KR20230135994A - Method for examining object using x-ray detector - Google Patents

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KR20230135994A KR1020220033653A KR20220033653A KR20230135994A KR 20230135994 A KR20230135994 A KR 20230135994A KR 1020220033653 A KR1020220033653 A KR 1020220033653A KR 20220033653 A KR20220033653 A KR 20220033653A KR 20230135994 A KR20230135994 A KR 20230135994A
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Abstract

엑스레이 검출을 통한 검사를 수행하기 위한 대상인 객체를 일 방향으로 연속된 복수의 영역으로 구분하는 단계; 상기 복수의 영역 중 서로 인접하지 않은 영역 각각에 대해 엑스레이 검출 장치를 이용하여 엑스레이 검출을 수행하는 단계; 및 상기 수행하는 단계에서 엑스레이 검출이 이루어지지 않은 나머지 영역에 각각에 대해 상기 엑스레이 검출 장치를 이용하여 엑스레이 검출을 수행하는 단계를 포함하는 엑스레이 검출 장치를 이용한 객체 검사 방법이 개시된다. 상기 엑스레이 검출 장치는, 각각 스위칭 트랜지스터와 광검출 소자를 가지며 행렬 구조로 배열된 복수의 화소부를 포함하는 화소 어레이- 상기 행렬 구조의 행 방향은 상기 복수의 영역이 배열된 방향에 대응됨-; 상기 광검출 소자에서 출력되는 검출 신호를 입력 받는 하나 이상의 리드아웃 IC를 포함하며, 상기 화소부의 행 방향으로 상기 화소 어레이의 양측에 각각 배치되는 제1 리드아웃 구동부 및 제2 리드아웃 구동부; 및 상기 스위칭 트랜지스터를 작동시키는 게이트 신호를 출력하는 하나 이상의 게이트 구동 IC를 포함하며 상기 화소부의 열 방향으로 상기 화소 어레이의 외측에 배치되는 게이트 구동부를 포함한다.Dividing an object that is a target for inspection through X-ray detection into a plurality of continuous areas in one direction; Performing X-ray detection using an X-ray detection device for each region that is not adjacent to each other among the plurality of regions; and performing X-ray detection using the X-ray detection device for each of the remaining areas where X-ray detection was not performed in the performing step. The X-ray detection device includes a pixel array, each of which has a switching transistor and a photodetection element, and includes a plurality of pixel units arranged in a matrix structure - the row direction of the matrix structure corresponds to the direction in which the plurality of regions are arranged; a first readout driver and a second readout driver including at least one readout IC that receives a detection signal output from the photodetector, and disposed on both sides of the pixel array in a row direction of the pixel unit; and a gate driver that includes at least one gate driver IC that outputs a gate signal that operates the switching transistor and is disposed outside the pixel array in the column direction of the pixel portion.

Description

엑스레이 검출 장치를 이용한 객체 검사 방법{METHOD FOR EXAMINING OBJECT USING X-RAY DETECTOR}Object inspection method using an X-ray detection device {METHOD FOR EXAMINING OBJECT USING X-RAY DETECTOR}

본 발명은 엑스레이 검출 장치를 이용한 객체 검사 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 복수의 화소에 대응되는 광검출 소자 및 스위칭 트랜지스터를 구비하는 플랫 패널(flat panel) 구조의 디지털 엑스레이 검출 장치를 이용한 객체 검사 방법에 관한 것이다.The present invention relates to an object inspection method using an X-ray detection device, and more specifically, to an object inspection method using a digital It's about method.

엑스레이(X-ray; 방사선)는 투과성을 갖는 전자기파이다. 이러한 엑스레이의 투과량은 객체(object) 내부의 밀도에 대응한다. 이에, 엑스레이 영상은 의료, 보안 및 산업 등의 분야에서 널리 이용되고 있다. 특히, 엑스레이 영상은 의료 분야에서 진단의 기본 도구로 빈번하게 사용되고 있을 뿐만 아니라 제조물의 외관이나 내부에 발생한 물리적 흠결이나 이물을 검출하는 제조물의 검사 분야에서도 널리 적용되고 있다.X-ray (radiation) is an electromagnetic wave that has transparency. The transmission amount of these X-rays corresponds to the density inside the object. Accordingly, X-ray images are widely used in fields such as medicine, security, and industry. In particular, X-ray images are not only frequently used as a basic tool for diagnosis in the medical field, but are also widely applied in the field of product inspection to detect physical defects or foreign substances occurring on the exterior or interior of the product.

기존의 엑스레이 영상은 감광성 재료로 이루어진 필름을 마련하고, 객체를 투과한 엑스레이에 필름을 노출시킨 후, 필름의 영상을 인화지에 전사하는 과정으로 제공되었다. 이 경우, 인화과정으로 인해 영상정보의 실시간 제공이 불가능한 문제점 및 필름의 장시간 보관 및 보존이 불가능함에 의해 영상정보가 용이하게 손실되는 문제점이 있다.Existing X-ray images were provided through the process of preparing a film made of photosensitive material, exposing the film to X-rays that passed through the object, and then transferring the image from the film to photographic paper. In this case, there is a problem that image information cannot be provided in real time due to the printing process, and image information is easily lost due to the inability to store and preserve the film for a long time.

최근에는 영상처리 기술 및 반도체 기술의 발달로 인해, 필름을 대체할 수 있는 플랫 패널(flat panel) 구조의 디지털 엑스레이 검출장치가 제시되었다.Recently, due to the development of image processing technology and semiconductor technology, a digital X-ray detection device with a flat panel structure that can replace film has been proposed.

일반적인 디지털 엑스레이 검출 장치는, 객체를 투과한 엑스레이를 광으로 변환하고 변환된 광을 검출하기 위한 평판 형태로 이루어진 어레이 패널을 포함한다. 어레이 패널은 주로 행렬 형태로 배치된 복수의 화소부를 포함하고, 각 화소부에는 그에 대응되는 광검출 소자와 스위칭 트랜지스터가 각각 포함된다.A typical digital X-ray detection device includes an array panel in the form of a flat plate for converting X-rays passing through an object into light and detecting the converted light. The array panel mainly includes a plurality of pixel units arranged in a matrix form, and each pixel unit includes a corresponding photodetector element and a switching transistor.

종래의 디지털 엑스레이 검출 장치는, 화소부의 광검출 소자에서 출력된 검출 신호를 읽어 들이는 리드아웃 IC를 어레이 패널의 일측에만 설치하였다. 예를 들어, 화소부가 배치된 행렬 구조의 행 단위로 검출 신호를 읽어 들이도록 행의 일측에 리드아웃 IC가 배치되는 경우, 리드아웃 IC는 행렬 구조의 전체 행에 대한 검출 신호를 입력 받아야 하므로 판독 속도가 느려 엑스레이 검출 영상의 프레임 레이트(frame rate)가 저하되는 문제가 발생하였다. 또한, 검출 신호의 전달을 위해 화소부와 리드아웃 IC 사이를 연결하도록 마련되는 리드아웃 라인의 길이가 길어져 라인 커패시턴스 증가로 인한 노이즈가 발생함으로써 엑스레이 검출 성능을 저하시키는 문제가 발생하였다.In a conventional digital X-ray detection device, a readout IC that reads the detection signal output from the photodetection element of the pixel unit is installed only on one side of the array panel. For example, when a readout IC is placed on one side of a row to read detection signals in row units of a matrix structure where pixel units are arranged, the readout IC must receive detection signals for all rows of the matrix structure, so read Due to the slow speed, a problem occurred in which the frame rate of the X-ray detection image was lowered. In addition, the length of the read-out line provided to connect the pixel unit and the read-out IC to transmit the detection signal has become longer, causing noise due to an increase in line capacitance, thereby degrading X-ray detection performance.

상기의 배경기술로서 설명된 사항들은 본 발명의 배경에 대한 이해 증진을 위한 것일 뿐, 이 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 이미 알려진 종래기술에 해당함을 인정하는 것으로 받아들여져서는 안 될 것이다.The matters described as background technology above are only for the purpose of improving understanding of the background of the present invention, and should not be taken as acknowledgment that they correspond to prior art already known to those skilled in the art.

한국등록특허 제10-2361454호Korean Patent No. 10-2361454 한국등록특허 제10-1782429호Korean Patent No. 10-1782429

이에 본 발명은, 엑스레이 검출의 속도를 향상시키고 엑스레이 검출 신호에 발생하는 노이즈를 저감시킬 수 있는 엑스레이 검출 장치를 이용한 객체 검사 방법을 제공하는 것을 해결하고자 하는 기술적 과제로 한다.Accordingly, the present invention aims to solve a technical problem of providing an object inspection method using an X-ray detection device that can improve the speed of X-ray detection and reduce noise generated in the X-ray detection signal.

상기 기술적 과제를 해결하기 위한 수단으로서 본 발명은,As a means to solve the above technical problem, the present invention,

엑스레이 검출을 통한 검사를 수행하기 위한 대상인 객체를 일 방향으로 연속된 복수의 영역으로 구분하는 단계;Dividing an object that is a target for inspection through X-ray detection into a plurality of continuous areas in one direction;

상기 복수의 영역 중 서로 인접하지 않은 영역 각각에 대해 엑스레이 검출 장치를 이용하여 엑스레이 검출을 수행하는 단계; 및Performing X-ray detection using an X-ray detection device for each region that is not adjacent to each other among the plurality of regions; and

상기 수행하는 단계에서 엑스레이 검출이 이루어지지 않은 나머지 영역에 각각에 대해 상기 엑스레이 검출 장치를 이용하여 엑스레이 검출을 수행하는 단계를 포함하며,It includes performing X-ray detection using the X-ray detection device for each remaining area where X-ray detection was not performed in the performing step,

상기 엑스레이 검출 장치는,The X-ray detection device,

각각 스위칭 트랜지스터와 광검출 소자를 가지며 행렬 구조로 배열된 복수의 화소부를 포함하는 화소 어레이- 상기 행렬 구조의 행 방향은 상기 복수의 영역이 배열된 방향에 대응됨-; 상기 광검출 소자에서 출력되는 검출 신호를 입력 받는 하나 이상의 리드아웃 IC를 포함하며, 상기 화소부의 행 방향으로 상기 화소 어레이의 양측에 각각 배치되는 제1 리드아웃 구동부 및 제2 리드아웃 구동부; 및 상기 스위칭 트랜지스터를 작동시키는 게이트 신호를 출력하는 하나 이상의 게이트 구동 IC를 포함하며 상기 화소부의 열 방향으로 상기 화소 어레이의 외측에 배치되는 게이트 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 엑스레이 검출 장치를 이용한 객체 검사 방법을 제공한다.a pixel array including a plurality of pixel units each having a switching transistor and a photodetector and arranged in a matrix structure, wherein the row direction of the matrix structure corresponds to the direction in which the plurality of regions are arranged; a first readout driver and a second readout driver including at least one readout IC that receives a detection signal output from the photodetector, and disposed on both sides of the pixel array in a row direction of the pixel unit; and an object inspection using an Provides a method.

본 발명의 일 실시예에서, 상기 행렬 구조는 열의 개수와 행의 개수의 비율이 1:2 이상일 수 있다.In one embodiment of the present invention, the matrix structure may have a ratio of the number of columns to the number of rows of 1:2 or more.

본 발명의 일 실시예에서, 상기 제1 리드아웃 구동부 및 상기 제2 리드아웃 구동부는 각각 상대적으로 가까이 배치된 n(n은 자연수) 개의 행에 포함된 복수의 화소부와 상기 검출 신호를 입력 받기 위한 리드아웃 라인이 각각 연결될 수 있다.In one embodiment of the present invention, the first readout driver and the second readout driver each receive input of the detection signal and a plurality of pixel units included in n (n is a natural number) rows arranged relatively close to each other. Lead-out lines for each can be connected.

본 발명의 일 실시예에서, 상기 게이트 구동부는, 상기 제1 리드아웃 구동부에 연결된 화소부의 스위칭 트랜지스터와 상기 제2 리드아웃 구동부에 연결된 화소부의 스위칭 트랜지스터를 동시에 작동시킬 수 있다.In one embodiment of the present invention, the gate driver may simultaneously operate the switching transistor of the pixel unit connected to the first readout driver and the switching transistor of the pixel unit connected to the second readout driver.

본 발명의 일 실시예에서, 상기 게이트 구동부는, 상기 제1 리드아웃 구동부 및 상기 제2 리드아웃 구동부에 연결된 화소부 중 행 방향으로 중심부에 가까운 행에 포함된 화소부의 스위칭 트랜지스터부터 행 단위로 순차적으로 대칭되게 스위칭 트랜지스터를 작동시킬 수 있다.In one embodiment of the present invention, the gate driver sequentially row-by-row starting from the switching transistor of the pixel unit included in the row closest to the center in the row direction among the pixel units connected to the first readout driver and the second readout driver. The switching transistor can be operated symmetrically.

본 발명의 일 실시예에서, 상기 게이트 구동부는, 상기 화소부의 열 방향으로 상기 화소 어레이의 양측에 각각 배치되는 제1 게이트 구동부 및 제2 게이트 구동부를 포함할 수 있다.In one embodiment of the present invention, the gate driver may include a first gate driver and a second gate driver respectively disposed on both sides of the pixel array in the column direction of the pixel unit.

본 발명의 일 실시예에서, 상기 제1 게이트 구동부 및 상기 제2 게이트 구동부는 각각 상대적으로 가까이 배치된 n(n은 자연수) 개의 열에 포함된 복수의 화소부에 게이트 신호를 전달하는 게이트 라인이 각각 연결될 수 있다.In one embodiment of the present invention, the first gate driver and the second gate driver each have a gate line that transmits a gate signal to a plurality of pixel units included in n (n is a natural number) columns arranged relatively close to each other. can be connected

상기 엑스레이 검출 장치를 이용한 객체 검사 방법에 따르면, 객체를 복수의 영역으로 구분하고 구분된 복수의 영역 중 일부 영역과 그 나머지 영역에 대해 각각 동시에 엑스레이 검출을 수행할 수 있으므로, 객체 전체에 대해 하나의 엑스레이 검출 장치를 적용하여 엑스레이 검출을 수행하는 것에 비해 현저하게 엑스레이 검출 시간을 절감할 수 있다.According to the object inspection method using the The X-ray detection time can be significantly reduced compared to performing X-ray detection by applying an X-ray detection device.

특히, 상기 엑스레이 검출 장치를 이용한 객체 검사 방법에 적용된 엑스레이 검출 장치는, 엑스레이를 광학적으로 검출하는 화소부의 행렬 구조에서 열의 개수를 행의 개수에 비해 상대적으로 더 크게 설정하여 전체 검출 영역에서 작동하는 행의 개수를 감소시킴으로써 엑스레이 검출 장치의 작동 속도(frame rate)를 향상시킬 수 있다.In particular, the X-ray detection device applied to the object inspection method using the By reducing the number, the frame rate of the X-ray detection device can be improved.

또한, 상기 엑스레이 검출 장치를 이용한 객체 검사 방법에 적용된 엑스레이 검출 장치는, 화소부의 행렬 구조에서 행 방향의 양측에 각각 리드아웃 구동부를 구비함으로써 화소부와 리드아웃 구동부를 서로 연결하는 리드아웃 라인의 길이를 감소시켜 리드아웃 라인의 라인 커패시턴스에 의한 노이즈를 저감할 수 있다.In addition, the X-ray detection device applied to the object inspection method using the By reducing , noise caused by the line capacitance of the readout line can be reduced.

또한, 상기 엑스레이 검출 장치를 이용한 객체 검사 방법에 적용된 엑스레이 검출 장치는, 화소부의 행렬 구조에서 행 방향의 양측에 각각 리드아웃 구동부를 구비하고, 각각의 리드아웃 구동부와 연결된 화소부들 중 행 방향으로 중심부에 가까운 행에 속한 화소부들을 서로 대칭으로 동시 작동함으로써 검출 속도 향상 및 노이즈 저감 뿐만 아니라 모션 블러(motion blur)의 영향을 최소화 할 수 있다.In addition, the X-ray detection device applied to the object inspection method using the By simultaneously operating pixel units belonging to rows close to each other symmetrically, not only can the detection speed be improved and noise reduced, but the effect of motion blur can be minimized.

또한, 상기 엑스레이 검출 장치를 이용한 객체 검사 방법에 적용된 엑스레이 검출 장치는, 화소부의 행렬 구조에서 열 방향의 양측에 각각 게이트 구동부를 구비하여 복수의 화소부와 게이트 구동부 사이를 연결하는 게이트 라인의 길이를 감소시킴으로써 게이트 신호 전달에서 발생할 수 있는 지연 발생을 감소시켜 더욱 정확한 엑스레이 검출이 이루어질 수 있다.In addition, the X-ray detection device applied to the object inspection method using the By reducing the delay that may occur in gate signal transmission, more accurate X-ray detection can be achieved.

본 발명에서 얻을 수 있는 효과는 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급하지 않은 또 다른 효과들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The effects that can be obtained from the present invention are not limited to the effects mentioned above, and other effects not mentioned can be clearly understood by those skilled in the art from the description below. will be.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 객체 검사 방법에 적용되는 엑스레이 검출 장치의 일례를 도시한 평면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 엑스레이 검출 장치의 화소부를 상세하게 도시한 회로도이다.
도 3 및 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 엑스레이 검출 장치를 이용한 객체 검사 방법을 설명하기 위한 도면이다.
1 is a plan view showing an example of an X-ray detection device applied to an object inspection method according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a circuit diagram illustrating the pixel portion of the X-ray detection device shown in FIG. 1 in detail.
3 and 4 are diagrams for explaining an object inspection method using an X-ray detection device according to an embodiment of the present invention.

이하, 첨부의 도면을 참조하여 본 발명의 다양한 실시예에 따른 엑스레이 검출 장치를 이용한 객체 검사 방법을 더욱 상세하게 설명하기로 한다. Hereinafter, an object inspection method using an X-ray detection device according to various embodiments of the present invention will be described in more detail with reference to the attached drawings.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것을 달성하는 방법은 첨부된 도면과 함께 상세하게 후술 되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다.The advantages and features of the present invention and how to achieve it will become clear by referring to the embodiments described in detail below along with the accompanying drawings.

그러나, 본 발명은 이하에 개시되는 실시 예들에 의해 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시 예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below, but will be implemented in various different forms. These embodiments only serve to ensure that the disclosure of the present invention is complete and are within the scope of common knowledge in the technical field to which the present invention pertains. It is provided to fully inform those who have the scope of the invention, and the present invention is only defined by the scope of the claims.

또한, 본 발명을 설명함에 있어 관련된 공지 기술 등이 본 발명의 요지를 흐리게 할 수 있다고 판단되는 경우 그에 관한 자세한 설명은 생략하기로 한다.Additionally, in describing the present invention, if it is determined that related known techniques may obscure the gist of the present invention, detailed description thereof will be omitted.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 객체 검사 방법에 적용되는 엑스레이 검출 장치의 일례를 도시한 평면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 엑스레이 검출 장치의 화소부를 상세하게 도시한 회로도이다.FIG. 1 is a plan view showing an example of an X-ray detection device applied to an object inspection method according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a circuit diagram showing a detailed pixel portion of the X-ray detection device shown in FIG.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 객체 검사 방법에 적용되는 엑스레이 검출 장치(1)는, 행과 열로 이루어진 행렬의 형태로 배열되는 복수의 화소부(10)를 포함하는 화소 어레이(100)와, 화소 어레이(100)의 일측 또는 양측에 배치되는 복수의 구동부들(21, 22, 31, 32)를 포함하여 구성될 수 있다.1 and 2, the X-ray detection device 1 applied to the object inspection method according to an embodiment of the present invention includes a plurality of pixel units 10 arranged in the form of a matrix consisting of rows and columns. It may be configured to include a pixel array 100 and a plurality of driving units 21, 22, 31, and 32 disposed on one or both sides of the pixel array 100.

화소 어레이(100)를 구동하기 위한 복수의 구동부들은, 리드아웃 구동부(21, 22), 게이트 구동부(31, 32)를 포함할 수 있으며, 도시하지는 않았지만 바이어스 전원을 제공하는 바이어스 구동부 및 게이트 구동부(31, 32)의 동작 타이밍을 조정하는 타이밍 컨트롤러를 포함할 수 있다.A plurality of driving units for driving the pixel array 100 may include readout driving units 21 and 22 and gate driving units 31 and 32, and, although not shown, a bias driving unit and a gate driving unit ( 31, 32) may include a timing controller that adjusts the operation timing.

화소 어레이(100)의 각 화소부(10)는 광을 감지하는 광검출 소자(PD; Photo Diode) 및 광검출 소자(PD)와 리드아웃 라인(RL) 사이에 배치되는 스위칭 트랜지스터(ST: Switching Transistor)를 포함할 수 있다.Each pixel unit 10 of the pixel array 100 includes a photodetection device (PD; Photo Diode) that detects light and a switching transistor (ST: Switching) disposed between the photodetection device (PD) and the readout line (RL). Transistor) may be included.

화소 어레이(100)는 각 화소부(10)의 스위칭 트랜지스터(ST)에 연결되는 게이트 라인(GL)과 리드아웃 라인(RL)을 포함할 수 있다.The pixel array 100 may include a gate line (GL) and a readout line (RL) connected to the switching transistor (ST) of each pixel unit (10).

예시적으로, 게이트 라인(GL)은 화소 어레이(100) 내의 화소부(10)가 배치된 행열 구조의 행 방향으로 배치될 수 있다. 즉, 게이트 라인(GL)은 복수의 화소부(10) 중 행 방향으로 배열된 화소부들(10)로 각각 이루어진 수평라인에 대응한다. 이에 따라, 게이트 라인(GL)은 복수의 화소부(10) 중 하나의 행에 속하는 화소부(10)의 스위칭 트랜지스터(ST)에 연결될 수 있다.By way of example, the gate line GL may be arranged in the row direction of the row-column structure in which the pixel portions 10 of the pixel array 100 are arranged. That is, the gate line GL corresponds to a horizontal line each composed of pixel units 10 arranged in the row direction among the plurality of pixel units 10. Accordingly, the gate line GL may be connected to the switching transistor ST of the pixel unit 10 belonging to one row among the plurality of pixel units 10.

이러한 게이트 라인(GL)의 연결 구조에 따라, 게이트 라인(GL)을 통해 스위칭 트랜지스터(ST)의 게이트로 구동 신호를 생성하여 출력하는 게이트 구동 IC(미도시)를 포함하는 게이트 구동부(31, 32)는 화소부(10)가 형성하는 행열 구조의 열방향의 일측 또는 양측에 배치될 수 있다.According to the connection structure of the gate line GL, the gate drivers 31 and 32 include a gate driving IC (not shown) that generates and outputs a driving signal to the gate of the switching transistor ST through the gate line GL. ) may be disposed on one or both sides of the column direction of the row-column structure formed by the pixel unit 10.

리드아웃 라인(RL)은 화소 어레이(100) 내의 화소부(10)가 배치된 행열 구조의 열 방향으로 배치될 수 있다. 즉, 리드아웃 라인(RL)은 복수의 화소부(10) 중 열 방향으로 배열된 화소부들(10)로 각각 이루어진 수직라인에 대응한다. 이에 따라, 리드아웃 라인(RL)은 복수의 화소부(10) 중 하나의 열에 속하는 화소부(10)의 스위칭 트랜지스터(ST)에 연결될 수 있다.The lead-out line RL may be arranged in the column direction of the row-column structure in which the pixel portions 10 of the pixel array 100 are arranged. That is, the lead-out line RL corresponds to a vertical line each composed of pixel units 10 arranged in a column direction among the plurality of pixel units 10. Accordingly, the lead-out line RL may be connected to the switching transistor ST of the pixel unit 10 belonging to one column among the plurality of pixel units 10.

도시하지는 않았지만, 바이어스 전압을 제공하는 바이어스 라인은 화소부(10)가 배열된 행열 구조의 행과 열 방향으로 배치되어 복수의 화소부(10)에 포함된 복수의 광검출소자(PD)의 외곽을 둘러싸는 메쉬 형태로 배치될 수 있다.Although not shown, the bias line that provides the bias voltage is arranged in the row and column directions of the row-column structure in which the pixel units 10 are arranged and extends to the outside of the plurality of photodetection elements (PD) included in the plurality of pixel units 10. It can be arranged in the form of an enclosing mesh.

한편, 도시하지는 않았지만, 엑스레이 검출 장치는 객체에 엑스레이를 조사하는 광원 장치와 마주하는 면에 배치되는 신틸레이터를 더 포함할 수 있다. 신틸레이터는 광원 장치로부터 방출된 엑스레이를 가시광선으로 변환하여 광검출 소자(PD)에 공급할 수 있다.Meanwhile, although not shown, the X-ray detection device may further include a scintillator disposed on a surface facing the light source device that radiates X-rays to the object. The scintillator can convert X-rays emitted from a light source device into visible light and supply it to a photodetection device (PD).

각 화소부(10)에 속하는 광검출 소자(PD)의 제1 전극(예를 들어, 애노드 전극)은 스위칭 트랜지스터(ST)에 연결되고, 제2 전극(예를 들어, 캐소드 전극)은 바이어스 라인에 연결되어 바이어스 전압이 인가될 수 있다.The first electrode (eg, anode electrode) of the photodetection element (PD) belonging to each pixel unit 10 is connected to the switching transistor (ST), and the second electrode (eg, cathode electrode) is connected to the bias line. It may be connected to and a bias voltage may be applied.

광검출 소자(PD)는 신틸레이터로부터 공급되는 가시광선을 흡수하며 가시광선에 반응하여 전자를 발생시킴으로써, 각 화소부(10)에서의 엑스레이의 투과량에 대응하는 검출 신호를 생성할 수 있다.The photodetection element (PD) absorbs visible light supplied from the scintillator and generates electrons in response to the visible light, thereby generating a detection signal corresponding to the amount of X-ray transmission in each pixel unit 10.

스위칭 트랜지스터(ST)는 게이트 라인(GL)을 통해 제공되는 게이트 신호에 기초하여 턴온 되면, 광검출 소자(PD)의 검출 신호를 리드아웃 라인(RL)으로 전달하여 리드아웃 구동부(21, 22)에 검출 신호가 제공되게 할 수 있다.When the switching transistor (ST) is turned on based on the gate signal provided through the gate line (GL), it transfers the detection signal of the photodetection device (PD) to the readout line (RL) to the readout driver (21, 22) A detection signal can be provided to.

도시하지 않았지만, 타이밍 컨트롤러는 게이트 구동부(31, 32)의 구동 타이밍 제어를 위한 개시 신호 및 클럭 신호를 게이트 구동부(31, 32)에 공급하고, 리드아웃 구동부(21, 22)의 구동 타이밍 제어를 위한 리드아웃 제어신호 및 리드아웃 클럭신호를 리드아웃 구동부에 공급할 수 있다.Although not shown, the timing controller supplies start signals and clock signals for controlling the driving timing of the gate drivers 31 and 32 to the gate drivers 31 and 32, and controls the driving timing of the readout drivers 21 and 22. A readout control signal and a readout clock signal can be supplied to the readout driver.

게이트 구동부(31, 32)와 리드아웃 구동부(21, 22)는 각각의 동작을 수행하도록 사전에 제작된 집적 회로(IC) 칩을 포함할 수 있다.The gate drivers 31 and 32 and the readout drivers 21 and 22 may include prefabricated integrated circuit (IC) chips to perform their respective operations.

또한, 도시하지 않았지만, 바이어스 구동부는 소정의 바이어스 전압을 바이어스 라인에 공급할 수 있다. 바이어스 구동부는 리버스 바이어스(reverse bias) 동작을 위한 바이어스 전압 또는 포워드 바이어스(forward bias) 동작을 위한 바이어스 전압을 선택적으로 공급할 수 있다.Additionally, although not shown, the bias driver may supply a predetermined bias voltage to the bias line. The bias driver may selectively supply a bias voltage for reverse bias operation or a bias voltage for forward bias operation.

광원 장치가 엑스레이를 조사하기 전, 후에, 바이어스 구동부는 복수의 화소부(10)의 광검출 소자(PD)에 바이어스 전압을 공급할 수 있다. 광원 장치가 엑스레이를 조사하는 동안, 각 화소부(10)의 광검출소자(PD)는 각 화소부(10)에 입사된 광량에 대응하는 검출 신호를 생성할 수 있다. 광원 장치가 엑스레이를 조사한 후, 타이밍 컨트롤러는 복수의 화소부(10)의 검출 신호를 수집하기 위한 구동 타이밍 제어 신호를 게이트 구동부(31, 32) 및 리드아웃 구동부(21, 22)에 공급할 수 있다. Before and after the light source device irradiates X-rays, the bias driver may supply a bias voltage to the photodetection elements (PD) of the plurality of pixel units 10. While the light source device radiates X-rays, the photodetection element (PD) of each pixel unit 10 may generate a detection signal corresponding to the amount of light incident on each pixel unit 10. After the light source device irradiates .

게이트 구동부(31, 32)는 각 행에 포함된 화소부들(10)의 스위칭 트랜지스터(ST)를 턴온 구동하기 위한 게이트 신호를 각 게이트 라인(GL)에 순차적으로 공급하고, 리드아웃 구동부(21, 22)는 리드아웃 라인(RL)을 통해 각 행에 포함된 각 화소부(10)의 검출 신호를 수신할 수 있다. 이어, 리드아웃 구동부(21, 22)는 복수의 화소부(10)의 검출 신호에 기초하여 영상신호를 생성할 수 있다.The gate drivers 31 and 32 sequentially supply gate signals for turning on and driving the switching transistors ST of the pixel units 10 included in each row to each gate line GL, and the readout drivers 21 and 32 sequentially supply gate signals to each gate line GL. 22) can receive the detection signal of each pixel unit 10 included in each row through the readout line RL. Next, the readout drivers 21 and 22 may generate image signals based on the detection signals of the plurality of pixel units 10.

예시적으로, 리드아웃 구동부(21, 22)는 검출 신호를 증폭하고, 증폭된 검출 신호에서 노이즈 신호를 제거하는 보정을 실시하며, 보정된 검출 신호를 디지털 신호로 변환한 후, 디지털 신호의 조합으로부터 영상신호를 생성할 수 있다. 여기서, 영상신호는 복수의 화소부(10)에 대응한 휘도값을 비트정보로 나타낸 신호일 수 있다.Exemplarily, the readout drivers 21 and 22 amplify the detection signal, perform correction to remove the noise signal from the amplified detection signal, convert the corrected detection signal into a digital signal, and then combine the digital signals. A video signal can be generated from. Here, the image signal may be a signal representing the luminance value corresponding to the plurality of pixel units 10 as bit information.

본 발명의 일 실시예에서, 화소 어레이(100) 내 화소부(10)가 배열된 행열 구조는 행과 열의 개수의 비율이 1:2 이상으로, 이를테면 1:4, 1:5 … 1:10 등과 같이 열의 개수를 더 많이 구성하는 것이 바람직하다. 이러한 실시예는, 게이트 구동부(31, 32)에 의해 순차적으로 작동하는 행의 개수를 감소시킴으로써 엑스레이 검출 장치의 작동 속도(frame rate)를 향상시킬 수 있으며, 행 방향으로 연장되는 리드아웃 라인의 길이를 감소시킴으로써 라인 커패시턴스에 의한 노이즈를 저감할 수 있다.In one embodiment of the present invention, the row-column structure in which the pixel portions 10 in the pixel array 100 are arranged has a ratio of the number of rows to columns of 1:2 or more, such as 1:4, 1:5... It is desirable to configure a larger number of columns, such as 1:10. This embodiment can improve the operating speed (frame rate) of the X-ray detection device by reducing the number of rows sequentially operated by the gate drivers 31 and 32, and the length of the leadout line extending in the row direction By reducing , noise caused by line capacitance can be reduced.

또한, 본 발명의 일 실시예에서, 리드아웃 구동부(21, 22)는 화소 어레이(100) 내 화소부(10)가 배열된 행열 구조에서 행 방향의 양측, 즉 도 1에 도시된 상태로 설명하면 화소 어레이(100)의 상부 및 하부에 배치되어 행 방향에서 상대적으로 더 가까운 거리에 배치된 화소부(10)의 검출 신호를 읽어 들일 수 있게 구현될 수 있다. In addition, in one embodiment of the present invention, the readout drivers 21 and 22 are described on both sides of the row direction in the row-column structure in which the pixel units 10 in the pixel array 100 are arranged, that is, as shown in FIG. 1. In this case, it can be implemented to read the detection signal of the pixel portion 10 disposed at the upper and lower portions of the pixel array 100 and at a relatively closer distance in the row direction.

예를 들어, 행의 개수가 총 2n(n은 자연수) 개라고 하면, 상부에 위치한 n 개의 행에 속하는 화소부(10)의 검출 신호는 화소 어레이(100)의 상부에 배치된 제1 리드아웃 구동부(21)로 제공되고, 하부에 위치한 n 개의 행에 속하는 화소부(10)의 검출 신호는 화소 어레이(100)의 하부에 배치된 제2 리드아웃 구동부(22)로 제공되어 검출 신호의 처리가 이루어질 수 있다.For example, if the total number of rows is 2n (n is a natural number), the detection signal of the pixel unit 10 belonging to the n rows located at the top is transmitted to the first readout disposed at the top of the pixel array 100. The detection signal of the pixel unit 10, which is provided to the driver 21 and belongs to the n rows located at the bottom, is provided to the second readout driver 22 located at the bottom of the pixel array 100 to process the detection signal. can be achieved.

또한, 본 발명의 일 실시예에서, 게이트 구동부(31, 32)는 제1 리드아웃 구동부(21)와 리드아웃 라인으로 연결된 화소부(10)와 제2 리드아웃 구동부(22)와 리드아웃 라인으로 연결된 화소부(10)의 스위칭 트랜지스터를 동시에 작동시킬 수 있다. 예를 들어, 게이트 구동부(31, 32)는 화소 어레이(100) 내 화소부(10)가 배열된 행열 구조에서 행 방향으로 중심부에 가까운 행에 속하는 화소부(10)부터 행 단위로 순차적으로 대칭되게 스위칭 트랜지스터를 작동시켜 제1 리드아웃 구동부(21)와 제2 리드아웃 구동부(22)가 동시에 검출 신호를 읽어 들이도록 할 수 있다.In addition, in one embodiment of the present invention, the gate drivers 31 and 32 include a pixel unit 10 connected to the first readout driver 21 and a readout line, and a second readout driver 22 and a readout line. The switching transistors of the pixel unit 10 connected to can be operated simultaneously. For example, the gate drivers 31 and 32 are sequentially symmetrical row by row, starting from the pixel unit 10 belonging to the row closest to the center in the row direction in the row-column structure in which the pixel units 10 in the pixel array 100 are arranged. By operating the switching transistor, the first readout driver 21 and the second readout driver 22 can simultaneously read the detection signal.

이러한 실시예는, 엑스레이 검출 장치의 작동 속도(frame rate)를 향상시키고 검출 신호에 발생하는 노이즈를 저감할 뿐만 아니라 행 방향으로도 검출할 수 있는 영역을 증가시킬 수 있다. 또한, 모션 블러(motion blur)의 영향을 최소화 할 수 있다.This embodiment not only improves the operating speed (frame rate) of the X-ray detection device and reduces noise generated in the detection signal, but also increases the detectable area in the row direction. Additionally, the effect of motion blur can be minimized.

한편, 본 발명의 일 실시예에서, 게이트 구동부는 화소부(10)가 배치된 행열 구조의 열 방향으로 화소 어레이(100)의 양측에 각각 배치되는 제1 게이트 구동부(31) 및 제2 게이트 구동부(32)를 포함할 수 있다.Meanwhile, in one embodiment of the present invention, the gate driver includes a first gate driver 31 and a second gate driver disposed on both sides of the pixel array 100 in the column direction of the row-column structure in which the pixel portion 10 is disposed. (32) may be included.

제1 게이트 구동부(31) 및 제2 게이트 구동부(32)는 각각 상대적으로 가까이 배치된 n(n은 자연수) 개의 열에 포함된 복수의 화소부(10)에 게이트 신호를 출력하도록 동작할 수 있다.The first gate driver 31 and the second gate driver 32 may operate to output gate signals to the plurality of pixel units 10 included in n (n is a natural number) columns arranged relatively close to each other.

이러한 실시예는, 게이트 구동부(31, 32)와 복수의 화소부(10) 사이를 연결하는 게이트 라인의 길이를 감소시킴으로써 게이트 신호 전달에서 발생할 수 있는 지연 발생을 감소시켜 더욱 정확한 엑스레이 검출이 이루어질 수 있게 한다.In this embodiment, by reducing the length of the gate line connecting the gate drivers 31 and 32 and the plurality of pixel units 10, delays that may occur in gate signal transmission can be reduced and more accurate X-ray detection can be achieved. let it be

도 3 및 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 엑스레이 검출 장치를 이용한 객체 검사 방법을 설명하기 위한 도면이다.3 and 4 are diagrams for explaining an object inspection method using an X-ray detection device according to an embodiment of the present invention.

도 3 및 도 4에 도시된 객체 검사 방법의 예시는, 본 발명의 실시예와 같이 행 방향(가로 방향)이 더 긴 엑스레이 검출 장치를 적용하여 세로의 길이가 긴 복수의 객체(41, 42, 43)의 전체를 검사하는 방법에 관한 것이다.An example of the object inspection method shown in FIGS. 3 and 4 is to apply an 43) It is about a method of examining the entirety of.

긴 세로의 길이를 갖는 객체의 예로는 원통형 이차 전지 모듈이 있을 수 있다. An example of an object having a long vertical length may be a cylindrical secondary battery module.

원통형 이차 전지 모듈에 대한 종래의 검사 방법은 종래의 엑스레이 검출 장치의 속도 한계로 인해 원통형 이차 전지 모듈 양단의 전극 탭 영역만 수행하였다. 즉, 원통형 이차 전지 모듈의 전체 영역에 대해 검사를 수행하기 위해서는 원통형 이차 전지 모듈의 길이 전체에 대한 엑스레이 조사 및 검출이 이루어져야 했지만, 긴 길이를 갖는 원통형 이차 전지 모듈을 커버할 수 있는 패널형 엑스레이 검사 장치를 적용하게 되면 검사 시간이 너무 소요되어 검사 속도 요건을 충족시키는 것이 불가능하였다. 이로 인해, 종래에는 원통형 이차 전지 모듈 양단의 전극 탭이 위치한 제한된 영역만 검사하였으나, 이차 전지 모듈 내부의 이물 등에 의한 단락이 발생하는 문제 등이 발생할 수 있으므로 전극 탭 영역 뿐만 아니라 이차 전지 모듈의 전체 영역을 검사할 필요가 있었다.The conventional inspection method for a cylindrical secondary battery module only performed the electrode tab area at both ends of the cylindrical secondary battery module due to the speed limit of the conventional X-ray detection device. In other words, in order to perform an inspection of the entire area of the cylindrical secondary battery module, X-ray irradiation and detection had to be done for the entire length of the cylindrical secondary battery module, but panel-type X-ray inspection that can cover a cylindrical secondary battery module with a long length is possible. When the device was applied, the inspection time was so long that it was impossible to meet the inspection speed requirements. For this reason, conventionally, only the limited area where the electrode tabs on both ends of the cylindrical secondary battery module were inspected was inspected. However, problems such as short circuits due to foreign substances inside the secondary battery module may occur, so not only the electrode tab area but the entire area of the secondary battery module. There was a need to inspect.

본 발명의 일 실시예에 따른 엑스레이 검출 장치는 빛을 검출하는 화소부가 배열된 행열 구조의 행의 수가 상대적으로 적어 세로로 긴 길이를 갖는 객체를 하나의 엑스레이 검출 장치로 검사하는 것이 불가능하지만, 객체를 세로 방향으로 복수의 영역으로 구분하고 구분된 영역을 복수의 엑스레이 검출 장치로 검사하여 객체의 전체 영역에 대한 검사를 수행함과 동시에 종래의 단일 엑스레이 검출 장치를 적용하는데 비해 현저하게 빠른 엑스레이 검출을 달성할 수 있게 된다.The X-ray detection device according to an embodiment of the present invention has a relatively small number of rows in the row structure in which the pixel portion for detecting light is arranged, making it impossible to inspect an object with a long vertical length with a single X-ray detection device. By dividing the object into a plurality of areas vertically and inspecting the divided areas with a plurality of You can do it.

도 3 및 도 4의 예에서, 엑스레이 검출 장치(1a, 1b, 1c)는 도 1에 도시된 것과 같이 화소부(10)의 배열이 열의 개수가 행의 개수 보다 적어도 2 배 이상 많으며, 검사 대상이 되는 객체(41, 42, 43)는 세로의 길이가 엑스레이 검출 장치(1a, 1b, 1c)의 세로 길이(화소부(10)의 행렬 배열에서 행 방향에 해당)가 더 긴 원통형 이차 전지 모듈과 같은 객체이다.In the examples of Figures 3 and 4, the The objects 41, 42, and 43 are cylindrical secondary battery modules whose vertical length is longer than that of the X-ray detection devices 1a, 1b, and 1c (corresponding to the row direction in the matrix arrangement of the pixel portion 10). It is the same object.

도 3에 도시된 것과 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 엑스레이 검출 장치를 이용한 객체 검사 방법은, 먼저 객체(41, 42, 43)를 엑스레이 검출 장치(1a, 1b, 1c)의 세로 길이에 기초하여 세로 방향으로 엑스레이 검출을 위한 연속된 복수의 영역(A1-A6)으로 구분하고, 서로 인접하지 않은 복수의 영역 중 일부(도 3의 A1, A3, A5)에 대해 복수의 엑스레이 검출 장치(1a, 1b, 1c)로 엑스레이 검출을 통한 검사를 수행한다.As shown in FIG. 3, the object inspection method using an Based on this, it is divided into a plurality of continuous areas (A1-A6) for X-ray detection in the vertical direction, and a plurality of 1a, 1b, 1c), the examination is performed through X-ray detection.

이어, 도 4에 도시된 것과 같이, 도 3에서 엑스레이 검출한 영역 이외의 나머지 영역(A2, A4, A6)으로 복수의 엑스레이 검출 장치(1a, 1b, 1c)를 이동시켜 해당 영역에 대해 엑스레이 검출을 통한 검사를 수행한다.Next, as shown in FIG. 4, a plurality of X-ray detection devices (1a, 1b, 1c) are moved to the remaining areas (A2, A4, A6) other than the area where the Perform inspection through .

객체(41, 42, 43)의 전체를 한 번에 엑스레이 검출을 통해 검사하는 종래의 방식의 경우 엑스레이 검출 장치의 화소부가 총 6n 개의 행을 구성하도록 구성되어야 한다고 가정하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 엑스레이 검출 장치는 n 개의 행으로 구성된 화소부가 적용될 수 있다. 특히, 본 발명의 일 실시예에 따른 엑스레이 검출 장치는 행 방향의 양측에 리드아웃 구동부(21, 22)를 구비하고 각각의 리드아웃 구동부(21, 22)가 n/2 개의 행에 대한 리드아웃을 서로 동시에 수행하게 된다. 즉, 행 단위로 화소부(10)의 검출 신호를 획득하게 되는 엑스레이 검출 장치의 게이트 구동 특징을 고려할 때, 종래의 엑스레이 검출 장치는 한번의 게이트 구동 타이밍에 하나의 행에 포함된 화소부(10)의 검출 신호를 획득하게 되지만, 본 발명의 일 실시예에 따른 엑스레이 검출 장치는 한번의 게이트 구동 타이밍에 6 개의 행에 포함된 화소부(10)의 검출 신호를 획득할 수 있다.In the case of the conventional method of examining the entire object 41, 42, and 43 at once through X-ray detection, assuming that the pixel portion of the The X-ray detection device according to may be applied to a pixel unit consisting of n rows. In particular, the are performed simultaneously. That is, considering the gate driving characteristics of the X-ray detection device that acquires the detection signal of the pixel portion 10 on a row-by-row basis, the conventional ), the X-ray detection device according to an embodiment of the present invention can acquire the detection signals of the pixel portion 10 included in 6 rows at one gate driving timing.

즉, 본 발명의 일 실시예에 따른 엑스레이 검출 장치를 적용하는 경우 전체 영역에 대한 엑스레이 검출은 종래의 방법에 비해 1/6로 감소할 수 있다. That is, when applying the X-ray detection device according to an embodiment of the present invention, X-ray detection for the entire area can be reduced to 1/6 compared to the conventional method.

도 3 및 도 4에서는 객체를 총 6 개의 영역으로 구분하여 엑스레이 검출을 수행하는 예를 도시하였으나, 객체의 길이 엑스레이 검출 장치의 화소의 행 방향의 길이 등을 고려하여 영역의 개수는 적절하게 수정될 수 있다.Figures 3 and 4 show an example of performing X-ray detection by dividing the object into a total of 6 areas. However, the number of areas can be appropriately modified in consideration of the length of the object, the length of the row direction of the pixel of the X-ray detection device, etc. You can.

이와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 엑스레이 검출 장치를 적용하여 객체를 검사하는 방법은 객체의 영역을 검사하는데 소요되는 시간을 현저하게 감소시킬 수 있고, 종래에 검사 요구 시간을 충족시키지 못하여 객체의 일부분만 검사하던 문제를 해소하고 객체의 전 영역을 검사 요구 시간 내에 검사 가능하게 할 수 있다.In this way, the method of inspecting an object by applying an X-ray detection device according to an embodiment of the present invention can significantly reduce the time required to inspect the area of the object, and the The problem of inspecting only a portion of an object can be resolved and the entire area of the object can be inspected within the required inspection time.

이상에서 본 발명의 특정한 실시형태에 관련하여 도시하고 설명하였지만, 이하의 특허청구범위에 의해 제공되는 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 한도 내에서, 본 발명이 다양하게 개량 및 변화될 수 있다는 것은 당 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어서 자명할 것이다.Although the present invention has been shown and described in relation to specific embodiments of the present invention in the above, it is understood that various improvements and changes can be made to the present invention without departing from the technical spirit of the present invention provided by the following claims. This will be self-evident to those with ordinary knowledge in the technical field.

1, 1a, 1b, 1c: 엑스레이 검출 장치
10: 화소부 100: 화소 어레이
21, 22: 리드아웃 구동부 31, 32: 게이트 구동부
41, 42, 43: 객체
1, 1a, 1b, 1c: X-ray detection device
10: Pixel unit 100: Pixel array
21, 22: Readout driver 31, 32: Gate driver
41, 42, 43: Object

Claims (7)

엑스레이 검출을 통한 검사를 수행하기 위한 대상인 객체를 일 방향으로 연속된 복수의 영역으로 구분하는 단계;
상기 복수의 영역 중 서로 인접하지 않은 영역 각각에 대해 엑스레이 검출 장치를 이용하여 엑스레이 검출을 수행하는 단계; 및
상기 수행하는 단계에서 엑스레이 검출이 이루어지지 않은 나머지 영역에 각각에 대해 상기 엑스레이 검출 장치를 이용하여 엑스레이 검출을 수행하는 단계를 포함하며,
상기 엑스레이 검출 장치는,
각각 스위칭 트랜지스터와 광검출 소자를 가지며 행렬 구조로 배열된 복수의 화소부를 포함하는 화소 어레이- 상기 행렬 구조의 행 방향은 상기 복수의 영역이 배열된 방향에 대응됨-; 상기 광검출 소자에서 출력되는 검출 신호를 입력 받는 하나 이상의 리드아웃 IC를 포함하며, 상기 화소부의 행 방향으로 상기 화소 어레이의 양측에 각각 배치되는 제1 리드아웃 구동부 및 제2 리드아웃 구동부; 및 상기 스위칭 트랜지스터를 작동시키는 게이트 신호를 출력하는 하나 이상의 게이트 구동 IC를 포함하며 상기 화소부의 열 방향으로 상기 화소 어레이의 외측에 배치되는 게이트 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 엑스레이 검출 장치를 이용한 객체 검사 방법.
Dividing an object that is a target for inspection through X-ray detection into a plurality of continuous areas in one direction;
Performing X-ray detection using an X-ray detection device for each region that is not adjacent to each other among the plurality of regions; and
It includes performing X-ray detection using the X-ray detection device for each remaining area where X-ray detection was not performed in the performing step,
The X-ray detection device,
a pixel array including a plurality of pixel units each having a switching transistor and a photodetector and arranged in a matrix structure, wherein the row direction of the matrix structure corresponds to the direction in which the plurality of regions are arranged; a first readout driver and a second readout driver including at least one readout IC that receives a detection signal output from the photodetector, and disposed on both sides of the pixel array in a row direction of the pixel unit; and an object inspection using an method.
청구항 1에 있어서,
상기 행렬 구조는 열의 개수와 행의 개수의 비율이 1:2 이상인 것을 특징으로 하는 엑스레이 검출 장치를 이용한 객체 검사 방법.
In claim 1,
The matrix structure is an object inspection method using an X-ray detection device, characterized in that the ratio of the number of columns to the number of rows is 1:2 or more.
청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
상기 제1 리드아웃 구동부 및 상기 제2 리드아웃 구동부는 각각 상대적으로 가까이 배치된 n(n은 자연수) 개의 행에 포함된 복수의 화소부와 상기 검출 신호를 입력 받기 위한 리드아웃 라인이 각각 연결된 것을 특징으로 하는 엑스레이 검출 장치를 이용한 객체 검사 방법.
In claim 1 or claim 2,
The first readout driver and the second readout driver each connect a plurality of pixel units included in n (n is a natural number) rows arranged relatively close to each other and a readout line for receiving the detection signal. A method of inspecting an object using an X-ray detection device.
청구항 3에 있어서,
상기 게이트 구동부는, 상기 제1 리드아웃 구동부에 연결된 화소부의 스위칭 트랜지스터와 상기 제2 리드아웃 구동부에 연결된 화소부의 스위칭 트랜지스터를 동시에 작동시키는 것을 특징으로 하는 엑스레이 검출 장치를 이용한 객체 검사 방법.
In claim 3,
An object inspection method using an
청구항 4에 있어서,
상기 게이트 구동부는, 상기 제1 리드아웃 구동부 및 상기 제2 리드아웃 구동부에 연결된 화소부 중 행 방향으로 중심부에 가까운 행에 포함된 화소부의 스위칭 트랜지스터부터 행 단위로 순차적으로 대칭되게 스위칭 트랜지스터를 작동시키는 것을 특징으로 하는 엑스레이 검출 장치를 이용한 객체 검사 방법.
In claim 4,
The gate driver operates the switching transistors sequentially and symmetrically row by row, starting from the switching transistors of the pixel units included in the row closest to the center in the row direction among the pixel units connected to the first readout driver and the second readout driver. An object inspection method using an X-ray detection device, characterized in that:
청구항 1에 있어서,
상기 게이트 구동부는, 상기 화소부의 열 방향으로 상기 화소 어레이의 양측에 각각 배치되는 제1 게이트 구동부 및 제2 게이트 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 엑스레이 검출 장치를 이용한 객체 검사 방법.
In claim 1,
The gate driver includes a first gate driver and a second gate driver disposed on both sides of the pixel array in the column direction of the pixel unit.
청구항 6에 있어서,
상기 제1 게이트 구동부 및 상기 제2 게이트 구동부는 각각 상대적으로 가까이 배치된 n(n은 자연수) 개의 열에 포함된 복수의 화소부에 게이트 신호를 전달하는 게이트 라인이 각각 연결된 것을 특징으로 하는 엑스레이 검출 방법.
In claim 6,
An X-ray detection method, wherein the first gate driver and the second gate driver each have gate lines connected to each other to transmit gate signals to a plurality of pixel units included in n (n is a natural number) columns arranged relatively close to each other. .
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KR101782429B1 (en) 2016-07-11 2017-10-23 전승익 X-ray detecting panel of x-ray detecting apparatus and manufacturing method of the same
KR102361454B1 (en) 2018-02-01 2022-02-10 보에 테크놀로지 그룹 컴퍼니 리미티드 X-ray detection panel, manufacturing method thereof, and X-ray detection device

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