KR20230108001A - 미라우 간섭 대물렌즈 - Google Patents

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KR20230108001A
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진 호 정
진 호 정
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Abstract

본 발명은 미라우 간섭 대물렌즈에 관한 것으로서, 특히 광분할기를 대물렌즈의 내부에 형성하여 WD(형상측정 깊이)를 확보함으로써 제작성 향상과 정밀도 향상을 이루도록 하는 미라우 간섭 대물렌즈에 관한 것이다. 구성은 복수 개의 렌즈로 이루어지는 렌즈부와, 광분할기 및 기준 미러를 포함하는 미라우 간섭 대물렌즈에 있어서, 상기 광분할기와 기준 미러는 렌즈부의 내부에 형성되어 WD를 길게 하는 것을 특징으로 한다.

Description

미라우 간섭 대물렌즈{Mirau Interferometer objective lens}
본 발명은 미라우 간섭 대물렌즈에 관한 것으로서, 특히 광분할기를 대물렌즈의 내부에 형성하여 WD(형상측정 깊이)를 확보함으로써 제작성 향상과 정밀도 향상을 이루도록 하는 미라우 간섭 대물렌즈에 관한 것이다.
산업이 고도화될수록 높은 품질과 보다 정밀하게 가공된 제품의 안정된 생산이 요구되고 있으며, 산업체에서 생산되는 다양한 형태의 제품들 중, 마이크로미터 또는 나노미터 수준의 정밀한 가공 및 측정에 있어서, 정확하고 일관성 있게 빠른 시간 안에 제품분석을 수행 할 수 있는 방법은 오래 전부터 활발히 연구되고 있으며, 그 중 광학 기반의 3D-profiler로 측정하는 기술 중 하나로 백색광 주사간섭계(scanning white-light interferometry)가 빠른 속도와 간편한 사용으로 많은 사용되고 있다.
이러한 백색광 간섭계는 백색광 간섭 기술을 원리로 사용한다. 광원에서 방출된 빛은 광분할기(빔 스플리터)에 의해 시준되고 확장 및 시준된 후 두 개의 빔으로 분할된다. 한 빔은 측정된 표면에 의해 반사되고 다른 빔은 참조 미러에 의해 반사된다. 결국 수렴과 간섭이 일어나면 현미경은 측정면의 지형적 특징을 간섭 무늬 신호로 변환하고, 간섭 무늬의 변화를 측정하여 표면의 3차원 형상을 측정하는 3D-Surface Profiler로 사용되며, 용도는 Atomic Force Microscopy(원자력 현미경), 3D Optical Microscopy, Tribology (표면 조도측정), Automated AFM, Stylus Profilometry (표면 단차 측정), Nano Indentation (나노 압입) 등 있다.
그리고, 백색광 간섭계를 사용한 3차원 측정장치의 원리는 도 1에 도시된 바와 같이, 좌측 하단 3차원 형상 시료(110)를 측정하기 위하여 시료(110) 위에 미라우 간섭 대물렌즈(120)가 있고 PZT(130)를 이용하여 상하(Z 방향)로 스캔하면 시료(110)의 가간섭거리가 일치하는 위치의 간섭영상이 CCD(140)에 결상 되어 시료(110)의 3차원 영상을 획득할 수 있게 된다.
또, 가장 널리 알려진 3차원 형상 측정에 이용되는 간섭 대물렌즈 방식은 마이켈슨 간섭계(Michelson Interferometer), 미라우 간섭계(Mirau Interferometer) 및 리닉 간섭계(Linnik Interferometer)가 있다.
마이켈슨 간섭 대물렌즈는 도 2에 도시된 바와 같이 대물렌즈(210)를 지난 후 시료(240) 앞에서 광분할기(220)로 광로를 90도 다른 축으로 변경시키고, 시료(240)와 기준 미러(230)는 다른 축에 형성되므로 중심 부분의 차폐가 없다.
따라서, 광분할기는 큐빅 프리즘형 광분할기를 사용하여야 하므로 두께가 두껍기 때문에 일반 현미경 대물렌즈를 사용하면 수차가 발생하므로 프리즘 두께의 수차가 보정된 현미경 대물렌즈를 사용하여야 한다.
미라우 간섭 대물렌즈는 도 3에 도시된 바와 같이 대물렌즈(310)를 지난 후 시료(340) 앞에서 광분할기(330)로 광로를 분할하고, 시료(340)와 기준 미러(320)는 동일한 광축에 형성되나 기준 미러(320)가 있는 중심 부분이 차폐된다.
따라서, 광분할기의 평판을 투과 평판으로 대체하고, 기준미러를 제거하면 일반 현미경 대물렌즈로 사용이 가능하다.
그리고, 상기 종래의 미라우 간섭 대물렌즈는 도 3의 렌즈 및 광로도에 도시된 바와 같이 대물렌즈(310)의 외부에 시료(물체)(340) 측에 기준 미러(320)와 광분할기(330)가 형성된다.
리닉 간섭 대물렌즈는 도 4에 도시된 바와 같이 대물렌즈(410)로 입사하기 전에 광분할기(420)를 사용하여 두 개의 현미경 대물렌즈(410)를 다른 축에 사용하게 된다.
또, 고분해용, 고배율 대물렌즈가 사용되고, 측정 면적이 작으며, 중심 부분의 차폐가 없다.
한편, 종래의 미라우 간섭 대물렌즈는 대물렌즈 외부에 위치하는 물체측에 광분할기가 형성되고, 기준 미러도 대물렌즈 외부에 형성되기 때문에 렌즈 외부에 형성되는 기준미러와 광분할 미러로 인하여 WD(형상측정 깊이)가 원래 렌즈의 WD(마지막 렌즈에서 물체까지의 거리)에 비하여 반 이하가 되는 문제점이 있었다.
또한, 종래의 미라우 간섭 대물렌즈는 기준 미러의 조립시 작업이 번거롭고, 미러가 접착 고정시 기울어질 가능성이 매우 높아서, 측정 정밀도의 신뢰성이 떨어지는 문제점이 있었다.
공개특허 10-2009-013144 공개특허 10-2020-0125149 등록특허 10-1321861
이에, 본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 광분할기의 위치를 대물렌즈 내부에 형성하여 WD(형상측정 깊이)를 종래에 비해 길게 확보하고, 기준 미러의 조립 어려움을 해소하도록 하는 미라우 간섭 대물렌즈를 제공하는 것이다.
상기한 목적을 달성하기 위해 본 발명은 복수 개의 렌즈로 이루어지는 렌즈부와, 광분할기 및 기준 미러를 포함하는 미라우 간섭 대물렌즈에 있어서, 상기 광분할기와 기준 미러는 렌즈부의 내부에 형성되어 WD를 길게 하는 것을 특징으로 한다.
본 발명은 미라우 간섭 대물렌즈에 있어서, 상기 광분할기와 기준 미러는 렌즈부의 렌즈와 별도로 형성되거나, 렌즈부의 렌즈와 일체를 이루도록 형성되거나, 렌즈부의 렌즈와 별도 및 렌즈부의 렌즈와 일체로 이루어지는 것이 혼합형성될 수 있는 것을 특징으로 한다.
본 발명은 미라우 간섭 대물렌즈에 있어서, 상기 기준 미러와 광분할기가 렌즈부의 렌즈와 별도 및 렌즈와 일체로 이루어지는 것이 혼합형성되는 경우, 상기 렌즈부의 1군 렌즈를 전,후 1매로 구성하고, 상기 1군 렌즈 사이에 광분할기를 형성하였으며, 상기 기준 미러는 2군 렌즈에 일체로 형성하는 것을 특징으로 한다.
본 발명은 미라우 간섭 대물렌즈에 있어서, 상기 기준 미러와 광분할기가 렌즈와 일체를 이루도록 형성되는 경우, 기준 미러는 기준 미러에 인접한 렌즈면을 평면으로 형성하고, 광분할기는 2개의 평볼록렌즈 두께의 중간을 평면으로 나누고 평면에 광분할 코팅하여 형성하는 것을 특징으로 한다.
본 발명은 미라우 간섭 대물렌즈에 있어서, 상기 기준 미러와 광분할기가 렌즈와 일체를 이루도록 형성되는 경우, 기준 미러는 기준 미러에 인접한 렌즈면을 평면으로 형성하고, 광분할기는 볼록,오목,볼록이 대칭으로 구성된 3중 렌즈로 형성하며 중간의 오목렌즈를 평오목으로 각각 제작 후 접합하는 것을 특징으로 한다.
본 발명은 미라우 간섭 대물렌즈에 있어서, 상기 기준 미러와 광분할기가 렌즈와 일체를 이루도록 형성되는 경우, 기준 미러는 기준 미러에 인접한 렌즈면을 평면으로 형성하고, 광분할기는 굴절능이 (-)인 2개의 평오목렌즈 두께의 중간을 평면으로 나누고 평면에 광분할 코팅하여 형성하는 것을 특징으로 한다.
본 발명은 미라우 간섭 대물렌즈에 있어서, 상기 기준 미러와 광분할기가 렌즈와 일체로 형성되는 경우, 광분할기의 좌,우 렌즈는 오목 굴절능을 갖는 복수 개의 렌즈로 구성할 수 있는 것을 특징으로 한다.
이상에서와 같은 본 발명은 미라우 간섭 대물렌즈의 WD(형상측정 깊이)가 길어지도록 하는 효과가 있다.
또, 본 발명은 광분할기와 기준 미러를 사용하지 않아도 되므로 조립작업이 간단하고, 측정 정밀도의 신뢰성을 향상시키는 효과가 있다.
도 1은 종래의 백색광 간섭계를 사용하는 3차원 측정장치의 측정 상태를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 2는 종래의 마이켈슨 간섭계를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 3은 종래의 미라우 간섭계를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 4는 종래의 리닉 간섭계를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 5는 본 발명의 바람직한 실시예 1에 따른 미라우 간섭 대물렌즈의 구성을 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 6은 도 5의 광분할기의 확대도이다.
도 7은 본 발명에 따른 기준 미러의 상세도이다.
도 8은 본 발명의 바람직한 실시예 2에 따른 미라우 간섭 대물렌즈의 구성을 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 9는 본 발명의 바람직한 실시예 3에 따른 미라우 간섭 대물렌즈의 구성을 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 10은 본 발명의 바람직한 실시예 4에 따른 미라우 간섭 대물렌즈의 구성을 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 11은 본 발명의 바람직한 실시예 5에 따른 미라우 간섭 대물렌즈의 구성을 개략적으로 나타낸 도면이다.
이하, 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 첨부된 도면에 의거하여 보다 구체적으로 설명한다.
여기서, 하기의 모든 도면에서 동일한 기능을 갖는 구성요소는 동일한 참조부호를 사용하여 반복적인 설명은 생략하며, 아울러 후술 되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 것으로서, 이것은 고유의 통용되는 의미로 해석되어야 함을 명시한다.
도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이 본 발명에 따른 바람직한 실시예 1의 미라우 간섭 대물렌즈(500)는 렌즈부(510)와 광분할기(520) 및 기준 미러(530)로 대별되어 이루어진다.
상기 렌즈부(510)는 내부 앞쪽에 위치하는 1군 렌즈(511)와 중간에 위치하는 2군 렌즈(512) 및 뒤쪽에 위치하는 3군 렌즈(513)로 구성된다.
상기 렌즈부(510)는 물체의 상(像)을 맺기 위해 빛을 모으거나 분산시키는 복수 개의 볼록렌즈와 오목렌즈로 구성된다.
여기서, 상기 렌즈부(510)는 필요에 따라 볼록렌즈와 오목렌즈가 다양한 형태로 가감될 수 있다.
또, 상기 1군 렌즈(511)는 상기 광분할기(520)가 형성되는 지점을 기준으로 전후의 렌즈가 대칭적 구조로 배치되는 것이 바람직하다.
즉, 상기 1군 렌즈(511)를 대칭적 구조로 배치함에 따라 상기 광분할기(520)를 투과후 피측정 물체(OJ)에서 되반사한 광선과 반사후 기준 미러(530)에서 되 반사한 광선이 완벽한 대칭을 이룰 수 있다.
상기 광분할기(520)는 상기 1군 렌즈(511) 사이에 형성되어 광원(미도시)에서 방출되는 빛이 입사되면 확장 및 시준(광축을 관측하는 물체 방향에 평행하게 놓는 일)시킨 후 2개의 빔으로 분할시키도록 형성된다.
이를 위해, 상기 광분할기(520)는 2장의 평면이 접합되어 있고 그 중간면은 광분할 코팅형성된다.
상기 기준 미러(530)는 2군 렌즈(512)의 선단측에 형성되어 광원(미도시)에서 방출된 후 광분할기(520)에서 반사된 후 기준 미러(530)의 중심부에서 반사되어 광분할기(520)에서 반사하는 광선과, 광분할기(520)에서 투과된 후 피측정 물체(OJ)에 의해 반사되어 광분할기(520)를 투과하는 광선은 투과시키도록 구성된다.
이를 위해, 상기 기준 미러(530)는 도 7에 도시된 바와 같이 평면으로 형성되는 것이 바람직하고, 일측면의 중앙부는 차폐면(531)이 형성되고, 반대측면의 중앙부는 반사면(532)으로 형성되며, 가장자리부는 투과면(533)으로 형성되는 것이 바람직하다.
여기서, 상기 기준 미러(530)를 중심만 미러이고 주변부는 미러가 없이 공기만으로 된 구조로 형성할 수 있으나 이 경우 기준 미러(530)를 고정하기 위해 외부에서 금속 등으로 지지하여야 하므로, 금속 지지부를 통과하는 광선이 차단되어 간섭무늬가 제대로(동그랗게) 형성되지 않게 되어 측정에 제약이 발생할 수 있다.
또, 상기 기준 미러(530)를 작게 만들고 기준 미러(530)의 좌측에 있는 렌즈에 접착할 수도 있으나 작업이 번거롭고, 기준 미러(530)가 접착 고정시 기울어질 가능성이 매우 높아서, 측정 정밀도의 신뢰에 문제가 발생하게 된다.
이에 따라, 상기 기준 미러(530)를 평면으로 형성하고 평면의 중앙부는 광학코팅에 의하여 반사면(532)으로 형성하며 가장자리부는 투과면(533)으로 형성할 경우, 미러를 충분히 광축과 수직하게 고정시킬 수 있다.
이와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예 1에 따른 미라우 간섭 대물렌즈(500)는 상기 광분할기(520)와 기준 미러(530)를 렌즈부(510)의 내부에 형성함으로써, WD를 길게 할 수 있기 때문에 고해상도와 높은 NA 값(NA = n sin θ)을 얻을 수 있으며, 또 구조가 간단하고 설치 비용이 저렴하다.
또, 본 발명은 상기 광분할기(520)와 기준 미러(530)는 렌즈부(510)의 렌즈와 별도로 형성되거나, 렌즈부(510)의 렌즈와 일체를 이루도록 형성되거나, 렌즈부(510)의 렌즈와 별도 및 렌즈부(510)의 렌즈와 일체로 이루어지는 것이 혼합형성될 수 있다.
상기와 같이 구성된 본 발명의 실시예 1에 따른 미라우 간섭 대물렌즈의 작용 상태를 설명하면 다음과 같다.
먼저, 본 발명에 따른 미라우 간섭 대물렌즈(500)를 이용하여 피측정 물체(OJ)의 형상을 측정할 경우, 광원(미도시)에서 방출되는 빛은 기준 미러(530)의 가장자리부에 형성되는 투과면(533)을 투과하여 광분할기(520)로 입사되면 2개의 광선으로 분할된다.
즉, 1개의 광선은 광분할기(520)를 투과하여 피측정 물체(OJ)로 진행한 후 피측정 물체(OJ)의 표면에 의해 반사되고, 다른 1개의 광선은 반사되어 기준 미러(530)로 진행한 후 기준 미러(530)의 반사면(532)에 의해 반사된다.
이때, 상기 광분할기(520)를 투과후 기준 미러(530)에서 반사한 광선과 피측정 물체(OJ)에서 되반사한 광선은 완벽한 대칭을 이루게 된다.
계속해서, 상기 피측정 물체(OJ)에서 반사한 광선은 광분할기(520)를 투과하고, 상기 기준 미러(530)의 반사면(532)에서 반사한 광선은 광분할기(520)에서 되반사하면서 간섭한 후 기준 미러(530)의 투과면(533)을 투과하여 2군 렌즈(512)와 3군 렌즈(513)를 거쳐 CCD(미도시)로 결상된다.
즉, 광선은 광분할기(520)에서 투과 및 반사에 의하여 간섭이 일어나면 백색광 간섭계는 피측정 물체(OJ)의 측정면에 대한 지형적 특징을 간섭 무늬신호로 변환하고, 간섭 무늬의 변화를 측정하여 피측정 물체(OJ)의 표면에 대한 3차원 형상을 측정할 수 있게 된다.
따라서, 본 발명은 이와 같은 작용을 통해 피측정 물체의 3차원 형상 등의 측정시 고해상도와 높은 NA 값(NA = n sin θ)을 얻을 수 있는 것이다.
한편, 도 8은 본 발명에 따른 다른 실시예 2를 나타낸 미라우 간섭 대물렌즈(500)로서, 이는 상기 광분할기(520)와 기준 미러(530)를 렌즈부(510)의 내부에 형성되는 것은 동일하다.
다만, 상기 광분할기(520)는 렌즈부(510)의 렌즈와 별도로 형성하고, 상기 기준 미러(530)는 렌즈부(510)의 렌즈와 일체로 이루어지도록 혼합 형성한 것이다.
즉, 상기 렌즈부(510)의 1군 렌즈(511)를 전,후 1매로 구성하고, 상기 1군 렌즈(511) 사이에 광분할기(520)를 형성하였으며, 상기 기준 미러(530)는 2군렌즈(512)에 일체로 형성하였다.
여기서, 상기 기준 미러(530)는 2군 렌즈(512)의 일면을 평면 미러로 제작하여 형성된다.
이에 따라, 부품인 기준 거울을 줄일 수 있고, 기준 거울의 조립작업시 발생할 수 있는 기울어짐을 원천적으로 해소할 수 있으므로 측정 정밀도를 향상시킬 수 있는 것이다.
도 9는 본 발명에 따른 다른 실시예 3을 나타낸 미라우 간섭 대물렌즈(500)로서, 이역시 상기 광분할기(520)와 기준 미러(530)를 렌즈부(510)의 내부에 형성하는 것은 동일하다.
다만, 상기 광분할기(520)와 기준 미러(530)를 렌즈부(510)와 일체로 이루어지도록 형성한 것이다.
즉, 상기 광분할기(520)는 렌즈부(510)의 1군 렌즈(511)를 한쌍의 평볼록렌즈로 구성하고, 상기 평볼록렌즈의 두께 중간을 평면으로 나누고 평면에 광분할 코팅하여 형성한 것이다.
여기서, 상기 1군 렌즈(511)는 곡률이 동일한 양볼록렌즈의 두께 중간을 평면으로 나누고 평면에 광분할 코팅을 한 것이다.
즉, 상기 양볼록렌즈는 실제 두 개의 평볼록렌즈를 접합하여 광분할기(520)를 1군 렌즈(511) 내부의 접합면으로 형성할 수 있도록 하는 것이다.
또, 상기 기준 미러(530)는 2군 렌즈(512)의 선단 렌즈 일면을 평면 미러로 제작하여 형성된다.
이에 따라, 본 실시예는 광분할기와 기준 미러를 제거할 수 있으므로 부품(광분할 평면)을 줄이고 제작이 편리하다.
도 10은 본 발명에 따른 다른 실시예 4를 나타낸 미라우 간섭 대물렌즈(500)로서, 이역시 상기 광분할기(520)와 기준 미러(530)를 렌즈부(510)의 내부에 형성하는 것은 동일하고, 상기 광분할기(520)와 기준 미러(530)가 렌즈부(510)와 일체를 이루도록 형성된다.
이를 좀 더 구체적으로 설명하면, 상기 1군 렌즈(511)를 볼록,오목,볼록이 대칭으로 구성되는 3중 렌즈로 구성하고, 중간의 오목렌즈를 평오목으로 각각 제작 후 접합한 것으로서, 두께 중간을 평면으로 나누고 평면에 광분할 코팅을 한 접합면을 광분할기(520)로 사용하도록 한 것이다.
또, 상기 기준 미러(530)는 기준 미러에 인접한 2군 렌즈(512)의 선단 렌즈 일면을 평면 미러로 제작하여 형성된다.
이에 따라, 본 실시예는 광분할기와 기준 미러를 제거할 수 있으므로 부품(광분할 평면)을 줄이고 제작이 편리하다.
도 11은 본 발명에 따른 다른 실시예 5를 나타낸 미라우 간섭 대물렌즈(500)로서, 이역시 상기 광분할기(520)와 기준 미러(530)를 렌즈부(510)의 내부에 형성하는 것은 동일하고, 상기 광분할기(520)와 기준 미러(530)가 렌즈부(510)와 일체를 이루도록 형성하는 것이다.
이를 좀 더 구체적으로 설명하면, 상기 광분할기(520)는 굴절능이 (-)인 2개의 평오목렌즈 두께의 중간을 평면으로 나누어 접합하고 평면에 광분할 코팅을 한 접합면을 광분할기(520)로 사용하도록 한 것이다.
또, 상기 기준 미러(530)는 기준 미러에 인접한 2군 렌즈(512)의 선단 렌즈 일면을 평면 미러로 제작하여 형성된다.
이에 따라, 본 실시예는 광분할기와 기준 미러를 제거할 수 있으므로 부품(광분할 평면)을 줄이고 제작이 편리하다.
또한, 본 발명에 따른 미라우 간섭 대물렌즈(500)는, 상기 광분할기(520)와 기준 미러(530)가 렌즈부(510)와 일체를 이루도록 형성시, 상기 광분할기(520)가 형성되는 1군 렌즈(511)의 좌,우는 오목 굴절능을 갖는 복수 개의 렌즈로 구성할 수 있다.
이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지로 치환, 변형 및 균등한 타 실시예로의 변경이 가능함은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어서 명백할 것이다.
500 : 미라우 간섭 대물렌즈 510 : 렌즈부
511 : 1군 렌즈 512 : 2군 렌즈
513 : 3군 렌즈 520 : 광분할기
530 : 기준 미러 531 : 차폐면
532 : 반사면 533 : 투과면
OJ : 피측정 물체

Claims (7)

  1. 복수 개의 렌즈로 이루어지는 렌즈부와, 광분할기 및 기준 미러를 포함하는 미라우 간섭 대물렌즈에 있어서,
    상기 광분할기와 기준 미러는 렌즈부의 내부에 형성되어 WD를 길게 하는 것을 특징으로 하는 미라우 간섭 대물렌즈.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 광분할기와 기준 미러는 렌즈부의 렌즈와 별도로 형성되거나, 렌즈부의 렌즈와 일체를 이루도록 형성되거나, 렌즈부의 렌즈와 별도 및 렌즈부의 렌즈와 일체로 이루어지는 것이 혼합형성될 수 있는 것을 특징으로 하는 미라우 간섭 대물렌즈.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 기준 미러와 광분할기가 렌즈부의 렌즈와 별도 및 렌즈와 일체로 이루어지는 것이 혼합형성되는 경우, 상기 렌즈부의 1군 렌즈를 전,후 1매로 구성하고, 상기 1군 렌즈 사이에 광분할기를 형성하였으며, 상기 기준 미러는 2군 렌즈에 일체로 형성하는 것을 특징으로 하는 미라우 간섭 대물렌즈.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 기준 미러와 광분할기가 렌즈와 일체를 이루도록 형성되는 경우, 기준 미러는 기준 미러에 인접한 렌즈면을 평면으로 형성하고, 광분할기는 2개의 평볼록렌즈 두께의 중간을 평면으로 나누고 평면에 광분할 코팅하여 형성하는 것을 특징으로 하는 미라우 간섭 대물렌즈.
  5. 제2항에 있어서,
    상기 기준 미러와 광분할기가 렌즈와 일체를 이루도록 형성되는 경우, 기준 미러는 기준 미러에 인접한 렌즈면을 평면으로 형성하고, 광분할기는 볼록,오목,볼록이 대칭으로 구성된 3중 렌즈로 형성하며 중간의 오목렌즈를 평오목으로 각각 제작 후 접합하는 것을 특징으로 하는 미라우 간섭 대물렌즈.
  6. 제2항에 있어서,
    상기 기준 미러와 광분할기가 렌즈와 일체를 이루도록 형성되는 경우, 기준 미러는 기준 미러에 인접한 렌즈면을 평면으로 형성하고, 광분할기는 굴절능이 (-)인 2개의 평오목렌즈 두께의 중간을 평면으로 나누고 평면에 광분할 코팅하여 형성하는 것을 특징으로 하는 미라우 간섭 대물렌즈.
  7. 제2항에 있어서,
    상기 기준 미러와 광분할기가 렌즈와 일체로 형성되는 경우, 광분할기의 좌,우 렌즈는 오목 굴절능을 갖는 복수 개의 렌즈로 구성할 수 있는 것을 특징으로 하는 미라우 간섭 대물렌즈.
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KR101321861B1 (ko) 2005-11-15 2013-10-25 지고 코포레이션 광학적으로 분석되지 않은 표면 형상의 특징을 측정하는방법 및 간섭계
KR20200125149A (ko) 2019-04-26 2020-11-04 ㈜넥센서 실시간으로 자동 초점이 가능한, 측정 대상물의 입체형상을 측정하는 입체형상 측정장치

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