KR20230138227A - 가스공급장비의 가스켓 자동교체장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 고압가스통의 밸브 연결구가 연결되는 가스공급장비의 커넥터 홀더의 내부에 설치되어 기밀을 유지하였다가 고압가스통의 교체시 수거하여 폐기 처분되는 가스공급장비의 가스켓 자동교체장치에 관한 것으로, 사용하고 난 폐 가스켓을 수거하여 안전하게 보관하였다가 폐기 처분할 수 있도록 관한 것이다.
이를 위해, 본 발명은 커넥터 홀더(101)의 일측에 위치되게 메인플레이트(100)에 고정 설치된 수직플레이트(110)와, 상기 수직플레이트(110)에 축(111)을 중심으로 회동 가능하게 설치된 가동부재(120)와, 상기 수직플레이트(110)에 고정된 브라켓(131)에 설치되어 로드(132)가 가동부재(120)에 힌지 결합되어 축(111)을 중심으로 가동부재(120)를 회동시키는 제1 액츄에이터(130)와, 상기 메인플레이트(100)에 고정 설치되어 수직플레이트(110)가 가이드레일(112)을 따라 수평 이동되도록 하는 제2 액츄에이터(140)와, 상기 가동부재(120)에 설치되어 복수 개의 가스켓(180)을 수용하고 있다가 커넥터 홀더(101)와 접속된 상태에서 선단에 위치하는 1개의 가스켓이 커넥터 홀더(101)에 삽입되도록 하는 가스켓 삽입 카트리지(150)와, 상기 가스켓 삽입 카트리지(150)의 일측에 위치되게 가동부재(120)에 설치되어 커넥터 홀더(101)에 삽입되어 있던 폐 가스켓(180a)을 파지하여 회수하거나, 가스켓(180)의 삽입유무를 접촉식으로 확인하는 파지수단(160)과, 상기 가동부재(120)의 일측에 위치되게 설치되어 파지수단(160)에 파지된 폐 가스켓(180a)을 회수하여 기밀이 유지되게 보관하는 폐 가스켓 수거부(170)를 포함하여 구성된 것을 특징으로 한다.

Description

가스공급장비의 가스켓 자동교체장치{The gasket automatic replacement apparatus of the gas supply equipment}
본 발명은 고압가스통의 밸브 연결구가 연결되는 가스공급장비의 커넥터 홀더의 내부에 설치되어 기밀을 유지하였다가 고압가스통의 교체시 수거하여 폐기 처분되는 가스공급장비의 가스켓 자동교체장치에 관한 것으로써, 좀 더 구체적으로는 사용하고 난 폐 가스켓을 수거하여 안전하게 보관하였다가 폐기 처분할 수 있도록 하는 가스공급장비의 가스켓 자동교체장치에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체를 제조하는 제조공정에는 용도에 따라 다양한 종류의 가스가 공급되어 사용되는데, 이러한 가스들은 대부분 인체에 흡입되거나 대기중에 노출될 경우 안전사고 및 환경오염 등의 큰 피해를 일으키게 되므로 세심한 주의를 요한다.
예를 들면, 이온주입공정에 사용되는 가스의 종류로는, 수소화비소(AsH3 : Arsine), 인화수소(PH 3 : Phosphine) 또는 삼플루오르화붕소(BF3 : Boron Fluoride) 등과 같은 유동성 가스가 있는데, 이들 가스는 독성이 매우 강하여 작업자가 호흡기로 흡입할 경우 치명적인 결과를 초래하므로 생산라인으로 공급하는 과정에서 누출(漏出)되지 않도록 세심하게 관리하여야 된다.
이와 같은 반도체 제조 공정에 사용되는 가스들은 그 관리가 매우 중요한데, 이러한 가스들은 가스통(이하 "고압가스통"이라 함)에 고압으로 충전된 상태로 캐비닛에 장착되어 가스 공급라인을 통해 생산라인에 공급되며, 가스가 약 90% 정도 소진되면 고압가스통의 내부에 잔류하는 이물질이 웨이퍼 가공공정으로 공급되지 않도록 작업자가 새로운 고압가스통으로 교체함으로써, 계속해서 가스를 공급하게 된다.
도 1은 종래의 기술에 의한 반도체 장비의 가스 공급장치를 개략적으로 나타낸 사시도로써, FAB(7) 외부의 소정 장소에는 FAB(7) 내의 여러 장비(8)에서 필요로 하는 SiH4, PH3, NF3, CF4 등과 같은 공정 가스가 각각 충전된 복수 개의 고압가스통(도시는 생략함)을 안착할 수 있도록 캐비닛(1)이 위치하고 있고, 상기 캐비닛(1)의 일 측에는 상기 고압가스통에 각각 연결된 가스 공급라인(3)을 안내할 수 있도록 덕트(4)가 설치되어 있다.
상기 덕트(4)의 타 측에는 가스 공급라인(3)을 따라 유입된 공정 가스를 공급할 수 있도록 고압가스통에 대응하는 개수로 레귤레이터 박스(5)가 설치되어 있고 상기 각각의 레귤레이터 박스(5)의 상단부에는 FAB(7) 내의 각 장비(8)에 대응하여 연결될 수 있도록 장비(8)의 개수와 동일한 개수의 공급관(9)이 연결되어 있다.
따라서 캐비닛(1)에 안착되어 있는 각각의 고압가스통으로부터 공정 가스가 공급되면, 각각의 공정 가스는 덕트(4)의 내부를 통과하는 가스 공급라인(3)을 따라 각각의 레귤레이터 박스(5)로 유입된다.
이후, 각각의 레귤레이터 박스(5) 내부로 유입된 각각의 공정 가스는 필터(도시는 생략함)를 통해 정화된 후 FAB(7) 내의 장비(8)에 대응되는 개수로 분기되어 연결되어 있는 각각의 공급관(9)을 따라 흘러 공급되므로 웨이퍼를 가공할 수 있게 된다.
상기한 바와 같이 가스를 가스 공급라인(3)으로 공급하다가 가스가 소진되어 고압가스통의 교체시기가 제어부(도시는 생략함)에 의해 검출되면 작업자가 사용하고 난 고압가스통의 밸브를 잠근 다음 외부의 가스라인으로부터 분리하게 된다.
이후, 작업자가 가스라인으로부터 분리된 고압가스통을 캐비닛(1)에서 언로딩한 다음 새로운 고압가스통으로 교체한 후 상기 고압가스통을 다시 외부의 가스라인에 연결시킨 뒤 가스분사노즐을 닫고 있는 밸브 핸들을 오픈(Open)하면 고압가스통의 교체가 완료된다.
상기 고압가스통의 연결부위에는 1번 사용하고 난 가스켓은 가스분사노즐의 입구에 형성된 환상의 돌출 띠에 의해 눌려 변형되어 요입 홈 및 함몰띠가 형성되므로 고압가스통의 교체시마다 작업자가 사용하고 난 가스켓을 제거한 다음 새로운 가스켓으로 교체하는 작업을 작업자에 의해 수작업으로 진행 함에 따라 고압가스통의 교체시간이 지연되어 고가 장비의 가동률을 떨어뜨릴 뿐만 아니라, 작업자의 숙련도 및 피로도에 따라 부주의로 가스켓이 없는 상태에서 고압가스통을 연결하거나, 가스켓의 방향을 다르게 삽입하는 휴먼 에러(human error)가 발생될 경우 유해가스가 누출되는 문제점이 있었다.
상기한 문제점을 감안하여 출원인에 의해 새로운 타입의 고압가스장비가 개발되어 특허 제2142980호로 등록된 바 있다.
도 2는 종래의 장치를 나타낸 사시도이고 도 3은 종래 장치의 요부를 나타낸 저면 사시도로써, 고압가스통 연결 유닛(10)의 커넥터 홀더(11) 일 측에 위치되게 메인 플레이트(도시는 생략함)에 고정 설치된 홀더(30)와, 상기 홀더(30)에 회동 가능하게 설치된 가동부재(31)와, 상기 메인 플레이트에 고정된 브라켓(32) 및 가동부재(31)에 로드가 각각 연결되게 홀더(30)에 설치되어 가동부재(31)를 회동시키는 2단 액츄에이터(33)와, 상기 홀더(30)로부터 가동부재(31)를 커넥터 홀더(11) 측으로 진퇴운동시키는 도킹 액츄에이터(34)와, 상기 가동부재(31)에 설치되어 커넥터 홀더(11)로부터 사용하고 난 가스켓(50a)을 자동으로 제거하여 차례로 수용하는 가스켓 제거 카트리지(60)와, 상기 가스켓 제거 카트리지(60) 상부에 위치하는 가동부재(31)에 설치되어 수용하고 있던 새로운 가스켓(50)을 커넥터 홀더(11)에 삽입하는 가스켓 삽입 카트리지(70)로 구성되어 있다.
도 4는 종래 장치의 가스켓 제거 카트리지의 사시도 및 종단면도로써, 상기 가스켓 제거 카트리지(60)는 원통형으로 형성되어 사용하고 난 가스켓(50a)을 차례로 수용하는 제1 슬리브(61)와, 상기 제1 슬리브(61) 내에 설치되어 에어 압력으로 이동하는 제1 피스톤(62)과, 상기 제1 슬리브(61)의 선단에 등 간격으로 형성되어 가스켓(50a)을 홀딩하는 걸림편(63)으로 구성되어 있다.
도 5는 종래 장치의 가스켓 삽입 카트리지의 사시도 및 종단면도로써, 사용하지 않은 복수 개의 가스켓(50)을 수용하고 있다가 커넥터 홀더(11)로부터 사용하고 난 가스켓(50a)을 제거하고 나면 새로운 가스켓(50)을 커넥터 홀더(11)에 차례로 삽입하는 가스켓 삽입 카트리지(70)는 원통형으로 형성되어 사용하지 않은 가스켓(50)을 수용하는 제2 슬리브(71)와, 상기 제2 슬리브(71) 내에 설치되어 에어 압력으로 이동하는 제2 피스톤(72)과, 상기 제2 슬리브(71)의 출구 내주면에 형성되어 가스켓(50)의 이동을 제한하는 돌출 턱(73)으로 구성되어 있다.
상기 가동부재(31)에는 가스켓 제거 카트리지(60) 및 가스켓 삽입 카트리지(70)에 카트리지의 교체시기를 검출하는 제1, 2 검출수단이 더 구비되어 있는데, 상기 제1, 2 검출수단은 상기 제1, 2 피스톤(62)(72)에 설치된 자석(64)(75)과, 상기 자석(64)(75)을 감지하여 상기 가스켓 제거 카트리지(60) 또는 가스켓 삽입 카트리지(70)의 교체시기를 알리는 제1, 2 감지센서(37a)(37b)로 구성되어 있어 상기 가스켓 제거 카트리지(60)에 사용하고 난 가스켓(50a)이 가득채워지거나, 가스켓 삽입 카트리지(70)에 채워져 있던 새로운 가스켓(50)을 커넥터 홀더(11)에 전부 공급하고 나면 상기 제1, 2 감지센서(37a)(37b)가 이를 검출하게 되므로 상기 가스켓 제거 카트리지(60) 또는 가스켓 삽입 카트리지(70)를 통채로 교체하게 된다.
이때, 상기 가스켓 제거 카트리지(60)와 가스켓 삽입 카트리지(70)의 사이에 위치하는 가동부재(31)에는 반사형 센서(38)가 설치되어 있어 상기 커넥터 홀더(11)에서 사용하고 난 가스켓(50a)을 제거한 다음 새로운 가스켓(50)을 삽입하기 전에 상기 커넥터 홀더(11)에서 사용하고 난 가스켓(50a)이 남아 있는지를 검출하여 사용하고 난 가스켓(50a)을 커넥터 홀더(11)에서 제거하지 않고 새로운 가스켓(50)을 삽입함에 따른 에러가 발생되는 현상을 방지하게 된다.
따라서 고압가스통(40) 내의 가스를 커넥터 홀더(11)를 통해 가스라인으로 공급하고 나면 새로운 고압가스통으로 교체하여야 되는데, 고압가스통의 교체시 상기 커넥터 홀더(11)에 삽입되었던 가스켓(50a)은 가스분사노즐 및 커넥터 홀더(11)의 돌출 띠(11c)에 의해 변형되어 양면에 요입 홈(50b)이 형성되어 있어 기밀을 유지하지 못하므로 새로운 가스켓(50)으로 교체하여야 된다.
상기 브라켓(32)에 고정된 2단 액츄에이터(33)가 작동되지 않은 초기상태에서는 가스켓 제거 카트리지(60)가 커넥터 홀더(11)와 동일 수평선상에 위치하고 있다가 도킹 액츄에이터(34)가 구동하여 가동부재(31)를 커넥터 홀더(11) 측으로 이동시키면 가스켓 제거 카트리지(60)의 선단에 형성된 복수 개의 걸림편(63)이 커넥터 홀더(11)에 형성된 절개부(11b)로 삽입되면서 동시에 벌어졌다가 사용하고 난 가스켓(50a)의 후단에 도달하면 복원력에 의해 내측으로 오므러지면서 사용하고 난 가스켓(50a)을 홀딩(holding)하게 된다.
상기한 바와 같이 가스켓 제거 카트리지(60)의 걸림편(63)이 사용하고 난 가스켓(50a)을 홀딩하고 나면 제1 슬리브(61)의 내부에 에어가 공급되므로 제1 피스톤(62)이 도면상 좌측으로 이동하여 제거할 가스켓(50a)의 일면에 접속된다.
상기 걸림편(63)이 제거할 가스켓(50a)을 홀딩한 상태에서 도킹 액츄에이터(34)에 의해 가동부재(31)가 초기 위치로 환원하면 사용하고 난 가스켓(50a)이 커넥터 홀더(11)에서 제거되어 제1 슬리브(61) 내에 수용된다.
상기 커넥터 홀더(11)에서 사용하고 난 가스켓(50a)을 제거하고 나면 상기 커넥터 홀더(11)에 새로운 가스켓(50)을 넣어야 된다.
상기 커넥터 홀더(11)에 새로운 가스켓(50)을 넣기 위해 2단 액츄에이터(33)가 1단 구동하여 가동부재(31)를 회동시키면 가스켓 제거 카트리지(60) 및 가스켓 삽입 카트리지(70)의 사이에 설치된 반사형 센서(38)가 커넥터 홀더(11)와 수평선상에 위치하므로 커넥터 홀더(11)의 내부에 사용하고 난 가스켓(50a)이 있는지를 검출하게 된다.
따라서 반사형 센서(38)가 사용하고 난 가스켓(50a)을 검출하면 에러를 발생시킴과 동시에 알림수단으로 작업자에게 이를 알려 사용하고 난 가스켓(50a)을 수작업으로 제거하지만, 사용하고 난 가스켓이 없다면 2단 액츄에이터(33)가 2단 구동하여 가스켓 삽입 카트리지(70)가 커넥터 홀더(11)와 동일 수평선상에 위치되는 지점까지 가동부재(31)를 회동시키게 된다.
그 후, 전술한 바와 같이 도킹 액츄에이터(34)가 가동부재(31)를 커넥터 홀더(11) 측으로 이동시켜 제2 슬리브(71)의 선단이 커넥터 홀더(11)와 접속되도록 하면 제2 슬리브(71)의 선단에 경사면(74)이 형성되어 있어 제2 슬리브(71)와 커넥터 홀더(11)의 얼라인이 정확히 이루어지게 된다.
이러한 상태에서 가스켓 삽입 카트리지(70)에 에어가 공급되면 제2 피스톤(72)이 커넥터 홀더(11) 측으로 이동하게 되므로 최선단에 위치하고 있던 새로운 가스켓(50)을 커넥터 홀더(11)의 내부로 삽입하는데, 이때 상기 커넥터 홀더(11)의 입구에는 걸림돌기(11a)가 형성되어 있어 가스켓 삽입 카트리지(70)가 초기 위치로 환원되더라도 커넥터 홀더(11)에 삽입된 가스켓(50)이 이탈되지 않는다.
상기한 바와 같이 커넥터 홀더(11)에 새로운 가스켓(50)을 삽입하고 나면 도킹 액츄에이터(34)에 의해 가동부재(31)는 초기의 위치로 복귀한 다음 2단 액츄에이터(33)의 구동에 의해 가동부재(31)가 환원된 다음 가스켓의 교체 시점까지 대기를 하게 된다.
한편, 사용하고 난 가스켓(50a)이 가스켓 제거 카트리지(60)에 가득 채워짐이 제1 검출수단인 제1 감지센서(37a)에 의해 검출되거나, 새로운 가스켓(50)을 전부 공급하여 가스켓 삽입 카트리지(70)에 가스켓이 없음을 제2 검출수단인 제2 감지 센서(37b)가 검출함에 따라 가동부재(31)에서 가스켓 제거 카트리지(60) 또는 가스켓 삽입 카트리지(70)를 교체하여 사용하게 된다.
(선행기술문헌)
(특허문헌 0001) 대한민국 등록특허공보 10-2142980(2020.08.04.등록)
(특허문헌 0002) 대한민국 등록특허공보 10-0242982(1998.11.15.등록)
(특허문헌 0003) 대한민국 등록특허공보 10-0649112(2006.11.16.등록)
(특허문헌 0004) 대한민국 등록특허공보 10-0985575(2010.09.29.등록)
그러나 이러한 종래의 가스켓 교체장치는 다음과 같은 여러 가지 문제점이 있었다.
첫째, 커넥터 홀더의 내부에 가스켓이 있는지의 여부를 반사형 센서에 의해 비접촉식으로 판단하였기 때문에 가스켓이 투명 또는 반투명의 소재인 경우에는 방사형 센서가 가스켓을 검출하지 못하는 치명적인 결함이 있었다.
둘째, 사용하고 난 가스켓을 원통형상의 가스켓 제거 카트리지의 내부에 삽입하여 보관함에 따라 공급되는 가스가 유독성가스인 경우에는 사용하고 난 가스켓에 의해 흄(fume)이 발생하게 되므로 주위가 오염되어 불량품이 양산될 우려가 있고, 부식성가스인 경우에는 장비가 부식되었다.
셋째, 카트리지의 길이가 한정됨에 따라 수거되는 폐 가스켓의 개수가 적으므로 카트리지의 교체주기가 짧다.
넷째, 장비의 가동을 일시적으로 중단할 경우에 커넥터 홀더가 오픈되어 있어 유독성 가스 또는 부식성 가스가 외부로 노출되었다.
본 발명은 종래의 이와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로써, 그 구조의 개선으로 핑거가 가스켓을 직접 파지하여 커넥터 홀더에 삽입하거나, 사용하고 난 폐 가스켓을 꺼냄에 따라 커넥터 홀더의 내부에서 가스켓의 유무를 접촉식으로 확인할 수 있도록 하는 데 그 목적이 있다.
본 발명의 다른 목적은 사용하고 난 폐 가스켓을 핑거가 파지하여 꺼내 밀폐구조를 갖는 폐기함 내부로 회수할 수 있도록 하는 데 있다.
본 발명의 또 다른 목적은 커넥터 홀더의 입구를 폐쇄하는 플러그를 구비하여 장비의 가동을 일시적으로 중단할 경우에 플러그로 커넥터 홀더의 입구를 폐쇄함에 따라 유독성 가스 또는 부식성 가스가 외부로 노출되는 현상을 근본적으로 해소할 수 있도록 하는 데 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 형태에 따르면, 커넥터 홀더의 일측에 위치되게 메인플레이트에 고정 설치된 수직플레이트와, 상기 수직플레이트에 축을 중심으로 회동 가능하게 설치된 가동부재와, 상기 수직플레이트에 고정된 브라켓에 설치되어 로드가 가동부재에 힌지 결합되어 축을 중심으로 가동부재를 회동시키는 제1 액츄에이터와, 상기 메인플레이트에 고정 설치되어 수직플레이트가 가이드레일을 따라 수평 이동되도록 하는 제2 액츄에이터와, 상기 가동부재에 설치되어 복수 개의 가스켓을 수용하고 있다가 커넥터 홀더와 접속된 상태에서 선단에 위치하는 1개의 가스켓이 커넥터 홀더에 삽입되도록 하는 가스켓 삽입 카트리지와, 상기 가스켓 삽입 카트리지의 일측에 위치되게 가동부재에 설치되어 커넥터 홀더에 삽입되어 있던 폐 가스켓을 파지하여 회수하거나, 가스켓의 삽입유무를 접촉식으로 확인하는 파지수단과, 상기 가동부재의 일측에 위치되게 설치되어 파지수단에 파지된 폐 가스켓을 회수하여 기밀이 유지되게 보관하는 폐 가스켓 수거부를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 가스공급장비의 가스켓 자동교체장치가 제공된다.
본 발명은 종래에 비하여 다음과 같은 여러 가지 장점을 갖는다.
첫째, 한 쌍의 핑거가 가스켓을 직접 파지하여 커넥터 홀더에 삽입하거나, 사용하고 난 폐 가스켓을 꺼냄에 따라 커넥터 홀더의 내부에서 가스켓의 유무를 접촉식으로 확인할 수 있어 가스켓이 투명 또는 반투명의 소재인 경우에도 가스켓의 삽입 유무를 정확히 식별할 수 있게 된다.
둘째, 한 쌍의 핑거에 의해 제거된 폐 가스켓을 폐기함의 내부에 밀폐되게 수거하여 보관하였다가 폐기 처리함에 따라로 폐 가스켓으로부터 흄 또는 부식성가스의 발생을 근본적으로 해소할 수 있게 된다.
셋째, 커넥터 홀더의 입구를 폐쇄하는 플러그가 구비되어 있어 장비의 가동을 일시적으로 중단할 경우에 플러그로 커넥터 홀더의 입구를 폐쇄함에 따라 유독성 가스 또는 부식성 가스가 외부로 노출되는 현상을 근본적으로 해소할 수 있게 된다.
도 1은 종래의 기술에 의한 반도체 장비의 가스 공급장치를 개략적으로 나타낸 사시도
도 2는 종래의 장치를 나타낸 사시도
도 3은 종래 장치의 요부를 나타낸 저면 사시도
도 4는 종래 장치의 가스켓 제거 카트리지의 사시도 및 종단면도
도 5는 종래 장치의 가스켓 삽입 카트리지의 사시도 및 종단면도
도 6은 본 발명의 장치가 설치된 상태를 나타낸 사시도
도 7은 본 발명의 요부를 나타낸 사시도
도 8은 도 7의 우측면도
도 9는 본 발명의 가동부재를 나타낸 사시도
도 10은 본 발명의 커넥터 홀더에서 폐 가스켓을 제거하거나, 가스켓의 삽입유무를 확인하는 상태를 단면으로 나타낸 사시도
도 11은 본 발명의 가스켓 삽입 카트리지에 수용된 가스켓을 커넥터 홀더에 삽입하는 상태를 단면으로 나타낸 사시도
도 12는 본 발명의 폐 가스켓 수거부에 폐 가스켓이 수거된 상태를 나타낸 종단면도
도 13a 및 도 13b는 본 발명의 장치에서 플러그로 커넥터 홀더를 폐쇄하는 상태를 단면으로 나타낸 사시도
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시 예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시 예에 한정되지 않는다. 도면들은 개략적이고 축적에 맞게 도시되지 않았다는 것을 일러둔다. 도면에 있는 부분들의 상대적인 치수 및 비율은 도면에서의 명확성 및 편의를 위해 그 크기에 있어 과장되거나 감소되어 도시되었으며 임의의 치수는 단지 예시적인 것이지 한정적인 것은 아니다. 그리고 둘 이상의 도면에 나타나는 동일한 구조물, 요소 또는 부품에는 동일한 참조 부호가 유사한 특징을 나타내기 위해 사용된다.
도 7은 본 발명의 요부를 나타낸 사시도이고 도 8은 도 7의 우측면도이며 도 9는 본 발명의 가동부재를 나타낸 사시도로써, 본 발명은 커넥터 홀더(101)의 일측에 위치되게 메인플레이트(100)에 고정 설치된 수직플레이트(110)와, 상기 수직플레이트(110)에 축(111)을 중심으로 회동 가능하게 설치된 가동부재(120)와, 상기 수직플레이트(110)에 고정된 브라켓(131)에 설치되어 로드(132)가 가동부재(120)에 힌지 결합되어 축(111)을 중심으로 가동부재(120)를 회동시키는 제1 액츄에이터(130)와, 상기 메인플레이트(100)에 고정 설치되어 수직플레이트(110)가 가이드레일(112)을 따라 수평 이동되도록 하는 제2 액츄에이터(140)와, 상기 가동부재(120)에 설치되어 복수 개의 가스켓(180)을 수용하고 있다가 커넥터 홀더(101)와 접속된 상태에서 선단에 위치하는 1개의 가스켓이 커넥터 홀더(101)에 삽입되도록 하는 가스켓 삽입 카트리지(150)와, 상기 가스켓 삽입 카트리지(150)의 일측에 위치되게 가동부재(120)에 설치되어 커넥터 홀더(101)에 삽입되어 있던 폐 가스켓(180a)을 파지하여 회수하거나, 가스켓(180)의 삽입유무를 접촉식으로 확인하는 파지수단(160)과, 상기 가동부재(120)의 일측에 위치되게 설치되어 파지수단(160)에 파지된 폐 가스켓(180a)을 회수하여 기밀이 유지되게 보관하는 폐 가스켓 수거부(170)를 포함하여 구성된 것을 특징으로 한다.
상기 파지수단(160)을 본 발명의 일 실시 예에서는 도 9에 나타낸 바와 같이, 상기 가동부재(120)에 고정된 에어실린더(161)와, 상기 에어실린더(161)에 의해 동시에 벌어지거나, 오므러드는 한 쌍의 핑거(162)와, 상기 핑거(162)에 각각 고정된 검지편(163a)(163b)과, 상기 가동부재(120)에 고정 설치되어 한 쌍의 핑거(162)가 동시에 벌어지거나, 오므러들 때 검지편(163a)(163b)을 검출하여 제어부(도시는 생략함)에 알리는 센서(164a)(164b)로 구성되어 있다.
본 발명에서 파지수단(160)은 한 쌍의 핑거(162)가 커넥터 홀더(101)에서 사용하고 난 폐 가스켓(180a)을 파지하여 제거하거나, 새로운 가스켓(180)이 커넥터 홀더(101)에 삽입되었는지의 유무를 접촉식으로 판단하여 이를 제어부에 알리는 역할을 하는 것이다.
또한, 가동부재(120)에 설치되어 새로운 가스켓(180)을 커넥터 홀더(101)에 공급하는 상기 가스켓 삽입 카트리지(150)는, 원통형으로 형성되어 사용하지 않은 복수 개의 가스켓(180)을 수용하는 슬리브(151)와, 상기 슬리브(151) 내에 설치되어 에어 압력에 의해 커넥터 홀더 측으로 이동하는 피스톤(152)과, 상기 슬리브(151)의 출구 내주면에 형성되어 가스켓(180)의 이동을 제한하는 돌출 턱(153)으로 구성되어 있다.
이때, 상기 피스톤(152)에 자석(154)이 고정되어 있고 상기 가동부재(120)에는 슬리브(151)의 선단에 인접하게 가스켓 소진검출센서(155)가 고정되어 있어 상기 가스켓 소진검출센서(155)가 자석(154)을 검출함에 따라 이를 제어부에 알려 작업자가 가스켓이 채워진 가스켓 삽입 카트리지(150)로 교체하도록 되어 있다.
상기 폐 가스켓 수거부(170)는, 하우징(171)과, 상기 하우징(171)에 착탈 가능하게 설치되며 폐 가스켓(180a)이 통과되는 입구(172a)를 갖는 폐기함(172)과, 상기 하우징(171)의 상부에 회동 가능하게 설치되어 입구(172a)를 개폐하며 저면에 기밀을 유지하는 패킹(174)이 고정된 도어(173)와, 상기 하우징(171)에 진퇴 가능하게 설치되어 도어(173)를 개폐하는 도어개폐수단(190)을 포함하여 구성되어 있다.
상기 도어개폐수단(190)은, 설치판(191)의 양측으로 돌출된 가이드봉(192)이 끼워지는 장공(193a)이 형성되어 가동부재(120)에 의해 눌리는 가동편(193)과, 상기 가동편(193)의 양단에 핀(194)으로 결합되어 가동편(193)의 이동에 따라 축(195)을 중심으로 회동운동하는 링크(196)와, 상기 링크(196)의 상, 하부를 지지하는 상, 하부 축(197a)(197b)과, 상기 하우징(171)과 링크(196) 사이에 양단이 고정되어 가동편(193)에 외력이 가해지지 않을 때 링크(196)를 초기위치로 환원시키는 리턴스프링(198)으로 구성되어 있다.
한편, 본 발명은 상기 가동부재(120)에 플러그(121)가 더 설치되어 있고 상기 수직플레이트(110)에는 로드(122a)가 플러그(121)에 고정되도록 제3 액츄에이터(122)가 설치되어 있어 상기 제3 액츄에이터(122)가 플러그(121)를 커넥터 홀더(101) 측으로 이동시켜 고압가스장비의 가동을 일시적으로 중단할 때 커넥터 홀더(101)의 입구를 플러그(121)가 폐쇄하도록 되어 있다.
이때, 상기 가동부재(120)에 플러그(121)가 수용되는 보스(123)를 더 구비하면 플러그(121)가 보스(123)의 내부에 수용되어 있어 가스켓(180)을 커넥터 홀더(101)에 집어넣거나, 꺼낼 때 플러그(121)에 의한 간섭을 방지하는 효과를 기대할 수 있는 장점을 갖는다.
본 발명의 작용에 대하여 설명하면 다음과 같다.
먼저, 고압가스통 내의 가스를 커넥터 홀더(101)를 통해 가스라인으로 공급하였음을 제어부가 검출하고 나면 새로운 고압가스통으로 교체하여야 되는데, 고압가스통의 교체시 상기 커넥터 홀더(101)에 삽입되었던 가스켓(80a)은 가스분사노즐 및 커넥터 홀더(101)의 돌출 띠(도시는 생략함)에 의해 변형되어 양면에 요입 홈 및 함몰띠가 형성되어 있어 기밀을 유지하지 못하므로 새로운 가스켓(80)으로 교체하여야 된다.
즉, 커넥터 홀더(101)에서 고압가스통을 분리하고 난 상태에서는 제1 액츄에이터(33)가 작동하지 않아 파지수단(160)이 커넥터 홀더(101)와 동일 수평선상에 위치하고 있고, 파지수단(160)의 핑거(162)는 상호 벌어진 상태를 유지하고 있다.
이러한 상태에서 커넥터 홀더(101)에서 사용하고 난 폐 가스켓(180a)을 제거하기 위해 제2 액츄에이터(140)가 구동하여 수직플레이트(110)를 커넥터 홀더(101) 측으로 이동시키면 도 10과 같이 한 쌍의 핑거(162)가 폐 가스켓(180a)의 외측에 위치하게 된다.
상기한 바와 같이 한 쌍의 핑거(162)가 폐 가스켓(180a)의 외측에 위치된 상태에서 에어실린더(161)에 공기압이 작용하면 한 쌍의 핑거(162)가 동시에 내측으로 이동하여 폐 가스켓(180a)을 파지하게 되는 데, 한 쌍의 핑거(162)가 폐 가스켓(180a)을 파지함은 핑거(162)에 고정된 검지편(163b)을 센서(164b)가 검출함에 따라 제어부가 이를 알 수 있게 된다.
상기 한 쌍의 핑거(162)가 동시에 내측으로 이동하여 폐 가스켓(180a)을 파지하고 나면 제2 액츄에이터(140)의 재구동으로 한 쌍의 핑거(162)에 파지된 폐 가스켓(180a)이 커넥터 홀더(101)에서 빠져나오게 되므로 커넥터 홀더(101)로부터 폐 가스켓(180a)의 제거가 완료된다.
상기한 바와 같이 폐 가스켓(180a)이 제거되고 나면 폐 가스켓(180a)에 뭍은 흄 또는 부식성 가스 등에 의한 오염을 방지하도록 신속하게 폐기함(172)의 내부로 회수하여야 되지만, 필요에 따라서는 새로운 가스켓(180)을 커넥터 홀더(101)의 내부에 삽입한 후 폐 가스켓(180a)를 폐기함(172)의 내부로 회수할 수도 있으므로 이에 한정할 필요는 없다.
상기한 동작으로 커넥터 홀더(101)로부터 폐 가스켓(180a)을 제거하고 나면 제1 액츄에이터(130)가 구동하여 로드(132)에 힌지 결합된 가동부재(120)를 2단 하강시키게 되므로 플러그(121)가 커넥터 홀더(101)와 동일 수평선상에 위치하게 된다.
이러한 상태에서 제2 액츄에이터(140)의 재구동으로 수직플레이트(110)를 커넥터 홀더(101) 측으로 이동시키면 도어개폐수단(190)의 가동편(193)이 가동부재(120)에 의해 눌리게 되고, 이에 따라 링크(196)가 리턴스프링(198)을 인장시키면서 축(195)을 중심으로 회동하게 되므로 도어(173)가 폐기함(172)의 입구(172a)를 개방하게 된다.
상기 도어(173)가 폐기함(172)의 입구(172a)를 개방함에 따라 파지수단(160)의 핑거(162)에 파지되어 있던 폐 가스켓(180a)은 에어실린더(161)의 재구동으로 파지상태가 해제되므로 자중에 의해 폐기함(172)의 입구(172a)를 통해 도 12와 같이 폐기함(172)의 내부로 회수된다.
상기한 바와 같이 파지수단(160)의 핑거(162)에 파지되어 있던 폐 가스켓(180a)을 폐기함(172)의 내부로 회수하고 나면 제2 액츄에이터(140)가 구동하여 가동부재(120)를 초기위치로 환원시킴과 동시에 제1 액츄에이터(130)가 구동하여 로드(132)에 힌지 결합된 가동부재(120)를 1단 하강 지점에 위치시키게 되므로 가스켓 삽입 카트리지(150)가 커넥터 홀더(101)와 동일 수평선상에 위치하게 된다.
이러한 상태에서 제2 액츄에이터(140)의 재구동으로 수직플레이트(110)를 커넥터 홀더(101) 측으로 이동시켜 도 11과 같이 슬리브(151)의 선단이 커넥터 홀더(101)와 접속되도록 하면 슬리브(151)의 선단에 경사면(156)이 형성되어 있어 슬리브(151)와 커넥터 홀더(101)의 얼라인이 정확히 이루어지게 된다.
그 후, 가스켓 삽입 카트리지(150)에 에어가 공급되면 피스톤(152)이 커넥터 홀더(101) 측으로 이동하게 되므로 최선단에 위치하고 있던 새로운 가스켓(180)을 커넥터 홀더(101)의 내부로 삽입하는데, 이때 상기 커넥터 홀더(101)의 입구에는 걸림돌기(101a)가 형성되어 있어 가스켓 삽입 카트리지(150)가 초기 위치로 환원되더라도 커넥터 홀더(101)에 삽입된 가스켓(180)이 이탈되지 않는다.
상기한 바와 같이 커넥터 홀더(101)에 새로운 가스켓(180)을 삽입하고 나면 제2 액츄에이터(140)가 구동하여 가동부재(120)를 초기위치로 환원시키고 제1 액츄에이터(130)가 구동하여 파지수단(160)도 초기위치로 환원시키게 되므로 파지수단(160)이 커넥터 홀더(101)와 수평선상에 위치된다.
이와 같은 동작으로 커넥터 홀더(101)에 새로운 가스켓(180)을 삽입하고 나면 커넥터 홀더(101)에 고압가스통의 밸브 연결구를 연결하기 전에 커넥터 홀더(101)에 가스켓(180)이 삽입되었는지 또는 가스켓(180)이 정상적으로 삽입되어 있는지를 재확인하여야 된다.
이를 위해, 제2 액츄에이터(140)의 구동으로 가동부재(120)를 커넥터 홀더(101) 측으로 이동시킨 상태에서 핑거(162)에 고정된 검지편(163a)(163b)에 의해 커넥터 홀더(101)의 내부에 가스켓(180)이 있는지의 여부를 판단하게 된다.
즉, 파지수단(160)의 핑거(162)가 커넥터 홀더(101)의 내부에 삽입된 상태에서 에어실린더(161)의 구동으로 한 쌍의 핑거(162)가 동시에 오므러들어 센서(164b)가 검지편(163b)을 검출하면 커넥터 홀더(101)에 가스켓(180)이 삽입되었음을 제어부가 판단하게 되고, 에어실린더(161)의 구동으로 한 쌍의 핑거(162)가 동시에 오므러들어 다른 센서(164a)가 검지편(163a)을 검출하면 커넥터 홀더(101)에 가스켓(180)이 없음을 제어부가 판단하여 에러를 발생시키게 되므로 작업자가 적절한 조치를 취할 수 있게 된다.
따라서 커넥터 홀더(101)에 가스켓(180)이 정상적으로 위치되어 있음이 판단되면 제2 액츄에이터(140)의 구동으로 가동부재(120)가 원위치로 환원됨과 동시에 커넥터 홀더(101)를 고압가스통의 밸브 연결구에 연결함과 동시에 밸브(도시는 생략함)를 개방하여 가스공급라인으로 가스를 공급하게 된다.
그러나 고압가스통을 제거한 다음 고압가스장비의 가동을 일시적으로 중단할 경우에는 커넥터 홀더(101)를 통해 잔류하는 유독성 가스 또는 부식성 가스가 외부로 노출되지 않도록 플러그(121)로 커넥터 홀더(101)의 입구를 폐쇄하게 된다.
즉, 제2 액츄에이터(140)의 구동으로 가동부재(120)를 원위치시킨 다음 제1 액츄에이터(130)가 2단 구동하면 가동부재(120)가 하강하여 보스(123)에 수용된 플러그(121)가 도 13a와 같이 커넥터 홀더(101)와 수평선상에 위치된다.
이러한 상태에서 제3 액츄에이터(122)가 구동하여 플러그(121)를 커넥터 홀더(101) 측으로 가압하면서 커넥터 홀더(101)를 회전시킴에 따라 플러그(121)가 도 13b와 같이 커넥터 홀더(101)에 나사 결합되어 커넥터 홀더(101)의 입구를 폐쇄하게 되므로 커넥터 홀더(101)를 통해 잔류하는 유독성 가스 또는 부식성 가스가 외부로 노출되는 현상을 근본적으로 해소할 수 있게 되는 것이다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다.
그러므로 이상에서 기술한 실시 예는 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로서 이해되어야 하고, 상기 상세한 설명에서 기술된 본 발명의 범위는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
100 : 메인플레이트 101 : 커넥터 홀더
110 : 수직플레이트 120 : 가동부재
121 : 플러그 122 : 제3 액츄에이터
123 : 보스 130 : 제1 액츄에이터
140 : 제2 액츄에이터 150 : 가스켓 삽입 카트리지
151 : 슬리브 152 : 피스톤
153 : 돌출턱 154 : 자석
155 : 가스켓 소진검출센서 160 : 파지수단
161 : 에어실린더 162 : 핑거
163a, 163b : 검지편 170 : 폐 가스켓 수거부
171 : 하우징 172 : 폐기함
173 : 도어 174 : 패킹
180 : 가스켓 190 : 도어개폐수단
193 : 가동편 196 : 링크

Claims (8)

  1. 커넥터 홀더(101)의 일측에 위치되게 메인플레이트(100)에 고정 설치된 수직플레이트(110)와, 상기 수직플레이트(110)에 축(111)을 중심으로 회동 가능하게 설치된 가동부재(120)와, 상기 수직플레이트(110)에 고정된 브라켓(131)에 설치되어 로드(132)가 가동부재(120)에 힌지 결합되어 축(111)을 중심으로 가동부재(120)를 회동시키는 제1 액츄에이터(130)와, 상기 메인플레이트(100)에 고정 설치되어 수직플레이트(110)가 가이드레일(112)을 따라 수평 이동되도록 하는 제2 액츄에이터(140)와, 상기 가동부재(120)에 설치되어 복수 개의 가스켓(180)을 수용하고 있다가 커넥터 홀더(101)와 접속된 상태에서 선단에 위치하는 1개의 가스켓이 커넥터 홀더(101)에 삽입되도록 하는 가스켓 삽입 카트리지(150)와, 상기 가스켓 삽입 카트리지(150)의 일측에 위치되게 가동부재(120)에 설치되어 커넥터 홀더(101)에 삽입되어 있던 폐 가스켓(180a)을 파지하여 회수하거나, 가스켓(180)의 삽입유무를 접촉식으로 확인하는 파지수단(160)과, 상기 가동부재(120)의 일측에 위치되게 설치되어 파지수단(160)에 파지된 폐 가스켓(180a)을 회수하여 기밀이 유지되게 보관하는 폐 가스켓 수거부(170)를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 가스공급장비의 가스켓 자동교체장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 파지수단(160)은,
    상기 가동부재(120)에 고정된 에어실린더(161)와,
    상기 에어실린더(161)에 의해 동시에 벌어지거나, 오므러드는 한 쌍의 핑거(162)와,
    상기 핑거(162)에 각각 고정된 검지편(163a)(163b)과,
    상기 가동부재(120)에 고정 설치되어 한 쌍의 핑거(162)가 동시에 벌어지거나, 오므러들 때 검지편(163a)(163b)을 검출하여 제어부에 알리는 센서(164a)(164b)로 구성된 것을 특징으로 하는 가스공급장비의 가스켓 자동교체장치.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 가스켓 삽입 카트리지(150)는,
    원통형으로 형성되어 사용하지 않은 복수 개의 가스켓(180)을 수용하는 슬리브(151)와,
    상기 슬리브(151) 내에 설치되어 에어 압력에 의해 커넥터 홀더 측으로 이동하는 피스톤(152)과,
    상기 슬리브(151)의 출구 내주면에 형성되어 가스켓(180)의 이동을 제한하는 돌출 턱(153)으로 구성된 것을 특징으로 하는 가스공급장비의 가스켓 자동교체장치.
  4. 청구항 3에 있어서,
    상기 피스톤(152)에 자석(154)을 고정하고 상기 가동부재(120)에는 슬리브(151)의 선단에 인접하게 가스켓 소진검출센서(155)를 고정하여 상기 가스켓 소진검출센서(155)가 자석(154)을 검출함에 따라 이를 제어부에 알리는 것을 특징으로 하는 가스공급장비의 가스켓 자동교체장치.
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 가동부재(120)에 플러그(121)를 설치하고 상기 수직플레이트(110)에는 로드(122a)가 플러그(121)에 고정되도록 제3 액츄에이터(122)를 설치하여 상기 제3 액츄에이터(122)가 플러그(121)를 커넥터 홀더(101) 측으로 이동시키는 것을 특징으로 하는 가스공급장비의 가스켓 자동교체장치.
  6. 청구항 5에 있어서,
    상기 가동부재(120)에 플러그(121)가 수용되는 보스(123)가 더 구비된 것을 특징으로 하는 가스공급장비의 가스켓 자동교체장치.
  7. 청구항 1에 있어서,
    상기 폐 가스켓 수거부(170)는,
    하우징(171)과,
    상기 하우징(171)에 착탈 가능하게 설치되며 폐 가스켓(180a)이 통과되는 입구(172a)를 갖는 폐기함(172)과,
    상기 하우징(171)의 상부에 회동 가능하게 설치되어 입구(172a)를 개폐하며 저면에 기밀을 유지하는 패킹(174)이 고정된 도어(173)와,
    상기 하우징(171)에 진퇴 가능하게 설치되어 도어(173)를 개폐하는 도어개폐수단(190)을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 가스공급장비의 가스켓 자동교체장치.
  8. 청구항 7에 있어서,
    상기 도어개폐수단(190)은,
    설치판(191)의 양측으로 돌출된 가이드봉(192)이 끼워지는 장공(193a)이 형성되어 가동부재(120)에 의해 눌리는 가동편(193)과,
    상기 가동편(193)의 양단에 핀(194)으로 결합되어 가동편(193)의 이동에 따라 축(185)을 중심으로 회동운동하는 링크(196)와,
    상기 링크(196)의 상, 하부를 지지하는 상, 하부 축(197a)(197b)과,
    상기 하우징(171)과 링크(196) 사이에 양단이 고정되어 가동편(193)에 외력이 가해지지 않을 때 링크(196)를 초기위치로 환원시키는 리턴스프링(198)으로 구성된 것을 특징으로 하는 가스공급장비의 가스켓 자동교체장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2005060065A (ja) * 2003-08-18 2005-03-10 Air Water Inc 容器回収ボックスおよび容器回収方法
KR102040713B1 (ko) * 2017-10-11 2019-11-27 에이엠티 주식회사 고압가스통 자동교체시스템 및 그 방법
KR102345573B1 (ko) * 2020-06-05 2021-12-31 주식회사 원익홀딩스 가스실린더의 가스자동공급시스템 및 제어방법

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005060065A (ja) * 2003-08-18 2005-03-10 Air Water Inc 容器回収ボックスおよび容器回収方法
KR102040713B1 (ko) * 2017-10-11 2019-11-27 에이엠티 주식회사 고압가스통 자동교체시스템 및 그 방법
KR102345573B1 (ko) * 2020-06-05 2021-12-31 주식회사 원익홀딩스 가스실린더의 가스자동공급시스템 및 제어방법

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