KR20230122241A - A multiple performance measuring apparatus of porosity charge plate type - Google Patents
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Abstract
본 발명은 공기 중에 부유하는 대전 입자들에 의한 정전기 발생 가능성을 측정하고, 정전기 발생을 방지하기 위해 공기 중으로 이온 입자들을 방출하는 이오나이저의 성능을 측정하며, 이오나이저의 성능 측정 시, 대전체인 차치 플레이트에 분포된 대전 입자들에 대한 이오나이저에서 발생된 이온(양이온, 음이온)의 접촉 가능성을 높일 수 있도록 하는 다공성 구조의 차지 플에이트가 구비된 복합 성능 측정 장치에 관한 발명으로, 차지 플레이트(100), 충전 콘덴서(200), 대전부(300), 전압 측정부(400), 소멸 시간 측정부(500), 모드 선택 버튼(600), 제어부(700)를 포함하는 것을 특징으로 한다.The present invention measures the possibility of generating static electricity by charged particles floating in the air, measures the performance of an ionizer that discharges ion particles into the air to prevent static electricity, and measures the performance of the ionizer, other than the charged body The invention relates to a composite performance measuring device equipped with a porous charge plate that can increase the possibility of contact of ions (positive ions, negative ions) generated from the ionizer with the charged particles distributed on the plate, the charge plate (100 ), a charging capacitor 200, a charging unit 300, a voltage measurement unit 400, an extinction time measurement unit 500, a mode selection button 600, and a control unit 700.
Description
본 발명은 다공성 차지 플레이트형 복합 성능 측정 장치에 관한 것으로, 상세하게는 공기 중에 부유하는 대전 입자들에 의한 정전기 발생 가능성을 측정하고, 정전기 발생을 방지하기 위해 공기 중으로 이온 입자들을 방출하는 이오나이저의 성능을 측정하며, 이오나이저의 성능 측정 시, 대전체인 차치 플레이트에 분포된 대전 입자들에 대한 이오나이저에서 발생된 이온(양이온, 음이온)의 접촉 가능성을 높일 수 있도록 하는 다공성 구조의 차지 플에이트가 구비된 디케이(Decay) 측정 장치에 관한 기술이다.The present invention relates to a porous charge plate type composite performance measurement device, and more particularly, to an ionizer that measures the possibility of static electricity generated by charged particles floating in the air and discharges ion particles into the air to prevent static electricity generation. Performance is measured, and when measuring the performance of the ionizer, there is a charge plate with a porous structure that increases the possibility of contact of ions (cations and anions) generated from the ionizer to the charged particles distributed on the charge plate, which is the charge. It is a technology related to the provided Decay measuring device.
현대사회는 인간의 편리한 삶을 위해, 많은 생활 가전제품들이 생산되어 출시되고 있으며, 가전제품에는 필수적 전자부품으로 반도체가 사용된다.In modern society, many home appliances are being produced and released for the convenience of human life, and semiconductors are used as essential electronic components in home appliances.
반도체는 산업의 쌀이라 불리며 우리 생활에 사용되는 대부분의 전자 제품에 필수적으로 구성되는 부품으로, 제4차 산업혁명 시대를 맞이하여 더욱더 그 수요가 증가하고 있다.Semiconductors are called the rice of industry and are essential components for most electronic products used in our lives, and their demand is increasing more and more in the era of the 4th Industrial Revolution.
한편, 반도체를 포함하는 각종 전자부품을 생산하는 공정 환경은 정전기가 발생하지 않도록 하는 세심한 주의가 필요하다.On the other hand, a process environment for producing various electronic parts including semiconductors requires careful attention to prevent static electricity from being generated.
정전기는 반도체를 포함하는 각종 전자부품에 치명적 손상을 가져오는 주요 원인 중 하나이다.Static electricity is one of the main causes of fatal damage to various electronic components including semiconductors.
일반적으로 공기 중에는 공기 입자들의 상호 마찰로 발생한 대전 입자((+) 대전 입자, (-) 대전 입자)들이 자연적으로 존재하는데, 대전 입자 중, (+) 대전 입자와 (-) 대전 입자가 균형을 이루면 정전기가 발생하지 않지만, (+) 대전 입자가 (-) 대전 입자보다 많아지거나, (-) 대전 입자가 (+) 대전 입자보다 많아지면 정전기가 발행하게 되며, 많아진 잉여 대전 입자((+) 대전 입자 또는 (-) 대전 입자)들이 공기 중에서 부유하다가 반도체를 포함하는 각종 전자부품 표면에 부착되면 정전기가 유발되어 반도체를 포함하는 각종 전자부품에 치명적 손상을 발생시킨다.In general, charged particles ((+) charged particles, (-) charged particles) generated by mutual friction between air particles naturally exist in the air. Among the charged particles, (+) charged particles and (-) charged particles are balanced. If this is the case, static electricity does not occur, but if (+) charged particles exceed (-) charged particles or (-) charged particles exceed (+) charged particles, static electricity is generated, and the increased surplus charged particles ((+) When charged particles or (-) charged particles) float in the air and attach to the surface of various electronic components including semiconductors, static electricity is induced to cause fatal damage to various electronic components including semiconductors.
따라서 종래의 경우, 반도체를 포함하는 각종 전자부품을 생산하는 생산 공정의 환경이 정전기를 유발할 가능성이 있는 환경인지를 수시로 정전기 측정 장비를 이용하여 파악하고 있다.Therefore, in the prior art, it is frequently checked whether the environment of a production process for producing various electronic parts including semiconductors is an environment that may cause static electricity using static electricity measuring equipment.
또한, 종래의 경우, 혹시 발생할 정전기 방지를 위해, 반도체를 포함하는 각종 전자부품 생산 설비의 여러 곳에 정전기 방지용 이온을 방출하는 이오나이저를 설치 운영하고 있다.In addition, in the prior art, in order to prevent static electricity that may occur, ionizers that discharge antistatic ions are installed and operated at various locations in various electronic component production facilities including semiconductors.
이오나이저는 공기 중으로 인공적인 양이온과 음이온을 방출시켜 공기 중에 부유하는 잉여 대전 입자((+) 대전 입자 또는 (-) 대전 입자)들을 소멸시켜 정전기가 발생하지 않도록 하는 장비이며, 종래의 경우, 이오나이저가 정상 동작하고 있는지를 이오나이저 성능 측정 장비를 이용해 파악하고 있다.The ionizer is a device that releases artificial positive ions and negative ions into the air to eliminate excess charged particles ((+) charged particles or (-) charged particles) floating in the air to prevent static electricity from occurring. The ionizer performance measurement equipment is used to determine whether the niger is operating normally.
특히, 이오나이저가 정상 동작하고 있는지를 파악하는 종래의 이오나이저 성능 측정 장비의 경우, 차지 플레이트를 포함하여 구성되는데, 종래의 이오나이저 성능 측정 장비에 사용되는 차지 플레이는 도 1에 도시된 바와 같이, 일정 크기 이상의 평판으로 제작된다.In particular, in the case of the conventional ionizer performance measurement equipment that determines whether the ionizer is operating normally, it is configured to include a charge plate, and the charge play used in the conventional ionizer performance measurement equipment is as shown in FIG. , made with a flat plate of a certain size or more.
일반적으로 대전 입자들은 대전체의 에지(Edge)에 모이는 경향이 있으며, 종래의 이오나이저 성능 측정 장비에 사용되는 평판형 차지 플레이트의 경우, 대전 입자들은 에지(Edge) 부분인 평판 둘레인 사변 테두리 부분에 주로 모이게 된다.In general, charged particles tend to gather at the edge of the charged body, and in the case of a flat plate type charge plate used in conventional ionizer performance measurement equipment, the charged particles are edged around the edge of the flat plate. are mainly gathered in
또한, 이오나이저의 정확한 성능 측정을 위해서는 이오나이저에서 발생된 이온(양이온, 음이온)이 대전체인 차치 플레이트에 분포된 대전 입자들과의 접촉 가능성을 높여야 한다. In addition, in order to accurately measure the performance of the ionizer, it is necessary to increase the possibility of contact between the ions (positive ions and negative ions) generated from the ionizer and the charged particles distributed on the charge plate, which is a charge.
따라서 대전체인 차치 플레이트에 분포된 대전 입자들에 대한 이오나이저에서 발생된 이온(양이온, 음이온)의 접촉 가능성을 높이기 위해, 종래의 평판형 차지 플레이트의 크기를 일정 크기 이상으로 하여 대전 입자들이 주로 모이는 에지(Edge) 부분을 최대한 확보하고, 이오나이저 성능 측정 장비를 최대한 이오나이저에 근접시켜 측정하였다. Therefore, in order to increase the possibility of contact of ions (positive ions, negative ions) generated from the ionizer to the charged particles distributed on the charge plate, which is a charge, the size of the conventional flat-type charge plate is increased to a certain size or more, where the charged particles are mainly gathered. The edge part was secured as much as possible, and the ionizer performance measurement equipment was measured by bringing it as close to the ionizer as possible.
이오나이저 성능 측정 장비를 최대한 이오나이저에 근접시켜 측정하는 이유는 이오나이저에서 발생한 이온과 대전체인 차치 플레이트에 분포된 대전 입자들과의 접촉 가능성을 높이기 위한 것인데, 이오나이저에서 측정 장비가 멀수록 이오나이저에서 발생한 이온과 대전체인 차치 플레이트에 분포된 대전 입자들과의 접촉 가능성은 낮아지기 때문이다.The reason for measuring the ionizer performance measurement equipment as close to the ionizer as possible is to increase the possibility of contact between the ions generated from the ionizer and the charged particles distributed on the charge plate, which is the charge. This is because the possibility of contact between the ions generated in the niger and the charged particles distributed on the charge plate, which is a charge, is low.
도 1에는 종래의 평판형 차지 플레이트의 예가 도시되어 있으며, 대전체인 차치 플레이트에 분포된 대전 입자들에 대한 이오나이저에서 발생된 이온(양이온, 음이온)의 접촉 가능성을 높이기 위해, 종래의 평판형 차지 플레이트는 일정 크기(예: 41㎜×30㎜) 이상으로 제작되었고, 일정 크기 이상으로 제작된 차지 플레이트가 구비 된 이오나이저 성능 측정 장치를 이오나이저로부터 일정 거리 (일반적으로 1m) 이내로 근접시켜 측정하였다.1 shows an example of a conventional flat-type charge plate, and in order to increase the possibility of contact of ions (positive ions, negative ions) generated from the ionizer to charged particles distributed on the charge plate, which is a charge, a conventional flat-type charge plate The plate was manufactured to a certain size (e.g., 41 mm × 30 mm) or more, and the ionizer performance measurement device equipped with a charge plate manufactured to a certain size or more was measured by approaching it within a certain distance (generally 1 m) from the ionizer. .
그러나 이오나이저가 근접성이 떨어지는 위치(예: 반도체를 포함하는 각종 전자부품을 생산하는 생산 공정 설비 사이 구석)에 설치되는 경우, 이오나이저에 성능 측정 장치를 근접시켜 성능 측정하기가 곤란해진다. However, when the ionizer is installed in a location with poor proximity (eg, a corner between production process facilities for producing various electronic parts including semiconductors), it becomes difficult to measure performance by bringing the performance measurement device close to the ionizer.
즉, 이오나이저의 정확한 성능 측정을 위해서는 대전체인 차치 플레이트에 분포된 대전 입자들에 대한 이오나이저에서 발생된 이온(양이온, 음이온)의 접촉 가능성을 높여야 하고, 이를 위해, 이오나이저 성능 측정 장치를 이오나이저에 근접시켜야 하는데, 일정 크기 이상으로 제작된 차지 플레이트의 크기로 인해, 이오나이저에 근접할 수 없게 되어 적정한 측정 위치 밖에서 측정해 부정확한 이오나이저 성능 측정이라는 문제가 종래에 있었다. That is, in order to accurately measure the performance of the ionizer, it is necessary to increase the possibility of contact of ions (positive ions, negative ions) generated from the ionizer to the charged particles distributed on the charge plate, which is an electrification. It is necessary to approach the ionizer, but due to the size of the charge plate manufactured to a certain size or more, it is impossible to approach the ionizer, so there has been a conventional problem of inaccurate ionizer performance measurement by measuring outside the appropriate measurement position.
따라서, 반도체를 포함하는 각종 전자부품을 생산하는 생산 공정의 환경이 정전기를 유발할 가능성이 있는 환경인지를 측정하는 기능과 이오나이저의 성능을 측정하는 기능을 겸하고, 이오나이저 성능 측정 시, 대전체인 차치 플레이트에 분포된 대전 입자들에 대한 이오나이저에서 발생된 이온(양이온, 음이온)의 접촉 가능성을 높여 종래보다 더 먼 거리에서도 측정이 가능하도록 하는 차지 플레이트 개발 필요성이 대두되고 있다.Therefore, the function of measuring whether the environment of the production process for producing various electronic parts including semiconductors is an environment with the possibility of causing static electricity and the function of measuring the performance of the ionizer are measured. There is a need to develop a charge plate that enables measurement at a longer distance than before by increasing the possibility of contact of ions (positive ions, negative ions) generated from the ionizer with the charged particles distributed on the plate.
본 발명은 상기와 같은 필요성에 의한 것으로, 공기 중에 부유하는 대전 입자들에 의한 정전기 발생 가능성을 측정하고, 정전기 발생을 방지하기 위해 공기 중으로 이온 입자들을 방출하는 이오나이저의 성능을 측정하며, 이오나이저의 성능 측정 시, 대전체인 차치 플레이트에 분포된 대전 입자들에 대한 이오나이저에서 발생된 이온(양이온, 음이온)의 접촉 가능성을 높일 수 있도록 하는 다공성 구조의 차지 플에이트가 구비된 디케이(Decay) 측정 장치에 관한 기술을 제안하고자 한다. 다음은 이와 관련한 종래의 선행기The present invention is based on the above needs, measures the possibility of generating static electricity by charged particles floating in the air, measures the performance of an ionizer that discharges ion particles into the air to prevent static electricity, and measures the performance of the ionizer. Decay measurement equipped with a porous charge plate that increases the possibility of contact of ions (positive ions, negative ions) generated from the ionizer to the charged particles distributed on the charge plate, which is the charge when measuring the performance of I would like to propose a technology related to the device. The following is a prior art related to this
본 발명은 공기 중 대전 입자들에 의한 정전기 발생 가능성을 측정하고, 정전기 발생을 방지하기 위해 공기 중으로 이온 입자들을 방출하는 이오나이저의 성능을 측정하는 기능을 겸하는 측정 장비의 제공을 목적으로 한다.An object of the present invention is to provide a measuring device that also functions to measure the possibility of generating static electricity by charged particles in the air and to measure the performance of an ionizer that emits ion particles into the air to prevent static electricity.
또한, 본 발명은 이오나이저의 성능 측정 시, 대전체인 차치 플레이트에 분포된 대전 입자들에 대한 이오나이저에서 발생된 이온(양이온, 음이온)의 접촉 가능성을 높일 수 있도록 하는 것을 목적으로 한다.In addition, when the performance of the ionizer is measured, an object of the present invention is to increase the possibility of contact of ions (positive ions, negative ions) generated from the ionizer with respect to charged particles distributed on a charging plate.
상기와 같은 목적을 달성하기 위해 본 발명인 다공성 차지 플레이트형 복합 성능 측정 장치는,In order to achieve the above object, the porous charge plate type composite performance measuring device of the present invention,
대전 입자들이 대전되는 표면을 갖는 차지 플레이트(100)와;a charge plate 100 having a surface on which charged particles are charged;
전원이 충전된 충전 콘덴서(200)와;a charging capacitor 200 charged with power;
제어부(700)의 제어에 따라, 충전 콘덴서(200)에 충전된 전원을 이용해 차지 플레이트(100) 표면을 대전 입자들로 대전시키는 대전부(300)와;a charging unit 300 that charges the surface of the charge plate 100 with charged particles using the power charged in the charging capacitor 200 under the control of the controller 700;
제어부(700)의 제어에 따라, 차지 플레이트(100)에 대전 된 대전 입자에 의해 형성된 정전기 전압을 측정하고, 측정된 정전기 전압을 측정 장치 화면에 표시하는 전압 측정부(400)와;a voltage measuring unit 400 that measures the electrostatic voltage formed by the charged particles charged on the charge plate 100 under the control of the controller 700 and displays the measured electrostatic voltage on the screen of the measuring device;
제어부(700)의 제어에 따라, 차지 플레이트(100)에 대전 된 대전 입자가 소멸하는데 걸리는 소멸 시간을 측정하고, 측정된 소멸 시간을 측정 장치 화면에 표시하는 소멸 시간 측정부(500)와;an extinction time measuring unit 500 that measures the extinction time required for the charged particles charged on the charge plate 100 to disappear under the control of the controller 700 and displays the measured extinction time on the screen of the measuring device;
사용자가 이오나이저의 성능 상태를 파악하고 싶거나, 공기 중에 부유하는 대전 입자들에 의한 주변 환경의 정전기 유발 가능성 상태를 파악하고 싶을 때 선택하는 모드 선택 버튼(600)과;a mode selection button 600 that the user selects when he or she wants to know the performance state of the ionizer or the possibility of static electricity in the surrounding environment caused by charged particles floating in the air;
사용자의 모드 선택 버튼(600) 선택에 따라, 공기 중에 부유하는 대전 입자들에 의한 정전기 전압이 표시되도록 제어하거나, 이오나이저의 성능 상태 파악을 위해, 대전부(300)에 의해 차지 플레이트(100)에 인위적으로 대전 된 대전 입자의 소멸 시간이 표시되도록 제어하는 제어부(700)를 포함하는 것을 특징으로 한다.According to the user's selection of the mode selection button 600, the charge plate 100 is controlled by the charging unit 300 to display the electrostatic voltage caused by charged particles floating in the air or to determine the performance state of the ionizer. It is characterized in that it includes a control unit 700 that controls the extinction time of artificially charged charged particles to be displayed.
본 발명은 공기 중 대전 입자들에 의한 정전기 발생 가능성을 측정하고, 정전기 발생을 방지하기 위해 공기 중으로 이온 입자들을 방출하는 이오나이저의 성능을 측정하는 기능을 겸하는 측정 장비여서, 반도체를 포함하는 각종 전자부품을 생산하는 공정 환경에 대한 정전기 발생 가능성 여부를 신속히 파악함과 동시에 이오나이저의 성능을 신속히 파악할 수 있는 효과를 제공한다.The present invention is a measuring device that measures the possibility of static electricity generated by charged particles in the air and measures the performance of an ionizer that discharges ion particles into the air to prevent static electricity generation. It provides the effect of quickly identifying the possibility of static electricity generation in the process environment for producing parts and at the same time quickly identifying the performance of the ionizer.
또한, 본 발명은 이오나이저의 성능 측정 시, 대전체인 차치 플레이트에 분포된 대전 입자들에 대한 이오나이저에서 발생된 이온(양이온, 음이온)의 접촉 가능성을 높일 수 있어, 종래보다 먼 거리에서도 이오나이저에 대한 성능 측정이 가능하도록 하는 효과를 제공한다.In addition, when measuring the performance of the ionizer, the present invention can increase the possibility of contact of ions (positive ions, negative ions) generated from the ionizer to the charged particles distributed on the charge plate, which is a charge, so that the ionizer can be It provides an effect that enables performance measurement for
도 1은 종래의 차지 플레이트 예시도
도 2는 본 발명의 전체 구성도
도 3은 본 발명의 차지 플레이트 구성도
도 4는 본 발명의 차지 플레이트에 형성된 다공 주변에 대전 효율을 높이기 위해 주름이 형성된 예시도
도 5는 본 발명의 차지 플레이트 비교 시험 예시도 1
도 6은 본 발명의 차지 플레이트 비교 시험 예시도 21 is an exemplary view of a conventional charge plate
2 is an overall configuration diagram of the present invention
3 is a configuration diagram of a charge plate of the present invention
4 is an exemplary view in which wrinkles are formed around pores formed in the charge plate of the present invention to increase charging efficiency.
5 is an exemplary diagram 1 of a comparative test of a charge plate of the present invention;
6 is an exemplary diagram 2 of a comparative test of a charge plate of the present invention;
본 발명의 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.An embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
본 발명의 다공성 차지 플레이트형 디케이(10, 이하 ‘본 발명’)는 공기 중 대전 입자들에 의한 정전기 발생 가능성을 측정하고, 정전기 발생을 방지하기 위해 공기 중으로 이온 입자들을 방출하는 이오나이저의 성능을 측정하는 기능을 겸하는 측정 장비여서, 반도체를 포함하는 각종 전자부품을 생산하는 공정 환경에 대한 정전기 발생 가능성 여부를 신속히 파악함과 동시에 이오나이저의 성능을 신속히 파악할 수 있는 효과와 이오나이저의 성능 측정 시, 대전체인 차치 플레이트에 분포된 대전 입자들에 대한 이오나이저에서 발생된 이온(양이온, 음이온)의 접촉 가능성을 높일 수 있어, 종래보다 먼 거리에서도 이오나이저에 대한 성능 측정이 가능하도록 하는 효과를 제공하는 발명으로, 도 2에 도시된 바와 같이, 차지 플레이트(100), 충전 콘덴서(200), 대전부(300), 전압 측정부(400), 소멸 시간 측정부(500), 모드 선택 버튼(600), 제어부(700)를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.The porous charge plate type decay (10, hereinafter 'the present invention') of the present invention measures the possibility of static electricity generated by charged particles in the air, and measures the performance of the ionizer to discharge ion particles into the air to prevent static electricity generation. As a measuring device that also functions to measure, it quickly identifies the possibility of static electricity generation in the process environment for producing various electronic parts including semiconductors, and at the same time, the effect of quickly identifying the performance of the ionizer and when measuring the performance of the ionizer , It is possible to increase the possibility of contact of ions (positive ions, negative ions) generated from the ionizer to the charged particles distributed on the charge plate, which is a charge, to provide an effect that enables measurement of the performance of the ionizer at a longer distance than before As an invention, as shown in FIG. 2, a charge plate 100, a charging capacitor 200, a charging unit 300, a voltage measuring unit 400, an extinction time measuring unit 500, a mode selection button 600 ), characterized in that it is configured to include a control unit 700.
구체적으로, 본 발명의 다공성 차지 플레이트형 복합 성능 측정 장치는, 도 2에 도시된 바와 같이,Specifically, the porous charge plate type composite performance measuring device of the present invention, as shown in FIG. 2,
대전 입자들이 대전되는 표면을 갖는 차지 플레이트(100)와;a charge plate 100 having a surface on which charged particles are charged;
전원이 충전된 충전 콘덴서(200)와;a charging capacitor 200 charged with power;
제어부(700)의 제어에 따라, 충전 콘덴서(200)에 충전된 전원을 이용해 차지 플레이트(100) 표면을 대전 입자들로 대전시키는 대전부(300)와;a charging unit 300 that charges the surface of the charge plate 100 with charged particles using the power charged in the charging capacitor 200 under the control of the controller 700;
제어부(700)의 제어에 따라, 차지 플레이트(100)에 대전 된 대전 입자에 의해 형성된 정전기 전압을 측정하고, 측정된 정전기 전압을 측정 장치 화면에 표시하는 전압 측정부(400)와;a voltage measuring unit 400 that measures the electrostatic voltage formed by the charged particles charged on the charge plate 100 under the control of the controller 700 and displays the measured electrostatic voltage on the screen of the measuring device;
제어부(700)의 제어에 따라, 차지 플레이트(100)에 대전 된 대전 입자가 소멸하는데 걸리는 소멸 시간을 측정하고, 측정된 소멸 시간을 측정 장치 화면에 표시하는 소멸 시간 측정부(500)와;an extinction time measuring unit 500 that measures the extinction time required for the charged particles charged on the charge plate 100 to disappear under the control of the controller 700 and displays the measured extinction time on the screen of the measuring device;
사용자가 이오나이저의 성능 상태를 파악하고 싶거나, 공기 중에 부유하는 대전 입자들에 의한 주변 환경의 정전기 유발 가능성 상태를 파악하고 싶을 때 선택하는 모드 선택 버튼(600)과;a mode selection button 600 that the user selects when he or she wants to know the performance state of the ionizer or the possibility of static electricity in the surrounding environment caused by charged particles floating in the air;
사용자의 모드 선택 버튼(600) 선택에 따라, 공기 중에 부유하는 대전 입자들에 의한 정전기 전압이 표시되도록 제어하거나, 이오나이저의 성능 상태 파악을 위해, 대전부(300)에 의해 차지 플레이트(100)에 인위적으로 대전 된 대전 입자의 소멸 시간이 표시되도록 제어하는 제어부(700)를 포함하는 것을 특징으로 한다.According to the user's selection of the mode selection button 600, the charge plate 100 is controlled by the charging unit 300 to display the electrostatic voltage caused by charged particles floating in the air or to determine the performance state of the ionizer. It is characterized in that it includes a control unit 700 that controls the extinction time of artificially charged charged particles to be displayed.
상기 차지 플레이트(100)는 대전 입자인 (+) 대전 입자 또는 (-) 대전 입자들이 대전 되는 표면을 갖는 구성으로, 도 2와 같이, 일정한 크기와 두께를 갖도록 측정 장치 몸체 외측에 형성된다.The charge plate 100 has a surface on which positively charged particles or (-) charged particles are charged, and is formed outside the body of the measuring device to have a constant size and thickness, as shown in FIG. 2 .
차지 플레이트(100)에 대전 입자((+) 대전 입자 또는 (-) 대전 입자)가 대전 되도록 하는 첫 번째 목적은, 이오나이저의 성능 측정을 위한 대전 입자의 소멸 시간(Decay Time) 측정을 위한 것이고, 두 번째 목적은, 공기 중에 부유하는 대전 입자들에 의한 정전기 유발 가능성 파악을 위한 것이다.The first purpose of charging the charged particles (either positively charged particles or negatively charged particles) on the charge plate 100 is to measure the decay time of the charged particles to measure the performance of the ionizer. , The second purpose is to identify the possibility of static electricity caused by charged particles floating in the air.
상기 첫 번째 목적을 위한 차지 플레이트(100)의 대전은 측정 장치 내부에 설치된 충전 콘덴서(200)에 충전된 전원을 통해 인위적으로 (+) 대전 입자 또는 (-) 대전 입자 중 어느 하나로 대전 되는 대전이고, 상기 두 번째 목적을 위한 차지 플레이트(100)의 대전은 공기 중에 부유하는 잉여 대전 입자인 (+) 대전 입자 또는 (-) 대전 입자들에 의해 자연적으로 대전 되는 대전인 것을 특징으로 한다.The charging of the charge plate 100 for the first purpose is a charge that is artificially charged with either (+) charged particles or (-) charged particles through the power charged in the charging capacitor 200 installed inside the measuring device. , The charging of the charge plate 100 for the second purpose is characterized in that the charging is naturally charged by positively charged particles or negatively charged particles, which are surplus charged particles floating in the air.
구체적으로, 상기 첫 번째 목적을 위해, 측정 장치 내부에 설치된 충전 콘덴서(200)에 충전된 전원을 이용해 인위적으로 차지 플레이트(100)를 대전(예: 약 +1,300V 또는 -1,300V로 대전)시킨 후, 이오나이저에서 발생되어 날라와 차지 플레이트(100)에 부착되는 이온((+) 이온과 (-) 이온)에 의해 차지 플레이트(100)에 인위적으로 대전 된 대전 입자들이 소멸하는데 걸리는 시간인 소멸 시간(Decay Time)을 측정하여 이오나이저의 성능을 측정하게 된다.Specifically, for the first purpose, the charge plate 100 is artificially charged (eg, charged to about +1,300V or -1,300V) using the power charged in the charging capacitor 200 installed inside the measuring device. Afterwards, the time required for charged particles artificially charged on the charge plate 100 to disappear by ions ((+) ions and (-) ions) generated from the ionizer and attached to the charge plate 100 The performance of the ionizer is measured by measuring the decay time.
즉, 이오나이저 성능 측정을 위해, 이오나이저에 근접시켜(약 1~2m로 근접), 본 발명의 측정 장치에 설치된 차지 플레이트(100)에 인위적으로 대전 된 대전 입자들의 소멸 시간(Decay Time)을 측정하고, 측정된 소멸 시간이 정상 범위 내의 시간이면 이오나이저가 정상 동작하고 있는 것으로 판단하고, 소멸 시간(Decay Time)이 정상 범위 밖의 시간이면 이오나이저가 정상 동작하고 있지 않은 것으로 판단하게 된다. That is, in order to measure the performance of the ionizer, the decay time of charged particles artificially charged on the charge plate 100 installed in the measuring device of the present invention by being close to the ionizer (approximately 1 to 2 m) is measured. If the measured decay time is within the normal range, it is determined that the ionizer is operating normally, and if the decay time is outside the normal range, it is determined that the ionizer is not operating normally.
또한, 상기 두 번째 목적을 위해, 공기 중에 부유하는 대전 입자들에 의해 자연스럽게 차지 플레이트(100)에 대전 된 대전 입자들에 의해 형성된 정전기 전압을 측정하여 공기 중에 부유하는 대전 입자들에 의한 주변 환경의 정전기 유발 가능성을 파악하게 된다.In addition, for the second purpose, by measuring the electrostatic voltage formed by the charged particles naturally charged on the charge plate 100 by the charged particles suspended in the air, Identify the possibility of causing static electricity.
즉, 차지 플레이트(100)에 주변 환경에 의해 자연적으로 대전 된 대전 입자들에 의해 형성된 정전기 전압이 클수록 주변 환경이 정전기 유발 가능성이 높은 것으로 판단하고, 정전기 전압이 작을수록 주변 환경이 정전기 유발 가능성이 낮은 것으로 판단하게 된다.That is, the higher the static voltage formed by the charged particles naturally charged by the surrounding environment on the charge plate 100, the higher the possibility of inducing static electricity in the surrounding environment. judged to be low.
일반적으로 대전체에 대전 되는 대전 입자((+) 대전 입자 또는 (-) 대전 입자)들은 대전체의 에지(Edge : 테두리 부분) 부분에 집중해서 모이게 된다.In general, the charged particles ((+) charged particles or (-) charged particles) charged on the charged body are concentrated and gathered at the edge (rim portion) of the charged body.
도 1에 도시된 바와 같이, 이오나이저의 성능 측정을 위해 사용되는 종래의 평판형 차지 플레이트의 경우, 대전 입자((+) 대전 입자 또는 (-) 대전 입자)들은 4변 테두리 부분의 에지 쪽에 집중하여 모이게 된다.As shown in FIG. 1, in the case of a conventional flat-type charge plate used to measure the performance of an ionizer, charged particles ((+) charged particles or (-) charged particles) are concentrated on the edge of the edge portion of the four sides to gather
이오나이저의 정확한 성능 측정을 위해서는 대전체인 차치 플레이트에 분포된 대전 입자들에 대한 이오나이저에서 발생된 이온(양이온, 음이온)의 접촉 가능성을 높여야 하는데, 이를 위해, 종래의 평판형 차지 플레이트는 일정 크기(예: 41㎜×30㎜) 이상으로 제작하여 접촉 면적을 최대한 확보하였고, 일정 크기 이상으로 제작된 차지 플레이트가 구비 된 이오나이저 성능 측정 장치를, 대전체인 차치 플레이트에 분포된 대전 입자들에 대한 이오나이저에서 발생된 이온(양이온, 음이온)의 접촉 가능성을 높이기 위해, 이오나이저로부터 일정 거리 (일반적으로 1m) 이내로 근접시켜 측정하였다.In order to accurately measure the performance of the ionizer, it is necessary to increase the possibility of contact of ions (positive and negative ions) generated from the ionizer to the charged particles distributed on the charge plate, which is the charge. (Example: 41 mm × 30 mm) or more to ensure maximum contact area, and the ionizer performance measurement device equipped with a charge plate manufactured to a certain size or more, In order to increase the possibility of contact of ions (positive ions, negative ions) generated from the ionizer, measurements were made by bringing them closer to each other within a certain distance (usually 1 m) from the ionizer.
그러나 이오나이저가 근접성이 떨어지는 위치(예: 반도체를 포함하는 각종 전자부품을 생산하는 생산 공정 설비 사이 구석)에 설치되는 경우, 이오나이저에 성능 측정 장치를 근접시켜 성능 측정하기가 곤란해진다. However, when the ionizer is installed in a location with poor proximity (eg, a corner between production process facilities for producing various electronic parts including semiconductors), it becomes difficult to measure performance by bringing the performance measurement device close to the ionizer.
즉, 이오나이저의 정확한 성능 측정을 위해서는 대전체인 차치 플레이트에 분포된 대전 입자들에 대한 이오나이저에서 발생된 이온(양이온, 음이온)의 접촉 가능성을 높여야 하고, 이를 위해, 이오나이저 성능 측정 장치를 이오나이저에 근접시켜야 하는데, 일정 크기 이상으로 제작된 차지 플레이트의 크기로 인해, 이오나이저에 근접할 수 없게 되어 적정한 측정 위치 밖에서 측정해 부정확한 이오나이저 성능 측정이라는 문제가 종래에 있었다. That is, in order to accurately measure the performance of the ionizer, it is necessary to increase the possibility of contact of ions (positive ions, negative ions) generated from the ionizer to the charged particles distributed on the charge plate, which is an electrification. It is necessary to approach the ionizer, but due to the size of the charge plate manufactured to a certain size or more, it is impossible to approach the ionizer, so there has been a conventional problem of inaccurate ionizer performance measurement by measuring outside the appropriate measurement position.
따라서 이오나이저 성능 측정 시, 대전체인 차치 플레이트에 분포된 대전 입자들에 대한 이오나이저에서 발생된 이온(양이온, 음이온)의 접촉 가능성을 높여 종래보다 더 먼 거리에서도 측정이 가능하도록 하는 차지 플레이트 개발이 필요하며, 이를 위해, 본 발명의 차지 플레이트(100)를, 도 3과 같이, 다공성 구조로 형성한다.Therefore, when measuring ionizer performance, it is necessary to develop a charge plate that enables measurement at a longer distance than before by increasing the possibility of contact of ions (positive ions, negative ions) generated from the ionizer to the charged particles distributed on the charge plate, which is the charge. For this purpose, the charge plate 100 of the present invention is formed in a porous structure as shown in FIG. 3 .
즉, 도 3과 같이, 평판에 복수의 다공(多空)을 형성하게 되면, 평판 둘레 테두리뿐만 아니라 다공(多空)의 테두리 부분이 에지(Edge)로 기능하여, 대전 입자들이 모여 분포할 수 있는 부부인 에지(Edge)가 종래의 단순 평판형 차지 플레이트보다 더 많이 형성되고, 이로 인해, 종래의 단순 평판형 차지 플레이트보다 이온(이오나이저에서 발생된 이온)의 접촉 가능성이 높아진다. 즉, 이온 접촉 가능 면적이 더 넓어진다.That is, as shown in FIG. 3, when a plurality of pores are formed on the flat plate, not only the circumference of the flat plate but also the edge of the porous plate functions as an edge, so that charged particles can be gathered and distributed. A larger number of edges are formed than the conventional simple flat-type charge plate, and thus, the possibility of contact of ions (ions generated from the ionizer) is higher than that of the conventional simple flat-type charge plate. That is, the ion contactable area becomes wider.
예를 들어, 종래의 단순 평판형 차지 플레이트의 경우, 1,000V의 정전기 전압 형성을 위해 필요한 X개의 대전 입자들이 모여 분포할 수 있는 에지(Edge) 부분의 총면적이 A라면, 종래의 단순 평판형 차지 플레이트와 동일한 크기를 갖는 본 발명의 다공성 구조를 갖는 차지 플레이트(100)의 경우, 다공(多空)으로 인해 동일한 1,000V의 정전기 전압 형성을 위해 필요한 X개의 대전 입자들이 모여 분포할 수 있는 에지(Edge) 부분의 총면적이 B(B≫A)로 증가되어, 대전체인 차치 플레이트에 분포된 대전 입자들에 대한 이오나이저에서 발생된 이온(양이온, 음이온)의 접촉 가능성이 높아지는 것이다.For example, in the case of a conventional simple flat charge plate, if the total area of the edge portion where X number of charged particles required to form an electrostatic voltage of 1,000V can be gathered and distributed is A, then the conventional simple flat charge plate In the case of the charge plate 100 having a porous structure of the present invention having the same size as the plate, due to the pores, the edge at which X charged particles necessary for forming the same 1,000V electrostatic voltage can be gathered and distributed ( The total area of the Edge) part is increased to B (B≫A), so the possibility of contact of ions (positive ions, negative ions) generated from the ionizer to the charged particles distributed on the charge plate, which is a charge, increases.
즉, 상기 예에서, 종래의 단순 평판형 차지 플레이트의 경우, 1,000V의 정전기 전압 형성을 위해 필요한 X개의 대전 입자들은 총면적이 A인 에지(사변 테두리 부분)에 주로 모여 분포하고, 본 발명의 다공성 구조를 갖는 차지 플레이트(100)의 경우, 1,000V의 정전기 전압 형성을 위해 필요한 X개의 대전 입자들은 총면적이 B(B≫A)인 에지(사변 테두리 부분과 다공 테두리 부분)에 주로 모여 분포하게 된다.That is, in the case of the conventional simple flat charge plate, the X number of charged particles required to form an electrostatic voltage of 1,000 V are mainly gathered and distributed at the edge (the quadrilateral edge portion) of which the total area is A, and the porosity of the present invention In the case of the charge plate 100 having the structure, the X number of charged particles required to form an electrostatic voltage of 1,000 V are mainly gathered and distributed at the edge (the quadrilateral edge portion and the porous edge portion) having a total area of B (B ≫ A) .
이러한 상황에서, 차지 플레이트에 대전 된 대전 입자들에 대한 이오나이저에서 발생되어 날라온 이온들의 접촉 가능성은 더 큰 에지 면적(이온 접촉 가능 면적)을 갖고 있는 본 발명의 다공성 구조를 갖는 차지 플레이트(100)가 크게 된다.In this situation, the possibility of contact of the ions generated and carried by the ionizer to the charged particles charged on the charge plate is greater. becomes large.
또한, 대전 입자들이 주로 모이는 에지 부분 증가를 위해, 도 4에 도시된 바와 같이, 다공 주변에 주름이 형성되는 것을 특징으로 한다. 즉, 다공 주변에 형성되는 주름의 산과 골 부분이 에지로 기능하게 된다.In addition, as shown in FIG. 4, in order to increase the edge portion where the charged particles mainly gather, wrinkles are formed around the pores. That is, the peaks and valleys of the wrinkles formed around the pores function as edges.
즉, 다공 주변에 주름을 형성하게 되면, 주름이 형성되지 않은 다공성 구조의 차지 플레이트보다 더 많은 에지 부분이 생기고, 이로 인해, 이온 접촉 가능성이 더욱 커지게 된다.That is, when wrinkles are formed around the pores, more edge portions are generated than a charge plate having a porous structure without wrinkles, and thus, the possibility of ion contact is further increased.
본 발명의 차지 플레이트(100)는 두 가지 실시예를 포함한다. 즉, 다공성 구조이거나 다공 주변에 주름이 형성된 1개의 플레이트로 된 단층 플레이트인 실시예와 다공성 구조이거나 다공 주변에 주름이 형성된 상층 플레이트와 다공성 구조이거나 다공 주변에 주름이 형성된 하층 플레이트가 상하로 적층 된, 도 3에 도시된 바와 같은, 2층 플레이트인 실시예를 포함한다.The charge plate 100 of the present invention includes two embodiments. That is, an embodiment of a single-layer plate having a porous structure or a single layer plate formed around pores, and an upper plate having a porous structure or having wrinkles around pores and a lower plate having a porous structure or forming wrinkles around pores are stacked up and down. , which is a two-layer plate, as shown in FIG. 3 .
특히, 본 발명의 차지 플레이트(100)가 도 3에 도시된 바와 같은, 2층 플레이트로 구성되는 경우, 상층 플레이트에 형성된 다공의 위치와 하층 플레이트에 형성된 다공의 위치가 상호 엇갈리는 지그재그 배열이 되도록 상층 플레이트와 하층 플레이트가 상하로 적층 된 것을 특징으로 한다.In particular, when the charge plate 100 of the present invention is composed of a two-layer plate as shown in FIG. 3, the position of the hole formed in the upper plate and the position of the hole formed in the lower plate are staggered so that the upper layer is in a zigzag arrangement. It is characterized in that the plate and the lower plate are stacked up and down.
본 발명의 차지 플레이트(100)가 도 3에 도시된 바와 같은, 2층 플레이트로 구성되는 경우, 상층 플레이트에 형성된 다공의 위치와 하층 플레이트에 형성된 다공의 위치가 상호 엇갈리는 지그재그 배열이 되도록 하는 이유는, 이오나이저에서 날라와 차지 플레이트에 부착하는 이온((+) 이온, (-) 이온)의 부착 효율을 높이기 위함이다.When the charge plate 100 of the present invention is composed of a two-layer plate as shown in FIG. 3, the reason why the position of the hole formed in the upper plate and the position of the hole formed in the lower plate are staggered in a zigzag arrangement is This is to increase the attachment efficiency of ions ((+) ions, (-) ions) carried from the ionizer and attached to the charge plate.
만일, 상층 플레이트에 형성된 다공의 위치와 하층 플레이트에 형성된 다공의 위치가 상호 엇갈리는 지그재그로 배열되지 않고, 다공의 위치가 상호 일직선이 되도록 배열되는 경우, 상층 플레이트의 다공을 통과한 이온((+) 이온, (-) 이온)들은 일직선 상으로 배열된 하층 플레이트의 다공을 그대로 통과할 가능성이 커져, 상층 플레이트의 다공을 통과한 이온((+) 이온, (-) 이온)들의 하층 플레이트에 대한 부착 효율이 떨어질 수 있다.If the positions of the pores formed in the upper plate and the positions of the pores formed in the lower plate are not arranged in a zigzag pattern, but the positions of the pores are arranged in a straight line with each other, the ions passing through the pores of the upper plate ((+) Ions, (-) ions) are more likely to pass through the pores of the lower plate arranged in a straight line as they are, and the ions ((+) ions, (-) ions) that have passed through the pores of the upper plate are attached to the lower plate. Efficiency may decrease.
이를 방지하도록, 상층 플레이트에 형성된 다공의 위치와 하층 플레이트에 형성된 다공의 위치가 상호 엇갈리는 지그재그 배열이 되도록 하면, 상층 플레이트의 다공을 통과한 이온((+) 이온, (-) 이온)들은 다공의 위치가 상호 엇갈리도록 지그재그로 배열된 하층 플레이트 면에 접촉하게 되고, 이로 인해 상층 플레이트의 다공을 통과한 이온((+) 이온, (-) 이온)들의 하층 플레이트에 대한 부착 효율이 감소하지 않게 된다.To prevent this, if the position of the pores formed in the upper plate and the position of the pores formed in the lower plate are arranged in a zigzag arrangement, the ions ((+) ions, (-) ions) passing through the pores of the upper plate They come into contact with the surface of the lower plate arranged in a zigzag pattern so that their positions are staggered, so that the adhesion efficiency of ions ((+) ions, (-) ions) passing through the pores of the upper plate to the lower plate does not decrease. .
또한, 본 발명의 차지 플레이트(100)는 도전성 금속 재질이거나 도전성 재질로 도금된 PCB 기판인 것을 특징으로 한다.In addition, the charge plate 100 of the present invention is characterized in that it is a conductive metal material or a PCB substrate plated with a conductive material.
즉, 본 발명의 차지 플레이트(100)는 다공이 형성(다공 주변에 주름 형성 포함)된 평판형 도전성 금속이거나 다공이 형성(다공 주변에 주름 형성 포함)된 도전성 재질로 도금된 PCB 기판인 것을 특징으로 한다.That is, the charge plate 100 of the present invention is characterized in that it is a flat conductive metal in which pores are formed (including wrinkles around pores) or a PCB substrate plated with a conductive material in which pores are formed (including wrinkles around pores). to be
상기 충전 콘데서(200)는 전원이 충전된 구성으로, 충전 콘데서(200)에 충전된 전원은 본 발명의 측정 장치를 구성하는 구성들의 동작 전원으로 공급되거나 차지 플레이트(100)의 대전을 위한 대전용 전원으로 사용된다.The charging condenser 200 is charged with power, and the power charged in the charging condenser 200 is supplied as operating power for components constituting the measuring device of the present invention or used for charging the charge plate 100. used for power
상기 대전부(300)는 제어부(700)의 제어에 따라 충전 콘덴서(200)에 충전된 전원을 이용해 차지 플레이트(100) 표면을 대전 입자들로 대전시키는 구성이다.The charging unit 300 is configured to charge the surface of the charge plate 100 with charged particles using the power charged in the charging capacitor 200 under the control of the controller 700 .
즉, 상기 대전부(300)는 이오나이저의 성능 측정을 위해, 제어부(700)의 제어에 따라차지 플레이트(100)를 인위적으로 대전((+) 대전 또는 (-) 대전)시킨다.That is, the charging unit 300 artificially charges (+) charges or (-) charges the charge plate 100 under the control of the controller 700 to measure the performance of the ionizer.
대전부(300)가 차지 플레이트(100)를 인위적으로 (+) 대전시키는 경우, 차지 플에이트에는 (+) 대전 입자들이 존재하게 되고, 차지 플레이트(100)를 인위적으로 (-) 대전시키는 경우, 차지 플에이트에는 (-) 대전 입자들이 존재하게 된다.When the charging unit 300 artificially (+) charges the charge plate 100, (+) charged particles exist in the charge plate, and (-) charges the charge plate 100 artificially, (-) charged particles exist on the charge plate.
상기 전압 측정부(400)는 제어부(700)의 제어에 따라 차지 플레이트(100)에 대전 된 대전 입자에 의해 형성된 정전기 전압을 측정하고, 측정된 정전기 전압을 측정 장치 화면에 표시하는 구성이다.The voltage measuring unit 400 measures the electrostatic voltage formed by the charged particles charged on the charge plate 100 under the control of the controller 700 and displays the measured electrostatic voltage on the screen of the measuring device.
즉, 상기 전압 측정부(400)는 사용자가 모드 선택 버튼(600)을 통해 일정 거리 이격 설치된 이오나이저의 성능 상태를 파악하기 위한 모드를 선택하는 경우, 제어부(700)의 제어에 따라, 상기 대전부(300)에 의해 인위적으로 대전 된 차지 플레이트(100)의 정전기 전압((+) 정전기 전압 또는 (-) 정전기 전압)을 측정하고, 측정된 정전기 전압을 측정 장치 화면에 표시한다.That is, when the user selects a mode for determining the performance state of the ionizers installed at a predetermined distance through the mode selection button 600, the voltage measuring unit 400 controls the charging unit 700 according to the control of the controller 700. The electrostatic voltage (+) electrostatic voltage or (-) electrostatic voltage of the charge plate 100 artificially charged by the unit 300 is measured, and the measured electrostatic voltage is displayed on the screen of the measuring device.
또한, 사용자가 모드 선택 버튼(600)을 통해 공기에 부유하는 잉여 대전 입자((+) 대전 입자 또는 (-) 대전 입자)들에 의한 정전기 상태를 파악하기 위한 모드를 선택하는 경우, 제어부(700)의 제어에 따라, 공기에 부유하는 대전 입자들에 의해 자연적으로 대전 된 차지 플레이트(100)의 정전기 전압((+) 정전기 전압 또는 (-) 정전기 전압)을 측정하고, 측정된 정전기 전압을 측정 장치 화면에 표시한다.In addition, when the user selects a mode for grasping the static electricity state caused by surplus charged particles ((+) charged particles or (-) charged particles) floating in the air through the mode selection button 600, the control unit 700 ), measure the electrostatic voltage ((+) electrostatic voltage or (-) electrostatic voltage) of the charge plate 100 naturally charged by the charged particles floating in the air, and measure the measured electrostatic voltage displayed on the device screen.
상기 소멸 시간 측정부(500)는 차지 플레이트(100)에 대전 된 대전 입자가 소멸하는데 걸리는 소멸 시간을 측정하고, 측정된 소멸 시간을 측정 장치 화면에 표시하는 구성이다.The extinction time measurement unit 500 measures the extinction time required for charged particles charged on the charge plate 100 to disappear, and displays the measured extinction time on the screen of the measuring device.
즉, 상기 소멸 시간 측정부(500)는 사용자가 모드 선택 버튼(600)을 통해 일정 거리 이격 설치된 이오나이저의 성능 상태를 파악하기 위한 모드를 선택하는 경우, 제어부(700)의 제어에 따라, 상기 대전부(300)에 의해 인위적으로 대전((+) 대전 또는 (-) 대전) 된 차지 플레이트(100) 상에 존재하는 대전 입자들이 이오나이저에서 발생되어 날라와 부착되는 이온((+) 이온, (-) 이온)들에 의해 소멸되는데 걸리는 시간인 소멸 시간을 측정하고, 측정된 소멸 시간을 측정 장치 화면에 표시한다. That is, when the user selects a mode for determining the performance state of the ionizer installed at a predetermined distance through the mode selection button 600, the extinction time measuring unit 500 controls the control unit 700 to Ions ((+) ions, The extinction time, which is the time required for extinction by (-) ions), is measured, and the measured extinction time is displayed on the screen of the measuring device.
상기 모드 선택 버튼(600)은 측정 장치 몸체 일측에 형성된 버튼으로, 사용자가 이오나이저의 성능 상태를 파악하고 싶거나, 공기 중에 부유하는 대전 입자들에 의한 주변 환경의 정전기 유발 가능성 상태를 파악하고 싶을 때 선택하도록 하는 구성이다.The mode selection button 600 is a button formed on one side of the body of the measuring device, and the user wants to know the performance state of the ionizer or the state of possibility of causing static electricity in the surrounding environment due to charged particles floating in the air. It is a configuration to choose when.
이를 위해, 모드 선택 버튼(600)은 도 2에 도시된 바와 같이, 제1 모든 선택 버튼(610)과 제2 모든 선택 버튼(620)을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.To this end, as shown in FIG. 2 , the mode selection button 600 is configured to include all first selection buttons 610 and all second selection buttons 620 .
상기 제1 모든 선택 버튼(610)은 사용자가 이오나이저의 성능 상태를 파악하고 싶을 때, 선택하는 버튼이고, 상기 제2 모든 선택 버튼(620)은 공기 중에 부유하는 대전 입자들에 의한 주변 환경의 정전기 유발 가능성 상태를 파악하고 싶을 때 선택하는 버튼이다.The first all selection button 610 is a button to be selected when the user wants to grasp the performance state of the ionizer, and the second all selection button 620 is a button to select the surrounding environment caused by charged particles floating in the air. This button is selected when you want to know the state of the possibility of causing static electricity.
상기 제어부(700)는 사용자의 모드 선택 버튼(600) 선택에 따라, 공기 중에 부유하는 대전 입자들에 의한 정전기 전압이 표시되도록 제어하거나, 이오나이저의 성능 상태 파악을 위해, 대전부(300)에 의해 차지 플레이트(100)에 인위적으로 대전 된 대전 입자의 소멸 시간이 표시되도록 제어하는 구성이다.According to the user's selection of the mode selection button 600, the control unit 700 controls the electrostatic voltage caused by charged particles floating in the air to be displayed or, in order to determine the performance state of the ionizer, the control unit 300 This is a configuration for controlling the display of the extinction time of artificially charged charged particles on the charge plate 100 by
즉, 상기 제어부(700)는 사용자가 공기 중에 부유하는 대전 입자들에 의한 주변 환경의 정전기 유발 가능성 상태를 파악하기 위해, 제2 모든 선택 버튼(620)을 선택하는 경우, 공기 중에 부유하는 대전 입자들에 의해 자연적으로 대전 된 차지 플레이트(100)에 형성된 정전기 전압이 측정되어 표시되도록 제어한다.That is, when the user selects the second all selection button 620 in order to determine a possible state of static electricity in the surrounding environment caused by the charged particles suspended in the air, the control unit 700 controls the charged particles suspended in the air. The electrostatic voltage formed on the charge plate 100 naturally charged by the voltage is measured and controlled to be displayed.
구체적으로, 사용자가 모드 선택 버튼(600)을 통해 공기에 부유하는 대전 입자들에 의한 정전기 상태를 파악하기 위한 모드를 선택하는 경우, 공기 중에 부유하는 대전 입자들에 의해 차지 플레이트(100)가 자연적으로 대전 되어 형성된 정전기 전압을 측정하고, 측정된 정전기 전압이 측정 장치 화면에 표시되도록 전압 측정부(400)를 제어한다.Specifically, when the user selects a mode for grasping the state of static electricity caused by charged particles suspended in the air through the mode selection button 600, the charge plate 100 is naturally damaged by the charged particles suspended in the air. The electrostatic voltage formed by being charged with is measured, and the voltage measuring unit 400 is controlled so that the measured electrostatic voltage is displayed on the screen of the measuring device.
또한, 상기 제어부(700)는 사용자가 일정 거리 이격 설치된 이오나이저의 성능 상태를 파악하기 위해 제1 모든 선택 버튼(610)을 선택하는 경우, 대전부(300)에 의해 차지 플레이트(100)에 인위적으로 대전 된 대전 입자에 의한 정전기 전압이 측정되어 표시되도록 제어함과 동시에 대전부(300)에 의해 차지 플레이트(100)에 인위적으로 대전 된 대전 입자가 이오나이저에서 발생된 이온에 의해 소멸하는데 걸리는 소멸 시간(Decay Time)이 측정되어 표시되도록 제어한다.In addition, when the user selects the first all selection button 610 to determine the performance state of the ionizers installed a certain distance apart, the controller 700 artificially damages the charge plate 100 by the charging unit 300. Controls so that the electrostatic voltage by the charged particles is measured and displayed, and at the same time, the charged particles artificially charged on the charge plate 100 by the charging unit 300 are extinguished by ions generated from the ionizer. Decay Time is measured and controlled to be displayed.
구체적으로, 사용자가 모드 선택 버튼(600)을 통해 일정 거리 이격 설치된 이오나이저의 성능 상태를 파악하기 위한 모드를 선택하는 경우, 충전 콘덴서(200)에 충전된 전원에 의해 차지 플레이트(100)가 인위적으로 대전 되도록 대전부(300)를 제어하고, 대전부(300)에 의해 인위적으로 대전 된 차지 플레이트(100)에 형성된 정전기 전압을 측정하고, 측정된 정전기 전압이 화면에 표시되도록 전압 측정부(400)를 제어하고, 대전부(300)에 의해 차지 플레이트(100)에 인위적으로 대전 된 대전 입자가 소멸하는데 걸리는 소멸 시간(Decay Time)을 측정하고, 측정된 소멸 시간이 측정 장치 화면에 표시되도록 소멸 시간 측정부(500)를 제어한다.Specifically, when the user selects a mode for determining the performance state of ionizers installed at a predetermined distance through the mode selection button 600, the charge plate 100 is artificially damaged by the power charged in the charging capacitor 200. The voltage measurement unit 400 controls the charging unit 300 to be charged, measures the static voltage formed on the charge plate 100 artificially charged by the charging unit 300, and displays the measured static voltage on the screen. ) is controlled, the decay time required for the charged particles artificially charged on the charge plate 100 by the charging unit 300 to disappear is measured, and the measured decay time is displayed on the screen of the measuring device. The time measuring unit 500 is controlled.
도 5, 6을 참조하여, 본 발명의 다공성 구조를 갖는 차지 플에이트(100)와 종래의 단순 평판형 차지 플레이트의 특성을 비교 설명한다.Referring to FIGS. 5 and 6 , characteristics of the charge plate 100 having a porous structure according to the present invention and a conventional simple flat charge plate will be compared and described.
종래의 단순 평판형 차지 플레이트와 본 발명의 다공성 구조를 갖는 차지 플에이트(100)를 동일 크기로 하고, 이온이 발생되는 이오나이저로부터 동일 거리 이격시킨 후, 각 플레이트의 대전 성능 비교 시험과 대전 입자의 소멸 시간 비교 시험을 하였다.After making the conventional simple flat charge plate and the charge plate 100 having the porous structure of the present invention the same size and spaced the same distance from the ionizer where ions are generated, charging performance comparison test of each plate and charged particles The extinction time comparison test was performed.
도 5를 참조하면, 도 5의 A는 종래의 단순 평판형 차지 플레이트를 +1,300V와 -1,300로 각각 대전시킨 결과 그래프이고, 도 5의 B는 본 발명의 다공성 구조를 갖는 차지 플에이트(100)를 +1,300V와 -1,300로 각각 대전시킨 결과 그래프이다.Referring to FIG. 5, A of FIG. 5 is a graph showing the result of charging a conventional simple flat-type charge plate to +1,300V and -1,300, respectively, and B of FIG. 5 is a charge plate (100) having a porous structure according to the present invention. ) are charged at +1,300V and -1,300, respectively.
본 발명의 다공성 구조를 갖는 차지 플에이트(100)와 종래의 단순 평판형 차지 플레이트 모두 정상적으로 목표 대전 전압인 +1,300V 또는 -1,300로 각각 대전이 되는 것을 확인할 수 있어, 본 발명의 차지 플에이트(100)가 다공이 형성되어 있어도, 대전 성능에 이상이 없음을 알 수 있다.It can be confirmed that both the charge plate 100 having a porous structure of the present invention and the conventional simple flat charge plate are normally charged at the target charging voltage of +1,300V or -1,300, respectively, so that the charge plate of the present invention ( 100), it can be seen that there is no abnormality in charging performance even when pores are formed.
도 6을 참조하면, 도 6의 A는 종래의 단순 평판형 차지 플레이트의 대전 입자 소멸 시간(Decay Time)을 나타낸 그래프이고, 도 6의 B는 본 발명의 다공성 구조를 갖는 차지 플에이트(100)의 대전 입자 소멸 시간(Decay Time)을 나타낸 그래프이다.Referring to FIG. 6, FIG. 6A is a graph showing the decay time of charged particles of a conventional simple flat charge plate, and FIG. 6B is a charge plate 100 having a porous structure according to the present invention. It is a graph showing the decay time of charged particles.
이오나이저로부터 동일 거리 떨어져 있는 본 발명의 다공성 구조를 갖는 차지 플에이트(100)와 종래의 단순 평판형 차지 플레이트의 대전 입자 소멸 시간에 있어서, 본 발명의 다공성 구조를 갖는 차지 플에이트(100)의 대전 입자 소멸 시간이 종래의 단순 평판형 차지 플레이트의 대전 입자 소멸 시간보다 짧은 것을 확인할 수 있다. In the extinction time of charged particles between the charge plate 100 having the porous structure of the present invention and the conventional simple flat-type charge plate, which are the same distance away from the ionizer, the charge plate 100 having the porous structure of the present invention It can be seen that the time of extinction of charged particles is shorter than the time of extinction of charged particles of the conventional simple plate type charge plate.
즉, 본 발명의 차지 플에이트(100)에 형성된 다공에 의해 에지 부분(대전 입자들이 주로 모여 분포하는 부분)의 면적이 커지게 되고, 이로 인해, 이오나이저로부터 날라온 이온들이 차지 플에이트상에 존재하는 대전 입자들에 접촉될 접촉 가능성이 커져, 본 발명의 차지 플에이트(100) 상에 존재하는 대전 입자들이 종래의 단순 평판형 차지 플레이트 상에 존재하는 대전 입자들보다 신속히 소멸된다.That is, the area of the edge portion (the portion where charged particles are mainly gathered and distributed) increases due to the pores formed in the charge plate 100 of the present invention, and as a result, ions from the ionizer are present on the charge plate The possibility of contact with the charged particles increases, so that the charged particles present on the charge plate 100 of the present invention disappear more quickly than the charged particles present on the conventional simple flat charge plate.
이는, 다공성 구조를 갖는 차지 플에이트(100)가 구비된 본 발명의 측정 장치를 종래의 단순 평판형 차지 플레이트가 구비된 측정 장치보다 이오나이저로부터 더 멀리 떨어뜨려 측정해도 동일한 대전 입자 소멸 시간이 발생하는 것을 의미하는 것으로, 본 발명의 측정 장치는 종래의 측정 장치보다 더 먼 거리에서도 이오나이저 성능 측정이 가능해지는 것을 의미한다.This is because the same charged particle extinction time occurs even when the measurement device of the present invention equipped with a porous charge plate 100 is farther away from the ionizer than the measurement device equipped with a conventional simple flat charge plate. This means that the measuring device of the present invention can measure the performance of the ionizer even at a longer distance than the conventional measuring device.
또한, 부가적으로, 도 6의 그래프는, 본 발명의 다공성 구조를 갖는 차지 플에이트(100)의 크기를 종래의 단순 평판형 차지 플레이트보다 작게 형성하고, 이오나이저로부터 동일 거리 이격시킨 후, 대전 입자의 소멸 시간 비교하는 경우, 동일한 소멸 시간이 발생함을 의미한다.Additionally, the graph of FIG. 6 shows that the size of the charge plate 100 having the porous structure of the present invention is smaller than that of the conventional simple flat charge plate, spaced the same distance from the ionizer, and then charged. When comparing the extinction times of particles, it means that the same extinction times occur.
이는, 본 발명의 다공성 구조를 갖는 차지 플에이트(100)를 소형화할 수 있음을 의미하는 것으로, 이오나이저가 측정 근접성이 떨어지는 위치(예: 반도체를 포함하는 각종 전자부품을 생산하는 생산 공정 설비 사이 구석)에 설치되는 경우에도, 소형화된 본 발명의 다공성 구조를 갖는 차지 플에이트(100)를 손쉽게 이오나이저에 근접시켜 이오나이저의 성능 측정이 가능해짐을 의미한다.This means that the charge plate 100 having the porous structure of the present invention can be miniaturized, and the ionizer can be placed in a position where measurement proximity is poor (eg, between production process facilities that produce various electronic parts including semiconductors). corner), it means that the performance of the ionizer can be measured by easily bringing the charge plate 100 having a porous structure of the present invention close to the ionizer.
이상에서 본 발명의 기술 사상을 첨부 도면과 함께 서술하였지만, 이는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시적으로 설명한 것이지 본 발명을 한정하는 것은 아니며, 본 발명의 권리 범위는 실시예에 국한되지 않고, 이 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명의 기술 사상 범주 내에서 변형한 것까지 포함함은 자명하다 할 것이다.Although the technical idea of the present invention has been described above with the accompanying drawings, this is an illustrative example of a preferred embodiment of the present invention, but does not limit the present invention, and the scope of the present invention is not limited to the embodiments, and this It will be obvious that those skilled in the art include modifications within the scope of the technical idea of the present invention.
10 : 다공성 차지 플레이트형 복합 성능 측정 장치
100 : 차지 플레이트
200 : 충전 콘덴서
300 : 대전부
400 : 전압 측정부
500 : 소멸 시간 측정부
600 : 모드 선택 버튼
700 : 제어부10: Porous charge plate type composite performance measuring device
100: charge plate
200: charging capacitor
300: charge part
400: voltage measuring unit
500: extinction time measuring unit
600: mode selection button
700: control unit
Claims (7)
대전 입자들이 대전되는 표면을 갖는 차지 플레이트(100)와;
전원이 충전된 충전 콘덴서(200)와;
제어부(700)의 제어에 따라, 충전 콘덴서(200)에 충전된 전원을 이용해 차지 플레이트(100) 표면을 대전 입자들로 대전시키는 대전부(300)와;
제어부(700)의 제어에 따라, 차지 플레이트(100)에 대전 된 대전 입자에 의해 형성된 정전기 전압을 측정하고, 측정된 정전기 전압을 측정 장치 화면에 표시하는 전압 측정부(400)와;
제어부(700)의 제어에 따라, 차지 플레이트(100)에 대전 된 대전 입자가 소멸하는데 걸리는 소멸 시간을 측정하고, 측정된 소멸 시간을 측정 장치 화면에 표시하는 소멸 시간 측정부(500)와;
사용자가 이오나이저의 성능 상태를 파악하고 싶거나, 공기 중에 부유하는 대전 입자들에 의한 주변 환경의 정전기 유발 가능성 상태를 파악하고 싶을 때 선택하는 모드 선택 버튼(600)과;
사용자의 모드 선택 버튼(600) 선택에 따라, 공기 중에 부유하는 대전 입자들에 의한 정전기 전압이 표시되도록 제어하거나, 이오나이저의 성능 상태 파악을 위해, 대전부(300)에 의해 차지 플레이트(100)에 인위적으로 대전 된 대전 입자의 소멸 시간이 표시되도록 제어하는 제어부(700)를 포함하는 것을 특징으로 하는 다공성 차지 플레이트형 복합 성능 측정 장치.
In the porous charge plate type composite performance measuring device,
a charge plate 100 having a surface on which charged particles are charged;
a charging capacitor 200 charged with power;
a charging unit 300 that charges the surface of the charge plate 100 with charged particles using the power charged in the charging capacitor 200 under the control of the controller 700;
a voltage measuring unit 400 that measures the electrostatic voltage formed by the charged particles charged on the charge plate 100 under the control of the controller 700 and displays the measured electrostatic voltage on the screen of the measuring device;
an extinction time measuring unit 500 that measures the extinction time required for the charged particles charged on the charge plate 100 to disappear under the control of the controller 700 and displays the measured extinction time on the screen of the measuring device;
a mode selection button 600 that the user selects when he or she wants to know the performance state of the ionizer or the possibility of static electricity in the surrounding environment caused by charged particles floating in the air;
According to the user's selection of the mode selection button 600, the charge plate 100 is controlled by the charging unit 300 to display the electrostatic voltage caused by charged particles floating in the air or to determine the performance state of the ionizer. A porous charge plate-type composite performance measuring device comprising a control unit 700 that controls the extinction time of artificially charged charged particles to be displayed.
상기 차지 플레이트(100)는,
다공성 구조를 갖는 1개의 플레이트로 된 단층 플레이트인 것을 특징으로 하는 다공성 차지 플레이트형 복합 성능 측정 장치.
The method of claim 1,
The charge plate 100,
A porous charge plate type composite performance measuring device, characterized in that it is a single-layer plate made of one plate having a porous structure.
상기 차지 플레이트(100)는,
다공성 구조를 갖는 상층 플레이트와 하층 플레이트가 상하로 적층 된 2층 플레이트이되, 상층 플레이트에 형성된 다공의 위치와 하층 플레이트에 형성된 다공의 위치가 상호 엇갈리는 지그재그 배열이 되도록 상층 플레이트와 하층 플레이트가 상하로 적층 된 것을 특징으로 하는 다공성 차지 플레이트형 복합 성능 측정 장치.
The method of claim 1,
The charge plate 100,
A two-layer plate in which an upper plate and a lower plate having a porous structure are stacked up and down, but the upper and lower plates are stacked up and down so that the positions of the holes formed in the upper plate and the positions of the holes formed in the lower plate are staggered in a zigzag arrangement Porous charge plate type composite performance measuring device, characterized in that.
상기 플레이트에 형성된 다공 주변에는 주름이 형성되는 것을 특징으로 하는 다공성 차지 플레이트형 복합 성능 측정 장치.
According to claim 2 or claim 3,
Porous charge plate type composite performance measuring device, characterized in that wrinkles are formed around the pores formed in the plate.
상기 플레이트는 도전성 금속이거나 도전성 재질로 도금된 PCB인 것을 특징으로 하는 다공성 차지 플레이트형 복합 성능 측정 장치.
According to claim 2 or claim 3,
The porous charge plate type composite performance measuring device, characterized in that the plate is a conductive metal or a PCB plated with a conductive material.
상기 제어부(700)는,
사용자가 모드 선택 버튼(600)을 통해 일정 거리 이격 설치된 이오나이저의 성능 상태를 파악하기 위한 모드를 선택하는 경우,
충전 콘덴서(200)에 충전된 전원에 의해 차지 플레이트(100)가 인위적으로 대전 되도록 대전부(300)를 제어하고, 대전부(300)에 의해 인위적으로 대전 된 차지 플레이트(100)에 형성된 정전기 전압을 측정하고, 측정된 정전기 전압이 화면에 표시되도록 전압 측정부(400)를 제어하고, 대전부(300)에 의해 차지 플레이트(100)에 인위적으로 대전 된 대전 입자가 소멸하는데 걸리는 소멸 시간을 측정하고, 측정된 소멸 시간이 측정 장치 화면에 표시되도록 소멸 시간 측정부(500)를 제어하는 것을 특징으로 하는 다공성 차지 플레이트형 복합 성능 측정 장치.
The method of claim 1,
The controller 700,
When the user selects a mode for identifying the performance state of the ionizer installed at a certain distance through the mode selection button 600,
The charging unit 300 is controlled so that the charging plate 100 is artificially charged by the power charged in the charging capacitor 200, and the static voltage formed on the artificially charged charge plate 100 by the charging unit 300 is measured, the voltage measuring unit 400 is controlled so that the measured electrostatic voltage is displayed on the screen, and the extinction time required for the charged particles artificially charged on the charge plate 100 by the charging unit 300 to disappear is measured. and controlling the extinction time measurement unit 500 so that the measured extinction time is displayed on the screen of the measuring device.
상기 제어부(700)는,
사용자가 모드 선택 버튼(600)을 통해 공기에 부유하는 대전 입자들에 의한 정전기 상태를 파악하기 위한 모드를 선택하는 경우,
공기 중에 부유하는 대전 입자들에 의해 차지 플레이트(100)가 자연적으로 대전 되어 형성된 정전기 전압을 측정하고, 측정된 정전기 전압이 측정 장치 화면에 표시되도록 전압 측정부(400)를 제어하는 것을 특징으로 하는 다공성 차지 플레이트형 복합 성능 측정 장치.
The method of claim 1,
The controller 700,
When the user selects a mode for grasping the state of static electricity caused by charged particles floating in the air through the mode selection button 600,
Characterized in that the voltage measuring unit 400 is controlled to measure the electrostatic voltage formed when the charge plate 100 is naturally charged by charged particles floating in the air, and to display the measured electrostatic voltage on the screen of the measuring device. Porous charge plate type composite performance measuring device.
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| KR1020220018651A KR20230122241A (en) | 2022-02-14 | 2022-02-14 | A multiple performance measuring apparatus of porosity charge plate type |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020220018651A KR20230122241A (en) | 2022-02-14 | 2022-02-14 | A multiple performance measuring apparatus of porosity charge plate type |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20230122241A true KR20230122241A (en) | 2023-08-22 |
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ID=87799847
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| KR1020220018651A KR20230122241A (en) | 2022-02-14 | 2022-02-14 | A multiple performance measuring apparatus of porosity charge plate type |
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Citations (3)
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| KR101629915B1 (en) | 2015-02-17 | 2016-06-13 | (주)동일기연 | Charge plate monitoring Apparatus |
| KR20200050033A (en) | 2018-10-31 | 2020-05-11 | 삼성전자주식회사 | Apparatus for measuring static electricity |
| KR20210043125A (en) | 2019-10-11 | 2021-04-21 | 주식회사 네오세미텍 | Apparatus and method for semiconductor static electricity management |
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2022
- 2022-02-14 KR KR1020220018651A patent/KR20230122241A/en not_active Application Discontinuation
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