KR20230109401A - 웨이퍼 버퍼 장치 및 웨이퍼 버퍼 시스템 - Google Patents

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KR20230109401A
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김상은
박영민
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한화정밀기계 주식회사
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Abstract

본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 버퍼 장치는, 서로 다른 반도체 칩을 적층하여 하나의 반도체 패키지를 제조하는 공정에 있어서 적층 배치되는 적어도 하나 이상의 서로 같거나 다른 형태의 웨이퍼들을 수용하고, 회전되는 턴 테이블; 및 상기 턴 테이블의 일측에 배치되어 상기 턴 테이블을 수직 방향으로 이동시키는 엘리베이터를 포함한다.

Description

웨이퍼 버퍼 장치 및 웨이퍼 버퍼 시스템{WAFER BUFFER APPARATUS AND WAFER BUFFER SYSTEM}
본 발명의 실시예들은 웨이퍼 버퍼 장치 및 웨이퍼 버퍼 시스템에 관한 것이다.
반도체 제조 공정에서 웨이퍼 상의 반도체 칩을 절단 공정을 통해 낱개로 분리하고, 반도체 칩과 외부 회로간 전기 신호를 전달할 수 있는 PCB에 칩을 접착한다. 이중 와이어 본더 공정과는 달리 범프볼 형태의 플립 방식을 통해 결합시키는 플립칩 공정에서 최근 반도체 회로 패턴의 선폭이 줄어들면서 반도체 칩의 크기가 작아져 웨이퍼당 더 많은 칩을 생산할 수 있게 되었고, 저항이 감소하여 전력 소모도 더 감소시킬 수 있게 되었다.
하지만 선폭을 미세화 하는 기술이 물리적 한계에 다다랐고, 칩 간격이 극도로 좁아지면서 누설 전자의 간섭 현상이 심화되어 데이터 손실이 발생하게 된다. 이러한 문제를 해결하는 방법으로 3D 구조의 반도체 칩을 제조하는 기술이 개발되고 있다. 메모리(DRAM)는 낸드와 구조가 달라서 한 웨이퍼 상에서 반도체 칩을 적층할 수 없고, 웨이퍼 자체를 적층하는 TSV(Through Silicon Via) 기술을 이용하여 데이터 용량을 증대시키는 것이 가능하다.
TSV는 웨이퍼의 기본 재질인 실리콘을 관통하여 구멍을 형성시켜서 다수 웨이퍼를 연결하는 기술이며, 다이와 다이 사이에 수직으로 채널을 형성하여 빈 공간에 구리 등을 채워넣어 데이터 통로인 전극을 형성한다. 즉, 패키징 공정시 적층된 웨이퍼 또는 다이 간에 최적화된 신호 전송 경로를 제공하며, 와이어 본딩 영역을 제거함에 따라 공정을 최소화시킬 수 있다.
이러한 적층 플립칩 방식의 TSV 패키지 공정에서, 적층시키기 위한 다이 또는 칩의 공급 방식은 하기와 같다.
먼저, FOUP(웨이퍼 담는 박스, Front Opening Unified Pod 또는 Front Opening Universal Pod)에 놓인 웨이퍼를 웨이퍼 이송장치(EFEM, Equipment Front End Module)를 이용하여 핸들링하고, WTU(웨이퍼 전달 유닛, Wafer Transfer Unit)을 이용하여 본더(Bonder) 설비에 투입한다. 따라서 하나의 PCB에 1단 웨이퍼를 통해 공급된 다이를 플립하여 조립하고, 이후 다음 웨이퍼를 공급받아 순차적으로 적층되게 할 수 있다.
상기와 같이 각 PCB마다 각각 공급되는 웨이퍼를 본더 설비에 로딩, 언로딩하며 조립할 경우, 한 종류의 다이가 조립되고 나면 다음 웨이퍼로 전환시켜야 한다. 이때 웨이퍼의 물류 진행은 FOUP, EFEM, WTU, 본더로 길어지게 되어 웨이퍼 이송 과정에서 작업 효율이 현저하게 저하될 수 있다. 즉, 하나의 반도체 패키지가 서로 다른 반도체 칩들이 다중으로 적층되거나 배열되어 반도체 패키지가 제조되는 공정에서는 서로 다른 반도체 칩들을 순차적으로 적층하기 위해서는 상기한 물류 진행에 의하여 제조공정 시간이 길어지고 복잡한 제어가 필요하게 된다.
이때, WTU(웨이퍼 전달 유닛)에 웨이퍼 버퍼 공간을 두어 다음 조립할 다이가 담긴 웨이퍼를 미리 WTU에 보관 하였다가 본더에 넣어주거나, 본더에서 다 조립된 웨이퍼를 받아둘 수 도 있으나, 이 또한 WTU와 본더 간 물류 흐름이 존재하여 단층 또는 단일 다이를 조립하는 방식에 비해 효율이 좋지 않다.
이와 같이, WTU에 웨이퍼를 보관할 경우에도 WTU의 버퍼 공간을 한없이 늘릴 수 없으며, PCB에 다이를 조립하는 공정 시간이 웨이퍼를 핸들링하는 시간보다 짧기 때문에 제 시간에 웨이퍼를 공급하기 어려운 문제가 발생할 수 있다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 웨이퍼 이송 시스템의 물류를 간소화할 수 있는 웨이퍼 버퍼 장치 및 웨이퍼 버퍼 시스템을 제공하는 것을 주된 과제로 한다.
다만 이러한 과제는 예시적인 것으로, 본 발명의 해결하고자 하는 과제는 이에 한정되지 않는다.
본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 버퍼 장치는, 적층 배치 될 수 있는 적어도 하나 이상의 서로 같거나 다른 형태의 웨이퍼를 수용하고, 회전되는 턴 테이블; 및 상기 턴 테이블의 일측에 배치되어 상기 턴 테이블을 수직 방향으로 이동시키는 엘리베이터를 포함한다.
상기 턴 테이블에 배치된 웨이퍼 감지 센서를 포함할 수 있다.
상기 턴 테이블은, 턴 테이블 베이스; 및 상기 턴 테이블 베이스의 가장자리 부분에 배치되어 상기 웨이퍼를 가이드하는 웨이퍼 가이드 블록을 포함할 수 있다.
상기 웨이퍼 가이드 블록은, 상기 웨이퍼의 수직 방향 정렬을 위한 제1 센서; 및 상기 웨이퍼의 회전 방향 정렬을 위한 제2 센서를 포함할 수 있다.
상기 턴 테이블은, 상기 턴 테이블 베이스를 회전시키는 회전 베어링; 및 상기 회전 베어링과 연결되어 상기 회전 베어링을 회전시키는 회전 모터를 더 포함할 수 있다.
웨이퍼를 이송하는 웨이퍼 이송장치(EFEM); 상기 웨이퍼 이송장치로부터 이송된 상기 웨이퍼를 전달하는 웨이퍼 전달 장치(WTU); 상기 웨이퍼 전달 장치로부터 전달되는 적어도 하나 이상의 서로 같거나 다른 형태의 웨이퍼를 수직 이동 및 회전 이동을 통해 로딩 또는 언로딩하는 상기 웨이퍼 버퍼 장치; 및 상기 웨이퍼 버퍼 장치를 수용하고, 상기 웨이퍼 버퍼 장치에 보관된 웨이퍼를 언로딩하여 본딩하는 본더를 포함할 수 있다.
전술한 것 외의 다른 측면, 특징, 이점은 이하의 발명을 실시하기 위한 구체적인 내용, 청구범위 및 도면으로부터 명확해질 것이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 버퍼 장치 및 웨이퍼 버퍼 시스템은, 본더의 내부에 웨이퍼 버퍼 장치가 배치되어, 적어도 하나 이상의 서로 같거나 다른 형태의 웨이퍼를 이송해야 하는 시스템의 물류를 간소화할 수 있다.
또한 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 버퍼 장치 및 웨이퍼 버퍼 시스템은, 턴 테이블을 통해 턴 테이블에 배치된 웨이퍼의 회전이 가능하여, 웨이퍼의 로딩 및 언로딩이 자유자재로 이루어질 수 있다.
본 발명의 효과들은 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 청구범위의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼의 물류 흐름을 나타낸 웨이퍼 버퍼 시스템을 나타낸 블록도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 버퍼 장치를 나타낸 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예예 따른 엘리베이터를 도 2의 A 방향에서 바라본 정면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 턴 테이블을 나타낸 사시도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예예 따른 턴 테이블을 도 2의 B 방향에서 바라본 하면도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 버퍼 장치를 도 2의 C 방향에서 바라본 상면도이다.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 발명의 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시예로 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 다른 실시예에 도시되어 있다 하더라도, 동일한 구성요소에 대하여서는 동일한 식별부호를 사용한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 도면을 참조하여 설명할 때 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
이하의 실시예에서, 제1, 제2 등의 용어는 한정적인 의미가 아니라 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하는 목적으로 사용되었다.
이하의 실시예에서, 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
이하의 실시예에서, 포함하다 또는 가지다 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 또는 구성요소가 존재함을 의미하는 것이고, 하나 이상의 다른 특징들 또는 구성요소가 부가될 가능성을 미리 배제하는 것은 아니다.
도면에서는 설명의 편의를 위하여 구성 요소들이 그 크기가 과장 또는 축소될 수 있다. 예컨대, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타냈으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.
어떤 실시예가 달리 구현 가능한 경우에 특정한 공정 순서는 설명되는 순서와 다르게 수행될 수도 있다. 예를 들어, 연속하여 설명되는 두 공정이 실질적으로 동시에 수행될 수도 있고, 설명되는 순서와 반대의 순서로 진행될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
이하, 도 1을 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 버퍼 시스템에 대해 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼의 물류 흐름을 나타낸 웨이퍼 버퍼 시스템을 나타낸 블록도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 버퍼 시스템은, 웨이퍼를 이송하는 웨이퍼 이송장치(EFEM), 상기 웨이퍼 이송장치로부터 이송된 상기 웨이퍼를 전달하는 웨이퍼 전달 장치(WTU), 상기 웨이퍼 전달 장치로부터 전달되는 적어도 하나 이상의 서로 다른 형태의 웨이퍼를 수직 이동 및 회전 이동을 통해 로딩 또는 언로딩하는 상기 웨이퍼 버퍼 장치 및 상기 웨이퍼 버퍼 장치를 수용하고, 상기 웨이퍼 버퍼 장치에 보관된 웨이퍼를 언로딩하여 본딩하는 본더를 포함한다.
본 실시예에 따른 웨이퍼 버퍼 시스템은, 물류 흐름의 효율성을 확보하기 위하여, 도 1에 도시된 바와 같이 본더 내에 적층이 필요한 적어도 하나 이상 서로 다른 형태나 크기의 다수의 웨이퍼를 저장할 수 있는 웨이퍼 버퍼 장치를 배치하고, 어떠한 물류 레이아웃에도 능동적으로 대응할 수 있도록 한다. 도 1에는 3단 적층이 필요한 웨이퍼가 거쳐야 되는 경로를 나타내고 있으나, 웨이퍼의 적층 개수는 이에 한정되지 아니한다.
보다 상세하게는, 도 1에 도시된 바와 같이 본더 내부에 다수의 서로 다른 형태나 크기의 웨이퍼들을 보관할 수 있는 웨이퍼 버퍼 장치를 배치한다. 이렇게 함으로써, 하나의 반도체 패키지에서 다수의 서로 다른 칩들을 적층하여 패키지를 제조하는 공정에 있어서, 작업 대상 칩을 포함하는 웨이퍼들을 순차적으로 FOUP에서, 혹은 WTU에서 본더로 웨이퍼를 이송해야 하는 시스템의 물류를 간소화할 수 있다. 웨이퍼 교체가 본더 설비 내에서 능동적으로 이루어질 수 있어 작업 효율이 향상되고 요구되는 다양한 다이 적층 레이어에 효과적으로 대응할 수 있다.
또한 본더 설비 내 웨이퍼 버퍼에 후술할 턴 테이블을 통한 회전 자유도를 부여하여, 도 6에 도시된 바와 같이 직렬형 인라인 구조 또는 90도 꺾인 형태의 인라인 레이아웃 구조와 같이 다중 흐름에도 대응 가능하다. 이를 통해 전체 인라인(In-line) 설비를 효율적으로 라인에 배치하는 것이 가능해질 수 있다.
이하, 도 2 내지 도 6을 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 버퍼 장치에 대해 설명한다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 버퍼 장치를 나타낸 사시도이다. 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 엘리베이터를 도 2의 A 방향에서 바라본 정면도이다. 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 턴 테이블을 나타낸 사시도이다. 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 턴 테이블을 도 2의 B 방향에서 바라본 하면도이다. 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 버퍼 장치를 도 2의 C 방향에서 바라본 상면도이다.
도 2 내지 도 6을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 버퍼 장치는, 적층 배치될 수 있는 적어도 하나의 이상의 서로 같거나 다른 형태의 웨이퍼(100)를 수용하고, 회전되는 턴 테이블(200), 턴 테이블(200)의 일측에 배치되어 턴 테이블(200)을 수직 방향으로 이동 시키는 엘리베이터(300)를 포함한다.
도 2를 참조하면, 본 실시예에 따른 웨이퍼 버퍼 장치는, 공급된 웨이퍼(100)를 본더 내부의 본딩부 또는 WTU(웨이퍼 전달 장치)로 로딩(Loading) 또는 언로딩(Unloading)하기 위해 턴 테이블(200)을 수직 이동시키는 엘리베이터(300), 웨이퍼(100)를 정해진 물류 흐름에 맞게 회전 공급하기 위해 회전 이동 가능한 턴 테이블(200), 턴 테이블(200)에 배치되어, WTU(웨이퍼 전달 장치)로부터 웨이퍼 걸림이나 웨이퍼의 출입 여부를 감지할 수 있는 웨이퍼 감지 센서(201)를 포함할 수 있다.
엘리베이터(300)는 턴 테이블(200)을 수직 방향으로 이동시킬 수 있다. 도 3을 참조하면, 엘리베이터(300)는, 턴 테이블(200)의 수직 방향 이동을 위한 가이드부(310)를 포함할 수 있다. 턴 테이블(200)은 가이드부(310)에 장착되며, 가이드부(310)가 수직 방향으로 이동함에 따라 턴 테이블(200)도 가이드부(310)와 같이 수직 이동될 수 있다. 턴 테이블(200)이 수직 이동 되면서, 턴 테이블(200)에 적층 안착된 적어도 하나의 웨이퍼(100)가 본더 또는 WTU에 로딩 또는 언로딩 될 수 있다.
본 실시예에 따르면, 가이드부(310)는 LM 가이드를 포함할 수 있다. 다만 가이드부(310)는 LM 가이드에 한정되지 아니하며, 직선 운동이 가능한 볼 스플라인이나 볼 부쉬 유닛 등으로 대체 가능하다.
도 3을 참조하면, 엘리베이터(300)는 가이드부(310)를 구동시키기 위한 모터부(320) 및, 모터부(320)의 회전 운동을 직선 운동으로 변환시키는 직선 운동부(330)를 포함할 수 있다. 직선 운동부(330)는 직선 운동을 통해 가이드부(310)를 수직 방향으로 이동시킬 수 있다. 수직 방향으로 이동되는 가이드부(310)는 턴 테이블(200)을 수직 방향으로 이동시킬 수 있다.
본 실시예에 따르면, 모터부(320)는 회전 모터를 포함할 수 있다. 다만 모터부(320)는 회전 모터에 한정되지 아니하며, 브레이크 모터 또는 기어드 모터 등으로 다양한 구동부들로 대체 가능하다.
또한 본 실시예에 따르면, 직선 운동부(330)는 볼 스크류를 포함할 수 있다. 볼 스크류는 모터부(320)의 회전 운동을 직선 운동으로 변환 시켜 가이드부(310)를 수직 방향으로 이동시킬 수 있다. 다만 직선 운동부(330)는 볼 스크류에 한정되지 아니하며, 볼 스플라인이나 볼 부쉬 유닛으로 대체 가능하다. 상기한 모터부(320)는 상기 직선 운동부(330)과 일체의 형태로 리니어 모터와 같이 구현이 될 수 있다. 이러한 경우는 상기한 볼 스크류는 포함하지 않을 수 있다.
케이블 베어(340)는 엘리베이터(300)의 일측에 배치될 수 있다. 케이블 베어(340)는 턴 테이블(200)에서 나오는 각종 공압 라인이나 전장 케이블의 수직 방향 운동을 도와줄 수 있다.
도 4 및 도 5를 참조하면, 턴 테이블(200)은, 턴 테이블 베이스(210) 및 턴 테이블 베이스(210)의 가장자리 부분에 배치되어 웨이퍼(100)를 가이드하는 웨이퍼 가이드 블록(230)을 포함할 수 있다.
턴 테이블 베이스(210)에는 적층 배치되는 적어도 하나의 웨이퍼(100)가 배치될 수 있다. 적층 배치되는 적어도 하나의 웨이퍼(100)를 가이드하기 위해, 턴 테이블 베이스(210)의 양측 가장자리 부분에는 웨이퍼 가이드 블록(230)이 배치될 수 있다.
웨이퍼 가이드 블록(230)은 복수의 웨이퍼(100)가 서로 간격을 가지고 적층 배치될 수 있도록, 적어도 하나 이상 서로 같거나 다른 두께나 사이즈의 복수의 웨이퍼(100)가 끼워질 수 있는 복수의 홈부가 형성될 수 있다. 이를 통해 적어도 하나의 웨이퍼(100)는 가진 2개의 웨이퍼 가이드 블록(230)의 복수의 홈부에 끼워지며 수직 방향을 따라 적층 보관 될 수 있다.
본 실시예에 따르면, 웨이퍼 가이드 블록(230)은 2개의 웨이퍼 가이드 블록(230)이 턴 테이블 베이스(210)의 중심부를 기준으로 턴 테이블 베이스(210)의 가장자리에 180도 간격으로 배치될 수 있다.
턴 테이블(200)은, 적층 보관되는 복수의 웨이퍼(100)의 수직 방향 정렬을 위한 제1 센서(240) 및 복수의 웨이퍼(100)의 회전 방향 정렬을 위한 제2 센서(250)를 포함할 수 있다. 제1 센서(240)는 도 4에 도시된 바와 같이 적층 보관되는 복수의 웨이퍼(100)들의 가장자리 부분에 배치되어, 수직 방향으로 웨이퍼가 제대로 정렬되며 적층 되는지 여부를 감지할 수 있다. 또한 제2 센서는 도 4에 도시된 바와 같이 턴 테이블 베이스(210) 내측 부분에 배치되어, 턴 테이블(200)에 적층 보관되는 복수의 웨이퍼들이 제대로 정렬되며 회전하는지 여부를 감지할 수 있다. 본 실시예에 따르면, 제1 센서(240) 및 제2 센서(250)는 홈(HOME) 센서를 포함할 수 있다.
본 실시예에 따르면, 턴 테이블을 회전시키는 회전 베어링(220) 및 회전 베어링(220)과 연결되어 회전 베어링을 회전시키는 회전 모터(280)를 포함할 수 있다. 이때, 회전 모터(280)로부터 회전 베어링(220)에 회전 동력을 전달하기 위한 회전 벨트(270) 및 회전 벨트(270)를 가이드하고 일정 장력을 유지시켜주는 아이들 롤러(260)를 더 포함할 수 있다.
따라서, 회전 모터(280)가 구동되면, 아이들 롤러(260)와 연결된 회전 벨트(270)가 구동되면서 회전 벨트(270)와 결합된 회전 베어링(220)이 회전할 수 있으며, 회전 베어링(220)이 회전됨에 따라 회전 베어링(220)과 결합된 턴 테이블 베이스(210)가 회전하고, 턴 테이블 베이스(210)의 윗부분에 보관되어 있던 적어도 하나의 웨이퍼(100) 또한 회전될 수 있다.
적어도 하나의 웨이퍼(100)가 회전됨에 따라, 턴 테이블(200)의 90도 간격의 4 방향 중 웨이퍼 가이드 블록(230)이 배치되지 않은 마주보는 두 방향을 통해 적어도 하나의 웨이퍼(100)의 로딩 및 언로딩이 수행될 수 있다.
본 실시예에 따른 턴 테이블(200)은 360도 회전 가능할 수 있다. 도 6을 참조하면, 본 실시예에 따른 웨이퍼 버퍼 장치는, 직선상에 배치된 WTU와 본더 내부의 본딩부 사이에서 웨이퍼를 전달할 수도 있으며, WTU와 본더 내부의 본딩부가 90도로 꺾이게 배치된 상황에서도 웨이퍼 버퍼 장치의 회전을 통해 적어도 하나의 웨이퍼를 WTU에서 본딩부로, 본딩부에서 WTU로 안정적으로 이송할 수 있다.
여기서 턴 테이블(200)의 회전 각도는 180도나 90도에 한정되지 아니한다. 즉, 이러한 물류 라인이 직선 또는 90도로 꺾이게 형성될 경우뿐 아니라, 물류 라인이 90도 이외의 각도로 꺾인 형태일 경우에도, 웨이퍼 가이드 장치의 턴 테이블(200)이 물류 라인의 꺾인 각도에 대응되는 각도로 회전할 수 있어, 다양한 형태의 물류 라인에 적용 가능하다.
이와 같이 도면에 도시된 실시예를 참고로 본 발명을 설명하였으나, 이는 예시에 불과하다. 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 갖는 자라면 실시예로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 충분히 이해할 수 있다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 청구범위에 기초하여 정해져야 한다.
실시예에서 설명하는 특정 기술 내용은 일 실시예들로서, 실시예의 기술 범위를 한정하는 것은 아니다. 발명의 설명을 간결하고 명확하게 기재하기 위해, 종래의 일반적인 기술과 구성에 대한 기재는 생략될 수 있다. 또한, 도면에 도시된 구성 요소들 간의 선들의 연결 또는 연결 부재는 기능적인 연결 및/또는 물리적 또는 회로적 연결들을 예시적으로 나타낸 것으로서, 실제 장치에서는 대체 가능하거나 추가의 다양한 기능적인 연결, 물리적인 연결, 또는 회로 연결들로 표현될 수 있다. 또한, "필수적인", "중요하게" 등과 같이 구체적인 언급이 없다면 본 발명의 적용을 위하여 반드시 필요한 구성 요소가 아닐 수 있다.
발명의 설명 및 청구범위에 기재된 "상기" 또는 이와 유사한 지시어는 특별히 한정하지 않는 한, 단수 및 복수 모두를 지칭할 수 있다. 또한, 실시 예에서 범위(range)를 기재한 경우 상기 범위에 속하는 개별적인 값을 적용한 발명을 포함하는 것으로서(이에 반하는 기재가 없다면), 발명의 설명에 상기 범위를 구성하는 각 개별적인 값을 기재한 것과 같다. 또한, 실시예에 따른 방법을 구성하는 단계들에 대하여 명백하게 순서를 기재하거나 반하는 기재가 없다면, 상기 단계들은 적당한 순서로 행해질 수 있다. 반드시 상기 단계들의 기재 순서에 따라 실시예들이 한정되는 것은 아니다. 실시예에서 모든 예들 또는 예시적인 용어(예들 들어, 등등)의 사용은 단순히 실시예를 상세히 설명하기 위한 것으로서 청구범위에 의해 한정되지 않는 이상, 상기 예들 또는 예시적인 용어로 인해 실시예의 범위가 한정되는 것은 아니다. 또한, 통상의 기술자는 다양한 수정, 조합 및 변경이 부가된 청구범위 또는 그 균등물의 범주 내에서 설계 조건 및 팩터에 따라 구성될 수 있음을 알 수 있다.
100: 웨이퍼
200: 턴 테이블
201: 웨이퍼 감지 센서
210: 턴 테이블 베이스
220: 회전 베어링
230: 웨이퍼 가이드 블록
240: 제1 센서
250: 제2 센서
260: 아이들 롤러
270: 회전 벨트
280: 회전 모터
300: 엘리베이터
310: 가이드부
320: 모터부
330: 직선 운동부
340: 케이블 베어

Claims (6)

  1. 적층 배치되는 적어도 하나의 이상의 서로 같거나 다른 형태의 웨이퍼를 수용하고, 회전되는 턴 테이블; 및
    상기 턴 테이블의 일측에 배치되어 상기 턴 테이블을 수직 방향으로 이동시키는 엘리베이터를 포함하는 웨이퍼 버퍼 장치.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 턴 테이블에 배치된 웨이퍼 감지 센서를 포함하는 웨이퍼 버퍼 장치.
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 턴 테이블은,
    턴 테이블 베이스; 및
    상기 턴 테이블 베이스의 가장자리 부분에 배치되어 상기 웨이퍼를 가이드하는 웨이퍼 가이드 블록을 포함하는 웨이퍼 버퍼 장치.
  4. 제3 항에 있어서,
    상기 웨이퍼 가이드 블록은,
    상기 웨이퍼의 수직 방향 정렬을 위한 제1 센서; 및
    상기 웨이퍼의 회전 방향 정렬을 위한 제2 센서를 포함하는 웨이퍼 버퍼 장치.
  5. 제3 항에 있어서,
    상기 턴 테이블은,
    상기 턴 테이블 베이스를 회전시키는 회전 베어링; 및
    상기 회전 베어링과 연결되어 상기 회전 베어링을 회전시키는 회전 모터를 더 포함하는 웨이퍼 버퍼 장치.
  6. 웨이퍼를 이송하는 웨이퍼 이송장치(EFEM);
    상기 웨이퍼 이송장치로부터 이송된 상기 웨이퍼를 전달하는 웨이퍼 전달 장치(WTU);
    상기 웨이퍼 전달 장치로부터 전달되는 적어도 하나 이상의 서로 같거나 다른 형태의 웨이퍼를 수직 이동 및 회전 이동을 통해 로딩 또는 언로딩하는 웨이퍼 버퍼 장치; 및
    상기 웨이퍼 버퍼 장치를 수용하고, 상기 웨이퍼 버퍼 장치에 보관된 웨이퍼를 언로딩하여 본딩하는 본더를 포함하는 웨이퍼 버퍼 시스템.

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