KR20230145399A - 중공 사막 모듈 및 제가습 장치 - Google Patents

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요스케 이토
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엔오케이 가부시키가이샤
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Abstract

압력 손실의 저하 및 제가습 성능의 향상을 도모하는 것을 가능하게 하는 중공사막 모듈 및 제가습 장치를 제공한다.
내측 케이스(120)의 외주면은, 일단 측으로부터 타단 측으로 향하는 방향에 대해 수직한 방향에서의 폭이, 상기 일단 측으로부터 타단 측으로 향해 일정한 일단 측 외주면(121)과, 일단 측 외주면(121)보다 상기 타단 측에 설치되고 또한 상기 일단 측으로부터 타단 측으로 향함에 따라, 상기 폭이 서서히 넓어지는 타단 측 외주면(122)을 구비함과 더불어, 내측 케이스(120)에는 타단 측 외주면(122)의 내부 측에 상기 타단 측으로 개구하는 중공부가 설치되고 또한 상기 중공부와 상기 환상 간극을 연통하는 복수의 창(122a)이 설치되어 있고, 외측 케이스(110)에는, 상기 일단 측으로 치우친 위치에, 상기 환상 간극과 외측 케이스(110)의 외측을 연통하는 연통 구멍(111a)이 설치되어 있는 것을 특징으로 한다.

Description

중공 사막 모듈 및 제가습 장치
본 발명은 중공 사막 모듈 및 제가습(除加濕, 제습 및 가습) 장치에 관한 것이다.
연료 전지용의 가습 장치에 구비되는 중공사막 모듈에는, 가습 성능의 향상, 압력 손실의 억제, 소형화 등이 요구되고 있다. 그래서, 중공 사막 모듈의 케이스를 2중 케이스로 함으로써, 이들 요구에 부응하는 기술이 알려져 있다. 이러한 종래 예에 따른 중공 사막 모듈에 대해, 도 4를 참조하여 설명한다. 도 4는 종래 예에 따른 중공 사막 모듈의 모식적 단면도이다.
도시된 중공사막 모듈(500)은, 원통 형상의 외측 케이스(510)와, 외측 케이스(510)의 내부에 배치되는 내측 케이스(520)와, 외측 케이스(510)와 내측 케이스(520) 사이의 환상 간극에 설치되는 복수의 중공 사막(530)을 구비하고 있다. 또, 중공사막 모듈(500)은 한 쌍의 밀봉 고정부(541, 542)를 구비하고 있다. 이들 밀봉 고정부(541, 542)는, 외측 케이스(510)와 내측 케이스(520)의 일단 측과 타단 측에서, 각 중공사막(530)의 중공 내부를 개방시킨 상태에서, 상기의 환상 간극을 각각 밀봉하고 또한 복수의 중공 사막(530)을 외측 케이스(510) 및 내측 케이스(520)에 고정하는 역할을 담당하고 있다.
그리고, 외측 케이스(510)에는, 일단 측으로 치우친 위치에, 상기의 환상 간극과 외측 케이스(510)의 외측을 연통하는 연통 구멍(511)이 설치되어 있다. 또, 내측 케이스(520)의 내부에는 격벽(521)이 설치되어 있고, 이 격벽(521)보다 타단 측에 내측 케이스(520)의 내부의 중공부와 상기의 환상 간극을 연통하는 복수의 창(522)이 설치되어 있다.
이상과 같이 구성되는 중공사막 모듈(500)에 대해, 내측 케이스(520)의 내부의 중공부에 습윤 기체가 공급되고, 밀봉 고정부(541) 측으로부터 각 중공사막(530)의 중공 내부로 건조 기체가 공급된다. 이에 따라, 도면 중 실선의 화살표로 나타낸 바와 같이, 습윤 기체는 복수의 창(522)으로부터 상기의 환상 간극으로 들어가, 중공사막(530)의 막 외(外, 밖)를 통해, 연통 구멍(511)으로부터 외측 케이스(510)의 외측으로 흘러간다. 또, 건조 기체는, 일단 측의 밀봉 고정부(541)로부터 타단 측의 밀봉 고정부(542)를 향해, 중공사막(530)의 막 내(內, 안)를 통해 흘러간다. 이에 따라, 중공사막(530)에 의한 막 분리 작용에 의해, 습윤 기체 중의 수분이 건조 기체 측으로 이동하여, 건조 기체가 가습된다.
일반적인 중공사막 모듈의 경우에는, 통형상의 단일의 케이스 내에 복수의 중공사막이 설치되고, 당해 케이스에 습윤 기체의 입구와 출구가 설치되는 구성이기 때문에, 케이스의 중심 부근에 배치되는 중공사막은 막 분리 작용에 그다지 기여하지 않게 되어 버리기 쉽다. 이에 대해, 상기의 도 4에 나타낸 종래 예에 따른 중공 사막 모듈(500)의 경우에는, 복수의 중공 사막(530) 전체를 막 분리 작용에 기여시킬 수 있기 때문에, 상술한 요구에 부응하는 것이 가능하다.
그렇지만, 상기의 중공사막 모듈(500)의 경우에도, 외측 케이스(510)의 내부에서의 내측 케이스(520)의 용적의 비율이 높아, 압력 손실을 반드시 충분히 저하시킬 수 없는 등, 아직 개선의 여지가 있다.
특허문헌 1: 일본 특허공개 제2002-147802호 공보 특허문헌 2: 일본 특허공개 제2005-265196호 공보
본 발명의 목적은 압력 손실의 저하 및 제가습 성능의 향상을 도모하는 것을 가능하게 하는 중공사막 모듈 및 제가습 장치를 제공하는 것에 있다.
본 발명은 상기 과제를 해결하기 위해 이하의 수단을 채용했다.
본 발명의 중공사막 모듈은,
통형상의 외측 케이스와,
상기 외측 케이스의 내부에 배치되는 내측 케이스와,
상기 외측 케이스와 내측 케이스 사이의 환상 간극에 설치되는 복수의 중공사막과,
상기 외측 케이스와 내측 케이스의 일단 측과 타단 측에서, 각 중공사막의 중공 내부를 개방시킨 상태에서 상기 환상 간극을 각각 밀봉하고 또한 상기 복수의 중공사막을 상기 외측 케이스 및 내측 케이스에 고정하는 한 쌍의 밀봉 고정부를 구비하는 중공사막 모듈로서,
상기 내측 케이스의 외주면은,
상기 일단 측으로부터 타단 측으로 향하는 방향에 대해 수직한 방향에서의 폭이, 상기 일단 측으로부터 타단 측으로 향해 일정한 일단 측 외주면과,
상기 일단 측 외주면보다 상기 타단 측에 설치되고, 또한 상기 일단 측으로부터 타단 측으로 향함에 따라, 상기 폭이 서서히 넓어지는 타단 측 외주면을 구비함과 더불어,
상기 내측 케이스에는, 상기 타단 측 외주면의 내부 측에 상기 타단 측으로 개구하는 중공부가 설치되고 또한 상기 중공부와 상기 환상 간극을 연통하는 복수의 창이 설치되어 있고,
상기 외측 케이스에는, 상기 일단 측으로 치우친 위치에, 상기 환상 간극과 상기 외측 케이스의 외측을 연통하는 연통 구멍이 설치되어 있는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의하면, 외측 케이스와 내측 케이스 사이의 환상 간극 중, 일단 측 외주면의 외측에 공간을 확보하기 쉬워져, 중공사막의 충전율(充塡率)이 높아져 버리는 것을 억제할 수 있기 때문에, 압력 손실의 억제를 도모할 수 있다. 또, 일단 측으로부터 타단 측으로 향함에 따라, 폭이 서서히 넓어지는 타단 측 외주면에 복수의 창이 설치되어 있기 때문에, 이들 창이 설치되어 있는 부근에 있어서, 중공사막의 막의 외부를 통과하는 유체와 중공 사막의 중공 내부를 통과하는 유체를 대향류(對向流)로 하기 쉽게 할 수 있다. 이에 따라, 제가습 성능을 높일 수 있다.
상기 타단 측 외주면의 내부 측의 상기 중공부에 의해 형성되는 타단 측 내주면은, 상기 일단 측으로부터 타단 측으로 향함에 따라, 상기 폭이 서서히 넓어지도록 구성되어 있으면 좋다.
이에 따라, 보다 한층, 창이 설치되어 있는 부근에 있어서, 중공사막의 막의 외부를 통과하는 유체와, 중공사막의 중공 내부를 통과하는 유체를, 대향류로 하기 쉽게 할 수 있다.
상기 일단 측 외주면은 원주면이면 좋다.
상기 타단 측 외주면은 테이퍼면이면 좋다.
또, 본 발명의 제가습 장치는,
상기의 중공사막 모듈과,
상기 중공부에 대해 습윤 기체를 공급하는 습윤 기체 공급 장치와,
상기 일단 측의 상기 밀봉 고정부로부터 상기 복수의 중공사막의 각 중공 내부로, 상기 습윤 기체보다 습도가 낮은 건조 기체를 공급하는 건조 기체 공급 장치를 구비하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 각 구성은 가능한 한 조합하여 채용할 수 있다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 의하면, 압력 손실의 저하 및 제가습 성능의 향상을 도모할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 중공 사막 모듈의 평면도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 내측 케이스의 평면도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 제가습 장치의 개략 구성도이다.
도 4는 종래 예에 따른 중공 사막 모듈의 모식적 단면도이다.
이하, 도면을 참조하여 이 발명을 실시하기 위한 형태를 실시예에 기초하여 예시적으로 상세히 설명한다. 다만, 이 실시예에 기재되어 있는 구성 부품의 치수, 재질, 형상, 그 상대 배치 등은, 특별히 특정한 기재가 없는 한, 본 발명의 범위를 그것들에만 한정하는 취지의 것은 아니다.
(실시예)
도 1∼도 3을 참조하여, 본 발명의 실시예에 따른 중공 사막 모듈 및 제가습 장치에 대하여 설명한다. 도 1은 본 발명의 실시예에 따른 중공사막 모듈의 평면도이다. 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 내측 케이스의 평면도이다. 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 제가습 장치의 개략 구성도이다. 또한 도 3에 있어서는, 중공 사막 모듈에 대해 모식적 단면도로 나타내고 있다. 이 중공 사막 모듈의 단면도는 도 1 중의 AA 단면도에 상당하고, 중공 사막 모듈에 구비되는 내측 케이스의 단면도는 도 2 중의 BB 단면도에 상당한다.
<제가습 장치>
본 실시예에 따른 제가습 장치(10)는 중공 사막 모듈(100), 습윤 가스 공급 장치(200) 및 건조 가스 공급 장치(300)를 구비하고 있다. 습윤 기체 공급 장치(200)는, 중공사막 모듈(100)에 구비되는 중공사막(130)의 막 외로 습윤 기체를 공급하도록 구성되어 있다. 또, 건조 기체 공급 장치(300)는 복수의 중공사막(130)의 각 중공 내부로, 상기 습윤 기체보다 습도가 낮은 건조 기체를 공급하도록 구성되어 있다. 이에 따라, 중공사막(130)에 의한 막 분리 작용에 의해, 습윤 기체 중의 수분이 건조 기체 측으로 이동한다. 따라서, 건조 기체에 대해서는 가습(加濕)되고, 습윤 기체에 대해서는 제습(除濕)되기 때문에, 가습 장치로서도 제습 장치로서도 이용할 수 있다. 또한, 본 실시예에 따른 제가습 장치(10)는, 연료 전지에 구비되는 전해질막을 가습하기 위한 가습 장치로서 호적(好適)하게 이용할 수 있다. 이 경우, 연료 전지에 있어서 발생한 습윤 공기가 상기의 습윤 기체로서 이용된다. 그리고, 가습된 기체(공기)가, 연료 전지에 구비되는 전해질막에 공급됨으로써, 전해질막에 대해서는, 습한 상태가 유지된다. 여기서, 중공사막(130)의 소재로서는, 예를 들어 구멍 직경 제어에 의한 모세관 응축 기구에 의해 수분을 투과하는 특성을 갖는 PPSU(폴리페닐술폰) 등을 호적하게 이용할 수 있다. 또한, 제막 용액(중공사막의 원료)을 조정할 때, 용매 중에 PPSU와 친수성 고분자(폴리비닐폴로리돈)를 첨가한 제막 용액을 이용하여 방사(紡絲)를 행함으로써 친수성을 갖는 중공 사막을 얻을 수 있다. 또, 용해 확산에 의해 수분을 투과하는 특성을 갖는 친수성 재료인 나피온(등록상표)을 이용할 수도 있다. 이상과 같은 재료는 용출성이 낮고 또한 강도도 높기 때문에, 제가습 장치(10)에 호적하게 이용할 수 있다.
<중공사막 모듈>
본 실시예에 따른 중공사막 모듈(100)에 대해 보다 상세하게 설명한다. 중공사막 모듈(100)은, 통형상의 외측 케이스(110)와, 외측 케이스(110)의 내부에 배치되는 내측 케이스(120)와, 외측 케이스(110)와 내측 케이스(120) 사이의 환상 간극에 설치되는 복수의 중공사막(130)을 구비하고 있다. 또, 중공사막 모듈(100)은 한 쌍의 밀봉 고정부(141, 142)를 구비하고 있다. 이들 밀봉 고정부(141, 142)는, 외측 케이스(110)와 내측 케이스(120)의 일단 측(도 3 중 우측)과 타단 측(도 3 중 좌측)에서, 각 중공사막(130)의 중공 내부를 개방시킨 상태에서, 상기의 환상 간극을 각각 밀봉하고 또한 복수의 중공 사막(130)을 외측 케이스(110) 및 내측 케이스(120)에 고정하는 역할을 담당하고 있다. 이들 밀봉 고정부(141, 142)는, 에폭시 수지 등의 포팅 재료가 경화됨으로써 얻어진다. 또한, 편의상, 이하, 중공사막 모듈(100)에 있어서, 도 3 중, 우측을 「일단 측」, 좌측을 「타단 측」이라고 칭한다.
본 실시예에 따른 내측 케이스(120)의 외주면에 있어서는, 일단 측 외주면(121)과 타단 측 외주면(122)을 구비하고 있다. 일단 측 외주면(121)은, 일단 측으로부터 타단 측으로 향하는 방향에 대해 수직한 방향에서의 폭이, 일단 측으로부터 타단 측으로 향해 일정하게 되도록 구성되어 있다. 본 실시예에 있어서는, 이 일단 측 외주면(121)은 원주면에 의해 구성되어 있다. 다만, 본 발명에서의 일단 측 외주면에 대해서는, 일단 측으로부터 타단 측으로 향하는 방향에 대해 수직한 방향에서의 폭이, 일단 측으로부터 타단 측으로 향해 일정하면, 그 밖의 면(예를 들어 각기둥 형상의 면)도 채용 가능하다.
또, 타단 측 외주면(122)은, 일단 측 외주면(121)보다 타단 측에 설치되고, 또한 일단 측으로부터 타단 측으로 향함에 따라, 일단 측으로부터 타단 측으로 향하는 방향에 대해 수직한 방향에서의 폭이 서서히 넓어지도록 구성되어 있다. 본 실시예에 있어서는, 이 타단 측 외주면(122)은 테이퍼면(중심 축선을 포함하는 면에서 절단한 단면 형상이 직선으로 되는 면)에 의해 구성되어 있다. 다만, 본 발명에서의 타단 측 외주면에 대해서는, 일단 측으로부터 타단 측으로 향함에 따라, 일단 측으로부터 타단 측으로 향하는 방향에 대해 수직한 방향에서의 폭이 서서히 넓어지도록 구성되면, 그 밖의 형상의 면도 채용할 수 있다. 예를 들어, 중심 축선을 포함하는 면에서 절단한 단면 형상이 곡선으로 되는 만곡면이나, 각추면 형상의 면 등도 채용할 수 있다.
외측 케이스(110)에 대해서는, 내측 케이스(120)에서의 일단 측 외주면(121)과 동심적으로 설치되는 원주면 형상의 내주면(111)과, 타단 측 외주면(122)과 동심적으로 설치되는 테이퍼 형상의 내주면(112)을 구비하고 있다. 다만, 외측 케이스(110)의 내주면의 형상에 관해서는, 특별히 한정되는 것은 아니고, 각종의 형상을 채용할 수 있다. 또, 외측 케이스(110)의 외주면 측의 형상에 대해서도, 도시된 예에 한정되지 않고, 각종의 형상을 채용할 수 있다.
그리고, 내측 케이스(120)에는 격벽(123)이 설치되어 있다. 이에 따라, 일단 측 외주면(121)의 내부 측과, 타단 측 외주면(122)의 내부 측에는, 각각 일단 측으로 개구하는 중공부와, 타단 측으로 개구하는 중공부가 형성되어 있다. 다만, 일단 측의 중공부에 대해서는 반드시 설치할 필요는 없다. 또, 내측 케이스(120)에는 타단 측 외주면(122)의 내부 측의 중공부와 상기 환상 간극(외측 케이스(110)와 내측 케이스(120) 사이의 환상 간극)을 연통하는 복수의 창(122a)이 설치되어 있다. 또, 타단 측 외주면(122)의 내부 측의 중공부에 의해 형성되는 타단 측 내주면(122X)에 대해서도, 타단 측 외주면(122)과 마찬가지로, 일단 측으로부터 타단 측으로 향함에 따라, 일단 측으로부터 타단 측으로 향하는 방향에 대해 수직한 방향에서의 폭이 서서히 넓어지도록 구성되어 있다. 본 실시예에 있어서는, 이 타단 측 내주면(122X)은 테이퍼면에 의해 구성되어 있다. 다만, 타단 측 내주면(122X)에 대해서도, 타단 측 외주면(122)과 마찬가지로, 일단 측으로부터 타단 측으로 향함에 따라, 일단 측으로부터 타단 측으로 향하는 방향에 대해 수직한 방향에서의 폭이 서서히 넓어지도록 구성되면, 그 밖의 형상의 면도 채용할 수 있다.
또, 외측 케이스(110)에는, 일단 측으로 치우친 위치에, 상기의 환상 간극과 외측 케이스(110)의 외측을 연통하는 연통 구멍(111a)이 설치되어 있다. 이 연통 구멍(111a)의 개수는 특별히 한정되는 것은 아니지만, 둘레 방향으로 간격을 두고 복수 설치하는 것이 바람직하다.
이상과 같이 구성되는 중공사막 모듈(100)에 대해, 습윤 기체 공급 장치(200)에 의해, 내측 케이스(120)에서의 타단 측 외주면(122)의 내부의 중공부에 습윤 기체가 공급된다. 또, 건조 기체 공급 장치(300)에 의해, 밀봉 고정부(141) 측으로부터 각 중공사막(130)의 중공 내부로 건조 기체가 공급된다. 이에 따라, 도면 중 실선의 화살표로 나타낸 바와 같이, 습윤 기체는 복수의 창(122a)으로부터 상기의 환상 간극으로 들어가, 중공사막(130)의 막 외를 통해, 연통 구멍(111a)으로부터 외측 케이스(110)의 외측으로 흘러간다. 또, 건조 기체는, 일단 측의 밀봉 고정부(141)로부터 타단 측의 밀봉 고정부(142)로 향해, 중공사막(130)의 막 내를 통해 흘러간다. 이에 따라, 중공사막(130)에 의한 막 분리 작용에 의해, 습윤 기체 중의 수분이 건조 기체 측으로 이동하여, 건조 기체는 가습되고, 습윤 기체는 제습된다.
<본 실시예에 따른 중공사막 모듈 및 제가습 장치의 우수한 점>
본 실시예에 따르면, 내측 케이스(120)에 설치된 복수의 창(122a)으로부터 외측 케이스(110)에 설치된 연통 구멍(111a)으로 습윤 가스가 흐르도록 구성되어 있다. 그 때문에, 내측 케이스(120)와 외측 케이스(110) 사이의 환상 간극에 설치되는 복수의 중공사막(130) 전체를 막 분리 작용에 기여시키는 것이 가능하게 된다. 그리고, 본 실시예에 있어서는, 내측 케이스(120)의 외주면에 관해, 그 내부의 중공부에 습윤 기체가 공급되는 타단 측 외주면(122)과는 별도로, 일단 측으로부터 타단 측으로 향하여 폭이 일정하게 되도록 구성되는 일단 측 외주면(121)을 구비하는 구성이 채용되고 있다. 이에 따라, 외측 케이스(110)와 내측 케이스(120) 사이의 환상 간극 중, 일단 측 외주면(121)의 외측에 공간을 확보하기 쉬워져, 중공사막(130)의 충전율이 높아져 버리는 것을 억제할 수 있다. 따라서, 압력 손실의 억제를 도모할 수 있다. 또, 일단 측으로부터 타단 측으로 향함에 따라, 폭이 서서히 넓어지는 타단 측 외주면(122)에 복수의 창(122a)이 설치되는 구성이 채용되고 있다. 그 때문에, 이들 창(122a)이 설치되어 있는 부근에 있어서, 중공사막(130)의 막의 외부를 통과하는 습윤 기체와, 중공사막(130)의 중공 내부를 통과하는 건조 기체를, 대향류로 하기 쉽게 할 수 있다. 이에 따라, 제가습 성능을 높일 수 있다. 또, 본 실시예에 있어서는, 타단 측 외주면(122)의 내부 측의 중공부에 의해 형성되는 타단 측 내주면(122X)은 일단 측으로부터 타단 측으로 향함에 따라, 폭이 서서히 넓어지도록 구성되어 있다. 이에 따라, 보다 한층, 창(122a)이 설치되어 있는 부근에 있어서, 중공사막(130)의 막의 외부를 통과하는 습윤 기체와, 중공사막(130)의 중공 내부를 통과하는 건조 기체를, 대향류로 하기 쉽게 할 수 있다.
10 제가습 장치
100 중공사막 모듈
110 외측 케이스
111 내주면
111a 연통 구멍
112 내주면
120 내측 케이스
121 일단 측 외주면
122 타단 측 외주면
122a 창
123 격벽
130 중공사막
141, 142 밀봉 고정부
200 습윤 기체 공급 장치
300 건조 기체 공급 장치

Claims (5)

  1. 통형상의 외측 케이스와,
    상기 외측 케이스의 내부에 배치되는 내측 케이스와,
    상기 외측 케이스와 내측 케이스 사이의 환상 간극에 설치되는 복수의 중공사막과,
    상기 외측 케이스와 내측 케이스의 일단 측과 타단 측에서, 각 중공사막의 중공 내부를 개방시킨 상태에서 상기 환상 간극을 각각 밀봉하고 또한 상기 복수의 중공사막을 상기 외측 케이스 및 내측 케이스에 고정하는 한 쌍의 밀봉 고정부를 구비하는 중공사막 모듈로서,
    상기 내측 케이스의 외주면은,
    상기 일단 측으로부터 타단 측으로 향하는 방향에 대해 수직한 방향에서의 폭이, 상기 일단 측으로부터 타단 측으로 향해 일정한 일단 측 외주면과,
    상기 일단 측 외주면보다 상기 타단 측에 설치되고, 또한 상기 일단 측으로부터 타단 측으로 향함에 따라, 상기 폭이 서서히 넓어지는 타단 측 외주면을 구비함과 더불어,
    상기 내측 케이스에는, 상기 타단 측 외주면의 내부 측에 상기 타단 측으로 개구하는 중공부가 설치되고 또한 상기 중공부와 상기 환상 간극을 연통하는 복수의 창이 설치되어 있고,
    상기 외측 케이스에는, 상기 일단 측으로 치우친 위치에, 상기 환상 간극과 상기 외측 케이스의 외측을 연통하는 연통 구멍이 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 중공사막 모듈.
  2. 제1항에 있어서, 상기 타단 측 외주면의 내부 측의 상기 중공부에 의해 형성되는 타단 측 내주면은, 상기 일단 측으로부터 타단 측으로 향함에 따라, 상기 폭이 서서히 넓어지도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 중공 사막 모듈.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 일단 측 외주면은 원주면인 것을 특징으로 하는 중공사막 모듈.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 타단 측 외주면은 테이퍼면인 것을 특징으로 하는 중공사막 모듈.
  5. 제1항 또는 제2항에 기재된 중공 사막 모듈과,
    상기 중공부에 대해 습윤 기체를 공급하는 습윤 기체 공급 장치와,
    상기 일단 측의 상기 밀봉 고정부로부터 상기 복수의 중공사막의 각 중공 내부로, 상기 습윤 기체보다 습도가 낮은 건조 기체를 공급하는 건조 기체 공급 장치를 구비하는 것을 특징으로 하는 제가습 장치.
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