따른 기울기 각도(SAG)가 -4° 보다 작거나, 4°보다 큰 경우, 기판(SUB)이 기판 적재용 카세트(CH) 내에서 중력에 의해 이동될 수 있다. 이로 인해, 기판(SUB)이 기판 적재용 카세트(CH)에서 분리되거나, 진동에 취약한 기판(SUB)에 충격이 가해질 수 있다. 하지만, 본 발명에 따르면, 제어부(CC)는 기울기 각도(SAG)를 제어할 수 있고, 기판(SUB)에 불필요한 충격이 가해지는 것을 방지할 수 있다. 즉, 기판 운반차(AGV)는 기판(SUB)의 손상을 방지할 수 있다. 따라서, 신뢰성이 향상된 기판 운반차(AGV)를 제공할 수 있다. Referring to FIG. 2A, the sensor unit SS may measure the tilt angle SAG of the substrate SUB with the ground SF1. The control unit (CC) can control the tilt angle (SAG) to operate within a predetermined range. For example, the controller CC may control the tilt angle SAG to be maintained at -3° to 3°. When the tilt angle (SAG) according to an embodiment of the present invention is less than -4° or greater than 4°, the substrate (SUB) may be moved by gravity within the cassette (CH) for loading the substrate. As a result, the substrate (SUB) may be separated from the substrate loading cassette (CH) or an impact may be applied to the substrate (SUB), which is vulnerable to vibration. However, according to the present invention, the control unit CC can control the tilt angle SAG and prevent unnecessary impact from being applied to the substrate SUB. In other words, the substrate transport vehicle (AGV) can prevent damage to the substrate (SUB). Therefore, it is possible to provide a substrate transport vehicle (AGV) with improved reliability.

센서부(SS)는 제1 센서(GS)를 포함할 수 있다. 제1 센서(GS)는 자이로 센서를 포함할 수 있다. 제1 센서(GS)는 제1 센서(GS)가 기울어진 정도를 근거로 기울기값(AG)을 측정할 수 있다. 제어부(CC)는 기울기값(AG) 및 미리 저장된 제1 구동부(DV1) 및 바퀴부(WH) 사이의 거리(AA)를 근거로 제1 구동부(DV1) 또는 제2 구동부(DV2)와 바퀴부(WH) 사이의 높이(DS1) 차이를 산출할 수 있다.The sensor unit SS may include a first sensor GS. The first sensor GS may include a gyro sensor. The first sensor GS may measure the tilt value AG based on the degree to which the first sensor GS is tilted. The control unit (CC) controls the first driving unit (DV1) or the second driving unit (DV2) and the wheel unit based on the slope value (AG) and the pre-stored distance (AA) between the first driving unit (DV1) and the wheel unit (WH). The difference in height (DS1) between (WH) can be calculated.

제어부(CC)는 높이(DS1)를 근거로 기울기 각도(SAG)가 상기 소정의 범위 내에서 동작하도록 제어할 수 있다. 제어부(CC)는 제1 구동부(DV1), 제2 구동부(DV2), 및 서브 구동부(SD) 각각의 높이를 조절할 수 있다. 제어부(CC)는 기판(SUB)이 지면(SF1)과 평행하도록 제1 구동부(DV1), 제2 구동부(DV2), 및 서브 구동부(SD) 각각을 제어할 수 있다. 예를 들어, 기울기 각도(SAG)는 0°에 근접한 값일 수 있다. 기울기값(AG)은 기울기 각도(SAG)와 실질적으로 동일할 수 있다. The controller CC may control the tilt angle SAG to operate within the predetermined range based on the height DS1. The control unit CC may adjust the height of each of the first driving unit DV1, the second driving unit DV2, and the sub driving unit SD. The control unit CC may control each of the first driver DV1, the second driver DV2, and the sub driver SD so that the substrate SUB is parallel to the ground SF1. For example, the tilt angle (SAG) may be a value close to 0°. The tilt value (AG) may be substantially equal to the tilt angle (SAG).

도 2b는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 운반차의 측면도이다. 도 2b를 설명함에 있어서, 도 2a를 통해 설명된 구성 요소에 대해서는 동일한 도면 부호를 병기하고 이에 대한 설명은 생략된다. Figure 2b is a side view of a substrate transport vehicle according to an embodiment of the present invention. In describing FIG. 2B, the same reference numerals are used for the components described in FIG. 2A and their description is omitted.

도 2b를 참조하면, 센서부(SS)는 제2 센서(VS)를 포함할 수 있다. 제2 센서(VS)는 변위 센서를 포함할 수 있다. 제2 센서(VS)는 센서부(SS)로부터 지면(SF1)까지의 거리를 측정할 수 있다. 제어부(CC)는 센서부(SS)가 배치된 면(SSF)으로부터 제1 구동부(DV1) 또는 제2 구동부(DV2)가 지면(SF1)과 접하는 점까지의 거리(BB1) 및 상기 면(SSF)으로부터 바퀴부(WH)가 지면(SF1)과 접하는 점까지의 거리(BB2)를 근거로 제1 구동부(DV1) 또는 제2 구동부(DV2)와 바퀴부(WH) 사이의 높이(DS2) 차이를 산출할 수 있다. Referring to FIG. 2B, the sensor unit SS may include a second sensor VS. The second sensor VS may include a displacement sensor. The second sensor VS can measure the distance from the sensor unit SS to the ground SF1. The control unit (CC) controls the distance (BB1) from the surface (SSF) on which the sensor unit (SS) is disposed to the point where the first driving unit (DV1) or the second driving unit (DV2) contacts the ground (SF1) and the surface (SSF) ) Based on the distance BB2 from the point where the wheel part WH is in contact with the ground SF1, the difference in height DS2 between the first driving part DV1 or the second driving part DV2 and the wheel part WH can be calculated.

제어부(CC)는 높이(DS2)를 근거로 기울기 각도(SAG)가 상기 소정의 범위 내에서 동작하도록 제어할 수 있다. 제어부(CC)는 제1 구동부(DV1), 제2 구동부(DV2), 및 서브 구동부(SD) 각각의 높이를 조절할 수 있다. 제어부(CC)는 기판(SUB)이 지면(SF1)과 평행하도록 제1 구동부(DV1), 제2 구동부(DV2), 및 서브 구동부(SD) 각각을 제어할 수 있다. 예를 들어, 기울기 각도(SAG)는 0°에 근접한 값일 수 있다. The controller CC may control the tilt angle SAG to operate within the predetermined range based on the height DS2. The control unit CC may adjust the height of each of the first driving unit DV1, the second driving unit DV2, and the sub driving unit SD. The control unit CC may control each of the first driver DV1, the second driver DV2, and the sub driver SD so that the substrate SUB is parallel to the ground SF1. For example, the tilt angle (SAG) may be a value close to 0°.

도 3a 내지 도 3i는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 운반 방법을 도시한 것들이다.Figures 3A to 3I illustrate a substrate transport method according to an embodiment of the present invention.

도 3a를 참조하면, 기판 운반차(AGV)는 리프트(LF) 내로 입고될 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따른 기판(SUB)은 소정의 공정을 마치고 다른 공정으로 이동하기 위해 기판 운반차(AGV)에 의해 이동될 수 있다. 예를 들어, 기판(SUB)은 상이한 층에 배치된 공정 설비에 제공되기 위해 리프트(LF)를 통해 이동될 수 있다. Referring to FIG. 3A, the substrate transport vehicle (AGV) may be loaded into the lift LF. The substrate (SUB) according to an embodiment of the present invention may be moved by a substrate transport vehicle (AGV) to complete a certain process and move to another process. For example, the substrate SUB may be moved via a lift LF to be provided to process equipment placed on different floors.

기판 운반차(AGV)는 제1 공간에서 제2 공간으로 이동할 수 있다. 예를 들어, 상기 제1 공간은 지면(SF1)이 정의된 공간일 수 있고, 상기 제2 공간은 리프트(LF) 내부일 수 있다. The substrate transport vehicle (AGV) can move from the first space to the second space. For example, the first space may be a space where the ground (SF1) is defined, and the second space may be inside the lift (LF).

기판 운반차(AGV)는 리프트(LF)와 인접하게 제1 이동 방향(MD1a)으로 이동할 수 있다. 제1 이동 방향(MD1a)은 제1 방향(DR1)과 나란할 수 있다. 제1 구동부(DV1) 및 제2 구동부(DV2)는 기판(SUB)을 지지할 수 있다. 기판(SUB)은 지면(SF1)과 평행할 수 있다. The substrate transport vehicle (AGV) may move in the first movement direction (MD1a) adjacent to the lift (LF). The first movement direction MD1a may be parallel to the first direction DR1. The first driver DV1 and the second driver DV2 may support the substrate SUB. The substrate SUB may be parallel to the ground SF1.

도 3b를 참조하면, 서브 구동부(SD)의 바퀴부(WH)는 제2 이동 방향(MD2a)으로 이동할 수 있다. 제2 이동 방향(MD2a)은 제1 이동 방향(MD1a)과 교차할 수 있다. 바퀴부(WH)는 지면(SF1)에 부하를 가할 수 있다. 이 때, 바퀴부(WH)의 서보 모터는 바퀴부(WH)가 지면(SF1)에 안착 시 제2 이동 방향(MD2a)으로 이동하는 바퀴부(WH)를 감속할 수 있다. 바퀴부(WH)의 서보 모터에 의해 기판(SUB)에 가해지는 바퀴부(WH)가 지면(SF1)에 안착되면서 발생되는 충격이 저감될 수 있다. Referring to FIG. 3B, the wheel portion (WH) of the sub-drive unit (SD) may move in the second movement direction (MD2a). The second movement direction MD2a may intersect the first movement direction MD1a. The wheel portion (WH) can apply a load to the ground (SF1). At this time, the servo motor of the wheel unit (WH) may decelerate the wheel unit (WH) moving in the second moving direction (MD2a) when the wheel unit (WH) lands on the ground (SF1). The impact generated when the wheel portion (WH) is seated on the ground (SF1) applied to the substrate (SUB) by the servo motor of the wheel portion (WH) can be reduced.

제2 구동부(DV2) 및 서브 구동부(SD)는 기판(SUB)을 지지할 수 있다. 제2 구동부(DV2) 및 서브 구동부(SD) 각각은 지면(SF1)과 접촉할 수 있다. The second driver DV2 and the sub driver SD may support the substrate SUB. Each of the second driving unit DV2 and the sub driving unit SD may be in contact with the ground SF1.

이동부(MV)는 바퀴부(WH)를 제1 구동부(DV1) 및 제2 구동부(DV2) 사이의 선(WD)에서 제2 구동부(DV2)로부터 2/3인 제1 지점(MC1)으로 이동시킬 수 있다. 예를 들어, 제1 지점(MC1)은 제1 구동부(DV1) 및 제2 구동부(DV2) 사이의 제2 구동부(DV2)의 질량 중심의 2/3으로 정의될 수 있다. The moving part MV moves the wheel part WH from the line WD between the first driving part DV1 and the second driving part DV2 to the first point MC1, which is 2/3 from the second driving part DV2. It can be moved. For example, the first point MC1 may be defined as 2/3 of the center of mass of the second driving unit DV2 between the first driving unit DV1 and the second driving unit DV2.

본 발명에 따르면, 서브 구동부(SD)는 기판 운반차(AGV)가 쓰러지지 않도록 제2 구동부(DV2)와 제1 방향(DR1)으로 이격되어 배치될 수 있다. 서브 구동부(SD) 및 제2 구동부(DV2)는 기판(SUB)을 용이하게 지지할 수 있다. 따라서, 신뢰성이 향상된 기판 운반차(AGV)를 제공할 수 있다. According to the present invention, the sub-driving unit SD may be arranged to be spaced apart from the second driving unit DV2 in the first direction DR1 to prevent the substrate transport vehicle AGV from falling over. The sub driver SD and the second driver DV2 can easily support the substrate SUB. Therefore, it is possible to provide a substrate transport vehicle (AGV) with improved reliability.

제1 구동부(DV1)는 지면(SF1)에 부하를 가하지 않을 수 있다. 제1 구동부(DV1)는 지면(SF1)으로부터 이격될 수 있다. The first driving unit DV1 may not apply a load to the ground SF1. The first driving unit DV1 may be spaced apart from the ground SF1.

기울기 각도(SAG1)는 기판(SUB)과 지면(SF1) 사이의 각도일 수 있다. 기울기 각도(SAG1)는 소정의 범위 내에서 정의될 수 있다. 예를 들어, 기울기 각도(SAG1)는 -3° 내지 3°일 수 있다. 도 3b에서는 예시적으로 3°의 기울기를 갖는 기울기 각도(SAG1)를 도시하였으나, 본 발명의 일 실시예에 따른 기울기 각도(SAG1)는 이에 제한되지 않는다. 예를 들어, 기울기 각도(SAG1)는 0°에 근접하도록 서브 구동부(SD)가 배치될 수 있다. The tilt angle SAG1 may be the angle between the substrate SUB and the ground SF1. The tilt angle (SAG1) can be defined within a predetermined range. For example, the tilt angle (SAG1) may be -3° to 3°. Although FIG. 3B exemplarily shows a tilt angle SAG1 having a tilt of 3°, the tilt angle SAG1 according to an embodiment of the present invention is not limited thereto. For example, the sub-driver SD may be arranged so that the tilt angle SAG1 approaches 0°.

도 3c를 참조하면, 센서부(SS)는 제1 구동부(DV1)의 리프트(LF) 진입 여부를 판단할 수 있다. 센서부(SS)는 리프트(LF) 및 지면(SF1)이 정의된 공간 사이의 경계를 판단할 수 있다. 예를 들어, 센서부(SS)는 Rider 센서, 변위 센서, QR code를 측정하는 카메라를 더 포함할 수 있다. Referring to FIG. 3C, the sensor unit SS may determine whether the first drive unit DV1 enters the lift LF. The sensor unit SS may determine the boundary between the space where the lift LF and the ground SF1 are defined. For example, the sensor unit (SS) may further include a rider sensor, a displacement sensor, and a camera that measures a QR code.

기판 운반차(AGV)는 제3 이동 방향(MD3a)으로 이동할 수 있다. 제3 이동 방향(MD3a)은 제1 방향(DR1)과 나란할 수 있다. 리프트(LF) 내에 제1 구동부(DV1)가 배치될 수 있다. The substrate transport vehicle (AGV) may move in the third movement direction (MD3a). The third movement direction MD3a may be parallel to the first direction DR1. The first driving unit DV1 may be disposed within the lift LF.

서브 구동부(SD) 및 제2 구동부(DV2)는 기판(SUB)을 지지할 수 있다. 바퀴부(WH) 및 제2 구동부(DV2)는 지면(SF1)과 접촉할 수 있다. The sub driver SD and the second driver DV2 may support the substrate SUB. The wheel portion (WH) and the second driving portion (DV2) may be in contact with the ground (SF1).

도 3d를 참조하면, 제1 구동부(DV1)는 제4 이동 방향(MD4a)으로 이동할 수 있다. 제4 이동 방향(MD4a)은 제2 이동 방향(MD2a)과 평행할 수 있다. 제1 구동부(DV1)는 리프트(LF)의 내부면(LS)에 부하를 가할 수 있고, 리프트(LF)에는 상기 부하에 의해 제1 부하(LD1)가 인가될 수 있다. 이 때, 제1 구동부(DV1)의 서보 모터는 제1 구동부(DV1)가 내부면(LS)에 안착 시 제4 이동 방향(MD4a)으로 이동하는 제1 구동부(DV1)를 감속할 수 있다. 제1 구동부(DV1)의 서보 모터에 의해 기판(SUB)에 가해지는 제1 구동부(DV1)가 내부면(LS)에 안착되면서 발생되는 충격이 저감될 수 있다. Referring to FIG. 3D, the first driver DV1 may move in the fourth movement direction MD4a. The fourth movement direction MD4a may be parallel to the second movement direction MD2a. The first driving unit DV1 may apply a load to the inner surface LS of the lift LF, and the first load LD1 may be applied to the lift LF by the load. At this time, the servo motor of the first driving part DV1 may decelerate the first driving part DV1 moving in the fourth moving direction MD4a when the first driving part DV1 is seated on the inner surface LS. The impact generated when the first driving unit DV1 is seated on the inner surface LS, which is applied to the substrate SUB by the servo motor of the first driving unit DV1, can be reduced.

리프트(LF)에는 제1 부하(LD1)에 의해 제1 처짐 현상이 발생될 수 있다. 상기 제1 처짐 현상은 리프트(LF)에 연결된 와이어의 연신율이 제1 부하(LD1)에 의해 증가되어 발생될 수 있다. 상기 제1 처짐 현상에 의해 지면(SF1) 및 내부면(LS) 사이에는 제1 높이차(LM1)가 발생될 수 있다. A first sagging phenomenon may occur in the lift LF due to the first load LD1. The first sagging phenomenon may occur when the elongation of the wire connected to the lift LF is increased by the first load LD1. A first height difference LM1 may be generated between the ground SF1 and the inner surface LS due to the first sagging phenomenon.

제1 구동부(DV1)는 제1 높이차(LM1)를 근거로 이동 가능 거리가 정의될 수 있다. 예를 들어, 제1 구동부(DV1)의 상기 이동 가능 거리의 제1 최대폭은 제1 높이차(LM1)의 최대값의 3배일 수 있다. 예를 들어, 제1 높이차(LM1)의 최대값는 20mm(milimeter)일 수 있고, 상기 제1 최대폭은 60mm일 수 있다. The movable distance of the first driving unit DV1 may be defined based on the first height difference LM1. For example, the first maximum width of the movable distance of the first driver DV1 may be three times the maximum value of the first height difference LM1. For example, the maximum value of the first height difference LM1 may be 20 mm (millimeter), and the first maximum width may be 60 mm.

본 발명과 달리, 제1 구동부(DV1)가 리프트(LF)의 내부면(LS)에 부하를 가하는 단계가 없는 경우, 리프트(LF)와 지면(SF1) 사이의 제1 높이차(LM1)에 대한 보상 없이 기판 운반차의 전륜이 리프트(LF)의 내부에 진입할 수 있다. 이 때, 상기 기판 운반차의 전륜이 리프트(LF)의 제1 높이차(LM1)만큼 낙하하면서 내부면(LS)에 접하여 충격이 발생될 수 있다. 상기 충격에 의해 상기 기판 운반차가 적재하는 기판(SUB)에 손상이 발생될 수 있다. 하지만, 본 발명에 따르면, 제1 구동부(DV1)는 리프트(LF)의 내부면(LS)에 점진적으로 부하를 가할 수 있다. 제1 구동부(DV1)는 기판 운반차(AGV)가 순간적인 충돌에 의해 발생될 수 있는 충격을 방지할 수 있다. 기판(SUB)에 발생될 수 있는 충격이 방지될 수 있다. 기판(SUB)이 안정적으로 운송될 수 있다. 따라서, 신뢰성이 향상된 기판 운반차(AGV) 및 기판 운반 방법을 제공할 수 있다. Unlike the present invention, when there is no step in which the first driving unit (DV1) applies a load to the inner surface (LS) of the lift (LF), the first height difference (LM1) between the lift (LF) and the ground (SF1) The front wheels of the substrate transport vehicle may enter the interior of the lift (LF) without compensation. At this time, the front wheel of the substrate transport vehicle may fall as much as the first height difference LM1 of the lift LF and come into contact with the inner surface LS, causing an impact. The impact may cause damage to the substrate (SUB) loaded on the substrate transport vehicle. However, according to the present invention, the first driving unit DV1 can gradually apply a load to the inner surface LS of the lift LF. The first driving unit DV1 can prevent shock that may be caused by an instantaneous collision of the substrate transport vehicle (AGV). Shock that may occur on the substrate (SUB) can be prevented. The substrate (SUB) can be transported stably. Therefore, it is possible to provide a substrate transport vehicle (AGV) and a substrate transport method with improved reliability.

제1 구동부(DV1), 제2 구동부(DV2), 및 서브 구동부(SD)는 기판(SUB)을 지지할 수 있다. 제1 구동부(DV1)는 내부면(LS)에 접할 수 있다. 제2 구동부(DV2) 및 서브 구동부(SD)는 지면(SF1)에 접할 수 있다. The first driver DV1, the second driver DV2, and the sub driver SD may support the substrate SUB. The first driving unit DV1 may be in contact with the inner surface LS. The second driving unit DV2 and the sub driving unit SD may be in contact with the ground SF1.

도 3e를 참조하면, 바퀴부(WH)는 제5 이동 방향(MD5a)으로 이동할 수 있다. 제5 이동 방향(MD5a)은 제4 이동 방향(MD4a)과 평행할 수 있다. 서브 구동부(SD)는 지면(SF1)으로부터 이격될 수 있다. Referring to FIG. 3E, the wheel portion WH may move in the fifth movement direction MD5a. The fifth movement direction MD5a may be parallel to the fourth movement direction MD4a. The sub-driver SD may be spaced apart from the ground SF1.

제1 구동부(DV1) 및 제2 구동부(DV2)는 기판(SUB)을 지지할 수 있다. 제1 구동부(DV1)는 내부면(LS)과 접촉할 수 있다. 제2 구동부(DV2)는 지면(SF1)과 접촉할 수 있다. The first driver DV1 and the second driver DV2 may support the substrate SUB. The first driving unit DV1 may contact the inner surface LS. The second driving unit DV2 may contact the ground SF1.

도 3f를 참조하면, 기판 운반차(AGV)는 제6 이동 방향(MD6a)으로 이동할 수 있다. 제6 이동 방향(MD6a)은 제1 방향(DR1)과 평행할 수 있다. 리프트(LF) 내부에 제1 구동부(DV1) 및 서브 구동부(SD)가 배치될 수 있다. Referring to FIG. 3F, the substrate transport vehicle (AGV) may move in the sixth movement direction (MD6a). The sixth movement direction MD6a may be parallel to the first direction DR1. A first driver DV1 and a sub driver SD may be disposed inside the lift LF.

센서부(SS)는 제1 구동부(DV1) 및 서브 구동부(SD)의 리프트(LF) 진입 여부를 판단할 수 있다. The sensor unit SS can determine whether the first drive unit DV1 and the sub drive unit SD enter the lift LF.

이동부(MV)는 바퀴부(WH)를 제7 이동 방향(MD7a)으로 이동할 수 있다. 제7 이동 방향(MD7a)은 제5 이동 방향(MD5a)과 교차할 수 있다. The moving part MV can move the wheel part WH in the seventh moving direction MD7a. The seventh movement direction MD7a may intersect the fifth movement direction MD5a.

도 3g를 참조하면, 서브 구동부(SD)의 바퀴부(WH)는 제8 이동 방향(MD8a)으로 이동할 수 있다. 제8 이동 방향(MD8a)은 제3 방향(DR3)과 평행할 수 있다. 바퀴부(WH)는 내부면(LS)에 부하를 가할 수 있고, 리프트(LF)에는 상기 부하에 의해 제2 부하(LD2)가 인가될 수 있다. 이 때, 바퀴부(WH)의 서보 모터는 바퀴부(WH)가 내부면(LS)에 안착 시 제8 이동 방향(MD8a)으로 이동하는 바퀴부(WH)를 감속할 수 있다. 바퀴부(WH)의 서보 모터에 의해 기판(SUB)에 가해지는 바퀴부(WH)가 내부면(LS)에 안착되면서 발생되는 충격이 저감될 수 있다. Referring to FIG. 3G, the wheel portion (WH) of the sub-drive unit (SD) may move in the eighth movement direction (MD8a). The eighth movement direction MD8a may be parallel to the third direction DR3. The wheel portion WH may apply a load to the inner surface LS, and a second load LD2 may be applied to the lift LF due to the load. At this time, the servo motor of the wheel portion (WH) may decelerate the wheel portion (WH) moving in the eighth moving direction (MD8a) when the wheel portion (WH) is seated on the inner surface (LS). The impact generated when the wheel portion (WH) is seated on the inner surface (LS) applied to the substrate (SUB) by the servo motor of the wheel portion (WH) can be reduced.

리프트(LF)에는 제2 부하(LD2)에 의해 제2 처짐 현상이 발생될 수 있다. 상기 제2 처짐 현상은 리프트(LF)에 연결된 와이어의 연신율이 제2 부하(LD2)에 의해 증가되어 발생될 수 있다. 상기 제2 처짐 현상에 의해 지면(SF1) 및 내부면(LS) 사이에는 제2 높이차(LM2)가 발생될 수 있다. A second sagging phenomenon may occur in the lift LF due to the second load LD2. The second sagging phenomenon may occur when the elongation of the wire connected to the lift LF is increased by the second load LD2. A second height difference LM2 may be generated between the ground SF1 and the inner surface LS due to the second sagging phenomenon.

바퀴부(WH)는 제2 높이차(LM2)를 근거로 이동 가능 거리가 정의될 수 있다. 예를 들어, 바퀴부(WH)의 상기 이동 가능 거리의 제2 최대폭은 제2 높이차(LM2)의 최대값의 4배일 수 있다. 예를 들어, 제2 높이차(LM2)의 최대값은 20mm일 수 있고, 상기 제2 최대폭은 80mm일 수 있다. 제1 구동부(DV1) 및 제2 구동부(DV2) 각각의 이동 가능 거리의 제1 최대폭은 바퀴부(WH)의 이동 가능 거리의 제2 최대폭보다 작을 수 있다. The movable distance of the wheel unit WH may be defined based on the second height difference LM2. For example, the second maximum width of the movable distance of the wheel portion WH may be four times the maximum value of the second height difference LM2. For example, the maximum value of the second height difference LM2 may be 20 mm, and the second maximum width may be 80 mm. The first maximum width of the movable distance of each of the first driving unit (DV1) and the second driving unit (DV2) may be smaller than the second maximum width of the movable distance of the wheel unit (WH).

본 발명과 달리, 서브 구동부(SD)가 리프트(LF)의 내부면(LS)에 부하를 가하는 단계가 없는 경우, 리프트(LF)와 지면(SF1) 사이의 제2 높이차(LM2)에 대한 보상 없이 기판 운반차의 후륜이 진입할 수 있다. 이 때, 상기 기판 운반차의 후륜이 리프트(LF)의 제2 높이차(LM2)만큼 낙하하면서 내부면(LS)에 접하여 충격이 발생될 수 있다. 상기 충격에 의해 상기 기판 운반차의 기판(SUB)에 손상이 발생될 수 있다. 하지만, 본 발명에 따르면, 서브 구동부(SD)는 리프트(LF)의 내부면(LS)에 점진적으로 부하를 가할 수 있다. 서브 구동부(SD)는 기판 운반차(AGV)가 순간적인 충돌에 의해 발생될 수 있는 충격을 방지할 수 있다. 기판(SUB)에 발생될 수 있는 충격이 방지될 수 있다. 기판(SUB)이 안정적으로 운송될 수 있다. 따라서, 신뢰성이 향상된 기판 운반차(AGV) 및 기판 운반 방법을 제공할 수 있다.Unlike the present invention, when there is no step in which the sub-drive unit (SD) applies a load to the inner surface (LS) of the lift (LF), the second height difference (LM2) between the lift (LF) and the ground (SF1) The rear wheels of the substrate transport vehicle may enter without compensation. At this time, the rear wheel of the substrate transport vehicle may fall as much as the second height difference LM2 of the lift LF and come into contact with the inner surface LS, causing an impact. The impact may cause damage to the substrate (SUB) of the substrate transport vehicle. However, according to the present invention, the sub-drive unit (SD) can gradually apply a load to the inner surface (LS) of the lift (LF). The sub-drive unit (SD) can prevent shock that may be caused by a momentary collision of the substrate transport vehicle (AGV). Shock that may occur on the substrate (SUB) can be prevented. The substrate (SUB) can be transported stably. Therefore, it is possible to provide a substrate transport vehicle (AGV) and a substrate transport method with improved reliability.

제1 구동부(DV1) 및 서브 구동부(SD)는 기판(SUB)을 지지할 수 있다. 제1 구동부(DV1) 및 서브 구동부(SD)는 내부면(LS)에 접할 수 있다. 이동부(MV)는 바퀴부(WH)를 제1 구동부(DV1) 및 제2 구동부(DV2) 사이의 선(WD)에서 제1 구동부(DV1)로부터 2/3인 제2 지점(MC2)으로 이동시킬 수 있다. 예를 들어, 제2 지점(MC2)은 제1 구동부(DV1) 및 제2 구동부(DV2) 사이의 제1 구동부(DV1)의 질량 중심의 2/3으로 정의될 수 있다. The first driver DV1 and the sub driver SD may support the substrate SUB. The first driving unit DV1 and the sub driving unit SD may contact the inner surface LS. The moving part MV moves the wheel part WH from the line WD between the first driving part DV1 and the second driving part DV2 to the second point MC2, which is 2/3 from the first driving part DV1. It can be moved. For example, the second point MC2 may be defined as 2/3 of the center of mass of the first driver DV1 between the first driver DV1 and the second driver DV2.

본 발명에 따르면, 서브 구동부(SD)는 기판 운반차(AGV)가 쓰러지지 않도록 제1 구동부(DV1)와 제1 방향(DR1)으로 이격되어 배치될 수 있다. 서브 구동부(SD) 및 제1 구동부(DV1)는 기판(SUB)을 용이하게 지지할 수 있다. 따라서, 신뢰성이 향상된 기판 운반차(AGV)를 제공할 수 있다. According to the present invention, the sub-driving unit SD may be arranged to be spaced apart from the first driving unit DV1 in the first direction DR1 to prevent the substrate transport vehicle AGV from falling over. The sub driver SD and the first driver DV1 can easily support the substrate SUB. Therefore, it is possible to provide a substrate transport vehicle (AGV) with improved reliability.

제2 구동부(DV2)는 지면(SF1)에 부하를 가하지 않을 수 있다. 제2 구동부(DV2)는 지면(SF1)에서 이격될 수 있다. The second driving unit DV2 may not apply a load to the ground SF1. The second driving unit DV2 may be spaced apart from the ground SF1.

도 3h를 참조하면, 센서부(SS)는 제2 구동부(DV2)의 리프트(LF) 진입 여부를 판단할 수 있다.Referring to FIG. 3H, the sensor unit SS may determine whether the second drive unit DV2 enters the lift LF.

기판 운반차(AGV)는 제9 이동 방향(MD9a)으로 이동할 수 있다. 제9 이동 방향(MD9a)은 제1 방향(DR1)과 나란할 수 있다. 리프트(LF) 내에 제1 구동부(DV1), 서브 구동부(SD), 및 제2 구동부(DV2)가 배치될 수 있다. The substrate transport vehicle (AGV) can move in the ninth movement direction (MD9a). The ninth movement direction MD9a may be parallel to the first direction DR1. A first driver (DV1), a sub-driver (SD), and a second driver (DV2) may be disposed in the lift LF.

도 3i를 참조하면, 제1 구동부(DV1)는 제10 이동 방향(MD10a)으로 이동할 수 있다. 서브 구동부(SD)는 제11 이동 방향(MD11a)으로 이동할 수 있다. 제10 이동 방향(MD10a) 및 제11 이동 방향(MD11a)은 서로 평행할 수 있다. 제10 이동 방향(MD10a) 및 제11 이동 방향(MD11a)은 제3 방향(DR3)과 평행할 수 있다. Referring to FIG. 3I, the first driver DV1 may move in the tenth movement direction MD10a. The sub-driver SD may move in the 11th movement direction MD11a. The tenth movement direction MD10a and the eleventh movement direction MD11a may be parallel to each other. The tenth movement direction MD10a and the eleventh movement direction MD11a may be parallel to the third direction DR3.

이 때, 제1 구동부(DV1)의 서보 모터는 제2 구동부(DV2)가 내부면(LS)에 안착 시 제10 이동 방향(MD10a)으로 이동하는 제1 구동부(DV1)를 감속할 수 있다. 제1 구동부(DV1)의 서보 모터에 의해 기판(SUB)에 가해지는 제2 구동부(DV2)가 내부면(LS)에 안착되면서 발생되는 충격이 저감될 수 있다. At this time, the servo motor of the first driver DV1 may decelerate the first driver DV1 moving in the tenth movement direction MD10a when the second driver DV2 is seated on the inner surface LS. The impact generated when the second driving unit DV2 is seated on the inner surface LS, which is applied to the substrate SUB by the servo motor of the first driving unit DV1, can be reduced.

제1 구동부(DV1) 및 제2 구동부(DV2)는 기판(SUB)을 지지할 수 있다. 제1 구동부(DV1) 및 제2 구동부(DV2)는 내부면(LS)에 접할 수 있다. 서브 구동부(SD)는 내부면(LS)으로부터 이격될 수 있다. The first driver DV1 and the second driver DV2 may support the substrate SUB. The first driving part DV1 and the second driving part DV2 may be in contact with the inner surface LS. The sub-driver SD may be spaced apart from the inner surface LS.

본 발명에 따르면, 기판(SUB)은 기판 운반차(AGV)에 적재되어 리프트(LF) 내로 안전하게 이동할 수 있다. 따라서, 신뢰성이 향상된 기판 운반차(AGV) 및 기판 운반 방법을 제공할 수 있다. According to the present invention, the substrate (SUB) can be loaded on a substrate transport vehicle (AGV) and safely moved into the lift (LF). Therefore, it is possible to provide a substrate transport vehicle (AGV) and a substrate transport method with improved reliability.

또한, 본 발명에 따르면, 기판 운반차(AGV)는 복수로 제공될 수 있고, 리프트(LF) 내의 공간에 복수의 기판 운반차들(AGV)이 본 발명의 기판 운반 방법을 이용하여 적재될 수 있다. 복수의 기판 운반차들(AGV) 각각은 복수의 기판들(SUB)을 손상이 방지된 상태로 다른 공정 설비에 제공할 수 있다. 기판(SUB)이 다량으로 각각의 공정들에 제공되어 공정 효율이 향상된 기판 운반차(AGV) 및 기판 운반 방법을 제공할 수 있다. 따라서, 신뢰성이 향상된 기판 운반차(AGV) 및 기판 운반 방법을 제공할 수 있다. In addition, according to the present invention, a plurality of substrate transport vehicles (AGV) can be provided, and a plurality of substrate transport vehicles (AGV) can be loaded in the space within the lift LF using the substrate transport method of the present invention. there is. Each of the plurality of substrate transport vehicles (AGV) can provide a plurality of substrates (SUB) to other process facilities in a damage-prevented state. A substrate transport vehicle (AGV) and a substrate transport method with improved process efficiency can be provided by providing a large amount of substrates (SUB) to each process. Therefore, it is possible to provide a substrate transport vehicle (AGV) and a substrate transport method with improved reliability.

도 4a 내지 도 4h는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 운반 방법을 도시한 것들이다. 도 4a 내지 도 4h를 설명함에 있어서 도 3a 내지 도 3i를 통해 설명된 구성 요소에 대해서는 동일한 도면 부호를 병기하고 이에 대한 설명은 생략된다.Figures 4A to 4H illustrate a substrate transport method according to an embodiment of the present invention. When describing FIGS. 4A to 4H , the components described in FIGS. 3A to 3I are given the same reference numerals and their descriptions are omitted.

도 4a를 참조하면, 기판 운반차(AGV)는 리프트(LF) 내에서 출고될 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따른 기판(SUB)은 리프트(LF)에 의해 상이한 층으로 이송될 수 있다. Referring to FIG. 4A, the substrate transport vehicle (AGV) may be released within the lift LF. The substrate SUB according to an embodiment of the present invention may be transferred to different layers by the lift LF.

기판 운반차(AGV)는 제2 공간에서 제1 공간으로 이동할 수 있다. 예를 들어, 상기 제1 공간은 지면(SF1)이 정의된 공간일 수 있고, 상기 제2 공간은 리프트(LF) 내부일 수 있다.The substrate transport vehicle (AGV) can move from the second space to the first space. For example, the first space may be a space where the ground (SF1) is defined, and the second space may be inside the lift (LF).

서브 구동부(SD)의 바퀴부(WH)는 제1 이동 방향(MD1b)으로 이동할 수 있다. 바퀴부(WH)는 내부면(LS)에 부하를 가할 수 있다. The wheel portion (WH) of the sub-drive portion (SD) may move in the first moving direction (MD1b). The wheel portion (WH) may apply a load to the inner surface (LS).

제1 구동부(DV1) 및 서브 구동부(SD)는 기판(SUB)을 지지할 수 있다. 제1 구동부(DV1) 및 서브 구동부(SD) 각각은 내부면(LS)과 접촉할 수 있다. The first driver DV1 and the sub driver SD may support the substrate SUB. Each of the first driving unit DV1 and the sub driving unit SD may contact the inner surface LS.

이동부(MV)는 바퀴부(WH)를 제1 구동부(DV1) 및 제2 구동부(DV2) 사이의 선(WD)에서 제1 구동부(DV1)의 2/3인 제2 지점(MC2)으로 이동시킬 수 있다. The moving part MV moves the wheel part WH from the line WD between the first driving part DV1 and the second driving part DV2 to the second point MC2, which is 2/3 of the first driving part DV1. It can be moved.

본 발명에 따르면, 서브 구동부(SD)는 기판 운반차(AGV)가 쓰러지지 않도록 제1 구동부(DV1)와 제1 방향(DR1)으로 이격되어 배치될 수 있다. 서브 구동부(SD) 및 제1 구동부(DV1)는 기판(SUB)을 용이하게 지지할 수 있다. 따라서, 신뢰성이 향상된 기판 운반차(AGV)를 제공할 수 있다. According to the present invention, the sub-driving unit SD may be arranged to be spaced apart from the first driving unit DV1 in the first direction DR1 to prevent the substrate transport vehicle AGV from falling over. The sub driver SD and the first driver DV1 can easily support the substrate SUB. Therefore, it is possible to provide a substrate transport vehicle (AGV) with improved reliability.

제2 구동부(DV2)는 내부면(LS)에 부하를 가하지 않을 수있다. 제2 구동부(DV2)는 내부면(LS)으로부터 이격될 수 있다. The second driving unit DV2 may not apply a load to the inner surface LS. The second driving unit DV2 may be spaced apart from the inner surface LS.

기울기 각도(SAG2)는 기판(SUB)과 내부면(LS) 사이의 각도일 수 있다. 기울기 각도(SAG2)는 소정의 범위 내에서 정의될 수 있다. 예를 들어, 기울기 각도(SAG2)는 -3° 내지 3°일 수 있다. 도 4a에서는 예시적으로 3°의 기울기를 갖는 기울기 각도(SAG2)를 도시하였으나, 본 발명의 일 실시예에 따른 기울기 각도(SAG2)는 이에 제한되지 않는다. 예를 들어, 기울기 각도(SAG2)는 0°에 근접하도록 서브 구동부(SD)가 배치될 수 있다. The tilt angle SAG2 may be the angle between the substrate SUB and the inner surface LS. The tilt angle (SAG2) can be defined within a predetermined range. For example, the tilt angle (SAG2) may be -3° to 3°. Although FIG. 4A illustrates a tilt angle (SAG2) having a tilt of 3°, the tilt angle (SAG2) according to an embodiment of the present invention is not limited thereto. For example, the sub-driver SD may be arranged so that the tilt angle SAG2 approaches 0°.

도 4b를 참조하면, 센서부(SS)는 제2 구동부(DV2)의 리프트(LF) 외부로 진입하는 여부를 판단할 수 있다.Referring to FIG. 4B, the sensor unit SS can determine whether the device enters the outside of the lift LF of the second drive unit DV2.

기판 운반차(AGV)는 제2 이동 방향(MD2b)으로 이동할 수 있다. 제2 이동 방향(MD2b)은 제1 방향(DR1)과 나란할 수 있다. 지면(SF2)이 정의되는 외부 공간에 제2 구동부(DV2)가 배치될 수 있다. The substrate transport vehicle (AGV) may move in the second movement direction (MD2b). The second movement direction MD2b may be parallel to the first direction DR1. The second driving unit DV2 may be disposed in an external space where the ground SF2 is defined.

제1 구동부(DV1) 및 서브 구동부(SD)는 기판(SUB)을 지지할 수 있다. 제1 구동부(DV1) 및 바퀴부(WH)는 내부면(LS)과 접촉할 수 있다. The first driver DV1 and the sub driver SD may support the substrate SUB. The first driving part DV1 and the wheel part WH may contact the inner surface LS.

도 4c를 참조하면, 제2 구동부(DV2)는 제3 이동 방향(MD3b)으로 이동할 수 있다. 제3 이동 방향(MD3b)은 제1 이동 방향(MD1b)과 평행할 수 있다. 제2 구동부(DV2)는 지면(SF2)에 부하를 가할 수 있고, 리프트(LF)에는 상기 부하에 의해 제3 부하(LD3)가 인가될 수 있다. Referring to FIG. 4C, the second driver DV2 may move in the third movement direction MD3b. The third movement direction MD3b may be parallel to the first movement direction MD1b. The second driving unit DV2 may apply a load to the ground SF2, and a third load LD3 may be applied to the lift LF due to the load.

리프트(LF)에는 제3 부하(LD3)에 의해 제3 처짐 현상이 발생될 수 있다. 상기 제3 처짐 현상은 리프트(LF)에 연결된 와이어의 연신율이 제3 부하(LD3)에 의해 감소되어 발생될 수 있다. 상기 제3 처짐 현상에 의해 내부면(LS) 및 지면(SF2) 사이에는 제3 높이차(LM3)가 발생될 수 있다. A third sagging phenomenon may occur in the lift LF due to the third load LD3. The third sagging phenomenon may occur when the elongation of the wire connected to the lift LF is reduced by the third load LD3. Due to the third sagging phenomenon, a third height difference LM3 may be generated between the inner surface LS and the ground SF2.

제2 구동부(DV2)는 제3 높이차(LM3)를 근거로 이동 가능 거리가 정의될 수 있다. 예를 들어, 제2 구동부(DV2)의 상기 이동 가능 거리의 제3 최대폭은 제3 높이차(LM3)의 최대값의 3배일 수 있다. 예를 들어, 제3 높이차(LM3)의 최대값은 20mm일 수 있고, 상기 제3 최대폭은 60mm일 수 있다. The movable distance of the second driving unit DV2 may be defined based on the third height difference LM3. For example, the third maximum width of the movable distance of the second driver DV2 may be three times the maximum value of the third height difference LM3. For example, the maximum value of the third height difference LM3 may be 20 mm, and the maximum third width may be 60 mm.

본 발명과 달리, 제2 구동부(DV2)가 지면(SF2)에 부하를 가하는 단계가 없는 경우, 리프트(LF)와 지면(SF2) 사이의 제3 높이차(LM3)에 대한 보상 없이 기판 운반차의 후륜이 리프트(LF)의 외부로 제공될 수 있다. 이 때, 상기 기판 운반차의 후륜이 리프트(LF)의 제3 높이차(LM3)만큼 낙하하면서 지면(SF2)에 접하여 충격이 발생될 수 있다. 상기 충격에 의해 상기 기판 운반차가 적재하는 기판(SUB)에 손상이 발생될 수 있다. 하지만, 본 발명에 따르면, 제2 구동부(DV2)는 지면(SF2)에 점진적으로 부하를 가할 수 있다. 제2 구동부(DV2)는 기판 운반차(AGV)가 순간적인 충돌에 의해 발생될 수 있는 충격을 방지할 수 있다. 기판(SUB)에 발생될 수 있는 충격이 방지될 수 있다. 기판(SUB)이 안정적으로 운송될 수 있다. 따라서, 신뢰성이 향상된 기판 운반차(AGV) 및 기판 운반 방법을 제공할 수 있다. Unlike the present invention, when there is no step in which the second drive unit (DV2) applies a load to the ground (SF2), the substrate transport vehicle is operated without compensation for the third height difference (LM3) between the lift (LF) and the ground (SF2). The rear wheels of may be provided outside of the lift LF. At this time, the rear wheels of the substrate transport vehicle may fall as much as the third height difference LM3 of the lift LF and come into contact with the ground SF2, causing an impact. The impact may cause damage to the substrate (SUB) loaded on the substrate transport vehicle. However, according to the present invention, the second driving unit DV2 can gradually apply a load to the ground SF2. The second driving unit DV2 can prevent shock that may be caused by an instantaneous collision of the substrate transport vehicle (AGV). Shock that may occur on the substrate (SUB) can be prevented. The substrate (SUB) can be transported stably. Therefore, it is possible to provide a substrate transport vehicle (AGV) and a substrate transport method with improved reliability.

제1 구동부(DV1), 제2 구동부(DV2), 및 서브 구동부(SD)는 기판(SUB)을 지지할 수 있다. 제1 구동부(DV1) 및 서브 구동부(SD)는 내부면(LS)에 접할 수 있다. 제2 구동부(DV2)는 지면(SF2)에 접할 수 있다. The first driver DV1, the second driver DV2, and the sub driver SD may support the substrate SUB. The first driving unit DV1 and the sub driving unit SD may contact the inner surface LS. The second driving unit DV2 may be in contact with the ground SF2.

도 4d를 참조하면, 바퀴부(WH)는 제4 이동 방향(MD4b)으로 이동할 수 있다. 제4 이동 방향(MD4b)은 제1 이동 방향(MD1b)과 평행할 수 있다. 서브 구동부(SD)는 내부면(LS)으로부터 이격될 수 있다. Referring to FIG. 4D, the wheel portion WH may move in the fourth movement direction MD4b. The fourth movement direction MD4b may be parallel to the first movement direction MD1b. The sub-driver SD may be spaced apart from the inner surface LS.

제1 구동부(DV1) 및 제2 구동부(DV2)는 기판(SUB)을 지지할 수 있다. 제1 구동부(DV1)는 내부면(LS)과 접촉할 있다. 제2 구동부(DV2)는 지면(SF2)과 접촉할 수 있다. The first driver DV1 and the second driver DV2 may support the substrate SUB. The first driving unit DV1 may be in contact with the inner surface LS. The second driving unit DV2 may contact the ground SF2.

도 4e를 참조하면, 기판 운반차(AGV)는 제5 이동 방향(MD5b)으로 이동할 수 있다. 제5 이동 방향(MD5b)은 제1 방향(DR1)과 평행할 수 있다. 기판 운반차(AGV)는 리프트(LF)의 외부로 이동할 수 있다. 지면(SF2)이 정의하는 공간에 제2 구동부(DV2) 및 서브 구동부(SD)가 배치될 수 있다. Referring to FIG. 4E, the substrate transport vehicle AGV may move in the fifth movement direction MD5b. The fifth movement direction MD5b may be parallel to the first direction DR1. The substrate transport vehicle (AGV) can move outside of the lift LF. The second driver DV2 and the sub driver SD may be disposed in the space defined by the ground SF2.

센서부(SS)는 서브 구동부(SD) 및 제2 구동부(DV2)의 지면(SF2)이 정의하는 상기 공간으로의 진입 여부를 판단할 수 있다. The sensor unit SS may determine whether the sub-drive unit SD and the second drive unit DV2 enter the space defined by the ground SF2.

이동부(MV)는 바퀴부(WH)를 제6 이동 방향(MD6b)으로 이동할 수 있다. 제6 이동 방향(MD6b)은 제4 이동 방향(MD4b)과 교차할 수 있다. The moving part MV can move the wheel part WH in the sixth moving direction MD6b. The sixth movement direction MD6b may intersect the fourth movement direction MD4b.

도 4f를 참조하면, 서브 구동부(SD)의 바퀴부(WH)는 제7 이동 방향(MD7b)으로 이동할 수 있다. 제7 이동 방향(MD7b)은 제3 방향(DR3)과 평행할 수 있다. 바퀴부(WH)는 지면(SF2)에 부하를 가할 수 있고, 리프트(LF)에는 상기 부하에 의해 제4 부하(LD4)가 인가될 수 있다. Referring to FIG. 4F, the wheel portion (WH) of the sub-drive portion (SD) may move in the seventh movement direction (MD7b). The seventh movement direction MD7b may be parallel to the third direction DR3. The wheel unit WH may apply a load to the ground SF2, and a fourth load LD4 may be applied to the lift LF due to the load.

리프트(LF)에는 제4 부하(LD4)에 의해 제4 처짐 현상이 발생될 수 있다. 상기 제4 처짐 현상은 리프트(LF)에 연결된 와이어의 연신율이 제4 부하(LF4)에 의해 감소되어 발생될 수 있다. 상기 제4 처짐 현상에 의해 지면(SF2) 및 내부면(LS) 사이에는 제4 높이차(LM4)가 밸생될 수 있다. A fourth sagging phenomenon may occur in the lift LF due to the fourth load LD4. The fourth sagging phenomenon may occur when the elongation of the wire connected to the lift LF is reduced by the fourth load LF4. A fourth height difference LM4 may be generated between the ground SF2 and the inner surface LS due to the fourth sagging phenomenon.

바퀴부(WH)는 제4 높이차(LM4)를 근거로 이동 가능 거리가 정의될 수 있다. 예를 들어, 바퀴부(WH)의 상기 이동 가능 거리의 제4 최대폭은 제4 높이차(LM4)의 최대값의 4배일 수 있다. 예를 들어, 제4 높이차(LM4)의 최대값은 20mm일 수 있고, 상기 제4 최대폭은 80mm일 수 있다. 제1 구동부(DV1) 및 제2 구동부(DV2) 각각의 이동 가능 거리의 제3 최대폭은 바퀴부(WH)의 이동 가능 거리의 제4 최대폭보다 작을 수 있다. The movable distance of the wheel unit WH may be defined based on the fourth height difference LM4. For example, the fourth maximum width of the movable distance of the wheel portion WH may be four times the maximum value of the fourth height difference LM4. For example, the maximum value of the fourth height difference LM4 may be 20 mm, and the fourth maximum width may be 80 mm. The third maximum width of the movable distance of each of the first driving unit (DV1) and the second driving unit (DV2) may be smaller than the fourth maximum width of the movable distance of the wheel unit (WH).

본 발명과 달리, 서브 구동부(SD)가 리프트(LF)로부터 나가지 전에 지면(SF2)에 부하를 가하는 단계가 없는 경우, 리프트(LF)와 지면(SF2) 사이의 제4 높이차(LM4)에 대한 보상 없이 기판 운반차의 전륜이 진입할 수 있다. 이 때, 상기 기판 운반차의 전륜이 리프트(LF)의 제4 높이차(LM4)만큼 낙하하면서 지면(SF2)에 접하여 충격이 발생될 수 있다. 상기 충격에 의해 상기 기판 운반차의 기판(SUB)에 손상이 발생될 수 있다. 하지만, 본 발명에 따르면, 서브 구동부(SD)는 지면(SF2)에 점진적으로 부하를 가할 수 있다. 서브 구동부(SD)는 기판 운반차(AGV)가 순간적인 충돌에 의해 발생될 수 있는 충격을 방지할 수 있다. 기판(SUB)에 발생될 수 있는 충격이 방지될 수 있다. 기판(SUB)이 안정적으로 운송될 수 있다. 따라서, 신뢰성이 향상된 기판 운반차(AGV) 및 기판 운반 방법을 제공할 수 있다. Unlike the present invention, when there is no step of applying a load to the ground (SF2) before the sub-drive unit (SD) leaves the lift (LF), the fourth height difference (LM4) between the lift (LF) and the ground (SF2) The front wheels of the substrate transport vehicle may enter without compensation. At this time, the front wheels of the substrate transport vehicle may fall as much as the fourth height difference LM4 of the lift LF and come into contact with the ground SF2, causing an impact. The impact may cause damage to the substrate (SUB) of the substrate transport vehicle. However, according to the present invention, the sub-drive unit SD can gradually apply a load to the ground SF2. The sub-drive unit (SD) can prevent shock that may be caused by a momentary collision of the substrate transport vehicle (AGV). Shock that may occur on the substrate (SUB) can be prevented. The substrate (SUB) can be transported stably. Therefore, it is possible to provide a substrate transport vehicle (AGV) and a substrate transport method with improved reliability.

제2 구동부(DV2) 및 서브 구동부(SD)는 기판(SUB)을 지지할 수 있다. 제2 구동부(DV2) 및 서브 구동부(SD)는 지면(SF2)에 접할 수 있다. 이동부(MV)는 바퀴부(WH)를 제1 구동부(DV1) 및 제2 구동부(DV2) 사이의 선(WD)에서 제2 구동부(DV2)로부터 2/3인 제1 지점(MV1)으로 이동시킬 수 있다.The second driver DV2 and the sub driver SD may support the substrate SUB. The second driving unit DV2 and the sub driving unit SD may be in contact with the ground SF2. The moving part MV moves the wheel part WH from the line WD between the first driving part DV1 and the second driving part DV2 to the first point MV1, which is 2/3 from the second driving part DV2. It can be moved.

본 발명에 따르면, 서브 구동부(SD)는 기판 운반차(AGV)가 쓰러지지 않도록 제2 구동부(DV2)와 제1 방향(DR1)으로 이격되어 배치될 수 있다. 서브 구동부(SD) 및 제2 기동부(DV2)는 기판(SUB)을 용이하게 지지할 수 있다. 따라서, 신뢰성이 향상된 기판 운반차(AGV)를 제공할 수 있다. According to the present invention, the sub-driving unit SD may be arranged to be spaced apart from the second driving unit DV2 in the first direction DR1 to prevent the substrate transport vehicle AGV from falling over. The sub driver SD and the second driver DV2 can easily support the substrate SUB. Therefore, it is possible to provide a substrate transport vehicle (AGV) with improved reliability.

제1 구동부(DV1)는 내부면(LS)에 부하를 가하지 않을 수 있다. 제1 구동부(DV1)는 내부면(LS)에서 이격될 수 있다. The first driving unit DV1 may not apply a load to the inner surface LS. The first driving unit DV1 may be spaced apart from the inner surface LS.

도 4g를 참조하면, 센서부(SS)는 제1 구동부(DV1)가 지면(SF2)이 정의되는 공간으로 진입되는 여부를 판단할 수 있다. Referring to FIG. 4G, the sensor unit SS may determine whether the first driving unit DV1 enters the space where the ground SF2 is defined.

기판 운반차(AGV)는 제8 이동 방향(MD8b)으로 이동할 수 있다. 제8 이동 방향(MD8b)은 제1 방향(DR1)과 나란할 수 있다. 기판 운반차(AGV)는 리프트(LF) 외부에 배치될 수 있다. The substrate transport vehicle (AGV) can move in the eighth movement direction (MD8b). The eighth movement direction MD8b may be parallel to the first direction DR1. A substrate transport vehicle (AGV) may be placed outside the lift LF.

도 4h를 참조하면, 제2 구동부(DV2)는 제9 이동 방향(MD9b)으로 이동할 수 있다. 서브 구동부(SD)는 제10 이동 방향(MD10b)으로 이동할 수 있다. 제9 이동 방향(MD9b) 및 제10 이동 방향(MD10b)은 서로 평행할 수 있다. 제9 이동 방향(MD9b) 및 제10 이동 방향(MD10b)은 제3 방향(DR3)과 평행할 수 있다. Referring to FIG. 4H, the second driver DV2 may move in the ninth movement direction MD9b. The sub-driver SD may move in the tenth movement direction MD10b. The ninth movement direction (MD9b) and the tenth movement direction (MD10b) may be parallel to each other. The ninth movement direction MD9b and the tenth movement direction MD10b may be parallel to the third direction DR3.

제1 구동부(DV1) 및 제2 구동부(DV2)는 기판(SUB)을 지지할 수 있다. 제1 구동부(DV1) 및 제2 구동부(DV2)는 지면(SF2)에 접할 수 있다. 서브 구동부(SD)는 지면(SF2)으로부터 이격될 수 있다. The first driver DV1 and the second driver DV2 may support the substrate SUB. The first driving unit DV1 and the second driving unit DV2 may be in contact with the ground SF2. The sub-driver SD may be spaced apart from the ground SF2.

본 발명에 따르면, 기판(SUB)은 기판 운반차(AGV)에 적재되어 리프트(LF) 외부로 안전하게 이동할 수 있다. 따라서, 신뢰성이 향상된 기판 운반차(AGV) 및 기판 운반 방법을 제공할 수 있다. According to the present invention, the substrate (SUB) can be safely moved outside the lift (LF) by being loaded on a substrate transport vehicle (AGV). Therefore, it is possible to provide a substrate transport vehicle (AGV) and a substrate transport method with improved reliability.

이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술 분야에 통상의 지식을 갖는 자라면, 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허청구범위에 의해 정하여져야만 할 것이다.Although the present invention has been described above with reference to preferred embodiments, those skilled in the art or have ordinary knowledge in the relevant technical field should not deviate from the spirit and technical scope of the present invention as set forth in the claims to be described later. It will be understood that the present invention can be modified and changed in various ways within the scope of the present invention. Therefore, the technical scope of the present invention should not be limited to what is described in the detailed description of the specification, but should be defined by the scope of the patent claims.

AGV: 기반 운반차 DV1: 제1 구동부
SD: 서브 구동부 DV2: 제2 구동부
SS: 센서부 CC: 제어부AGV: Base vehicle DV1: First driving unit
SD: sub-drive unit DV2: second drive unit
SS: sensor part CC: control part

Claims (20)

제1 구동부;
상기 제1 구동부와 제1 이동 방향으로 이격된 제2 구동부;
제1 구동부 및 제2 구동부 사이에 배치된 서브 구동부;
상기 제1 구동부 또는 상기 제2 구동부와 상기 서브 구동부 사이의 상기 제1 이동 방향과 교차하는 제2 이동 방향의 거리를 산출하는 센서부 및
상기 제1 구동부, 상기 제2 구동부, 및 상기 서브 구동부 중 적어도 하나를 상기 거리를 근거로 상기 제2 이동 방향으로 이동시키는 제어부를 포함하고,
상기 제1 구동부, 상기 제2 구동부, 및 상기 서브 구동부 중 적어도 2개를 근거로 이동하는 기판 운반차.first driving unit;
a second driving unit spaced apart from the first driving unit in a first moving direction;
a sub-drive unit disposed between the first drive unit and the second drive unit;
A sensor unit that calculates a distance between the first driving unit or the second driving unit and the sub-driving unit in a second moving direction intersecting the first moving direction; and
A control unit that moves at least one of the first drive unit, the second drive unit, and the sub-drive unit in the second movement direction based on the distance,
A substrate transport vehicle that moves based on at least two of the first driving unit, the second driving unit, and the sub-driving unit. 제1 항에 있어서,
기판이 적재되고, 상기 제1 구동부, 상기 제2 구동부, 및 상기 서브 구동부 위에 배치된 기판 적재용 카세트를 더 포함하는 기판 운반차.According to claim 1,
A substrate transport vehicle on which a substrate is loaded and further comprising a cassette for loading a substrate disposed on the first driving unit, the second driving unit, and the sub-driving unit. 제2 항에 있어서,
상기 센서부는 상기 기판의 지면과의 기울기 각도를 측정하는 기판 운반차.According to clause 2,
The sensor unit is a substrate transport vehicle that measures the tilt angle of the substrate with respect to the ground. 제3 항에 있어서,
상기 제어부는 상기 기울기 각도를 근거로 상기 상기 제1 구동부 또는 상기 제2 구동부의 이동을 제어하는 기판 운반차.According to clause 3,
The control unit controls movement of the first driving unit or the second driving unit based on the tilt angle. 제1 항에 있어서,
상기 서브 구동부는 이동부 및 이동부 아래에 배치된 바퀴부를 포함하는 기판 운반차.According to claim 1,
The sub-driving unit is a substrate transport vehicle including a moving part and a wheel part disposed below the moving part. 제5 항에 있어서,
상기 이동부는 상기 바퀴부를 상기 제1 이동 방향으로 이동시키는 기판 운반차.According to clause 5,
The moving part is a substrate transport vehicle that moves the wheel part in the first moving direction. 제5 항에 있어서,
상기 바퀴부는 상기 제2 이동 방향으로 이동하는 기판 운반차.According to clause 5,
A substrate transport vehicle in which the wheel portion moves in the second moving direction. 제5 항에 있어서,
상기 이동부는 상기 바퀴부를 상기 제1 구동부 및 상기 제2 구동부 사이의 상기 제1 구동부의 질량 중심의 2/3 또는 상기 제2 구동부의 질량 중심의 2/3에 배치시키는 기판 운반차.According to clause 5,
The substrate transport vehicle wherein the moving part arranges the wheel part at 2/3 of the center of mass of the first driving part or 2/3 of the center of mass of the second driving part between the first driving part and the second driving part. 제1 항에 있어서,
상기 제1 구동부는 상기 제2 이동 방향으로 이동하는 기판 운반차.According to claim 1,
The first driving unit is a substrate transport vehicle that moves in the second moving direction. 제1 항에 있어서,
상기 제2 구동부는 상기 제2 이동 방향으로 이동하는 기판 운반차. According to claim 1,
The second driving unit is a substrate transport vehicle that moves in the second moving direction. 제1 항에 있어서,
상기 센서부는 자이로 센서를 포함하고,
상기 거리는 상기 제1 구동부 또는 상기 제2 구동부 및 상기 서브 구동부가 접하는 지면과의 각도를 근거로 산출하는 기판 운반차.According to claim 1,
The sensor unit includes a gyro sensor,
The distance is calculated based on an angle with the ground that the first driving unit, the second driving unit, and the sub-driving unit are in contact with. 제1 항에 있어서,
상기 센서부는 변위 센서를 포함하고,
상기 거리는 상기 센서부로부터 상기 제1 구동부 또는 상기 제2 구동부로의 상기 제2 이동 방향과 나란한 방향의 제1 거리 및 상기 센서부로부터 상기 서브 구동부로의 상기 제2 이동 방향과 나란한 방향의 제2 거리를 근거로 산출하는 기판 운반차.According to claim 1,
The sensor unit includes a displacement sensor,
The distance is a first distance in a direction parallel to the second movement direction from the sensor unit to the first driving unit or the second driving unit and a second distance in a direction parallel to the second movement direction from the sensor unit to the sub-driving unit. A substrate transport vehicle calculated based on distance. 제1 항에 있어서,
상기 센서부는 외부로부터 신호를 수신하여 상기 제어부에 진입 신호를 제공하고,
상기 제어부는 상기 제1 구동부, 상기 제2 구동부, 및 상기 서브 구동부를 제어하는 기판 운반차.According to claim 1,
The sensor unit receives a signal from the outside and provides an entry signal to the control unit,
The control unit controls the first driving unit, the second driving unit, and the sub-driving unit. 제1 항에 있어서,
상기 제1 구동부 및 상기 제2 구동부가 상기 제2 이동 방향으로 이동 가능한 제1 최대폭은 상기 서브 구동부가 상기 제2 이동 방향으로 이동 가능한 제2 최대폭보다 작은 기판 운반차.According to claim 1,
A first maximum width at which the first driver and the second driver can move in the second movement direction is smaller than a second maximum width at which the sub-driver can move in the second movement direction. 제1 공간에 배치되고, 기판이 수용되며, 제1 구동부, 상기 제1 구동부와 제1 이동 방향으로 이격된 제2 구동부, 상기 제1 구동부 및 상기 제2 구동부 사이에 배치된 서브 구동부, 및 센서부를 포함하는 기판 운반차를 상기 제1 공간과 상이한 제2 공간과 인접하게 배치하는 단계;
상기 서브 구동부를 상기 제1 이동 방향과 교차하는 제2 이동 방향으로 이동하여, 상기 제2 구동부 및 상기 서브 구동부가 상기 기판을 지지하는 단계;
상기 제2 공간 내에 상기 제1 구동부가 배치되는 단계;
상기 제1 구동부를 상기 제2 이동 방향으로 이동하여, 상기 제1 구동부, 상기 서브 구동부, 및 상기 제2 구동부가 상기 기판을 지지하는 단계;
상기 서브 구동부를 상기 제2 이동 방향으로 이동하여, 상기 제1 구동부 및 상기 제2 구동부가 상기 기판을 지지하는 단계;
상기 제2 공간 내에 상기 제1 구동부 및 상기 서브 구동부가 배치되고, 상기 서브 구동부가 상기 제1 이동 방향으로 이동하는 단계;
상기 서브 구동부를 상기 제2 이동 방향으로 이동하여 상기 제1 구동부 및 상기 서브 구동부가 상기 기판을 지지하는 단계;
상기 제2 공간 내에 상기 제1 구동부, 상기 서브 구동부, 및 상기 제2 구동부가 배치되는 단계; 및
상기 제1 구동부 및 상기 서브 구동부를 상기 제2 이동 방향으로 이동하여, 상기 제1 구동부 및 상기 제2 구동부가 상기 기판을 지지하는 단계를 포함하는 기판 운반 방법.It is disposed in a first space, accommodates a substrate, and includes a first driving unit, a second driving unit spaced apart from the first driving unit in a first moving direction, a sub-driving unit disposed between the first driving unit and the second driving unit, and a sensor. disposing a substrate transport vehicle including a unit adjacent to a second space different from the first space;
moving the sub-driving unit in a second moving direction intersecting the first moving direction, so that the second driving unit and the sub-driving unit support the substrate;
disposing the first driving unit in the second space;
moving the first driving unit in the second movement direction so that the first driving unit, the sub-driving unit, and the second driving unit support the substrate;
moving the sub-driver in the second movement direction so that the first and second drivers support the substrate;
Disposing the first driver and the sub-driver in the second space, and moving the sub-driver in the first movement direction;
moving the sub-driver in the second movement direction so that the first driver and the sub-driver support the substrate;
disposing the first driving unit, the sub-driving unit, and the second driving unit in the second space; and
A substrate transport method comprising moving the first driver and the sub-driver in the second movement direction, so that the first driver and the second driver support the substrate. 제15 항에 있어서,
상기 센서부가 상기 제1 공간 및 상기 제2 공간의 경계를 판단하는 단계를 더 포함하는 기판 운반 방법.According to claim 15,
A substrate transport method further comprising the step of the sensor unit determining a boundary between the first space and the second space. 제15 항에 있어서,
상기 센서부가 상기 제1 공간의 표면과 상기 기판 사이의 각도를 -3° 내지 3°로 유지하는 단계를 더 포함하는 기판 운반 방법.According to claim 15,
A substrate transport method further comprising the step of maintaining the angle between the surface of the first space and the substrate by the sensor unit at -3° to 3°. 제15 항에 있어서,
상기 서브 구동부가 상기 제1 이동 방향으로 이동하는 단계는 상기 서브 구동부가 상기 제1 구동부 및 상기 제2 구동부 사이의 상기 제1 구동부의 질량 중심의 2/3 또는 상기 제2 구동부의 질량 중심의 2/3로 이동하는 단계를 포함하는 기판 운반 방법.According to claim 15,
The step of moving the sub-driver in the first moving direction may include the sub-driver being 2/3 of the center of mass of the first driver between the first driver and the second driver or 2/3 of the center of mass of the second driver. A method of transporting a substrate comprising moving to /3. 제15 항에 있어서,
상기 제1 구동부, 상기 서브 구동부, 및 상기 제2 구동부가 상기 기판을 지지하는 단계는 상기 제2 공간에 상기 제2 이동 방향과 평행한 방향으로 제1 부하를 가하는 단계를 포함하는 기판 운반 방법.According to claim 15,
The step of supporting the substrate by the first driver, the sub-driver, and the second driver includes applying a first load to the second space in a direction parallel to the second moving direction. 제15 항에 있어서,
상기 서브 구동부를 상기 제2 이동 방향으로 이동하여, 상기 제1 구동부 및 상기 서브 구동부가 상기 기판을 지지하는 단계는 상기 서브 구동부를 제1 폭만큼 이동 시키는 단계를 포함하고,
상기 제1 구동부를 상기 제2 이동 방향으로 이동하여, 상기 제1 구동부, 상기 서브 구동부, 및 상기 제2 구동부가 상기 기판을 지지하는 단계는 상기 제1 구동부를 상기 제1 폭과 상이한 제2 폭만큼 이동 시키는 단계를 포함하며,
상기 제1 폭은 상기 제2 폭보다 큰 기판 운반 방법.
According to claim 15,
Moving the sub-driver in the second movement direction so that the first driver and the sub-driver support the substrate includes moving the sub-driver by a first width,
The step of moving the first driving unit in the second movement direction and supporting the substrate by the first driving unit, the sub-driving unit, and the second driving unit includes adjusting the first driving unit to a second width different from the first width. It includes the step of moving as much as
A substrate transport method wherein the first width is greater than the second width.
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