KR20230133380A - 캐소드 구동 유닛, 증착 시스템, 증착 시스템을 작동시키는 방법, 및 코팅된 기판을 제조하는 방법 - Google Patents

캐소드 구동 유닛, 증착 시스템, 증착 시스템을 작동시키는 방법, 및 코팅된 기판을 제조하는 방법 Download PDF

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KR20230133380A
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치-창 양
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어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
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Abstract

증착 시스템을 위한 캐소드 구동 유닛(100)이 설명된다. 캐소드 구동 유닛(100)은 구동 샤프트(111)를 갖는 모터(110)를 포함한다. 또한, 캐소드 구동 유닛(100)은 구동 샤프트(111)에 연결된 기어박스(120)를 포함한다. 기어박스(120)는 제1 회전 가능한 캐소드(131)를 구동하기 위한 제1 출력 샤프트(121) 및 제2 회전 가능한 캐소드(132)를 구동하기 위한 제2 출력 샤프트(122)를 갖는다. 또한, 증착 시스템, 증착 시스템을 작동시키는 방법, 및 코팅된 기판을 제조하는 방법이 설명된다.

Description

캐소드 구동 유닛, 증착 시스템, 증착 시스템을 작동시키는 방법, 및 코팅된 기판을 제조하는 방법
[0001] 본 개시내용의 실시예들은 타깃(target)으로부터 스퍼터링(sputtering)에 의한 재료 증착에 관한 것이다. 특히, 본 개시내용의 실시예들은 회전 가능한 캐소드(cathode)들을 갖는 증착 소스(source)들에 관한 것이다. 보다 구체적으로, 본 명세서에 설명된 실시예들은 증착 시스템의 2 개 이상의 회전 가능한 캐소드들을 구동하기 위한 캐소드 구동 유닛들에 관한 것이다. 또한, 본 개시내용의 실시예들은 증착 시스템을 작동시키는 방법들 및 코팅된 기판을 제조하는 방법들에 관한 것이다.
[0002] 많은 애플리케이션(application)들에서, 기판 상에 얇은 층들을 증착할 필요가 있다. 기판들은 코팅 장치의 하나 이상의 챔버(chamber)들에서 코팅될 수 있다. 기판들은 기상 증착 기법을 사용하여 진공에서 코팅될 수 있다.
[0003] 기판 상에 재료를 증착하기 위한 몇 가지 방법들이 알려져 있다. 예를 들어, 기판들은 물리적 기상 증착(PVD) 프로세스, 화학 기상 증착(CVD) 프로세스 또는 플라즈마(plasma) 강화 화학 기상 증착(PECVD) 프로세스 등에 의해 코팅될 수 있다. 프로세스는 코팅될 기판이 로케이팅(locate)된 프로세스 장치 또는 프로세스 챔버에서 수행된다. 증착 재료가 장치 내에 제공된다. 복수의 재료들, 및 또한 이들의 산화물들, 질화물들 또는 탄화물들도 기판 상에 증착하기 위해 사용될 수 있다. 코팅된 재료들은 여러 애플리케이션들 및 여러 기술 분야들에서 사용될 수 있다. 예를 들어, 디스플레이(display)들을 위한 기판들은 종종 물리적 기상 증착(PVD) 프로세스에 의해 코팅된다. 추가의 애플리케이션들에는 절연 패널(panel)들, 유기 발광 다이오드(OLED) 패널들, 박막 트랜지스터들(TFT)을 갖는 기판들, 컬러 필터(color filter)들 등이 포함된다.
[0004] PVD 프로세스의 경우, 증착 재료는 타깃으로서 고체 상으로 존재할 수 있다. 에너지 입자들로 타깃을 타격함으로써, 타깃 재료, 즉 증착될 재료의 원자들이 타깃으로부터 방출된다. 타깃 재료의 원자들은 코팅될 기판 상에 증착된다. PVD 프로세스에서, 스퍼터 재료, 즉 기판 상에 증착될 재료는 상이한 방식들로 배열될 수 있다. 예를 들어, 타깃은 증착될 재료로 제조되거나 또는 증착될 재료가 고정되는 백킹(backing) 요소를 가질 수 있다. 증착될 재료를 포함하는 타깃은 증착 챔버 내의 미리 정의된 포지션(position)에 지지되거나 또는 고정된다.
[0005] 세그먼트화된(segmented) 또는 모놀리식(monolithic) 타깃들, 예를 들어 평면 또는 회전 가능한 타깃들이 스퍼터링에 사용될 수 있다. 캐소드들의 기하학적 구조 및 설계로 인해, 회전 가능한 타깃들이 전형적으로 평면 타깃들보다 더 높은 이용률 및 증가된 작동 시간을 갖는다. 회전 가능한 타깃들을 사용하면 서비스 수명이 연장되고 비용들이 절감될 수 있다.
[0006] 타깃 및/또는 캐소드를 회전시키기 위한 캐소드 구동 유닛들은, 각각, 유지보수의 대상이 된다. 특히, 기판 상에 재료를 증착하기 위한 복수의 캐소드들을 갖는 대면적 기판들의 경우, 유지보수에 많은 시간이 소요될 수 있다. 따라서, 코팅된 기판들, 특히 대면적 기판들을 제조하기 위한 개선된 캐소드 구동 유닛들, 개선된 증착 시스템들, 및 개선된 증착 시스템을 작동시키는 방법들에 대한 요구가 존재한다.
[0007] 위의 내용에 비추어, 독립 청구항들에 따른 증착 시스템을 위한 캐소드 구동 유닛, 증착 시스템, 및 제1 회전 가능한 캐소드 및 제2 회전 가능한 캐소드를 갖는 증착 시스템을 작동시키는 방법이 제공된다. 추가적으로, 본 명세서에 설명된 실시예들에 따른 캐소드 구동 유닛, 증착 시스템, 및 증착 시스템을 작동시키는 방법 중 적어도 하나를 사용하는 단계를 포함하는, 코팅된 기판을 제조하는 방법이 제공된다.
[0008] 종속 청구항들, 발명의 설명, 및 첨부된 도면들로부터 추가의 양태들, 이점들, 및 특징들이 명백해진다.
[0009] 본 개시내용의 양태에 따르면, 증착 시스템을 위한 캐소드 구동 유닛이 제공된다. 캐소드 구동 유닛은 구동 샤프트(shaft)를 갖는 모터(motor)를 포함한다. 또한, 캐소드 구동 유닛은 구동 샤프트에 연결된 기어박스(gearbox)를 포함한다. 기어박스는 제1 회전 가능한 캐소드를 구동하기 위한 제1 출력 샤프트 및 제2 회전 가능한 캐소드를 구동하기 위한 제2 출력 샤프트를 포함한다.
[0010] 본 개시내용의 추가의 양태에 따르면, 증착 시스템을 위한 캐소드 구동 유닛이 제공된다. 캐소드 구동 유닛은 구동 샤프트의 제1 회전을 제공하도록 구성된 모터를 포함한다. 또한, 캐소드 구동 유닛은 구동 샤프트에 연결된 기어박스를 포함한다. 기어박스는 제1 회전 가능한 캐소드를 구동하기 위해 제1 회전을 제2 회전으로 변환하도록 구성된다. 또한, 기어박스는 제2 회전 가능한 캐소드를 구동하기 위해 제1 회전을 제3 회전으로 변환하도록 구성된다.
[0011] 본 개시내용의 다른 양태에 따르면, 증착 시스템이 제공된다. 증착 시스템은 제1 회전 가능한 캐소드, 제2 회전 가능한 캐소드, 및 캐소드 구동 유닛을 포함한다. 캐소드 구동 유닛은 구동 샤프트를 갖는 모터를 포함한다. 추가적으로, 캐소드 구동 유닛은 구동 샤프트에 연결된 기어박스를 포함한다. 기어박스는 제1 회전 가능한 캐소드를 구동하기 위한 제1 출력 샤프트 및 제2 회전 가능한 캐소드를 구동하기 위한 제2 출력 샤프트를 포함한다.
[0012] 본 개시내용의 추가의 양태에 따르면, 제1 회전 가능한 캐소드 및 제2 회전 가능한 캐소드를 갖는 증착 시스템을 작동시키는 방법이 제공된다. 이 방법은 모터의 구동 샤프트의 제1 회전을 제공하는 단계를 포함한다. 추가적으로, 이 방법은 기어박스를 사용하여 제1 회전 가능한 캐소드를 구동하기 위해 제1 회전을 제2 회전으로 변환하는 단계를 포함한다. 또한, 이 방법은 기어박스를 사용하여 제2 회전 가능한 캐소드를 구동하기 위해 제1 회전을 제3 회전으로 변환하는 단계를 포함한다.
[0013] 본 개시내용의 추가의 양태에 따르면, 코팅된 기판을 제조하는 방법이 제공된다. 이 방법은 본 명세서에 설명된 임의의 실시예들에 따른 캐소드 구동 유닛, 본 명세서에 설명된 임의의 실시예들에 따른 증착 시스템, 및 본 명세서에 설명된 임의의 실시예들에 따른 증착 시스템을 작동시키는 방법 중 적어도 하나를 사용하는 단계를 포함한다.
[0014] 실시예들은 또한 개시된 방법들을 수행하기 위한 장치들에 관한 것이며, 설명된 각각의 방법 양태를 수행하기 위한 장치 부품들을 포함한다. 이러한 방법 양태들은 하드웨어 컴포넌트(hardware component)들, 적절한 소프트웨어에 의해 프로그래밍된 컴퓨터에 의해, 이들 둘의 임의의 조합에 의해, 또는 임의의 다른 방식으로 수행될 수 있다. 또한, 본 개시내용에 따른 실시예들은 또한 설명된 장치를 작동시키는 방법들에 관한 것이다. 설명된 장치를 작동시키는 방법들은 장치의 모든 기능을 수행하기 위한 방법 양태들을 포함한다.
[0015] 본 개시내용의 위에 인용된 특징들이 상세히 이해될 수 있도록, 위에서 간략하게 요약된 본 개시내용의 보다 구체적인 설명이 실시예들을 참조하여 이루어질 수 있다. 첨부된 도면들은 본 개시내용의 실시예들에 관한 것이고 아래에서 설명된다:
도 1은 본 명세서에 설명된 실시예들에 따른 증착 시스템을 위한 캐소드 구동 유닛의 개략도를 도시한다.
도 2는 본 명세서에 설명된 실시예들에 따른 추가의 세부사항들을 갖는 캐소드 구동 유닛의 개략도를 도시한다.
도 3 및 도 4는 본 명세서에 설명된 추가의 실시예들에 따른 캐소드 구동 유닛의 예시적인 기어박스 구성들의 개략도들을 도시한다.
도 5는 본 명세서에 설명된 실시예들에 따른 증착 시스템을 작동시키는 방법을 예시하기 위한 블록 다이어그램을 도시한다.
도 6은 본 명세서에 설명된 실시예들에 따른 코팅된 기판을 제조하는 방법을 예시하기 위한 블록 다이어그램을 도시한다.
[0016] 이제 본 개시내용의 다양한 실시예들을 상세히 참조할 것이며, 그것들의 하나 이상의 예들이 도면들에 예시되어 있다. 도면들에 대한 다음 설명 내에서, 동일한 참조 번호들은 동일한 컴포넌트들을 지칭한다. 개별 실시예들에 대한 차이점들만이 설명된다. 각각의 예는 본 개시내용을 설명하기 위해 제공되며, 본 개시내용의 제한으로 의미되지 않는다. 또한, 하나의 실시예의 일부로서 예시되거나 또는 설명된 특징들은 또 다른 실시예를 생성하기 위해 다른 실시예들에 대해 또는 다른 실시예들과 함께 사용될 수 있다. 본 설명은 그러한 수정들 및 변형들을 포함하는 것으로 의도된다.
[0017] 도 1을 예시적으로 참조하여, 본 개시내용에 따른 증착 시스템을 위한 캐소드 구동 유닛(100)이 설명된다. 본 명세서에 설명된 임의의 다른 실시예들과 조합될 수 있는 실시예들에 따르면, 캐소드 구동 유닛(100)은 구동 샤프트(111)를 갖는 모터(110)를 포함한다. 추가적으로, 캐소드 구동 유닛(100)은 구동 샤프트(111)에 연결된 기어박스(120)를 포함한다. 도 1에 예시적으로 도시된 바와 같이, 기어박스(120)는 제1 회전 가능한 캐소드(131)를 구동하기 위한 제1 출력 샤프트(121)를 갖는다. 또한, 기어박스(120)는 제2 회전 가능한 캐소드(132)를 구동하기 위한 제2 출력 샤프트(122)를 갖는다.
[0018] 즉, 본 명세서에 설명된 임의의 다른 실시예들과 조합될 수 있는 실시예들에 따르면, 캐소드 구동 유닛(100)은 구동 샤프트(111)의 제1 회전(R1)을 제공하도록 구성된 모터(110)를 포함한다. 또한, 캐소드 구동 유닛(100)은 구동 샤프트(111)에 연결된 기어박스(120)를 포함한다. 기어박스(120)는 제1 회전 가능한 캐소드(131)를 구동하기 위해 제1 회전(R1)을 제2 회전(R2)으로 변환하도록 구성된다. 추가적으로, 기어박스(120)는 제2 회전 가능한 캐소드(132)를 구동하기 위해 제1 회전(R1)을 제3 회전(R3)으로 변환하도록 구성된다. 제1 회전(R1), 제2 회전(R2), 및 제3 회전(R3)은 동일한 회전 속도 및/또는 동일한 회전 방향을 가질 수 있다는 것이 이해되어야 한다. 대안적으로, 제1 회전(R1), 제2 회전(R2) 및 제3 회전(R3)은 상이한 회전 속도 및/또는 상이한 회전 방향을 가질 수 있다.
[0019] 따라서, 도 1에 도시된 실시예를 예시적으로 참조하여, 종래 기술에 비해, 개선된 캐소드 구동 유닛이 제공됨을 이해해야 한다. 특히, 본 명세서에 설명된 바와 같은 캐소드 구동 유닛의 실시예들은 다수의 회전 가능한 캐소드들을 구동하기 위한 모터들의 양적 감소를 유리하게 제공한다. 보다 구체적으로, 본 명세서에 설명된 바와 같은 캐소드 구동 유닛은 단일 모터를 채용함으로써 증착 시스템의 2 개 이상의 캐소드들을 구동할 수 있는 가능성을 유리하게 제공한다. 따라서, 본 명세서에 설명된 실시예들에 따른 캐소드 구동 유닛을 채용함으로써, 증착 시스템의 생산 비용들 및 작동 비용들이 감소될 수 있다.
[0020] 본 개시내용의 다양한 추가의 실시예들이 보다 상세히 설명되기 전에, 본 명세서에서 사용되는 일부 용어들과 관련된 일부 양태들이 설명된다.
[0021] 본 개시내용에서, "증착 시스템을 위한 캐소드 구동 유닛"은 증착 시스템의 2 개 이상의 회전 가능한 캐소드들을 구동하도록 구성된 유닛으로 이해될 수 있다. 특히, 본 명세서에 설명된 바와 같은 "캐소드 구동 유닛"은 2 개 이상의 회전 가능한 캐소드들을 회전시키기 위한 모터를 포함하는 유닛으로 이해될 수 있다. 전형적으로, 모터는 전기 모터이다.
[0022] 본 개시내용에서, "구동 샤프트"는 모터, 특히 본 명세서에 설명된 바와 같은 모터의 출력 샤프트로서 이해될 수 있다. 전형적으로, 캐소드 구동 유닛의 작동 동안, 구동 샤프트는 구동 샤프트의 종축을 중심으로 회전된다. 즉, 동작 중에, 모터는 구동 샤프트의 종축을 중심으로 한 구동 샤프트의 회전 운동을 제공한다.
[0023] 본 개시내용에서, "기어박스"는 기어박스의 입력으로부터 기어박스의 출력으로 구동력을 전달하도록 구성된 기어들의 조립체 또는 시스템으로 이해될 수 있다. 특히, 본 명세서에서 설명된 바와 같은 "기어박스"는 입력 회전 운동을 2 개 이상의 출력 회전 운동들로 변환하도록 구성된 기어박스로서 이해될 수 있다. 전형적으로, 입력 회전 운동은 예를 들어 회전 방향 및/또는 회전 속도와 관련하여 2 개 이상의 출력 회전 운동들과 비교하여 상이하다.
[0024] 본 개시내용에서, "출력 샤프트"는 본 명세서에 설명된 바와 같이 기어박스의 출력 회전 운동을 제공하기 위한 샤프트로서 이해될 수 있다.
[0025] 본 개시내용에서, "회전 가능한 캐소드"는 캐소드의 종축을 중심으로 회전 가능하도록 구성된 캐소드로서 이해될 수 있다.
[0026] 도 2를 예시적으로 참조하면, 본 명세서에 설명된 임의의 다른 실시예들과 조합될 수 있는 실시예들에 따르면, 구동 샤프트(111)는 제1 회전축(11)을 가지며, 제1 출력 샤프트(121)는 제2 회전축(12A)을 가지며, 제2 출력 샤프트(122)는 제3 회전축(12B)을 갖는다. 전형적으로, 제2 회전축(12A) 및 제3 회전축(12B)은 제1 회전축(11)에 대해 실질적으로 수직이다. "실질적으로 수직"이라는 용어는 허용오차(T) ≤ ± 15 °, 특히 T ≤ ± 10 °, 보다 구체적으로는 T ≤ ± 5 °, 예를 들어 T ≤ ± 1 °의 허용오차(T)를 갖는 수직으로 이해될 수 있다.
[0027] 예를 들어, 제1 회전축(11)은 실질적으로 수평일 수 있는데, 즉 허용오차(T) ≤ ± 15 °, 특히 T ≤ ± 10 °, 보다 구체적으로 T ≤ ± 5 °, 예를 들어 T ≤ ± 1 °의 허용오차(T)를 갖는 수평일 수 있다. 제2 회전축(12A)은 실질적으로 수직일 수 있는데, 즉 허용오차(T) ≤ ± 15 °, 특히 T ≤ ± 10 °, 보다 구체적으로 T ≤ ± 5 °, 예를 들어 T ≤ ± 1 °의 허용오차(T)를 갖는 수직일 수 있다. 또한, 제3 회전축(12B)은 실질적으로 수직일 수 있는데, 즉 허용오차(T) ≤ ± 15 °, 특히 T ≤ ± 10 °, 보다 구체적으로는 T ≤ ± 5 °, 예를 들어 T ≤ ± 1 °의 허용오차(T)를 갖는 수직일 수 있다. 수직 방향은 중력의 방향에 의해 정의된다. 수평 방향은 수직 방향에 수직인 방향으로 정의된다.
[0028] 도 2를 예시적으로 참조하면, 본 명세서에 설명된 임의의 다른 실시예들과 조합될 수 있는 실시예들에 따르면, 제1 출력 샤프트(121)는 제1 풀리(pulley)(161)에 연결된다. 또한, 전형적으로, 제2 출력 샤프트(122)는 제2 풀리(162)에 연결된다. 도 2에 예시적으로 도시된 바와 같이, 전형적으로 제1 풀리(161)는 예를 들어, 제1 벨트(belt)(13A)를 통해 제1 회전 가능한 캐소드(131)와 기계적으로 결합된다. 즉, 제1 풀리(161)의 회전은 도 2에 도시된 회전축 주위의 화살표들로 예시적으로 표시된 바와 같이, 제1 벨트(13A)를 채용함으로써 제1 회전 가능한 캐소드(131)로 전달될 수 있다. 따라서, 전형적으로, 제2 풀리(161)는 예를 들어, 제2 벨트(13B)를 통해 제2 회전 가능한 캐소드(132)와 기계적으로 결합된다. 즉, 제2 풀리(162)의 회전은 도 2에 도시된 회전축 주위의 화살표들로 예시적으로 표시된 바와 같이, 제2 벨트(13B)를 채용함으로써 제2 회전 가능한 캐소드(132)로 전달될 수 있다.
[0029] 도 3을 예시적으로 참조하여, 본 명세서에 설명된 임의의 다른 실시예들과 조합될 수 있는 실시예들에 따르면, 기어박스(120)는 제1 기어 조립체(140) 및 제2 기어 조립체(150)를 포함한다. 제1 기어 조립체(140)는 구동 샤프트(111)와 상호작용한다. 제2 기어 조립체(150)는 제1 출력 샤프트(121) 및 제2 출력 샤프트(122)와 상호작용한다. 본 개시내용에서, 본 명세서에 설명된 실시예들의 요소들(예를 들어, 기어 조립체들, 기어들, 휠들 및 샤프트들)과 관련하여 "상호작용하다"/"상호작용하는"이라는 동사는 운동, 특히 회전 운동이 상호작용하는 요소들(예를 들어, 본 명세서에 설명된 바와 같은 기어 조립체들, 기어들, 휠들 및 샤프트들) 사이에서 전달되거나 또는 전송될 수 있다는 의미로 이해될 수 있다. 따라서, 제1 출력 샤프트(121) 및 제2 출력 샤프트(122)와 상호작용하는 제2 기어 조립체(150)는 제2 기어 조립체(150)가 제1 출력 샤프트(121) 및 제2 출력 샤프트(122)로 운동, 특히 회전 운동을 전달하거나 또는 전송하도록 구성되는 것으로 이해될 수 있다.
[0030] 본 명세서에 설명된 임의의 다른 실시예들과 조합될 수 있는 실시예들에 따르면, 기어박스(120)는 도 3에 예시적으로 도시된 바와 같이, 스크류 기어 페어링(screw gear pairing)(170)을 통해 구동 샤프트(111)에 연결된다. 전형적으로, 스크류 기어 페어링(170)은 도 3에 예시적으로 표시된 바와 같이, 구동 샤프트(111)에 제공되는 제1 스크류 기어(171) 및 기어박스(120)의 메인(main) 샤프트(125)에 제공되는 제2 스크류 기어(172)를 포함한다. 전형적으로, 메인 샤프트(125)는 제1 웜 휠(worm wheel)(127)과 상호작용하는 제1 샤프트 웜 기어(126)를 포함한다. 제1 웜 휠(127)은 제1 출력 샤프트(121)에 연결된다. 또한, 메인 샤프트(125)는 제2 웜 휠(129)과 상호작용하는 제2 샤프트 웜 기어(128)를 포함할 수 있다. 제2 웜 휠(129)은 제2 출력 샤프트(122)에 연결된다. 따라서, 도 3에 예시적으로 도시된 바와 같이, 제1 기어 조립체(140)는 스크류 기어 조립체를 포함할 수 있고, 제2 기어 조립체(150)는 웜 기어 조립체를 포함할 수 있다. 기어박스의 "메인 샤프트"는 제1 기어 조립체(140)와 제2 기어 조립체(150)를 기계적으로 결합하는 샤프트로서 이해될 수 있다.
[0031] 도 3에 예시적으로 도시된 바와 같이, 전형적으로, 제1 샤프트 웜 기어(126) 및 제2 샤프트 웜 기어(128)는 메인 샤프트의 대향하는 단부들에 제공된다. 그러나, 본 명세서에 설명된 다른 실시예들과 조합될 수 있는 실시예들에 따르면, 메인 샤프트(125)는 제1 샤프트 웜 기어(126) 및 제2 샤프트 웜 기어(128)를 넘어 연장될 수 있다는 것을 이해해야 한다. 예를 들어, 제3 샤프트 웜 기어(도시되지 않음)가 제1 샤프트 웜 기어(126)에 대해 거리를 두고 메인 샤프트(125) 상에 제공될 수 있다. 추가적으로, 제4 샤프트 웜 기어(도시되지 않음)가 제2 샤프트 웜 기어(128)에 대해 거리를 두고 메인 샤프트(125) 상에 제공될 수 있다. 제3 샤프트 웜 기어는 제3 웜 휠(도시되지 않음)과 상호작용할 수 있다. 제3 웜 휠은 제3 출력 샤프트(도시되지 않음)에 연결될 수 있다. 제3 출력 샤프트는 제3 회전 가능한 캐소드(도시되지 않음)를 구동하기 위해 제3 풀리(도시되지 않음)에 연결될 수 있다. 마찬가지로, 제4 샤프트 웜 기어는 제4 웜 휠(도시되지 않음)과 상호작용할 수 있다. 제4 웜 휠은 제4 출력 샤프트(도시되지 않음)에 연결될 수 있다. 제4 출력 샤프트는 제4 회전 가능한 캐소드(도시되지 않음)를 구동하기 위해 제4 풀리(도시되지 않음)에 연결될 수 있다. 따라서, 캐소드 구동 유닛은 단일 모터를 사용하여 2 개 이상의 회전 가능한 캐소드들, 예를 들어 위에서 설명된 바와 같이 4 개의 회전 가능한 캐소드들을 구동하도록 구성될 수 있다는 것이 이해되어야 한다.
[0032] 도 3에 개략적으로 도시된 예시적인 실시예는 높은 기어 효율 및 높은 동력 전달을 제공하는 이점들을 갖는다.
[0033] 본 명세서에 설명된 다른 실시예들과 조합될 수 있는 실시예들에 따르면, 제1 스크류 기어(171) 및 제2 스크류 기어(172)는 2:1의 기어비를 제공하도록 구성된다. 제1 스크류 기어(171) 및 제2 스크류 기어(172)의 페어링을 위한 기어비는 제2 스크류 기어(172)의 톱니들의 개수를 제1 스크류 기어(171)의 톱니들의 개수로 나눈 값으로 이해될 수 있다. 예를 들어, 제1 스크류 기어(171)는 13 개의 톱니들을 가질 수 있고, 제2 스크류 기어(172)는 26 개의 톱니들을 가질 수 있다.
[0034] 본 명세서에 설명된 다른 실시예들과 조합될 수 있는 실시예들에 따르면, 제1 샤프트 웜 기어(126) 및 제1 웜 휠(127)은 60:1의 기어비를 제공하도록 구성된다. 제1 샤프트 웜 기어(126) 및 제1 웜 휠(127)의 페어링을 위한 기어비는 제1 웜 휠(127)의 톱니들의 개수를 제1 샤프트 웜 기어(126)의 톱니들의 개수로 나눈 값으로 이해될 수 있다. 예를 들어, 제1 샤프트 웜 기어(126)는 단일 웜 톱니를 가질 수 있고, 제1 웜 휠(127)은 60 개의 톱니들을 가질 수 있다.
[0035] 본 명세서에 설명된 다른 실시예들과 조합될 수 있는 실시예들에 따르면, 제1 샤프트 웜 기어(126) 및 제1 웜 휠(127)의 기어비는 제2 샤프트 웜 기어(128) 및 제2 웜 휠(129)의 기어비와 동일하다. 제2 샤프트 웜 기어(128) 및 제2 웜 휠(129)의 페어링을 위한 기어비는 제2 샤프트 웜 기어(128)의 톱니들의 개수를 제2 웜 휠(129)의 톱니들의 개수로 나눈 값으로 이해될 수 있다. 예를 들어, 제2 샤프트 웜 기어(128)는 단일 웜 톱니를 가질 수 있고, 제2 웜 휠(129)은 60 개의 톱니들을 가질 수 있다. 그러나, 제2 샤프트 웜 기어(128) 및 제2 웜 휠(129)의 기어비는 제1 샤프트 웜 기어(126) 및 제1 웜 휠(127)의 기어비와 상이할 수 있다는 것을 이해해야 한다.
[0036] 도 4를 예시적으로 참조하면, 본 명세서에 설명된 임의의 다른 실시예들과 조합될 수 있는 실시예들에 따르면, 기어박스(120)는 웜 기어 페어링(180)을 통해 구동 샤프트(111)에 연결된다. 전형적으로, 웜 기어 페어링(180)은 구동 샤프트(111)에 제공되는 제1 웜 기어(181)를 포함한다. 특히, 전형적으로, 제1 웜 기어(181)는 단일 웜 톱니에 의해 제공된다. 웜 기어 페어링(180)은 제1 웜 기어(181)와 상호작용하는 제2 웜 기어(182)를 포함한다. 또한, 웜 기어 페어링(180)은 제1 웜 기어(181)와 상호작용하는 제3 웜 기어(183)를 포함한다. 도 4에 예시적으로 도시된 바와 같이, 제2 웜 기어(182) 및 제3 웜 기어(183)는 구동 샤프트(111) 상에 제공되는 제1 웜 기어(181)의 대향하는 측면들 상에 배열될 수 있다. 즉, 제2 웜 기어(182) 및 제3 웜 기어(183)는 구동 샤프트(111)의 제1 회전축(11)에 대해 대칭적으로 배열될 수 있다. 따라서, 제1 기어 조립체(140)는 웜 기어 조립체일 수 있다.
[0037] 본 명세서에 설명된 다른 실시예들과 조합될 수 있는 실시예들에 따르면, 제1 웜 기어(181) 및 제2 웜 기어(182)는 60:1의 기어비를 제공하도록 구성된다. 제1 웜 기어(181) 및 제2 웜 기어(182)의 페어링을 위한 기어비는 제2 웜 기어(182)의 톱니들의 개수를 제1 웜 기어(181)의 톱니들의 개수로 나눈 값으로 이해될 수 있다. 예를 들어, 전형적으로, 제1 웜 기어(181)는 단일 웜 톱니를 가지며, 제2 웜 기어(182)는 60 개의 톱니들을 가질 수 있다.
[0038] 본 명세서에 설명된 다른 실시예들과 조합될 수 있는 실시예들에 따르면, 제1 웜 기어(181) 및 제3 웜 기어(183)는 60:1의 기어비를 제공하도록 구성된다. 제1 웜 기어(181) 및 제3 웜 기어(183)의 페어링을 위한 기어비는 제3 웜 기어(183)의 톱니들의 개수를 제1 웜 기어(181)의 톱니들의 개수로 나눈 값으로 이해될 수 있다. 예를 들어, 전형적으로, 제1 웜 기어(181)는 단일 웜 톱니를 가지며, 제3 웜 기어(183)는 60 개의 톱니들을 가질 수 있다.
[0039] 본 명세서에 설명된 다른 실시예들과 조합될 수 있는 실시예들에 따르면, 제1 웜 기어(181) 및 제3 웜 기어(183)의 페어링의 기어비는 제1 웜 기어(181) 및 제2 웜 기어(182)의 페어링의 기어비와 동일하다. 그러나, 제1 웜 기어(181) 및 제3 웜 기어(183)의 페어링의 기어비는 제1 웜 기어(181) 및 제2 웜 기어(182)의 페어링의 기어비와 상이할 수 있다는 것을 이해해야 한다.
[0040] 도 4를 예시적으로 참조하여, 본 명세서에 설명된 임의의 다른 실시예들과 조합될 수 있는 실시예들에 따르면, 제2 기어 조립체(150)는 스퍼(spur) 기어 조립체일 수 있다. 특히, 도 4에 예시적으로 도시된 바와 같이, 스퍼 기어 조립체는 특히 샤프트를 통해 제2 웜 기어(182)와 연결된 제1 스퍼 기어(191)를 포함할 수 있다. 또한, 스퍼 기어 조립체는 특히 샤프트를 통해 제3 웜 기어(183)에 연결된 제2 스퍼 기어(192)를 포함할 수 있다. 추가적으로, 제1 스퍼 기어(191)는 특히 제1 출력 샤프트(121)를 통해 제1 풀리(161)에 연결된 제3 스퍼 기어(193)와 상호작용할 수 있다. 또한, 제2 스퍼 기어(192)는 특히 제2 출력 샤프트(122)를 통해 제2 풀리(162)에 연결된 제4 스퍼 기어(194)와 상호작용할 수 있다.
[0041] 본 명세서에 설명된 다른 실시예들과 조합될 수 있는 실시예들에 따르면, 제1 스퍼 기어(191) 및 제3 스퍼 기어(193)는 2:1의 기어비를 제공하도록 구성된다. 제1 스퍼 기어(191) 및 제3 스퍼 기어(193)의 페어링을 위한 기어비는 제3 스퍼 기어(193)의 톱니들의 개수를 제1 스퍼 기어(191)의 톱니들의 개수로 나눈 값으로 이해될 수 있다. 예를 들어, 제1 스퍼 기어(191)는 30 개의 톱니들을 가질 수 있고, 제3 스퍼 기어(193)는 60 개의 톱니들을 가질 수 있다.
[0042] 본 명세서에 설명된 다른 실시예들과 조합될 수 있는 실시예들에 따르면, 제2 스퍼 기어(192) 및 제4 스퍼 기어(194)는 2:1의 기어비를 제공하도록 구성된다. 제2 스퍼 기어(192)와 제4 스퍼 기어(194)의 페어링을 위한 기어비는 제4 스퍼 기어(194)의 톱니들의 개수를 제2 스퍼 기어(192)의 톱니들의 개수로 나눈 값으로 이해될 수 있다. 예를 들어, 제2 스퍼 기어(192)는 30 개의 톱니들을 가질 수 있고, 제4 스퍼 기어(194)는 60 개의 톱니들을 가질 수 있다.
[0043] 본 명세서에 설명된 다른 실시예들과 조합될 수 있는 실시예들에 따르면, 제1 스퍼 기어(191) 및 제3 스퍼 기어(193)의 기어비는 제2 스퍼 기어(192) 및 제4 스퍼 기어(194)의 기어비와 동일하다. 그러나, 제1 스퍼 기어(191) 및 제3 스퍼 기어(193)의 기어비는 제2 스퍼 기어(192) 및 제4 스퍼 기어(194)의 기어비와 상이할 수 있다는 것을 이해하여야 한다.
[0044] 도 1 및 도 2를 예시적으로 참조하여, 본 개시내용에 따른 증착 시스템(200)이 제공된다. 본 명세서에 설명된 임의의 다른 실시예들과 조합될 수 있는 실시예들에 따르면, 증착 시스템(200)은 제1 회전 가능한 캐소드(131), 제2 회전 가능한 캐소드(132), 및 캐소드 구동 유닛(100)을 포함한다. 캐소드 구동 유닛(100)은 구동 샤프트(111)를 갖는 모터(110)를 포함한다. 추가적으로, 캐소드 구동 유닛(100)은 구동 샤프트(111)에 연결된 기어박스(120)를 포함한다. 기어박스(120)는 제1 회전 가능한 캐소드(131)를 구동하기 위한 제1 출력 샤프트(121) 및 제2 회전 가능한 캐소드(132)를 구동하기 위한 제2 출력 샤프트(122)를 포함한다. 특히, 캐소드 구동 유닛(100)은 본 명세서에 설명된 임의의 실시예들에 따른 캐소드 구동 유닛일 수 있다.
[0045] 특히, 증착 시스템(200)은 특히 대면적 기판들 상에 재료를 증착하기 위한 스퍼터 시스템일 수 있다. 즉, 본 명세서에 설명된 바와 같은 증착 시스템(200)은 스퍼터링, 특히 PVD 스퍼터링을 사용하여 대면적 기판들을 코팅하도록 구성된다.
[0046] 본 명세서에서 사용되는 바와 같은 "기판"이라는 용어는 특히 비-가요성 기판들, 예를 들어 유리 플레이트(plate)들을 포함한다. 본 개시내용은 이에 한정되지 않으며, "기판"이라는 용어는 또한 웹(web) 또는 포일(foil)과 같은 가요성 기판들을 포함할 수도 있다. 또한, 민감한 기판도 또한 포함될 수 있다.
[0047] 일부 예들에 따르면, 대면적 기판은 약 0.67 ㎡ 기판들(0.73 x 0.92 m)에 대응하는 GEN 4.5, 약 1.4 ㎡ 기판들(1.1 m x 1.3 m)에 대응하는 GEN 5, 약 4.29 ㎡ 기판들(1.95 m x 2.2 m)에 대응하는 GEN 7.5, 약 5.3 m² 기판들(2.16 m x 2.46 m)에 대응하는 GEN 8, 또는 심지어 약 9.0 m² 기판들(2.88 m × 3.13 m)에 대응하는 GEN 10 일 수 있다. GEN 11, GEN 12 및/또는 대응하는 기판 면적들과 같은 더 큰 세대들도 유사하게 구현할 수 있다. 본 명세서에 설명된 실시예들에 따른 증착 장치는 대면적 기판들 상의 증착을 위해 구성될 수 있다.
[0048] 일반적으로, 스퍼터링은 다이오드(diode) 스퍼터링 또는 마그네트론(magnetron) 스퍼터링으로서 수행될 수 있다. 마그네트론 스퍼터링은 증착 속도들이 다소 높다는 점에서 특히 유리하다. 타깃 표면 바로 근처에서 생성되는 자기장 내에 자유 전자들을 포획하기 위해, 캐소드 또는 스퍼터 타깃의 스퍼터 재료 뒤에 자석 조립체 또는 마그네트론을 배열함으로써, 이러한 전자들은 자기장 내에서 강제로 이동되어 빠져나갈 수 없게 된다. 이렇게 하면 가스 분자들의 이온화 확률이 전형적으로 몇 자리수들만큼 높아진다. 이는, 차례로, 증착 속도를 실질적으로 증가시킨다. 예를 들어, 본질적으로 원통형 형태를 가질 수 있는 회전 가능한 스퍼터 타깃의 경우, 자석 조립체는 회전 가능한 캐소드 또는 스퍼터 타깃 내부에 포지셔닝(position)될 수 있다.
[0049] 또한, 스퍼터링은 민감한 기판, 예를 들어, 이전에 프로세싱된 기판 상으로 재료를 증착할 때에도 또한 이용될 수 있다. 따라서, 스퍼터링, 및 특히 마그네트론 스퍼터링은 이미 프로세싱된 기판을 상이하게 추가로 프로세싱하기 위한 일종의 마무리 프로세스로 사용될 수 있다. 민감한 기판, 예를 들어 OLED 층들을 포함하는 기판의 프로세싱을 달성하기 위해, 스퍼터링 프로세스에 몇 가지 적응들이 이루어질 수 있는데, 예를 들어 회전 가능한 스퍼터링 캐소드들의 포지션, 즉 캐소드 조립체의 자석 조립체들의 배열 및/또는 배향이 민감한 기판을 향해 저 에너지 스프레이(spray) 코팅이 일어나도록 적응될 수 있다.
[0050] 본 명세서에서 사용되는 바와 같은 "자석 조립체"라는 용어는 자기장을 생성할 수 있는 유닛을 지칭할 수 있다. 전형적으로, 자석 조립체는 영구 자석으로 구성될 수 있다. 이 영구 자석은 캐소드 또는 스퍼터 타깃 내에 배열되어, 하전된 입자들이 생성된 자기장 내에, 예를 들어 스퍼터 타깃 위의 영역에 포획될 수 있다. 일부 실시예들에서, 자석 조립체는 자석 요크(yoke)를 포함한다.
[0051] 도 5에 도시된 블록 다이어그램을 예시적으로 참조하여, 본 개시내용에 따른 제1 회전 가능한 캐소드(131) 및 제2 회전 가능한 캐소드(132)를 포함하는 증착 시스템(200)을 작동시키는 방법(300)이 설명된다. 본 명세서에 설명된 임의의 다른 실시예들과 조합될 수 있는 실시예들에 따르면, 이 방법은 모터의 구동 샤프트의 제1 회전(R1)(도 5에서 블록(310)으로 나타내어짐)을 제공하는 단계를 포함한다. 또한, 이 방법은 기어박스(120)를 사용하여 제1 회전 가능한 캐소드(131)를 구동하기 위해 제1 회전(R1)을 제2 회전(R2)(도 5에서 블록(320)으로 나타내어짐)으로 변환하는 단계를 포함한다. 추가적으로, 이 방법은 기어박스(120)를 사용하여 제2 회전 가능한 캐소드(132)를 구동하기 위해 제1 회전(R1)을 제3 회전(R3)(블록(330)으로 나타내어짐)으로 변환하는 단계를 포함한다. 특히, 전형적으로, 기어박스(120)는 본 명세서에 설명된 임의의 실시예들에 따른 캐소드 구동 유닛의 기어박스이다.
[0052] 도 6에 도시된 블록 다이어그램을 예시적으로 참조하여, 코팅된 기판을 제조하는 방법(400)이 제공된다. 이 방법은 본 명세서에 설명된 임의의 실시예들에 따라 캐소드 구동 유닛(100)을 사용하여(도 6의 블록(410)으로 나타내어짐) 기판, 특히 대면적 기판을 코팅(도 6의 블록(420)으로 나타내어짐)하는 단계를 포함한다. 추가적으로 또는 대안적으로, 이 방법은 본 명세서에 설명된 임의의 실시예들에 따른 증착 시스템을 사용하는 단계를 포함한다. 추가적으로 또는 대안적으로, 코팅된 기판을 제조하는 방법은 전형적으로 본 명세서에 설명된 임의의 실시예들에 따른 증착 시스템을 작동시키는 방법을 채용하는 단계를 포함한다.
[0053] 예를 들어, 코팅(도 6에서 블록(410)으로 나타내어짐)은 전도성 또는 반-도전성 재료들의 스퍼터링을 포함할 수 있다. 예를 들어, 코팅은 본 명세서에 설명된 바와 같이 기판 상에 투명 전도성 산화물 막을 스퍼터링하는 단계를 포함할 수 있다. 다른 예들에 따르면, 코팅은 ITO, IZO, IGZO 또는 MoN과 같은 재료들의 스퍼터링을 포함할 수 있다. 또한, 코팅은 은(Ag), Ag 합금들 및/또는 마그네슘(Mg)의 스퍼터링을 포함할 수 있다. 더 예시적으로, 코팅은 금속 재료의 스퍼터링을 포함할 수 있다. 따라서, 스퍼터링은 디스플레이들, 특히 OLED 디스플레이들, 액정 디스플레이들, 및 터치스크린(touchscreen)들에서 전극들, 특히 투명 전극들의 증착에 활용될 수 있다. 또한, 스퍼터링은 전극들, 특히 박막 태양 전지들, 포토다이오드(photodiode)들, 및 스마트 또는 전환 가능한 유리의 투명 전극들의 증착을 위해 활용될 수 있다.
[0054] 기판을 코팅하기 위해, 기판은 회전 가능한 캐소드들을 갖는 캐소드 조립체를 지나 코팅 동안 연속적으로 이동될 수 있다는 것이 이해되어야 한다("동적 코팅"). 대안적으로, 기판은 코팅 중에 본질적으로 일정한 포지션에 놓일 수 있다("정적 코팅"). 또한, 기판 스위핑(sweeping) 또는 기판 워블링(wobbling)도 또한 가능할 수 있다. 본 개시내용에 설명된 실시예들은 동적 코팅 및 정적 코팅 프로세스들 모두와 관련된다.
[0055] 위의 내용의 관점에서, 종래 기술에 비해, 본 개시내용의 실시예들은 개선된 캐소드 구동 유닛, 개선된 증착 시스템, 개선된 증착 시스템을 작동시키는 방법, 및 개선된 코팅된 기판을 제조하는 방법을 유리하게 제공한다는 것이 이해되어야 한다. 특히, 본 개시내용의 실시예들은 다수의 회전 가능한 캐소드들을 구동하기 위한 모터들의 수량 감소, 장비 비용들의 감소, 코팅된 기판의 생산 비용들의 감소, 및 작동 비용들의 감소를 유리하게 제공한다.
[0056] 전술한 바가 실시예들에 관한 것이지만, 다른 그리고 추가적인 실시예들이, 본 개시내용의 기본적인 범위를 벗어나지 않으면서 안출될 수 있고, 그 범위는 다음의 청구항들에 의해 결정된다.

Claims (15)

  1. 증착 시스템을 위한 캐소드(cathode) 구동 유닛(100)으로서,
    - 구동 샤프트(shaft)(111)를 갖는 모터(motor)(110), 및
    - 상기 구동 샤프트(111)에 연결된 기어박스(gearbox)(120) ― 상기 기어박스는 제1 회전 가능한 캐소드(131)를 구동하기 위한 제1 출력 샤프트(121) 및 제2 회전 가능한 캐소드(132)를 구동하기 위한 제2 출력 샤프트(122)를 가짐 ― 를 포함하는,
    캐소드 구동 유닛.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 기어박스(120)는 제1 기어 조립체(140) 및 제2 기어 조립체(150)를 갖고, 상기 제1 기어 조립체(140)는 상기 구동 샤프트(111)과 상호작용하고, 상기 제2 기어 조립체(150)는 상기 제1 출력 샤프트(121) 및 상기 제2 출력 샤프트(122)와 상호작용하는,
    캐소드 구동 유닛.
  3. 제1 항 또는 제2 항에 있어서,
    상기 기어박스(120)는 스크류 기어 페어링(screw gear pairing)(170)을 통해 상기 구동 샤프트(111)에 연결되는,
    캐소드 구동 유닛.
  4. 제3 항에 있어서,
    상기 스크류 기어 페어링(170)은 상기 구동 샤프트(111)에 제공된 제1 스크류 기어(171) 및 상기 기어박스(120)의 메인(main) 샤프트(125)에 제공된 제2 스크류 기어(172)를 포함하는,
    캐소드 구동 유닛.
  5. 제4 항에 있어서,
    상기 메인 샤프트(125)는 상기 제1 출력 샤프트(121)에 연결된 제1 웜 휠(worm wheel)(127)과 상호작용하는 제1 샤프트 웜 기어(126) 및 상기 제2 출력 샤프트(122)에 연결된 제2 웜 휠(129)과 상호작용하는 제2 샤프트 웜 기어(128)를 더 포함하는,
    캐소드 구동 유닛.
  6. 제2 항 내지 제5 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1 기어 조립체(140)는 스크류 기어 조립체를 포함하고, 상기 제2 기어 조립체(150)는 웜 기어 조립체를 포함하는,
    캐소드 구동 유닛.
  7. 제1 항 또는 제2 항에 있어서,
    상기 기어박스(120)는 웜 기어 페어링(180)을 통해 상기 구동 샤프트(111)에 연결되는,
    캐소드 구동 유닛.
  8. 제7 항에 있어서,
    상기 웜 기어 페어링(180)은 상기 구동 샤프트(111)에 제공된 제1 웜 기어(181), 및 상기 제1 웜 기어(181)와 상호작용하는 2 개의 제2 웜 기어들(182)을 포함하고, 특히 상기 제1 웜 기어(181)는 단일 웜 톱니를 갖는,
    캐소드 구동 유닛.
  9. 제2 항 및 제7 항 또는 제8 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1 기어 조립체(140)는 웜 기어 조립체를 포함하고, 상기 제2 기어 조립체(150)는 스퍼(spur) 기어 조립체를 포함하는,
    캐소드 구동 유닛.
  10. 제1 항 내지 제9 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1 출력 샤프트(121)는 제1 풀리(pulley)(161)에 연결되고, 상기 제2 출력 샤프트(122)는 제2 풀리(162)에 연결되는,
    캐소드 구동 유닛.
  11. 증착 시스템을 위한 캐소드 구동 유닛(100)으로서,
    - 구동 샤프트(111)의 제1 회전(R1)을 제공하도록 구성된 모터(110), 및
    - 상기 구동 샤프트(111)에 연결된 기어박스(120) ― 상기 기어박스(120)는 상기 제1 회전(R1)을 제1 회전 가능한 캐소드(131)를 구동하기 위한 제2 회전(R2)으로 그리고 제2 회전 가능한 캐소드(132)를 구동하기 위한 제3 회전(R3)으로 변환하도록 구성됨 ― 를 포함하는,
    캐소드 구동 유닛.
  12. 증착 시스템(200)으로서,
    - 제1 회전 가능한 캐소드(131);
    - 제2 회전 가능한 캐소드(132); 및
    - 캐소드 구동 유닛(100)을 포함하고,
    상기 캐소드 구동 유닛(100)은
    - 구동 샤프트(111)를 갖는 모터(110), 및
    - 상기 구동 샤프트(111)에 연결된 기어박스(120) ― 상기 기어박스는 상기 제1 회전 가능한 캐소드(131)를 구동하기 위한 제1 출력 샤프트(121) 및 상기 제2 회전 가능한 캐소드(132)를 구동하기 위한 제2 출력 샤프트(122)를 가짐 ― 를 포함하는,
    증착 시스템.
  13. 제12 항에 있어서,
    상기 캐소드 구동 유닛은 제1 항 내지 제12 항 중 어느 한 항에 따른 캐소드 구동 유닛인,
    증착 시스템.
  14. 제1 회전 가능한 캐소드(131) 및 제2 회전 가능한 캐소드(132)를 갖는 증착 시스템을 작동시키는 방법(300)으로서,
    - 모터의 구동 샤프트의 제1 회전(R1)을 제공하는 단계(310), 및
    - 기어박스(120)를 사용하여 상기 제1 회전 가능한 캐소드(131)를 구동하기 위해 상기 제1 회전(R1)을 제2 회전(R2)으로 변환하는 단계(320), 및
    - 상기 기어박스(120)를 사용하여 제2 회전 가능한 캐소드(132)를 구동하기 위해 상기 제1 회전(R1)을 제3 회전(R3)으로 변환하는 단계(330)를 포함하는,
    증착 시스템을 작동시키는 방법.
  15. 코팅된 기판을 제조하는 방법(400)으로서,
    제1 항 내지 제11 항 중 어느 한 항에 따른 캐소드 구동 유닛(100), 제12 항 또는 제13 항에 따른 증착 시스템, 및 제14 항에 따른 증착 시스템을 작동시키는 방법 중 적어도 하나를 사용하는 단계(420)에 의해 기판, 특히 대면적 기판을 코팅하는 단계(410)를 포함하는,
    코팅된 기판을 제조하는 방법.
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